气动元件应用于

电子、手机、半导体行业

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852-2625 9122

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SMC我们是电子、手机、半导体行业的专家

在SMC,我们认为，我们未来成功的关键是，具

备完全理解任一制造工艺的要求和问题的能力。

就出于这个原因，我们组建了一个专家团队（我

们的行业专家）为全球所有主要制造行业服务。

在手机行业，我们的专家知悉需要满足哪些严格

的要求，也对您的生产过程和企业需要有着广泛

的了解。

我们为客户提供节能服务，现场设计方案，自

动化技术培训。

我们的专家知道，必须最大限度地保证操作者的

健康和安全，也知道，在能源、成本不断提高的

速度令人忧虑之时，再小的节约也能对企业的财

务和环境产生切实的影响。

专家（名词）－在某一领域知识丰富，技艺高超的人（牛津英语词典）

液晶显示模组生产工艺流程(LCM)

偏光片

偏光片 主板

偏光片贴附机(POL)

晶片

主板

晶片导入玻璃(COG)

导电性热溶胶

LCD & BLU 组装

主板

背光模块

背光模组组装机

背光片

遮光片

增光片

增光片

扩散片

主板

导电性热溶胶

软性电路板

FOG (FPC On Glass)

1 偏光片贴附机(POL)

将偏光片(POL)贴附到主板，

此过程会包括自动清洁及撕膜。

2 晶片导入玻璃(COG)

将IC芯片贴到主板上，包含主板上料，

ACF贴附，预压，本压。

3 软性电路板植入(FOG)

主要是把软性电路板(FPC)

作连接电路板(PCB)之用。

4 液晶显示(LCD)

与背光模块(BLU)

为防止线路腐蚀会用点胶方式作

强化软性电路板(FPC)。

5 自动组装机

将背光灯模组与主板作贴合。

6 自动迭片机

加强其显示能力，会贴上遮光片，

增光片及扩散片。

刻蚀

刻蚀

AFF/AM/AMD30

压缩空气清净化过滤器

新

1 3 4 压缩空气清净等级 ISO8573

AFF30 AMD30

―

―

MPa

MPa

MPa

MPa

3

共同规格

注1) 条件 : 入口侧水滴量 33mL/m3 (ANR)、额定流量时 注2) 条件 : 入口侧油雾浓度 10mg/m3 (ANR)、额定流量时

注3) 条件 : 入口侧油雾浓度 1mg/m3 (ANR)、额定流量时 注4) 条件 : 入口气压 0.7Mpa 时

使用流体

周围温度及使用流体温度

保证耐压力

最高使用压力

最低使用压力

过滤度

自动排水阀 (N.C.)

自动排水阀 (N.O.)

水滴除去率

出口侧油雾浓度

额定流量注4）

质量

1(除水效率99%) 0.01(除油效率99.9%)

99注1)

Max.0.1 注3)

AM30

压缩空气

―

-5～60(不结冰)

0.1(除油效率99%)

Max.1.0 注2)

750

0.39

机种

・ 可应用于欧州/亚太地区市场

・ 对应高温环境规格

・ 周边温度:最高45°C

・ 入口空气温度:最高65°C

・ 处理空气流量 *IDFA90-23, 露点3°C时

810m3/h(与旧机种比较提升至23%)

电源电压:单相 230 VAC (50 Hz)

新

型式 规格使用范围 压缩空气

5 - 65

0.15 - 1.0

2 to 45 (相对湿度85％以下)

冷凝方法 风冷式

使用流体

进口空气温度 [ ]

进口空气压力 [MPa]

环境温度(湿度)

共同规格

°C

[°C]

2

IDFA

冷冻式空气干燥机

共同规格

注1） 上记额定条件时，在以下条件时的水滴去除率

【试验条件ISO8573-9 : 2010、 试验方法根据ISO12500-4 : 2009】。

*过滤器入口侧的水滴量＝33g/m3 (ANR) （水滴为冷凝的水分，没有冷凝的水蒸气不包含在内）。

* 入口温度＝25

* 处理空气量、入口压力、入口温度、过滤器入口侧的水滴量安定时。

* 滤芯为新品时。

7.0

AFF70D

1,1 1/2

过滤精度

水滴去除率

型式

处理流量m³/min (ANR)

接管口径Rc (PT)

使用流体

过滤对象

使用压力范围

保证耐压力 MPa

进口空气温度范围

AFF80D

11.0

1 1/2

AFF90D

14.5

1 1/2, 2

压缩空气

水滴除去 滤芯精度

1µm

1.5

-5 ~ 60˚C

0.1 ~ 1.0Mpa (最大可选项为1.6Mpa)

注1 99% 性能

1 新型主管路过滤

AFF

器 新

使用流体

进口空气温度

最小进口空气压力

最大进口空气压力

周围温度

冷媒

压缩空气

5 ~ 50°C

0.15 MPa

1.0 MPa

2 ~ 40°C (相对温度不大于85%)

R134a(HFC) / R407c(HFC)

共同规格

IDFA系列: 适用压缩机2.2至75kW

・ 标淮使用环保冷媒R134a (HFC) /

R407c(HFC)

・ 额定流量增加40%(与旧款比较)

・ 耗电量降低40%(与旧款比较)

・ 采用不锈钢热交换器，增强耐腐蚀性

・ 符合ISO标淮(3°C压力露点)

IDFA□E

2 环保冷媒冷冻式空气干燥机

IDFA□F

2 大型冷冻式空气干燥机

IDFAF系列 :

适用压缩机 100 至 190kW

・ 其省能设计,

可减少25%热量排放

(HFC)

使用压力范围

使用流体

进口空气温度

环境温度

冷媒 注）

共同规格

空气洁净 管路系统图

青山依舊在，幾度夕陽紅。慣看秋月春風。一壺濁酒喜相逢，浪花淘盡英雄。是

非成敗轉頭空，滾滾長江東逝水，白髮漁樵江渚上，古今多少事，都付笑談中。

滾滾長江東逝水，浪花淘盡英雄。是非成敗轉頭空，青山依舊在，幾度夕陽紅。

白髮漁樵江渚上，慣看秋月春風。一壺濁酒喜相逢，古今多少事，都付笑談中。

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生产设备

空气压缩机

主路 冷冻式干燥机 过滤器

微雾

分离器

油雾

分离器

AM AMD AMF

AME /

AMH

AFF IDFA

VBA

VBAT

增压阀＋储气罐

1 2 3 4 5 超微油雾分离器/ 6+7 除臭过滤器

AFF

主路过滤器 AF系列 AFF系列

X10

使用流体

最高使用压力

最低使用压力

保证耐压力

环境及流体温度

过滤精度

压缩空气

1.0 MPa

0.05 MPa

1.5 MPa

5 ~ 60°C

3 µm (去除: 99%)

共同规格

*

* 带自动排水器时最低使用压力为0.1 MPa(N.O.式),0.15 MPa(N.C.式)

・ AFF系列主路过滤器乃高负载设计，

可直接处理含大量水份、油及污垢

的压缩空气。

・ 过滤面积相等于市面上一般过滤器

之十倍，作为前置过滤器，可增强

于燥机之冷冻效能及延长油雾分离

器之滤芯寿命。

1

注1 1HP 流量: 100

注2 干燥机生产期在2019年2月或之前,需采用旧型号备件作维修:AD38或AD48,如有问题,请与SMC联络。

主路过滤器 冷冻式空气干燥机 电压 接管口径

自动

排水器备件 漏电开关

容量 (A)

重量

Kg

55/75

37/50

22/30

220~240

/1/50

380/3/50/

220~240/

1/50

15/20

11/15

7.5/10

5.5/7.5

3.7/5

2.2/3

75/100

100/130

120/160

R 1½

Rc 3/4

Rc 1

R 1

R 2

Rc 1/2

Rc 3/8

5

10

20

10/15

15/30

IDFA3E-23

IDFA4E-23

IDFA6E-23

IDFA8E-23

IDFA11E-23

IDFA15E1-23

IDFA22E-23

IDFA37E-23 / IDFA60-23

IDFA55E-23 / IDFA70-23

IDFA75E-23 / IDFA80-23

IDFA100F-38 / IDFA90-23

IDFA100F-38 / IDFA90-23

AFF2C-02D-T

AFF4C-03D-T

AFF4C-03D-T(AFF30-03D-D)

AFF8C-04D-T

AFF11C-06D-T

AFF22C-10D-T

AFF70D-14

AFF80D-14

AFF90D-20

AFF125A-30D

AD38-A

AD48-A

ADH-E400/

AD402-04D-A

AD48-A /

AD402-04D-A

微雾分离器带前置过滤器

AMH250C-03D-T

AMH350C-04D-T (AM30-03D-D / AMD30-03D-D)

AMH350C-04D-T

AMH450C-06D-T

AMH550C-10D-T

AM70D-14 + AMD70D-14

AM80D-14 + AMD80D-14

AM90D-20 + AMD90D-20

AFF125A-30D-X13 + AMD910-30

7.9/12A

5.1/13A

6.1/7.2A

4.3A

4.3/4.9A

2.9A

2.7A

1.4A

1.2A

23

27

28

46

54

62/49

100/68

116/95

245/110

22

18

耗电量/

额定电流 适合压缩机注1)

注2)

~~

气源处理

压缩空气

6

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

VBA10A-02

VBA40A-04

共同规格

注 1) 当 OUT 口的压力高于手柄设定压力时，剩余压力从手柄背面排出。

注 2) IN= OUT= 0.5 MPa 时的流量。使用条件会影响压力变化。

型号

连接口径 (Rc)

(IN, OUT, EXH 3 处)

压力表连接口径 (Rc)

(IN, OUT 2 处)

VBA10A-02 VBA20A-03 VBA40A-04 VBA22A-03 VBA42A-04 VBA43A-04 VBA11A-02

压缩空气

0.1 ~ 1.0

2 ~ 50 (未冻结)

水平

润滑脂 (不给油)

2 倍

230

0.2 ~ 2.0

3

1/4

0.84

1000

0.2 ~ 1.0

1.5

0.2 ~ 1.0

1900 1000 1900 70

0.2 ~ 2.0

1600

0.2 ~ 1.6

2 倍 ~ 4 倍

带溢流功能

手动操作型 注 1)带溢流功能 气控型 手动操作型 注 1)

3/8

3.9

1/2

1/8

3/8 1/2

8.6 3.9 8.6

3

1/4

0.89

2.4

8.6

使用流体

增压比

压力调整机构

最大流量 注2) (L/min (ANR))

设定压力范围 (MPa)

供给压力范围 (MPa)

保证耐压力 (MPa)

环境温度及使用流体温度 (˚C)

安装方向

润滑

质量 (kg)

VBA 6 增压阀

安全阀(1MPa设定)

安全阀(2MPa设定)

共同规格

型号

容量

最高操作压力

环境及流体温度

材料

接管口径

配件

(任选项) 手动排水阀

入 (Rc)

出 (Rc)

VBAT05A1

5L

0 ~ 75˚C

碳钢 SS400 不锈钢 SUS304

0 ~ 75˚C

2MPa 1MPa

VBAT-S --- VBAT-S

VBAT --- -R

VBAT-V1 VBAT-V1

2MPa

VBAT10A1

10L

VBAT20A1

20L

VBAT38A1

38L

VBAT05S1

5L

VBAT10S1

10L

VBAT20S1

20L

VBAT38S1

38L

3/8 3/8

3/8 1/2 1/2 3/4

3/8 3/8

3/8

1/2 1/2 1/2 1/2

1/2 1/2 3/4 特点

・ 气罐内部已涂上防锈油漆

・ 可安装安全阀门(选项)

・ 另有CE标准通用型号，详细资料可与SMC联络

VBAT 7 贮气罐

为AM+AMD过滤器一体化组合。可清除压缩空气

中0.01µm以上的微粒，可作为精计量测量用，高

净空气及洁净室用压缩空气的前置过滤器。

使用流体

最高使用压力

最低使用压力 *

保证耐压力

环境及流体温度

过滤精度

压缩空气

1.0 MPa

0.05 MPa

1.5 MPa

5 ~ 60°C

0.01 µm (去除: 99.9%)

共同规格

* 使用自动排水器时，使用压力应在0.1 MPa(N.O.式)

或0.15 MPa(N.C.式)以上。

AMH

3 + 4 带前置过滤器的微雾分离器

共同规格

AM80D

11.0

1 1/2

7.0

AM70D

1,1 1/2

过滤精度

水滴去除率

型式

处理流量m³/min (ANR)

接管口径Rc (PT)

使用流体

过滤对象

使用压力范围

保证耐压力 MPa

进口空气温度范围

AM90D

14.5

1 1/2, 2

压缩空气

水滴除去 滤芯精度

0.1µm

1.5

-5 ~ 60˚C

0.1 ~ 1.0Mpa (最大可选项为1.6Mpa)

注1 99% 性能

可分离掉压缩空气中大于0.1 的微粒

3 油雾分离

AM

器 3 新型油雾分离

AM

器 新

共同规格

使用流体

最高使用压力

最低使用压力

保证耐压力

环境及流体温度

过滤精度

压缩空气

去除

使用自动排水器时，使用压力应在

式 以上。

式 或

可分离掉压缩空气中大于0.3 的微粒

AMF 5 除臭过滤器

・ 耗气减少40%

・ 噪音比原有型号减少80%

80db(A)>65dB(A)

・ 可垂直安装

・ 可直接安装在现有

VBAT系列

・ 内置消声器

・ 最大增压比为1.7倍

共同规格

增压率

输出压力

输入压力

耐压力

最大流量

环境及流体温度

润滑

安装方式

调压手柄

重量

润滑脂（不给油）

1.7 (固定)

0.3 ~ 1.2MPa

0.2 ~ 0.7MPa

1.8MPa

230L/min(ANR)

(IN = OUT = 0.5MPa)

没有

1.2 kg

垂直，水平

2 ~ 50˚C(未冻结)

型号表示方法 VBA 10A - 02 -X3145

管连接口径

02 Rc1/4

新

VBA10A-X3145 6 增压阀

使用流体

最高使用压力

最低使用压力

保证耐压力

环境及流体温度

过滤精度

压缩空气

去除

活性炭素纤维滤芯能有效地除去压缩空气中

的气味及有害气体。

共同规格

共同规格

7.0

AMD70D

1,1 1/2

过滤精度

水滴去除率

型式

处理流量m³/min (ANR)

接管口径Rc (PT)

使用流体

过滤对象

使用压力范围

保证耐压力 MPa

进口空气温度范围

AMD80D

11.0

1 1/2

AMD90D

14.5

1 1/2, 2

压缩空气

水滴除去 滤芯精度

0.01µm

1.5

-5 ~ 60˚C

0.1 ~ 1.0Mpa (最大可选项为1.6Mpa)

注1 99% 性能

可分离掉压缩空气中大于0.01 的微粒

AMD 新

4 新型微雾分离器

AMD

4 微雾分离器

共同规格

使用流体

最高使用压力

最低使用压力

保证耐压力

环境及流体温度

过滤精度

压缩空气

去除

使用自动排水器时，使用压力应在 式

式 以上。

或

可清除压缩空气中 以上的微粒

可作为精密计量测量仪使用

及洁净室用压缩空气的前置过滤器

AME

5 超微油雾分离器

共同规格

使用流体

最高使用压力

最低使用压力

保证耐压力

环境及流体温度

过滤精度

压缩空气

去除

可去除压缩空气中的气态油粒子，能把有

油雾的压缩空气变成无油压缩空气。

适用于涂装线、洁淨室及对无油要求很高

的机器使用的高度洁净的压缩空气的场合。

气源处理

7

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

型号

使用流体

最高使用压力

工作温度

工作环境

外径

内径

管总长度

数量

颜色

适合管接头

材质

IDK04-100-C1

压缩空气

0.7 MPa

0 to 40 C

室内 (0 to 40 C, 相对温度 0 to 75%RH)

4 mm

2.5 mm

100 mm

2只

透明 (当使用一段时间后会呈现棕色，而功能没改变。)

KQ2

氟素树脂

注1) 若使用此产品，前端管道压缩空气需经过冷冻式干燥机及微雾分离器作处理，

否则防结露效果会因应供气质量，效果会影响。

共同规格

螺旋管设计可避免屈折

(用于防止小型气缸及气动手指的配管内湿气凝结)

IDK04

防结露气管(螺旋管型)

共同规格

型号

氟素树脂

使用流体 压缩空气

未冻结

最高使用压力

使用温度

使用环境

最小湾曲半径

防湿气凝结气管数目

付属品

颜色

适合管接头

材料

外径

内径

相对湿度

内管套 个 气管装着济

透明 经过长时间会变成茶色，但不影响功能

条

IDK

防湿气凝结气管

-30°C以下

(入口条件 : 潮湿空气)

共同规格

出口空气露点温度(大气压)

电压

注1)

最低使用压力

最高使用压力 ID206, 306

ID406, 606

1.0Mpa (10.2kgf/cm2

)

0.9Mpa (9.2kgf/cm2

)

0.3Mpa (3.1kgf/cm2

)

注2) AC220V (50Hz)

注1) 压力0.7MPa (7.1kgf/cm2

)，35°C 饱和, 最大流量时。

注2) 还有 AC100, 110, 200V 可供选择。

ID

无热式空气干燥机

IBG1

脉冲吹风喷枪

・减少耗气，可减87%

・减少吹气时间，可减97%

・有效清除油质铁屑

・设有可调高峰压力

带刻度指示调节阀

10

11

IBG

50

10

11

100

150

300

《脉冲风枪》

《喷咀》 IBG1 - 12 - 10 - 50

喷咀长度

注1)

注1) 相对现有型号

注1)

• 高峰压力

IBG1

0

0～4

3倍压力

现时风枪

时间

压力

刻度

指示器

10 - X1

没有

有

50mm

100mm

150mm

300mm

IBG10-X1 IBG11-X1

流体

压力范围

额定压力

环境温度

重量

冲击力度

脉冲压力调节阀

共同规格

0.1 ~ 0.7MPa

1.05MPa

+5 ~+60℃

380g 400g

少于 10N

压缩空气

没有 有

型号

高分子膜式空气干燥器

IDG系列

排水方式

无记号 手动排水

自动排水 常闭

自动排水 常开

隔膜式空气干燥器

油雾分离器

微雾分离器

安装托架 要 个

需配备前置过滤组合

隔膜式空气干燥器

油雾分离器

微雾分离器

带前置过滤之微雾分离器

安装托架 要 个 要 个 要 个 及 及

只限

只限

及

至

注

请务必在 之前加装 油雾

带前置过滤之微雾分离器

因为干燥机

注

共同规格

使用流体

使用压力范围MPa

环境和流体温度

露点指示器耗气量

注

注

注

注

没有露点指示器

为

标准型不带露点指示器

压缩空气

进口压力在 时

IDG1~IDG20 0.3~0.85

0.3~1.0

-5~+50

IDG30~IDG100

分离器或

气源处理

快速吹走带油份的金属碎 短距离吹走外来粉尘

吹走带油份的工件 快速吹走水滴

型号表示方法

8

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

气源处理

笔型，无油/吹风喷枪

XT567-10 系列

140 mm

ø2

4.3 mm

喷咀口径

按链

行程 :

应用例

型号

使用流体

操作压力范围

喷咀口径

接管口径

操作力度

质量

XT567-10

压缩空气

0.1 to 1.0 MPa

Rc1/8

ø2

9 N (在 0.5 MPa应用)

100 g

注)笔本体：铝合金材质

・可吹掉零碎配件

共同规格

VMG 1 1 W 03 01

白色

暗蓝色

W

BU

下方向

上方向

1

2

喷枪

标准型

高效率喷咀

无喷咀

记号 种类 喷咀口径 喷咀型号

KN-R02-100

KN-R02-150

KN-R02-200

KN-R02-250

VMG1-R02-300

VMG1-R02-350

VMG1-R02-400

KNH-R02-100

KNH-R02-150

KNH-R02-200

KNS-R02-075-4

KNS-R02-090-8

KNS-R02-100-4

KNS-R02-110-8

ø1

ø1.5

ø2

ø2.5

ø3

ø3.5

ø4

ø1

ø1.5

ø2

ø0.75 x 4

ø0.9 x 8

ø1 x 4

ø1.1 x 8

无记号

01

02

03

04

05

06

07

11

12

13

21

22

23

24

ø6 铜管长喷咀注1)

VMG1-06-150-300

VMG1-06-200-300

VMG1-06-150-600

VMG1-06-200-600

VMG1-06-150-100

VMG1-06-200-100

VMG1-06-150-150

VMG1-06-200-150

300 mm

600 mm

100 mm

150 mm

ø1.5

ø2

ø1.5

ø2

ø1.5

ø2

ø1.5

ø2

31

32

33

34

35

36

37

38

记号 配管连接方式 尺寸及型号

连接口径

螺塞型号

螺塞型号

带单向阀的快插插头注1)

螺纹拧入式

带单向阀的快插插头注2)

快换接头 接头类型

Rc1/4

Rc3/8

KK4P-02MS

KK130P-02MS

KQ2H06-02AS

KQ2H08-02AS

KQ2H10-02AS

02

03

11

12

H06

H08

H10

注1) 快插插座的型号是KK4S-02MS.

注2) 快插插座的型号是KK130S-02MS.

注1) 喷咀连接用时，附卡管式管接头H06-02(1个),另有ø8mm铜管长喷咀

可供选择，请与SMC联系。

系列

树脂主体杠杆型

型号表示方法

带外螺纹低噪声喷咀 : KNS 带外螺纹喷咀 : KN 高效率喷咀 : KNH 铜管长喷咀 : VMG1

节能方案 (节省压缩空气消耗量)

一般工厂用於空气压缩机之耗电量约占全厂用电量 20% (图 1)

，而其中因泄漏而损失之压缩空气占总消耗量 20% (图 2)。

有效地改善压缩空气之泄漏可为客户节省电费成本。假设一工

厂空气压缩机功率为 75kW，每度电 (KWhr) 费用为港币

1.14 元，一年因泄漏多花之电费约为：

75kW x 24 小时 x 365 日 x 20% x HK$1.14 = HK$149,796

SMC 提供以下省能方案，能有效地减少压缩空气消耗，节省金钱。

节能方案 (节省压缩空气消耗量)

一般工厂用於空气压缩机之耗电量约占全厂用电量 20% (图1),

而其中因泄漏而损失之压缩空气占总消耗量 20% (图 2) 。

有效地改善压缩空气之泄漏可为客户节省电费成本。假设一工

厂空气压缩机功率为75kW，每度电(KWhr) 费用为港币

1.14元，一年因泄漏多花之电费约为：

75kW x 24 小时 x 365 日 x 20% x HK$1.14 = HK$149,796

SMC 提供以下省能方案，能有效地减少压缩空气消耗，节省金钱。

(图1)

(图2)

用电量

空气消耗量

其他

冷却剂 吹气

漏气

空气 执行元件

VMG系列

喷咀

带外螺纹喷咀

带外螺纹低噪声喷咀

配管引出方向

主体颜色

连接尺寸

喷枪

笔型吹风喷枪

XT34-153 系列

・聚氨脂螺旋管

・带挂钩

ø1.8

管外径 : ø6mm

最大使用长度: 2 m

114 mm

按键行程:1.5 mm

喷咀口径

按 制 聚氨脂螺旋管

带 挂 钩

应用例

型号

使用流体

操作压力范围

环境及流体温度

喷咀口径

按制行程

质量(已带接咀及软管)

XT34-153

压缩空气

0.1 to 1.0 MPa

ø1.8

0 to 60°C

(未冻结)

1.5 mm

158 g

注)笔本体:黄铜,表面镀镍

共同规格

9

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

AR10-A/

AR20-B~AR60-B

新款减压阀

AR20-B AR40-B

Rc1/8

压缩空气

-5~60°C(未冻结)

1.5 MPa

1.0 MPa

0.05~0.7MPa (AR10-A),

0.05~0.85MPa (AR20-B~AR60-B)

溢流型

压力表连接口径

使用流体

环境及使用流体温度

耐压

最高使用压力

设定压力范围

构造

共同规格

AF20~40-A

新款过滤器

共同规格

使用流体

环境及使用流体温度

最高使用压力

设定压力范围

压缩空气

-5~60°C(未冻结)

AF800·900

大流量型空气过滤器

AF800 AF911

共同规格

型号

接管口径

最高使用压力

水杯材质

水杯容量

过滤精度

环境及流体温度

AF900

1 2

AF800

· 1 11 4 2

1.0MPa

标准: 5µm 准标准品:2,10,20,40,

45cm3

聚碳酸酯

-5~60°C(未冻结)

70,100µm

AMG150C ~ 550C AMG650, 850

AMG

新型水份分离器

共同规格

使用流体

最高使用压力

最低使用压力

保证耐压力

滤芯寿命

环境使用流体温度

水滴去除率注

2年或压力降达 0.1 MPa 时

压缩空气

带自动排水器时最低使用压力为0.1MPa(N.O.式), 0.15MPa(N.C.式)。

水滴分离器的除水率比主管路过滤器高，比干燥器低，但价格比干燥器便宜，又不需要电源，

安装空间比干燥器小，适合不能采用干燥器的情况下使用。

*

暂时没有组装订货，

如果订购请分开订

购后自行组装

可同三联件一起连接

水滴分离器 AF-A系列

过滤器

AF-B系列

调压阀

水滴消除率99%

通过压缩空气驱动旋转使水滴形

成离心运动去除水滴

通过离心运动去除水滴

水滴

型式

压缩空气

1.5MPa

1.0MPa

－5～60℃(不结冰)

99%

注1）本公司测定条件。额定流量时的水滴去除率。

本产品为水滴去除的产品、非湿气(水蒸气)去除的产品。不符合额定流量的使用时、水滴去除率会下降。

注2）P1=0.7MPa时。超过额定流量动时、贮留的冷凝水会被卷扬有向2次侧流出的可能性、请注意。

共同规格

管连接口径

使用流体

保证耐压力

周围温度及使用流体温度

水滴去除率

最高使用压力

注

注

冷凝水贮留量

额定流量

AF20-A-X2729

1/8、1/4

8

600

AF22P-050AS

AF30-A-X2729

1/4、3/8

25

1400

AF32P-050AS

AF40-A-X2729

1/4、3/8、1/2

45

2000

AF42P-050AS

AF40-06-A-X2729

3/4

45

2000

托架配件型号(任选项) AF42P-070AS

水滴消除率：99%

无滤芯结构削减更换滤芯的成本及工时

AF20/30/40-□□□-□-A-X2729

水滴分离器 新

AFM20~40-A/

AFD20~40-A

新款油雾分离器/微雾分离器

AC20~60-B

空气组合元件

AW10-A/

AW20-B~AW60-B

新款过滤减压阀

过滤器和减压阀一体化、省空间、省配管。

AW20-B

AW40-B

型号 AW10-A AW20-B AW30-B AW40-B AW40-06-B AW60-B

压力表连接口径 Rc1/8

使用流体

环境及使用流体温度

耐压

最高使用压力

设定压力范围

过滤精度

冷凝水贮留量(cm³)

杯材质

减压阀构造

2.51 8 25 45

压缩空气

-5~60°C(未冻结)

1.5 MPa

1.0 MPa

0.05-0.7MPa 0.05~0.85 MPa

溢流型

5 µm

聚碳酸酯

共同规格

共同规格

压缩空气

1.5 MPa

0.05~1.0 MPa

AFM:0.3 µm / AFD:0.01 µm

聚碳酸酯

使用流体

环境及使用流体温度

耐压

使用压力范围

过滤精度

杯材料

-5~60°C(未冻结)

AFM20-A AFD20-A

共同规格

0.05 ~ 0.85MPa (AC20 ~ 60)

最高使用压力

-5~60°C(未冻结)

溢流型

环境及使用流体温度

过滤精度

调压范围

结构

气源处理

10

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

EZ-1

新款可调电子时间制

安装容易

LED显示操作状态

排放周期及时间均可调校

半导体时间制操作，寿命特长、可靠性高

可配装2通2位过水电磁阀用作过滤器排水用

共同规格

型号

排放周期

排放时间

手动测试开关

供应电压

耗电量

保护

外壳材料

接触

指示器

EZ-1

0.5 ~ 45 分钟

0.5 ~ 10 秒

有

24 ~ 240VAC/DC (±10% 50/60Hz)

最高 4mA

IP65 标准 (安装后)

ABS 橡胶 FR 级别

DIN43650A ISO 4400/6952

开/关讯号以两点黄色 LED 指示灯显示

型号

ARX

新款减压阀 共同规格

•

•

•

•

•

可用于调整小型压缩机压力

体积小

活塞型

适用于吹气用途

小型减压供应压力最高2.0MPa

压力使用形式

调整压力范围

减压阀构造

溢流结构

接管口径

最高使用压力

环境与流体温度

托架型号

安装螺母型号

标准型 低压型

低压型

活塞式

(未冻结)

0.05 ~ 0.85MPa

2.0MPa

1348112

1348110A

5 ~ 60

0.05 ~ 0.3MPa

1/8 1/4 1/8 1/4

AF-X425

高压过滤器

SMC型号 接管口径

AF20 -02 -2-A -X 425 Rc1 /4”

AF30 -03 -8-A -X 425 Rc3 /8”

AF40 -04 -8-A -X 425 Rc1 /2”

AF50 -06 -8-A -X 425 Rc3 /4”

AF60 -10 -8-A -X 425 Rc1 ”

高压用 2MPa (20bar)

共同规格

使用流体 压缩空气

环境及使用流体温度

耐压

最高用压力

5 ~ 60 (未冻结)

3.0 MPa

2.0 MPa

AR-X425

高压减压阀 共同规格

使用流体 压缩空气

环境及使用流体温度

耐压

最高用压力

设定压力范围

压力表连接口径 Rc1/8

5 ~ 60 (未冻结)

3.0 MPa

2.0 MPa

0.1 ~ 1.7 MPa

接管口径

A R20 -02-B -X 425

A R30 -03-B -X 425

A R40 -04-B -X 425

A R40 -06-B -X 425

A R50 -10-B -X 425

A R60 -10-B -X 425

Rc1 /4”

Rc3 /8”

Rc1 /2”

Rc3 /4”

Rc1 ”

Rc1 ”

SMC型号

AW-X425

高压过滤减压阀 接管口径

AW 20 -02 B G-2-B -X 425

AW 30 -03 B G-8-B -X 425

AW 40 -04 B G-8-B -X 425

AW 40 -06 G-8-B -X 425

AW 60 -10 G-8-B -X 425

Rc1 /4”

Rc3 /8”

Rc1 /2”

Rc3 /4”

Rc1 ”

共同规格

使用流体 压缩空气

环境及使用流体温度

耐压

最高用压力

设定压力范围

压力表连接口径 Rc1/8

-5 ~ 60 (未冻结)

3.0 MPa

2.0 MPa

0.1 ~ 1.7 MPa

SMC型号

ADH

高负载型自动排水器

共同规格

型号

使用流体

接管口径

排水型式

最大排水量

保证耐压力

最高使用压力

最低使用压力

环境及流体温度

自动排水阀型式

・浮子式设计，不需要电源操作，不会浪费压缩空气

・可靠、耐用、适合水质带污垢的情况下操作

・不会受背压影响，适合集中排水用

・排水量大(400cc/min)

・内置手动开关，操作及维修容易

注1) 压缩空气流量不能少于

注2) 不包括腐蚀气体、易燃气体及有机溶剂

压缩空气

浮子式

常开(在无压力下阀门打开)

(水在压力 0.7MPa 的情况下)

ADM

电动式自动排水器

1.0MPa

AC220V 50Hz

4W

出口:Rc3/8

-5~60℃(未冻结 )

使用流体

最高使用压力

环境和流体温度

电源

耗电量

接管口径

ADM200-045 ( )

ADM200-045-4 1/2 3/8 ADM200-045-6

ADM200-045-8

3.7-37kw

37-75kw

75-110kw

220-370kw

共同规格

型号 接管口径Rc(PT)

入口 出口

动作频率

及排水时间

规格

适用

压缩机

标准 每分钟1次，每次2秒

每分钟2次，每次2秒

每分钟3次，每次2秒

每分钟4次，每次2秒

压缩空气

入口:Rc3/8 · 1/2

自动排水，不需人手操作，

防尘、耐用可靠。

AD202 • 402 • 400 • 600

自动排水器

共同规格 AD402-04D-A

AD402-04D-A

保证耐压力

最高使用压力

环境及流体温度

接管口 Rc(PT)

排水口 Rc(PT)

手动开关

型号

有 有 有

气源处理

11

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

缸径 (mm)

使用流体

动作方式

最低使用压力

最高使用压力

环境和流体温度

杆端螺纹

缓冲

行程公差 (mm)

* 给油

使用活塞速度

接管口径

* 如给油，请用透平 1 号油 ISOVG32。

压缩空气

不需要

无

内螺纹(标淮) 外螺纹(任选)

双动

单作用：弹簧压回/弹簧压出

带磁性开关: 无磁性开关:

10 16 20 25 32 40 50 63

动作方式 双作用

压缩空气

0.8MPa

0.2MPa 0.1MPa

M5 x 0.8 1/8 1/4 3/8 1/2

5~60°C

不需要

100~1000mm/s(带缓冲器为100~1500)

1000以下+1.8

0

1001~3000以下+2.8

0 2700以下 +1.8

0 2701~5000 +2.8

0

橡胶缓冲 气缓冲/带液压缓冲器（可选）

使用流体

最高使用压力

最低使用压力

环境和流体温度

*润滑

活塞速度

行程公差(mm)

缓冲

接管口径(Rc)

缸径(mm) 80 100

* 如需要润滑，请用透平1号油ISO VG32。

·由于无杆侧缸盖与缸筒的一体化构造，

全长缩短且轻量化。

气缸 CG1

双作用单杆

双作用双杆

双作用单杆

双作用双杆

双作用单杆

双作用单杆

双作用单杆

形式 系列 动作方式 缸径（mm）

CG1-Z

CG1W-Z

CG1K-Z

CG1KW-Z

CG1R-Z

CG1KR

CG1□Y-Z

20,25,32,40,50,63,80,100

20,25,32,40,50,63,80,100

20,25,32,40,50,63

标准型

杆不回转型

直接安装型

平稳运动

直接安装/杆不回转

* 如需要润滑，请用透平1号油ISOVG32。

32

动作方式 双作用

压缩空气

1.5MPa

1.0MPa

0.05MPa

不带磁性开关: -20 ~ 70°C (未冻结)

带磁性开关: -10 ~ 60°C (未冻结)

不需要

50~1000mm/s 50~700mm/s

~250：+1.0 0 ，251~1000：+1.4 0 ，1001~1500：+1.8 0 ，1501~2000：+2.2

0

两端气缓冲及橡胶缓冲 两端气缓冲

使用流体

保证耐压力

最高使用压力

最低使用压力

环境和流体温度

*润滑

活塞速度

行程公差(mm)

缓冲

接管口径(Rc)

缸径(mm) 40 50 63 80 100 125

G 1/8 G 1/4 G 3/8 G 1/2

欧洲标淮气缸 C96 · ø32 ～ ø100整体重量减少可达17%

· 橡胶缓冲可使行程伸出/退回到末端，

因而减少产生撞击声

· 整合气缓冲及橡胶缓冲设计，

可缩短缓冲时间

·由于无杆侧缸盖与缸筒的一体化构造，

全长缩短且轻量化。

新款薄型气缸 CQS

机械结合式无杆气缸 MY1B

-10°C ~ +60°C -10°C ~ +70°C

+1.0

0

12 16 20 25

0.07MPa

1.0MPa

50 ~ 500mm/s

M5 x 0.8

0.05MPa

共同规格

共同规格

共同规格

共同规格

标准型气缸 CS2

* 如给油，请用透平 1 号油 ISOVG32。

缸径 (mm)

使用流体

动作方式

最高使用压力

最低使用压力

环境和流体温度

活塞速度

缓冲

行程长度公差 (mm)

接管口径 (Rc)

双作用

压缩空气(不给油*)

橡胶缓冲/气缓冲

气缸 CA2

·由于是方形缸盖、拉杆型的标准，

质量与CA1系列相比实现减少15%。

双作用单杆

双作用双杆

双作用单杆

双作用双杆

双作用单杆

双作用单杆

形式 系列 动作方式 缸径（mm）

CA2-Z

CA2W-Z

CA2K

CA2KW

CA2□Q

CBA2

标准型

杆不回转型

低摩擦型

端锁型

40,50,63,80,100

40,50,63

40,50,63,80,100

双作用

形式 系列 动作方式 缸径（mm）

标准型(滑动轴承)

标准型(球轴承)

标准型(高精度球轴承)

气缓冲型(滑动轴承)

气缓冲型(球轴承)

气缓冲型(高精度球轴承)

防水型(滑动轴承)

MGPM-Z

MGPL-Z

MGPA-Z

MGPM-AZ

MGPL-AZ

MGPA-AZ

MGPMR-Z

12,16,20,25,32,40

50,63,80,100

16,20,25,32,40

50,63,80,100

20,25,32,40,50,63,80,100

薄型带导杆气缸 MGP

标淮气缸(双作用) CM2

·此款气缸只能更换活塞杆密封圈，

其馀不能换。

·通常惯用于机械手摆动动作上。

缸径 (mm)

使用流体

动作方式

最高使用压力

最低使用压力

活塞速度

缓冲

行程公差 (mm)

接管口径 (Rc)

压缩空气

双作用

气缓冲

0.97 MPa

0.05 MPa

50 ~ 500 mm/s

~250: , 251~1000: , 1001~1500: +1.0

0 +1.4

0 +1.8

0

½ ½ ¼

20

125 140 160

25 32

1.0 MPa

0.05 MPa

50 ~ 750mm/s

无磁性开关: -10°C ~ 70°C 带磁性开关: -10°C ~ 60°C

+1.4

0

1/8 1/8 1/8 1/4

40

共同规格

共同规格

共同规格

共同规格

驱动元件

12

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

类型 系列

小型

小型·带防尘罩

标准

长行程

带防尘罩

MHZA2-6

MHZAJ2-6

MHZ2

MHZL2

MHZJ2

6

6

6,10,16,20,25,32,40

10,16,20,25

6,10,16,20,25

缸径(mm)

直线导轨平移型气爪 MHZ□2

摆台 MSQ

·安装台和摆动气缸一体化。

·带角度调整结构。

·负载安装、本体安装时的定中心容易。

·可选择内置液压缓冲器型和带外部

缓冲器型。

双叶片

形式 系列 叶片形式 尺寸 摆动角度

高精度型

基本型

带外部

缓冲器

MSQA

MSQB

MSQ□□L

MSQ□□H

1,2,3,7,10,20,30,50

1,2,3,7,10,20,30,50,70,100,200

0~190°

10,20,30,50 90°,180°

形式 系列 动作方式 缸径（mm）

安装高度固定型

安装高度可调型

RSQ

RSG

双作用

双作用内置弹簧

单作用弹簧压出

双作用

双作用内置弹簧

单作用弹簧压出

12,16,20,32,40,50

40,50

止动气缸 RSQ/RSG ·具有丰富的种类，可结合需求选择，

实现传送带的自动化，省力化。

形式 系列 动作方式 缸径（mm）

标准型

杆不回转型

低摩擦型

端锁型

MB-Z

MBW-Z

MBK

MB□Q

MBB

双作用单杆

双作用双杆

双作用单杆

双作用单杆

双作用单杆

32,40,50,63

80,100

32,40,50,63

80,100

气缸 MB

· 由于是方形缸盖，拉杆型的标准，

与CA1系列相比，可吸收的动能，

约提高30%。

12,16,20,25,32,40,50,63,80,100

125,140,160,180,200

32,40,50,63,80,100

12,16,20,25,32,40,50,63

20,25,32,40,50,63,80,100

形式 系列 动作方式 缸径（mm）

标准型

大口径

长行程

杆不回转型

端锁型

CQ2-Z

CQ2W-Z

CQ2-Z

CQ2W-Z

CQ2-Z

CQ2K-Z

CQ2KW-Z

CBQ2

双作用单杆

双作用双杆

双作用单杆

双作用双杆

双作用单杆

双作用单杆

双作用双杆

双作用单杆

·适合空气切断时的落下防止带锁气缸。

(单方向锁紧)

薄型气缸 CQ2

共同规格

共同规格

共同规格

共同规格

共同规格

驱动元件

双作用

形式 系列 动作方式 缸径（mm）

标准型 CJ5·S

CG5·S

10,16

20,25,32,40,50,63,80,100

·对应在食品机械等水滴飞溅的环境中使用。

不锈钢气缸 CJ5/CG5

形式 系列 动作方式

基本型

带气缓冲

带端锁

双出杆型

CXS

CXS

CXS

CXSW

缸径(mm)

6,10,15,20,25,32

20,25,32

6,10,15,20,25,32

双作用

双联气缸 CXS

·具有薄型、紧凑、高精度的导向功能，适用于

拾放工作。

形式 系列 动作方式 缸径（mm）

标准型

MNB

MNBW

双作用单杆

双作用双杆

32,40,50,63

80,100

锁紧机构

弹簧锁紧

带锁气缸 MNB

·适合中间停止、非常停止、

落下防止的带锁气缸。 (双方向锁紧)

类型 系列 缸径(mm)

标准

带防尘罩型

通孔型

带防尘罩+通孔型

长行程

MHS3

MHSJ3

MHSH3

MHSHJ

MHSL3

16,20,25,32,40,50,63,80,100,125

16,20,25,32,40,50,63,80

16,20,25,32,40,50,63,80,100,125

滑动导轨方式3爪型气爪 MHS3

标准 长行程 带防尘罩型 通孔型

双作用

形式 系列 动作方式 缸径（mm）

两侧配管型

低推力高刚性型

单侧配管型

高度互换型

MXQ□A

MXQ□B

MXQ□C

MXQ

6,8,12,16,20,25

6,8,12,16,20

8,12

6,8,12,16,20,25

·导轨和滑台一体化。

·由于采用了循环式直线导轨，

故实现了高刚性、高精度。

气动滑台 MXQ

共同规格

共同规格

共同规格

共同规格

共同规格

13

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

共同规格

机械结合式无杆气缸(基本型) MY3A (短型) / MY3B (标淮型)

·适用于横移式机械手

·与MY1B相比较，高度最多可减少36%，

总长最多可缩短140mm，

重量最多可减轻53%。

最大吸收能量(J)

最大冲击速度

最高使用频度

(cyle/min)

型号

缸径 (mm)

液压缓冲器

型号

行程微调范围 (mm)

H单元

L单元

缸径 (mm)

使用流体

动作方式

使用压力范围

环境及液体温度

缓冲

行程长度允差 (mm)

配管口径

压缩空气(不给油)

双作用

使用活

塞速度

(mm/s)

MY3A

16 25 40 63 16 25 40 63

RB0806 RB1007 RB1412 RB2015

RB0806 RB1007 RB1412 RB2015 RB2725

0.84 2.4 10.1

1000mm/s

29.8 46.6

80 70 45 25 10

RB1007 RB1412 RB2015

0 ~ -10 0 ~ -12 0 ~ -16

RB2725 0.15 ~ 0.8MPa

M5x0.8 1/8 1/4 3/8

80 ~ 500

80 ~ 1000

80~1000(ø16L 单元; 80~800)

80 ~ 1500

5 ~ 60°C

垫缓冲(MY3A) /气缓冲(MY3B)

MY3B

MY3B

无行程

调整单元

使用外部

缓冲器

L,H单元

~1000+1.8

0 1001~+2.8

0

MY3A

MY3B

行程调整单元用液压缓冲器 (仅MY3B)

液压缓冲器规格

真空用气缸 ZCUK

适用真空吸盘

外螺纹 (只限垂直式内螺纹吸盘ZPT系列) 直接安装吸盘 (只限吸盘带锁坏ZP系列)

气缸

吸盘直径 (mm) 螺纹

直径

吸盘 (ZPT02 ~ 50□□ - B4 ~ 10)

吸盘直径 (mm)

吸盘 (ZP02 ~ 50□□)

型号 缸径

(mm)

气缸

型号 缸径

(mm)

10

16

20

25

32

10

16

20

25

32

2 4 6 8 10 13 16 20 25 32 40

M4x0.7

M5x0.8

M6x1.0

M8x1.25

M10x1.25

50 2 4 6 8 10 13 16 20 25 32 40 50

ZCUKC

ZCUKQ

ZCDUKC

ZCDUKQ

ZCUKD

ZCUKR

ZCDUKD

ZCDUKR

新款磁石吸附气缸 MHM

共同规格

·无需介意加压方向，双方向都可低摩擦驱动。

·带磁性开关

CDQ2Y系列:CDQ2Y

CDM2Y系列:CDM2Y

CDG1Y系列:CDG1Y

CDA2Y系列:CDA2Y

平稳运动气缸 CQ2Y/CM2Y/CG1Y/CA2Y

CM2Y

CA2Y CG1Y

CQ2Y

形式 系列 动作方式 缸径（mm） 最低使用压力（MPa）

薄型气缸

气缸

气缸 双作用

气缸

CQ2Y-Z

CM2Y-Z

CG1Y-Z

CA2Y-Z

32、40

50、63、80、100

20、25、32、40

20、25、32、40

50、63、80、100

40

50、63、80、100

0.02

0.01

0.02

0.02

0.01

0.02

0.01

保持力调整型

中央安装型 基本型

共同规格

低碳钢板，吸着面全部覆盖状态保持时的理论保持力(参考值)。

不使用真空, 可搬送钢板。

对应有孔，凹凸及复杂

形状的工作物。

即使切断空气源, 也可保持工作物。

2 面可安装磁簧开关。

落下防止

保持力(吸着力)可调整。

防止工作物的

变形, 2板同时

吸着。

吸着力:小

吸着力:大

保持力调整用调整螺栓

保持力调整型

应用例

利用磁石可做重量物

的吸着・保持

(ø50, 工作物厚度 6mm 时)

保持力

最大1000N

驱动元件

14

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

大型叶片式摆动气缸

CRB1 系列

共同规格

驱动方式

标准

非标准

缸径

摆动角度

使用流体

使用压力范围

转速调整范围

允许动能

轴负载重 横向负载

轴向负载

接管口径

磁性开关

单叶片驱动 双叶片驱动

压缩空气(不给油)

叶片式摆动气缸

CRB2 系列

共同规格

缸径

使用流体

最高使用压力

最低使用压力

环境及流体温度

转速可调范围

无缓冲垫

允许轴负载

连接螺纹

转速范围数据是在没有负载情况下。另外速度太慢(如超过

角度两端是有缓冲垫，但如果转不到未端(在中间被东西挡着)就是无缓冲垫。

压缩空气(不给油)

(未冻结)

横向

有缓冲垫

允许

动能

单

片

式

轴向

秒 )有可能不动作。

注

注

摆台(叶片式摆动气缸)/基本型

MSUB 系列

最适合在机械手上使用。

重量轻、体积小的摆动气缸。

加大滑动轴承，负载比

多面安装设计。

两端角度 单叶片

意调节。

双叶片

系列大 至 倍

可任

共同规格

摆台与小型叶片式摆动气缸对照表

摆台 小型叶片式摆动气缸

单叶片 可调整角度 两端调整

两端调整

两端调整

可调整角度

可调整角度

单叶片

双叶片

轴承

压缩空气(不给油)

单叶片 双叶片 单叶片 双叶片 单叶片 双叶片 单叶片 双叶片

本体侧面/轴向

双作用

型号

动作方式

叶片形式

摆动角度

使用流体

环境和流体温度

使用压力范围

摆动时间调整范围

轴承

供气口位置

接管口径 本体侧面

轴向

线性导轨薄型气缸

MXZ 系列 长度

高

度

宽度

共同规格

缸径(mm) 12 16 20 25

操作通口 M3×0.5 M5×0.8

使用流体 压缩空气

动作方式 双作用型

使用压力 0.1～0.7MPa

保证耐压力 1.05MPa

环境温度及使用流体温度 5～60℃

使用活塞速度（平均速度） 50～500mm/s

缓冲 垫缓冲

给油 无给油

磁性开关 无触点磁性开关（2线式、3线式）

行程长度的允许差 ＋1.3～0mm（无加压时）

※行程长度的允许差不含缓冲器的变化量。

气动滑台

MXQA系列

共同规格

缸径

动作方式

使用流体

耐压力

使用压力范围

环境和流体温度

缓冲(无行程调节器)

缓冲(带行程调节器)

润滑

行程公差

使用速度范围

(平均动作速度)

磁性开关

接管口径

无触点磁性开关

不需要

带金属限位器

内部橡胶缓冲

标准行程栏中带有

带金属限位器

(未冻结)

尾端带锁

压缩空气

符号的速度范围为

橡胶限位器 油压缓冲器

线式 线式

双作用

驱动元件

15

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

驱动元件

其他元件

10 100

2

-XC4

5

4

3

2

1

0

4

-XC4

4

CM2

ø20 ø40

CG1

ø20 ø100

CA2

ø40 ø100

CQS

ø20 ø25

CQ2

ø32 ø100

MXQ A

ø6 ø25

MGP

ø20 ø100

CXS

ø6 ø32

RoHS

RoHS

RoHS

RoHS RoHS RoHS

RoHS RoHS

( ) RB

( ) RJ

16

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

驱动元件

共同规格

气缸 JCM・与现有CM2系列 ø40 x 50mm 相比,全长缩短,最多97mm,

质量最多减少54％(0.69kg→0.32kg)。

・有多种缸盖形状可选。

・接管口径: 可选择M5 x 0.8 或 Rc1/8

・杆前端安装形式可选

・带磁性开关(JCDM系列)

缸径 (mm) 20 25 32 40

使用流体 压缩空气

动作方式 双作用

保证耐压力 1.0MPa

最高使用压力 0.7MPa※2

最低使用压力 0.05 MPa

环境和流体温度 5 ～ 60°C (未冻结)

给油 不需要

行程长度允差 +2.0

0 mm

使用活塞速度※※ 50 ～ 500 mm/s※1

缓冲 橡胶缓冲

允许动能 [J] 外螺纹 0.11 0.18 0.29 0.52

内螺纹 0.11 0.18 0.18 0.52

※ 请勿超出允许动能范围使用。

※ 1)最高使用压力、使用活塞速度与现有产品 CM2 系列不同。

共同规格

薄型气缸 JCQ

压缩空气

双作用

不需要

橡胶缓冲

内螺纹

※ 1)最高使用压力、使用活塞速度与已有产品（CQ2系列）不同。

・紧凑型,与现有CDQS系列ø25 x 10mm 相比,

全长缩短6.5mm、宽度减小6mm、高度减小4mm,

质量最多减小45％ (150g→82g),容积最大减小40％。

・带磁性开关(JCDQ系列)。

12 16 20 25 32 40 50 63 80 100

动作方式

使用流体

保证耐压力 1.0MPa

最高使用压力 0.7MPa 1

最低使用压力 0.07MPa 0.05MPa

环境和流体温度 5~60

给油

使用活塞速度 ※ 50~500mm/s 1 50~300mm/s 1

缓冲

允许动能 J 0.022 0.038 0.055 0.09 0.15 0.26 0.46 0.77 1.36 2.27

杆端螺纹

行程长度允差 1.3

0 mm

缸径 (mm)

气缸 JMB

・追加中间尺寸 ø45、ø56、ø67、ø85。

省空气、省空间。

・与现有MB系列 ø50 x 100mm 相比,全长缩短 27mm,

质量最多减小30％ (1.43kg→1.00kg), 省空气 最多减少29％。

・ 通过选择合适的尺寸可减少空气消耗量。

・减少作业工时,采用无需调节的气缓冲方式。

・带磁性开关(JMDB系列)。

共同规格

压缩空气

双作用

不需要

气缓冲不可调+橡胶缓冲

※ 1)最高使用压力、使用活塞速度与已有产品（MB系列）不同。

32 40 45 50 56 63 67 80 85 100

动作方式

使用流体

保证耐压力 1.0MPa

最高使用压力 0.7MPa

1/8 1/4 3/8

1

最低使用压力 0.05MPa

环境和流体温度 5~60

给油

使用活塞速度 ※ 50~500mm/s 1

缓冲

接管口径（Rc NPT G）

行程长度允差 2.0

0 mm

缸径 (mm)

、 、

17

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

带锁薄形导杆气缸 MLGP

应用实例

· 全行程、

· 小型磁性开关可直接安装

· 安装尺寸 性能 强度（刚性）与

现有产品MLGP相同

· 防止压力低下 残压排气时的落下

· 重量最大削减17% 导杆最大缩短22mm

任何位置都可停止

、 、

、

、

共同规格

注) 气压缸驱动用空气与锁定开放用空气不共用，最低作动压力为0.15MPa。

(气压缸单体的最低作动压力为0.15MPa。)

缸径 (mm) 20 25 32 40 50 63 80 100

动作方式

使用流体

保证耐压力

最高使用压力

最低使用压力

活塞速度

环境和流体温度

缓冲

润滑

行程公差 (mm)

接管口径

双作用

压缩空气

1.5MPa

1.0MPa

0.2MPa 注)

-10 ~60℃（未冻结）

50 ~ 400mm/s

橡胶

不需要

+1.5 0

1/8 1/4 3/8

锁定规格

注)保持力（最大静载重)所示为最大能力，但不是常用的保持的能力。

缸径 (mm) 20 25 32 40 50 63 80 100

锁定动作方式

锁定开放压力 0.2MPa以上

锁定开始压力 0.05MPa以下

锁定方向

最高使用压力

一方向(前进方向锁定、後退方向锁定)

锁定开放孔接管口径

保持力(最大静载重)(N)注)

1.0MPa

M5×0.8 1/8 1/4

157 245 402 629 982 1559 2513 3927

弹簧锁定(排气锁定)

压入治具等的防止落下 升降时的防止落下夹

锁

夹紧状态的保持

锁

锁

滑台气缸 MXJ・

・高精度

・磁性开关与调整器可以同一面安装。

・可以短间距安装

小型 轻量 、共同规格

MXJ12 MXJ16

接管口径

使用流体

动作方式

使用压力注1）

保证耐压力

环境和流体温度

活塞速度（平均速度）

缓冲（无调整器时）

缓冲（附调整器时）

润滑

磁性开关

行程公差 (mm)

缸径（mm） 12 16

型式

、

、

、

、

M5×0.8

压缩空气

双作用

0.1~ 0.7MPa

1.05MPa

–10~60℃

橡胶

金属挡块 附缓冲金属挡块、

橡胶挡块 油压缓冲器

无接点磁性开关（2线式 3线式）

2色显示式无接点磁性开关（2线式 3线式）

不需要

50~500mm/s

（金属挡块时：50~200mm/s）

（附缓冲金属挡块时：50~300mm/s）

＋2~0mm（无加压时）

带导杆薄型气缸 JMGP・与现有MGP-Z系列ø16 x 10mm 相比,外形紧凑全长缩短30.5mm，高度降低16mm,

质量最多减小69％ (0.32kg→0.1kg)。

・可从三个方向安装。

上面安装、下面安装、底面安装

・可从4个方向配管。

・可安装无触点磁性开关D-M9□型。

・用于搬运线的推动、抬升及加紧等工序。

共同规格

压缩空气

双作用

不需要

橡胶缓冲

※ 1)最高使用压力、使用活塞速度与已有产品（MGP系列）不同。

32

(ø10x2)(ø12x2)(ø16x2)(ø20x2)(ø25x2)(ø32x2)(ø40x2)(ø45x2)(ø56x2)(ø71x2)

40 45 50 56 63 67 80 85 100

动作方式

使用流体

保证耐压力 1.05MPa

最高使用压力 0.7MPa 1

最低使用压力 0.15MPa

环境和流体温度 5~60

给油

使用活塞速度 ※ 50~300mm/s 1 50~250mm/s 1

缓冲

行程长度允差 1.5

0 mm

缸径 (mm)

驱动元件

18

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

宽度型平行开闭型气压夹爪 MHL2・重量最大10%削减

・追加耐粉尘环境（订制品:-X85, -X86□）

・追加附闭宽度调整用螺栓（订制品:-X28）

・小型磁性开关可直接安装

・与现有品性能、安装有互换性

・微小粉体环境下耐久性4倍

・依油脂保持（润滑保持环）的2处配置

・活塞杆表面形成润滑膜，使耐久性提升

・防止粉体，异物混入

・在一般环境下也有作动次数提升的效果

共同规格

轻巧型双杆气缸(附润滑保持功能) CXSJ

6 10 15 20 25 32

使用活塞速度

最低使用压力

上记以外的规格

缸径 (mm)

紧凑型气缸 CJ2-X3175

四角形气缸 CU-X3160

10 16 20 25 32 40

动作方式

使用压力MPa

环境和流体温度

重复精度

润滑

注）0.5MPa时,夹持压力N

缸径（mm)

使用流体 压缩空气

双作用

不需要

−10～60℃（未冻结）

± 0.1

注）夹持位置、缸径10,16,20,25为40mm、缸径32,40为80mm。

共同规格

0.15~0.6 0.1~0.6

14 45 74 131 228 396

与标准品相同

50~700mm/s 50~600mm/s

（與標準品比較）

润滑保持环

粉体(异物）

（

活塞杆A

活塞杆B也有相同的配置

0.2MPa 0.15MPa 0.1MPa

50~800mm/s

削减27%

重量最大

短缩25%

全长最大

全长比较（15mm 行程 不带磁） （mm）

CJ2 现有产品 CJ2 缩短量 缩短率 (%)

10 67 89 22 25

16 69.5 90 20.5 23

重量比较 （g）

现有产品 CJ2

10 19 26 7 27

16 41 54 13 24

缸径（mm） 缸径（mm）

, （15mm 行程 ,不带磁）

CJ2 削减量 削减率(%)

※现有产品CM2、ø20, 50mm行程・平端，杆前端母螺牙的比较

59%削减 重 170g a 70g

23%缩短 24mma 18.4mm

宽

高 25%缩短 全长 132mma 99.5mm

10～100 µm

尺寸 （mm）

端盖外形尺寸（mm）

25

20

15

10

m15 m20 m25

端蓋外形尺寸縮小

出力

UP

CJ2B16

CM2B20

CU-X3160

・现有产品的降一级端盖尺寸，但出力UP

・采用四角活塞，实现小型・轻量

现有产品

CM2系列

气缸断面形状

四角形气缸

共同规格

缸径（mm） 10 16

双作用

压缩空气

1MPa

0.7MPa 1

0.06MPa

不带磁性开关：－10℃～70℃

带磁性开关：－10℃～60℃

橡胶缓冲

不需要

50~750mm/s

0.035J 0.090J +1.0

0 mm

动作方式

使用流体

保证耐压力

最高使用压力

最低使用压力

润滑

缓冲

活塞速度

行程公差

允许动能

环境和流体温度 （未冻结）

共同规格

注) 行程长度容许差，不包含缓冲垫的变化量。

尺寸 (mm) 20(ø20相当受压面积)

动作方式

使用流体

保证耐压力

最高使用压力

最低使用压力

活塞速度

环境和流体温度

缓冲

给油

行程公差 (mm)

容许运动能量

安装支持形式

双作用

压缩空气

1.0MPa

0.7MPa

0.05MPa

50~ 500mm/s

橡胶缓冲

基本型(2侧母螺牙安装型)

不需要(无给油)

+1.3 0 mm注)

0.11J

无磁性开关:5~70℃

附磁性开关:5~60℃(不结冰)

驱动元件

19

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

多角形活塞正方形缸 CDQ2B-X3162

30%削减 重

199 ga 139 g

※

13%缩短 宽 45mma 39mm

※

·采用多角形状的活塞，实现轻量小型化

11%缩短 全长 50mma 44.5mm

※

15%缩短 高 49.5mma 42mm

※

※CDQ2、 ø32, 10mm 行程的比较

气缸断面形状

多角形活塞正方形缸 现有产品CQ2系列

多角形活塞长方形缸 CDQ2B-X3164

30%削减 重 199 ga 139 g

※

13%缩短 宽 45mma 39mm

※

·采用多角形状的活塞，实现轻量·小型化

·高度尺寸相同。

·宽度·全长尺寸缩短。

11%缩短 全长 50mma 44.5mm

※

薄型带导杆长方形活塞气缸 MGPM-X3159 ※

·采用多角形状的活塞，实现轻量小型化

·安装板允许扭矩和横向载荷,允许动能与现有的MGP系列模型。

现有产品 长方形活塞型 MGPM系列

气缸断面形状

气缸断面形状

多角形活塞正方形缸 现有产品CQ2系列

型

共同规格

注) 行程长度容许差，不包含缓冲垫的变化量。

尺寸 (mm) 32(ø32相当受压面积）40(ø40相当受压面积) 50(ø50相当受压面积)

动作方式

使用流体

保证耐压力

最高使用压力

最低使用压力

活塞速度

环境和流体温度

缓冲

給油

行程公差 (mm)

容許運動能量

双作用

压缩空气

1.0MPa

0.7MPa

0.05MPa 注1)

5~60℃

50~ 500mm/s 50~ 500mm/s注1)

橡胶缓冲

不需要(无给油)

+1.3 0 mm注)

0.15J 0.26J 0.46J

共同规格

注) 行程长度容许差，不包含缓冲垫的变化量。

尺寸 (mm) 32(ø32相当受压面积） 40(ø40相当受压面积) 50(ø50相当受压面积)

动作方式

使用流体

保证耐压力

最高使用压力

最低使用压力

活塞速度

环境和流体温度

缓冲

給油

行程公差 (mm)

容許運動能量

双作用

压缩空气

1.0MPa

0.7MPa

0.05MPa 注1)

5~60℃

50 ~ 500mm/s 50 ~ 500mm/s注1)

橡胶缓冲

不需要(无给油)

+1.3 0 mm注)

0.15J 0.26J 0.46J

※1 CDQ2、 行程的比较

※2 CDQ2、

ø32, 30mm

ø32, 10mm 行程的比较

ø32, 25mm 行程的比较

ø32, 150mm 行程的比较

7%缩短 全长 100mm a 93mm

21%缩短 宽 48mm a 38mm

※1 ※1 37%削减 重 3.29kg a 2.07kg

※2

共同规格

尺寸 (mm) 25(ø25相当受压面积） 32(ø32相当受压面积)

动作方式

使用流体

保证耐压力

最高使用压力

最低使用压力

活塞速度

环境和流体温度

缓冲

给油

行程公差 (mm)

容许运动能量

允许的横向载荷（50行程）

双作用

压缩空气

1.05 MPa

0.7MPa

0.1MPa

5~60℃

50 ~ 500mm/s

橡胶缓冲

不需要(无给油)

+1.5 0 mm

0.18J 0.29J

5.0kg 16.7kg

驱动元件

※1 CDQ2、

※2 CDQ2、

20

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

定量泵(电磁阀)

LSP 系列

空气 水

1 MPa

1/4, 3/8

Rc, NPT

ø3.2 ø4.0 ø5.6 ø7.1 ø4.0 ø5.6 ø7.1

0.35 0.52 0.73 0.88 0.52 0.73 0.88

0.30 0.45 0.63 0.76 0.45 0.63 0.76

0.9 0.5 0.3 0.1 1.0 0.5 0.2

−10 to 60°C (压缩空气), 1 to 60°C (水)

−20 to 60°C

不锈钢 304 (SUS304)

NBR

额定电压 24 VDC, 120 VAC

容许电压波动 额定电压的±10%

容许泄漏电压 额定电压2%%/5%/5% 或少於

功率消耗直流/交流 6 W/7.5 VA 8 W/9.5 VA

接线方式 直接出线式 (DC), 导管式 (AC)

阀规格

电磁线圈

规格

阀结构

阀形式

适用流体

最高系统压力

接管口径

螺牙种类

断面

Cv值

Kv值

最高操作压差

流体温度范围

环境温度范围

阀体材料

密封件材料

系列 22系列 23系列

提升直接操作

常闭

压缩空气，水

JSX2 系列

22系列

流量: 20 L/min 23系列

流量: 30 L/min

阔度

1/4:40mm,

3/8:48mm

69 mm 78 mm

高度 高度

省空间

省能

可对应

多种环境 体积减少

11%

重量减少

22%

线圈驱动力

上升10%

备有不锈钢

阀体SUS304

耗电量减少

14%

符合IP67

规格

阔度

1/4:40mm,

3/8:48mm

共同规格

二通阀/XT34-313

三通阀/XT34-133

五通阀/XT34-312A

手动机械阀

XT34 系列

型号 XT34-313 XT34-133 XT34-312A

通口数 2 3 5

气动符号

(A)

2

1

(P)

12 10 12

(A)

2

1

(P) 3

(R)

10 14

(B)

2 (A)

4

3

(R2)

1

(P)

5 (R1)

12

使用流件 压缩空气

流体温度 0 to 60°C

环境温度 −5 to 50°C

使用压力范围 0 to 0.9 MPa 0 to 0.8 MPa 0 to 0.9 MPa

重量 32 g 38 g 64 g

共同规格

带感应功能单向阀

XT34-303-系列

・阀门完全关闭后才输出信号

・可以调节分配量

・稳定分配量

・关闭功能

・能感应阀门的开关状态

・备有规格

阀体规格 : 5款 接口规格 :

M5, G1/8, G1/4, G3/8, G1/2

特性

先导入气孔

M5 x 0.8(各规格相同)

气孔端接孔

阀端接孔

IN

12

4

5 1

2

3

4

5 1

2

3

1 21 2

1

21 2

回路实例

气缸安全控制

应用例

用于在机床门打开

时停止气缸运作

型号表示方法

XT34-303- 螺牙配管

M5

F01

F02

F03

F04

M5

G 1/8”

G 1/4”

G 3/8”

G 1/2”

使用流体

先导压力范围

使用压力范围 0.1～0.7MPa

周围温度及使用流体温度 -5～60o

C(不结冰)

压缩空气及惰性气体

使用压力50%以上(最少0.25MPa以上)

共同规格

控制元件

共同规格

型式

排出量调节范围 注1）

初期设定排出量 注1）

使用流体 注4）

接流体部材质

重复精度 注1）

排出压力 注2）

吸入压力

最大操作频率 注3）

流体温度

环境温度

安装方向

保护构造

质量

主体

隔膜

单向阀

干燥

湿润

水、脱离子水、稀释液、清洗液

PEEK, PP

EPDM, FKM

EPDM, FKM

±1％(但在5~15μL时为±2%)

2Hz（最小ON时间200msec／最小OFF时间300msec）

0 ～ 50℃ (不冻结）

0 ～ 50℃ (不冻结）

自由注5）

IP40 相当

90g(直接配管型)、85g(基板安装型）

15kPa

35kPa

10kPa

50～100μL

100 μ L

5～50μL

50 μ L

LSP11 1

2 1 LSP12 2

100～200μL

200 μ L

1 LSP13 2

直接配管型

基板安装型

注1) 上记的各项数据是在常温、清水和零水压的情况下得出。

注2) 此数据是在初期设定排出量处于常温及清水的情况下设定的，会依排放量和流体条件的变化而改变。

注3) 当泵长时间连续使用时，请在最小ON时间200msec条件下适当延长OFF时间，将动作频率设定在1Hz以下。

当在最大操作频率下使用时，由于周边温度和通电时间的原因线圈温度会升高，所以请适当延长OFF时间。

注4) 当使用清洗液等时，请选择适合的接流体部材质。另外，请预先检查其耐药品性。

注5) 建议垂直向下安装线圈便于排出气泡，以达到稳定排出的目的。

2通直动式电磁阀

21

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

·金属密封

·体积小流量大

·低耗电量1.8W DC

5通先导式电磁阀

VFS1000~6000

*

使用流体

使用压力范围

环境及流体温度

给油

保护构造

耐冲击／耐振动

压缩空气及惰性气体

-10 ~ 60˚C (未冻结)

不需要

防灰尘

150/50 m/s²

VFS1000

3位阀为 0.15 ~ 1MPa 0.1 ~ 1MPa ( )

* 给油时，使用透平 1 号油 ISOVG32。

共同规格

3通电磁阀/直动座阀式 VT

·直动式电磁阀。

·多种接管形式。

·可在真空中使用。

·集装型式: VV307, VV317,

VVT340, VVT341

VT307 0.71 0.25 0.17 4(标淮),1.8(低功耗)

VT317 2.6 0.34 0.67 6.0

VT325 6.1 0.37 1.6 12

-101.2kPa

系列

流体特性

b

消耗功率(W)

C[dm3/(s·bar)]

4/2→5/3 (A/B→EA/EB)

Cv

可真空使用

共同规格

·寿命2亿次(间隙密封)、

7000万次(弹性密封)

·插入式金属底板(IP40)/

插入式插头连接底板(IP67)

·配有底面配管型。省空间。

·集装型式: SS5Y3, SS5Y5

5通电磁阀 SY

SY3000

SY5000

SY7000

0.19

0.17

0.20

1.6

3.6

5.9

ø50

ø63

ø80

3.5(标准)

0.1(带节电回路)

系列

流体特性

b

适合缸径 消耗功率(W)

C[dm3/(s·bar)]

4/2→5/3 (A/B→EA/EB)

共同规格

·减低电力消耗

·使用寿命长: 5000 万次以上

·在先导阀中内置过滤网

·内置全波整流器

(只适用于 AC 线圈)

- 噪音减少

- 耗电减低:

由 5.6VA 改为 1.55VA

3 • 5通先导式电磁阀 VF

使用流体

环境及流体温度(˚C)

给油

耐冲击 (m/s2

)

保护构造

使用

压力

范围

(MPa)

最高操作频率

(Hz)

压缩空气

0.15 ~ 0.7

0.1 ~ 0.7

0.15 ~ 1.0

0.1 ~ 1.0

-10 ~ 50 (未冻结)

不需要

300/50

防尘(IP65；在 D,Y,T 式)

2位单电控/3位

2位双电控

2位单电控/3位

2位双电控

2位单/双电控

3位

标淮

高压型

10

—

型号 VF1000 VF3000 VF5000

10

3

5

3

共同规格

工件距离 1 米以下

1 单元 (1位)

无记号：L 型插座式

* 标淮

LO：L 型插座式

不带插头

M： M 型插座式

* 装拆插头时设

有 L 型方便。

MO： M 型插座式

不带插头

2 单元 (2位)

10 单元 (10位)

工件距离 1 米以上

型号选择 VQD1000—VCL— — 5 —X120

常闭型

位数

接线方式

电压

无记号

L 01

5 24 VDC

6 12 VDC

02

10

0.8 cm³

3.2 cm³

破坏真空之储气缸容量

(底板配管型)

4通真空/破坏电磁阀(常闭型)

VQD1000-VC

·体积小流量大

·重量轻

·可与SY电磁阀安装在

同一集装板上

5通气控阀 SYA

系列

流体特性

C[dm b Cv 3/(s·bar)]

4/2→5/3 (A/B→EA/EB)

SYA3000

SYA5000

SYA7000

适合缸径

0.30

0.29

0.27

1.1

2.8

4.5

0.26

0.66

1.1

ø40

ø63

ø80

共同规格

·可与空气组合元件模块式连接安装方便。

·低耗电量。

·通过切断供气，可进行低速供气和高速排气的启动阀。

缓慢启动电磁阀 AV2000~5000-A

型号

接管口径

使用压力范围

环境及流体温度

1(P) 2(A)

AV2000-A

1/4

2.4

2.5

AV3000-A

3/8

3.1

2.6

AV4000-A

1/2

5.1

3.2

3/4

12.6

9.2

1

13.7

AV5000-A

0.2 ~ 1MPa

0 ~ 50°C

2(A) 3(R)

共同规格

流量特点 (Cv)

5通先导式电磁阀／金属密封·橡胶密封

VQZ1000 • 2000 • 3000

(可提供使用压力 1.0MPa 操作)

共同规格 电磁线圈规格

控制元件

5 通先导式电磁阀／橡胶密封

SY3000~9000 (直接配管型)

共同规格

3通电磁阀/先导式·座阀式 VG ·N.C./N.O.或外部先导的变更简单。

·外部先导型可在真空中使用。

VG342 38 0.32 9.8 4.8 -101.2kPa

系列

流体特性

b

消耗功率(W)

C[dm3/(s·bar)]

2→3 (A→R)

Cv

可真空使用

共同规格

压缩空气 压缩空气

22

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

JSY1000/3000/5000 系列

轻巧5通口电磁阀 非插入式

流量提升且尺寸下降！

省空间．轻量化．

大流量化

JSY1000 JSY3000

JSY5000

系列图

36%

6.4mm10mm 削减 阀

宽幅

57% 质量 240g560g 削减

轻量 57% 削减

240g560g

470g870g

3.7

0.6

6.4 10 15 18

JSY3000 Series

JSY1000 Series

1.8

JSY5000 Series

既有品(SY5000)

1.9 倍

［ ・ ］



［ ・ ］



2.3倍

17%

削减

17%

削减

33%

削减

46%

470g870g 削减 960g1160g

10mm15mm 15mm18mm

・ 音速传导

阀寬幅(mm)

既有品(SY3000)

既有品(SY7000)

轻量 46% 削减

960g1160g

轻量 17% 削减

960g1160g

轻量 17% 削减

省空间 36%削减 容积

最大

57%削减 质量

最大

JSY1000

既有品（SY3000）

JSY3000

JSY5000

既有品（SY5000）

既有品（SY7000）

210

330

36%削减

460

640

28%削减

850

990

14%削减

240

560

470

870

960

1160

57%削减

46%削减

17%削减

容积(cm 质量(g) 3

)

6.4mm

590

320

110

ø20

ø32

ø50

100 300 500

A, B孔

接管口径：ø2, ø4, ø6

A, B孔

ø2, ø4, ø6

JSY1000

ø32 的气缸可以驱动

10mm

ø40

ø50

ø100

520

430

120

100 300 500

A, B孔

ø6, ø8

A, B孔

ø6, ø8

JSY3000

ø50 的气缸可以驱动

100 300 500

ø50

ø80

ø140

600

320

气缸速度(mm/s)

ø12 快速接头

气缸速度(mm/s)

ø8 快速接头

110

JSY5000

※气缸速度300mm/s时

ø80 的气缸可以驱动

15mm

A, B孔

ø8, ø10, ø12

A, B孔

ø8, ø10, ø12

气缸内径(mm)

气缸内径(mm)

气缸速度(mm/s)

ø6 快速接头

气缸内径(mm)

接管口径： 接管口径：

底座型号表示方法

1

3

5

系列

40

41

型式

横配管型

底配管型

外部气引导规格为订制品。

JJ5SY 3 40 05 D C6

02

20

阀连数

记号 连数

2连

20连

U

D

B

孔出口位置

选择孔的相反侧用塞头塞住。

两侧

D侧

U侧

F

N

螺牙的种类

无记号

孔管连接口径

螺牙配管

快速接头配管(公厘尺寸)

JSY1000 JSY3000 JSY5000

M3 ― ―

M5 ―

01 ―

02 ― ―

记号

JSY1000 JSY3000 JSY5000

C2 ø ― ―

C4 ø ― ―

C6 ø ― ―

C8 ø ― ―

记号

固定型

P,E孔连接口径

(螺牙配管)

阀规格

阀构造 弹性体密封

使用流体 压缩空气

2位置单动 0.15～0.7

0.15～0.7

2位置复动 0.1～0.7

3位置 0.2～0.7

4位置双3口阀

外内部气引导

使用压力范围

MPa

(订制品)

使用压力范围 －100kPa～0.7

气引导

压力范围 0.25～0.7

3位置

周围温度及使用流体温度 OC －10～50(但不结冰)

最大作动频率

Hz

JSY1000

JSY3000

2位置单动、复动 5 4位置双3口阀

3位置 3

JSY5000

5

3

3

手动操作

无锁定按压式

按压旋转锁定式起子操作型

按压旋转锁定式手操作型

气引导排气方法 内部气引导 个别排气型 外部气引导(订制品)

给油 不要

安装方向 自由

耐冲击／耐振动 m/s2 150/30

保护构造 IP40

导线出线方法 L型插头插座(L)、M型插头插座(M)

线圈额定电压 V DC24V

容许电压变动 JSY1000 额定电压的－7%～＋10%(DC24V)

JSY3000/5000 额定电压的±10%

消耗电力　W DC

标准 JSY3000/5000 0.4

附节电回路

JSY1000 0.2(启动0.5、保持0.2)

0.1(启动0.4、保持0.1) JSY3000/5000

（订制品）

突波电压保护回路 二极体

指示灯 LED

2位置单动

2位置复动

内部气引导

使用压力范围

MPa

2位置单动、复动

4位置双3口阀

3位置

附指示灯・突波电压保护回路

5

切换方式

气引导阀排气方式

额定电压

1

3

5

系列

JSY1000

JSY3000

JSY5000

1

2

3

4

5

A

B

C

2位置单动

2位置复动

3位置中央封闭

3位置中央排气

3位置中央供压

双3口阀(N.C./N.C.)

双3口阀(N.O./N.O.)

双3口阀(N.C./N.O.)

0 气引导阀个别排气型

Z

指示灯・突波电压保护回路

JSY 1 1 4 0

JSY 3 1 4

JSY1000

JSY3000/5000 0

T 5 L Z

5 L Z

阀型号表示方法(附安装螺丝2支)

附节电回路

内部气引导规格

内部气引导规格

控制元件

23

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

IO-Link对应产品

IO-Link 系列

PLC PC

从上位设定

◦临界值

◦动作模式等

读取机器数据

・开关ON/OFF信号与模拟量值

・机器情报 厂商名, 产品型号、 序号等　

・机器的正常／异常状态

SMC制IO-Link主站 EX600-GILB-X60

设定档

（IODD档※

）

・厂商名

・产品型号

・设定值

※

何谓IODD档

IO Device Description档的简称,

为了设定装置或连接主侧所需要的

档案。进行设定,在PC上保存、

使用。

各种现场总线

现场总线 IO-Link主站（市购品）

IO-Link为国际标准规格

IEC61131-9所规定的感测

器/驱动器与I/O端子间的

开放式通讯介面技术。

制品

系列

流讯协议

流程数据尺寸

事件

数据

内部故障

内部温度异常

额定范围外

短路检知

断线检知

外部供给

电源异常

其他

流程

数据 诊断位元

3画面 高精度

数位压力传感器

ZSE20B(F)

ISE20B

2位元组输入

IO-Link

●

●

●

●

空气用 3画面 高精度

数位压力传感器

ISE70/ISE71

2位元组输入

IO-Link

●

●

●

●

OUT2

●

1.0MPa

1.6MPa用

诊断状态监视功能

EX260-SIL1-X207

EX260-SIL1-X210

EX260(SY系列)

4字节输出

电磁阀

用SI单元

电磁阀输出配线

电磁阀输出配线

电磁阀电源

电磁阀动作次数超过

JXCL1

控制电源

14位元组输入

22字节输出

步进马达

控制器

马达控制相关警报

马达控制相关警报

IO-Link / CC-Link / DeviceNet/IP /

EtherCAT / EtherNet /

Profibus / Profinet

TM

® TM

IO-Link / CC-Link / DeviceNet/IP /

EtherCAT / EtherNet /

Profibus / Profinet

TM

® TM

24

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

应用例

客户的装置

冷却水异常的故障预知

・ 流量与温度的「开关ON/OFF信号」与「类比值」双方进行

监控，做冷却状况的判断。流程与冷却状况可做比对

电气比例阀（多样生产）

・

气缸位置感测器（工作物加工的多样生产）

泛用流体用 3画面 高精度

数位压力传感器

ISE70G/ISE75G

ISE76G/ISE77G

2位元组输入

IO-Link

●

●

●

●

OUT2

●

1.0MPa

2.0MPa

5.0MPa

10MPa

3色表示 水用

数位流量传感器

PF3W704-X445

PF3W720-X445

PF3W740-X445

IO-Link

6位元组输入

●

●

●

●

无线

连接系统

EX-600-W

气缸

位置感测器

D-MP025/D-MP050

D-MP100/D-MP200

2位元组输入

IO-Link

磁界低下

电气

比例阀

ITV10□0-X395

ITV20□0-X395

ITV30□0-X395

2位元组输入

2字节输出

IO-Link

设定压力到达

压力感测器（吸着不良的故障预知）

电磁阀用SI单元（气压缸故障的予知）

・ 开关ON/OFF信号与类比值双方进行

监控的判断

・ 根据吸盘的摩耗与供给压力，变更

临界值

・ 加工状况与工作物尺寸的确认

压力设定值的变更

管理各个工作物的压入压力。

・ 气压缸计画性的维修

以电磁阀的计数动作次数为参考，可拟定与电磁阀连接的

气压缸更换时期的计画。气压缸故障前，可计划性的进行

维护。

现在

1000万次

现在

500万次

〈应用例〉

IO-Link / CC-Link / DeviceNet/IP /

EtherCAT / EtherNet /

Profibus / Profinet

TM

® TM

25

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

电气比例阀

ITV10□0-X395

ITV20□0-X395

ITV30□0-X395

电气比例阀

系列 设定压力范围

ITV1010 / ITV2010 / ITV3010-X395 ～

ITV1030 / ITV2030 / ITV3030-X395 ～

ITV1050 / ITV2050 / ITV3050-X395 ～

IP65

IO-Link主站

EX600-GILB-X60

IP67

系列 埠数 适合上位通信

EX600-GILB-X60

IO-Link主站

．IO-Link版本

．流程数据长

．IO-Link孔型式

V1.1

32位元组输入 / 32字节输出(每埠)

Class A

高精度数位压力传感器

ISE7□/7□G

IP67

高精度数位压力传感器

ZSE20B(F)-L/ISE20B-L

压力传感器

IP65

．IO-Link版本

．流程数据长

．传送速度

．最小周期时间

．IO-Link孔型式

V1.1

2位元组输入

COM2 (38.4kbps)

2.3ms

Class A

系列 适用流体 种类 额定压力范围

ISE70 ～

ISE71 ～

ISE70G ～

ISE75G ～

ISE76G ～

ISE77G ～

系列 适用流体 种类 额定压力范围

ZSE20BF-L － ～

ZSE20B-L ～－

ISE20B-L ～

．IO-Link版本

．流程数据长

．传送速度

．最小周期时间

．IO-Link孔型式

V1.1

2位元组输入

COM2 (38.4kbps)

2.3ms

Class A

压缩空气

连成压

真空压

正压

压缩空气

压缩空气

泛用流体

正压

水用数位流量传感器

PF3W7-L

数位流量传感器

IP65

系列 适用流体 额定压力范围

PF3W704-L ～

PF3W720-L ～

PF3W740-L ～

PF3W711-L

PF3W721-L

．IO-Link版本

．流程数据长

．传送速度

．最小周期时间

．IO-Link孔型式

V1.1

6位元组输入

COM2 (38.4kbps)

3.5ms

Class A

IP67

系列 测定范围

D-MP025

D-MP050

D-MP100

D-MP200

系列 测定范围

ISA3-FCL

ISA3-GCL

ISA3-HCL

位置感测器

D-MP025

D-MP050

D-MP100

D-MP200

气缸位置感测器

气缸的行程位置以类比信号输出

．IO-Link版本

．流程数据长

．传送速度

．最小周期时间

．IO-Link孔型式

V1.1

2位元组输入

COM3 (230.4kbps)

1.0ms

Class A

．IO-Link版本

．流程数据长

．传送速度

．最小周期时间

．IO-Link孔型式

V1.1

2位元组输入/2字节输出

COM3 (230.4kbps)

0.7ms

Class A

数位式位置确认检知器

ISA3-FCL传感器

ISA3-GCL传感器

ISA3-HCL传感器

数位式位置传感器

． IP65 IO-Link版本

．流程数据长

．传送速度

．最小周期时间

．IO-Link孔型式

V1.1

8位元组输入/2字节输出

COM2 (38.4kbps)

4.2ms

Class A

IO-Link 对应产品

10～100L/min

50～250L/min

0.01～0.03mm

0.02～0.15mm

0.05～0.3mm

26

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

系列

系列

ZH-X226

大流量真空发生器/喷嘴型

抽吸器

大流量真空发生器/喷嘴型

ZH10-B-X249 系列

大流量真空发生器/喷嘴型

ZH-X338

ZH-X226

吸传应用

大流量改善反应时间

可用于有泄漏工作的吸取

共同规格

型号 ZH-X226

本体材质 铝合金

密封材料 NBR

通过孔径 ø8

C [dm3

/(s·bar)]

(有效断面积 [mm2

])∗1 0.83 (4.13)

405

700

297

使用流体 压缩空气

供给压力范围 0 to 0.7 MPa

环境和流体温度 [°C] –5 to 80 (无冻结或凝结)

质量 [g] 240

∗1 C值和有效面积是理论值。 ∗2 供气压力在0.5 MPa

∗1 C值和有效面积是理论值。 ∗2 供气压力在0.5 MPa

吸入流量

吹风流量

消耗流量

L/min (ANR)∗2

L/min (ANR)∗2

L/min (ANR)∗2

ZH-X338

过切屑液以吹走碎屑

· 以压缩空气增加切屑液压力

可根据切屑液种类更换密封圈材质

· 增加喷量

泵冷却液

压缩空气

共同规格

型号 ZH-X338

本体材质 铝合金

密封材料 NBR

通过孔径 ø12

C [dm3

/(s·bar)]

(有效断面积 [mm2

])∗1 1.58 (7.29)

880

1160

340

使用流体 压缩空气

供给压力范围 0 to 0.7 MPa

环境和流体温度 [°C] –5 to 80 (无冻结或凝结)

质量 [g] 328

吸入流量

吹风流量

消耗流量

L/min (ANR)∗2

L/min (ANR)∗2

L/min (ANR)∗2

带软管类型 带扩阔接头

除水应用

ZH10-B-X249

共同规格

型号

本体材质 铝合金

密封材料 NBR

通过孔径 ø11.5

C [dm3

/(s·bar)]

(有效断面积 [mm2

])∗1 0.94 (4.72)

820

1550

570

使用流体 压缩空气

供给压力范围 0 to 0.7 MPa

环境和流体温度 [°C] –5 to 80 (无冻结或凝结)

质量 [g]

∗1 C值和有效面积是理论值。 ∗2 供气压力在0.5 MPa

吸入流量

吹风流量

消耗流量

L/min (ANR)∗2

L/min (ANR)∗2

L/min (ANR)∗2

螺旋式管道 叶片软管式管道 扩展嘴式管道

ZH10-B-X249 ZH10-B-X249P ZH10-B-X249W

250 267 278

搬送

※颗粒、粉体等

材料的搬送

吹拭 吸引

利用供给的压缩空气

*可制造供给空气量4倍的吹出流量

可产生供给空气4倍的吹出流量，对应需要

吹出流量的消耗空气的消减有所贡献

*可制造供给空气量3倍的真空流量 *大的通过孔径，可推行切

可产生供给空气3倍的吸入流量，对应需要 削物、垃圾等的吸入 吸入流量的消耗空气的消减有所贡献

供给空气

流向

供给空气

4倍 吹出 吸入 3倍

制造大流量吹出与真空压力

共同规格

型号

本体材质

密封材料

通过孔径

使用流体

供给压力范围

质量

托架

ZH10-X185

ø13 ø21.6 ø30 ø42

ZH20-X185

铝合金

NBR

压缩空气

0~0.7MPa

ZH30-X185 ZH40-X185

110

ZH-BK1-10-A

430

ZH-BK1-20-A

970

ZH-BK1-30-A

2000

ZH-BK1-40-A

应用例

水滴的吹拭

ZH - -X185 系列

真空元件

27

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

ZU A 系列

ZL112A

P

L

K1

5

L

24V GN

G

D

Z

N

D

DC

2m

ZL112A K1 5 Z D D N L

D N L

L

[无阀]

[带阀]

排气规格

供给阀 ∙ 破坏阀的组合

额定电压

手动操作

真空压力检出部

压力开关规格(只在真空压力开关上使用)

导线引出方式

指示灯 ∙ 过电压保护回路

无指示灯及过电压保护回路

带指示灯及过电压保护回路

L形

插座式 导线长0.3m

无记号

无记号

无

推压回转锁

定式螺丝刀

操作

真空用接头Rc1/8

带真空压力表

真空用压力开关

1个NPN输出

2个NPN输出

1个NPN输出+1个模拟电压输出

1个NPN输出+1个模拟电流输出

规格

带供给阀･破坏阀

导线长度

*只适用于带真空压力开关\"D\"的情况下

无记号 内置消声器 导线长

通口排气

A

C

D

ZU 05 S A

喷嘴直径

05 0.5mm

07 0.7mm

03 0.3mm

04 0.4mm 到达真空压力

S

L

－90kPa

－48kPa

接管口径

无记号 ø 6快速接头

01 Rc1/8母螺牙

真空发生器规格

压缩空气

0.1 0.6MPa

0.45MPa

使用温度范围 −5~50℃（不结冰）

使用流体

适用气压管材质

使用压力范围

标准供给压力

尼龙、软尼龙、聚氨酯 FEP、PFA

• 只有EXH.通口为快换接头的场合，才能选择带消声器

• 附带的消声器随着EXH. 通口的尺寸而不同

EXH.通口 消声器型号

06 AN10-C06

07 AN10-C07

08 AN15-C08

09 AN15-C08

10 AN20-C10

11 AN20-C11

12 AN30-C12

真空压力

S −90kPa

L − 48kPa（ZH05~13D□

□

A）

− 66kPa（ZH15~20D A）

喷嘴口径

05 ø0.5mm

07 ø0.7mm

10 ø1.0mm

13 ø1.3mm

15 ø1.5mm

18 ø1.8mm

20 ø2.0mm

注 SUP.、VAC. 、EXH. 通口的连接方法组合及口径参见表1

注

直接配管型 ZH 10 D S A 06 06 08

盒型 ZH 10 B S A 06 06

(SUP.孔) (VAC.孔)

通口（SUP./VAC./EXH.）注）连接口径

快换接头

06 ø6

08 ø8

10 ø10

12 ø12

内螺纹

01 Rc1/8

02 Rc1/4

03 Rc3/8

04 Rc1/2

表　米制尺寸 1

型号 SUP. VAC. EXH.

ZH05D□A06 － 06 － 06

06 － 01 － 06

06 － 01 － 01

ZH07D□AZH10D□AZH13D□AZH15D□AZH18D□AZH20D□A06 － 06 － 06

06 － 01 － 06

01 － 01 － 01

06 － 06 － 06

06 － 01 － 06

01 － 01 － 01

08 － 10 － 10

08 － 02 － 10

01 － 02 － 02

08 － 10 － 10

08 － 03 － 10

02 － 03 － 03

10 － 12 － 12

10 － 03 － 12

03 － 03 － 03

10 － 12 － 12

10 － 04 － 12

03 － 04 － 04

真空发生器规格

耗气量

型号 喷嘴径

快换

连接

螺牙锁入

连接

质量

(g)

到达真空压力

(kPa)

最大吸入流量

(L/min（ANR）)

S型 L型 S型 L型

(L/min

（ANR）)

7

11

13 14 3.9

16 28 4.3

18.6

19.1

0.5 -90 -48 ZU05 A

ZU07 A 0.7

1.8

3.2

3.7

7.4 2.4 0.3 -85

-87

ZU03SA

ZU04SA 0.4 ※1 特性所示各值为代表值。

依受限大气压（天候、标高等）会有变化。

※2 标准供给压力时的值

型号表示方法

0.2~0.5MPa

真空发生器规格

喷嘴直径 ø1.2mm

系列 ZL112A

最大吸入流量 100L/min(ANR)

空气消耗量 57L/min(ANR)

最大真空度 -84kPa

最大使用压力 0.7MPa

供给压力范围

使用温度范围 5~50°C

无阀0.33MPa，

带阀0.35MPa 标准供给压力

ZL112A 系列

ZH 系列

6.7

mm

58.5mm

51.8mm

ZH05DA-06-06-06

ZH05D-06-06-06

现有品

新

最大74%减少(65.1g 减少)

重量 现有品 88.4g NEW 23.3g

最大11%减少(6.7mm 缩短)

全长

最大25%减少(9.1mm 缩短)

高度

现有品

ZH10B-06-06

ZH10BA-06-06

最大 39% 减少(14.1cm3减少)

现有品 36.3cm3 NEW 22.2cm3

最大59%减少(19.4g 减少)

现有品 33g NEW 13.6 g

重量

体积

最大 20% 减少(4.6mm 缩短)

高度 真空压力

S －89kPa

L －48kPa

喷嘴口径

喷嘴口径

05 ø0.5mm

07 ø0.7mm

10 ø1.0mm

13 ø1.3mm

孔（SUP./VAC.）连接口径

内螺纹公制尺寸

01 Rc1/8 02 Rc1/4

快速接头公制尺寸

06 ø6 08 ø8

10 ø10

新

关於SUP.、VAC.孔的连接方法的组合口径，

请参照下表的表2.。

［ ］ ［ ］

S型 L型 S型 L型 ［ ］

ZH05DA 0.5

－90

－48

6 13 13

ZH07DA 0.7 12 28 27

ZH10DA 1.0 26 52 52

ZH13DA 1.3 40 78 84

ZH15DA

ZH18DA

1.5

－66

58 78 113

1.8 76 128 162

ZH20DA 2.0 90 155 196

盒型

(内置消音器)

ZH05BA 0.5

－89 －48

6 13 13

ZH07BA 0.7 12 28 27

ZH10BA 1.0 26 52 52

ZH13BA 1.3 40 78 84

最大真空压力 本体型式 型号 喷嘴口径

直接接管型

(无消声器)

最大吸入流量 空气消耗量

供给压力0.45MPa时的数值

表2. 盒型(内置消音器) SUP./VAC.孔连接方法

公制尺寸

型式 SUP. VAC. SUP. VAC.

ø6

Rc1/8

ø6

ø6

Rc1/8

ø6

ø6

Rc1/8

ø6

ø6

Rc1/8

ø8

ø8

Rc1/8

Rc1/8

ø6

Rc1/8

Rc1/8

ø6

Rc1/8

Rc1/8

ø10

Rc1/4

Rc1/4

ZH07BAZH10BAZH13BA01 － 02 08 － 02

08 － 10

01 － 01

06 － 01 06 － 06

01 － 01

06 － 01

06 － 06

01 － 01

06 － 01

06 － 06

ZH05BA-

(SUP.通口) (VAC.通口) (EXH.通口)

真空元件

多级真空发生器 / 直管型真空发生器

28

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

真空元件

真空辅助阀 ZP2V

·即使没有工件，也可抑制真空压力的降低。

·无需进行由变更工件造成的切换工作。

·内置滤芯(40µm)

·真空过滤器................................... ZFA/ZFB系列

·薄片无痕吸盘............................... ZP-697系列

·大型真空组件............................... ZR系列

·真空用水滴分离器........................ AMJ系列

·全不锈钢真空发生器 .................... ZH□-□-X267系列

·大流量多级真空发生器................. ZL-X233系列

·海绵吸盘 ...................................... ZP-642-11AC/D系列

AMJ系列

ZH□-□-X267系列

ZFA系列 ZP-697系列

ZR系列 ZL-X233系列 ZP-642-11AC/D系列

可用于混合两种不同的惰性气体

惰性气体Ⓐ

惰性气体Ⓑ

可用于吸起付有水份的工件 可用于工件环境有水份的场合

真空过滤器 AFJ20~AFJ40

· 体积小，重量轻。

· 快换接头式，配置方便快捷。

· 滤芯可以更换。

· 采用快捷的装拆结构，

不需要工具便可更换滤芯。

· 直通型，进口与出口在同一条线上，

安装方便。

·标淮型带托架。

小型真空过滤器 ZFC

真空减压阀 IRV

·可控制真空管路中的压力。

·单面配管规格系列化。

·重量减轻20%(与以前比)

·内置快换管接头。

·由夹子固定式可简单拆卸压力表，

数字式压力开关。

·可变更压力表，数字式压力开关的

安装方向(仅标准配管规格)

·压力表·数字式压力开关的安装角度，

(60°)变更容易。

系列 接管口径 设定压力范围(kPa)

IRV10

IRV20

ø6, ø8, ø1/4, ø5/16

ø6, ø8, ø10, ø1/4, ø5/16, ø3/8 -100 ~ -1.3

· 非接触构造可使工作物的伤痕，

吸著痕降到最低

· 抓紧BGA等有孔PCB板

· 因为是非接触，成本上费用可减低

· 减少空气消耗量

· 提升吸力

非接触式吸盘 XT661

(供给压力设定为 0.4MPa 时)

空气清净度: JIS B 8392-1 (ISO8573-1) 品质等级4,4,2

压缩空气

不需要

-5 ~ 60°C(不结冰)

吸力 (N)

空气消耗量 /min (ANR)

接管口径

使用流体

使用压力

保证耐压力

环境和流体温度

润滑

外形规格 (mm) 20

3

85

11

145

19

170

0.01 ~ 0.5MPa

0.75MPa

27

200

35

240

M5x0.8 Rc1/8

40 60 80 100

型号 AFJ20 AFJ30 AFJ40

管连接口径 1/8 1/4 1/4 3/8 1/4 3/8 1/2

使用流体 压缩空气

周围温度及使用流体温度 -5 ~ 60℃（不结冰）

保证耐压力 0.5MPa

使用压力范围 -100 ~ 0kPa

过滤度 5µm、40µm、80µm

冷凝水储留量（cm3） 8 25 45

杯体材质 聚碳酸酯

杯体保护罩 一 标准装备（聚碳酸酯）

推荐流量注5）

（L/min（ANR））

水滴去除型

（-S）

5µm 80 100 180 230 200 310 370

40µm 100 130 210 340 230 390 500 80µm

大流量型

（-T）

5µm 100 140 190 250 210 350 440

40µm 120 180 230 380 250 480 660 80µm

重量（kg） 0.08 0.18 0.36

注1）40µm(80µm)的滤芯可以补集的固体粒子,纵×横×高各自为40µm(80µm)以上的形状。

注2）5µm用滤芯使用过滤度5µm相当的纤维类。

注3）40µm用滤芯使用开口40µm相当的树脂网。

注4）80µm用滤芯使用开口80µm相当的树脂网。

注5）初期压力损失4kPa时的处理空气量。

AFJ20 AFJ30 AFJ40

ZFB系列

共同规格

共同规格

共同规格

注) 流量 (正压) 条件：供给压力0.7MPa，压力下降30kPa

型号 ZFC1□ ZFC3□ ZFC5□ ZFC7□

连接口径(适用气压管外径) ø2

15

2

45

5

50

7

80

10

100

10

200

20

250

30

450

70

550

80

650

100

ø3.2 ø3.2 ø4 ø4 ø6 ø6 ø8 ø10 ø12

使用流体 压缩空气·氮气

使用压力 -100kPa~1.0MPa(20℃时)

1.5(20℃时)

0~60

流量(正压)L/min 注)

流量(真空压)

保证耐压力MPa

使用·周围温度范围℃

过滤度μm 5(捕集效率95%)

滤心更换差压MPa 0.1(真空压20kPa)

过滤面积mm2 140 470 750 1260

适用气压管材质 尼龙·软尼龙·聚氨酯

共同规格

29

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

垂直真空接管型／不带缓冲 ZPT

真空吸盘 ZP2

小型喷嘴 ø0.8~ø15

小型·省空间

吸着痕迹对策 ø4~ø125

用于减少工件上的吸着痕迹

薄型·扁平型 ø5~ø30

用于薄片、乙烯材料

海绵吸盘 ø4~ø15

用于有凹凸的工件

风琴型 ø2~ø46

用于球形·有倾斜的工件

高负载 ø32~ø340

用于重的工件、

大的工件

椭圆型 3.5x7~8x30

用于长方形的工件

特殊形状

用于圆(CD，DVD等)、玻璃基板等的

多级固定

球花键轴缓冲型 ø2~ø8

缓冲部上使用球花键轴导向

4.5段伸缩吸盘 ø15~ø46

对应高速移动工件的吸著，

也可对应各种形状的工件

平型

带肋平型

深型

真空元件

30

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

M6

M12

ZP3E-TF□□□-□

M14

M16

ZP3E-TF□□□-□

M8

M12

ZP3E-TF□□□-□

M14

M16

ZP3E-YF□□□-□

M8

M12

ZP3E-YF□□□-□

M18

M22

ZP3E-TF□□□JB□

ZP3E-YF□□□JB□

真空取出方向

安装方法

安装连接

螺牙径

缓冲的

有无

真空取出方向

安装方法

安装连接

螺牙径

缓冲的

有无

外螺纹／直接安装 M10

M16

不带缓冲

不带缓冲

带缓冲

行程

ZP3E-T□□□-□

外螺纹／端板连接 M14

M16

ZP3E-T□□□-□

内螺纹安装

M8

M10

M12

M18 ZP3E-T□□□-□

外螺纹安装 M14

M16

ZP3E-Y□□□-□

内螺纹安装 M8

M12

ZP3E-Y□□□-□

外螺纹安装

M18

M22 • 10mm

• 30mm

• 50mm

不带缓冲

不带缓冲

带缓冲

行程

• 10mm

• 30mm

• 50mm

ZP3E-T□□□JB□

外螺纹安装

外螺纹／直接安装

外螺纹／端板连接

内螺纹安装

外螺纹安装

内螺纹安装

外螺纹安装

外螺纹安装

ZP3E-Y□□□JB□

标准

型

附连接器的组合变化

摆动

型

垂直

垂直

垂直

垂直

水平

水平

水平

垂直

垂直

垂直

垂直

水平

水平

水平

ZP3E 系列 真空吸盘 平型 带沟槽 风琴型 带沟槽

真空元件

31

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

真空元件

提升波纹管的耐用性 (法兰尺寸 100 和 160)

使用寿命 : 200万次

省空间 (减少受排气方向的限制)

轻量化

阀体耐腐蚀能力强

XLA- -X152

高真空阀

XLA/C-100/160-(1)-X152 系列

大气释放阀

法兰：KF40

大气释放阀

大气开放孔

法兰：KF25

■ 大气释放阀的一体构造，

削减配管工时

■ 腔体内防止粗真空泵

(旋转泵)油的逆流

型号 XLJ-25

阀形式 常时闭・真空气引导

轴密封方式 O形环密封

使用压力范围 大气压～1×10 -2Pa

使用流体 堕性气体

连接方向 固定

1.3× 10-8Pa・m3 内部泄漏量 /s以下注1）

1.3× 10-6Pa・m3 外部泄漏量 /s以下注1）

使用温度 5～40℃

传导 12L/s注2）

AC100V, 200V, 110V, 230V, 220V, 240V

DC12V, 24V 启动电压

导线出线直 直接出线式

法兰 KF25

质量

ON作动(真空泵)

OFF作动(真空泵)

0.95kg

XLJ-40

45L/s 注2）

KF40

1.5kg

约2sec後、阀开注3）

阀即时闭

之后真空泵释放大气

规格 CE认证

注1）泄漏量，周围温度20�、差压0.1MPa时的。气体透过除外。

注2）传导为同一尺寸L型的计算值。

注3）排气速度75L/min的泵使用时的值。

共同规格 带大气释放阀的真空阀

XLJ 系列

・

XLA-100-X152 XLA-160-X152 XLC-100-1-X152 XLC-160-1-X152

～ ～

～

型式

阀的形式

使用流体

使用温度

使用压力

传导

泄漏量

法兰的种类

主要材质

表面处理

气引导压力

气孔先导口

连接口径

重量

注1

内部

外部

常闭(加压开·弹簧密封)

高温型时

真空

大气压

标准材质(FKM)时1.3 x 10-10

常温时．透过气体除外

标准材质(FKM)时1.3 x 10-11

常温时．透过气体除外

0.4~0.6

8.7 14.5

本体 : 铝合金

伸缩囊 : 不锈钢

要部 : 不锈钢、FKM(标准密封材)

外部 : 硬质耐酸铝 内部 : 原本材质

0.4~0.7

Rc1/8 Rc1/4 Rc1/8 Rc1/4

注1 传导以同一尺寸的值为代表

共同规格

双作用·加压开闭

RoHS

平行密封型闸阀(对应300mm晶圆)

XGTP 系列

嵌入式

(无本体)

(标准本体)

卡匣

型号 XGTP31□-50336

晶圆尺寸

开口窗尺寸

轴数

作动差压

使用环境压力注1)

mm

mm

Pa(abs)

300

（高x宽) 50×336

0.45～0.6

6.5X10-10

6.5X10-11

6.5X10-9

6.5X10-8

6.5X10-7

20~120/~150(烤焙时)

不活性气体

1

大气压～10-6

kPa

MPa (G)

Pa・m3/s

Pa・m3/s

4以下

操作压力

使用流体

内部泄漏注2）

外部泄漏注2）

作动时间注4）

使用温度注3）℃

Pa・m3 逆压时内部泄漏 /s 注2）

[逆压力 : 0.1MPa(abs)以下]

O形环：FKM

闸门部

密封圈材质

驱动部

O形环：FKM

：Kalrez®

0.6~1

20~90 (但磁簧开关除外)

S

主要真空部材质

主要真空部材质

伸缩囊 AM350

闸门 A6063

本体 A5052

上盖 A6061

其他 SUS304

自由

安装方向

操作孔连接

端点锁定口径

气缸容积

垂直

Rc1/8

开闭位置附锁定机构

L 0.2

质量kg

嵌入式（无本体)

卡匣式（标准本体)

卡匣式（半遮蔽本体)

10

14

14

O形环

：Kalrez® O形环

FKM, Kalrez, 4079 (选配) ®

共同规格

14kg ）

1/5以下降低(既有品比)

采用机械端点锁定机构

紧急停止时的闸开状态及闸闭状态的保持。

开口窗尺寸 50mm×336mm

发尘量

～10−6 使用环境压力 大气压 Pa

长寿命 300 (常温时）

伸缩囊可更换

上方更换闸门设计（订制品）

空气消耗量22%削减

平常动作（无逆压）时可低压作动。

万次

32

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

门阀

XGT 系列

真空元件

mm

mm

注1)Pa(abs)

芯片尺寸　

开口窗尺寸 (高×宽)

轴数

使用环境压力

kPa

MPa(G)

注2)

注3)℃

注4) s

L

kg

O形圈:FKM

O形圈: ®

O形圈:FKM

O形圈: ®

Kalrez

Kalrez

注2)

逆压时内部泄漏

动作差压　

操作压力　

外部泄漏

使用温度

使用流体

动作时间

主要真空部材质

排气方向

安装方向

控制通口连接口径

端锁机构

气缸容积

质量

内部泄漏

[逆压力: 0.1MPa(abs)以下 ]

MESK

MESK

门部

驱动部

密封材料

波纹管

门

阀体

阀盖

其他

无盒

盒式:标准

盒式:半

盒式:全

型号 XGT22-32222 XGT31-50336

200

M5×0.8

0.12

8

12

12

11

−

−

Rc1/8

0.2

14

20

20

−

32×222

300

50×336

2 1

XGT22-46236

A5052

开闭位置带锁机构注5)

SUS304

自由

垂直

46×236

大气压~10-6

4以下

0.45~0.6

6.5×10-10

6.5×10-9

6.5×10-8

6.5×10-7

6.5×10-11

5~150

5~60

惰性气体

0.6~1

FKM、Kalrez® 4079(可选项)

AM350

A6063

A5052

注1)绝对压　 注2) 常温时值 : 气体透过除外。

注3)门部超过60℃的场合，驱动部的使用温度范围可以超过，但此时要冷却驱动部。

注4)切换阀切换后，表示从门的开状态至门的闭状态，以及从门的闭状态至门的开状态的时间。

注5)门夹紧时的密封没有保持机能。

共同规格

Pa・m3/s

Pa・m3/s

Pa・m3/s

注2)

高真空阀

XL.XM.XY 系列

1.3 x 10-10

200

10

50

1.3 x 10 200 -10 1.3 x 10-11

1.3 x 10-11

1.3 x 10-11

1.3 x 10-10

10-8

10-6~105

5~150°C

5~150°C

5~150°C

5~40°C

5~60°C

5~150°C)

(高温型:

5~60°C

5~150°C)

(高温型:

5~60°C

5~150°C)

(高温型:

CAT.C-EP

-ZA

CAT.S140

-5A

XLA

XLC

XLF

XLG

XLD

XLH

XLS

XMA

XMC

XMD

XMH

XYA

XYC

XYH

XYD

在半导体制造过程中，腐蚀装置、喷镀装置，离子注入装置和CVD装置等许多部分，都要把芯片和液晶基板放在真空室内处理，该真空

室供气、排气(真空)用阀，要求它们无泄漏、耐腐蚀且是洁淨规格。

品 种 系列 阀形式 密封方式 用 途 内部

泄漏量(Pa · m³/S)

外部

控制

方式

气

控

式

气

控

式

气

控

式

手动式

单作用

(N.C.)

单作用

(N.C.)

单作用

(N.C.)

单作用

(N.C.)

单作用

(N.C.)

单作用

(N.C.)

单作用

(N.C.)

单作用

(N.C.)

双作用

波纹管密封 无微粒

完全洁净化

无微粒

完全洁净化

无微粒

无微粒

无微粒

不用压缩空气

手提式装置用

高速动作

高频动作

防止微粒卷起

防止泵过载

防止微粒卷起

防止泵过载

防止微粒卷起

防止泵过载

波纹管密封

波纹管密封

波纹管密封

波纹管密封

波纹管密封

(波纹管平衡)

波纹管 ∙

O形圈密封

O形圈密封

波纹管 ∙

O形圈密封

波纹管 ∙

O形圈密封

双作用

双作用

双作用

手动

手动

手动

电磁式

手动式

手动式

耐久性

(万次) 使用温度 控制口压力 产品样本编号

铝 阀

直角型

(L型)

(L型)

直角型

不锈钢阀

(Y型)

直通型

0.4~0.7MPa

0.4~0.7MPa

0.3~0.6MPa

0.4~0.7MPa

0.4~0.7MPa

0.4~0.7MPa

0.4~0.7MPa

0.4~0.7MPa

0.3~0.6MPa

0.3~0.6MPa

0.3~0.6MPa (XLC16~40)

0.4~0.6MPa (XLC50~80)

10-6~105

10-5~105

10-6~105

10-6~105

0.1MPa~10-6

使用压力

(Pa)

33

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

洁净气体过滤器系列及高真空阀

洁净气体过滤器 SFD 系列

高真空阀 XSA 系列

SFA SFB

SFB300

SFB200

SFC

SFD100

SFD200

系列

特长

SFD100

SFD200

种类 使用压力 过滤精度

最大 1.0MPa 0.01μm

(捕集效率99.99％)

一次性使用式

(不可更换滤芯)

卡盘式

(可更换滤芯)

·内置中空滤芯。

·压力降 : 0.03MPa (入口压0.7MPa、最大流量时)

·对应 RoHS指令(限制有害成分)。

注1）“作动压力差”为孔1（高压侧）与孔2（低压侧）的差。

例）0.3MPa的场合，孔2为真空（1Torr以下）时，孔1加压至0.2MPa（G）。

注2）“逆方向可能压力”为孔1为大气压时，从孔2可加压的压力。

注3）泄漏量为周围温度20℃，差压0.1MPa的值，气体透过除外。

注4）AC全部为附全波整流器。

型号 XSA1-12 XSA1-22 XSA2- 22 XSA2-32 XSA2-43 XSA3-32 XSA3-43

作动形式 常时闭

使用流体 压缩空气、惰性气体

内孔径 mmø 2 3 4.5 6 4.5 6

耐压 MPa(G) 1.5

最低使用压力 Pa（abs）／OUT侧 1×10-6

最高使用压力 MPa（G）／IN侧 1.0

最高作动压力差 MPa注1） 0.8 0.3 1.0 0.3 0.1 0.8 0.3

逆方向可能压力 MPa（G）注2） 0.5 0.25 0.4 0.2 0.05 0.2 0.15

泄漏量 Pa・m3/ s注3） 内部 1.3×10-9

外部 1.3×10-11

配管连接方式 面密封接头／卡套接头

连接尺寸 英吋 1/4 3/8 1/4 3/8

周围温度及使用流体温度℃ 5～60

额定电压注4） AC100／110／200／220／230／240／24／48V DC12／24V

消耗电力 W注5） DC 4.5 7 10.5

视在电力 VA注5） AC 7 9.5 12

线圈温度上升℃注6） DC 50 55 65

AC 60 70 70

容许电压变动 额定电压的 10％以下

容许泄漏电压 DC 额定电压的2％以下

AC 额定电压的5％以下

线圈绝缘的种类 B种

质量 kg注7） 面密封接头 0.28 0.41 0.42 0.53 0.62

卡套接头 0.28 0.41 0.42 0.53 0.55

系列

SFB100

类型 使用压力 过滤精度

最大0.99MPa

(真空:1.3×10−6kPa)

最大0.99MPa

(真空:1.3×10−6kPa)

0.01μm

(捕集效率99.99％)

SFA100· 200 ·300 卡盘式

圆盘式

SFB200 最大0.99MPa

(真空:1.3×10−6kPa) 120 μm卡盘式/直筒式

洁净气体滤网

卡盘式

直筒式

一次性使用式

直筒式

一次性使用式

多层盘式

SFB300

注) SFA·SFB100及SFB200: 可更换滤芯。

SFB300及SFC100: 一次性使用式，不可更换滤芯。

SFC100

最大0.99MPa

(真空:1.3×10−6kPa)

最大0.99MPa

(真空:1.3×10−6kPa)

0.01μm

(捕集效率99.99％)

注5）消耗电力、视在电力为周围温度20℃，输入额定电压时的值。

(误差幅：±10％)

注6）周围温度20℃，额定电压输入时的值。但依周围的环境会有变化，

因此为参考值。

注7）直接出线的值。

● 省空间

阀与针阀一体化构造,配管

空间1/4（既有比）。

● 阀座部采用金属膜片,大幅

低减粉尘发生。

● 初期给气、主给气都可做

流量调整。

1.3×10-11

5×10-9

1.3×10-11

常温时・气体透过除外

常温时・气体透过除外

1.3×10-10

Swagelok®用

主给气

初期给气

内部

外部

接头

阀的型式

OC

mm

mm2

使用流体

使用温度

使用压力

内孔径

有效断面积

泄漏量

配管连接方式

配管尺寸

主要材质

内部表面处理

气引导压力 MPa(G)

气引导孔(M,S）连接口径

重量 kg

常时闭（加压开・弹簧密封）

氮气、压缩空气、惰性气体等

5～60℃（烤焙温度、150℃以下）

1×10-(6 abs)～0.2MPa(G)

ø3

4.6

0.2～4.6

1/4

本体：SUS316L　　要部：SUS316L、SUS304、FKM（密封材）

本体：EP处理

0.4～0.7(主给气・初期给气)

M5×0.8

0.5

型号 XVD2-02V XVD2-02S

共同规格

共同规格

共同规格

共同规格

压缩空气清净化过滤器系列 SF 系列

缓和开启阀 XVD 系列

Pa

Pa・m3/s

VCR®用

真空元件 34

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

管/接头

ø4,ø6,ø8,ø10,ø12

ø4,ø6,ø8,ø10,ø12

TPH

TPS

MQR

·

: 0.003~0.50N·m

: -10~80

MQR-X229

: 0.50N·m

: 5~40

: 200min

-100kPa~ : -5~150

: SUS316 FKM

KQ2 SUS316 KQG2

KQ2

KS

KX

ø2,ø3.2,ø4,ø6

ø8,ø10,ø12,ø16

ø4, ø6, ø8, ø10, ø12

M3×0.5,M5×0.8,M6×1.0

1/8,1/4,3/8,1/2

M5×0.8, M6×1.0, 1/8, 1/4, 3/8, 1/2

KQG2

ø3.2,ø4,ø6,ø8,ø10,ø12,ø16 M5

R·Rc 1/8,1/4,3/8,1/2

ø1/8\",ø5/32\",ø1/4\",ø5/16\"

ø3/8\",ø1/2\"

UNF10-32

NPT1/8,1/4,3/8,1/2

SUS304

FKM

KKA3 -100kPa ~ 1MPa

KKA4 6 7 8 9 0 ~ 1MPa

10MPa

-5 ~ 150°C

·

M

M ø3.2,ø4,ø6 M3,M5,1/8

MQR/MQR-X229

KA

:

Uni

KA ø3.2,ø4,ø6,

ø8,ø10,ø12

M5 0.8,M6 1.0, Uni

1/8,1/4,3/8,1/2

FEP TH/TIH

2.3MPa

: 200

TH/TIH ø4,ø6,ø8,

ø10,ø12

ø1/8\",ø3/16\",ø1/4\"

ø3/8\",ø1/2\",ø3/4\"

2

FR TRTU

TRTU ø6,ø8,ø10,ø12

TAS/TAU

TAS

TAU

ø3.2,ø4,ø6,ø8,ø10,ø12

ø3.2,ø4,ø6,ø8,ø10,ø12

KKA

2

KP ø4,ø6,ø8,ø10,ø12 1/8,1/4,3/8,1/2

KP

KS/KX

TPH/TPS

MQR MQR-X229

MQR 1,2,4,8,12,16 M5×0.8 -100kPa~1MPa

MQR-X229 8 M5×0.8 -100kPa~0.7MPa

压缩空气、

水、其它

35

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

管/接头

T/TS/TU

T

TS

TU

ø4,ø6,ø8,ø10

ø12,ø16

ø1/8\",ø3/16\",ø1/4\"

ø3/8\",ø1/2\"

ø4,ø6,ø8,ø10

ø12,ø16

ø1/8\",ø3/16\",ø1/4\"

ø3/8\",ø1/2\"

ø2,ø4,ø6,ø8

ø10,ø12,ø16

ø1/8\",ø3/16\",ø1/4\"

ø3/8\",ø1/2\"

TUZ

mm

mm

60°C

20°C

mm

TUZ0425

4

2.5

TUZ0604

6

4

TUZ0805

8

5

KQ, KJ, KF, KFG, M, MS

0.8MPa

0.4MPa

-20 ~ +60°C

TUZ1065

10

6.5

TUZ1208

12

8

10 15 20 27 35

PU

FKM

SUS316 ASG AS

ASG M5,1/8,1/4,3/8,1/2 ø4，ø6，ø8，ø10，ø12

4 :

·L ·DIN ·

: 30%(AS2002F-04 )

AS

AS ø2~ø12 ø1/8~ø1/2

AQ

AQ1500，AQ1510

AQ2000~AQ5000

AQ240F，AQ340F ø4~ø6,ø1/4\"

1/8~3/4

M5·1/8

ASV

ASV M3~1/2

AK

AK2000·AK4000·AK6000

AKH

AKB 1/8~1/2

M5~1/2

ø4~ø12

1/8~1

ø5/32~ø1/2

AS12 1F~42 1F M5~1/2 ø2~ø16 ø1/8~ø1/2

ø2.5~ø100

AS12 1FG~

42 1FG M5~1/2 ø2~ø16 ø1/8~ø1/2

AS22 1F~

42 1F Uni1/8~1/2 ø3.2~ø16 ø1/8~ø1/2

( ) AS-X737

AS 3 2 0 1 03 F 08 S X737

01 R1/8

02 R1/4

03 R3/8

06 ø6

08 ø8

10 ø10

2 1/8,1/4

3 3/8

0

1

1.5 MPa

1 MPa

0.1 MPa

C ( )

FR

FR3 FR

ZDC

10 /

FR FR2 FR3

KQB2-06C-X1124 6

KQB2-08C-X1124 8

KQB2-10C-X1124 10

压缩空气

36

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

传感器

2色显示式数字式压力传感器 ZSE/ISE80

· 采用不锈钢膜片，适应广泛流体。

· IP65

· 对应RoHS。

· 低泄漏。可选择VCR®,

Swagelok®对应接头。

· 背面配管、向下配管。

微型电子式压力传感器 PS1000·1100·1200

·异径插杆型快速配管。

·带LED灯。

空气用数字式流量传感器 PF2A

·备有一体型、显示器分离型。

·开关输出、累计脉冲输出、模拟输出。

·可进行累计流量、瞬时流量的切换。

·IP65

系列

PF2A

设定流量范围(L/min)

1~10

5~50

10~100

20~200

50~500

150~3000

300~6000

600~12000

通用流体用压力传感器 PSE56□

·液体接触部SUS316L

· IP65

·适合广泛流体。

·模拟输出(电压/电流)

·低泄漏。可选择VCR®, Swagelok®对应接头。

·IP65

·流体: 空气、非腐蚀性气体、不燃性气体。

·最多可同时复制10台。

·3步设定。

·带快换管接头。

2色显示数字式压力传感器 ZSE40A(F)/ISE40A

系列

ZSE40AF

ZSE40A

ISE40A

种类 额定压力范围

混合压

真空压

正压

-100.0 ~ 100.0kPa

0.0 ~ -101.3kPa

-0.100 ~ 1.000MPa

共同规格

·带快换管接头(直通、弯头)

·省空间，可纵横紧密设置。

·带显示值微调功能。

·最多可同时复制10台。

2色显示式数字式压力传感器 ZSE30A(F)/ISE30A

系列

ZSE30AF

ZSE30A

ISE30A

种类 额定压力范围

混合压

真空压

正压

-100.0 ~ 100.0kPa

0.0 ~ -101.0kPa

0.100 ~ 1.000MPa

共同规格

系列

PFM

设定流量范围(L/min)

0.2 ~ 10 (0.2 ~ 5)

0.5 ~ 25 (0.5 ~ 12.5)

1 ~ 50 (1 ~ 25)

2 ~ 100 (2 ~ 50)

2色显示式数字式流量传感器 PFM

·空气、N2、Ar、CO2

·无润滑脂规格。

·流量调整阀一体化。

·小型、轻量、省空间。

共同规格

系列 种类 额定压力范围

PSE561

PSE563

PSE564

PSE560

真空压

混合压

正压

正压

0 ~ -101kPa

-100 ~ 100kPa

0 ~ 500kPa

0 ~ 1MPa

共同规格

系列 种类 额定压力范围

ZSE80F

ZSE80

ISE80

ISE80H

混合压

真空压

正压

正压

-100.0 ~ 100.0kPa

-101.0 ~ 0.0kPa

-0.100 ~ 1.000MPa

-0.100 ~ 2.000MPa

共同规格

系列

PS1000

PS1100

PS1200

种类 额定压力范围

正压

混合压

真空压

-0.1 ~ 0.45MPa

-0.1 ~ 0.4MPa

-100 ~ 0kPa

共同规格

共同规格

·数字式显示，实时压力及设定值

可同时显示在同一介面。

·简易设定。

·反应时间快，由旧有产品

2.5ms提升到1.5ms。

·耗电量少，电流为25mA或以下。

新款3色3显示高精度数字式压力传感器

ZSE20(F)/ISE20

共同规格

ZSE20F 空气 混合压

ZSE20 真空压

ISE20 正压压

系列

-101.0KPa~100KPa

-101.0KPa~0.0

-0.100~1.000MPa

适用流体 种类 额定压力范围

37

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

压力传感器系列规格

气动仪表元件

38

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

39

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

适合流体 系列 额定流量范围

[L/min] 输出类型

空气, N2, Ar, CO2 PFM7/

PFM7-X300 (低发尘规格)

0.2 to 10, 0.5 to 25,

1 to 50, 2 to 100

NPN/PNP 集电极开路

累计脉冲输出

模拟量输出(电压/电流)

空气, N2 PF2A7

1 to 10, 5 to 50,

10 to 100, 20 to 200,

50 to 500

NPN/PNP 集电极开路

累计脉冲输出

空气, N2 PF3A7 H

30 to 3000,

60 to 6000,

120 to 12000

NPN/PNP 集电极开路

累计脉冲输出

模拟量输出(电压/电流)

空气, N2

PFMB7/

PFMB-X300

(低发尘规格)

2 to 200

PFMB7

5 to 500,

10 to 1000,

20 to 2000

PFMC7

5 to 500,

10 to 1000,

20 to 2000

水, 乙二醇水溶液 PF3W

0.5 to 4, 2 to 16,

5 to 40, 10 to 100,

50 to 250

水, 纯水, 化学液 PF3W

(PVC管道型)

10 to 100,

30 to 250

水, 水溶性冷却剂 LFE

0.5 to 20,

2.5 to 100,

5 to 200

NPN/PNP 集电极开路

模拟量输出(电压/电流)

空气, N2, Ar, CO2

传感器单元

PFM5 0.2 to 10,

0.5 to 25,

1 to 50,

2 to 100

模拟量输出(电压/电流)

显示器单元

PFM3

NPN/PNP 集电极开路

累计脉冲输出

模拟量输出(电压/电流)

空气, N2

传感器单元

PFMV5

0 to 0.5,

0 to 1,

0 to 3,

−0.5 to 0.5,

−1 to 1,

−3 to 3

模拟量输出(电压/电流)

显示器单元

PFMV3

NPN/PNP 集电极开路

模拟量输出(电压/电流)

空气, N2

传感器单元

PF2A5

1 to 10,

5 to 50,

10 to 100,

20 to 200,

50 to 500

模拟量输出(电压/电流)

显示器单元

PF2A3 NPN/PNP 集电极开路

累计脉冲输出 显示器单元

PF2A2

水, 乙二醇水溶液 传感器单元

PF3W5

0.5 to 4, 2 to 16,

5 to 40, 10 to 100,

50 to 250模拟量输出(电压/电流)

水, 纯水, 化学液

传感器单元 PF3W5

(PVC管道型)

10 to 100,

30 to 250

显示器单元

PF3W3

0.5 to 4, 2 to 16,

5 to 40, 10 to 100,

50 (30) to 250

NPN/PNP 集电极开路

模拟量输出(电压/电流)

水, 水溶性冷却剂

传感器单元

LFE 0.5 to 20,

2.5 to 100,

5 to 200

模拟量输出(电压/电流)

显示器单元

LFE0

NPN/PNP 集电极开路

模拟量输出(电压/电流)

纯水,

不会腐蚀或渗透

Super PFA 的液体

传感器单元

PF2D5

0.4 to 4,

1.8 to 20,

4 to 40

模拟量输出(电压/电流)

显示器单元

PF2D3 NPN/PNP 集电极开路

累计脉冲输出 显示器单元

PF2D2

控制器 水 FC2W-X110 (无润滑剂) 围

范

制

控

量

流 0.5 to 4.0∗2

2.0 to 16.0 流量脉冲输出

∗1 正面 : IP65 (其他 : IP40) ∗2 流量控制范围 ∗3 符合 ISO 228-1 ∗4 符合 ISO 1179-1 ∗5 符合 ISO 228

适用于数字式流量

显示器PFG300

适用于数字式流量

显示器PFG300

适用于数字式流量

显示器PFG300

适用于数字式流量

显示器PFG300

1ch

1ch

4ch

4ch

IP65

IP40

IP40

IP40

IP40

IP40

IP40

IP40

IP40

IP65

IP65

IP65

IP65

IP65

IP65

IP65

IP65

IP65

IP65∗1

IP65∗1

IP65∗1

IP65∗1

IP40

IP65

适合流体 系列 额定流量范围

[L/min] 输出类型

空气, N2, Ar, CO2 PFM7/

PFM7-X300 (低发尘规格)

0.2 to 10, 0.5 to 25,

1 to 50, 2 to 100

NPN/PNP 集电极开路

累计脉冲输出

模拟量输出(电压/电流)

空气, N2 PF2A7

1 to 10, 5 to 50,

10 to 100, 20 to 200,

50 to 500

NPN/PNP 集电极开路

累计脉冲输出

空气, N2 PF3A7 H

30 to 3000,

60 to 6000,

120 to 12000

NPN/PNP 集电极开路

累计脉冲输出

模拟量输出(电压/电流)

空气, N2

PFMB7/

PFMB-X300

(低发尘规格)

2 to 200

PFMB7

5 to 500,

10 to 1000,

20 to 2000

PFMC7

5 to 500,

10 to 1000,

20 to 2000

水, 乙二醇水溶液 PF3W

0.5 to 4, 2 to 16,

5 to 40, 10 to 100,

50 to 250

水, 纯水, 化学液 PF3W

(PVC管道型)

10 to 100,

30 to 250

水, 水溶性冷却剂 LFE

0.5 to 20,

2.5 to 100,

5 to 200

NPN/PNP 集电极开路

模拟量输出(电压/电流)

空气, N2, Ar, CO2

传感器单元

PFM5 0.2 to 10,

0.5 to 25,

1 to 50,

2 to 100

模拟量输出(电压/电流)

显示器单元

PFM3

NPN/PNP 集电极开路

累计脉冲输出

模拟量输出(电压/电流)

空气, N2

传感器单元

PFMV5

0 to 0.5,

0 to 1,

0 to 3,

−0.5 to 0.5,

−1 to 1,

−3 to 3

模拟量输出(电压/电流)

显示器单元

PFMV3

NPN/PNP 集电极开路

模拟量输出(电压/电流)

空气, N2

传感器单元

PF2A5

1 to 10,

5 to 50,

10 to 100,

20 to 200,

50 to 500

模拟量输出(电压/电流)

显示器单元

PF2A3 NPN/PNP 集电极开路

累计脉冲输出 显示器单元

PF2A2

水, 乙二醇水溶液 传感器单元

PF3W5

0.5 to 4, 2 to 16,

5 to 40, 10 to 100,

50 to 250模拟量输出(电压/电流)

水, 纯水, 化学液

传感器单元 PF3W5

(PVC管道型)

10 to 100,

30 to 250

显示器单元

PF3W3

0.5 to 4, 2 to 16,

5 to 40, 10 to 100,

50 (30) to 250

NPN/PNP 集电极开路

模拟量输出(电压/电流)

水, 水溶性冷却剂

传感器单元

LFE 0.5 to 20,

2.5 to 100,

5 to 200

模拟量输出(电压/电流)

显示器单元

LFE0

NPN/PNP 集电极开路

模拟量输出(电压/电流)

纯水,

不会腐蚀或渗透

Super PFA 的液体

传感器单元

PF2D5

0.4 to 4,

1.8 to 20,

4 to 40

模拟量输出(电压/电流)

显示器单元

PF2D3 NPN/PNP 集电极开路

累计脉冲输出 显示器单元

PF2D2

控制器 水 FC2W-X110 (无润滑剂) 围

范

制

控

量

流 0.5 to 4.0∗2

2.0 to 16.0 流量脉冲输出

∗1 正面 : IP65 (其他 : IP40) ∗2 流量控制范围 ∗3 符合 ISO 228-1 ∗4 符合 ISO 1179-1 ∗5 符合 ISO 228

流量传感器系列规格

气动仪表元件

40

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

最低设定单位[L/min] 管道

功能

流量调节阀 旋转/

反转显示 旁路结构 无润滑剂 省电模式 密码设定 流向切换

0.01 (PFM710),

0.1 (PFM725/750/711)

1/8, 1/4 (Rc, NPT, G∗3

)

ø4 (5/32\"), ø6,

ø8 (5/16\"), ø1/4\"

● ● ● ●

0.1 (PF2A710), 0.5 (PF2A750),

1 (PF2A711), 2 (PF2A721),

5 (PF2A751)

1/8, 1/4, 3/8, 1/2

(Rc, NPT, G∗3

)

2 (PF3A703H),

5 (PF3A706H),

10 (PF3A712H)

1, 1 1/2, 2

(Rc, NPT, G∗4

) ● ● ●

1

1/4 (Rc, NPT, G∗4

)

ø8 (5/16\") ● ● ● ●

1/2, 3/4

(Rc, NPT, G∗5

) ● ● ●

1/2, 3/4

(Rc, NPT, G∗5

) ● ● ●

0.01 (PF3W704),

0.1 (PF3W720/740),

1 (PF3W711),

2 (PF3W721)

3/8, 1/2, 3/4, 1,

1 1/4, 1 1/2

(Rc, NPT, G∗5

)

● ● ● ●

25A, 30A ● ● ●

0.1 (LFE1),

0.5 (LFE2),

1 (LFE3)

3/8, 1/2, 3/4, 1

(Rc, NPT, G) ● ● ●

—

1/8, 1/4 (Rc, NPT, G∗3

)

ø4 (5/32\"), ø6,

ø8 (5/16\"), ø1/4\"

● ●

0.01 (PFM510),

0.1 (PFM525/550/511) — ● ●

— M5 ●

0.001 (PFMV505/505F),

0.01 (PFMV510/530/510F/530F) — ● ●

— 1/8, 1/4, 3/8, 1/2

(Rc, NPT, G∗3

)

0.1 (PF2A510), 0.5 (PF2A550),

1 (PF2A511), 2 (PF2A521),

5 (PF2A551)

—

—

3/8, 1/2, 3/4,

1, 1 1/4, 1 1/2

(Rc, NPT, G∗5

)

● ●

25A, 30A ●

0.01 (PF3W504),

0.1 (PF3W520/540),

1 (PF3W511), 2 (PF3W521)

— ● ●

— 3/8, 1/2, 3/4, 1

(Rc, NPT, G)

0.1 (LFE1),

0.5 (LFE2),

1 (LFE3)

— ● ●

— 3/8\", 1/2\", 3/4\"

(喉管通用尺寸)

0.05 (PF2D504),

0.1 (PF2D520),

0.5 (PF2D540)

—

— 3/8, 1/2

(Rc)

数字式流量显示器

PFG300

省电模式

密码设定 IP40 三画面

显示

旋转

显示

旋转

显示

旋转

显示

旋转

显示

反转

显示

反转

显示

旋转/

反转显示

41

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

流体控制元件

·对应氯乙烯配管:管接头型、带PVC活接型。

·主体材质:CPVC、膜片材质:PTFE

·O形圈材质:FKM、EPDM(可选择)

·适合流体:脱离子水(纯水)、化学液。

系列 孔口径(mmø) 阀机能

LVP5□

LVP6□

适合管子外径

外径ø22(公称径16A)

外径ø26(公称径20A)

外径ø32(公称径25A)

16

22

N.C.／N.O.

双气控

可选项

带流量调整

系列

PA3000

PA5000

1~20

0.1~12

5~45

1~24

型号 驱动方式 输出量(L/min)

自动运转型

气控型

自动运转型

气控型

液体接触部材质

ADC12(铝)

SCS14(不锈钢)

PA3□□0

PA3□13

PA5□□0

PA5□13

共同规格 共同规格

共同规格 共同规格

共同规格 共同规格

共同规格

共同规格

共同规格

共同规格

·水性·溶剂系流体用阀...........................VCC系列

·先导式2通电磁阀....................................VXD系列

·化学液用气控阀......................................LV系列

·化学液用电磁阀......................................LVM/LVMK系列

·定量泵 ....................................................LSP系列

·水用过滤器.............................................WF300系列

·水用调压阀.............................................WR110系列 VCC系列 VXD系列

LVC系列 LVA系列 LVH系列 LVD系列 LVQ系列

·空气·水·油用。

·最高可达3.0MPa。

· 空气·中真空·水·油·

蒸气(温水也可)用。

· 流量提高20%。

直动式高压用2通电磁阀 VX2

VX21/22/23

阀机能 孔口径(mmø)

N.C. / N.O.

接管口径

1/8 ~ 1/2

ø6 ~ ø12 2 ~ 10

系列

直动式2通电磁阀 VX2

直动式3通电磁阀 VX3

·空气·水·油·蒸气用。 ·空气·水·蒸气用。

·阀体材质: 黄铜，不锈钢316L。

·最高可达1.6MPa。

气控式2通角阀 VXB

系列 阀机能 接管口径 孔口径(mmø)

VXB N.C. 3/8 ~ 3/4” 12 ~ 19

系列 阀机能 接管口径 孔口径(mmø)

VX232/233 N.C. 1/4 ~ 3/8” 3

压缩空气、气液回路控制用2通阀/流体控制阀 VNA

·空气压系统和气液回路的控制用。

·可正、逆流的平衡座阀型。

·气控型、外部先导电磁型。

·空气·水·高温水·油·高温油用。

· IP65

·阀体材质: AL、树脂、C37、SUS

·带快换接头的是树脂阀体。

零差压动作型·先导式2通电磁阀 VXZ

VNA N.C. / N.O.

/ C.O.

1/8 ~ 2 10 ~ 50

系列 阀机能 接管口径 孔口径(mmø) 系列 阀机能 接管口径 孔口径(mmø)

VXZ22/23 N.C. / N.O. 1/4 ~ 1

ø10,ø12,ø3/8\" 10 ~ 25

高压用2/3通先导式电磁阀 VCH 干燥空气用先导式2通电磁阀 VQ

·寿命: 1千万次往复运动。

·阀体采用聚氨酯合成橡胶座阀式阀芯。

·高压环境下耐用性提高。

G 3/4,1

G 1/2,3/4,1

系列

VCH41 (N.C.)

VCH42 (N.O.)

VCH410

通口 最大操作压力(MPa) 口径

2 通 5.0

3 通 5.0

系列 阀机能 接管口径 孔口径(mmø)

VQ20

VQ30

N.C. ø6 ~ ø12 3.4

4.8

VX31/32/33

N.C. / N.O.

/ COM. 1/8 ~ 3/8 1.5 ~ 4

系列 阀机能 接管口径 孔口径(mmø)

氯乙烯制气控阀 LVP 隔膜泵/双作用泵 PA/PAP/PAX

WF300系列 WR110系列

LVM系列 LVMK系列 LSP系列

42

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

其他元件

·双AC方式电位幅度25V以下（安装高度300毫米时）

·反馈传感器的高速除电。

·减少调试和维护的自动平衡传感器劳动。

·操作简单: 可由供电静电控制。（标准型）

·遥控器设定

·转换布线

除静电器 IZS40/41/42

IZS40/41/42

离子平衡

电晕放电式 ±30V以下

(不锈钢电极针的场合±100V)

系列 离子发生方式

IZN10E 电晕放电式 节能除电喷嘴: ±10V以内

大流量喷嘴: ±15V以内

系列 离子发生方式 离子平衡

·适合吹气除尘＆除电、点除电的喷嘴型。

·薄型设计: 厚度尺寸16mm

·RoHS对应。

·可选择结合用途的喷嘴。

-节能除电喷嘴(近距离除电·重视离子平衡)

-大流量除电喷嘴(远距离除电·除尘)

喷咀式除静电器 IZN10E

共同规格

IZS40/41/42

离子平衡

电晕放电式 ±30V以下

系列 离子发生方式

共同规格

共同规格

吹气用喷嘴 KN

共同规格

IZF10/IZF10R 电晕放电式 ±13V

系列 离子发生方式 离子平衡

风扇型除静电器 IZF10/IZF10R

·紧凑的设计: 80毫米×110毫米×39毫米

·重量: 280克(IZF10)

260克(IZF10R)

·静电消除时间: 1.5秒

·报警功能

IZF10 IZF10R

(带速度

控制功能)

共同规格

IZF21 104x155x40mm 1秒

IZF31 144x195x40mm 0.5秒

静电消除时间

±5V

±5V

系列 外型呎寸 离子平衡

·风力调节功能

·风向调节功能

·自动清洁功能

·已带过滤网

风扇型除静电器 IZF21/IZF31

IZF21 IZF31

共同规格

IZH10

额定带电量范围 显示最小单位

±20.0kV 0.1kV(±1.0 ~ ±20.0kV)

0.01kV(0 ~ ±0.99kV)

系列

便携式表面电位计 IZH10

·携带性优越的表面电位计。

共同规格

长条型除静电器 IZT40/41/42

· 双AC方式,可降低电位振幅。

· 常时电极针脏污检知显示及输出。

· 依外部输入信号，个别的ON/OFF指令。

注)□乃喷咀长度100~600mm

喷咀式除静电器 IZF10 系列-专用喷咀

环状扩散型喷咀

四周方向喷气式长条型喷咀

直接喷气式长条型喷咀

可过离子空气

AS-X229系列

速度控制阀

(直通型)

型号选择

IZN10-G-X198

IZN10-G-100-X226

IZN10-G-200-X226

IZN10-G-300-X226

IZN10-G-400-X226

IZN10-G-500-X226

IZN10-G-600-X226

100

200

300

400

500

600

型号选择 长度 (mm)

长度 (mm)

IZN10-G-X278 150

可弯曲长条型喷咀

IZN10-11

IZN10-G-100-X205

IZN10-G-200-X205

IZN10-G-300-X205

IZN10-G-400-X205

IZN10-G-500-X205

IZN10-G-600-X205

100

200

300

400

500

600

型号选择 长度 (mm)

该专用喷咀须配 (Rc1/8) 之

内螺纹型 IZN10-11 系列

平行扩散型喷咀

型号选择

IZN10-G-X199

排状喷气式长条型喷咀

型号选择 长度 (mm)

IZN10-G-100-X216

IZN10-G-200-X216

IZN10-G-300-X216

IZN10-G-400-X216

IZN10-G-500-X216

IZN10-G-600-X216

100

200

300

400

500

600

除电范围 除电范围

AS1001F-04-X229

AS1001F-06-X229

ø4

ø6

型号选择 接管 (mm)

注1) 密封圈：FKM (氟橡胶)

KN

喷嘴直径

带外螺纹喷嘴

高效率喷嘴

带外螺纹低噪音喷嘴

钢管长喷嘴

头可摆动喷嘴

带卡套式管接头喷嘴

带快换接头用喷嘴

ø1 ~ ø8

ø1 ~ ø2

ø0.75×4 ~ ø1.1×8

ø1.5 ~ ø3

ø4, ø6

ø1 ~ ø6

ø1 ~ ø3

系列 种类

自由的安装

·控制器与高电压电源模组可以分离

控制器 ~ 静电器最大设置距离:15m

最大

3m

最大

3m

最大

3m

最大

3m

最大

3m

43

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

电动元件

平台停止动作后耗电可自动减少

25 54

54

54

32

40

25

LEFSH高精度型，

H螺距精度为±0.015mm

密封带型薄型电缸(滚珠螺杆／同步带型)

LEF系列

LAT3系列

卡片式电驱动缸(直线马达驱动)

电动旋转平台

共同规格

有 有 有 有

行程 (mm)

马达

线性导轨

感应器

作推压

运动时

作定位

运动时

长度测长

最高速度 (mm/s)

使用温度范围 (˚C)

使用湿度范围 (%)

重量 (g)

滑动重量 (g)

方式

瞬时最大推力 (N)

连续推力 (N)

方式

最大负载重量 (G)

方式

分辨率 (µm)

原点信号

推压速度 (mm/s)

推力设定位

定位分辨率

重复精度 (µm)

精度 (µm)

型号 LAT3-10 LAT3F-10 LAT3-20 LAT3F-20 LAT3-30 LAT3F-30 LAT3M-50 LAT3F-50

10 20 30 50

可动磁石式线性马达

5.2 6 5.5 2.5

3 2.8 2.6 1.5

滚珠循环式直动线性导轨

水平时: 1000, 垂直时: 100 水平时: 1000, 垂直时: 50 水平时: 1000, 垂直时: 不可能

光学式线性编码器

30 1.25 30 1.25 30 1.25 5 1.25

无 无 无

6

1 to 5 1 to 4.8 1 to 3.9 1 to 2

30 1.25 30 1.25 30 1.25 5 1.25

±90 ±5 ±90 ±5 ±90 ±5 ±20 ±5

400

5 ~ 40 (无结露)

35 ~ 85 (无结露)

130 190 250 360

50 70 90 110

AC

(100/200/400W)

AC

50,100,150,200,250,300

350,400,450,500,550,600

650,700,750,800

300,400,500,600,700,800,900,1000,(1100),1200,

(1300),(1400),1500,(1600),(1700),(1800),(1900)

2000

300,400,500,600,700,800,900,1000,(1100),1200,

(1300),(1400),1500,(1600),(1700),(1800),(1900)

2000,2500

300,400,500,600,700,800,900,1000,(1100),1200,

(1300),(1400),1500,(1600),(1700),(1800),(1900)

2000,2500,3000

50,100,150,200,250,300,350

400,450,500,550,600,650,

700,750,800,850,900,950,1000

50,100,150,200,250,300,350

400,450,500,550,600,650,

700,750,800,850,900,950,1000

1100,1200

0.22 0.32

0.80

6.6

只是设定位置和速度2个项目

高度和宽度大幅减少50%

使用线性马达使搬送

统更小型化

推压测长系

三合一多功能的化

直线导向

线性马达

位移传感器

无震动 高速驱动

最大速度

重复速度定位精度

两端重复定位精度

最大加减速度

简单编程(输入动作时间)

只需输入移动时间，目标位置以及

载重量即可完成

(带调程缧钉)

旋转角度

可以控制速度及加/减速度以及定位最多

内是

省能

的数值

点

360

LER系列

±0.05o

±0.01o

±100 ±10 ±100 ±10 ±100 ±10 ±40 ±10

44

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

电动元件

可对应电机品牌

电缸

标准模组(无电机型)

LE□系列

LEMH 系列

直线导轨单轴型

LEMHT 系列

直线导轨双轴型

LEMB 系列

基本型

最大可搬质量 11kg

1000mm/s

2000mm

最大速度

最大行程

LEMC 系列

凸轮随动型

LEM系列重复定位精度±0.08mm

·轻负载

·与外部导轨组合

·长行程

·直接加载工件

·长行程

·直接加载工件

·甚于凸轮随动式,需要

·耐力矩的场合

·高速搬运

·直接加载工件

·甚于直线导轨单轴型

需要耐力矩的场合

·高速搬运

同步带驱动与导轨部的偏置构造

与E-MY系列有安装互换性 薄型 滑台型 步进电机(带编码器DC24V)

最大可搬质量：60kg

最大速度：2,000mm/s（同步带驱动）

1,500mm/s（滚珠丝杠驱动）

最大加减速度：20,000mm/s2

最大行程：

重复定位精度：基本型 ±0.02mm

H螺距精度：±0.015mm

重复定位精度：

基本型 ±0.02mm

H螺距精度：±0.01mm

重复定位精度：

基本型 ±0.02mm

H螺距精度：±0.01mm

重复定位精度：

基本型 ±0.02mm

H螺距精度：±0.01mm

3,000mm

最大行程：1,500mm

1,200mm

（同步带驱动）

（滚珠丝杠驱动）

最大可搬质量：85kg

最大速度：1,800mm/s

最大加减速度：20,000mm/s2

最大压触推力：3343N

最大速度：1,000mm/s

最大行程：800mm

最大压触推力：736N

最大速度：1,200mm/s

最大行程：300mm

注:仅无电机规格

密封带型 LEF 系列 尺寸：25, 32, 40 高刚性无杆型 LEJ 系列 尺寸： 40, 63

尺寸：25, 32, 63 活塞杆型 注） LEY 系列 导杠型 LEYG 系列 尺寸：25, 32

同步带驱动

LEFB 系列

滚珠丝杠驱动

LEFS 系列

滚珠丝杠驱动 同步带驱动 滚珠丝杠驱动 滚珠丝杠驱动

LEJS 系列

电机功率：100W、200W、400W

可对应电机品牌：

新 马达侧端安装型

LEF 系列

控制器

I/O开关量控制

脉冲输入控制

总线通信控制

电阻挡缸-LEBQ系列

电机：DC

缸径：32、 行程：20、 最高阻挡力：150N

最高阻挡传送速度：135mm/s

50

30、

尺寸:25,32

最大可搬质量 20kg

1000mm/s

2000mm

最大速度

最大行程

最大可搬质量 20kg

2000mm/s

1500mm

最大速度

最大行程

最大可搬质量 20kg

2000mm/s

1500mm

最大速度

最大行程

LEM 系列

可选导轨机构

45

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

行业/机械设备应用 电子/继电器自动组装设备

LEF系列 密封带型薄型电缸／LEPY系列 小型活塞杆型电缸／LES系列 薄型电动精密滑台／

LEY系列 活塞杆型电缸／MHZ2系列 气爪

产品应用

LEF系列

密封带型薄型电缸

LEPY系列

小型活塞杆型电缸

MHZ2系列

气爪

LEY系列

活塞杆型电缸

LES系列

薄型电动精密滑台

工件

成功应用于

使用LEPY系列小型活塞杆型电缸

对齐工件。以LEF系列密封带型薄

型电缸控制\"X\"轴，LEY系列活塞

杆型电缸控制\"Y\"轴，LES系列薄

型电动精密滑台控制\"Z\"轴。再配

合气爪拾起小零件，可精确地把零

件放入继电器内。

行业/机械设备应用 电子/手机显示屏丝印设备

成功应用于

在手机显示屏丝印过程中，利用

LAT3系列卡片式电动驱动缸作高

精度中心定位(±5µm)，配合视觉

系统作较正，作丝印前的淮备，配

合MXQ系列气动滑台推送丝印刮

刀，能使产品达超高精度要求。

产品应用 LAT3系列 卡片式电动驱动缸/MXQ系列 气动滑台

显示屏玻璃

视觉系统

LAT3系列 卡片式电驱动缸

X 轴

Y 轴

丝印机的刮刀

MXQ系列 气动滑台

电子／晶片打磨

AF系列 空气过滤组合／ARP系列, IR系列 精密调压阀／MQQ系列 低摩擦气缸／ITV系列 电-气比例阀／G33系列 压力表

晶片

磨具

气源

(7) ITV2000系列

电-气比例阀

(2) AFM20系列

油雾分离器

(1) AF20系列

空气过滤器

(3) AFD20系列

微雾分离器

(4) ARP系列

精密减压阀

(5) IR1000系列

精密减压阀

(7) G33系列

压力表

(6) MQQ系列

低摩擦气缸

行业/机械设备应用

产品应用

成功应用于

在打磨晶片时，压力一定要稳定，

所以必须采用 MQQ 系列低摩擦力

气缸(金属密封)，通过改变给 ITV

系列电-气比例阀的电压或电流信

号来输出稳定气压。同时可以改变

ITV 电-气比例阀的气压来控制气缸

的升降。

行业/机械设备应用

产品应用

成功应用于

成功应用于LCD液晶面板贴膜

设备去除静电。

成

功

替

换

SMC

其它品牌

参数/项目 时间(S) 伏特(V) 测试效果

0.6

正离子减少 0.5 +1000 →+100 OK

0.7

~

+14

平衡度 -12 OK

+19

0.4

负离子减少 0.5 -1000 →+100 OK

0.4

测试数据

现场应用

IC芯片精确定位于LCD玻璃之上并进行绑定工序,

在产品完成对位数据计算的过程中，防止因静电的

产生把IC芯片击穿，所以需要利用IZS40除静电器消除。

特点

(安装高度300毫米时)

电气基板的静电消除

· 防止因放电造成元件的破损

· 防止灰尘附着

除静电器 [长条型]

IZS40/41/42系列

电子/LCD液晶面板贴膜设备

IZS40-1120-08系列 除静电器

应用例

46

电子/手机/半导体行业用 SMC 产品

(JTC) 日本技术中心

日本 (约1,200人)

(CTC) 中国技术中心

中国 (约90人)

(ETC) 欧洲技术中心

英国 (约80人)

(GTC) 德国技术中心

德国 (约90人)

(UTC) 美国技术中心

美国 (约130人)

SMC日本总公司

日本总公司

在当地的子公司

销售分公司

经销商

技术中心

全球服务网络

SMC在日本及海外有高市场占有率

62% 37%

全球市场占有率(估计* 日本市场占有率(估计 ) *)

● 销售办事处：供应，维修

● 技术中心：特殊产品，技术解决方案

*资料来源：SMC Corporation - Presentation of Financial Results for FY24.

・阿尔巴尼亚

・阿尔及利亚

・白俄罗斯

・比利时

・保加利亚

・喀麦隆

・象牙海岸

・克罗地亚

・丹麦

・爱沙尼亚

・埃及

・芬兰

・法国

● 法国

・德国

● 德国

・希腊

・匈牙利

・爱尔兰

・以色列

・意大利

● 意大利

・哈萨克斯坦

・肯尼亚

・拉脱维亚

・立陶宛

・马其顿

・摩洛哥

・荷兰

・尼日利亚

・挪威

・波兰

・葡萄牙

・罗马尼亚

・俄罗斯

● 俄罗斯

・塞尔维亚

・斯洛伐克

・斯洛文尼亚

・南非

● 南非

・西班牙

● 西班牙

・瑞典

・突尼斯

・土耳其

● 土耳其

・英国

● 英国

・乌克兰

・瑞士

● 瑞士

・捷克共和国

● 捷克共和国

・波斯尼亚-

黑塞哥维那

・奥地利

● 奥地利

生产工厂

销售办事处

欧洲及非洲

(11个国家/地区)

(46个国家/地区)

生产工厂

销售办事处

・阿根廷

・玻利维亚

・巴西

● 巴西

・加拿大

・哥伦比亚

・厄瓜多尔

・墨西哥

● 墨西哥

・秘鲁

・美国

● 美国

・智利

● 智利

● 阿根廷

北美洲

中美洲/南美洲

(5个国家/地区)

(10个国家/地区)

・澳洲

● 越南 ● 澳洲

● 泰国

・巴林

・孟加拉

・柬埔寨

・印度

● 印度・印尼

● 日本 ・日本

● 韩国 ・韩国

・科威特

・马来西亚

● 马来西亚

・缅甸

・新西兰

● 新西兰

・阿曼

・巴基斯坦

・菲律宾 ● 菲律宾

・卡塔尔

・沙特阿拉伯

・新加坡

● 新加坡

・斯里兰卡

・中国台湾

● 中国台湾

・泰国

・越南

・阿拉伯联合

酋长国

・中国

● 中国

・中国香港

● 中国香港

(13个国家/地区)

(25个国家/地区)

生产工厂

销售办事处

亚洲/中东/

大洋洲

23,000

生产工厂 : 30

员工人数 : 约 名

全球约80个国家/地区

个国家/地区

约 500个本地服务中心

约

23,000

生产工厂 : 30

员工人数 : 约 名

全球约80个国家/地区

个国家/地区

约 500个本地服务中心

约

代用气缸／订造气缸

SMC 可提供特别功能气缸，如耐高温、耐腐蚀及双行程气缸等，可按客户要求订造非标气缸，亦可按行业或机械特别订造

气缸，务求达到与原厂的气缸尺寸相同，交货快捷。所有为客户订造的气缸，均可享有100%不适用退货保证。

低摩擦型 (Q)

低油压型 (H)

不旋转活塞杆型 (K) 双活塞杆型 (W)

强力活塞杆密封圈气缸 (XC4)

双行程气缸 (XC11)

(单活塞杆型)

可调整行程气缸 (XC8)

(伸出可调型)

调程范围: 0~50mm

最高精度: ±5µm

最长行程: 50mm

最高精度: ±0.05mm

最长行程: 75mm

最高精度: ±0.05mm

最长行程: 50mm

最高精度: ±0.1mm

最长行程: 1000mm

最高精度: ±0.01mm

最长行程: 1500mm

最高精度: ±0.04mm

最长行程: 3000mm

最高精度: ±0.03˚

摇摆角度: 320˚(310˚), 180˚, 90˚

最高精度: ±0.1mm

最长行程: 2000mm

工业自动化配套项目专业推介

免费 电控产品选型借用及编程调试服务

SMC新款电缸

LAT3系列

卡片式电动驱动缸

LEL系列

带导杆型同步带电缸

LEM系列

超薄滑块型电缸

LER系列

电动旋转平台 LEPS系列

小型滑台型电缸 LEJS系列

滚珠螺杆电驱动缸

LEJB系列

同步带驱动电驱动缸

LEPY系列

小型活塞杆型电缸

日本标准系列

CA2 系列

缸径: 40~100mm

最长行程: 2500mm

CG1 系列

缸径: 20~100mm

最长行程: 1500mm

CJ2 系列

缸径: 6~16mm

最长行程: 400mm

CM2 系列

缸径: 20~40mm

最长行程: 1000mm

CQ2 系列

缸径: 12~160mm

最长行程: 300mm

CS1/CS2 系列

缸径: 125~160mm (CS2)

180~300mm (CS1)

最长行程: 1600mm

CLS 系列

缸径: 125~250mm

最长行程: 1600mm

CNA2 系列

缸径: 40~100mm

最长行程: 1500mm

CQM 系列

缸径: 12~100mm

最长行程: 100mm

MNB 系列

缸径: 32~100mm

最长行程: 1000mm

MY3A/B 系列

缸径: 16~63mm

最长行程: 2000mm

MY1B 系列

缸径: 10~63mm

最长行程: 4000mm

美国标准系列

NCA1 系列

缸径: 1½~4inch

最长行程: 28inch

NCM 系列

缸径: ¾~1½inch

最长行程: 12inch

NCJ2 系列

缸径: 6~16mm

最长行程: 8inch

NCG 系列

缸径: 20~63mm

最长行程: 12inch

NCQ8 系列

缸径: ~2½inch

最长行程: 4inch

16 9

欧洲标准系列

C55 系列

缸径: 20~63mm

最长行程: 150mm

C95 系列

缸径: 125~250mm

最长行程: 1600mm

C75/C76 系列

缸径: 32~40mm

最长行程: 1000mm

C85 系列

缸径: 8~25mm

最长行程: 1000mm

C96 系列

缸径: 32~125mm

最长行程: 1500mm

CP96 系列

缸径: 32~125mm

最长行程: 1500mm