医用安规分析仪系列

4U、全宽

HEX 340

产品特点

黑色

交流耐压 直流耐压 绝缘电阻 接地电阻 泄露电流 启动电流 功率测试 电弧侦测

AMPS

全面符合GB9706.1-2020中针对电气安全相关规定要求

选配

医疗软件 √

内置对地漏电流、接触电流、患者漏电流、患者辅助电流等多种泄漏电流测试

泄漏电流具有有效值、峰值、交流分量、直流分量多种测试模式

接口包括患者、外壳等多通道

内置1000VA隔离稳压电源，可针对需求直接设定电压

内置应用部分加压隔离电源以及配套切换模组

可进行对输入对患者、输入对外壳、患者对外壳的介电强度测试

内置符合IEC60601/GB9706.1标准要求速升+缓升测试功能

尺寸 外壳通道数量 患者通道数量 医疗开关 内置电源T2 内置电源T1 医疗安规三项 型号区分表

医疗软件

工控机+软件

医疗软件

工控机+软件

工控机+软件

4U

4U

30U

4U

30U

30U

1

4

4

4

4

4

1

3

3

3

3

3

S1-S15

S1-S15

S1-S15

S1-S15

S1-S15

S1-S15

500VA

1000VA

5000VA

5 KVA

20 kVA

HEX340

HEX340M

HEX440M

HEX340TM

HEX440

HEX440T

√

√

√

√

√

√

√

√

√

√

√

安规分析仪

测试测量--方案·仪器·软件·服务

请访问智测达官方网站http://www.zcdtech.com.cn获取更多咨询

98

半导体参数测试系统

FS-Pro

产品简介

产品简介

应用领域

产品功能选项

FS-Pro 釆用工业通用的PXI模块化硬件架构，系统扩展性强，还

支持多通道并行测试，可进一步提升测试效率。系统内置专业测

试软件LabExpress为用户提供了丰富的测试预设和强大的测试

功能，可实现非常友好的用户即插即用体验。

基于在产线测试与科研应用方面的优异表现，FS-Pro不仅被众

多芯片设计公司和代工厂、IDM公司釆用，其全面的测试能力更

在科研学术界受到了广泛关注和认可，目前已被数十所国内外

高校及科学研究机构所选用。

FS-Pro 可广泛应用于各种半导体器件、LED材料、二维材料器

件、金属材料、新型先进材料与器件测试等。

FS-Pro 半导体参数测试系统是一款功能全面、配置灵活的半导

体器件电学特性分析设备，在一个系统中实现了电流电压(IV)测

试、电容电压(CV)测试、脉冲式IV测试、任意线性波形发生与测

量、高速时域信号釆集以及低频噪声测试能力。几乎所有半导体

器件的低频特性表征都可以在FS-Pro测试系统中完成。其全面

而强大的参数测试分析能力极大地加速了半导体器件与工艺的

研发和评估进程，并可与概伦9812系列噪声测试系统无缝集成，

其快速DC测试能力进一步提升了9812系列产品的噪声测试效率。

FS-ProTM集成直流IV测试、脉冲式IV测试、瞬态时域测试、电容

测试和低频噪声 (1/f噪声) 测试能力于单台仪器中。

一体化测试

� MOSFET与BJT晶体管

� 钙钛矿与太阳能电池

� 器件可靠性测试

� 器件噪声特性分析

� 半导体器件特性分析与建模

� 非易失性存储器与材料

� 先进工艺节点下的产线测试

� 光子检测器件

� 二极管与PN结

� LED与薄膜晶体管

� 二维材料

� III-V族化合物

� MEMS与传感器

� 分子与纳米器件

FS-ProTM引入独特的测试加速技术，在保持精度的同时大幅度

提升测试速度，并且支持并行测试，极大提升了测试效率，轻松

应对高密度生产测试。

超快速

FS-ProTM支持模块化架构，在保持紧凑机身的同时又可依照需

求扩展。

模块化架构

内置测量控制软件LabExpressTM拥有直观的用户图形界面，

仅需点击几下鼠标就可以完成强大的测试分析功能。专业版软

件还可以支持多种探针台矩阵开关等设备，轻松完成晶圆级数

据的自动测试任务，更针对半导体制造提供了完善的解决方案。

选项

HDC 直流IV测试加速

功能 详情

操作便捷

HPT 脉冲IV，瞬态时域测试 最小脉宽50us，1.8MS/s

HCV 内置CV测试 10Hz-10KHz，200V 偏压

HNZ-A 高速高精度1/f 噪声测试 <10s/bias，100kHz带宽，

最低0.1Hz分辨率

HNZ-B 超低频1/f 噪声测试 40Hz 带宽，最低1mHz

分辨率(需先购HNZ-A)

LabExpress 基础测试软件

LabExpress 高级工业应用功能 兼容Cascade 半自动探针

台，矩阵开关

Professional

（专业版）

第三方 LCR设备，晶圆数

据管理与自动测试应用

Open API 开放编程命令 *FS380 和 FS360 不支持同时安装于同一台测试仪内

产品组件表

组件

PX500 控制器

Core i5 CPU，4G 内存，500G硬盘

包含LabExpressTM基础测试软件

最多可连接4个FS373模块化机箱

（16路SMU通道）

功能 详情

FS373 模块化机箱 每箱4路SMU通道

PX600 一体化台式主机箱

Core i5 CPU，4G 内存，500G硬盘

包含LabExpressTM基础测试软件

最多支持4路SMU通道

FS380* 高精度源测量单元 ±200V，1A/3A，30fA 精度，0.1fA 灵敏度

FS360* 中精度源测量单元 ±60V，3A/10A，300fA 精度，1fA 灵敏度

FS336 宽带外置LCR模块 40Hz~5MHz, 直流偏置±40V,

直流分辨率0.1mV

FS338 高速高精度外置LCR模块 20Hz~2MHz, 直流偏置±40V

FS339 宽带高精度外置LCR模块 20Hz~10MHz, 直流偏置±40V

FK401 高精度快速波形发生

与测量套件 ±10V，10mA，100MS/s 采样率

半导体分析仪

测试测量--方案·仪器·软件·服务

请访问智测达官方网站http://www.zcdtech.com.cn获取更多咨询

99

产品组件主要性能指标

FS380 高精度源测量单元SMU

详细技术指标

PX600 四通道台式机箱

PX500 控制器和FS373四通道模组化机箱

FS360 中精度源测量单元SMU

直流IV测试

±200V/1A 量程

最高20W输出功率

最小30fA电流测量精度

30uV 电压测量精度

四象限操作

±60V/3A 量程

最高20W输出功率

最小300fA电流测量精度

30uV 电压测量精度

四象限操作

FS-ProTM 系统台式主机箱 PX600，

可搭载 FS380 高精度 SMU 或

FS360 中精度 SMU，最多 4 路通道。

31.8cm(W）X 18cm(H) X 35cm(D)的

紧凑身材，总重量仅10kg，集成控制

器和11寸显示屏，Core i5 低电压CPU，

4G内存，500G SSD硬盘，Windows10

操作系统，预装LabExpressTM基础版测试软件。

PX500 紧凑型控制器，11.5cm(W）X

18.8cm(H)，配备Core i5 低电压CPU，

4G内存，500G SSD硬盘， Windows

10操作系统，预装LabExpressTM基

础测试软件，具备LAN接口，USB接

口，VGA接口。FS373模组化机箱，

25.7cm(W）X 18.9cm(H)，可搭载

FS380 高精度SMU或FS360中精度SMU，单机箱最多搭载4路SMU通道，

可根据实际需求继续扩展机箱，每台PX500控制器最多可连接4个机箱。

使用PX600台式机箱

尺寸 31.8cm (宽）X 18cm (高) X 35cm (深)

使用PX500和FS373模组机箱

尺寸 PX500 控制器：11.5cm (宽）X 18.8cm (高) X 21.5cm (深)

重量 约10千克

电气输入 100V~240V，50/60Hz

操作环境 0~50℃, 相对湿度 20%~80%, 最高海拔 2000m

(800mbar @25℃), 仅可室内操作

控制器 i5 低电压 CPU, 4G 内存, 500G SSD 硬盘

具备USB, LAN 以及视频接口

SMU 4 路通道

共地端 BNC 和三轴接口

受控方式 通过LAN端口受控，开放编程控制命令

直流IV测试

脉冲IV测试

±200V/3A 量程

最高480W输出功率

最小5pA电流测量精度

30uV 电压测量精度

最小脉冲宽度50us

±60V/10A 量程

最高500W输出功率

最小40pA电流测量精度

30uV 电压测量精度

最小脉冲宽度50us

脉冲IV测试

瞬态时域测试

任意波形输出，最高采

样率1.8MS/s

最小10us时间步进

任意波形输出，最高采

样率1.8MS/s

最小10us时间步进

瞬态时域测试

电容测试（CV）

±200V 直流偏压范围，

最高10kHz带宽

最大可测量范围20fF~1mF

±60V 直流偏压范围，

最高10kHz带宽,最大可

测量范围200fF~1mF

电容测试（CV）

1/f噪声测试

标准100kHz带宽，最小频率

分辨率可达1mHz，

最低可测至 2e-28A2

/HZ，

每个偏置点最小测试时

间<10s，支持RTN测试

标准100kHz带宽，最小频

率分辨率可达1mHz，

最低可测至 9e-27A2

/HZ

每个偏置点最小测试

时间<10s，支持RTN测试

1/f噪声测试

FS336 宽带外置LCR模块 FK401 高精度快速波形发生

与测量套件 电容测试（CV，CF）

±40V 直流偏压范围，

40Hz~5MHz带宽

最大可测量范围100fF~10mF

±10V/10mA 量程，最高

100MS/s采样率，支持

直流式IV测量，脉冲式IV

测量以及任意线性波形

发生与测量功能

快速IV测试（Fast IV）

FS338 高速高精度外置LCR模块

电容测试（CV，CF)

±40V 直流偏压范围，

20Hz~2MHz带宽

最大可测量范围10fF~10mF

无需换线即可切换至SMU

测量，最高±25V电压输

入，100mA电流测量范围

SMU直通（SMU PassThrough）

FS339 宽带高精度外置LCR模块

PX500 控制器 电容测试（CV，CF)

±40V 直流偏压范围，

20Hz~10MHz带宽

最大可测量范围10fF~10mF

Core i5 低电压CPU，

4G内存，500G SSD硬

盘， Windows 10 操作系

统，预装LabExpressTM

基础测试软件

PX600 四通道台式机箱

可搭载FS380高精度SMU或

FS360中精度SMU，最多

4路通道

FS373 四通道模组化机箱

可搭载FS380高精度SMU或

FS360中精度SMU，

单机箱最多搭载4路SMU通道

集成控制器和11寸显示屏

每台PX500控制器最多可连接

4个机箱

11 英寸集成显示器

Windows 10 64bit, LabExpressTM 基础测试软件

三轴接口，带有远端感应接口（remote sense）和高压安全锁

FS373 主机箱：25.7cm (宽）X 18.9cm (高) X 21.7cm (深)

重量 约11千克

电气输入 100V~240V，50/60Hz

操作环境 0~50℃, 相对湿度 20%~80%, 最高海拔 2000m

(800mbar @25℃), 仅可室内操作

控制器 i5 低电压 CPU, 4G 内存, 500G SSD 硬盘

具备USB, LAN 以及视频接口

Windows 10 64bit, LabExpressTM 基础测试软件

SMU

三轴接口，带有远端感应接口（remote sense）和高压安全锁

每个FS373模组机箱具有4路通道，最多可连接4个模组机箱

共地端 BNC 和三轴接口

受控方式 默认通过LAN端口受控，可选配通过GPIB受控，开放编程控制命令

半导体分析仪

测试测量--方案·仪器·软件·服务

请访问智测达官方网站http://www.zcdtech.com.cn获取更多咨询

100

器件参数分析仪

FS800

产品简介

FS800 器件参数分析仪是概伦电子的新一代半导体器件电学特

性分析设备，具有功能全面配置灵活等特点，在一台设备中实现

了电流电压（IV）测试、电容电压（CV）测试、快速波形发生与测试、

低频噪声测试以及高速时域信号采集，可广泛应用于新材料和器

件研究、电性参数测试、器件模型数据测试、可靠性测试等领域。

应用领域

MOSFET与BJT晶体管参数测试

CMOS参数测试

该设备拥有直观的18.5英寸触摸屏界面，采用自主研发的测试硬

件架构和数据总线，高效可扩展的半导体表征系统主机可配备高

达24个自研高精度SMU、或132通道的低漏电矩阵开关。同时可基

于需要选配快速波形发生与测试套件和高精度LCR模块，通过单

台设备提供各类晶圆级电性参数自动化测试解决方案。仪器内置

的LabExpress 测试软件配备丰富的内置测试算法库，可高效协同

控制概伦测试设备、第三方仪表、半自动和全自动探针台等设备。

FS800 全面而灵活的测试分析能力可极大地加速半导体器件与

工艺的研发评估进程，满足各类半导体实验室和产线测试需要。

二极管与PN结参数测试

MEMS与传感器参数测试

薄膜晶体管、显示器件参数测试

新材料新器件参数测试

二维材料、光电探测器参数测试

非易失性存储器与材料参数测试

神经形态器件、忆阻器等参数测试

柔性电子器件、可穿戴电子器件参数测试

半导体器件特性分析 半导体器件可靠性测试

半导体器件建模 产线测试

硬件规格

自主研发的测试硬件架构和数据总线

高效率可扩展的硬件平台

可支持高达24个SMU，或132通道的矩阵开关

可同时支持SMU和矩阵开关模块，在单台台式设备内实现晶圆

0.1fA 高分辨率

FS810 高精度SMU

最高电流测试精度可达15fA

最大电压200V，最大电流1A，最大直流功率20W

1.5MS/s 采样率的时域信号采集

级电性参数的自动化测试

支持多通道并行测试和多点位并行测试

可扩展GPIB接口

可扩展PXI机箱

12 个三同轴输出接口

FS821 低漏电矩阵开关输出模块

200V 负载电压，1A负载电流

100fA 偏移电流

30MHz 带宽

2 个快速IV通道，最大电压10V，最大电流10mA

FK401B 快速波形发生与测试套件

100MS/s 采样率的高速时域信号采集

快速脉冲IV测试，最小脉冲宽度130ns

支持SMU直通

可扩充至最多5个模块（10通道）

2 个快速IV通道，最大电压10V，最大电流10mA

FK401B 快速波形发生与测试套件

100MS/s 采样率的高速时域信号采集

快速脉冲IV测试，最小脉冲宽度130ns

半导体分析仪

测试测量--方案·仪器·软件·服务

请访问智测达官方网站http://www.zcdtech.com.cn获取更多咨询

101

硬件规格

应用案例

FS800预装了LabExpress软件的社区版本，有助于您充分

释放FS800的强大性能，快速完成测试任务。LabExpress

电性参数测试软件是针对半导体器件研发与生产环境中

的电性参数测试应用而设计的一款专业EDA工具，通过用

户友好的图形界面支持了广泛的测试设备，具备强大的测

试分析和灵活的自定义能力。

灵活的多窗口电性参数测试界面

用户友好的可视化晶圆级自动化测试软件界面

完整支持IV、CV、瞬态时域信号采集、高速波形发生量测功能

支持符合JEDEC标准的可靠性测试，例如HCI、BTI、TDDB、

RAMP等

预置丰富的测试算法库，新手操作者也可以快速完成各类电

性参数测试

内置多种信号生产函数，支持多种扫描类型，无需编程就可

以实现复杂的测试波形信号

内置强大的数据处理工具，可在测试后即刻展开器件特性分

析和对比

支持多种数据格式文件输出，方便用户自行分析处理数据，

或是导入模型提取工具

内置了脚本化编程平台，支持编写自定义的测试算法，灵活

的测试流程和复杂的数学计算

软件的ATS版本还支持晶圆级自动化测试。如需了解ATS版

本更多信息，请咨询相关销售人员

转移特性测试

高速时域信号采集 先进存储器信号采集 快速BTI效应测试

输出特性测试 电容电压测试

半导体分析仪

测试测量--方案·仪器·软件·服务

请访问智测达官方网站http://www.zcdtech.com.cn获取更多咨询

102

低漏电矩阵开关

FS821

产品简介

技术规格

FS821低漏电矩阵开关是概伦电子推出的一款通过矩阵

配置实现低漏电流传导的测试辅助设备，主要在半导体

器件测试中用于分配测试信号和采集被测芯片输出信号。

通过可编程的开关阵列，支持在有限的量测设备资源和

多个待测器件之间建立可自动切换的连接通路，从而降

低更改器件连线所带来的人力消耗和测试环境不稳定性，

提高测试效率。该矩阵开关还支持将单个量测单元连接

到多个测试输出，实现多路同时驱动的连接效果，或用于

驱动可寻址器件，通常应用于自动化测试和阵列器件测

试场景。

I-V 接口：8个三同轴输入

输入接口

产品应用

晶圆级器件自动化测试

概伦FS821低漏电矩阵开关性能卓越，支持最大200V/1A

直流范围，偏移电流可降至100fA。其先进的设计可与常

见的半导体参数分析仪无缝搭配，满足各类器件研究、

高精度测试和自动化测试需求。

AUX 接口：4个同轴输入

单个矩阵板卡12个三同轴输出

输出接口

产品优势

直流范围高达200V/1A，偏移电流低至100fA

高电压/电流范围

标准GPIB接口控制，兼容多种控制命令

标准GPIB接口

最大负载电压200V

I-V 接口

最大负载电流1A

典型偏移电流低至100fA

I-V 接口：小于1pF/通道

通道间串扰电容

AUX 接口：小于3pF/通道

I-V 接口：1×1014Ω

通道间串扰电容

AUX 接口：1×109

Ω

AUX接口3dB带宽可达30MHz

阵列器件自动切换测试

输出通道数量多，最多可支持132通道

多通道输出

通过可编程的开关阵列，实现了在有限的量测设备资源和

多个待测器件之间建立可自动切换的连接通路

自动化连接控制

通过程序控制实现自动化切换，显著提升整体测试效率

高效测试

支持将单个量测单元连接到多个测试输出，实现多路同时

驱动的连接效果

并行驱动

低漏电矩阵开关

测试测量--方案·仪器·软件·服务

请访问智测达官方网站http://www.zcdtech.com.cn获取更多咨询

103

先进低频噪音声测试系统

9813DXC

产品简介

概伦电子噪声测试系统 981X系列是全球半导体行业低频噪声测

试的“黄金标准”。最新型号9813DXC为半导体行业先进工艺研发、

器件建模和高端电路设计提供了更加完整而又高效的低频噪声

测试及分析解决方案，可以满足各种不同工艺平台下半导体器件

和集成电路低频噪声测试的需求。

9813DXC作为单一完整的低频噪声测试系统，适用于多种半导体

器件类型在各种工作条件下(如 200V高压、10pA极低电流等 )的高

精度、带宽噪声测试，支持晶圆级噪声测试精度和测试带宽，最低

测试噪声电流精度低至10-27A2/Hz。其测试应用广泛，是市面少

有可同时覆盖10Ω到 10MΩ高阻抗器件和低阻抗器件测试的设备。

针对半导体先进工艺制程节点特别是 FinFET 工艺下对低频噪声

测试需求“爆炸式”增长的挑战，9813DXC 通过软硬件创 新设计，

不仅将典型噪声测试速度提高至一个偏置条件下仅需20s，还将

最高测试电压提高到200V从而使应用场景更加广泛。该系统可在

短时间内获得更加精确可信的测试数据，另外还可以通过并行测

试架构解决方案以及协同FS-Pro半导体参数测试系统等方式大

幅度提高测试效率和吞吐量。

低频噪声测试系统

9812DX

产品简介

概伦电子噪声测试系统9812系列是全球半导体行业业内低频噪

声测试的“黄金标准”。最新型号9812DX作为9812B和9812D的增

强版，为半导体行业先进工艺研发、器件建模和高端电路设计提供

了更加完整而又高效的低频噪声测试及分析解决方案，可以满足

各种不同工艺平台下半导体器件和集成电路低频噪声测试的需求。

9812DX作为单一完整的低频噪声测试系统，支持多种半导体器件

类型在各种工作条件下(如200V高压、10pA极低电流等)的高精度

噪声测试，提供了很高的晶圆级噪声测试精度和测试带宽，该型号

的测试精度较之前的9812D提高了一个数量级，最低测试噪声电流

精度低至10-27A2/Hz，其测试能力覆盖非常广泛，是市面少有的从

10Ω到10MΩ可同时覆盖高阻抗器件和低阻抗器件测试能力的设备。

针对半导体先进工艺制程节点特别是FinFET工艺下对低频噪声

测试需求“爆炸式”增长的挑战，通过软硬件创新设计，9812DX不

但使典型噪声测试速度提高至一个偏置条件仅需10s, 还将最高

测试电压提高到200V从而使得适用应用场景更加广泛。该系统可

在短时间内获得更加精确可信的测试数据，另外还可以通过并行

测试架构解决方案以及协同FS-Pro半导体参数测试系统等方式

大幅度的提高了测试效率和吞吐量。

目前，9812DX已被众多半导体代工厂所采用，继9812B/D后成为

低频噪声测试领域新一代的“黄金标准”，被用于28nm,14nm,

10nm, 7nm, 5nm和3nm等各工艺节点的先进工艺研发和高端

集成电路设计。

低频噪音分析仪

测试测量--方案·仪器·软件·服务

请访问智测达官方网站http://www.zcdtech.com.cn获取更多咨询

104

产品优势

产品应用

软件规格

应用实例

硬件规格

先进半导体制造工艺如FinFET/FD-SOI/GaN 等研发过程中

的质量和工艺评估

内置NoiseProPlus测量软件具有强大的低频噪声测试和分析功

能，该软件具有下列主要功能 :

应用范围：

宽量程：

高精度：

测试速度：

功能：

系统架构：

支持MOSFET, SOI, FinFET, TFT, HV/LDMOS, BJT/HBT,

JFET,Diode, Resistor, Packaged IC等器件类型

针对任意待测类型均可实现晶圆级高精度和宽带宽测试

最高DC电流精度：10pA

系统噪声电流分辨率： <10-27A2

/Hz

典型1/f 噪声测试速度为20 /bias

Gate/Base 电阻多达 16 个选择

Drain/Collector 电阻多达 15 个选择

阻抗匹配范围：10Ω-10 MΩ

最大SMU输入电压和输入电流：200V和200mA

宽电压、宽电流、宽阻抗测量范围

1/f 噪声测试与特性分析

RTN测试与特性分析

配置触摸屏，直观显示，易于操作

硬件架构全新升级，提升系统集成性

芯片制造过程中的特定工艺品质监控

半导体器件和电路的低频噪声特性测试、噪声数据分析

半导体器件SPICE 模型库开发

高端集成电路设计和验证

电压放大器：0.03-10MHz, 0.65nV/ Hz (@5kHz)

电流放大器：0.03-1MHz, 0.7pA/ Hz (@5kHz)

宽带电流放大器：0.03-10MHz, 5pA/ Hz (@5KHz)

高精度电流放大器：0.03-20KHz, 60fA/ Hz (@5KHz)

可编程偏置滤波器、ESD保护

内置16位DSA

支持多台并行测试

抗阻范围：

系统参数：

软件界面友好易操作，同时满足测试控制、图形显示和数据分

析需求

支持1/f 噪声和 RTN 噪声测试 ，具有专业的数据分析功能

测试结果可导出供用户后续分析研究，测试数据可直接导入建

模软件BSIMProPlus 和 MeQLab 进行噪声模型提取和特性分析

支持多种模式、多种器件在不同偏置下的手动/自动测试

支持驱动 Keysight/Keithley 等主流测试仪

支持驱动Cascade/SUSS/MPI等 Prober实现手动/半自动/全

自动测试

BJT 1/f噪声测试 1/f噪声测试，电压功率谱

1/f噪声，Drain端电流功率谱 RTN噪声测试

已被众多半导体公司所采用的标准测试系统

产品历史超过十年

针对任意待测类型均可实现晶圆级高精度和宽带宽测试

宽电压、宽电流、宽阻抗测量范围

低频噪音分析仪

测试测量--方案·仪器·软件·服务

请访问智测达官方网站http://www.zcdtech.com.cn获取更多咨询

105

展望未来

衷心祝愿合作伙伴：

基业长青宏图展，创新永续谱华章！

让我们继续携手，共创美好新未来！

www.zcdtech.com.cn 智测达微信公众号

深圳市智测达科技有限公司

SHENZHEN ZCD TECHNOLOGY Co.，LTD

电话：0755-29436220

传真：0755-29436320

地址：深圳市龙岗区坂田街道

酷石科创中心315室