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上传时间:2021-2-23
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沉积车间装炉方案

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沉积车间装炉方案公 司:保山隆基 部 门:辅材制造部编 制:杨亮亮 时 间:2020年1月25日审 核:孙正涛 审 批:李永军目录 一. 二期沉积装炉方案 二. 一期沉积装炉方案CONTENTS 三. 三期沉积装炉方案 四. 涂层装炉方案 五. 高温炉装炉方案 www.longigroup.com沉积装炉方案汇总 炉台 编号 RF-4埚帮 RF-4热屏 28寸埚帮 碳碳板 热屏法兰环 RF-4下保温筒 RF-4上保温筒 RF-4下保温盖 RF-4埚托 /RF-4S埚帮 /RF-4S热屏 /RF-4S下保温筒 /RF-4S上保温筒 /RF-A埚托二期沉积 2-1 14 0 0 7 2-2 ...

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