ECOCLEAN SBS ECOCLEAN GROUP

高纯度

标杆级的清洁度一为满足高科技精密零部件超高工艺要求

高纯度组件的零件清洗

用于半导体行业生产设备（例如极紫外光（EUV）和深紫外光（DUV）技术）、科学、研究和工业领域的真空技术解决方案，以及大功率激光系统等的高真空组件（UHV、XHV、UCV）的清洗，对所用组件的洁净度提出了极高的要求。针对高科技产业中的这些任务，Ecoclean开发并制造了针对具体应用量身定制的清洗解决方案。这些解决方案能够以稳定、可持续且高效的方式确保达到所需的洁净度水平。

系统技术：

■水基清洗系统，例如单腔和双腔系统、浸没式系统
■超声波浸没式系统 （包括标准型和定制型解决方案）
■溶剂清洗系统，包括单腔式和双腔式系统
水基和溶剂清洗非标系统例如用于超大型零部件的系统
■喷淋清洗系统
■灵活的工艺设计例如喷淋、浸没、压力冲洗、浸没射流、超声波清洗一包括多频超声波、超声波Plus、脉冲压力清洗(PPC）、低压等离子清洗
■清洗时的多种运动方式例如旋转、摆动、寸动、慢提拉等动作

解决方案概念

■溶剂或水基清洗后的真空干燥，红外线和/或高纯度热风干燥一也可与真空干燥（水基）结合使用
■根据清洗技术、工艺、污染物、洁净度要求及处理量可量身定制的介质处理方案例如：蒸馏、真空蒸发器、超滤、去离子水系统、去离子超纯水系统、反渗透、脱盐解决方案
■半自动化及全自动化，包括通过辊道输送线、机器人或进出料推拉进行的料筐运输

应用、工艺与专业知识

在半导体制造、真空技术和激光技术等高科技行业中，对洁净度和精度的要求极高且同样多样化。要满足这些要求，不仅需要深厚的技术专长，还需对相关应用及物理关系有透彻的理解。

我们在高纯度清洗领域积累的多年专业经验，加上在全球范围内成功实施的众多项目，构成了量身定制解决方案的基础。

我们采用专门开发的工艺，例如“超声波增强”（UltrasoundPlus）、基于真空的脉冲压力清洗（PPC）、低压等离子体以及各种干燥技术。此外，智能介质处理系统则确保了稳定的清洗效果。这些系统本身始终以实现最高纯度为设计目标：从选择合适的材料、优化表面质量到精密的工艺技术一一切均根据客户最严苛的技术规范量身定制。

Ecoclean高纯度测试中心

在我们的高纯度测试中心，我们会在洁净室条件下，针对各类系统和工艺解决方案开展清洗试验和可行性研究。

我们基于洁净室的客户与测试中心设有两个洁净等级不同的清洗区域。第一个区域是一个与溶剂和水溶液腔体式系统相连的洁净室。中至高洁净度要求的组件在此区域进行清洗。根据具体要求，这既可以是最终清洗，也可以是针对最高洁净度要求的预清洗。第二区域设在经过验证的IS07级洁净室内。该区域专为满足最高洁净度要求的组件（例如1级和2级）进行清洗测试而设计。这些组件（例如用于半导体、激光或光学行业的组件）均需经过预清洗。

服务

■使用原始组件进行清洗试验
■可行性研究(验证可达到的洁净度等级）■工艺开发与定义
■清洗服务 (例如：原型、小批量生产等)

清洁服务提供商

在工业零部件制造领域，技术洁净度对产品的质量和功能至关重要。凭借在工业零部件清洗领域超过60年的经验，Ecoclean团队已成为该行业的专家之一。我们在构建先进的清洗系统、进行清洗试验以及开发清洗工艺方面的专业知识，为我们为您提供定制化的清洗外包服务奠定了基础，以满足您的各类清洗需求，包括高纯度零部件的清洗。

凭借我们深厚的工艺专业知识和种类齐全的系统，我们能够根据行业特定的清洁度标准，为您的零部件实现理想清洗效果。我们将协助您达到后续工艺或面向终端客户所需的质量标准。

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我们的全球分布

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