半导体行业解决方案

Semiconductor Industry Solutions

智能化成就卓越 Intelligence For Excellence

中国半导体产业在5G通信、人工智能及新能源汽车等技术的推动下，市场需求强劲，规模不断壮大，迎来快速发展阶段。

在此背景下，国产替代与自主可控、技术创新与突破是行业发展核心使命。

半导体制造设备引领技术革新，通过自主可控、稳定可靠、安全高效的自动化解决方案，实现生产力质的飞跃。

和利时为半导体行业提供涵盖控制产品、驱动产品、人机界面产品及定制化整体解决方案的全方位服务。

和利时完备的解决方案，确保设备的安全可靠，保障生产稳定高效，助力国家集成电路产业自主可控。

关于半导体 ABOUT SEMICONDUCTOR

CONTENTS

目录

解决方案

化学气相沉积设备

物理气相沉积设备

立式炉设备

退火炉设备

划片机设备

清洗机设备

P1

P3

P5

P9

P11

P7

主要产品

控制产品

驱动产品

综合监控系统

P13

P17

P19

人机界面产品 P19

服务

服务 P20

01 智能化成就卓越 Intelligence For Excellence 设备要求

01 化学气相沉积设备

设备稳定性要求高，保障制造工艺的精确性和一致性

设备的控制系统协议兼容性要求高，支持半导体行业特有DeviceNet协议

设备取得SEMI S2安全认证，保障设备的安全性和可靠性，提高生产效率

主要硬件产品

HT8001系列

人机界面 可编程控制器 伺服

LX系列及LXS功能安全系列 HS系列

解决方案

北京和利时智能技术有限公司 02

支持EtherCAT环网，控制系统可靠性高，降低设备停机风险

支持EtherCAT从站通信模块，控制系统支持EtherCAT拓扑一网到底，开发便捷、维护方便

控制系统适配半导体行业特有DeviceNet协议配件，实现便捷稳定的通信

安全I/O支持DI、DO、AI、RTD、TC类型，产品丰富，支持更多安全场景

方案特点

电气拓扑

SIL 3、PL e、Cat.4

工艺腔室 传输平台

交换机

EtherNet/IP

EtherNet/IP

LX-CU500 LX-CU501

水平

流量计 MFC 蝶阀 安全光栅等 远程I/O站

射频电源 远程I/O站

DO DI

功能安全PLC

提升

触摸屏

RS485

设备要求

03 智能化成就卓越 Intelligence For Excellence 02 物理气相沉积设备

设备工艺腔温度控制均匀精准，镀膜厚度一致性好

设备控制系统网络支持星型拓扑，调试和维护方便

设备控制系统占用体积小，节省工厂洁净室空间

PLC温度控制升温曲线图

进入准稳态后，误差≤0.7℃

PLC内置PID定点控温图

超调≤0.6℃，稳态误差≤0.35℃

0 100 200 300 400 500 600 700

时间 (s)

20

25

30

35

40

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65

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90

95

100

设定温度

实际温度

0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000

时间 (s)

20

30

40

50

60

70

80

90

100

110

120

设定值

温度

设定温度

实际温度

主要硬件产品

HT8001系列

人机界面 可编程控制器 伺服

LX系列 HS系列

北京和利时智能技术有限公司 04

电气拓扑

交换机

触摸屏

LX-CU500

射频电源

蝶阀

真空泵

MFC 压力传感器

RS485

HLink

HLink

旋转

提升

LX-HUB106

远程I/O站

控制器支持高级温度控制功能，内置高级温控算法20多种，便于实现复杂温控应用

控制系统支持EtherCAT星型拓扑和热连接功能，调试便捷及维护方便，提高开发效率

LX-HUB106集成耦合器和HUB功能，体积小，功能强，使用方便

控制系统适配半导体行业特有DeviceNet协议配件，实现便捷稳定的通信

方案特点

设备要求

05 智能化成就卓越 Intelligence For Excellence 03 立式炉设备

设备温度场控制精准，提升氧化成膜过程的产品质量

设备的控制系统算力强大，支持高级语言，便于实现复杂工艺算法

设备的控制系统规模大、拓扑复杂，系统运行稳定性高

设备取得SEMI S2安全认证，保障设备的安全性和可靠性，提高生产效率

协处理器 LX-CM010

主要硬件产品

HT8001系列

人机界面 可编程控制器 伺服

LX系列及LXS功能安全系列 HS系列

PLC温度控制升温曲线图

进入准稳态后，误差≤0.7℃

PLC内置PID定点控温图

超调≤0.6℃，稳态误差≤0.35℃

0 100 200 300 400 500 600 700

时间 (s)

20

25

30

35

40

45

50

55

60

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100

设定温度

实际温度

0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000

时间 (s)

20

30

40

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设定值

温度

设定温度

实际温度

北京和利时智能技术有限公司 06

电气拓扑

交换机

触摸屏

脉冲控制

RS485

RS485

传输

旋转

HLink

HLink

LX-CU501

LX-CM010

协处理器

安全光栅等 MFC 蝶阀

DO DI

功能安全PLC

流量计

加热设备

高精度热电偶模块，R型热电偶实现±1℃精度与±0.5℃稳定度，确保温度精准控制

协处理器算力强大，支持C/C++高级语言，便于复杂工艺算法高效实现

支持EtherCAT环网，控制系统可靠性高，降低设备停机风险

安全I/O支持DI、DO、AI、RTD、TC类型，产品丰富，支持更多安全场景

方案特点 SIL 3、PL e、Cat.4

设备要求

07 智能化成就卓越 Intelligence For Excellence 04 清洗机设备

设备的温度控制精准度高，提高药液稳定性，加快清洗效率

设备的控制系统规模大且拓扑复杂，系统运行稳定性要求高

设备的控制系统协议兼容性强，支持半导体行业特有DeviceNet协议

设备取得SEMI S2安全认证，保障设备的安全性和可靠性，提高生产效率

主要硬件产品

HT8001系列

人机界面 可编程控制器 伺服

LX系列及LXS功能安全系列 HS系列

PLC温度控制升温曲线图

进入准稳态后，误差≤0.7℃

PLC内置PID定点控温图

超调≤0.6℃，稳态误差≤0.35℃

0 100 200 300 400 500 600 700

时间 (s)

20

25

30

35

40

45

50

55

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100

设定温度

实际温度

0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000

时间 (s)

20

30

40

50

60

70

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100

110

120

设定值

温度

设定温度

实际温度

北京和利时智能技术有限公司 08

电气拓扑

工艺腔室 药液供给 传输平台

交换机

触摸屏

HLink

HLink

HLink

安全光栅等 MFC 蝶阀

DO DI 流量计

功能安全PLC

LX-CU501

水平 远程I/O站

RS485

远程I/O站

远程I/O站

提升

功能安全PLC

功能安全PLC

控制器支持高级温度控制功能，内置高级温控算法20多种，便于实现复杂温控应用

支持EtherCAT环网，控制系统可靠性高，降低设备停机风险

控制系统适配半导体行业特有DeviceNet协议配件，实现便捷稳定的通信

安全I/O支持DI、DO、AI、RTD、TC类型，产品丰富，支持更多安全场景

方案特点

SIL 3、PL e、Cat.4

设备要求

05 退火炉设备

设备的温度控制精准度要求高，确保炉体多温区均匀性高,以提高工艺品质和产品稳定性

设备取得SEMI S2安全认证，保障设备的安全性和可靠性，提高生产效率

设备的控制系统协议兼容性强，支持半导体行业特有DeviceNet协议

主要硬件产品

HT8001系列

人机界面 可编程控制器 伺服

LX系列及LXS功能安全系列 HS系列

PLC温度控制升温曲线图

进入准稳态后，误差≤0.7℃

PLC内置PID定点控温图

超调≤0.6℃，稳态误差≤0.35℃

0 100 200 300 400 500 600 700

时间 (s)

20

25

30

35

40

45

50

55

60

65

70

75

85

90

100

设定温度

实际温度

0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000

时间 (s)

20

30

40

50

60

70

80

90

100

110

120

设定值

温度

设定温度

实际温度

09 智能化成就卓越 Intelligence For Excellence

电气拓扑

交换机

真空计 流量计 蝶阀 MFC 热电偶 旋转伺服 传输伺服 远程I/O站

触摸屏

HLink

HLink

功能安全PLC

RS485

TC

高精度热电偶模块，R型热电偶实现±1℃精度与±0.5℃稳定度，确保温度精准控制

控制器支持高级温度控制功能，内置高级温控算法20多种，便于实现复杂温控应用

安全I/O支持DI、DO、AI、RTD、TC类型，产品丰富，支持更多安全场景

控制系统适配半导体行业特有DeviceNet协议配件，实现便捷稳定的通信

方案特点

SIL 3、PL e、Cat.4

北京和利时智能技术有限公司 10

设备要求

06 划片机设备

设备支持高速精准对位切割，材料加工效率高

设备具有高刚性，低振动特性，运行稳定可靠

设备支持大数据量实时传输与监视，满足工艺数据高效交互

11 智能化成就卓越 Intelligence For Excellence 主要硬件产品

HT8001系列

人机界面 可编程控制器 伺服

LX系列 HS系列

电气拓扑

高性能伺服系统支持全闭环控制，具备3KHz速度环响应，整定最快1ms，实现高速精准定位

控制系统的EtherCAT总线周期最小0.5ms，快速响应伺服指令，提升设备效率

伺服系统集成共振抑制算法，保障系统平稳运行，提升切割精度

控制器的HLink协议支持大数据量、高实时性通信，提高信息交互效率

方案特点

北京和利时智能技术有限公司 12

交换机

蝶阀 流量计 X轴 Y轴 Z轴 T轴 主轴 远程I/O站

触摸屏

HLink

HLink

RS485

LX-CU500

控制产品

LX系列高性能可编程控制器

01

13 智能化成就卓越 Intelligence For Excellence 主要产品

• DeviceNet主站模块

• DeviceNet从站模块

• EtherCAT从站通信模块

LX-CM006

LX-CM005

LX-CM020

模块型号

• 协处理器模块

• 2通道RS485串口模块

• 2通道RS232串口模块

模块型号

LX-CM010

LX-CM004

LX-CM003

LX-CM002

LX-CM001

• 4通道电压型模拟量输入

• 8通道电压型模拟量输入

• 4通道电流型模拟量输入

• 4通道热电阻型模拟量输入

LX-AI001

LX-AI002

LX-AI003

LX-RTD001

模块型号

• 8通道电压模拟量输出

• 4通道电压电流型模拟量输出

• 4通道热电偶型模拟量输入

• 4通道高精度热电偶模拟量输入

LX-AO002

LX-AO003

LX-TC001

LX-TC601

模块型号

• 2通道SSI绝对值编码器

• 2通道5V增量式编码器

• 2通道24V增量式编码器

通信模块 通信模块 模拟量I/O模块 模拟量I/O模块 编码器模块

LX-SSI001

LX-ECI001

LX-ECI002

模块型号

• CPU模块

• EtherCAT环网CPU模块

LX-CU500

LX-CU501

模块型号

控制器模块

LX-DI001

LX-DI002

LX-DI005

模块型号

• 16通道NPN型24V输入

• 16通道PNP型24V输入

• 8通道PNP型5VDC输入

数字量I/O模块 系统模块

LX-IM001

LX-IM002

LX-HUB106

模块型号

• EtherCAT耦合器

• EtherCAT末端耦合器

• EtherCAT HUB带耦合器功能

耦合器模块

• 电源中继模块

• 16通道GND电位分配模块

• 16通道24V正电位分配模块

LX-PM003

LX-AUX001

LX-AUX002

模块型号

LX-DO003

LX-DO004

LX-DO005

模块型号

• 16通道24V数字量输出

• 4通道继电器数字量输出

• 8通道5VDC数字量输出

数字量I/O模块

LXS系列功能安全控制器模块 北京和利时智能技术有限公司 14

至小：控制器CPU宽度56mm，IO宽度12mm，体积小，节省机柜空间

至快：位操作指令3ns，伺服周期最小500us

至强：支持64轴同步，支持多任务数量达16个

至融：支持DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、OPC UA、Modbus等多种协议

至易：支持IEC61131-3标准、符合PLCopen规范、支持C/C++高级语言

至安：支持功能安全等级SIL 3、PL e、Cat. 4

4通道安全数字量输入模块

8通道安全数字量输入模块

4通道安全数字量输出模块

安全数字量I/O模块

LX-DI906 LX-DI907

LX-DO906

模块型号

安全电源中继模块

系统模块

LX-PM903

模块型号

安全逻辑模块

功能安全逻辑模块

LX-LG901

模块型号

安全模拟量I/O模块

6通道安全电流型模拟量输入模块

6通道安全电压型模拟量输入模块

4通道安全热电阻型输入模块

4通道安全热电偶型输入模块

LX-AI906 LX-AI907

LX-RTD901 LX-TC901

模块型号

Product Safety

Functional

Safety

LX/LXS系列产品特点

LK系列大型PLC

15 智能化成就卓越 Intelligence For Excellence FA-AutoThink编程软件

• 具有单机、双机架冗余等多种机型

• 控制器性能高，采用工业级处理器，主频可达766MHz

• 支持多种通信协议，多种方式扩展不同类型I/O模块

• 所有板卡加涂三防漆，防潮湿、防盐雾、防霉菌

• 系统可靠性高，具有隔离、自诊断、输出预置功能

• 所有模块支持带电热插拔，采用防混销设计

• 工作温度-40℃-+70℃，存储温度-40℃-+80℃

FA-AutoThink是和利时完全自主研发的组态编程软件，该软件符合IEC 61131-3标准，具备图形化组态、安全编译/

下装、在线仿真和调试等功能，为用户提供易操作、易维护和易调试的编程开发环境。软件支持四种编程语言

（ST、LD、CFC、SFC），集成了符合PLCopen标准的算法库，支持安全PLC组态，使用户能够快速进行编程。

十余年的研发投入，软件不断升级

迭代，稳定可靠 01 05 支持四种语言（ST、LD、CFC、SFC）

02 完全独立研发，解决软件“卡脖子”问题 06 支持PLCopen标准的运动控制算法块

支持安全PLC组态，软件通过

TÜV安全认证 03 07 支持用户自定义算法库

04 符合IEC 61131-3标准 08 支持图形化组态

北京和利时智能技术有限公司 16

图形化组态 自动扫描设备

丰富的安全算法库

智能输入提示

易用的在线追踪

梯形图嵌套 ST

支持 PLCopen 标准

支持安全 LD 与 FBD 语言

02 驱动产品

17 智能化成就卓越 Intelligence For Excellence 尺寸大幅缩短，温升降低5°C~10°C

优化设计

采用最新技术，优化磁路设计

提升性能

高动态

电机最高转速可达6000rpm

实现高效动力输出

高转速

高中低不同惯量电机系列可选

惯量选择

标配23-bit绝对值编码器

实现精准控制

高精度

符合IP67防护等级

高防护

HSM伺服电机

100W~4.4kW (220V)

850W~200kW (380V)

电机功率范围

伺服 - HS系列伺服产品

速度环响应带宽高达3kHz

高速响应

兼容第二编码器/光栅尺

支持全闭环模式

丰富的抑振功能

鲁棒控制及自动增益调整

智能设定

提供31段内部位置

电子凸轮、龙门同步算法

内置运动控制功能

支持惯量辨识、故障监测

支持多通道数据实时跟踪与监测

智能监测与诊断

驱动器类型

HSD-Q70高性能伺服驱动器

100W~4.4kW (220V)

850W~200kW (400V)

适配电机功率范围

标配RS-485

选配脉冲型、CANopen、EtherCAT、PROFINET

速度环响应带宽高达3kHz

高速响应

Q71体积较Q70机型小20%~30%

设计紧凑

驱动器类型

HSD-Q71标准型伺服驱动器

100W~2.3kW (220V)

850W~1.0kW (400V)

适配电机功率范围

丰富的抑振功能

自动增益调整

智能设定

支持惯量辨识、故障监测

支持多通道数据实时跟踪与监测

智能监测与诊断

标配RS-485

选配脉冲型、CANopen、EtherCAT

北京和利时智能技术有限公司 18

变频 - HGE系列变频器

先进的热设计，体积极致缩小

体积小

强电、弱电免“翻盖”配线

接线方便

V/f控制：±0.5%

SVC控制：±0.2%

速度控制精度高

支持Modbus RTU通讯

支持虚拟I/O、简易PLC功能

功能强大

0.4kW~2.2kW (220V)

0.75kW~7.5kW (380V)

适配电机功率范围

HGE110系列精巧型矢量变频器

严格温升测试，独立风道设计

支持穿墙安装

稳定可靠

内置优异自动节能功能

轻载重载轻松适配

支持异步/同步电机(HGE530)

高效能

支持I/O、通讯、编码器和

专用功能扩展卡

应用灵活

HGE500/530系列通用型矢量变频器

0.75kW~710kW (380V)

适配电机功率范围

V/f控制、开环矢量、闭环矢量

多种控制方式

支持恒压供水、PID控制、收放卷

抱闸逻辑、张力控制等宏

宏应用

基本整流(晶闸管)+逆变模块

回馈整流(IGBT)+逆变模块

有源整流(IGBT)+逆变模块

模块化设计、共直流母线

V/f控制、开环矢量、闭环矢量

多种控制方式

选配EtherCAT、CANopen、PROFINET

Modbus RTU、Modbus TCP、EtherNet/IP

Profibus-DP

通讯类型丰富

异步电机、同步电机

磁阻电机、高速电机

适用多种类型负载

支持STO安全转矩关断功能

功能安全

速度精度±0.05%额定同步转速

转矩响应：3ms

高精度和快响应

55kW~2800kW (380V)

55kW~5600KW (690V)

适配电机功率范围

HGE980系列多机传动型变频器

集成无感矢量及闭环矢量控制

支持转矩/速度/位置三种运行模式

高性能

内置主轴控制功能、过程PID、抱闸逻辑、电子凸轮(HGE586)等；标配一路

增量式编码器接口卡；HGE586支持SSI/BISS/ENDAT2.2接口编码器，实现双

闭环；标配PT100、PT1000、KTY84、PTC温度传感器接口

功能强悍

支持CANopen、Modbus RTU、PROFINET扩展卡, 支持EtherCAT(HGE586标配)

通讯类型丰富

HGE586标配STO安全转矩关断功能

功能安全

2.2kW~315kW (380V)

适配电机功率范围

HGE580/586系列高阶型变频器

19 智能化成就卓越 Intelligence For Excellence 04 人机界面产品

屏幕尺寸

提供4.3寸~15.6寸多种规格可选

显示效果

采用1677万色TFT真彩显示技术，画面细腻，媲美液晶显示器

通信接口

集成多种接口，支持多机多屏通讯，支持主流PLC通信，可快速定制通信驱动

图片格式

支持BMP、JPG、GIF等多种图片格式导入

USB SLAVE口

便于快速下载组态程序，提升工作效率

软件功能

功能强大且易于学习，支持LOGO导入、时间记录、配方编辑、宏指令、仿真、

密码保护等高级功能

03 综合监控系统

HollyControl是一款面向中高端市场的大型综合组态监控平台，其产品功能强大，性能稳定，满足从单机到大型分布式应用的系统需求。

良好的C/S、B/S、M/S架构，为智能装备、生产制造、智慧城市、公用工程和安防监控等领域提供完整的智能化监控管理解决方案。

针对数据采集与管理、过程监视与控制、实时报警与追溯、数据分析与报表等系统需求，满足产线级/车间级/工厂级/集团级等全场景数据

采集和综合监控需求。

分布式部署百万点+

支持精美3D画面、GIS地图、大屏多屏自适应

毫秒级高速采集

接入千、万台摄像机群

画面回放

支持人工智能 、机器学习功能

电子签名、审计追踪

集成互联

C#高级语言

北京和利时智能技术有限公司 20

区域覆盖及资源分布

业务覆盖

※ 7个区域，覆盖全国范围

※ 8小时，可快速到达现场

※ 7×24小时，全年无休应急响应

※ 华北大区： 北京、天津、河北、山西、内蒙古

※ 东北大区： 黑龙江、吉林、辽宁

※ 西北大区： 陕西、新疆、宁夏、甘肃、青海

※ 华东大区： 浙江、上海、江苏、福建、安徽

※ 华南大区： 广东、广西、江西、海南、云南、湖南

※ 华中大区： 湖北、山东、河南

※ 西南大区： 四川、重庆、贵州、西藏

※ 公司三大基地： 北京、杭州、西安

※ 400全国热线，提供专业解答

※ 技术支持、销售，遍布全国各个地区

快速响应 专业支持

服务（服务热线 400-811-1999）

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地 址：北京经济技术开发区地盛中路2号院

邮 箱：PLC@hollysys.com

热 线：400-811-1999

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