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半导体行业应用案例合集 APPLICATIONCASESINTHESEMICONDUCTORINDUSTRY
⊚ 三维激光轮廓测量仪应用 ⊚ 激光位移传感器应用⊚ 光谱共焦位移传感器应用 \mathfrak { O } 对射型边缘测量传感器应用
芯片平整度/平行度检测 三维激光轮廓测量仪
芯片锡球平整度检测 三维激光轮廓测量仪
晶圆环高度信息检测 三维激光轮廓测量仪
平面度误差< 5μm
帧率 67kHz
使用简单支持一键轮廓校准
高精度蓝色激光
平面度误差<10μm
速度快150mm/s
优化光学克服锡球反光
操作简单一键索引锡球位置
提升环切工艺良率
识别TAIKO高度差异 < 1μm
晶圆翘曲度误差 <5μm
晶圆寻边对位 对射型边缘测量传感器
引线键合动作分析 高速相机
中心偏差±0.05mm采样频率4kHz稳定检测半透材质角度偏差±0.1°
高分辨率1280x1024高速成像8000FPS使用便捷体积小巧自动抓拍每一次故障图像高分辨率2560×2048高速成像1000FPS有效提高感光度和量子效率BSI背照式传感器
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