电子化学品目录 湿电子化学品 HIGH PURITY ELECTRONIC CHEMICALS

企业简介 西陇科学股份有限公司（简称“西陇科学”，股票代码：002584），原名西陇化工 股份有限公司，创立于1983年，2011年6月在深圳证券交易所挂牌上市，是国内率 先上市的化学试剂公司。 公司主要从事化学试剂（包括通用化学试剂、PCB用化学试剂、超净高纯化学试 剂）、诊断试剂、原料药及食品添加剂的研发、生产和销售及基因测序服务。业务领 域覆盖工业、农业、卫生、环保、教学、科研、生物、生命科学、电子、军工、航天 航空、涂料、印刷及化妆品、大医疗、大健康等领域。已发展成为国内化学试剂研发 能力强、销售覆盖面广、综合配套规模领先的专业制造商和集成供应商。

湿电子化学品是大规模集成电路、分立器件、显示面板、太 阳能电池、LED等制造过程的专用化学品，主要用于硅单晶 片的清洗、光刻、腐蚀工序中，它的纯度和洁净度对集成电 路的成品率、电性能、可靠性都有着重要的影响。

通用型湿电子化学品产品目录 品类 品名 英文名 分子式 C1 纯度等级 C7 C3 C5 酸碱类 过氧化氢 硫酸 Hydrogen Peroxide H2O2 溶剂类 氨水 Sulfuric Acid H2SO4 硝酸 Ammonium Hydroxide NH3 甲醇 无水乙醇 Nitric Acid HNO3 异丙醇 乙酸乙酯 Methanol CH3OH 丙酮 Ethyl alcohol absolute CH3CH2OH 正丁醇 IPA （CH3）2CHOH Ethyl acetate CH3COOC2H5 Acetone CH3COCH3 1-Butanol CH3CH2CH2CH2OH 注明：通用型湿电子化学品均采用0.1微米的滤膜过滤。

电子级过氧化氢 指标 蒸发残渣 酸度 氯化物(Cl) 磷酸盐(PO4) 硫酸盐(SO4) 总氮量(N) 锂(Li) （以H+计） 电子级过氧化氢为清洗、腐蚀剂，可与浓硫酸、硝酸、氢氟 酸、氢氧化铵等配制使用。主要用于超大规模集成电路工艺 单位 % mmol/g ppb ppb ppb ppb ppb 技术的生产，多用于减少污染物，降低缺陷密度，目前可供 选择的品种有C1、C3、C5、C7。 XH-C1 ≤0.0025 ≤0.0006 ≤500 ≤2000 ≤2000 ≤4000 ≤500 XH-C3 ≤0.0025 ≤0.0006 ≤250 ≤1000 ≤1000 ≤2000 ≤100 无色透明液体 ≤10 30.0-32.0 XH-C5 ≤0.002 ≤0.0006 ≤200 ≤500 ≤500 ≤1000 ≤50 XH-C7 ≤0.001 ≤0.0006 ≤200 ≤200 ≤200 ≤400 ≤10 电子级硫酸 指标 灼烧残渣(以硫酸盐计) 氯化物(Cl) 硝酸盐(NO3) 铵盐(NH4) 锂(Li) 硼(B) 电子级硫酸为强酸性清洗、腐蚀剂，在集成电路制作过程中 单位 % ppb ppb ppb ppb ppb 应用最多，主要用于超大规模集成电路工艺技术的生产，目 前可供选择的品种有C1、C3、C5、C7。 XH-C1 ≤0.0005 ≤200 ≤200 ≤1000 — ≤500 XH-C3 ≤0.0004 ≤150 ≤150 ≤500 — ≤100 无色透明液体 ≤10 ≥96.0 XH-C5 ≤0.0003 ≤100 ≤150 ≤500 ≤50 ≤50 XH-C7 ≤0.0003 ≤100 ≤100 ≤500 ≤10 ≤10 电子级氨水 指标 色度 灼烧残渣 氯化物(Cl) 硫酸盐(SO4) 硝酸盐 磷酸盐 锂(Li) 硼(B) 单位 (以硫酸盐计) (NO3) (PO4) 电子级氨水是碱性清洗、腐蚀剂，可与过氧化氢、水、氢氟 酸配制使用，应用于电子行业清洗，以及下游化合物合成。 黑曾 % ppb ppb ppb ppb ppb ppb 在光电领域，主要用于半导体前道颗粒及聚合物的清洗，目 单位 前可供选择的品种有C1、C3、C5、C7。 XH-C1 ≤10 ≤0.002 ≤250 ≤2000 ≤250 ≤1000 ≤500 ≤500 XH-C3 ≤10 ≤0.002 ≤250 ≤1000 ≤250 ≤500 ≤100 ≤100 无色透明液体 25.0~28.0 XH-C5 ≤10 ≤0.001 ≤200 ≤200 ≤200 ≤200 ≤50 ≤50 XH-C7 ≤5 ≤0.0005 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤10 ≤10 指标 灼烧残渣 氯化物(Cl) 硫酸盐(SO4) 磷酸盐(PO4) 锂(Li) 硼(B) 钠(Na) 镁(Mg) 电子级硝酸 单位 mg/kg ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb 硝酸（HNO3）在LCD微影光刻制程中，用于ITO蚀刻液、 XH-C1 ≤5 ≤500 ≤1000 ≤400 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 Mo/Al蚀刻液的配制，是用量较大的酸类高纯湿电子化学品 晶种，目前可供选择的品种有C1、C3、C5、C7。 XH-C3 ≤5 ≤250 ≤500 ≤200 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 XH-C5 ≤5 ≤200 ≤300 ≤150 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 无色或淡黄色透明液体 ≤10 65.0-68.0 XH-C7 ≤5 ≤150 ≤150 ≤100 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10

) 钠(Na) 镁(Mg) 铝(Al) 钾(K) 钙(Ca) 铬(Cr) 锰(Mn) 铁(Fe) 钴(Co) 镍(Ni) 铜(Cu) 锌(Zn) 砷(As) 锶(Sr) 银(Ag) 镉(Cd) 铅(Pb) 铋(Bi) 总有机碳（TOC） ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb 0 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤10000 0 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤10000 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤20 ≤20 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤20 ≤50 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ) 钠(Na) 镁(Mg) 铝(Al) 钾(K) 钙(Ca) 铬(Cr) 锰(Mn) 铁(Fe) 钴(Co) 镍(Ni) 铜(Cu) 锌(Zn) 砷(As) 锶(Sr) 银(Ag) 镉(Cd) 铋(Bi) 铅(Pb) 还原高锰酸钾物质 (以SO2计) ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb 0 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 — ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 — ≤500 — — ≤500 ≤2000 0 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 — ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 — ≤100 — — ≤100 ≤2000 ≤2000 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤2000 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 钠(Na) 镁(Mg) 铝(Al) 钾(K) 钙(Ca) 铬(Cr) 锰(Mn) 铁(Fe) 钴(Co) 镍(Ni) 铜(Cu) 锌(Zn) 砷(As) 锶(Sr) 银(Ag) 镉(Cd) 铋(Bi) 铅(Pb) 还原高锰酸钾物质 (以O计) ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb % ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤0.0008 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤0.0008 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤0.0008 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤0.0008 铝(Al) 硅(Si) 钾(K) 钙(Ca) 铬(Cr) 锰(Mn) 铁(Fe) 钴(Co) 镍(Ni) 铜(Cu) 锌(Zn) 砷(As) 锶(Sr) 钼(Mo) 银(Ag) 镉(Cd) 锡(Sn) 锑(Sb) 钡(Ba) 铅(Pb) 铋(Bi) ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤200 ≤500 ≤500 ≤50 ≤500 ≤10 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤50 ≤500 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤50 ≤100 ≤10 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤50 ≤100 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤10 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10

电子级甲醇 指标 水分 酸度 蒸发残渣 氯化物(Cl) 磷酸盐(PO4) 硫酸盐(SO4) 硝酸盐(N (以H+计) 电子级甲醇为无色液体溶于水，可混溶于醇类、乙醚等多数 有机溶剂主要用于集成电路、LED、太阳能，作为有机溶剂 单位 % mmol/g mg/kg ppb ppb ppb ppb 清洗剂、脱水剂，目前可供选择的品种有C1、C3、C5、 C7。 XH-C1 ≤0.1 ≤0.0004 ≤20 ≤300 ≤250 ≤250 ≤500 XH-C3 ≤0.1 ≤0.0003 ≤10 ≤250 ≤200 ≤200 ≤400 无色透明液体 ≥99.8 色度 XH-C5 ≤0.08 ≤0.0002 ≤10 ≤200 ≤150 ≤150 ≤300 ≤10 XH-C7 ≤0.05 ≤0.0002 ≤5 ≤150 ≤100 ≤100 ≤200 电子级无水乙醇 指标 水分 酸度 蒸发残渣 氯化物(Cl) 磷酸盐(PO4) 硫酸盐(SO4) 硝酸盐(N (以H+计) 无水乙醇，无色澄清液体。有特殊香味。易流动。极易从空 单位 % mmol/g mg/kg ppb ppb ppb ppb 气中吸收水分，能与水和氯仿、乙醚等多种有机溶剂以任意 比例互溶。该有机溶剂用途极其广泛，主要用于医疗、化妆 XH-C1 ≤0.2 ≤0.0002 ≤5 ≤500 ≤400 ≤400 ≤800 品、卫生用品、油脂与染料方面。目前可供选择的品种有 ≤250 ≤200 ≤200 ≤400 C1、C3、C5、C7。 ≤200 ≤150 ≤150 ≤300 ≤150 ≤100 ≤100 ≤200 XH-C3 ≤0.1 ≤0.0002 ≤5 无色透明液体 ≥99.8 色度 XH-C5 ≤0.1 ≤0.0002 ≤5 ≤10 XH-C7 ≤0.05 ≤0.0002 ≤5 指标 水分 酸度 蒸发残渣 氯化物(Cl) 磷酸盐(PO4) 硫酸盐(SO4) 硝酸盐(N (以H+计) 电子级异丙醇 单位 % mmol/g mg/kg ppb ppb ppb ppb 异丙醇（IPA）在LCD制程中，用于屏幕的清洁，是用量较 大的溶剂高纯湿电子化学品品种，目前可供选择的品种有 XH-C1 ≤0.2 ≤0.0003 ≤10 ≤500 ≤400 ≤400 ≤800 C1、C3、C5、C7。 XH-C3 ≤0.1 ≤0.0002 ≤10 ≤250 ≤200 ≤200 ≤400 XH-C5 ≤0.1 ≤0.0002 ≤5 ≤200 ≤150 ≤150 ≤300 无色透明液体 ≥99.8 色度 XH-C7 ≤0.05 ≤0.0002 ≤5 ≤150 ≤100 ≤100 ≤200 ≤10

NO3) 锂(Li) 硼(B) 钠(Na) 镁(Mg) 铝(Al) 钾(K) 钙(Ca) 铬(Cr) 锰(Mn) 铁(Fe) 钴(Co) 镍(Ni) 铜(Cu) 锌(Zn) 砷(As) 锶(Sr) 银(Ag) 镉(Cd) 铋(Bi) 铅(Pb) ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 NO3) 锂(Li) 硼(B) 钠(Na) 镁(Mg) 铝(Al) 钾(K) 钙(Ca) 铬(Cr) 锰(Mn) 铁(Fe) 钴(Co) 镍(Ni) 铜(Cu) 锌(Zn) 砷(As) 锶(Sr) 银(Ag) 镉(Cd) 铋(Bi) 铅(Pb) b ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb 0 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤100 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤100 ≤500 0 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 0 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 0 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 NO3) 锂(Li) 硼(B) 钠(Na) 镁(Mg) 铝(Al) 钾(K) 钙(Ca) 铬(Cr) 锰(Mn) 铁(Fe) 钴(Co) 镍(Ni) 铜(Cu) 锌(Zn) 砷(As) 锶(Sr) 银(Ag) 镉(Cd) 铋(Bi) 铅(Pb) b ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb 0 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤100 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤100 ≤500 0 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 0 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 0 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10

电子级乙酸乙酯 指标 水分 酸度 蒸发 氯化物 硫酸盐 磷酸盐 锂(Li) 硼(B) 钠(Na) 镁(Mg) (以H+计) 残渣 (Cl) (SO4) (PO4) 乙酸乙酯，无色透明液体，有水果香，易挥发，对空气敏 感，能吸水分，能溶解某些金属盐类(如氯化锂、氯化钴、 单位 % mmol/g mg/kg ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb 氯化锌、氯化铁等)。具有优异的溶解性与快干性，尤其对 油硅片墨溶解能力强，且挥发后不留印迹，常用于印刷线路 XH-C1 ≤0.1 ≤0.0008 ≤5 ≤500 ≤500 ≤400 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 板焊渣清洗剂。目前可供选择的品种有C1、C3、C5、 XH-C3 ≤0.08 ≤0.0008 ≤5 ≤250 ≤250 ≤200 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 C7。 XH-C5 ≤0.08 ≤0.0008 ≤5 ≤200 ≤200 ≤150 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 XH-C7 ≤0.05 ≤0.0005 ≤5 ≤150 ≤150 ≤100 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 无色透明液体 ≤10 含量% ≥99.8 指标 含量 水分 与水混合 蒸发 酸度 碱度 甲醇 乙醇 氯化物 试验 残渣 电子级丙酮 (以H+计) (以OH-计) (CH3OH) (CH3CH2OH) (Cl) 丙酮，又名二甲基酮，常温下为无色透明易挥发液体，有刺 单位 % % — mg/kg mmol/g mmol/g % % ppb 激性气味，易燃，易溶于水、乙醇、乙醚等有机溶剂，有 毒。丙酮广泛应用于清洗、去油脂、脱蜡、去除松香助焊 XH-C1 ≥99.5 ≤0.3 合格 ≤20 ≤0.0005 ≤0.0005 ≤0.02 ≤0.01 ≤300 剂、集成电路及显示面板清洗溶剂等。目前可供选择的品种 XH-C3 ≥99.5 ≤0.3 合格 ≤10 ≤0.0005 ≤0.0005 ≤0.02 有C1、C3、C5、C7。 XH-C5 ≥99.8 ≤0.2 合格 ≤10 ≤0.0005 ≤0.0005 ≤0.02 ≤0.01 ≤300 XH-C7 ≥99.8 ≤0.2 合格 ≤5 ≤0.0005 ≤0.0005 ≤0.02 无色透明液体 ≤10 ≤0.01 ≤300 ≤0.01 ≤150 电子级正丁醇 正丁醇，燃烧时发强光火焰。有类似杂醇油的气味，其蒸气有刺激性，能引起咳嗽。能与乙醇、乙醚及许多其他有机溶剂混 溶。用作脂肪、蜡、树脂、虫胶、清漆等的溶剂，或制造油漆、人造纤维、洗涤剂等。目前可供选择的品种有C7。 指标 水分 酸度(以H+计) 蒸发残渣 氯化物(Cl) 硫酸盐(SO4) 磷酸盐(PO4) 羰基化合物(以CO计) 易炭化物质 mg/kg ppb ppb ppb mg/kg — 单位 % mmol/g ≤10 ≤150 ≤100 ≤200 合格 ≤100 XH-C7 ≤0.1 ≤0.0005

铝(Al) 硅(Si) 钾(K) 钙(Ca) 铬(Cr) 锰(Mn) 铁(Fe) 钴(Co) 镍(Ni) 铜(Cu) 锌(Zn) 砷(As) 锶(Sr) 钼(Mo) 银(Ag) 镉(Cd) 锡(Sn) 锑(Sb) 钡(Ba) 铅(Pb) 铋(Bi) ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤100 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤100 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 磷酸盐 硫酸盐 硝酸盐 锂 硼 钠 镁 铝 钾 钙 铬 锰 铁 钴 镍 铜 锌 砷 锶 银 镉 铋 铅 还原高锰 (PO4) (SO4) (NO3) (Li) (B) (Na) (Mg) (Al) (K) (Ca) (Cr) (Mn) (Fe) (Co) (Ni) (Cu) (Zn) (As) (Sr) (Ag) (Cd) (Bi) (Pb) 酸钾物质 ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb — ≤200 ≤200 ≤400 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 ≤500 合格 ≤200 ≤200 ≤400 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 合格 ≤200 ≤200 ≤400 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 合格 ≤100 ≤100 ≤200 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 合格 混 色度 无色透明液体 ≤10 ≥99.8 质 锂(Li) 硼(B) 钠(Na) 镁(Mg) 铝(Al) 钾(K) 钙(Ca) 铬(Cr) 锰(Mn) 铁(Fe) 钴(Co) 镍(Ni) 铜(Cu) 锌(Zn) 砷(As) 锶(Sr) 银(Ag) 镉(Cd) 铋(Bi) 铅(Pb) ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10 ≤10

功能型湿电子化学品产品目录 现有配方型湿电子化学品主要有 正胶显影液 英文名 PPD-XL223 负胶显影液 Positive Photoresist Developer EBD-XL20 干膜显影液 Negative Photoresist Developer EBD-XL30 （草酸系）ITO蚀刻液 Dry Film Developer ES 620A （王水系） ITO蚀刻液 (Oxalic acid system)ITO Etchant Solution ES 621 铝蚀刻液 （Aqua regia system)ITO Etchant Solution ES 630 正胶剥离液 Aluminum Etchant PPS-XL600 Positive Photoresist Stripper

PPD-XL223 正胶显影液 产品介绍 PPD-XL223是一款针对正型光刻胶的高效显影液。主要用于TP、TFT-LCD/OLED、IC等光刻制程中正型光刻胶 的显影。 产品特性 1. 操作简便，显影速度快 2. 不攻击基材 ·显影前 ·显影后 PH值 产品参数 比重 >13 外观 1.02±0.05g/ml 无色透明溶液 参考工艺 常温下，喷淋或浸入搅拌显影30~120s后水洗 注：具体工艺参数可根据实际情况调整至最佳值 使用注意事项 1. 此品属于碱性溶液，操作时必须穿戴橡胶手套、护目镜等防护用具 2. 当接触皮肤或眼睛时，立即用大量流动清水或生理盐水冲洗，并立即就医 3. 密封、避光储存于5~35℃干燥环境 注：可根据客户需要包装

EBD-XL20 负胶显影液 产品介绍 REBD-XL20 是一款高效缓冲、高浓缩无机碱显影液。主要用于 TP、TFT-LCD、IC等光刻制程中 OC 胶的显影。 产品特性 1. 含特殊的表面活性剂，缓冲体系的碱性通用负型显影液，显影制程宽容度高 2. 低泡沫，适用于浸渍或喷淋显影 3. 容易使用的高浓缩溶液 ·显影前 ·显影后 产品参数 比重 PH值 外观 1.03~1.08 13.00±0.30 无色透明液体 参考工艺 1. 以去离子水稀释为 1:7 的溶液 2. 25℃下，喷淋或浸入搅拌显影 90~120s 注：具体工艺参数可根据实际情况调整至最佳值 使用注意事项 1. 此品属于碱性溶液，操作时必须穿戴橡胶手套、护目镜等防护用具 2. 当接触皮肤或眼睛时，立即用大量流动清水或生理盐水冲洗，并立即就医 3. 密封、避光储存于 5~35℃干燥环境 注：可根据客户需要包装

EBD-XL30 干膜显影液 产品介绍 EBD-XL30 是一款长效缓冲高浓缩水溶性无机碱显影液。主要应用于TP、LCD等菲林光刻制程中干膜的显影，具有良 好的显影能力。 产品特性 1. 含有特殊的添加剂、缓冲体系的碱性负性显影液，显影制程宽容度高 2. 使用中起泡性低，适用于浸泡或喷淋显影 3. 易于使用的高浓缩液 ·显影前 ·显影后 产品参数 比重 PH值 外观 1.01-1.05g/cm3 11.0~13.0 无色透明 参考工艺 1. 以去离子水稀释为 1:9 的溶液 2. 25℃下，喷淋或浸入搅拌显影 30~120s 注：具体工艺参数可根据实际情况调整至最佳值 使用注意事项 1. 此品属于碱性溶液，使用时必须穿着橡胶手套、护目镜等防护用具 2. 当接触皮肤或眼睛时，以大量清水或生理盐水冲洗，并立即就医 3. 密封储存于 5~40℃干燥环境 注：可根据客户需要包装

ES 620A （草酸系）ITO蚀刻液 产品介绍 ES 620A 是一款针对 ITO 基材的高效草酸系蚀刻液。主要用于 TP、TFT-LCD/OLED 等光刻制程中 ITO 蚀刻。 产品特性 1. 含特殊的表面活性剂，蚀刻快，侧蚀小 2. 操作简便，制程宽容度高 3. 不攻击抗蚀层 ·蚀刻前 ·蚀刻后 PH值 产品参数 比重 1-1.5 外观 1.01-1.06 g/cm3 无色透明溶液 参考工艺 40℃下，喷淋或浸入搅拌蚀刻 100~200s 后水洗 注：具体工艺参数可根据实际情况调整至最佳值 使用注意事项 1. 此品属于酸性溶液，操作时必须穿戴橡胶手套、护目镜等防护用具 2. 当接触皮肤或眼睛时，立即用大量流动清水或生理盐水冲洗，并立即就医 3. 密封、避光储存于 5~35℃干燥环境 注：可根据客户需要包装

ES 621 （王水系）ITO蚀刻液 产品介绍 ES 621 是一款针对 ITO 基材的高效盐酸-硝酸体系蚀刻液。主要用于TP、TFT-LCD/OLED 等光刻制程中 ITO 蚀刻。 产品特性 1. 含特殊的添加剂，蚀刻快，侧蚀小 2. 操作简便，制程宽容度高 3. 不攻击抗蚀层 ·蚀刻前 ·蚀刻后 产品参数 比重 PH值 外观 1.10-1.20g/cm3 <1 无色或淡黄色透明溶液 参考工艺 40℃下，喷淋或浸入搅拌蚀刻 60~120s 后水洗 注：具体工艺参数可根据实际情况调整至最佳值 使用注意事项 1. 此品属于强酸性溶液，操作时必须穿戴橡胶手套、护目镜等防护用具 2. 当接触皮肤或眼睛时，立即用大量流动清水或生理盐水冲洗，并立即就医 3. 密封、避光储存于 5~35℃干燥环境 注：可根据客户需要包装

ES 630 铝蚀刻液 产品介绍 ES 630 是一款针对蚀刻 Mo/Al/Mo 三层金属膜基材的高效混酸系蚀刻液。主要用于 TP、TFT-LCD/OLED、LED 等行业光刻制程中 Mo/Al/Mo 层的蚀刻。 产品特性 1. 含特殊的表面活性剂和缓蚀剂，蚀刻速率快，侧蚀小 2. 操作简便，制程宽容度大 3. 不攻击抗蚀层 ·蚀刻前 ·蚀刻后 产品参数 比重 外观 1.55±0.05g/cm3 无色透明溶液 参考工艺 45℃下，喷淋或浸入搅拌蚀刻 70~140s 后水洗 注：具体工艺参数可根据实际情况调整至最佳值 使用注意事项 1. 此品属于较强腐蚀性酸性溶液，对皮肤及衣服等有较强的腐蚀性，使用和操作时必须穿戴耐酸橡胶手套、护目 镜等防护用具 2. 当接触皮肤或眼睛时，立即用大量流动清水或生理盐水冲洗，并立即就医 3. 密封、避光储存于 5~35℃干燥环境 注：可根据客户需要包装

PPS-XL600 正胶剥离液 产品介绍 PPS-XL600是一款针对正型光刻胶的水系剥离液。主要用于TP、TFT-LCD、OLED等显示面板光刻制程中正 型光刻胶的剥离，并防止对下层镀膜金属（Al、Cu）的腐蚀。 产品特性 1.含水体系，更绿色环保 2.剥离能力强，适用于干刻及湿刻光刻胶剥离 3.制程温度低，工作环境稳定安全 4.减少水洗段不良、药液稳定性更强 5.不攻击基材-适用于Al/Cu制程 ·剥离前 ·剥离后 产品参数 比重 外观 0.94-0.99g/cm3 无色或微黄色透明溶液 参考工艺 40-50℃下，喷淋或浸入搅拌剥离40~80s后水洗 注：具体工艺参数可根据实际情况调整至最佳值 使用注意事项 1.此品属于碱性溶液，操作时必须穿戴橡胶手套、护目镜等防护用具 2.当接触皮肤或眼睛时，立即用大量流动清水或生理盐水冲洗，并立即就医 3.密封、避光储存于5~35℃干燥环境 注：可根据客户需要包装

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