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Sievers\* M500e总有机碳（TOC）分析仪
准确精确随时待用
SieversM500e总有机碳TOC分析仪实现关键有机污染物在线检测，优化产量，并确保超纯水质。
Sievers产品迈上新台阶
M500e分析仪在原Sievers500RLeTOC分析仪的稳定性基础上，进一步完善了界面，提高了超低浓度检测的准确性，并能在几分钟内得出检测结果。M500e是Sievers第三代在线分析仪，使在微电子领域中领先长达数十年的Sievers产品迈上了一个新的台阶。M500e采用Sievers膜电导技术，无需试剂，可实现低于1ppb TOc的准确性、精确性和稳定性。
SSeTilT 贝
卓越的性能和特性适用于微电子行业
2\*
加快冲洗：双倍速度
为使正常运行时间和低浓度数据收集能力最大
化，M500e采用更快速的冲洗时间，可实现：
一冲洗周期比上一代产品快 50 % 以上（低至3分钟）最多数据生成，即使在维护或消耗品更换后也是如此
主要特点
可选项
一电导率/电阻率一用WiFi和以太网进行远程数据访问
10英寸触摸屏
一界面直观一设置一目了然一耐化学腐蚀
设计
一IP55和全IP接口
一占地面积与500RLe相同，升级简便
取样系统
一集成在线取样系统（iOS，Integrated OnlineSamplingSystem）能够添加标准品一基本型号带不锈钢取样器
250 ppb
1 ppb
低浓度校准和验证协议：确保质量和控制新低浓度校准（250ppb邻苯二甲酸氢钾KHP）和确认（100ppb异丙醇IPA）
使用经认证的标准品，在接近操作范围进行校准，并使用难以氧化的化合物进行确认。
自适应自动归零：根据变化自动调节
根据T0C偏移量的变化，M500e自动确定TOC自动归零频率。这允许：
校正结果间差异
一无需手动变更自动归零频率
-小于1ppbTOC的精确性和稳定性仪器间匹配
Sievers膜电导TOC检测技术
专利的透气膜仅选择性地透过有机物氧化产生的CO
增强响应性和快速分析
一3分钟分析时间一加速冲洗一自适应自动归零一低浓度校准和确认
卓越的分析性能
TOC分析范围：0.03 ppb - 2.5 ppm
一电导率范围：0.01-800 μ S/cm（也显示为电阻率）
一仪器和所有接口均为IP55
无缝界面和数据管理
一设置和操作更快、更简单
一应答式且信息丰富的触摸屏显示与用户界面
一现代化的全面的数据管理和数据传输组合
应用领域
微电子
始终如一的超纯水（UPW）生产对于微电子制造业至关重要。通过使用SieversM500e实施TOC监控，工厂能够：
一确保水质符合推荐的TOC限值
一确保有机物的完全回收，尤其是在不利于氧化的环境中
一提供关于源水、树脂系统和生产过程中所存在化合物的可靠回收数据，从而能够采取前瞻性措施，保护产品质量，并帮助进行系统故障排除
一未检出的有机物可能影响光刻，我们帮助制造运营部门，战胜这种风险
其他超纯水应用
为实现最优运行，蒸汽发生水系统需要超纯水质。使用M500e，工厂能够：
一使用一个参数：TOC，即可分析低浓度污染物（例如糖、清洁剂、冷却液或有机酸）
一确保给水质量，以减轻损失和工厂停产时间
一检测换热器中的污染物，并保护抛光系统和设备
一辨识是否存在会造成腐蚀性环境的化合物，从而避免工厂停产和设备损坏
一根据各电力行业协会的建议，保证TOC已限制为<100-200 ppb
| 总有机碳 | |
| 线性范围 | 0.03—2500 ppb（以TOC计） |
| 准确度 | 测量值的±5%；±0.1ppb |
| 精确度 | 测量值的±1%；±0.03 ppb |
| 分析模式 | Online（在线）、OnlineAveraged（在线平均）、OnlineTimed（在线定时）、Grab（吸样） |
| 分析时间 | 连续在线检测为3分钟 |
| 臭氧相容性 | 连续时50ppb臭氧；每天2小时200ppb臭氧 |
| 样品流速（标称） | 0.25 mL/min |
| 外部流速 | 最低50mL/min |
| 样品温度 | 1-95℃（34-203°F）（承受短期蒸汽暴露） |
| 样品压力 | 100 psig以内 |
| 干扰物 | 对有机杂原子不敏感 |
| 校准稳定性 | 通常稳定12个月 |
| 显示读数 | 3位有效数字 |
| 电导率 | |
| 范围 | 0.01 to 800 uS/cm |
| 准确度 | 0.005μS/cm或1%（取较大者） |
| 精确度 | ≤1.0%RSD |
| 仪器 | |
| 电源要求 | 100-240VAC,70W,50/60 Hz |
| 保险丝 | 无用户需更换的保险丝 |
| 正常运行环境 | 仅用于室内 |
| 环境温度 | 5-40°C (41-104°F) |
| 最大相对湿度 | 95%以内（非冷凝） |
| 最高海拔 | 3,000 m (9,843 ft) |
| 输入 | 两个独立的二进制输入 |
| 输出 | 串行（RS-232），一个USB，三个4-20mA，四个警报，一个以太网 |
| 安装/过电压类别 | I（防止I类电源中出现瞬变） |
| 安全认证 | 通过CE、ETL认证，符合UL标准61010-1；通过CSA22.2No.61010-1认证 |
| 污染级别 | 2（通常仅有非导电污染） |
| 显示 | 背光10.1英寸，1280×800，触摸屏显示 |
| 尺寸 | 高：43.4cm（17.1英寸）宽：55.9 cm（22.0英寸）深：28.7cm（11.3英寸） |
| 重量 | 13.6kg（30磅）[标准iOS] |
| 防护等级 | IP 55 |
| 可选Wi-Fi | 802.11ac/a/b/g/n双频2.4/5 GHz |
| 工业通信协议 | Modbus TCP/IP |
