真空获得设备

www.kyky.com.cn

科技创造美好生活

Vacuum Generation

真空获得设备 VACUUM GENERATION

公司简介

01

COMPANY PROFILE

北京中科科仪股份有限公司成立于1958年，是中国科学院首家事业单位整体转改制企业。专注于电子光学和真

空技术领域，业务范围覆盖扫描电子显微镜、氦质谱检漏仪等科学仪器装备和分子泵、真空应用设备等核心零部件及

产业设备，是国家级企业技术中心及国家级制造业“单项冠军”示范企业。先后研制出我国第一台扫描电子显微镜、第

一台涡轮分子泵、第一台商用氦质谱检漏仪，第一台磁悬浮分子泵，第一台场发射枪扫描电子显微镜，打破了国外技

术垄断，填补了国内空白，提升了我国高端科学仪器装备与核心零部件国产化和自主化水平，为我国前沿科学研究、

重大工程和战略型新兴产业的发展提供了重要支撑。

Founded in 1958, KYKY Technology Co., Ltd. is the first enterprise of the Chinese Academy of Sciences that has

been transformed from a public institution. Focusing on the field of Electron optics and vacuum technology, its

business scope covers scientific instruments and equipment such as Scanning electron microscope and helium leak

detector, as well as core components and industrial equipment such as turbo molecular pump and vacuum equipment. KYKY is a national enterprise technology center and a national manufacturing \"single champion\" demonstration enterprise, developing the first Scanning electron microscope, the first turbo molecular pump, the first

commercial helium leak detector, the first magnetically levitated molecular pump and the first field emission Scanning electron microscope successively, breaking the foreign technological monopoly, filling the domestic gap,

improving the localization and independence level of China's high-end scientific instruments and equipment and

core parts, and contributing to China's cutting-edge scientific research and the development of Megaproject and

strategic emerging industries.

应用领域

APPLICATIONS

真空获得

Vacuum Generation

真空检漏

Vacuum Leak Detection

02 真空获得设

VACUUM GENERATIO

备

N

IC制造 IC manufacturing 异质结电池 Heterojunction Cell 锂电铜箔 Copper foil for Lithium Battery

光学镀膜 Optical Coating 装饰镀膜 Decorative Coating

高能物理 High-energy Physics 航空航天 Aerospace

平板显示 Panel Display LOW-E玻璃镀膜 Low-e Glass Coating

电子束焊接 E-beam welding 医疗设备 Medical Equipments

分析仪器 Analytical Instruments

能源制造 Energy Production 航天工业 Space Industry

动力电池 Battery 低温制冷 Cryogenic Refrigeration 电子元器件 Electronic Component

换热系统 Heat Transfer System 仪器仪表 Instrument & Apparatus 光电通讯 Optical Communication

电力电气 Electricals and Electrics

阀门工业 Valve Industry

真空设备 Vacuum System

汽车工业 Automotive Industry

真空获得业务 / Vacuum Generation

科技创造美好生活

真空获得

VACUUM GENER

设

ATIO

备

N 03

中科科仪在真空获得产品研发与制造方面具有多年经验，产品包括系列分子泵、系列分子泵机组、系列旋片泵、

系列插板阀、配套控制器等。自上世纪七十年代研制出我国第一台立式涡轮分子泵以来，中科科仪始终坚持以市场需

求为导向、以满足客户需求为目标，秉承创新求发展的企业精神，相继推出了系列油润滑、系列脂润滑和系列磁悬浮

分子泵等产品。广泛应用于分析仪器、航空航天、半导体制造、汽车工业、新能源、新材料、节能环保等前沿科学研

究和高端装备制造领域，凭借优异的产品性能赢得了广大用户的厚爱。

高品质的产品源于我们不断的技术创新和对质量的不懈追求。通过持续的研发与技术创新和对真空事业的坚守与

热爱，我们将坚持为客户提供更加优质的产品和服务。

KYKY TECHNOLOGY CO., LTD. has many years of experiences in R & D and manufacturing of vacuum generation

products, including series molecular pumps, series Turbo pumping station, series Rotary Vane pumps, series gate

valves and supporting controllers. Since developing the first vertical turbo molecular pump in 1970’s, KYKY always

orients to the demand-driven market, aims to meet the requirement of our customers, and continuously launches

new products in the enterprise spirit of developing on innovation, Sequentially KYKY launches Oil- lubricated series

turbo molecular pumps, grease-lubricated series molecular pumps and CXF-series magnetically levitated molecular

pumps. KYKY products are widely used in fields such as analytical instruments, aerospace, semiconductor manufacturing, automotive industry, new energy, new materials, energy conservation and environmental protection, as well

as forefront scientific research and high-end equipment manufacturing, and have won the favor of a large number

of users with their excellent performance.

High quality products are derived from our continuous technical breakthrough and pursuit of quality. KYKY will

persistently provide better products and quality services for customers by our continuous innovation, passion and

commitment.

04 目 录

CATALOGUE

真空获得设备 VACUUM GENERATION

轴承技术-脂润滑陶瓷轴承 05

轴承技术-磁悬浮轴承 06

系列油润滑分子泵 07

系列仪器分子泵 18

系列脂润滑分子泵 24

系列磁悬浮分子泵 31

系列分子泵控制器 38

分子泵机组 52

旋片式真空泵 58

Bearing Technology - Grease-Lubricated Ceramic Bearing

Bearing Technology - Magnetically Levitated Bearing

Series of Grease Lubricated Turbopumps

Series of Magnetically Leviatated Turbopumps

TMP Controller

Turbo Pumping Stations

Rotary Vane Pump

Series of Oil Lubricated Turbopumps

Series of Turbo Pumps for Instruments

Gate Valve

插板阀 61

真空获得设备 Vacuum Generation

Transmitter

变送器 96

Controller

真空控制器 99

高真空挡板阀 90

真空计 92

Vacuum Gauge

High Vacuum

Angle Valve

Vacuum Solutions

真空解决方案 100

挡板阀 85

Angle Valve

APC智能调压插板阀 81

Automatic Pressure Control Gate Valve

05

脂润滑陶瓷轴承： GREASE-LUBRICATED CERAMIC BEARING:

脂润滑陶瓷轴承一般采用自封闭的结构，由轴承内圈、轴承外圈、滚珠、保持架、密封端盖和润滑脂组成。其中的润

滑脂由润滑剂、粘稠剂和添加剂等混合而成，分子泵专用脂润滑陶瓷轴承内充填的润滑脂具有优良的高速润滑效果，且在

高速运转中几乎不会产生挥发，能够保持真空的高洁净度；陶瓷材料则具有优良的物理和化学性能，与金属球轴承相比，

更轻、表面更光滑、硬度更高，其运转速度更高、摩擦系数更小、发热量更低。应用脂润滑陶瓷轴承的轴系支撑结构具有

结构简单，免维护，功耗小等优点，可以实现分子泵产品的任意角度安装，正常使用条件下只需要每隔3~5年维护保养一

次。

The grease-lubricated ceramic bearing is usually of a self-sealed structure, consisting of a bearing inner ring, a bearing

outer ring, balls, holders, a sealing end cover and lubricating grease. The lubricating grease is formed by mixing

lubricant, thickener and additive. The lubricating grease filled in the grease-lubricated ceramic bearing special for

molecular pumps has excellent lubrication effect for high-speed ratation, and almost no volatilization occurs during

high-speed operation, thereby keeping a clear vacuum environment. Ceramic materials are characterized by excellent

physical and chemical properties, therefore, compared with metallic ball bearings, the ceramic materials have advantages

of lighter weight, smoother surfaces, higher hardness, faster rotating speed, smaller friction coefficient and lower heating

value. Shafting support structure applied to the grease-lubricated ceramic bearing has advantages of simple structure,

free maintenance and low power consumption, so that molecular pump products can be installed in any orientation, and

only need to be maintained once every 3-5 years in normal operating conditions.

可根据用户特定需求，量身定制专属解决方案

Customization upon requests

轴承技术-脂润滑陶瓷轴承

BEARING TECHNOLOGY - GREASE-LUBRICATED CERAMIC BEARING

真空获得设备 VACUUM GENERATION

上轴承

Uapper bearing

转子

Rotor blade

转子主轴

Rotor shaft

电机

Motor

下轴承

Lower bearing

06 轴承技术-磁悬浮轴承

BEARING TECHNOLOGY - MAGNETICALLY LEVITATED BEARING

磁悬浮轴承： MAGNETICALLY LEVITATED BEARING:

电磁轴承也被称为“主动式磁悬浮轴承”，由磁轴承、传感器和控制系统构成，在运转时不需要任何机械支撑，依靠磁

力悬浮于空中，因此也无需润滑。KYKY磁悬浮轴承为五自由度电磁轴承，利用国际先进控制理论，采用动态主动闭路磁浮

控制技术，动态反应迅速、调节及时，保证高速运转轴系悬浮稳定、运行可靠。KYKY磁悬浮轴承能够实时的监测分子泵涡

轮运转的位置并将其反馈给控制单元，通过算法能够实现涡轮转子的自动平衡补偿。KYKY应用磁悬浮轴承的分子泵产品突

出优点是无摩擦、低振动、无污染、免维护、任意角度安装。

The electromagnetic bearing is also called “active magnetic levitated bears”, consisting of a magnetic bearing, a sensor

and a control system. During operation, it can float in air by virtue of magnetic force without any mechanical support;

therefore, lubrication is not required. KYKY magnetically levitated bearing is an electromagnetic bearing with 5-axis

magnetically levitated Structure. This design hase dynamic response and timely adjustment by means of dynamic active

closed-circuit magnetic suspension control technology based on advanced international control theory, so as to

guarantee such significant advantages of the high-speed shafting as stable levitated and reliable operation. KYKY

magnetically levitated bearing can be applicable to monitoring the running position of turbo of the molecular pumps and

feed the running position back to the control unit, so that automatic balance compensation of the rotor can be realized

through an algorithm. KYKY molecular pumps provided with the magnetically levitated bearing are free of friction,

pollution and maintenance and with low vibration, and can be installed in any orientation.

真空获得设备 VACUUM GENERATION

转子

径向传感器

保护轴承

径向磁轴承

电机

Motor

径向传感器

径向磁轴承

轴向磁轴承

保护轴承

轴向传感器

Radial Sensor

Radial Sensor

Axial Magnetic

Bearing

Controller

Axial Sensor

Safety Nearing

Radial Magnetic Bearing

Radial Magnetic Bearing

Safety Nearing

Rotor

控制器

07

系列油润滑分子泵

SERIES OF OIL LUBRICATED TURBOPUMPS

真空获得设备 VACUUM GENERATION

可根据用户特定需求，量身定制专属解决方案

Customization upon requests

F-250/1600G F-400/3500B F-400/4500 FF-400/5000

F-100/150 FF-160/620 FF-200/1200 F-250/1500

08 系列油润滑分子泵主要应用在工业检漏、PVD、CVD、离子注入、真空电子元器件制造、Low-E玻璃、ITO玻璃、光

学镀膜、太阳能电池、电子束焊接、真空炉等行业。

The oil lubrication turbo pumps are mainly used in industrial leak detection, PVD, CVD, ion implantation, vacuum

electronic components manufacturing, low-E glass, ITO glass, optical coating, solar cells, electron beam welding,

vacuum furnace and other industries

应用范围广 APPLICATIONS

产品优势 ADVANTAGES

油润滑分子泵是KYKY自主开发的系列紧凑型高性能分子泵，抽速150L/s-5000L/s，具有结构紧凑、使用方便和安装

灵活，适用范围广，性能稳定。

The oil lubrication turbo pumps are products of compact and high-performance developed by KYKY. The pumping

speed of the oil lubrication turbo pumps range from 150L/s to 5000L/s。The advantages of the oil lubrication turbo

pumps are compact structure, convenient operation, flexible installation, wide application range and stable

performance.

油润滑涡轮分子泵介绍 INTRODUCTION OF OIL LUBRICATED TURBO PUMPS

适用于恶劣的使用环境（高温、粉尘等）

Good performance under harsh environmental(high temperature, dust, etc.).

维护保养简单，方便操作

Simple maintenance, convenient operation

性能稳定，使用寿命长

Stable performance and long service life

真空获得设备 VACUUM GENERATION

09

真空获得设备 VACUUM GENERATION

应用领域

APPLICATIONS

可根据用户特定需求，量身定制专属解决方案

Customization upon requests

电子显微镜 Electron microscopy

检漏 Leak detection

质谱 Mass spectrometry

表面分析 Surface analysis

等离子体监测 Plasma monitoring

残余气体分析 Residual gas analysis

光刻 Lithography

物理气相沉积 PVD (Physical Vapor Deposition)

化学气相沉积 CVD (Chemical Vapor Deposition)

离子刻蚀 Plasma etching

注入 - 源 Implantation – Source

注入 - 光束 Implantation – Beamline

检测 Inspection

封装 Bonding

分子束外延 MBE (Molecular Beam Epitaxy)

平板显示 Flat Panel Display (FPD)

LED / OLED

硬盘镀膜 Hard disk coating

光伏 Photovoltaics

玻璃镀膜 Glass coating (PVD)

CD / DVD / Blu-ray production (PVD)

光学镀膜 Optical coating (PVD)

硬质涂层 Wear protection (PVD, CVD)

卷绕镀膜 Web coating

装饰镀膜 Decoration Coating

医学技术 Medical technology

工业检漏 Industrial leak detection

电子束焊接 Electron beam welding

隔离真空 Isolation vacuums

灯管制造 Lamp and tube manufacturing

热处理 Heat treatment

真空干燥 Vacuum drying

真空炉 Vacuum furnaces

核研究 Nuclear research

聚变技术 Fusion technology

等离子研究 Plasma research

粒子加速器 Particle accelerators

模拟空间站 Space simulation

冷冻研究 Cryogenic research

基本粒子物理学 Elementary particle physics

纳米技术 Nanotechnology

生物技术 Biotechnology

真空锁，转运箱 Load-locks, transfer chambers, handling systems

应用领域 F-100/150 FF-160/620 FF-200/1200 F-250/1500 FF-250/1600G F-400/3500B F-400/4500 FF-400/5000

抽速曲线

PUMPING SPEED

F-400/3500B

F-250/1500

FF-250/1600G

FF-160/620

FF-200/1200

F-100/150

Ar He N2 H2

（Pa）

抽速（L/s）

压强（Pa）

10-5 10-3 10-1 10 0

0

100

200

300

400

500

600

Ar He N2 H2 700 抽速（L/s）

压强（Pa）

0

20

40

60

80

100

120

140

160

10-5 10-3 10-1 10 0

Ar He N2 H2

（Pa）

抽速（L/s）

压强（Pa）

0

200

400

600

800

1000

1200

1400

10-5 10-3 10-1 10 0

抽速（L/s）

Ar He N2 H2

压强（Pa）

0

200

400

600

800

1000

1200

1600

1400

10-5 10-3 10-1 10 0

10 真空获得设备 VACUUM GENERATION

抽速（L/s）

Ar He N2 H2

压强（Pa）

0

500

1000

1500

2000

2500

3000

3500

4000

10-5 10-3 10-1 10 0

0

200

400

600

800

1000

1200

1400

1600 抽速（L/s）

1800

压强（Pa）

10-5 10-3 10-1 10 0

Ar He N2 H2

11 真空获得设备 VACUUM GENERATION

抽速曲线

PUMPING SPEED

安装尺寸图

OUTLINE DIMENSIONS DRAWING( mm)

F-400/4500

抽速（L/s）

Ar He N2 H2

压强（Pa）

0

500

1000

1500

2000

2500

3000

3500

4000

4500

5000

10-5 10-3 10-1 100

FF-400/5000抽速（L/s）

压强（Pa）

F-100/150 FF-160/620F FF-160/620、FF-160/620C、FF-160/620N LF100

LF100

CF100

CF100

KF25

电源接口

风扇

水嘴 排气口

83 102

199 262

35 93

130.3

152 130

102

130

100

148

充气嘴仅针对耐腐蚀分子泵，620、620C没有KF16充气口

0

1000

2000

3000

4000

5000

6000

1E-5 1E-3 1E-1 1E+1

Ar He N2 H2

安装尺寸图

OUTLINE DIMENSIONS DRAWING( mm)

12 真空获得设备 VACUUM GENERATION

F-400/4500

FF-200/1200、FF-200/1200C、FF-200/1200G、FF-200/1200N F-250/1500、F-250/1500N

FF-250/1600G

CF250

284

252

305

264

LF250

261 305

475

CF250

CF250

290 305

465.5

CF250

284

252

305

264

LF250

FF-400/5000

F-400/3500B

480

16- 14通孔

水嘴

吹扫口

控制器接口

4-孔M10X20

泵腿

510

426

ISO-F

421.5

KF40

排气口

70117

223.5

13 真空获得设备 VACUUM GENERATION

技术指标

SPECIFICATIONS

可根据用户特定需求，量身定制专属解决方案

Customization upon requests

型号 Model 单位Unit

进气口法兰 Flange（In）

排气口法兰 Flange（Out）

抽速速率

Pumping Speed

压缩比

Compression Ratio

Pa

Pa

sccm

ISO-KF

RPM

L/min

℃

min

L/s

极限压强 Ultimated Pressure

最大连续前级压强

Max. Continuous Fore-vacuum pressure

额定转速 Rotation Speed

冷却水流量 Cooling Water Consumption

冷却水温度 Cooling Water Temperature

电源电压 Power Connection:Voltage

最大功率 Max.Power Consumption

适配电源型号Controller Model

建议前级泵 Backing Pump

启动时间 Run-Up Time

冷却方式

Cooling Type,Standard

最大前级压强 Max. Fore-vacuum Pressure

最大气载量

Gas Throughput

V AC

W

L/s

F-100/150 FF-160/620 FF-160/620C

DN25

DN100 ISO-K

DN100 CF

42300

≤25

≤3

≥1

水冷或风冷（环境

温度5-32℃时

可风冷）

N2：150

H2：50

He：100

Ar：130

N2：106

H2：5x102

He：102

Ar：106

200

N2：300

DC24/AC220

≤300

2

FD-110A

N2：300

H2：180

He：240

Ar：110

DN40

27000

≥1

≤25

≤7

水冷 Water

DN160 CF

DN160 ISO-K

N2：600

H2：240

He：380

Ar：580

N2：109

H2：6x103

He：104

Ar：109

240

N2：350

DC24/AC220

≤500

4～8

TCDP-II、FD-IIB、

TD-II/TCP-II

TCDP-II、FD-IIB、

TD-II/TCP-II

CF：6×10-7

ISO-K：6×10-6

CF：6×10-7

ISO-K：6×10-6

N2：1200

H2：700

He：880

Ar：450

DN40

36000

≥1

≤25

≤9

水冷 Water

DN160 CF

DN160 ISO-K

N2：600

H2：240

He：380

Ar：580

N2：109

H2：6x10 4

He：105

Ar：109

240

N2：350

DC24/AC220

≤500

4～8

重量 Weight kg 8 29（LF） 30.5（CF） 29（LF） 30.5（CF）

CF：6×10-8

ISO-K：6×10-7

N2：1200

H2：700

He：880

Ar：450

技术指标

SPECIFICATIONS

14 真空获得设备 VACUUM GENERATION

型号 Model 单位Unit

进气口法兰 Flange（In）

排气口法兰 Flange（Out）

抽速速率

Pumping Speed

压缩比

Compression Ratio

Pa

Pa

sccm

ISO-KF

RPM

L/min

℃

min

L/s

极限压强 Ultimated Pressure

最大连续前级压强

Max. Continuous Fore-vacuum pressure

额定转速 Rotation Speed

冷却水流量 Cooling Water Consumption

冷却水温度 Cooling Water Temperature

电源电压 Power Connection:Voltage

最大功率 Max.Power Consumption

适配电源型号Controller Model

建议前级泵 Backing Pump

启动时间 Run-Up Time

冷却方式

Cooling Type,Standard

最大前级压强 Max. Fore-vacuum Pressure

最大气载量

Gas Throughput

V AC

W

L/s

FF-160/620F FF-160/620N FF-200/1200

DN40

27000

≥1

≤25

≤7

水冷或风冷

Water or Air

DN160 CF

DN160 ISO-K

N2：600

H2：240

He：380

Ar：580

N2： 109

H2：6×103 H2：6×103 H2：6×103 He：104

Ar：109

240

N2：350

DC24/AC220

≤500

4～8

CF：6×10-7

ISO-K：6×10-6

N2：1200

H2：700

He：880

Ar：450

DN40

DN160 ISO-K

DN160 CF

27000

≤25

≤7

≥1

水冷 Water

N2：600

H2：240

He：380

Ar：580

N2：109

He：104

Ar：109

240

N2：350

220±22

≤500

CF：6×10-7

ISO-K：6×10-6

N2：1200

H2：700

He：880

Ar：450

4～8

DN40

24000

≥1

≤25

≤9

水冷 Water

DN200 CF

DN200 ISO-K

N2：1200

H2：480

He：750

Ar：1160

N2：109

He：104

Ar：109

400

N2：500

DC24/AC220

≤750

15

重量 Weight kg 29（LF）30.5（CF） 29（LF） 30.5（CF） 39(LF) 41(CF)

CF：6×10-7

ISO-K：6×10-6

N2：2300

H2：1350

He：1700

Ar：870

TCDP-II、FD-IIB、

TD-II/TCP-II

TCDP-II、FD-IIB、

TD-II/TCP-II

TCDP-II、FD-IIB、

TD-II/TCP-II

型号 Model 单位Unit

进气口法兰 Flange（In）

排气口法兰 Flange（Out）

抽速速率

Pumping Speed

压缩比

Compression Ratio

Pa

Pa

sccm

ISO-KF

RPM

L/min

℃

min

L/s

极限压强 Ultimated Pressure

最大连续前级压强

Max. Continuous Fore-vacuum pressure

额定转速 Rotation Speed

冷却水流量 Cooling Water Consumption

冷却水温度 Cooling Water Temperature

电源电压 Power Connection:Voltage

最大功率 Max.Power Consumption

适配电源型号Controller Model

建议前级泵 Backing Pump

启动时间 Run-Up Time

冷却方式

Cooling Type,Standard

最大前级压强 Max. Fore-vacuum Pressure

最大气载量

Gas Throughput

V AC

W

L/s

FF-200/1200C FF-200/1200G F-200/1200N

He：104

DN40

DN200 ISO-K

DN200 CF

24000

≤25

≤9≤

≥1

水冷 Water

N2：1200

H2：480

He：750

Ar：1160

N2：109

Ar：109

400

N2：500

220±22

≤750

CF：6×10-7

ISO-K：6×10-6

N2：2300

H2：1350

He：1700

Ar：870

15

15 真空获得设备 VACUUM GENERATION

可根据用户特定需求，量身定制专属解决方案

Customization upon requests

DN40

27000

≥1

≤25

≤9

水冷 Water

DN200 CF

DN200 ISO-K

N2：1200

H2：480

He：750

Ar：1160

N2：109

He：104

Ar：109

400

N2：500

DC24/AC220

≤750

15

CF：1×10-7

ISO-K：1×10-6

N2：2300

H2：1350

He：1700

Ar：870

DN40

27000

≥1

≤25

≤9

水冷 Water

DN200 CF

DN200 ISO-K

N2：900

H2：360

He：560

Ar：870

N2： 109

He：104

Ar：109

400

N2：500

DC24/AC220

≤750

15

重量 Weight kg 39(LF) 41(CF) 39(LF) 41(CF) 39(LF) 41(CF)

CF：6×10-7

ISO-K：6×10-6

N2：2300

H2：1350

He：1700

Ar：870

H2：6×103 H2：6×103 H2：6×103

TCDP-II、FD-IIB、

TD-II/TCP-II

TCDP-II、FD-IIB、

TD-II/TCP-II

TCDP-II、FD-IIB、

TD-II/TCP-II

16 真空获得设备 VACUUM GENERATION

技术指标

SPECIFICATIONS

型号 Model 单位Unit F-250/1500 F-250/1500N FF-250/1600G 进气口法兰 Flange（In）

排气口法兰 Flange（Out）

抽速速率

Pumping Speed

压缩比

Compression Ratio

Pa

Pa

sccm

ISO-KF

RPM

L/min

℃

min

L/s

极限压强 Ultimated Pressure

最大连续前级压强

Max. Continuous Fore-vacuum pressure

额定转速 Rotation Speed

冷却水流量 Cooling Water Consumption

冷却水温度 Cooling Water Temperature

电源电压 Power Connection:Voltage

最大功率 Max.Power Consumption

适配电源型号Controller Model

建议前级泵 Backing Pump

启动时间 Run-Up Time

冷却方式

Cooling Type,Standard

最大前级压强 Max. Fore-vacuum Pressure

最大气载量

Gas Throughput

V AC

W

L/s

DN50

21000

≥1

≤25

≤8

水冷 Water

DN250 CF

DN250 ISO-K

N2：1500

H2：550

He：1100

Ar：1350

N2：108

H2：5×103

He：104

Ar：108

300

N2：450

DC24/AC220

≤750

15

CF：6×10-7

ISO-K：6×10-6

N2：2400

H2：1400

He：1800

Ar：900

DN50

21000

≥1

≤25

≤9

水冷 Water

DN250 CF

DN250 ISO-K

N2：1500

H2：550

He：1100

Ar：1350

N2：108

H2：5×103

He：104

Ar：108

300

N2：450

DC24/AC220

≤750

15

CF：6×10-7

ISO-K：6×10-6

N2：2400

H2：1400

He：1800

Ar：900

DN50

24000

≥1

≤25

≤9

水冷 Water

DN250 CF

DN250 ISO-K

N2：1600

H2：1000

He：1550

Ar：640

N2： 108

H2：5×103

He：

Ar：

200

N2：650

DC24/AC220

≤750

15

重量 Weight kg 60(LF) 63(CF) 60（LF）63（CF） 47（LF） 50（CF）

CF：6×10-7

ISO-K：6×10-6

N2：2500

H2：1450

He：1850

Ar：950

TCDP-II、FD-IIB、

TD-II/TCP-II

TCDP-II、FD-IIB、

TD-II/TCP-II

TCDP-II、FD-IIB、

TD-II/TCP-II

17 真空获得设备 VACUUM GENERATION

可根据用户特定需求，量身定制专属解决方案

Customization upon requests

型号 Model 单位Unit F-400/3500B F-400/4500 FF-400/5000

进气口法兰 Flange（In）

排气口法兰 Flange（Out）

抽速速率

Pumping Speed

压缩比

Compression Ratio

Pa

Pa

sccm

ISO-KF

RPM

L/min

℃

min

L/s

极限压强 Ultimated Pressure

最大连续前级压强

Max. Continuous Fore-vacuum pressure

额定转速 Rotation Speed

冷却水流量 Cooling Water Consumption

冷却水温度 Cooling Water Temperature

电源电压 Power Connection:Voltage

最大功率 Max.Power Consumption

适配电源型号Controller Model

建议前级泵 Backing Pump

启动时间 Run-Up Time

冷却方式

Cooling Type,Standard

最大前级压强 Max. Fore-vacuum Pressure

最大气载量

Gas Throughput

V AC

W

L/s

DN100

13500

≥1

≤25

DC24/AC220

≤1100

30

重量 Weight kg 130

≤18

水冷 Water

N2：300

100

N2：3500

He：2750

H2：1300

Ar：3300

N2：5500

He：4000

H2：3200

Ar：2100

N2：108

He：103

H2：5x102

Ar：108

FD-III、TCDP-III

≤2x10-6

DN400 ISO-K

DN40

21000

≥1

≤25

DC24/AC220

≤1000

30

98

≤15

水冷 Water

N2：300

100

N2：5000

N2：5500

He：4000

H2：3200

Ar：2100

TCDP-Ⅳ

10-7

DN400 ISO-F

DN100 ISO-K

15300

≥1

≤25

DC24/AC220

≤1100

30

118

≤10

水冷 Water

N2：300

100

N2：4500

He：3200 He：3550

H2：2000 H2：2500

Ar：4200 Ar：4500

N2：5500

He：4000

H2：3200

Ar：2100

N2：5×107 N2：108

He：103 He：104

H2：5×102 H2：103

Ar：5×107 Ar：108

FD-III

≤2×10 -6

DN400 ISO-K

集成驱动器：分子泵可直接通过集成驱动器进行驱动和控制，便于仪器等设备系统集成，可以实现DC24V供电后分

子泵直接运行。

产品技术 TECHNOLOGY

系列仪器分子泵 INTRODUCTION OF PUMPS FOR INSTRUMENTS

FF-40/25 FF-63/80 FF-100/150 FF-100/300

18 真空获得设备 VACUUM GENERATION

系列仪器分子泵

SERIES OF TURBO PUMPS FOR INSTRUMENTS

Series molecular pumps for instruments developed by KYKY for the instrument industry are compact

high-performance types, with pumping speed of 22 L/s-300 L/s, and advantages of compact structure,

convenience for use and flexibility for installation. Practices show that serial molecular pumps for instruments can

perfectly meet the challenging requirements in instrument field; due to higher rotating speed and more optimal

extracting structure, the molecular pumps are compatible with multiple backing pumps, and have stronger

pumping capability for small molecular gases.

系列仪器分子泵是KYKY针对仪器行业开发的系列紧凑型高性能分子泵，抽速22L/s-300L/S，具有结构紧凑、使用

方便和安装灵活等优点。实践证明，系列仪器分子泵能够很好地满足仪器行业对分子泵的苛刻要求，转速更高、抽

气结构更优化，使得分子泵具有更高的真空性能，兼容多种前级泵，对小分子气体抽气能力更强。

高效驱动：系列仪器分子泵启动时间短，停机配刹车功能，分子泵快速起停能够给您的生产和科学实验带来巨大好

处。同时，分子泵转速控制精准，为分析仪器的使用提供保障。

卓越设计：系列仪器分子泵采用了全新模块化设计思路，抽气、驱动、控制、冷却等模块相互独立又有机统一，共同

造就了仪器分子泵卓越的性能和高可靠性，客户使用、维护的便利性也取得了革命性的突破。

Integrated driver: Molecular pumps can be directly driven and controlled via the integrated driver, which is

convenient to integrate into instrumental systems, thus the molecular pumps can be powered up by 24V DC

directly.

Efficient drive: Series molecular pumps for instruments can be started up within short time and shut down quickly

by braking functions, which can bring huge benefits to production and scientific experiments. In addition, rotating

speed of molecular pumps can be controlled accurately, which guarantees the good operation of analysis

instruments.

Excellent design: New ideas of module design are applied to serial molecular pumps for instruments, so that gas

extracting, driving, controlling and cooling modules are independent and also integrated, organically united, which

creates excellent performance and high reliability of the molecular pumps for instruments and easy operation and

convenient maintenance.

产品优势

更高前级耐压

Higher fore-pressure tolerance

任意角度安装

Any mounting position

转速可调

Adjustable rotating speed

丰富配件满足客户潜在需求

Wide varieties of accessories for potential demands

紧凑型结构设计，可以满足系统集成需求

Compact structure for system integration

模块化设计，客户可以有更多选择

Module design for more selections

系列仪器分子泵是质谱分析、表面分析和其它科学研究领域高真空获得设备的优秀选择。仪器分子泵可以提供耐腐蚀

版本，可以应用于有腐蚀性气体的环境中，比如镀膜和刻蚀等行业。

Series molecular pumps for instruments are suitable choices for high-vacuum generation equipment in fields of mass

spectrometry, surface analysis and other scientific researches. Corrosion resistant molecular pumps for instruments can

be applied to the processes which corrosive gases involved, such as in coating film and etching industries.

应用范围 APPLICATIONS

ADVANTAGES

19 真空获得设备 VACUUM GENERATION

可根据用户特定需求，量身定制专属解决方案

Customization upon requests

20 真空获得设备 VACUUM GENERATION

应用领域

APPLICATIONS

电子显微镜 Electron microscopy

检漏 Leak detection

质谱 Mass spectrometry

表面分析 Surface analysis

等离子体监测 Plasma monitoring

残余气体分析 Residual gas analysis

光刻 Lithography

物理气相沉积 PVD (Physical Vapor Deposition)

化学气相沉积 CVD (Chemical Vapor Deposition)

离子刻蚀 Plasma etching

注入 - 源 Implantation – Source

注入 - 光束 Implantation – Beamline

检测 Inspection

封装 Bonding

分子束外延 MBE (Molecular Beam Epitaxy)

平板显示 Flat Panel Display (FPD)

LED / OLED

硬盘镀膜 Hard disk coating

光伏 Photovoltaics

玻璃镀膜 Glass coating (PVD)

CD / DVD / Blu-ray production (PVD)

光学镀膜 Optical coating (PVD)

硬质涂层 Wear protection (PVD, CVD)

卷绕镀膜 Web coating

装饰镀膜 Decoration Coating

医学技术 Medical technology

工业检漏 Industrial leak detection

电子束焊接 Electron beam welding

隔离真空 Isolation vacuums

灯管制造 Lamp and tube manufacturing

热处理 Heat treatment

真空干燥 Vacuum drying

真空炉 Vacuum furnaces

核研究 Nuclear research

聚变技术 Fusion technology

等离子研究 Plasma research

粒子加速器 Particle accelerators

模拟空间站 Space simulation

冷冻研究 Cryogenic research

基本粒子物理学 Elementary particle physics

纳米技术 Nanotechnology

生物技术 Biotechnology

真空锁，转运箱 Load-locks, transfer chambers, handling systems

应用领域 FF-40/25 FF-63/80 FF-100/150 FF-100/300

21 真空获得设备 VACUUM GENERATION

FF-40/25

FF-100/150 FF-100/300

FF-63/80

抽速（L/s） Ar He N2 H2

压强（Pa）

0

10-5 10-3 10-1 100

10

20

30

40

50

60

70

80

90

100

抽速（L/s） Ar He N2 H2

压强（Pa）

0

30

60

90

120

150

180

10-5 10-3 10-1 10 0

抽速曲线

PUMPING SPEED

抽速（L/s） Ar He N2 H2

压强（Pa）

0

50

100

150

200

250

300

350

10-5 10-3 10-1 100

安装尺寸图

OUTLINE DIMENSIONS DRAWING(MM)

FF-40/25

FF-100/150 FF-100/300

FF-63/80

22 真空获得设备 VACUUM GENERATION

进气口

DN40 ISO-KF

14

186.5

13

控制器接口

控制器接口

排气口

排气口

DN16 ISO-KF

27.5

88

55

100

DN100 ISO-K DN100 ISO-CF

204 194.5 204.5 97

116.5

DN25 KF

149

83.5

31

89

（4-M4）

固定孔

130

135

152

DN63 ISO-K DN63 ISO-CF

186

102

93 113.5

DN16 KF 177.5 166 97

95.5

83.5

86 (4-M4)

固定孔21

67.5

DN100 ISO-K

130

DN25 KF 196.5 186.5 186.5 97

106 115

83.5

130 152

50

(4-M4)

固定孔

85

DN100 ISO-CF

23 真空获得设备 VACUUM GENERATION

可根据用户特定需求，量身定制专属解决方案

Customization upon requests

技术指标

SPECIFICATIONS

型号 Model 单位Unit FF-40/25 FF-63/80 FF-100/150 FF-100/300

进气口法兰 Flange（In）

排气口法兰 Flange（Out）

抽速速率

Pumping Speed

压缩比

Compression Ratio

DN40 ISO-KF

DN16

Pa

Pa

sccm

ISO-KF DN16 DN25 DN25

RPM 30000 72000 51000 51000

L/min 1 1 1

℃ ≤25 ≤25 ≤25

≤3 ≤3 ≤3 ≤3.5

风冷 Air 水冷或风冷

Water or Air

水冷或风冷

Water or Air

水冷或风冷

Water or Air

min

L/s

极限压强 Ultimated Pressure

最大连续前级压强

Max. Continuous Fore-vacuum pressure

额定转速 Rotation Speed

冷却水流量 Cooling Water Consumption

冷却水温度 Cooling Water Temperature

电源电压 Power Connection:Voltage

最大功率 Max.Power Consumption

适配电源型号Controller Model

建议前级泵 Backing Pump

启动时间 Run-Up Time

冷却方式

Cooling Type,Standard

最大前级压强 Max. Fore-vacuum Pressure

最大气载量

Gas Throughput

DN63 CF DN100 CF DN100 CF

DN63 ISO-K DN100 ISO-K DN100 ISO-K

N2：20 82 N2：140 296

H2：11 58 H2：75 200

He：18 87 He：130 250

Ar：25 44 Ar：145 305

N2：106 ：10 N 8 2 N2：107 N2：109

H2：102 H2：103 H2：105

He：6x102 He：6x103 He：6x10 He：103 5

H2：103

Ar：108 Ar：106 Ar：107 Ar：109

500 200 220 500

N2：1000 N2：650 N2：500 N2：700

V AC DC24/AC220 DC24/AC220 DC24/AC220 DC24/AC220

W 70 90 90 220

L/s 0.5～1 0.5～2 2 2

重量 Weight kg 3 4.8（ISO-K）

6.5（CF）

6.0（ISO-K）

8.6（CF）

8.5（ISO-K）

11（CF）

TD-25/TCP-100/ TC-100 TD-80/TCP-100/ TC-100 TD-150/TCP-100/ TC-100 TD-300/TCP-240/ TC-100

CF：8×10-7 CF：2×10-7 CF：2×10-7

ISO-K：7×10-6

ISO-K≤5×10-4

ISO-K：2×10-6 ISO-K：2×10-6

N2：23 N2：35 N2：135 N2：120

H2：12 H2：19 H2：52 H2：

He：18 He：30 He：80 He：50

Ar：28 Ar：38 Ar：143 Ar：

24 真空获得设备 VACUUM GENERATION

FF-200/1300 FF-200 1300F FF-250/2000

系列脂润滑分子泵

SERIES OF GREASE LUBRICATED TURBOPUMPS

FF-100/110 FF-160/700 FF-160/700F

系列脂润滑分子泵主要应用在半导体设备、太阳能电池、Low-E玻璃、ITO玻璃、加速器、等离子技术、制灯、真空

检漏等行业。

The grease lubrication turbo pumps are mainly used in solar cells, Low-E glass, ITO glass, accelerators, plasma technology,

lamp making, vacuum leak detection and other industries.

应用范围 APPLICATIONS

ADVANTAGES

25 真空获得设备 VACUUM GENERATION

脂润滑分子泵是KYKY自主开发的系列紧凑型高性能分子泵，抽速700L/s、1300L/s、2000L/s，结构紧凑、使用方

便、对系统污染小，适用范围广，性能稳定。

The grease lubrication turbo pumps are a series of high-performance molecular pumps independently

developed by KYKY. The pumping speed ranges from 700L/s to 2000L/s. The characteristics of the grease

lubrication turbo pump are Compact structure, easy to use, less contamination to system, wide range of

application and stable performance.

脂润滑涡轮分子泵介绍 INTRODUCTION OF GREASE LUBRICATED TURBO PUMPS

产品优势

可根据用户特定需求，量身定制专属解决方案

Customization upon requests

更高前级耐压和紧凑型的结构设计，可以满足系统集成的需求

Compact structural design to meet system integration needs

任意角度安装

Installation at any angle

电子显微镜 Electron microscopy

检漏 Leak detection

质谱 Mass spectrometry

表面分析 Surface analysis

等离子体监测 Plasma monitoring

残余气体分析 Residual gas analysis

光刻 Lithography

物理气相沉积 PVD (Physical Vapor Deposition)

化学气相沉积 CVD (Chemical Vapor Deposition)

离子刻蚀 Plasma etching

注入 - 源 Implantation – Source

注入 - 光束 Implantation – Beamline

检测 Inspection

封装 Bonding

分子束外延 MBE (Molecular Beam Epitaxy)

平板显示 Flat Panel Display (FPD)

LED / OLED

硬盘镀膜 Hard disk coating

光伏 Photovoltaics

玻璃镀膜 Glass coating (PVD)

CD / DVD / Blu-ray production (PVD)

光学镀膜 Optical coating (PVD)

硬质涂层 Wear protection (PVD, CVD)

卷绕镀膜 Web coating

装饰镀膜 Decoration Coating

医学技术 Medical technology

工业检漏 Industrial leak detection

电子束焊接 Electron beam welding

隔离真空 Isolation vacuums

灯管制造 Lamp and tube manufacturing

热处理 Heat treatment

真空干燥 Vacuum drying

真空炉 Vacuum furnaces

核研究 Nuclear research

聚变技术 Fusion technology

等离子研究 Plasma research

粒子加速器 Particle accelerators

模拟空间站 Space simulation

冷冻研究 Cryogenic research

基本粒子物理学 Elementary particle physics

纳米技术 Nanotechnology

生物技术 Biotechnology

真空锁，转运箱 Load-locks, transfer chambers, handling systems

应用领域 FF-100/110 FF-160/700 FF-200/1300 FF-250/2000

26 真空获得设备 VACUUM GENERATION

应用领域

APPLICATIONS

抽速曲线

PUMPING SPEED

FF-200/1300 FF-250/2000

FF-100/110 FF-160/700抽速（L/s）

Ar He N2 H2

压强（Pa）

0

1000

500

1500

2000

2500

10-5 10-3 10-1 10 0

抽速（L/s）

Ar He N2 H2

压强（Pa）

0

400

200

600

800

1000

1200

1400

10-5 10-3 10-1 10 0

抽速（L/s）

Ar He N2 H2

压强（Pa）

0

200

100

300

400

500

600

700

800

10-5 10-3 10-1 10 0 10-5 10-3 10-1 10 0

抽速（L/s）

Ar He N2 H2

压强（Pa）

0

20

40

60

80

100

120

27 真空获得设备 VACUUM GENERATION

安装尺寸图

OUTLINE DIMENSIONS DRAWING(MM)

152 130

CF100

CF100

风扇

水嘴 KF25排气口

控制器接口

LF100

LF100

28 真空获得设备 VACUUM GENERATION

FF-100/110

FF-160/700F

FF-200/1300F

FF-200/1300、FF-200/1300A、FF-200/1300N

FF-250/2000、FF-250/2000A、FF-250/2000N

FF-160/700、FF-160/700A、FF-160/700N

充气嘴仅针对FF-160/700A和FF-160/700N分子泵，FF-160/700分子泵

没有KF16充气口

充气嘴仅针对FF-200/1300A和FF-200/1300N分子泵，FF-200/1300

分子泵没有KF16充气口

充气嘴仅针对FF-250/2000A和FF-250/2000N分子泵，FF-250/2000

分子泵没有KF16充气口

29 真空获得设备 VACUUM GENERATION

可根据用户特定需求，量身定制专属解决方案

Customization upon requests

技术指标

SPECIFICATIONS

型号 Model 单位Unit FF-160/700N

FF-160/700A FF-100/110 FF-160/700 FF-160/700F

进气口法兰 Flange（In）

排气口法兰 Flange（Out）

抽速速率

Pumping Speed

压缩比

Compression Ratio

DN25

DN100 ISO-K

DN100 CF

Pa

Pa

sccm

ISO-KF DN40 DN40 DN40

RPM 42300 36000 36000 36000

L/min ≥1 ≥1 ≥1

℃ ≤25 ≤25 ≤25 ≤25

≤3

≥1

≤7 ≤7 ≤7

水冷或风冷（环境

温度5-32℃时

可风冷）

水冷 Water 水冷或风冷

Water or Air 水冷 Water

min

L/s

极限压强 Ultimated Pressure

最大连续前级压强

Max. Continuous Fore-vacuum pressure

额定转速 Rotation Speed

冷却水流量 Cooling Water Consumption

冷却水温度 Cooling Water Temperature

电源电压 Power Connection:Voltage

最大功率 Max.Power Consumption

适配电源型号Controller Model

建议前级泵 Backing Pump

启动时间 Run-Up Time

冷却方式

Cooling Type,Standard

最大前级压强 Max. Fore-vacuum Pressure

最大气载量

Gas Throughput

DN160 CF DN160 CF DN160 CF

DN160 ISO-K DN160 ISO-K DN160 ISO-K

N2：110 N2：700 N2：700 N2：700

H2：50 H2：260 H2：260 H2：260

He：100 He：580 He：580 He：580

Ar：100 Ar：680 Ar：680 Ar：680

N2：108 N2：109 N2：109 N2： 109

H2：5x102 H2：6x106 H2：6x106 H2：6x106

He：102 He：107 He：107 He：107

Ar：108

CF：6×10-7

ISO-K：6×10-6

Ar：109 Ar：109 Ar：109

200 300 300 300

N2：300 N2：550 N2：550 N2：550

V AC 220±22 DC24/AC220 DC24/AC220 220±22

W ≤300 ≤500 ≤500 ≤500

L/s 2 4～8 4～8 4～8

重量 Weight kg 8 19（LF） 20.5（CF） 23（LF）24.5（CF） 19（LF）20.5（CF）

FD-110B TCDP-II、FD-IIB、

TD-II/TCP-II

TCDP-II、FD-IIB、

TD-II/TCP-II

TCDP-II、FD-IIB、

TD-II/TCP-II

CF：6×10-8 CF：6×10-8 CF：6×10-8

ISO-K：6×10-7 ISO-K：6×10-7 ISO-K：6×10-7

N2：300 N2：1400 N2：1400 N2：1400

H2：180 H2：800 H2：800 H2：800

He：240 He：1000 He：1000 He：1000

Ar：110 Ar：550 Ar：550 Ar：550

30 真空获得设备 VACUUM GENERATION

技术指标

SPECIFICATIONS

型号 Model 单位Unit FF-250/2000

FF-250/2000A/N FF-200/1300FF-200/1300F

进气口法兰 Flange（In）

排气口法兰 Flange（Out）

抽速速率

Pumping Speed

压缩比

Compression Ratio

Pa

Pa

sccm

ISO-KF DN40 DN40 DN50

RPM 24000 24000 24000

L/min ≥1 ≥1 ≥1

℃ ≤25 ≤25 ≤25

≤9 ≤9 ≤9

水冷 Water 水冷 Water

min

L/s

极限压强 Ultimated Pressure

最大连续前级压强

Max. Continuous Fore-vacuum pressure

额定转速 Rotation Speed

冷却水流量 Cooling Water Consumption

冷却水温度 Cooling Water Temperature

电源电压 Power Connection:Voltage

最大功率 Max.Power Consumption

适配电源型号Controller Model

建议前级泵 Backing Pump

启动时间 Run-Up Time

冷却方式

Cooling Type,Standard

最大前级压强 Max. Fore-vacuum Pressure

最大气载量

Gas Throughput

DN200 CF DN200 CF DN250 CF

DN200 ISO-K DN200 ISO-K DN250 ISO-K

N2：1300 N2：1300 N2：2000

H2：480 H2：480 H2：740

He：1000 He：1000 He：1600

Ar：1250 Ar：1250 Ar：1900

N2：10 N 9 2：109 N2： 108

H2：6x103 H2：6x103 H2：6x103 H2：6x103

He：10 He：104 4 He：104

Ar：10 Ar：109 9 Ar：109

240 240 200

N2：600 N2：600 N2：650

V AC DC24/AC220 DC24/AC220 DC24/AC220

W ≤500 ≤500 ≤750

L/s 15 15 15

CF：6×10 CF：6×10-7 -7 CF：6×10-7

ISO-K：6×10-6 ISO-K：6×10-6 ISO-K：6×10-6

N2：2500 N2：2500 N2：3200

H2：1450 H2：1450 H2：1850

He：1850 He：1850 He：2400

Ar：950 Ar：950

FF-200/1300N

FF-200/1300A

DN40

24000

≥1

≤25

≤9

水冷 Water

DN200 CF

DN200 ISO-K

N2：1300

H2：480

He：1000

Ar：1250

N2：109

He：104

Ar：109

240

N2：600

DC24/AC220

≤500

15

重量 Weight kg 29(LF) 31(CF) 33(LF) 35(CF) 29(LF) 31(CF) 32(LF) 35(CF)

CF：6×10-7

ISO-K：6×10-6

N2：2500

H2：1450

He：1850

Ar：950 Ar：1200

水冷或风冷

Water or Air

TCDP-II、FD-IIB、

TD-II/TCP-II

TCDP-II、FD-IIB、

TD-II/TCP-II

TCDP-II、FD-IIB、

TD-II/TCP-II

TCDP-II、FD-IIB、

TD-II/TCP-II

31 真空获得设备 VACUUM GENERATION

可根据用户特定需求，量身定制专属解决方案

Customization upon requests

系列磁悬浮分子泵

SERIES OF MAGNETICALLY LEVIATATED TURBOPUMPS

CXF-200/1401CS CXF-200/1401CV CXF-250/2301CV CXF-320/3001CV

CXF-200/1401 CXF-250/2301 CXF-320/3001

磁悬浮分子泵介绍 INTRODUCTION OF MAGNETICALLY LEVITATED TURBO PUMPS

系列磁悬浮分子泵是KYKY为满足半导体刻蚀、离子注入、薄膜沉积、太阳能光伏、锂电复合集流体、真空镀膜、科

学研究等领域开发的真空获得设备，抽速为300l/s-3000l/s，应用压力范围为20Pa到10-7Pa，包含ISO-K、ISO-F、

ISO-CF三种气体入口连接形式，并有耐腐蚀、防沉积、分体等型号可供选择。

The series of magnetically levitated molecular pumps developed by KYKY are vacuum acquisition equipment,

designed to meet the needs of various fields such as semiconductor etching, ion implantation, thin film deposition,

solar photovoltaics, lithium battery composite current collection, vacuum coating, and scientific research. These

pumps have pumping speeds ranging from 300l/s to 3000l/s, within a pressure range of 20Pa to 10-7Pa. available

with ISO-K, ISO-F, and ISO-CF inlet connections. Additionally, available for anti-corrosion, anti-deposition, and

detachable type.

32 真空获得设备 VACUUM GENERATION

产品技术 TECHNOLOGY

电机驱动控制技术：系列磁悬浮分子泵全部采用高效高速直流电机和伺服控制系统，使得电机能量转化最大化、轴系

转速自动补偿，实现启动平稳、运转可靠、动态能量自动调节功能。

Motor Drive Control Technology: High-efficiency high-speed DC motor and servo control system are applied to

series magnetically levitated pumps, so to have maximum energy of the motor and to compensate the rotating

speed of shafting automatically, thereby realizing stable start-up, reliable operation and automatic regulating

function of dynamic energy.

碳纤维复合转子技术：系列磁悬浮分子泵涡轮转子采用高强度铝合金和轻质碳纤维复合而成，相对于全部铝合金转子

而言，转子重量大大降低，强度大大提高，实现高转速、高性能、高可靠性目标。

Carbon fiber composite rotor technology: The turbo rotors of serial magnetic suspension molecular pumps are

made by compounding high-strength aluminum alloy and light-weight carbon fiber. In comparison with all

aluminum alloy rotors, the turbo rotors are characterized of great reduction of weight and great improvement of

strength, so that targets of high rotating speed, high performance and high reliability are achieved.

抗腐蚀技术：系列磁悬浮分子泵采用泵腔内零部件表面进行特殊工艺处理，使零件表面能够耐受半导体制备等领域腐

蚀性气体长期腐蚀，同时在泵轴系部分充入惰性气体，如N2等，对泵内低真空部分进行保护，实现稳定长期抽除腐

蚀性气体功能。

Corrosion resisting technology: Surfaces of parts in chambers of serial magnetic suspension molecular pumps are

treated with special process, so that the surfaces can resist corrosion caused by corrosive gases in semiconductor

manufacturing processes for a long time. In addition, such inert gases as N2 are fully filled in shafting of the pumps

to protect the low vacuum parts in the pumps, so that function of stably exhausting corrosive gases for long periods

is realized.

加热温控体系：系列磁悬浮分子泵采用配置电加热装置和温度控制装置，实现运行过程对冷却水、气载发热、电加

热、保护气体携带热量等动态监察与控制，能够使泵内长期恒定于某一特定温度，避免某些气态物质在常温下变成固

态，沉积泵内，满足刻蚀等行业特殊工艺需求。

Heating temperature control system: Series magnetically levitated molecular pumps are equipped with an electric

heater and a temperature controller, so that cooling water, air-bone heating, electric heating and heat carried by

protective gases can be monitored and controlled during operation, temperature in the pumps can be maintained

at some value for long term, some gaseous substances are not converted into solid substances at normal

temperature and not deposited in the pumps, and requirements for special process such of etching can be met.

磁轴承控制技术：为五自由度电磁轴承，利用国际先进控制理论，采用动态主动闭路磁浮控制技术，实现动态反应迅

速、调节及时，保证高速运转轴系具有悬浮稳定、运转可靠等显著优点。

Control Technology for Magnetic Bearing: The adopted electromagnetic is a 5-axis magnetically levitated. This

design can have dynamic response and timely adjustment by means of dynamic active closed-circuit magnetic

suspension control technology based on advanced international control theory, so as to guarantee such significant

advantages of the high-speed shafting as stable levitated and reliable operation.

33 真空获得设备 VACUUM GENERATION

系列磁悬浮分子泵主要应用于半导体材料制备、芯片制造、工业镀膜、科研设备等领域，尤其适用于刻蚀、CVD、

PVD、离子注入等存在腐蚀性气体和常温易凝结气体的抽除。

Series magnetically levitated molecular pumps are mainly applied to fields of semiconductor manufacturing, clip

manufacturing, industrial plating and scientific instruments, especially to extraction of corrosive gases existing in etch, CVD,

PVD and ion implantation and gases easily coagulated at normal temperature.

应用范围 APPLICATIONS

整泵无需润滑，可以获得真正洁净高真空、超高真空

Easy to acquire really clean high vacuum and ultrahigh vacuum without lubrication for pumps

可以长期抽除腐蚀性气体

Capable of extracting corrosive gases for long term

对于常温下为固态，工艺过程为气态物质具有良好的抽除作用，并能够长期安全运行

Excellent extraction capability on substances which is a solid at normal temperature and a gas during process,

with long-term safe operation

任意角度安装

Any mounting position

运转无摩擦，功耗低

Zero friction during operation, and low power consumption

产品优势 ADVANTAGES

采用精密保护轴承，安全性高、使用寿命长

High safety and long service life due to protection of bearings with precision ceramic balls

具有发电功能，不怕突然断电

power generating function in case of sudden power-off

满足定制化需求

Available for customization.

控制器具有丰富的外控和通信接口，可提供多样化的集中控制方式

A variety of integrated control modes provided due to multiple interfaces for external control and communication

of controller.

可根据用户特定需求，量身定制专属解决方案

Customization upon requests

电子显微镜 Electron microscopy

检漏 Leak detection

质谱 Mass spectrometry

表面分析 Surface analysis

等离子体监测 Plasma monitoring

残余气体分析 Residual gas analysis

光刻 Lithography

物理气相沉积 PVD (Physical Vapor Deposition)

化学气相沉积 CVD (Chemical Vapor Deposition)

离子刻蚀 Plasma etching

注入 - 源 Implantation – Source

注入 - 光束 Implantation – Beamline

检测 Inspection

封装 Bonding

分子束外延 MBE (Molecular Beam Epitaxy)

平板显示 Flat Panel Display (FPD)

LED / OLED

硬盘镀膜 Hard disk coating

光伏 Photovoltaics

玻璃镀膜 Glass coating (PVD)

CD / DVD / Blu-ray production (PVD)

光学镀膜 Optical coating (PVD)

硬质涂层 Wear protection (PVD, CVD)

卷绕镀膜 Web coating

装饰镀膜 Decoration Coating

医学技术 Medical technology

工业检漏 Industrial leak detection

电子束焊接 Electron beam welding

隔离真空 Isolation vacuums

灯管制造 Lamp and tube manufacturing

热处理 Heat treatment

真空干燥 Vacuum drying

真空炉 Vacuum furnaces

核研究 Nuclear research

聚变技术 Fusion technology

等离子研究 Plasma research

粒子加速器 Particle accelerators

模拟空间站 Space simulation

冷冻研究 Cryogenic research

基本粒子物理学 Elementary particle physics

纳米技术 Nanotechnology

生物技术 Biotechnology

真空锁，转运箱 Load-locks, transfer chambers, handling systems

应用领域

CXF-200/1401、1402

CXF-250/2301、2302

CXF-320/3001、3002

CXF-200/1401CV、1402CV

CXF-250/2301CV、2302CV

CXF-320/3001CV、3002CV

CXF-200/1401CS、1402CS

CXF-250/2301CS、2302CS

CXF-320/3001CS、3002CS

34 真空获得设备 VACUUM GENERATION

应用领域

APPLICATIONS

抽速曲线

PUMPING SPEED

CXF-200/1401、CXF-200/1401CS

CXF-250/2301、CXF-250/2301CS

CXF-320/3001、XF-320/3001CS

CXF-200/1402、CXF-200/1402CS

CXF-250/2302、CXF-250/2302CS

CXF-320/3002、CXF-320/3002CS

抽速（L/s）

压强（Pa）

35 真空获得设备 VACUUM GENERATION

10-5 10-3 10-1 10 0

200

400

600

800

1000

1200

1400

0

Ar He N2 H2

抽速（L/s）

压强（Pa）

10-5 10-3 10-1 10 0

200

400

600

800

1000

1200

1400

1600

0

Ar He N2 H2

抽速（L/s）

压强（Pa）

抽速（L/s）

压强（Pa）

0

500

1500

1000

2000

2500

10-5 10-3 10-1 10 0

Ar He N2 H2 Ar He N2 H2

0

500

1500

1000

2000 抽速（L/s）

2500

压强（Pa）

10-5 10-3 10-1 10 0

0

1000

500

2000

2500

1500

3000

3500

10-5 10-3 10-1 10 0

Ar He N2 H2 Ar He N2 H2

1000

500

0

2000

2500

1500

3000

3500

10-5 10-3 10-1 10 0

抽速（L/s）

压强（Pa）

安装尺寸图

OUTLINE DIMENSIONS DRAWING(MM)

36 真空获得设备 VACUUM GENERATION

CXF-200/1401、CXF-200/1402、CXF-200/1401CV

CXF-320/3001、CXF-320/3002、XF-320/3001CV

CXF-250/2301、CXF-250/2302、CXF-250/2301CV

37 真空获得设备 VACUUM GENERATION

技术指标

SPECIFICATIONS

可根据用户特定需求，量身定制专属解决方案

Customization upon requests

※ DN320 ISO-F（泵口设有密封槽，含密封胶圈1个，无需中心支架） DN320 ISO-F ( O-ring sealed flange with seal groove, no center bracket required. )

型号 Model 单位Unit CXF-200/1401 CXF-200/1402 CXF-250/2301

进气口法兰 Flange（In）

排气口法兰 Flange（Out）

抽速速率

Pumping Speed

压缩比

Compression Ratio

DN200 ISO F

（标配Standard）

DN200 ICF

（可选Optional）

DN200 ICF

（可选Optional）

DN250 ICF

（可选Optional）

DN200 ISO F

（标配Standard）

DN250 ISO F

（标配Standard）

DN200 LF

（可定制Customized）

DN200 LF

（可定制Customized）

DN250 LF

（可定制 Customized）

10-7 (橡胶密封Rubber seal) 10-7 (橡胶密封Rubber seal) 10-7 (橡胶密封Rubber seal)

10-8 (金属密封metal seal) 10-8 (金属密封metal seal) 10-8 (金属密封metal seal)

ISO-KF KF40

极限压强

Ultimated Pressure Pa

sccm最大瞬时入口流量

Max. Instantaneous Inlet flow

L/s

KF40 KF40

额定转速 Rotation Speed RPM 30000 33000 27000

冷却方式 Cooling Type,Standard 水冷 Water 水冷 Water 水冷 Water

冷却水流量

Cooling Water Consumption l/min 2 2 3

冷却水温度

Cooling Water Temperature

220±10％，50Hz

110±10％，60Hz

220±10％，50Hz

110±10％，60Hz

220±10％，50Hz

110±10％，60Hz

℃

电源电压

Power Supply :Voltage V AC

适配电源型号Controller Model CXFD-1001 CXFD-1001 CXFD-1601

启动时间 Run-Up Time min ≤6

min

≤7 ≤8

停机时间 Run Down time ≤8 ≤9 ≤11

保护气入口法兰（选配）

Purge Port Flange( optional) KF10 KF10 KF10

1100 1200 1300

N2：1280 N2：1400 N2：2150

Ar：1100 Ar：1300 Ar：1900

He：880 He：1100 He：1500

H2：560 H2：820 H2：850

最大允许磁场强度

Magnetic Field，Max mT

径向 Radial：3 径向 Radial：3 径向 Radial：3

轴向 Axial：15 轴向 Axial：15 轴向 Axial：15

N2：＞108 N2：＞108 N2：＞ 108

Ar：＞108 Ar：＞108 Ar：＞108

He：＞104 He：＞104 He：＞104

H2：＞103 H2：＞103 H2：＞103

sccm 20 20 50

——

CXF-250/2302 CXF-320/3001 CXF-320/3002

KF40 KF40 KF40

30000 21000 24000

水冷 Water 水冷 Water 水冷 Water

20±5 20±5 20±5 20±5 20±5 20±5

3 3 3

CXFD-1601 CXFD-1601 CXFD-1601

建议前级泵Backing Pump ≥16 ≥16 ≥22 ≥22 ≥30 ≥30

重量 Weight kg 51 51 60 60 76 76

≤9 ≤9 ≤10

≤12 ≤12 ≤14

KF10 KF10 KF10

1500 2100 2400

N2：2360 N2：2950 N2：3260

Ar：2260 Ar：2750 Ar：2900

He：1980 He：2300 He：2550

H2：1250 H2：1100 H2：1730

径向 Radial：3 径向 Radial：3 径向 Radial：3

轴向 Axial：15 轴向 Axial：15 轴向 Axial：15

N2：＞108 N2：＞108 N2：＞108

Ar：＞108 Ar：＞108 Ar：＞108

He：＞104 He：＞104 He：＞104

H2：＞103 H2：＞103 H2：＞103

50 50 50 推荐保护气体流量

Protective Gas Flow

DN250 ICF

（可选Optional）

DN250 ISO F

（标配Standard）

DN250 LF

（可定制 Customized）

DN320 ISO F

（标配 standard）

DN320 ISO F

（标配Standard）

——

——

——

—— ——

10-7 (橡胶密封Rubber seal) 10-7 (橡胶密封Rubber seal) 10-7 (橡胶密封Rubber seal)

10-8 (金属密封metal seal)

220±10％，50Hz

110±10％，60Hz

220±10％，50Hz

110±10％，60Hz

220±10％，50Hz

110±10％，60Hz

38 真空获得设备 VACUUM GENERATION

技术指标

SPECIFICATIONS

型号 Model 单位Unit CXF-200/1401CV CXF-250/2301CV CXF-320/3001CV

进气口法兰 Flange（In）

加热温度

排气口法兰 Flange（Out）

抽速速率

Pumping Speed

压缩比

Compression Ratio

ISO-KF

极限压强

Ultimated Pressure Pa

sccm最大瞬时入口流量

Max. Instantaneous Inlet flow

L/s

额定转速 Rotation Speed RPM

冷却方式 Cooling Type,Standard

冷却水流量

Cooling Water Consumption l/min

冷却水温度

Cooling Water Temperature ℃

电源电压

Power Supply :Voltage V AC

适配电源型号Controller Model

启动时间 Run-Up Time min

停机时间 Run Down time min

保护气入口法兰（选配）

Purge Port Flange( optional)

最大允许磁场强度

Magnetic Field，Max mT

sccm

建议前级泵Backing Pump

DN200 ISO-F

DN200 CF

ISO-F:10-7

DN40

60至70℃

30000

水冷 Water

2

CXFD-1000H

≤6

≤8

KF10

1100

N2：1400

Ar：1360

He：880

H2：560

径向 Radial：3

轴向 Axial：15

N2：108

Ar：108

He：104

H2：103

20

20±5

16

DN250 ISO-F

DN250 CF

ISO-F:10-7

DN40

60至70℃

27000

水冷 Water

3

CXFD-1600H

≤8

≤11

KF10

1300

N2：2300

Ar：2250

He：1900

H2：850

径向 Radial：3

轴向 Axial：15

N2：107

Ar：107

He：104

H2：103

50

20±5

22

DN320 ISO-F

ISO-F:10-7

DN40

60至70℃

21000

水冷 Water

2

CXFD-1600H

最大功率Max power 1000 1500 1500 ≤9

≤12

KF10

2100

N2：3000

Ar：2750

He：2300

H2：1100

径向 Radial：3

轴向 Axial：15

N2：108

Ar：108

He：104

H2：103

50

20±5

30

重量 Weight kg 51(ISO-F) 60(ISO-F) 76

推荐保护气体流量

Protective Gas Flow

220±10％，50Hz

110±10％，60Hz

220±10％，50Hz

110±10％，60Hz

220±10％，50Hz

110±10％，60Hz

39 真空获得设备 VACUUM GENERATION

技术指标

SPECIFICATIONS

可根据用户特定需求，量身定制专属解决方案

Customization upon requests

最大功率 1000 1500 1500

型号 Model 单位Unit CXF-200/1401CS CXF-250/2301CS CXF-320/3001CS

进气口法兰 Flange（In）

加热温度

排气口法兰 Flange（Out）

抽速速率

Pumping Speed

压缩比

Compression Ratio

ISO-KF

极限压强

Ultimated Pressure Pa

sccm最大瞬时入口流量

Max. Instantaneous Inlet flow

L/s

额定转速 Rotation Speed RPM

冷却方式 Cooling Type,Standard

冷却水流量

Cooling Water Consumption l/min

冷却水温度

Cooling Water Temperature ℃

电源电压

Power Supply :Voltage V AC

适配电源型号Controller Model

启动时间 Run-Up Time min

停机时间 Run Down time min

保护气入口法兰（选配）

Purge Port Flange( optional)

最大允许磁场强度

Magnetic Field，Max mT

sccm

建议前级泵Backing Pump

重量 Weight

DN200 ISO-F

DN200 CF

ISO-F:10-7

DN40

—— —— ——

30000

水冷 Water

2

CXFD-1000H

≤6

≤8

KF10

1100

N2：1400

Ar：1360

He：880

H2：560

径向 Radial：3

轴向 Axial：15

N2：108

Ar：108

He：104

H2：103

20

20±5

16

51(ISO-F)

DN250 ISO-F

DN250 CF

ISO-F:10-7

DN40

27000

水冷 Water

3

CXFD-1600H

≤8

≤11

KF10

1300

N2：2300

Ar：2250

He：1900

H2：850

径向 Radial：3

轴向 Axial：15

N2：107

Ar：107

He：104

H2：103

50

20±5

22

60(ISO-F)

DN320 ISO-F

ISO-F:10-7

DN40

21000

水冷 Water

2

CXFD-1600H

≤9

≤12

KF10

2100

N2：3000

Ar：2750

He：2300

H2：1100

径向 Radial：3

轴向 Axial：15

N2：108

Ar：108

He：104

H2：103

50

20±5

30

kg 76

推荐保护气体流量

Protective Gas Flow

220±10％，50Hz

110±10％，60Hz

220±10％，50Hz

110±10％，60Hz

220±10％，50Hz

110±10％，60Hz

40 真空获得设备 VACUUM GENERATION

系列分子泵控制器

TMP CONTROLLER

TCDP-II TCDP-III TCDP-IV

TD-25、25J、150J、80、150、300 TD-II TCP-II

TC-100 TCP-100 TCP-240

41 真空获得设备 VACUUM GENERATION

TC-100 TCP-100 TCP-240

TD-II TCP-II

TCDP-IV

TD-25、25J、150J、80、150、300

安装尺寸图

OUTLINE DIMENSIONS DRAWING( mm)

49

82

145

150

118

105

95

145

109

82

150

118

105

95

145

264

82

150

118

105

95

83.500

40

97

40

83.5

97

55

430

480

94.576

316

465

88

88

226

245

160

80

213

88

317

430

480

76

465

TCDP-II TCDP-III

型号 Model TCP-100 TCP-240 TC-100

输入电压 Input voltage V 110VAC±10％/

220VAC±10％

110VAC±10％/

220VAC±10％ 24VDC±5%

FF-40/25、FF-40/25J、

FF-63/80、FF-100/150、

FF-100/150J

FF-40/25、FF-40/25J、

FF-63/80、FF-100/150、

FF-100/150J、FF-100/300

FF-40/25、FF-40/25J、

FF-63/80、FF-100/150、

FF-100/150J、FF-100/300

最大输出功率 Power W 100 240

输出电压 Output power VDC 24VDC±5% 24VDC±5%

显示方式 Display LCD LCD LCD

使用环境温度Working Environment temp ℃ 5～ 40 5～ 40 5～ 40

环境湿度 Humidity 80 80 80

重量 Weight kg

％

0.8 2.6 0.4

输入电源频率 Output frequency Hz 47 ～ 63 47 ～ 63

型号 Model TD-25J/TD-25 TD-80 TD-150J/TD-150 TD-300

单位Unit

单位

Unit

FF-40/25、

FF-40/25J FF-63/80

最大输出功率 Max output power W

输出频率 Frequency Hz

最大加速电压 Max acceleration voltage V

最大加速电流 Max acceleration current A

加速时间 Run-up time

关机减速时间 Shut-off time min

min

使用环境温度Working Environment temp

环境湿度 Humidity ％

℃

长×宽×高 L*W*H

重量 Weight kg

mm

输入电压 Input voltage VDC

FF-100/150、

FF-100/150J FF-100/300

24VDC±5% 24VDC±5% 24VDC±5% 24VDC±5%

75 75 200 200

600 1200 704/850 950

11 17 15/18 21

6.5 5.5 10.5 12.5

3 2 3 3.5

2.25/3.5 3.5 2/6 15

5-40 5-40 5-40 5-40

80 80 80 80

83.5×40×97 83.5×40×97 83.5×40×97 83.5×40×97

0.3 0.3 0.3 0.3

42 真空获得设备 VACUUM GENERATION

技术指标

SPECIFICATIONS

分子泵型号

TMPs Models

分子泵型号

TMPs Models

型号 Model TCDP-II、TD-II/TCP-II

单位

Unit

W

Hz

Hz

VAC

V

A

A

min

min

kg

FF-200/1200、1200N、

FF-250/1600G、

FF-160/700、700E、

700F、700A、700N

43 真空获得设备 VACUUM GENERATION

可根据用户特定需求，量身定制专属解决方案

Customization upon requests

键盘、外控端子和上位机控制。

Available with Key panel , external control terminals and computer

液晶显示屏显示当前输出频率、输出电流、当前输出电压、故障类型以及功能

码参数、操作参数和分子泵型号；两个LED 指示灯指示驱动控制器的上电状态

和故障状态。In the front panel: Output frequency, Output current, Output

voltage, error type and function code, operation code and TMP model,

2 separate LED lights indicate the states of Electrification and Error.

启动/停车控制 Start/Stop

显示功能

Display

驱动控制器输入欠压，过压，过流，过热，分子泵过载，限电流输出，过流

及过热保护，用户密码错误，外部干扰保护。

In case of undervoltage, overvoltage, overcurrent, overheat, overload,

current output limit, overcurrent and overheat protection,

Password error, external interference protection.

保护功能

Protection

设备场所：无强烈腐蚀性气体和粉尘；环境温度：-10℃～＋50℃；

Facility environment: no highly corrosive gases and dust,

Temperature: -10℃～＋50℃

环境湿度：90%以下（无水珠凝结现象）；振动强度：0.5g（加速度）以下。

Humidity:＜90% ( no condensation),

Vibration Strength： ＜0.5g （gravity acceleration）

环境条件

Working environment

输入电压 Input voltage

输入电源频率 Input freqency

最大输出功率 Max output power

输出频率 Output frequency

输出电压Output voltage

正常工作电流 Operation current

最大启动电流 Max starting current

启动加速时间 Run-up time

关机减速时间 Shut-off time

重量 Weight

750 750 750

≤66 ≤66 ≤66

≤5 ≤2 ≤5

≤12 ≤9 ≤16

7 5 6'30\"

8 11 9'40\"

8.8 8.8 8.8

600±10 600±10 400±10

50/60Hz（±5%） 50/60Hz（±5%） 50/60Hz（±5%）

220VAC±10％

110VAC±10％

220VAC±10％

110VAC±10％

220VAC±10％

110VAC±10％

分子泵型号 TMPs Models

750

≤66

≤4

≤14

5

6

8.8

450±10

50/60Hz（±5%）

220VAC±10％

110VAC±10％

FF-160/500G、620、

620N、620NE、620F、

620FE、620E

FF-160/620C、620CE

44 真空获得设备 VACUUM GENERATION

技术指标

SPECIFICATIONS

FF-200/1200C、

1200CE、1200G

FF-200/1300、1300E、

1300F、1300A、1300N

F-250/1500、

1500N、1500E

FF-250/2000、

2000E

型号 Model TCDP-II、TD-II/TCP-II

输入电压 Input voltage

输入电源频率 Input freqency

最大输出功率 Max output power

输出频率 Output frequency

输出电压Output voltage

正常工作电流 Operation current

最大启动电流 Max starting current

启动加速时间 Run-up time

关机减速时间 Shut-off time

重量 Weight

键盘、外控端子和上位机控制。

Available with Key panel , external control terminals and computer

液晶显示屏显示当前输出频率、输出电流、当前输出电压、故障类型以及功能

码参数、操作参数和分子泵型号；两个LED 指示灯指示驱动控制器的上电状态

和故障状态。In the front panel: Output frequency, Output current, Output

voltage, error type and function code, operation code and TMP model,

2 separate LED lights indicate the states of Electrification and Error.

启动/停车控制 Start/Stop

显示功能

Display

驱动控制器输入欠压，过压，过流，过热，分子泵过载，限电流输出，过流

及过热保护，用户密码错误，外部干扰保护。

In case of undervoltage, overvoltage, overcurrent, overheat, overload,

current output limit, overcurrent and overheat protection,

Password error, external interference protection.

保护功能

Protection

设备场所：无强烈腐蚀性气体和粉尘；环境温度：-10℃～＋50℃；

Facility environment: no highly corrosive gases and dust,

Temperature: -10℃～＋50℃

环境湿度：90%以下（无水珠凝结现象）；振动强度：0.5g（加速度）以下。

Humidity:＜90% ( no condensation),

Vibration Strength： ＜0.5g （gravity acceleration）

环境条件

Working environment

750

≤66

≤5

≤16

6'30\"

11

8.8

450±10

50/60Hz（±5%）

220VAC±10％

110VAC±10％

750

≤66

≤3

≤10

6'30\"

11

8.8

400±10

50/60Hz（±5%）

220VAC±10％

110VAC±10％

750

≤66

≤5

≤20

6'30\"

9'40\"

8.8

350±10

50/60Hz（±5%）

220VAC±10％

110VAC±10％

750

≤66

≤3

≤16

6'30\"

10

8.8

400±10

50/60Hz（±5%）

220VAC±10％

110VAC±10％

分子泵型号 TMPs Models 单位

Unit

W

Hz

Hz

VAC

V

A

A

min

min

kg

单位

Unit

W

Hz

Hz

VAC

V

A

A

min

min

kg

45 真空获得设备 VACUUM GENERATION

可根据用户特定需求，量身定制专属解决方案

Customization upon requests

分子泵型号 TMPs Models F-400/3500B FF-400/5000

输入电压 Input voltage

输入电源频率 Input freqency

最大输出功率 Max output power

输出频率 Output frequency

输出电压Output voltage

正常工作电流 Operation current

最大启动电流 Max starting current

启动加速时间 Run-up time

关机减速时间 Shut-off time

重量 Weight

键盘、外控端子和上位机控制。

Available with Key panel , external control terminals and computer

液晶显示屏显示当前输出频率、输出电流、当前输出电压、故障类型以及功能

码参数、操作参数和分子泵型号；两个LED 指示灯指示驱动控制器的上电状态

和故障状态。In the front panel: Output frequency, Output current, Output

voltage, error type and function code, operation code and TMP model,

2 separate LED lights indicate the states of Electrification and Error.

启动/停车控制 Start/Stop

显示功能

Display

驱动控制器输入欠压，过压，过流，过热，分子泵过载，限电流输出，过流

及过热保护，用户密码错误，外部干扰保护。

In case of undervoltage, overvoltage, overcurrent, overheat, overload,

current output limit, overcurrent and overheat protection,

Password error, external interference protection.

保护功能

Protection

设备场所：无强烈腐蚀性气体和粉尘；环境温度：-10℃～＋50℃；

Facility environment: no highly corrosive gases and dust,

Temperature: -10℃～＋50℃

环境湿度：90%以下（无水珠凝结现象）；振动强度：0.5g（加速度）以下。

Humidity:＜90% ( no condensation),

Vibration Strength： ＜0.5g （gravity acceleration）

环境条件

Working environment

1500 1000

≤66 ≤55/66

≤8.5 ≤10

≤21 ≤15

18 15

36 15

9.5 9

225±10 300/350

50/60Hz（±5%） 50/60Hz（±5%）

220VAC±10％ 110VAC±10％ 220VAC±10％ 110VAC±10％

型号 Model TCDP-III、TCDP-IV

46 真空获得设备 VACUUM GENERATION

系列分子泵控制器

TMP CONTROLLER

FD-IIB FD-III

FD-110A FD-110B

安装尺寸图

OUTLINE DIMENSIONS DRAWING( mm)

FD-110A FD-110B

FD-IIB FD-III

148

88

FD-110A

163

135

96 55.5

148

88

FD-110B

163

135

96 55.5

220

220

47 真空获得设备 VACUUM GENERATION

技术指标

SPECIFICATIONS

48 真空获得设备 VACUUM GENERATION

键盘、外控端子和上位机控制。

Available with Key panel , external control terminals and computer

液晶显示屏显示当前输出频率、输出电流、当前输出电压、故障类型以及功能

码参数、操作参数和分子泵型号；两个LED 指示灯指示驱动控制器的上电状态

和故障状态。In the front panel: Output frequency, Output current, Output

voltage, error type and function code, operation code and TMP model,

2 separate LED lights indicate the states of Electrification and Error.

启动/停车控制 Start/Stop

显示功能

Display

驱动控制器输入欠压，过压，过流，过热，分子泵过载，限电流输出，过流

及过热保护，用户密码错误，外部干扰保护。

In case of undervoltage, overvoltage, overcurrent, overheat, overload,

current output limit, overcurrent and overheat protection,

Password error, external interference protection.

保护功能

Protection

设备场所：无强烈腐蚀性气体和粉尘；环境温度：-10℃～＋50℃；

Facility environment: no highly corrosive gases and dust,

Temperature: -10℃～＋50℃

环境湿度：90%以下（无水珠凝结现象）；振动强度：0.5g（加速度）以下。

Humidity:＜90% ( no condensation),

Vibration Strength： ＜0.5g （gravity acceleration）

环境条件

Working environment

单位

Unit

W

Hz

Hz

V

V

A

A

min

kg

输入电压 Input voltage

输入电源频率 Input freqency

最大输出功率 Max output power

输出频率 Output frequency

输出电压Output voltage

正常工作电流 Operation current

最大启动电流 Max starting current

启动加速时间 Run-up time

150 120

≤40 ≤40

≤7 ≤7

≤3 ≤3

5～40 5～40

重量 Weight 2 2

705±10 705±10

50/60Hz（±3%） 50/60Hz（±3%）

220VAC±20％ 220VAC±20％

分子泵型号 TMPs Models F-100/150 FF-100/110

型号 Model FD-110A FD-110B