南京蔚空微纳科技有限公司

Nanjing Vacuum Nano Technology Co., Ltd

X-RAY

微焦点X射线源

产品手册

PRODUCT MANUAL

关于我们

About us

南京蔚空微纳科技有限公司位于江北新区龙泰路8号润诚科技园，是一家有独立

研发能力的科技创新企业。蔚空微纳致力于高分辨、可集成化X射线源和成像系统

的设计开发，主要产品有微焦点X射线源、测膜厚X射线源、冷阴极X射线管等，广

泛应用于芯片成像、新能源电池成像、膜厚测量等领域。

核心团队来自东南大学、香港科技大学、熊猫电子等，深耕X射线行业十余年，拥有十余项自主知识产权，一项卢森堡发明专利以及欧盟CE认证。成为全球冷阴极

X射线技术的引领者，一直是我们的不懈追求！

精益制造，锐意进取，品质卓越，信誉永恒

合作伙伴

51

01

设计案例

116

03

设计专利

17

02

产品选型

Product selection

型号 名称 管电压 管电流 焦点

VN-FTM025A 25kV测膜厚X射线管 25kV ≤1mA 0.5mm（可选）

VN-FTM050A 50kV测膜厚X射线管 50kV ≤1mA 0.5mm（可选）

VN-G080A 80kV玻璃X射线管 80kV 1.25mA 0.8mm

VN-MF090A

90kV微焦点X射线源

10-90kV 0.01-0.2mA 7μm@4W

10μm@8W

VN-MF090B 10-90kV 0.01-0.2mA 7μm@4W

10μm@8W

VN-MF110A

110kV微焦点X射线源

10-110kV 0.01-0.2mA 小焦点模式：

6μm@8W

大焦点模式：

VN-MF110B 10-110kV 0.01-0.2mA 40μm@22W

VN-MF130A

130kV微焦点X射线源

10-130kV 0.01-0.3mA

小焦点模式：

7μm@8W

中焦点模式：

20μm@16W

大焦点模式：

40μm@39W

VN-MF130B 10-130kV 0.01-0.3mA

VN-C160A 160kV陶瓷X射线管 160kV 4.5mA 0.8mm

产品型号多样，从功能，外观，体积，穿透效果，管电压，管电

流等各种角度出发，有微焦点X射线管，玻璃X射线管，陶瓷X射线管，

测膜厚X射线管等产品可供选择，满足客户端各方面使用需求，真正

做到了高适配，高成效，高颜值，高响应，高效率。

产品介绍

Product introduction

Reflection microfocus X-ray module

VN-FTM025A

小焦点模式：5μm@4W

大焦点模式：7μm@8W

寿命：8000h

该系列是一款低能X射线管，采用不锈钢外壳，内衬铅材质，内

罐绝缘油用于高压绝缘和冷却。该产品阳极接高压，阴极接地。该系

列体积小，重量轻，相对同类产品在散热及焦斑等性能上有明显优势。

产品介绍

Product introduction

Reflection microfocus X-ray module

VN-FTM050A

小焦点模式：5μm@4W

大焦点模式：7μm@8W

寿命：8000h

该系列是一款低能X射线管，采用不锈钢外壳，内衬铅材质，内

罐绝缘油用于高压绝缘和冷却。该产品阳极接高压，阴极接地。该系

列体积小，重量轻，相对同类产品在散热及焦斑等性能上有明显优势，

完可替代进口同类产品用于仪器维修。

产品介绍

Product introduction

Reflection microfocus X-ray module

VN-MF80A

小焦点模式：5μm@4W

大焦点模式：7μm@8W

寿命：8000h

本产品是80kV微焦点X 射线源，是一款低能X射线管，采用不锈钢

外壳，内衬铅材质，内罐绝缘油用于高压绝缘和冷却。该产品阳极接

高压，阴极接地。该系列体积小，重量轻，相对同类产品在散热及焦

斑等性能上有明显优势，完可替代进口同类产品用于仪器维修。

产品介绍

Product introduction

Reflection microfocus X-ray module

VN-MF90B

小焦点模式：5μm@4W

大焦点模式：7μm@8W

寿命：8000h

本产品是90 kV微焦点X 射线源，适用于高分辨率成像应用。在

工作电压和功率范围内优化的小尺寸焦点，可实现无失真清晰图像。

4瓦特时的5微米焦斑可用于高分辨率成像。X 射线管和电源均封装

在一个整机源内，让系统集成更加简单。

Reflection microfocus X-ray module

VN-MF110A

小焦点模式：6μm@8W

大焦点模式：40μm@22W

寿命：8000h

产品介绍

Product introduction

本产品是110 kV微焦点X 射线源A款，适用于高分辨率成像应用。

在工作电压和功率范围内优化的小尺寸焦点，可实现无失真清晰图

像。8瓦特时的6微米焦斑可用于高分辨率成像。X 射线管和电源均

封装在一个整机源内，让系统集成更加简单。

Reflection microfocus X-ray module

VN-MF110B

小焦点模式：6μm@8W

大焦点模式：40μm@22W

寿命：12000h

产品介绍

Product introduction

本产品是110 kV微焦点X 射线源B款，适用于高分辨率成像应用。

在工作电压和功率范围内优化的小尺寸焦点，可实现无失真清晰图

像。8瓦特时的6微米焦斑可用于高分辨率成像。X 射线管和电源均

封装在一个整机源内，让系统集成更加简单。

Reflection microfocus X-ray module

VN-MF130A

小焦点模式：7μm@8W

中焦点模式：20μm@16W

大焦点模式：40μm@39W

寿命：8000h

产品介绍

Product introduction

本产品是130kV微焦点X 射线源A款，适用于高分辨率成像应用。

在工作电压和功率范围内优化的小尺寸焦点，可实现无失真清晰图

像。5微米焦斑可用于高分辨率成像。X 射线管和电源均封装在一个

整机源内，让系统集成更加简单。

小焦点模式：7μm@8W

中焦点模式：20μm@16W

大焦点模式：40μm@39W

寿命：12000h

Reflection microfocus X-ray module

VN-MF130B

产品介绍

Product introduction

本产品是130kV微焦点X 射线源B款，适用于高分辨率成像应用。

在工作电压和功率范围内优化的小尺寸焦点，可实现无失真清晰图

像。5微米焦斑可用于高分辨率成像。X 射线管和电源均封装在一个

整机源内，让系统集成更加简单。

小焦点模式：7μm@8W

中焦点模式：20μm@16W

大焦点模式：40μm@39W

寿命：12000h

Reflection microfocus X-ray module

VN-C160A

产品介绍

Product introduction

产品测试案例

Product Test Case

1.电池测试

2.金线测试

3.芯片测试

小焦点 中焦点

产品展示-主要产品

Product Display-Main Products

1.微焦点X射线源

Micro focus X-ray source

2.测膜厚X射线管

File thickness measurement X-ray tube

3.真空镀膜设备

Micro nano processing technology

X-ray整机设备核心零部件

Core parts of X-ray conplele equipment

由轻元素组成材料的X射线测厚、X荧

光分析、密度分析等

X-ray thickness measurement,Xray fluorescence analysis,etc.

of materials consisting of light

elements

微纳加工工艺

Micro nano processing technology

应用案例-非标真空系统

Application case-non-standard vacuum system

1.非标真空腔体

3.真空蒸发镀膜系统

5.手套箱镀膜系统

2.等离子体清洗、蚀刻机

4.磁控溅射镀膜系列

手机：13291282136 徐季

Email：VacuumNano@163.com

公司地址

江苏省南京市江北新区龙泰路8号润诚科技园19幢

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