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55室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
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室温压电位移台
选型表
LSxxx.Lab系列室温压电直线台
特点：
• 超安静运动，20kHz驱动频率
• 光栅尺闭环控制，可选纯自研光栅
• 高精度空间传感分辨率2nm(默认)；0.5nm(.adv)可选
• 经济型空间传感分辨率50nm(.E)
命名规则
• 最小步伐约10 nm，最小空间分辨率0.1nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台，摆动台
• 支持无磁(.NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件
型号 LS35x.Lab LS65x.Lab
底面尺寸×高度(mm) 35×35×12 65×65×13
主体材质 不锈钢，纯钛(.NM) 铝合金(标准版/.NM)， 纯钛(.HV/.UHV)
自重 85g，50g(.NM) 160g
运动行程(mm) 20 30
最大速度(mm/s) ~20
最小步伐(闭环) 10nm，100nm(.E)
驱动频率 Max. 20 kHz (超安静运动)
最大水平推力(N) 2
保持力(N) 5
全行程俯仰/偏摆 0.3 mrad（0.017°）
水平负载 默认1000g，支持更大负载 2000g
竖直负载 200g 150g
位置传感类型 光栅尺传感
位置传感量程(mm) 20 30
位置传感分辨率
.E版本：50nm；
默认版本：2nm；
.adv版本：0.5nm
台面尺寸：
35：35mm*35mm
65：65mm*65mm
环境版本：
NM：绝对无磁版本
HV：高真空版本
UHV：超高真空版本
备注：.E版本不支持
以上环境版本
光栅尺类型：
E：50nm光栅尺
NA：2nm光栅尺
adv：0.5nm光栅尺
LS35x.Lab.E.HV
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56室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
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LS35x.Lab LS65x.Lab
尺寸图：
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性位移台 LS35x.Lab系列（闭环）
决⽅案 — “.Lab 系列“ 良好封装的位移台
⼒性能不折扣的压电线性台；同时保证优质的价格空间。
Piezoelectric Motion - RT
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Piezoelectric Motion - RT
LS35x.Lab系列 压电线性台 — 技术参数
可选版本 ⇨ 正常版本 .NM .HV .UHV
.NM， 绝对⽆磁版本；
.HV， ⾼真空版本;
.UHV，超⾼真空版本；
1 底⾯尺⼨*⾼度 35 × 35 mm × 12 mm
2 主体材料 铝合⾦/不锈钢 纯钛/铝合⾦ 铝合⾦/不锈钢 铝合⾦/不锈钢
3 质量 102 g (.R)
200 g (.O)
80 g (.R)
140 g (.O)
102 g (.R)
200 g (.O)
120 g (.R)
210 g (.O)
运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）
4 运动⾏程 20 mm
5 最⼤速度 ~ 20 mm/s
6 最⼩步伐 ～ 10 nm
7 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）
8 最⼤⽔平推⼒ 2 N
9 保持⼒ 5 N
10 全⾏程俯仰/偏摆 0.2 mrad / 0.3 mrad（0.012¡/0.017¡）
11 最⼤垂直负载 500g
运动参数-空间推荐安装形式 II.（下列性质均在推荐安装形式下测得）
12 最⼤垂直负载 500g
13 保持⼒ 5 N
传感精度
14 位置传感类型 - 电阻型传感（ .R ）
- 光栅尺传感（.O ）
15 位置传感量程 20 mm
16 位置传感分辨率 - 电阻型传感（ .R ），100-200 nm
- 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选
空间安装形式.I 空间安装形式.II
S35x.Lab.R.HV /.UHV LS35x.Lab.O /.HV /.UHV
20 kHz驱动频率
m × 12 mm极紧凑外形设计
位置传感⽀持电阻型(.R) 和光学型(.O)
间传感分辨率(.O) 10 nm(默认); 4.88nm,
m 可选
间传感分辨率(.R) 100-200nm
• 最⼩步伐约10 nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台，摇摆台
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空
（.UHV）选件
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压电·线性位移台— LS65x.Lab.O (闭环)室温·压电运动解决⽅案 — “.Lab 系列“ 良好封装的位移台
Piezoelectric Motion - RT
外形紧凑，动⼒性能不折扣的压电线性台；同时保证优质的价格空间。
LS65x.Lab.O.NM /.HV /.UHV
2D·尺⼨图
1 底⾯尺2 主体材3 质量 4 线缆 &运动参数-空间推5 运动⾏6 最⼤速7 最⼩步8 驱动频9 最⼤⽔10 保持⼒ 11 全⾏程12 最⼤负运动参数-空间推13 最⼤垂14 保持⼒ 传感精度
15 位置传16 位置传17 位置传• 超安静运动，20 kHz驱动频率
• 65 mm × 65 mm × 13 mm极紧凑外形设计
• 闭环控制 · 位置传感⽀持电阻型(.R) 和光学型(.O)
• ⾼精度 · 空间传感分辨率(.O) 10 nm(默认);
4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选
• 经济型 · 空间传感分辨率(.R) 100-200nm
• 最⼩步伐优于 10 nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台，摇摆台
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空
（.UHV）选件
产品特⾊
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57室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
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选型表
Lxxx.indus系列 极简室温压电直线台
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电·indus·线性运动— Lxxx.indus
压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFie.indus 系列—极简⼯业⻛的运动模块，多维·纳⽶级运动也可以搭积24 mm × 105 mm
➡ L060.indus ➡ L180.indus
24 mm × 180 mm
36 mm × 300 mm
➡ L100.indus
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线性运动— Lxxx.indus
dus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologie.indus 系列—极简⼯业⻛的运动模块，多维·纳⽶级运动也可以搭积⽊
24 mm × 105 mm
➡ L060.indus ➡ L180.indus
24 mm × 180 mm
36 mm × 300 mm
➡ L100.indus
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.indus 系列—极简⼯业⻛的运动模块，多维·纳⽶级运动也可以搭积⽊
24 mm × 105 mm
➡ L060.indus ➡ L180.indus
24 mm × 180 mm
36 mm × 300 mm
➡ L100.indus
型号 L030.indus L060.indus L100.indus L180.indus
底面尺寸×高度（mm） 63×24×14 105×24×14 180×24×14 300×36×18
安装空间 93mm 165mm 280mm 480mm
主体材料 不锈钢/铝合金
质量（g） 110 174 388 840
负载（kg） 1 1 2 3
运动行程（mm） 30 60 100 180
最大速度 ～ 20 mm/s
最小步伐 ～ 10 nm
驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）
推荐最大负载（kg） 2
最大水平推力（N） 3
保持力（N） 5
全行程俯仰/偏摆 0.3 mrad （0.017°）
位置传感类型 光栅尺传感
位置传感量程（mm） 30 60 100 180
位置传感分辨率 2
命名规则
行程：
060：60mm
100：100mm
180：180mm
030：30mm
环境版本：
NM：高真空版本
HV：超高真空版本
UHV：超高真空版本
L030.indus.HV
产品特⾊
•超安静运动，20 kHz驱动频率
• 70 × 70 mm × 20 mm 极紧凑外形设计
•闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm
•最⼩步伐优于 10 nm
•可提供多轴堆叠安装转接件
•控制器兼容旋转台，摇摆台
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件
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压电·indus·线性运动— L030.indus
室温·压电运动⽅案 — “indus.系列“ 极简⼯业⻛的运动模块
MultiFields&GroPiezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
压
电
运
动· 室
温
36 mm × 300 mm
L030.indus 压电线性台 - 技术参数
可选版本 ⇨ L030.indus
特殊版本可选 ⇨
.HV， ⾼真空版本;
.UHV，超⾼真空版本； .NM 完全⽆磁版本；
1底⾯宽度尺⼨ 63 mm x 24 mm x 14 mm
2需要安装空间 93 mm
3主体材料不锈钢/铝合⾦
4线缆 & 接头标准屏蔽线缆 D-Sub15
5质量 110 g
运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）
6负载 1kg
7运动⾏程 30 mm
8最⼤速度～ 20 mm/s*
9最⼩步伐～ 10 nm
10驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）
11推荐最⼤负载 2 kg
12最⼤⽔平推⼒ 3 N
13保持⼒ 5 N
14全⾏程俯仰/偏摆 0.3 mrad（0.017°）
传感精度15位置传感类型光栅尺传感
16位置传感量程 30 mm
17位置传感分辨率 2 nm
*仅在⽤MC-Newton.Pro系列控制器驱动下达到
2D·尺⼨图 • L030x.Indus • L030x.Indus.UHV • L030x.Indus.HV • L030x.Indus.NM • L030x.Indus.HV.NM • L030x.Indus.UHV.NM
可选型号 .HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空 .UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空 .NM ~ 完全⽆磁
L030.indus
45.0 63.0
24.0
4 x M3 - 6H 6.3 3 x 3.0 H7 6.3
14.0
19.0
54.0
4.7 0.2
4 x M3 - 6H 5.0
45.0 63.0
24.0
4 x M3 - 6H 6.3 3 x 3.0 H7 6.3
14.0
19.0
54.0
4.7 0.2
4 x M3 - 6H 5.0
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58室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
返回目录
尺寸图：
L030.indus
L100.indus
L060.indus
L180.indus
产品特⾊
• 超安静运动，20 kHz驱动频率
• 70 × 70 mm × 20 mm 极紧凑外形设计
• 闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm
• 最⼩步伐优于 10 nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台，摇摆台
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件
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压
电
运
动·室
温
Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
压
电
运
动·室
温
压
电
运
动·室
温
36 mm × 300 mm
17
.NM 完全⽆磁版本；
1 底⾯宽度尺⼨ 63 mm x 24 mm x 14 mm
2 需要安装空间 93 mm
3 主体材料 不锈钢/铝合⾦
4 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆 D-Sub15
5 质量 110 g
运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）
6 负载 1kg
7 运动⾏程 30 mm
8 最⼤速度 ～ 20 mm/s*
9 最⼩步伐 ～ 10 nm
10 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）
11 推荐最⼤负载 2 kg
12 最⼤⽔平推⼒ 3 N
13 保持⼒ 5 N
14 全⾏程俯仰/偏摆 0.3 mrad（0.017°）
传感精度
15 位置传感类型 光栅尺传感
16 位置传感量程 30 mm
17 位置传感分辨率 2 nm
*仅在⽤MC-Newton.Pro系列控制器驱动下达到
2D·尺⼨图
• L030x.Indus • L030x.Indus.UHV
• L030x.Indus.HV
• L030x.Indus.NM • L030x.Indus.HV.NM
• L030x.Indus.UHV.NM
可选型号 .HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空
.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空
.NM ~ 完全⽆磁
L030.indus
63.0
45.0
24.0
4 x M3 - 6H 6.3 3 x 3.0 H7 6.3
14.0
19.0
54.0
4.7 0.2
4 x M3 - 6H 5.0
63.0
45.0
24.0
4 x M3 - 6H 6.3 3 x 3.0 H7 6.3
14.0
19.0
54.0
4.7 0.2
4 x M3 - 6H 5.0
产品特⾊
• 超安静运动，20 kHz驱动频率
• 70 × 70 mm × 20 mm 极紧凑外形设计
• 闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm
• 最⼩步伐优于 10 nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台，摇摆台
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件
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压电·indus·线性运动— L030.indus 室温·压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块
压
电
运
动·室
温
MultiFields
&Group
Piezoelectric Motion - RT
压
电
运
动·室
温
36 mm × 300 mm
17
L030.indus 压电线性台 - 技术参数
可选版本 ⇨ L030.indus
特殊版本可选 ⇨
.HV， ⾼真空版本;
.UHV，超⾼真空版本；
.NM 完全⽆磁版本；
1 底⾯宽度尺⼨ 63 mm x 24 mm x 14 mm
2 需要安装空间 93 mm
3 主体材料 不锈钢/铝合⾦
4 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆 D-Sub15
5 质量 110 g
运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）
6 负载 1kg
7 运动⾏程 30 mm
8 最⼤速度 ～ 20 mm/s*
9 最⼩步伐 ～ 10 nm
10 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）
11 推荐最⼤负载 2 kg
12 最⼤⽔平推⼒ 3 N
13 保持⼒ 5 N
14 全⾏程俯仰/偏摆 0.3 mrad（0.017°）
传感精度
15 位置传感类型 光栅尺传感
16 位置传感量程 30 mm
17 位置传感分辨率 2 nm
*仅在⽤MC-Newton.Pro系列控制器驱动下达到
2D·尺⼨图
• L030x.Indus • L030x.Indus.UHV
• L030x.Indus.HV
• L030x.Indus.NM • L030x.Indus.HV.NM
• L030x.Indus.UHV.NM
可选型号 .HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空
.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空
.NM ~ 完全⽆磁
L030.indus
63.0
45.0
24.0
4 x M3 - 6H 6.3 3 x 3.0 H7 6.3
14.0
19.0
54.0
4.7 0.2
4 x M3 - 6H 5.0
63.0
45.0
24.0
4 x M3 - 6H 6.3 3 x 3.0 H7 6.3
14.0
19.0
54.0
4.7 0.2
4 x M3 - 6H 5.0
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压电·indus·线性运动— L060.indus 室温·压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块
Piezoelectric Motion - RT 压
电
运
动·室
温
1 底2 需3 主4 线5 质运动参数-空间推荐6 负7 运8 最9 最10 驱11 推12 最13 保14 全传感精度
15 位16 位17 位产品特⾊
• 超安静运动，20 kHz驱动频率
• 105 mm x 24 mm x 14 mm极紧凑外形设计
• 闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm
• 最⼩步伐优于 10 nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台，摇摆台
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件
2D·尺⼨图
可选型号
L060.indus
• L060x.Indus • L060x.Indus.UHV
• L060x.Indus.HV
• L060x.Indus.NM • L060x.Indus.HV.NM
• L060x.Indus.UHV.NM
.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空
.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空
.NM ~ 完全⽆磁
108.0
90.0
75.0
24.0
3.0 贯穿
7 x M3 - 6H 6.0
16.5
90.0 100.0 90.0
8 x M2 - 6H 10.0
4 x 4.3 4.6 108.0
90.0
75.0
24.0
3.0 贯穿
7 x M3 - 6H 6.0
16.5
8 x M2 - www.multi-Þeld.com ｜ MultiFc Motion - RT 动·室
温
产品特⾊
• 超安静运动，20 kHz驱动频率
• 105 mm x 24 mm x 14 mm极紧凑外形设计
• 闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm
• 最⼩步伐优于 10 nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台，摇摆台
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件
2D·尺⼨图
可选型号
L060.indus
• L060x.Indus • L060x.Indus.UHV
• L060x.Indus.HV
• L060x.Indus.NM • L060x.Indus.HV.NM
• L060x.Indus.UHV.NM
.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空
.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空
.NM ~ 完全⽆磁
108.0
90.0
75.0
24.0
3.0 贯穿
7 x M3 - 6H 6.0
16.5
90.0 100.0 90.0
8 x M2 - 6H 10.0
4 x 4.3 4.6 108.0
90.0
75.0
24.0
3.0 贯穿
7 x M3 - 6H 6.0
16.5
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压电·indus·线性运动— L100.indus 室温·压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块
压
电
运
动·室
温
MultiFields
&Group
Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
压
电
运
动·室
温
压
电
运
动·室
温
19
L100.indus 压电线性台 - 技术参数
可选版本 ⇨ L100.indus
特殊版本可选 ⇨
.HV， ⾼真空版本;
.UHV，超⾼真空版本；
.NM 完全⽆磁版本；
1 底⾯宽度尺⼨ 180mm * 24 mm * 14 mm
2 需要安装空间 280 mm
3 主体材料 不锈钢/铝合⾦
4 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆 D-Sub15
5 质量 388 g
运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）
6 负载 2 kg
7 运动⾏程 100 mm
8 最⼤速度 ～ 20 mm/s*
9 最⼩步伐 ～ 10 nm
10 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）
11 推荐最⼤负载 2 kg
12 最⼤⽔平推⼒ 3 N
13 保持⼒ 5 N
14 全⾏程俯仰/偏摆 0.3 mrad（0.017°）
传感精度
15 位置传感类型 光栅尺传感
16 位置传感量程 100 mm
17 位置传感分辨率 2 nm
*仅在⽤MC-Newton.Pro系列控制器驱动下达到
产品特⾊
• 超安静运动，20 kHz驱动频率
• 180mm * 24 mm * 14 mm 极紧凑外形设计
• 闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm
• 最⼩步伐优于 10 nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台，摇摆台
• ⽀持⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件
2D·尺⼨图
L100.indus
可选型号
• L100x.Indus • L100x.Indus.UHV
• L100x.Indus.HV
• L100x.Indus.NM • L100x.Indus.HV.NM
• L100x.Indus.UHV.NM
.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空
.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空
.NM ~ 完全⽆磁
182.7
165.0
150.0
12 x 3.0 H7 3.0
11 x 2.6 2.0
24.0 17.0
182.7
165.0
150.0
12 x 3.0 H7 3.0
11 x 2.6 2.0
24.0 17.0
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压电·indus·线性运动— L100.indus 室温·压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块
压
电
运
动·室
温
MultiFields
&Group
Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
压
电
运
动·室
温
压
电
运
动·室
温
19
L100.indus 压电线性台 - 技术参数
可选版本 ⇨ L100.indus
特殊版本可选 ⇨
.HV， ⾼真空版本;
.UHV，超⾼真空版本；
.NM 完全⽆磁版本；
1 底⾯宽度尺⼨ 180mm * 24 mm * 14 mm
2 需要安装空间 280 mm
3 主体材料 不锈钢/铝合⾦
4 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆 D-Sub15
5 质量 388 g
运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）
6 负载 2 kg
7 运动⾏程 100 mm
8 最⼤速度 ～ 20 mm/s*
9 最⼩步伐 ～ 10 nm
10 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）
11 推荐最⼤负载 2 kg
12 最⼤⽔平推⼒ 3 N
13 保持⼒ 5 N
14 全⾏程俯仰/偏摆 0.3 mrad（0.017°）
传感精度
15 位置传感类型 光栅尺传感
16 位置传感量程 100 mm
17 位置传感分辨率 2 nm
*仅在⽤MC-Newton.Pro系列控制器驱动下达到
产品特⾊
• 超安静运动，20 kHz驱动频率
• 180mm * 24 mm * 14 mm 极紧凑外形设计
• 闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm
• 最⼩步伐优于 10 nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台，摇摆台
• ⽀持⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件
2D·尺⼨图
L100.indus
可选型号
• L100x.Indus • L100x.Indus.UHV
• L100x.Indus.HV
• L100x.Indus.NM • L100x.Indus.HV.NM
• L100x.Indus.UHV.NM
.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空
.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空
.NM ~ 完全⽆磁
182.7
165.0
150.0
12 x 3.0 H7 3.0
11 x 2.6 2.0
24.0 17.0
182.7
165.0
150.0
12 x 3.0 H7 3.0
11 x 2.6 2.0
24.0 17.0
www.multi-Þeld.com ｜ Multi压电·indus·线性运动— L180.indus
室温·压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块
Piezoelectric Motion - RT 压
电
运
动·室
温
L180.indus
产品特⾊
• 超安静运动，20 kHz驱动频率
• 300 mm * 36 mm * 18 mm 极紧凑外形设计
• 闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm
• 最⼩步伐优于 10 nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台，摇摆台
• ⽀持⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件
2D·尺⼨图
可选型号
• L180x.Indus • L180x.Indus.UHV
• L180x.Indus.HV
• L180x.Indus.NM • L180x.Indus.HV.NM
• L180x.Indus.UHV.NM
.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空
.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空
.NM ~ 完全⽆磁
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压电·indus·线性运动— L180.indus 室温·压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块
Piezoelectric Motion - RT 压
电
运
动·室
温
L180.indus 压电线可选版本 ⇨ 特殊版本可选 ⇨
1 底⾯宽度尺⼨ 2 需要安装空间 3 主体材料 4 线缆 & 接头 5 质量 运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测6 负载 7 运动⾏程 8 最⼤速度 9 最⼩步伐 10 驱动频率 11 推荐最⼤负载 12 最⼤⽔平推⼒ 13 保持⼒ 14 全⾏程俯仰/偏摆 传感精度
15 位置传感类型 16 位置传感量程 17 位置传感分辨率 *仅在⽤MC-Newton.Pro系L180.indus
产品特⾊
• 超安静运动，20 kHz驱动频率
• 300 mm * 36 mm * 18 mm 极紧凑外形设计
• 闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm
• 最⼩步伐优于 10 nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台，摇摆台
• ⽀持⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件
2D·尺⼨图
可选型号
• L180x.Indus • L180x.Indus.UHV
• L180x.Indus.HV
• L180x.Indus.NM • L180x.Indus.HV.NM
• L180x.Indus.UHV.NM
.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空
.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空
.NM ~ 完全⽆磁
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
59室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
返回目录
选型表
LSxxz.Lab系列室温压电升降台
命名规则
台面尺寸：
35：35mm*35mm
65：65mm*65mm
环境版本：
NM：绝对无磁版本
HV：高真空版本
UHV：超高真空版本
传感器类型：
NA：2nm光栅尺
Adv：0.5nm光栅尺
LS35z.Lab.adv.HV
特点：
• 超安静运动，20kHz驱动频率
• 光栅尺闭环控制，可选纯自研光栅
• 高精度空间传感分辨率2nm(默认)；0.5nm(.adv)可选
• 最小步伐约10nm，最小空间分辨率0.1nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台，摆动台
• 支持无磁(.NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件
型号 LS35z.Lab LS65z.Lab
底面尺寸×高度（mm） 35×35×41 65×65×44
主体材质 不锈钢，纯钛(.NM) 铝合金(标准版/.NM)， 纯钛(.HV/.UHV)
自重（g） 200 300
运动行程（mm） 10
最大速度（mm/s） ~10
最小步伐（nm） 10
驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）
最大负载（g） 500
全行程俯仰/偏摆 0.3 mrad（0.017°）
位置传感类型 光栅尺传感
位置传感量程（mm） 10
位置传感分辨率 默认版本：2nm；
.adv版本：0.5nm
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
60室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
返回目录
尺寸图：
LS35z LS65z.Lab
30.0
35.0
20.0
15.0
35.0 30.0 20.0 15.0
12 x M2 - 6H 3.0
8 x 2.0 H7 2.0
4 x M3 - 6H 3.0
3.0
41.0
35.0
4 x 2.4 4.0
30.0
15.0
30.0
2 x 2.0 H7 4.0
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
61室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
返回目录
RSxx.Lab系列室温压电旋转台
命名规则
台面尺寸：
35：35mm*35mm
65：65mm*65mm
环境版本：
NM：绝对无磁版本
HV：高真空版本
UHV：超高真空版本
备注：.E版本不支持
以上环境版本
光栅尺类型:
E：50nm光栅尺
NA：2nm光栅尺
RS35.Lab.E.HV
特点：
• 超安静运动，20kHz驱动频率
• 光栅尺闭环控制，可选纯自研光栅
• 高精度空间传感分辨率最低0.07µrad(默认)
• 经济型空间传感分辨率最低2µrad(.E)
• 最小步伐优于 3µrad
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容直线台，摆动台
• 支持无磁(.NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件
选型表
型号 RS35.Lab RS65.Lab
底面尺寸×高度（mm） 35×35×11 65×65×13
主体材质 不锈钢，纯钛(.NM) 铝合金(标准版/.NM)， 纯钛(.HV/.UHV)
自重 90g 200g
运动行程（°） 连续运动
最大速度（°/s） ~15 ~10
最小步伐 3 µrad，10µrad(.E)
驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）
最大负载（kg） 0.5 2
自锁力矩（N*mm） 10 15
驱动力矩（N*mm） 7 10
旋转盘（mm） Dia-33.5 Dia-62
位置传感类型 光学位置传感器
位置传感量程 360 °
位置传感分辨率 0.2µrad，3µrad(.E) 0.07µrad，2µrad(.E)
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
62室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
返回目录
尺寸图：
RS35.Lab RS65.Lab
35.0
35.0 33.5 30.0 21.6 13.6
8 x M2
4 x 1.3 5.0
11.0
11.0
33.5
65.0
65.0
63.0
25.4
50.0
8 x M3 - 6H 完全贯穿
4 x 3.4 完全贯穿
8.0 8.0
4 x M2 - 6H 6.0
13.0
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
63室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
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选型表
GSxx-xx.Lab系列室温压电摆动台
命名规则
特点：
• 超安静运动，20kHz驱动频率
• 光栅尺闭环控制，可选纯自研光栅
• 高精度空间传感分辨率最低0.02µrad(默认)
• 最小步伐最低优于1µrad
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容直线台，旋转台
• 支持无磁(.NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件
台面尺寸：
35：35mm*35mm
65：65mm*65mm
环境版本：
NM：绝对无磁版本
HV：高真空版本
UHV：超高真空版本
旋转中心高度：
35：35mm 55：55mm
77：77mm 97：97mm
GS35-35.Lab.NM
型号 GS35-35.Lab GS35-55.Lab GS65-77.Lab GS65-97.Lab
底面尺寸×高度（mm） 35×35×20 70×70×20
主体材质 不锈钢，纯钛(.NM) 铝合金(标准版/.NM)， 纯钛(.HV/.UHV)
自重 250g 650g
运动行程（°） +/-10°
摇摆半径（mm） 35 55 77 97
最大速度（°/s） ~3
最小步伐 2 µrad 1 µrad
驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）
最大负载（g） 1000 2000
自锁力矩（N*mm） 25 50
驱动力矩（N*mm） 10 20
位置传感类型 光学位置传感器
位置传感量程 20 °
位置传感分辨率 0.05µrad 0.03µrad 0.02µrad
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
64室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
返回目录
尺寸图：
GS35-35.Lab
GS65-77.Lab
GS35-55.Lab
GS65-97.Lab
35.0 30.0
35.0
30.0
20.0
4 x 2.0 H7 3.0
8 x M2 - 6H 完全贯穿
1.6 完全贯穿
19.6
35.0 30.0
35.0
30.0
20.0
4 x 2.0 H7 3.0
8 x M2 - 6H 完全贯穿
1.6 完全贯穿
19.6
70.0
70.0
20.0
20.0
4 x M2 4.0
55.0
45.0
25.0
8 x M3 完全贯穿
4 x 3.0 H7
55.0
20.0 45.0
4 x 3.0 H7
50.0
35.0
35.0
30.0
20.0
30.0
8 x M2 - 6H 完全贯穿
1.6 完全贯穿
4 x 2.0 2.0
19.6
35.0
35.0
30.0
20.0
30.0
8 x M2 - 6H 完全贯穿
1.6 完全贯穿
4 x 2.0 2.0
19.6
70.0
70.0
8 x M3
55.0
45.0
25.0
55.0 50.020.0 4 x M2
4 x 3.0 H7
70.0
20.0
4 x 3.0 H7
25.0
A B C D E F G H J K L M N P R T 2424
2323
2222
2121
2020
1919
1818
1717
1616
1515
1414
1313
1212
1111
1010
99
88
77
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
65室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
返回目录
选型表
Carrier.Lxxxx.XY、Carrier.R200系列 室温压电中空载物台
命名规则
特点：
• 最小步伐最低约 5nm
• 最高速度20 mm/s
• 闭环传感，空间传感分辨率2nm(默认)；0.5nm(.adv)可选
• 支持无磁(NM) 、高真空(.HV) 和超高真空(.UHV) 选件
• 主体铝合金(硬质氧化发黑)
XY行程：
7550：75mm*50mm
1010：100mm*100mm
环境版本:
HV: 高真空版本
UHV: 超高真空版本
Carrier.L 1010.XY.adv.HV
载物台类型：
L：对位载物台
R：旋转载物台
光栅尺类型:
NA：2nm光栅尺
adv：0.5nm光栅尺
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压电·⼤范围线性运动— Carrier.L7550.XY
室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程载物台 — 精密光学，半导体表征
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Carrier.L7550.XY
• XY⽅向⼤⾏程 75 mm × 50 mm
• 最⼩步伐尺⼨约20 nm
• 最⾼速度 20 mm/s
• 闭环传感，空间分辨率1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm
• 全⾏程运动中，保证通孔 85 mm × 65 mm
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空
（.UHV）选件
• 主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）
2D·尺⼨图
Carrier.L7550.XY ⼤范围压电扫描台 — 技术参数
可选版本 ⇨ 正常版本 .NM .HV .NM， 绝对⽆磁版本；
.HV， ⾼真空版本;
.UHV，超⾼真空版本；
1 运动⽅向 X，Y
2 外形尺⼨ 250 mm × 200 mm × 30 mm
3 必要安装空间 325 mm × 250 mm
4 有效穿孔 85 mm × 65 mm
5 主体材料 铝合⾦
6 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆
D-Sub15
kaptoPEEK7 ⼯作温度 10 – 40 °C
8 质量 2333 g
运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）
9 运动⾏程 75 mm × 50 mm
10 最⼤速度 ~ 15 mm/s
11 最⼩步伐 ～ 20 nm
12 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）
13 最⼤负载 2 kg
14 全⾏程俯仰/偏摆 0.8 mrad（0.46°）
传感精度
15 位置传感类型 - 光栅尺传感（.O ）
16 位置传感量程 75 mm × 50 mm
17 位置传感分辨率 - 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1产品特⾊
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压电·⼤范围线性运动— Carrier.L1010.XY室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程载物台 — 精密光学，半导体表征
Piezoelectric Motion - LT www.multi-Þeld.com ｜ MultCarrier.L1010.XY
• XY⽅向⼤⾏程 100 mm × 100 mm
• 最⼩步伐尺⼨约 20 nm
• 最⾼速度 10 mm/s
• 闭环传感，空间分辨率1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm
• 全⾏程运动中，保证通孔 70 mm × 70 mm
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空
（.UHV）选件
• 主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）
2D·尺⼨图
Carrier.L1010.XY ，压电可选版本 ⇨ 正常版本 .NM， 绝对⽆磁版本.HV， ⾼真空版本;
.UHV，超⾼真空版本1 运动⽅向 2 外形尺⼨ 23 必要安装空间 34 有效通孔 5 主体材料 6 线缆 & 接头 标7 ⼯作温度 8 质量
运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式9 运动⾏程 10 最⼤速度 11 最⼩步伐 12 驱动频率 13 最⼤负载 14 全⾏程俯仰/偏摆 传感精度
15 位置传感类型 16 位置传感量程 17 位置传感分辨率 - 光栅尺传感（.O产品特⾊
Piezoelectric Motion - RT www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
压电⼤尺⼨旋转运动 Carrier.R200
室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
Piezoelectric Motion - RT Carrier.R200
产品特⾊
• 旋转运动 300 °；
• 闭环分辨率优于 1 urad；
• 最⼤负载 1kg；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.HV）选件升级
2D·尺⼨图
Piezoelectric Motion - RT 外形紧凑，动⼒性能不折扣的摇摆位移台；同时保证优质的价格空间。
型号 Carrier.L7550.XY Carrier.L1010.XY Carrier.R200
外形尺寸（mm） 250×200×30 250×250×40 200×200×24
主体材料 铝合金 不锈钢 铝合金
自重（g） 2333 4000 2000
运动行程（mm） 75×50 100×100 360°
最小安装尺寸（mm） 325×250×30 350×250×40 200×200×24
通孔尺寸（mm） 85×65 120×120 Φ60
最大速度（mm/s） 15 10 /
最小步伐（nm） 10 10 /
驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）
最大负载（kg） 2 4 1
全行程俯仰/偏摆 0.8 mrad（0.46°） /
位置传感类型 光栅尺传感
位置传感量程（mm） 75×50 100×100 360°
位置传感分辨率 2nm 1µrad
推荐使用温度 10-40℃ 15-40℃
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
66室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
返回目录
Carrier.L7550.XY
尺寸图：
Carrier.L1010.XY
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
压电·⼤范围线性运动— Carrier.L7550.XY室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程载物台 — 精密光学，半导体表征
Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Carrier.L7550.XY
• XY⽅向⼤⾏程 75 mm × 50 mm
• 最⼩步伐尺⼨约20 nm
• 最⾼速度 20 mm/s
• 闭环传感，空间分辨率1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm
• 全⾏程运动中，保证通孔 85 mm × 65 mm
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空
（.UHV）选件
• 主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）
2D·尺⼨图
Piezoelectric Motion - LT
MultiFields
&Group
Carrier.L7550.XY ⼤范围压电扫描台 — 技术参数
可选版本 ⇨ 正常版本 .NM .HV .UHV
.NM， 绝对⽆磁版本；
.HV， ⾼真空版本;
.UHV，超⾼真空版本；
1 运动⽅向 X，Y
2 外形尺⼨ 250 mm × 200 mm × 30 mm
3 必要安装空间 325 mm × 250 mm
4 有效穿孔 85 mm × 65 mm
5 主体材料 铝合⾦
6 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆
D-Sub15
kapton漆包线，
PEEK-2mm插针
7 ⼯作温度 10 – 40 °C
8 质量 2333 g
运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）
9 运动⾏程 75 mm × 50 mm
10 最⼤速度 ~ 15 mm/s
11 最⼩步伐 ～ 20 nm
12 驱动频率 Max. 20 kHz （超安静运动）
13 最⼤负载 2 kg
14 全⾏程俯仰/偏摆 0.8 mrad（0.46°）
传感精度
15 位置传感类型 - 光栅尺传感（.O ）
16 位置传感量程 75 mm × 50 mm
17 位置传感分辨率 - 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选
产品特⾊
Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
• XY⽅向⼤⾏程 75 mm × 50 mm
• 最⼩步伐尺⼨约20 nm
• 最⾼速度 20 mm/s
• 闭环传感，空间分辨率1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm
• 全⾏程运动中，保证通孔 85 mm × 65 mm
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空
（.UHV）选件
• 主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）
2D·尺⼨图
d.com ｜ MultiFields Technologies
www.mCarrier.L7550.XY
4.88 nm / 10 nm
• 全⾏程运动中，保证通孔 85 mm × 65 mm
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空
（.UHV）选件
• 主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）
7 ⼯作温度 8 质量 运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列9 运动⾏程 10 最⼤速度 11 最⼩步伐 12 驱动频率 13 最⼤负载 14 全⾏程俯仰/偏摆 传感精度
15 位置传感类型 16 位置传感量程 17 位置传感分辨率 www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
压电·⼤范围线性运动— Carrier.L1010.XY室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程载物台 — 精密光学，半导体表征
Piezoelectric Motion - LT www.multi-Þeld.com ｜ MuCarrier.L1010.XY
• XY⽅向⼤⾏程 100 mm × 100 mm
• 最⼩步伐尺⼨约 20 nm
• 最⾼速度 10 mm/s
• 闭环传感，空间分辨率1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm
• 全⾏程运动中，保证通孔 70 mm × 70 mm
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空
（.UHV）选件
• 主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）
2D·尺⼨图
Carrier.L1010.XY ，压电可选版本 ⇨ 正常版本 .NM， 绝对⽆磁版.HV， ⾼真空版本.UHV，超⾼真空版1 运动⽅向 2 外形尺⼨ 3 必要安装空间 4 有效通孔 5 主体材料 6 线缆 & 接头 7 ⼯作温度 8 质量
运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形9 运动⾏程 10 最⼤速度 11 最⼩步伐 12 驱动频率 13 最⼤负载 14 全⾏程俯仰/偏摆 传感精度
15 位置传感类型 16 位置传感量程 17 位置传感分辨率 - 光栅尺传感（产品特⾊
Piezoelectric Motion - RT www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technolo XY⽅向⼤⾏程 100 mm 100 mm
• 最⼩步伐尺⼨约 20 nm
• 最⾼速度 10 mm/s
• 闭环传感，空间分辨率1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm
全⾏程运• ⽀持⽆磁（.UHV）• 主体铝合2D·尺⼨图
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Carrier.L1010.XY
• XY⽅向⼤⾏程 100 mm × 100 mm
• 最⼩步伐尺⼨约 20 nm
• 最⾼速度 10 mm/s
• 闭环传感，空间分辨率1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm
• 全⾏程运动中，保证通孔 70 mm × 70 mm
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空
（.UHV）选件
• 主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）
2D·尺⼨图
产品特⾊
Carrier.R200
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
压电·⼤尺⼨旋转运动— Carrier.R200室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Piezoelectric Motion - LT
MultiFields
&Group
Carrier.R200，压电扫描台 — 技术参数
可选版本 ⇨ 正常版本
.NM， 绝对⽆磁版本；
.UHV，超⾼真空版本；
1 运动⽅向 Z 轴旋转
2 底⾯尺⼨*⾼度 200 mm × 200 mm × 24mm
3 主体材料 铝合⾦
4 运动⾏程 300°
5 台⾯尺⼨/中通孔 φ 190 / φ 60 mm
运动&位置传感
6 运动⽅式 连续运动
7 光栅尺分辨率 1 urad
8 驱动频率 Max. 20 kHz
9 ⾃锁⼒矩 20 N*mm
10 驱动⼒矩 15 N*mm
11 运动可重复精度 300 µ° / 6 urad
12 最⼤负载 1 kg
13 驱动电压 Max. 120V
其他
14 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度
15 质量 2 kg
16 安装 螺纹孔兼容 Carrier.L7550
Carrier.R200
产品特⾊
• 旋转运动 300 °；
• 闭环分辨率优于 1 urad；
• 最⼤负载 1kg；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.HV）选件升级
2D·尺⼨图
Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
外形紧凑，动⼒性能不折扣的摇摆位移台；同时保证优质的价格空间。
光学，半导体表征
Carri可1 运动⽅向 2 底⾯尺⼨*⾼度 3 主体材料 4 运动⾏程 5 台⾯尺⼨/中通孔 运动&位置传感
6 运动⽅式 7 光栅尺分辨率 8 驱动频率 9 ⾃锁⼒矩 10 驱动⼒矩 11 运动可重复精度 12 最⼤负载 13 驱动电压 其他
14 推荐使⽤温度 15 质量 16 安装 Carrier.R200
保证优质的价格空间。
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Carrier.R200
00 °；
率优于 1 urad；
kg；
显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
（.NM）和⾼真空（.HV）选件升级
图
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
67室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
返回目录
选型表
Free6D.3-2.150系列 压电六轴并联系统
Free6D.3-2.150.G2
尺寸图：
型号 Free6D.3-2.150.G2
外形尺寸（mm） Ø150×90
主体材料 不锈钢/铝合金
运动参数
行程 X, Y, Z ± 9 mm, ± 9 mm, ± 5 mm
行程 θX, θY , θZ ± 10 °, ± 10 °, ± 20 °
单向重复定位精度 X, Y, Z ± 0.3 µm, ± 0.3 µm, ± 0.1 µm
单向重复定位精度 θX，θY，θZ ± 5 µrad, ± 5 µrad, ± 5 µrad
最小位移 X, Y, Z 0.1 µm, 0.1 µm, 0.1 µm
最小位移 θX，θY，θZ 5 µrad, 5 µrad, 5 µrad
位置传感参数
集成传感器 光学编码器
位置传感分辨率 2nm
控制器信息
工作电压 220 V
控制器通道 6通道输出控制
通讯接口 USB，232，网口通讯
控制软件 提供PC端使用软件，支持labview，串口命令集控制
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压电·⼤范围扫描运动— Carrier.S200.XY
室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
Piezoelectric Motion - LT
Carrier.S200.XY
产品特⾊
• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；
• 闭环定位精度优于 1nm；
• 最⼤负载 500 g；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
TEL:010 56370168 www.zolix.com.cn | www.multi-field.com 106 www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
压电·⼤范围扫描运动— Carrier.S200.XY
室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
Piezoelectric Motion - LT
Carrier.S200.XY
产品特⾊
• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；
• 闭环定位精度优于 1nm；
• 最⼤负载 500 g；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
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压
电
运
动·室
温
室温压电运动·Lab系列-全家福
Linear Motion Unit RX 运动⽅向 Z 运动⽅向 Tx，摇摆台 35 mm LS35x.Lab系列
可选 .E / .adv
可选 .HV/. UHV
可选 .NM
LS35z.Lab系列
可选 .adv
可选 .HV/. UHV
可选 .NM
GS35-35.Lab 系列
可选 .HV/. UHV
可选 .NM
G65 mm LS65x.Lab 系列
可选 .E / .adv
可选 .HV/. UHV
可选 .NM
LS65z.Lab 系列
可选 .adv
可选 .HV/. UHV
可选 .NM
GS65-77.Lab系列
可选 .HV/. UHV
可选 .NM
G.NM, 绝对⽆磁版本；.HV, ⾼真空版本; .UHV, 超⾼真空版本；
LS35x.Lab 系列
• LS35x.Lab.E
• LS35x.Lab
• LS35x.Lab.HV
• LS35x.Lab.UHV
• LS35x.Lab.NM
• LS35x.Lab.HV.NM
• LS35x.Lab.UHV.NM
• LS35x.Lab.adv
• LS35x.Lab.adv.HV
• LS35x.Lab.adv.UHV
• LS35x.Lab.adv.NM
• LS35x.Lab.adv.HV.NM
• LS35x.Lab.adv.UHV.NM
LS35z.Lab 系列
• LS35z.Lab
• LS35z.Lab.HV
• LS35z.Lab.UHV
• LS35z.Lab.NM
• LS35z.Lab.HV.NM
• LS35z.Lab.UHV.NM
• LS35z.Lab.adv
• LS35z.Lab.adv.HV
• LS35z.Lab.adv.UHV
• LS35z.Lab.adv.NM
• LS35z.Lab.adv.HV.NM
• LS35z.Lab.adv.UHV.NM
LS65x.Lab 系列
• LS65x.Lab.E
• LS65x.Lab
• LS65x.Lab.HV
• LS65x.Lab.UHV
• LS65x.Lab.NM
• LS65x.Lab.HV.NM
• LS65x.Lab.UHV.NM
• LS65x.Lab.adv
• LS65x.Lab.adv.HV
• LS65x.Lab.adv.UHV
• LS65x.Lab.adv.NM
• LS65x.Lab.adv.HV.NM
• LS65x.Lab.adv.UHV.NM
LS65z.Lab 系列
• LS65z.Lab
• LS65z.Lab.HV
• LS65z.Lab.UHV
• LS65z.Lab.NM
• LS65z.Lab.HV.NM
• LS65z.Lab.UHV.NM
• LS65z.Lab.adv
• LS65z.Lab.adv.HV
• LS65z.Lab.adv.UHV
• LS65z.Lab.adv.NM
• LS65z.Lab.adv.HV.NM
• LS65z.Lab.adv.UHV.NM
默认 ~ 2nm 空间分辨率
.E ~ 50 nm 空间分辨率
.adv ~ 0.5 nm 空间分辨率
.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空版本
.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空版本
.NM ~ 完全⽆磁版本
可选型号 ⇨
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压
电
运
动·室
温
室温压电运动·Lab系列-全家福
Linear Motion Unit RX 运动⽅向 Z 运动⽅向 Tx，摇摆台 35 mm LS35x.Lab系列
可选 .E / .adv
可选 .HV/. UHV
可选 .NM
LS35z.Lab系列
可选 .adv
可选 .HV/. UHV
可选 .NM
GS35-35.Lab 系列
可选 .HV/. UHV
可选 .NM
G65 mm LS65x.Lab 系列
可选 .E / .adv
可选 .HV/. UHV
可选 .NM
LS65z.Lab 系列
可选 .adv
可选 .HV/. UHV
可选 .NM
GS65-77.Lab系列
可选 .HV/. UHV
可选 .NM
G.NM, 绝对⽆磁版本；.HV, ⾼真空版本; .UHV, 超⾼真空版本；
LS35x.Lab 系列
• LS35x.Lab.E
• LS35x.Lab
• LS35x.Lab.HV
• LS35x.Lab.UHV
• LS35x.Lab.NM
• LS35x.Lab.HV.NM
• LS35x.Lab.UHV.NM
• LS35x.Lab.adv
• LS35x.Lab.adv.HV
• LS35x.Lab.adv.UHV
• LS35x.Lab.adv.NM
• LS35x.Lab.adv.HV.NM
• LS35x.Lab.adv.UHV.NM
LS35z.Lab 系列
• LS35z.Lab
• LS35z.Lab.HV
• LS35z.Lab.UHV
• LS35z.Lab.NM
• LS35z.Lab.HV.NM
• LS35z.Lab.UHV.NM
• LS35z.Lab.adv
• LS35z.Lab.adv.HV
• LS35z.Lab.adv.UHV
• LS35z.Lab.adv.NM
• LS35z.Lab.adv.HV.NM
• LS35z.Lab.adv.UHV.NM
LS65x.Lab 系列
• LS65x.Lab.E
• LS65x.Lab
• LS65x.Lab.HV
• LS65x.Lab.UHV
• LS65x.Lab.NM
• LS65x.Lab.HV.NM
• LS65x.Lab.UHV.NM
• LS65x.Lab.adv
• LS65x.Lab.adv.HV
• LS65x.Lab.adv.UHV
• LS65x.Lab.adv.NM
• LS65x.Lab.adv.HV.NM
• LS65x.Lab.adv.UHV.NM
LS65z.Lab 系列
• LS65z.Lab
• LS65z.Lab.HV
• LS65z.Lab.UHV
• LS65z.Lab.NM
• LS65z.Lab.HV.NM
• LS65z.Lab.UHV.NM
• LS65z.Lab.adv
• LS65z.Lab.adv.HV
• LS65z.Lab.adv.UHV
• LS65z.Lab.adv.NM
• LS65z.Lab.adv.HV.NM
• LS65z.Lab.adv.UHV.NM
默认 ~ 2nm 空间分辨率
.E ~ 50 nm 空间分辨率
.adv ~ 0.5 nm 空间分辨率
.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空版本
.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空版本
.NM ~ 完全⽆磁版本
可选型号 ⇨
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压电·六轴并联位移台— Free6D.3-2.150.G2
压
电
运
动·室
温
6⾃由度并联设计，空间中彻底⾃由移动；
F1 底⾯尺⼨*⾼2 主体材料 3 线缆 & 接头4 最⼤垂直负运动参数
5 ⾏程 X, Y, Z6 ⾏程 ΘX, Θ7 单向重复定8 单向重复定ΘX，ΘY，9 最⼩位移 X10 最⼩位移 Θ位置传感参11 集成传感器 12 位置传感分控制器信息
13 功能* 14 控制⽅式 15 控制器尺⼨ 16 重量 17 ⼯作电压 18 最⼤输出电19 最⼤输出频20 最⼤输出功21 ⼯作环境 22 控制器通道 23 位移台通道24 通讯接⼝ 25 控制软件 位移台尺⼨图
控制器尺⼨图
电·⼤范围扫描运动— Carrier.S200.XY
电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
Carri产品特⾊
• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；
• 闭环定位精度优于 1nm；
• 最⼤负载 500 g；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
范围扫描运动— Carrier.S200.XY
⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
Carrier.S200.XY
品特⾊
维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；
环定位精度优于 1nm；
⼤负载 500 g；
对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
室温压电运动·LabLinear Motion Unit X 运动⽅向 Z 运动⽅向 LS35x.Lab系列
可选 .E / .adv
可选 .HV/. UHV
可选 .NM
LS35z.Lab系列
可选 .adv
可选 .HV/. UHV
可选 .NM
GS35-35.Lab 可选 .HV/. U可选 .NM
LS65x.Lab 系列
可选 .E / .adv
可选 .HV/. UHV
可选 .NM
LS65z.Lab 系列
可选 .adv
可选 .HV/. UHV
可选 .NM
GS65-77.Lab可选 .HV/. U可选 .NM
.NM, 绝对⽆磁版本；.HV, ⾼真空版本; .UHV, 超⾼真空版本；
LS35x.Lab 系列
• LS35x.Lab.E
•LS35xLabLS35z.Lab 系列
• LS35z.Lab
• LS35z.Lab.HV
LS65x.Lab 系列
• LS65x.Lab.E
分辨率⇨室温压电运动·LabLinear Motion Unit X 运动⽅向 Z 运动⽅向 LS35x.Lab系列
可选 .E / .adv
可选 .HV/. UHV
可选 .NM
LS35z.Lab系列
可选 .adv
可选 .HV/. UHV
可选 .NM
GS35-35.Lab 可选 .HV/. U可选 .NM
LS65x.Lab 系列
可选 .E / .adv
可选 .HV/. UHV
可选 .NM
LS65z.Lab 系列
可选 .adv
可选 .HV/. UHV
可选 .NM
GS65-77.Lab系可选 .HV/. U可选 .NM
.NM, 绝对⽆磁版本；.HV, ⾼真空版本; .UHV, 超⾼真空版本；
LS35x.Lab 系列
• LS35x.Lab.E
•LS35xLabLS35z.Lab 系列
• LS35z.Lab
• LS35z.Lab.HV
LS65x.Lab 系列
• LS65x.Lab.E
分辨率⇨轴并联位移台— Free6D.3-2.150.G2
联设计，空间中彻底⾃由移动；
尺⼨图
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
68室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
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选型表
Sx00.xx.C 系列室温压电扫描台
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·压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列
准单轴扫描运动模块，⽀持电容&电阻闭环控制
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S300.x.C
产品特⾊
• X⽅向运动范围 300 um；
• 外形尺⼨，50 mm × 50 mm× 17 mm;
• 闭环定位精度优于 3 nm（开环版本可选）
• 最⼤负载 500 g；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
S300.x.C , 单维压电扫描台
可选版本 ⇨ 正常版本 .NM
.NM， 绝对⽆磁版本；
.UHV，超⾼真空版本；
1 运动⽅向 X ⽅向
2 底⾯尺⼨*⾼度 50 mm × 50 mm × 17 mm
3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢 铝合⾦ & 纯钛
4 运动⾏程 300 um（开环）
250 um （闭环）
运动&定位
5 运动分辨率（开环） 1 nm
6 运动可重复精度 ± 10 nm
7 线性误差 优于 0.1%
8 共振频率 350 Hz
9 最⼤负载 500 g
10 闭环传感器（闭环版本） 电容式
11 压电电容（X, Y） Max. 150 V
其他信息
12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C
13 质量 200 g
14 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3
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压电单轴扫描运动 S100.z.C / S
室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列
Piezoelectric Motion - LT wwwS100.z.C /S
产品特⾊
• Z ⽅向扫描运动 100 um；
• 外形尺⼨，40 mm × 40 mm× 18 mm;
• 闭环定位精度优于 1nm（开环版本可选）
• 最⼤负载 500 g；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
可选版本 1 运动⽅向 2 底⾯尺⼨*⾼度 3 主体材料 4 运动⾏程 运动&定位
5 运动分辨率 6 运动可重复精度 7 摇摆/俯仰 8 线性误差 9 共振频率（空载） 10 刚性 11 最⼤负载 12 闭环传感器（闭环版本13 压电电容（Z） 其他信息
14 推荐使⽤温度 15 质量 16 线缆⻓度 Piezoelectric Motion - RT www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
压电·⼆/三轴扫描运动— S100.xyz.C
室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列
Piezoelectric Motion - LT
紧凑的3⾃由度扫描运动台，电容闭环控制⽀持
S100.xy.C
S100.xyz.C
产品特⾊
• 三维度XY 扫描运动 100 um × 100 um× 100 um；
• 外形尺⼨，55 mm × 55 mm× 40 mm;
• 闭环定位精度优于 1 nm
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
Piezoelectric Motion - RT 命名规则
运动行程：
100：100μm
300：300μm
环境版本：
NM：绝对无磁版本
HV：高真空版本
UHV：超高真空版本
运动方向
z：Z轴方向
xy：XY轴方向
xyz：XYZ轴方向
S100.xy.C.HV
传感器
C：电容型
S：电阻型
特点：
• 紧凑设计、XYZ三轴在极小外形尺寸范围内做到较大行程
• 高负载，负载可至500g
• 闭环精度优于1nm
• 支持无磁(.NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件
型号 S100.z.C S100.xy.C S100.xyz.C S300.x.C
运动方向 Z方向 S100.XY : X，Y方向
S100.XYZ : X，Y，Z 方向 X方向
底面尺寸×高度（mm） 40×40×18 55×55×40 50×50×17
主体材料 铝合金 & 不锈钢& 纯钛
自重（g） 150 500 200
运动行程（µm） 100(闭环) 100×100 100×100 ×100 300 (开环)
运动分辨率（nm） 0.2 (开环) 0.2 (开环) ;1 (闭环) 3 (闭环)
运动可重复精度（nm） ± 5 < 10 士10
线性误差 优于0.02% 优于 0.1% 优于0.1%
共振频率（Hz） 500 X，Y: 400 ，350
Z: 300 350
刚性（N/µm） 0.5 0.5 /
闭环传感器 电容式
驱动电压 150V
推荐使用温度 -20~80°C
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
69室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
返回目录
S100.C
尺寸图：
S300.x.C
S100.xy /xyz.C
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压电·单轴扫描运动— S300.x.C室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列
Piezoelectric Motion - LT
标准单轴扫描运动模块，⽀持电容&电阻闭环控制
Piezoelectric Motion - RT
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Piezoelectric Motion - LT
MultiFields
&Group
S300.x.C
产品特⾊
• X⽅向运动范围 300 um；
• 外形尺⼨，50 mm × 50 mm× 17 mm;
• 闭环定位精度优于 3 nm（开环版本可选）
• 最⼤负载 500 g；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
S300.x.C , 单维压电扫描台
可选版本 ⇨ 正常版本 .NM
.NM， 绝对⽆磁版本；
.UHV，超⾼真空版本；
1 运动⽅向 X ⽅向
2 底⾯尺⼨*⾼度 50 mm × 50 mm × 17 mm
3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢 铝合⾦ & 纯钛
4 运动⾏程 300 um（开环）
250 um （闭环）
运动&定位
5 运动分辨率（开环） 1 nm
6 运动可重复精度 ± 10 nm
7 线性误差 优于 0.1%
8 共振频率 350 Hz
9 最⼤负载 500 g
10 闭环传感器（闭环版本） 电容式
11 压电电容（X, Y） Max. 150 V
其他信息
12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C
13 质量 200 g
14 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3
Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
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压电·单轴扫描运动— S300.x.C
室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列
标准单轴扫描运动模块，⽀持电容&电阻闭环控制
S300.x.C
产品特⾊
• X⽅向运动范围 300 um；
• 外形尺⼨，50 mm × 50 mm× 17 mm;
• 闭环定位精度优于 3 nm（开环版本可选）
• 最⼤负载 500 g；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
1 运动⽅向 2 底⾯尺⼨*3 主体材料 4 运动⾏程
运动&定位
5 运动分辨率6 运动可重复7 线性误差 8 共振频率 9 最⼤负载 10 闭环传感器11 压电电容其他信息
12 推荐使⽤温13 质量 14 线缆⻓度 00.x.C
列电阻闭环控制
S300.x.C
;选）
选件升级
S300.x.C , 单维压电可选版本 ⇨ 正常版本 .NM， 绝对⽆磁版本；
.UHV，超⾼真空版本；
1 运动⽅向 2 底⾯尺⼨*⾼度 50 m3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢 4 运动⾏程
2运动&定位
5 运动分辨率（开环） 6 运动可重复精度 7 线性误差 8 共振频率 9 最⼤负载 10 闭环传感器（闭环版本） 11 压电电容（X, Y） 其他信息
12 推荐使⽤温度 13 质量 14 线缆⻓度 www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
压电·单轴扫描运动— S100.z.C / S室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列
Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT
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Piezoelectric Motion - LT
MultiFields
&Group
S100.z.C /S
产品特⾊
• Z ⽅向扫描运动 100 um；
• 外形尺⼨，40 mm × 40 mm× 18 mm;
• 闭环定位精度优于 1nm（开环版本可选）
• 最⼤负载 500 g；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
S100.z.C , 单维压电扫描台
可选版本 ⇨ 正常版本
.NM， 绝对⽆磁版本；
.UHV，超⾼真空版本；
1 运动⽅向 Z ⽅向
2 底⾯尺⼨*⾼度 40mm × 40 mm × 18 mm
3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢
4 运动⾏程 100 um （闭环）
运动&定位
5 运动分辨率 0.2 nm
6 运动可重复精度 ± 5 nm
7 摇摆/俯仰 ± 25 µrad
8 线性误差 优于 0.02%
9 共振频率（空载） 500 Hz
10 刚性 0.5 N/um
11 最⼤负载 500 g
12 闭环传感器（闭环版本） 电容式
13 压电电容（Z） 150 V
其他信息
14 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C
15 质量 150g
16 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3
Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
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www.m产品特⾊
• Z ⽅向扫描运动 100 um；
• 外形尺⼨，40 mm × 40 mm× 18 mm;
• 闭环定位精度优于 1nm（开环版本可选）
• 最⼤负载 500 g；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
7 摇摆/俯仰 8 线性误差 9 共振频率（空载） 10 刚性 11 最⼤负载 12 闭环传感器（闭环版本）13 压电电容（Z） 其他信息
14 推荐使⽤温度 15 质量 16 线缆⻓度 -Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
S100.z.C /S
m;
选）
选件升级
2 底⾯尺⼨*⾼度 40mm × 40 mm × 183 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢
4 运动⾏程 100 um （闭环）
运动&定位
5 运动分辨率 0.2 nm
6 运动可重复精度 ± 5 nm
7 摇摆/俯仰 ± 25 µrad
8 线性误差 优于 0.02%
9 共振频率（空载） 500 Hz
10 刚性 0.5 N/um
11 最⼤负载 500 g
12 闭环传感器（闭环版本） 电容式
13 压电电容（Z） 150 V
其他信息
14 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C
15 质量 150g
16 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
压电·⼆/三轴扫描运动— S100.xyz.C室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列
Piezoelectric Motion - LT
紧凑的3⾃由度扫描运动台，电容闭环控制⽀持
www.multS100.xy.C
S100.xyz.C
产品特⾊
• 三维度XY 扫描运动 100 um × 100 um× 100 um；
• 外形尺⼨，55 mm × 55 mm× 40 mm;
• 闭环定位精度优于 1 nm
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
S100.xy /可选版本 ⇨ 1 运动⽅向
2 底⾯尺⼨*⾼度 3 主体材料 4 运动⾏程 运动&定位
5 运动分辨率 6 运动可重复精度 7 线性误差 8 共振频率 9 刚性 10 闭环传感器（闭环版本） 11 驱动电压 其他信息
12 推荐使⽤温度 13 质量 14 线缆⻓度 Piezoelectric Motion - RT www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technolo产特• 三维度XY 扫描运动 100 um × 100 um× 100 um；
• 外形尺⼨，55 mm × 55 mm× 40 mm;
• 闭环定位精度优于 1 nm
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
c Motion - LT
S100.xy.C
S100.xyz.C
产品特⾊
• 三维度XY 扫描运动 100 um × 100 um× 100 um；
• 外形尺⼨，55 mm × 55 mm× 40 mm;
• 闭环定位精度优于 1 nm
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
c Motion - RT
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
70室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
返回目录
选型表
SD15/30.x.C系列 室温压电高动态扫描台
特点：
• X方向扫描运动15µm，30µm
• 外形尺寸，62mm x 40mm x 13.5mm，80mm x 40mm x 13.5mm
• 闭环分辨率优于0.1nm
• 电容位置传感
• 高速运动响应
• 支持高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Piezoelectric Motion - LT SD30.x.C
产品特⾊
• X ⽅向扫描运动 15 um, 30 um；
• 外形尺⼨，62 mm × 40 mm× 13.5 mm, 80 mm × 40 mm× 13.5 mm;
• 闭环分辨率优于 0.1 nm;
• 电容位置传感；
• ⾼速运动响应；
• 真空（.HV），⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
Piezoelectric Motion - RT SD15.x.C
SD15.x.C SD30.x.C
⾼速扫描运动，电容闭环传感，超⾼运动分辨率
压电·⾼速单轴扫描运动— SD15/30.x.C室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “SD系列“ ⾼动态系列
Piezoelectric Motion - LT MultiF &SD30.x.C
产品特⾊
• X ⽅向扫描运动 15 um, 30 um；
• 外形尺⼨，62 mm × 40 mm× 13.5 mm, 80 mm × 40 mm× 13.5 mm;
• 闭环分辨率优于 0.1 nm;
• 电容位置传感；
• ⾼速运动响应；
• 真空（.HV），⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
SD15/30.x.C , 单维压电·⾼速扫描台-1
可选版本 ⇨ SD15.x.C SD30.x.C
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
1 运动⽅向 X ⽅向
2 底⾯尺⼨*⾼度 62 mm × 40 mm× 13.5 mm 80 mm × 40 mm× 13.5 mm
3 主体材料 铝合⾦
4 运动⾏程 15 um （闭环） 30 um （闭环）
运动&定位
5 运动分辨率 0.1 nm 0.2 nm
6 运动可重复精度 2 nm 4 nm
7 线性误差 优于 0.035%
8 摇摆 2 urad
9 俯仰 2 urad
10 共振频率 3.3 kHz 2.2 kHz
11 共振频率（300g） 1 kHz 0.625 kHz
12 刚性 28 N/um 18 N/um
13 闭环传感器（闭环版本） 电容式
其他信息
14 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C
15 质量 250 g 350 g
16 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3
17 适配控制器 Archimedes 系列控制器
Piezoelectric Motion - RT SD15.x.C
⾼速扫描运动，电容闭环传感，超⾼运动分辨率
压电·⾼速单轴扫描运动— SD15/30.x.C
室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “SD系列“ ⾼动态系列
Piezoelectric Motion - LT SD30.x.C
产品特⾊
• X ⽅向扫描运动 15 um, 30 um；
• 外形尺⼨，62 mm × 40 mm× 13.5 mm, 80 mm × 40 mm× 13.5 mm;
• 闭环分辨率优于 0.1 nm;
• 电容位置传感；
• ⾼速运动响应；
• 真空（.HV），⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
Piezoelectric Motion - RT SD15.x.C
SD15.x.C SD30.x.C
⾼速扫描运动，电容闭环传感，超⾼运动分辨率
压电·⾼速单轴扫描运动— SD15/30.x.C
室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “SD系列“ ⾼动态系列
Piezoelectric Motion - LT SD30.x.C
产品特⾊
• X ⽅向扫描运动 15 um, 30 um；
• 外形尺⼨，62 mm × 40 mm× 13.5 mm, 80 mm × 40 mm× 13.5 mm;
• 闭环分辨率优于 0.1 nm;
• 电容位置传感；
• ⾼速运动响应；
• 真空（.HV），⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
Piezoelectric Motion - RT SD15.x.C
SD15.x.C SD30.x.C
⾼速扫描运动，电容闭环传感，超⾼运动分辨率
压电·⾼速单轴扫描运动— SD15/30.x.C室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “SD系列“ ⾼动态系列
Piezoelectric Motion - LT SD30.x.C
产品特⾊
• X ⽅向扫描运动 15 um, 30 um；
• 外形尺⼨，62 mm × 40 mm× 13.5 mm, 80 mm × 40 mm× 13.5 mm;
• 闭环分辨率优于 0.1 nm;
• 电容位置传感；
• ⾼速运动响应；
• 真空（.HV），⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
可选1 运动⽅向 2 底⾯尺⼨*⾼度 3 主体材料 4 运动⾏程 运动&定位
5 运动分辨率 6 运动可重复精度 7 线性误差 8 摇摆 9 俯仰 10 共振频率 11 共振频率（300g） 12 刚性 13 闭环传感器（闭环其他信息
14 推荐使⽤温度 15 质量 16 线缆⻓度 17 适配控制器 Piezoelectric Motion - RT SD15.x.C
⾼速扫描运动，电容闭环传感，超⾼运动分辨率
SD15.x.C
尺寸图：
SD30.x.C
型号 SD15.x.C SD30.x.C
运动方向 X方向
底面尺寸×高度（mm） 62×40×13.5 80×40×13.5
主体材料 铝合金
自重（g） 250 350
运动行程（µm） 15（闭环） 30 （闭环）
运动分辨率（nm） 0.1 0.2
运动可重复精度（nm） 2 4
线性误差 优于 0.035%
摇摆（µrad） 2
俯仰（µrad） 2
共振频率（kHz） 3.3 2.2
共振频率 (300g）（kHz） 1 0.625
刚性（N/µm） 28 18
闭环传感器（闭环版本） 电容式
推荐使用温度 -20 ~ 80 °C
命名规则
运动行程：
15：15μm
30：30μm
环境版本：
HV：高真空版本
UHV：超高真空版本
传感器
C：电容型
S：电阻型
SD15.x.C.HV
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
71室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
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选型表
SH30.xyz.C系列 室温压电高负载扫描台
特点：
• 三维度XYZ扫描运动 30 µm x 30 µm x 15µm
• 外形尺寸，160mm x 160mm x 35mm
• 闭环分辨率优于0.3nm
• 最大负载 10 kg
• 支持高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件
SH30.xyz.0 /.C
尺寸图：
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Piezoelectric Motion - LT wwSH30.xyz.0 /.C
产品特⾊
• 三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x 15 um;
• 外形尺⼨，160 mm x 160 mm x 35 mm;
• 闭环分辨率优于 0.3nm
• 最⼤负载 10 kg;
• ⽀持⾼真空（..HV) 和超⾼真空 (.UHV) 选件升级
2D·尺⼨图
SH30可选版1 运动⽅向 2 底⾯尺⼨*⾼度 3 主体材料 4 运动⾏程 运动&定位
5 运动分辨率 6 运动可重复精度（闭7 偏摆⻆度 8 共振频率 (空载) 9 最⼤负载 10 闭环传感器（闭环版11 驱动电压 其他信息
12 推荐使⽤温度 13 质量 14 线缆⻓度 Piezoelectric Motion - RT 10kg超⾼负载，3⾃由度 -XYZ线性移动
压电·三轴扫描运动— SH30.xyz.C
室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “SH 系列“ ⾼负载系列
Piezoelectric Motion - LT SH30.xyz.0 /.C
产品特⾊
• 三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x 15 um;
• 外形尺⼨，160 mm x 160 mm x 35 mm;
• 闭环分辨率优于 0.3nm
• 最⼤负载 10 kg;
• ⽀持⾼真空（..HV) 和超⾼真空 (.UHV) 选件升级
2D·尺⼨图
Piezoelectric Motion - RT 10kg超⾼负载，3⾃由度 -XYZ线性移动
压电·三轴扫描运动— SH30.xyz.C室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “SH 系列“ ⾼负载系列
Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT
Piezoelectric Motion - LT
MultiFields
&Group
SH30.xyz.0 /.C
产品特⾊
• 三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x 15 um;
• 外形尺⼨，160 mm x 160 mm x 35 mm;
• 闭环分辨率优于 0.3nm
• 最⼤负载 10 kg;
• ⽀持⾼真空（..HV) 和超⾼真空 (.UHV) 选件升级
2D·尺⼨图
SH30.xyz.0 /.C, 3维压电扫描台-技术参数-1
可选版本 ⇨ SH30.xyz.C / .0
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.0 开环产品
.C 电容传感
1 运动⽅向 X ,Y ,Z ⽅向
2 底⾯尺⼨*⾼度 160 mm x 160 mm x 35 mm
3 主体材料 不锈钢
4 运动⾏程 30 um x 30 um x 15 um
运动&定位
5 运动分辨率 0.1 nm(开环) 0.3nm (闭环)
6 运动可重复精度（闭环） < 3 nm
7 偏摆⻆度 20 urad / 20 urad / 50 urad
8 共振频率 (空载) 500 Hz
9 最⼤负载 10 kg
10 闭环传感器（闭环版本） 电容式
11 驱动电压 150 V
其他信息
12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C
13 质量 4 kg
14 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3
Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
10kg超⾼负载，3⾃由度 -XYZ线性移动
命名规则
环境版本：
HV：高真空版本
UHV：超高真空版本
开闭环：
C：电容式闭环
S：电阻式闭环
0：开环
SH30.xyz.C.HV
型号 SH30.xyz.0 /.C
运动方向 X ,Y ,Z 方向
底面尺寸×高度（mm） 160×160×35
主体材料 不锈钢
自重（g） 4000
运动行程（µm） 30×30×15
运动分辨率（nm） 0.1(开环) 0.3(闭环)
运动可重复精度（闭环）（nm） <3
偏摆角度（µrad） 20/ 20 / 50
共振频率 (空载)（Hz） 500
最大负载（kg） 10
闭环传感器（闭环版本） 电容式
驱动电压（V） 150
推荐使用温度 -20 ~ 80 °C
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
72室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
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选型表
Carrier.S200.xy/xyz.C系列 室温压电中空扫描台
特点：
• 两维度XY 扫描运动200µm x 200µm
• 闭环分辨率优于2nm
• 最大负载 500 g
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案
• 支持无磁(.NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件
命名规则
Carrier.S200.xy/xyz.C
尺寸图：
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Piezoelectric Motion - RT
Carrier.S200.xy.C
Carrier.S200.xyz.C
产品特⾊
• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；
• 闭环分辨率优于 2 nm；
• 最⼤负载 500 g；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
压电·⼤范围扫描运动— Carrier.S200.xy / xyz.C室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
Piezoelectric Motion - RT
Carrier.S200.xy.C
Carrier.S200.xyz.C
产品特⾊
• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；
• 闭环分辨率优于 2 nm；
• 最⼤负载 500 g；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
Piezoelectric Motion - RT
MultiFields
&Group
Carrier.S200.xy /xyz.C，压电扫描台 — 技术参数
可选版本 ⇨ 正常版本
.NM， 绝对⽆磁版本；
.UHV，超⾼真空版本；
1 运动⽅向 Carrier.S200.XY : X，Y ⽅向
Carrier.S200.XYZ : X，Y，Z ⽅向
2 底⾯尺⼨*⾼度 182 mm × 150 mm × 15 mm
3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢
4 运动⾏程 Carrier.S200.xy : 200 um × 200 um
Carrier.S200.xyz : 200 um × 200 um × 200 um
5 中空透孔 77 mm × 65 mm
运动&位置传感
6 运动分辨率 2 nm
7 运动可重复精度 ± 20 nm
8 线性误差 优于 0.1%
9 共振频率 200Hz(X) 150Hz(Y)
10 最⼤负载 500g
11闭环传感器（闭环版本）电容式⾼速扫描运动，电容闭环传感，超⾼运动分辨率
型号 CarrierS200.xy.C CarrierS200.xyz.C
运动方向 X，Y 方向 X，Y，Z 方向
底面尺寸×高度（mm） 182×150×15
主体材料 铝合金/ 不锈钢
自重（g） 1000
运动行程（µm） 200×200 200×200×200
中间通孔尺寸（mm） 77×65
运动分辨率（nm） 2
运动可重复精度（nm） 士20
线性误差 优于 0.1%
共振频率（Hz） 200(X) 150(Y)
最大负载（g） 500
闭环传感器 电容式
驱动电压 Max. 150 V
推荐使用温度 15 ~ 40 °C
质量（kg） 1
运动方向：
xy：XY方向
xyz：XYZ方向
环境版本：
NM：绝对无磁版本
HV：高真空版本
UHV：超高真空版本
传感器：
C：电容型
S：电阻型
Carrier.S200.xy.C.HV
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
73室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
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选型表
CarrierHS100.xxx.C系列 室温压电中空高负载扫描台
命名规则
特点：
• 闭环分辨率优于 1nm
• 最大负载 3.5kg
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案
• 支持无磁(.NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件
负载类型：
S：轻负载
HS：重负载
环境版本：
NM：无磁版本
HV：高真空版本
UHV：超高真空版本
传感器：
C：电容型
S：电阻型
Carrier.HS100.Z.C.HV
运动方向：
Z：Z轴方向
XY：XY轴方向
ZTxTy：Z、θx和θy方向
XYRz：XY和θz方向
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描运动·⾼负载通孔型— Carrier.HS100.z.C温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台
Piezoelectric Motion - RT
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Carrier.HS100.z.C
产品特⾊
• Z 扫描运动 100 um
• 闭环分辨率优于 1 nm；
• 最⼤负载 3 kg；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
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Piezoelectric Motion - LT
MultiFields
&Group
Carrier.HS100.z.C，压电扫描台 — 技术参数
可选版本 ⇨ 正常版本
.NM， 绝对⽆磁版本；
.UHV，超⾼真空版本；
1 运动⽅向 Z ⽅向
2 底⾯尺⼨*⾼度 150 mm × 150 mm × 30 mm
3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢
4 运动⾏程 100 um
5 中空透孔 66 mm × 66 mm
运动&位置传感
6 线性度误差（z⽅向运动） 0.035%
7 俯仰/偏摆/旋转 50 urad / 50 urad / 10 urad
8 运动分辨率（闭环/开环） 1 nm / 0.3 nm
9 运动可重复精度 ± 10 nm
10 刚性 2.5 N/ um
11 共振频率（空载/2.5 kg） 500 Hz/ 200 Hz
12 最⼤负载 5 kg
13 闭环传感器（闭环版本） 电容式
14 驱动电压 Max. 150 V
其他
15 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度
16 质量 1 kg
2D·尺⼨图
Piezoelectric Motion - RT
负载·⾼速Z⽅向运动，⼤通孔设计，并联设计+电容闭环传感
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扫描运动·⾼负载通孔型 Carrier.HS100.xy.C室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台
Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT
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Carrier.HS100.xy.C
产品特⾊
• 两维度xy扫描运动 100 um；
• 闭环分辨率优于 1nm；
• 最⼤负载 3.5 kg；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Piezoelectric Motion - LT
MultiFields
&Group
Carrier.HS100.xy.C，压电扫描台 — 技术参数
可选版本 ⇨ 正常版本
.NM， 绝对⽆磁版本；
.UHV，超⾼真空版本；
1 运动⽅向 XY ⽅向
2 底⾯尺⼨*⾼度 150 mm × 150 mm × 30 mm
3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢
4 运动⾏程 100 um x 100 um
5 中空透孔 66 mm × 66 mm
运动&位置传感
6 线性度误差（z⽅向运动） 0.035%
8 运动分辨率（闭环/开环） 1 nm / 0.2 nm
9 运动可重复精度 ± 10 nm
10 刚性 2 N/ um
11 共振频率（空载/2.5 kg） 420 Hz/ 130 Hz
12 最⼤负载 3.5 kg
13 闭环传感器（闭环版本） 电容式
14 驱动电压 Max. 150 V
其他
15 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度
16 质量 1 kg
2D·尺⼨图
Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
⾼负载·⾼速XY平⾯运动，⼤通孔设计，并联设计+电容闭环传感
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
⼤负载通孔·扫描运动— Carrier.HS100.zTxTy.C室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台
Piezoelectric Motion - LT www.multi-Þeld.coCarrier.HS100.zTxTy.C
• 三维度Z，θxy 扫描运动；
• 100 um⾏程，1mrad & 1 mard
• 闭环分辨率优于 1nm；
• 最⼤负载 2.5 kg；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
www.multi-Þeld.coCarrier.HS100.zTxT可选版本 ⇨ 1 运动⽅向 2 底⾯尺⼨*⾼度 3 主体材料 4 运动⾏程（Z，θx & θy ） 5 中空透孔 运动&位置传感
6 Z线性度误差 7 θ线性度误差 8 Z运动分辨率（闭环/开环） 9 θ运动分辨率（闭环/开环） 10 运动可重复精度 (Z & θ) 11 刚性 12 Z共振频率（空载/2.5 kg） 13 θ共振频率（空载/2.5 kg） 14 最⼤负载 15 闭环传感器（闭环版本） 16 驱动电压 其他
17 推荐使⽤温度 18 质量 19 安装 2D·尺⼨图
Piezoelectric Motion - RT 产品特⾊
⾼负载·Z⽅向扫描运动，两轴摇摆调节，保证真正准直
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扫描运动·⾼负载通孔型— Carrier.HS100.xyRz.C室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台
Piezoelectric Motion - LT Carrier.HS100.xyRz.C
产品特⾊
• 两维度xy扫描运动 100 um，z轴旋转运动1mrad；
• 闭环分辨率优于 1nm；
• 最⼤负载 3.5 kg；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
Piezoelectric Motion - RT ⾼负载·⾼速XY平⾯运动，Z轴旋转设计，保证XY⾯内准直运动
型号 Carrier.HS100.Z.C Carrier.HS100.XY.C Carrier.HS100.ZTxTy.C Carrier.S100.XYRz.C
运动方向 Z方向 XY 方向 Z方向+θx & θy XY 方向 + θz旋转
底面尺寸×高度（mm） 150×50×30 150×150×30 150×150×30 150×50×30
主体材料 铝合金 & 不锈钢
自重（g） 1000
运动行程 100 µm 100 µm ×100 µm 100 µm×1 mrad × 1mrad 100 µm × 100 µm ×1 mard
中间通孔尺寸（mm） 66×66
线性度误差（z方向运动） 0.035%
运动分辨率（闭环/开环） 1 nm / 0.3 nm 1 nm / 0.2 nm 1 nm / 0.5 nm
0.05 µrad / 0.04 µrad
1 nm / 0.2 nm
0.05 µrad / 0.04 µrad
运动可重复精度 ± 10 nm ± 10 nm ± 10 nm, ± 0.1µrad ± 10 nm
, ± 0.1µrad
刚性（N/ µm） 2.5 2 2 2
共振频率（空载/2.5 kg） 500 Hz/ 200 Hz 420 Hz/ 130 Hz 480 Hz/ 160 Hz 420 Hz/ 130 Hz
最大负载（kg） 5
闭环传感器 电容式
驱动电压 Max. 150 V
推荐使用温度 15 ~ 40 °C
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
74室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
返回目录
Carrier.HS100.Z.C
Carrier.HS100.ZTxTy.C
尺寸图：
Carrier.HS100.XY.C
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
扫描运动·⾼负载通孔型— Carrier.HS100.z.C室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台
Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Carrier.HS100.z.C
产品特⾊
• Z 扫描运动 100 um
• 闭环分辨率优于 1 nm；
• 最⼤负载 3 kg；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Piezoelectric Motion - LT
MultiFields
&Group
Carrier.HS100.z.C，压电扫描台 — 技术参数
可选版本 ⇨ 正常版本
.NM， 绝对⽆磁版本；
.UHV，超⾼真空版本；
1 运动⽅向 Z ⽅向
2 底⾯尺⼨*⾼度 150 mm × 150 mm × 30 mm
3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢
4 运动⾏程 100 um
5 中空透孔 66 mm × 66 mm
运动&位置传感
6 线性度误差（z⽅向运动） 0.035%
7 俯仰/偏摆/旋转 50 urad / 50 urad / 10 urad
8 运动分辨率（闭环/开环） 1 nm / 0.3 nm
9 运动可重复精度 ± 10 nm
10 刚性 2.5 N/ um
11 共振频率（空载/2.5 kg） 500 Hz/ 200 Hz
12 最⼤负载 5 kg
13 闭环传感器（闭环版本） 电容式
14 驱动电压 Max. 150 V
其他
15 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度
16 质量 1 kg
2D·尺⼨图
Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
⾼负载·⾼速Z⽅向运动，⼤通孔设计，并联设计+电容闭环传感
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Carrier.HS100.z.C
产品特⾊
• Z 扫描运动 100 um
• 闭环分辨率优于 1 nm；
• 最⼤负载 3 kg；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
4 5 运动&位6 7 8 9 10 11 12 13 14 其他
15 16 2D·尺⼨图
com ｜ MultiFields Technologies
www.multi-Þeld.com件升级
www.multi-Þeld.com9 运动可重复精度 10 刚性 11 共振频率（空载/2.5 kg） 12 最⼤负载 13 闭环传感器（闭环版本） 14 驱动电压 其他
15 推荐使⽤温度 16 质量 www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
扫描运动·⾼负载通孔型 Carrier.HS100.xy.C室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台
Piezoelectric Motion - LT www.multi-Þeld.com ｜ MCarrier.HS100.xy.C
产品特⾊
• 两维度xy扫描运动 100 um；
• 闭环分辨率优于 1nm；
• 最⼤负载 3.5 kg；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
www.multi-Þeld.com ｜ MCarrier.HS100.xy.C，压可选版本 ⇨ .NM，.UHV，1 运动⽅向 2 底⾯尺⼨*⾼度 3 主体材料 4 运动⾏程 5 中空透孔 运动&位置传感
6 线性度误差（z⽅向运动） 8 运动分辨率（闭环/开环） 9 运动可重复精度 10 刚性 11 共振频率（空载/2.5 kg） 12 最⼤负载 13 闭环传感器（闭环版本） 14 驱动电压 其他
15 推荐使⽤温度 16 质量 2D·尺⼨图
Piezoelectric Motion - RT ⾼负载·⾼速XY平⾯运动，⼤通孔设计，并联设计+电容闭环传感
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Motion - LT Carrier.HS100.xy.C
产品特⾊
• 两维度xy扫描运动 100 um；
• 闭环分辨率优于 1nm；
• 最⼤负载 3.5 kg；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
Motion - RT Carrier.HS100.XYRz.C
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
⼤负载通孔·扫描运动— Carrier.HS100.zTxTy.C室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台
Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Carrier.HS100.zTxTy.C
• 三维度Z，θxy 扫描运动；
• 100 um⾏程，1mrad & 1 mard
• 闭环分辨率优于 1nm；
• 最⼤负载 2.5 kg；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Piezoelectric Motion - LT
MultiFields
&Group
Carrier.HS100.zTxTy.C，压电扫描台 — 技术参数
可选版本 ⇨ 正常版本
.UHV，超⾼真空版本；
1 运动⽅向 Z，θx & θy
2 底⾯尺⼨*⾼度 150 mm × 150 mm × 30 mm
3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢
4 运动⾏程（Z，θx & θy ） 100 um，1 mrad & 1mrad
5 中空透孔 66 mm × 66 mm
运动&位置传感
6 Z线性度误差 0.035%
7 θ线性度误差 0.15%
8 Z运动分辨率（闭环/开环） 1 nm / 0.5 nm
9 θ运动分辨率（闭环/开环） 0.05 urad / 0.04 urad
10 运动可重复精度 (Z & θ) ± 10 nm, ± 0.1urad
11 刚性 2 N/ um
12 Z共振频率（空载/2.5 kg） 480 Hz/ 160 Hz
13 θ共振频率（空载/2.5 kg） 500 Hz/ 150 Hz
14 最⼤负载 2.5 kg
15 闭环传感器（闭环版本） 电容式
16 驱动电压 Max. 150 V
其他
17 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度
18 质量 1 kg
19 安装 螺纹孔兼容 Carrier.L7550.XY
2D·尺⼨图
Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
产品特⾊
⾼负载·Z⽅向扫描运动，两轴摇摆调节，保证真正准直
载通孔·扫描运动— Carrier.HS100.zTxTy.C
运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台
Carrier.HS100.zTxTy.C
• 三维度Z，θxy 扫描运动；
• 100 um⾏程，1mrad & 1 mard
• 闭环分辨率优于 1nm；
• 最⼤负载 2.5 kg；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
产品特⾊
Z⽅向扫描运动，两轴摇摆调节，保证真正准直
com ｜ MultiFields Technologies
www.multi-ÞeldCarrier.HS100.zTxTy.C
件升级
www.multi-Þeld可选版本 ⇨ 1 运动⽅向 2 底⾯尺⼨*⾼度 3 主体材料 4 运动⾏程（Z，θx & θy ） 5 中空透孔 运动&位置传感
6 Z线性度误差 7 θ线性度误差 8 Z运动分辨率（闭环/开环） 9 θ运动分辨率（闭环/开环） 10 运动可重复精度 (Z & θ) 11 刚性 12 Z共振频率（空载/2.5 kg） 13 θ共振频率（空载/2.5 kg） 14 最⼤负载 15 闭环传感器（闭环版本） 16 驱动电压 其他
17 推荐使⽤温度 18 质量 19 安装 保证真正准直
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
扫描运动·⾼负载通孔型— Carrier.HS100.xyRz.C室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台
Piezoelectric Motion - LT www.multi-Þeld.com ｜ MuCarrier.HS100.xyRz.C
产品特⾊
• 两维度xy扫描运动 100 um，z轴旋转运动1mrad；
• 闭环分辨率优于 1nm；
• 最⼤负载 3.5 kg；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
www.multi-Þeld.com ｜ MuCarrier.S100.xyRz.C，压可选版本 ⇨ .NM， 绝.UHV，超1 运动⽅向 2 底⾯尺⼨*⾼度 3 主体材料 4 运动⾏程 5 中空透孔 运动&位置传感
6 线性度误差（z⽅向运动） 7 运动分辨率（闭环/开环） 8 运动可重复精度 9 刚性 10 共振频率（空载/2.5 kg） 11 最⼤负载 12 闭环传感器（闭环版本） 13 驱动电压 其他
14 推荐使⽤温度 15 质量 16 安装 2D·尺⼨图
Piezoelectric Motion - RT ⾼负载·⾼速XY平⾯运动，Z轴旋转设计，保证XY⾯内准直运动
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
扫描运动⾼负载通孔型 Carrier.HS100.xyRz.C
室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台
Piezoelectric Motion - LT Carrier.产品特⾊
• 两维度xy扫描运动 100 um，z轴旋转运动1mrad；
• 闭环分辨率优于 1nm；
• 最⼤负载 3.5 kg；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
Piezoelectric Motion - RT ⾼负载·⾼速XY平⾯运动，Z轴旋转设计，保证XY⾯内准直运动
扫描运动·⾼负载通孔型— Carrier.HS100.xyRz.C
室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台
Piezoelectric Motion - LT Carrier.HS100.xyRz.C
产品特⾊
• 两维度xy扫描运动 100 um，z轴旋转运动1mrad；
• 闭环分辨率优于 1nm；
• 最⼤负载 3.5 kg；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
Piezoelectric Motion - RT ⾼负载·⾼速XY平⾯运动，Z轴旋转设计，保证XY⾯内准直运动
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
产品特⾊
• 两维度xy扫描运动 100 um；
• 闭环分辨率优于 1nm；
• 最⼤负载 3.5 kg；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级
2D·尺⼨图
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
75室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
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选型表
Carrier.OBxx.C.系列 室温压电物镜对焦台
命名规则
特点：
• 最快稳定时间(90% 位置稳定) 10-15ms以内
• 闭环分辨率优于 1nm
• 最大负载500g，高负载版本(.HL) 2kg
• 支持无磁 (.NM) 、高真空 (HV) 和超高真空 (.UHV) 选件
行程：
050：50μm
100：100μm
环境版本：
NM：绝对无磁版本
HV：高真空版本
UHV：超高真空版本
HL：高负载版本
传感器：
C：电容型
S：电阻型
Carrier.OB 100. C .HV
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Piezoelectric Motion - LT
MultiFields
&Group
Carrier.OB.050.C 物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数
可选版本 ⇨ 正常版本
.NM， 绝对⽆磁版本；
.HV， ⾼真空版本;
.UHV，超⾼真空版本；
1 运动⽅向 Z 轴
2 ⾏程 50um
3 线性度 0.02%
4 内置传感器 电容式传感
5 传感器噪声 1 nm
6 Z⽅向分辨率，开环 0.2 nm
7 稳定时间 (90%位置到达) 10 ms
8 共振频率（⽆负载） 600 Hz
9 共振频率（150 g 负载） 300 Hz
10 整体重量 270 g
11 主体材料 不锈钢304，铝合⾦
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
压电·⼤范围扫描运动— Carrier.OB050.C室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Carrier.OB050.C
• Z⽅向运动范围 50 um；
• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；
• 闭环定位精度优于 1nm；
• 最⼤负载 500 g；
• 控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件
2D·尺⼨图
产品特⾊
Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
内螺纹 RMS
www.multi-Carrier.OB100可选版本1 运动⽅向 2 ⾏程 3 线性度 4 内置传感器 5 传感器噪⾳ 6 Z⽅向分辨率，开环 7 稳定时间 (90%位置到达) 8 共振频率（⽆负载） 9 共振频率（150 g 负载） 10 整体重量 11 主体材料 www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
压电·⼤范围扫描运动— Carrier.OB100.C
室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
Piezoelectric Motion - RT www.multi-Carrier.OB100.C
产品特⾊
• Z⽅向运动范围 100 um；
• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 15ms 以内；
• 闭环定位精度优于 1nm；
• 最⼤负载 500 g；
• 控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件
2D·尺⼨图
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
压电·⼤范围扫描运动— Carrier.OBHL100.C室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
Carrier.OBHL100.C
产品特⾊
• Z⽅向运动范围 100 um；
• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；
• 闭环定位精度优于 1nm；
• 最⼤负载 500 g；
• 控制器兼容多场科技 MC- Archimedes Series
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件
2D·尺⼨图
Piezoelectric Motion - RT 型号 Carrier.OB.050.C Carrier.OB100.C Carrier.OBHL100.C
材质 不锈钢/铝合金
自重（g） 270 270 500
运动方向 Z 轴
行程（µm） 50 100 100
线性度 0.02% 0.03% 0.02%
内置传感器 电容式传感
传感器噪声（nm） 1
Z方向分辨率，开环（nm） 0.2
稳定时间 (90%位置到达)（ms） 10 15 10
共振频率（无负载）（Hz） 600 500 900
共振频率（150 g 负载）（Hz） 300 250 500
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
76室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
返回目录
Carrier.OB050.C
Carrier.OB100.C.HL
尺寸图：
Carrier.OB100.C
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Piezoelectric Motion - LT
MultiFields
&Group
Carrier.OB.050.C 物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数
可选版本 ⇨ 正常版本
.NM， 绝对⽆磁版本；
.HV， ⾼真空版本;
.UHV，超⾼真空版本；
1 运动⽅向 Z 轴
2 ⾏程 50um
3 线性度 0.02%
4 内置传感器 电容式传感
5 传感器噪声 1 nm
6 Z⽅向分辨率，开环 0.2 nm
7 稳定时间 (90%位置到达) 10 ms
8 共振频率（⽆负载） 600 Hz
9 共振频率（150 g 负载） 300 Hz
10 整体重量 270 g
11 主体材料 不锈钢304，铝合⾦
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
压电·⼤范围扫描运动— Carrier.OB050.C室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Carrier.OB050.C
• Z⽅向运动范围 50 um；
• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；
• 闭环定位精度优于 1nm；
• 最⼤负载 500 g；
• 控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件
2D·尺⼨图
产品特⾊
Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
内螺纹 RMS
C1 运动⽅2 ⾏程 3 线性度 4 内置传5 传感器6 Z⽅向7 稳定时8 共振频9 共振频10 整体重11 主体材www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
压电·⼤范围扫描运动— Carrier.OB100.C室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
Piezoelectric Motion - RT Carrier.OB100.C
产品特⾊
• Z⽅向运动范围 100 um；
• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 15ms 以内；
• 闭环定位精度优于 1nm；
• 最⼤负载 500 g；
• 控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件
2D·尺⼨图
www.multi-Þeld.co5 传感器噪声 6 Z⽅向分辨率，开环 7 稳定时间 (90%位置到达) 8 共振频率（⽆负载） 9 共振频率（150 g 负载） 10 整体重量 11 主体材料 www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
www.multi-Þeld.co⽅向运动范围 50 um；
最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；
闭环定位精度优于 1nm；
最⼤负载 500 g；
控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series
⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件
D·尺⼨图
品特⾊
内螺纹 RMS
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
产品特⾊
• Z⽅向运动范围 100 um；
• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 15ms 以内；
• 闭环定位精度优于 1nm；
• 最⼤负载 500 g；
• 控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件
2D·尺⼨图
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
MultiFields
&Group
Carrier.OBHL100.C，物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数
可选版本 ⇨ 正常版本
.NM， 绝对⽆磁版本；
.HV， ⾼真空版本;
.UHV，超⾼真空版本；
1 运动⽅向 Z 轴
2 ⾏程 100 um
3 线性度 0.02%
4 内置传感器 电容式传感
5 传感器噪⾳ 1 nm
6 Z⽅向分辨率，开环 0.2 nm
7 稳定时间 (90%位置到达) 10 ms
8 共振频率（⽆负载） 900 Hz
9 共振频率（150 g 负载） 500 Hz
10 整体重量 500 g
11 主体材料 不锈钢304，铝合⾦
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
压电·⼤范围扫描运动— Carrier.OBHL100.C室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
Piezoelectric Motion - RT
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Carrier.OBHL100.C
产品特⾊
• Z⽅向运动范围 100 um；
• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；
• 闭环定位精度优于 1nm；
• 最⼤负载 500 g；
• 控制器兼容多场科技 MC- Archimedes Series
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件
2D·尺⼨图
Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
1 运2 ⾏3 线4 5 传6 Z7 稳8 共9 共10 整11 主www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
电⼤范围扫描运动 Carrier.OBHL100.C
压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
Carrier.OBHL100.C
产品特⾊
• Z⽅向运动范围 100 um；
• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；
• 闭环定位精度优于 1nm；
• 最⼤负载 500 g；
• 控制器兼容多场科技 MC- Archimedes Series
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件
2D·尺⼨图
Ca1 运动2 ⾏程 3 线性4 内置5 传感6 Z⽅向7 稳定8 共振9 共振10 整体11 主体www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
⼤范围扫描运动电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
Carrier.OBHL100.C
产品特⾊
• Z⽅向运动范围 100 um；
• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；
• 闭环定位精度优于 1nm；
• 最⼤负载 500 g；
• 控制器兼容多场科技 MC- Archimedes Series
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件
2D·尺⼨图
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
77室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
返回目录
选型表
Mirrors.(Z12)TxTyxxxx 系列 室温压电偏摆台
命名规则
特点：
• 两自由度偏摆运动
• ms级响应
• 偏摆多行程可选
• 最高精度µrad级别
• 支持无磁 (.NM) 、高真空 (HV) 和超高真空 (.UHV) 选件
Z轴方向：
NA：无Z轴行程
Z：含Z轴行程
环境版本：
NM：无磁版本
HV：高真空版本
UHV：超高真空版本
θxθy行程：
0101：1mrad，1mrad
0303：3mrad，3mrad
1010：10mrad，10mrad
Mirrors.Z 12 TxTy 0101.NM
12: z轴行程12mm www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
⼤⻆度 & ⾼动态偏转，⽤于镜⽚转动和光路调节等应⽤场景
Piezoelectric Motion - RT
两维偏转，毫秒级运动响应，⾼⻆度分辨率解决⽅案；
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields TechnoloMirrors.TxTy0303
Mirrors.TxTy0303/1010，技术参可选版本 ⇨ Mirror.TxTy.0303 .NM， 绝对⽆磁版本；
.UHV，超⾼真空版本；
1 运动⽅向 Tx, Ty
2 底⾯尺⼨*⾼度 详⻅⼯程图
3 主体材料 铝合⾦ & 不锈4 运动⾏程 θX, 3 mrad
θY, 3 mrad
运动&定位
5 运动分辨率 (开环) 0.05 urad (开环) 6 运动分辨率 (闭环) 0.1 urad (闭环）7 线性误差 优于 0.1%
8 共振频率 (空载) θX, θY ~ 2 kHz 9 摇摆半径 5.5 mm 10 闭环传感器（闭环版本） SGS
11 驱动电压 Max. 150 V
其他信息
12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C
13 搭配控制器 Archimedes.3S 14 线缆⻓度 1 m/ D-Sub 315 镜⽚重量 30 g
2D·尺⼨图
产品特⾊
Mirrors.TxTy1010
• 两⾃由度偏摆运动；
• ms级响应；
• 摇摆多⾏程可选；
• 最⾼精度urad级别
• 控制器 MC - Archimedes.3S
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空
（.UHV）选件
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
压电·镜⽚偏摆台 -Mirrors.TxTy0303/1010 ⼤⻆度 & ⾼动态偏转，⽤于镜⽚转动和光路调节等应⽤场景
Piezoelectric Motion - RT
两维偏转，毫秒级运动响应，⾼⻆度分辨率解决⽅案；
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Mirrors.TxTy0303
Mirrors.TxTy0303/1010，技术参数
可选版本 ⇨ Mirror.TxTy.0303 M.NM， 绝对⽆磁版本；
.UHV，超⾼真空版本；
1 运动⽅向 Tx, Ty
2 底⾯尺⼨*⾼度 详⻅⼯程图
3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢
4 运动⾏程 θX, 3 mrad
θY, 3 mrad
运动&定位
5 运动分辨率 (开环) 0.05 urad (开环) 06 运动分辨率 (闭环) 0.1 urad (闭环） 07 线性误差 优于 0.1%
8 共振频率 (空载) θX, θY ~ 2 kHz θ9 摇摆半径 5.5 mm 10 闭环传感器（闭环版本） SGS
11 驱动电压 Max. 150 V
其他信息
12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C
13 搭配控制器 Archimedes.3S 控制器
14 线缆⻓度 1 m/ D-Sub 3W3
15 镜⽚重量 30 g
2D·尺⼨图
产品特⾊
Mirrors.TxTy1010
• 两⾃由度偏摆运动；
• ms级响应；
• 摇摆多⾏程可选；
• 最⾼精度urad级别
• 控制器 MC - Archimedes.3S
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空
（.UHV）选件
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Piezoelectric Motion - RT
Mirrors.Z12TxTy0101
2D·尺⼨图
产品特⾊
• 直径10 mm 通孔；
• 并联结构设计保证三⾃由度调节；
• 最⼤⾏程 12 um
• ms 级别响应
• 最⾼精度urad级别
• 控制器 MC - Archimedes.3S
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空
（.UHV）选件
型号 Mirrors.TxTy0303 Mirrors.TxTy1010 Mirrors.Z12TxTy0101
运动方向 θx，θy Z方向，θx，θy
底面尺寸×高度（mm） 详见工程图
主体材料 铝合金 & 不锈钢
运动行程 3mrad / 3mrad 10mrad / 10mrad 12 µm / 1 mrad / 1mrad
运动分辨率 (开环) 0.05µrad 0.2µrad
Z：0.2 nm；
θx：0.05µrad；
θy：0.05 µrad
运动分辨率 (闭环) 0.1µrad 0.5µrad
Z：0.4 nm；
θx：0.1 µrad；
θy：0.1 µrad
线性误差 <0.1% 0.2%
共振频率 (空载) 2 kHz 1 kHz 5.5 kHz
偏摆半径 5.5mm /
闭环传感器（闭环版本） SGS 电阻式
驱动电压 Max.150V
推荐使用温度 -20~80℃
搭配控制器 Archimedes.3S控制器
镜片重量 30g 30g /
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
78室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
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irrors.TxTy0303
5 运动分辨率 (开环6 运动分辨率 (闭环7 线性误差 8 共振频率 (空载) 9 摇摆半径 10 闭环传感器（闭环11 驱动电压 其他信息
12 推荐使⽤温度 13 搭配控制器 14 线缆⻓度 15 镜⽚重量 Mirrors.TxTy1010
度偏摆运动；
应；
⾏程可选；
度urad级别
• 控制器 MC - Archimedes.3S
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空
（.UHV）选件
Mirrors.TxTy0303
Mirrors.Z12TxTy0101
尺寸图：
Mirrors.TxTy1010
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压电·镜⽚偏摆台 -Mirrors.TxTy0303/1010 ⼤⻆度 & ⾼动态偏转，⽤于镜⽚转动和光路调节等应⽤场景
Piezoelectric Motion - RT
两维偏转，毫秒级运动响应，⾼⻆度分辨率解决⽅案；
Piezoelectric Motion - RT
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Mirrors.TxTy0303
Mirrors.TxTy0303/1010，技术参数
可选版本 ⇨ Mirror.TxTy.0303 Mirror.TxTy.1010
.NM， 绝对⽆磁版本；
.UHV，超⾼真空版本；
1 运动⽅向 Tx, Ty
2 底⾯尺⼨*⾼度 详⻅⼯程图
3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢
4 运动⾏程 θX, 3 mrad
θY, 3 mrad
θX, 10 mrad
θY, 10 mrad
运动&定位
5 运动分辨率 (开环) 0.05 urad (开环) 0.2 urad (开环)
6 运动分辨率 (闭环) 0.1 urad (闭环） 0.5 urad (闭环）
7 线性误差 优于 0.1%
8 共振频率 (空载) θX, θY ~ 2 kHz θX, θY ~ 1 kHz
9 摇摆半径 5.5 mm 5.5 mm
10 闭环传感器（闭环版本） SGS
11 驱动电压 Max. 150 V
其他信息
12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C
13 搭配控制器 Archimedes.3S 控制器
14 线缆⻓度 1 m/ D-Sub 3W3
15 镜⽚重量 30 g
MultiFields
&Group
2D·尺⼨图
产品特⾊
Mirrors.TxTy1010
• 两⾃由度偏摆运动；
• ms级响应；
• 摇摆多⾏程可选；
• 最⾼精度urad级别
• 控制器 MC - Archimedes.3S
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空
（.UHV）选件
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压电·镜⽚偏摆台 -Mirrors.TxTy0303/1010 ⼤⻆度 & ⾼动态偏转，⽤于镜⽚转动和光路调节等应⽤场景
Piezoelectric Motion - RT
两维偏转，毫秒级运动响应，⾼⻆度分辨率解决⽅案；
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Mirrors.TxTy0303
Mirrors.TxTy0303/1010，技术参数
可选版本 ⇨ Mirror.TxTy.0303 Mirro.NM， 绝对⽆磁版本；
.UHV，超⾼真空版本；
1 运动⽅向 Tx, Ty
2 底⾯尺⼨*⾼度 详⻅⼯程图
3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢
4 运动⾏程 θX, 3 mrad
θY, 3 mrad
θXθY运动&定位
5 运动分辨率 (开环) 0.05 urad (开环) 0.2 6 运动分辨率 (闭环) 0.1 urad (闭环） 0.5 u7 线性误差 优于 0.1%
8 共振频率 (空载) θX, θY ~ 2 kHz θX, 9 摇摆半径 5.5 mm 10 闭环传感器（闭环版本） SGS
11 驱动电压 Max. 150 V
其他信息
12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C
13 搭配控制器 Archimedes.3S 控制器
14 线缆⻓度 1 m/ D-Sub 3W3
15 镜⽚重量 30 g
2D·尺⼨图
产品特⾊
Mirrors.TxTy1010
• 两⾃由度偏摆运动；
• ms级响应；
• 摇摆多⾏程可选；
• 最⾼精度urad级别
• 控制器 MC - Archimedes.3S
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空
（.UHV）选件
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
2D·尺⼨图
产品特⾊
• 两⾃由度偏摆运动；
• ms级响应；
• 摇摆多⾏程可选；
• 最⾼精度urad级别
• 控制器 MC - Archimedes.3S
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空
（.UHV）选件
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
2D·尺⼨图
产品特⾊
• 两⾃由度偏摆运动；
• ms级响应；
• 摇摆多⾏程可选；
• 最⾼精度urad级别
• 控制器 MC - Archimedes.3S
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空
（.UHV）选件
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压电·镜⽚偏摆台 -Mirrors.Z12TxTy0101 3⾃由度调节偏转，⽤于镜⽚转动和光路调节等应⽤场景
Piezoelectric Motion - RT
3⾃由度调节，通孔型摇摆台，毫秒级运动响应，⾼分辨率解决⽅案；
Piezoelectric Motion - RT
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Mirrors.Z12TxTy0101
MultiFields
&Group
2D·尺⼨图
产品特⾊
Mirrors.Z12TxTy0101，技术参数
可选版本 ⇨ Mirrors.Z12TxTy0101
.NM， 绝对⽆磁版本；
.UHV，超⾼真空版本；
1 运动⽅向 Z，Tx & Ty ⽅向
2 底⾯尺⼨*⾼度 详⻅⼯程图
3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢
4 运动⾏程（Z / Tx /Ty） 12 um / 1 mrad / 1mrad
运动&定位
5 运动分辨率 (开环 Z / Tx /Ty） Z：0.2 nm； Tx：0.05 urad；Ty：0.05 urad
6 运动分辨率 (闭环 Z / Tx /Ty） Z：0.4 nm； Tx：0.1 urad；Ty：0.1 urad
7 线性误差（Z / Tx /Ty） 0.2%
8 共振频率 (空载) 5.5 kHz
9 刚性 10 N/µm
10 闭环传感器（闭环版本） 电阻式
11 驱动电压 Max. 150 V
其他信息
12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C
13 搭配控制器 Archimedes.3S 控制器
14 线缆⻓度 1 m/ D-Sub 3W3
• 直径10 mm 通孔；
• 并联结构设计保证三⾃由度调节；
• 最⼤⾏程 12 um
• ms 级别响应
• 最⾼精度urad级别
• 控制器 MC - Archimedes.3S
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空
（.UHV）选件
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Mirrors.Z12TxTy0101
2D·尺⼨图
产品特⾊
• 直径10 mm 通孔；
• 并联结构设计保证三⾃由度调节；
• 最⼤⾏程 12 um
• ms 级别响应
• 最⾼精度urad级别
• 控制器 MC - Archimedes.3S
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空
（.UHV）选件
和光路调节等应⽤场景
台，毫秒级运动响应，⾼分辨率解决⽅案；
Mirrors.Z12TxTy0101
1 2 3 4 运动&定位
5 6 7 8 9 10 11 其他信息
12 13 14 证三⾃由度调节；
• 最⾼精度urad级别
• 控制器 MC - Archimedes.3S
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空
（.UHV）选件
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
79室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
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选型表
AutoScrew.Nano系列 压电镜架与压电螺纹副
特点：
• 亚纳米级运动控制
• 高速响应50 kHz
• 最大行程18µm
• 控制器:MC- Archimedes.04
• 支持无磁 (.NM) 、高真空 (HV) 和超高真空 (.UHV) 选件
型号 AutoScrew.Nano
主体材料 铝合金 & 不锈钢
自重（g） 9.5g
运动行程 18 µm
开环分辨率 1nm
驱动电压 0-120V
电容 550 nF
最大推力 300N
最大频率 50 kHz
使用温度 10~40℃
AutoScrew.Nano.Set
尺寸图：
AutoScrew.Nano
产品特⾊
• 亚纳⽶级运动控制；
• ⾼速响应50 kHz；
• 最⼤⾏程18 um，兼容多场光束稳定产品BeamStabilizer；
• 控制器兼容多场科技 MC - Archimedes.20
• 超⾼真空兼容，⽆磁场兼容
2D·尺⼨图
AutoScrew.Nano.Set
*AutoScrew.Nano为单独的压电螺纹副，适用于替换现有镜架的螺纹副组件；
*AutoScrew.Nano.Set为两支压电螺纹副+SUS高稳定镜架的组合，且已安装完毕。
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn
80室温压电位移台电动滑台手动位移台控制器低温压电位移台
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选型表
AutoScrew.LR系列 压电镜架与压电螺纹副
特点：
• 保持力 100 N，进动力 20 N
• 最小步伐 20nm
• 最大行程10mm
• 停止时自锁，无热量产生
• 螺纹兼容标准镜架螺纹
• 控制器：MC -Newton.E4
• 支持无磁 (.NM) 、高真空 (HV) 和超高真空 (.UHV) 选件
型号 AutoScrew.LR
主体材料 铝合金 & 不锈钢
运动行程 10mm
最大速度 典型2 mm/min
最大步伐 典型值20nm，最大 50 nm
驱动频率 最大频率2 kHz
主动推力 20N
保持力 100 N
最大侧向力 1N
搭配控制器 MC-Newton.E2 / E4
控制器通道数目 2通道，4通道
最大驱动电压 100V MAX
通讯接口 USB / RS 485
AutoScrew.LR
尺寸图：
压电线性运动 AutoScrew.LR
室温·压电运动⽅案 — “AutoScrew 系列“ 光学镜架调节
Piezoelectric Motion - RT www.mAutoScrew.LR
• 保持⼒ 100 N，进动⼒ 20 N；
• 最⼩步伐 20 nm；
• 最⼤⾏程 6 mm
• 停⽌时⾃锁，⽆热量产⽣
• 螺纹兼容标准镜架螺纹
• 控制器兼容多场室温控制器，MC - Newton.E4
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空
（.UHV）选件
2D·尺⼨图
www.mAutoSc可选版本 1 底⾯尺⼨*⾼度
2 主体材料 3 线缆 & 接头 运动参数
4 运动⾏程 5 最⼤速度 6 最⼤步伐 7 驱动频率 8 主动推⼒ 9 保持⼒ 10 最⼤侧向⼒ 控制器 - MC-Newton.E2 / E4
11 搭配控制器 12 控制器通道数⽬ 13 最⼤驱动电压 14 通讯接⼝ 15 供电电压 www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
产品特⾊
压电·线性运动— AutoScrew.LR室温·压电运动⽅案 — “AutoScrew 系列“ 光学镜架调节
Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
AutoScrew.LR
• 保持⼒ 100 N，进动⼒ 20 N；
• 最⼩步伐 20 nm；
• 最⼤⾏程 6 mm
• 停⽌时⾃锁，⽆热量产⽣
• 螺纹兼容标准镜架螺纹
• 控制器兼容多场室温控制器，MC - Newton.E4
• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空
（.UHV）选件
2D·尺⼨图
Piezoelectric Motion - RT
AutoScrew.LR 光学镜架调节 — 技术参数
可选版本 ⇨ 正常版本 .HV
.NM， 绝对⽆磁版本；
.HV， ⾼真空版本;
1 底⾯尺⼨*⾼度
2 主体材料 不锈钢 不锈钢
3 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆
SMB 接头
kapton漆包线，
PEEK-2mm插针
运动参数
4 运动⾏程 10 mm
5 最⼤速度 典型2 mm/min
6 最⼤步伐 典型值20 nm，最⼤ 50 nm
7 驱动频率 最⼤频率2 kHz
8 主动推⼒ 20 N
9 保持⼒ 100 N
10 最⼤侧向⼒ 1 N
控制器 - MC-Newton.E2 / E4
11 搭配控制器 MC-Newton.E2 / E4
12 控制器通道数⽬ 2通道，4通道
13 最⼤驱动电压 100 V MAX
14 通讯接⼝ USB / RS 485
15 供电电压 DC 12 V
MultiFields
&Group
产品特⾊
压电·线性运动— AutoScrew.LR
室温·压电运动⽅案 — “AutoScrew 系列“ 光学镜架调节
Piezoelectric Motion - RT AutoScrew.LR
• 保持⼒ 100 N，进动⼒ 20 N；
• 最⼩步伐 20 nm；
• 最⼤⾏程 6 mm
• 停⽌时⾃锁，⽆热量产⽣
• 螺纹兼容标准镜架螺纹
• 控制器兼容多场室温控制器，MC - New• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超（.UHV）选件
2D·尺⼨图
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
产品特⾊
*AutoScrew.LR为单独的压电螺纹副，适用于替换现有镜架的螺纹副组件；
*AutoScrew.LR.Set为两支压电螺纹副+SUS高稳定镜架的组合，且已安装完毕
