真空元件
Vacuum Products
GZ24-CPT004F-HK
使用前必读。安全上的注意请参见前附,
各系列的各自注意事项,参见各系列单行本。
真空元件/共同注意事项
真空度下降,吸盘吸力不足,搬运工件脱落,会造成人身及装置的
损伤。应设计有落下防止用导轨装置等安全措施。
由于停电或气源故障,引起真空度降低而出现事故,应有
安全设计。
若不使用真空规格的阀,会出现漏气而失去真空。
〈从工件或配管处有泄漏的场合〉
若吸入流量不足,则吸着不良。
〈配管长或配管粗的场合〉
配管容积增大,吸着响应时间太长。
参考技术资料选定合适吸入流量的真空发生器。
几mm大小的小工件,一但选定吸入流量过大的真空发生器,和未
吸着时的真空压力之差太小,会使真空压力开关的设定变困难,故
要选定合适的真空发生器。
因为一个吸盘上的工件脱落,则真空度变小。
真空侧配管的有效截面积应按真空发生器的最大吸入流量来选定。
配管途中不要有节流且不得漏气。
真空侧配管的有效截面积应按真空发生器的最大空气消耗量来选定。
管子、管接头及阀等的有效截面积也应足够大,使真空发生器前的
压力损失尽量小。
还有,应考虑真空发生器的最大空气消耗量及其它气动回路的空气
消耗量来设计气源。
真空切换阀和真空破坏阀应使用真空规格。
应选定吸入流量合适的真空发生器。
吸入流量过大,则真空开关的设定困难。
1个真空发生器带动两个以上吸盘的场合,一但一个吸盘上
的工件脱落,其它吸盘上的工件也会脱落。
配管的有效截面积应满足要求。
方向控制阀,速度控制阀等相关元件应参见各自样本的
注意事项。
要定期对真空过滤器和消声器进行清洗。
过滤器及消声器的孔眼被堵,真空发生器的性能便降低。在粉尘多的
场合,应使用处理流量大的真空过滤器。
真空发生器的排气口不许堵塞。
一但堵塞,就不产生真空了。
配管不能是螺旋状。
真空侧和供给侧都不能出现螺旋状配管,应尽量短而直。配管容积
增大则响应时间变长。
配管不许损伤、弯曲。
在腐蚀性气体、化学药品、海水、水、水蒸气的氛围中或
附着上述物质的场所,不得使用。
在爆炸性的氛围场所不得使用。
在日光照射的场合,应加保护罩。
周围有热源的场合,应遮断辐射热。
有水滴、油及溶剂的飞溅或附着上述物质的场所,应采取
合适的防护对策。
真空组件被包围、且通电时间长的场合,应采取散热措施,
保证在真空组件的使用温度范围内。
在有产生振动或冲击的场所不得使用。可按各系列的规格
确认。
真空发生器排气侧的配管有效截面积应大。
排气一但节流,真空发生器的性能就变差。
1
真空元件的概述
以真空吸附为动力源,作为实现自动化的一种手段
在电子、半导体元件组装、汽车组
装、自动搬运机械、轻工机械、食品
机械、医疗机械、塑料制品机械、包
装机械、锻压机械、机器人等许多方
面得到广泛的应用。例如:真空包装
机械中,包装纸的吸附、送标、贴标,
包装袋的开启;电视机的显像管、电
子枪的加工、运输、装配及电视机的
组装;印刷机械中的双张、折面的检
测、印刷纸张的输送;玻璃的搬运和
装箱;机器人抓起重物,搬运和装配;
真空成型、真空卡盘等。
总之,对任何具有较光滑表面的物
体,特别对于非铁、非金属且不适合
夹紧的物体,如薄的柔软的纸张、塑
料膜、铝箔,易碎的玻璃及其制品,
集成电路等微型精密零件,都可使用
真空吸附来完成各种作业。
真空发生装置有真空泵和真空发生
器两种。真空泵是吸入口形成负压,排
气口直接通大气,两端压力比很大的抽
除气体的机械。真空发生器是利用压缩
空气的流动而形成一定真空度的气动元
件。由它们组成的典型真空回路如下图
所示:
1
1.IDF 冷冻式干燥器
2.AF 空气过滤器
3.AM 油雾分离器
4.AR 减压阀
5.真空破坏阀
6.节流阀
7.真空压力开关
8.真空过滤器
9.真空表
10.真空吸盘
11.被吸吊物
12.真空切换阀
13.真空罐
14.真空调压阀
15.真空泵
16.消声器
17.供给阀
18.真空发生器
19.单向阀
2 3 4
13
14
12
15 16
5
6
8
9
10
11
7
1 2 3 4 18 16
19 5
17
6
8
9
10
11
图1 图2 7
2
真空元件
使用真空发生器的吸着搬送系统
应用系统
使用真空发生器组件的系统
在使用真空发生器的吸着搬送系统上,将必要的元件(真空发生器的供给阀、破坏阀、
节流阀、真空用压力开关、过滤器)一体化,实现组装作业合理化、紧凑化。
压缩机 空气过滤器 调压阀
真空压力表
真空发生器单元 流量开关
真空吸盘 真空用气缸
冷冻式
干燥机
微雾
分离器
流量开关
流量开关
真空发生器
供给阀 释放阀 真空用
真空用 压力开关
压力表及压力开关
真空用
压力表及压力开关
压缩机 空气过滤器 调压阀
真空吸盘 真空用气缸
冷冻式
干燥机
微雾
分离器
使用单体式元件的系统
由单体式真空发生器等元件构成,这样回路构成及安装场所
可自由选择,以构成具有柔性的系统。
控制单元
流量开关
真空用
压力表及压力开关
压缩机 空气过滤器 调压阀
真空吸盘 真空用气缸
冷冻式
干燥机
微雾
分离器
真空泵
真空用
调压阀及电-气比例阀
将控制真空压力必要的元件(真空切换阀、
破坏阀、节流阀、真空用压力开关、
过滤器)一体化,实现组装作业合理化、
紧凑化。
使用真空泵的吸着搬送系统
3
ZQ□A系列 薄型真空发生器组合
ZR系列 大型真空发生器系统
ZB系列 小型真空发生器组合
ZA系列 小型真空发生器
ø0.7
ø4/ø2.5 100mm
-60kPa 40ms
系列
喷咀口径
标准供给压力
最高真空度
最大吸入流量
空气消耗量
适用吸盘直径(mm)
0.5mm
-74kPa
4L/min(ANR)
12L/min(ANR)
0.4MPa
ZA105
2~13
0.7mm
0.45MPa
-78kPa
8L/min(ANR)
28L/min(ANR)
ZA107
2~20
ZR110
1.0
22
42
46
2~32
S:-84kPa L:-53kPa
ZR113
1.3
38
52
78
2~50
ZR115
1.5
54
74
95
2~100
ZR118
1.8
62
88
150
2~125
ZR120
2.0
84
105
185
2~150
S
L
系列
喷咀组件(mm)
最大吸入流量
L/min(ANR)
空气消耗量L/min(ANR)
最高真空度
适用吸盘直径(mm)
ZQ
喷嘴孔径
05 0.5
07 0.7
10 1.0
[真空发生器组件]
导线引出方式
L L形插座式、导线长0.3m,
带指示灯及过电压保护回路
10 1U A K1 5 L EA G 3 3
阀体形式
1U 单体用
3M 集装用
G
电源电压
5 24 VDC
N.C.
N.C.
N.C.
N.O.
N.O.
N.C.
N.C.
供给阀
锁定型
锁定型
破坏阀
无
无
无
注1) 锁定型(+COM)
电磁阀组合
K1
K2
J1
J2
Q1
Q2
记号
注1)
注1)
手动操作方式
数显式真空压力传感器及真空过滤器规格
记号 压力范围 [kPa] 输出
EA
0 ~ -100
NPN 2 输出
EB PNP 2 输出
EC NPN 1 输出 + 模拟电压
EE PNP 1 输出 + 模拟电压
FA
-100 ~ 100
NPN 2 输出
FB PNP 2 输出
FC NPN 1 输出 + 模拟电压
FE PNP 1 输出 + 模拟电压
F 仅真空过滤器
真空压力传感器导线规格
插头带导线(2m)
无记号
单向阀
K 带单向阀
无
符号 适用管子外径 型号
无记号 无接口 汇流板
0 无接头(M5x0.8)
单个
单元
2 ø4(直通)
3 ø6(直通)
5 ø4(弯头)
接头(P口)
记号 适用管子外径
0 无接头 (M5 x 0.8)
2 ø4 (直通)
3 ø6 (直通)
5 ø4 (弯头)
接头(V口)
无
记号 锁定型 : 推压锁定式
非推压锁定式
共同规格 B 锁定式(Q2不适用)
型号 ZQ07□A
喷嘴孔径(mm) 0.7
标淮供给压力 0.43MPa
最高真空度 -80kPa
最大吸入流量ℓ/min(ANR) 10
空气消耗量ℓ/min(ANR) 25
供给压力范围 气压供给(P)口 0.3 ~ 0.5MPa
释放压力供应(PD)端口 0 ~ 0.45MPa
耐压力 0.75MPa
可同时运行的歧管站数 6
噪音水平[dB(A)] 单机 68
歧管用(可同时运行的最大站数)
ZQ05□A
0.5
0.35MPa
5
15
8
65
64 66
ZQ10□A
1.0
22
47
4
70
68
主阀响应时间 25ms或以下
共同规格
型号表示方法
共同规格
特点 :
1) 高速响应:阀响应时间5ms,真空响应时间28ms,
真空破坏响应时间14ms。
2) 维修方面:无螺丝拆卸滤芯,十分方便。
供给阀形式
喷嘴径mm
供给压力范围注1)MPa
标准供给压力MPa
空气消耗量L/min(ANR)
最大吸入流量L/min(ANR)
最高真空压力kPa
型号
真空发生器规格注1)
注1) 此值是代表值,根据大气压(天气气候、标高等)会有变化。
注2) 带压力传感器 • 真空用压力开关使用的场合,最高使用压力是0.5MPa。
ZB03
大流量型
(N.C.) 锁定型
0.3
2
-86
0.35
3.5
0.4
4
0.4
3.5
0.35
6.5
ZB04 ZB05
大流量型
(N.C.) 锁定型 大流量型
(N.C.)
0.5
0.35
10
4.5
ZB06
大流量型
(N.C.)
0.6
0.3 ~ 0.55
0.5
18
7
0.2 ~ 0.55
0.45
8.5
-90
ZB
4
ZK2□A系列 真空发生器组合
• 增加节能压力开关 : 真空压力到达时,供给流量减少90%。
• 真空发生器效率提高 : 吸入流量增加50%, 耗气量减少30%
• 小型化, 轻量化。
[mm]
[mm]
[L/min ANR ]
[L/min ANR ]
[L/min ANR ]
[kPa]
[MPa]
[MPa]
ZK2 07
-91
0.3~0.6
0.35 0.4
ZK2 10 ZK2 12 ZK2 15
0.7
34
29
24
2~40 2~50 2~125 2~150
1.0
56
44
40
1.2
74
61
58
1.5
89
67
90
项目 型式
供给压力范围
标准供给压力
适用吸盘直径
真空发生器喷嘴孔径
最大吸入量
最大耗气量
最高真空压力
高消音消声器
消声器式
共同规格
带省能功能的真空数字式压力开关
(与供给阀联动达到设定真空度即停止供气)
供气
真空 真空
供气
只有在真空压力不足
时,才断续地消耗压
缩空气,断续地排气
只要在吸附工件期间,
一直消耗压缩空气,
持续地排气
真空单元组合变化
先导压力供给 (PS) 孔
ø4 快速接头
真空压供给 (PV) 孔
ø6 快速接头
真空 (V) 孔
ø6, ø8 快速接头
喷嘴径 真空开关
无真空传感器
供给阀,破坏阀的组合
空气压供给 (PV) 孔
真空 (V) 孔 排气 (EXH) 孔
破坏流量调整针阀
供给阀 破坏阀
N.C N.C
N.C 无
真空保持式 N.C
无 无
ø0.7, ø1.0, ø1.2, ø1.5 · 压力检测器
· 真空用压力传感器
· 附省能源功能真空用压力传感器
供给阀,破坏阀额定电压
24 VDC
ø6
ø6, ø8 快速连接
圆形锁锣母
螺丝刀操作型
高消音消声器排气
消声器排气
真空产生器(带阀/无阀)
单
体
组
合
变
化
真空泵系统
供给阀信号
ON
OFF
ON
OFF
省能源
控制
现有品
吸著确认
压力
省能源
ON/OFF
动作
到达真空压
大气压
真空孔压力
现有的
真空产生器
附省能功能真空
开关真空产生器
5
ZK2G系列
高消音消声器
排气使其直接对大气排放
能发挥最大真空性能且删除
不愉快的音频
※喷嘴ø0.7时
记号
P
Q
A
G
C
H
真空系统及组件形式
真空系统形式
真空泵系统
真空发生器
系统
记号
00
07
10
12
15
真空发生器喷嘴孔径
真空系统形式
真空泵系统
真空发生器
系统
*
只需瞬时供电于供给阀,一直保持真空
状态,可作为工件掉落防止对策用,
供电于破坏阀同时会断电供给阀。
真空供给阀/破坏阀选项
记号
K
J
R*
N
供给阀
N.C
N.C
真空保持式
无
破坏阀
无
N.C.
N.C.
无
记号
5
0*
电压
DC24V
无
额定电压
记号 记号 压力范围
(kPa) 输出方式
P 0~-101
T -100~100
A 0~-101
E -100~100
K** NPN 1个输出
N
NPN 2个输出
*如查询更多规格,另有PNP可选择,请联系SMC.
**必须在③选“K”。
模拟输出
1-5V
供给阀、破坏阀和真空/压力传感器出线选项
传感器
接头形式、导线形式 接线样式
C 集装式插头(集装板专用)
注1)
注3)
注4)
注1)
注2)
L 带阀,带传感器
不带阀,带传感器
带阀,不带传感器
不带阀,不带传感器
L1
L2
L3
W L型插头(专用节能导线)
Y
N
供给阀 / 破坏阀用
记号
06
08
接管口径
ø6配管
ø8配管
真空口配管
无记号
K
无
带破坏流量调节阀
任选项
J
-100~100
类型
节能真空压力传感器
无压力传感器及数字真空压力开关
压力传感器
真空压力传感器
压力传感器/数字真空压力传感器
14.5
5.8 5
26.5
15
46.4
1
8.9
2×ø4.6
33.5
单体式 托架(型号:ZK2-BK1-A)
*托架需另外采购
外形尺寸图 (毫米)
(集装式) ZZK2 04 A- A 1 L -
记号 内容
单独配线
无
D-sub插座
(25针)
扁平插座
(26针)
L
F*
P**
N
配线方式
记号 真空系统形式 接管口径
P PV共通:ø8
PS共通:ø6
A
真空系统及组件端口
真空泵系统
真空发生器
系统 PV共通:ø8
记号 组件位数
01 1个
02 2个
··· ···
10 10个
组装集装个数
记号 排气形式
2 真空泵系统
1 真空发生器
2 系统
无消声器(ZK2Q00配用)
排气消声器在集装板两侧(ZK2C配用)
无消声器(单独排气)(ZK2H配用)
排气方式
单独配线
D-sub插座
扁平
插座
无记号 无
DIN导轨式
真空供给口
共通(PD)
单独给供气
B
D
L
任选项
DIN导轨式
安装
共通PD口
单独
PV口
*D-sub连接电线3m长,型号 : AXT100-DS25-030 **扁平连接电线3m长,型号 : AXT100-FC26-3
以上需另外采购
0
10
20
30
40
50
60
200 2000 20000
噪音水平 [dB (A)]
频率[Hz]
ZK2A07
ZK2G07 (通孔式消音器)
(消音器内藏)
2,000~20,000Hz的
降低高频域
4
(单个组件)
ZK2 A
A
A
真空发生器系统(带阀)
真空发生器系统(无阀)
真空泵系统* P K 5 A L 08
12
12
00
ZK2 A K 5 A L 08
ZK2 A N 0 N N 08 *
组件内无真空发生器,真空由客户提供。 1 2 3 4 5 6 7 8
1 2 3
5 6
7 8
2
2
3 4 5
4
1
注1) 压力传感器 : 直接出线式线长3m 。真空压力传感器 : L型插头线长2m。
注2) 若 选“K”, 必须在 选“W”。注3) 若 选“N”, 就不能选配 。注4) 若 选5 “P”,“T”, 就不能选配 。
5
5
不带阀(在 3 选N时)
无供给阀,破坏阀,压力传感器(在 3 及 5 选N时)
1
3
5
*
在 选N时,必须这里
选“0”。
3
新款真空发生器组合ZK2□A系列
46dB (A) 20%
无
ø0.7
ø1.0
ø1.2
ø1.5
发生器孔径
无
无
消声器
高消音消声器
排气共通
高消音消声器
排气形式
单体式
集装式
单体式
集装式
组件形式
型号表示方法
型号表示方法
6
ZM系列 真空发生器
ZM05
ZM07
ZM10
ZM13
ZM15
0.5
0.7
1.0
1.3
1.5
15
23
38
44
45
17
33
60
85
110
2~16
2~25
2~32
2~40
2~50
(mm) [L/min(ANR)] [L/min(ANR)] (mm)
·
·
· 40%
· -84kPa
使用温度范围 -5 ~ 50o
C
使用流体 压缩空气
适用气管材质 尼龙、软尼龙、聚氨酯
使用压力范围 0.1 ~ 0.6MPa※
※供给(P)孔的供给压力。真空(V)孔、排气(E)孔不要同时封闭。
共同规格
标准托架安装
L型托架安装 DIN轨道安装
4种安装方法
直接安装
最多减少 %
(缩短6.7mm)
全长
现有产品 36.3 cm3 新 22.2 cm3
最多减少39% 14.1 cm3
体积
(减少 )
现有产品 ZH10B -06-06
ZH10BSA-06-06
23 18.4 mm 新 mm
4.6 mm
6.7
mm
58.5mm
51.8mm
ZH05D□A-06-06-06
ZH05D□-06-06-06
旧有产品
新
11
注 供气口,真空口,排气口的连接方法的组合口径,请参照下表2。
盒型
(供气口) (真空口)
(内置消声器)
ZH 10 BSA 06 06
喷嘴直径
05 ø0.5 mm
07 ø0.7 mm
10 ø1.0 mm
13 ø1.3 mm
15 ø1.5 mm
18 ø1.8 mm
20 ø2.0 mm
内螺纹
01 Rc1/8
02 Rc1/4
03 Rc3/8
04 Rc1/2
快换接头
06 ø6
08 ø8
10 ø10
12 ø12
真空压力
S -90kPa
L
喷嘴直径
直接配管型 ZH 10 D S A 06 06 08
(供气口) (真空口) (排气口)
连接口径注)
内螺纹
01 Rc1/8
02 Rc1/4
03 Rc3/8
04 Rc1/2
快换接头
06 ø6
08 ø8
10 ø10
12 ø12
注 供气口,真空口,排气口的连接方法的组合口径,请参照下表1。
05 ø0.5mm
07 ø0.7mm
10 ø1.0mm
13 ø1.3mm
15 ø1.5mm
18 ø1.8mm
20 ø2.0mm
-48kPa(ZH05~13D□A)
-66kPa(ZH15~20D□A)
表1
表2
型式 供气 真空 排气
ZH05D□A06 - 06 - 06
06 - 01 - 06
01 - 01 - 01
ZH07D□A06 - 06 - 06
06 - 01 - 06
01 - 01 - 01
ZH10D□A06 - 06 - 08
06 - 01 - 08
01 - 01 - 01
ZH13D□A08 - 10 - 10
08 - 02 - 10
01 - 02 - 02
ZH15D□A08 - 10 - 10
08 - 03 - 10
02 - 03 - 03
ZH18D□A10 - 12 - 12
10 - 03 - 12
03 - 03 - 03
ZH20D□A10 - 12 - 12
10 - 04 - 12
03 - 04 - 04
型式
ZH05BSA06 – 06
06 – 01
01 – 01
ZH07BSA06 – 06
06 – 01
01 – 01
ZH10BSA06 – 06
06 – 01
01 – 01
ZH13BSA08 – 10
08 – 02
01 – 02
ZH15BSA08 – 10
08 – 03
02 – 03
ZH18BSA10 – 12
10 – 03
03 – 03
ZH20BSA10 – 12
10 – 04
03 – 04
供气 真空
RoHS
• 附消音器的排气口,只能选择快速接头
• 附属的消音器依排气口的尺寸而不同
EXH.孔 消音器型式
06 AN10-C06
07 AN10-C07
08 AN15-C08
09 AN15-C08
10 AN20-C10
11 AN20-C11
12 AN30-C12
消音器
ZH05~10D A ZH13/15D A ZH18/20D A
托架型号 ZH2-BK1A-1-A ZH2-BK1A-2-A ZH2-BK1A-3-A
ZH□D A / ZH S
L □BSA系列 真空发生器
共同规格
型号表示方法
盒型
(内置消声器)
ZH05D□A
-90
-89
-90 -
-
-48
13
ZH07D□A 27
ZH10D□A 52
ZH13D□A 88
13
27
52
88
ZH15D□A
-66
-
117
ZH18D□A 165
ZH20D□A
ZH05BSA
ZH07BSA
ZH10BSA
ZH13BSA
ZH15BSA
ZH18BSA
ZH20BSA
117
165
201
201
※供给压力0.45MPa时的值
型号
0.5
0.7
1.0
1.3
1.5
1.8
2.0
1.5
1.8
2.0
0.5
0.7
1.0
1.3
喷咀
直径
(mm)
可产生真空压力※
[kPa]
最大吸入流量
[L/min(ANR)]
空气消耗量
[L/min
S型 L型 (ANR)]
6
12
26
40
6
12
26
40
58
76
90
58
76
90
S型
13
28
52
78
-
-
-
-
-
-
-
78
128
155
L型
型号表示方法
7
ZL3 ZL6
ZL112A系列 多级真空发生器
ZL3/ZL6系列 多级真空发生器
L
L: 0.3m
无
GN 带真空压力检出孔(Rc1/8)
G 带真空压力表
E 真空压力开关(2个输出)
真空压力开关(混合式2个输出)
节能压力开关(混合式1个输出)
F
V
3 300 L/min (ANR)
6 600 L/min (ANR)
04
Rc3/4
2 x Rc1/2 ( )
8mm
06
真空口 供气口
真空压力开关 “E”, “F”
V, NPN PNP
A NPN输出
插头导线长2m
B PNP输出
“E”, “F”
G
G
P 通口排气
(Rc1)
: 24DVC
K1 带供给阀 (N.C.), 破坏阀 (N.C.)
Rc3/4
Rc1/2
Rc1/2
共同规格 ZL3/ZL6
ZL3H□□
1.5
0.50
-93
280
300
135
0.2 ~ 0.6
喷嘴口径[mm]
标准供给压力[MPa]
最高真空压力[kPa]
最大吸入流量[L/min(ANR)]
空气消耗量[L/min(ANR)]
供给压力范围[MPa]
使用温度范围[
o
C]
流体
分支真空口/通口排气
-5 ~ 50 (未冻结)
压缩空气
ZL6M□□
1.9 x 2
0.35
-91
580
600
ZL3M□□
1.9
280
300
150 300
型号 ZL6H□□
1.5 x 2
580
600
270
无阀
ZL 3 K1 L E A G
ZL 3 K1 L V A
ZL 3 06
06
06
带阀 M
M
M
5
5
ZD
ZD
M 0.35MPa
H 0.5MPa
W
标准供给压力
ø6 ø12
喷嘴直径
(mm) 系列 标准
供给压力
真空
压力
(kPa)
空气消耗量 连接口径
供气口
(P)
真空口
(V)
阀型式 排气方法 真空压力部份 最大吸入流量
附供给阀
破坏阀 供给阀 没带 排气口 没带 真空用
压力表
真空口
连接器
真空用数位
压力传感器
消音器
排气
减少
新 现有品
轻量化
ø12 公厘尺寸
(浅灰色)
尺寸 供给口(P) 真空口(V)
ø6
[L/min
(ANR)]
[L/min
(ANR)]
ZL112A 1.2 0.33
(没带阀时) -84 100 57
P L
K1
5
L
24V
GN
G
D
N
A
C
D
D
DC规格
5 Z D D N L
D N L
L
[无阀]ZL112A
[带阀]ZL112A
排气规格
供给阀/破坏阀的组合
额定电压
手动操作 真空压力检出部
压力传感器规格
(只在真空压力传感器上使用)
导线引出方式
L形
插座式 导线长0.3m无记号 无
推压回转锁
定式螺丝刀
操作 真空用接头Rc1/8
带真空压力表
真空用压力传感器
2个NPN输出
1个NPN输出
1个NPN输出+1个模拟电流输出
1个NPN输出+1个模拟电压输出
带供给阀/破坏阀
导线长度
*只适用于带真空压力传感器\"D\"的情况下
导线长2m 无记号 内置消声器
通口排气
- K1
Z
指示灯/过电压保护回路
无指示灯及过电压保护回路
带指示灯及过电压保护回路
无记号
0.7MPa
0.2~0.5MPa
5~50°C
喷嘴直径
型号
共同规格
ø1.2mm
ZL112A
100L/min(ANR)
57L/min(ANR)
无阀0.33MPa,带阀0.35MPa
-84kPa
最大吸入流量
空气消耗量
最大真空度
最大使用压力
供给压力范围
使用温度范围
标准供给压力
ZL6
ZL3/分支真空口规格
ZL112A
应用例
■ 汽车行业上
吸附玻璃拾放
■ 吸附工件
作固定应用
■ 吸附纸箱作搬送
型号表示方法
型号表示方法
8
*1调整喷嘴前松开内六角固定螺钉,调整后重新拧紧螺钉。
*吸入流量、排出流量、耗气量会发生变化。
吹气流量为供气量的4倍或以上
如果排放需要流量,
有助于减少流量消耗
*ZHV10除外
内六角紧定螺钉*1
供给压缩空气
喷嘴
吸入流量可增加
3倍或以上
逆时针转动喷嘴增加流量
(真空压力增加)
顺时针转动喷嘴降低流量(真空压力降低)
排出流量可
提高4倍或以上
可产生供气量3倍或以上的真空流量
如果吸入需要流量,有助于减少流量消耗
*ZHV10除外
共同规格
型号 ZHV10 ZHV20 ZHV30 ZHV40
密封材料 NBR
铝合金
压缩空气
0 ~ 0.7MPa
使用流体
供给压力范围
本体材质
环境和流体温度
通径 ø13 ø21.6 ø30 ø42
重量(g) 46 (55) 209 (228) 526 (587) 1063 (1182)
ZH-BK1-10-A ZH-BK1-20-A ZH-BK1-30-A ZH-BK1-40-A
ZH-DB1-10-A ZH-DB1-20-A ZH-DB1-30-A ZH-DB1-40-A
托架组件
集尘袋组件
注1) ( )=重量,代表产品已含托架组件。
-5 ~ 80°C (未冻结)
供给压缩空气可进行
吹风或产生真空
• 可通过调节喷嘴位置
控制吹气/真空流量
通径大,可吸入切屑,灰尘等
通径:
备有ø13,
ø21.6,
ø30, ø42
流动方向
备有托架,集尘袋可选购
托架组件
托架
集尘袋组件
通道直径:10µm
真空
切割树脂零件
粉末收集
加工机
工件
应用例 吹气 水滴的吹散
吹除粉屑 搬运
*小球、粉末等
材料的搬运
L/min (ANR)
型号 真空压力[kPa] 吸入流量 吹风流量 空气消耗流量 通径
ZHV10
-6
520 670 180 ø13
ZHV20 1975 2360 380 ø21.6
ZHV30 4590 5310 710 ø30
ZHV40 5270 6820 1330 ø42
型号种类
注1) 供气压力在0.5MPa计算
• 与以前产品(ZH-X185)本体安装尺寸、通口连接方法,
通径相同。
*2 ZHV20,与产品(ZH20-X185)对比
*3 ZH10,与产品(ZH10-X185)对比
重量 最大削减50%*2
(减少208g)
209g 417g
体积 最大削减50%*3
(减少17000mm3)
17000mm3
34000mm3
ZHV系列 真空发生器/大流量喷嘴型
ZH□-□-X267系列 全不锈钢真空发生器
- (SCS: SUS304)
-
- : 260°C
-
ZH05S-X267 ZH05L-X267 ZH07S-X267 ZH07L-X267 ZH10S-X267 ZH10L-X267
mm 0.5 0.7 1.0
-88 -48 -88 -48 -88 -48
5 8 12 20 24 34
13 23 46
MPa 0.45
SCS13
SUS304
SUS304
MPa 0.6
-5~260
共同规格
9
真空流量
真空吸盘
机械手前端安装真空吸盘和大流量真空发生器作高速搬送。另可用真空气源应用于
制衣设备中的丝线、原线等回收及电子行业中模具内树脂的碎片,尘埃回收。
应用例
ZH10-B-X249系列 真空发生器/大流量喷嘴型
吸入口
ø19
叶片软管式管道
喷出气管ø25
供给空气
Rc1/8
螺旋式管道
吸入口
M25 x1
共同规格
型号
本体材质 铝合金
密封材料 NBR
通过孔径 ø11.5
0.94 (4.72)
820
1160
340
使用流体 压缩空气
供给压力范围 0 ~ 0.7 MPa
环境和流体温度[ °C] 5 ~ 80 (未冻结)
质量 [g]
吸入流量L/min (ANR)*2
吹风流量L/min (ANR)*2
消耗流量L/min (ANR)*2
螺旋式管道 叶片软管式管道 扩展嘴式管道
ZH10-B-X249 ZH10-B-X249P ZH10-B-X249W
250 267 278
C [dm3
/(s·bar)] (有效断面积[mm2
])*1
ø34 *1 C值和有效面积是理论值。 *2 供气压力在0.5 MPa。
气管
吸入 扩展嘴式管道
ZU□A系列 直管型真空发生器
使用温度范围
使用流体
适用气管材质
使用压力范围
标准供给压力 ZU03/04
ZU05/07
-5 ~ 50℃(未冻结)
压缩空气
FEP、PFA、尼龙、软尼龙、聚氨酯
0.1 ~ 0.6MPa
0.35MPa
0.45MPa
共同规格
产生器规格※1
ZU03□A 0.3 -85 1.8 3.7 2.4 ZU04□A
ZU05□A
ZU07□A
0.4 -87
-90
3.2
3.4
5.8 7.4
0.5 -48
-40 -
7 13 14 18.6
0.7 11 16 28 4.3
型号
喷嘴
直径
(mm)
最高真空压力※2
[kPa]
最大吸入流量※2
[L/min(ANR)] 耗气量※2
[L/min(ANR)]
快换
接头
连接
螺纹
锁入
连接
※1 特性所示各值为代表值。依受限大气压(天候、标高等)会有变化。 ※2 标准供给压力时的值
S型 L型 S型 L型
19.1
3.9
质量(g)
ZU 05 S A
真空压力
接管口径
记号 口径 ZU03/04 ZU05/07
无记号 ø4快换接头 ● ─
ø6快换接头 ─ ●
01 Rc1/8内螺纹 ─ ●
N ø5/32\" ● ─
记号 最高真空压力 ZU03/04 ZU05/07
S -85 kPa (ZU03)/-87 kPa (ZU04) —
-90 kPa —
L -40 kPa —
-48 kPa —
喷嘴直径
03 0.3mm
04 0.4mm
05 0.5mm
07 0.7mm
型号表示方法
ZH-X338系列 真空发生器/大流量喷嘴型
吸入口
Rc3/8
供给空气
Rc1/4 喷出
R3/4
共同规格
型号 ZH-X338
本体材质 铝合金
密封材料 NBR
通过孔径 ø12
C [dm3
/(s·bar)] (有效断面积[mm2)]*1 1.58 (7.29)
880
1550
570
使用流体 压缩空气
供给压力范围 0 ~ 0.7 MPa
环境和流体温度[°C] -5 ~ 80 (未冻结)
质量[g] 328
吸入流量L/min (ANR)*2
吹风流量L/min (ANR)*2
消耗流量L/min (ANR)*2
*1 C值和有效面积是理论值。 *2 供气压力在0.5 MPa。
ZH-X226系列 真空发生器/大流量喷嘴型
供给空气
气管ø8
喷出气管
ø12
吸入气管ø10
密封材料 NBR
通过孔径 ø8
0.83 (4.13)
405
700
297
使用流体 压缩空气
供给压力范围 0 ~ 0.7 MPa
环境和流体温度[°C] -5 ~ 80 (未冻结)
质量 [g] 240
*1 C值和有效面积是理论值。 *2 供气压力在0.5 MPa。
吸入流量L/min (ANR)*2
吹风流量L/min (ANR)*2
消耗流量L/min (ANR)*2
本体材质 铝合金
型号 ZH-X226
共同规格
C [dm3
/(s·bar)] (有效断面积[mm2])*1
10
ZFB
ZFA
AF-T17系列 真空用过滤器
特点:
• 气旋效果,比重2.1以上的粉体固体物,
90%以上可以分离
• 对于粉尘环境中真空吸著上游设备的保护
• 不使用滤芯(不会阻塞)
工作原理:
利用真空产生器侧的空气切换粉尘可自动排出。
AF-T17的产生器侧供给正压,AF-T17内的粉末
排出到外部。
吸著吸盘
粉尘
阀体
AT-T17 真空
产生器
AMJ系列 真空用水滴分离器
2
特点:
对真空泵和真空发生器等,
有效除去吸入空气中的水滴。
共同规格
流体 压缩空气
放水方式
滤芯寿命
除水率
环境及流体温度
保证耐压力
最低使用压力
最高使用压力
手动放水
当压力差达到0.02MPa时
90%
5 ~ 60˚C
1.5MPa
-100kPa
1.0MPa
ZFA/ZFB系列 真空过滤器
注1) : □–代表集装组件位置数
01 = 1位
10 = 10位
ZFA100-01 1/8 ZZFA1-□
ø4
ø6
ø6
ø8
ø8
ø10
50
200
10
20
30
50
75
75
1/4
—
—
— —
ZZFA2-□
BP-1H-1A
BP-1H-2A
EJ001H-030N
EJ101H-030N
I-34S-A
I-35S-A
I-36S-A
ZFA200-02
ZFB100-04
ZFB100-06
ZFB200-06
ZFB200-08
ZFB300-08
ZFB300-10
配件(任选项)
集装式组件注1)
型号
规格 备件
接管口径 托架 滤芯组件 适合管子
(外径)
流量
( /min ANR)
AF-T17
-0.1 ~ 0 MPa
0.75 MPa
MAX. 0.5MPa
-5 ~ 60°C
Rc1/2
Rc3/4 Rc1/4
共同规格
使用流体
滤芯耐压差
使用压力
环境及流体温度
过滤精度
压缩空气,氮气
0.5MPa
-100 ~ 0kPa
5 ~ 60°C
30µm
共同规格
AF30P-050AS
AF40P-050AS
AF50P-050AS
AMJ-EL3000
AMJ-EL4000
AMJ-EL5000
型号 规格 配件(任选项) 备件(任选项)
手动排水型 接管口径Rc(PT) 重量(kg) 托架 滤芯
AMJ3000-02
AMJ3000-03
AMJ4000-03
AMJ4000-04
AMJ5000-06
AMJ5000-10
200
300
500
0.3
1/4
0.6
1.1
1
3/4
1/2
3/8
3/8
额定流量( /min)
11
AFJ-D系列 真空过滤器
可选项/部件型号
零件名称
托架
组件
AFJ20
型号 : AF24P-070AS
AFJ30
型号 : AF34P-070AS
零件名称 材质 零件型号
AFJ20 AFJ30 AFJ40
过滤器滤芯
5µm 不织布 白
黑
白
AF20P-060S AF30P-060S AF40P-060S
40µm AF22P-820S AF32P-820S AF42P-820S
80µm AF22P-830S AF32P-830S AF42P-830S
可选项/维修零件型号
共同规格
型号 AFJ20 AFJ30 AFJ40
接管口径(Rc) 1/8 1/4 1/4 3/8 1/4 3/8 1/2
使用流体 压缩空气
周围温度及使用流体温度 -5 ~ 60°C(未冻结)
保证耐压力 0.5MPa
使用压力范围 -100 ~ 0kPa
过滤精度注1) ~ 注4) 5µm, 40µm, 80µm
冷凝水储留量(cm3
) 8 25 45
杯体材质 聚碳酸酯
杯体保护罩 一 标准装备(聚碳酸酯)
推荐
流量注5)
(L/min
(ANR))
除水型
(-S)
80 100 180 230 200 310 370
100 130 210 340 230 390 500
大流量型
(-T)
5µm
5µm
100 140 190 250 210 350 440
40µm
40µm
120 180 230 380 250 480 660 80µm
80µm
重量(kg) 0.09 0.17 0.35
注1) 40µm(80µm)的滤芯可过滤,尺寸大于长宽高均在40µm(80µm)以上的固态颗粒。
注2) 5µm用滤芯,使用了过滤精度相当于5µm的纤维类型。
注3) 40µm用滤芯,使用了网眼大小40µm的树脂网。
注4) 80µm用滤芯,使用了网眼大小80µm的树脂网。
注5) 初期压力损失4kPa时的处理空气量。
AFJ20-D AFJ30-D AFJ40-D
型号表示方法
20
30
40
本体尺寸
1/8
AFJ20 AFJ30 AFJ40
1/4
3/8
1/2
01
02
03
04
接管口径(Rc)
AFJ 20 02 5 S
符号 接管口径
(Rc) 过滤精度
5
40
80
符号
5µm
40µm
80µm
滤芯精度 杯体材质
无记号
6
记号 杯体
聚碳酸酯杯体
尼龙杯体
D
除水型
大流量型
用途选择
S
T
连接真空发生器
真空过滤器
AFJ-D系列
吸盘
安装在真空发生器的前面,可过滤
固体杂质,延长真空发生器的寿命。
吸盘吸附时,阻止工件上附着的
清洗水被吸入真空发生器。
真空破坏阀
破坏流量
调整用
节流阀
真空
过滤器
吸盘
工件
真空
压力
传感器
供气阀
真空发生器
当水滴有可能进入真空压力传感器时, 请使用通用流体型真空压力传感器。
关于具体操作请参考共同注意事项及使用说明书。
应用例 真空产生器系统的应用
2
大流量型
异物 滤芯
固体
杂质
除去
从IN侧进入的空气经过挡板后
通过滤芯除去异物。
除水型
异物
水滴 从IN侧进入的空气,经过挡板
上设计的固定角度扇页而旋转,
进入的水滴因为离心力而被分离。
固体
杂质
除去
水滴
除去
支架A
支架B
安装螺丝 装配支架
* 该组件由一个
支架 A/B 和 2 安装
螺丝。
可清洗
可清洗
真空过滤器
AFJ40
型号 : AF44P-070AS
12
ZFC系列 小型真空过滤器
ZFZ-03-002□□系列 超小型真空过滤器
流体 压缩空气、氮气
无型号:NBR, F, FKM
操作压力范围
过滤精度
滤芯耐压差
密封圈及胶垫材质
环境及流体温度
-100 ~ 500kPa
0 ~ +60°C
A:5µm, B:10µm, C:20µm,
D:40µm, E:70µm,
0.15MPa
共同规格
• 真空与正压都适用
-100kPa ~ 1.0MPa (20˚C)
过滤精度 5µm
使用压力范围
注)流量(正压)条件 : 供给压力0.7MPa,压力下降30kPa
型号 ZFC1□ ZFC3□ ZFC5□ ZFC7□
连接口径(适用气压管外径) ø2
15
2
45
5
50
7
80
10
100
10
200
20
250
30
450
70
550
80
650
100
ø3.2 ø3.2 ø4 ø4 ø6 ø6 ø8 ø10 ø12
使用流体 压缩空气·氮气
使用压力 -100kPa ~ 1.0MPa(20o
C时)
1.5(20o
C时)
0~60
流量(正压)L/min注)
流量(真空压)
保证耐压力MPa
使用•周围温度范围o
C
过滤度μm 5(过滤效率95%)
滤心更换差压MPa 0.1(真空压力20kPa)
过滤面积mm2 140 470 750 1260
10.5
4.5
2.5 4.5 20.0 25.0
0.5 1.7 6.0 7.0
45.0 60.5 53.9 68.3 79.6
8.5 11.2 19.0
ZFC-EL-1 ZFC-EL-2 ZFC-EL-3
ZFC-BR001 ZFC-BR002 ZFC-BR003
10.0 11.5 23.0
适用气压管材质 尼龙·软尼龙·聚氨酯
重量g
内容积cm3
全长mm
全宽mm 23.6
托架全宽mm 27.3
ZFC-EL-4
ZFC-BR004
外壳材质
滤芯型号(备件)
托架(任选项)
聚碳酸酯
共同规格
正压1.0MPa
例) 保护电磁阀
正压0 ~ 1MPa
IN OUT
适用气管外径 真空气庄下最大流量 正庄下最大流量
[L/min(ANR)] [L/min(ANR)] 系列
45
80
200
650
5
10
20
ZFC7□ 100
ZFC5□
ZFC3□
ZFC1□
ø2 ø3.2 ø4 ø6 ø8 ø10 ø12
0.7MPa, 压力下降30kPa时。依配管阻抗,流量有无法符合的情形,请注意。
新
新
真空压-100kPa
工作物
吸盘
IN
真空压-100 ~ 0kPa
OUT
在粉尘环境下
想要保护机器!
ZFC050系列 小型真空过滤器
14 ø9.2 ø9.2
(7) 14
( PFMV )
ZFC050-M5X50
ZFC-EL050-X50 ZFC-EL013-A
ZFC050-M5X68 ZFC050-AU6X68
-100~700kPa -100~600kPa
0 60°C( )
20µm 30µm
) ( )
共同规格
注) 型号单位是一包, 一包内有10个滤蕊
为配合高速贴片机运作, 每种喷咀型吸盘可装上smc超小型真空过滤器,
确保吸放工件时间快, 而真空使用效果佳可保护其他电子软件寿命。�
行业:电子 应用例 应用:贴片机�
ZFZ-03-002D
INO-3769-542-N
特点:
• 超小型体积过滤容积为1cm3
令吸放工件时间加快,而标准
产品(ZFB系列)容积为5cm3
• 适用于半导体行业,特别是
SMT贴片机应用
μm 滤芯型号
5 ZFZ-EL03002A
10 ZFZ-EL03002B
20 ZFZ-EL03002C
40 ZFZ-EL03002D
型号
A
B
C
D
E 70 ZFZ-EL03002E
型号 材质
Nil NBR
F FKM
过滤精度 密封圈材质
注) 当压力降到20KPa, 可更换滤芯
ZFZ 03 002 ※※
ZFC 5 4 B
本体尺寸
记号 本体尺寸 过滤面积
1 5L/min 140mm2
3 10L/min 470mm2
5 20L/min 750mm2
7 100L/min 1260mm2
适合软管外径
ø2
ø3.2
ø4
ø6
ø8
ø10
ø12
记号 适用气压管外径
1
2
3
4
5
6
7
ZFC1
●
●
―
―
―
―
―
ZFC3
●
●
―
―
―
―
―
ZFC5
●
●
―
―
―
―
―
ZFC7
●
●
●
●
―
―
―
选配
无记号 无
B 附托架
型号表示方法
型号表示方法
13
ZP系列 真空吸盘
ø2 ø4 ø6 ø8 ø10 ø13 ø16 ø20 ø25 ø32 ø40 ø50
ZP2系列 扁平型吸盘(ø10~ø30)
ZP2系列 海棉吸盘(ø4~ø15)
用于薄片,薄膜等的吸着
吸着时可抑制工件平面的变形
注1)不适用于施加负载的工件搬运
ZP2 T B10 MT N A5
真空引出方向
T
吸盘材质
记号 材质
N 丁腈橡胶
S 硅橡胶
F 氟化橡胶
GN 导电性丁腈橡胶
记号 形状 GS 导电性硅橡胶
MT 薄型
(带沟)
吸盘形状
垂直真空接管型/带连接器
记号 方向
垂直
安装连接
吸盘直径(记号)
螺纹径(记号)
H5G(M5 x 0.8 外螺纹)
B5(M5 x 0.8 内螺纹)
A5(M5 x 0.8 外螺纹带六角接头)
B10 B15 B20 B25 B30
记号
B10 ø10
B15 ø15
B20 ø20
B25 ø25
B30 ø30
吸盘直径
吸盘直径
ZP2系列 真空吸盘
ø0.8~ø15
小型 • 省空间
小型喷嘴 ø4~ø125
用于减少工件上的吸着痕迹
吸着痕迹对策 薄型 • 扁平型 ø5~ø30
用于薄片, 乙烯材料�
风琴型 ø2~ø46
用于球形, 有倾斜的工作
高负载 ø32~ø340
用于重的工件, 大的工件
椭圆形 3.5x7~8x30
用于长方形的工件
球花键轴缓冲型 ø2~ø8
缓冲部上使用球花键轴导向
INO-3769-200-**
用于圆(CD, DVD等),
玻璃基板等的多级固定
特殊形状 4.5段伸缩吸盘 ø15~ø46
对应高速移动工件的吸着, 也可对应
各种形状的工件�
带连接器 06 A3
安装连接
ZP2 T S GE
吸盘直径
吸盘材质 吸盘种类
A3
A5
B3
B5
M5×0.8(外螺纹)
M3×0.8(内螺纹)
M3×0.8(外螺纹)
M5×0.8(内螺纹)
●
-
●
-
-
●
-
●
-
●
-
●
-
●
-
●
-
●
-
●
记号 螺纹径 适用吸盘直径记号
04 06 08 10 15
S 海绵
记号 形状 GE 导电性EPDM
记号 材质
04
06
08
10
15
ø4
ø6
ø8
ø10
ø15
记号 吸盘直径
真空引出方向
T
方向
纵
记号
■ 用於有凹凸的工件吸著。
ø160~ø250 ±15°
型号表示方法
型号表示方法
14
ZP3系列 真空吸盘
• 比旧款ZP总长短
• 新增ø1.5直径
• 吸盘与工件接触之部位脱离性提高
• 6种吸盘材料可供选择
(丁腈橡胶、硅橡胶、聚氨脂橡胶、FKM、
导电性丁腈橡胶、导电性硅胶)
丁腈橡胶
防静电丁腈橡胶
防静电硅胶
硅胶
聚氨脂
氟化橡胶
ZP3C系列 真空吸盘(ø20 ~ ø50)
适用于吸附瓦楞纸板搬送
吸盘部
材质 FS61氟橡胶
颜色 绿色
硬度 HS(±5°) A60
配件部 材质 铝合金、不锈钢*1
滤网 精度:250µm
*1 不锈钢只应用在滤网上
共同规格
应用例
可吸附瓦楞纸板
材质:FS61(氟橡胶)提高耐磨性
*对比SMC’s聚氨酯吸盘的耐磨性是两倍以上
滤网过滤器可减少异物吸入
• 减少异物经吸盘吸入真空泵和真空发生器
• 无需工具即可更换吸盘和滤网过滤器
• 金属和橡胶部件的分离较简易
连接器组件(金属零件) - 维修备用
吸盘(橡胶部分)
型号 螺纹种类 适用吸盘
ZP3CA-T4-AG02 外螺纹 ø40, ø50 ZP3CA-T4-BG02 内螺纹
形状
C 平型带肋
B 风琴型
3 滤网
无记号 不带滤网
MF 带滤网
5
安装
直接
安装
ø20 ~ ø32
*连接器和吸盘连接一起,无法拆卸。
M10 x 1
M8 x 1
G1/8
G1/4
G1/8
G1/4
尺寸
A10
A8
AG01
AG02
BG01
BG02
记号
外螺纹
内螺纹
螺纹种类
6 连接螺纹
-
-
-
ø40, ø50
-
-
-
吸盘直径 吸盘直径
20
32
40
50
ø20
25 ø25
ø32
ø40
ø50
2
ø20 ~ ø32
20
10
30
50
行程
4 连接螺纹
-
ø40, ø50
-
吸盘直径[mm]
真空入口方向
T
Y*1
垂直
水平
1
*1 只能选择带缓冲器的类型
全行程
0行程
防回转规格
吸盘直径
JB:可回转,带轴套
行程[mm]
连接螺纹
弹簧作用力
[N]
M14 x 1 M18 x 1.5
3 5
4.5 5.0 5.2 6.5 8.5 10.5
10 30 50 10 30 50
缓冲器规格
ø20 ~ ø32 ø40, ø50
风琴型
平型带肋
带缓冲器
滤网过滤器
精度:250µm
(维修备用)
型号 吸盘直径
ZPMF-60-D11
ZPMF-60-D18
ø20 ~ ø32
−
ø40, ø50
−
1
吸盘单体
附连接器 ZP3C T 20 C MF A8
ZP3C 20 C FS
FS
带缓冲器 ZP3C T 20 C FS JB 10 MF
2 3 4 5 6
型号表示方法 15
ZP3P系列 真空吸盘
■对应吸附时易产生大幅变形的薄膜包装工件
■使用通过 FDA(美国食品医药管理局)
21CFR§177.2600溶出试验的硅胶材质
■本体颜色为蓝色
■减少泄漏
■减少吸附薄型工件(薄膜、乙烯塑料等)
吸附时的褶皱
kPa -80
-40
–70.8
kPa –28.0
kPa
ZP3P T20PTSF A5
记号 吸盘直径
20 ø20
25 ø25
35 ø35
50 ø50
纵向真空引出型带连接件
记号 安装连接 ø20 ø25 ø35 ø50 螺纹尺寸
A5 M5×0.8 ● ● - -
A12 M12×1.75 - - ● ●
AG1 G1/8 ● ● - -
AG2 G1/4 - - ● ●
AG3 G3/8 - - ● ●
B5 M5×0.8 ● ● - -
B8 M8×1.25 - - ● ●
工件沾油
工件沾有油 平稳传输不打滑
ZP3M系列 带防滑构造碗型真空吸盘(ø32 ~ ø100)
带外螺纹连接器
带内螺纹连接器
吸盘带缓冲器
带方形连接器
吸盘部
环境温度
使用温度范围
材质 FS61氟橡胶
颜色 绿色
硬度HS(±5°) A60
配件部 滤网
0°C ~ 200°C
0°C ~ 150°C
*吸附工件表面温度
共同规格
精度:250µm
采用防滑特殊肋构造
放射状的倾斜肋,确保全方向吸附
• 防止工件横向滑动 • 可实现稳定吸附搬运
碗型设计贴合性较好
弯曲工件也能贴合吸附
• 水平保持力:231N(吸盘直径ø80mm) • 材质(氟橡胶)
• 用于高温工作(200°C) • 耐磨性高
*是本公司聚氨酯的2倍以上
灵活吸附
应用例
可用于带油
膜的工件
肋间的特殊沟槽可
将油排出,即使吸
附带油膜的钢板,
也能抑制工件的横
向滑动。
碗形设计可以
处理弯曲的工件
吸盘贴合工件形状,
可稳定吸附。
型号 工件无油 工件带油
水平吸附力[N] 最小吸附半径[mm]
47
81
21
53
111 74
170 108
231 178
387 224
14
15
20
27.5
36
46
吸盘规格
ZP3M-T32RFS
ZP3M-T40RFS
ZP3M-T50RFS
ZP3M-T63RFS
ZP3M-T80RFS
ZP3M-T100RFS
滤网过滤器
精度:250µm 型号 吸盘直径
ZPMF-60-D13
ZPMF-60-D18
ø32 ~ ø50
−
ø63 ~ ø100
−
带连接器
带缓冲器
碗形
ZP3M T 63 R FS MF
ZP3M T 63 R FS JB 30 MF
A16
1 2 3 4 5
真空入口方向
T
Y
垂直
水平
1
滤网
无记号 无带滤网
MF 带滤网
5
3 缓冲行程
行程[mm]
10
30
50
适合所有
吸盘尺寸
吸盘直径
32
40
50
63
80
100
ø32
ø40
ø50
ø63
ø80
ø100
2
安装
直接
安装
外螺纹 A16
A10
ø32 ~ ø50
吸盘直径
ø63 ~ ø100
M16 x 1.5
M10 x 1.0 -
AG02 G1/4
内螺纹
B14 M14 x 1.0
BG02 G1/4
BG03 G3/8
□31.8 方形
连接器 S32
*连接器和吸盘连接一起,无法拆卸。
螺纹种类 记号 尺寸
4 连接螺纹及类型
-
型号表示方法
16
ZP3P-JT系列(ø20, ø25, ø32, ø40, ø50)-2.5段 真空吸盘(多层风琴型)
ZP3P-JT系列(ø20, ø25, ø32, ø40, ø50)-5.5段 真空吸盘(多层风琴型)
使用符合FDA
(美国食品药品监督管理局)标准、
食品卫生法标准的材料
采用蓝色
容易做异物混入检查等的
颜色判别
减少褶皱产生(平连接件)
·适用于变形小的薄工件
·吸气口采用平面密封,抑制工件吸入
·限制裙边的移动并减少对工件的损坏
真空
流路
抑制裙边变形
平连接件
吸盘直径:ø32[mm]
铝金属薄膜 (厚度:0.11[mm])
设定真空压力:-85[kPa]
吸附痕渍对比
减少
褶皱
带平连接件 带附件
降低吸着搬送时的振摆变形
多层风琴型-5.5段 减少变形、晃动
多层风琴型2.5段
加减速度:
可对应4G加速情况
对应柔软薄膜包装工件的吸着搬送
*1 -5 ~ 60°C适合应用在供真空的快换接头
*2 FDA(美国食品药品管理局)规格编号:21CFR§177适合
*3 不锈钢只应用在滤网上
使用温度范围 -30 ~ 90°C*1
吸盘部 材质 硅橡胶*2
颜色 蓝色
硬度 HS(±5°) A40
配件部 材质 合成树脂*2 不锈钢*3
颜色 白色
滤网 滤网:60 / 开口:280µm
共同规格
附连接器
连接螺纹 吸盘直径 [mm]
型式 形状 记号 尺寸 形状 记号 尺寸 ø20 ø32, ø40, ø50
直接安装
AG01 G1/8
— 无记号 —*1
*1
AG02 G1/4
AG03 G3/8
AG04 G1/2 —
BG01 G1/8 — 无记号 — —
BG02 G1/4 —
A16 M16×1 内螺纹
外螺纹
外螺纹
内螺纹
B01 Rc1/8 —快换接头
内螺纹
快换接头
08 ø8
A20 M20×1 B02 Rc1/4 — 10 ø10
*1 与连接螺纹兼用
吸盘、连接器配件、安装螺帽,同包装出货(未组装)
面板安装
4 连接螺纹 / 真空取出口
4 5 真空取出口
5
应用例
液体包装 粉末包装 充气袋 塑封袋包装
对应柔软薄膜包装工件的
吸着搬送
吸盘直径
20
25
32
40
50
ø20
ø25
ø32
ø40
ø50
2 配件
W
WM
WF
附件
带滤网
带平连接件
螺纹材质 3
无记号 铝
S 不锈钢(SUS304)
1
型号表示方法
AG01
20
20 W
吸盘单体 W
附连接器 ZP3P
ZP3P
2.5-段 硅橡胶
T
2SF
风琴形
2SF
JT
JT
1 2 3 4 5
·开口面积增大以确保有足够的吸入流量
·可对应真空泵使用
开口面积增大
附件
·滤网容易清洁
·减低真空过滤器滤芯更换
防止工作物吸入至吸盘内部
不锈钢
滤网配件
薄膜裙边
对柔软工作物有
柔软的服贴性
特殊肋
提高密封效果,降低真空泄漏
防止裙边的卷入
使用温度范围
吸盘部
导轨
配件部
材质
颜色
硬度HS(±5°)
材质
颜色
蓝色
-30~90°C
硅橡胶※
A40/S
合成树脂※
白色
※FDA(美国食品药品管理局)规格编号:21CFR§177.适合
共同规格
吸盘单体
附连接器
硅橡胶 FDA(美国食品药品管理局)
规格编号:21CFR§177.适合
风琴形 附导轨配件
5.5段
ZP3P T
ZP3P 5SF WG
5SF
JT
JT AG01
20
20
型号表示方法
附连接器
连接螺纹 真空取出口
连接螺纹 真空取出口 吸盘直径(mm)
型式 形状 记号 尺寸 形状 记号 尺寸 ø20, ø25 ø32~ø50
直接安装
外螺纹 AG01 G1/8 - 无记号
无记号
-
※ ● -
AG02 G1/4 - ●
内螺纹 BG01 G1/8 - -
※ ● -
BG02 G1/4 - ●
面板安装 外螺纹 A16 M16×1 内螺纹 B01 Rc1/8 ● -
A20 M20×1 B02 Rc1/4 - ●
※ 与连接螺纹兼用。吸盘、连接器Ass’y、安装螺帽,同包装出货(未组装)。
吸盘直径
20
25
32
40
50
ø20
ø25
ø32
ø40
ø50
17
ZP-905-CJXN0525系列 防静电真空吸盘(表面电阻值106
~ 109
Ω)
• 吸盘材质:防静电硅 (ø4, ø6, ø8, ø10, ø15, ø16, ø20 , ø25, ø30)
• 痕迹对策吸盘材质:防静电HNBR 吸盘单体形状
25 30
MU
(平型)
04
●
UM
(带沟平型)
06
●
●
16
●
MT
(尖端吸盘)
15
●
20
● ● ●
MB
(风琴型)
08
●
●
10
●
●
●
吸盘类型 吸盘直径
吸盘单体 ZP UM
吸盘直径
905 CJXN0525
记号 吸盘直径
16 ø16
20 ø20
25 ø25
30 ø30
记号 吸盘直径
04 ø4
06 ø6
08 ø8
10 ø10
15 ø15
吸盘形状
吸盘形状 吸盘形状
MU 平型
UM 带沟平型
MT 尖端吸盘
MB 风琴型
吸盘材质
记号 材质
无记号 防静电硅
HBU 防静电HNBR
是否含碳
含(黑色)
不含(蓝色)
型号表示方法
ZHP系列 真空发生器吸盘
ZHP□□□-07□ ZHP□□□-10□ ZHP□□□-12□ ZHP□□□-15□
0.7 1.0 1.2 1.5
30 51 62 77
24 40 58 87
-91
MPa
Pa
mm
L/min(ANR)
L/min(ANR)
0.35
平型
风琴型
63 ø63
80 ø80
BM
UM
A
B
C
D
M8
M10
M8
M10
N NBR
S
U
F FKM
ZHP 80 BM N B 10 S
供给(P)孔
C4 ø4
C6 ø6
C6
07 ø0.7
10 ø1.0
12 ø1.2
15 ø1.5
真空产生器/
喷嘴直径(mm)
ZP3-□HS□系列 真空吸盘(半导电性硅橡胶)(ø4, ø6, ø8, ø10, ø13, ø16)
104 106 109 1011
[Ω]
导体
表面阻抗值:106
~ 109 [Ω]
吸盘单体
T
Y
无
垂直
水平
真空接管方向
04 ø4
06 ø6
08 ø8
10 ø10
13 ø13
16 ø16
吸盘尺寸
J
JB
K
旋转
不旋转
缓冲规格
旋转带轴套式
J JB K
3 —
6 —
10 —
15 —
20 —
缓冲规格
缓冲规格
行程
[mm]
: ZP3-T/ : ZP3-Y/
吸盘尺寸 [mm]
ø4~ø8 ø10~ø16
A5 M5 x 0.8 — —
A10 M10 x 1
B5 M5 x 0.8 —
02 ø2 —
04 ø4 —
A12 M12 x 1
B5 M5 x 0.8 —
02 ø2 —
04 ø4 —
06 ø6 —
内螺纹
外螺纹
螺纹
内螺纹
B5 M5 x 0.8
— —
B5 M5 x 0.8
内螺纹
内螺纹
02 ø2
04 ø4
06 ø6 —
真空入口
记号 记号 真空入口
无
无
快换接头
快换接头
快换接头
入口方式
安装连接方式
安装连接方式
注:有关以上不同接管方式规格及尺寸与ZP3系列一样,详细与SMC公司联络。
安装连接方式/ 真空入口
ø4 to ø8 ø10 to ø16
B5 M5 x 0.8
02 ø2
04 ø4
06 ø6 —
: ZP3-T/ : ZP3-Y/
内螺纹
记号 真空入口 吸盘尺寸[mm]
快换
接头
真空入口
:
型号表示方法
ZP3 04
ZP3 T 04
ZP3 T 04
A5 B5
J 3 B5
UM
UM HS
UM HS
HS
带缓冲器
带接连器
吸盘单体
ZP-606-25CS0J20软质乙烯材质用真空吸盘
• 防止变形: 吸着薄片、乙烯材质时降低工件的皱摺,中央吸盘中央部的扁平面可防止变形。
• 贴合提升: 能可靠吸着薄片、乙烯材质、柔性的裙部使得与工件的贴合得以提升,降低泄漏,
提高真空到达度。
• 带缓冲垫: 缓冲器上安装了缓冲垫,减少金属粉尘和噪音。
-50
0
-100
(kPa)
-90.8
kPa
–28.0
kPa
–3.8
kPa
软质薄膜用吸盘 平行带肋吸盘 平行吸盘
ZP606
18
RoHS
ZP ZP3E (
: ( )
:
件
4
ZP ( )
(4 1 )
1
ZP3E 32 UM N P
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM
N
S
U
F
CL
P
/ (UM) (BM)
32 40 50 63 80 100 125 32 40 50 63 80 100 125
ZP3EA-P1 — — — — — — — — — —
ZP3EA-P2 — — — — — — — — — — — —
ZP3EA-P3 — — — — — — — — — — —
ZP3EA-P4 — — — — — — — — — — — —
ZP3EA-P5 — — — — — — — — — — — —
ZP3EA-P6 — — — — — — — — — — — — —
ø32, ø40, ø50, ø63, ø80, ø100, ø125
ZP3E系列 真空吸盘
ZP3E
型号表示方法
ø8
ZH13DS
0.45MPa
(N) 60
50
40
30
20
10
0
0 20 40 60 80 100
0.45MPa
ZP-580系列 海绵吸盘
• 适合吸附表面有凹凸、高度差、间隙的工件(穿孔基板等)。
• 一个吸盘可吸附尺寸、形状不同的工件。
• 即使吸盘吸附面有未与工件接触的部分也不会令真空度降低。
ø5×26 = 510.25mm2
ZP-580
25.5N (-50kPa时)
ø0.5mm
共同规格
19
(L)
ZP3E Y 32 UM N JB 10
JB
10
30
50
10mm
30mm
50mm
Y
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM
N
S
U
F
CL
/
/
AL16/AL14
Y
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM
N
S
U
F
CL
ZP3E Y 32 UM N AL14
ø32 ~ ø50 ø63 ~ ø125
AL14 M14 x 1.5 —
AL16 M16 x 1.5 —
B8 M8 x 1.25 —
B12 M12 x 1.75 —
/
(L)
ZP3E T 32 UM N JB 10
JB
10 10 mm
30 30 mm
50 50 mm
T
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM
N
S
U
F
CL
/ ZP3E T 32 UM N A10
T
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM N
S
U
F
CL
ø32 ~ ø50 ø63 ~ ø125
A10 M10 x 1 —
A16 M16 x 1.5 —
AL14* M14 x 1 —
AL16* M16 x 1.5 —
B8 M8 x 1.25 —
B10 M10 x 1.5 —
B12 M12 x 1.75 —
B18 M18 x 1.5 —
*AL16/AL14外螺纹安装方式中,真空通口内亦有内螺纹提供。
20
/
(L)
ZP3E T 32 UM N JB 10
JB 10 10 mm
30 30 mm
50 50 mm
T
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM
N
S
U
F
CL
/
F
( )
F
/
ZP3E Y 32 UM N AL14
Y
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM
N
S
U
F
CL
( )
F
F
ø32 ~ ø50 ø63 ~ ø125
AL14 M14 x 1 —
AL16 M16 x 1.5 —
B8 M8 x 1.25 —
B12 M12 x 1.75 —
ZP3E Y 32 UM N JB 10
JB
(L)
10 10 mm
30 30 mm
50 50 mm
Y
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM
N
S
U
F
CL
/
F
( )
F
ZP3E T 32 UM N AL6
T
32 ø32
40 ø40
50 ø50
63 ø63
80 ø80
100 ø100
125 ø125
UM
BM
N
S
U
F
CL
ø32 ~ ø50 ø63 ~ ø125
AL6 M6 x 1 —
AL12 M12 x 1.25 —
AL14 M14 x 1 —
AL16 M16 x 1.5 —
B8 M8 x 1.25 —
B12 M12 x 1.75 —
( )
F
F
外螺纹
21
ZP-654-Y2/Y3管道串联接头
ZPT/ZPX系列 真空吸盘
ZPT/ZPR系列 真空吸盘 ZPY系列 真空吸盘
ZP-642-11AC系列 海绵吸盘
×9
Rc1/4
可兼容系列:
ZP3系列ø04 ~ ø08
• 接头型号:ZP-654-Y2
ZP3系列ø10 ~ ø16
• 接头型号:ZP-654-Y3
优点:节省空间及安装时间
管道串联接头 现有管道
两边其中一个管接头可作真空分流之用
新增管道接头
分别于吸嘴左和右
管道串联接头安装例子:
维修部件型号
固定环
吸附工作板
ZP-697- 50 NH A14
吸盘直径
型号 吸盘直径(mm)
50 ø50
ø50
80 ø80
ø80
ø50 ø80
安装螺纹直径 (真空连接) 型号 螺纹直径 吸盘直径
安装方法 外螺纹 M14 x 1
M20 x 1
A14
A20
B14
Rc1/8
Rc1/4
内螺纹 M14 x 1.5
部件名称
ZP-697-50NH-G
ZP-697-50-V
ZP-697-80NH-G
ZP-697-80-V
1. 防止工件变形表面乃通孔式非纤维布质吸附物料,
可防止吸着时工件变形。
2. 减少留痕在工件表面。
薄片无痕吸盘
工件
不变形
薄形工件
传统式吸盘
工件
会变形
ZP-697系列 薄片无痕吸盘
大型 • 重负载型
最适合于显像管、汽车体等
重工件及大型工件。
吸盘直径:ø40 ~ ø125
头可摆动型
最适合于显像管、汽车体等
重工件及大型工件。
吸盘直径:ø40 ~ ø125
倒钓式接管型
大型风琴型
最适合于工件吸着面弯曲,
大工件及重工件。
吸盘直径:ø40 ~ ø125
型号表示方法
22
应用例 吸附线路板 吸附气泡包装物料 吸附薄型布料 吸附纸张
:
: 10mm
XT661系列 气旋吸盘
0.75MPa
-5~60°C( )
L/min(ANR)
(mm)
85
20 40 60 80 100
M5x0.8 Rc1/8
0.01~0.5MPa
3
145
11
170
19
200
27
240
(N) 35
共同规格
*空气洁净度:JIS B 8392-1 (ISO8573-1)品质等级4,4,2
ZNC系列 伯努利型吸盘
共同规格
型号
吸取力 [N]
耗气量 [L/min] (ANR)
型式 伯努利型
使用流体 压缩空气
使用压力范围 0.1 ~ 0.5 MPa
保证耐压力 0.75 MPa
本体
材质
本体
材质
铝合金
合成树脂
不锈钢 -5 ~ 80°C (0 ~ 50°C)
-5 ~ 40°C (0 ~ 40°C)
-5 ~ 80°C (0 ~ 50°C)
润滑脂 无润滑脂
重量[g]*2
铝合金
合成树脂
不锈钢
ZNC40
13.8
182
48
30
139
ZNC30
10.7
138
27
17
77
ZNC20
5.2
131
12
7
34
ZNC60
28.3
182
110
67
323
ZNC80
65
255
193
119
568
真空压力传感器 PSE541-M5-X2 (无润滑脂)
额定压力范围:0 ~ -101 kPa
*1 ( )带真空压力传感器。
*2 重量是不带塞头。
环境及
使用温度*1
构造
原理图
工件
安装口
压缩空气
供气口
本体
偏转器
产生真空
ZNC 40
ZNC 20
本体外径
30
20
ø30 mm
ø20 mm
40 ø40 mm
60 ø60 mm
80 ø80 mm
本体材质
压力传感器
无记号 没带
S 带压力传感器
型号:PSE541-M5-X2
附件
无记号 铝合金
P 合成树脂
S 不锈钢
无记号
带档块
基本型(没带附件)
PN 丁腈橡胶
(黑色)
PS 硅橡胶
(白色)
带防震动
保护盖
VP 合成树脂
VS 不锈钢
*挡抉日后不能外加选用。
*挡抉与防震动保护盖不能同时选用。
*防震动保护盖可日后选用外加。
* 带防震动保护盖与本体材质配对表
符号 材质 本体
外径
本体材质
铝合金 合成树脂 不锈钢
VP 合成
树脂
30
20
40 —
60
80
— — —
—
— — —
— — —
— — —
VS 不锈钢
30
20
40 —
60
80
负压 0.2 ~ 0.5mm
工作物
防振罩
负压
基本型
吸附玻璃等平整坚硬的非通气性工作物时,为
非接触状态,相距约0.2~0.5mm达到平衡。
档块
防止工作物横向滑动,吸附玻璃等平整坚硬
的工作物时,推荐附档块器以防滑。
带防振动保护盖
可以抑制吸附布或纸等软质工作物时
产生的振动声。
负压
档块
工作物
安装板
无记号 没带安装板
T 带安装板 铝合金
TS 不锈钢
图示安装方法-ZNC20
顶面供气 侧面供气
可在安装板顶面连接快换接头供气。
可安装塞头密封安装板顶面供气口,
连接快换接头在侧面供气。
带安装板
不带
安装板
侧面供气 本体供气(无配管时)
靠本体顶面O型胶圈与工件连接作
密封,连接快换接头在侧面供气。
以无配管使用时,用附属的塞头密封
侧面供气口,从顶面接管供气。
本体外径ø30 ~ ø80
型号表示方法 本体外径ø20
23
ZNC 40
ZNC C
C
20
本体外径
30 ø30 mm
40 ø40 mm
60 ø60 mm
80 ø80 mm
压力传感器
无记号 没带
S 带压力传感器
型号:PSE541-M5-X2
本体材质
无记号 铝合金
S 不锈钢
备件型号(维修用)
康达效应吸盘
ZNCM 40 C
本体外径
30
20
ø30 mm
ø20 mm
40 ø40 mm
80 ø80 mm
60 ø60 mm
安装板
无记号 没带安装板
T 带安装板 铝合金
TS 不锈钢
本体外径ø30 ~ ø80
本体外径ø20
图示安装方法-ZNC20
顶面供气
可在安装板顶面连接快换接头供气。
带安装板
不带
安装板
侧面供气
以无配管使用时,用附属的塞头密封
侧面供气口,从顶面接管供气。
附件
无记号 基本型(没带附件)
带防震动 V 保护盖 不锈钢
工件可以通过吹气分散。
无带康达效应吸盘
降低轻工件及相连的工件吹飞起的可能性 防止工件在吸附时发生横向滑动
中间吸着 馅饼
无带康达效应吸盘
馅饼 带康达效应吸盘 发生横向滑动
由于是一边吹气一边吸附,因此不必担心工件上附着的粉状物体
被吸入在设备和配管内
带康达效应吸盘(Coanda Grip)
ZNC-C系列 伯努利型吸盘/带康达效应吸盘
吹气
工作物 负压
带康达效应吸盘
防止吸附前工件被吹飞、吸附时工件发生横向滑动
由于带康达效应吸盘将吹出的空气向上引导,因此可以减少托盘等轻量工件的吹
走。在吸力侧的圆周上放置橡胶,将状态从非接触变为接触。这允许抓取具有不
规则表面的光滑工件。当使用布或纸等柔软的工件时,它可能会与夹持器接触并
产生振动噪音。在这种情况下,建议使用振动抑制盖。
*1 ( )带真空压力传感器。
*2 重量是不带塞头。
*3 最大供给压力,吸附平坦、不透气工件时的吸取力数值。
*4 (对于ZNC20, 30, 40, 60)这些值是在连接如下时的计算:
接头孔径:ø2.5,配管尺寸:ø6 x 4,长度:500mm
ZNC80的值计算时:
接头孔径:ø4.5,配管尺寸:ø6 x 4,长度:500mm
共同规格
型号
吸取力 [N]
*3*4
耗气量 [L/min] (ANR)
型式 伯努利型
使用流体 压缩空气
使用压力范围 0.1 ~ 0.5 MPa
保证耐压力 0.75 MPa
本体
材质
铝合金
不锈钢 -5 ~ 80°C (0 ~ 50°C)
润滑脂 无润滑脂
重量[g]*2 本体
材质
铝合金
不锈钢
ZNC40
3.7
182
70
154
ZNC30
2.3
138
44
88
ZNC20
1.0
131
24
44
ZNC60
8.2
182
150
350
ZNC80
15.4
255
247
607
真空压力传感器 PSE541-M5-X2 (无润滑脂)
额定压力范围:0 ~ -101 kPa
环境及
使用温度*1 使用符合FDA
(美国食品和药物
管理局)法规以及
食品卫生法标准的
材料
带康达效应吸盘
型号表示方法
24
ZP2V系列 真空止回阀
应用例
无工件 吸附工件 无工件
ZP2V A5 03
固定节流径
记号 固定节流径(mm)
03 0.3
05 0.5
07 0.7
10 1.0
连接尺寸(吸盘侧/真空产生器侧)
公螺牙吸盘侧
真空产生器侧
快速接头
公螺牙 / 快速接头
记号
吸盘侧 真空
产生器侧 适用固定节流径
公螺牙 快速
接头 0.3 0.5 0.7 1.0
A5W4 ø4 ○ ○ ○ ―
A01W6 R1/8 ø6 ― ○ ○ ○
M5x0.8
真空产生器侧
公螺牙
母螺牙吸盘侧
母螺牙 / 公螺牙
记号 吸盘侧 真空产生器侧 适用固定节流径
母螺牙 公螺牙 0.3 0.5 0.7 1.0
B5 ○ ○ ○ ―
B6 ○ ○ ○ ―
B01 Rc1/8 R1/8 ― ○ ○ ○
M5 x 0.8
M6 x 1
公螺牙吸盘侧
真空产生器侧
母螺牙
盘侧
公螺牙 / 母螺牙
记号 吸盘侧 真空产生器侧 适用固定节流径
公螺牙 母螺牙 0.3 0.5 0.7 1.0
A5 ○ ○ ○ ―
A8 ― ○ ○ ○
A01 R1/8 Rc1/8 ― ○ ○ ○
M5 x 0.8
M8 x 1.25
母螺牙 / 快速接头
母螺牙吸盘侧
真空产生器侧
快速接头
真空
产生器侧
记号
吸盘侧 适用固定节流径
母螺牙 快速
接头 0.3 0.5 0.7 1.0
B5W4 ø4 ○ ○ ○ ―
B01W6 Rc1/8 ø6 ― ○ ○ ○
M5x0.8
公螺牙吸盘侧
真空产生器侧
公螺牙
记号
吸盘侧 真空产生器侧 适用固定节流径
公螺牙 公螺牙 0.3 0.5 0.7 1.0
A5A5 ○ ○ ○ ―
A01A01 R1/8 ― ○ ○ ○
M5 x 0.8
公螺牙 / 公螺牙
母螺牙吸盘侧
真空产生器侧
母螺牙
记号
吸盘侧 真空产生器侧 适用固定节流径
母螺牙 母螺牙 0.3 0.5 0.7 1.0
B5B5 ○ ○ ○ ―
B01B01 Rc1/8 ― ○ ○ ○
M5 x 0.8
母螺牙 / 母螺牙
快速接头吸盘侧
真空产生器侧
快速接头 真空
产生器侧
记号
吸盘侧 适用固定节流径
快速
接头
快速
接头 0.3 0.5 0.7 1.0
W4 ø4 ○ ○ ○ ―
W6 ø6 ― ○ ○ ○
快速接头 / 快速接头
*工作变更时,不需切换操作系统
共同规格
M5, M6, ø4 M8, R1/8, Rc1/8, ø6
0.5 0.7
有效断面积 阀作动时(mm2
) 0.19 0.38
阀非作动时(mm2
) 1.76 2.64
使用流体
最高使用压力范围(MPa)
最高使用真空压力范围(kPa)
环境温度及使用流体温度
过滤孔径(μm)
(℃)
最低使用流量(L/min(ANR))
0.3
0.07
1.64
3 5
0.7
0.38
1.95
8
0.5
0.19
1.76
5 8
1.0
0.78
3.04
16
连接吸盘口径
连接孔径(mm)
压缩空气
0 ~ 0.7
0 ~ -100
40
5 ~ 60(未冻结)
A部扩大
真空空气
真空
空气
A部
阀闭 阀开
真空空气流动使阀
关闭
吸入流量降低,
弹簧力使阀打开
无工件 有工件
工作原理
型号表示方法
ZYY/ZYX系列 真空发生器组件
0.7mm
ZY□3□□□-7S ZY□3□□□-7L ZY□3□□□-10S ZY□3□□□-10L
11L/min(ANR)
84kPa
0.7mm
18L/min(ANR)
53kPa
1.0mm
22L/min(ANR)
84kPa
1.0mm
32L/min(ANR)
53kPa
共同规格
0.2 ~ 0.6MPa
4.68mm2
供给阀‧破坏阀规格
3位3通中封式先导式电磁阀
25
ITV系列 真空用 电 - 气比例阀
-101kPa
-1.3 ~ -80kPa
4 ~ 20mA, 0 ~ 20mA
DC0 ~ 5V, DC0 ~ 10V
ITV2090 ITV2091
DC24V±10% DC12 ~ 15V
型号
最低供给真空度 设定真空度:-13.3kPa
4设定真空(负极共通)
250或以下
电源24VDC时约4.7k;电源12VDC时约2k
NPN集电极开路输出:最大30V, 80mA PNP集电极开路输出:最大80mA
DC1 ~ 5V (负载阻抗:1kΩ以上) 4 ~ 20mA (汇式) (负载阻抗:250Ω或以下) 输出精度±6%以内(满量程)
约6.5k
使用电压DC24V:0.12A或以下 使用电压DC12 ~ 25V:0.18A或以下
最高供给真空度
设定真空度范围
电源
电压
消耗电流
电流型注1
电流型
电压型
电压型
预设输入
预设输入
模拟输出
开关输出
输入信号
输入阻抗
输出信号注2
(电信号监控输出)
注1) 2线式4 ~ 20mA没有,供应电压为DC24V或DC12 ~ 15V。注2) 可选择模拟输出或开关输出,若选择开关输出,请选择NPN输出或PNP输出。
共同规格
IRV10·20系列 真空调压阀
共同规格
压缩空气
-100 ~ -1.3kPa
100kPa(压力表除外)
0.6L/min(ANR)以下
0.13kPa以下
5 ~ 60°C
使用流体
设定压力范围
耐压力
吸入大气消耗量
手轮分辨率
环境温度及使用流体温度
VAC.侧管外径
SET.侧管外径
型号 IRV10
ø6, ø8
IRV20
ø6, ø8, ø10
型号 : P601010-18
组件内容
序号
1
2
压力表螺母
O形圈
名称
压力表螺母组件(需一定另购)
安装压力表 压力开关以及引出压力时使用。
Rc1/8
真空用压力表(选配)
零部件型号
适合系列
压力表示范围
单位表示
刻度角度
GZ33-K-01
IRV10
180°
-100~0kPa
kPa
GZ43-K-01
IRV20
270°
PSE200A系列 多通道压力传感器控制器
共同规格
适用压力传感器
型号 PSE200A系列
DC12 ~ 24V±10%,且电源涟波10%以下
DC18 ~ 30V,含电源涟波10%
55mA以下
PSE550
0 ~ 2kPa 0 ~ 101kPa -100 ~ 100kPa 0 ~ 100kPa 0 ~ 500kPa
-0.2 ~ 2.1kPa 10 ~ -105kPa -105 ~ 105kPa -10 ~ 105kPa -50 ~ 525kPa -0.105 ~ 1.05MPa -0.105 ~ 2.1MPa -0.25 ~ 5.25MPa -0.5 ~ 10.5MPa
0 ~ 1MPa 0 ~ 2MPa 0 ~ 5MPa 0 ~ 10MPa
0.001kPa 0.1kPa 0.1kPa 0.1kPa 1kPa 0.001MPa 0.001MPa 0.01MPa 0.01MPa
PSE531
PSE541
PSE561
PSE564
PSE574
PSE533
PSE543
PSE563
PSE573
PSE530
PSE540
PSE560
PSE570
PSE532 PSE575 PSE576 PSE577
最大50mA(传感器4输入时的总电源电流,最大200mA)
逆连接保护
(电源电压)1.5V
显示/设定压力范围
显示/设定最小单位
做为开关输出
机器使用时
消耗电流
传感器供给电源电压
传感器供给电源电流
保护
做为IO-Link元件使用时
额定压力范围电源电压电气规格
PSE20 0 A -
NPN5
PNP5
IO-Link NPN4
NPN5 SIO
IO-Link PNP4
PNP5 SIO
0
1
2
3
A B
面板安装连接器 前面保护盖+面板安装连接器
无记号 无 无记号 无
注)选配没有安装,同包装出货。
面板
面板安装连接器
(附属品)
防水密封圈
前面保护盖
安装螺丝
(M3 X 8L)
(附属品)
面板
面板安装连接器
安装螺丝
(M3 X 8L)
(附属品)
防水密封圈 (附属品)
可选配1
可选配3
电源 • 输出连接电缆线 (2m)
无记号 电源 • 输出连接电缆线
ZS-26-L
注)电缆线没有连接,同包装出货。
可选配2
传感器连
接用插座 (4个)
注)插座没有连接,同包装出货。
插座
ZS-26-B
ZS-26-C
ZS-26-D
ZS-26-01
ZS-28-C(1 1 )
面板安装连接器
□48变换连接器
前面保护盖
传感器连接用插座
前面保护盖+面板安装连接器
型号表示方法
型号表示方法
弯管型 直通型
IRV 20 A C08
A
单侧配管规格
主体大小
L
无记号 直通型
弯管型
管接头
记号
公制
管子外径 IRV10A
C06
C08
C10
ø6
ø8
ø10
IRV20A
连接管子外径
单侧配管规格
10
20
最大流量140 /min (ANR)
最大流量240 /min (ANR)
单侧配管规格
直通型 弯管型
L
无记号
记号
公制
管子外径
直通型
弯管型
IRV10
C06
C08
C10
ø6
ø8
ø10
IRV20
IRV 20 C08
主体大小
管接头
连接管子外径
标准配管规格
10
20
最大流量140 /min (ANR)
最大流量240 /min (ANR)
26
PSE300AC系列 3色3显示压力传感器控制器
PSE57
PSE300AC
ZS-31-B(直线型 5m)
(ZS-37-A / ZS-37-B)
+PCA-1557743
ZS-37-A (M12插座附导线 直线型 3m)
ZS-37-B
(M12插座附导线 L型 3m)
PCA-1557743
+
ZS-31-C(L型 5m)
PLC
RoHS
可选项型号
名称 型号 备考
电源输出
连接电缆
组立式插座
ZS-31-B
ZS-31-C
PCA-1557743
直线型(5m)1个
L型(5m)1个
1个
PSE3 0 0AC AB 选配(电源·
输出连接导线)
无记号
输出规格 L
输出规格
AB 2输出型(NPN 或 PNP切换式)
直线型导线
L型导线
型号 PSE300AC系列
适用压力传感器
额定压力范围
显示/设定压力范围
显示/设定最小单位
PSE550
0~2kPa
-0.2~2.1kPa
0.001kPa
PSE531/PSE541
PSE561
0 ~ -101kPa
10 ~ -105kPa
0.1kPa
PSE533/PSE543
PSE563/PSE573
-100~100kPa
-105~105kPa
0.1kPa
PSE532
0~100kPa
-10~105kPa
0.1kPa
PSE564
PSE574
0~500kPa
-50~525kPa
1kPa
PSE530/PSE540
PSE560/PSE570
0~1MPa
-0.105~1.05MPa
0.001MPa
PSE575
0~2MPa
-0.105~2.1MPa
0.001MPa
PSE576
0~5MPa
-0.1~5.25MPa
0.01MPa
PSE577
0~10MPa
-0.1~10.5MPa
0.01MPa
电气规格
电源电压 DC12~24V(±10%)、 且电源涟波10%以下
消耗电流 25mA以下
保护 逆连接保护
精度
显示精度 ±0.5%F.S.±显示最小单位(周围温度25℃一定温度)
往复精度 ±0.1%F.S.±最小单位(周围温度25℃一定温度)
温度特性 ±0.5%F.S.(周围温度~50℃, 25℃基准)
传感器
输出
输出型式 可选择NPN开集极回路输出、PNP开集极回路输出
输出模式 可选择设定点模式、设定区间模式、错误输出、开关输出OFF
开关动作 可选择正转输出、反转输出
最大负荷电流 20mA
最大输入电压(只限NPN) DC30V
内部下降电压(残留电压) 1V以下(负荷电流20mA时)
响应时间※1 1ms以下(带防止振荡功能时:20, 100, 500, 1000, 2000, 5000ms可选择)
应差 从0可变※2
保护 过电流保护
传感器
输入
输入型式 电压输入:DC1~5V(输入电阻:1MΩ)、 电流输入:DC4~20mA(输入电阻:51Ω)
输入数 1输入
连接方法 M12-4pin插座
保护 过电压保护(电压DC26.4V为止对应)
显示
单位 MPa, kPa, Pa, kgf/cm2
, bar, mbar, psi, inHg, mmHg, mmH2O
显示方法 LCD
画面数 3画面(主画面、 副画面×2)
显示色 1)主画面:红/绿 2)副画面:橙
显示码数 1)主画面:4码(7段) 2)副画面:4码(上位1码11段、 其他7段)
动作显示灯 开关输出ON时亮灯 OUT1/OUT2:橙
数位滤波器※3 0, 10, 50, 100, 500, 1000, 5000ms
耐环境
保护等级 IP65
耐电压 AC1000V 1分钟 充电部与壳体间
绝缘电阻 50MΩ以上(DC500V高阻计量测)充电部与壳体间
使用温度范围 动作时:0~50℃、 保存时:-10~60℃(未冻结)
使用湿度范围 动作时及保存时:35~85%RH(未冻结)
规格 CE, RoHS
质量 55.4g(电源·输出连接导线)
*1:数位滤波器无(0ms)时的值。 *2:输入压在设定值附近变动时, 变动幅以上的应差不设定时会发生颤动 *3:对于步骤输入90%反应时间。
共同规格
0 电压输入
1 电流输入
型号表示方法
27
有效面积/重量
B孔
真空吸盘接口
有效面积 : mm2
C6
C8
4.4
4.5
EA B注1)
6.8
7.0
94
88
B EB 重量 (g)
注1) 当内置节流阀完全打开时。
• 适用于真空吸附拾放动作
• 真空释放阀内置节流阀
• 可安装在SS5Y5-20集装板上,该产品不能与
SY5000/500系列标准产品一起安装在同一汇流板上。
符号
[选项]
订制品规格 P
(X)
SOL.a SOL.b
EB
(Vac.) EA
(P)
B真空吸盘接口
供气破坏口 真空压力口
系列
SY5000
盖板组件型号
SY5000-26-20A
集装位数
SS5Y 5 - 20 - 05
2位
20位
02
20
集装板
SY5A2R系列 带节流阀真空吸附及破坏电磁阀
阀类型
驱动类型
流体
使用压力范围
先导阀排气方式
环境温度和流体温度
外部先导式,双2通电磁阀
常闭 (N.C.)
压缩空气
0.15 ~ 0.7 MPa
0 ~ 0.7 MPa
-100 kPa ~ 0 MPa
先导阀单独排气
-10 ~ 50℃ (未冻结)
外部先导压力口(P)注1)
供气破坏口(EA)
真空压力口(EB)
共同规格
注1) 使用时需同时供气于外部先导压力口, 压力需高于0.15MPa以上。
带指示灯及 Z 过电压保护回路
SY5A2R 5 L Z C6
接线方式
L形插座式
带导线
(长300mm)
L :
电磁阀 - -
真空吸盘接口
记号 B口
C6 带6mm快换接头
C8 带8mm快换接头
额定电压
5 24 VDC
6 12 VDC
型号表示方法
SJ3A6系列 带节流阀真空破环阀
・ 内置2个阀柱。
・ 使用1个阀即可控制真空吸附和破坏。
・ 宽10mm(与SJ3000系列尺寸相同)。
・ 带能够调节破坏空气流量的节流阀。
・ 真空侧、破坏侧内置可更换的过滤器。
・ 可与4通电磁阀SJ2000/3000混合安装(订制规格)。
VQD1000-V系列 真空/破坏电磁阀
0~-100kPa
0~0.7MPa
4±1msec
1W
DC24V, DC12V
150/30 m/s2
2±1msec
VQD1151W(切换用)
10-VQ110(真空破坏阀)
阀构造 直动式
非锁定按入式
自由
额定电压的±10%
3.2W省电型(起动3.2W、保持2.4W)
L型/M型插座式(带指示灯及过压抑制器)
防尘
B级
空气、惰性气体、抗低臭氧产品
吸着(负压)
吸着(闭)
破坏(正压)
破坏(开)
使用流体
使用压力范围
反应时间
吸入流量
手动操作
安装方式
保护构造
额定电压
绝缘类别
耗电量
接电方式
容许电压变动范围
耐冲击/振动能力
阀体规格规格
16 /min(ANR)
共同规格
阀类型
N.C.常闭型
N.O.常开型
C
无记号
电压
位数
破坏真空之贮气缸容量
无记号:
L型插座式
M:
M型插座式
型号表示方法
使用一个电磁阀可控制
真空的吸附及破坏!
● 破坏真空时调整
节流阀控制流量
● 可防止流量过大
时吹走工件
(手动型)
节流阀
VQD1151W
10-VQ110
( )
:A
(
)
负压:P
(真空)
(切换用)
正压:P
(破坏真空)
28
V100系列 3通直动式电磁阀/弹性密封
共同规格
压缩空气
0 ~ 0.7MPa
M5 x 0.8
-10 ~ 50°C (未冻结)
ON : 5ms以下 OFF : 4ms以下
20Hz
不需要
无限制
150/30 m/s2
防尘
非锁定按钮式,
旋具压下回转锁定式
使用流体
使用压力范围
通口尺寸
环境和流体温度
响应时间
最高动作频率
给油
安装位置
耐冲击/耐振动
保护构造
手动操作
功率消耗:0.1W (带节电回路)
线圈温升:1°C (带节电回路)
L, M 形插座式
重量(g) (带底板)
b Cv 直接出线式
标准型
大流量型
加大流量型
标准型
大流量型
注)对V124, V124A, 从通口3加压,从通口1泄压。
V1□4:27
V1□4A:30
V1□4:26
V1□4A:29
V114UT:29
2 3
V114
V114A
V114UT
V124
V124A
阀型号 机能 真空规格[MPa]
进口1 进口3 形式 使用
压力范围
N.C.
N.C.
N.C.
N.O.
N.O.
0.037
0.076
0.16
0.054
0.099
0 ~ 0.7
0 ~ 0.7
0 ~ 0.6
0 ~ 0.7
0 ~ 0.7
-100kPa ~ 0.6
-100kPa ~ 0.6
-100kPa ~ 0.5
-100kPa ~ 0
-100kPa ~ 0
-100kPa ~ 0
-100kPa ~ 0
-100kPa ~ 0
-100kPa ~ 0.6
-100kPa ~ 0.6
0.054
0.099
0.15
0.037
0.076
0.35
0.23
0.34
0.11
0.07
0.015
0.024
0.041
0.008
0.016
0.008
0.016
0.038
0.015
0.024
0.11
0.07
0.18
0.35
0.23
C [dm b Cv 3 C [dm /(s • bar)] 3
/(s • bar)]
1 2
V114(A, UT) V124(A)
1
2
1 3
2
3
符号
*1 仅对应DC规格
*1 *1
带灯:1.1W 带节电回路:
0.35W
带节电回路:0.1W
标准(带灯):0.4W
±10%
100, 110, 200, 220
24, 12, 6, 5, 3 24
LED
允许电压波动
消耗功率
DC
AC
DC
AC
线圈额定
电压(V)
V114A / V124A
电磁阀规格
110V带灯:0.89VA
220V带灯:1.34VA
可选
系列 V114 / V124 V114UT
直接出线式(G/H), L形插座式(L)
M形插座式(M)
L形插座式(L)
M形插座式(M) 导线引出方式
指示灯
过电压保护回路
型号表示方法
大
流
量
型
常闭N.C
常开N.O
1
2
驱动类型
110V
220V
3
4
24V
12V
6V
5V
3V
5
6
V
S
R
额定电压
标准型/底板配管
大流量型/底板配管
*带节电回路都有指示灯及
过电压保护回路。
T
线圈规格
0.1W (带节电回路)
(仅 DC24V, 12V)
5
6
V
S
R
24V
12V
6V
5V
3V
额定电压(DC用)
无
导线长300mm
导线长600mm
导线长300mm
导线长300mm
直接出线式
M形插座式
L形插座式
导线引出方式
G
H
L
M
记号
V 1 1 4
V 1 1 4
5 M
5 M
0.35W
DC用 AC用 (50Hz)
* 只有 \"Z\" 可带节电回路。
无 DC, AC用
DC用
DC, AC用
DC用
指示灯和过电压保护回路
S
Z
R
U
无指示灯和过电压保护回路
带过电压保护回路
带指示灯和过电压保护回路
带过电压保护回路(无极性式)
带指示灯和过电压保护回路(无极性式)
无指示灯和过电压保护回路
带过电压保护回路
带指示灯和过电压保护回路
R
U
无
DC用
指示灯和过电压保护回路
手动操作
旋具
压下回转
销定式
非锁定
按钮式 无记号 B
带底板
无底板
M5
配管口径
无记号
A
GZ46
GZ46 ø42.5 R1/8,1/4
: -100~200kPa
ZSE10(F)/ISE10 ZSE30A(F)/ISE30A ZSE40A(F)/ISE40A ZSE/ISE80 PS1100
PSE53 PSE54
SMC
PSE55 PSE56 PSE57
VQD系列 3通直动式新款高速电磁阀
1
3
1通口
Rc 1/8
3通口
Rc 1/8
2通口
M5 x 0.8
2
2
底板配管
VV3QD15 05 M5 X15
位数
02 2位 …
…
20 20位 适用电磁阀
VQD115W-5□-X1
RoHS
符号
3通直动式
压缩空气、惰性气体
无限制
防尘
不需要
非锁定按钮式
-100kPa ~ 0.7MPa
-100kPa ~ 0.5MPa
-10 ~ 50o
C
0.1
38g
24V
额定电压的±10%
相当B种
启动 : 3.2W/保持 : 1.0W
L形插座式、M形插座式
150/30m/s2
ON: 4±1ms, OFF: 2±1ms
线圈额定电压 DC
DC
阀结构
使用流体
使用压力范围
C(dm3
/s • bar)
b
Cv
1(P)通
2(A) • 3(R)通
响应时间
流量特性
环境温度及使用流体温度
耐冲击 / 耐振动
手动操作
给油
安装位置
保护构造
重量(带单独底板)
阀
规
格
电
气
规
格
允许电额波动
线圈绝缘的种类
消耗功率
导线引出方式
共同规格
0.3
0.25
1 2(P A)
0.3
0.25
2 3(A R)
VQD115W 5 L X1
导线引出方式
导线长
300mm M形插座式
L L形插座式
M
记号
VQD115W 5 L M5 X1
导线长
300mm M形插座式
L L形插座式
M
记号
导线引出方式
型号表示方法
标准型/底板配管
不带底板型号
29
重量
10g
34.4mm
10mm
18mm
• 可配套PFGV301显示器
使用,可根据流量值设定•
显示
重复精度 : ±2% F.S.
耐压 : 500kPa
响应速度 : 5ms以下
无润滑脂
(喷嘴孔径ø0.3真空压力-60kPa时的比较)
压力差 小
-60
-58
0
吸附中
吸附前 吸附後
真空破坏
kPa
小
压力差
流量差 大 稳定的检测,减少检测错误。�
0.76
0
吸附前 吸附後
吸附中
真空破坏
L/min
大
流量差
因压力变动等的影响造成检测不稳定
压力传感器
流量传感器
微小工件的吸附确认
采用流量传感器可进行更准确的吸附确认。
真空场合
ZFC PFMV
真空过滤器 流量传感器
真空源
压缩空气场合 F
U
AF AR
IR
AFD
AMD
AFM
AM
IDF
IDU
干燥机 过滤器 调压阀 油雾分离器 微雾分离器 流量传感器
PFMV
PFMV5系列 微型流量传感器
共同规格
适用流体
额定流量范围
(L/min)
精度
重复精度
压力特性
(0kPa基准)
注3)
温度特性
(25˚C基准)
额定压力范围注4)
使用压力范围注5)
保证耐压力
模拟输出
反应时间
电源电压
消耗电流
规格
型号
重量
保护构造
使用流体温度
使用温度范围
保存温度范围
使用湿度范围
保存湿度范围
耐电压
绝缘阻抗
接管口径
接触流体部件材料
引线
PFMV505-X502 PFMV505-1 PFMV510-1 PFMV530-1 PFMV505F-1 PFMV510F-1
0 ~ 0.1 0 ~ 0.5 0 ~ 1 0 ~ 3 -0.5 ~ 0.5注1) -1 ~ 1注1)
PFMV530F-1
-3 ~ 3注1)
干燥压缩空气、氮气(N2)
±5%满刻度以下注2)
±2%满刻度以下注2)
±2% 满刻度以下 (15 ~ 35˚C)
±5% 满刻度以下 (0 ~ 50˚C)
-70 kPa ~ 300 kPa
-100 kPa ~ 400 kPa
500 kPa
DC12 ~ 24 V ±10% 波动 (带电源逆接保护)
16 mA以下
IP40
0 ~ 50˚C (未结露)
0 ~ 50˚C (未结露)
50 MΩ 或以上 (500 VDC 高阻表) 引线座与壳体间
M5 x 0.8
PPS, Si, Au, SUS316, C3604
CE/UKCA 标志, UL(CSA)
10g (不含电线)
电压输出 : 1 ~ 5 V,输出阻抗 : 约 1 kΩ
5ms以下 (90%反应)
±2% 满刻度以下 (0 ~ 300 kPa)
±5% 满刻度以下 (-70 ~ 0 kPa)
-10 ~ 60˚C (未结露)
35 ~ 85% R.H. (未结露)
35 ~ 85% R.H. (未结露)
引线座与壳体间1000VAC在1分钟内
3芯, ø2.6, 0.15mm², 2米长
注1) 当流量为0的时候, 模拟输出信号为3V, 而流向由IN OUT时输出信号变化为5V, 由OUT IN时输出信号变化为1V
注2) 表中的%F.S.是以模拟信号的4V(1-5V)代表全量程。 注3) 所谓0kPa是指表示大气开放。
注4) 表示满足产品规格的压力范围。 注5) 表示可使用的压力范围。耐环境
ZSE80F
型号
额定压力范围
设定压力范围
最低设定单位
模拟输出电压
显示精度
ZSE80F-※-※-※※※-X555
-100 ~ 300kPa
-110 ~ 330kPa
1kPa
1~5V±3% F.S. 线性度:1.5% F.S.
±3% F.S. ±1位(环境温度25±3°C)
共同规格
-100 kPa to 300kPa
(100kPa )
(200kPa )
型号表示方法
PFMV5 05 1
PFMV5 05 1 X502
1
输出规格
模拟输出(1 ~ 5 V)
测定流量范围
05
10
30
05F
10F
30F
0.0 ~ 0.5 L/min
0.0 ~ 1.0 L/min
0.0 ~ 3.0 L/min
-0.5 ~ 0.5 L/min
-1.0 ~ 1.0 L/min
-3.0 ~ 3.0 L/min
测定流量范围
0.0 ~ 0.1 L/min
建议空气回路举例
30
ZSE20(F)/ISE20系列 3色3显示高精度数字式压力传感器
®
RoHS IP40
• 数字式显示,实时压力及设定值可同时显示在同一介面。
• 简易设定
• 反应时间快,由旧有产品2.5ms提升到1.5ms。
• 耗电量少,电流为25mA或以下。
ZSE20 ( ) ZSE20F ( )
-100.0 ~ 100.0 kPa
0.1 kPa
500 kPa
0.001 MPa
1.5 MPa
-105.0 ~ 105.0 kPa
0.0 ~ -101.0 kPa
10.0 ~ -105.0 kPa
-0.100 ~ 1.000 MPa
-0.105 ~ 1.050 MPa
DC12~24V±10% (p-p)10%
25 mA
1V 80mA
1.5 ms 20,100,500,1000,2000 5000 ms
NPN PNP 1
80 mA
28 V
ISE20 ( )
IP40
CE UL/CSA RoHS
型式
电子
配置
使用流体
额定压力范围
设定压力范围
最低设定单位
保证耐压力
供应电压
消耗电流
输出类型
最高负载电流
最高供应电压
残留电压
反应时间
短路保护
密封标准
标准传感器输出压力配置
ISE20 - N - M5 -LISE20 -0.100 ~
1.000 MPa
0.0 ~
-101.0 kPa
-100.0 ~
100.0 kPa
ZSE20
ZSE20F A
B
A1
ZS-46-A1
ZS-46-A2
A2
ZS-46-B
ZS-46-D
B
D
可选项1
M5 M5
01 R1/8
接管规格
NPN 1
PNP 1
N
P
输出规格
额定压力范围
共同规格
型号表示方法
ZSE20AF-X576~X580系列
高精度数字式压力传感器(低压应用)
可测量及
显示压力范围
在10kPa或以下
共同规格
型号
压缩空气,非腐蚀性气体,不燃烧性气体
DC12~24V±10%,脉动(p-p)10%以下
35mA或以下
±2%满刻度以下±1数位(在环境温度25±3˚C)
±3%满刻度(在25°C操作温度)
1V或以下(在80mA负载电流时)
4ms以下,0 ~ 60s/0.01s步骤可变
从0可变
NPN或PNP集电极开路输出
有短路保护功能
3显示(主显示,副显示×2)
有输出时灯亮 输出1, 2橙色
1) 主显示:红/绿
2) 副显示:橙
主显示:4位,7段显示
副显示:4位,前一位11段,其馀7段显示
重载防油电线,5条ø3.5, 2m
导电截面积:0.15mm² (AWG26)、绝缘体外径:1.0mm
80mA
28V
LCD
MPa, kPa, kgf/cm², bar, psi, InHg, mmHg
±1%满刻度以下
使用流体
额定压力范围
设定压力范围
保证耐压力
设定压力分解度
电子
配置
供应电压
消耗电流
显示精度
重覆精度
温度特性
输出类型
最高负载电流
最高供应电压
残留电压
延迟时间
设定点模式
设定区间模式 应差
短路保护
显示单位
显示类型
显示数目
显示颜色
显示数位
指示灯
密封标准 IP40
使用温度范围 使用:-5°C ~ 50°C、保存:-10°C ~ 60°C(未冻结)
使用湿度范围 操作及保存:35 ~ 85% RH(未冻结)
耐电压 引线与壳体间AC 1000V在1分钟内
绝缘阻抗 50MΩ或以上(DC500V兆欧表)引线与壳体间
标准 符合CE/UKCA、UL/CSA、RoHS标准
引线压力配置准确度开关输出显示耐环境
-X576 -X577 -X578 -X579 -X580
-500 ~ 500Pa -1.000 ~ 1.000kPa -2.00 ~ 2.00kPa -5.00 ~ 5.00kPa -10.00 ~ 10.00kPa
-525 ~ 525Pa -1.050 ~ 1.050kPa -2.10 ~ 2.10kPa -5.25 ~ 5.25kPa -10.50 ~ 10.50kPa
2.5kPa 5kPa 10kPa 25kPa 50kPa
1Pa 0.001kPa 0.01kPa 0.01kPa 0.01kPa
最大负荷阻抗 电源电压12V时:300Ω电源电压24V时:600Ω最小负荷阻抗 50Ω
输出形式
输出形式
反应时间
输出阻抗
负荷阻抗
电压输出:1-5V
电压输出:4-20mA
约1kΩ
20ms以上
模拟输出
电压
输出
电流
输出
ZSE20AF A J
输出
A NPN集电极开路2个输出
B PNP集电极开路2个输出
C NPN集电极开路
1个输出+模拟电压
D NPN集电极开路
1个输出+模拟电流
M5 X576
可选项
X576 -500 ~ 500Pa
X577 -1.000 ~ 1.000kPa
X578 -2.00 ~ 2.00kPa
X579 -5.00 ~ 5.00kPa
X580 -10.00 ~ 10.00kPa
型号 额定压力范围
接管规格
M5 M5内螺纹
记号
无记号
规格描述
没有托架
托架A
(直装)
托架B
(横装)
面板安装
连接件
面板安装
连接件
+
前面防护罩
A1
ZS-46-A1
ZS-46-A2
ZS-46-B
ZS-46-D
A2
B
D
型号
M5转R1/8插头 ZS-46-N1
可选项1
®
RoHS
型号表示方法
31
ZSE20B(F)-L/ISE20B-L系列
3色3显示高精度数字式压力传感器 IO-Link对应(1输出)
RoHS IP65
装置元件
型号
-100.0 ~ 100.0 kPa
0.1 kPa
500 kPa
-105.0 ~ 105.0 kPa
0.0 ~ -100.0 kPa
10.0 ~ -105.0 kPa
0.000 ~ 1.000 MPa
-0.105 ~ 1.050 MPa
±2%满刻度以下 ±1数位(在环境温度 25±3˚C)
±2%满刻度以下(在 25˚C操作温度)
3显示(主显示,副显示 x2)
有输出时灯亮 输出1输出2橙色
1) 主显示:红/绿
2) 副显示:橙
主显示:4位,7段显示
副显示:4位,前一位11段,其馀7段显示
电线,5芯 ø3.5, 2m
导电截面积:0.15mm2 (AWG26)、绝缘体外径:1.0mm
LCD
MPa, kPa, kgf/cm², bar, psi, InHg, mmHg MPa, kPa, kgf/cm², bar, psi
±0.2%满刻度以下 ±1数位
使用流体 压缩空气、非腐蚀性气体、不燃烧性气体
额定压力范围
设定压力范围
最低设定单位
保证耐压力
显示精度
重覆精度
温度特性
显示单位
显示类型
显示数目
显示颜色
显示数位
指示灯
密封标准 IP65
使用温度范围 使用:-5˚C~50˚C、保存:-10˚C~60˚C(未冻结)
使用湿度范围 操作及保存:35~85% RH(未冻结)
耐电压 引线与壳体间AC 1000V在1分钟内
绝缘阻抗 50MΩ或以上(DC500V兆欧表)引线与壳体间
标准 符合CE、RoHS标准
引线
ISE20B-L(正压)
1.5MPa
ZSE20B-L(真空压 ) ZSE20BF-L (混合压)
电源规格
压力配置
准确度
显示
耐环境
电源电压
做为开关输出
机器使用时 DC12~24V±10%、且电源涟波10%以下
做为IO-Link
装置使用时 DC18~30V 含涟波(p-p) 10%
消耗电流 35mA以下
保护 逆接保护
开关输出
(SIO模式 时)
输出形式 NPN开集极回路输出、PNP开集极回路输出可选择
输出模式 设定点、 设定区间、 错误输出、 输出OFF
开关动作 正转输出、 反转输出
最大负荷电流 80mA
最大施加电压 30V(NPN输出时)
内部降下电压(残留电压) 1.5V以下(负荷电流80mA时)
延迟时间 1.5ms以下、 0~60s/0.01s步骤可变
应差 设定点模式 从0可变注2)
设定区间模式
短络保护 装备
通讯规格
(IO-Link
模式时)
IO-Link 型
IO-Link 版本 V1.1
通讯速度 COM2(38.4kbps)
设定档案 IODD档案
最小周期时间 2.3ms
流程数据长 Input Data:2byte, Output Data:0byte
应要求数据通讯 对应
数据储存功能 对应
事件功能 对应
供应商ID
共同规格
0.001MPa
注1)
131(0×0083)
ZSE20B L W
额定压力范围
ZSE20B 0 ~ -100kPa
ZSE20BF -100 ~ 100kPa
ISE20B 0 ~ 1MPa
M5
输出规格 接管规格 记号 内容
L
IO-Link / 开关输出1
(开关输出为:
NPN or PNP切换式)
M5
01
内螺纹
配管连接器
配管孔
记号 内容
ZS-46-N1
可选项
记号
无记号
规格描述
没有托架
托架A
(直装)
托架B
(横装)
面板安装
连接件
面板安装
连接件
+
前面防护罩
A1
ZS-46-A1
ZS-46-A2
ZS-46-B
ZS-46-D
A2
B
D
型号
M5转R1/8插头 ZS-46-N1
• 数字式显示,实时压力及设定值
可同时显示在同一介面。
• 简易设定。
• 反应时间快,由旧有产品2.5ms
提升到1.5ms。
• 耗电量少,电流为35mA*或以下。
*省电模式时约40%下降
型号表示方法
ZSE20A(F)/ISE20A系列
3色3显示高精度数字式压力传感器 2输出+模拟输出(电压/电流) ®
RoHS IP40
-100.0 ~ 100.0 kPa
500 kPa 1.5 MPa
0.1 kPa 0.001 MPa
-105.0 ~ 105.0 kPa
0.0 ~ -101.0 kPa
10.0 ~ -105.0 kPa
-0.100 ~ 1.000 MPa
-0.105 ~ 1.050 MPa
DC12~24V±10% (p-p)10%
35 mA
1V 80mA
1.5 ms 20,100,500,1000,2000 5000 ms
NPN PNP 2
80 mA
28 V
ZSE20A ( ) ZSE20AF ( ) ISE20A ( )
IP40
CE UL/CSA RoHS
:300Ω
:600Ω
:1-5V
:4-20mA :2.4-20mA :3.2-20mA
:0.6-5V :0.8-5V
50Ω
• 数字式显示,实时压力及设定值可同时显示在同一介面。
• 简易设定
• 反应时间快,由旧有产品2.5ms提升到1.5ms。
• 耗电量少,电流为25mA*或以下。
*省电模式时约60%下降
ZSE20A R M5 J
R
S
T
V
NPN集电极开路(2输出)+模拟电压输出
记号 内容
PNP集电极开路(2输出)+模拟电压输出
PNP集电极开路(2输出)+模拟电流输出
NPN集电极开路(2输出)+模拟电流输出
额定压力范围 输出规格
ISE20A
ZSE20A
ZSE20AF
-0.1 ~ 1MPa
-100 ~ 100kPa
0 ~ -101kPa
M5 01
ZS-46-N1
接管规格
共同规格压力配置
电子
配置
电压
输出
电流
输出
传感器输出模拟输出
型号表示方法
32
ZSE20C(F)-L/ISE20C(H)-L系列
新款3色3显示高精度数字式压力传感器
ZSE20C(F)/ISE20C(H)系列
3色3显示高精度数字式压力传感器 2输出+模拟输出(电压/电流)
®
RoHS IP65
• 数字式显示,实时压力及设定值可同时显示在同一介面。
• 简易设定。
• 反应时间快,由旧有产品2.5ms提升到1.5ms。
• 耗电量少,电流为35mA*或以下。
*省电模式时约40%下降
共同规格
型号 ZSE20C(真空用) ZSE20CF(混合用)
-100.0 ~ 100.0kPa
0.1 kPa
500 kPa
0.001 MPa
2 MPa 4 MPa
-105.0 ~ 105.0kPa
0.0 ~ -101.0kPa
10.0 ~ -105.0kPa
-0.100 ~ 1.000MPa
-0.105 ~ 1.050MPa
-0.100 ~ 2.000MPa
-0.105 ~ 2.100MPa
SUS630、SUS304空气,非腐蚀性,不燃烧性流体
DC12~24V±10%,脉动(p-p)10%以下
35 mA以下
±2%满刻度以下 ±1数位(在环境温度25±3˚C)
±3%满刻度以下(在25˚C操作温度)
1V 或以下(在80mA负载电流时)
1.5ms 或以下(带防震荡功能:20, 100, 500, 1000, 2000或5000ms)
NPN或PNP集电极开路2个输出
有短路保护功能
最大负荷阻抗 电源电压12V时:300Ω电源电压24V时:600Ω最小负荷阻抗 50Ω
3显示(主显示,副显示x2)
有输出时灯亮 输出1输出2橙色
1) 主显示:红/绿
2) 副显示:橙
主显示:4位,7段显示
副显示:4位,前一位11段,其馀7段显示
电线,5芯 ø3.5, 2m
导电截面积:0.15mm²(AWG26)、绝缘体外径:1.0mm
80mA
28V
LCD
MPa, kPa, kgf/cm², bar, psi,
InHg, mmHg MPa, kPa, kgf/cm², bar, psi
±0.2%满刻度以下 ±1数位
ISE20C(正压用) ISE20CH(正压用)
使用流体
额定压力范围
设定压力范围
最低设定单位
保证耐压力
输出形式
输出形式
输出模式
输出时间
输出形式
输出阻抗
电子
配置
供应电压
消耗电流
显示精度
重覆精度
温度特性
输出类型
最高负载电流
最高供应电压
残留电压
反应时间
短路保护
显示单位
显示类型
显示数目
显示颜色
显示数位
指示灯
密封标准 IP65
使用温度范围 使用:-5˚C~50˚C、保存:-10˚C~60˚C(未冻结)
使用湿度范围 操作及保存:35~85% RH(未冻结)
耐电压 引线与壳体间AC 250V在1分钟内
绝缘阻抗 2MΩ或以上(DC50V兆欧表)引线与壳体间
标准 符合CE、UL/CSA, RoHS标准
引线
负荷阻抗
自动
补正
输入
电压输出:1-5V
电压输出:4-20mA 电压输出:2.4-20mA 电压输出:3.2-20mA
电压输出:0.6-5V 电压输出:0.8-5V
约1kΩ
无电压输入:0.4以下
可选择自动补正、自动补正零
5ms以上
压力配置准确度传感器输出模拟输出 电压输出电流输出显示耐环境
ZSE20C R 02 W
额定压力范围
ISE20C
ISE20CH
ZSE20C
ZSE20CF
0 ~ -101kPa
-100 ~ 100kPa
-0.1 ~ 1MPa
-0.1 ~ 2MPa
输出规格
R
S
T
V
NPN集电极开路(2输出)+模拟电压输出
NPN集电极开路(2输出)+模拟电流输出
PNP集电极开路(2输出)+模拟电压输出
PNP集电极开路(2输出)+模拟电流输出
记号 内容
可选项
面板
安装
连接器
面板安装
连接器
A1 托架A B
D
记号
无记号
内容 记号 内容
前面
保护盖
没有托架
ZS-46-A1 ZS-46-B
ZS-46-D
共同规格
型号 ZSE20C-L(真空用) ZSE20CF-L(混合用)
-100.0 ~ 100.0kPa
0.1 kPa
500 kPa
0.001 MPa
2 MPa 4 MPa
-105.0 ~ 105.0kPa
0.0 ~ -101.0kPa
10.0 ~ -105.0kPa
-0.100 ~ 1.000MPa
-0.105 ~ 1.050MPa
-0.100 ~ 2.000MPa
-0.105 ~ 2.100MPa
SUS630、SUS304空气,非腐蚀性,不燃烧性流体
DC12 ~ 24V±10%,脉动(p-p)10%以下
35 mA以下
±2%满刻度以下 ±1数位(在环境温度25±3˚C)
±3%满刻度以下(在25˚C操作温度)
±0.2%满刻度以下 ±1数位
ISE20C-L(正压用) ISE20CH-L(正压用)
使用流体
额定压力范围
设定压力范围
最低设定单位
保证耐压力
电子
配置
供应电压
消耗电流
显示精度
重覆精度
温度特性
压力配置准确度
3显示(主显示,副显示x2)
有输出时灯亮 输出1 橙色
1) 主显示:红/绿
2) 副显示:橙
主显示 : 4位,7段显示
副显示 : 4位,前一位11段,其馀7段显示
电线,电线,5芯 ø3.5, 2m
导电截面积 : 0.15mm²(AWG26)、绝缘体外径 : 1.0mm
LCD
MPa, kPa, kgf/cm², bar, psi,
InHg, mmHg 显示单位 MPa, kPa, kgf/cm², bar, psi
显示类型
显示数目
显示颜色
显示数位
指示灯
密封标准 IP65
使用温度范围 使用 : -5˚C ~ 50˚C、保存 : -10˚C ~ 60˚C(未冻结)
使用湿度范围 操作及保存 : 35 ~ 85% RH(未冻结)
耐电压 引线与壳体间引线与壳体间AC 1000V在1分钟内
绝缘阻抗 50MΩ或以上(DC500V兆欧表)引线与壳体间
标准
引线
延迟时间
最大施加电压
最大负荷电流 80mA 开关输出
(SIO模式
时)
输出形式 NPN开集极回路输出、PNP开集极回路输出可选择
输出模式 设定点、设定区间、错误输出、输出OFF
开关动作 正转输出、反转输出
30V (NPN输出时)
1.5V(负荷电流80mA时)以下
1.5ms以下、0 ~ 60s/0.01s步骤可变
应差 设定点模式
短络保护
从0可变 设定区间模式
装备
通讯规格
(IO-Link
模式时)
IO-Link 型
IO-Link 版本
通讯速度
设定档案
最小周期时间
流程数据长
应要求数据通讯
数据储存功能
事件功能
供应商ID
显示耐环境
内部降下电压(残留电压)
装置元件
V1.1
COM2(38.4kbps)
IODD档案
2.3ms
Input Data : 2byte, Output Data : 0byte
对应
对应
对应
131(0 × 0083)
符合CE、RoHS标准
RoHS
®
*1 ISE20C-L未能对应
UL规格
*1
· 数字式显示,实时压力及设定值可同时显示在同一介面。
· 简易设定。
· 反应时间快,由旧有产品2.5ms提升到1.5ms。
· 耗电量少,电流为35mA*或以下。
*省电模式时约40%下降
ZSE20C L
额定压力范围
02 W
输出规格
ISE20C
ISE20CH
ZSE20C
ZSE20CF
0 ~ -101kPa
-100 ~ 100kPa
-0.1 ~ 1MPa
-0.1 ~ 2MPa
可选项
面板
安装
连接器
面板安装
连接器
A1 托架A B
D
记号
无记号
内容 记号 内容
前面
保护盖
没有托架
ZS-46-A1 ZS-46-B
ZS-46-D
记号 内容
L IO-Link / 开关输出1
(开关输出为:NPN或PNP切换式)
型号表示方法
型号表示方法
33
MQR-X229系列 旋转接头(橡胶密封圈)
应用例
-100kPa
0.7MPa
-100kPa~0.7MPa
200min-1 (rpm) 1
0.50N•m 2
1000
8 1
2
MQR8-M5-X229
8
0.50dm/3 (s bar)
-100kPa (10Torr)
200min-1 (200rpm)
0.53kg
0.7MPa
5 ~ +40°C
0.5N•m以下
0.8N•m以下
C
b 0.40
Cv 0.17
0.7MPa加压时
型号
使用流体
密封构造
导轨构造
流量特性
给油
最低使用压力
最高使用压力
周围温度
使用空气温度
容许回转数(参考值)
质量
始动扭力
(参考值)
无加压时
回路数(通口数)
空气
不要
橡胶密封
两端轴承支持
共同规格
AMV系列 真空用 排气结净器
30µm
80°C
AMV3-10 AMV6-14 AMV15-20 AMV37-20 AMV75-30 AMV160-40
99.5%或以上
0.3 0.5 1.0 1.0 1.0 1.0
360 650 1500 3700 7500 16000
360 650 1500 3700 7500 16000
1 1 1/2 2 2 4B 3BJIS 10K FF法兰 JIS 10K FF法兰
型号
消除油雾
过滤口径
最高使用温度
接管口径R
最大流量(L/min(ANR))
贮油量(L)
适用最高真空排放量(L/min(ANR))
共同规格 • 可除掉从真空泵
排出的油雾
• 无需从真空泵
引排气导管
ZCUK
10
ZCUKC
ZCUKQ
ZCDUKC
ZCDUKQ
16
20
25
32
2 4 6 8 10 13 16 20 25 32 40 45
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
― ― ― ― ― ― ―
― ― ― ― ―
― ―
吸盘(ZPT02 ~ 50□□-B4 ~ 10)
外螺纹(只限垂直式内螺纹吸盘ZPT系列)
吸盘直径(mm)
M4×0.7
M5×0.8
M6×1.0
M8×1.25
M10×1.25
螺纹直径
气缸
型号 缸径
(mm)
吸盘(ZP02 ~ 50□□)
ZCUKD
ZCUKR
ZCDUKD
ZCDUKR
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
― ―
― ―
― ―
―
―
―
―
―
―
― ―
―
―
―
―
―
―
―
―
―
2 4 6 8 10 13 16 20 25 32 40 45
内螺纹(只限吸盘带锁环ZP系列)
吸盘直径(mm)
气缸
型号
10
16
20
25
32
缸径
(mm)
SP系列 吸板
*最适合吸着、固定薄片、
玻璃片及柔软的工件等。
SP1130
SP2130
15
30
50x50
15
30
100x100
15
30
150x150
25
40
200x200
25
40
250x250
25
40
300x300
SP1230
SP2230
SP1330
SP2330
SP1430
SP2430
SP1530
SP2530
SP1630
SP2630
ø0.3(球粉烧结体)
AC4C(铝铸件)
15%以上
SUS304
Rc1/4
型号 长方形
正方形
平面度(mm)
平行度(mm)
尺寸(mm)
吸着部 粒径
材质
表面处理
加工 研磨加工(座面)
主体部 材质
吸口
共同规格
34
JSX□□V系列 直动式2通阀(真空用)
型号
绕圈360o旋转, 方便配线
IP67
接管口径(Rc)
1/8
1/8
1/4
3/8
1/4
3/8
孔口直径(mm) CV值 托架型号
1.6
3.2
3.2
3.2
4
5.6
0.08
0.35
0.35
0.35
0.52
0.73
使用压力范围
(Pa·abs)
0.1~大气压
重量(g)
不锈钢 黄铜 不锈钢阀体 黄铜阀体
160
320
320
320
450
1/4 5.6 0.73 450
3/8 4 0.52 450
450
160
330
330
360
490
490
520
520
JSX11V-☆F101R-◇△
JSX21V-☆F301R-◇△
JSX21V-☆F302R-◇△
JSX21V-☆F303R-◇△
JSX31V-☆F402R-◇△
JSX31V-☆F403R-◇△
JSX31V-☆F502R-◇△
JSX31V-☆F503R-◇△
注2)△-代表接电方式
G = 直接出线式(电压只有12VDC, 24VDC可选择)
DS = DIN插座式, 带电压保护
DZ = DIN插座式, 带灯及电压保护
3 = 120(110)VAC *重量DIN插座式需另加30g
4 = 220VAC
5 = 24VDC
6 = 12VDC
B = 24VAC
注1)◇-代表使用电压
S = 不锈钢
C = 黄铜
☆-代表阀体材料
共同规格
直动式操作截止阀型
常阀(N.C.)
系列 JSX11V JSX21V JSX31V
2.0MPa
1.0MPa
FKM
24V, 110V, 220V
4.5VA 8VA 9.5VA
4W 6W 8W
12V, 24V
阀
结
构
线
圈
规
格
真空:-10 ~ 60°C (露点温度:-10°C或以下)
-20 ~ 60°C
10-6 Pa·m3
/s或以下
CE / UKCA
没有腐蚀或爆炸气体
阀结构
阀种类
流体温度范围
耐压力
最高使用压力
环境温度
阀泄量
保护
标准对应
操作使用环境
阀体材料
密封材料
真空
不锈钢, 黄铜
额定电压
容许电压波动
容许泄漏
电压
视在功率
功率消耗
温升
AC
DC
AC
DC
AC
DC
AC/DC
额定电压的±10%
额定电压的±5%
额定电压的±2%
70 / 65°C
JSX021-12A-3
JSX022-12A-3
JSX022-12A-2-1
JSX022-12A-2-1
JSX022-12A-2-1
JSX022-12A-2-1
JSX022-12A-2-1
JSX022-12A-2-1
JSX021-12A-3
JSX20-12A-4
JSX20-12A-4
JSX20-12A-4
JSX20-12A-4
JSX20-12A-4
JSX20-12A-4
JSX20-12A-4
阀体选择 : 黄铜或不锈钢
真空
IP67(DIN插座式为IP65)
MHM系列 磁石吸附气缸
保持力调整型
中央安装型 基本型
, 2
保持力调整型
-10 ~
0.35 ~ 0.6MPa
0.9MPa
0.2 ~ 0.6MPa
0.2 ~ 0.6MPa
M5 x 0.8 Rc1/8
保持力
16 25
160N
200N
32 50
400N
1000N
250N
500N
50N
50N
(mm)
: 2mm
: 6mm
共同规格
• 保持
(ø50,工作物厚度6mm时)
保持力
1000N
2
MHM 32 D 1
型号表示方法
16 16mm
25
32
50
1
2
保持力调整型
无记号 基本型
中央安装型
型号表示方法
35
注:标准型号是没有安装螺纹,如需要,请选择:
1) 安装孔内螺纹选项-XNB
2) 或2通阀带托架型号。
VDW系列 2通直动式电磁阀(适合多种流体)
VX21/22/23系列 2通直动式电磁阀(适合多种流体)
注2)阀身材料另有不锈钢选择,请联系SMC公司
注3)带安装托架选型举例:VDW20N□XB
(树脂材料已带托架,铜材料不能带托架)
注1)◇代表流体选择代号
0=空气
2=水
4=中真空
□代表使用电压和出线方式
Z1D=12VDC,直接出线式
A=24VDC,直接出线式
C=110VAC,直接出线式
Z1B=220VAC,直接出线式
空气
-
- -
- -
中真空 水
VDW1◇A□ M5 1 0.04 0.9
VDW1◇G□ M5 1 0.04 0.9
VDW2◇N□ 1/8 1.6 0.07 0.7
VDW24Q□ 1/8 3.2 0.3 0.2
型号注1) 接管口径
(Rc)
孔口直径
(ømm) Cv值 最大操作压力差
(MPa)
阀身材料/密封件注2)
树脂/NBR注3)
铜/NBR
铜/NBR
铜/FKM
铜/FKM 铝合金/NBR
共同规格
最大使用压力
阀体材料注1)
密封件材料
保护
环境
容许电压波动
1.0MPa
直动式操作截止阀型
C37(黄铜)、铝、树脂、不锈钢
NBR / FKM
防尘、防水滴(IP65标准)
没有腐蚀或爆炸气体
110VAC, 220VAC
额定电压的±10%
额定电压的5%或以下
额定电压的2%或以下
B级
24VDC, 12VDC 额定电压 AC注2)
DC
AC注2)
DC 容许泄漏电压
线圈绝缘类别
阀结构
阀规格
线圈规格
注1)流体为空气,阀体材料为铝或树脂。流体为水、中真空,阀体材料为黄铜,
注2)AC电压带全波整流
另有不锈钢材料选择,请联系SMC.
共同规格
耐压力 2.0MPa
直动式操作截止阀型
黄铜、铝
NBR / FKM
防尘、防水滴(IP65标准)
没有腐蚀或爆炸气体
110VAC, 220VAC
额定电压的±10%
额定电压的10%或以下
额定电压的2%或以下
B级(空气·水·油·真空) / H级(蒸汽·热水)
阀体材料*
密封件材料
保护
环境
容许电压波动
24VAC, 12VAC
额定电压 AC
DC
AC
DC
容许泄漏电压
线圈绝缘类别
阀结构
阀规格
线圈规格
*流体为空气,阀体材料为铝。流体为水、油、中真空、蒸汽及热水,阀体材料为黄铜,
另有不锈钢及树脂材料选择,请联系SMC.
阀泄漏量
空气 NBR
水 NBR
油 FKM
中真空 FKM
蒸汽 FKM
热水 FKM
铝
铜
铜
铜
铜
铜
流体 密封
材料
阀体
材料 泄漏量
1cm3
/min或以下
空气 铝 NBR 1cm3
/min或以下
0.1cm3
/min或以下
0.1cm3
/min或以下
10-6
Pa.m3
/sec或以下
1cm3
/min或以下
0.1cm3
/min或以下
注1) □代表使用电压和出线方式
Z1D =12VDC, 直接出线式(蒸汽及热水不适用)
A =24VDC, 直接出线式(蒸汽及热水不适用)
C =110VAC, 直接出线式, 带电压保护
Z1B =220VAC, 直接出线式, 带电压保护
Z2J=12VDC, DIN插座式, 带指示灯及电压保护(蒸汽及热水不适用)
Z2A=24VDC, DIN插座式, 带指示灯及电压保护(蒸汽及热水不适用)
Z2C=110VAC, DIN插座式, 带指示灯及电压保护(蒸汽及热水不适用)
Z2G=220VAC, DIN插座式, 带指示灯及电压保护(蒸汽及热水不适用)
注2) 阀体材料另有不锈钢(水、油、真空、蒸汽、热水)及树脂(空气)可选择
注3) 为直接出线式重量, DIN型需加30g
注4) 油的动态粘度不能超过50mm2
/s
注5) 蒸汽及热水是H级线圈, 不适用于DIN
插座式及DC电压上
型号 适用
流体
阀体材料/
密封件
接管口径
(Rc)
断面
(mm) Cv值 最高操作压差
(MPa)
耐压力
(MPa)
流体
温度范围
(°C)
环境
温度范围
(°C)
重量
(g)
注3)
2通阀带注2) 托架型号
注5)
VX210A□ 1/8 2 0.23 1 220
VX210E□ 1/4 3 0.41 0.6 -10 ~ 60 220
VX230D□ 3/8 5 0.75 1 450
VX212A□ 1/8 2 0.23 1 300 VX212A□XB
VX212E□ 1/4 3 0.42 0.6 1 ~ 60 300 VX212E□XB
VX232D□ 3/8 5 0.75 1 580 VX232D□XB
VX210A□XB
VX210E□XB
VX230D□XB
VX213A□ 1/8 2 0.23 1 300 VX213A□XB
VX213E□ 1/4 3 0.42 0.6 -5 ~ 60
注4)
300 VX213E□XB
VX233D□ 3/8 5 0.75 1 580 VX233D□XB
VX214C□ 1/8 5 0.62 操作压力范围: 300 VX214C□XB
VX214F□ 1/4 5 0.62 0.1Pa.abs 1 ~ 60 300 VX214F□XB
VX224E□ 3/8 7 1.08 至 460 VX224E□XB
VX234G□ 1/2 10 2.21 大气压 630 不能带托架
VX215A□ 1/8 2 0.23 1 蒸汽:
183°C以下
300 VX215A□XB
VX215E□ 1/4 3 0.42 0.6 热水:
99°C以下
300 VX215E□XB
VX235D□ 3/8 5 0.75 1 580 VX235D□XB
中真空
蒸汽
热水 铜/FKM
空气
水
油
2.0
铜/FKM
铝/NBR
铜/NBR
铜/FKM -20 ~ 60
VX210H□ 2 0.23 1 220
VX220H□ 4 0.47 1 -10 ~ 60 340
VX230H□ 5 0.70 1 460
空气 树脂/NBR 已带托架
注1)
带快换接头:ø6mm
带快换接头:ø8mm
带快换接头:ø10mm
温度
最高
空气注1) 中真空注2) 水注2) 环境温度(°C) 流体温度(°C)
最低
50
-10
50
1
50
1
50
-10
注1)露点:-10°C或更低 注2)末冻结
电磁线圈规格
温升(°C)
注)环境温度20°C及在额定电压时
系列 电源
-
-
-
-
视在功率(VA) 功率消耗(W)
AC
DC
AC
DC
60
60
60
60
2.5
3
2.5
3
VDW10
VDW20
36
真空相关元件
CRP系列 小型空气压缩机
RoHS 符号 正压 真空
共同规格 M M
空气压缩机
使用流体 压缩空气
往复式(无油)
0.55MPa / —70kPa
10L/min(ANR)
压力传感器
连续
62dB以下(安装AN10-01时)
55dB以下(安装ANB1-01时)
5~40℃
80%RH以下(无结露)
3.1kg
PTFE树脂
HNBR
压缩方式
最大喷气压力/真空到达压力
最大喷气流量/最大吸气流量
压力控制方式(ON-OFF)
额定时间注1)
噪声注2)
密封材质 滑动部
O形圈
使用温度范围
使用湿度范围
重量
POWER
ALARM
控制器
设置方法
电源电压
额定电流
瞬时最大消耗电流注3)
LED显示部
压力传感器输入规格
推荐压力传感器对应型号
安装
电缆长度
冷却方式
使用温度范围
使用湿度范围
绝缘电阻
重量
分离
DC24V±10%
4.5A(110W)
8A(200W)
电源ON时绿灯亮
红灯亮或红灯闪烁
IN(压力传感器的输入)
PNP输入1点
输入电流3.5mA±20%(DC24V ON时)
COM+,COM—(压力传感器的电源输出)
DC24V+10%—15%、供给电流最大200mA
高精度数字式压力传感器ISE20系列
PNP集电极开路输出规格
ISE20A-Y-□-□-J-X603
螺钉安装 / DIN导轨安装
1m
风冷
5~40℃
80%RH以下(无结露)
外部端子—壳体间 50MΩ(DC500V)
螺钉安装为340g,DIN导轨安装为360g
注1) 空气压缩机可连续动作的时间。
注2) 消声室的数值、距离通口正面1.0m的位置。(最大喷气压力时)
根据运转条件或设置条件,可能超过表中记载的数值。
注3) 电源具有过电流保护功能时,请使用自动复位型或稳定电流型。
ISE20A-Y-01-J-X603
反转输出
-0.1~1MPa
PNP集电极开路2输出+复制功能
0.5MPa
0.3MPa
2输出+模拟输出(电压 / 电流)
3画面 高精度数字式压力传感器 / ISE20A 系列
额定压力范围
输出规格
配管规格
导线
传感器输出的设定
停止压力
启动压力
设置方法
R1/8
R1/8配管
连接件
无防水盖
带插头的导线
(导线长2m, 5芯)
CRP10 S 1 B P K V
控制器安装方法 残压释放回路的3通电磁阀
残压释放回路的带快换接头的单向阀
吸气口的消声器
62dB
55dB
75dB
噪音(正压时)
A
B
记号
无记号
AN10-01
ANB1-01
型号
无
可应用于协作机器人,搬运机器人等
没有系统气源的环境下可配置小型
空气压缩机(CRP系列)供给压缩空气 !
154mm 100mm 134mm
3.5kg
小型
轻量 (空气压缩机 : 3.1kg ; 控制器 : 0.4kg)
重量
长度 宽度 高度
最大压力 : 0.55MPa
最高真空压力 : -70kPa
既可作为正压力(空气压缩机)
也可作为真空压力(真空泵)应用
注意 : 正压下使用后,再作为真空压使用时,性能会降低,导致无法使用。
无油
噪音 : 55dB以下
(安装消声器型号 : ANB1-01)
作为协作机器人专用夹爪的气源、真空气源
协作机器人专用夹爪
·气爪
·真空吸盘 等
控制器
空气压缩机
V V124-5LU-M5
记号 型号
注) 导线长300mm的接头、排气口的AN05-M5同包。
无记号 无
K
记号
无记号
AKH06-00
型号
ø6
适合管子外径
无
安装方法
螺纹安装
DIN导轨安装注)
S
D
记号
注) DIN导轨安装件同包。
不附带DIN导轨。
注) 请务必将PNP输出的高精度数字式压力传感器与
控制器连接。本产品将压力传感器与控制器连接
以控制压力,进行停止/启动(卸载/加载)。
高精度数字式压力传感器
ISE20A-Y-01-J-X603注)
型号
无
P
记号
无记号
型号表示方法
37
24V POWER
GND
GND
COM
DC
COM
DC
IN
OUT
OUT
DC24V
4.5A
L
0.3m
2m
3
3
1m
1m
型号 : AN05-M5
型号 : ISE20A-Y-01-J-X603
3
型号 : V124-5LU-M5
型号 : AKH06-00
型号 : ANB1-01
ANB1-01
35
180
90
异常时LED灯亮或闪烁
※关于原因、处理,请参照使用说明书。
※关于配线方法的详情,请参见使用说明书。
相关介绍
空气压缩机适合向协作机器人末端执行
元件供给压力时使用。
协作机器人
气爪 磁力吸盘
小型空气压缩机
作为真空泵使用的场合
除了配管的连接位置不同,其他均
与正压相同。
连接
气动元件
系统构成图(作为正压使用的场合)
M
P
AN05-M5
AKH06-00
ISE20A-Y-01-J-X603
ANB1-01
3
V124-5LU-M5
配管回路图
38
真空相关元件
XSA系列 高真空阀
DC AC
G 直接出线 ● ―
GS 直接出线
(附突波电压保护回路) ● ●
D DIN端子型
(附突波电压保护回路) ● ●
DL ● ●
XSA 1 1 1 P 5 G 2
阀尺寸 内孔径 接头尺寸
接头的种类
V 面密封接头
S 卡套接头
内螺纹型
P 内螺纹
电压
3 AC110V
4 AC220V
5 DC24V
6 DC12V
连接块
无记号 无
A 附连接块
※ 本体在平坦部固定时,为了垫高本体时
使用。只需连接块时,请参照下表。
导线出线方式
表 连接块型号
型式 型号
XSA1 XSA1R-8-1
XSA2 XSA2R-8-1 XSA3
注)
T
端子型
(附突波电压
保护回路)
DIN端子型・附指示灯
(附突波电压
保护回路)
● ●
TL
端子型 • 附指示灯
(附突波电压
保护回路)
● ●
C 导线管型
(附突波电压保护回路) ● ●
共同规格
注1) “作动压力差”为孔1(高压侧)与孔2(低压侧)的差。
例)0.3MPa的场合,孔2为真空(1Torr以下)时,孔1加压至0.2MPa(G)。
注2) “逆方向可能压力”为孔1为大气压时,从孔2可加压的压力。
注3) 泄漏量为周围温度20℃,差压0.1MPa的值,气体透过除外。
注4) AC全部为附全波整流器。
*有关尺寸问题,请与SMC业务员查询。
注5) 消耗电力、视在电力为周围温度20℃,输入额定电压时的值。
(误差幅:±10%)
注6) 周围温度20℃,额定电压输入时的值。但依周围的环境会有变化,
因此为参考值。
注7) 直接出线的值。
型式 XSA1-1 XSA1-2 XSA2-22 XSA2-32 XSA2-43 XSA3-3 XSA3-43
作动形式 常时闭
使用流体 压缩空气、惰性气体
内孔径mmø 2 3 4.5 6 4.5 6
耐压MPa(G) 1.5
最低使用压力Pa(abs)/OUT侧 1 × 10-6
最高使用压力MPa(G)/IN侧 1.0
最高作动压力差MPa注1) 0.8 0.3 1.0 0.3 0.1 0.8 0.3
逆方向可能压力MPa(G)注2) 0.5 0.25 0.4 0.2 0.05 0.2 0.15
泄漏量Pa • m3
/s注3) 内部
内螺纹
连接尺寸
1.3 × 10-9
面密封接头(吋)
卡套接头(吋)
外部 1.3 × 10-11
配管连接方式 面密封接头/卡套接头/内螺纹型
1/4 3/8
-
1/4
1/8 1/4
3/8
3/8
周围温度及使用流体温度o
C 5~60
额定电压注4)
消耗电力W注5) DC 4.5 7 10.5
视在电力VA注5) AC 7 9.5 12
线圈温度上升o
C注6) DC 50 55 65
AC 60 70 70
容许电压变动 额定电压的 10%以下
容许泄漏电压 DC 额定电压的2%以下
AC 额定电压的5%以下
线圈绝缘的种类 B种
质量kg注7)
面密封接头 0.28 0.41 0.42 0.53 0.62
卡套接头
Rc 1/4内螺纹型
0.28 0.41 0.42 0.53 0.55
0.33 0.53 - 0.74 0.74
2
1 2
1 3
2
AC110 / 220 DC12 / 24V
面密封接头 卡套接头
接头型 XSA 1 1 2 S 5 G 2
内螺纹型
内螺纹型
接头型
1 1 ø2
2 ø3
1 1/8
2 2 ø3
3 ø4.5
2 1/4
3 3 ø4.5
4 ø6
3 3/8
阀尺寸 内孔径 接头尺寸
1 尺寸1 1 ø2
2 ø3
2 1/4
2 尺寸2 2 ø3
3 ø4.5
4 ø6
2 1/4
3 3/8
3 尺寸3 3 ø4.5
4 ø6
2 1/4
3 3/8
尺寸1
尺寸2
尺寸3
内螺纹型
型号表示方法
39
真空相关元件
XL□. XM□. XY□系列 高真空阀
在半导体制造过程中,腐蚀装置、喷镀装置,离子注入装置和CVD装置等许多部分,都要把芯片和液晶基板放在真空室内处理,该真空室
供气、排气(真空)用阀,要求它们无泄漏、耐腐蚀且是洁净规格。
注1) 标准密封圈(FKM) 注2) 直通型没有尺寸16 *带加热器及高温规格不能配装磁性开关。
阀形式 使用压力
(Pa) (abs)
泄漏量(Pa•m3
/s) 法兰型
内部 外部
可选项 用途
波纹管
密封
O形圈
密封
O形圈
密封
100 160
注2)
注2)
注2)
XLDV
(带电磁阀)
XLD
XLA-2
XLAV-2
(带电磁阀)
XLC-2
XLF-2
XLFV-2
(带电磁阀)
XLG-2
XLH
防止灰尘
卷起
防止泵的
过负载
无尘清洁
高速动作
高动作
次数
无尘清洁
无微粒
无微粒
无需空气
可搬装
置用
XLS
标准
16 25 40 50 63 80 磁性开关 加热器 指示器 高温规格
10-6 ~
大气压力
(105
)
10-6 ~
大气压力
(105
)
10-5 ~
大气压力
(105
)
10-6 ~
大气压力
(105
)
10-6 ~
0.1MPa(G)
型号 轴密封
方式
10-10 10-11
10-10 10-10
10-5 ~
大气压力
(105
)
10-10 10-10
10-5 ~
大气压力
(105
)
10-10 10-10
10-6 ~
大气压力
(105
)
10-10 10-11
10-6 ~
大气压力
(105
)
10-10 10-11
10-6 ~
大气压力
(105
)
10-10 10-11
- -
- -
- -
10-10 10-11
单作用
(N.C.)
双作用
双作用
双作用
手动
单作用
(N.C.)
单作用
(N.C.)
单作用
(N.C.)
单作用
(N.C.)
波纹管
密封
波纹管
密封
波纹管
密封
波纹管
密封
(波纹管
平衡) 10-8 10-11
气
控
式
手
动
式
电
磁
式
XMD XYD
XYA
PAT. PAT.
XMA
XMC XYC
XMH XYH
新
新
操作方式
标准
标准
标准 标准
标准 标准
40
SMC综合样本(版本4)
真空元件
常用快换接头/
2023新产品资料 速度控制阀及喉管
耐腐蚀环境应用元件
各类功能两通阀
电驱动缸
除静电器
智慧工业通讯及工业自动化 恒温器 专业方案
协作式机械手专用方案
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SMC现提供各类惯常使用产品样本及小册子以供参考;
望能改善生产力及节省成本支出。
HF□系列
食品行业专用气动元件
气动培训箱及工作台
(英文版)
压力及流量检测元件
全球合作伙伴
SMC Business Continuity Plan
业务持续性计划 SMC的CO2可持续管理方案 SMC香港公司简介
水处理用元件
农业用元件
可持续性工厂提案
2024新产品资料 自动化元件简介
空气省能系统提案 工厂用气方面的省能提案 工厂的节能提案 厂房气源推介产品 厂房气源管道设施
工业自动化专业方案 长寿命产品提案
Products for Craft Breweries
手工啤酒制造(英文版)
(JTC) 日本技术中心
日本 (约1,200人)
(CTC) 中国技术中心
中国 (约90人)
(ETC) 欧洲技术中心
英国 (约80人)
(GTC) 德国技术中心
德国 (约90人)
(UTC) 美国技术中心
美国 (约130人)
SMC日本总公司
日本总公司
在当地的子公司
销售分公司
经销商
技术中心
全球服务网络
SMC在日本及海外有高市场占有率
62% 37%
全球市场占有率(估计* 日本市场占有率(估计 ) *)
● 销售办事处:供应,维修
● 技术中心:特殊产品,技术解决方案
*资料来源:SMC Corporation - Presentation of Financial Results for FY24.
・阿尔巴尼亚
・阿尔及利亚
・白俄罗斯
・比利时
・保加利亚
・喀麦隆
・象牙海岸
・克罗地亚
・丹麦
・爱沙尼亚
・埃及
・芬兰
・法国
● 法国
・德国
● 德国
・希腊
・匈牙利
・爱尔兰
・以色列
・意大利
● 意大利
・哈萨克斯坦
・肯尼亚
・拉脱维亚
・立陶宛
・马其顿
・摩洛哥
・荷兰
・尼日利亚
・挪威
・波兰
・葡萄牙
・罗马尼亚
・俄罗斯
● 俄罗斯
・塞尔维亚
・斯洛伐克
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黑塞哥维那
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● 奥地利
生产工厂
销售办事处
欧洲及非洲
(11个国家/地区)
(46个国家/地区)
生产工厂
销售办事处
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北美洲
中美洲/南美洲
(5个国家/地区)
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・越南
・阿拉伯联合
酋长国
・中国
● 中国
・中国香港
● 中国香港
(13个国家/地区)
(25个国家/地区)
生产工厂
销售办事处
亚洲/中东/
大洋洲
23,000
生产工厂 : 30
员工人数 : 约 名
全球约80个国家/地区
个国家/地区
约 500个本地服务中心
约
23,000
生产工厂 : 30
员工人数 : 约 名
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约 500个本地服务中心
约
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