光电及磁性材料产业链
目录 CONTENTS
09
烟台光电及磁性材料产业链发展实施方案
烟台光电及磁性材料产业链发展规划(2022-2024年)
烟台市支持新型半导体产业发展的政策意见(试行)
光电及磁性材料产业链
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09
烟台光电及磁性材料产业链发展实施方案
烟台光电及磁性材料产业链发展规划(2022-2024年)
烟台市支持新型半导体产业发展的政策意见(试行)
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— 32 —
烟台市光电及磁性材料产业链发展实施方案为进一步集聚创新资源,推动光电及磁性材料产业链高质量发展,建立产业链链长制工作机制,制定本实施方案。一、发展思路
以黄渤海新区为领建园区,以高新发区、招远市为关联区市,坚持高端化、创新化、链条化、园区化发展,瞄准微纳半导体和功率半导体两大方向,在基础材料和专用设备“一基一专”核心领域,实现跨越发展,全力构建“211”产业体系。依托睿创微纳、正海磁材等 10 家头部企业和 20 家骨干企业,发挥烟台光电传感产业园、功率半导体产业园等 10 大园区作用,重点攻关10项关键技术,突破发展非制冷红外焦平面芯片等10 个产业化项目,带动上下游企业配套发展,引导各类要素资源向园区倾斜,吸引高端项目、优质企业入园发展,加快形成技术领先、带动力强、集约集聚的光电及磁性材料产业体系。二、总体目标
聚焦产业链条延伸和产业生态构建,围绕“211”产业体系,三年内聚集产业链上下游企业 100 家、上市企业5 家、高新技术企业 50 家、专精特新企业 20 家,规模达到500 亿元,打造中国北方最具竞争力的特色光电和磁性材料产业新高地。(一)集中攻坚微纳半导体、功率半导体两大方向。
—33—1.在微纳半导体领域,拥有睿创微纳和明石微纳院等骨干企业,企业处于产业链中下游。建设目标:以睿创微纳为龙头,依托明石微纳院等骨干企业,重点布局各类光电探测器、激光器、微波器件以及微光学元件,补强上游光学镜头、PCB 贴片等研发,完善中游芯片设计、制造以及封装测试等公共服务平台体系,集聚下游精密快门、微显微镜等应用开发、终端产品制造类企业。企业名称 主要产品 供应商 主要客户 竞争企业下步规划睿创微纳
红 外 探
测器、热
成 像 机
芯 模 组
等。
上 海 中 芯 国
际,无锡华润
上华、浙江舜
宇光学、佛山
华 国 光 学 等
流片、镜头类
配套企业。
深 圳 大 疆
创新科技、
浙 江 宇 视
科技、四川
西 南 技 术
物 理 研 究
所 等 应 用
类企业。
武汉高德红外、浙江大立科技等。打造集成电路设计、封装、测试、应用等上下游配套一体化的完整产业链。预计三年内实现产值50 亿元。明石微纳
院
压 力 传
感 器 芯
片、器件
及 模 组
等。
苏 州 感 芯 微
系 统 等 芯 片
制造类企业。
青 岛 多 比
特、广州南
雪 等 医 疗
器 械 类 企
业。
苏州敏芯微电子、西人马联合 测控(泉州)科技等。构建涵盖研发设计、封装测试、系统应用的CIDM 完整产业链条,开发智能传感器及系统集成应用,争创国家微纳制造创新中心。预计三年内实现产值3 亿元。2.在功率半导体领域,拥有台芯电子和联测优特等骨干企业,企业处于产业链中游。建设目标:以台芯电子为龙头,加快建设8 英寸 IGBT 芯片背面流片生产线,上游引进陶瓷覆铜板、PBT外壳组件、微纳米银焊膏等配套企业,中游加快第三代半导体碳化硅的研发和生产,下游引进功率半导体器件测试装备、可靠性检测装备、应用仿真装备等头部企业落地。
— 34 —
企业名称 主要产品 供应商 主要客户 竞争企业下步规划台芯电子
大 功 率
半 导 体
器件等。
一诺电子、贺
利氏金属、德
邦 科 技 等 电
子 材 料 类 企
业。
北 京 龙 源
电力、广东
荣 创 等 电
子 器 件 应
用类企业。
浙江斯达半导体、江苏宏微科技等。加快建设8 英寸IGBT芯片背面流片生产线,推动大功率半导体器件国产化。预计三年内实现产值2 亿元。联测优特
半 导 体
(烟台)
车 规 级
半 导 体
封 测 技
术
建设先进封装测试制造基地,预计三年内实现产值1 亿元。(二)强力突破基础材料和专用设备“一基一专”两大关键领域。
1.基础材料领域。
①在集成电路专用材料领域,拥有德邦科技、贺利氏金属、一诺电子等骨干企业,万华化学、中节能万润等新材料龙头企业正在布局抛光垫、光刻胶等核心集成电路专用材料项目研发,企业处于产业链上游。建设目标:依托万华化学、中节能万润、德邦科技等重点企业,加快光刻胶、CMP 抛光材料、靶材、特种气体以及环氧模塑料等芯片制造、封装关键材料研发生产全覆盖,逐步实现国产全替代;引进集成电路封装类企业,补齐集成电路产业链。
企业名称 主要产品 供应商 主要客户 竞争企业下步规划德 邦 科
技
胶黏剂
美 国 陶 氏 化
学,德国巴斯
夫,日本信越
等精细化工类
企业。
江 苏 长 电 科
技、潍坊歌尔
股份等集成电
路类企业。
武汉世华科技、江苏晶瑞电材等。面向高密度CPU芯片等领域应用,开发底部填充材料等,实现材料国产化替代。预计三年内实现产值10 亿元。
—35—企业名称 主要产品 供应商 主要客户 竞争企业下步规划贺 利 氏
金属
键合金丝
上海黄金交易
所
江 苏 长 电 科
技、安靠封装
测试(上海)
等集成电路类
企业。
田中电子(杭州)、宁波康强电子等。完成键合金丝的替代产品(镀金银丝、镀钯铜丝、纯铜丝、键合金银合金丝等)研发及产业化。预计三年内实现产值40亿元。一 诺 电
子
键合丝、
蒸发及靶
射 材 料
等。
南 通 泰 德 电
子、常州铱鼎
等金银铜铝原
辅 材 料 类 企
业。
中山木林森电
子、南通华达
微电子等集成
电路类企业。
昆山铭凯益电子、宁波康强股份等。推动半导体封装材料研发测试平台建设,预计三年内实现产值8 亿元。②在新型显示材料领域,拥有显华科技、希尔德新材料等骨干企业,企业处于产业链上游。建设目标:依托显华科技、希尔德新材料等重点企业打通液晶材料、OLED 材料产业全链条,创新发展高性能聚酰亚胺膜、量子点发光材料、无机和有机新型发光材料、彩色光刻胶、有机绝缘膜、Mini LED 荧光膜、荧光片等显示关键材料,做大做强上游环节,打破国外垄断。企业名称 主要产品 供应商 主要客户 竞争企业下步规划中节能万
润
高 端 薄
膜 晶 体
管 等 液
晶材料
显 华 科 技 等
显 示 材 料 和
精 细 化 学 类
企业。
武 汉 京 东
方、上海天
马 微 电 子
等 液 晶 显
示 器 件 类
企业。
浙江联化科技、江西诚志股份等。在光刻胶材料、高性能聚酰亚胺等领域开拓创新,形成精细化工新材料研发制造体系。预计三年内实现产值80亿元。显华科技
液 晶 中
间体、混
合 液 晶
等材料。
山 东 盛 华 新
材 料 等 液 晶
材料类企业。
南 京 中 电
熊猫、深圳
华 星 光 电
等 液 晶 显
示 器 件 类
企业。
江 苏和成、石家庄诚志永华等。发挥海归博士第三代半导体机械抛光液技术,实现液晶显示材料与OLED 光电材料的多元化发展。预计三年内实现产值15 亿元。
— 36 —
企业名称 主要产品 供应商 主要客户 竞争企业下步规划希尔德新
材料
发 光 材
料、彩色
光刻胶
包头稀土、北
京中铝集团、
等 稀 土 材 料
类企业。
深 圳 华 星
光电、北京
维 信 诺 等
液 晶 显 示
器 件 类 企
业。
江 苏博睿、北京有研稀土等。
一是引进韩国高丽大学专家及团队,攻克卡脖子技术“液晶显示用有机绝缘膜”;二是由显示用光刻胶向半导体光刻胶升级延伸。预计三年内实现产值1.8 亿元。③在高性能磁性材料领域,拥有正海磁材、东星磁材等骨干企业,企业位于磁性材料产业链上游。建设目标:依托正海磁材、东星集团,创新传统钕铁硼磁体生产工艺,加速高性能钐钴永磁材料及关键制备技术自主研发,推出“SC3+”高性能钐钴永磁材料系列产品,进一步扩大永磁材料产能,提升区域品牌竞争力。企业名称 主要产品 供应商 主要客户 竞争企业下步规划正海磁材
高 性 能
钕 铁 硼
永 磁 材
料
山 西 五 矿 稀
土,北京中铝
集 团 等 稀 土
材料类企业。
丰田、三菱
电梯、小米
等 应 用 类
企业。
北京中科三环、江西金力永磁等。打造全球产能最大的稀土永磁材料研发生产基地。预计三年内实现产值150 亿元。东星磁材
高 性 能
钕 铁 硼
永 磁 材
料
内 蒙 古 包 钢
稀土、赣州科
力 等 稀 土 材
料类企业。
日 本 安 川
电机,德国
博 世 等 应
用类企业。
宁 波韵升、包头天和等。建设精工装备·新材料产业园,实施高性能钐钴永磁材料万吨级产业化项目。预计三年内实现产值50 亿元。2.专用装备领域。拥有华创智能、力凯数控等骨干企业,企业位于产业链的上游。建设目标:依托华创智能、力凯数控等重点企业,加速半导体封装微组装关键设备真空回流炉、平行封焊系统、多线切割机等设备研发生产,推动半导体装备国产替代。同时,加快推进半导体生产用静电吸盘等关键部件产业化项目。
—37—企业名称 主要产品 供应商 主要客户 竞争企业下步规划华创智能
半 导 体
封 装 设
备等
深圳研华等
机加工配套
企业。
中 科 院 半
导体所、北
京 凯 普 林
等 激 光 器
企业。
中电 2 所等。
完善微电子(微组装)封测实验公共平台建设,发掘2-3 种光电器件、军工器件实现产业化。预计三年内实现产值达8000万元。力凯数控
激 光 切
割设备
西安隆基、
天津中环等
晶硅材料生
产企业。
常 州 天 合
光能、苏州
阿 特 斯 等
电 池 组 件
生产企业。
青 岛 高测股份、东 莞 宏远 股 份等。
聚焦专用设备领域金刚线多线切割技术研发,预计三年内实现产值2亿元,市场占有率全国前三。三、重点任务
围绕“211”产业体系,规划建设10 大产业园区,做大做强10 家头部企业,强力推进 10 大重点在建项目,精准布局“1+5+N”创新策源平台,集中突破 10 项关键技术,全面提升产业链创新策源能力。
(一)全力攻坚 10 大产业园。按照谋划一批、提速一批、优化一批的工作思路,规划建设 6 个现有光电特色产业园,加快谋划 4 个特色产业园。
1.推动现有 6 个园区快速发展。①烟台光电传感产业园,规划投资 200 亿元,以睿创微纳为龙头,以新型半导体公共服务平台为引领,统筹布局研发、孵化、加速、检测和产业化板块,快速吸纳芯片、器件、模组、终端整机等上下游企业和项目,构建相对完备的产业生态。上半年开工建设。②台芯功率半导体产业园,规划投资 70 亿元,统筹布局IGBT 模块研发生产、芯片设计、功率模块封装、可靠性检测等板块,建设首个第三代功率半导体
— 38 —
全链条 IDM 园区。6 月完成二期规划方案,年内开工。③一诺电子半导体材料产业园,规划投资3.5 亿元,以半导体键合丝及相关焊接原材料生产研发为主体,打造成配套齐全的半导体封测产业链的企业集群平台。建设总工程量已完成80%,预计年内完成搬迁和运营。④国家微纳制造业创新中心生产基地,规划投资10亿元,重点研发生产多种压力传感器、气体传感器、氧化锆氧传感器等高端科研仪器产品,同时拓展精密仪器、相关材料与算法等技术和产品研发。预计 6 月底开工建设。⑤东仪光电产业园,规划投资 2 亿元,通过“研究院—专业孵化器—专业产业园”创新产业模式,打造全市乃至全省高端分析仪器研发制造高地。一期投资 1.2 亿元建设的东仪科研中心A、B 座、实验中心、光栅刻划实验室四栋,建筑总面积 3.7 万平方米,目前已竣工并投入使用,二期规划激光诱导击穿光谱LIBS、显微科技产业,建设方案正在规划中。⑥金宝电子材料产业园,规划投资2.72 亿元,培育5G 通讯用极低轮廓(HVLP)铜箔升级项目,打造5G 电解铜箔和覆铜板行业项目建设新标杆,目前项目一期正在进行设备安装。2.加快谋划 4 个新产业园区建设。①正海磁材高端稀土永磁材料产业园,规划投资 50 亿元,整合优化新能源汽车、消费电子、节能家电元器件专业化生产厂区,构建一个总部基地、三大专业化产业园区的“1+3”发展格局,形成配套完备的稀土永磁产业生态。9 月完成总体规划方案。②东星精工装备产业园,规划投资200 亿元,布局高性能稀土永磁材料板块,打造本地化高端永磁
—39—材料研发。9 月完成总体规划方案。依托特色产业园区,快速构建产业生态,3 年内聚集上下游企业10 家。③力高数字能源产业园,规划投资 30 亿元,投产 BMS 电池管理系统、注塑产业化项目,实现电池管理系统信息采集芯片国产化替代。6 月完成总体规划方案和新选址改造提升计划,年内启动搬迁,2023 年上半年投产运营。④希尔德光电显示产业园,规划投资4000 万美元,投产有机绝缘膜、摄像头芯片用光刻胶项目。7 月份完成总体规划方案,8 月开工建设,2023 年下半年建成。(二)做大做强企业梯队。全力支持做大一批领航企业,培育一批细分领域单项冠军、专精特新企业,聚集一批技术领先、创新活跃的潜力型中小企业,构筑“雁阵型”企业梯队,助推产业链高质量发展。
1.重点支持首批 10 家头部企业。①睿创微纳,立足烟台总部,全国布局研发飞地,保持国内非制冷红外技术领军地位,产品向终端应用延伸,3 年内产值突破50 亿元。②正海磁材,提升磁体晶界扩散技术和细晶技术,进一步扩大产能,打造全球产能最大的稀土永磁材料研发生产基地,3 年内实现年产值150亿元。③中节能万润,加快 OLED 材料及器件、柔性显示材料研发及产业化,巩固显示材料领域龙头地位;全力突破正性光刻胶制备与产业化,实现国产化替代,3 年内产值突破80 亿元。④显华科技,保持单色混合液晶市场份额全球首位,加强OLED 材料研发推广;超前布局第三代半导体 CMP 抛光液研发攻关,3 年内产值突破15亿元,
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力争实现境内上市。⑤德邦科技,壮大烟台总部,提高集成电路封装、平面显示、新能源动力电池等细分应用领域市场占有率,逐步实现国产替代进口,年内实现科创板上市,3 年内产值突破10 亿元。⑥东星磁材,加速高性能钐钴永磁材料及关键制备技术自主研发,布局 2000 吨高性能钐钴永磁材料生产线,3年内产值突破 50 亿元。⑦贺利氏贵金属材料,依托德国贺利氏集团研发技术平台,优化新型高可靠性金银丝/金钯铜丝生产工艺,3年内产值突破 40 亿元。⑧金宝电子,优化生产技术,在高性能覆铜产品领域持续创新,为 5G 技术提供硬件支撑,3 年内产值达到50亿元。⑨一诺电子,扩大键合丝、焊丝等各类半导体封装材料生产规模,提升行业领军地位,3 年内产值突破8 亿元。⑩九目化学,完善 OLED 单体生产线,保持 OPC 感光材料国内龙头地位,3年内产值突破 8 亿元,力争实现境内上市。2.梯次培育 20 家细分领域骨干企业。①台芯电子,扩大IGBT模块产能,布局快速充电领域,提高市场占有率,3 年内产值突破 2 亿元,入选“专精特新”小巨人。②力凯数控,“高端装备+核心技术”双轮驱动,聚焦专用设备领域金刚线多线切割技术研发,3 年内产值突破 2 亿元,力争占有率全国前三。③力高新能源,加速突破新能源汽车和储能“双赛道”,实现BMS 电池管理系统信息采集芯片国产化替代,3 年内产值突破5 亿元。④海川化学,持续发力聚酰亚胺中间体材料的研发与生产,进一步丰富显示材料产品线,3 年内产值突破5 亿元。⑤明石微纳研究院,快
—41—速实现压力传感器、气体传感器技术攻关,面向医疗、家电、工业及航空航天领域落地产业化项目,3 年内新增落地项目2个,产值突破 3 亿元。⑥万华电子,以高纯度乙硅烷为切入点打开特种气体市场,打破国际垄断,3 年内产值突破2 亿元。⑦丰蓬液晶,推进产线智能化建设,巩固液晶中间体和液晶单体在国内的市场份额,3 年内产值突破 2 亿元。⑧泰盛精化,突破电子胶粘剂领域技术壁垒,解决现有产品在电子组装等领域应用缺陷,产品达到国内领先水平,3 年内产值达到2 亿元。⑨明德亨电子,提高晶体谐振器产线产能,壮大石英晶体谐振器生产规模,成为国内领先、国际知名的石英晶体供应商,3 年内产值突破2亿元。⑩希尔德新材料,投产有机绝缘膜、摄像头芯片用光刻胶项目,填补国内空白,3 年内产值突破1.8 亿元。⑪东仪光电,实现分析仪器及核心部件的国产化,3 年内产值突破1 亿元。⑫华创智能,推动真空回流炉和平行封焊系统技术国产替代,搭建万级自主半导体封装测试验线提供专业服务,3 年内产值达到1亿元。⑬联测优特半导体,建设全球一流的封测基地及研发中心,项目年内竣工,3 年内产值达到 1 亿元。⑭魔技纳米,研发商用纳米级三维激光直写制造系统,3 年内产值达到2 亿元。⑮凯瑞尔光电,突破光刻胶树脂关键技术,将LCD 光刻胶、摄像头芯片光刻胶等产品应用于显示、芯片等领域,3 年内产值达到1亿元。⑯显华光电研究院,利用分子材料大数据和高通量计算,系统性开发自主知识产权新材料,实现从点到面飞跃,3 年内产值突破1
— 42 —
亿元。⑰迈科显微,提升超分辨显微成像技术,打破国外垄断,3 年内产值突破 5000 万元。⑱华电研究院,提供功率半导体器件可靠性测试装备及测试服务,3 年内产值达到5000 万元。⑲珈港电子,突破我国在通用高性能密码安全芯片上技术瓶颈,3年内产值达到 2 亿元。⑳睿瓷新材料,开展静电吸盘的国产化研制,建设 12 吋和 8 吋静电吸盘生产线,3 年内产值突破2 亿元。(三)强力推进 10 大在建项目。①非制冷红外焦平面芯片技术改造及扩建项目,依托睿创微纳,总投资2.5 亿元,建设高端、中高端、中低端和低成本四个探测器系列产品生产线。10月建成投产。②年产 2500 吨摄像头芯片光刻胶和有机绝缘膜产品项目,依托希尔德材料,总投资 3.74 亿元,推动彩色光刻胶和TFT用有机绝缘膜研究。8 月开工建设。③键合丝扩能项目,依托一诺电子,总投资 1.5 亿元,建成半导体封装材料和芯片用材料的综合服务平台。年内项目竣工。④硅烷类产品生产项目,依托烟台万华电子材料,总投资 5.97 亿元,建设达产后年产90 吨甲硅烷、50 吨乙硅烷。年内完成设备安装。⑤IGBT 模块生产线扩建项目,依托台芯电子,总投资 5 亿元,推动国家电网定制化1200V/900A大功率 IGBT 模块项目批量生产。7 月完成合同签订,年内完成设备安装。⑥高端新型显示材料产业化项目,依托显华科技,总投资 5 亿元,建设液晶单体纯化生产线,TFT 混合液晶生产线,OLED升华生产线。年内完成设备安装。⑦OLED 显示材料及其他功能性材料项目,依托九目化学,总投资20 亿元,建设OLED显示材料、
—43—OPC 感光材料的自动化高端生产线。正在进行设备安装调试,年内完成一期工程。⑧智路联测烟台半导体项目,依托联测优特,总投资 7.9 亿元,建设集成电路封装测试生产线,达产后年产14.58 亿颗 QFN 等封装测试产品。年内项目竣工。⑨大规模集成电路平坦化关键材料项目,依托万华化学集团电子材料,总投资15.7 亿元,形成年产 CMPSLurry 研磨液1.5-2 万吨、CMPPad研磨垫 60 万片的生产能力。正进行设备安装调试,一期工程年底竣工。⑩力凯数控多线切割设备项目,依托力凯数控,总投资2亿元,建成后,形成年产多线切割设备500 台的生产能力。力争年内竣工。
(四)布局建设“1+5+N”创新策源平台。充分发挥省实验室作用,搭建两大公共服务平台、三大关键共性技术和成果转化平台,以及一批企业创新平台,构建产业链创新策源体系。1. 发挥烟台先进材料与绿色制造山东省实验室作用。①依托蒋庄德院士团队,打造高端 MEMS 传感技术及系列器件、数字化精密测量与超精密加工技术与装备平台。②依托方维海院士团队,突破大通量计算与模拟技术,打造先进的光电材料基因工程中心。③依托彭孝军院士团队,突破半导体集成电路及显示用染料关键技术。
2.搭建产业链公共服务平台。①依托睿创微纳智能光电传感器研发中试平台,集成 EDA 工具平台、失效分析平台、晶圆测试平台,打造先进封装测试研发和工程化验证平台。②依托一诺电
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子半导体封装材料研发测试平台,围绕半导体封装材料关键共性技术创新研发,提供涵盖半导体集成电路、三极管、功率器件、LED 封装及芯片制造全领域核心材料研发测试服务。3.搭建产业链关键共性技术和成果转化平台。①依托台芯大功率半导体器件检测及技术研究院,建设大功率半导体器件装备研发制造中心、检测测试服务中心等4 大中心,打造世界一流水准的大功率半导体器件测试技术研究基地。②依托西安交大智能传感技术研究院,重点突破 MEMS 智能传感器关键技术,实现部分核心部件国产化,放大山东省微纳传感技术与智能应用创新创业共同体协同效应,打造国内一流、国际上具有一定影响力的智能传感器产业集群和人才高地,争创微纳传感国家制造业创新中心。③依托北师大分子材料基因组工程研究院,加快高精度量子化学模拟开发专利材料,建成国家及世界重要的材料基因组工程基地。4.搭建产业链企业创新平台。一是推动35 个现有省级以上企业创新平台提档升级,支持山东省微纳传感技术与智能应用制造业创新中心争取国家牌子,彩色显示与摄像芯片光刻胶材料等4家市级重点实验室加快筹建。二是新谋划布局一批企业研发平台。鼓励睿创微纳申报智能光电传感省级技术创新中心,支持万华电子等一批企业申报特种气体重点实验室等市级研发平台。(五)集中突破 10 项关键技术。重点支持光电关键元器件及材料、高端芯片、先进工艺和生产装备等核心技术研发,采用“揭榜挂帅”“赛马制”等方式,加快光电及磁性材料创新成果产业化。
—45—1.突破大规模集成电路平坦化关键材料研发。依托万华化学集团电子材料,开发具有自主知识产权的CMP 抛光垫及关键原料膨胀微球制备技术,打通产业链上游CMP 关键材料全产业链工艺流程,解决制约我国先进制程芯片产业的“卡脖子”技术、材料和应用问题。
2.突破超级充电站用 900A IGBT 模块研发。依托台芯电子,开发超级充电桩用 IGBT 模块,围绕产业链中游芯片研发设计、封装结构工艺设计及可靠性检测,打破高端应用领域IGBT器件的国外垄断,降低充电桩的制造成本,实现超级充电桩的普及推广。3.突破第三代半导体用 CMP 抛光液关键技术。依托显化科技,通过优化磨料系统及化学分散系统,创新催化化学体系,开发出位于产业链上游的高效且稳定的碳化硅等第三代半导体CMP抛光液,力争国内市场占有率达到 50%以上。4.突破稀土磁材超高精度多线高速切割智能制造成套装备。依托力凯数控,通过研发超高精度多线高速切割机床,开发稀土永磁材料生产物联网平台,形成处于产业链上游的稀土磁材多线切割装备智能生产线,打破稀土永磁材料生产环节高端核心装备国外垄断。
5.突破高性能微差压压力传感器核心芯片设计与制备。依托明石微纳院,针对产业链中游的微型高性能、高灵敏压阻式微压传感器进行研究,建立建全芯片设计平台、传感器制造平台、传感器测试标定平台和量产制造平台,实现微差压传感技术自主可控。
— 46 —
6.突破高质量低重稀土永磁材料的研发及应用。依托正海磁材,采用国际领先的晶界复合扩散技术、细晶技术、均质烧结技术等,研究位于产业链上游的新型低成本稀土永磁材料的制备及产业化技术,进一步降低钕铁硼磁体中重稀土的使用量,提升产品国际竞争力。
7.突破中红外激光气体遥测关键技术研发及应用。依托睿创微纳,搭建芯片、器件、系统集成、图像算法、试验检测等全流程研发设计检测平台,突破位于产业链中游的中红外QCL激光器、低噪声大光敏面积中红外制冷探测器等核心器件“卡脖子”关键技术,研制国产化、低成本、高精度中红外激光气体检测装备,实现核心技术和产品的自主可控。8.突破高可靠性集成电路用新型键合丝关键技术研究与产业化。依托一诺电子,瞄准集成电路、LED 等领域对高可靠性键合丝的需求,研究合金掺杂、析出、钝化、环保电镀、均匀覆层等核心技术,开发位于产业链上游的高可靠性新型覆层键合丝产品,实现键合丝中高端产品国产替代。9.突破芯片用化学增幅型正性光刻胶制备与产业化。依托中节能万润,围绕位于产业链上游的高分辨率高端KrF 光刻胶进行技术突破,解决制约我国光刻胶技术发展的六项关键技术难题,具备年产 20 吨级光刻胶生产能力,打破国外技术封锁与市场垄断。10.突破自动真空回流炉及自动平行缝焊系统研发及产业化。依托华创智能,对核心部件电源进行设计整合,改造电源输出模
—47—式,实现放电稳定;改进软件功能和自动化设计,提高缝焊速度与质量;围绕产业链上游半导体封装设备,解决国产装备工艺难题。
(六)抓好双招双引。强链引进功率半导体龙头型项目,聚集一批优势企业入链发展;围绕“链主”企业延链,加快导入微纳半导体上下游配套产业;补链“一基一专”关键领域高附加值环节,提升产业核心竞争力。3 年内新增落地项目10 个,科研院所产学研合作 50 项,高层次人才合作引进50 人,聚集研发人员超过 2000 人。
1.在谈项目推进方面,跟踪4 个科技成果转化项目和4个区内上下游企业配套项目,力争年内落地。①内储物非接触式量化热成像检测项目,拥有国内第一款完全知识产权的内储物非接触式量化检测技术,具有测试快、安全、成本低、操作简便的优势。②MEMS 传感技术研发及产业化项目,涵盖了MEMS 流量传感芯片、模组、终端整机三类,产品初期为“汽车发动机空气流量计”及“电子烟咪头”,未来逐步拓展更多应用领域,实现产品多元化、市场全球化。③OLED 发光新材料多通道寿命检测项目,采用多通道低噪声高稳定性的 OLED 信号采集技术,实现广泛的实验室高端测量仪器的国产化替代。④三维激光追踪球杆仪成套测量装置项目,在激光跟踪技术的基础上,结合球杆仪开发出机械式激光跟踪技术,实现测量系统姿态的被动实时调整。⑤半导体芯片设计项目,实现集成电路设计、集成电路芯片设计及技术服务。⑥第
— 48 —
三代半导体封测项目,提供半导体晶圆等相关材料封装测试。⑦高压 MOSFET 功率半导体芯片项目,实现新型功率半导体器件的设计、生产。⑧智能功率模块测试系统项目,集测试技术研究、开发、制造为一体,实现电子元器件筛选测试,保证元器件应用的可靠性。
2.科研院所合作方面,推动4 个校企联合实验室落地,加快招研引技为产业赋能。①睿创微纳与西安电子科技大学建设“光电技术联合实验室”,协同攻克先进性、前沿性光电核心技术,建立科技成果转化中心和高素质人才培养中心。②中节能万润与大连理工大学建设重点实验室烟台分中心,加快半导体专用材料技术攻关。③一诺电子与哈尔滨工业大学(威海)建设“封装材料联合实验室”,促进电子封装材料关键技术研发和产业人才培养。④正海磁材与山东大学合作建设“磁性材料联合实验室”,提升高质量低重稀土永磁材料制备工艺,拓宽应用场景。3.人才引育方面,推动产才融合,打造光电产业人才洼地。①公开发布《烟台开发区 2022 年度特色半导体产业急需紧缺人才目录》,首批推出光学和光刻胶工程师等71 个紧缺人才岗位,提高人才资源配置效率和区域曝光度。计划年内举办光电及磁性材料产业专场招聘会。②“订单式”培育专业人才,引导哈工程研究院率先推行特色专业定向招生。③全球招引顶尖人才,依托凯瑞尔光电、显华科技和希尔德新材料,全职引进有关海外专家,申报国家级人才,技术转化后填补多项国内空白。④抓紧储备声
—49—学方面的人才、技术和项目,构建光、电、磁、声完整产业链。四、保障措施
统筹区域产业布局,推动有关区市协同发展。加快建立“一个专班、一个联盟、一支基金、一项政策”的“四个一”推进机制,强力推进产业链落地实施。(一)发挥一个专班作用。实体化运作链办,建立周调度、月通报等日常调度督导机制,指导领建园区、关联园区一体化推进产业链发展,制定年度工作计划,列出清单、挂图作战、倒排工期,全力保障产业链各项工作高效推进。(二)搭建一个产业联盟。支持链主企业睿创微纳吸收上下游重点配套企业和研发、基金、人才等关键节点服务机构组建产业联盟,建立政府指导、平台承办、双向互动机制,抓好产业链垂直整合和横向协同,构建需求对接、业务关联、市场融合、经营协同的产业生态。鼓励企业协同组团开拓外地市场,抱团进入行业龙头企业供应体系,形成产业集群规模效应,做强区域核心竞争力。
(三)建立一支产业基金。设立市级科技股权投资引导基金,加大对创新成果在种子期、初创期的投入力度。通过科技信贷、科技担保等方式拓宽融资渠道,支持企业做大做强。(四)出台一批扶持政策。充分调研产业链发展堵点、难点,以问题导向精准落实有关扶持政策,优先保障土地、资金、人才、紧性约束指标等要素供给;重点支持产业领域技术创新;加大首
— 50 —
台(套)技术装备、首批次新材料等重大创新产品支持力度;支持半导体封装材料研发测试平台等向全市中小企业提供服务。附件:1.烟台市光电及磁性材料产业链“链长制”工作机制2.烟台市光电及磁性材料产业链链办成员名单
—51—附件 1
烟台市光电及磁性材料产业链“链长制”工作机制为进一步加速光电及磁性材料产业创新资源集聚,推动光电及磁性材料产业链高质量发展,现就产业链“链长制”制定如下工作机制。
一、工作目标
坚持新发展理念,以打造中国北方最具竞争力的特色光电和磁性材料产业新高地为目标,以创新为第一动力,按照“创新驱动、龙头引领、项目支撑、特色发展”的思路,着力强链,延链、补链,建立高效的统筹指挥体系和工作承接机制、项目管理机制、联合服务机制,为链上企业和项目提供高效、专业、精细的全程服务,放大集聚融合发展优势,形成一条更强创新力、更高附加值、更具竞争力的产业链条。
二、工作分工
由分管副市长担任产业链链长,负责牵头抓总,协调区市间产业协同关系,统筹全市政策资源配置,推进产业链发展重大事项,协调解决重大瓶颈问题。市科技局作为牵头部门,链办设在黄渤海新区,具体分工如下:
1.主任:烟台开发区工委副书记、管委副主任刘建民同志负
— 52 —
责链办工作,牵头负责光电及磁性材料产业规划布局、园区建设、项目招引、项目推进等工作。市科技局局长李杰同志负责光电及磁性材料产业联系协调工作,推动资源信息共享,研究提出产业布局、项目落地方面的意见建议,协调领建园区、关联园区、市政府有关部门、单位,推动相关资源要素聚链发展。2.常务副主任:烟台开发区工委委员、黄渤海新区经发科创局局长姚光磊同志协助刘建民同志工作,统筹谋划、一体推动产业链发展,负责制定落实产业规划、工作方案及政策措施;推进产业链重大事项,包括重要园区、重点项目、招商引资、搭建平台等。3.副主任:市科技局副局长许博同志协助李杰同志工作,负责产业联系协调工作。高新区工委委员、管委副主任于红绫同志负责光电及磁性材料产业链涉及高新区范围的工作。招远市政府副市长刘福利同志负责光电及磁性材料产业链涉及招远市范围的工作。黄渤海新区经发科创局副局长赵玲同志协助姚光磊同志工作,负责产业链一线工作的具体推进。烟台睿创微纳技术股份有限公司副总经理赵芳彦同志负责谋划实施延链补链强链项目;剖析产业链供应商、采购商,绘制招商图谱及客商清单,配合链办开展精准招商;牵头组建产业联盟,推动上下游协同发展。三、内设小组及职责
1.综合协调组:负责统筹安排各类综合性会议、活动等工作;建立并落实旬报、月报、简报工作机制,把握动态、剖析问题、推动产业链健康发展。
—53—2.项目推进组:研究产业链基础工作,牵头绘制产业链全景图、产业资源库、客商信息库、目标企业库、项目信息库、重点人才库等“一图五库”;建立在谈项目、签约项目、在建项目和投产项目四项清单;编制产业规划,研究制定产业链发展的三年行动计划和实施意见,制定产业链培育推进年度工作计划或工作方案,确定发展目标,明晰发展路径,根据产业链发展需求,提出支持产业链发展的政策;推进重点项目、招商引资、招才引智、搭建平台等重大事项的落实;定期梳理产业链推进情况,包括产业研究、招商引资、项目推进、涉企服务、平台搭建等情况,分析存在的问题,提出下步推进措施和意见建议,并于每月6日、16 日、26 日将上述情况报送综合协调组。3.招商服务组:与链上企业建立常态化沟通渠道,会同链主企业和骨干企业定期梳理招商企业重点清单,制定招商手册、宣传片、招商地图等招商工具包,利用“选择山东”云平台、山东省重点外资项目跟踪推进平台、投资烟台产业招商平台,以及政府门户网站、微信公众号、自媒体平台等方式,高强度、高频次、大范围地发布;定期汇总链主企业和骨干企业的发展需求,积极对接市外高校院所、各类企业,精准服务市内重点企业和重大项目等;定期举办线上推介会,推进项目合作、平台搭建、成果转化、招商引资、招才引智等事项,促进企业和高校院所间优势互补、强强联合;邀请行业领域内专家来烟或线上授课,提升专业招商能力。
— 54 —
附件 2
烟台市光电及磁性材料产业链链长制成员名单链 长:韩耀东 副市长链 办 主 任:李 杰 市科技局局长刘建民 烟台开发区工委副书记、管委副主任链办常务副主任:姚光磊 烟台开发区工委委员、经发科创局局长链办副主任:许 博 市科技局副局长刘福利 招远市副市长于红绫 高新区工委委员、管委副主任赵 玲 黄渤海新区经发科创局副局长崔振忠 山东产业技术研究院(烟台)副院长赵芳彦 烟台睿创微纳技术股份有限公司副总经理综合协调组:姜 雪 市科技局高新科科长于星圆 黄渤海新区经发科创局高新处处长张珊珊 黄渤海新区经发科创局科员项目推进组:姜成杰 招远市科技局副局长王 鹏 高新区科技创新部一级主办刘 强 烟台睿创微纳技术股份有限公司总监李韶涛 中节能万润股份有限公司合作总监周克博 明石创新微纳传感技术研究院有限公
—55—司战略科技部总监徐 宁 烟台正海磁性材料股份有限公司企划中心副经理房 震 烟台先进材料与绿色制造山东省实验室能源与光电转换材料方向课题负责人招商服务组:戚 鹏 烟台市科技创新促进中心科长张笑坤 招远市科技局高新科科长牛 晓 黄渤海新区招商局信息技术产业中心副主任蔡 勤 黄渤海新区招商局信息技术产业中心科员于小飞 高新区科技创新部创新发展科科长李正明 山东产业技术研究院(烟台)项目主管
烟政办字〔2020〕54 号
各县市区人民政府(管委),市政府有关部门,有关单位:
《烟台市支持新型半导体产业发展的政策意见(试行)》
已经市政府同意,现印发给你们,请认真贯彻执行。
烟台市人民政府办公室
2020 年 8 月 26 日
(此件公开发布)
为抢抓半导体产业新一轮发展机遇,推动更多产业资源
和创新要素向烟台集聚,建设集设计、制造、测试、封装、
公共服务平台为一体的产业链,现制定政策如下。
第一条 支持范围为集成电路设计、制造、测试、封装
以及提供公共技术(服务)的企业和机构,工商注册地、税
务征管关系及统计关系均在烟台市范围内,有健全的财务制
度、具有独立法人资格、实行独立核算,承诺三年内不改变
在烟台市的纳税义务、不减少注册资本的企业。
第二条 支持企业新产品设计。市内集成电路设计企业
参加 MPW 项目(多项目晶圆),同一设计型号首轮流片、再
次流片分别按直接费用的 50%、30%给予补贴,单个企业每年
最高不超过 200 万元。
第三条 支持企业新产品工程化、规模化生产。企业进
行工程流片,按照型号产品(需获得相关知识产权认定)掩
膜版制作费用或首轮流片费用的 50%给予补贴,单个企业每
年不超过 500 万元。
第四条 支持企业开展封装、测试、EDA(电子设计自
动化)服务。对市内企业开展 MPW 项目、工程产品流片进行
可靠性、兼容性测试(含中测、成测)、封装验证的,按实
际支付费用给予最高不超过 40%的补贴;利用市内 EDA 服务
平台进行开发设计的,按实际支付费用给予最高不超过 40%
的补贴;对市内集成电路企业购买市内企业自主研发的 EDA
工具,可按照实际发生费用的 50%给予补贴,每个企业年度
总额不超过 400 万元。
第五条 支持企业购买 IP(知识产权)开展研发。鼓励
市内企业购买 IP 用于高端芯片研发,购买市内非关联企业
IP 的,给予实际支付费用 50%的补贴;支持市内企业利用共
享 IP,给予实际支付费用 60%的补贴;每个企业年度总额不
超过 600 万元。
第六条 支持半导体产业项目建设。对符合国家产业政
策鼓励发展方向和我市产业结构调整支持方向且生产性设
备实际投入 500 万元(含)以上的新上或技术改造单个项目,
按照设备投资额的 10%、最高 1000 万元补助。
第七条 支持洁净厂房建设。市内企业(项目)建设万
级以上洁净厂房(含 A 级 GMP 厂房)的,按照洁净厂房实际
投资总额的 30%给予最高 3000 万元的股权投资。
第八条 支持集成电路企业、产业联盟、专业机构等建
设公共服务平台。对年度服务企业超过 20 家的平台,给予
不超过建设投资额的30%、最高300万元的一次性资金支持。
对经认定的集成电路领域服务平台按照当年服务收入的 30%、
最高不超过 400 万元给予资金支持,补贴最多不超过 3 年。
第九条 支持本地传统制造业企业与集成电路企业合
作开发智能化产品。对采购本地企业芯片或模组产品且年度
智能化产品销售收入首次超 1 亿元的本地传统制造企业,按
年度采购额的 10%奖励,年度最高限额 500 万元,奖励时限
自首次超 1 亿元销售收入起 3 年内;对采购本地企业芯片或
模组产品且年度销售收入 10 亿元以上的本地集成电路系统
(整机)、终端企业,按首次采购额的 40%奖励,最高限额
500 万元。
第十条 支持企业开展并购。对并购市外集成电路项目
(包括股权关联企业)且并购规模在 1 亿元以上、10 亿元以
下的集成电路企业或社会资本,按并购金额的 5%进行股权投
资,并购规模达 10 亿元及以上的采取“一事一议”方式重
点扶持;对并购过程中发生的评估、审计、法律顾问等前期
费用,按 30%的比例补助,单一企业年度最高限额 300 万元。
其中,社会资本并购项目须落地本市方可享受本政策。
本意见所需资金从年度市级制造业强市专项资金预算
中统筹安排。
本意见自 2020 年 10 月 1 日起施行,有效期至 2025 年 9
月 30 日,由烟台市工业和信息化局负责解释。
清洁能源产业链
目录 CONTENTS
10
烟台市清洁能源产业链链长制实施方案
烟台市碳达峰工作方案
烟台市能源消费指标收储使用管理办法(试行)
烟台市氢能产业中长期发展规划(2022-2030年)
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