LK-G5000 系列 / LK-G3000 系列 / LK 系列 / LJ-V7000 系列 / LJ-G5000 系列

SI-F1000 系列 / SI-F80R 系列 / LT-9000 系列

LS-9000 系列 / LS-7000 系列 / TM-3000 系列

高精度测量综合目录

测量综合目录

基恩士测量

技术发展史

基恩士公司三十多年来一直致力于测量技术的研发。

每一代测量系统都实现了测量能力的提升和检验质量的巨大进步。

LED + PSD 系统

小型传感头和

功能强大的控制器。

1980

发展史

激光 + PSD 系统

半导体激光实现

小型传感头和测量

发光对象物的高稳定性。

表面扫描

激光共焦

表面扫描达到稳定性和

灵活性的新高度。

CCD 光学测微仪

创新的 CCD 系统

实现高再现性

和高速。

共焦系统

革命性的系统令

透明材料的测量

成为现实。

K E Y E N C E M e a s u r e m e n t

CCD 三角测量

基于 CCD 的接收元件

实现对任何材料的

可靠测量。

E3

-CMOS 二维激光

新开发出的高敏感度接收器实现

高度可靠且精确的二维测量。

2

T e c h n o l o g y E v o l u t i o n

2015

和未来

CCD 三角测量

基于 CCD 的接收元件

实现对任何材料的

可靠测量。

超高速激光

完全原创设计的

设备达到世界上超快的

采样速度（392 kHZ）。

二维测微仪

生产线内影像系统达到

亚微米级精度的二维测量。

分光干涉测量法

原创原理采用小型传感头设计

实现纳米级测量。

超高速轮廓测量仪

每秒钟测量 64000 个轮廓，即使是最

难测量的部位也可精确检验。

超高速 / 高精度测微计

同级超快 16000 次 / 秒采样速度，

实现稳定测量。

独创的光学设计，实现长期稳定性和

免维护性，以追求现场的操作便利性

3

索引

超高速 / 高精度 CMOS

激光位移传感器

高速、高精度 CCD

激光位移传感器

CCD 激光位移传感器

高精度 2D 激光位移传感器

微型传感头型分光干涉式激光位移计

分光干涉式晶片厚度计

表面扫描激光共焦位移计

超高速 / 高精度测微计

高速，高精度 CCD 测量仪器

二维高速投影尺寸测量仪

激光位移

分光干涉仪

共焦激光

光学测微仪

LK-G5000 系列

LK-G3000 系列

LK 系列

LJ-G5000 系列

SI-F1000 系列

SI-F80R 系列

LT-9000 系列

LS-9000 系列

LS-7000 系列

TM-3000 系列

LJ-V7000 系列 超高速轮廓测量仪

4

▶

▶

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▶

P.10

P.18

P.24

P.34

P.40

P.46

P.48

P.52

P.60

P.66

50 kHz 取样率

F.S. 的 ±0.02% 线性度

再现性降为 0.01 µm

能测量漫反射、镜面及透明或半透明目标物

有各种可用光点型号

多点二维测量

针对生产线内测量的姿势校正

高速采样达 5.5 ms

分辨率：0.25 µm

采样速度：5 kHz

工作距离：80 mm

精度高达 ±0.1% F.S.

采样速率高达 3.8 ms

可同时在 8 个点进行测量 / 判断

可稳定测量所有目标

超高速采样 16000 次 / 秒

测量距离可达 10 µm 以上

配备倾斜补正、发射器接收器间

位置测量等丰富测量功能

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I

F.S. 的 ±0.1% 的线性度

1 µm 的再现性

30 µm 的光点直径

超长测量距离，可达 750 mm

测量不受颜色、表面材料或漫射光照影响

分辨率：0.25 µm

微型传感头尺寸：ø2 mm

分光干涉法

精确至直径 2 µm 的光点

0.3 µm 的解析度

高再现性 ±0.06 µm

速度高达 2,400 个样本 / 秒

免维护设计

超快的速度 392 kHz

超高的精度 ±0.02%

感测头 / 网络可连接数多达 12 个

I

I

I

I

I

▶ P.26 追求精确的在线测量

超快的速度 64,000 个轮廓 / 秒

蓝色激光光学系统

I

I

I

5

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

Ernostar

镜头

参考距离 短距离 长距离

发射器

镜头

发射器镜头 发射器镜头

半导体激光 半导体激光 半导体激光

Ernostar

镜头 Ernostar

镜头

感光元件 感光元件 感光元件

感光元件 感光元件 感光元件

如上图所示，半导体激光向目标发出光束。Ernostar 镜头聚集目标反射的光线并在感光元件上形成图像。光点在感光元件上的位置根据目

标的距离而变化。系统对该变化进行估算并转换为目标位置的测量结果。

光谱检定

借助衍射光栅将干涉光分成不同的波长即

可得出特定波长的光强度分布。在对该分

布进行波形分析后可得知工件的距离。

光学干涉

两道反射光束互相干涉。根据参考面和工

件的间距确定特定波长的干涉光强度。当

该间距是波长的整数倍时，便达到相对最

大干涉。

SLD

安装在传感应头内的参考反射器反射部分

由 SLD 发出的宽波长光线，而穿过参考

面的部分在工件上产生镜面反射并返回传

感头。

微型传感头

高速度

超高精度

大范围

SI 系列测量原理（分光干涉式）

LK-G5000 系列测量原理（三角测量型）

分光单元

SI-F01U3

实际尺寸

SLD: 超辐射发光二极管

传感头

光源 (SLD) 保偏光纤 SI-F01

参考反射面

位移数据

衍射光栅

波形分析

分光镜

CCD

工件

干涉光 辐射光

原理

LJ-V7000 系列测量原理（2D 三角测量型）

2D Ernostar 物镜

HSE3

-CMOS

柱面物镜

半导体激光

GP64- 处理器

测量原理

柱面物镜将激光光束扩大为条状，随后激光在目标物

上产生漫射。反射光在 HSE3

-CMOS 上成像，通过检

测位置、形状的变化来测量位移和形状。

原理

原理

6

传统激光扫描方式

绿色 LED 灯光以均匀、平行的光束传播，并照射在目标上。

CCD 上的亮区和暗区间的边缘被检测为测量值。左图中的传统

扫描方式使马达高速旋转，削弱了传感器的耐用性和稳定性。

固态 LS-9000 系列解决了这一问题，确保产品持久耐用。

感光元件

多棱镜 马达

镜面

透镜

漫射装置

远心镜头 准直透镜

接收器 发射器

CMOS LED

目标 透镜

镜面

接收光亮度较低。 接收光亮度较高。

半导体激光 半导体激光

感光元件 感光元件

小孔 小孔

传感器 传感器

音叉 音叉

一小部分接收光穿过小孔。 所有接收光都穿过小孔。

焦点不在目标表面上 焦点在目标表面上

高亮度 InGaN 绿色 LED

新开发的 InGaN LED 亮度系统具有光

强度均匀、高度抗噪音等优点。此

外，由于系统采用 LED，不会产生任

何与激光有关的光危害。

W 远心光学系统

W 远心镜头系统确保接收元件上对象物的

影像不会受对象物位置的影响。

高精度测量法使用共焦原理

激光束穿过依靠音叉快速上下振动的物镜聚集在目标表面。从目标表面反射的光束汇集在小孔处，随后进入感光元件。传感器通过测量物

镜在感光时的确切位置精确测出与目标表面的距离，不会受到目标材质、颜色或角度的影响。

测量原理

利用绿色 LED 平行光在高精度 CMOS 接收器上产生明暗投影。

然后对该投影进行分析生成距离、角度等的二维测量数据。

清晰的目标厚度 高精度

高精度 寿命长

LT-9000 系列测量原理（共焦型）

LS-9000 系列测量原理（光透过型）

TM-3000 系列测量原理（二维透光型） 微型传感头 超高精度

高速曝光 CMOS

集成积分放大器、

专用设计的测量 CMOS。

高效

聚光组件

高效集聚 LED 光的

透镜组件。

高亮度

绿色 LED

“长寿”“高亮”“无光斑”

3 大特长兼备的 LED。

发射器 / 接收器位置测量 CMOS

测量发射器和接收器

之间位置的 CMOS。

监控 CMOS

监控工件，

也可进行倾斜补正的 CMOS。

7

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

成功应用

成功应用

太阳能电池基板厚度测量

LK-G5000 系列

LK-G5000 系列

TM-3000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列

LJ-V7000 系列 LK-G3000 系列

LK-G5000 系列

硬盘驱动臂组件调节

钻头外径测量

分配器高度控制

膜宽测量

测量玻璃板的厚度、翘曲度和平行度

轴承密封组件检验

滚筒外径测量

厚度

高度和差异

宽度和外径

P.18

P.60

P.10

P.26

P.52

P.10

P.10

P.66

SI-F80R 系列

晶片厚度测量

P.46

成功应用

8

超声焊接机监控

摆动和振动

移动和定位

形状和翘曲

LK-G5000 系列

SI-F1000 系列

LK-G5000 系列

LJ-V7000 系列

TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

LK-G3000 系列

LK-G5000 系列 LK-G5000 系列

精确平台定位

电路板的翘曲度测量

圆盘转子翘曲测量

高温钢管位置跟踪

轮胎侧壁形状检验

预焊组件检查

安瓿形状检验

轮胎磨损测量

P.10

P.18

P.26

P.10

P.26

P.66

P.10

P.40

P.10

9

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

超高速 / 高精度 CMOS

激光位移传感器

0.005 µm ±0.02% 392 kHz

提高产品质量促使高性能的需求变得更加迫切。

LK-G5000 系列产品提供了业界超高的再现性，

在任何应用中都表现出色。

高线性增强了 LK-G5000 的测量能力。它利用高

新技术，以高性能和高精度满足了日益增长的要

求。

世界超快的取样率，不仅能够捕获移动或转动目

标物的位移，而且保证了测量的稳定可靠。

超高的再现性 超高的精度 超快的速度

聚焦光点型

（ø25 µm）

最适合精细或轮廓测量

同类中最小的光点直径，ø25 µm（LK-H020），可

测量从精细部件到轮廓的任何目标物，精确度达

到行业超高水准。

镜面反射型

透明 / 镜面表面测量结果展示

LK-G5000 系列包含一组感测头，专为玻璃或其

他镜面等高反射物体而设计。感测头包含宽光

点和聚焦光点两种等类型，最适合在这些表面

上进行高精度测量。

宽光点型

（2.5 倍常规型号）

在粗糙物体上进行稳定的测量

看上去平整的表面在放大后就会发现有一些细

微的凹凸不平。在使用常规聚焦光点型传感器

时，这些细微的表面不平时常会造成测量错误。

通过使用宽光点的感测头，就可以均化表面不

平整的影响，即使在粗糙物体上也能实现稳定

的测量。

LK-G5000 系列

特性

超快的速度 392 kHz

超高的精度 ±0.02%

感测头 / 网络可连接数多达 12 个

专家级工程技术网站

Application Finder （应用搜索器） 帮助您根据

需要查找解决方案。

http://china.keyence.com/

products/measure

可选的变化

业内超好的规格

宽度是常规型的两倍

LK-G5000 系列

10

LK-G5000 系列

应用

产品清单

测量太阳能板的活动层 气刀的位置控制 测量玻璃板的厚度、翘曲度和平行度

感测头

测量类型 参考距离和测量范围 再现性 型号

宽光点型

8 ±0.5 mm 0.005 µm LK-H008W

20 ±3 mm 0.02 µm LK-H027

50 ±10 mm 0.025 µm LK-H057

80 ±18 mm 0.1 µm LK-H087

150 ±40 mm 0.25 µm LK-H157

聚焦光点型

8 ±0.5 mm 0.005 µm LK-H008

20 ±3 mm 0.02 µm LK-H022

50 ±10 mm 0.025 µm LK-H052

80 ±18 mm 0.1 µm LK-H082

150 ±40 mm 0.25 µm LK-H152

镜面反射型

8 ±0.5 mm 0.005 µm LK-H008(W)

16.1 ±2.8 mm 0.02 µm LK-H027K

46.3 ±5.2 mm 0.025 µm LK-H057K

76.7 -17.6 mm/+14.5 mm 0.1 µm LK-H087 & LK-F3

147.5 -39.5 mm/+24.4 mm 0.25 µm LK-H157 & LK-F2

控制器

内置型

LK-G5001(P)V

独立显示器型

LK-G5001(P)

附加感测头模块

LK-HA100

CC-Link 模块

LK-CC100

显示器

显示器触摸面板

LK-HD1001

小型显示器

LK-HD500

配置软件 电缆 中性滤光片

LK-Navigator2

LK-H2

（USB 电缆附属品）

感测头 - 至 -

控制器电缆

(0.7, 2, 5, 10, 20, 30 m)

CB-Axx

适用于 LK-H08x

LK-F3

适用于 LK-H15x

LK-F2

感测头与电缆之间的

扩展电缆

(5, 10 m)

CB-AxxE

控制器至显示面板

连接电缆

0.33 m: OP-84427

3 m: OP-51655

10 m: OP-51656

I/O 电缆和连接器

OP-51657

以太网电缆

OP-66843

DeviceNetTM 模块

LK-DN100

11

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

A D

A B C

D

B

E

C

F

A

B

C

A B

C

A

B

C A

B

C

计算各个测量点与标准点

之差。

计算变形程度。

计算最大值和 / 或最小值。

计算各对传感器之间的

厚度。

计算各个测量点之间的最

大值和最小值之差。

计算平均高度。

便利的计算功能

即时计算多个感测头的测量值，使得用户能在控制器内部设置复杂的计算，代替以前要用 PLC 或 PC 进行的计算。

测量值 1= B-A 测量值 2= B-C

测量值 3= A-C...

测量值 1= B-(A+C)/2...

测量值 1= 最大值 (A,B,C...)- 最小值 (A,B,C...)...

测量值 1= 平均值 (A,B,C,D,...)

测量值 1= 最大值 (A,B,C...)

测量值 2= 最小值 (A,B,C...)

测量值 1= X+(A+D) 测量值 2= Y+(B+E)

测量值 3= Z+(C+F)...

标准步骤测量

变形测量

最大值 / 最小值测量

多点厚度测量

平整度测量

平均高度测量

速度（m/s）、加速度（m/s2

）

LK-G5000 具有直接测量目标物的速度 (m/s) 和加速度 (m/s2

) 的功能。只要选择测量类型：

“位移”、“速度”或“加速度”。因为区分工序回路在控制器内部，所以可以计算以前由外部

计算的测量值。它适用于测量难以使用接触头传感器测量的体积极小部品、容易变形和高

温的目标物。

简单易用的数据过滤功能

使用中值滤波器后的波形

未过滤的波形 使用平均滤波器后的波形

未过滤的波形 未过滤的波形 使用高通滤波器后的波形

未过滤的波形 使用低通滤波器后的波形

4 种简单易用的数据处理滤波器被直接集成在控制器中。滤波器可由用户选择，以方便其使用。

位移 速度 加速度 高温消音器振动测试

将测量值平均化，以降低测量中的总体杂音水平。

去除数值中的间歇性杂音。 捕捉瞬间变化并除去低频率变化。

移动平均滤波器

中位数滤波器 高通滤波器

捕捉中等变化并除去高频率变化。

低通滤波器

各阶段移动测量示例

LK-G5000 系列

12

LK-G5000 系列

规格

控制器

主模块 / 感测头扩展模块

型号 单模块型 LK-G5001V LK-G5001PV LK-HA100 独立型 LK-G5001/LK-HD500 LK-G5001P/LK-HD500

指示器 主控制器 感测头扩展模块

感测头兼容性 兼容

感测头可连接数 2 1

显示器

(LK-HD500)

最小显示器模块 0.001 µm

显示范围 ±999.999 µm 至 ±9999.99 mm（7 种设置可选） 无

显示周期 约 10 次 / 秒

显示器接口 显示器端口 可连接显示器模块（LK-HD500）或专用触摸面板（LK-HD1001） 无

LED 指示器 激光开 电源、稳定亮起、明亮、暗淡

终端模块

模拟电压输出 ±10 V 输出，输出端阻抗：100 Ω

模拟电流输出 4 至 20 mA，最大负载阻抗：350 Ω

模拟输出数 2 1

定时 1 输入 *1 无电压输入 电压输入

无

复位 1 输入 *1

自动调零 1 输入 *1 无电压输入 电压输入

激光控制输入 *2

激光远程输入 无电压输入

告警输出 NPN 集开极输出 PNP 集开极输出 一般比较器输出

扩展连接器

定时输入 无电压输入 电压输入

无

复位输入

无电压输入 电压输入 自动调零输入

程序切换输入

二进制选择输入

告警输出

比较器输出 NPN 集开极输出 PNP 集开极输出

二进制输出

RS-232C 接口 波特率 : 9600 至 115200 bps

数据长度 : 8 比特停止长度 : 1 比特奇偶性：无 / 偶 / 奇

无 USB 接口 兼容 USB 2.0 高速版 *3

以太网接口 *4 100 Base-TX/10 Base-T

感测头扩展模块连接器 可以向一个主控制器连接多达 10 个的感测头扩展模块

扩展模块连接器 可连接 CC-Link 模块（LK-CC100）或 DeviceNetTM 模块（LK-DN100） 无

电源 电源电压 24 VDC ±10% 24 VDC ±10%（由控制器提供）

最大电流消耗 装有 1 个感测头时为 0.6 A 或更低 / 装有 12 个感测头时为 3.5 A 或更低

耐环境性 周围温度 当连接一个以下的感测头扩展模块时： 0 至 50°C

当连接两个以上的感测头扩展模块时： 0 至 40°C

相对湿度 35 至 85% RH（无凝结）

重量 约 600 g 约 300 g

*1 该输入可应用于所有集成输出端口。

*2 当连接了 3B 类激光感测头时，必须使用键操作开关作为此终端输入。仅当键操作开关设为开时，才能发射激光。（选择一个仅当键操作开关设为关时才能取消的键。）

当连接了 2/3R 类激光感测头时，激光在终端打开时开启，在终端短路时关闭。

*3 当连接了支持 USB 1.1 或 USB 2.0 Full speed 的个人电脑时，数据刷新周期和其它操作可能变慢。

*4 以太网连接仅能与个人电脑或本地连接进行一对一的连接，包括仅进行个人电脑和 LK-G5000 系列模块的连接。

• NPN 集开极输出定额 : 最大 50 mA （最大 40 V），剩余电压 : 最大 0.5 V

• PNP 集开极输出定额 : 最大 50 mA （最大 30 V），剩余电压 : 最大 0.5 V

• 无电压输入定额 : 开电压 : 最大 1 V，关电流 : 最大 0.6 mA

• 电压输入定额 : 最大输入定额 : 26.4 V，开电压 : 最大 10.2 V，关电流 : 0.6 mA

• LK-G5000 系列的部分内部输入 / 输出电路是一样的。请注意电缆 / 外部设备之间的电位差并不会导致内部相同终端的电位差。有关详情，请参考用户手册的“布线注意事项”。

LK-H2 （LK-Navigator2）操作环境

CPU Pentium III 1 GHz 或以上（推荐 1.7 GHz 或以上）

支持的操作系统 Windows 7*1 Windows Vista*2 Windows XP*3 Windows 2000 Professional*4

内存大小 256 MB 或更大（推荐 1 GB 或更大）

显示器分辨率 1024 x 768 像素，24 比特全彩或更佳

可用硬盘空间 1 GB 或更大

接口

个人电脑必须具有以下任一接口 :

• USB: 2.0 高速版（兼容 USB 1.1 Full speed）*5

• LAN: 100BASE-TX, 10BASE-T*6

• RS-232C（串行口）

*1 支持版本 : Ultimate、Professional 和 Home Premium。

*2 支持版本 : Ultimate、Business、Home Premium 和 Home Basic。

*3 支持 Professional SP2 和 Home Edition SP2 及更新版本。

*4 支持 SP4 及更新版本。

*5 不支持通过 USB 集线器的连接。

*6 不支持通过个人局域网或路由器的连接。用于 1:1 或本地连接。

* Windows 是 Microsoft Corporation of America 的注册商标。

* Pentium 是 Intel Corporation 的注册商标。

13

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

规格 / 感测头

粗糙物体测量（宽光点型）

型号 LK-H008W LK-H025 LK-H027 LK-H055 LK-H057 LK-H085 LK-H087 LK-H155 LK-H157

安装模式 镜面反射 漫反射 漫反射 漫反射 漫反射 漫反射 漫反射 漫反射 漫反射

参考距离 8 mm 20 mm 20 mm 50 mm 50 mm 80 mm 80 mm 150 mm 150 mm

测量范围 *1 ±0.5 mm ±3 mm ±3 mm ±10 mm ±10 mm ±18 mm ±18 mm ±40 mm ±40 mm

光

源

红色半导体激光

波长 655 nm

激光

分类

IEC60825-1 1 类 3R 类 2 类 3R 类 2 类 3R 类 2 类 3R 类 2 类

FDA (CDRH) Part 1040.10 II 类 IIIa 类 II 类 IIIa 类 II 类 IIIa 类 II 类 IIIa 类 II 类

输出 0.3 mW 4.8 mW 0.95 mW 4.8 mW 0.95 mW 4.8 mW 0.95 mW 4.8 mW 0.95 mW

光点直径（参考距离上的） 20 μm x 550 μm 25 μm x 1400 μm 50 μm x 2000 μm 70 μm x 2500 μm 120 μm x 4200 μm

线性 *2 ±0.05% F.S.

（F.S.=1 mm）

±0.02% F.S.

（F.S.=6 mm）

±0.02% F.S.

（F.S.=20 mm）

±0.02% F.S.

（F.S.=36 mm）

±0.02% F.S.

（F.S.=80 mm）

再现性 *3 0.005 μm（0.001 μm） 0.02 μm（0.01 μm） 0.025 μm 0.1 μm 0.25 μm

取样频率 2.55/5/10/20/50/100/200/500/1000 μs （可选择 9 种级别）

温度特性 0.02% F.S./°C

（F.S.=1 mm）

0.01% F.S./°C

（F.S.=6 mm）

0.01% F.S./°C

（F.S.=20 mm）

0.01% F.S./°C

（F.S.=36 mm）

0.01% F.S./°C

（F.S.=80 mm）

耐

环

境

性

外壳防护级 IP67

周围亮度 白炽灯或荧光灯：最大 10000 lux 白炽灯或荧光灯：

最大 5000 lux

周围温度 0 至 +50°C*4 0 至 +50°C 0 至 +50°C*4

相对湿度 35 至 85% RH （无凝结）

振动 10 至 55 Hz，1.5 mm 双振幅，X、Y、Z 方向各 2 小时

材料 铝压模

重量 约 240 g 约 230 g 约 260 g 约 280 g 约 300 g

*1 取样周期在 20 μs 以上时的测量范围。

*2 该值是指基恩士标准目标物 （仅用于 LK-H008W 的白色漫反射工件或带有金属镜面的工件） 在正常测量模式下的测量值。

*3 该值是指基恩士标准目标物 （仅用于 LK-H008W 的白色漫反射工件或带有金属镜面的工件） 在测量平均值设为 16384 的参考距离下的测量值。

括号内的值是在测量平均值设为 65536 且取样周期为 200 μs 时的典型测量值。

*4 当周围温度上升至 40°C 以上时， 必须安装在金属板上。

精细物体测量（聚焦光点型）

型号 LK-H008 LK-H020 LK-H022 LK-H050 LK-H052 LK-H080 LK-H082 LK-H150 LK-H152

安装模式 镜面反射 漫反射 漫反射 漫反射 漫反射 漫反射 漫反射 漫反射 漫反射

参考距离 8 mm 20 mm 20 mm 50 mm 50 mm 80 mm 80 mm 150 mm 150 mm

测量范围 *1 ±0.5 mm ±3 mm ±3 mm ±10 mm ±10 mm ±18 mm ±18 mm ±40 mm ±40 mm

光

源

红色半导体激光

波长 655 nm

激光

分类

IEC60825-1 1 类 3R 类 2 类 3R 类 2 类 3R 类 2 类 3R 类 2 类

FDA (CDRH) Part 1040.10 II 类 IIIa 类 II 类 IIIa 类 II 类 IIIa 类 II 类 IIIa 类 II 类

输出 0.3 mW 4.8 mW 0.95 mW 4.8 mW 0.95 mW 4.8 mW 0.95 mW 4.8 mW 0.95 mW

光点直径（参考距离上的） ø20 μm ø25 μm ø50 μm ø70 μm ø120 μm

线性 *2 ±0.05% F.S.

（F.S.=1 mm）

±0.02% F.S.

（F.S.=6 mm）

±0.02% F.S.

（F.S.=20 mm）

±0.02% F.S.

（F.S.=36 mm）

±0.02% F.S.

（F.S.=80 mm）

再现性 *3 0.005 μm（0.001 μm） 0.02 μm（0.01 μm） 0.025 μm 0.1 μm 0.25 μm

取样频率 2.55/5/10/20/50/100/200/500/1000 μs （可选择 9 种级别）

温度特性 0.02% F.S./°C

（F.S.=1 mm）

0.01% F.S./°C

（F.S.=6 mm）

0.01% F.S./°C

（F.S.=20 mm）

0.01% F.S./°C

（F.S.=36 mm）

0.01% F.S./°C

（F.S.=80 mm）

耐

环

境

性

外壳防护级 IP67

周围亮度 白炽灯或荧光灯：最大 10000 lux 白炽灯或荧光灯：

最大 5000 lux

周围温度 0 至 +50°C*4 0 至 +50°C 0 至 +50°C*4

相对湿度 35 至 85% RH（无凝结）

振动 10 至 55 Hz，1.5 mm 双振幅，X、Y、Z 方向各 2 小时

材料 铝压模

重量 约 240 g 约 230 g 约 260 g 约 280 g 约 300 g

*1 取样周期在 20 μs 以上时的测量范围。

*2 该值是指基恩士标准目标物（仅用于 LK-H008 的白色漫反射工件或带有金属镜面的工件）在正常测量模式下的测量值。

*3 该值是指基恩士标准目标物（仅用于 LK-H008 的白色漫反射工件或带有金属镜面的工件）在测量平均值设为 16384 的参考距离下的测量值。

括号内的值是在测量平均值设为 65536 且取样周期为 200 μs 时的典型测量值。

*4 当周围温度上升至 40°C 以上时，必须安装在金属板上。

透明 / 镜面物体测量（镜面反射型）

型号 LK-H008 LK-H008W LK-H022K LK-H027K LK-H052K LK-H057K LK-H082 LK-H087 LK-H152 LK-H157

安装模式 镜面反射 镜面反射 镜面反射 镜面反射 镜面反射 镜面反射 镜面反射 *4 镜面反射 *4

参考距离 8 mm 8 mm 16.1 mm 16.1 mm 46.3 mm 46.3 mm 76.7 mm 147.5 mm

测量范围 *1 ±0.5 mm ±0.5 mm ±2.8 mm ±2.8 mm ±5.2 mm ±5.2 mm -17.6 mm 至 +14.5 mm -39.5 mm 至 +24.4 mm

光

源

红色半导体激光

波长 655 nm

激光

分类

IEC60825-1 1 类 2 类

FDA (CDRH) Part 1040.10 II 类

输出 0.3 mW 0.95 mW

光点直径（参考距离上的） ø20 μm 20 μm x 550 μm ø25 μm 25 μm x 1400 μm ø50 μm 50 μm x 2000 μm ø70 μm 70 μm x 2500 μm ø120 μm 120 μm x 4200 μm

线性 *2 ±0.05% F.S. （F.S.=1 mm） ±0.02% F.S. （F.S.=6 mm） ±0.02% F.S. （F.S.=20 mm） ±0.02% F.S. （F.S.=36 mm）*6 ±0.02% F.S. （F.S.=80 mm）*6

再现性 *3 0.005 μm（0.001 μm） 0.02 μm（0.01 μm） 0.025 μm 0.1 μm 0.25 μm

取样频率 2.55/5/10/20/50/100/200/500/1000 μs （可选择 9 种级别）

温度特性 0.02% F.S./°C（F.S.=1 mm） 0.01% F.S./°C（F.S.=6 mm） 0.01% F.S./°C（F.S.=20 mm） 0.01% F.S./°C（F.S.=36 mm） 0.01% F.S./°C（F.S.=80 mm）

耐

环

境

性

外壳防护级 IP67

周围亮度 白炽灯或荧光灯：最大 10000 lux 白炽灯或荧光灯：最大 5000 lux

周围温度 0 至 +50°C*5 0 至 +50°C 0 至 +50°C*5

相对湿度 35 至 85% RH （无凝结）

振动 10 至 55 Hz，1.5 mm 双振幅，X、Y、Z 方向各 2 小时

材料 铝压模

重量 约 240 g 约 230 g 约 260 g 约 280 g 约 300 g

*1 取样周期在 20 μs 以上时的测量范围。

*2 该值是指基恩士标准目标物（仅用于 LK-H008/LK-H008W 的白色漫反射工件或带有金属镜面的工件）在正常测量模式下的测量值。

*3 该值是指基恩士标准目标物（仅用于 LK-H008/LK-H008W 的白色漫反射工件或带有金属镜面的工件）在测量平均值设为 16384 的参考距离下的测量值。

括号内的值是在测量平均值设为 65536 且取样周期为 200 μs 时的典型测量值。

*4 在测量透明或镜面物体时使用以下深色滤光片： LK-H082/LK-H087 ： LK-F3，LK-H152/LK-H157 ： LK-F2

*5 当周围温度上升至 40°C 以上时，必须安装在金属板上。

*6 此值为漫反射安装条件下的数据，如果是在镜面反射安装条件下，请另行联络我们。

LK-G5000 系列

14

LK-G5000 系列

LK-CC100 （CC-Link 模块）

型号 LK-CC100

指示器 LK-G5000 系列专用的 CC-Link 通信模块

网络连接

支持 CC-Link*1 版 1.10 版（扩展周期设置 : 1 个周期） 2.00 版（扩展周期设置 : 2 个以上周期）*2

主模块 CLPA 认证主模块（CC-Link 2.00 版 /1.10 版）

基站占用数 1 至 4

通信速度 156 kbps, 625 kbps, 2.5 Mbps, 5 Mbps, 10 Mbps

连接电缆 专用 CC-Link 电缆支持 1.10 版（三芯配对屏蔽绞线 : OP-79426, OP-79427）

最大电缆扩展总长 156 kbps: 1200 m, 625 kbps: 900 m, 2.5 Mbps: 400 m, 5 Mbps: 160 m, 10 Mbps: 100 m

基站类型 远程设备基站

耐环境性 周围温度 当连接一个以下的感测头扩展模块时 : 0 至 50°C

当连接两个以上的感测头扩展模块时 : 0 至 40°C

相对湿度 35 至 85% RH （无凝结）

额定电压 24 VDC ±10% （由控制器提供）

电流消耗 最大 200 mA

重量 约 300 g

*1 CC-Link 是 Mitsubishi Electric Corporation 的注册商标。

*2 LK-G5000 系列支持 CC-Link 2.00 版的“扩展周期传输”和“基站 - 至 - 基站电缆长度张弛”。

LK-DN100 (DeviceNetTM 模块 )

型号 LK-DN100

指示器 LK-G5000 系列专用的 DeviceNetTM 通信模块

网络连接

通信协议 DeviceNetTM*1 兼容

主模块 ODVA 认证主模块

传输速度 500 kbps, 250 kbps, 125 kbps

设备类型 普通设备

传输媒介 5 条专用电缆（2 条信号线、2 条电源线、1 条屏蔽线）

最大干线长度 粗线 : 500 m （传输速度 125 kbps）/250 m （250 kbps）/125 m （500 kbps）

细线 : 100 m （各种传输速度设置）

通信类型 I/O 通信（Poll）显示报文通信

电源 11 VDC 至 25 VDC

电流消耗 最大 10 mA （当网络电源为 24 V 时）

耐环境性 周围温度 当连接一个以下的感测头扩展模块时 : 0 至 50°C

当连接两个以上的感测头扩展模块时 : 0 至 40°C

相对湿度 35 至 85% RH （无凝结）

额定电压 24 VDC ±10% （由控制器提供）

电流消耗 最大 200 mA

重量 约 300 g

*1 DeviceNetTM 是 ODVA （Open DeviceNet Vendor Association）的注册商标。

LK-G5000 系列触摸面板显示器

型号 LK-HD1001

名称 LK-G5000 系列触摸面板显示器

显示器面板

显示器元件 TFT 彩色 LCD

显示器颜色 32768 色

像素（宽 x 高 像素） 640 x 480

显示面积（宽 x 高 mm） 170.9 x 128.2

使用寿命（正常温度和湿度条件下） 约 50000 小时

背光灯 类型 白色 LED

使用寿命 约 50000 小时

轻触式开关

开关数 每影像 40 x 30

模式 膜电阻矩阵模式

作用力 0.98N 以下

使用寿命 100 万次以上

通信功能 仅 LK-G5000 系列具有此功能

结构 面板内置型，仅正面面板具有 IP65f 同级防尘、防水结构

操作环境 灰尘和腐蚀性气体含量少

周围温度 0 至 50°C

周围湿度 35 至 85%RH （无冷凝）当周围温度高于 40°C 时，应限制在 40°C 绝对湿度 85%RH 的状态

储存温度 -10 至 +60°C（无冻结）

储存湿度 35 至 85%RH （无冷凝）当周围温度高于 40°C 时，应限制在 40°C 绝对湿度 85%RH 的状态

耐振动性 10 至 57 Hz，0.3 mm 双振幅 /57 至 500 Hz，每个方向各 3 小时（X、Y、Z 轴）

重量 约 1150 g

额定电压 24 VDC ±10%

电流消耗 1 A 以下

感测头 - 至 - 控制器电缆

型号 CB-A07 CB-A2 CB-A5 CB-A10 CB-A20 CB-A30

电缆长度 0.7 m 2 m 5 m 10 m 20 m 30 m

重量 约 100 g 约 200 g 约 400 g 约 750 g 约 1400 g 约 2000 g

15

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

感测头与电缆之间的扩展电缆

型号 CB-A5E CB-A10E

电缆长度 5 m 10 m

重量 约 400 g 约 750 g

66

90°

57.5

11.8

8

73.5

最大 13.5

12.7

22.8

31.2

0.5

2 x ø4.4

安装孔

激光开 / 稳定状态 LED

ø14

55

500

13.5

ø7

12.3

27.5

15

11

4.4 51.4

60

2 x ø4.4

安装孔 4.4

0.5

激光开 / 稳定状态 LED

40°

9.2

33.4

ø14

ø7

12.2

13.4

500

55

20

62 53.4

最大 13

66.6

40°

4.6

75.9

35.8

55.4

22.8

最大 89 77.7

16.1

2 x ø4.4

安装孔

激光开 / 稳定状态 LED

4.4

0.5

9.2

30°

68 最大 7.7

24

最大 10.1

ø7

33.4

ø14

12.2

13.4

55

500

59.9

最大 7.7

68.5

50

10.1

37.4

30°

22.1

37.6

74.8

46.3

68

最大 89.9

激光开 / 稳定状态 LED

2 x ø4.4

安装孔

ø14

55

500

ø7

最大 7.7

最大

7.7

最大 10.1

最大 90.5

86.6

20.6

10.1

67.3

6.8

147.5

84.3

8.2

20.2

82.2 4

76.2

68

4.2

17°

150

33.3

18

0.6

ø14

55

500

ø7

17°

激光开 / 稳定状态 LED

2 x ø4.4

安装孔

70 61.4

0.5

24

4.4

80 24°

9.2 12.3

75 33.5 38.5

76.7

24°

69

9

13.5

80.3

35.4

22.7

单位 : mm

感测头

LK-H008/LK-H008W LK-H020/LK-H022

LK-H025/LK-H027

LK-H050/LK-H052

LK-H055/LK-H057

LK-H052K/LK-H057K

LK-H080/LK-H082/

LK-H085/LK-H087

LK-H150/LK-H152/

LK-H155/LK-H157

LK-H022K/LK-H027K

尺寸规格

LK-G5000 系列

16

LK-G5000 系列

ø7

缆线长度

(0.7 m, 2 m, 5 m, 10 m, 20 m, 30 m)

11.5

26

33

55 ø14

ø7

缆线长度 (5 m, 10 m)

55

ø14

55

ø14

65 128 (65)

6

9

124

47

34.5 79.5 4 x M4 深度: 6

65 (65) 105.5

9

DIN 轨道

安装位置

6

124 35.9

62.1

47

14 79.5 4 x M4 深度: 6

6

13.5

14

M4 深度: 6 6

114

13.5

M4 深度: 6

DIN 轨道

安装位置

26.3 128 (65) 26.3 (65) 105.5

35.9

62.1

124 124

114

13.5

(3.2)

M4 深度: 6

DIN 轨道

安装位置

14

M4 深度: 6

6 6

26.3 128 (13.2) 26.3 (13.2) 105.5

124 124 35.9

62.1

(3.2)

13.5

114

13.5

(3.2)

M4 深度: 6

6

DIN 轨道

安装位置

M4 深度: 6

14

6

26.3 128 (13.2) 26.3 (13.2) 105.5

124 124

62.1

13.5

(3.2)

35.9

6 43

51

170.9 (有效显示区域)

237

128.2

(有效显

示区域)

178 167

最小 62

45 +0.6

0

75 +0.6

0

最小 100

8.5

25

13 面板安装环

面板厚度

0.5 至 5 46

62

80 91 74.5

感测头 - 至 - 控制器电缆

CB-A07/CB-A2/CB-A5/CB-A10/CB-A20/CB-A30

扩展电缆

[ 感测头与电缆之间的电缆 ]

CB-A5E/CB-A10E

控制器

LK-G5001(P)V LK-G5001(P) LK-HA100

LK-CC100

LK-HD1001 显示器触摸面板

LK-DN100

LK-HD500 面板剪切尺寸

警告

LK-G5000 系列遵循下列 IEC 和 FDA（CDRH）标准 :

型号 LK-H008/

LK-H008W

LK-H022/H022K/H027/H027K/H052/H052K/

LK-H057/H057K/H082/H087/H152/H157

LK-H020/H025/H050/H055/

LK-H080/H085/H150/H155

IEC60825-1 1 类激光产品 2 类激光产品 3R 类激光产品

FDA（CDRH）Part 1040.10 II 类激光产品 ll 类激光产品 IIIa 类激光产品

单位 : mm

17

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

高速、高精度 CCD

激光位移传感器

多重 ABLE* 控制

通过感测各层的反射光来使激光强度达到最佳水平。同步各层的波

形使得高精度厚度测量成为可能。

* ABLE=Active Balanced LaserControl Engine（动态平衡激光控制引擎）

MRC* 算法

多重反射会产生两个或更多的峰值，此时 MRC 算法会把这些波形

与最新的接收光波形进行比较，然后决定一个与“正确波形”最为

相似的波形。

* MRC=Multiple Reflection Cancel（多重反射消除）

RPD* 算法

激光进入半透明物体后会产生漫反射，从而导致接收光波形逐渐扩大。

RPD 算法可以消除扩大的波形带来的影响，并检测到真实的峰值（实

际峰值）。

* RPD=Real Peak Detect （实际峰值检测）

LK-G3000 系列

特性

50 kHz 取样率

F.S. 的 ±0.02% 线性度

再现性降为 0.01 µm

能测量漫反射、镜面及透明或半透明目标物

有各种可用光点型号

专家级工程技术网站

Application Finder （应用搜索器）帮助您根据需

要查找解决方案。

多功能算法支持多种应用

半透明物体

弱化后的光线

弱化后的光线

第一层

玻璃 第二层

通过 ABLE 优化

第一层所获得的波形

通过多重 ABLE

功能同步后的波形

通过 ABLE 优化

第二层所获得的波形

饱和度

多重反射后的光线

普通反射

多重反射

http://china.keyence.com/

products/measure

LK-G3000 系列

18

类型 型号 激光类别 测量范围 再现性 光点直径

发射器 /

接收器分离型 小光点 LK-G08

发射器 /

接收器分离型

为 1 类激光。

0.01 µm ø20 µm

小型 / 超精度

小光点 LK-G10

1 类（IEC）

II 类（FDA） 0.01 µm

ø20 µm

宽光束 LK-G15 20 x 500 µm

高精度

小光点 LK-G30

3R 类（IEC）

IIIa 类（FDA）

0.05 µm

ø30 µm

宽光束 LK-G35 30 x 850 µm

多用途

小光点 LK-G80

0.2 µm

ø70 µm

宽光束 LK-G85 70 x 1,100 µm

长距离

小光点 LK-G150

0.5 µm

ø120 µm

宽光束 LK-G155 120 x 1,700 µm

高速度、长距离

小光点 LK-G400

2 µm

ø290 µm

宽光束 LK-G405 290 x 8,300 µm

超长距离

小光点 LK-G500

2 µm

ø300 µm

宽光束 LK-G505 300 x 9,500 µm

10 mm

测量范围 10 ±1 mm

30 mm

25 mm

35 mm

测量范围 30 ±5 mm

65 mm 80 mm 95 mm

测量范围 80 ±15 mm

110 mm 150 mm 190 mm

测量范围

150 ±40 mm

300 mm 400 mm 500 mm

测量范围

400 ±100 mm

250 mm 500 mm 1000 mm

测量范围

500 -250/+500 mm

应用

产品清单

检测 HDD 的偏转 玻璃板厚度测量 PCB 树脂高度测量

8 mm

测量范围 8 ±0.8 mm

19

LK-G3000 系列

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

规格

感测头

型号 LK-G08 LK-G10/G15 LK-G30/G35 LK-G80/G85 LK-G150/G155

安装模式 – – 扩散反射 镜面反射 扩散反射 镜面反射 扩散反射 镜面反射

参考距离 8 mm 10 mm 30 mm 23.5 mm 80 mm 75.2 mm 150 mm 147.5 mm

测量范围 *1 ±0.8 mm ±1 mm ±5 mm ±4.5 mm ±15 mm ±14 mm ±40 mm ±39 mm

红色半导体激光

光源

波长 655 nm （可见光）

激光分类

1 类激光产品（IEC 60825-1），

II 类激光产品

（FDA （CDRH） Part 1040.10）

3R 类激光产品（IEC60825-1），IIIa 类激光产品（FDA （CDRH）Part 1040.10）

输出 0.3 mW 4.8 mW

光点直径（在参考距离时） 约 20 µm 约 20 x 500 µm （G15）,

约 ø20 µm （G10）

约 30 x 850 µm （G35）,

约 ø30 µm （G30）

约 ø70 µm （G80）,

约 70 x 1100 µm （G85）

约 120 x 1700 µm （G155）,

约 ø120 µm （G150）

线性度 *2 F.S. 的 ±0.05%

（ F.S.= ±0.8 mm）

F.S. 的 ±0.03%

（F.S.= ±1 mm）

F.S. 的 ±0.05%

（F.S.= ±5 mm）

F.S. 的 ±0.05%

（F.S.= ±15 mm）

F.S. 的 ±0.05%

（F.S.= ±40 mm）

再现性 *3 0.02 µm （0.01 µm） 0.05 µm （0.01 µm）*4 0.2 µm *4 0.5 µm *4

取样周期 20/50/100/200/500/1000 µs （可在 6 个等级中选择）

LED 显示 测量中心附近 : 绿色光 测量范围内 : 桔色光 测量范围外 : 桔色光闪烁

温度特征 F.S. 的 0.02%/˚C

（F.S.= ±0.8 mm）

F.S. 的 0.01%/˚C

（F.S.= ±1 mm）

F.S. 的 0.01%/˚C

（F.S.= ±5 mm）

F.S. 的 0.01%/˚C

（F.S.= ±15 mm）

F.S. 的 0.01%/˚C

（F.S.= ±40 mm）

外壳防护级 – IP67 IEC60529）

环境光度 白炽灯或日光灯 : 最大 10000 lux

环境温度 +10 至 40˚C 0 至 50˚C

相对湿度 35 至 85%，无凝结

耐振动性 10 至 55 Hz, 双振幅 1.5 mm （LK-G08 为 0.75 mm）; 在 X、Y、Z 轴每个方向两个小时

外壳 铝 铝铸外壳

重量（包括缆线） 约 245 g 约 190 g 约 280 g 约 380 g 约 290 g

*1 测量基恩士的标准目标物（陶瓷）获得的数值。

LK-G10/G15: 取样率为 20 μs 时，测量值变为 +0.37 （FAR （远边））至 -1 mm （NEAR （近边））。

LK-G30/G35: 取样率为 20 μs 时，扩散反射的数值为 +1.8 （FAR （远边））至 -5 mm （NEAR （近边））;

镜面反射的数值变为 +1.6 mm （FAR （远边））至 -4.5 mm （NEAR （近边））。

LK-G80/G85: 取样率为 20 μs 时，扩散反射的数值为 -9 （NEAR （远边））至 -15 mm （NEAR 近边））;

镜面反射的数值则为 -8.7 mm （NEAR （近边））至 -14 mm （NEAR （近边））。

LK-G150/G155: 取样率为 20 μs 时，扩散反射的数值为 -22 （NEAR （远边））至 -40 mm （NEAR 近边））;

镜面反射的数值则为 -22 mm （NEAR （近边））至 -39 mm （NEAR （近边））。

*2 在标准模式测量基恩士的标准目标物（陶瓷）获得数值。

*3 在参考距离，使用 4096 次平均测量基恩士的标准（SUS）获得数值。 括号中的数值是在 16384 测量目标物获得的典型再现性。

*4 有关增加的再现性的等级 ll，请就近咨询基恩士代表。

型号 LK-G400/G405 LK-G500/G505

安装模式 扩散反射 镜面反射 扩散反射 镜面反射

参考距离 400 mm 398 mm 500 mm 497.5 mm

测量范围 *1 ±100 mm ±99 mm -250 至 +500 mm -249 至 +498 mm

红色半导体激光

光源

波长 655 nm （可见光）

激光分类 3R 类激光产品（IEC60825-1），IIIa 类激光产品（FDA（CDRH） Part 1040.10）

输出 4.8 mW

光点直径（在参考距离时） 约 290 x 8300 µm （G405）,

约 ø290 µm （G400）

约 300 x 9500 µm （G505）,

约 ø300 µm （G500）

线性度 *2 F.S. 的 ±0.05% （F.S.= ±100 mm）

F.S. 的 ±0.05% （±250 µm）*4*5 -250 至 +250 mm

< 高精度范围 > F.S. 的 ±0.02% （±100 µm）

-250 至 -50 mm

< 长范围 > : F.S. 的 ±0.1% （±500 µm）

-250 至 +500 mm （F.S.= ±250 mm）

再现性 *3 2 µm

取样周期 20/50/100/200/500/1000 µs （可在 6 个等级中选择）

LED 显示 测量中心附近 : 绿色光 测量范围内 : 桔色光 测量范围外 : 桔色光闪烁

温度特征 F.S. 的 0.01%/˚C （F.S.= ±100 mm） F.S. 的 0.01%/˚C （F.S.= ±250 mm）

外壳防护级 IP67 （IEC60529）

环境光度 白炽灯或日光灯 : 最大 10000 lux

环境温度 0 至 50˚C

相对湿度 35 至 85%，无凝结

耐振动性 10 至 55 Hz, 双振幅 1.5 mm; 在 X、Y、Z 轴每个方向两个小时

外壳 铝铸外壳

重量（包括缆线） 约 380 g

*1 测量基恩士的标准目标物（陶瓷）获得的数值。

<LK-G400/G405>

当取样率为 20 µs，在扩散反射时值变成 -70 mm （NEAR （近边））至 -100 mm （NEAR （近边））。

当取样率为 20 µs，在镜面反射时值变成 -70 mm （NEAR （近边））至 -99 mm （NEAR （近边））。

<LK-G500/G505>

当取样率为 20 µs，在扩散反射时值变成 -230 mm （NEAR （近边））至 -250 mm （NEAR （近边））。

当取样率为 20 µs，在镜面反射时值变成 -230 mm （NEAR （近边））至 -249 mm （NEAR （近边））。

当取样率为 50 µs，在扩散反射时值变成 -125 mm （NEAR （近边））至 -250 mm （NEAR （近边））。

当取样率为 50 µs，在镜面反射时值变成 -125 mm （NEAR （近边））至 -249 mm （NEAR （近边））。

*2 在标准模式测量基恩士的标准目标物（陶瓷）获得的数值。

*3 当在参照距离测量基恩士的标准目标物（SUS） 4096 次平均时的值。

*4 全部以 F.S. = （±250 mm）计算。

*5 使用这些范围时，“高精度范围”和“长范围”参考线性度。

LK-G3000 系列

20

控制器

类型 一体化型 独立型 *1

型号 NPN LK-G3001V LK-G3001/LK-GD500

PNP LK-G3001PV LK-G3001P/LK-GD500

指

示

器

感测头兼容性 兼容所有的 LK-G 感测头

可连接感测头的数目 最大 2 个模块

最小显示单元 0.01 µm

显示范围 ±9999.99 mm 至 ±9999.99 µm （可在 6 个等级中选择）

刷新率 10 times/sec

终

端

模

块

模拟电压输出 ±10 V x 2 输出，输出阻抗 : 100 Ω

模拟电流输出 4 至 20 mA x 2 输出，最大负载阻值 : 350 Ω

定时 / 复位 / 自动调零输入 无电压 / 电压输入给 OUT1 *3

激光远程联锁输入 无电压输入 *3

比较器输出 NPN/PNP 集电极开路输出给 OUT1 *2

警报输出 NPN/PNP 集电极开路输出给 OUT1 *2（N.C.）

扩

展

接

头

定时 / 复位 / 自动调零输入 无电压 / 电压输入给 OUT2 *3

程序切换输入 无电压 / 电压输入 x 3 输入 *3

激光关闭输入 无电压 / 电压输入给感测头 A/ 感测头 B *3

比较器输出 NPN/PNP 集电极开路输出给 OUT2 *2

警报输出 NPN/PNP 集电极开路输出给 OUT2 *2 （N.C.）

二进制

二进制输出 测量数据输出（21 位）, OUT1/OUT2 可选 , NPN/PNP 集电极开路输出 *2

选通脉冲输出 NPN/PNP 集电极开路输出 *2

二进制选择器输出 NPN/PNP 集电极开路输出 *2

二进制选择器输入 无电压 / 电压输入 *3

RS-232C 接口 测量数据输出和控制输入 / 输出（最大波特率 : 115200 bps, 可选）

USB 接口 符合 USB 版本 2.0, 全速（兼容 USB 1.1）

主要功能

2 OUT 同步测量功能，操作功能，平均功能，过滤功能，校准功能，测量功能，

AUTO ZERO（自动归零）功能，取样率设置功能，互相干扰预防功能，数据存储功能，8 程序记忆功能，

ECO（经济）模式，ABLE 设置功能，目标设置功能，ABLE 调整功能，透明目标物测量表面选择功能，

统计处理功能，设置支持软件连接功能，感测头安装选择功能，等等。

电源电压 24 VDC ±10%, 波动 : 10% （P 至 P）或更小

电流消耗 当连接 1 个感测头时 500 mA 或更少 / 当连接 2 个感测头时 600 mA 或更少

环境温度 0 至 50˚C，无冻结

相对湿度 35 至 85%，无凝结

重量 约 480 g （LK-G3001V/G3001PV）, 约 370 g （LK-G3001/G3001P）, 约 60 g （LK-GD500）

*1 LK-G3001（P）可被独立使用。测量值显示和设置更改可在显示面板（LK-GD500）上或在设置支持软件（LK-H1W）被执行。

*2 NPN 集电极开路的输出额定值 : 最大 50 mA（最大 40 V），残留电压最大 0.5 V。 PNP 集电极开路的输出额定值 : 最大 50 mA（最大 30 V），残留电压最大 0.5 V。

*3 （NPN 型）无电压输入额定值 : 电压 ON（开）时 1 V 或更少，电流 OFF（关）时 0.6 mA 或更少。（PNP 型）电压输入额定值 : 电压 ON（开）时 10.2 V 或更大（最大 26.4 V），电流 OFF（关）时 0.6 mA 或更少。

硬件环境

项目 硬件环境

CPU Pentium III，主频至少 400 MHz

支持操作系统 Windows 7*1/Windows Vista*2

Windows XP*3/Windows 2000 Professional

内存容量 最小 64 MB

显示器 800 x 600 像素，最小 256 色

磁盘空间 最小 10 MB

接口 *4 必须安装 RS-232C（串行端口）或 USB2.0/1.1*5

*1 支持 Home Premium、 Professional 和 Ultimate 版本。

*2 支持 Ultimate、Business、Home Premium 和 Home Basic 版本。如使用 Windows Vista，支持 1.5 或以上的版本。

*3 支持 Professional 和 Home 版本。

*4 选择一项作通信。不可同时间使用多个接口作通信。

*5 通过 USB 集线器连接时不保证运作。在比推荐的操作系统环境更佳的环境下使用。

• Windows 是 Microsoft Corporation of America 的注册商标。

• Pentium 是 Intel Corporation 的注册商标。

延长缆线（感测头和控制器间的缆线）

型号 LK-GC2 LK-GC5 LK-GC10 LK-GC20 LK-GC30

缆线长度 2 m 5 m 10 m 20 m 30 m

重量 约 200 g 约 400 g 约 750 g 约 1400 g 约 2000 g

延长缆线（显示面板缆线）

型号 OP-51654 OP-51655 OP-51656

缆线长度 0.3 m 3 m 10 m

21

LK-G3000 系列

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

15

22.8

27

51.2

26.3

11.5

9 ባ 11

71.7

2 x ø4.4

Ѡኰਇ

75°

54

ø14

55

500

ø7

85

13.5

40°

25

Ѡኰਇ

2 x ø4.5

76 67

4 25 ባ 35

26

13

500

ø14

55

ø7

36

13.5

25°

95 25 0.6

18

65 ባ 95

4

Ѡኰਇ

2 x ø4.5

76 67

ø7

ø14

500

55

Ѡኰਇ

8.2

20.2

82.2

4

2 x ø4.4

76.2 68

4.2

17°

110 ባ 190

33.3

18

55

500

ø7

ø14

108 1

20

0.7

85 76

2 x ø4.4

Ѡኰਇ

4.5 8.2

10.2°

250 ባ 1000

(300 ባ 500)

19.2

36.2

ø14

ø7

55

500

7.2 ባ 8.8

ø14

55

500

ø7

41

45

28

32

31 10

16

24 100

4

10

22

17 7

7

7

108

35 27

7.4

11

3 x ø4.4

Ѡኰਇ

31.5

感测头

LK-G08 LK-G10/G15

LK-G30/G35

扩散反射类型安装

LK-G150/G155

扩散反射类型安装

LK-G80/G85

扩散反射类型安装

LK-G400/G405/G500/G505

( ) 中的数据应用于 LK-G405/G400

扩散反射类型安装

尺寸规格

单位 : mm

LK-G3000 系列

22

4 x M4 螺丝,

深度: 6

6

62 117 (65)

33 70

43

9.5

124

4 x M4 螺丝,

深度: 6

DIN 轨道

安装位置

6

62 (65) 95

13.5 70

66.1

124

9.5

43

35.9

ø7

缆线长度

(2 m, 5 m, 10 m, 20 m, 30 m)

11.5

26

33

55

ø14

面板安装环

面板厚度

91 80

46

62

8.5

74.5

0.5 至 5 mm

13

25

最小

100

最小

62

75 +0.6

0

45 +0.6

0

控制器

LK-G3001V/LK-G3001PV

感测头和控制器间的缆线

LK-GC2/LK-GC5/LK-GC10/LK-GC20/LK-GC30

显示面板

LK-GD500 面板剪切尺寸

LK-G3001/LK-G3001P

单位 : mm

23

LK-G3000 系列

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

类型 长距离

型号 LK-503

测量方式 高精度 长范围

参考距离

再现性 10 μm 50 μm

线性度 F.S. 的 ±0.1%

取样周期 1,024 μs

类型 高精度型 标准型

型号 LK-031/036 LK-081/086

测量方式 – –

参考距离

再现性 1 μm 3 μm

线性度 F.S. 的 ±0.1%

取样周期 512 μs 1,024 μs

CCD 激光位移传感器

LFTC 电路可测量多种颜色或图形目标物，也可以测量类似黑色橡胶这样的

低反射性目标物，而不需额外调节。

基恩士独创的光学系统大幅缩小镜头

像差，最低可使 LK-031 具有

30 µm 的最小光点直径。这使目标物

表面轮廓得以精确测量。

LK 系列

不同目标表面的稳定测量 30 µm 的可见激光光点直径

产品清单

350 ±100 mm 500 ±250 mm

30 ±5 mm

35

mm 30

mm 25

mm

80 ±15 mm

95 mm 80 mm 65 mm

450 mm 350 mm 250 mm 750 mm 500 mm 250 mm

专家级工程技术网站

Application Finder （应用搜索器）帮助您根据需

要查找解决方案。

http://china.keyence.com/

products/measure

特性

F.S. 的 ±0.1% 的解析度

1 µm 的再现性

30 µm 的光点直径

超长测量距离，可达 750 mm

测量不受颜色、表面材料或漫射光照影响

LK 系列

24

110 13 76

140

90 100 112

4 x ø5

(安装孔)

(60)

35.4

172

0 至 140°

27.3

85

76 67

40° 25 至 35

13.5

4

25

26

13

ø7

ø15

43

500

2 x ø4.5

(安装孔)

95

76 67

25° 65 至 95

13.5

4

25

36

18

ø7

ø15

43

500

2 x ø4.5

(安装孔)

120

33.5 2 x ø5.4

79

90

5

250 至 750

13.8 24.5

ø15

ø7,

线缆长: 500

47.8

43

8° (11°)

(安装孔)

测量参考

位置

(250 至 450)

规格

类型 高精度 标准 长距离 *4

型号 感测头 LK-031/036 LK-081/086 LK-501/LK-503

控制器 LK-2001/2011 LK-2101/2111 LK-2501/LK-2503

测量模式 — 高精度模式 长距离模式

参考距离 30 mm 80 mm 350 mm 500 mm

测量范围 ±5 mm ±15 mm ±100 mm ±250 mm

光源 可见红色半导体激光

输出 0.95 mW LK-501: 15 mW, LK-503: 0.95 mW

波长 670 nm 690 nm

激光分类 FDA （CDRH） Part 1040.10 II 类激光产品 IIIb 类激光产品（LK-501）, II 类激光产品（LK-503）

IEC 60825-1 2 类激光产品 3B 类激光产品（LK-501）, 2 类激光产品（LK-503）

光点直径（在参考距离时）

约 30 μm

（LK-031）

约 30 x 850 μm

（LK-036）

约 70 μm

（LK-081）

约 70 x 1100 μm

（LK-086）

约 0.7 mm 约 0.3 mm

再现性 1 μm *1 3 μm *1 10 μm *1 50 μm *1

线性度 F.S. 的 ±0.1% *2

取样周期 512 μs 1024 μs

模拟输出

电压输出 ±5 V

（1 μm/mV）*3

±5w V

（3 μm/mV）*3

±10 V

（10 μm/mV）*3

±5 V

（50 μm/mV）*3

电阻 100 Ω

电流输出 4 至 20 mA （可加负载 : 最大 350 Ω）

警报输出 NPN: 最大 100 mA （最大 40 V）（N.C.）, 剩余电压 : 最大 1 V

其它功能 自动归零 、反应选择 、偏移 / 线性调节、警报状态下保持输出

电源 24 VDC ±10%

消耗电流 最大 400 mA

温度波动 感测头 F.S. 的 0.01%/˚C F.S. 的 0.02%/˚C

控制器 F.S. 的 0.01%/˚C

外壳防护级 IP67

环境光度 白炽灯或日光灯：最大 10000 lux

环境温度 0 至 50˚C

相度湿度 35 至 85%, 无凝结

外壳 感测头 铝铸外壳

控制器 聚碳酸酯

重量（包括缆线） 感测头 约 260 g 约 385 g 约 700 g

控制器 约 515 g

*1 使用基恩士的模拟传感器控制器（RD-50）获得的再现性，平均测量数设定为 64。

注：当以示波器或高速 A/D 转换板观察时，模拟输出的脉动会因一般模式的杂波而可能为 1 mV 或更多。

*2 使用基恩士的标准目标物（二氧化锆块规：LK-031/036, LK-081/086，白色陶瓷块规：LK-501/LK-503）获得的线性度。

*3 当无法测量时输出为 12 V （31.2 mA）。

*4 LK-501 和 LK-503 都可以使用于高精度模式与长距离模式。

感测头

LK-031/036 LK-081/086 LK-503

* （ ）中的资料适用于高精度模式。

控制器

LK-2001/2011/2101/2111/2501/2503

延长缆线（可选件）

缆线长度 型号

2 m LK-C2

5 m LK-C5

10 m LK-C10

尺寸规格

单位 : mm

25

LK 系列

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

超强的性能

超快的速度

超高速轮廓测量仪

在 2D 激光测量仪市场实现了超快的取样速度， 令其他产品望尘莫及。 可

毫无遗漏地对生产线或设备上超高速移动的产品的形状进行高精度测量。

例如， 测量以 6.4 m/s 移动的目标物， 可精确到 0.1 ｍｍ。 不会遗漏任何

异常部位和不良部位。

通常， 检测稳定性与速度成反比例关系。 而这次的产品在速度和检测稳定

性两方面都有所提高。 即使同一光轴内混有反射率较低的黑色或斜面和反

射率较高的金属， 也能准确测量形状。

LJ-V7000 系列

特性

追求精确的在线测量

超快的速度 64,000 个轮廓 / 秒

蓝色激光光学系统

专家级工程技术网站

Application Finder （应用搜索器）帮助您根据需

要查找解决方案。

速度是传统机型的 240 倍

取样速度达 64,000 个轮廓 / 秒 12,800,000 点 / 秒

动态范围是传统机型的 64 倍

能够胜任各类工件的检测， 稳定性良好

http://china.keyence.com/

products/measure

LJ-V7000 系列

26

350

400

450

200

250

300

150

100

50

0

(mm)

重复精度

测量范围

57 mm 57 mm

80 mm

103 mm

宽度: 25 mm : 25 mm

宽度: 39 mm

宽度: 32 mm : 32 mm

宽度: 240 mm 445 mm

宽度: 180 mm : 180 300 mm 300

宽度: 110 mm : 110 155 mm 155

长距离型

LJ-V7200

超长距离型

LJ-V7300

控制器种类

NPN 输出类型 LJ-V7001

PNP 输出类型 LJ-V7001P

控制器

LJ-V7001(P)

传感头连接电缆

CB-B3（3 m）/CB-B10（10 m）

传感头连接延长电缆

CB-B5E（5 m）/ CB-B10E（10 m）

CB-B20E（20 m）

触摸屏显示器连接电缆

OP-87258（3 m）

OP-87259（10 m）

设定显示器软件

LJ-H3

(控制器选配)

控制台

OP-87504

显示输出单元

LJ-VM100

USB 电缆 (LJ-H3 选配)

OP-66844 RS-232C 电缆

OP-96368（2.5 m）

显示器连接电缆

OP-66842（3 m）/ OP-87055（10 m）

通讯电缆 9 针转换接头

OP-26401

专用 24 VDC 电源 CA-U3

显示器 选配件 控制器 电缆、接头

中等距离型

LJ-V7080

触摸屏显示器

CA-MP120T

显示器底座

OP-87262

350

400

450

200

250

300

150

100

50

0

(mm)

350

400

450

200

250

300

150

100

50

0

(mm)

重复精度

测量范围 Z 轴

X 轴

Z 轴

X 轴

0.4 μm

54.6 ±7.6 mm

14 mm

5 μm

宽度: 8 mm宽度: 14 mm宽度: 8 mm

重复精度

测量范围 Z 轴

X 轴

Z 轴

X 轴

0.2 μm

24.2 ±2.3 mm

7 mm

2.5 μm

测量范围

54.6 ±7.6 mm

47 mm

54.6 mm 54 6 mm

62 2. mm

152 mm 152

200 mm 200

248 mm

宽度: 62 mm : 62 mm

宽度: 73 mm

宽度: 51 mm : 51 mm

LJ-V Series

Selection guide

Z 轴

X 轴

Z 轴

X 轴

60 ±8 mm

15 mm

0.4 μm

5 μm重复精度

测量范围 Z 轴

X 轴

Z 轴

X 轴

20 ±2.6 mm

7 mm

0.2 μm

2.5 μm

测量范围

60 ±8 mm

52 mm

60 mm

68 mm 宽度: 15 mm宽度: 15 mm : 15 mm宽度: 13.5 mm : 13 5 mm 13 5 mm

重复精度

测量范围 Z 轴

X 轴

Z 轴

X 轴

80 ±23 mm

32 mm

0.5 μm

10 μm

测量范围

80 ±23 mm

重复精度

测量范围 Z 轴

X 轴

Z 轴

X 轴

200 ±48 mm

62 mm

1 μm

20 μm

测量范围

200 ±48 mm

测量范围

300 ±145 mm

重复精度

测量范围 Z 轴

X 轴

Z 轴

X 轴

300 ±145 mm

180 mm

5 μm

60 μm

高精度型

LJ-V7060

100

50

0

(mm)

100

50

0

(mm)

100

50

0

(mm)

测量范围

20 ±2.6 mm

17.4 mm 17.4 mm 17 4 mm

20 mm

22.6 mm 宽度: 7.5 mm

宽度: 7 mm

宽度: 6.5 mm

超高精度镜面目标物型

LJ-V7020K

超高精度型

LJ-V7020

50

0

(mm)

宽度: 7.5 mm

宽度: 7 mm

宽度: 6.5 mm

测量范围 24.2 ±2.3 mm

21.9 mm 21.9 mm 21 9 mm

24.2 mm 24 2 mm 24 2

26.5 mm

高精度镜面目标物型

LJ-V7060K

EtherNet/IPTM 单元

CB-EP100

PROFINET 单元

CB-PN100

350

400

450

200

250

300

150

100

50

0

(mm)

重复精度

测量范围

57 mm 57 mm

80 mm

103 mm

宽度: 25 mm : 25 mm

宽度: 39 mm

宽度: 32 mm : 32 mm

宽度: 240 mm 445 mm

宽度: 180 mm : 180 300 mm 300

宽度: 110 mm : 110 155 mm 155

长距离型

LJ-V7200

超长距离型

LJ-V7300

控制器种类

NPN 输出类型 LJ-V7001

PNP 输出类型 LJ-V7001P

控制器

LJ-V7001(P)

传感头连接电缆

CB-B3（3 m）/CB-B10（10 m）

传感头连接延长电缆

CB-B5E（5 m）/ CB-B10E（10 m）

CB-B20E（20 m）

触摸屏显示器连接电缆

OP-87258（3 m）

OP-87259（10 m）

设定显示器软件

LJ-H3

(控制器选配)

控制台

OP-87504

显示输出单元

LJ-VM100

USB 电缆 (LJ-H3 选配)

OP-66844 RS-232C 电缆

OP-96368（2.5 m）

显示器连接电缆

OP-66842（3 m）/ OP-87055（10 m）

通讯电缆 9 针转换接头

OP-26401

专用 24 VDC 电源 CA-U3

显示器 选配件 控制器 电缆、接头

中等距离型

LJ-V7080

触摸屏显示器

CA-MP120T

显示器底座

OP-87262

350

400

450

200

250

300

150

100

50

0

(mm)

350

400

450

200

250

300

150

100

50

0

(mm)

重复精度

测量范围 Z 轴

X 轴

Z 轴

X 轴

0.4 μm

54.6 ±7.6 mm

14 mm

5 μm

宽度: 8 mm宽度: 14 mm宽度: 8 mm

重复精度

测量范围 Z 轴

X 轴

Z 轴

X 轴

0.2 μm

24.2 ±2.3 mm

7 mm

2.5 μm

测量范围

54.6 ±7.6 mm

47 mm

54.6 mm 54 6 mm

62 2. mm

152 mm 152

200 mm 200

248 mm

宽度: 62 mm : 62 mm

宽度: 73 mm

宽度: 51 mm : 51 mm

LJ-V Series

Selection guide

Z 轴

X 轴

Z 轴

X 轴

60 ±8 mm

15 mm

0.4 μm

5 μm重复精度

测量范围 Z 轴

X 轴

Z 轴

X 轴

20 ±2.6 mm

7 mm

0.2 μm

2.5 μm

测量范围

60 ±8 mm

52 mm

60 mm

68 mm 宽度: 15 mm宽度: 15 mm : 15 mm宽度: 13.5 mm : 13 5 mm 13 5 mm

重复精度

测量范围 Z 轴

X 轴

Z 轴

X 轴

80 ±23 mm

32 mm

0.5 μm

10 μm

测量范围

80 ±23 mm

重复精度

测量范围 Z 轴

X 轴

Z 轴

X 轴

200 ±48 mm

62 mm

1 μm

20 μm

测量范围

200 ±48 mm

测量范围

300 ±145 mm

重复精度

测量范围 Z 轴

X 轴

Z 轴

X 轴

300 ±145 mm

180 mm

5 μm

60 μm

高精度型

LJ-V7060

100

50

0

(mm)

100

50

0

(mm)

100

50

0

(mm)

测量范围

20 ±2.6 mm

17.4 mm 17.4 mm 17 4 mm

20 mm

22.6 mm 宽度: 7.5 mm

宽度: 7 mm

宽度: 6.5 mm

超高精度镜面目标物型

LJ-V7020K

超高精度型

LJ-V7020

50

0

(mm)

宽度: 7.5 mm

宽度: 7 mm

宽度: 6.5 mm

测量范围 24.2 ±2.3 mm

21.9 mm 21.9 mm 21 9 mm

24.2 mm 24 2 mm 24 2

26.5 mm

高精度镜面目标物型

LJ-V7060K

EtherNet/IPTM 单元

CB-EP100

PROFINET 单元

CB-PN100

应用

产品清单

测量轴承密封圈的浮动

旋转轴承，检查密封圈的浮动并进行

各种测量。因为测量速度快，所以不

仅仅针对轴承，任何旋转物的形状检

查效率均可得到大幅提高。

测量焊接坡口、焊缝形状

测量焊接坡口、焊缝形状。拥有 IP67

外壳防护等级，抗冲击性好，并采用

高韧性电缆，可放心使用。

测量钢板表面的起伏情况

测量高速通过的钢板表面的起伏情

况。测量频率最快可达 64 kHz，能够

以极快的频率进行高精度的测量。

测量挤压成形品的凹凸形状

对高速挤压的成形品的形状优劣进行

测量。适用于各种目标物，如橡胶、金

属、陶瓷、混凝土、食品等。

27

LJ-V7000 系列

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

世界领先

超强的性能

CMOS 拍摄数据

读取

高分辨率

子像素处理

高精度

线性化处理

数据输出

线性化①

数据输出①

线性化②

读取②

子像素① 子像素②

读取①

64 kHz 64 kHz

作为 2D 激光位移传感器， 本产品在世界上率先采用蓝色激光。 利用 2D Ernostar 物镜将 405 nm 短

波长激光极限聚焦， 从而在光接收组件上清晰成像。 生成稳定的高精度轮廓。 此外， 提高了激光的

受光密度， 更好地确保了光强度。 对所有检测困难的工件都可实现超稳定的高精度测量。

传统机型使用红色激光，成像光束较

粗，轮廓参差不齐。

蓝色激光的成像光束更精细，测量轮廓

的精度更高。

红色激光 （传统机型） 蓝色激光 （LJ-V）

配备 HSE3

-CMOS。不仅拥有超快的速度，而且在原有基础上提高了 E3

-CMOS 的动态范围。拥有强大

的感光度和大动态范围，即使曝光时间只有极短的 64 kHz（15.6 µs），也可对黑色（反射量少）到光泽

表面（反射量大）进行准确测量。

＊ HS=High Speed E3 =Enhanced Eye Emulation

CMOS

（普通的位移

传感器）

E3

-CMOS

（LJ-G）

HSE3

-CMOS

(LJ-V) 目标物的形状、颜色、材料以及取样速

度（曝光时间）对横向的反射率、光量

的影响较大。

低速取样时

光强度不足造成无法测量

轮廓边缘。

可测量整个轮廓。

可测量整个轮廓。

完全无法测量。

曝光时间变短后， 无法测量

斜面的轮廓。

即使曝光时间变短， 仍可测量

整个轮廓。

高速取样时

动态范围动态范围

64 倍

300 倍

所定制的 IC 具备超高速通道处理能力的功能， 不仅可读取 CMOS 的拍摄数据并进行高分辨率子像素

处理， 还可进行高精度线性化处理、 以及数据输出等。 测量高速移动的物体游刃有余。

＊ G=Generating P=Profiles

GP 实现 64 kHz 超快测量速度 ＊64- 处理器

生成超稳定且高精度的轮廓图像

可稳定且超高速测量所有目标物

蓝色激光光学系统

HSE3＊-CMOS

LJ-V7000 系列

28

通讯库公开

74 种测量模式

在 16 个点上完全同时测量 超多的测量模式

可指定 13 种测量内容及 7 种测量对象， 1 台机器可胜任多达 74 种模式的测量。

可测量多种目标物， 满足客户的任何需求。

测量内容种类 各测量内容对应的测量对象种类

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74 种测量模式均可在 16 个点上同时测量。

以前无法做到的测量及检查现在可同时完成。

LJ-V7000 系列配备高速通讯处理专用的 TOE （TCP/IP 减负引擎）。 实现了不受

CPU 负荷影响的高吞吐量。 最快每秒可输出相当于 64,000 个轮廓的数据。 还可

不用标准测量模式， 而将 LJ-V 用作测量探针， 在客户希望用自有的算法进行测量

时使用。 通讯库在标准状态下是公开的。

千兆比特以太网

轮廓数据

轮廓数据 最快 64,000 个轮廓／秒

ခ๰ࣺল

୧ޔ٧!20bit ࿯၂وࡍࡧ

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最快 64 kHz 连续输出轮廓数据

29

LJ-V7000 系列

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

距离

高度

角度

中心位置

高度差

宽度

最小高度、位置

截面面积

规格

• NPN 开路集电极输出的额定功率：最大 50 mA（最大 40 V），最大残压 1 V

• PNP 开路集电极输出的额定功率：最大 50 mA（最大 30 V），最大残压 1 V

• 非电压输入的额定功率：开启电压为 1 V 或更低，关闭电流为 0.6 mA 或更低

• 电压输入的额定功率：最大输入电压为 26.4 V，最小开启电压为 10.8 V，关闭电流为 0.6 mA 或更低

*1 不保证使用集线器连接时的操作状况。

*2 Windows 是美国 Microsoft Corporation 在美国及其他国家的注册商标或者商标。

型号 LJ-V7001 LJ-V7001P

可连接传感头数 最多 2 个

指示器 最小显示单元 0.1 µm、0.00001 mm2

、0.01°

最大显示范围 ±99999.9 mm、±999999 mm2

输入终端块

激光远程联锁输入 无电压输入

编码器输入 支持 NPN 开路集电极输出、电压输出（5 V/12 V/24 V）、线路驱动器输出

触发信号输入

无电压输入 电压输入

定时 1、2 输入

自动归零 1、2 输入

复位 1、2 输入

测量开始 / 停止输入

存储开始 / 停止输入

清除内存输入

激光关闭输入

程序切换输入 无电压输入，4 输入 电压输入，4 输入

输出终端块

模拟电压输出 ±10 V x 2 输出，输出阻抗：100Ω

OUT 判定输出 NPN 开路集电极输出，12 输出

（16 OUT x 3 级判定结果可自由分配）

PNP 开路集电极输出，12 输出

（16 OUT x 3 级判定结果可自由分配）

选通脉冲输出

NPN 开路集电极输出 PNP 开路集电极输出 触发信号无效输出

内存已满输出

触发信号输出

错误输出 NPN 开路集电极输出（N.C.） PNP 开路集电极输出（N.C.）

以太网接口 1000BASE-T/100BASE-TX

USB 接口 符合 USB2.0 HI-SPEED 标准（兼容 USB1.1，Full-SPEED 互换 )

RS232C 接口 测量数据输出和控制输入 / 输出（最高波特率：115200 bps，可选）

额定功率 电源电压 24 VDC±10%，含纹波电流（点对点）

电流消耗 1 个传感头时为 1.3 A 或更低 /2 个传感头时为 1.9 A 或更低

环境耐性 环境温度 0 至 +50℃

相对湿度 20 至 85%（无冷凝）

重量 约 1500 g

型号 LJ-VM100

显示器输出 模拟 RGB XGA （1024 x 768）

附带触摸屏显示器 （CA-MP120T） 专用接头

电源电压 由控制器供电

消耗功率 2.5 W 或更低

环境耐性 环境温度 0 至 +50℃

相对湿度 20 至 85% （无冷凝）

重量 约 400 g

项目 硬件要求

PC 接口 Ethernet 1000BASE-T/100BASE-TX

USB*1 符合 USB2.0 HI-SPEED 标准（兼容 USB1.1，Full-SPEED 互换 )

支持的 OS*2 Windows7（SP1）（Home Premium、Professional、Ultimate）

Windows Vista（SP2）（Home Basic、Home Premium、Business、Ultimate）

Windows XP（SP3）（ Home Edition、Professional Edition）

支持的语言 中文（简体）、中文（繁体）、日语、英语、德语、法语

CPU Core i3 2.3 GHz 或更高级的处理器

内存容量 2 GB 或更大

2 级缓存 2 MB 或更大

硬盘空间 10 GB 或更大

显示器分辨率 XGA（1024 x 768）或更高

重量 约 400 g

控制器

显示输出单元

LJ-H3（LJ-Navigator2）的硬件环境

LJ-V7000 系列

30

型号 CB-PN100

适用网络 PROFINET IO 通讯

Ethernet

符合规格 IEEE802.3u*1

传输速度 100 Mbps 全双工（100BASE-TX ）

传输媒介 STP 或 5e 类以上的 UTP 连接线

最大连接线长度 100 m

PROFINET IO

支持功能 数据 I/O 通讯

记录仪数据通讯

可连接的 PROFINET IO

控制器数量 1

更新时间 2 ms 至 2048 ms

GSDML 版本 V2.25

一致类 符合 Conformance ClassA

合格测试要求版本 符合 V2.2.4

适用协议 LLDP、DCP

电源电压 24 V ±10%（由测量仪控制器供给）

电流消耗 0.12 A 以下

重量 约 470 g

*1 主机支持 IEEE 802.3u，可通过 AutoNegotiation 功能建立 100 Mbps 全双工通讯，但不配备 PROFINET IO 标准正

常所需的 AutoCrossOver 功能和 AutoPolaroty 功能。 请根据连接处的 Ethernet 端口，选择合适的直通线或交

叉线连接。

型号 CB-EP100

适用网络 EtherNet/IPTM 及位移计独有的协议

（套筒通信）

Ethernet

符合规格 IEEE802.3 （10BASE-T）,

IEEE802.3u （100BASE-TX）

传输速度 10 Mbps （10BASE-T）,

100 Mbps （100BASE-TX）

传输媒介 STP 或 3 类以上的 UTP （10BASE-T）,

STP 或 5 类以上的 UTP （100BASE-TX）

最大连接线长度 100 m（主机和 Ethernet 之间的长度）

最大集线器

连接段数 *1 4 段（10BASE-T）, 2 段（100BASE-TX）

EtherNet/IPTM

支持功能

循环（隐式）通讯（Implicit 讯息）

显式讯息通讯（Explicit 讯息）,

支持 UCMM 及 3 类

连接数 64

RPI 0.5 ms 至 10000 ms （0.5 ms 单位）

循环（隐式）通讯

允许通讯带宽 6000 pps

显式讯息通讯 UCMM、3 类

合格测试要求 支持 A9 版

电源电压 24 VDC ±10% 含纹波（P-P）

（由测量仪的控制器单元供给）

电流消耗 0.12 A 以下

环境耐性 环境温度 0 至 +50℃

相对湿度 20 至 85％ RH （无凝结）

重量 约 470 g

*1 使用交换集线器时，不限连接台数。

*1 FDA (CDRH) 的激光分类是基于 IEC60825-1 并根据 Laser Notice No.50 的要求而实施的。

*2 在参考距离上取 4096 次平均值即为该值。

*3 测量目标物为基恩士标准物体。在高度模式中取初始设定范围高度的平均值即为该值。其他为初始设定。

*4 测量目标物为针规。在位置模式中测量针规 R 面和边缘的交点位置即为该值。其他为初始设定。

*5 测量目标物为基恩士标准物体。在经过 64 次平滑处理和 8 次平均化后测得的轮廓数据。其他为初始设定。

*6 直线性随测量范围的不同而异（参照右图）。

*7 高速模式是指测量范围最小、Binning 功能开启、拍摄模式为标准、并列拍摄功能开启时的状态。其他为初始设定。

高性能模式是指测量范围最小、Binning 功能开启、拍摄模式为标准时的状态。其他为初始设定。

*8 连接了传感头电缆（CB-B*）或延长电缆（CB-B*E）时的值。

*9 白纸测量时，在对准受照白纸时传感头受光面的光亮程度。

*10 传感头需安装在金属板上使用。

*11 无法使用 W 偏光功能。

*12 请不要用光学器材（如双目放大镜、放大镜、显微镜、望远镜及双筒望远镜等）直接观测激光光束。

用光学器材观察激光输出可能会对眼睛造成伤害。

型号 LJ-V7020K*11 LJ-V7020*11 LJ-V7060K LJ-V7060 LJ-V7080 LJ-V7200 LJ-V7300

安装状态 镜面反射 漫反射 镜面反射 漫反射

参考距离 24.2 mm 20 mm 54.6 mm 60 mm 80 mm 200 mm 300 mm测量范围 Z 轴（高度） ±2.3 mm

（F.S.=4.6 mm）

±2.6 mm

（F.S.=5.2 mm）

±7.6 mm

（F.S.=15.2 mm）

±8 mm

（F.S.=16 mm）

±23 mm

（F.S.=46 mm）

±48 mm

（F.S.=96 mm）

±145 mm

（F.S.=290 mm）

X 轴（宽度）

近 6.5 mm 6.5 mm 8 mm 13.5 mm 25 mm 51 mm 110 mm

参考距离 7 mm 7 mm 14 mm 15 mm 32 mm 62 mm 180 mm

远 7.5 mm 7.5 mm 8 mm 15 mm 39 mm 73 mm 240 mm

光源

蓝色半导体激光

波长 405 nm（可见光）

激光分类

(IEC60825-1

FDA(CDRH)

Part 1040.10*1

)

2M 类激光产品 *12 2 类激光产品 2M 类激光产品 *12 2 类激光产品

输出 10 mW 4.8 mW 10 mW 4.8 mW

( 参考距离上的）光点直径 约 14 mm x 35 µm 约 21 mm x 45 µm 约 48 mm x 48 µm 约 90 mm x 85 µm 约 240 mm x 610 µm

重复精度 *2 Z 轴（高度）*3 0.2 µm 0.4 µm 0.5 µm 1 µm 5 µm

X 轴（宽度）*4 2.5 µm 5 µm 10 µm 20 µm 60 µm

线性 Z 轴（高度）*5 ±0.1% 的 F.S. ±0.05 至

±0.15% 的 F.S.*6

轮廓数据间隔 X 轴（宽度） 10 µm 20 µm 50 µm 100 µm 300 µm

取样频率（触发间隔）*7 最快 16 µs（高速模式）

最快 32 µs（高性能模式）

温度特性 0.01% 的 F.S./℃

环境耐性

外壳防护级 *8 IP67（IEC60529）

环境光 *9 白炽灯: 最大 10000 lux

环境温度 *10 0 至 +45℃

相对湿度 20 至 85%（无冷凝）

振动 10 至 57 Hz，多重放大 1.5 mm; X、Y、Z 方向各 3 小时

抗冲击 15G / 6 msec

材料 铝

重量 约 410 g 约 450 g 约 400 g 约 550 g 约 1000 g

110

±0.05% و F.S.

180

240

145

145 ±0.1% و F.S.

±0.15% و F.S.

31

LJ-V7000 系列

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

传感头

PROFINET 单元 EtherNet/IPTM 单元

ݽॽڪইஎ௅Ӷྡျ

LJ-V7060K

්ڪ :3.5

4 x M3

7.6

7.6

8

14

8

18.5

13 16

42

54.6

21 11

20

2 x M4

්ڪ :2.8

M4

්ڪ :4.2

35°

114.3

83.5

52.6

48.6

7.6

7.6

2.4 2.4

Ѡኰਇ

2 x ø4.4

96.7

11.3

104.1

54.6

ျڪॽݽ

LJ-V7060

42

13 16 4 x M3

්ڪ :3.5

13.5

15

15

8

8

18.5

30

25

60

2 x M4

්ڪ :2.8

M4

්ڪ :4.2

21

22 65

11

20

2 x ø4.4

Ѡኰਇ

28

110 (85)

59

4

8

8

12

35°

80 71

60

Ռફ۶ཙ

Ռફ۶ཙ

մݽॽڪইஎ௅Ӷྡျ

LJ-V7020K

45°

2.3

2.3 0.95

0.95

25.9

60.5

103.3

48.3

4.6 106.6

111.3

24.2

2 x ø4.4

Ѡኰਇ

ᅘပ්ڪ :2.8

21

20

11

M4 2 x M4

ᅘပ්ڪ :4.7

ᅘပ්ڪ :3

18.5

7.5

6.5

2.3

7

2.3

24.2

1613

42

4 x M3

Ռફ۶ཙ

մݽॽڪျ

LJ-V7020

(85)

12

2.6

45°

2.6 20

81

71

4

110

10

70

4

2 x ø4.4

Ѡኰਇ

ᅘပ්ڪ :2.8

M4

20

11

4 96

21

2 x M4

ᅘပ්ڪ :4.7

ᅘပ්ڪ :3

18.5

7.5

6.5

2.6

2.6 20

7

1613

42

30

30 20

4 x M3

Ռફ۶ཙ

ቲٌল੹ျ

LJ-V7080 4 84

2 x M4

6: ڪ්

M4

්ڪ :2.8

21 11

20

71

96 (85)

12

25°

2 x ø4.4

Ѡኰਇ

4

4

62

71

80

23

23

්ڪ :3.5

14 16

42

4 x M3

18

25

32

39

23

80

20

30

23 Ռફ۶ཙ

ݽॽڪইஎ௅Ӷྡျ

LJ-V7060K

්ڪ :3.5

4 x M3

7.6

7.6

8

14

8

18.5

13 16

42

54.6

21 11

20

2 x M4

්ڪ :2.8

M4

්ڪ :4.2

35°

114.3

83.5

52.6

48.6

7.6

7.6

2.4 2.4

Ѡኰਇ

2 x ø4.4

96.7

11.3

104.1

54.6

ျڪॽݽ

LJ-V7060

42

13 16 4 x M3

්ڪ :3.5

13.5

15

15

8

8

18.5

30

25

60

2 x M4

්ڪ :2.8

M4

්ڪ :4.2

21

22 65

11

20

2 x ø4.4

Ѡኰਇ

28

110 (85)

59

4

8

8

12

35°

80 71

60

Ռફ۶ཙ

Ռફ۶ཙ

մݽॽڪইஎ௅Ӷྡျ

LJ-V7020K

45°

2.3

2.3 0.95

0.95

25.9

60.5

103.3

48.3

4.6 106.6

111.3

24.2

2 x ø4.4

Ѡኰਇ

ᅘပ්ڪ :2.8

21

20

11

M4 2 x M4

ᅘပ්ڪ :4.7

ᅘပ්ڪ :3

18.5

7.5

6.5

2.3

7

2.3

24.2

1613

42

4 x M3

Ռફ۶ཙ

մݽॽڪျ

LJ-V7020

(85)

12

2.6

45°

2.6 20

81

71

4

110

10

70

4

2 x ø4.4

Ѡኰਇ

ᅘပ්ڪ :2.8

M4

20

11

4 96

21

2 x M4

ᅘပ්ڪ :4.7

ᅘပ්ڪ :3

18.5

7.5

6.5

2.6

2.6 20

7

1613

42

30

30 20

4 x M3

Ռફ۶ཙ

ቲٌল੹ျ

LJ-V7080 4 84

2 x M4

6: ڪ්

M4

්ڪ :2.8

21 11

20

71

96 (85)

12

25°

2 x ø4.4

Ѡኰਇ

4

4

62

71

80

23

23

්ڪ :3.5

14 16

42

4 x M3

18

25

32

39

23

80

20

30

23 Ռફ۶ཙ

ݽॽڪইஎ௅Ӷྡျ

LJ-V7060K

්ڪ :3.5

4 x M3

7.6

7.6

8

14

8

18.5

13 16

42

54.6

21 11

20

2 x M4

්ڪ :2.8

M4

්ڪ :4.2

35°

114.3

83.5

52.6

48.6

7.6

7.6

2.4 2.4

Ѡኰਇ

2 x ø4.4

96.7

11.3

104.1

54.6

ျڪॽݽ

LJ-V7060

42

13 16 4 x M3

්ڪ :3.5

13.5

15

15

8

8

18.5

30

25

60

2 x M4

්ڪ :2.8

M4

්ڪ :4.2

21

22 65

11

20

2 x ø4.4

Ѡኰਇ

28

110 (85)

59

4

8

8

12

35°

80 71

60

Ռફ۶ཙ

Ռફ۶ཙ

մݽॽڪইஎ௅Ӷྡျ

LJ-V7020K

45°

2.3

2.3 0.95

0.95

25.9

60.5

103.3

48.3

4.6 106.6

111.3

24.2

2 x ø4.4

Ѡኰਇ

ᅘပ්ڪ :2.8

21

20

11

M4 2 x M4

ᅘပ්ڪ :4.7

ᅘပ්ڪ :3

18.5

7.5

6.5

2.3

7

2.3

24.2

1613

42

4 x M3

Ռફ۶ཙ

մݽॽڪျ

LJ-V7020

(85)

12

2.6

45°

2.6 20

81

71

4

110

10

70

4

2 x ø4.4

Ѡኰਇ

ᅘပ්ڪ :2.8

M4

20

11

4 96

21

2 x M4

ᅘပ්ڪ :4.7

ᅘပ්ڪ :3

18.5

7.5

6.5

2.6

2.6 20

7

1613

42

30

30 20

4 x M3

Ռફ۶ཙ

ቲٌল੹ျ

LJ-V7080 4 84

2 x M4

6: ڪ්

M4

්ڪ :2.8

21 11

20

71

96 (85)

12

25°

2 x ø4.4

Ѡኰਇ

4

4

62

71

80

23

23

්ڪ :3.5

14 16

42

4 x M3

18

25

32

39

23

80

20

30

23 Ռફ۶ཙ

尺寸规格

传感头 单位 : mm

LJ-V7000 系列

32

88.8

178

6

60

14.4

4 x M4

深度: 6

80 16.5

26.3

6

153

DIN 导轨

安装位置

35.9

83.3

深度: 6

2 x M4

80 16.5

13.2

多功能控制器

LJ-V7001(P)

显示输出单元

LJ-VM100

(70) 153.5

DIN 导轨

安装位置

35.9

83.3

35.9

150.6

153 6

26.3

83.3

深度: 6

2 x M4

80 16.5

13.2

DIN 导轨

安装位置

EtherNet/IP 单元

CB-EP100

41

ø7.6 55

电缆长度（3 m、10 m） 18

31

32 14 16.5

13

ø7.6 55

14 电缆长度（5 m、10 m、20 m） 18 51

（CB-B 电缆侧） （传感头侧）

16.5 14 14 16.5

传感头连接电缆

CB-B3/CB-B10

传感头连接延长电缆

CB-B5E/CB-B10E/CB-B20E

超长距离型

LJ-V7300

4 x M3

深度: 3.5

16 25

57

30

110

180

240

50

20

300

145

145

3 x ø5.4

安装孔

38 100

173

12

4

21.2°

300

145

145

79

88

38 100

4 x M4

深度: 2.8

16

25

测量范围

(85)

长距离型

LJ-V7200

4 x M4

深度: 2.8

32 105

20

11

4

12

24.2°

32 105 3 x ø4.4

145 (85)

安装孔

77 68

200

48

48

73

18

51

62

4 x M3

深度: 3.5

13 16

42

30

25

200

48

48

测量范围

单位 : mm

控制器

长距离型

LJ-V7200

多功能控制器

LJ-V7001(P)

传感头连接电缆

CB-B3/CB-B10

传感头连接延长电缆

CB-B5E/CB-B10E/CB-B20E

显示输出单元

LJ-VM100

EtherNet/IPTM 单元

CB-EP100

超长距离型

LJ-V7300

33

LJ-V7000 系列

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

高精度 2D 激光位移传感器

LJ-G 系列以各种测量模式（高度、宽度、高度差、角度、轮廓、截面积等）

提供 8 点同时测量功能。所需的测量点可相对于轮廓波形进行指定。此外，

LJ-G 系列还提供单个测量值输出与上 / 下容差比较值输出。

LJ-G5000 系列

特性

精度高达 ±0.1% F.S.

采样速率高达 3.8 ms

可同时在 8 个点进行测量 / 判断

可稳定测量所有目标

专家级工程技术网站

Application Finder （应用搜索器）帮助您根据需

要查找解决方案。

可同时在 8 个点进行测量 / 判断

测量选单 有效的调整功能

测量

峰高 平均高度

宽度 / 位置 角度／交点

谷高 缝隙

截面积 轮廓比较

同类中最佳

位置调整功能

在经过调整后，即使目标物排列不整齐，

LJ-G 系列仍可提供稳定的测量。

目标物的位移

测量范围 测量范围

调整

由于工件不在测量范围之内，因此无法进

行精确测量。

测量范围根据工件的位移移动，从而实现

精确的测量。

高度 峰值

平均值

谷值

宽度／位置 位置（XZ 坐标轴）

宽度

测量特定范围内

的高度。

在特定条件下测

量宽度／位置。

间隙 测量点

参照点

间隙

截面面积

参照表面

截面面积 确定测量点及参

照点之间的高度

差。

根据参照表面测

量面积。

角度／交点

角度

交点位置

(XZ 坐标轴)

轮廓比较 标准轮廓

测量值

测量探测线的角

度及交点。

比较目标轮廓与

标准轮廓，以测量

最大高度差。

http://china.keyence.com/

products/measure

LJ-G5000 系列

34

应用

产品清单

确认 PCB 安装高度

确认密封剂涂层轮廓

确认门 / 罩安装精度

确认焊缝坡口位置

250

200

150

100

50

(mm)

LJ-G015K LJ-G015 LJ-G030 LJ-G080 LJ-G200

ਝڪ ;6.5 mm

ਝڪ ;7 mm

ਝڪ ;7.5 mm

ਝڪ ;6.5 mm

ਝڪ ;7 mm

ਝڪ ;7.5 mm

15 mm

17.3 mm

Ռફ۶ཙ

15 ±2.3 mm

12.7 mm

Ռફ۶ཙ

15 ±2.6 mm Ռફ۶ཙ

80 ±23 mm

15 mm

17.6 mm

12.4 mm

Ռફ۶ཙ

30 ±10 mm20 mm

30 mm

40 mm

ਝڪ ;20 mm

ਝڪ ;22 mm

ਝڪ ;25 mm

57 mm

80 mm

103 mm

ਝڪ ;25 mm

ਝڪ ;32 mm

ਝڪ ;39 mm

ਝڪ ;51 mm

ਝڪ ;62 mm

ਝڪ ;73 mm

Ǎ52 mm

200 mm

248 mm

Ռફ۶ཙ

200 ±48 mm

感测头

Z 轴（高度） 15 ±2.3 mm 15 ±2.6 mm 30 ±10 mm 80 ±23 mm 200 ±48 mm

X 轴（宽度） 7 mm 7 mm 22 mm 32 mm 62 mm

Z 轴再现性 0.2 µm 0.2 µm 1 µm 1 µm 2 µm

X 轴再现性 2.5 µm 2.5 µm 5 µm 10 µm 20 µm

35

LJ-G5000 系列

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

E3

-CMOS 提供超宽的动态范围

ASAP（由像素自动进行灵敏度调整）

用于保存数据的大容量存储器

E3

-CMOS 提供超宽的动态范围，约是传统模式的 300 倍。LJ-G 系列可以测量目标轮廓，也可以测量不同的目标材料，如黑色橡胶（反射光强度小）与金属

（反射光强度大）。

* E3

-CMOS 传感器 : 改进型眼睛仿真 CMOS 图像传感器

此功能调节 E3

-CMOS 的灵敏度和激光功率，以获得在每个测量位置具有不同反射率目标的适当波形数据，所得数据将统一

合并为一个测量结果。

控制器中配备有一个大容量存储器。内含一个存储卡插槽，用于存储大批量产品的生产记录。

全球首创

同类中超大

激光反射 光强 轮廓测量

目标物体

感光敏感度范围

超出测量范围

感光敏感度范围是

传统型号的 300 倍。

感测头

根据目标的形状、颜色及材

料的不同，反射系数与反射

光强度会有所变化。

感光元件没有足够的敏感度来覆盖整个范围。 光强度不足时，不会测量轮廓边缘。

动态范围是传统型号的 300 倍，并覆盖整个范

围。

测量整个轮廓。

传统

E3

-CMOS

高

低

高

低

处理许多产品类型

控制器中的存储器可以存储多达 16 个程序。如果使用存储卡的设置调用功

能，则可存储多达 160 个程序，以便处理各种产品类型。

程序设置 轮廓保存 数据存储

内部存储器 16 1024 x 2 65536 x 8

CF （1GB） 160 1024 x 300 65536 x 3200

轮廓保存

用于分析“不合格”记录或生产历史。

处理 160 种类型 1024 个轮廓

OK Program01 17.221 OUT01

[mm]

MemoryCard

OUT1 GO

OUT2 GO

OUT3 GO

OUT4 GO

OUT5 GO

OUT6 GO

OUT7 GO

OUT8 GO

ALL OUT

-30.000mm

30.000mm

-20.000mm 20.000mm

X : [ 5.000mm/div]

X : [ 10.000mm/div]

5 ms

5 ms

GO

ZERO Measure

Trg interval

Process time

OK Program01 15.982 OUT01

[mm]

MemoryCard

OUT1 GO

OUT2 GO

OUT3 GO

OUT4 GO

OUT5 GO

OUT6 GO

OUT7 GO

OUT8 GO

ALL OUT

-30.000mm

30.000mm

-20.000mm 20.000mm

X : [ 5.000mm/div]

X : [ 10.000mm/div]

5 ms

5 ms

GO

ZERO Measure

Trg interval

Process time

OK Program01 10.121 OUT01

[mm]

MemoryCard

OUT1 GO

OUT2 GO

OUT3 GO

OUT4 GO

OUT5 GO

OUT6 GO

OUT7 GO

OUT8 GO

ALL OUT

-30.000mm

30.000mm

-20.000mm 20.000mm

X : [ 5.000mm/div]

X : [ 10.000mm/div]

5 ms

5 ms

GO

ZERO Measure

Trg interval

Process time

OK Program01 16.382 OUT01

[mm]

MemoryCard

OUT1 GO

OUT2 GO

OUT3 GO

OUT4 GO

OUT5 GO

OUT6 GO

OUT7 GO

OUT8 GO

ALL OUT

-30.000mm

30.000mm

-20.000mm 20.000mm

X : [ 5.000mm/div]

X : [ 10.000mm/div]

5 ms

5 ms

GO

ZERO Measure

Trg interval

Process time

OK Program01 14.268 OUT01

[mm]

MemoryCard

OUT1 GO

OUT2 GO

OUT3 GO

OUT4 GO

OUT5 GO

OUT6 GO

OUT7 GO

OUT8 GO

ALL OUT

-30.000mm

30.000mm

-20.000mm 20.000mm

X : [ 5.000mm/div]

X : [ 10.000mm/div]

5 ms

5 ms

GO

ZERO Measure

Trg interval

Process time

OK Program01 15.393 OUT01

[mm]

MemoryCard

OUT1 GO

OUT2 GO

OUT3 GO

OUT4 GO

OUT5 GO

OUT6 GO

OUT7 GO

OUT8 GO

ALL OUT

-30.000mm

30.000mm

-20.000mm 20.000mm

X : [ 5.000mm/div]

X : [ 10.000mm/div]

5 ms

5 ms

GO

ZERO Measure

Trg interval

Process time

动态范围 6000 x

目标在每个位置有非常不同的反射率 灵敏度：小 灵敏度：中 灵敏度：最大 测量结果

LJ-G5000 系列

36

规格

型号 LJ-G015K LJ-G015 LJ-G030 LJ-G080 LJ-G200

类型 镜面反射型 漫反射型

参考距离 15 mm 30 mm 80 mm 200 mm

测量范围

Z 轴（高度） ±2.3 mm ±2.6 mm ±10 mm ±23 mm ±48 mm

X 轴（宽度）

近 6.5 mm 20 mm 25 mm 51 mm

参考距离 7.0 mm 22 mm 32 mm 62 mm

远 7.5 mm 25 mm 39 mm 73 mm

光源

红色半导体激光

波长 655 nm（可见光）

激光分类 2 类激光产品（IEC 60825-1）, II 类激光产品（FDA （CDRH） Part 1040.10）

输出 0.95 mW

光点直径（在参考距离处） 约 32 µm x 12 mm 约 40 µm x 25 mm 约 80 µm x 46 mm 约 180 µm x 70 mm

再现性 *1 Z 轴（高度） *2 0.2 µm 1 µm 1 µm 2 µm

X 轴（宽度）*3 2.5 µm 5 µm 10 µm 20 µm

线性 Z 轴（高度）*2 ±0.1% F.S.

采样频率（触发间隔）*4 3.8 ms

温度特性 0.02% F.S./˚C

环境抗耐性

外壳防护级 IP67 （IEC60529）

环境光 *5 白炽灯或荧光灯：最大 5000 lux

环境温度 0 至 50˚C

相对湿度 35 至 85% （无凝结）

振动 10 至 55 Hz; 双振幅 1.5 mm; X、Y、Z 方向各 2 小时

材料 铝

重量 约 260 g 约 290 g 约 350 g 约 480 g

*1 值在 64 次之后获得，平均在参考距离。

*2 目标是基恩士标准物体。（白色散光材料）。值是“高度”模式中各个宽度的平均值。

*3 目标是 ø10 mm 销规。值是“位置”模式中经过 16 次“平滑”处理之后的边界值。

*4 条件为初始设置、最小测量范围，并且是单次平滑处理

*5 瞄准受照白纸时感测头的接收器上的照度。

37

LJ-G5000 系列

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

LJ-G5000 系列

LJ-H1W（LJ-Navigator）的硬件环境

项目 硬件要求

CPU Pentium III，主频至少 400 MHz

支持操作系统 Windows 7*1/Windows Vista*2/Windows XP Professional Edition/

Home Edition/Windows 2000 Professional

内存容量 最小 128 MB

显示器分辨率 最小 XGA（1024 x 768 像素），最小 256 色

空闲磁盘空间 最小 30 MB

接口 *3 应具备 USB2.0/1.1*4、以太网 *5、或 RS-232C（串行端口）

• Windows 是美利坚合众国（美国）Microsoft Corporation 的注册商标。

• Pentium 是 Intel Corporation 的注册商标。

*1 Home Premium, Professional and Ultimate editions are supported.

*2 Ultimate, Business, Home Premium, Home Basic editions are supported. For Windows Vista, Ver. 1.6 and later versions are supported.

*3 选择其中一种接口进行通讯。无法同时通讯。

*4 不保证能够通过“集线器”进行连接。

*5 不保证能够连接到局域网，也不保证能够通过路由器进行连接。

控制器

型号 LJ-G5001 LJ-G5001P

感测头兼容性 兼容

可连接的传感器数量 最多 2 个装置

显示 最小显示单位 0.1 µm *1, 0.001 mm2

, 0.01°

最大显示范围 ±99999.9 mm, ±999999 mm2

, ±99999.9°

输入端子座

激光远程互锁输入 无电压输入

触发器输入 对于感测头 A，为无电压输入 对于感测头 A，为电压输入

计时 1 输入

自动归零 1 输入 无电压输入 电压输入

复位输入

输出端子座

模拟电压输出 ±10 V x 2 输出，输出阻抗：100 Ω

总体判断输出 NPN 集电极开路输出 PNP 集电极开路输出

误差输出 NPN 集电极开路输出（N.C.） PNP 集电极开路输出（N.C.）

过程输出 NPN 集电极开路输出 PNP 集电极开路输出

触发器输入启用输出 对于感测头 A，为 NPN 集电极开路输出 对于感测头 A，为 PNP 集电极开路输出 调整后误差输出

扩展连接器

计时 2 输入 无电压输入 电压输入 自动归零 2 输入

触发器输入 对于感测头 B，为无电压输入 对于感测头 B，为电压输入

程序切换输入 无电压输入，4 个输入 电压输入，4 个输入

存储卡保存输入 无电压输入 电压输入

激光关闭输入 对于感测头 A/B，为无电压输入 对于感测头 A/B，为电压输入

判断 / 二进制输出 *2

3 等级判断输出：OUT1 至 OUT8、总体判断输出

二进制输出：OUT1 至 OUT8 测量数据输出（21 位）

NPN 集电极开路输出

3 等级判断输出：OUT1 至 OUT8、总体判断输出

二进制输出：OUT1 至 OUT8 测量数据输出（21 位）

PNP 集电极开路输出

选通脉冲输出 NPN 集电极开路输出 PNP 集电极开路输出

触发器输入启用输出 对于感测头 B，NPN 集电极开路输出 对于感测头 B，为 PNP 集电极开路输出 调整后误差输出

模拟 RGB 显示器输出 SVGA（800 x 600 像素）

RS-232C 接口 测量数据输出与控制输入 / 输出（最大波特率：115200 位 / 秒，可选）

USB 接口 符合“USB 2.0 版高速”（兼容“USB 1.1 全速”）

以太网接口 100BASE-TX/10BASE-T

存储卡 兼容 NR-M32（32 MB）, GR-M256（256MB）, 以及 NR-M1G（1GB）（采用 . FAT32）

主要功能

感测头计算、轮廓调整、滤波器、平滑处理、平均、位置调整、OUT 名称更改、测量模式选择

（高度、位置、缝隙、宽度、中心位置、截面积、交叉、角度、轮廓比较、轮廓跟踪）、

缩放、平均、测量、测量值报警、容差设置、自动归零、存储（数据 / 轮廓）、

存储卡保存、程序存储、触发器模式更改、相互抗干扰、测量范围更改、

校正、激光光线调整、采样时间设置、屏蔽、轮廓报警设置、倾斜调整、高度调整、

显示语言切换、设置支持软件连接、触发间隔 / 测量时间显示等

额定值 电源电压 24 VDC ±10% ；纹波：10%（P-P）或更小

电流消耗 1 个感测头时为 800 mA 或更小 /2 个感测头时为 1 A 或更小

环境抗耐性 环境温度 0 至 50˚C

相对湿度 35 至 85%（无凝结）

重量 约 1050 g

*1 仅在连接 LJ-G015 或 LJ-G015K 时。连接其它传感器头时，最小显示单位为 1 µm。

*2 NPN 集电极开路输出的额定值：最大 50 mA（最大 30 V），残余电压最大 1 V。

PNP 集电极开路输出：最大 50 mA（最大 30 V），残余电压最大 1 V。

无电压输入的额定值：“打开”电压 1 V 或更小，“关闭”电流 0.6 mA 或更小（触发器输入端子：“打开”电压 1 V 或更小，“关闭”电流 1.0 mA 或更小）

电压输入的额定值：额定最大 26.4 V，“打开”电压 10.8 V 或更小，“关闭”电流 0.6 mA 或更小（触发器输入端子：额定最大 26.4 V，“打开”电压 10.8 V 或更小，“关闭”电流 1.0 mA 或更小）

38

34

19.5

7.5

7

6.5

82.6

19.3 20.3

1.3

2.3 15

20.8

43.5

82.8

9.5

2.3

25° 25°

2 x ø4.4

(安装孔)

X 轴测量范围

Z 轴测量范围

18

48

8

15

70

0.7

2.6

2.6

500

55

ø14

ø7

68 9.9

22

19.5

7.5

7

6.5 19.5

34

50°

2 x ø4.4

(安装孔)

X 轴测量范围

Z 轴测量范围

8.9

23 0.7

62

30 4 9

10

10

45°

55

20

19.5

22

34

X 轴测量范围

25 Z 轴测量范围

ø14

ø7

2 x ø4.4

(安装孔)

500

88

70

42

25

32

39

2 x ø4.4

(安装孔) 8.9 239 0.7

10

62

70

4

80

23

23

25° 9 2

ø14

55

500

ø7

24

X 轴测量范围

Z 轴测量范围

88

4.2 114.5 27 0.7

68

4 9

200 25°

48

48

55

500

19

X 轴测量范围

73

51

62

Z 轴测量范围

ø7

3 x ø4.4

(安装孔)

ø14

38 138

76

200 4 x M4

深度: 6

6

DIN 轨道

安装位置

35.9

65.3

83.3

(65) 117

60

80 17

82.4 132

153

11.5

ø7

缆线长度: 2 m,

5 m, 10 m,

20 m, 30 m 33 ø14

26

55

尺寸规格

单位 : mm

感测头

超高精度镜面反射

LJ-G015K

LJ-G030

LJ-G200

LJ-G5001(P)

超高精度

LJ-G015

在感测头和控制器之间的缆线

LJ-GC2/GC5/GC10/GC20/GC30

LJ-G080

控制器

感测头与控制器之间的电缆

型号 LJ-GC2 LJ-GC5 LJ-GC10 LJ-GC20 LJ-GC30

电缆长度 2 m 5 m 10 m 20 m 30 m

重量 约 200 g 约 400 g 约 750 g 约 1400 g 约 2000 g

39

LJ-G5000 系列

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

微型传感头型分光干涉式

激光位移计

SI-F1000 系列

特性

分辨率：0.25 µm

微型传感头尺寸：ø2 mm

分光干涉法

专家级工程技术网站

Application Finder （应用搜索器）帮助您根据需

要查找解决方案。

分光接口法

不发热、无噪音

分辨率：0.25 µm ø2 mm 的传感头

光纤头结构的优点

测量头仅由光纤和镜头组成，无电子部件。

通过研发新的操作原理和采用精密控制器达到 0.25 µm 的高分辨率。此分辨

率完全满足各种高精度要求。

测量头的简单光纤结构帮助基恩士开发出全

世界超小的传感头，且不存在小型电子元件

具有的发热问题。另外，由于传感头不含电

子部件，因此不受电磁噪声的影响。

研发出新的操作原理可同时满足小尺寸和高精度 —— 这一对互相矛盾的需求， 实现先前不可能完成的任务。

小型、轻巧、耐热

这些特点大幅减少选择安装区域时的限制。这类微型传

感头可安装在传统设备无法安装的地方，因此可用于进

行各种测量应用。

不发热

机身发热是造成高精度测量出现误差的因

素之一。光纤头结构使得头部“不发热”。

不受电磁噪声的影响

测量头不含电路。因此不受极难隔离和消除的电磁噪

声的影响。

同类产品中超高

业界首创

SLD

SLD 发出的宽波长光线部分

被传感头参考面反射，而穿

过参考面的部分在工件上产

生镜面反射并返回传感头。

干涉光

两道反射光束互相干涉。根据参考

面和工件的间距确定特定波长的干

涉光强度。当该间距是波长的整数

倍时，便达到相对最大干涉。

光谱检定

借助分光镜将干涉光分成不同

的波长即可得出特定波长的光

强度分布。在对该分布进行波

形分析后就可得知工件的距

离。

分光单元

光源 (SLD)

波形分析

位移数据

保偏光纤

辐射光

参考反射面 工件

干涉光

分光镜

衍射光栅

CCD

SI-F01U3 传感头

SI-F01

SLD: 超辐射发光二极管

全世界超小尺寸

实际尺寸

http://china.keyence.com/

products/measure

SI-F1000 系列

40

应用

产品清单

测量复印机中的辊的动作 定位高精度载物台 测量玻璃盘的厚度

传感头

控制器

微型传感头型

SI-F01

一体型

SI-F1003V

独立型

SI-F1003

扩展控制器

SI-FA103

光谱单元隔板

OP-84474

长距离型

SI-F10

厚度测量型

SI-F80

光谱单元

SI-F01U3/

SI-F10U3/

SI-F80U3

（每个传感头需要一个分光单元。）

背面

（随分光单元提供）

选配单元

传感头安装夹具（适用于 SI-F01）

OP-84480

显示屏 连接线 软件

显示屏

SI-FD500

控制器与传感头连接线

CB-A07/CB-A2/CB-A5/

CB-A10/CB-A20/CB-A30

专用 PC 软件“SI-Navigator 3”

SI-H13

控制器与光谱单元延长线

CB-A5E/CB-A10E

显示屏与控制器连接线

0.33 m: OP-84428

3 m: OP-51655

10 m: OP-51656

传感头尺寸

ø2 mm

测量范围

0.05 到 1.1 mm

传感头尺寸

ø8 mm

测量范围

11.3 到

12.35 mm

设定距离

80 mm

传感头尺寸

ø12 mm

测量厚度

0.05 到 1.1 mm

类型 型号 主要技术数据

微型传感头型

最适合要求在狭小高温的环境

下进行的超高精度测量。

SI-F01

测量范围 0.05 至 1.1 mm

分辨率 0.25 μm

线性度 ±0.3 μm

传感头尺寸 ø2 mm

长距离型

长距离高精度测量。 SI-F10

测量范围 11.3 至 12.35 mm

分辨率 0.25 μm

线性度 ±0.3 μm

传感头尺寸 ø8 mm

厚度（间隙）测量型

专用于厚度测量，因而可实现

高精度。

SI-F80

设定距离 80 至 81.1 mm

可测厚度 0.05 至 1.1 mm

分辨率 0.25 μm

线性度 ±0.3 μm

传感头尺寸 ø12 mm

41

SI-F1000 系列

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

规格

传感头

类型 微型传感头型 长距离型 长距离型厚度测量型

型号 传感头 SI-F01 SI-F10 SI-F80

光谱单元 SI-F01U3 SI-F10U3 SI-F80U3

测量范围 0.05 至 1.1 mm *1 11.3 至 12.35 mm *1 0.05 至 1.1 mm *2

（可实现的检测距离 : 80 至 81.1 mm）

光源 红外 SLD 中心波长 820 nm 输出 0.6 mW, 1 类激光产品（IEC60825-1, FDA（CDRH）Part 1040.10*8）

光束直径 *3 ø20 μm ø40 μm ø20 μm

线性度 ±0.3 μm *4 ±0.3 μm *4 ±0.3 μm *5

分辨率 0.25 μm *6 0.25 μm *6 0.25 μm *7

脉冲持续时间 200 μs

导向光源 红色半导体激光 波长 650 nm 输出 0.1 mW，

1 类激光产品（IEC60825-1, FDA（CDRH） Part 1040.10*8）

LED 指示器

目标靠近测量中心：绿光。

目标在测量范围内：橙光。

目标在测量范围外：橙光闪烁。

温度波动 光谱单元 0.01% 的 F.S./˚C

环境耐性

外壳防护级 传感头 IP67 IP64 IP64

周围亮度 白炽灯或荧光灯：最大 10000 lux

环境温度 传感头 0 至 +85˚C 0 至 +40˚C 0 至 +50˚C

光谱单元 0 至 +35˚C

相对湿度 传感头 35 至 85% RH（无冷凝）

光谱单元 35 至 80% RH（无冷凝）

振动 传感头 10 至 55 Hz, X、Y、Z 方向上 1.5 mm 双幅，各 2 小时

光谱单元 10 至 55 Hz, X、Y、Z 方向上 0.5 mm 双幅，各 2 小时

材料 传感头 SUS

光谱单元 聚碳酸酯

重量 传感头（含连接线） 约 24 g 约 38 g 约 39 g

光谱单元 约 1 kg

*1 表示与传感头正面的距离。对于长距离型传感头，会出现最大 ±0.2 mm 的个别差异。

*2 厚度测量型传感头显示玻璃板间距的测量范围。请确保测量对象位于检测距离范围内。

*3 表示测量范围内的最小光束直径。

*4 当测量对象是玻璃板并将平均测量次数设为 256 时获得的值。

*5 当测量两块玻璃板间隙并将平均测量次数设为 256 时获得的值。

*6 当测量位于测量范围中心的玻璃板表面并将平均测量次数设为 4,096 时获得的值。

*7 当在检测距离内测量厚度为 0.3 mm 的玻璃对象并将平均测量次数设为 4,096 时获得的值。

*8 FDA (CDRH) 的激光分类是基于 IEC60825-1 并根据 Laser Notice No.50 的要求而实施的。

SI-F1000 系列

42

控制器

名称 主控制器 扩展控制器 *1

型号 一体型 SI-F1003V

SI-FA103 独立型 *2 SI-F1003/SI-FD500

可连接的光谱单元数 2 1

显示

最小显示单位 0.001 μm

显示范围 无 ±999.999 μm 至 ±9999.99 mm,

（可选 7 种设定）

显示周期 10 次 / 秒

端子台

激光远程联锁输入

无电压输入 无

定时 1 输入

复位 1 输入

自动调零 1 输入

激光控制输入

模拟电压输出 ±10 V x 2 输入，输出阻抗 : 100 Ω ±10 V x 1 输入，输出阻抗 : 100 Ω

模拟电流输出 4 至 20 mA x 2 输出，最大负载阻抗 : 350 Ω 4 至 20 mA x 1 输出，最大负载阻抗 : 350 Ω

警报输出 NPN 开集极输出（N.C.） 无 通用比较器输出 NPN 开集极输出

扩展接口

定时输入 无电压输入 2

无

复位输入 无电压输入 自动调零输入

程序切换输入 无电压输入 x 3 输入

警报输出 NPN 开集极输出（N.C.）

比较器 /

二进制

输出

二进制输出 测量数据输出（21 位）, 可选 OUT 的 NPN 开集极输出

选通脉冲输出 NPN 开集极输出

二进制选择输出 NPN 开集极输出

二进制选择输入 无电压输入

RS-232C 接口 测量数据输出和控制输入 / 输出（波特率最高可选择 115200 bps）

USB 接口 兼容 2.0 HighSpeed（兼容 USB 1.1 Full-SPEED） 无

以太网接口 100Base-TX/10Base-T

主要功能

12 个 OUT 同时测量

计算、平均、滤波器、换算测量、测量值警报、容差设定、自动调零，数据存储，

光线监控器、8 程序存储器、干涉计模式、遮罩、设定支持软件连接等。

电源 电源电压 最大 24 VDC ±10% 脉动 10%（P-P） 随主控制器提供 最大电流消耗 连接 1 个传感头时：0.6 A 以下连接 6 个传感头时：1.5 A 以下。

环境耐性

环境温度 *3 0 至 +50˚C

相对湿度 35 至 85% RH（无冷凝）

振动 *4 10 至 55 Hz, X、Y、Z 方向上 0.5 mm 双幅，各 2 小时

重量 约 600 g 约 300 g

*1 最多可在主控制器上连接 4 个扩展控制器。

*2 可独立使用 SI-F1003。可使用显示屏（SI-FD500）和设定支持软件（SI-H13）显示测量值并更改设定。

*3 当连接两个或更多扩展控制器时，环境温度为 0 至 40˚C。

*4 当连接两个或更多扩展控制器时，抗震性为“10 至 55 Hz，X、Y、Z 方向上 0.3 mm 双幅，各 2 小时”。

• NPN 开极集极额定输出：最大 50 mA（最大 40 V），残余电压：最大 0.5 V。

• 无电压额定输入：启动电压：最大 1 V，关闭电流：最大 0.6 mA。

• SI 系列的部分输入 / 输出电路是内部共用电路。请注意，内部公共端之间不会因连接线 / 外部设备之间的电位差而产生电位差。

要了解详细信息，请参见“接线注意事项”。

使用 SI-H13（SI-Navigator 3）所需的操作环境

CPU Pentium III 1 GHz 以上（推荐 1.7 GHz 以上）

操作系统 Windows 7*1/ Windows Vista*2/ Windows XP*3/

Windows 2000 Professional*4

内存容量 256 MB 以上（推荐 1 GB 以上）

显示分辨率 1024 x 768 像素，24 位全彩或更高

可用硬盘空间 1 GB 以上

接口

需要以下接口之一。

- USB ：Revision 2.0 HighSpeed（USB1.1 全速兼容）*5

- LAN ：100BASE-TX 或 10BASE-T*6

- RS-232C（串口）

还必须满足您的操作系统所需的系统要求。

*1 支持 Home Premium、Professional 和 Ultimate。

*2 支持 Ultimate、Business、Home Premium 和 Home Basic。

*3 支持 Professional SP2 以上版本及 Home Edition SP2 以上版本。

*4 支持 SP4 以上版本。

*5 不支持通过 USB 集线器连接。

*6 不支持通过内部局域网或路由器连接。必须使用直线或本地连接。

* Windows 是美利坚合众国（美国）Microsoft Corporation 的注册商标。

* Pentium 是 Intel Corporation 的注册商标。

43

SI-F1000 系列

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

0

+1000 11000

(测量范围)

(光纤)

0

+1000

0.05 到 1.1

ø2

ø1.25 ±0.01

1

11

(10)

11000 0

+1000 11000

25 25

9

9

8.3

9

8.3

ø0.9

(光纤)

ø0.9

-0.008

0

(光纤)

0.05 到 1.1

(测量范围)

0 到 1.1

(检测范围)

-0.01

-0.05

-0.01 ø12 -0.05 ø8

8.3

25

80 21 28 (19)

ø0.9

(测量范围)

-0.05

-0.01 ø8

(19.2)

11.3 到 12.35 42.3

SUS304

M2 固定螺丝

7

C1

2 x ø2.5

孔加工: ø5, 深度: 2.5

10.5

3.5

6

最大 3.1

12

3

3

6

深度: 6

4 x M4 13.5 79.5

9

47

35.9

62.1

DIN 导轨

65 127.5 (63) (63)

6

124

9

47

34.5 79.5 4 x M4

深度: 6

65

124

6

105

(有装饰板) (无装饰板)

传感头

微型传感头型

SI-F01

光谱单元

SI-F01U3/SI-F10U3/SI-F80U3

厚度测量型

SI-F80

传感头安装夹具（适用于 SI-F01）

OP-84480

长距离型

SI-F10

尺寸

单位 : mm

SI-F1000 系列

44

6

124

面板剪切尺寸

65 128

9

47

4 x M4

深度: 6 79.5

6

34.5

(65)

124

DIN 导轨

65 105.5

47

深度: 6

4 x M4

6

14 79.5

124

(65)

62.1

35.9

9

26.3 128

13.5

深度: 6

M4

6

114

(65)

124

DIN 导轨

26.3 105.5

62.1

M4

深度: 6

13.5 14

(65)

35.9

+0.6

0

最小 62

0

+0.6 45

75

最小 100

13

0.5 到 5 mm

面板厚度: 46

62

8.5

25

74.5

80

91

显示屏连接环

ø7

缆线长度

(0.7 m, 2 m, 5 m, 10 m, 20 m, 30 m)

11.5

26

33 55

ø14

ø7

缆线长度 (5 m, 10 m)

55

ø14

55

ø14

控制器

一体型

SI-F1003V

显示屏

SI-FD500

其他配件

控制器与传感头连接线

CB-A07/CB-A2/CB-A5/CB-A10/

CB-A20/CB-A30

控制器与光谱单元延长线

CB-A5E/CB-A10E

扩展控制器

SI-FA103

独立型

SI-F1003

单位 : mm

45

SI-F1000 系列

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

分光干涉式晶片厚度计

SI-F80R 系列

特性

分辨率：0.25 µm

采样速度：5 kHz

工作距离：80 mm

专家级工程技术网站

Application Finder （应用搜索器）帮助您根据需

要查找解决方案。

精确的只测量晶片厚度 几乎不受晶片图案的影响

在生产线中持续监控

通过减小光点直径和光点内的表面相差，可最大限度的减少晶片表面图案的

变化和测量警报的发生次数。

• 小巧的传感头可安装在距离晶

片 80 mm 的位置，因此可在

抛光的同时在设备内部持续监

控晶片厚度。

SI-F80R 系列使用近红外 SLD，可穿

过硅、砷化镓、碳化硅、磷化铟、非晶

硅及其它半导体。即使晶片已封上 BG

（背磨）胶带，也可精确测出晶片厚度。

近红外线

设定距离

80 mm

测量厚度

半导体晶片

BG 胶带

BG 胶带

最小光点直径

25 μm

图案化晶片

表面图案

紧靠生产线进行简单精确的测量

• 只需将传感器放在距离晶片

80 mm 的位置，即可轻松进行

测量。

• 不接触晶片，避免晶片损伤。

• 传感器可直接只测量晶片厚度，

因此测量不受 BG 胶带的影响。

图案化硅晶片厚度分布数据

160

165

170

175

180

185

190

195

200

[μm]

-150 -100 -50 0 50 100 150

测量位置 (mm)

p-p 1 到 2 µm

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products/measure

SI-F80R 系列

46

产品清单

部件 外部设备

晶片厚度测量型

SI-F80R

光谱单元 IR 传感器卡

SI-F80RU3

规格

尺寸

深度: 6

5 x M4

(63)

DIN 导轨安装

深度: 6

5 x M4

(63)

13.5

-0.01

-0.05 -0.01

-0.05

(26)

ø2.0

+1000 0

(光纤)

0 到 1.1

检测范围

0.05 到 1.1

测量范围

80 21 28 18 11000

25

8.3

9

ø7.5 ±0.1 ø12 ø8

35.9

62.1

91.3 127.5 91.3 105

6

9

124

34.5 79.5

47

22.5

22.5

47

9

79.5

124

6

类型 晶片厚度测量型

型号 传感头 SI-F80R

光谱单元 SI-F80RU3

测量范围 *1 10 至 310 μm（n=3.5 时）

可实现的检测距离 80 至 81.1 mm

光源 红外 SLD 输出 0.6 mW, 1 类激光产品（IEC60825-1, FDA（CDRH）Part 1040.10 *5）

光束直径 *2 ø25 μm

线性度 *3 ±0.1 μm

分辨率 *4 0.25 μm

脉冲持续时间 200 μs

LED 指示器 工件靠近测量中心：绿光。工件在测量范围内：橙光。工件在测量范围外：橙光闪烁。

温度波动 光谱单元 0.01% 的 F.S./˚C

环境耐性

外壳防护级 传感头 IP64

环境光 白炽灯或荧光灯：最大 10000 lux

环境温度 传感头 0 至 +50˚C

光谱单元 0 至 +35˚C

相对湿度 传感头 35 至 85% RH（无冷凝）

光谱单元 35 至 80% RH（无冷凝）

振动 传感头 10 至 55 Hz, X、Y、Z 方向上 1.5 mm 双幅，各 2 小时

光谱单元 10 至 55 Hz, X、Y、Z 方向上 0.5 mm 双幅，各 2 小时

材料 传感头 SUS

光谱单元 聚碳酸酯

重量 传感头（含连接线） 约 70 g

光谱单元 约 1.2 kg

传感头和光谱单元成对校准。两者不可互换。

*1 表示折射率为 3.5 时的厚度测量范围。（折射率为 1 时厚度测量范围为 35 至 1100 μm）

*2 表示测量范围内的最小光束直径。

*3 当测量两块玻璃板间隙并将平均测量次数设为 256（转换为折射率就是 3.5）时获得的值。

*4 当在检测距离内测量厚度为 0.3 mm 的玻璃对象并将平均测量次数设为 4096 时获得的值。

*5 FDA (CDRH) 的激光分类是基于 IEC60825-1 并根据 Laser Notice No.50 的要求而实施的。

SI-F80R

SI-F80RU3

单位 : mm

47

SI-F80R 系列

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

表面扫描激光共焦位移计

LT-9000 系列

特性

精确至直径 2 µm 的光点

0.3 µm 的解析度

可使用振荡器对表面轮廓进行准确跟踪。

可采用双扫描法进行表面轮廓测量可测量两点之间的高度差。

轮廓测量

透明物体厚度测量

应用共焦原理， 可以对透明物体表面条件和厚度进行稳定的测量。

音叉模块和振荡模块的组合使用可产生表面扫描激光。从而达到高级的位

移和剖面测量，不受目标物颜色和角度的影响。

表面扫描方法能够测量多种类型的目标物

垂直

Z 轴扫描 X 轴扫描

水平

共轴光学系统提高了测量性能。

高角度特性 胶片厚度测量

宽幅扫描可进行多种测量。

剖面测量 角度测量

OUT1:A1 PRG0

GO RUN

PROFILE +75.00 +40.00

A1:DIFF

A2:AVE

UP LIMIT

-40.00

LO LIMIT

POSITION

角度测量

角度测量可以在两点或多点测量

值的基础上，按照 0.01 度的增量

进行，测量值通过扫描激光束光点

获得。

OUT1:

OUT2: +100.00

+40.00 [+1P +2P]

RUN PRG0 DISTANCE

THICK N

E

A

R

PKx

PKx

PROG

:100

:105

: 80

OUT1

第一层表面

第二层表面

第三层表面

第一层表面

第二层表面

第三层表面

第四层表面

可以测量透明圆盘的厚度。另外，

倾斜校准功能使测量结果更可靠。

可使用一个测量器来检测具有四个目标

表面的光强峰值。可精确地测量出所选

表面。

多面物体测量功能

专家级工程技术网站

Application Finder （应用搜索器）帮助您根据需

要查找解决方案。

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LT-9000 系列

48

应用

产品清单（测量模块）

OUT1:A1 PRG0

GO RUN

PROFILE +75.00 +40.00

A1:DIFF

A2:AVE

UP LIMIT

-40.00

LO LIMIT

POSITION

OUT1:

OUT2: +100.00

+40.00 [+1P +2P]

RUN PRG0 DISTANCE

THICK N

E

A

R

PKx

PKx

PROG

:100

:105

: 80

OUT1

第一层表面

第二层表面

第三层表面

测量 PWB 线路板焊膏剖面

无铅焊接的侧面，可以用于测量异常情况，例如裂缝、桥连、焊接不足等

异常。

测量光盘厚度

可测量一个光盘的中间层。

测量 CCD 与防护玻璃罩之间的

平行度

使用相对角度测量法可以进行精确地测量

CCD 表面相对于透镜背面的倾角。

测量导线高度

小距离焊接线的高度能够可靠的测量。

测量液体密封材料的横截面面积

密封材料的横截面面积和侧面适用于粘接玻璃

基板。

类型

高精度型 长范围型

LT-9011M LT-9031M

测量范围 ±0.3 mm ±1 mm

参考距离 6 mm 30 mm

外观

扫描宽度 0 至 1,100 μm（6 步进） 0 至 560 μm（6 步进）

间隔 1 至 10 μm（4 步进） 1 至 8 μm（4 步进）

解析度 0.3 μm 0.3 μm

线性度 F.S. 的 ±0.5% F.S. 的 ±0.3%

49

LT-9000 系列

LK-G5000 系列 LK-G3000 系列 LK 系列 LJ-G5000 系列 SI-F1000 系列 SI-F80R 系列 LT-9000 系列 LS-9000 系列 LS-7000 系列 TM-3000 系列 LJ-V7000 系列

规格

控制器

型号 控制器 LT-9501H/LT-9001H LT-9501HSO(5654)/LT-9001HSO(5655)

测量模块 LT-9011M/LT-9011 LT-9031M/LT-9031

测量模块兼容性 测量模块无须工厂再校对即可互换

显示

最小显示单位 0.1 µm*5 , 1 µm2

, 0.01° 0.1 µm*5

显示范围 ±9999.99 µm, ±999999 µm2

, 9999.99° ±9999.99 µm

显微镜功能 有（仅用于 LT-9501H/LT-9011M） 有（仅用于 LT-9501HSO（5654）/LT-9031M）

显示周期 *1 10 次 / sec

接线板

模拟输出 ±10 V x 2 输出，输出电阻 : 100 Ω

定时输入 / 复位输入 / 自动置零输入 无电压输入

监视器专用电源 *2 24 VDC

控制器

输入 / 输出

限制模式 *3 3 步进限制输出 适用于 OUT1（输出 1）, OUT2（输出 2）和 NPN 开路集电极输出

二进制输出 *3

二进制输出 测量数据输出（21 位）, 可选择 OUT1/OUT2/PROFILE（输出 1/ 输出 2/ 外形）

NPN 开路集电极输出

选通脉冲输出 NPN 开路集电极输出

二进制选择输出 NPN 开路集电极输出

二进制选择输入 无电压输入

稳定输出 NPN 集电极开路输出

激光遥控输入 无电压输入

程序改变输入 无电压输入 x 3 输入

RS-232C 接口 测量数据输出和控制输入和输出（最高可选择 115,200 位 / 秒 波德率）

视频输出 符合 NTSC 系统（针式连接头）

主要功能

距离模式 *4

距离测量、通明物厚度测量、角度测量、

相关角度测量、表面选择、反黑、屏蔽、

趋势图显示和扫描宽度 / 间隔改变

距离测量、通明物厚度测量、

表面选择、反黑、屏蔽、

趋势图显示和扫描宽度 / 间隔改变

形状模式 *4

面积选择（平均数、最大、最小、最大至最小、

面积）面积计算、扫描宽度 / 间隔改变、反黑、

平滑、平均计算和形状数据输出

–

一般功能 光强聚积、显微镜（LT-9501H, LT-9501HSO(5654））、公差判断、8 程序登录、

校准、平均计算、保持模式、自动归零、和界面语言选择

额定值

电源电压 100 至 240 VAC ±10% 50/60 Hz

电流消耗 110 VA 或以下

过电压类别 II

污染等级 2

环境温度 0 至 35˚C, 无凝结

相对湿度 35 至 85%, 无凝结

重量（控制器） 约 2.4 kg

*1 根据设定而不同。

*2 监视器专用电源由基恩士指定。

*3 限制模式和二进制模式选择其一。

*4 距离模式或形状模式选择其一（距离模式仅有 LT-9501HSO（5654）/LT-9001HSO（5655）NPN 型开路集电极输出额定值设定最大为 30 mA（30 V 或 30 V 以下），剩余电压为 0.5 V。

无电压输出设定值为 ON（开启）时 1 V 电压或 1 V 以下，设定值为 OFF（关闭）时电流 0.6 mA 或 0.6 mA 以下。

*5 显示每 ±0.3 μm 的变化。

测量模块

类型 高精度型 长范围型

型号 LT-9011M LT-9011 LT-9031M LT-9031

测量范围 ±0.3 mm ±1.0 mm

参考距离 6 mm 30 mm

光源

红色半导体激光

波长 670 nm

输出 170 µW（IEC60825-1）/3.0 µW（FDA（CDRH）Part 1040.10）

激光分类 IIa 类激光产品（FDA（CDRH）Part 1040.10），1 类激光产品（IEC60825-1）

光点直径 约 ø2 µm 约 ø7 µm

扫描宽度 / 间隔 0 至 1,100 µm（6 步进）/

1 至 10 µm（4 步进）

0 至 560 µm（6 步进）/

1 至 8 µm（4 步进）

解析度 *1 0.3 µm 0.3 µm

线性度 *1 F.S. 的 ±0.5% F.S. 的 ±0.3%

取样周期 *2 640 µs 至 356 ms（14 步进） 640 µs 至 187 ms（14 步进）

温度特性（20 至 30˚C） F.S. 的 ±0.5% F.S. 的 ±0.25%

显微镜功能

有 无 有 无

视图栏 1.3 mm x 1.05 mm – 2.5 mm x 2.0 mm –

照明光源 红外线 LED

（波长 : 870 nm） –红外线 LED

（波长 : 870 nm） –

环境光度 白炽灯 / 日光灯：最大 10,000 lux

环境温度 0 至 35˚C, 无凝结

相对湿度 35 至 85%, 无凝结

重量 约 400 g 约 500 g

*1 测量的目标物是在位移模式下被测量的镜面表面物体，扫描宽度 / 间隔 120 μm/2 μm，和平均 8 次时的值。

*2 根据单个测量模式制造差异，取样周期也不同。

当 FINE（精细）模式设为 OFF（关闭）时的值。

在感测头和控制器之间的缆线（延长缆线）

型号 LT-C2 LT-C10

缆线长度 2 m 10 m

重量 约 200 g 约 700 g

* 能最多连接 3 根缆线，总长为 20 m。

LT-9000 系列

50