www.optosky.com 0592-6102588

奥谱天成（厦门）光电有限公司

WWW.OPTOSKY.COM

光纤光谱仪

从入门到进阶

刘鸿飞 博士

探物之本末 • 用心至本真

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 2

2目录

CONTENTS

01

02

03

04

光纤光谱仪的内部结构与配置

光纤光谱仪的主要性能指标

常见的光纤光谱仪

05 光纤光谱仪的应用举例

微型光纤光谱仪的原理

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 3

常见的光纤光谱仪

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 4

光纤光谱仪的作用

光谱仪：将复色光在空间上按照不同的波长分离/延展开来，配合探

测器得到波长成分及各波长成分的强度等信息。光纤光谱仪：通常采用光纤作为信号耦合器件，将被测光耦合到

光谱仪中进行光谱分析。微型光谱仪：因为体积小；

几个重要组成部分：

l 入射狭缝（光纤耦合器）

l 准直镜

l 色散元件（光栅或棱镜）

l 聚焦光学系统等构成

l 探测器

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 5

微型光谱仪的几个主要组成元件

光栅：

• 决定分光的波

段；

• 决定分辨率；

探测器: • 线阵：PDA, CCD, CMOS、BT-CCD、

FFT-CCD、InGaAs、热释电

• 制冷、非制冷；

• 背照式、前照式

狭缝：分辨率：狭缝越小，分辨率越高；

信号强度：狭缝越小，信号强度越

低

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 6

光纤光谱仪的工作原理

作用 工作原理

光谱仪可以测量紫外、可见、

近红外和红外波段光强度；具

有体积小、测量精准、精确度

高、使用灵活、可靠性好等优

点。

信号光由一个标准的 SMA905 光纤接口进入光

学平台，先经一个球面镜准直，然后由一块平

面光栅把该准直光色散，经由第二块球面镜聚

焦，最后光谱的象就被投射到一块线性探测器

阵列上。主要元件 应用领域

• 入射狭缝

• 准直镜

• 色散元件（光栅或棱镜）

• 聚焦光学系统

• 探测器

• 信号处理电路

• 颜色测量

• 紫外/可见吸收光谱测量

• 化学成份的浓度检测

• 发射光谱测量

• LED测量

• 薄膜厚度测量

• 真空室镀膜过程监控

• 氧浓度传感器

• 宝石成分检测

• 荧光测量

• 生物医学应用

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 7

光纤光谱仪的组成结构

1. SMA光纤接头（光信号入口）

2. 入射狭缝

3. 长波通滤光片

4. 准直镜

5. 色散元件（光栅）

6. 聚焦反射镜

7. 柱状镜（增强信号强度）

8. 消二级衍射滤光片

9. CCD/CMOS探测器

10.TEC制冷片+温度传感器（选配）

11.信号处理电路

光纤光谱仪， 是一个定制品！按需生产！

在生产时，产品经理会根据要求，选配里面的各个部件，以形成达到客户要求的各项性能指标。生产完后，各项性能固定，

不再能更改！

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 8

如何为您的应用配置光谱仪

波长范围 灵敏度

• 选用不同的光栅，可以定制任何的波长范围

需求：

• 光栅线数越高，波长范围越窄，分辨率越高；

• 如何实现宽波长范围+高分辨率：多通道光

谱仪联用；

取决于：

• 光栅的效率；

• 入射光纤或狭缝的尺寸；

• 光学镜片的性能；

• 是否有柱状镜？

• 探测器的灵敏度等

光学分辨率 探测器

如何提高光学分辨率：

• 采用更高线数光栅；

• 采用宽度更窄的狭缝；

• 紫外：紫外增强传感器；

• 可见：Si CCD、CMOS、PDA；

• 红外：InGaAs CCD、热释电；

多级衍射效应 杂散光

• 在光谱仪入口的 SMA 接口处安装一个长通

滤光片

• 增加消二级衍射滤光片（渐变滤光片或分区

镀膜滤光片）

杂散光是错误波长（非对应信号光波长）的光辐射照射在探测器

象元上所产生的信号，杂散光的来源是：

• 周围环境光辐射；

• 光学元件缺陷所产生的散射光或非光学元件产生的反射光；

• 不同衍射级次间的重叠。

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 9

光纤光谱仪的几个核心组件及其作用

探测器 光栅 入射狭缝

光路拓扑结构，从总体

上决定了光谱仪分辨率、

灵敏度、杂散光、体积

大小等性能；

• 交叉C-T光路

• M型光路

• 凹面光栅光路

• 透射光栅光路

• 决定了光谱的工作范围、

分辨率；

• 较大地决定了光谱的灵

敏度。

• 严重影响分辨率、灵敏

度两个参数；

• 较大影响了杂散光性能；

柱状镜可以提高灵敏度，

约3倍左右，但是会略微

降低分辨率；

光路拓扑

• 探测器决定了灵敏度、

信噪比、动态范围、最

大工作波长范围等性能；

• 也是光谱仪的主要成本

组成；

柱状镜

高次衍射

滤光片

探测器

像元高度 无

柱状镜

有

光斑

光栅的特性，决定了一

定会有高次衍射的产生，

需要用滤光片，滤除高

次衍射，以免产生干扰

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 10

分光光路拓扑结构：交叉C-T光路与M型光路

交叉式C-T光路结构示意图

基本型切尼-特纳（Czerny- Turner）光路结构，光路看上

去像字母“M”，所以也称为M型

光路

指标 交叉式C-T光路 M型光路

尺寸 结构紧凑 尺寸略大

杂散光 一般 较好

分辨率 一般 高

稳定性 高 高

灵敏度 高 一般

奥谱天成

的对应产

品

l 非制冷：

• ATP2000、ATP2002

• ATP3000、ATP3040

l 制冷型：

• ATP5020P、ATP5040

• ATP6500、ATP8000

l 非制冷：

• ATP3030、

• ATP3034

l 制冷型：

• ATP5030

• ATP5034

M型光路看上去也像字母“3”，所以

奥谱天成的光纤光谱仪第三位数为3

的光谱仪，均为M型光路

l 交叉C-T光路：结构紧凑、灵敏度较高；

l M型光路：分辨率较高、杂散光更低。

凹面光栅光路 透射光栅光路

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 11

CCD探测器的工作原理

栅极 N型埋沟

场氧化

物沟阻

P型衬底

耗尽区

信号电

荷

氧化物

小盆

虹吸泵

雨水量筒

• 雨滴表示光子；

• 收集的雨水表示CCD探测的电荷; • 小盆表示像元，小盆的容积表示每个像元可以容纳多少电荷；

• 虹吸泵表示CCD的移位寄存器；

• 雨水量筒表示CCD的输出放大器。

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 12

探测器的几个关键参数

最大波段

范围

动态范围 信噪比 是否制冷？

探测器的最大工作范围，

决定了光谱仪的最大工

作范围；

Si: 180-1100nm

InGaAs: 0.9 - 2.5 μm

决定了光谱仪的动态

范围；

决定了光谱仪的信噪比； 制冷能够有效降低暗电

流、读出噪声，能够提

供光谱仪的工作稳定性。

• 是否有制冷？

• 一级制冷、二级制冷、

三级制冷、四级制冷

灵敏度或

量子效率

探测器的灵敏度是光谱

仪的灵敏度最重要因素

均方差

多次测量平均值 SNR 读出噪声

饱和输出强度值 DR 

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 13

光纤光谱仪——探测器

• 180-1100 nm

• 像素多

• 读出电路相对简单

Si BT-CCD

• 信噪比高

• 暗电流小

• 积分时间长

响应范围：0.9-2.5µm

l 180-1100 nm

l 信噪比高

l 像素少

Si PD Array

InGaAs

Si CCD/CMOS

热释电 碲镉汞/MCT

Si BT-FFT-CCD

• 信噪比超高

• 积分时间超长

• 暗电流超低

• 响应范围：0.1 to

100 µm

• 薄膜热释电PZT材料，

灵敏度低、速度较慢；

• 自动感应门、洗手，

都是这种传感器

PbS / InAs

灵敏度高，需要低 波长范围：1-3.8μm

温制冷

可快速扫描；

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 14

不同红外材料的响应波段范围

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 15

CCD与CMOS比较

光电转换 电荷收集

像元的光敏区

电荷转移

垂直和水平

CCD

水平CCD后放大

器

电荷-电压转

换/放大

微型信号线

电压传递

CCD 图像传感器

CMOS图像传感器

像元内放大

器

电荷-电压转

换/放大

性能 CCD CMOS

像元输出 电荷包 电压

芯片输出 电压(模拟) 数字量

噪声 低 中等

填充因子 高 低

暗电流 低 高

均匀性 高 中等

动态范围 高 中等

系统复杂

度

高 低

功耗 高 低

垂直模糊 较大 没有

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 16

CCD与CMOS比较

CMOS是在CCD的基础上，增加了信号读出电路、信号处理电路、数字化

电路，直接输出数字信号。

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 17

光栅

• 由大量等宽等间距的平行狭缝

构成的光学器件

• 不同波长的衍射光，以不同的

衍射角β出射

光栅

密度

闪耀

波长

闪耀

效率

光栅作为重要的分光器件，它的选

择与性能直接影响整个系统性能。

光栅效率是衍射

到给定级次的单

色光与入射单色

光的比值。严重

影响灵敏度。

光栅最大衍射效

率的波长位置

每英寸多少线？

500、1200

线数越高，分光

能力越强，光分

的越开；

平面光栅 凹面光栅 透射光栅

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 18

入射光、狭缝与分辨率的关系

固定狭缝 可更换狭缝 光纤直入

优点

• 没有活动部件，

稳定性好

不足

• 分辨率出厂时固

定，不可更改

优点

• 分辨率可变

不足

• 调节不好，会影

响分辨率、杂散

光等性能

狭缝宽度直接决定分辨率！

常见狭缝宽度：5, 10, 25, 50, 100, 200, 300, 500 μm

优点

• 狭缝宽度就是光纤直径，决定了分辨率；

• 所有的光都可有效利用起来

不足

• 小口径光纤的耦合效率低下

芯径即狭缝宽度！

常见芯径：9, 50, 105, 200, 400, 600,1000 μm

粗光纤芯径，用狭缝提高分辨率，可导入更多

的光能量，提高灵敏度

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 19

狭缝、灵敏度、分辨率之间的关系

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 20

克服狭缝规律的一种方法

200μm

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 21

柱状镜

探测器

像元高度

无

柱状镜

有

光斑

• 柱状镜可以提高灵敏度，约3倍左右；

• 但是会略微降低分辨率；

• 当然探测器像元高度足够高，也是不需要柱状镜

的，但是像元高度高，会带来成本急剧上升、暗

电流大、噪声增大的问题。

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 22

高次衍射及其处理方法

二级衍射 三级衍射

四级衍射分区镀膜 线性可变滤光片

优点

谱形平滑、生产容易

不足

• 成本高、种类少、不可

变

优点

成本低、种类多、可定制

不足

• 不同镀膜间有接缝，造成谱形上有凹陷；

• 设计难度大、加工不容易、光学调节难度

大，容易引入干涉；

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 23

23目录

CONTENTS

0

1

0

2

0

3

0

4

光纤光谱仪的内部结构与配置

光纤光谱仪的主要性能指标

常见的光纤光谱仪

光纤光谱仪的应用举例

0

5

微型光纤光谱仪的原理

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 24

光纤光谱仪的主要性能指标

信噪比

SNR 灵敏度

波长范围

及分辨率

杂散光

• 定量分析时，应特别关

注参数；

• 决定了检测精度；

• 决定了最小检测限

（SNR>3的信号）

• 主要取决于探测器，与

光学平台关系不大

• 同样输入光强的情况

下，信号强度

• 与狭缝宽度、光学镜

片效率、光栅效率、

探测器灵敏度相关

分辨率有三个概念：

• 光学分辨率；

• 像素分辨率；

• 波长分辨率；

制冷带来的优势：

• 更低暗电流

• 更低噪声

• 更高稳定性

稳定性

是否制

冷？

• 强信号、短脉冲：需要关注

最短积分时间

• 弱信号：最长积分时间

• 采样速度：每秒可以采集多

少帧光谱，特别是一些需要

时间分辨，比如离子光谱

温度稳定性，每变化10°，

强度变化百分比，波长

漂移多少nm？

长时间稳定性；

积分时间

与采样速

度

是一种有害的非检测光，是系

统背景光谱的主要来源；

• 影响光谱测量准确性；

• 特别影响微弱光的检测

• 降低动态范围

动态

范围

• 最大输出强度与读出噪

声（横坐标为波长）的

比值；

• 单时刻光谱的性能；

• 决定了波形的漂亮程度；

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 25

波长范围

在光路拓扑固定的情况，波长范围总

宽度主要取决光栅线数，波长范围跟

光栅线数成反向关系；

光栅线数固定，波长范围总宽度确定，

起始波长和终止波长可以通过调整光

栅的偏转角，来进行调整。

当更换不同线数光栅时，波长范围

的估算可以采用下列计算公式（经

验）：

L1  R1  L2  R2

举例：现光谱范围为300-1000nm，

光栅线数为500nm，问光栅为

1200线时，光谱范围为多少？

R2 = (500X700)/1200

起始波长 终止波长

波长范围总宽度 = 终止波长-起始波长

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 26

光纤光谱仪的三个分辨率概念

• 是一个“虚”的分辨率概念；

• 主要取决探测器像素的多少；探测器

像素多，能部分提高光谱仪分辨率

• 有利于通过反卷积等算法，进一步提

升分辨率性能；

通常的光谱仪分辨率概念，分

辨相邻两个峰的能力，衡量分

光能力的主要参数；

通常以元素灯谱线的半高全宽

来表征

光学分辨率 像素分辨率 波长分辨率

像元数

像素分辨率 终止波长 起始波长

 -

R 比如：一个光谱仪的波长范围为300- 1000nm，探测器像元数为2048，

则：像素分辨率=(1000-300)/2048=0.34

• 波长分辨率主要表征波长重心变

化的分辨率；

• 主要在波长测量方面，比如激光

波长、光纤传感等领域；

• 采用算法计算出来的光谱重心位

置；

• 从数值上来说：波长分辨率远小

于光学分辨率

上图中，

光学分辨率为2.8nm

像素分辨率为0.57nm

波长分辨率为0.05nm

从数值来看：

波长分辨率<像素分辨率<光学分辨率

同一台光谱仪的各个分辨率可能会为：

0.05nm, 0.35nm， 1.3nm

波长分辨率一般为像素分辨率的1/10左右

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 27

分辨率的测定方法

国际和国内的标准，都采用元素灯的

半高全宽（Full Width Half

Maximum，FWHM）

切记：行业中，有不少不法商人，以半

高半宽（HWHM）来冒充分辨率，误

导用户。

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 28

影响光纤光谱仪分辨率的主要因素

光学平台 狭缝的宽度 光栅的线数 探测器的像素

M型光路：分辨率更

好

交叉C-T：灵敏度更

高

探测器像素、像元越

小，分辨率越高；

奥谱天成最多有4096

像素的探测器，CCD

像元宽度仅7μm

狭缝越窄，分辨率越

优秀；

狭缝越宽，分辨率越

差

光栅线数越多，分辨

率越好；

但是光栅线数越多，

范围变窄，灵敏度也

会变差；

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 29

动态范围与信噪比的常用测定方法

很多人将动态范围误认为是信噪比

信号强度：取最大峰高Sgn

噪声：读出噪声（无峰处）的RMS值（NRMS）

虽然错误，但是能够反映一部分性能，因此也很常用：

• 容易测定；

• 与人们的直观感受相符；

• 机器学习，对谱图的识别，与这个参数非常相关；

Sgn91

8这实际上是动态范围

Nrms

Sgn 信噪比SNR 

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 30

正确的信噪比测定方法

积分时间：30s，激光功率：300mw，采集间隔：60s；

总时长：＞24h

01 对同一稳定光源，连续采集

不少于100次的光谱数据

02

取某一个峰位（通常取最高

峰），取出每个谱图的该峰

高数值序列Indn

峰高：取Indn的平均值作

为峰高I；

噪声：去Indn的均方差为

噪声ơ

计 算 信 噪 比

信噪比SNR=I/ơ

03

04

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 31

探测器制冷技术

带制冷的CCD

不带制冷的CCD

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 32

探测器制冷带来的益处

不同温度下，暗电流读数与

曝光时间的关系

暗噪声与温度拟合曲线

制冷至-15℃，积分

时间可达1.3小时

制冷至-5℃，积分时

间可达10分钟

制冷型光谱仪的性能举例

FT-CCD的

量子效率

Up to

90%

100ms积分时间，

噪声值仅±7

100ms时，暗电流

仅80counts

最长积分时间可达

1.3 hrs

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 34

制冷型光谱仪ATP6500的实验数据

积分时间60s时，暗电流仅为1100 积分时间60s时，噪声仅为±30（p-p）

积分时间10s时，暗电流仅为245 积分时间10s时，噪声仅为±10（p-p）

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 35

可靠性对比

光路

PCB

友商 传感器

（O公司）

• 光路核心器件——传感器，固定在电路板上，

电路板的热胀冷缩非常厉害；

解决方案：整机制冷，缺点功耗大，体积大；

光路

PCB

传感器

Optosky

三明治结构：

• 所有光路全部固定在高稳定性金属平台上；

• 光路室和电路室完全分开，避免电路板的挥发

物污染光学器件。

热胀冷缩系数：

铝合金：18

PCB ：155

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 36

可靠性对比

25765

25770

25775

25780

25785

25790

25795

25800

25805

25810

0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600

变化量：39.89

变化率：0.14%

8小时长时间稳定性测

试

25860

25880

25900

25920

25940

25960

25980

-10 0 10 20 30 40

温度变化时，强度稳定性测试

#1 #2 #3 #4 #5

温度变化时，峰位漂移情况

变化率：0.37%

/℃

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 37

37目录

CONTENTS

01

02

03

04

光纤光谱仪的内部结构与配置

光纤光谱仪的主要性能指标

奥谱天成的光纤光谱仪系列

05 光纤光谱仪的应用举例

微型光纤光谱仪的原理

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 38

FIBER SPECTROMETERS (UV-VIS-NIR) FAMILY

COOLED CCD

ATP5XXX

ULTRA-MINI

ATP1XXX

HIGH RESOLUTION

ATP3XXX

HIGH PPR

ATP2XXX

P

E

R

F

O

R

M

A

N

C

E

SCIENTIFIC CLASS

ATP6XXX

ATP1000 350-1100nm, as STS

ATP1010 180-1100nm, UV enhanced

ATP1012 Xenon Lightsource driver

inside based on ATP1010

ATP1200 high sensitive, cooled BT CCD

ATP2000P 180-1100nm, Over USB2000+ ATP2000PD Dark backgroup swith inside

ATP2000H High speed to 4KHz

ATP2002 Xenon Lightsource driver inside

based on ATP2000P

ATP2100

highest SNR, wave shape can be

edited, Ultra-high SNR

ATP2200 180-1100nm, compete with Flame

ATP3000/

ATP3040

Cross C-T, sensitive, as

HR2000 and HR4000

ATP3030/4 M-shape light path, high

resolution, low stray light

ATP5040 Cooled 4096 pixel CMOS

ATP5020P/D

Cross C-T, sensitive, better

than MAYA

ATP5030P/D M-shape light path, high

resolution, low stray light

ATP6500/D

Cooled FFT-CCD, Compete

with QE65 Pro

ATP6500T3/D

3-stage TEC cooled, Lowest

noise, Lowest dark current

ATP6530/D M-shape light path, high

resolution, low stray light

ATP6530T3/D

3-stage TEC cooled CCD, M- shape, Lowest noise, Lowest

dark current

Cooled FFT-CCD

D: Dark backgroup

swith inside

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 39

FIBER SPECTROMETERS (INFRARED) FAMILY

NIR

Wavelength

800 nm 2600 nm 2.5μm MIR 11 μm

ATP8000T3

/D

3-stage TEC cooled based on

ATP8000, Lower noise, Lower dark

current

ATP8000/D

2-stage TEC cooled InGaAs sensor, max range: 800-2600 nm;

ATP8600

Low cost, Non-cooled, FBGA, Max

range: 800-1700nm

ATP8100 Ultra-mini NIR spectrometer

LOW COST

ATP8600

HIGH PERFORMANCE

ATP8000

HIGHEST PERFORMANCE

ATP8000T3

MIDDLE IR

ATP8250

ATP8250 MIR, 2.5-11μm, Non-cooled

P

E

R

F

O

R

M

A

N

C

E

ULTRA-MINI

ATP8100

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 40

Scientific-Class Modular Spectrometer Roadmap

3-stage TEC inside;

Cooling down 45 ℃ lower

than ambient temperature

Benifit: • More low noise; • More Low dark current; • More stable;

M-shape Light Path

Benifit: • Better resolution; • Better stray light;

P

erform

a

n

c

e

2019 2020

M-shape Light Path, 3

stages TEC

Benifit: • Better resolution; • Better stray light; • Better noise; • Better dark current; • Better stability;

2021

ATP6530

ATP6500

ATP6500T3

ATP6530T3

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 41

41目录

CONTENTS

01

02

03

04

光纤光谱仪的内部结构与配置

光纤光谱仪的主要性能指标

奥谱天成的光纤光谱仪系列

05 光纤光谱仪的应用举例

微型光纤光谱仪的原理

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 42

光纤光谱仪的应用领域

• 紫外烟气分析仪

• 多参数水质在线分析仪

• 免试剂在线水质分析仪

• 色差仪、颜色分选

• 发射率、透射率测量

• 激光波长监测

• LED色温分选

• 膜厚测量仪

• 玻璃肉厚测量仪

• 在线分析技术（PAT）

• 荧光光谱；

• 化学发光

• 光致发光

• 电致发光

• LIBS或离子发光

• 液相色谱

• 超微量分光光度计

• 全自动生化分析仪

• 荧光光谱

环保 工业检测 生物医疗 科学仪器

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 43

紫外烟气分析仪

• NO：220-245nm

• SO2：200-220nm、260-280nm

• NO2:420-440nm

0

10000

20000

30000

40000

50000

60000

180 230 280 330 380

奥谱天成特有的波形整定技术

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 44

多参数水质分析仪

奥谱天成ATE2000免试剂

多参数水质分析仪

l COD

l BOD

l TOC

l DOC

l 硝氮

l 亚硝氮

l 氨氮

l 硫化物

l UV254

l 总悬浮物

TSS

l 总磷

l 总氮

l 浊度

l 重金属: • 镉

• 铅

• 铜

• 锌

• 汞

• 砷

• 锑

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 45

超微量分光光度计

奥谱天成NanoBio 200

超微量分光光度计

超微量分光光度计

工作原理

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 46

超微量分光光度计

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 47

激光波长分析仪

ATM3000型波长分析仪

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 48

微区荧光光谱仪

ATF8100自动对焦、自动扫描

超大视场显微成像荧光光谱仪 洋葱表皮（绿通道）

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 49

玻璃肉厚测量仪

www.optosky.com 0592-6102588 sales@optosky.com 50

薄膜厚度测量仪

光学薄膜厚度测量系统，是利用薄膜反射光干涉的

原理，对薄膜进行厚度测量及分析。

它利用波长范围最宽为200-1700nm的光垂直入射

到薄膜表面，只要薄膜有一定程度的透射，ATGX310

就能根据反射回来的干涉光谱拟合计算出薄膜的厚度，

最大测量范围可以达到10nm~250um，可以同时完成

多达3层膜厚的测试。核心部件采用多达4096像素元

的CCD阵列，为测量结果的准确性提供了可靠的保证。

型号 ATGX310-VIS ATGX310-NIR

测量波长范围 400-850 nm 900-1700 nm

厚度范围 50nm-20 um 100nm-250 um

厚度分辨率 0.1 nm 0.1 nm

重复性 0.3 nm 1.0 nm