公司简介

昂麒能源科技（上海）有限公司

2023年10月

内容大纲

❖公司概述

▪ 公司简介

▪ 发展历程

▪ 研发及工厂据点

▪ 实绩表

❖公司业务 — 工业气体处理/纯化设备

▪ 半导体/显示器行业

▪ 涉氢行业

❖可持续发展

一、公司概述

公司简介

▪ Chairman：Argus Chang

▪ Founded：July 12, 2011

▪ Capital：USD 1 million

▪ Web Site：www.lichitech.com

▪ TEL：+86-21-60522662

▪ FAX：+86-21-33678197

▪ Service Point：

•Taipei Office: No.25, Ln. 26, Ziyou Rd., Banqiao Dist., New Taipei City 220,

Taiwan, ROC.

•Shanghai Office: Room 1303, building B, No.1777 Hualong Road, Huaxin Town, Qingpu

District, Shanghai, China.

•Shanghai Factory: Room 102, Building A, No.600 Huaxi Road, Minhang District, Shanghai,

China.

▪ Personnel: 37 employees

公司简介

❖ 拥有丰富且专业的自动化经验与销售实绩。

❖ 坚强的研发团队，整合「机构设计」、「自动控制」、以及「影像分析」、

「精密加工」四大领域，给客户最完整的支持与服务，可依需要开发客制化设

备，提供客户最全面性的「Total Solution」。

❖ 丰富的加工与模具制造经验，可自行设计制造各类精密零组件。

发展历程2O2O

研发及工厂据点

滕希科技（上海）有限公司

昂麒能源科技（上海）有限

公司 晖滕科技有限公司

实绩表

1

48

208 236

303

355

389

542

865

2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021 2022 2023

工业气体处理设备累计出货量

（单位：台)

二、公司业务

— 工业气体处理/纯化设备

半导体/显示器行业

❖尾气处理设备列表

序号 设备系列 设备种类 PTWSG的应用 吸附材型号 对应气体 对应制程(半导体/显示器)

1 A系列 干式吸附 REF-100A HM/AC/AF

(PH3,AsH3,GeH4,B2H6,ect.,)

(BF3,HF,F2,WF6,SiF4,ect.,)

(CIF3,CI2,HCI,BCI3,SiCI4,ect.,)

IMP

2 A系列 干式吸附 REF-300AA HM/AC/AF

(PH3,AsH3,GeH4,B2H6,ect.,)

(BF3,HF,F2, WF6,SiF4,ect.,)

(CIF3,CI2,HCl,BCI3,SiC4,ect.,)

IMP

3 F系列 干式吸附 REF-100F OC/AL (PH3,AsH3,GeH4,B2H6,ect.,) IMP/ETCH

4 E系列 干式吸附 REF-300E AC/AF CIF3,CI2,HCI,BCI3,SiC4,ect.,)

(BF3,HF,F2,WF6,SiF4,ect.,) ETCH

5 D系列 干式吸附 REF-1400D OC tVOC /

6 B系列 复合式 REF-400B OC (SiH4,DCS,TCS,TEOS,DEZ,PGME

A,ect.,) DIF

7 I系列 复合式 REF-1600I HM/AC/AF

(PH3,AsH3,GeH4,B2H6,ect.,)

（BF3,HF,F2,WF6,SiF4,ect.,)

(CIF3,CI2,HCI,BCI3,SiC4,ect.,)

EPI

8 H系列 气体净化 REF-600H / H2 PHOTO

9 R系列 高温处理 开发中 HM/AC/HT(开发中) All CVD/PVD/ETCH/DIF/EPI

10 喷涂产业 tVOC领域 AMRT-0201-G02 OC tVoC /

半导体/显示器行业

❖干式吸附气体处理设备

半导体/显示器行业

❖干式吸附气体处理设备

半导体/显示器行业

❖干式吸附气体处理设备

半导体/显示器行业

❖复合式尾气处理设备

REF-100A

半导体/显示器行业

❖复合式尾气处理设备

使用场景：

• 水电解制氢机前期排放

• 石化厂加氢制程排放

• 半导体制程尾气排放

• 金属热处理氢气处理排放

• 气体厂废气排放

使用场景：

• 电池充电间

• 氢气作业场所/钢瓶柜

• 半导体无尘室

• 食品饮料及制药生产加工

• 实验室

• 加氢站

• 任何可能发生氢气泄漏的场

所

涉氢行业

❖氢气处理设备

DHC系列 DHP系列

涉氢行业

❖氢气纯化设备

多孔陶瓷吸附純化器(PCAP) 电化学氢气纯化器(ECHP)

特点：

• 吸附杂质，例如H20,

O2, HH3, VOCs…

• 常压低温安全操作

• 压损小、容易输送

• 无中断快速再生回复

特点：

• 常压分离氮气

• 低温操作 (60~70°C)

三、可持续发展

政策背景

❖政策背景

▪ 政策的落地实施，进一步优化和完善废气治理体系

• 废气是指人类在生产和生活过程中排出的有毒有害的气体，近年

来，随着城镇化的持续推进，工业生产水平的不断提升，废气的

排放加剧了环境污染，为进一步加强环境保护力度，提升生活质

量和水平，国家和各级政府相继出台各项政策，鼓励和扶持废气

治理行业的发展。2022年9月，工信部出台了《促进中小企业特

色产业集群发展暂行办法》，提出优化集群能源消费结构，推广

清洁能源应用，开展节能改造和绿色低碳技术改造，完善绿色制

造体系。2022年1月国务院发布了《“十四五”节能减排综合工

作方案》，提出持续推进大气污染防治重点区域秋冬攻坚行动，

加大重点行业结构调整和污染治理力度，以大气污染防治重点区

域及珠三角地区、成渝地区等为重点，推进挥发性有机物和氮氧

化物协同减排。

可持续发展

❖环保和资源管理

▪ 我们采取积极措施降低我们的环境足迹。这包括处理工业生产产生的废气和

减少生产过程中的能源消耗，以及不断改进生产流程以减少资源浪费，符合

国家对于经济社会发展绿色转型的要求。

❖解决方案的提供者：创新和技术

▪ 我们不断投资于创新和技术，以开发更环保、高效的解决方案。我们的产品

和服务旨在帮助客户降低能源成本，提高效率。

敬请指教！