奥谱天成 · 集团

产品画册

半导体薄膜厚度分析仪

01 Ɩ 奥谱天成 • 集团

SM200 光学薄膜厚度测量仪器

技术参数

型号 SM200-UV SM200 SM200-NIR

一般规格

光谱波长 200nm-1000nm 400nm-1000nm 900nm-1700nm

光源 氘卤组合灯 钨卤素灯

测量规格

厚度范围 1 1nm-30um 20nm-60um 100nm-250um

准确度 2 ±2nm 或 0.2% ±3nm 或 0.4%

入射角 90°

膜厚层数 1 层 ~3 层

样品材料 透明或半透明薄膜

测量模式 单点测量

光斑尺寸 3 1mm

样品尺寸 直径从 1mm 到 300mm 或更大

基本要求

操作系统 Windows10/11

指示灯 氘灯指示、卤灯指示 卤灯指示

按键 电源按键、氘灯、卤灯 电源按键、卤灯开关

外部接口 电源插座、USB 2.0、光纤输入口、光纤输出口

材质 铝合金

供电电源 100~240VAC，50~60Hz

包装清单 主机、测量平台、电源线、通信线缆、光学探头、Y 型光纤

备注：①②取决于材料；测量样品为硅上二氧化硅薄膜，测量条件为奥谱天成实验室，测量结果取较大者；③可定制 1mm-5mm

超长寿命光源 高分辨率 界面操作方便

表格内参数仅代表标准产品，其他参数均可定制

www.optosky.com Ɩ 02

国产高端光谱仪器

▪半导体镀膜：光刻胶、氧化物、淡化层、绝缘体上硅、

晶片背面研磨；

▪液晶显示：间隙厚度、聚酰亚胺、ITO 透明导电膜 ;

▪光学镀膜：硬涂层、抗反射层；

▪微电子系统：光刻胶、硅系膜状物、印刷电路板；

▪生物医学：医疗设备、Parylene

▪非接触式、非破坏性的测试系统；

▪超长寿命光源，更高的发光效率；

▪高分辨率、高灵敏度光谱仪，测量结果更准确可靠；

▪软件界面直观，操作方便省时；

▪历史数据存储，帮助用户更好掌握结果；

▪桌面式分布设计，适用场景丰富；

▪维护成本低，保养方便

产品特点

系统及测量原理

应用领域

SM200 是一款利用利用薄膜反射光干涉原理研制而成的自动薄膜厚度测绘仪。 它利用波长范围最宽为

200-1700nm 的光垂直入射到薄膜表面，只要薄膜有一定程度的透射，SM200 就能根据反射回来的干涉光谱

拟合计算出薄膜的厚度，以及其他光学常数如反射率、折射率和消光系数等，其厚度最大测绘范围可以达到

1nm~250um。

SM200 自动光学薄膜厚度测绘仪由测绘主机、测绘平台、Y 型光纤及上位机软件搭建而成，核心器件采用高

分辨率、高灵敏度光谱仪结合奥谱天成独有的算法技术，为用户提供的全新一代领先的自动光学薄膜厚度测量仪。

系统原理图 测量原理图

05 Ɩ 奥谱天成 • 集团

SM230 自动光学薄膜厚度扫描测绘仪

技术参数

型号 SM230-UV SM230 SM230-NIR

一般规格

光谱波长 200nm-1000nm 400nm-1000nm 900nm-1700nm

光源 氘卤组合灯 钨卤素灯

测量规格

厚度范围 1 5nm~30um 20nm-60um 100nm-250um

准确度 2 ±2nm 或 0.2% ±3nm 或 0.4%

入射角 90°

膜厚层数 1 层 ~3 层

样品材料 透明或半透明薄膜

测量模式 单点测量 / 多点测量 / 自动测量

光斑尺寸 3 1mm

样品尺寸 直径从 1mm 到 300mm 或更大

基本要求

操作系统 Windows10/11

指示灯 氘灯指示、卤灯指示 卤灯指示

按键 电源按键、氘灯、卤灯 电源按键、卤灯开关

外部接口 电源插座、USB 2.0、RJ45

扫描平台 旋转 +X 轴移动

可移动行程 150mm*360°

材质 铝合金

供电电源 100~240VAC，50~60Hz

包装清单 主机、测量平台、电源线、通信线缆、光学探头、Y 型光纤

备注：①②取决于材料；测量样品为硅上二氧化硅的薄膜，测量条件为奥谱天成实验室，测量结果取较大者；③ 通光孔径

非接触式测试 超长寿命光源 高分辨率

系统

界面操作方便

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国产高端光谱仪器

▪半导体镀膜：光刻胶、氧化物、淡化层、绝缘体上硅、

晶片背面研磨

▪液晶显示：间隙厚度、聚酰亚胺、ITO 透明导电膜 ;

▪光学镀膜：硬涂层、抗反射层；

▪微电子系统：光刻胶、硅系膜状物、印刷电路板；

▪生物医学：医疗设备、Parylene

▪非接触式、非破坏性的测试系统；

▪超长寿命光源，更高的发光效率；

▪高分辨率、高灵敏度光谱仪，测绘结果更准确可靠；

▪软件界面直观，操作方便省时；

▪测绘速度快，支持多点测绘点位地图绘制；

▪支持绘制样品 2D/3D 厚度分布图；

▪高精度、长寿命的 3 轴旋转平台；

▪历史数据存储，帮助用户更好掌握结果；

▪桌面式分布设计，适用场景丰富；

▪维护成本低，保养方便

产品特点 应用领域

SM230 是一款利用利用薄膜反射光干涉原理研制而成的自动薄膜厚度测绘仪。它利用波长范围最宽为

200-1700nm 的光垂直入射到薄膜表面，只要薄膜有一定程度的透射，SM230 就能根据反射回来的干涉光谱

拟合计算出薄膜的厚度，以及其他光学常数如反射率、折射率和消光系数等，其厚度最大测绘范围可以达到

5nm~250um。

SM230 自动光学薄膜厚度测绘仪由测绘主机、测绘平台、Y 型光纤及上位机软件搭建而成，核心器件采用高

分辨率、高灵敏度光谱仪和高精度的旋转平台，结合奥谱天成独有的算法技术，为用户提供的全新一代领先的自

动光学薄膜厚度测绘仪。

样品测试效果图

图示 1 图示 2

07 Ɩ 奥谱天成 • 集团

SM280 自动显微薄膜厚度扫描测绘仪

技术参数

型号 SM280-UV SM280 SM280-NIR

一般规格

光谱波长 200nm-1000nm 400nm-1000nm 900nm-1400nm

光源 氘卤组合灯 钨卤素灯

测量规格

厚度范围 1

5X 物镜 20nm-20um 20nm-40um 20nm-100um

10X 物镜 20nm-10um 20nm-30um 20nm-70um

20X 物镜 10nm-30um 20nm-40um 20nm-80um

50X 物镜 / 20nm-1um 20nm-2um

准确度 2 ±2nm 或 0.2%

入射角 90°

膜厚层数 1 层 ~3 层

样品材料 透明或半透明薄膜

测量模式 单点测量 / 多点测量 / 自动测量

光斑尺寸 3

物镜 标准 500um 孔径

5X 物镜 100um

10X 物镜 50um

20X 物镜 30um

50X 物镜 10um

样品尺寸 直径从 1mm 到 300mm 或更大

基本要求

操作系统 Windows10/11

指示灯 氘灯指示、卤灯指示 卤灯指示

按键 电源按键、氘灯、卤灯 电源按键、卤灯开关

外部接口 电源插座、USB 2.0、RJ45

扫描平台 旋转 +X 轴移动 +Z 轴移动

可移动行程 150mm*360°，30mm

材质 铝合金

供电电源 DC24V

包装清单 主机、电源线、标准膜厚样品

备注：1. 取决于材料；2. 取较大者，且取决于材料；3. 通光孔径；

超长寿命光源 高分辨率

非接触式测试

系统

界面操作方便

www.optosky.com Ɩ 08

国产高端光谱仪器

▪半导体镀膜：光刻胶、氧化物、淡化层、绝缘体上硅、

晶片背面研磨

▪液晶显示：间隙厚度、聚酰亚胺、ITO 透明导电膜 ;

▪光学镀膜：硬涂层、抗反射层；

▪微电子系统：光刻胶、硅系膜状物、印刷电路板；

▪生物医学：医疗设备、Parylene

▪非接触式、非破坏性的测试系统；

▪超长寿命光源，更高的发光效率；

▪高分辨率、高灵敏度光谱仪，测绘结果更准确可靠；

▪软件界面直观，操作方便省时；

▪集成实时摄像头，监控测量点；

▪配备显微物镜，支持检测小尺寸样品；

▪测绘速度快，支持多点测绘点位地图绘制；

▪支持绘制样品 2D/3D 厚度分布图；

▪高精度、长寿命的 3 轴移动平台；

▪历史数据存储，帮助用户更好掌握结果；

▪桌面式分布设计，适用场景丰富；

▪维护成本低，保养方便

产品特点 应用领域

SM280 是一款利用利用薄膜反射光干涉原理研制而成的显微薄膜厚度测绘仪。 它利用波长范围最宽为

200-1700nm 的光垂直入射到薄膜表面，只要薄膜有一定程度的透射，SM280 就能根据反射回来的干涉光谱

拟合计算出薄膜的厚度，其厚度最大测绘范围可以达到 10nm~100um，SM280 配备专用显微镜系统，最小

可支持 10um 大小的微小样品测试，软件具备模板匹配和自动对焦功能，并支持测量点位路径绘制及支持以

2D/3D 方式呈现测量结果。

SM280 自动显微薄膜厚度测绘仪采用一体化设计，核心器件采用高分辨率、高灵敏度光谱仪、高性能工业

CCD 和高精度的 3 轴移动平台，结合奥谱天成独有的算法技术，为用户提供的全新一代领先的自动显微薄膜

厚度测绘仪。

样品测试效果图

图示 1 图示 2

03 Ɩ 奥谱天成 • 集团

SM210 在线光学薄膜厚度测量仪

技术参数

测量范围 30nm-100um

最快测量速度 4 KHz

参考距离 9mm

测量用光源 氙灯

光束直径 2 30μm

线性度 3 ±0.3μm

准确度 ±2nm 或 0.2%

采样周期 40ms

LED 指示灯 目标靠近测量中心绿光；目标在测量范围内橙光；目标在测量范围外红光。

环境耐性

外壳防护等级 IP64

周围亮度 白炽灯、荧光灯：1000lux 以下

环境温度 0-40℃

相对湿度 35-80%RH（无冷凝）

震动 10 到 50HZ，XYZ 方向 1.5mm 双倍振幅，各 2 小时

材料 SUS304

仪器总质量 约 1kg

备注：表示与传感头的正面距离，会出现一定的个别误差；表示测量范围内的最小光束直径；当测量对象时玻璃表面并将平均测量次数设定为 64 次时获得的值；

超长寿命光源 单层到多层测量 测量范围广

www.optosky.com Ɩ 04

国产高端光谱仪器

▪采用氙灯光源，波段范围广（190nm-1100nm），

发光效率高，寿命长；

▪从单层到多层，可实现稳定性测量；

▪黏附层也可实现稳定测量；

▪可测范围广 39nm-2.1um；

▪传感器头部无电路，无电磁干扰、不发热；

▪小型、重量轻，安装空间不受制约；

▪选取“六绕一”型 7 芯 Y 型柔性光纤既能适应产线上频繁

高速的运动也可以提高反射光利用率，进而提高信噪比；

▪软件界面直观，操作方便省时；

▪测绘速度快。

产品特点

▪半导体镀膜：光刻胶、氧化物、淡化层、绝缘体

上硅、晶片背面研磨 ;

▪液晶显示：间隙厚度、聚酰亚胺、ITO 透明导电膜 ;

▪光学镀膜：硬涂层、抗反射层；

▪微电子系统：光刻胶、硅系膜状物、印刷电路板；

应用领域

SM210 是一款利用分光干涉原理研制而成的膜厚度测量仪。 它利用氙灯光源发出的宽波长光线，部分经工件

表面和传感头内部反射面返回传感头内部，两道反射光束相互干涉，各波长的干涉光强度取决于反射面之间的间

距，当该间距是波长的整数倍时，便达到相对最大干涉 借助分光镜将干涉光分成不同的波长，即可得出波长的光

强度分布，在对该分布进行波形分析后，就可计算出反射面之间的距离。其厚度最大测绘范围可以达到 39nm2.1um。

SM210 分光干涉多层膜厚测量仪由测量传感头、控制器及上位机软件搭建而成，结合奥谱天成独有的算法技术，

为用户提供的全新一代领先的多层膜厚度测量仪。

仪器应用效果图

图示 1 图示 2

奥谱天成

主要产品 应用方向

国家标准《拉曼光谱仪》起草单位

国家标准《近红外地物光谱仪》主持制定单位

奥谱天成，2015 年成立，由国际仪器专家刘鸿飞博士创立，总部位于厦门。经过几年的快速发展，奥谱天成已成为国产

光谱仪器行业的龙头企业，拥有员工近 300 人，其中研发工程师超过 150 人，研发人数占比超过 50%，研发投入占比超过

30%，每年推出新品超过 40 款；基于超强的研发实力和研发效率，奥谱天成也被多家媒体和机构称为光学仪器行业的“华为”。

目前，奥谱天成已经发展成为全球拉曼领域的佼佼者，在共聚焦显微拉曼光谱仪、手持式拉曼、1064nm 拉曼等多个领域取

得领先地位；奥谱天成也是实现高光谱系列全国产化的极少数厂家之一，另外还成功地实现了光纤光谱仪、地物光谱仪的国产

替代。奥谱天成的荧光光谱仪、分光光度仪、超微量、工业传感器一经推出，广受好评、迅速进入行业前列。

目前，公司产品已经出口到包含欧美市场在内的 60 多个国家；同时，在俄罗斯等新兴市场中，奥谱天成已经成为最具影响

力的国际仪器品牌之一，打破了中国在高端光谱仪器领域，只会进口、不能出口的市场格局。

公司也先后荣获了福建省瞪羚企业、福建省专精特新、福建省科学技术进步奖二等奖、福建省科技小巨人、厦门市双百人才

计划 A 类重点引进项目、国家高新技术企业等一系列荣誉；奥谱天成正朝着打造世界一流光谱仪器品牌快速前进。

拉曼

光谱仪

ATR

光纤

光谱仪

ATP

地物

光谱仪

ATP

荧光

光谱仪

ATF

超微量

分光光度计

NanoBio 工业测量

专用仪器

高光谱

成像仪

ATH

科研

市场

光谱

分析

食药品

安全

公共

安全

工业

检测

水质与

环保

遥感与

农林牧渔

荣誉资质

专利证书

公司拥有 100 余件知识产权，其中发明专利 30 余件

总部

厦门市集美区软件园三期F区02栋5层 4008-508-928 sales@optosky.com www.optosky.com

Add: 安徽省芜湖市湾址区北航创新园28号楼

芜湖-凯航佳侧 (芜湖) 信息科技有限公司

Add: 徐州市高新区大学路99号创业园A611

徐州-奥谱佳测 (江苏) 信息科技有限公司

Add: 武汉市东湖高新区汤逊湖北路33号华科创新创业基地17-1-203

武汉-奥谱天成 (厦门) 光电有限公司武汉分公司

Add: 湖南省长沙市天心区大托路鑫远鑫悦汇A座10楼

奥谱天成（湖南）信息科技有限公司

Add: 四川省成都市彭州市致和街道五贤东路1号2栋

奥谱天成（成都）信息科技有限公司

Add: 陕西省西安市碑林区长安北路1号会展国际大厦

西安办事处

Add: 山东省济南市槐荫区槐村街29号南门家园

济南办事处

Add: 南京市江宁区将军大道20号翠屏国际广场9幢706室

南京办事处

Add: 北京市朝阳区就仙桥南路5号院创E+酒仙桥社区F栋2层211室

北京办事处

Add: 上海市松江区茸梅路600号5号楼403

上海办事处

Add: 广东省广州市番禺区第一工业区五街2-10号星空间·创意办公

广州办事处

Add: 长春市南关区解放大路金碧阁大厦C座704室

长春办事处

Add: 杭州市萧山区蜀山路广宁小区

杭州办事处

Add: 四川省成都市武侯区百锦路194号铁佛兴苑3栋2楼

成都办事处

探物之本末 用心至本真