北京卓立汉光仪器有限公司

光电科技引领者 世界品牌制造商

AA-5000 系列原子吸收分光光度计

半导体晶圆测试系统及解决方案

卓立

汉光

名称 — 北京卓立汉光仪器有限公司

成立 — 1999 年 国家级高新技术企业、第一批国家级小巨人

2010 年 2019 年

业务 — 集光学、精密机械、电子、计算机技术于一体

特色 — 致力于提供光电差异化解决方案，成为可信赖的国际合作伙伴

大板块产品

卓立汉光

3

光谱与影像产品 工业光电与精密机械 激光与测量产品

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AA-5000系列原子吸收分光光度计

3

AA-5000系列原子吸收分光光度计

应用领域

AA-5000 系列原子吸收分光光

度计可广泛应用于冶金、石化、

地质、医学、环保、科研、农

业（土肥）、疾控、食品、材料

科学、商检等领域。目前能分

析的元素多达 70 余种，在微

量和痕量的元素分析中有极为

重要的应用。

主要特点

先进的光学系统

• 光学系统悬浮设计，震动、环境温度变化不影响仪器稳定性。

• 国内率先采用1800条/mm衍射光栅，能量充足，分辨率高。

• 单光束短光程光学系统，对砷、硒等元素亦有充足能量取得极低的检出限。

• 精心设计的氘灯扣背景技术和自吸收全波段扣背景技术，校正结果更精确。

先进的集成化设计

• 精心的一体化设计，将火焰原子化器、石墨炉以及石墨炉电源全部安装在

一个主机内，实现仪器小型化。

• 优化的电源技术延长灯的使用寿命。

自动快速切换

• 便捷的切换式工作台，二秒实现火焰/石墨炉自动快速切换。

• 光路无需再调整。

可靠的安全保护系统

• 软件自动控制整机所有参数条件，具备气路自动保护，实时监控压力对乙炔泄漏、

空气欠压、异常灭火等情况具有报警和断电、断气各种保护功能，具备液封水位自

动监控，笑气保护，石墨炉过热保护，冷却水流量监控等安全连锁功能。

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北京卓立汉光仪器有限公司

主要特点

优秀的可扩展性

• 可配备HG-01型陶瓷加热管氢化物发生装置，

实现对As、Pb、Se、Hg、Bi、Sb、Sn、Te

的超微量准确分析。

• 可配备石墨炉自动进样器，自动配制标准溶液，

实现全自动分析。

• 可配备原子吸收火焰自动进样器。

• 可选配完善的笑气/乙炔气系统，分析三十余种高

温元素。

全自动软件控制

• 波长自动定位，狭缝自动切换， 灯电流、增溢自

动设定。这些工作能在40s内完成，此指标达到

目前国际先进水平。

• 8灯转塔旋转台，完全由计算机自动控制，快速

定位，元素灯自动选择。真正实现样品中多达8

个元素含量的自动有序分析。

• 软件控制仪器自动点火、氘灯自动切换，氘灯光

斑自动调节，石墨炉电源自动开关。

• 软件智能识别电源频率，并自动匹配。

• 燃烧头自动升降

能够自动寻找最佳火焰高度，自动选择最佳分析条

件，确保分析结果准确可靠。

• 水封自动保护

浮子与电磁阀关联控制点火，防止因水封瓶缺水而

造成的乙炔泄漏，进一步提高了安全性能。

多元素分析功能

自动多元素测定：编辑方法后，配合AS-600型自

动进样器，仪器可自动设置方法参数、自动选择

波长、自动设置狭缝、自动调整元素灯位置、自

动开关氘灯、自动切换原子化器，真正实现多元

素的自动分析。

同项目多元素分析：可在同一项目中建立多个元

素，顺序测定，并打印样品的综合报告。

•

•

• 氘灯背景校正

采用氘灯背景校正模式，软件操作即可实现氘灯自

动进入光路，并执行背景扣除模式，并且通过氘灯光

斑调节机构，优化氘灯位置，最大程度上提高氘灯光

斑与元素灯光斑的同心度，使氘灯背景校正结果更

加准确。

• 石墨管温度校正

软件内置石墨管温度校正程序，可以选择国产石墨

管和进口石墨管校正程序，标配进口石墨管对于 Pb

分析典型分析次数达 1000 次以上，最大程度的降低

了客户使用成本。

• 智能变频

软件能智能识别电源频率，并自动匹配到该频率工

作，特别适合供电电源频率不稳定或其它频率的供

电电网。

• 添加辅助气体

石墨炉的内气路可使用辅助气体，如氧气，使样品

在灰化阶段充分去除有机组份，有效减少干扰，提

高分析准确性。

• 石墨炉可视系统

石墨炉可视系统使用在线的彩色摄像头对石墨炉进

行实时观测。这一特性对石墨炉方法开发是不可或缺

的。操作者可以实时观测样品从刚被注射进来到原子

化的整个过程，且在这个过程中，可以对样品的脱溶、

干燥和灰化参数予以正确的设定， 从而得到可再现

的精确结果。同时可以观察进样针位置以及光斑位

置，防止因操作不当或分析条件不合适造成的进样针

损坏或检测结果不准确。

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AA-5000系列原子吸收分光光度计

优异的石墨炉系统

成熟、先进的纵向升温方式

石墨炉原子化温度最高可达3000℃，符合国家标准对镍、钼、钒、钴等高

温元素石墨炉原子化温度的要求。

稳定性好

先进的光学系统保证了仪器的高光学能量，在使用石墨炉检测时的负高压

比国内其它产品在同等条件下低（100～200）V（各元素匀能达到此程

度），高信噪比保证了数据的稳定性。

最大进样量显著提高

特别设计的石墨炉使最大进样量高达70µL，有利于多次进样和低浓度样

品分析。

背景校正能力强

具有连续光源氘灯背景校正系统及自吸收背景校正系统，可校正高达1A

的背景干扰。

升温速率高

使用光学控温大大提高升温速率，实现快速原子化，提高分析灵敏度和准

确度。

加热温度均匀、精密度高

独特的石墨炉设计保证了原子化时的等温效果，为取得高精度的数据提供

了保障。

全钛雾化燃烧系统

采用航天高新技术，失蜡精密铸造工艺纯钛雾化室及燃烧头。

具有优异的抗腐蚀、抗氧化、抗老化能力，耐高温，使用寿命长。

人性化的进样口设计

进样口的设计减少了进样误差，使石墨炉进样变得简单，保证了即使手动

进样也能取得良好的精密度。

设计先进的石墨炉

石墨锥磨损后可方便更换，保证了电极导电性能的稳定，大大提高了仪器

分析效率。

8灯自动转塔

仪器基本配置

本仪器为单光束仪器，原子化器为火焰原子化器/石墨炉原子化器，根

据不同的原子化器和控制功能形成多种配置。

型号

AA-5000

配置 说明

单火焰

单石墨炉

标配型

单火焰原子化器

单石墨炉原子化器

火焰、石墨炉双原子化器

-4 0 4

2500

2000

1500

1000

500

温度/℃

纵向位置（ｘ轴）/ｍｍ

原子化等温分布图

纯钛燃烧头

人性化的进样口设计

炉体和石墨锥

一种原子吸收光谱仪石墨炉

高度自动化的数据处理工作站

软件界面

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北京卓立汉光仪器有限公司

• 友好的操作界面

基于Windows XP操作平台，多语言支持，如英文、韩

文等，能够快速便捷地得出分析报告。

• 仪器连接采用网口通讯方式，可远程调入主机数据

• 强大的样品分析功能及容错处理，灵活修改曲线拟

合方程

• 报告打印功能

灵活的报告打印功能，根据用户设置选择不同的打印

报告。

• 数据管理功能

实现对历史管理备份功能以及相关的后续处理，具有

访问控制、权限分配、审计追踪、电子签名和备份恢

复等功能。

• QA/QC控制功能

系统自动判断分析结果是否适当，如果超出范围则系

统自动按照设置需求重新测量。关于本系统的QA/QC

功能主要包括：标准偏差（SD）检测、相对标

准偏差（RSD）检测、相关系数检测、QC检

测、基线漂移（灵敏度修正）检测、样品上限

检测。

• 仪器控制功能

包括元素灯自动选择、波长自动扫描、狭缝自

动切换、灯电流自动设定等。

• 状态监测功能

实时动态监测仪器各部件工作状态。火焰法：

监测燃烧头类型（空气乙炔或笑气乙炔燃烧

头），监测水封液位，监测燃气、助燃气开关

及压力，监测燃气流量，乙炔漏气报警等。石

墨炉法：过电流保护，监测水温、水流量，监

测保护气压力等。

• 点灯时间管理功能

自动记录元素灯使用时间。

• 石墨炉使用次数监控

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AA-5000系列原子吸收分光光度计

技术指标

• 光学系统

波长范围：（190～900）nm 光谱带宽：（0.1、0.2、0.4、1.0、2.0）nm五档自动切换

单色仪：C-T光栅单色仪 波长准确度： ±0.1nm

波长重复性： ≤0.05nm 光栅刻线：1800条/mm

闪耀波长：250nm 基线稳定性：≤0.003A/30min(动态)

分辨率：优于0.1nm ≤0.002A/30min(静态)

• 火焰分析

Cu特征浓度：≤0.02 µg/mL/1% 检出限：≤0.003 µg/mL

精密度RSD：≤0.45% 燃烧头：可配100mm全钛燃烧头或50mm不锈钢燃烧头

位置调节：高度、角度最佳调节，一分钟内完成火焰/氢化物换装

雾化器：标配高效玻璃雾化器和全钛金属雾化器；全钛金属雾化器适用于含腐蚀性HF样品的分析

• 石墨炉分析

Cd特征量：0.3×10-12g 检出限：0.2×10-12g

温控范围：室温～3000℃ 精密度RSD：≤1.8%

控温程序：最大20阶升温程序，阶梯、斜坡、 光控升温速率：≥3000℃/秒

保持三种升温方式 功率升温速率：≥2000℃/秒

升温模式：功率升温和光控快速升温 控温方式：室温～1000℃采用功率控温，1000℃～3000℃

采用光控升温，控温精度≤1%，温度重现性≤0.5%

• 背景校正

火焰、石墨炉均可实现背景校正。

校正方式：氘灯、自吸背景校正（可选）。

校正能力：在背景吸收值接近于1.0Abs时，仪器具有60倍以上的背景校正能力。

• 数据处理

测量方式：火焰吸收法，火焰发射法，石墨炉法，氢化物法。

分析方法：线性方程、非线性方程、标准加入法。

打印输出：校准曲线、信号图谱、仪器条件、分析参数和分析结果等均可自动存储和打印。

• 石墨炉电源内置的一体化主机

尺寸：890(长)×570(宽)×490(高)mm，125kg。

电源：～220V 50Hz 单相供电，主机500W，石墨炉5kW。

鉴定元素Cd和高温元素Mo高精度分析

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北京卓立汉光仪器有限公司

高精度石墨炉分析系统

石墨炉分析系统最重要指标是分析数据的重复性，超微量级分析对分析数据的精密度在不同含量水平上有

不同的要求，各个行业都有明确地规定，一个合格的石墨炉分析系统必须能满足这一重要指标。此外还有准

确的温度控制、性能优异的石墨管、快速升温电路、信号快速检测电路以及优秀的石墨炉分析操作软件等辅

助手段保证分析数据的精密度。

边缘波长元素的高精度分析

处于原子吸收分析波长边缘区的代表元素是As

(193.7nm)和Cs(852.1nm),它们的分析线能量低，

处在仪器单色器光栅的低端和高端，因而将这两

元素的分析性能用作仪器光学性能的评估。

应用5µg/L的Cs溶液20µL连续七次手工进样获得的

精密度2.95%(RSD)和应用30µg/L的As溶液20µL连

续七次手工进样获得的精密度2.75%(RSD)均达到

了石墨炉分析的优秀水平。

Cd在石墨炉分析中具有极高的灵敏度，因而在此

选取其作为石墨炉分析性能的鉴定元素。Mo是一

个在石墨炉中典型的易生成碳化物的高温元素，

因而它的石墨炉分析数据往往反映石墨炉系统的

高温性能、石墨管的品质和高温元素的灵敏度。

图1 As的线性和精密度图

元素：As 灯电流：8mA

光学带宽：0.4nm 负高压：310V

精密度测试 元素：Cs 灯电流：10mA

光学带宽：0.2nm 负高压：280V

精密度测试

图2 Cs的线性和精密度图

元素：Cd 灯电流：3mA

光学带宽：0.2nm 负高压：300V

精密度测试

图3 Cd的线性和精密度图

元素：Mo 灯电流：3mA

光学带宽：0.2nm 负高压：254V

精密度测试

图4 Mo的线性和精密度图

应用1µg/L Cd溶液（国标使用3µg/L浓度）20µL

连续七次手工进样获得的精密度0.95%(RSD)和应

用40µg/L Mo溶液20µL连续七次手工进样获得的

精密度1.49% (RSD)，均达到了非常满意的精度。

优秀的石墨炉设计

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AA-5000系列原子吸收分光光度计

从两种元素的线性关系和不大于300伏的负高压值可看出该石墨炉系统具有很高的灵敏度和整机稳定

性，即使像Mo这种高温低灵敏的元素也具有令人十分满意地灵敏度。

图5 石墨管剖面图

图6 石墨炉温度分布图

-4 0 4

纵向位置 轴(x )/mm

/ 温度 ℃ 2500

2000

1500

1000

500

石墨管是石墨炉分析的核心部件。除了石墨材质

的良好品质外，优秀的石墨管机械设计是形成等

温和类等温状态的关键因素。图5是AA-5000仪器

的石墨管剖面图和中间区的温度示意图。

为了取得原子化区的等温条件，在石墨管中部加

入两个小内径的环，同时加薄两环间的管壁从而

增大了电流密度保证了在8mm长、170mm3容积

内形成几近等温的原子化条件，有利于提高灵敏

度、降低干扰并提高了测量精度。经测定证实在

这8mm长的原子化区域内呈现出等温分布（图

6）。并且这种设计能够容纳高达70µL的样液。

从以上三方面以实测结果可看出AA-5000原子吸

收分光光度计的石墨炉分析系统具有优秀的测定

准确度和精密度，是国内石墨炉原子吸收分光光

度计中少见的高精度石墨炉分析系统，加之它是

一个低功耗的小型石墨炉（最大5kW，220V），更

有利于在实验室中配置，所以是一个成熟的、优

秀的、可与国外先进石墨炉媲美的石墨炉分析系统。

HG-01型氢化物发生器

特 点

蠕动泵进样、电热陶瓷加热石英管原子化器，能对原子吸收法灵敏度较低的八种元素（As、Se、Hg、

Pb、Bi、Sb、Sn、Te）进行高灵敏度的超微量分析，操作简便、分析速度快、干扰少，可方便地与任何

原子吸收光谱仪配接，进行氢化物——原子吸收法测定。

蠕动泵三通道连续进样方式，每分钟进样量为(1～5)mL。

选用美国Tygon耐磨长寿命泵管，泵管寿命长达(500～1000)h。

采用电热陶瓷管加热方式，寿命长、抗氧化、无污染，安全

可靠，即使在1000℃高温下长期加热，也不会对石英管造

成损伤。

升温速度快，控温范围为(100～950)℃,控温精度为±2℃，

能够对最佳原子化温度准确选定。

整机结构紧凑、小巧美观，可方便地安装在原子吸收雾化室

轴座上。

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北京卓立汉光仪器有限公司

AS-500型石墨炉自动进样器

多功能高精度的石墨炉自动进样器。在石墨炉分析时由于配接了本装置，使得分析精度（RSD）优于

1％。自动配制各种溶液浓度及自动添加化学改进剂，使分析工作变得准确简便，并大大减轻繁琐的配液

制样工作。真正实现无人监管（人员不在场）的全自动化石墨炉分析。

特 点

最多可放置70个样品杯和6个用于放储备液、空白溶液

及化学改进剂的25ml玻璃杯。

屏幕显示导引每一步的操作程序，使您很方便地设置各

项功能。

自动制作校准曲线。自动地从单一标准溶液中配制出多

达20个不同浓度的标准，直接注入石墨管。

自动取液精度达到0.1µL，并保持石墨管内进样点始终

不变，分析精度优于1%。

从吸取每个样品到吸取不同标样及化学改进剂均由计算

机控制全自动进行。

同一样品最多可重复99次分析。最大进样量达70µL。

全部溶液注入后，自动启动石墨炉加热程序。

每次进样结束后系统立即进入自动清洗程序，解决了样

品污染的问题。

自动稀释功能。

AS-600型火焰石墨炉自动进样器一体机

最多可放置133个样品杯（含5个试剂杯）,支持多种进样

盘及塑料和石英进样管。

一次安装，切换方法时不用搬动进样器主机，即可实现火

焰石墨炉自动进样，不使用进样器时，也不用拆卸即可手

动进样。

软件可控制取样深度及进样深度。

从吸取每个样品到吸取不同标样及化学改进剂均由计算机

控制全自动进行。

全部溶液注入后，自动启动石墨炉加热程序。

每次进样结束后系统立即进入自动清洗程序，解决了样品

污染的问题。

自动稀释功能。

石墨炉进样支持热进样和预约功能。

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EW-900CH型冷却水循环装置

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AA-5000系列原子吸收分光光度计

AS-200型火焰自动进样器

EW-320AC型无油低噪音空压机

• 具有123个样品位置，6个储备液、空白溶液等位置。

• 原吸工作站反控自动设定进样时间、次数。

• 自动清洗。

特 点

• 大容量开口浴槽，便于清洗，方便进行恒温水浴实验。

• 多种报警保护，包括水位报警、水流报警、超温报警。

• 多重可选净化水质配置：

一重选择：全不锈钢水路，水质洁净；

二重选择：内置过滤装置，保证水质。

EW-900CH型冷却水循环机是专为高品质需求而设计，配

置齐全，保护和报警系统完善，能满足各行业的应用；独

有的多重可选净化水质的配置，确保水质洁净；具有多种

报警与输出接口，可提供水位报警信号、超温报警信号、

水流报警信号。所有配置可根据用户的具体要求定制。

• 采用双缸活塞式压缩机，运行平稳可靠，纯净无油。

• 采用三级过滤（两级进气过滤、一级出气过滤），过

滤加精细，气体纯净。

• 专业为原子吸收分光光度计提供纯净、恒压、干燥压

缩空气。

型号 气流量 调压范围 宽深高（mm) 特点 备注

EW-320AC 20L/min 0.005～0.3 Mpa 400×300×635 无油双活塞压缩机

箱式静音 手动排水

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