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真空元件
使用前必读。安全上的注意请参见前附，
各系列的各自注意事项，参见各系列单行本。
真空元件／共同注意事项
真空度下降，吸盘吸力不足，搬运工件脱落，会造成人身及装置的
损伤。应设计有落下防止用导轨装置等安全措施。
由于停电或气源故障，引起真空度降低而出现事故，应有
安全设计。
若不使用真空规格的阀，会出现漏气而失去真空。
〈从工件或配管处有泄漏的场合〉
若吸入流量不足，则吸着不良。
〈配管长或配管粗的场合〉
配管容积增大，吸着响应时间太长。
参考技术资料选定合适吸入流量的真空发生器。
几mm大小的小工件，一但选定吸入流量过大的真空发生器，和未
吸着时的真空压力之差太小，会使真空压力开关的设定变困难，故
要选定合适的真空发生器。
因为一个吸盘上的工件脱落，则真空度变小。
真空侧配管的有效截面积应按真空发生器的最大吸入流量来选定。
配管途中不要有节流且不得漏气。
真空侧配管的有效截面积应按真空发生器的最大空气消耗量来选定。
管子、管接头及阀等的有效截面积也应足够大，使真空发生器前的
压力损失尽量小。
还有，应考虑真空发生器的最大空气消耗量及其它气动回路的空气
消耗量来设计气源。
真空切换阀和真空破坏阀应使用真空规格。
应选定吸入流量合适的真空发生器。
吸入流量过大，则真空开关的设定困难。
1个真空发生器带动两个以上吸盘的场合，一但一个吸盘上
的工件脱落，其它吸盘上的工件也会脱落。
配管的有效截面积应满足要求。
方向控制阀，速度控制阀等相关元件应参见各自样本的
注意事项。
要定期对真空过滤器和消声器进行清洗。
过滤器及消声器的孔眼被堵，真空发生器的性能便降低。在粉尘多的
场合，应使用处理流量大的真空过滤器。
真空发生器的排气口不许堵塞。
一但堵塞，就不产生真空了。
配管不能是螺旋状。
真空侧和供给侧都不能出现螺旋状配管，应尽量短而直。配管容积
增大则响应时间变长。
配管不许损伤、弯曲。
在腐蚀性气体、化学药品、海水、水、水蒸气的氛围中或
附着上述物质的场所，不得使用。
在爆炸性的氛围场所不得使用。
在日光照射的场合，应加保护罩。
周围有热源的场合，应遮断辐射热。
有水滴、油及溶剂的飞溅或附着上述物质的场所，应采取
合适的防护对策。
真空组件被包围、且通电时间长的场合，应采取散热措施，
保证在真空组件的使用温度范围内。
在有产生振动或冲击的场所不得使用。可按各系列的规格
确认。
真空发生器排气侧的配管有效截面积应大。
排气一但节流，真空发生器的性能就变差。
1
真空元件的概述
以真空吸附为动力源，作为实现自动化的一种手段
在电子、半导体元件组装、汽车组
装、自动搬运机械、轻工机械、食品
机械、医疗机械、塑料制品机械、包
装机械、锻压机械、机器人等许多方
面得到广泛的应用。例如：真空包装
机械中，包装纸的吸附、送标、贴标，
包装袋的开启；电视机的显像管、电
子枪的加工、运输、装配及电视机的
组装；印刷机械中的双张、折面的检
测、印刷纸张的输送；玻璃的搬运和
装箱；机器人抓起重物，搬运和装配；
真空成型、真空卡盘等。
总之，对任何具有较光滑表面的物
体，特别对于非铁、非金属且不适合
夹紧的物体，如薄的柔软的纸张、塑
料膜、铝箔，易碎的玻璃及其制品，
集成电路等微型精密零件，都可使用
真空吸附来完成各种作业。
真空发生装置有真空泵和真空发生
器两种。真空泵是吸入口形成负压，排
气口直接通大气，两端压力比很大的抽
除气体的机械。真空发生器是利用压缩
空气的流动而形成一定真空度的气动元
件。由它们组成的典型真空回路如下图
所示：
1
1.IDF 冷冻式干燥器
2.AF 空气过滤器
3.AM 油雾分离器
4.AR 减压阀
5.真空破坏阀
6.节流阀
7.真空压力开关
8.真空过滤器
9.真空表
10.真空吸盘
11.被吸吊物
12.真空切换阀
13.真空罐
14.真空调压阀
15.真空泵
16.消声器
17.供给阀
18.真空发生器
19.单向阀
2 3 4
13
14
12
15 16
5
6
8
9
10
11
7
1 2 3 4 18 16
19 5
17
6
8
9
10
11
图1 图2 7
2
真空元件
使用真空发生器的吸着搬送系统
应用系统
使用真空发生器组件的系统
压缩机 空气过滤器 调压阀
真空压力表
真空发生器单元 流量开关
真空吸盘 真空用气缸
冷冻式
干燥机
微雾
分离器 在使用真空发生器的吸着搬送系统上，将必要的元件(真空
发生器的供给阀、破坏阀、节流阀、真空用压力开关、过
滤器)一体化，实现组装作业合理化、紧凑化。
流量开关
流量开关
真空发生器
供给阀 释放阀 真空用
真空用 压力开关
压力表及压力开关
真空用
压力表及压力开关
压缩机 空气过滤器 调压阀
真空吸盘 真空用气缸
冷冻式
干燥机
微雾
分离器
使用单体式元件的系统
由单体式真空发生器等元件构成，这样回路构成及安装场
所可自由选择，以构成具有柔性的系统。
真空发生器组件ZK2□A系列 ·····································································································································5
小型真空发生器ZA系列 ··············································································································································7
小型真空单元ZB系列 ··················································································································································7
薄型真空发生器组合ZQ□A系列 ································································································································7
大型真空发生器系统ZR系列 ······································································································································7
真空发生器ZM系列 ····················································································································································8
真空发生器ZH□D A / ZH□BSA系列 ························································································································8
多级真空发生器ZL112A系列 ······································································································································9
多级真空发生器ZL3 / ZL6系列 ···································································································································9
直管型真空发生器ZU□A系列 ··································································································································10
真空发生器组件ZYY / ZYX系列 ·······························································································································10
真空/破坏电磁阀VQD1000-V系列 ··························································································································10
带节流阀真空破坏阀SJ3A6系列 ······························································································································10
真空吸盘ZP系列 ·························································13
真空吸盘ZP2系列 ·······················································13
扁平型吸盘(ø10 ~ ø30)ZP2系列 ·······························13
真空吸盘ZP3系列 ·······················································14
真空吸盘(ø40, ø50)ZP3C系列 ··································14
真空吸盘ZP3P系列 ····················································14
真空吸盘(多层风琴型)ZP3P-JT系列 ··························15
真空发生器吸盘ZHP系列 ············································15
软质乙烯材质用真空吸盘ZP-606-25CS0J20系列 ········16
防静电真空吸盘(表面电阻值106 ~ 109Ω)ZP-905-CJXN0525系列 ······16
海绵吸盘ZP-580系列 ···············································16
真空吸盘ZP3E系列 ·············································17-19
管道串联接头ZP-654-Y2 / Y3系列 ···························20
真空吸盘ZPT / ZPX系列 ··········································20
真空吸盘ZPT / ZPR系列 ··········································20
海绵吸盘ZP-642-11AC系列 ·····································20
薄片无痕吸盘ZP-697系列 ········································20
气旋吸盘XT661系列 ················································21
伯努利型吸盘ZNC20-X1系列 ···································21
伯努利型吸盘ZNC系列 ············································21
真空发生器/大流量喷嘴型ZH-X185/X226/X249/X338/X341系列 ···22
真空发生器/大流量喷嘴型ZH10-B-X249系列 ···········23
真空发生器/大流量喷嘴型ZH-X226系列 ···················23
真空发生器/大流量喷嘴型ZH-X338系列 ···················23
真空止回阀ZP2V系列 ·················································24
全不锈钢真空发生器ZH□-□-X267系列 ····················24
吸板SP系列 ································································25
真空调压阀IRV10 • 20系列 ·········································25
真空用 电-气比例阀ITV系列 ·····································25
多通道压力传感器控制器PSE200A系列 ·····················25
3色3显示压力传感器控制器PSE300AC系列 ··············26
真空压力表GZ46系列 ·················································27
压力传感器的控制器(2色显示)PSE300系列 ··············27
双色显示高精度压力传感器(真空用)ZSE80F系列 ·····27
真空用 自由安装气缸ZCUK系列 ································27
3色3显示高精度数字式压力传感器
ZSE20(F) / ISE20系列 ·············································28
3色3显示高精度数字式压力传感器
2输出+模拟输出(电压/电流)ZSE20A(F) / ISE20A系列 ····28
3色3显示高精度数字式压力传感器IO-Link对应(1输出)
ZSE20B(F)-L / ISE20B-L系列 ··································29
3色3显示高精度数字式压力传感器
2输出+模拟输出(电压/电流)ZSE20C(F) / ISE20C(H)系列 ····29
真空用排气洁净器AMV系列 ·····································30
磁石吸附气缸MHM系列 ···········································30
旋转接头(橡胶密封圈)MQR-X229系列 ···················30
2通直动式电磁阀(适合多种流体)VDW系列 ·············31
2通直动式电磁阀(适合多种流体)VX21 / 22 / 23系列 ·····31
高真空阀XSA系列 ····················································32
高真空阀XL□.XM□.XY□系列 ······························33
控制单元
流量开关
使用真空泵的吸着搬送系统
真空用
压力表及压力开关
压缩机 空气过滤器 调压阀
真空吸盘 真空用气缸
冷冻式
干燥机
微雾
分离器
真空泵
真空用
调压阀及电-气比例阀
将控制真空压力必要的元件(真空切换阀、
破坏阀、节流阀、真空用压力开关、
过滤器)一体化，实现组装作业合理化、
紧凑化。
S
L
真空用过滤器AF-T17系列 ········································································································································11
真空过滤器AFJ20 ~ AFJ40系列 ······························································································································11
真空用水滴分离器AMJ系列 ·····································································································································11
真空过滤器ZFA / ZFB系列 ·······································································································································11
小型真空过滤器ZFC系列 ·········································································································································12
小型真空过滤器ZFC050系列 ···································································································································12
超小型真空过滤器ZFZ-03-002□□系列 ··················································································································12
3
真空发生器组件ZK2□A系列 ·····································································································································5
小型真空发生器ZA系列 ··············································································································································7
小型真空单元ZB系列 ··················································································································································7
薄型真空发生器组合ZQ□A系列 ································································································································7
大型真空发生器系统ZR系列 ······································································································································7
真空发生器ZM系列 ····················································································································································8
真空发生器ZH□D A / ZH□BSA系列 ························································································································8
多级真空发生器ZL112A系列 ······································································································································9
多级真空发生器ZL3 / ZL6系列 ···································································································································9
直管型真空发生器ZU□A系列 ··································································································································10
真空发生器组件ZYY / ZYX系列 ·······························································································································10
真空/破坏电磁阀VQD1000-V系列 ··························································································································10
带节流阀真空破坏阀SJ3A6系列 ······························································································································10
真空吸盘ZP系列 ·························································13
真空吸盘ZP2系列 ·······················································13
扁平型吸盘(ø10 ~ ø30)ZP2系列 ·······························13
真空吸盘ZP3系列 ·······················································14
真空吸盘(ø40, ø50)ZP3C系列 ··································14
真空吸盘ZP3P系列 ····················································14
真空吸盘(多层风琴型)ZP3P-JT系列 ··························15
真空发生器吸盘ZHP系列 ············································15
软质乙烯材质用真空吸盘ZP-606-25CS0J20系列 ········16
防静电真空吸盘(表面电阻值106 ~ 109Ω)ZP-905-CJXN0525系列 ······16
海绵吸盘ZP-580系列 ···············································16
真空吸盘ZP3E系列 ·············································17-19
管道串联接头ZP-654-Y2 / Y3系列 ···························20
真空吸盘ZPT / ZPX系列 ··········································20
真空吸盘ZPT / ZPR系列 ··········································20
海绵吸盘ZP-642-11AC系列 ·····································20
薄片无痕吸盘ZP-697系列 ········································20
气旋吸盘XT661系列 ················································21
伯努利型吸盘ZNC20-X1系列 ···································21
伯努利型吸盘ZNC系列 ············································21
真空发生器/大流量喷嘴型ZH-X185/X226/X249/X338/X341系列 ···22
真空发生器/大流量喷嘴型ZH10-B-X249系列 ···········23
真空发生器/大流量喷嘴型ZH-X226系列 ···················23
真空发生器/大流量喷嘴型ZH-X338系列 ···················23
真空止回阀ZP2V系列 ·················································24
全不锈钢真空发生器ZH□-□-X267系列 ····················24
吸板SP系列 ································································25
真空调压阀IRV10 • 20系列 ·········································25
真空用 电-气比例阀ITV系列 ·····································25
多通道压力传感器控制器PSE200A系列 ·····················25
3色3显示压力传感器控制器PSE300AC系列 ··············26
真空压力表GZ46系列 ·················································27
压力传感器的控制器(2色显示)PSE300系列 ··············27
双色显示高精度压力传感器(真空用)ZSE80F系列 ·····27
真空用 自由安装气缸ZCUK系列 ································27
3色3显示高精度数字式压力传感器
ZSE20(F) / ISE20系列 ·············································28
3色3显示高精度数字式压力传感器
2输出+模拟输出(电压/电流)ZSE20A(F) / ISE20A系列 ····28
3色3显示高精度数字式压力传感器IO-Link对应(1输出)
ZSE20B(F)-L / ISE20B-L系列 ··································29
3色3显示高精度数字式压力传感器
2输出+模拟输出(电压/电流)ZSE20C(F) / ISE20C(H)系列 ····29
真空用排气洁净器AMV系列 ·····································30
磁石吸附气缸MHM系列 ···········································30
旋转接头(橡胶密封圈)MQR-X229系列 ···················30
2通直动式电磁阀(适合多种流体)VDW系列 ·············31
2通直动式电磁阀(适合多种流体)VX21 / 22 / 23系列 ·····31
高真空阀XSA系列 ····················································32
高真空阀XL□.XM□.XY□系列 ······························33
控制单元
流量开关
使用真空泵的吸着搬送系统
真空用
压力表及压力开关
压缩机 空气过滤器 调压阀
真空吸盘 真空用气缸
冷冻式
干燥机
微雾
分离器
真空泵
真空用
调压阀及电-气比例阀
将控制真空压力必要的元件(真空切换阀、
破坏阀、节流阀、真空用压力开关、
过滤器)一体化，实现组装作业合理化、
紧凑化。
S
L
真空用过滤器AF-T17系列 ········································································································································11
真空过滤器AFJ20 ~ AFJ40系列 ······························································································································11
真空用水滴分离器AMJ系列 ·····································································································································11
真空过滤器ZFA / ZFB系列 ·······································································································································11
小型真空过滤器ZFC系列 ·········································································································································12
小型真空过滤器ZFC050系列 ···································································································································12
超小型真空过滤器ZFZ-03-002□□系列 ··················································································································12
4
ZK2□A系列 真空发生器组件
真空 真空
( ) ON
OFF
ON
OFF
ON/OFF
[mm]
[L/min ANR ]
[L/min ANR ]
[L/min ANR ]
[kPa]
[MPa]
[MPa]
ZK2 07
-91
0.3~0.6
0.35 0.4
[mm] 2~50 2~150
ZK2 10 ZK2 12 ZK2 15
0.7
32
29
24
1.0
48
44
40
1.2
70
61
58
2~40 2~125
1.5
80
67
90
· 90%
· 50% 30%
· 28% 59%
(PS)
ø4\"
真空(V)
(PV)
ø6\"
N.C
N.C
真空
N.C
N.C
・
DC24V
・
・
・
・
・
選
(PV)
ø0.7, ø1.0, ø1.2, ø1.5
真空(V)
ø6, ø8
ø6\"
(PD)
PD (M3)
ø6, ø8\"
5
46dB (A) 20%
0
10
20
30
40
50
60
200 2000 20000
噪音水平 [dB (A)]
频率[Hz]
ZK2A07
ZK2G07 (通孔式消音器)
(消音器内藏)
2,000~20,000Hz的
降低高频域
(单个组件)
ZK2 A
A
A
真空发生器系统(带阀)
真空发生器系统(无阀)
真空泵系统* P K 5 A L 08
12
12
00
ZK2 A K 5 A L 08
ZK2 A N 0 N N 08 *
组件内无真空发生器，真空由客户提供。
型号表示方法
➀ ➁ ➂ ➃ ➄ ➅ ➆ ➇
记号 真空系统形式 组件形式 排气形式
P 单体式 无
Q 集装式 无
A 消声器
G 高消音消声器
C 排气共通
H 高消音消声器
➀真空系统及组件形式
真空泵系统
真空发生器
系统
单体式
集装式
记号 真空系统形式 发生器孔径
00 真空泵系统 无
07 ø0.7
10 ø1.0
12 ø1.2
15 ø1.5
➁真空发生器喷嘴孔径
真空发生器
系统
记号 供给阀 破坏阀
K N.C N.C.
J N.C 无
R* 真空保持式
*
只需瞬时供电于供给阀，一直保持真空
状态，可作为工件掉落防止对策用，
供电于破坏阀同时会断电供给阀。
N.C.
➂真空供给阀/破坏阀选项
N 无 无
*在➂选N时，必须这里
选“0”。
记号 电压
5 DC24V
0* 无
➃额定电压
记号
06
08
接管口径
ø6配管
ø8配管
➆真空口配管
记号
➅供给阀、破坏阀和真空/压力传感器出线选项
传感器
接线样式 接头形式、导线形式
C 集装式插头(集装板专用)
注1)
注3)
注4)
注1)
注2)
注1) 压力传感器 : 直接出线式线长3m 。真空压力传感器 : L型插头线长2m。
注2) 若➄选“K”, 必须在➅选“W”。注3) 若➄选“N”, 就不能选配 。注4) 若➄选“P”,“T”, 就不能选配 。
L 带阀，带传感器
不带阀，带传感器
带阀，不带传感器
不带阀，不带传感器
L1
L2
L3
W L型插头(专用节能导线)
Y 不带阀(在➂选N时)
N 无供给阀，破坏阀，压力传感器(在➂及➄选N时)
记号 供给阀 / 破坏阀用 压力范围
(kPa) 输出方式
P 0~-101
T -100~100
A 0~-101
E -100~100
K** NPN 1个输出
N
NPN 2个输出
*如查询更多规格，另有PNP可选择，请联系SMC.
**必须在③选”K”。
模拟输出
1-5V
-100~100
类型
节能真空压力传感器
无压力传感器及数字真空压力开关
压力传感器
真空压力传感器
➄压力传感器/数字真空压力传感器
无记号
K
无
带破坏流量
调节阀
➇任选项
J
型号表示方法 (集装式) ZZK2 04 A- A 1 L -
➀ ➁ ➂ ➃ ➄
记号 真空系统形式 接管口径
P PV共通:ø8
PS共通:ø6
A
➁真空系统及组件端口
真空泵系统
真空发生器
系统 PV共通:ø8
记号 组件位数
01 1个
02 2个
··· ···
10 10个
➀组装集装个数
记号 排气形式
2 真空泵系统
1 真空发生器
2 系统
无消声器(ZK2Q00配用)
排气消声器在集装板两侧(ZK2C配用)
无消声器(单独排气)(ZK2H配用)
➂排气方式
记号 内容
单独配线
无
D-sub插座
(25针)
扁平插座
(26针)
L
F*
P**
N
➃配线方式 单独配线
D-sub插座
扁平
插座
无记号 无
DIN导轨式
真空供给口
共通(PD)
单独给供气
B
D
L
➄任选项
DIN导轨式
安装
共通PD口
单独
PV口
* D-sub连接电线3m长，型号 : AXT100-DS25-030 ** 扁平连接电线3m长，型号 : AXT100-FC26-3
以上需另外采购
ZK2G系列
高消音消声器
排气使其直接对大气排放
能发挥最大真空性能且删除
不愉快的音频
新
※喷嘴ø0.7时
14.5
5.8 5
26.5
15 2×ø4.6
33.5
单体式 托架(型号:ZK2-BK1-A)
*托架需另外采购
外形尺寸图 (毫米)
46.4
1
8.9
6
ZQ□A系列 薄型真空发生器组合
ZR系列 大型真空发生器系统
ZB系列 小型真空单元
ZB
ZA系列 小型真空发生器
ø0.7
ø4/ø2.5 100mm
-60kPa 40ms
系列
喷咀口径
标准供给压力
最高真空度
最大吸入流量
空气消耗量
适用吸盘直径(mm)
0.5mm
-74kPa
4L/min(ANR)
12L/min(ANR)
0.4MPa
ZA105
2~13
0.7mm
0.45MPa
-78kPa
8L/min(ANR)
28L/min(ANR)
ZA107
2~20
ZB03
ZB04
ZB05
0.3
0.4
0.5
2
3.5
4.5
3.5
6.5
10
2~8
2~10
ZB00
2~13
ZB06 0.6 7 18 2~20
系列 喷咀口径
(mm)
最大吸入流量
[L/min(ANR)]
耗气量
[L/min(ANR)]
适用吸盘直径
(mm)
真空泵系统
系列
ZR110
1.0
22
42
46
2~32
S:-84kPa L:-53kPa
ZR113
1.3
38
52
78
2~50
ZR115
1.5
54
74
95
2~100
ZR118
1.8
62
88
150
2~125
ZR120
2.0
84
105
185
2~150
S
L
系列
喷咀组件(mm)
最大吸入流量
L/min(ANR)
空气消耗量L/min(ANR)
最高真空度
适用吸盘直径(mm)
ZQ
喷嘴孔径
05 0.5
07 0.7
10 1.0
[真空发生器组件]
导线引出方式
L L形插座式、导线长0.3m,
带指示灯及过电压保护回路
10 1U A K1 5 L EA G 3 3
阀体形式
1U 单体用
3M 集装用
G
电源电压
5 24 VDC
N.C.
N.C.
N.C.
N.O.
N.O.
N.C.
N.C.
供给阀
锁定型
锁定型
破坏阀
无
无
无
注1) 锁定型(+COM)
电磁阀组合
K1
K2
J1
J2
Q1
Q2
记号
注1)
注1)
手动操作方式
数显式真空压力传感器及真空过滤器规格
记号 压力范围 [kPa] 输出
EA
0 ~ −100
NPN 2 输出
EB PNP 2 输出
EC NPN 1 输出 + 模拟电压
EE PNP 1 输出 + 模拟电压
FA
−100 ~ 100
NPN 2 输出
FB PNP 2 输出
FC NPN 1 输出 + 模拟电压
FE PNP 1 输出 + 模拟电压
F 仅真空过滤器
真空压力传感器导线规格
插头带导线(2m)
无记号
单向阀
K 带单向阀
无
符号 适用管子外径 型号
无记号 无接口 汇流板
0 无接头(M5x0.8)
单个
单元
2 ø4(直通)
3 ø6(直通)
5 ø4(弯头)
接头(P口)
记号 适用管子外径
0 无接头 (M5 x 0.8)
2 ø4 (直通)
3 ø6 (直通)
5 ø4 (弯头)
接头(V口)
无
记号 锁定型 : 推压锁定式
非推压锁定式
共同规格 B 锁定式(Q2不适用)
型号 ZQ07□A
喷嘴孔径(mm) 0.7
标淮供给压力 0.43MPa
最高真空度 -80kPa
最大吸入流量ℓ/min(ANR) 10
空气消耗量ℓ/min(ANR) 25
供给压力范围 气压供给(P)口 0.3 ~ 0.5MPa
释放压力供应(PD)端口 0 ~ 0.45MPa
耐压力 0.75MPa
可同时运行的歧管站数 6
噪音水平[dB(A)] 单机 68
歧管用(可同时运行的最大站数)
ZQ05□A
0.5
0.35MPa
5
15
8
65
64 66
ZQ10□A
1.0
22
47
4
70
68
主阀响应时间 25ms或以下
共同规格
共同规格
型号表示方法
共同规格
7
ZM系列 真空发生器
ZM05
ZM07
ZM10
ZM13
ZM15
0.5
0.7
1.0
1.3
1.5
15
23
38
44
45
17
33
60
85
110
2~16
2~25
2~32
2~40
2~50
(mm) [L/min(ANR)] [L/min(ANR)] (mm)
·
·
· 40%
· -84kPa
使用温度范围 -5 ~ 50o
C
使用流体 压缩空气
适用气管材质 尼龙、软尼龙、聚氨酯
使用压力范围 0.1 ~ 0.6MPa※
※供给(P)孔的供给压力。真空(V)孔、排气(E)孔不要同时封闭。
共同规格
标准托架安装
L型托架安装 DIN轨道安装
4种安装方法
直接安装
最多减少 %
（缩短6.7mm）
全长
现有产品 36.3 cm3 新 22.2 cm3
最多减少39% 14.1 cm3
体积
(减少 )
现有产品 ZH10B -06-06
ZH10BSA-06-06
23 18.4 mm 新 mm
4.6 mm
6.7
mm
58.5mm
51.8mm
ZH05D□A-06-06-06
ZH05D□-06-06-06
旧有产品
新
11
注 供气口,真空口,排气口的连接方法的组合口径，请参照下表2。
盒型
(供气口) (真空口)
(内置消声器)
ZH 10 BSA 06 06
喷嘴直径
05 ø0.5 mm
07 ø0.7 mm
10 ø1.0 mm
13 ø1.3 mm
15 ø1.5 mm
18 ø1.8 mm
20 ø2.0 mm
内螺纹
01 Rc1/8
02 Rc1/4
03 Rc3/8
04 Rc1/2
快换接头
06 ø6
08 ø8
10 ø10
12 ø12
真空压力
S -90kPa
L
喷嘴直径
直接配管型 ZH 10 D S A 06 06 08
(供气口) (真空口) (排气口)
连接口径注）
内螺纹
01 Rc1/8
02 Rc1/4
03 Rc3/8
04 Rc1/2
快换接头
06 ø6
08 ø8
10 ø10
12 ø12
注 供气口,真空口,排气口的连接方法的组合口径，请参照下表1。
05 ø0.5mm
07 ø0.7mm
10 ø1.0mm
13 ø1.3mm
15 ø1.5mm
18 ø1.8mm
20 ø2.0mm
-48kPa(ZH05~13D□A）
-66kPa(ZH15~20D□A）
表1
表2
型式 供气 真空 排气
ZH05D□A06 － 06 － 06
06 － 01 － 06
01 － 01 － 01
ZH07D□A06 － 06 － 06
06 － 01 － 06
01 － 01 － 01
ZH10D□A06 － 06 － 08
06 － 01 － 08
01 － 01 － 01
ZH13D□A08 － 10 － 10
08 － 02 － 10
01 － 02 － 02
ZH15D□A08 － 10 － 10
08 － 03 － 10
02 － 03 － 03
ZH18D□A10 － 12 － 12
10 － 03 － 12
03 － 03 － 03
ZH20D□A10 － 12 － 12
10 － 04 － 12
03 － 04 － 04
型式
ZH05BSA06 – 06
06 – 01
01 – 01
ZH07BSA06 – 06
06 – 01
01 – 01
ZH10BSA06 – 06
06 – 01
01 – 01
ZH13BSA08 – 10
08 – 02
01 – 02
ZH15BSA08 – 10
08 – 03
02 – 03
ZH18BSA10 – 12
10 – 03
03 – 03
ZH20BSA10 – 12
10 – 04
03 – 04
供气 真空
RoHS
· 附消音器的排气口，只能选择快速接头
· 附属的消音器依排气口的尺寸而不同
EXH.孔 消音器型式
06 AN10-C06
07 AN10-C07
08 AN15-C08
09 AN15-C08
10 AN20-C10
11 AN20-C11
12 AN30-C12
消音器
ZH05~10D A ZH13/15D A ZH18/20D A
托架型号 ZH2-BK1A-1-A ZH2-BK1A-2-A ZH2-BK1A-3-A
ZH□D A / ZH S
L □BSA系列 真空发生器
ZH05D□A 0.5
-90
-89
-90 -
-
-48
6 13 13
ZH07D□A 0.7 12 28 27
ZH10D□A 1.0 26 52 52
ZH13D□A 1.3 40
6
12
26
40
58
76
90
78
-
-
-
-
-
-
-
88
13
27
52
88
ZH15D□A 1.5
-66
-
58 78 117
ZH18D□A 1.8 76 128 165
ZH20D□A
ZH05BSA
ZH07BSA
ZH10BSA
ZH13BSA
ZH15BSA
ZH18BSA
ZH20BSA
2.0
1.5
1.8
2.0
0.5
0.7
1.0
1.3
90 155
117
165
201
201
※供给压力0.45MPa时的值
型号
喷咀
直径
(mm)
可产生真空压力
〔kPa〕
最大吸入流量
〔L/min（ANR）〕 [L/min
(ANR)]
空气
消耗量
S型 L型 S型 L型
※
共同规格
型号表示方法
盒型
(内置消声器)
8
ZL3 ZL6
ZL112A系列 多级真空发生器
ZL3/ZL6系列 多级真空发生器
L
L: 0.3m
无
GN 带真空压力检出孔(Rc1/8)
G 带真空压力表
E 真空压力开关(2个输出)
真空压力开关(混合式2个输出)
节能压力开关(混合式1个输出)
F
V
3 300 L/min (ANR)
6 600 L/min (ANR)
04
Rc3/4
2 x Rc1/2 ( )
8mm
06
真空口 供气口
真空压力开关 “E”, “F”
V, NPN PNP
A NPN输出
插头导线长2m
B PNP输出
“E”, “F”
G
G
P 通口排气
(Rc1)
: 24DVC
K1 带供给阀 (N.C.), 破坏阀 (N.C.)
Rc3/4
Rc1/2
Rc1/2
共同规格 ZL3/ZL6
ZL3H□□
1.5
0.50
-93
280
300
135
0.2 ~ 0.6
喷嘴口径[mm]
标准供给压力[MPa]
最高真空压力[kPa]
最大吸入流量[L/min(ANR)]
空气消耗量[L/min(ANR)]
供给压力范围[MPa]
使用温度范围[
o
C]
流体
分支真空口/通口排气
-5 ~ 50 (未冻结)
压缩空气
ZL6M□□
1.9 x 2
0.35
-91
580
600
ZL3M□□
1.9
280
300
150 300
型号 ZL6H□□
1.5 x 2
580
600
270
无阀
ZL 3 K1 L E A G
ZL 3 K1 L V A
ZL 3 06
06
06
带阀 M
M
M
5
5
ZD
ZD
M 0.35MPa
H 0.5MPa
W
标准供给压力
ø6 ø12
喷嘴直径
(mm) 系列 标准
供给压力
真空
压力
(kPa)
空气消耗量 连接口径
供气口
(P)
真空口
(V)
阀型式 排气方法 真空压力部份 最大吸入流量
附供给阀
破坏阀 供给阀 没带 排气口 没带 真空用
压力表
真空口
连接器
真空用数位
压力传感器
消音器
排气
减少
新 现有品
轻量化
ø12 公厘尺寸
(浅灰色)
尺寸 供给口(P) 真空口(V)
ø6
[L/min
(ANR)]
[L/min
(ANR)]
ZL112A 1.2 0.33
（没带阀时） -84 100 57
型号表示方法 P L
K1
5
L
24V
GN
G
D
N
A
C
D
D
DC规格
5 Z D D N L
D N L
L
[无阀]ZL112A
[带阀]ZL112A
排气规格
供给阀/破坏阀的组合
额定电压
手动操作 真空压力检出部
压力传感器规格
(只在真空压力传感器上使用)
导线引出方式
L形
插座式 导线长0.3m无记号 无
推压回转锁
定式螺丝刀
操作 真空用接头Rc1/8
带真空压力表
真空用压力传感器
2个NPN输出
1个NPN输出
1个NPN输出+1个模拟电流输出
1个NPN输出+1个模拟电压输出
带供给阀/破坏阀
导线长度
*只适用于带真空压力传感器\"D\"的情况下
导线长2m 无记号 内置消声器
通口排气
- K1
Z
指示灯/过电压保护回路
无指示灯及过电压保护回路
带指示灯及过电压保护回路
无记号
0.7MPa
0.2~0.5MPa
5~50°C
喷嘴直径
型号
共同规格
ø1.2mm
ZL112A
100L/min(ANR)
57L/min(ANR)
无阀0.33MPa，带阀0.35MPa
-84kPa
最大吸入流量
空气消耗量
最大真空度
最大使用压力
供给压力范围
使用温度范围
标准供给压力
ZL6
ZL3/分支真空口规格
ZL112A
应用例
■ 汽车行业上
吸附玻璃拾放
■ 吸附工件
作固定应用
■ 吸附纸箱作搬送
型号表示方法
9
VQD1000-V系列 真空/破坏电磁阀
:P
( )
VQD1151W
( )
10-VQ110
( )
:P
(真空)
:A
(
)
ZYY/ZYX系列 真空发生器组件
ZU□A系列 直管型真空发生器
SJ3A6系列 带节流阀真空破环阀
・ 内置2个阀柱。
・ 使用1个阀即可控制真空吸附和破坏。
・ 宽10mm(与SJ3000系列尺寸相同)。
・ 带能够调节破坏空气流量的节流阀。
・ 真空侧、破坏侧内置可更换的过滤器。
・ 可与4通电磁阀SJ2000/3000混合安装(订制规格)。
阀类型
位数
电压 N.C.常闭型
N.O.常开型
C
无记号
破坏真空之贮气缸容量
无记号 : L型插座式 M : M型插座式
ZU 05 S A
真空压力
接管口径
记号 口径 ZU03/04 ZU05/07
无记号 ø4快换接头 ● ─
ø6快换接头 ─ ●
01 Rc1/8内螺纹 ─ ●
N ø5/32\" ● ─
记号 最高真空压力 ZU03/04 ZU05/07
S -85 kPa (ZU03)/-87 kPa (ZU04) —
-90 kPa —
L -40 kPa —
-48 kPa —
产生器规格※1
ZU03□A 0.3 -85 1.8 3.7 2.4 ZU04□A
ZU05□A
ZU07□A
0.4 -87
-90
3.2
3.4
5.8 7.4
0.5 -48
-40 －
7 13 14 18.6
0.7 11 16 28 4.3
型号
喷嘴
直径
(mm)
最高真空压力※2
〔kPa〕
最大吸入流量※2
〔L/min(ANR)〕 耗气量※2
〔L/min(ANR)〕
快换
接头
连接
螺纹
锁入
连接
※1 特性所示各值为代表值。依受限大气压(天候、标高等)会有变化。 ※2 标准供给压力时的值
S型 L型 S型 L型
19.1
3.9
质量(g)
喷嘴直径
03 0.3mm
04 0.4mm
05 0.5mm
07 0.7mm
使用温度范围
使用流体
适用气管材质
使用压力范围
标准供给压力 ZU03/04
ZU05/07
-5 ~ 50℃(未冻结)
压缩空气
FEP、PFA、尼龙、软尼龙、聚氨酯
0.1 ~ 0.6MPa
0.35MPa
0.45MPa
共同规格
0.7mm
ZY□3□□□-7S ZY□3□□□-7L ZY□3□□□-10S ZY□3□□□-10L
11L/min(ANR)
84kPa
0.7mm
18L/min(ANR)
53kPa
1.0mm
22L/min(ANR)
84kPa
1.0mm
32L/min(ANR)
53kPa
0.2 ~ 0.6MPa
4.68mm2
共同规格
0~-100kPa
0~0.7MPa
4±1msec
1W
DC24V, DC12V
150/30 m/s2
2±1msec
VQD1151W(切换用)
10-VQ110(真空破坏阀)
阀构造 直动式
非锁定按入式
自由
额定电压的±10%
3.2W省电型(起动3.2W、保持2.4W)
L型/M型插座式(带指示灯及过压抑制器)
防尘
B级
空气、惰性气体、抗低臭氧产品
吸着(负压)
吸着(闭)
破坏(正压)
破坏(开)
使用流体
使用压力范围
反应时间
吸入流量
手动操作
安装方式
保护构造
额定电压
绝缘类别
耗电量
接电方式
容许电压变动范围
耐冲击/振动能力
阀体规格规格
16 /min(ANR)
共同规格
型号表示方法
型号表示方法
供给阀‧破坏阀规格
3位3通中封式先导式电磁阀
10
AF-T17系列 真空用过滤器
特点：
• 气旋效果、比重2.1以上的粉体固体物、90%以上可以分离
• 对于粉尘环境中真空吸著上游设备的保护
• 不使用滤芯(不会阻塞)
工作原理：
利用真空产生器侧的空气切换粉尘可自动排出。
AF-T17的产生器侧供给正压，AF-T17内的粉末
排出到外部。
吸著吸盘
粉尘
阀体
AT-T17 真空
产生器
AF-T17
-0.1 ~ 0 MPa
0.75 MPa
MAX. 0.5MPa
-5 ~ 60°C
Rc1/2
Rc3/4 Rc1/4
AFJ20~AFJ40系列 真空过滤器
AFJ20 AFJ30 AFJ40
AFJ20 AFJ30 AFJ40
1/8 1/4 1/4 3/8 1/4 3/8 1/2
-5~60
0.5MPa
-100~0kPa
5µm 40µm 80µm
cm3 8 25 45
5
1 4
L/min ANR
-S
5µm 80 100 180 230 200 310 370
40µm 100 130 210 340 230 390 500 80µm
-T
5µm 100 140 190 250 210 350 440
40µm 120 180 230 380 250 480 660 80µm
kg 0.08 0.18 0.36
1 40µm(80µm) × × 40µm(
80µm)
2 5µm 5µm
3 40µm 40µm
4 80µm 80µm
5 4kPa
AFJ
P
AMJ系列 真空用水滴分离器
2
特点：对真空泵和真空发生器等，有效除去吸入空气中的水滴。
AF30P-050AS
AF40P-050AS
AF50P-050AS
AMJ-EL3000
AMJ-EL4000
AMJ-EL5000
型号 规格 配件(任选项) 备件(任选项)
托架 滤芯 接管口径 重量 手动排水型
AMJ3000-02
AMJ3000-03
AMJ4000-03
AMJ4000-04
AMJ5000-06
AMJ5000-10
Rc(PT)
额定流量
( /min)
200
300
500
0.3 1/4
0.6
1.1
(kg)
1
3/4
1/2
3/8
3/8
共同规格
流体 压缩空气
放水方式
滤芯寿命
除水率
环境及流体温度
保证耐压力
最低使用压力
最高使用压力
手动放水
当压力差达到
0.02MPa时
90%
5 ~ 60˚C
1.5MPa
-100kPa
1.0MPa
ZFA/ZFB系列 真空过滤器
使用流体
滤芯耐压差
使用压力
环境及流体温度
过滤精度
压缩空气，氮气
0.5MPa
-100 ~ 0kPa
5 ~ 60°C
30µm
ZFB
ZFA
注1) : □–代表集装组件位置数
01 = 1位
10 = 10位
ZFA100-01 1/8 ZZFA1-□
ø4
ø6
ø6
ø8
ø8
ø10
50
200
10
20
30
50
75
75
1/4
—
—
— —
ZZFA2-□
BP-1H-1A
BP-1H-2A
EJ001H-030N
EJ101H-030N
I-34S-A
I-35S-A
I-36S-A
ZFA200-02
ZFB100-04
ZFB100-06
ZFB200-06
ZFB200-08
ZFB300-08
ZFB300-10
配件(任选项)
注1) 集装式组件
型号
规格 备件
接管口径 托架 滤芯组件 适合管子
(外径)
流量
( /min ANR)
共同规格
共同规格
共同规格
11
AF-T17系列 真空用过滤器
特点：
• 气旋效果、比重2.1以上的粉体固体物、90%以上可以分离
• 对于粉尘环境中真空吸著上游设备的保护
• 不使用滤芯(不会阻塞)
工作原理：
利用真空产生器侧的空气切换粉尘可自动排出。
AF-T17的产生器侧供给正压，AF-T17内的粉末
排出到外部。
吸著吸盘
粉尘
阀体
AT-T17 真空
产生器
AF-T17
-0.1 ~ 0 MPa
0.75 MPa
MAX. 0.5MPa
-5 ~ 60°C
Rc1/2
Rc3/4 Rc1/4
AFJ20~AFJ40系列 真空过滤器
AFJ20 AFJ30 AFJ40
AFJ20 AFJ30 AFJ40
1/8 1/4 1/4 3/8 1/4 3/8 1/2
-5~60
0.5MPa
-100~0kPa
5µm 40µm 80µm
cm3 8 25 45
5
1 4
L/min ANR
-S
5µm 80 100 180 230 200 310 370
40µm 100 130 210 340 230 390 500 80µm
-T
5µm 100 140 190 250 210 350 440
40µm 120 180 230 380 250 480 660 80µm
kg 0.08 0.18 0.36
1 40µm(80µm) × × 40µm(
80µm)
2 5µm 5µm
3 40µm 40µm
4 80µm 80µm
5 4kPa
AFJ
P
AMJ系列 真空用水滴分离器
2
特点：对真空泵和真空发生器等，有效除去吸入空气中的水滴。
AF30P-050AS
AF40P-050AS
AF50P-050AS
AMJ-EL3000
AMJ-EL4000
AMJ-EL5000
型号 规格 配件(任选项) 备件(任选项)
托架 滤芯 接管口径 重量 手动排水型
AMJ3000-02
AMJ3000-03
AMJ4000-03
AMJ4000-04
AMJ5000-06
AMJ5000-10
Rc(PT)
额定流量
( /min)
200
300
500
0.3 1/4
0.6
1.1
(kg)
1
3/4
1/2
3/8
3/8
共同规格
流体 压缩空气
放水方式
滤芯寿命
除水率
环境及流体温度
保证耐压力
最低使用压力
最高使用压力
手动放水
当压力差达到
0.02MPa时
90%
5 ~ 60˚C
1.5MPa
-100kPa
1.0MPa
ZFA/ZFB系列 真空过滤器
使用流体
滤芯耐压差
使用压力
环境及流体温度
过滤精度
压缩空气，氮气
0.5MPa
-100 ~ 0kPa
5 ~ 60°C
30µm
ZFB
ZFA
注1) : □–代表集装组件位置数
01 = 1位
10 = 10位
ZFA100-01 1/8 ZZFA1-□
ø4
ø6
ø6
ø8
ø8
ø10
50
200
10
20
30
50
75
75
1/4
—
—
— —
ZZFA2-□
BP-1H-1A
BP-1H-2A
EJ001H-030N
EJ101H-030N
I-34S-A
I-35S-A
I-36S-A
ZFA200-02
ZFB100-04
ZFB100-06
ZFB200-06
ZFB200-08
ZFB300-08
ZFB300-10
配件(任选项)
注1) 集装式组件
型号
规格 备件
接管口径 托架 滤芯组件 适合管子
(外径)
流量
( /min ANR)
共同规格
共同规格
共同规格
ZFC系列 小型真空过滤器
ZFC050系列 小型真空过滤器
14 ø9.2 ø9.2
(7) 14
( PFMV )
ZFC050-M5X50
ZFC-EL050-X50 ZFC-EL013-A
ZFC050-M5X68 ZFC050-AU6X68
-100~700kPa -100~600kPa
0 60°C( )
20µm 30µm
)
) 10
( )
ZFZ-03-002□□系列 超小型真空过滤器
●真空与正压都适用
-100kPa ~ 1.0MPa (20˚C)
过滤精度 5µm
使用压力范围
注)流量(正压)条件：供给压力0.7MPa，压力下降30kPa
型号 ZFC1□ ZFC3□ ZFC5□ ZFC7□
连接口径(适用气压管外径) ø2
15
2
45
5
50
7
80
10
100
10
200
20
250
30
450
70
550
80
650
100
ø3.2 ø3.2 ø4 ø4 ø6 ø6 ø8 ø10 ø12
使用流体 压缩空气·氮气
使用压力 -100kPa ~ 1.0MPa(20o
C时)
1.5(20o
C时)
0 ~ 60
流量(正压)L/min 注)
流量(真空压)
保证耐压力 MPa
使用·周围温度范围o
C
过滤度 µm 5(过滤效率95%)
滤心更换差压 MPa 0.1(真空压力20kPa)
过滤面积 mm2 140 470 750 1260
10.5
4.5
2.5 4.5 20.0 25.0
0.5 1.7 6.0 7.0
45.0 60.5 53.9 68.3 79.6
8.5 11.2 19.0
ZFC-EL-1 ZFC-EL-2 ZFC-EL-3
ZFC-BR001 ZFC-BR002 ZFC-BR003
10.0 11.5 23.0
适用气压管材质 尼龙·软尼龙·聚氨酯
重量 g
内容积 cm 3
全长 mm
全宽 mm 23.6
托架全宽 mm 27.3
ZFC-EL-4
ZFC-BR004
外壳材质
滤芯型号(备件)
托架(任选项)
聚碳酸酯
共同规格
真空压-100kPa
在粉尘环境下
想要保护机器!
真空压 -100 ~ 0kPa
工作物
吸盘
IN OUT
正压1.0MPa
例) 保护电磁阀
正压 0 ~ 1MPa
IN OUT
特点：
• 超小型体积过滤容积为1cm3
令吸放工件时间加快，而标准产品(ZFB系列)容积为5cm3
• 适用于半导体行业，特别是SMT贴片机应用
流体 压缩空气、氮气
无型号：NBR, F, FKM
操作压力范围
过滤精度
滤芯耐压差
密封圈及胶垫材质
环境及流体温度
-100 ~ 500kPa
0 ~ +60°C
A : 5µm, B : 10µm, C : 20µm,
D : 40µm, E : 70µm,
0.15MPa
共同规格
共同规格
12
ZP2系列 真空吸盘
ZP系列 真空吸盘
ø2
ø160~ø250 ±15。
ø4 ø6 ø8 ø10 ø13 ø16 ø20 ø25 ø32 ø40 ø50
ZP2系列 扁平型吸盘(ø10~ø30)
用于薄片,薄膜等的吸着
吸着时可抑制工件平面的变形
注1)不适用于施加负载的工件搬运
ZP2 T B10 MT N A5
真空引出方向
T
吸盘材质
记号 材质
N 丁腈橡胶
S 硅橡胶
F 氟化橡胶
GN 导电性丁腈橡胶
记号 形状 GS 导电性硅橡胶
MT 薄型
(带沟)
吸盘形状
型号表示方法 垂直真空接管型/带连接器
记号 方向
垂直
安装连接
吸盘直径(记号)
螺纹径(记号)
H5G(M5 x 0.8 外螺纹)
B5(M5 x 0.8 内螺纹)
A5(M5 x 0.8 外螺纹带六角接头)
B10 B15 B20 B25 B30
记号
B10 ø10
B15 ø15
B20 ø20
B25 ø25
B30 ø30
吸盘直径
吸盘直径
ø0.8~ø15 ø4~ø125
ø5~ø30 ø4~ø15 ø2~ø46
ø32~ø340 3.5x7~8x30 ø2~ø8
INO-3769-200-** 4.5 ø15~ø46
13
ZP3系列 真空吸盘
• 比旧款ZP总长短
• 新增ø1.5直径
• 吸盘与工件接触之部位脱离性提高
• 6种吸盘材料可供选择
(丁腈橡胶、硅橡胶、聚氨脂橡胶、FKM、
导电性丁腈橡胶、导电性硅胶)
丁腈橡胶
防静电丁腈橡胶
防静电硅胶
硅胶
聚氨脂
氟化橡胶
吸盘部
材质 FS61氟橡胶
颜色 绿色
硬度 HS(±5°) A60
配件部 材质 铝合金、不锈钢∗1
滤网 精度：250µm
∗1 不锈钢只应用在滤网上
共同规格
平型带肋
风琴型 型号表示方法
q w e r
吸盘单体
附连接器 ZP3C T 40 C MF AG02
ZP3C 40 C FS
FS
r 连接螺纹
记号 螺纹种类∗ 尺寸
AG02 外螺纹 G1/4 BG02 内螺纹
∗ 使用真空入口的连接螺纹。
q 吸盘直径
40 ø40
50 ø50
w 形状
C 平型带肋
B 风琴型
e滤网
无记号 不带滤网
MF 带滤网
适用于吸附瓦楞纸板搬送
材质：FS61(氟橡胶)提高耐磨性
* 对比SMC’s聚氨酯吸盘的耐磨性是两倍以上
滤网过滤器可减少异物吸入
• 减少异物经吸盘吸入真空泵和
真空发生器
• 无需工具即可更换吸盘和
滤网过滤器
• 金属和橡胶部件的分离较
简易
连接器组件(金属零件) - 维修备用
滤网过滤器
精度：250µm
(型号：ZPMF-60-D18)
(维修备用)
吸盘(橡胶部分)
型号 螺纹种类 适用吸盘
ZP3CA-T4-AG02 外螺纹 ø40, ø50 ZP3CA-T4-BG02 内螺纹
ZP3C系列 真空吸盘(ø40, ø50)
ZP3P系列 真空吸盘
■对应吸附时易产生大幅变形的薄膜包装工件
■使用通过 FDA（美国食品医药管理局）
21CFR§177.2600溶出试验的硅胶材质
■本体颜色为蓝色
■减少泄漏
■减少吸附薄型工件（薄膜、乙烯塑料等）
吸附时的褶皱
kPa -80
-40
–70.8
kPa –28.0
kPa
ZP3P T20PTSF A5
记号 吸盘直径
20 ø20
25 ø25
35 ø35
50 ø50
纵向真空引出型带连接件
记号 安装连接 ø20 ø25 ø35 ø50 螺纹尺寸
A5 M5×0.8 ● ● － －
A12 M12×1.75 － － ● ●
AG1 G1/8 ● ● － －
AG2 G1/4 － － ● ●
AG3 G3/8 － － ● ●
B5 M5×0.8 ● ● － －
B8 M8×1.25 － － ● ●
14
ZP3P-JT系列 真空吸盘(多层风琴型)
对应柔软薄膜包装工件的吸着搬送
应用例
可做液体或粉末等大变形的袋装工件的吸着搬送
液体包装 粉末包装 充气袋 塑封袋包装
降低吸着搬送时的吸盘变形丶工件晃动
有导轨配件 无导轨配件
变形、晃动 小 变形、晃动 大
上记搬送条件
导轨配件
吸盘径ø40[mm] / 工作物质量 : 700 [g]
供给压力 : -85[kPa] / 加速丶减速度 : 4[G]
吸盘单体、导轨配件
使用FDA(美国食品药品管理局)
规格的硅胶材质
采用蓝色
容易做异物混入检查等的颜色判别
使用温度范围 -30 ~ 90°C∗1
吸盘部
材质 硅橡胶∗2
颜色 蓝色
硬度 HS(±5°) A40
配件部
材质 合成树脂∗2 不锈钢∗3
颜色 白色
滤网 滤网：60 / 开口：280µm
∗1 -5 ~ 60°C适合应用在供真空的快换接头
∗2 FDA(美国食品药品管理局) 规格编号：21CFR§177适合
∗3 不锈钢只应用在滤网上
共同规格
吸盘单体
附连接器
硅橡胶
风琴形
2.5-段
ZP3P T AG01
ZP3P 20 2SF
20 2SF
JT
JT W
W
➊ ➋ ➌ ➍
型号表示方法 附连接器
➌连接螺纹 / ➍真空取出口
➌ 连接螺纹 ➍真空取出口 吸盘直径 [mm]
型式 形状 记号 尺寸 形状 记号 尺寸 ø20 ø32, ø50
直接安装
AG01 G1/8
AG02 G1/4 — 无记号 —∗1
AG03 G3/8
AG04 G1/2 —
BG01 G1/8 — 无记号 —∗1 —
BG02 G1/4 —
A16 M16×1 内螺纹
外螺纹
外螺纹
内螺纹
B01 Rc1/8 —快换接头
内螺纹
快换接头
08 ø8
A20 M20×1 B02 Rc1/4 — 10 ø10
∗1 与连接螺纹兼用 吸盘、连接器配件、安装螺帽，同包装出货(未组装)
面板安装
➊吸盘直径
20 ø20
32 ø32
50 ø50
➋ 配件
W 带扩大口配件
WM 吸入口带滤网
使用温度范围 -30 ~ 90°C
吸盘部
硅橡胶※
蓝色
A40/S
导轨
配件部
合成树脂※
材质
颜色
硬度HS(±5°)
材质
颜色 白色
※FDA(美国食品药品管理局)规格编号：21CFR§177.适合
共同规格
吸盘单体
附连接器
硅橡胶
FDA(美国食品药品管理局)
规格编号：21CFR§177.适合
风琴形 附导轨配件
5.5段
ZP3P T
ZP3P 5SF WG
5SF
JT
JT AG01
20
20
型号表示方法
附连接器
连接螺纹 真空取出口
连接螺纹 真空取出口 吸盘直径(mm)
型式 形状 记号 尺寸 形状 记号 尺寸 ø20, ø25 ø32 ~ ø50
直接安装
外螺纹 AG01 G1/8 - 无记号
无记号
-※ ● -
AG02 G1/4 - ●
内螺纹 BG01 G1/8 - -※ ● -
BG02 G1/4 - ●
面板安装 外螺纹
A16 M16×1
内螺纹
B01 Rc1/8 ● -
A20 M20×1 B02 Rc1/4 - ●
※与连接螺纹兼用。吸盘、连接器Ass’y、安装螺帽，同包装出货(未组装)。
吸盘直径
20 ø20
25 ø25
32 ø32
40 ø40
50 ø50
(ø20, ø32, ø50)-2.5段
对应柔软薄膜包装工件的
吸着搬送
(ø20, ø25, ø32, ø40, ø50)
ZHP系列 真空发生器吸盘
ZHP□□□-07□ ZHP□□□-10□ ZHP□□□-12□ ZHP□□□-15□
0.7 1.0 1.2 1.5
30 51 62 77
24 40 58 87
-91
MPa
Pa
mm
L/min(ANR)
L/min(ANR)
0.35
平型
风琴型
63 ø63
80 ø80
N NBR
S
U
F FKM
BM
UM
A M8
B M10
C M8
D M10
07 ø0.7
10 ø1.0
12 ø1.2
15 ø1.5
供给（P）孔
C4 ø4
C6 ø6
ZHP 80 BM N B 10 C6 S
真空产生器/
喷嘴直径(mm)
15
·
·
·
ZP-606-25CS0J20软质乙烯材质用真空吸盘
ø8
ZH13DS
0.45MPa
（N） 60
50
40
30
20
10
0
0 20 40 60 80 100
0.45MPa
ZP-580系列 海绵吸盘
• 适合吸附表面有凹凸、高度差、间隙的工件(穿孔基板等)。
• 一个吸盘可吸附尺寸、形状不同的工件。
• 即使吸盘吸附面有未与工件接触的部分也不会令真空度降低。
ø5×26 = 510.25mm2
ZP-580
25.5N (-50kPa时)
ø0.5mm
• 防止变形：
吸着薄片、乙烯材质时降低工件的皱摺，
中央吸盘中央部的扁平面可防止变形。
• 贴合提升：
能可靠吸着薄片、乙烯材质、柔性的裙部
使得与工件的贴合得以提升，降低泄漏，
提高真空到达度。
• 带缓冲垫：
缓冲器上安装了缓冲垫，减少金属粉尘和噪音。
–50
0
-100
(kPa)
–90.8
kPa
–28.0
kPa
–3.8
kPa
软质薄膜用吸盘 平行带肋吸盘 平行吸盘
ZP606
ZP-905-CJXN0525系列 防静电真空吸盘(表面电阻值106
~ 109
Ω)
(ø4, ø6, ø8, ø10, ø15, ø16, ø20 , ø25, ø30) ‧吸盘材质：防静电硅
‧痕迹对策吸盘材质：防静电HNBR
吸盘单体 ZP UM
吸盘直径
吸盘形状
吸盘形状 吸盘形状
MU 平型
UM 带沟平型
MT 尖端吸盘
MB 风琴型
905 CJXN0525
型号表示方法
吸盘单体形状
04 06 08 10 15 16 20 25 30
MU
(平型) ● ●
UM
(带沟平型) ● ● ● ●
MT
(尖端吸盘) ● ● ● ● ●
MB
(风琴型) ● ●
吸盘类型 吸盘直径
记号 吸盘直径
04 ø4
06 ø6
08 ø8
10 ø10
15 ø15
16 ø16
20 ø20
25 ø25
30 ø30
吸盘材质
记号 材质
无记号 防静电硅
HBU 防静电HNBR
是否含碳
含(黑色)
不含(蓝色)
共同规格
ZP3P-JT系列 真空吸盘(多层风琴型)
对应柔软薄膜包装工件的吸着搬送
应用例
可做液体或粉末等大变形的袋装工件的吸着搬送
液体包装 粉末包装 充气袋 塑封袋包装
降低吸着搬送时的吸盘变形丶工件晃动
有导轨配件 无导轨配件
变形、晃动 小 变形、晃动 大
上记搬送条件
导轨配件
吸盘径ø40[mm] / 工作物质量 : 700 [g]
供给压力 : -85[kPa] / 加速丶减速度 : 4[G]
吸盘单体、导轨配件
使用FDA(美国食品药品管理局)
规格的硅胶材质
采用蓝色
容易做异物混入检查等的颜色判别
使用温度范围 -30 ~ 90°C∗1
吸盘部
材质 硅橡胶∗2
颜色 蓝色
硬度 HS(±5°) A40
配件部
材质 合成树脂∗2 不锈钢∗3
颜色 白色
滤网 滤网：60 / 开口：280µm
∗1 -5 ~ 60°C适合应用在供真空的快换接头
∗2 FDA(美国食品药品管理局) 规格编号：21CFR§177适合
∗3 不锈钢只应用在滤网上
共同规格
吸盘单体
附连接器
硅橡胶
风琴形
2.5-段
ZP3P T AG01
ZP3P 20 2SF
20 2SF
JT
JT W
W
➊ ➋ ➌ ➍
型号表示方法 附连接器
➌连接螺纹 / ➍真空取出口
➌ 连接螺纹 ➍真空取出口 吸盘直径 [mm]
型式 形状 记号 尺寸 形状 记号 尺寸 ø20 ø32, ø50
直接安装
AG01 G1/8
AG02 G1/4 — 无记号 —∗1
AG03 G3/8
AG04 G1/2 —
BG01 G1/8 — 无记号 —∗1 —
BG02 G1/4 —
A16 M16×1 内螺纹
外螺纹
外螺纹
内螺纹
B01 Rc1/8 —快换接头
内螺纹
快换接头
08 ø8
A20 M20×1 B02 Rc1/4 — 10 ø10
∗1 与连接螺纹兼用 吸盘、连接器配件、安装螺帽，同包装出货(未组装)
面板安装
➊吸盘直径
20 ø20
32 ø32
50 ø50
➋ 配件
W 带扩大口配件
WM 吸入口带滤网
使用温度范围 -30 ~ 90°C
吸盘部
硅橡胶※
蓝色
A40/S
导轨
配件部
合成树脂※
材质
颜色
硬度HS(±5°)
材质
颜色 白色
※FDA(美国食品药品管理局)规格编号：21CFR§177.适合
共同规格
吸盘单体
附连接器
硅橡胶
FDA(美国食品药品管理局)
规格编号：21CFR§177.适合
风琴形 附导轨配件
5.5段
ZP3P T
ZP3P 5SF WG
5SF
JT
JT AG01
20
20
型号表示方法
附连接器
连接螺纹 真空取出口
连接螺纹 真空取出口 吸盘直径(mm)
型式 形状 记号 尺寸 形状 记号 尺寸 ø20, ø25 ø32 ~ ø50
直接安装
外螺纹 AG01 G1/8 - 无记号
无记号
-※ ● -
AG02 G1/4 - ●
内螺纹 BG01 G1/8 - -※ ● -
BG02 G1/4 - ●
面板安装 外螺纹
A16 M16×1
内螺纹
B01 Rc1/8 ● -
A20 M20×1 B02 Rc1/4 - ●
※与连接螺纹兼用。吸盘、连接器Ass’y、安装螺帽，同包装出货(未组装)。
吸盘直径
20 ø20
25 ø25
32 ø32
40 ø40
50 ø50
(ø20, ø32, ø50)-2.5段
对应柔软薄膜包装工件的
吸着搬送
(ø20, ø25, ø32, ø40, ø50)
ZHP系列 真空发生器吸盘
ZHP□□□-07□ ZHP□□□-10□ ZHP□□□-12□ ZHP□□□-15□
0.7 1.0 1.2 1.5
30 51 62 77
24 40 58 87
-91
MPa
Pa
mm
L/min(ANR)
L/min(ANR)
0.35
平型
风琴型
63 ø63
80 ø80
N NBR
S
U
F FKM
BM
UM
A M8
B M10
C M8
D M10
07 ø0.7
10 ø1.0
12 ø1.2
15 ø1.5
供给（P）孔
C4 ø4
C6 ø6
ZHP 80 BM N B 10 C6 S
真空产生器/
喷嘴直径(mm)
16
RoHS
ZP ZP3E (
: ( )
:
件
4
ZP ( )
(4 1 )
ZP3E
1
/ ZP3E T 32 UM N A10
T
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM N
S
U
F
CL
ø32 ~ ø50 ø63 ~ ø125
A10 M10 x 1 —
A16 M16 x 1.5 —
AL14* M14 x 1 —
AL16* M16 x 1.5 —
B8 M8 x 1.25 —
B10 M10 x 1.5 —
B12 M12 x 1.75 —
B18 M18 x 1.5 —
ZP3E 32 UM N P
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM
N
S
U
F
CL
P
/ (UM) (BM)
32 40 50 63 80 100 125 32 40 50 63 80 100 125
ZP3EA-P1 — — — — — — — — — —
ZP3EA-P2 — — — — — — — — — — — —
ZP3EA-P3 — — — — — — — — — — —
ZP3EA-P4 — — — — — — — — — — — —
ZP3EA-P5 — — — — — — — — — — — —
ZP3EA-P6 — — — — — — — — — — — — —
ø32, ø40, ø50, ø63, ø80, ø100, ø125
ZP3E系列 真空吸盘
*AL16/AL14外螺纹安装方式中，真空通口内亦有内螺纹提供。
17
/
AL16/AL14
Y
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125 UM
BM
N
S
U
F
CL
ZP3E Y 32 UM N AL14
ø32 ~ ø50 ø63 ~ ø125
AL14 M14 x 1.5 —
AL16 M16 x 1.5 —
B8 M8 x 1.25 —
B12 M12 x 1.75 —
/
(L)
ZP3E T 32 UM N JB 10
JB
10 10 mm
30 30 mm
50 50 mm
T
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM
N
S
U
F
CL
/
(L)
ZP3E Y 32 UM N JB 10
JB
10 10 mm
30 30 mm
50 50 mm
Y
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM
N
S
U
F
CL
RoHS
ZP ZP3E (
: ( )
:
件
4
ZP ( )
(4 1 )
ZP3E
1
/ ZP3E T 32 UM N A10
T
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM N
S
U
F
CL
ø32 ~ ø50 ø63 ~ ø125
A10 M10 x 1 —
A16 M16 x 1.5 —
AL14* M14 x 1 —
AL16* M16 x 1.5 —
B8 M8 x 1.25 —
B10 M10 x 1.5 —
B12 M12 x 1.75 —
B18 M18 x 1.5 —
ZP3E 32 UM N P
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM
N
S
U
F
CL
P
/ (UM) (BM)
32 40 50 63 80 100 125 32 40 50 63 80 100 125
ZP3EA-P1 — — — — — — — — — —
ZP3EA-P2 — — — — — — — — — — — —
ZP3EA-P3 — — — — — — — — — — —
ZP3EA-P4 — — — — — — — — — — — —
ZP3EA-P5 — — — — — — — — — — — —
ZP3EA-P6 — — — — — — — — — — — — —
ø32, ø40, ø50, ø63, ø80, ø100, ø125
ZP3E系列 真空吸盘
*AL16/AL14外螺纹安装方式中，真空通口内亦有内螺纹提供。
18
/
(L)
ZP3E T 32 UM N JB 10
JB 10 10 mm
30 30 mm
50 50 mm
T
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM
N
S
U
F
CL
/ F
( )
F
/ ZP3E Y 32 UM N AL14
Y
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM
N
S
U
F
CL
( )
F
F
ø32 ~ ø50 ø63 ~ ø125
AL14 M14 x 1 —
AL16 M16 x 1.5 —
B8 M8 x 1.25 —
B12 M12 x 1.75 —
ZP3E Y 32 UM N JB 10
JB
(L)
10 10 mm
30 30 mm
50 50 mm
Y
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM
N
S
U
F
CL
/ F
( )
F
ZP3E T 32 UM N AL6
T
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM
N
S
U
F
CL
ø32 ~ ø50 ø63 ~ ø125
AL6 M6 x 1 —
AL12 M12 x 1.25 —
AL14 M14 x 1 —
AL16 M16 x 1.5 —
B8 M8 x 1.25 —
B12 M12 x 1.75 —
( )
F
F
外螺纹
19
ZP-654-Y2/Y3管道串联接头
ZPT/ZPX系列 真空吸盘
ZPT/ZPR系列 真空吸盘 ZPY系列 真空吸盘
ZP-642-11AC系列 海绵吸盘
×9
Rc1/4
可兼容系列：
ZP3系列ø04 ~ ø08
• 接头型号：ZP-654-Y2
ZP3系列ø10 ~ ø16
• 接头型号：ZP-654-Y3
优点：节省空间及安装时间
管道串联接头 现有管道
两边其中一个管接头可作真空分流之用
新增管道接头
分别于吸嘴左和右
管道串联接头安装例子：
维修部件型号
固定环
吸附工作板
Z P -697- 5 0 N H A 14
吸盘直径
型号 吸盘直径(mm)
50 ø50
ø50
80 ø80
ø80
ø50 ø80
安装螺纹直径 (真空连接) 型号 螺纹直径 吸盘直径
安装方法 外螺纹 M14 x 1
M20 x 1
A14
A20
B14
Rc1/8
Rc1/4
内螺纹 M14 x 1.5
部件名称
ZP-697-50NH-G
ZP-697-50-V
ZP-697-80NH-G
ZP-697-80-V
1. 防止工件变形表面乃通孔式非纤维布质吸附物料，
可防止吸着时工件变形。
2. 减少留痕在工件表面。
薄片无痕吸盘
工件
不变形
薄形工件
传统式吸盘
工件
会变形
ZP-697系列 薄片无痕吸盘
大型 • 重负载型
最适合于显像管、汽车体等
重工件及大型工件。
吸盘直径：ø40 ~ ø125
头可摆动型
最适合于显像管、汽车体等
重工件及大型工件。
吸盘直径：ø40 ~ ø125
倒钓式接管型
大型风琴型
最适合于工件吸着面弯曲，
大工件及重工件。
吸盘直径：ø40 ~ ø125
/
(L)
ZP3E T 32 UM N JB 10
JB 10 10 mm
30 30 mm
50 50 mm
T
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM
N
S
U
F
CL
/ F
( )
F
/ ZP3E Y 32 UM N AL14
Y
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM
N
S
U
F
CL
( )
F
F
ø32 ~ ø50 ø63 ~ ø125
AL14 M14 x 1 —
AL16 M16 x 1.5 —
B8 M8 x 1.25 —
B12 M12 x 1.75 —
ZP3E Y 32 UM N JB 10
JB
(L)
10 10 mm
30 30 mm
50 50 mm
Y
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM
N
S
U
F
CL
/ F
( )
F
ZP3E T 32 UM N AL6
T
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM
N
S
U
F
CL
ø32 ~ ø50 ø63 ~ ø125
AL6 M6 x 1 —
AL12 M12 x 1.25 —
AL14 M14 x 1 —
AL16 M16 x 1.5 —
B8 M8 x 1.25 —
B12 M12 x 1.75 —
( )
F
F
外螺纹
20
0.75MPa
-5~60°C( )
L/min(ANR)
(mm)
85
20 40 60 80 100
M5x0.8 Rc1/8
0.01~0.5MPa
3
145
11
170
19
200
27
240
(N) 35
JIS B 8392-1 ISO8573-1 4,4,2
:
: 10mm
XT661系列 气旋吸盘
ZNC20-X1系列 伯努利型吸盘
ZNC系列 伯努利型吸盘
型号表示方法
q w e r t
ZNC20 T X1
∗1 ( )带真空压力传感器。 ∗2 重量是不带塞头。
型号 ZNC20
吸取力 [N] 5.2
耗气量 [L/min] (ANR) 131
型式 伯努利型
使用流体 压缩空气
使用压力范围 0.1 ~ 0.5 MPa
保证耐压力 0.75 MPa
环境及
使用温度*1
本体
材质
铝合金 -5 ~ 80°C (0 ~ 50°C)
合成树脂 -5 ~ 40°C (0 ~ 40°C)
不锈钢 -5 ~ 80°C (0 ~ 50°C)
润滑脂 无润滑脂
重量[g]*2 本体
材质
铝合金 12
合成树脂 7
不锈钢 34
真空压力传感器 PSE541-M5-X2 (无润滑脂)
额定压力范围：0 ~ -101 kPa
共同规格
q 本体外径
20 ø20mm
w本体材质
无记号 铝合金
P 合成树脂
S 不锈钢
r 附件
无记号 基本型(没带附件)
PN 带档块 丁腈橡胶(黑色)
PS 硅橡胶(白色)
VS 带防震动保护盖 不锈钢
t压力传感器
无记号 没带
S 带压力传感器
型号：PSE541-M5-X2
e安装板
无记号 没带安装板
T 带安装板 铝合金
TS 不锈钢
带档块/不带安装板
基本型/不带安装板 带防震保护盖/不带安装板
安装板
新 基本型/带安装板
吸取力与工件距离对比图
0 0.5 1 1.5 2 2.5 3
工件距离 [mm]
吸取力 [N]
0.1 [MPa]
0.5 [MPa]
0.4 [MPa]
0.3 [MPa]
0.2 [MPa]
6
5
4
3
2
1
0
图示安装方法
顶面供气 侧面供气
可在安装板顶面连接快换接头供气。
可安装塞头密封安装板顶面供气口，
连接快换接头在侧面供气。
带安装板
不带安装板
侧面供气 本体供气(无配管时)
靠本体顶面O型胶圈与工件连接作密封，
连接快换接头在侧面供气。
以无配管使用时，用附属的塞头密封侧面
供气口，从顶面接管供气。
应用例
吸附塑料外壳
∗客户自行准备本体安装连接部件
吸附薄布
本体尺寸：ø20
本体尺寸：ø40
共同规格
型号
吸取力 [N]
耗气量 [L/min] (ANR)
型式 伯努利型
使用流体 压缩空气
使用压力范围 0.1 ~ 0.5 MPa
保证耐压力 0.75 MPa
本体
材质
铝合金
合成树脂
不锈钢 -5 ~ 80°C (0 ~ 50°C)
-5 ~ 40°C (0 ~ 40°C)
-5 ~ 80°C (0 ~ 50°C)
润滑脂 无润滑脂
重量[g]*2 本体
材质
铝合金
合成树脂
不锈钢
ZNC40
13.8
182
48
30
139
ZNC30
10.7
138
27
17
77
ZNC60
28.3
182
110
67
323
ZNC80
65
255
193
119
568
真空压力传感器 PSE541-M5-X2 (无润滑脂)
额定压力范围：0 ~ -101 kPa
∗1 ( )带真空压力传感器。 ∗2 重量是不带塞头。
环境及
使用温度*1
构造原理图
工件
安装口
压缩空气
供气口
本体
偏转器
产生真空
型号表示方法 ZNC 40
本体外径
30 ø30 mm
40 ø40 mm
60 ø60 mm
80 ø80 mm
本体材质
无记号 铝合金
P 合成树脂
S 不锈钢
压力传感器
无记号 没带
S 带压力传感器
型号：PSE541-M5-X2
附件
无记号
带档块
基本型(没带附件)
PN 丁腈橡胶(黑色)
PS 硅橡胶(白色)
带防震动
保护盖
VP 合成树脂
VS 不锈钢
* 挡抉日后不能外加选用。
* 防震动保护盖可日后选用外加。
* 挡抉与防震动保护盖不能同时选用。
* 带防震动保护盖与本体材质配对表
符号 材质 本体外径 本体材质
铝合金 合成树脂 不锈钢
VP 合成树脂
30
40 —
60
80
— — —
— — —
— — —
VS 不锈钢
30
40 —
60
80
应用例
吸附纸张
吸附线路板 吸附气泡包装物料
吸附薄型布料
共同规格
21
叶片软管
螺母
叶片软管
上升高度：
1.8m
搬送距离：2m
通过直径：ø30
冲压机器人
收集盒
ø19 1m
通过直径：ø30
加工机
工件 15 ~ 20mm
钻床
脚踏式机械阀
VM230-02-40
通过直径：ø21.5
通过直径：ø13
真空和系统外的收集
通过直径：ø13
工件：托盘内的压接端子
托盘
工件 研磨机
通过直径：ø21.5
10mm左右
ZH-X185/X226/X249/X338/X341系列 真空发生器/大流量喷嘴型
通过供给压缩空气
共同规格
型号
ZH10-B-X185
ZH□-B-X185
ZH□-B-X341
ZH20-B-X185 ZH30-B-X185 ZH40-B-X185
ZH10-B-X341 ZH20-B-X341 ZH30-B-X341 ZH40-B-X341
密封材料 NBR
ZH□-X185(铝合金), ZH□-X341(不锈钢)
压缩空气
0 ~ 0.7MPa
使用流体
供给压力范围
本体材质
流量
通径 ø13 ø21.6 ø30 ø42
RoHS
喷出
供给空气
4
4
3
供给空气
吸入
3
4
1m
101 436 990 1966
280 1250 2800 5560
E
H
重量
(g)
最大吸出量
最大吐出量 约700L/min(ANR)
ZH-BK1-10-A ZH-BK1-20-A ZH-BK1-30-A ZH-BK1-40-A
ZH-DB1-10-A ZH-DB1-20-A ZH-DB1-30-A ZH-DB1-40-A
托架组件
集尘袋组件
0.5 6
压力(MPa) 配管外径(mm)
0.3 6
压力(MPa) 配管外径(mm)
0.3 6
压力(MPa) 配管外径(mm)
0.4 6
压力(MPa) 配管外径(mm)
0.3 21.5
压力(MPa) 配管外径(mm)
0.45 8
压力(MPa) 配管外径(mm)
0.5 8
压力(MPa) 配管外径(mm)
0.3 6
压力(MPa) 配管外径(mm)
箱
注1) ZH-B- , B X185
X341 代表产品已含托架组件。
约1600L/min(ANR) 约3000L/min(ANR) 约4800L/min(ANR)
500L/min(ANR) 1200L/min(ANR) 2300L/min(ANR) 3400L/min(ANR)
通过直径：ø13
工件
空气过滤器收集
AFJ30/40
0.75MPa
-5~60°C( )
L/min(ANR)
(mm)
85
20 40 60 80 100
M5x0.8 Rc1/8
0.01~0.5MPa
3
145
11
170
19
200
27
240
(N) 35
JIS B 8392-1 ISO8573-1 4,4,2
:
: 10mm
XT661系列 气旋吸盘
ZNC20-X1系列 伯努利型吸盘
ZNC系列 伯努利型吸盘
型号表示方法
q w e r t
ZNC20 T X1
∗1 ( )带真空压力传感器。 ∗2 重量是不带塞头。
型号 ZNC20
吸取力 [N] 5.2
耗气量 [L/min] (ANR) 131
型式 伯努利型
使用流体 压缩空气
使用压力范围 0.1 ~ 0.5 MPa
保证耐压力 0.75 MPa
环境及
使用温度*1
本体
材质
铝合金 -5 ~ 80°C (0 ~ 50°C)
合成树脂 -5 ~ 40°C (0 ~ 40°C)
不锈钢 -5 ~ 80°C (0 ~ 50°C)
润滑脂 无润滑脂
重量[g]*2 本体
材质
铝合金 12
合成树脂 7
不锈钢 34
真空压力传感器 PSE541-M5-X2 (无润滑脂)
额定压力范围：0 ~ -101 kPa
共同规格
q 本体外径
20 ø20mm
w本体材质
无记号 铝合金
P 合成树脂
S 不锈钢
r 附件
无记号 基本型(没带附件)
PN 带档块 丁腈橡胶(黑色)
PS 硅橡胶(白色)
VS 带防震动保护盖 不锈钢
t压力传感器
无记号 没带
S 带压力传感器
型号：PSE541-M5-X2
e安装板
无记号 没带安装板
T 带安装板 铝合金
TS 不锈钢
带档块/不带安装板
基本型/不带安装板 带防震保护盖/不带安装板
安装板
新 基本型/带安装板
吸取力与工件距离对比图
0 0.5 1 1.5 2 2.5 3
工件距离 [mm]
吸取力 [N]
0.1 [MPa]
0.5 [MPa]
0.4 [MPa]
0.3 [MPa]
0.2 [MPa]
6
5
4
3
2
1
0
图示安装方法
顶面供气 侧面供气
可在安装板顶面连接快换接头供气。
可安装塞头密封安装板顶面供气口，
连接快换接头在侧面供气。
带安装板
不带安装板
侧面供气 本体供气(无配管时)
靠本体顶面O型胶圈与工件连接作密封，
连接快换接头在侧面供气。
以无配管使用时，用附属的塞头密封侧面
供气口，从顶面接管供气。
应用例
吸附塑料外壳
∗客户自行准备本体安装连接部件
吸附薄布
本体尺寸：ø20
本体尺寸：ø40
共同规格
型号
吸取力 [N]
耗气量 [L/min] (ANR)
型式 伯努利型
使用流体 压缩空气
使用压力范围 0.1 ~ 0.5 MPa
保证耐压力 0.75 MPa
本体
材质
铝合金
合成树脂
不锈钢 -5 ~ 80°C (0 ~ 50°C)
-5 ~ 40°C (0 ~ 40°C)
-5 ~ 80°C (0 ~ 50°C)
润滑脂 无润滑脂
重量[g]*2 本体
材质
铝合金
合成树脂
不锈钢
ZNC40
13.8
182
48
30
139
ZNC30
10.7
138
27
17
77
ZNC60
28.3
182
110
67
323
ZNC80
65
255
193
119
568
真空压力传感器 PSE541-M5-X2 (无润滑脂)
额定压力范围：0 ~ -101 kPa
∗1 ( )带真空压力传感器。 ∗2 重量是不带塞头。
环境及
使用温度*1
构造原理图
工件
安装口
压缩空气
供气口
本体
偏转器
产生真空
型号表示方法 ZNC 40
本体外径
30 ø30 mm
40 ø40 mm
60 ø60 mm
80 ø80 mm
本体材质
无记号 铝合金
P 合成树脂
S 不锈钢
压力传感器
无记号 没带
S 带压力传感器
型号：PSE541-M5-X2
附件
无记号
带档块
基本型(没带附件)
PN 丁腈橡胶(黑色)
PS 硅橡胶(白色)
带防震动
保护盖
VP 合成树脂
VS 不锈钢
* 挡抉日后不能外加选用。
* 防震动保护盖可日后选用外加。
* 挡抉与防震动保护盖不能同时选用。
* 带防震动保护盖与本体材质配对表
符号 材质 本体外径 本体材质
铝合金 合成树脂 不锈钢
VP 合成树脂
30
40 —
60
80
— — —
— — —
— — —
VS 不锈钢
30
40 —
60
80
应用例
吸附纸张
吸附线路板 吸附气泡包装物料
吸附薄型布料
共同规格
22
ZH-X338系列 真空发生器/大流量喷嘴型
吸入口
Rc3/8
供给空气
Rc1/4 喷出
R3/4
共同规格
型号 ZH-X338
本体材质 铝合金
密封材料 NBR
通过孔径 ø12
C [dm3
/(s·bar)] (有效断面积[mm2)]*1 1.58 (7.29)
880
1550
570
使用流体 压缩空气
供给压力范围 0 ~ 0.7 MPa
环境和流体温度[°C] -5 ~ 80 (未冻结)
质量[g] 328
吸入流量L/min (ANR)*2
吹风流量L/min (ANR)*2
消耗流量L/min (ANR)*2
*1 C值和有效面积是理论值。 *2 供气压力在0.5 MPa。
ZH-X226系列 真空发生器/大流量喷嘴型
供给空气
气管ø8
喷出气管
ø12
吸入气管ø10
密封材料 NBR
通过孔径 ø8
0.83 (4.13)
405
700
297
使用流体 压缩空气
供给压力范围 0 ~ 0.7 MPa
环境和流体温度[ °C] -5 ~ 80 (未冻结)
质量 [g] 240
*1 C值和有效面积是理论值。 *2 供气压力在0.5 MPa。
吸入流量L/min (ANR)*2
吹风流量L/min (ANR)*2
消耗流量L/min (ANR)*2
本体材质 铝合金
型号 ZH-X226
共同规格
C [dm3
/(s·bar)] (有效断面积[mm2])*1
真空流量
真空吸盘
机械手前端安装真空吸盘和大流量真空发生器作高速搬送。另可用真空气源应用于
制衣设备中的丝线、原线等回收及电子行业中模具内树脂的碎片，尘埃回收。
应用例
ZH10-B-X249系列 真空发生器/大流量喷嘴型
ø34
气管
吸入 扩展嘴式管道
喷出气管ø25
供给空气
吸入口
ø19
叶片软管式管道
Rc1/8
螺旋式管道
吸入口
M25 x1
共同规格
型号
本体材质 铝合金
密封材料 NBR
通过孔径 ø11.5
0.94 (4.72)
820
1160
340
使用流体 压缩空气
供给压力范围 0 ~ 0.7 MPa
环境和流体温度[ °C] 5 ~ 80 (未冻结)
质量 [g]
吸入流量
吹风流量
消耗流量
L/min (ANR)∗2
L/min (ANR)∗2
L/min (ANR)∗2
螺旋式管道 叶片软管式管道 扩展嘴式管道
ZH10-B-X249 ZH10-B-X249P ZH10-B-X249W
250 267 278
C [dm3
/(s·bar)] (有效断面积[mm2
])*1
*1 C值和有效面积是理论值。 *2 供气压力在0.5 MPa。
ZH□-□-X267系列 全不锈钢真空发生器
- (SCS: SUS304)
-
- : 260°C
-
Ⓐ
Ⓑ
ZH05S-X267 ZH05L-X267 ZH07S-X267 ZH07L-X267 ZH10S-X267 ZH10L-X267
mm 0.5 0.7 1.0
-88 -48 -88 -48 -88 -48
5 8 12 20 24 34
13 23 46
MPa 0.45
SCS13
SUS304
SUS304
MPa 0.6
-5~260
ZP2V系列 真空止回阀
应用例
无工件 吸附工件 无工件
共同规格
M5, M6, ø4 M8, R1/8, Rc1/8, ø6
0.3 0.5 0.7 0.5 0.7 1.0
有效断面积 阀作动时(mm2
） 0.07 0.19 0.38 0.19 0.38 0.78
阀非作动时(mm2
） 1.64 1.76 1.95 1.76 2.64 3.04
使用流体
最高使用压力范围(MPa）
最高使用真空压力范围(kPa）
环境温度及使用流体温度
过滤孔径(μm）
(℃）
最低使用流量(L/min（ANR）） 3 5 8 5 8 16
连接吸盘口径
连接孔径(mm）
压缩空气
0 ～ 0.7
0 ～ -100
40
5 ～60(未冻结)
型号表示方法 ZP2V A5 03
固定节流径
记号 固定节流径(mm)
03 0.3
05 0.5
07 0.7
10 1.0
连接尺寸(吸盘侧／真空产生器侧)
公螺牙吸盘侧
真空产生器侧
快速接头
公螺牙 / 快速接头
记号
吸盘侧 真空
产生器侧 适用固定节流径
公螺牙 快速
接头 0.3 0.5 0.7 1.0
A5W4 ø4 ○ ○ ○ ―
A01W6 R1/8 ø6 ― ○ ○ ○
M5x0.8
真空产生器侧
公螺牙
母螺牙吸盘侧
母螺牙 / 公螺牙
记号 吸盘侧 真空产生器侧 适用固定节流径
母螺牙 公螺牙 0.3 0.5 0.7 1.0
B5 ○ ○ ○ ―
B6 ○ ○ ○ ―
B01 Rc1/8 R1/8 ― ○ ○ ○
M5 x 0.8
M6 x 1
公螺牙吸盘侧
真空产生器侧
母螺牙
盘侧
公螺牙 / 母螺牙
记号 吸盘侧 真空产生器侧 适用固定节流径
公螺牙 母螺牙 0.3 0.5 0.7 1.0
A5 ○ ○ ○ ―
A8 ― ○ ○ ○
A01 R1/8 Rc1/8 ― ○ ○ ○
M5 x 0.8
M8 x 1.25
母螺牙 / 快速接头
母螺牙吸盘侧
真空产生器侧
快速接头
真空
产生器侧
记号
吸盘侧 适用固定节流径
母螺牙 快速
接头 0.3 0.5 0.7 1.0
B5W4 ø4 ○ ○ ○ ―
B01W6 Rc1/8 ø6 ― ○ ○ ○
M5x0.8
公螺牙吸盘侧
真空产生器侧
公螺牙
记号
吸盘侧 真空产生器侧 适用固定节流径
公螺牙 公螺牙 0.3 0.5 0.7 1.0
A5A5 ○ ○ ○ ―
A01A01 R1/8 ― ○ ○ ○
M5 x 0.8
公螺牙 / 公螺牙
母螺牙吸盘侧
真空产生器侧
母螺牙
记号
吸盘侧 真空产生器侧 适用固定节流径
母螺牙 母螺牙 0.3 0.5 0.7 1.0
B5B5 ○ ○ ○ ―
B01B01 Rc1/8 ― ○ ○ ○
M5 x 0.8
母螺牙 / 母螺牙
快速接头吸盘侧
真空产生器侧
快速接头 真空
产生器侧
记号
吸盘侧 适用固定节流径
快速
接头
快速
接头 0.3 0.5 0.7 1.0
W4 ø4 ○ ○ ○ ―
W6 ø6 ― ○ ○ ○
快速接头 / 快速接头
* 工作变更时，不需切换操作系统
共同规格
A部扩大
真空空气
真空
空气
A部
阀闭 阀开
真空空气流动使阀
关闭
吸入流量降低，
弹簧力使阀打开
无工件 有工件
工作原理
23
ZH□-□-X267系列 全不锈钢真空发生器
- (SCS: SUS304)
-
- : 260°C
-
Ⓐ
Ⓑ
ZH05S-X267 ZH05L-X267 ZH07S-X267 ZH07L-X267 ZH10S-X267 ZH10L-X267
mm 0.5 0.7 1.0
-88 -48 -88 -48 -88 -48
5 8 12 20 24 34
13 23 46
MPa 0.45
SCS13
SUS304
SUS304
MPa 0.6
-5~260
ZP2V系列 真空止回阀
应用例
无工件 吸附工件 无工件
共同规格
M5, M6, ø4 M8, R1/8, Rc1/8, ø6
0.3 0.5 0.7 0.5 0.7 1.0
有效断面积 阀作动时(mm2
） 0.07 0.19 0.38 0.19 0.38 0.78
阀非作动时(mm2
） 1.64 1.76 1.95 1.76 2.64 3.04
使用流体
最高使用压力范围(MPa）
最高使用真空压力范围(kPa）
环境温度及使用流体温度
过滤孔径(μm）
(℃）
最低使用流量(L/min（ANR）） 3 5 8 5 8 16
连接吸盘口径
连接孔径(mm）
压缩空气
0 ～ 0.7
0 ～ -100
40
5 ～60(未冻结)
型号表示方法 ZP2V A5 03
固定节流径
记号 固定节流径(mm)
03 0.3
05 0.5
07 0.7
10 1.0
连接尺寸(吸盘侧／真空产生器侧)
公螺牙吸盘侧
真空产生器侧
快速接头
公螺牙 / 快速接头
记号
吸盘侧 真空
产生器侧 适用固定节流径
公螺牙 快速
接头 0.3 0.5 0.7 1.0
A5W4 ø4 ○ ○ ○ ―
A01W6 R1/8 ø6 ― ○ ○ ○
M5x0.8
真空产生器侧
公螺牙
母螺牙吸盘侧
母螺牙 / 公螺牙
记号 吸盘侧 真空产生器侧 适用固定节流径
母螺牙 公螺牙 0.3 0.5 0.7 1.0
B5 ○ ○ ○ ―
B6 ○ ○ ○ ―
B01 Rc1/8 R1/8 ― ○ ○ ○
M5 x 0.8
M6 x 1
公螺牙吸盘侧
真空产生器侧
母螺牙
盘侧
公螺牙 / 母螺牙
记号 吸盘侧 真空产生器侧 适用固定节流径
公螺牙 母螺牙 0.3 0.5 0.7 1.0
A5 ○ ○ ○ ―
A8 ― ○ ○ ○
A01 R1/8 Rc1/8 ― ○ ○ ○
M5 x 0.8
M8 x 1.25
母螺牙 / 快速接头
母螺牙吸盘侧
真空产生器侧
快速接头
真空
产生器侧
记号
吸盘侧 适用固定节流径
母螺牙 快速
接头 0.3 0.5 0.7 1.0
B5W4 ø4 ○ ○ ○ ―
B01W6 Rc1/8 ø6 ― ○ ○ ○
M5x0.8
公螺牙吸盘侧
真空产生器侧
公螺牙
记号
吸盘侧 真空产生器侧 适用固定节流径
公螺牙 公螺牙 0.3 0.5 0.7 1.0
A5A5 ○ ○ ○ ―
A01A01 R1/8 ― ○ ○ ○
M5 x 0.8
公螺牙 / 公螺牙
母螺牙吸盘侧
真空产生器侧
母螺牙
记号
吸盘侧 真空产生器侧 适用固定节流径
母螺牙 母螺牙 0.3 0.5 0.7 1.0
B5B5 ○ ○ ○ ―
B01B01 Rc1/8 ― ○ ○ ○
M5 x 0.8
母螺牙 / 母螺牙
快速接头吸盘侧
真空产生器侧
快速接头 真空
产生器侧
记号
吸盘侧 适用固定节流径
快速
接头
快速
接头 0.3 0.5 0.7 1.0
W4 ø4 ○ ○ ○ ―
W6 ø6 ― ○ ○ ○
快速接头 / 快速接头
* 工作变更时，不需切换操作系统
共同规格
A部扩大
真空空气
真空
空气
A部
阀闭 阀开
真空空气流动使阀
关闭
吸入流量降低，
弹簧力使阀打开
无工件 有工件
工作原理
24
～
－ ～
～
－ ～
～－
～－
－ ～
－ ～
～
－ ～
～
－ ～
～
－ ～
～
－ ～
～
－ ～
[电源电压 ] －
～ 以下
～
以下
50mA(传感器4 200mA)
适用压力传感器
系列
IO-Link
保护
传
传 最大
SP系列 吸板
IRV10·20系列 真空调压阀
PSE200A系列 多通道压力传感器控制器
ITV系列 真空用 电–气比例阀
PSE20 0 A -
NPN5
PNP5
IO-Link NPN4
NPN5 SIO
IO-Link PNP4
PNP5 SIO
0
1
2
3
型号表示方法
共同规格
ZS-26-B
ZS-26-C
ZS-26-D
ZS-26-01
ZS-28-C(1 1 )
面板安装连接器
□48变换连接器
前面保护盖
传感器连接用插座
前面保护盖+面板安装连接器
共同规格
压缩空气
-100 ~ -1.3kPa
100kPa(压力表除外)
0.6L/min(ANR)以下
0.13kPa以下
5 ~ 60°C
使用流体
设定压力范围
耐压力
吸入大气消耗量
手轮分辨率
环境温度及使用流体温度
VAC.侧管外径
SET.侧管外径
型号 IRV10
ø6, ø8
IRV20
ø6, ø8, ø10
型号 : P601010-18
组件内容
序号
1
2
压力表螺母
O形圈
名称
压力表螺母组件(需一定另购)
安装压力表 压力开关以及引出压力时使用。
Rc1/8
真空用压力表(选配)
零部件型号
适合系列
压力表示范围
单位表示
刻度角度
GZ33-K-01
IRV10
180°
-100~0kPa
kPa
GZ43-K-01
IRV20
270°
L
无记号
记号
公制
管子外径
直通型
弯管型
直通型 弯管型 弯管型 直通型
IRV10
C06
C08
C10
ø6
ø8
ø10
IRV20
IRV 20 C08 IRV 20 A C08
主体大小
A
单侧配管规格
主体大小
管接头
L
无记号 直通型
弯管型
管接头
连接管子外径
记号
公制
管子外径 IRV10A
C06
C08
C10
ø6
ø8
ø10
IRV20A
连接管子外径
标准配管规格 单侧配管规格
10
20
最大流量140 /min (ANR)
最大流量240 /min (ANR)
10
20
最大流量140 /min (ANR)
最大流量240 /min (ANR)
单侧配管规格
SP1130
SP2130
15
30
50x50
15
30
100x100
15
30
150x150
25
40
200x200
25
40
250x250
25
40
300x300
SP1230
SP2230
SP1330
SP2330
SP1430
SP2430
SP1530
SP2530
SP1630
SP2630
ø0.3(球粉烧结体)
AC4C(铝铸件)
15%以上
SUS304
Rc1/4
型号 长方形
正方形
平面度(mm)
平行度(mm)
尺寸(mm)
吸着部 粒径
材质
表面处理
加工 研磨加工(座面)
主体部 材质
吸口
*最适合吸着、固定薄片、
玻璃片及柔软的工件等。
-101kPa
-1.3 ~ -80kPa
4 ~ 20mA, 0 ~ 20mA
DC0 ~ 5V, DC0 ~ 10V
ITV2090 ITV2091
DC24V±10% DC12 ~ 15V
型号
最低供给真空度 设定真空度：-13.3kPa
4设定真空(负极共通)
250或以下
电源24VDC时约4.7k；电源12VDC时约2k
NPN集电极开路输出：最大30V, 80mA PNP集电极开路输出：最大80mA
DC1 ~ 5V (负载阻抗：1kΩ以上) 4 ~ 20mA (汇式) (负载阻抗：250Ω或以下) 输出精度±6%以内(满量程)
约6.5k
使用电压DC24V：0.12A或以下 使用电压DC12 ~ 25V：0.18A或以下
最高供给真空度
设定真空度范围
电源
电压
消耗电流
电流型注1
电流型
电压型
电压型
预设输入
预设输入
模拟输出
开关输出
输入信号
输入阻抗
输出信号注2
(电信号监控输出)
注1) 2线式4 ~ 20mA没有，供应电压为DC24V或DC12 ~ 15V。注2) 可选择模拟输出或开关输出，若选择开关输出，请选择NPN输出或PNP输出。
A B
面板安装连接器 前面保护盖+面板安装连接器
无记号 无 无记号 无
注）选配没有安装，同包装出货。
面板
面板安装连接器
(附属品)
防水密封圈
前面保护盖
安装螺丝
(M3 X 8L)
(附属品)
面板
面板安装连接器
安装螺丝
(M3 X 8L)
(附属品)
防水密封圈 (附属品)
可选配1
可选配3
电源 • 输出连接电缆线 (2m)
无记号 电源 • 输出连接电缆线
ZS-26-L
注）电缆线没有连接，同包装出货。
可选配2
传感器连
接用插座 (4个)
注）插座没有连接，同包装出货。
插座
适用压力传感器
型号 PSE200A系列
DC12 ~ 24V±10%，且电源涟波10%以下
DC18 ~ 30V，含电源涟波10%
55mA以下
PSE550
0 ~ 2kPa 0 ~ 101kPa -100 ~ 100kPa 0 ~ 100kPa 0 ~ 500kPa
-0.2 ~ 2.1kPa 10 ~ -105kPa -105 ~ 105kPa -10 ~ 105kPa -50 ~ 525kPa -0.105 ~ 1.05MPa -0.105 ~ 2.1MPa -0.25 ~ 5.25MPa -0.5 ~ 10.5MPa
0 ~ 1MPa 0 ~ 2MPa 0 ~ 5MPa 0 ~ 10MPa
0.001kPa 0.1kPa 0.1kPa 0.1kPa 1kPa 0.001MPa 0.001MPa 0.01MPa 0.01MPa
PSE531
PSE541
PSE561
PSE564
PSE574
PSE533
PSE543
PSE563
PSE573
PSE530
PSE540
PSE560
PSE570
PSE532 PSE575 PSE576 PSE577
最大50mA(传感器4输入时的总电源电流，最大200mA)
逆连接保护
(电源电压)1.5V
显示/设定压力范围
显示/设定最小单位
做为开关输出
机器
使用时
消耗电流
传感器供给电源电压
传感器供给电源电流
保护
做为IO-Link元件
使用时
额定压力范围电源电压电气规格
共同规格
型号表示方法
共同规格
25
PSE300AC系列 3色3显示压力传感器控制器
PSE57
PSE300AC
ZS-31-B（ 5m）
M12
（ZS-37-A／ZS-37-B）
＋PCA-1557743
ZS-37-A（ 3m）
ZS-37-B
（ L 3m）
PCA-1557743
＋
ZS-31-C（L 5m）
PLC
M12
RoHS
可选项型号
名称 型号 备考
电源输出
连接电缆
组立式插座
ZS-31-B
ZS-31-C
PCA-1557743
直线型(5m)1个
L型(5m)1个
1个
PSE3 0 0AC AB 选配(电源·
输出连接导线)
无记号
输出规格 L
输出规格
AB 2输出型(NPN 或 PNP切换式)
型号表示方法
直线型导线
L型导线
型号 PSE300AC系列
适用压力传感器 PSE550 PSE531/PSE541
PSE561
PSE533/PSE543
PSE563/PSE573 PSE532 PSE564
PSE574
PSE530/PSE540
PSE560/PSE570 PSE575 PSE576 PSE577
额定压力范围 0~2kPa 0 ~ –101kPa –100~100kPa 0~100kPa 0~500kPa 0~1MPa 0~2MPa 0~5MPa 0~10MPa
显示／设定压力范围 –0.2~2.1kPa 10 ~ –105kPa –105~105kPa –10~105kPa –50~525kPa –0.105~1.05MPa –0.105~2.1MPa –0.1~5.25MPa –0.1~10.5MPa
显示／设定最小单位 0.001kPa 0.1kPa 0.1kPa 0.1kPa 1kPa 0.001MPa 0.001MPa 0.01MPa 0.01MPa
电气规格
电源电压 DC12~24V（±10%）、且电源涟波10%以下
消耗电流 25mA以下
保护 逆连接保护
精度
显示精度 ±0.5%F.S.±显示最小单位(周围温度25℃一定温度）
往复精度 ±0.1%F.S.±最小单位(周围温度25℃一定温度）
温度特性 ±0.5%F.S.(周围温度~50℃、25℃基准)
传感器
输出
输出型式 可选择NPN开集极回路输出、PNP开集极回路输出
输出模式 可选择设定点模式、设定区间模式、错误输出、开关输出OFF
开关动作 可选择正转输出、反转输出
最大负荷电流 20mA
最大输入电压(只限NPN） DC30V
内部下降电压(残留电压） 1V以下（负荷电流20mA时）
响应时间※1 1ms以下（带防止振荡功能时：20、 100、 500、1000、2000、5000ms可选择）
应差 从0可变※2
保护 过电流保护
传感器
输入
输入型式 电压输入:DC1~5V（输入电阻:1MΩ）、电流输入:DC4~20mA（输入电阻:51Ω）
输入数 1输入
连接方法 M12-4pin插座
保护 过电压保护(电压DC26.4V为止对应）
显示
单位 MPa、 kPa、 Pa、 kgf/cm2
、 bar、 mbar、 psi、 inHg、 mmHg、 mmH2O
显示方法 LCD
画面数 3画面(主画面、 副画面×2）
显示色 1）主画面：红／绿 2）副画面：橙
显示码数 1）主画面：4码(7段） 2）副画面：4码(上位1码11段、其他7段）
动作显示灯 开关输出ON时亮灯 OUT1／OUT2：橙
数位滤波器※3 0、 10、 50、 100、 500、 1000、 5000ms
耐环境
保护等级 IP65
耐电压 AC1000V 1分钟 充电部与壳体间
绝缘电阻 50MΩ以上（DC500V高阻计量测）充电部与壳体间
使用温度范围 动作时：0~50℃、保存时 ：–10~60℃(未冻结）
使用湿度范围 动作时及保存时：35~85%RH（未冻结）
规格 CE、 RoHS
质量 55.4g（电源·输出连接导线）
※1 : 数位滤波器无( 0ms）时的值。 ※ ※2 : 输入压在设定值附近变动时, 变动幅以上的应差不设定时会发生颤动 3 : 对于步骤输入 90%反应时间。
共同规格
0 电压输入
1 电流输入
～
－ ～
～
－ ～
～－
～－
－ ～
－ ～
～
－ ～
～
－ ～
～
－ ～
～
－ ～
～
－ ～
[电源电压 ] －
～ 以下
～
以下
50mA(传感器4 200mA)
适用压力传感器
系列
IO-Link
保护
传
传 最大
SP系列 吸板
IRV10·20系列 真空调压阀
PSE200A系列 多通道压力传感器控制器
ITV系列 真空用 电–气比例阀
PSE20 0 A -
NPN5
PNP5
IO-Link NPN4
NPN5 SIO
IO-Link PNP4
PNP5 SIO
0
1
2
3
型号表示方法
共同规格
ZS-26-B
ZS-26-C
ZS-26-D
ZS-26-01
ZS-28-C(1 1 )
面板安装连接器
□48变换连接器
前面保护盖
传感器连接用插座
前面保护盖+面板安装连接器
共同规格
压缩空气
-100 ~ -1.3kPa
100kPa(压力表除外)
0.6L/min(ANR)以下
0.13kPa以下
5 ~ 60°C
使用流体
设定压力范围
耐压力
吸入大气消耗量
手轮分辨率
环境温度及使用流体温度
VAC.侧管外径
SET.侧管外径
型号 IRV10
ø6, ø8
IRV20
ø6, ø8, ø10
型号 : P601010-18
组件内容
序号
1
2
压力表螺母
O形圈
名称
压力表螺母组件(需一定另购)
安装压力表 压力开关以及引出压力时使用。
Rc1/8
真空用压力表(选配)
零部件型号
适合系列
压力表示范围
单位表示
刻度角度
GZ33-K-01
IRV10
180°
-100~0kPa
kPa
GZ43-K-01
IRV20
270°
L
无记号
记号
公制
管子外径
直通型
弯管型
直通型 弯管型 弯管型 直通型
IRV10
C06
C08
C10
ø6
ø8
ø10
IRV20
IRV 20 C08 IRV 20 A C08
主体大小
A
单侧配管规格
主体大小
管接头
L
无记号 直通型
弯管型
管接头
连接管子外径
记号
公制
管子外径 IRV10A
C06
C08
C10
ø6
ø8
ø10
IRV20A
连接管子外径
标准配管规格 单侧配管规格
10
20
最大流量140 /min (ANR)
最大流量240 /min (ANR)
10
20
最大流量140 /min (ANR)
最大流量240 /min (ANR)
单侧配管规格
SP1130
SP2130
15
30
50x50
15
30
100x100
15
30
150x150
25
40
200x200
25
40
250x250
25
40
300x300
SP1230
SP2230
SP1330
SP2330
SP1430
SP2430
SP1530
SP2530
SP1630
SP2630
ø0.3(球粉烧结体)
AC4C(铝铸件)
15%以上
SUS304
Rc1/4
型号 长方形
正方形
平面度(mm)
平行度(mm)
尺寸(mm)
吸着部 粒径
材质
表面处理
加工 研磨加工(座面)
主体部 材质
吸口
*最适合吸着、固定薄片、
玻璃片及柔软的工件等。
-101kPa
-1.3 ~ -80kPa
4 ~ 20mA, 0 ~ 20mA
DC0 ~ 5V, DC0 ~ 10V
ITV2090 ITV2091
DC24V±10% DC12 ~ 15V
型号
最低供给真空度 设定真空度：-13.3kPa
4设定真空(负极共通)
250或以下
电源24VDC时约4.7k；电源12VDC时约2k
NPN集电极开路输出：最大30V, 80mA PNP集电极开路输出：最大80mA
DC1 ~ 5V (负载阻抗：1kΩ以上) 4 ~ 20mA (汇式) (负载阻抗：250Ω或以下) 输出精度±6%以内(满量程)
约6.5k
使用电压DC24V：0.12A或以下 使用电压DC12 ~ 25V：0.18A或以下
最高供给真空度
设定真空度范围
电源
电压
消耗电流
电流型注1
电流型
电压型
电压型
预设输入
预设输入
模拟输出
开关输出
输入信号
输入阻抗
输出信号注2
(电信号监控输出)
注1) 2线式4 ~ 20mA没有，供应电压为DC24V或DC12 ~ 15V。注2) 可选择模拟输出或开关输出，若选择开关输出，请选择NPN输出或PNP输出。
A B
面板安装连接器 前面保护盖+面板安装连接器
无记号 无 无记号 无
注）选配没有安装，同包装出货。
面板
面板安装连接器
(附属品)
防水密封圈
前面保护盖
安装螺丝
(M3 X 8L)
(附属品)
面板
面板安装连接器
安装螺丝
(M3 X 8L)
(附属品)
防水密封圈 (附属品)
可选配1
可选配3
电源 • 输出连接电缆线 (2m)
无记号 电源 • 输出连接电缆线
ZS-26-L
注）电缆线没有连接，同包装出货。
可选配2
传感器连
接用插座 (4个)
注）插座没有连接，同包装出货。
插座
适用压力传感器
型号 PSE200A系列
DC12 ~ 24V±10%，且电源涟波10%以下
DC18 ~ 30V，含电源涟波10%
55mA以下
PSE550
0 ~ 2kPa 0 ~ 101kPa -100 ~ 100kPa 0 ~ 100kPa 0 ~ 500kPa
-0.2 ~ 2.1kPa 10 ~ -105kPa -105 ~ 105kPa -10 ~ 105kPa -50 ~ 525kPa -0.105 ~ 1.05MPa -0.105 ~ 2.1MPa -0.25 ~ 5.25MPa -0.5 ~ 10.5MPa
0 ~ 1MPa 0 ~ 2MPa 0 ~ 5MPa 0 ~ 10MPa
0.001kPa 0.1kPa 0.1kPa 0.1kPa 1kPa 0.001MPa 0.001MPa 0.01MPa 0.01MPa
PSE531
PSE541
PSE561
PSE564
PSE574
PSE533
PSE543
PSE563
PSE573
PSE530
PSE540
PSE560
PSE570
PSE532 PSE575 PSE576 PSE577
最大50mA(传感器4输入时的总电源电流，最大200mA)
逆连接保护
(电源电压)1.5V
显示/设定压力范围
显示/设定最小单位
做为开关输出
机器
使用时
消耗电流
传感器供给电源电压
传感器供给电源电流
保护
做为IO-Link元件
使用时
额定压力范围电源电压电气规格
共同规格
型号表示方法
共同规格
26
PSE300 2
PSE300 2 ( )
4
PSE53 \\PSE54 \\
PSE550( PSE550-28)
PSE56
ZSE80F
-100 kPa to 300kPa
(100kPa )
(200kPa )
型号
额定压力范围
设定压力范围
最低设定单位
模拟输出电压
显示精度
ZSE80F-※-※-※※※-X555
-100 ~ 300kPa
-110 ~ 330kPa
1kPa
1~5V±3% F.S. 线性度：1.5% F.S.
±3% F.S. ±1位(环境温度25±3°C)
ZCUK
( ZPT )
10
ZCUKC
ZCUKQ
ZCDUKC
ZCDUKQ
16
20
25
32
(mm) 2 4 6 8 10 13 16 20 25 32 40 45
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
― ― ― ― ― ― ―
― ― ― ― ―
― ―
(mm)
M4×0.7
M5×0.8
M6×1.0
M8×1.25
M10×1.25
(ZPT02 50 -B4 10
( ZP )
ZCUKD
ZCUKR
ZCDUKD
ZCDUKR
ZP02 50
(mm
10
16
20
25
32
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
― ―
― ―
― ―
―
―
―
―
―
―
― ―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
(mm) 2 4 6 8 10 13 16 20 25 32 40 45
GZ46
GZ46 ø42.5 R1/8,1/4
: -100~200kPa
ZSE10(F)/ISE10 ZSE30A(F)/ISE30A ZSE40A(F)/ISE40A ZSE/ISE80 PS1100
PSE53 PSE54 PSE56 PSE57
SMC
PSE55
共同规格
共同规格
27
ZSE20(F)/ISE20系列 3色3显示高精度数字式压力传感器
ZSE20A(F)/ISE20A系列
3色3显示高精度数字式压力传感器 2输出+模拟输出(电压/电流)
®
RoHS IP40
®
RoHS IP40
-100.0 ~ 100.0 kPa
500 kPa 1.5 MPa
0.1 kPa 0.001 MPa
-105.0 ~ 105.0 kPa
0.0 ~ -101.0 kPa
10.0 ~ -105.0 kPa
-0.100 ~ 1.000 MPa
-0.105 ~ 1.050 MPa
DC12~24V±10% (p-p)10%
35 mA
1V 80mA
1.5 ms 20,100,500,1000,2000 5000 ms
NPN PNP 2
80 mA
28 V
ZSE20A ( ) ZSE20AF ( ) ISE20A ( )
IP40
CE UL/CSA RoHS
:300
:600
:1-5V
:4-20mA :2.4-20mA :3.2-20mA
:0.6-5V :0.8-5V
50
• 数字式显示，实时压力及设定值可同时显示在同一介面。
• 简易设定
• 反应时间快，由旧有产品2.5ms提升到1.5ms。
• 耗电量少，电流为25mA或以下。
ZSE20 ( ) ZSE20F ( )
-100.0 ~ 100.0 kPa
0.1 kPa
500 kPa
0.001 MPa
1.5 MPa
-105.0 ~ 105.0 kPa
0.0 ~ -101.0 kPa
10.0 ~ -105.0 kPa
-0.100 ~ 1.000 MPa
-0.105 ~ 1.050 MPa
DC12~24V±10% (p-p)10%
25 mA
1V 80mA
1.5 ms 20,100,500,1000,2000 5000 ms
NPN PNP 1
80 mA
28 V
ISE20 ( )
IP40
CE UL/CSA RoHS
型式
电子
配置
使用流体
额定压力范围
设定压力范围
最低设定单位
保证耐压力
供应电压
消耗电流
输出类型
最高负载电流
最高供应电压
残留电压
反应时间
短路保护
密封标准
标准传感器输出压力配置
• 数字式显示，实时压力及设定值可同时显示在同一介面。
• 简易设定
• 反应时间快，由旧有产品2.5ms提升到1.5ms。
• 耗电量少，电流为25mA*或以下。
*省电模式时约60%下降
ISE20 - N - M5 -LISE20 -0.100 ~
1.000 MPa
0.0 ~
-101.0 kPa
-100.0 ~
100.0 kPa
ZSE20
ZSE20F A
B
A1
ZS-46-A1
ZS-46-A2
A2
ZS-46-B
ZS-46-D
B
D
可选项1
M5 M5
01 R1/8
接管规格
NPN 1
PNP 1
N
P
输出规格
额定压力范围
ZSE20A R M5 J
R
S
T
V
NPN集电极开路(2输出)+模拟电压输出
记号 内容
PNP集电极开路(2输出)+模拟电压输出
PNP集电极开路(2输出)+模拟电流输出
NPN集电极开路(2输出)+模拟电流输出
额定压力范围 输出规格
ISE20A
ZSE20A
ZSE20AF
-0.1 ~ 1MPa
-100 ~ 100kPa
0 ~ -101kPa
M5 01
ZS-46-N1
接管规格
共同规格
共同规格压力配置
电子
配置
电压
输出
电流
输出
传感器输出模拟输出
28
ZSE20B(F)-L/ISE20B-L系列
3色3显示高精度数字式压力传感器 IO-Link对应(1输出)
ZSE20C(F)/ISE20C(H)系列
3色3显示高精度数字式压力传感器 2输出+模拟输出(电压/电流)
®
RoHS IP65
RoHS IP65
装置元件
型号
-100.0 ~ 100.0 kPa
0.1 kPa
500 kPa
-105.0 ~ 105.0 kPa
0.0 ~ -100.0 kPa
10.0 ~ -105.0 kPa
0.000 ~ 1.000 MPa
-0.105 ~ 1.050 MPa
±2%满刻度以下 ±1数位(在环境温度 25±3˚C)
±2%满刻度以下(在 25˚C操作温度)
3显示(主显示，副显示 x2)
有输出时灯亮 输出 1 输出2 橙色
1) 主显示：红/绿
2) 副显示：橙
主显示：4位，7段显示
副显示：4位，前一位 11段，其馀7段显示
电线，5芯 ø3.5, 2m
导电截面积： 0.15mm²(AWG26)、绝缘体外径： 1.0mm
LCD
MPa, kPa, kgf/cm², bar, psi, InHg, mmHg MPa, kPa, kgf/cm², bar, psi
±0.2%满刻度以下 ±1数位
使用流体 压缩空气、非腐蚀性气体、不燃烧性气体
额定压力范围
设定压力范围
最低设定单位
保证耐压力
显示精度
重覆精度
温度特性
显示单位
显示类型
显示数目
显示颜色
显示数位
指示灯
密封标准 IP65
使用温度范围 使用：-5˚C~50˚C、保存：-10˚C~60˚C(未冻结)
使用湿度范围 操作及保存 ：35~85% RH (未冻结)
耐电压 引线与壳体间 AC 1000V在1分钟内
绝缘阻抗 50MΩ或以上(DC500V兆欧表)引线与壳体间
标准 符合CE、RoHS标准
引线
ISE20B-L(正压)
1.5MPa
ZSE20B-L(真空压 ) ZSE20BF-L (混合压)
电源规格
电源电压
做为开关输出
机器使用时 DC12~24V±10%、且电源涟波10%以下
做为IO-Link
装置使用时 DC18~30V 含涟波(p-p) 10%
消耗电流 35mA以下
保护 逆接保护
开关输出
(SIO模式 时)
输出形式 NPN开集极回路输出、PNP开集极回路输出可选择
输出模式 设定点、 设定区间、 错误输出、 输出OFF
开关动作 正转输出、 反转输出
最大负荷电流 80mA
最大施加电压 30V(NPN输出时)
内部降下电压(残留电压） 1.5V以下（负荷电流80mA时）
延迟时间 1.5ms以下、 0~60s/0.01s步骤可变
应差 设定点模式 从0可变注2)
设定区间模式
短络保护 装备
通讯规格
(IO-Link
模式时)
IO-Link 型
IO-Link 版本 V1.1
通讯速度 COM2(38.4kbps)
设定档案 IODD档案
最小周期时间 2.3ms
流程数据长 Input Data：2byte、 Output Data：0byte
应要求数据通讯 对应
数据储存功能 对应
事件功能 对应
供应商ID
共同规格
0.001MPa
注1)
131(0×0083)
显示耐环境准确度压力配置
ZSE20B L W
额定压力范围
ZSE20B 0 ~ -100kPa
ZSE20BF -100 ~ 100kPa
ISE20B 0 ~ 1MPa
M5
接管规格
型号表示方法
型号表示方法
• 数字式显示，实时压力及设定值可同时显示在同一介面。
• 简易设定。
• 反应时间快，由旧有产品2.5ms提升到1.5ms。
• 耗电量少，电流为35mA*或以下。
*省电模式时约40%下降
共同规格
型号 ZSE20C(真空用) ZSE20CF(混合用)
-100.0 ~ 100.0kPa
0.1 kPa
500 kPa
0.001 MPa
2 MPa 4 MPa
-105.0 ~ 105.0kPa
0.0 ~ -101.0kPa
10.0 ~ -105.0kPa
-0.100 ~ 1.000MPa
-0.105 ~ 1.050MPa
-0.100 ~ 2.000MPa
-0.105 ~ 2.100MPa
SUS630、SUS304空气，非腐蚀性，不燃烧性流体
DC12~24V±10%，脉动(p-p)10%以下
35 mA以下
±2%满刻度以下 ±1数位(在环境温度25±3˚C)
±3%满刻度以下(在25˚C操作温度)
1V 或以下(在80mA负载电流时)
1.5ms 或以下(带防震荡功能：20, 100, 500, 1000, 2000或5000ms)
NPN或PNP集电极开路2个输出
有短路保护功能
最大负荷阻抗 电源电压12V时：300Ω电源电压24V时：600Ω最小负荷阻抗 50Ω
3显示(主显示，副显示x2)
有输出时灯亮 输出1输出2橙色
1) 主显示：红/绿
2) 副显示：橙
主显示：4位，7段显示
副显示：4位，前一位11段，其馀7段显示
电线，5芯 ø3.5, 2m
导电截面积：0.15mm²(AWG26)、绝缘体外径：1.0mm
80mA
28V
LCD
MPa, kPa, kgf/cm², bar, psi,
InHg, mmHg MPa, kPa, kgf/cm², bar, psi
±0.2%满刻度以下 ±1数位
ISE20C(正压用) ISE20CH(正压用)
使用流体
额定压力范围
设定压力范围
最低设定单位
保证耐压力
输出形式
输出形式
输出模式
输出时间
输出形式
输出阻抗
电子
配置
供应电压
消耗电流
显示精度
重覆精度
温度特性
输出类型
最高负载电流
最高供应电压
残留电压
反应时间
短路保护
显示单位
显示类型
显示数目
显示颜色
显示数位
指示灯
密封标准 IP65
使用温度范围 使用：-5˚C~50˚C、保存：-10˚C~60˚C(未冻结)
使用湿度范围 操作及保存：35~85% RH(未冻结)
耐电压 引线与壳体间AC 250V在1分钟内
绝缘阻抗 2MΩ或以上(DC50V兆欧表)引线与壳体间
标准 符合CE、UL/CSA, RoHS标准
引线
负荷阻抗
自动
补正
输入
电压输出：1-5V
电压输出：4-20mA 电压输出：2.4-20mA 电压输出：3.2-20mA
电压输出：0.6-5V 电压输出：0.8-5V
约1kΩ
无电压输入：0.4以下
可选择自动补正、自动补正零
5ms以上
压力配置准确度传感器输出模拟输出
电压输出电流输出
显示耐环境
ZSE20C R 02 W
额定压力范围
ISE20C
ISE20CH
ZSE20C
ZSE20CF
0 ~ -101kPa
-100 ~ 100kPa
-0.1 ~ 1MPa
-0.1 ~ 2MPa
输出规格
R
S
T
V
NPN集电极开路(2输出)+模拟电压输出
NPN集电极开路(2输出)+模拟电流输出
PNP集电极开路(2输出)+模拟电压输出
PNP集电极开路(2输出)+模拟电流输出
记号 内容
输出规格
记号 内容
L
IO-Link / 开关输出1
(开关输出为：
NPN or PNP切换式)
M5
01
内螺纹
配管连接器
配管孔
记号 内容
ZS-46-N1
可选项
记号
无记号
规格描述
没有托架
托架A
(直装)
托架B
(横装)
面板安装
连接件
面板安装
连接件
+
前面防护罩
A1
ZS-46-A1
ZS-46-A2
ZS-46-B
ZS-46-D
A2
B
D
型号
M5转R1/8插头 ZS-46-N1
• 数字式显示，实时压力及设定值
可同时显示在同一介面。
• 简易设定。
• 反应时间快，由旧有产品2.5ms
提升到1.5ms。
• 耗电量少，电流为35mA*或以下。
*省电模式时约40%下降
可选项
面板
安装
连接器
面板安装
连接器
A1 托架A B
D
记号
无记号
内容 记号 内容
前面
保护盖
没有托架
ZS-46-A1 ZS-46-B
ZS-46-D
29
AMV系列 真空用 排气结净器
MHM系列 磁石吸附气缸
MQR-X229系列 旋转接头(橡胶密封圈)
应用例
-100kPa
0.7MPa
-100kPa~0.7MPa
200min-1 (rpm) 1
0.50N・m 2
1000
8 1
2
保持力调整型
中央安装型 基本型
・保持
(ø50, 6mm 时)
保持力
1000N
2
, 2
保持力调整型
MHM 32 D 1
型号表示方法
16 16mm
25
32
50
1
2
保持力调整型
无记号 基本型
中央安装型
～
～ ～
－10～
保持力
16 25
160N
200N
32 50
400N
1000N
(mm)
: 2mm
: 6mm
共同规格
MQR8-M5-X229
8
0.50dm/3 (s bar)
-100kPa (10Torr)
200min-1 (200rpm)
0.53kg
0.7MPa
5 ~ +40°C
0.5N•m以下
0.8N•m以下
C
b 0.40
Cv 0.17
0.7MPa加压时
型号
使用流体
密封构造
导轨构造
流量特性
给油
最低使用压力
最高使用压力
周围温度
使用空气温度
容许回转数(参考值)
质量
始动扭力
(参考值)
无加压时
回路数(通口数)
空气
不要
橡胶密封
两端轴承支持
共同规格
30µm
80°C
AMV3-10 AMV6-14 AMV15-20 AMV37-20 AMV75-30 AMV160-40
99.5%或以上
0.3 0.5 1.0 1.0 1.0 1.0
360 650 1500 3700 7500 16000
360 650 1500 3700 7500 16000
1 1 1/2 2 2 4B 3BJIS 10K FF法兰 JIS 10K FF法兰
型号
消除油雾
过滤口径
最高使用温度
接管口径R
最大流量(L/min(ANR))
贮油量(L)
适用最高真空排放量(L/min(ANR))
共同规格
• 可除掉从真空泵
排出的油雾
• 无需从真空泵
引排气导管
30
VDW系列 2通直动式电磁阀(适合多种流体)
VX21/22/23系列 2通直动式电磁阀(适合多种流体)
注2)阀身材料另有不锈钢选择,请联系SMC公司
注3)带安装托架选型举例:VDW20N□XB
(树脂材料已带托架，铜材料不能带托架)
注1)◇代表流体选择代号
0=空气
2=水
4=中真空
□代表使用电压和出线方式
Z1D=12VDC,直接出线式
A=24VDC,直接出线式
C=110VAC,直接出线式
Z1B=220VAC,直接出线式
空气
-
- -
- -
中真空 水
VDW1◇A□ M5 1 0.04 0.9
VDW1◇G□ M5 1 0.04 0.9
VDW2◇N□ 1/8 1.6 0.07 0.7
VDW24Q□ 1/8 3.2 0.3 0.2
型号注1) 接管口径
(Rc)
孔口直径
(ømm) Cv值 最大操作压力差
(MPa)
阀身材料/密封件注2)
树脂/NBR注3)
铜/NBR
铜/NBR
铜/FKM
铜/FKM 铝合金/NBR
共同规格
最大使用压力
阀体材料注1)
密封件材料
保护
环境
容许电压波动
1.0MPa
直动式操作截止阀型
C37(黄铜)、铝、树脂、不锈钢
NBR / FKM
防尘、防水滴(IP65标准)
没有腐蚀或爆炸气体
110VAC, 220VAC
额定电压的±10%
额定电压的5%或以下
额定电压的2%或以下
B级
24VDC, 12VDC 额定电压 AC注2)
DC
AC注2)
DC 容许泄漏电压
线圈绝缘类别
阀结构
阀规格
线圈规格
注1)流体为空气，阀体材料为铝或树脂。流体为水、中真空，阀体材料为黄铜，
注2)AC电压带全波整流
另有不锈钢材料选择，请联系SMC.
注 : 标准型号是没有安装螺纹，如需要，请选择：
1) 安装孔内螺纹选项-XNB
2) 或2通阀带托架型号。
共同规格
耐压力 2.0MPa
直动式操作截止阀型
黄铜、铝
NBR / FKM
防尘、防水滴(IP65标准)
没有腐蚀或爆炸气体
110VAC, 220VAC
额定电压的±10%
额定电压的10%或以下
额定电压的2%或以下
B级(空气·水·油·真空) / H级(蒸汽·热水)
阀体材料*
密封件材料
保护
环境
容许电压波动
24VAC, 12VAC
额定电压 AC
DC
AC
DC
容许泄漏电压
线圈绝缘类别
阀结构
阀规格
线圈规格
*流体为空气，阀体材料为铝。流体为水、油、中真空、蒸汽及热水，阀体材料为黄铜，
另有不锈钢及树脂材料选择，请联系SMC.
阀泄漏量
空气 NBR
水 NBR
油 FKM
中真空 FKM
蒸汽 FKM
热水 FKM
铝
铜
铜
铜
铜
铜
流体 密封
材料
阀体
材料 泄漏量
1cm3
/min或以下
空气 铝 NBR 1cm3
/min或以下
0.1cm3
/min或以下
0.1cm3
/min或以下
10-6
Pa.m3
/sec或以下
1cm3
/min或以下
0.1cm3
/min或以下
注1) □代表使用电压和出线方式
Z1D =12VDC, 直接出线式(蒸汽及热水不适用)
A =24VDC, 直接出线式(蒸汽及热水不适用)
C =110VAC, 直接出线式, 带电压保护
Z1B =220VAC, 直接出线式, 带电压保护
Z2J=12VDC, DIN插座式, 带指示灯及电压保护(蒸汽及热水不适用)
Z2A=24VDC, DIN插座式, 带指示灯及电压保护(蒸汽及热水不适用)
Z2C=110VAC, DIN插座式, 带指示灯及电压保护(蒸汽及热水不适用)
Z2G=220VAC, DIN插座式, 带指示灯及电压保护(蒸汽及热水不适用)
注2) 阀体材料另有不锈钢(水、油、真空、蒸汽、热水)及树脂(空气)可选择
注3) 为直接出线式重量, DIN型需加30g
注4) 油的动态粘度不能超过50mm2
/s
注5) 蒸汽及热水是H级线圈, 不适用于DIN
插座式及DC电压上
型号 适用
流体
阀体材料/
密封件
接管口径
(Rc)
断面
(mm) Cv值 最高操作压差
(MPa)
耐压力
(MPa)
流体
温度范围
(°C)
环境
温度范围
(°C)
重量
(g)
注3)
2通阀带注2) 托架型号
注5)
VX210A□ 1/8 2 0.23 1 220
VX210E□ 1/4 3 0.41 0.6 -10 ~ 60 220
VX230D□ 3/8 5 0.75 1 450
VX212A□ 1/8 2 0.23 1 300 VX212A□XB
VX212E□ 1/4 3 0.42 0.6 1 ~ 60 300 VX212E□XB
VX232D□ 3/8 5 0.75 1 580 VX232D□XB
VX210A□XB
VX210E□XB
VX230D□XB
VX213A□ 1/8 2 0.23 1 300 VX213A□XB
VX213E□ 1/4 3 0.42 0.6 -5 ~ 60
注4)
300 VX213E□XB
VX233D□ 3/8 5 0.75 1 580 VX233D□XB
VX214C□ 1/8 5 0.62 操作压力范围: 300 VX214C□XB
VX214F□ 1/4 5 0.62 0.1Pa.abs 1 ~ 60 300 VX214F□XB
VX224E□ 3/8 7 1.08 至 460 VX224E□XB
VX234G□ 1/2 10 2.21 大气压 630 不能带托架
VX215A□ 1/8 2 0.23 1 蒸汽:
183°C以下
300 VX215A□XB
VX215E□ 1/4 3 0.42 0.6 热水:
99°C以下
300 VX215E□XB
VX235D□ 3/8 5 0.75 1 580 VX235D□XB
中真空
蒸汽
热水 铜/FKM
空气
水
油
2.0
铜/FKM
铝/NBR
铜/NBR
铜/FKM -20 ~ 60
VX210H□ 2 0.23 1 220
VX220H□ 4 0.47 1 -10 ~ 60 340
VX230H□ 5 0.70 1 460
空气 树脂/NBR 已带托架
注1)
带快换接头:ø6mm
带快换接头:ø8mm
带快换接头:ø10mm
温度
最高
空气注1) 中真空注2) 水注2) 环境温度(°C) 流体温度(°C)
最低
50
-10
50
1
50
1
50
-10
注1)露点：-10°C或更低 注2)末冻结
电磁线圈规格
温升(°C)
注)环境温度20°C及在额定电压时
系列 电源
-
-
-
-
视在功率(VA) 功率消耗(W)
AC
DC
AC
DC
60
60
60
60
2.5
3
2.5
3
VDW10
VDW20
31
真空相关元件
XSA系列 高真空阀
DC AC
G 直接出线 ● ―
GS（
直接出线
附突波电压保护回路） ● ●
D DIN端子型
（附突波电压保护回路） ● ●
DL ● ●
XSA 1 1 1 P 5 G 2
阀尺寸 内孔径 接头尺寸
接头的种类
V 面密封接头
S 卡套接头
内螺纹型
P 内螺纹
电压
3 AC110V
4 AC220V
5 DC24V
6 DC12V
连接块
无记号 无
A 附连接块
※ 本体在平坦部固定时，为了垫高本体时
使用。只需连接块时，请参照下表。
导线出线方式
表 连接块型号
型式 型号
XSA1 XSA1R-8-1
XSA2 XSA2R-8-1 XSA3
注）
T
端子型
(附突波电压
保护回路)
DIN端子型・附指示灯
(附突波电压
保护回路)
● ●
TL
端子型・附指示灯
(附突波电压
保护回路)
● ●
C 导线管型
（附突波电压保护回路） ● ●
共同规格
注1）“作动压力差”为孔1（高压侧）与孔2（低压侧）的差。
例）0.3MPa的场合，孔2为真空（1Torr以下）时，孔1加压至0.2MPa（G）。
注2）“逆方向可能压力”为孔1为大气压时，从孔2可加压的压力。
注3）泄漏量为周围温度20℃，差压0.1MPa的值，气体透过除外。
注4）AC全部为附全波整流器。
＊有关尺寸问题，请与SMC业务员查询。
注5）消耗电力、视在电力为周围温度20℃，输入额定电压时的值。
（误差幅：±10％）
注6）周围温度20℃，额定电压输入时的值。但依周围的环境会有变化，
因此为参考值。
注7）直接出线的值。
型式 XSA1-1 XSA1-2 XSA2-22 XSA2-32 XSA2-43 XSA3-3 XSA3-43
作动形式 常时闭
使用流体 压缩空气、惰性气体
内孔径 mmø 2 3 4.5 6 4.5 6
耐压 MPa(G) 1.5
最低使用压力 Pa（abs）／OUT侧 1 × 10-6
最高使用压力 MPa（G）／IN侧 1.0
最高作动压力差 MPa注1) 0.8 0.3 1.0 0.3 0.1 0.8 0.3
逆方向可能压力 MPa（G)注2) 0.5 0.25 0.4 0.2 0.05 0.2 0.15
泄漏量 Pa・m3/ s注3) 内部
内螺纹
连接尺寸
1.3 × 10-9
面密封接头(吋)
卡套接头(吋)
外部 1.3 × 10-11
配管连接方式 面密封接头／卡套接头／内螺纹型
1/4 3/8
-
1/4
1/8 1/4
3/8
3/8
周围温度及使用流体温度o
C 5～60
额定电压注4)
消耗电力 W注5) DC 4.5 7 10.5
视在电力 VA注5) AC 7 9.5 12
线圈温度上升o
C注6) DC 50 55 65
AC 60 70 70
容许电压变动 额定电压的 10%以下
容许泄漏电压 DC 额定电压的2%以下
AC 额定电压的5%以下
线圈绝缘的种类 B种
质量 kg注7)
面密封接头 0.28 0.41 0.42 0.53 0.62
卡套接头
Rc 1/4 内螺纹型
0.28 0.41 0.42 0.53 0.55
0.33 0.53 - 0.74 0.74
2
1 2
1 3
2
AC110 / 220 DC12 / 24V
面密封接头 卡套接头
XSA 1 1 2 S 5 G 2
型号表示方法
接头型
内螺纹型
内螺纹型
接头型
1 1 ø2
2 ø3
1 1/8
2 2 ø3
3 ø4.5
2 1/4
3 3 ø4.5
4 ø6
3 3/8
阀尺寸 内孔径 接头尺寸
1 尺寸1 1 ø2
2 ø3
2 1/4
2 尺寸2 2 ø3
3 ø4.5
4 ø6
2 1/4
3 3/8
3 尺寸3 3 ø4.5
4 ø6
2 1/4
3 3/8
尺寸1
尺寸2
尺寸3
内螺纹型
32
真空相关元件
XL□系列 高真空阀
在半导体制造过程中，腐蚀装置、喷镀装置，离子注入装置和CVD装置等许多部分，都要把芯片和液晶基板放在真空室内处理，该真空室供气、排气(真空)用阀，
要求它们无泄漏、耐腐蚀且是洁净规格。
法兰型
16 25
XLA-2
XLAV-2
(带电磁阀)
XLC-2
XLF-2
XLFV-2
(带电磁阀)
XLG-2
电磁阀
电磁阀
XLA
XLAV
(带电磁阀)
XLC
XLCV
(带电磁阀)
XLF
XLFV
(带电磁阀)
XLG
XLGV
(带电磁阀)
XLD
XLDV
(带电磁阀)
XLH
XLS
40 50 63 80 100 160 操作方式 型号 阀形式
新
新
单作用
(N.C.)
单作用
(N.C.)
单作用
(N.C.)
单作用
(N.C.)
单作用
(N.C.)
单作用
(N.C.)
单作用
(N.C.)
单作用
(N.C.)
双作用
双作用
双作用
双作用
手动
轴密封方式
波纹管密封
波纹管密封
波纹管密封
波纹管密封
波纹管密封
波纹管密封
O形圈密封
O形圈密封
O形圈密封
O形圈密封
O形圈密封
(波纹管平衡)
用途
无尘式
清洁仪
无尘式
清洁仪
无尘式
清洁仪
无尘式
清洁仪
无尘式
清洁仪
高速动作
高动作次数
高速动作
高动作次数
高速动作
高动作次数
高速动作
高动作次数
无需空气
可搬装置用
防止灰尘
卷起
防止泵的
过负载
气控式
手动式
电磁式
* XLCV和XLGV系列可按订单生产，而 详情资料选型请联系SMC。
33
(JTC) 日本技术中心
日本 (约1,200人)
(CTC) 中国技术中心
中国 (约120人)
(ETC) 欧洲技术中心
英国 (约70人)
(GTC) 德国技术中心
德国 (约80人)
(UTC) 美国技术中心
美国 (约140人)
SMC日本总公司
日本总公司
在当地的子公司
销售分公司
经销商
技术中心
● 阿根廷
● 智利
● 巴西
● 墨西哥
・厄瓜多尔
・秘鲁
・哥伦比亚
・玻利维亚
・智利 ・阿根廷
・墨西哥
・加拿大
・美国
● 美国
生产工厂
销售办事处
・巴西
北美洲
中美洲/南美洲
(5个国家/地区)
(10个国家/地区)
● 德国
・德国
● 瑞典
・瑞典
・丹麦
● 芬兰
・芬兰
● 俄罗斯
・俄罗斯
● 土耳其
・土耳其
● 瑞士
・瑞士
● 英国
・英国
● 法国
・法国
・爱尔兰
・葡萄牙
・希腊
・荷兰
・比利时
・匈牙利
・波兰
・斯洛伐克
・斯洛文尼亚
・保加利亚
・克罗地亚
・波斯尼亚-黑塞哥维那
・塞尔维亚
・乌克兰
・阿尔巴尼亚
・罗马尼亚
・哈萨克斯坦
・白俄罗斯
・南非
・摩洛哥
・突尼斯
・阿尔及利亚
・埃及
・尼日利亚
・象牙海岸
・塞内加尔
・喀麦隆
・肯尼亚
・立陶宛
・拉脱维亚
・爱沙尼亚
・挪威
・马其顿
・以色列
● 西班牙
・西班牙
● 意大利
・意大利
● 奥地利
・奥地利
● 捷克共和国
・捷克共和国
生产工厂
销售办事处
欧洲及非洲
(12个国家/地区)
(47个国家/地区)
● 日本 ● 新西兰
● 澳洲
● 印度
● 菲律宾
● 泰国
● 中国香港
● 中国
● 中国台湾
● 越南 ● 马来西亚
● 新加坡
● 韩国
・日本 ・阿曼
・卡塔尔
・巴林
・沙特阿拉伯
・孟加拉
・科威特
・斯里兰卡
・巴基斯坦
・新西兰
・澳洲
・阿拉伯联合
酋长国
・柬埔寨 ・缅甸
・越南
・印尼
・印度
・菲律宾
・泰国
・马来西亚
・新加坡
・韩国
・中国台湾
・中国香港
・中国
生产工厂
销售办事处
亚洲/
大洋洲
(13个国家/地区)
(25个国家/地区)
全球服务网络
生产工厂：29个国家/地区
员工人数：20,619名
532
29
个本地服务中心
全球83个国家/地区
生产工厂： 个国家/地区
员工人数： 名
个本地服务中心
全球83个国家/地区
64% 39%
SMC在日本及海外有高市场占有率
全球市场占有率(估计* 日本市场占有率(估计 ) *)
● 销售办事处：供应，维修
● 技术中心：特殊产品，技术解决方案
*资料来源：SMC Corporation - Presentation of Financial Results for FY21.
代用气缸／订造气缸
SMC 可提供特别功能气缸，如耐高温、耐腐蚀及双行程气缸等，可按客户要求订造非标气缸，亦可按行业或机械特别订造
气缸，务求达到与原厂的气缸尺寸相同，交货快捷。所有为客户订造的气缸，均可享有100%不适用退货保证。
低摩擦型 (Q)
低油压型 (H)
不旋转活塞杆型 (K) 双活塞杆型 (W)
强力活塞杆密封圈气缸 (XC4)
双行程气缸 (XC11)
(单活塞杆型)
可调整行程气缸 (XC8)
(伸出可调型)
调程范围: 0~50mm
最高精度: ±5µm
最长行程: 50mm
最高精度: ±0.05mm
最长行程: 75mm
最高精度: ±0.05mm
最长行程: 50mm
最高精度: ±0.1mm
最长行程: 1000mm
最高精度: ±0.01mm
最长行程: 1500mm
最高精度: ±0.04mm
最长行程: 3000mm
最高精度: ±0.03˚
摇摆角度: 320˚(310˚), 180˚, 90˚
最高精度: ±0.1mm
最长行程: 2000mm
工业自动化配套项目专业推介
免费 电控产品选型借用及编程调试服务
SMC新款电缸
LAT3系列
卡片式电动驱动缸
LEL系列
带导杆型同步带电缸
LEM系列
超薄滑块型电缸
LER系列
电动旋转平台 LEPS系列
小型滑台型电缸 LEJS系列
滚珠螺杆电驱动缸
LEJB系列
同步带驱动电驱动缸
LEPY系列
小型活塞杆型电缸
日本标准系列
CA2 系列
缸径: 40~100mm
最长行程: 2500mm
CG1 系列
缸径: 20~100mm
最长行程: 1500mm
CJ2 系列
缸径: 6~16mm
最长行程: 400mm
CM2 系列
缸径: 20~40mm
最长行程: 1000mm
CQ2 系列
缸径: 12~160mm
最长行程: 300mm
CS1/CS2 系列
缸径: 125~160mm (CS2)
180~300mm (CS1)
最长行程: 1600mm
CLS 系列
缸径: 125~250mm
最长行程: 1600mm
CNA2 系列
缸径: 40~100mm
最长行程: 1500mm
CQM 系列
缸径: 12~100mm
最长行程: 100mm
MNB 系列
缸径: 32~100mm
最长行程: 1000mm
MY3A/B 系列
缸径: 16~63mm
最长行程: 2000mm
MY1B 系列
缸径: 10~63mm
最长行程: 4000mm
美国标准系列
NCA1 系列
缸径: 1½~4inch
最长行程: 28inch
NCM 系列
缸径: ¾~1½inch
最长行程: 12inch
NCJ2 系列
缸径: 6~16mm
最长行程: 8inch
NCG 系列
缸径: 20~63mm
最长行程: 12inch
NCQ8 系列
缸径: ~2½inch
最长行程: 4inch
16 9
欧洲标准系列
C55 系列
缸径: 20~63mm
最长行程: 150mm
C95 系列
缸径: 125~250mm
最长行程: 1600mm
C75/C76 系列
缸径: 32~40mm
最长行程: 1000mm
C85 系列
缸径: 8~25mm
最长行程: 1000mm
C96 系列
缸径: 32~125mm
最长行程: 1500mm
CP96 系列
缸径: 32~125mm
最长行程: 1500mm
