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三坐标测量机

产品样本 No.C16005(10)

三坐标测量机用测头

三坐标测量机用测头列表

扫描测头

■高精度 · 低测力

扫描测头

MPP-310Q

■高精度触发式测头

TP7M

■带手动测座的触发式

测头

MH20i

■带手动测座的触发式

测头

MH20

■小型高精度

触发式测头

TP200

■微型接触触发式测头

UMAP-CMM

■小型触发式测头

TP20

■可测有效螺纹深度测头

MPP-10

■高精度

扫描测头

SP600Q

■非接触式激光测头

SurfaceMeasure

■高精度

扫描测头

(支持超长测针)

SP80

■影像测头

QVP

■小型、高精度型

扫描测头

SP25M

■三坐标测量机用

定心显微镜

CF20

●第 ▲

3,4

●第 ▲

9,10

● 第

▲

11,12

● 第 ▲

21,22

● 第 ▲

27,28 ● 第 ▲

29,30

● 第 ▲

23,24

● 第 ▲

25,26

● 第 ▲

● 第

▲

13,14

● 第

▲

15,16

●第 ▲

5,6 ●第 ▲

7,8

■用于表面粗糙度测量

的测头

SURFTEST PROBE

● 第 ▲

17,18

非接触式测头

特殊用途测头

触发式测头

三坐标测量机用测头列表 3～37页

对应多样的测量工件

高精度，高效率测量的三丰测头

■高速5轴扫描测头

REVO-2

● 第 ▲

■5轴控制触发式测头

系统

PH20

● 第 ▲

5轴控制系统的测头

■机动测座

PH10M/PH10MQ

● 第 ▲

31,32

测座

■手动测座

MIH

■手动测座

PH1

●第 ▲ 33,34 ●第 ▲ 35,36

触发式测头应用▲

测针小知识 39页

三坐标测量机用测针的辨别方法 41页

测针 42页

安装工具、硬测头 60页

标准球 61页

固定夹具 62页

■自动测头交换架

ACR3

● 第 ▲

测头交换架

高精度扫描测头

MPP-310Q，是可以通过V2≦0.3µm(安装在LEGEX时的参考值)时的扫描测

量【在接触工件的状态下移动的同时，收集大量坐标值的测量方法】，较高

精度点测量(σ≦0.1µm：安装在LEGEX时)，中心点测量，进行数据收集的

CNC三坐标测量机用的多功能测头。

全方位扫描

MPP-310Q内置高精度光栅尺，每个方向(X轴，Y轴，Z轴)的最小分辨力都

为0.01µm，这也使得在任何方向读取测针位移变得可能。各轴滑动部分采

用的空气轴承有助于最小方向性的测量。

低测力

测针与工件接触的同时，普通的接触触发式测头，即使仅需很少的测力来

生成触发信号，在接触之后紧随而来的超程时间段内，可能需施加几十或

者几百克的测力。另外，其它生产厂家生产的某些扫描测头可能采用这样

一种结构：为了使用更长的测针，使用电机驱动机构来强行决定探测位

置，迫使测头实际上产生更大的测力。

相反，MPP-310Q可减小其测力，最小可达到0.03N。因此，它甚至能测量

弹性工件，例如树脂等，完全不会损害它们本身的结构。

快速扫描

对于扫描测量，可选择以下扫描方法之一来测量：一种是扫描自动跟随未

知几何形状来进行，这种方法称为未知几何形状扫描，另外一种扫描是根

据事先给出的测头尖端轨迹来进行，这种方法称为已知几何形状扫描。如

果采用已知几何形状扫描，快速扫描速度可达120mm/s。按照惯例，通过

点测量来评估诸如线，圆等几何形状，但是，对于评估特别精加工工件

的平面度或者圆度，最好通过评估目标工件上的更多

测量点来提高测量结果的可靠性。理所当然地，如果

测量的点很多，触发式测头需要相当长的一段时间来

完成目标工件的逐点测量。相比之下，如采用MPP310Q，即使需测量一个内径为ø100mm的目标工件上

的1000个测量点，也能在几秒钟之内完成测量。另

外，根据所要求的测量精度，通过改变测量速度，测

量也能高效完成。

选配件

有各种各样的配件可选，包括可同步扫描的旋转台MRT320和自动测针交换

系统。

中心点测量

MPP-310Q 规格

MPP-310Q 测量范围 ±1mm

分辨力 0.01µm

最大允许探测误差MPETHP (JISB 7440-4: 2003) 1.1µm(60sec)(LEGEX500/700/900: 当使用ø4×18mm测针时)

最大允许扫描探测误差PFTU.MPE(JIS B 7440-5: 2013) 0.4µm(LEGEX500/700/900: 当使用 ø4×18mm测针时)

弹性系数 0.2N/mm

最大测针长度横向和竖向的长度都为200mm*1

最大测针质量 75g*1

测针安装 M4螺纹

最大追踪速度 120mm/s［已知几何形状扫描］

空气流量 30NL/min

测座不需要

适用的型号 CNC三坐标测量机*2

自动测针交换系统(可选) 可安装的测针模块数目 4个标准端口[端口1专用于标准测针，(用于校准目的)］

最多可扩展为10个端口。注意，所有的测针都应在同轴上。

*1 增加测针长度或者测针质量会降低测量准确性。

*2 请注意一些测头会存在安装上的限制或者不能安装的情况。

高精度、低测力扫描测头 MPP-310Q

尺寸

套装配置

选件自动测针交换系统

尺寸

MPP-310 MPP-310Q

96mm

ø14mm

ø46mm ø46mm

ø88mm ø92mm

96mm

82mm

50mm 147.5mm 32mm 50mm

42mm 50mm 175.5mm

LEGEX 系列和 MPP-310Q 的环规扫描测量实例

新支架

测量范围

ø50 ø50

80 60 80 60 80 60 80

200

115

110

600

单位 : mm

4 6

Sø4红宝石测球 Sø4红宝石测球 18

100

详细

720

108

单位 : mm

主装置参考序号描述货号数量质量(kg) 备注

测针自动交换系统

No.06ABU500

1 测针自动交换支架 06ABG597 1 5

13.1

提供有4个端口进行交换

2 测针安装组件 02AQD042 3 0.04 用于安装一个支架在三坐标测量机底座上

3 辅助板 06ABG598 1 8

4 MS4-4R13.5-S 06ABK816 3 0.024

5 MS4-测针中心座 06ABH817 3 0.012

6 标准球 06ABH818 1 0.04 用于重新校准

* 有些零件不可单独购买。

* 安装的主机不同，货号也可能不同。

主装置参考序号描述货号数量质量(kg) 备注

MPP-310Q(S)

测头套装

02AQG350

1 MPP-310Q 测头主体 — 1 1.78

3.3

其中包括1个测针安装组件

2 减振油 02AQD090 1 0.017 硅油(2000CS)

3 六角扳手初始2/GXL-20 A731-006 1 0.0015

4 六角扳手初始3/GXL-30 A731-007 1 0.0043

5 收纳箱 02AQG220 1 1.5 用于存放MPP-310Q的木箱

MPP-310Q

系统套装

套装No.

06AEE097

6 MS4-4R13.5-S 06ABK816 1 0.0023

7 MS4-4R33C-S 06ABT110 5 0.0048

8 MS4-EXT30C 06ABN848 2 0.0051 M4-M4 陶瓷延长杆 L=30mm

9 MS4-EXT50C 06ABN849 1 0.0067 M4-M4 陶瓷延长杆 L=50mm

10 MS4-EXT100C 06ABN850 1 0.011 M4-M4 陶瓷延长杆 L=100mm

11 MS4-测针关节 06AAD460 1 0.0145

12 MS4-测针中心座 06ABH817 1 0.04

13 测针工具 181279 2 0.0035 用于安装/拆卸M4测针

14 MPP-310Q 用户手册 99MCA181A 1 0.15

15 EXT CONTOUR 电缆 A 06ABP411 1 0.3

16 EXT CONTOUR 短电缆 06AEC620 1 0.3

17 AC电缆 06AAP283 1 0.11 适用海外规格

夹紧装置 18 MPP-310 夹紧装置控制器(桌面式规格) 02AQG231 1 1.8

高精度/低测力扫描测头 MPP-310Q

支持长测针的高精度测头

SP80可安装高精度测针长达500mm的测头(水平和垂直方向)。它是CNC三

坐标测量机用的多功能测头，不仅能进行扫描测量(是一种通过一边沿着与

工件接触的路径行进，从而一边采集大量坐标数据的测量方法)，而且能进

行高精度的点测量，并从中心点测量中采集数据。

快速扫描

对于扫描测量，可选择以下扫描方法之一来测量：一种是扫描自动跟随未

知几何形状来进行，这种方法称为未知几何形状扫描，另外一种是扫描根

据事先给出的测头尖端轨迹来进行，这种方法称为已知几何形状扫描。如

果采用已知几何形状扫描，快速扫描速度可达120mm/s。按照惯例，通过

点测量来评估诸如线，圆等几何形状，但是，对于评估特别精加工工件的

平面度或者圆度，最好通过评估目标工件上的更多测量点来提高测量结果

的可靠性。理所当然地，如果测量的点很多，触发式测头需要相当长的一

段时间来完成目标工件的逐点测量。

相比之下，如采用SP80，即使需测量一个内径为ø100mm的目标工件上的

1000个测量点，也能在几秒钟之内完成测量。另外，

根据所要求的测量精度，通过改变测量速度，测量也

能高效完成。

选配件

有各种各样的配件可选，包括可同步扫描的旋转台

MRT320和自动测针交换系统。

SP80 规格

SP80 测量范围 ±2.5mm

最大允许扫描探测误差 MPETHP≦2.0µm(CRYSTA-Apex S700/900: 当使用 ø8×60mm测针时)

弹性系数 1.8N/mm

最大测针长度 500mm*1

最大测针质量 500g*1

测针安装 M5螺纹

最大追踪速度 120mm/s［已知几何形状扫描］

测座无

适用的型号 CNC 三坐标测量机*2

*1 增加测针长度或者测针质量会降低测量准确性。

*2 请注意一些测头会存在安装上的限制或者不能安装的情况。

支持长测针的高精度型扫描测头　SP80

中心点测量

尺寸

6mm 106mm

11mm

22mm

5 x M5

SH80

SH80 主机

KM80

21mm

150mm

41mm

套装配置

KM80

SP80 主机

SH80

SP80主机

描述货号质量(kg) 备注

SP80测头套件#1 06ABT513 2.6 SP80主机、SH80、KM80、ø8×60mm测针　各1个

SP80主机

描述货号质量(kg) 数量

SP80 适配器 06ABT587 0.3 1

SP80 测头电缆 06ABT588 0.1 1

SP80 EXT 电缆 06ABT590 0.2 1

IU 80 06ABT525 0.51 1

SP80电源箱 06ABT591 1 1

OPT200S-MPP2 06ABN865 0.2 1

OPT200 附件 06AAS741 0.4 1

Control ROM (主机) 06ZAA058 0.01 1

Control ROM (可选) 06ZAA059 0.01 1

质量(Mass)kg 3.73

* 有些货号不可单独购买。

* 装配的主机不同，货号也可能不同。

MRS

SCP80

34mm

230mm

128mm

SP80测针交换系统套装1(600mm横梁规格)/06ABT766

描述货号数量质量(kg)

MRS 套装#2 06ABT529 1 3.5

SH80 06ABT523 1 0.24

SCP80 06ABT524 2 2.1

辅助板 06ABG598 1 8

ACR3紧固螺钉 06ABP467 1 0.05

质量kg 13.89

SP80测针交换系统套装2(1000mm横梁规格)/06ABT767

描述货号数量质量(kg)

MRS 套装#3 06ABT530 1 3.7

SH80 06ABT523 3 0.48

SCP80 06ABT524 4 4.2

辅助板 06ABG598 1 8

ACR3紧固螺钉 06ABP467 1 0.05

质量kg 16.43

即使使用超长的测针，仍能实现高精度测量 SP80

选配件自动测针交换系统

紧凑、高精度型扫描测头

SP25M是体积小巧的高精度扫描测头，其外径为ø25mm。

这款多功能测头适合于CNC三坐标测量机。它不仅能进行扫描测量(是一种通

过一边沿着与工件接触的路径行进，一边采集大量坐标数据的测量方法)。而

且能进行高精度的点测量，并从中心点测量中采集数据。

快速扫描

对于扫描测量，可选择以下扫描方法之一来测量：一种是扫描自动跟随未知几

何形状来进行，这种方法称为未知几何形状扫描，另外一种是扫描根据事先给

出的测头尖端轨迹来进行，这种方法称为已知几何形状扫描。如果采用已知几

何形状扫描，快速扫描速度可达120mm/s.按照惯例，通过点测量来评估诸如

线，圆等几何形状，但是，对于评估特别精加工工件的平面度或者圆度，最好

通过评估目标工件上的更多测量点来提高测量结果的可靠性。理所当然地，如

果测量的点很多，触发式测头需要相当长的一段时间来完成目标工件的逐点测

量。

相比之下，如采用SP-25M，即使需测量一个内径为ø100mm的目标工件上的

1000个测量点，也能在几秒钟之内完成测量。另外，根据所要求的测量精度，

通过改变测量速度，测量也能高效完成。

通过自动改变测头方向，提高设置和测量效率

SP25M测头可以安装在PH10M/PH10MQ的测座上，PH10M/PH10MQ可自动改

变测头方向，与传统类型固定在下方的扫描测头相比，大大减少了测量的准备

时间和实际测量时间，另外，通过使用其它测头，以及借助于测头交换系统的

优势，使得测量不同类型的加工件时实现全自动化变得可能。

选配件

可用自动测针交换系统。

中心点测量

SP25M 规格

SP25M 测量范围 ±0.5mm

最大允许扫描探测误差 MPETHP≦2.3µm(CRYSTA-Apex S700/900: 当使用 ø4×50mm测针时)

弹性系数 0.4N/mm

超程范围 ±2.0mm(XY) ±1.7mm(Z)

最大测针长度 200mm(当使用SM25-3或SH25-3时)

测针安装 M3螺纹

最大追踪速度 120mm/s［已知几何形状扫描］

测座必需　PH10M/PH10MQ

适用的型号 CNC三坐标测量机

*增加测针长度或者测针质量会降低测量准确性。

紧凑、高精度型扫描测头 SP25M

尺寸

配置

45.55mm

62.5mm

74.05mm

16.95mm

26.25mm

111.65mm

195.4mm

48.05mm

33.85mm

2mm

SH25-3

SM25-3 SM25-4

SH25-4

TM25-20 SM25-1 SM25-2

SH25-2

SH25-1

TP20※1

模块

SP25M

测头壳体 ø13.25mm

ø25mm

可安装测针

20～50mm

可安装测针

20～75mm

整个测针长度在 ( 50 - 105mm之间)

可安装测针

20～100mm

整个测针长度在 ( 120 - 200mm之间)

ø4mm

SH25-2固定

SH25-3固定

※2

可安装测针

20～200mm

整个测针长度在 ( 120 - 310mm之间)

63.05mm

ø5.5mm

SH25-4固定

310.85mm

描述货号备注

SP25M全部组合套件* 06ABS969 SP25M・SM25-1/2/3・SH25-1/2/3・TM25-20全部套件

SP25M测头套件#1 06ABS970 SP25M・SM25-1・SH25-1全部套件

SP25M测头套件#2 06ABS971 SP25M・SM25-2・SH25-2全部套件

SP25M测头套件#3 06ABS972 SP25M・SM25-3・SH25-3全部套件

SM25M模块套件#1 06ABS452 SM25-1・SH25-1全部套件

SM25M模块套件#2 06ABS453 SM25-2・SH25-2全部套件

SM25M模块套件#3 06ABS454 SM25-3・SH25-3全部套件

SH25-1测针架 06ABS455

SH25-2测针架 06ABS456

SH25-3测针架 06ABS457

TM25-20 TP20适配器套件 06ABS475 TP20标准测力模块套件和TM25-20

TM25-20 TP20适配器 06ABS473

* 有些货号不可单独购买。

* TTP模块(TM25-20, TP20模块)支持测量软件MCOSMOS V2.4 以上版本。

* TP20模块为选件。

* SP25M内部使用大功率的LED光源。

请根据用户手册使用，且在使用过程中小心谨慎。

*可以安装于MRS机架上。

28mm

39.5mm

35mm 74.5mm

21.6mm

113.8mm

166mm

219.5mm

FCR25-L6 (6 PORT)

166mm

FCR25-L3

113.8mm

FCR25

PA25-5H

PA25-20

小型、高精度型扫描测头 SP25M

选配件自动扫描模块/自动测针交换系统

*1 TP20 模块为选件。

*2 SM25-4 需定制。

小型、高精度型扫描测头

SP600Q高精度扫描测头，可安装于CRSTA-Apex S500系列上。它不仅能进

行扫描测量(是一种通过一边沿着与工件接触的路径行进，一边边采集大量

坐标数据的测量方法)，而且能进行高精度的点测量。直接安装此测头到

CRYSTA-Apex S500 Z轴可有效使用测量空间。

快速扫描

对于扫描测量，可选择以下扫描方法之一来测量：一种是扫描自动跟随未

知几何形状来进行，这种方法称为未知几何形状扫描，另外一种是扫描根

据事先给出的测头尖端轨迹来进行，这种方法称为已知几何形状扫描。如

果采用已知几何形状扫描，快速扫描速度可达120mm/s。按照惯例，通过

点测量来评估诸如线，圆等几何形状，但是，对于评估特别精加工工件的

平面度或者圆度，最好通过评估目标工件上的更多测量点来提高测量结果

的可靠性。理所当然地，如果测量的点很多，接触触发式测头需要相当长

的一段时间来完成目标工件的逐点测量。

相比之下，如采用SP600Q，即使需测量一个内径为ø100mm的目标工件上

的1000个测量点，也能在几秒钟之内完成测量。另外，根据所要求的测量

精度，通过改变测量速度，测量也能高效完成。

选配件

可用自动测针交换系统。

SP600Q 规格

SP600Q 测量范围 ±1mm(X,Y,Z)

最小位移量 0.15mm

弹性系数 1.176N/mm(120gf/mm)(X,Y,Z各轴)

测力 0.17～1.18N(18～120gf)取决于测针的位置

最大测针质量最大20g*1

最大测针长度最大200mm*1

测针安装 M4螺纹

安装方法三坐标测量机直接轴套安装*2

*1：增加测针长度或者测针质量会降低测量准确性。

*2：SP600Q测头必须由三丰服务工程师安装，请注意：如顾客自行安装或者拆卸，不在保修范围之内。

高精度扫描测头 SP600Q

尺寸

配置

描述数量备注

A)木箱内提供的组件

SP600Q测头 1 扫描测头主体

测针模块 1 安装在SP600Q主装置

测针 1 带ø8mm球形针尖的50mm长陶瓷测针(货号：06ABN843)

M4测针工具 1 测针安装/拆卸工具

B)全套配件

测针 1 带ø4mm球形针尖的50mm长陶瓷测针(货号：06ABQ149)

关节 1 MS4测针关节(货号：06AAD460)

测针中心座 1 MS4测针中心座(货号：06ABN857)

延长杆 1 MS4-EX50C(货号：06ABN849.)

保证书 1

用户手册 1

高精度扫描测头 SP600Q

选配件 SCR600测针交换系统

235 mm

31.50 mm

225 mm

ø55 mm

高速扫描

Surface Measure是这样一种测头，它通过用激光照射工件表面，从工件上

捕获坐标数据。用这种方法可以进行快速数据采集，可达到每秒钟75,000

点*。

* 使用surfaceMeasure 606/610/1010。

非接触式测量的优势

非接触式测量使得测量弹性物品变得可能。例如：树脂，薄壁塑件，这些

物体都不适合于接触测量。

无喷粉测量

根据环境和工件材质，通过自动调整激光强度和相机感光度，可以完成无

喷粉测量，提供了一种更简单，更适宜的激光扫描环境。

应用实例

获取的点云数据可与可选软件一起，实现不同的目的。例如编辑，曲面生

成，比较CAD数据，创建CAD数据等等。

色彩板的测量反光物体的测量

非接触式线性激光测头 SurfaceMeasure

SurfaceMeasure 规格 403/606/610/1010 606T 201FS

100

100 115

165

123

100 115

165

65 171

203.5

50 57.5

606

一般工件测量

610

深工件测量

1010

大工件测量

606T

深工件 / 钣金件测量

201FS

高灵敏度 / 一般工件测量

240

30 51

403

一般工件测量

117

282

147.5

140

170

TDS-H

高灵敏度 / 一般工件测量

289

286

Surface Measure

403 *1

Surface

Measure 606

Surface

Measure 610

Surface

Measure 1010

Surface

Measure 606T

Surface

Measure 201FS

激光照射方式线激光 · 单束线激光 · 交叉飞点

测量宽度 40mm 60mm 60mm 最大100mm 3×65mm 最大23mm

测量深度 30mm 60mm 100mm 100mm 65mm 15mm

工作距离 66mm 123mm 165mm 165mm 203.5mm 57.5mm

扫描误差 *2 8µm 12µm 15µm 18µm 17µm 1.8µm

最大采集速度 60,000点/秒 75,000点/秒 3×25,500点/秒 25,000点/秒

质量 430g 430g 400g 400g 480g 500g

激光等级

EN/IEC Class2 [ EN/IEC 60825-1(2007) ]

JIS Class2 [ JIS C 6802 : 2011 ]

介质红色半导体激光半导体激光

测量用激光波长 660nm 670nm

输出 4mW 1mW

指示用激光波长 — 635nm —

输出 — 1mW —

*1：定制商品。

*2：根据本公司检查方法。(1σ/球面测量)、仅测头误差。

MSURF-S/MSURF-I

检测(MSURF-I)

• 面形状的比较

通过使用CAD数据比较点云或网格数据，面形状误差将会显示在彩图上。

• 横截面形状的比较

分割点云、网格数据或基准数据可比较横截面形状，还可

计算角度、距离、曲率半径等。

• 以特征为单位进行比较

通过点云或网格数据，可以检测多种的特征点，同时对设计数

据进行比较

因为MSURF-S可以在MCOSMOS(接触式数据处理)软件中启动，所以可进行“接触式测

量/非接触式测量”交替的全自动测量。

* 如果使用MCOSMOS创建的工作坐标系统，不需要采用设计的软件程序处理点云数据。 * 如不使用ACR3，则必须需手动更换

测头。

误差彩色分布图

截面评估(尺寸计算)

厚度彩色分布图评估段差/间隙

各种要素的计算

非接触式激光测头 SurfaceMeasure

扫描(MSURF-S)

通过简单定义扫描起始点、扫描长度和扫描宽度这三个

项目就能生成扫描路径。观看相机预览同时操作操纵杆

就可轻松定义这三个项目。

• MSURF-PLANNER (选件)

MSURF-PLANNER是从3D CAD数据自动生成线性激光测头用的测量宏指令

(面形状，要素形状)的软件。

测量路径优化(移动路径，测头头部旋转次数等)，提高了客户的生产效

率。

MSURF-PLANNER自动生成测量宏

为三坐标测量机提供影像测量能力

QVP测头通过影像对应那些不能通过接触式测头进行测量的微观几何形状，

或者对施加轻微的测力就容易变形的弹性物体进行测量。

虽然从三坐标测量机进入工业领域起，就开始在三坐标测量机上安装定心

显微镜，采取显微镜测量法进行测量，但是他们有一个先天的劣势：只能

依靠操作者的肉眼来辨别位置。从而就导致了可能的测量误差。

即使采用CNC三坐标测量机，有时也需要手动测量，例如当有安装定心显

微镜的情况下。QVP是基于Mitutoyo多年来在影像测量机中积累的技术，开

发的三坐标测量机用测头，以便在CNC三坐标测量机中实现影像测量的完

全自动化。

工件边缘自动探测

QVP捕获的影像由专用软件Visionpak对其进行各种自动边缘探测，然后由

通用测量程序Geopak对其执行各种不同的计算程序处理(计算尺寸和几何形

状偏差)。

标配白色 LED 照明

因为QVP不但安装有经过透镜系统标准同轴照明，还装有更明亮，且使用寿

命长的白色光LED环形照明，无需辅助照明。照明亮度可设置为 0到100%

之间，增量1%。

可以使用自动测头交换系统

QVP可安装在自动测头交换系统上，可用接触式测头和非接触式测头实现全

自动测量。

QVP 规格

QVP主装置 CCD尺寸 1/3 inch

镜管倍率 0.375X

照明功能反射白光LED光源(内置)：功耗5W以下

环形白光LED光源：功耗10W以下

质量自动连接型: 315g, 直柄型: 390g

光学放大倍率 0.375X 1.125X 1.815X 3.75X

观察范围(mm) 9.6X12.8 3.2X4.3 1.9X2.6 1X1.3

工作距离(mm) 59 72.3 59.5 44

物镜放大率 ML1X

可选

ML3X

标准

ML5X

可选

ML10X

可选

数值孔径(N.A) 0.03 0.07 0.11 0.18

焦点深度(µm) 306 56 23 8

质量 70g 47g 59g 75g

QVP I/F箱电源电压 AC100 - 240V

频率 50/60Hz

电源功率 45W

质量 3800g

影像测头 QVP

VISIONPAK影像处理工具

使用箭头指向，探测边缘上的单点工具。

单点工具

用于位于同一方框中的一条边缘中的多

个点进行线测量。可以回避毛刺和灰尘

读取数据。

框选工具

用于对目标圆形物体边缘的多点测量。

同框选工具一样，它采集的数据不受毛

刺和灰尘的影响。

圆形工具

使用鼠标探测所指向(点击)的可选位置的

测量。

手动工具

用于探测一个任选形状的形心。

形心工具

通过简单规定起始点和测量间隔，当自

动跟踪未知几何形状时，目标边缘可自

动探测到。

边缘自动追踪工具

数据处理装置

• 专用数据处理软件 VISIONPAK

VISIONPAK 采用微软 Windows 操作系统，在三坐标通用程序上操作，当探

测到工件边缘时，它显示图像窗口。在探测到边缘后，用常规的通用测量

程序对工作进行各种计算。

• 多种多样的影像处理功能

拥有强大的影像处理功能(工具)，它能高速探测到各种不同形状的边缘。它

能通过自动聚焦功能，在高度方位上进行测量，并将捕获的影像作为图像

数据以位图形式保存。

• 异常值排除功能

在进行普通的微型形状测量时，通常很难去除目标工件的毛刺和灰尘，这

也导致了不可避免的测量误差。相比之下，VISIONPAK 的优势在于，它能

识别异常值并在测量中回避它。

QVP 尺寸选配件

ø70

211.7

182.7

ø 25

32 113 37.7 W.D.= 72.3

26 40

ø13.99

物镜 ML 1× (375-036-2)

物镜 ML 5× (375-034-1)

物镜 ML10× (375-039)

校准量规 (02AQC310)

・共用QVP和接触式测头之间坐标

的量规

校准图

(02AKN020)

・用于校准单个QVP装置的计

量器

影像测头 QVP

单位 : mm

QVP-S

(直柄型)

QVA-A

(自动连接型)

三坐标测量机可用作大型显微镜

CF20定心显微镜能够测量使用接触式测头很难测量的小孔或弹性体。带

CF20的三坐标测量机可用作大型显微镜。

可选配件可用来执行不同的评估

为了处理观测和测量工件的尺寸和形状，提供了不同放大倍数的物镜和用

于形状比较的分划板。

三坐标测量机测量用TV系统(选件)

安装在CF20上的CCD相机(选件)。可以在安装了专用软件的PC显示屏上放映

影像。

可以减轻长时间窥视显微镜对操作人员眼睛产生负担。

CF20单目镜筒套装规格

CF20单目镜筒套装(375-201) CF20双目镜筒套装(375-202) CF20圆盘套装(375-205)

照明装置(375-071)

单目镜筒套装

柄(ø14mm)

主装置

双目镜筒套装

柄(ø14mm)

主装置

角度目镜套装

柄(ø14mm)

主装置

双图像目镜套装

柄(ø14mm)

主装置

灯罩

供电箱

盘片套装柄(ø14mm)

主装置

CF20角度目镜套装(375-203) CF20双图像目镜套装(375-204)

CF20主机

描述规格物镜附件

CF20单目镜筒套装

(375-201DC) CF10X目镜，视场数22 同心圆分划板 −

1. 照明装置(375-071)

2. 备用灯泡(162151)

3. 透镜罩

4. 工具

5. 电源线

6. 用户手册

7. 存储箱

CF20 双目镜筒套装

(375-202DC) CF10X目镜，视场数22/同心圆分划板(右) 刻度间距调整: 51 - 76mm −

CF20角度目镜套装

(375-203DC)

CF10X 目镜，视场数 21/测量范围: 360º，角度刻度: 1º 最小读数: 5'

(游标刻度) −

CF20双图像目镜套装

(375-204DC)

CF10X目镜，视场数22

(工件与显微镜光轴分离时，利用图像分离成2个，可以有效的测量孔的

间距和直径，线的间距和线宽。)

−

CF20圆盘套装

(375-205DC)

CF10X目镜，视场数22 / ISO公制/统一螺丝

同心圆分划板/虚线交叉刻度，ML 3X物镜 ◯

目镜

物镜

(可选)

CF20主装置

211mm

照明装置

单目镜筒装置

51mm

22.5mm

117mm 50mm

30˚

ø14mm

用于三坐标测量机定心显微镜 CF20

* 只有CF20模块套装配有物镜。

三坐标测量机测量用TV系统(选件)

物镜(选配件)

No. 375-021 No. 375-022 No. 375-023 No. 375-024

ø18 60º

0.2 1

0.2

単位 : mm

10倍目镜A 10倍目镜B 10倍目镜C 10倍目镜D

(十字和同心圆) (十字线) (90º/60º点划线) (网格)

环形光纤照明装置(176-366DC) 双光纤照明装置(176-344DC)

货号描述数值孔径(N.A) 工作距离

W.D.(mm)

分辨力

R(µm)

单个物镜的焦点深度

±D.F.(µm) 质量(g)

375-031 物镜CF 1X 0.03 73.7 9.2 306 45

375-032 物镜 CF 2X 0.06 92 4.6 76 35

375-033 物镜 CF 3X 0.07 77.8 3.9 56 35

375-037-1 物镜 ML 3X 0.09 77 3.06 34 55

375-034-1 物镜 ML 5X 0.13 61 2.12 16.3 60

375-039 物镜 ML 10X 0.21 51 1.31 6.2 95

375-038 CF zoom

1X - 5X

1X 0.04

6.9 171

3X 0.1 2.75 27 200

5X 0.1 2.75 27

单物镜的分辨力值和焦深可参考波长来计算。(λ=0.55µm)。

实际视场(mm)=目镜视场数÷物镜放大率。

CF 1X CF 2X CF 3X

36.3 73.7

（工件距离）

110

（等焦距离）

ø30

ø26

ø25

18 92

（工件距离）

110

（等焦距离）

ø30

ø22

ø25

32.2 77.8

（工件距离）

110

（等焦距离）

ø30

ø25

ML 3X

37.5 77

（工件距离）

110

（等焦距离）

ø30

ø25

ML 5X

50.5 61

（工件距离）

110

（等焦距离）

10.5

ø30

ø17

ø25

ø28

ML 10X

66 44

（工件距离）

110

（等焦距离）

ø30

ø25

ø28

ø21.2

CF zoom 1X - 5X

60 50

（工件距离）

110

（等焦距离）

11.5

ø34

ø25

ø21.5

ø37.2

单位: mm

三坐标测量机用定心显微镜 CF20

三坐标测量机测量用TV系统(货号No.320-054*仅限日本国内)

编号名称数量

1 影像系统 1

2 C-mount (C) 1

CF20

显示器

USB电缆(长度5m）

软件（CD）

②Ｃ-mount（Ｃ）

①影像系统（CC-1000V）

CF20用于CMM测量的TV系统

Dongle

用户手册

相机

SURFPAK-SP

CNC 三坐标测量机新增粗糙度测量功能

SURFTEST测头可以安装到CNC三坐标测量机上，测量表面粗糙度。

这种测头使用带导头的粗糙度检出器，利用测头内部的线性驱动器来进行

粗糙度测量。使用专用软件SURFPAK-SP来进行粗糙度测量和分析。

从尺寸测量到粗糙度测量的批量处理

此测头可在不改变三坐标测量机工件设置的情况下，进行接触式粗糙度测

量。当SURFTEST测头安装到PH10M/PH10MQ上时，倾斜面的粗糙度测量可

通过改变测头方向实现。三坐标测量机也可同时使用SURFTEST测头和其它

的三坐标测量机用测头，通过使用自动测头交换系统ACR3等，来进行从尺

寸到表面粗糙度等的全自动化测量。

选配件

由于便携式表面粗糙度测量仪SJ系列所积累的专业技术。现有多种不同类型

的表面粗糙度检出器，可适用不同类型的工件需求。

此外，使用清洁单元(选项)，通过清洁粗糙度检测器附着的水分，如冷却液

等可以提高粗糙度测量的可靠性。

SURFTEST PROBE 规格

SURFTEST PROBE 测量范围自动, 40, 100, 360µm

驱动范围 16mm

测量速度 0.25, 0.5, 0.75mm/s

测针尖端半径 2µm

测力 0.75mN

表面粗糙度测量用测头 SURFTEST PROBE

SURFPAK-SP是仅用于三坐标测量机粗糙度测头“SURFTEST

PROBE”的软件程序。使用本程序，可进行符合ISO、JIS、

ANSI和VDA标准的表面粗糙度分析。与 MCOSMOS软件一

起使用，能进行全自动尺寸测量和表面粗糙度测量。

尺寸

配置

描述货号数量

SURFTEST测头套装

SURFTEST测头主装置 02AQJ081 1

储物箱

SURFTEST测头接口装置 02AUS030 1

USB CBL 02AUS427 1

硬件指南 99MBB479A 1

用于表面粗糙度测量的测头 SURFTEST测头

选配件

必选件

①表面粗糙度检出器 178-270(0.75mN, 60º R2µm)

178-280(4mN, 90º R5µm)

②表面粗糙度标准片 178-601(mm)

178-602(inch/mm)

选配件

货号描述

178-270 表面粗糙度检出器(0.75mN, 60º R2µm)

178-280 表面粗糙度检出器(4mN, 90º R5µm)

178-281 表面粗糙度检出器(4mN, 90º R10µm)

178-272 小孔检出器(0.75mN, 60º R2µm)

178-282 小孔检出器(4mN, 90º R5µm)

178-273 极小孔检出器(0.75mN, 60º R2µm)

178-283 极小孔检出器(4mN, 90º R5µm)

178-274 深槽测量检出器(0.75mN, 60º R2µm)

178-284 深槽测量检出器(4mN, 90º R5µm)

178-275 齿轮齿面检出器(0.75mN, 60º R2µm)

178-285 齿轮齿面检出器(4mN, 90º R5µm)

特殊选件

货号描述

02AQJ101 清洁装置

02AQJ207 校正台

02AQJ210 磁性支撑(ACR3)

11.5

26.5

59.7

(1.1)

ø25

(1.45) (26.4) 165

121.5

(193)

单位 : mm

ø6.6 ø6.6

ø6.6

ø6

2.4

ø9

ø6.6

0.9

1.8

0.6

0.4

0.8

1.6

60.3

12.8

(10.5) 70.8 ø9

1.2

60.7

3.5

71.2

4.5

16.2

ø9

(10.5)

ø3.8

1.5

16.4

61 (10.5)

3.5

71.5

4.8

ø13.6

ø6.6

3.5

ø9

16.4

61 (10.5)

71.5

1.5

70.6

(10.5)

12.6

60.1

1.4

ø9

0.4 1.8

ø2.4

R40

60º

表面粗糙度检出器（178-270/178-280/178-281）

极小孔检出器（178-273/178-283）

齿面检出器（178-275/178-285）

深槽测量检出器（178-274/178-284）

小孔检出器（178-272/178-282）

质量：7.8g 质量：7.6g

质量：8.2g

质量：8.3g

接触触发式测头能测量很小且深的槽和孔

此测头能测量小而深的孔，槽和拐角R，这些是用传统的接触触发式测头测

量不到的。

它可与超小测球的测针一起使用，测球直径可为ø100µm或者ø300µm，测

杆分别为10mm或者16mm，获得非常高的纵横比。测头可安装于CRYSTAApex S系列上。

通过自动改变测头方向，提高设置和测量的效率

UMAP-CMM可连接到PH10M/PH10MQ这样的测座上。它的特征是可变换方

向。能允许在任何测量方向上对工件上的微小形状进行全自动化测量。

* 安装了相机的测座不能改变方向。

微型接触触发式测头 UMAP-CMM

测针规格

UMAP110 测针 UMAP130 测针

测量方向 ±X, ±Y, −Z

标称测球直径 ø100µm ø300µm

测针标称长度 10mm 16mm

测针标称直径 ø80µm ø200µm

质量(其中包括保护套) 22g 39g

测量速度范围* 1～50µm/s

一般测量速度 10µm/s

* 测量速度可能会因三坐标测量机系统有所不同。

尺寸

UMAP110スタイラスユニット UMAP130スタイラスユニット

34.5

44.5

15.8 18

50.5

66.5

UMAP110测针装置 UMAP130测针装置

专门用于 CNC 三坐标测量机测量螺纹有效深度的测头

如果全螺纹深度不够，螺纹孔不能正常作用，或者需要延长加工时间，但

当全螺纹深度过长，可能会影响目标工件的强度。为了确保螺纹能有一个

适当的有效长度，通常采用的测量螺纹孔有效长度的方法是：操作者手动

把一个称作“螺纹规”的专用工具拧入目标孔内去检查深度。但是，因为

一些汽车发动机零部件有100多个螺纹孔，采用上述螺纹规方法会耗用大

量的时间，也会造成巨大的开销。将MPP-10，与CNC三坐标测量机一起使

用，能实现自动测量螺纹孔有效深度的测头。

通过自动改变测头方向，提高设置和测量的效率

因为MPP-10能安装在PH10M/PH10MQ这样的测座上，能自动改变测头方

向，因此它能自动测量在不同方向有很多螺纹孔的工件。另外，由于测头

交换系统的优势，通过使用其它测头，使得它在测量各种不同的加工件时

实现全自动化变成了可能。

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MPP-10 规格

MPP-10 可检螺纹孔深度 M4～M20

最大测量深度 M4 ～ M8 螺纹 30mm

M4 ～ M20 螺纹 60mm

最大测量速度 M4 ～ M10 螺纹 10mm/sec

M12 ～ M20 螺纹 30mm/sec

测头外径 ø25mm

螺纹有效深度测量用测头 MPP-10

高精度触发式测头

这种高精度触发式测头具有2σ≦ 0.25µm的高重复精度。

通过自动改变测头方向，提高设置和测量的效率

因为TP7M可安装于PH10M/PH10MQ这样的测座上，而PH10M/PH10MQ可

以自动改变测头方向，与传统类型的固定在下方的扫描测头相比，大大减

少了测量的准备时间和实际测量时间，另外，通过使用其它测头，以及借

助于测头交换系统的优势，使得它在测量不同类型的加工件时实现全自动

化变为可能。

适合于与长测针一起使用

TP7M可以安装长达150mm的长测针*。PH10M/PH10MQ与最长延长长度为

200mm的测针结合，它能测量到最大距离为350mm的物体。

*根据使用的三坐标测量机主要装置的不同，或者测针材料/直径的不同，最大长度也可能不同。

TP7M 规格

TP7M 测量方向 ±X, ±Y, +Z

标准测针 ø4X18mm

重复精度(2σ) 0.25µm以内(当使用标准测针时)

轮廓形式测量偏差(XY: 2D) ±0.25µm以内

要求生成的测力 XY 0.02N(当使用50mm测针时)

Z 0.15N(当使用50mm测针时)

超程范围 XY ±16º

Z ±5mm

超程测力 XY 0.49N(当使用50mm测针时)

Z 2.94N(当使用50mm测针时)

最大测针长度 150mm*

测针安装方法 M4螺纹

单个装置的质量 85g

耐久性 10,000,000次

测座必需: PH10M/PH10MQ

适用的型号 CNC三坐标测量机

* 增加测针长度或者测针质量可能影响其准确性。

高精度触发式测头 TP7M

尺寸

Sø4mm

ø25mm

50mm

3mm

18mm

高精度触发式测头 TP7M

测针套装【货号No.06ABT114】

参考序号名称货号规格数量备注

1 MS4-1R4.5-S 06ABT109 ø1×20mm(M4) 2 高精度规格

2 MS4-2R8-S 06ABK815 ø2×20mm(M4) 2 高精度规格

3 MS4-4R13.5-S 06ABK816 ø4×20mm(M4) 2 高精度规格

4 MS4-4R33-S 06ABT110 ø4×50mm(M4) 1 高精度规格

5 MS4-8R50C-S 06ABT111 Sø8×50mm(M4) 1 高精度规格

6 MS4-8R100C-S 06ABT112 Sø8×100mm(M4) 1 高精度规格

7 MS3-30C 916492 Sø30陶瓷球(M3) 1

8 MS4-EXT50C 06ABN849 L50 延长杆(M4-M4) 2

9 MS4-EXT30C 06ABN848 L30 延长杆(M4-M4) 1

10 MS4-M3EXT20 06ABN851 L20 延长杆(M4-M4) 1

11 MS4-M3EXT75C 06ABN853 L75 延长杆(M4-M3) 1

12 MS4-测针中心座 06ABN857 M4 测针中心座 1

13 MS3-测针中心座 06ABN839 M3 测针中心座 1

14 MS2-测针中心座 06ABN812 M2 测针中心座 1

15 MS4-测针工具 181279 M4 测针工具 2

16 MS2-测针工具 153140 M2, M3 测针工具 2

17 MS4-M3 适配器 06ABN855 M4-M3 适配器(L9) 2

18 MS3-M2 适配器 06ABN837 M3-M2 适配器(L5) 5

19 收纳箱 06ABT115 1

* 有些货号不可单独购买。

・其它所需测针，请从后面测针列表选择。

・测针延长杆参照PH10M/PH10MQ (参见31-32页)。

高精度TP7M套装【货号No.06ABL429】

* 有些货号不可单独购买。

TP7M套装【货号No.06ABL429】

参考序号描述货号质量(g) 数量

1 TP7M测头 06ABL430 85 1

2 关节扳手S10 174748 24 1

3 M4测针工具 181279 3.5 2

小型高精度触发式测头

这款触发式测头的外径很小，仅为ø13.5mm，大大有助于探测工件的复杂

部分，与合适的测头延长杆一起使用，可以探测到更深的位置。

通过自动改变测头方向，提高设置和测量的效率

因为TP200可安装在PH10M/PH10MQ这样的测座上，而PH10M/PH10MQ可

以自动改变测头方向，与传统类型固定在下方的扫描测头相比，大大减少

了测量的准备时间和实际测量时间。

自动测针交换

如果不能在仅仅更改测头方向的情况下进行测量(例如：在不将常规测针替

换成不同直径或者独特形式的测针就不能进行测量时)，经由测针更改系统

进行自动测针交换，可以完成全自动测量，而不会被中途打扰。另外，通

过使用其它测头，以及借助于测头交换系统的优势，使得它在测量不同类

型的加工件时实现全自动化变为可能。

TP200 规格

TP200 测量方向 ±X, ±Y, ±Z

重复精度(2σ) 0.3µm以下(带10mm测针), 0.4µm以下(带50mm测针)

方向性(XY: 2D) ±0.4µm以下(带10mm测针), ±0.8µm以下(带50mm测针)

方向性(XYZ: 3D) ±0.65µm 以下(带10mm测针), ±1µm以下(带50mm测针)

测力 XY 0.02N(标准/低测力), 使用50mm测针

Z 0.07N(标准/低测力), 使用50mm测针

超程范围 XY ±14º

Z +4.5mm(带0.07N), +3mm(带0.15N)

超程测力

XY 0.35N(标准测力)

0.1N(低测力)

Z 1.5N(标准测力)

1N(低测力)

最大测针长度 70mm(标准测力)*

30mm(低测力)*

最大测针质量 8g(标准测力), 3g(低测力)*

测针安装方法 M2螺纹

单个装置的质量 22g

耐久性 1000万次

测座必需: PH10M/PH10MQ/MIH/PH1

适用机型 CNC三坐标测量机

注意事项任何小于ø1mm的测针应与低测力模块一起使用。不能在强磁场情况下使用。

SCR200

(选配件) 测针模块交换精度重复定位精度: 1.0µ以内(通过自动交换), 当使用50mm的测针

*2.0µm以内的手动交换: 当使用50mm的测针

可安装测针模块数量最大6个

*增加测针的长度和重量可能会降低测量精度。

小型高精度触发式测头 TP200

尺寸

测针模块

测头主体

M2X0.4

Sø4mm

10mm 13mm 30mm

ø13.5mm

套装配置【货号No.06AAL268】

套装参考序号名称货号数量备注

TP200

触发式测头套装

06AAL268

TP200

测头1型

06AAL251

1 TP200测头 — 1

2 测针模块(标准) 06AAL254 1 标准测力(超程)

3 清洁工具 06AAL256 1 用于清洁测针模块

4 单头扳手 161534 1 用于安装/拆卸测头(S1)

5 双头扳手 161535 1 用于安装/拆卸测头(S9)

6 测针工具 153140 1 用于安装/拆卸测针(S7)

用于TP200

测针套装

06AAL252

7 MS2-4R10 06ABN774 1 标准测针Sø4X10(M2)

8 MS2-6R10 06ABN786 1 Sø6×10(M2)

9 MS2-4R20 06ABN775 1 Sø4×20(M2)

10 MS2-EXT40G 06AAL257 1 碳纤维延长杆40mm

11 MS2-EXT50G 06AAL258 1 碳纤维延长杆50mm

12 碳延长杆安装工具 06AAL264 1

13 收纳箱 06AAL265 1 测针储存箱

14 用户手册 06AAL623 1

自动测针交换系统套装(06AAL540)

No. 名称货号数量规格(用途) 质量(kg)

1 测针模块(低测力) 06AAL255 1 用于小于ø1球形测针 0.01

2 SCR200套件* 06AAL267 1 带支架安装套装 0.93

3 PL63 06AAM887 1 PI200-SCR200连接电缆 0.15

* SCR200套件测针模块(标准)：包括 06AAL254。

* 根据所安装的测针不同，测针与SCR200可能产生干涉情况。

单位 : mm

小型高精度触发式测头 TP200

选件 SCR200测针模块自动交换系统

* 有些货号不可单独购买。

小型触发式测头

这款触发式测头的外径很小，仅为ø13.2mm，大大有助于探测工件的复杂部

分，通过与合适的测头延长杆一起使用，可以探测到更深的位置。

通过自动改变测头方向，提高设置和测量的效率

因为TP20可安装于PH10M/PH10MQ这样的测座上，而PH10M/PH10MQ可以自动

改变测头方向，与传统类型固定在下方的扫描测头相比，大大减少了测量的准备

时间和实际测量时间。(安装于CNC三坐标测量机上时。)

自动测针交换

如果不能在仅仅更改测头方向的情况下进行测量(例如：在不将常规测针替换成

不同直径或者独特形式的测针就不能进行测量时)，经由测针交换系统进行自动

测针更改，可以完成全自动测量，而不会被中途打扰。另外，通过使用其它测

头，以及借助于测头交换系统的优势，使得它在测量不同类型的加工件时实现全

自动化变为可能。(安装于CNC三坐标测量机上时。)

TP20 规格

TP20 测量方向 ±X、±Y、+Z

重复精度(2σ) 0.35µm以下(标准测力带10mm测针)

方向性(XY: 2D) ±0.8µm以下(标准测力带10mm测针)、±2.5µm以下(带50mm测针)

方向性(XYZ: 3D) ±1µm以下(标准测力带10mm测针)、±4µm以下(带50mm测针)

测力

XY 0.08N(标准测力)带10mm测针

0.1N(中等测力)带25mm使用测针

Z 0.75N(标准测力)

1.9N(中等测力)

超程范围

XY ±14º

Z +4.0mm(标准测力)

+3.7mm(中等测力)

超程测力

XY 0.2～0.3N(标准测力)

0.2～0.4N(中等测力)

Z 3.5N(标准测力)

7N(中等测力)

最大测针长度 50mm(标准测力)

60mm(中等测力)

测针安装方法 M2螺纹

单个装置的质量 22g(测头主体13g、测头模块9g)

耐久性 100万次

测座必需 PH10M/PH10MQ/MIH/PH1

适用机型手动/CNC三坐标测量机

注意事项不能在强磁场情况下使用

MCR20

(选配件) 测针模块交换精度重复定位精度1.0µm以下(通过自动交换)…当使用10mm的测针。

*2.0µm以内的手动交换：当使用50mm测针。

可安装测针模块数量最大6个

* 增加测针长度或者测针质量会降低测量准确性。

小型触发式测头 TP20

尺寸

M2X0.4

Sø4mm

测头模块

测头主体

19mm

3mm

10mm 19mm

ø13.2mm

套装配置【货号No.06AAV547】

套装参考

序号名称货号数量质量

(g) 规格(用途)

TP20触发式

测头套装

06AAV547

1 TP20测头 06AAV542 1 13

2 测头模块［STANDARD］ 06AAV543 1 9 测力(小)

3 测头模块［MEDIUM］ 06AAV544 1 9 测力(中)

4 清洁工具 06AAL256 1 54 用于清洁测针模块

5 单头扳手 161534 1 5 测头拆卸用

6 双头扳手 161535 2 5 测头拆卸用

7 测针工具 153140 1 1 用于拆卸测针

8 用户手册 99MCA060J 1 100

9 证书 06AAL253 1 1

450 含包装总质量

测头模块

MCR20测头模块自动交换系统

套装货号数量质量(Kg) 选配件

MCR20

套装 06AAV546 1 1.3

选配件

・ø2×30mm测针 1

・测头模块 2

(标准测力)

・安装组件 1

200mm

15mm

60mm

55mm

145mm

集成延长杆和测头

模块，不可分开。

小型触发式测头 TP20

选配件

* 有些货号不可单独购买。

10mm 50mm 100mm

标准测力模块(货号06AAV543)

中等测力模块(货号06AAV544)

EM1(延长杆付标准测力模块) (货号06ABQ393)

EM2(延长杆付标准测力模块) (货号06ABN437)

带手动测座的触发式测头

这一系列的触发式测头带有三坐标测量机使用的手动测座。测头模块的外

径很小，仅为ø13.2mm。这大大有助于探测工件的复杂部分，也提供采用

50mm或者70mm延长杆的测头模块。

测座能手动定位至所需的方向

MH20i的测座有这样一种结构：这种结构允许测头方向可手动更改，最多有

168个方位可供选择(重复定位精度σ≤1.5µm)，即使是在测量时需要不断改

变测头方向的复杂三维形状，在每次位置更改后，初始注册的所需位置都

无需重新校准。因此大大提高了测量的效率。

MH20i 规格

MH20i 测量方向 ±X, ±Y, +Z

更改位置 A轴手动(垂直方向)：0～90º(15º增量)， B轴手动(水平方向)：±180度(15º增量)

重复定位精度 σ<–1.5µm

重复精度(2σ) 0.35µm以下(带标准测力10mm测针)

方向性(XY: 2D) ±0.8µm以下(带标准测力10mm测针), ±2.5µm以下(带50mm测针)

方向性(XYZ: 3D) ±1µm以下(带标准测力10mm测针), ±4µm以下(带50mm测针)

测力

XY 0.08N(标准测力), 带10mm测针

0.1N(中等测力),带25mm测针

Z 0.75N(标准测力)

1.9N(中等测力)

超程范围

XY ±14º

Z +4.0mm(标准测力)

+3.7mm(中等测力)

超程测力

XY 0.2 - 0.3N(标准测力)

0.2 - 0.4N(中等测力)

3.5N(标准测力)

7N(中等测力)

10N(超大测力)

最大测针长度 50mm(标准测力)*

60mm(中等测力)*

测针安装方法 M2螺纹

单个装置的质量 250g

耐久性 100万次

测座无

对应机型手动/CNC三坐标测量机

注意事项不能在强磁场情况下使用

* 增加测针长度或者测针质量会降低测量准确性。

带手动测座的触发式测头 MH20i

尺寸

测头模块

ø48mm

53mm

77mm 19.5mm 10mm

5.7mm

ø14mm

套装配置

套装参考序号名称货号数量质量(g) 备注

MH20i单独装置

货号No.

06ABN436

1 MH20i 06ABN469 1 0.25

2 测头模块 06AAV543 1 0.01 STANDARD TYPE

3 清洁工具 06AAL256 1 0.05 用于清洁的测针模块

4 MS2-测针工具 153140 1 0.003 用于安装/拆卸测针

MH20i套装

货号No.

06ABN470

5 定位柄 160589 1 0.15

6 测针 — 1 0.001 ø4×10(标准测针)

7 六角扳手(2mm) 06AAA943 1 0.001

8 六角扳手(3mm) 06AAA944 1 0.001

9 用户手册 99MCA265J 1 0.1

带手动测座的触发式测头 MH20i

选配件测针模块

* 有些货号不可单独购买。

10mm 50mm 100mm

集成延长杆和测头

模块，不能被分开。

标准测力模块(货号06AAV543)

中等测力模块(货号06AAV544)

EM1(延长杆带标准测力模块) (货号06ABQ393)

EM2(延长杆带标准测力模块) (货号06ABN437)

带手动测座的小型触发式测头

此系列的触发式测头带有适用于三坐标测量机的手动操作测座。测头模块

的外径很小，仅为ø13.2mm。这大大有助于探测工件的复杂部分，也提供

采用50mm或者70mm延长杆的测头模块。

位置易于改变

操作者可以手动改变测头方向。(只需简单的松开右手边的旋钮，改变位

置，然后重新拧紧旋钮即可。位置改变时无需艾伦内六角扳手或者其它工

具。)

MH20 规格

MH20 测量方向 ±X、±Y、+Z

更改位置 A轴手动(垂直方向) ：±93º， B轴手动(水平方向) ：在±300º范围内调整

重复精度(2σ) 0.35µm以下(标准测力 10mm测针)

方向性(XY ：2D) ±0.8µm以下(标准测力 10mm测针)、±2.5µm以下(50mm测针)

方向性(XYZ ：3D) ±1µm以下(标准测力 10mm测针)、±4µm以下(50mm测针)

测力

XY 0.08N(标准测力)10mm测针

0.1N(中等测力)25mm使用测针

Z 0.75N(标准测力)

1.9N(中等测力)

超程范围

XY XY±14º

Z +4.0mm(标准测力)

+3.7mm(中等测力)

超程测力

XY 0.2～0.3N(标准测力)

0.2～0.4N(中等测力)

Z 3.5N(标准测力)

7N(中等测力)

最大测针长度 50mm(标准测力)

60mm(中等测力)

测针安装方法 M2螺纹

单体质量 22g(测头主体13g、测头模块9g)

耐久性 100万次

适用机型手动三坐标测量机

注意事项不能在强磁场情况下使用

* 增加测针长度或者测针质量会降低测量准确性。

带手动测座的触发式测头 MH20

尺寸

ø14

93º

夹具

中心

测针模块

旋转±300º

套装配置

套装 No. 描述货号数量质量(g) 备注

MH20

套装

标准配置

套装No.

06AAZ727

1 MH20套件

No.06AAZ726

1-1 MH20 06AAZ728 1

0.3

测座主体

1-2 TP20 标准模块 06AAV543 1 测力(小)

1-3　测针 06ABN774 1 ø4×10(标准测针)

1-4　清洁套装 06AAL256 1 用于清洁测头模块连接处

1-5 MS2- 测针工具 153140 2 测针安装用工具

2 用户手册 99MCA205J 1 0.1

3 保证书 1 0.01

1-1

1-2

1-3

1-5

1-4

带手动测座的触发式测头 MH20

单位 : mm

* 有些货号不可单独购买。

测头可自动定位，提高测量效率

此测座能自动控制其末端连接测头的姿态。(在手动操作时，通过提供的控

制箱或者专用软件来简单的规定角度，进行位置更改；或者，如果它被存

储为自动更改位置的话，可根据记忆恢复位置)如果使用没有位置更改功

能的测头测量多面体时，必须进行以下操作：附上十字测针，或者多个测

针，在安装时，如要测量顶面，测针一面向下，要测量端面时，则测针的

一面面向侧面。但是，如果工件为复杂几何形状，由于未使用的测针会与

工件冲突，探测目标点可能不能进行。同样，当测针不能进行位置更改，

而又需要安装在特定角度时，测量也会出现问题。而且，与自动测针交换

方法相比，这种自动位置更改可使测量能在更短的时间内完成。减少了用

三坐标测量机完成测量所需的人工时数。

高精度分度头，可指向 720 个位置

因为 PH10M/PH10MQ可将安装在其上的测头设置在720个不同位置，一个

测针运行就能相当于720个测针运行。另外，因为测座位置重复性高达2σ

≤0.5µm，在相同位置上，无需重复进行测量校准。

可以安装不同种类的测头

此种测座可安装各种不同的测头，但不仅限于触发式测头，还包括扫描测

头，影像测头，激光测头，螺纹深度测量测头等。而且，这些测头通过测

头适配器(选件)可实现轻松互换。能在广泛的测量物体上实现全自动化测

量。

* 请注意：一些测头与自动测头适配器不兼容。

PH10M/PH10MQ 规格

PH10M/PH10MQ 更改位置水平方向 ±180º(以 7.5º递增, 48个位置)

垂直方向 0 - 105º(以 7.5º递增, 15个位置)

重复定位精度 2σ≦0.4µm(当安装PAA1+TP20+L10mm测针时)

延长杆 PEM1、PEM2、PEM3、PAA1、PAA2、PAA3

仅限使用1个延长杆连接使用。但可于PAA+ PECF1，PAA1+ PECF2和PAA1+ PECF3的组合使用。

SurfaceMeasure606/QVP不能使用延长杆。

适用机型 CNC三坐标测量机

耐久性 100万次

电动测座 PH10M/PH10MQ

PH10M尺寸 PH10MQ尺寸

80mm

73mm 73mm

38mm自动连接部

PH10MQ适配器

自动连接部

62mm

ø14mm

130mm

38mm

延长杆

套装配置

符号货号外形图备注

PAA1 909460

32mm

用于 TP200/TP20

PECF1 06ABM152

50mm

用于 TP200/TP20

PECF2 06ABM153

100mm

用于 TP200/TP20

PECF3 06ABM154

200mm

用于 TP200/TP20

PAA3 916147

300mm

用于 TP200/TP20

PEM1 916495

50mm

用于 SP25M/TP7M

PEM2 916496

100mm

用于 SP25M/TP7M

PEM3 916497

200mm

用于 TP7M

No. 名称货号数量备注质量(g)

1 PH10M

测座套装

PH10M测座 *

1 2.0

关节扳手S10 174748

六角扳手公称1.5 908756

六角扳手公称2 06AAA943

六角扳手公称2.5 06AAA944

2 PH10MQ

测座套装

PH10MQ测座 * 1

2.0 关节扳手S10 174748 1

六角扳手公称1.5 908756 2

六角扳手公称2 06AAA944 1

3 HCU-1 06AAN820 1 用于测座定位的控制器 0.8

4 PHC10-2(RS232C) 06AAR547 1 CPU机身侧面带接口(用于显示错误) 2.2

5 PAA1 909460 1 用于把TP200安装在PH10M上的适配器 0.06

6 用户手册 99MCA034 1 PH10M测座的用户手册 0.1

3 4 5

电动测座 PH10M/PH10MQ

* 安装测座后全长为 30mm。

* 有些货号不可单独购买。

* 装配的主机和安装的测头不同，货号也不同。也有追加的货号。

高精度定位，最大可为 720 个方向

MIH 允许安装测头方向的手动导向最多720个不同的方位(重复定位精度σ

≤1.5µm)，当测量需要不断改变测头方向的复杂三维形状时，在每个位置

改变后，所需位置的初始配准都无需重新定位。因此大大提高了测量的效

率。当前位置可在MIH主要装置的LCD显示屏上进行确认。

测针可延长至 300mm

MIH可采用最长300mm的延长杆。例如，TP2-5W与一个50mm长的测针结

合，测头测量长度将延伸到400mm。

MIH 规格

MIH

更改位置水平方向 ±180º(以7.5递增，48个方位)

垂直方向 0 -105º(以7.5递增，15个方位)

重复定位精度 σ≦1.5µm

安装测头 TP200*、TP20、TP2-5W

延长杆 PECF1、PECF2、PECF3

适用机型手动三坐标测量机

* 需要单独接口(PI200)。

手动测座 MIH

符号货号外形图

PECF1 06ABM152

50mm

PECF2 06ABM153

100mm

PECF3 06ABM154

200mm

套装配置

No. 名称货号质量(kg) 数量备注

MIH

测座

套装

1-1 MIH测座 —

1.5

移动角度：水平(B轴) ±180º (7.5º步阶, 48位)

垂直(A轴) 0 - 105º (7.5º步阶, 15位)

空间定位精度：0.3mm (PAA1+TP2-5W+测针ø3+EWL7.5 时使用)

重复定位精度(σ) ：1.5µm (同上的相同情况下)

质量：约730g

1-2 关节扳手S10 174748 1 用于安装测头

六角扳手公称2 — 1 用于位置调整，或更换电池

六角扳手公称2.5 — 1 用于安装手柄

1-3 电池PX28L — 2 6V锂电池(生产商：Duracell), 兼容电池4SR44 (生产商：Panasonic)*

1-4 MIH用木箱 — 1

2 PAA1 909460 0.06 1 用于连接MIH和测头的适配器。长度：32mm

3 单头扳手 161534 0.01 1 用于TP2加速和延长杆

4 双头扳手 161535 0.005 1 用于TP2加速和延长杆

5 定位柄 160589 0.14 1 安装在MIH测头上(生产商：Mitutoyo)

6 证书 0.001 1

7 用户手册 0.05 1

1-1

1-2 1-3 1-4 2 3 4

尺寸

自动连接部

76.5mm

ø14mm

111mm

ø62mm

手动测座 MIH

选配件测头延长杆

* 有些货号不可单独购买。

* 不是标准配件，由客户自行准备。

手动测座

手动测座，与TP200/TP20一起使用。

简单改变方向

可手动改变所连测头的位置至所需的方向。

延长杆

插入测针延长杆可延长至200mm。

PH1 规格

PH1

更改位置水平方向 360º (以15º递增)

可在不停机的情况下，测头沿着ø14mm柄部旋转。

垂直方向 ±115º (无级)

安装测头 TP200、TP20

延长杆 PECF1、PECF2、PECF3

适用的型号手动・CNC三坐标测量机

* 需要单独接口(PI200)。

手动测座 PH1

尺寸

M8 ø30mm

50mm

36mm

ø14mm

ø41mm

ø15

ø30

ø41

符号货号外形图

PECF1 06ABM152

50mm

PECF2 06ABM153

100mm

PECF3 06ABM154

200mm

PECF3 连接实例

手动测座 PH1

选配件

单位 : mm

延长杆

高速5轴扫描测头

这种扫描测头允许进行高速扫描，速度达到500mm/s。可以同时控制5个

轴向(三坐标测量机上X, Y, Z轴三轴，REVO-2上的A, B两轴)。三坐标测量机

可进行工件上复杂形状的无阶扫描。

适用于专门为REVO-2进行扫描的各种测量操作。

旋转编码器的使用实现了进行无限制角度定位(分辨力为0.08秒)，这也使得

其能轻易接触到复杂工件，减少编程和测量时间。

REVO-2测头仅能用于专门的CRYSTA-Apex EX 1200R系列。

利用测针移动，有效测量复杂工件

PH20测头可在任意角度定位触发式测头，可实现独特的“测座碰触”探

测。这个系统的优势是可测量倾斜面和小而深的孔，在测量深孔时不必担

心测针柄的影响。

5轴操作减少了测头旋转运动所需的时间，支持“测座碰触”操作，实现快

速点测量。

此系统也支持使用TP20标准模块的模块交

换系统。即使没有要测量的工件，使用3D

CAD数据也可在计算机上创建测量程序。

与控制杆操作相比，该系统能更高效的编

程和进行干涉检查。

PH20测头仅能用于CRYSTA-Apex EX T系

列。

PH20 规格

PH20 更改位置(角度间隔) 垂直方向(A轴) −115º～+115º(0.08秒)

水平方向(B轴) ∞(0.08秒)

最大测针长度 50mm*

*增加测针长度或者测针质量会降低测量准确性。

高速5轴扫描测头 REVO-2

5轴控制触发式测头系统 PH20

REVO-2 规格

REVO-2 更改位置(角度间隔) 垂直方向(A轴) −5º～+120º(0.08秒)

水平方向(B轴) ∞(0.08秒)

最大测针长度 500mm(从测头旋转中心到针尖的距离)

*增加测针长度或者测针质量会降低测量准确性。

套装配置

尺寸

套装 No. 描述货号数量质量(kg) 备注

ACR3

4端口系统

［06AED123］

1 ACR3 06ABN438 1 1.5 4端口支架

2 MRS 套装2 06ABN607 1 3.5 支架底座

3 辅助板 06ABG598 1 8 固定用辅助板

4 ACR3紧固螺钉 06ABP467 1 0.05 附件

5 用户手册 99MCA273J 1 0.1 日本语版

6 制御ROM 1 0.01 ACR3对应

ACR3

8端口系统

［06AED124］

1 ACR3 06ABN438 2 1.5 4端口支架

2 MRS 套装2 06ABN607 1 3.5 支架底座

3 辅助板 06ABG598 1 8 固定用辅助板

4 ACR3紧固螺钉 06ABP467 1 0.05 附件

5 用户手册 99MCA273J 1 0.1 日本语版

6 制御ROM 1 0.01 适用于ACR3

88.7

610

333

147

185

106

自动区域解锁打开锁定

中心位置

满足自动测头交换系统的需求

ACR3是与PH10M/PH10MQ一起使用的自动测头交换系统。在不能自动进行

测针交换但是测针直径或者长度不能随意改变的地方，以及按要求转换接

触式测头和非接触式测头的地方，全自动测量时是非常必要的。

结构简化

相比传统需要内置专用电机来打开或者关闭锁定系统，价格昂贵，且耐用

性差的自动测头交换系统，ACR3有简化的结构，通过采用新的机械结构

(CNC三坐标测量机自带驱动系统执行自动测头交换)提高了耐用性。

自动测头交换架 ACR3

解除锁定

打开锁定

单位 : mm

* 有些货号不可单独购买。

测针小知识

测针的选择对三坐标测量机的测量准确性有重要的影响。以下是如何选择测针的小知识。

测针是测头中接触工件的部分，通常由测杆和尖端测球组成。测头通过测球与工件接触，从产生的合成信号获

得测量数据。测针的形状和尺寸要根据工件来选择。不论在任何情况下，让测针保持高刚性，让其尖端形状保

持几乎完美的球形都很重要。

■ 选择测针

为了确保测量的高准确性，推荐按下列几个因素选择测针。

1. 尽可能选择最短的测针

测针越长，越容易弯曲。从而准确性越低。同样的，测头的位置准确性与测头轴销到测针测球的距离成反比。

所以最短的测头会有最高的准确性。

2. 尽可能的减少接头数量

测针与延长杆一起使用会增加弯曲的可能性，在任何程序中尽可能的少使用配件。

3. 尽可能选用大直径的测球

使用大直径的测球会增加测球与测杆之间的间隙，从而减少测杆与工件(柄)接触的可能性。大直径的测球也会减

少工件表面加工对测量准确度的影响。

■ 材料

测针应根据应用的不同，为其测杆，测球和其他配件选用合适的材料。以下介绍了一些常用材料的特性

和优点：

1. 测杆

为了实现最小化弯曲的可能性，测杆应尽可能的坚硬。三丰公司提供了以下材料可供选择：

■ 碳化钨

这种材料有优良的刚度，可为小直径的测杆提供良好的刚度，因此它是大多数标准应用的好的选

择。如果是大直径的测杆，应考虑测针质量和测针长度。

■ 不锈钢

非磁性不锈钢测杆有刚性质量比。

■ 陶瓷

由于其刚性质量比，此材料主要用于测针，它具有良好的热稳定性，不受温度环境的影响，因此能

提供高的测量准确性。

■ 碳纤维

因为一个碳纤维测针的质量大约为碳化测针质量的20%，因此碳纤维这种材料对长测针很合适。由

于其优良的热稳定性，碳纤维测针受操作环境的影响很小。

2. 尖端测球

选择最合适的尖端测球材料要考虑测量程序和工件材质。

■ 红宝石

红宝石测球特别坚硬，表面光滑，抗压强度高，机械擦拭性能好。

红宝石适合用来做扫描各种工件的测球材料，但是在扫描测量铝和铸铁的过程中可能会有磨损，因此

在测量在铝和铸铁制品时，建议使用下列其它材料。

■ 氮化硅

氮化硅，类似于红宝石，是一种陶瓷材料，具有高硬度，耐磨性强，因为氮化硅不会与铝融合，因此不会

像红宝石一样给钢材表面造成粘着磨损。但是，由于钢材表面对磨损有明显的敏感性，我们推荐氮化硅测

球仅用于铝制工件。

■ 氧化锆

氧化锆是一种陶瓷材料，硬度特别好，硬度和磨损特性等同于红宝石。氧化锆测球是扫描铸铁工件的

好的选择，因为它与氧化锆接触不产生磨损。

■ 校准

即使选取了适合工件的测针，除非在测量前校准了测头，否则不能取得正确的测量结果。这包括按定义

的顺序探测标准球，从而使三坐标测量机软件能建立起尖端测球和测头/测针的特性。

■ 校准机制

三坐标测量机使用特定的测头校准程序计算每个测针测球的中心位置和直径。

此程序使用各个配置测针测球与标准球组成的三坐标测量机的测量值来确定测球的正确直径，并在软件中存

储所测量到的数据。

标准球的精确直径可以从上一次校准测量得知，并在计算中存储使用。因为工件可能会从任一方向测量，测

针需要在标准球上进行多点校准。

扫描系统要校准大量的点，在遵守这些规程的情况下，机器坐标系统上的每个测针测球的有效直径和测针测

球的中心位置都要设置，以便进行准确测量。

■ 使用测针的注意事项

■ 根据测针长度和质量，以及三坐标测量机本体的驱动速度和加速度的不同，可能出现输入错误。请小心使用。

■ 盘形测针由球面中心截面组成，用于测量工件的边缘和底部切槽。由于其形状，这种类型的测头实际上仅仅

用于X和Y方向上的测量。不用在Z方向上进行测量。同样，这种测针必须与测针交换系统一起使用。

■ 由于形状，柱形的测针使用也存在限制。

■ 关于限制的详细情况，请联系三丰销售办公室。

■ 根据测针固定螺纹尺寸的不同，测针分为M2到M5系列。

使用转换适配器等能使测针安装不同尺寸的螺纹。在这种情况下，请参考测头安装手册，选择与测头规范兼

容的测针配置。如果对安装方法有任何疑问，请联系当地的三丰销售办公室。

1 球形测针

MS 2 - 0.5 R 3 C

三丰生产的测针

测球材料

测杆材料

有效长度(EWL)

R: 红宝石

SN: 氮化硅

Z: 氧化锆

C: 陶瓷

无: 其它安装螺丝直径

测球直径

2 圆柱形测针

测球材料

R: 红宝石

H: 硬质合金

- : 其它

安装螺丝直径

MS 2 - CY 3 R 6

圆柱直径

有效长度(EWL)

圆柱

三丰生产的测针

EWL

3 盘形测针

测球材料

R: 红宝石

- : 除红宝石的其它材料

盘形直径

MS 2 - DISC 12 - 2

盘形厚度

安装螺丝直径

盘形

三丰生产的测针

盘形厚度

盘形直径

4 星形测针

测球材料

R: 红宝石

- : 除红宝石的其它材料

球头直径

MS 2 - STAR 2 R 2.5

有效长度

(EWL)

安装螺丝直径

星形测针

三丰生产的测针

EWL

5 其他配件

①针型测针 MS2-PO(当测针尖部是硬质合金时，添加“H”)

②延长杆 MS2-EXT10(末端的数字代表长度，如果测杆为碳化纤维，将在末尾加上“G”，如果测杆为陶

瓷制品，则添加“C”)

③测针关节 MS2测针关节(是将测针转换到好的角度的适配器)

④测针中心座 MS测针中心座(允许在十字方向安装测针适配器)

根据测针的品名可大致判断出测针的形状。(如下请参考)

三坐标测量机用测针的辨别方法

EWL：不干扰球的测杆部分的有效长度

注：EWL在以下的深度测量，会有干扰工件的情

况。EWL使用长的或者直径细的测针时，由于测

力(接触工件的力)挠曲，会增加测量误差。如果

大力接触工件的话，有可能会损坏测针，需要

注意。

EWL

EWL：ボールに軸部分が干渉しない有効長さ

注：EWL以下の測定深さでもワークと干渉する場

合があります。EWLが長い、またはその径が細い

スタイラスを使用すると、測定力（ワークに接触さ

せる力）によるたわみによって、測定誤差が大き

くなることがあります。また、強くワークに接触さ

せると、スタイラスを破損させる恐れがあります

ので取扱いにご注意ください。

测针(安装螺纹M2)

货号 06ABN751

描述 MS2-0.3R2

M2X0.4 2

ø3

ø0.2

质量: 0.3g

Sø0.3红宝石球

硬质合金・使用0.4N或者更小的测力。

・不能安装于TP200*。

・不能直送。

・与常规测针相比，此测针可能使用寿命相对

短一些。

・陶瓷基准球(高精度型) 推荐使用Sø10mm。

货号 06ABN752 06AFG320 06AFG391

描述 MS2-0.5R3 MS2-0.5SN3 MS2-0.5Z3

测针材质红宝石氮化硅氧化锆 M2X0.4 3

ø3

ø0.3

质量: 0.3g

Sø0.5

硬质合金・与常规测针相比，此测针可能使用寿命相对

短一些。

・不推荐安装到TP200上。

・陶瓷基准球(高精度型)

推荐使用Sø10mm。

货号 06ABN753 06AFG392

描述 MS2-0.7R4 MS2-0.7Z4

测针材质红宝石氧化锆 M2X0.4

ø0.5 4

ø3

质量: 0.3g

Sø0.7

硬质合金・与常规测针相比，此测针可能使用寿命相对

短一些。

・陶瓷基准球(高精度型)

推荐使用Sø10mm。

货号 06ABN754 06AFG321 06AFG393

描述 MS2-1R4.5 MS2-1SN4.5 MS2-1Z4.5

测针材质红宝石氮化硅氧化锆 M2X0.4ø3

ø0.7 4.5

10 质量: 0.3g

Sø1

不锈钢

货号 06ABN755 06AFG322 06AFG394

描述 MS2-1R7 MS2-1SN7 MS2-1Z7

测针材质红宝石氮化硅氧化锆 M2X0.4

ø0.7

ø3

质量: 0.6g

Sø1

硬质合金

货号 06ABN756 06AFG323 06AFG395

描述 MS2-1R12.5 MS2-1SN12.5 MS2-1Z12.5

测针材质红宝石氮化硅氧化锆 M2X0.4

12.5

ø0.8

ø3

质量: 0.41g

Sø1

硬质合金

货号 06ABN757 06AFG324 06AFG396

描述 MS2-1R20.5 MS2-1SN20.5 MS2-1Z20.5

测针材质红宝石氮化硅氧化锆 M2X0.4ø3

ø0.67

20.5

27.5 质量: 0.4g

Sø1

硬质合金

货号 06ABF409

描述 MS2-1R37

M2X0.4 硬质合金 Sø1红宝石球

质量 : 0.9g 52

ø0.7

ø3

・不能安装于TP200*。不推荐安装到TP20上。

货号 06ABN758 06AFG325 06AFG397

描述 MS2-1.5R4.5 MS2-1.5SN4.5 MS2-1.5Z4.5

测针材质红宝石氮化硅氧化锆 M2X0.4 4.5 ø0.7 ø3

10 质量: 0.3g

Sø1.5

不锈钢

货号 06ABN759 06AFG326 06AFG398

描述 MS2-1.5R12.5 MS2-1.5SN12.5 MS2-1.5Z12.5

测针材质红宝石氮化硅氧化锆 M2X0.4

ø1

ø3

12.5

质量: 0.46g

Sø1.5

硬质合金

货号 06ABN760 06AFG327 06AFG399

描述 MS2-1.5R22.5 MS2-1.5SN22.5 MS2-1.5Z22.5

测针材质红宝石氮化硅氧化锆 M2X0.4

ø1

ø3

22.5

质量: 0.58g

Sø1.5

硬质合金

货号 06ABN761 06AFG328 06AFG400

描述 MS2-2R6 MS2-2SN6 MS2-2Z6

测针材质红宝石氮化硅氧化锆 M2X0.4 6 ø1 ø3

10 质量: 0.3g

Sø2

不锈钢

* 超过30mm的测针，轴的材料请选择碳纤维或者陶瓷产品。

货号 06ABN762 06AFG329 06AFG401

描述 MS2-2R14 MS2-2SN14 MS2-2Z14

测针材质红宝石氮化硅氧化锆 M2X0.4 14 ø1.4 ø3

20 Sø2

不锈钢

质量: 0.4g

货号 06ABN763 06AFG330 06AFG402

描述 MS2-2R22.5 MS2-2SN22.5 MS2-2Z22.5

测针材质红宝石氮化硅氧化锆 Sø2

硬质合金

M2X0.4

质量: 0.99g

22.5

ø1.5

ø3

货号 06ABN764 06AFG342 06AFG403

描述 MS2-2R32.5 MS2-2SN32.5 MS2-2Z32.5

测针材质红宝石氮化硅氧化锆 M2X0.4

硬质合金

Sø2

质量: 1.29g

32.5

ø1.5

ø3

・不能安装于TP200*

。

货号 06ABF406

描述 MS2-2R52

M2X0.4 硬质合金 Sø2红宝石球

质量: 1.5g

ø1.4

ø3

・不能安装于TP200*。不推荐安装到TP20上。

货号 06ABN765 06AFG343 06AFG404

描述 MS2-2.5R6 MS2-2.5SN6 MS2-2.5Z6

测针材质红宝石氮化硅氧化锆 Sø2.5

不锈钢

M2X0.4

质量: 0.3g

ø1

ø3

货号 06ABN766 06AFG344 06AFG405

描述 MS2-2.5R16.4 MS2-2.5SN16.4 MS2-2.5Z16.4

测针材质红宝石氮化硅氧化锆

质量: 0.4g

M2X0.4 16.4

ø3

ø1.4

不锈钢

Sø2.5

货号 06ABN767 06AFG345 06AFG406

描述 MS2-2.5R22.5 MS2-2.5SN22.5 MS2-2.5Z22.5

测针材质红宝石氮化硅氧化锆 M2X0.4

质量: 1.48g

ø2

ø3

22.5

硬质合金

Sø2.5

货号 06ABN768 06AFG346 06AFG407

描述 MS2-2.5R32.5 MS2-2.5SN32.5 MS2-2.5Z32.5

测针材质红宝石氮化硅氧化锆

质量: 1.95g

M2X0.4

硬质合金

32.5 Sø2.5

ø3

ø2

・不能安装于TP200*

。

货号 06ABN769 06AFG347 06AFG408

描述 MS2-3R7.5 MS2-3SN7.5 MS2-3Z7.5

测针材质红宝石氮化硅氧化锆 Sø3

不锈钢

M2X0.4

质量: 0.4g

ø1.5

ø3

7.5

货号 06ABN770 06AFG348 06AFG409

描述 MS2-3R17.5 MS2-3SN17.5 MS2-3Z17.5

测针材质红宝石氮化硅氧化锆 Sø3

不锈钢

M2X0.4

质量: 0.5g

17.5

ø3

ø1.5

货号 06ABN771 06AFG349 06AFG410

描述 MS2-3R27.5 MS2-3SN27.5 MS2-3Z27.5

测针材质红宝石氮化硅氧化锆

质量: 1.49g

M2X0.4

硬质合金

27.5 Sø3

ø3

ø2

货号 06ABN772 06AFG350 06AFG411

描述 MS2-3R37.5 MS2-3SN37.5 MS2-3Z37.5

测针材质红宝石氮化硅氧化锆

质量: 1.97g

M2X0.4

硬质合金

Sø3

ø2

ø3

37.5

・不能安装于TP200*

。

货号 06ABN773 06AFG351 06AFG412

描述 MS2-3R47.5 MS2-3SN47.5 MS2-3Z47.5

测针材质红宝石氮化硅氧化锆 Sø3

硬质合金

M2X0.4

质量: 2.44g

47.5

ø3

ø2

・不能安装于TP200*。不推荐安装到TP20上。

* 超过30mm的测针，轴的材料请选择碳纤维或者陶瓷产品。

货号 06ABF402

描述 MS2-3R64

M2X0.4 不锈钢 Sø3红宝石球

质量: 1.3g

ø1.5

ø3

・不能安装于TP200*。不推荐安装到TP20上。

货号 06ABF405

描述 MS2-3R68.5C

M2X0.4 陶瓷 Sø3红宝石球

质量: 1.6g

68.5

83.5

ø2

ø3

・不能安装于TP200*。不推荐安装到TP20上。

货号 06ABN774 06AFG352 06AFG413

描述 MS2-4R10 MS2-4SN10 MS2-4Z10

测针材质红宝石氮化硅氧化锆

不锈钢

M2X0.4 Sø4

质量: 0.4g

ø3

ø1.5

货号 06ABN775 06AFG353 06AFG414

描述 MS2-4R20 MS2-4SN20 MS2-4Z20

测针材质红宝石氮化硅氧化锆

Sø4

不锈钢

M2X0.4

质量: 0.6g

ø3

ø1.5

货号 06ABN776 06AFG354 06AFG415

描述 MS2-4R30 MS2-4SN30 MS2-4Z30

测针材质红宝石氮化硅氧化锆

Sø4

硬质合金

M2X0.4

质量: 1.57g

ø3

ø2

货号 06ABN777 06AFG355 06AFG416

描述 MS2-4R40 MS2-4SN40 MS2-4Z40

测针材质红宝石氮化硅氧化锆

质量: 2.04g

M2X0.4

硬质合金

Sø4

ø2

ø3

・不能安装于TP200*

。

货号 06ABN778 06AFG356 06AFG417

描述 MS2-4R50 MS2-4SN50 MS2-4Z50

测针材质红宝石氮化硅氧化锆

Sø4

硬质合金

M2X0.4

质量: 2.52g

ø3

ø2

・不能安装于TP200*。不推荐安装到TP20上。

货号 06ABN779 06AFG357 06AFG418

描述 MS2-4R50C MS2-4SN50C MS2-4Z50C

测针材质红宝石氮化硅氧化锆

Sø4

陶瓷

M2X0.4

质量: 0.91g

ø3

ø2

货号 06ABQ341 06AFG358 06AFG419

描述 MS2-4R50.5G MS2-4SN50.5G MS2-4Z50.5G

测针材质红宝石氮化硅氧化锆

M2X0.4 碳纤维 Sø4

质量: 1.0

ø3

50.5

货号 06ABF404

描述 MS2-4R68

M2X0.4 不锈钢 Sø4红宝石球

质量: 2.0

ø3

ø2

・不能安装于TP200*。不推荐安装到TP20上。

货号 06ABF410

描述 MS2-4R98C

质量: 2.5

M2X0.4 陶瓷 Sø4红宝石球

ø3

・不能安装于TP200*。不推荐安装到TP20上。

货号 06ABN780 06AFG359 06AFG420

描述 MS2-5R10 MS2-5SN10 MS2-5Z10

测针材质红宝石氮化硅氧化锆

Sø5

不锈钢

M2X0.4

质量: 0.7g

ø3

ø2.5 10

货号 06ABN781 06AFG360 06AFG421

描述 MS2-5R20 MS2-5SN20 MS2-5Z20

测针材质红宝石氮化硅氧化锆

Sø5

陶瓷

M2X0.4

质量: 1.98g

ø3

ø2.5 20

* 超过30mm的测针，轴的材料请选择碳纤维或者陶瓷产品。

货号

06ABN782 06AFG361 06AFG422

描述 MS2-5R30 MS2-5SN30 MS2-5Z30

测针材质红宝石氮化硅氧化锆

质量: 2.57g

M2X0.4 Sø5

硬质合金

ø3

ø2.5

货号 06ABN783 06AFG362 06AFG423

描述 MS2-5R40 MS2-5SN40 MS2-5Z40

测针材质红宝石氮化硅氧化锆

硬质合金

M2X0.4 Sø5

质量: 3.17g

ø3

ø2.5

・不能安装于TP200*

。

货号 06ABN784 06AFG363 06AFG424

描述 MS2-5R50 MS2-5SN50 MS2-5Z50

测针材质红宝石氮化硅氧化锆

硬质合金

M2X0.4 Sø5

质量: 3.75g

ø3

ø2.5

・不能安装于TP200*。不推荐安装到TP20上。

货号 06ABN785 06AFG364 06AFG425

描述 MS2-5R50C MS2-5SN50C MS2-5Z50C

测针材质红宝石氮化硅氧化锆

Sø5

陶瓷

M2X0.4

质量: 1.0g

ø3

ø2.5

货号 06ABQ342 06AFG365 06AFG426

描述 MS2-5R50.5G MS2-5SN50.5G MS2-5Z50.5G

测针材质红宝石氮化硅氧化锆

质量: 1.1

M2X0.4 碳纤维 Sø5

50.5

ø3

・不推荐安装到TP20上。

货号 06ABF411

描述 MS2-5R97.5C陶瓷

M2X0.4 Sø5红宝石球

质量: 2.1g

ø3

97.5

・不能安装于TP200*。不推荐安装到TP20上。

货号 06ABN786 06AFG366 06AFG427

描述 MS2-6R10 MS2-6SN10 MS2-6Z10

测针材质红宝石氮化硅氧化锆

Sø6

不锈钢

M2X0.4

质量: 0.9g

ø3

ø2.5 10

货号 06ABN787 06AFG367 06AFG428

描述 MS2-6R50.5G MS2-6SN50.5G MS2-6Z50.5G

测针材质红宝石氮化硅氧化锆

质量: 1.2

M2X0.4 碳纤维 Sø6

50.5

ø3

・不推荐安装到TP20上。

货号 06ABN788 06AFG368 06AFG429

描述 MS2-8R11 MS2-8SN11 MS2-8Z11

测针材质红宝石氮化硅氧化锆

质量: 1.5g

M2X0.4

不锈钢

11 Sø8

ø2.5

ø3

* 超过30mm的测针，轴的材料请选择碳纤维或者陶瓷产品。

测针

(安装螺纹M2

)

货号 135399

描述 MS2-19.05C 3/4inch

(3/4\")

碳纤维

M2X0.4 质量: 4.4g

18.05

3 13.05

ø3

ø19.05

・不能安装于TP200*。不推荐安装到TP20上。

货号 160225

描述 MS2-18C

ø18

M2X0.4 ø4

陶瓷质量: 3.3

0.4

2.2

货号 06ABN795

描述 MS2-STAR1R2.5

质量: 0.5g

Sø1红宝石球

M2X0.4

M2X0.4 2.5

ø3

7.5

ø0.67

货号 06ABN796

描述 MS2-STAR2R5.25 Sø2红宝石球

M2X0.4

质量: 1.3g

10.7

ø1.4

ø2

5.5 5.25

货号 06ABN797

描述 MS2-STAR2R10.75

10.7

质量: 1.8g

Sø2红宝石球

M2X0.4

ø2

ø1.4

5.5 10.75

货号 06ABN789

描述 MS2-CY1.5-1.7

不锈钢

M2X0.4

质量: 0.3g

ø3

ø1 11

ø1.5

1.7

・请注意使用限制。

详细信息请联系三丰公司销售部。

货号 06ABN790

描述 MS2-CY3-4

不锈钢

质量: 0.6g

M2X0.4

ø1.5

ø3

・请注意使用限制。

详细信息请联系三丰公司销售部。

货号 06ABN791

描述 MS2-CY1R7.5红宝石

M2X0.4

质量: 0.3g

14.5

7.5

ø3

Sø1

・请注意使用限制。

详细信息请联系三丰公司销售部。

货号 06ABN792

描述 MS2-CY2R6.5 红宝石

M2X0.4

质量: 0.5g

6.5

ø1.5

ø3

Sø2

・请注意使用限制。

详细信息请联系三丰公司销售部。

货号

06ABN793

描述 MS2-CY2H31

质量: 2.0g

M2X0.4

硬质合金

ø3

Sø2

・不推荐安装到 TP200

上

。

・请注意使用限制。

详细信息请联系三丰公司销售部。

货号 06ABN794

描述 MS2-CY4R8.5

质量: 0.9g

M2X0.4

红宝石

8.5

ø2

ø3

Sø4

・请注意使用限制。

详细信息请联系三丰公司销售部。

货号 06ABN799

描述 MS2-PO

M2X0.4

质量: 0.7g钢

ø3

货号 06ABN800

描述 MS2-PO-H

质量: 0.7g

M2X0.4

硬质合金

ø1.4

ø3

R0.1

货号 160214

描述 MS2-DISC6R-2

M2X0.4质量: 0.6

1.2

ø3

10ø2

Sø6红宝石球

・请注意使用限制。

详细信息请联系三丰公司销售部。

货号 06AAL516

描述 MS2-DISC18-2.5

ø18质量: 3.0

M2X0.4

不锈钢

2.5

1.5

8.2

ø3

・请注意使用限制。

详细信息请联系三丰公司销售部。

货号 160215

描述 MS2-DISC18-3

质量: 2.7

M2X0.4

2.63

2.2

ø18

・请注意使用限制。

详细信息请联系三丰公司销售部。

货号 06AAL517

描述 MS2-DISC25-2.5

质量: 4.0

M2X0.4

不锈钢

2.5

1.5

8.2

ø3

ø25

・请注意使用限制。

详细信息请联系三丰公司销售部。

货号 160226

描述 MS2-DISC25-3

质量: 3.8

M2X0.4

2.5

ø25

・请注意使用限制。

详细信息请联系三丰公司销售部。

* 超过30mm的测针，轴的材料请选择碳纤维或者陶瓷产品。

测针

(安装螺纹M2

)

货号 06ABP853

描述 MS2-EXT5

M2X0.4

质量: 0.2

M2X0.4

不锈钢

ø3

货号 06ABN804

描述 MS2-EXT10 不锈钢

M2X0.4

质量: 0.4g

M2X0.4

ø3

货号 06ABN805

描述 MS2-EXT20 不锈钢

M2X0.4

质量: 0.9g

M2X0.4

ø3

货号 908884

描述 MS2-EXT20C 陶瓷

M2X0.4

质量: 0.7

M2X0.4

ø3

货号 06ABN806

描述 MS2-EXT30 不锈钢

M2X0.4

质量: 1.4

M2X0.4

ø3

货号 06ABN807

描述 MS2-EXT40

M2X0.4

质量: 1.8g

M2X0.4

不锈钢

ø3

货号 908885

描述 MS2-EXT40C

M2X0.4

质量: 1.0

M2X0.4

陶瓷

ø3

货号 06AAL257

描述 MS2-EXT40G

ø3

碳纤维

M2X0.4质量: 0.9g 40 ø3.55 11.55 M2X0.4

・用于TP200・安装测针时，需要为碳延长杆增加附属

装置工具。 (参见第60

页

)

货号 06AAL258

描述 MS2-EXT50G

M2X0.4质量: 1.0

碳纤维

ø3

ø3.55 11.55 M2X0.4

・用于TP200・安装测针时，需要为碳延长杆增加附属

装置工具。 (参见第60

页

)

货号 908886

描述 MS2-EXT60C

陶瓷

M2X0.4

质量: 1.3g

M2X0.4

ø3

货号 06ABN809

描述 MS2-EXT70G碳纤维

质量: 1.3g

M2X0.4 70 ø3

ø3.55 11.55

・不推荐安装到TP200上。

・同样，对于其他测头，推荐在竖直方向

使用。

・安装测针时，需要为碳延长杆配备安装

工具。(参见第60页)

货号 153142

描述 MS2-测针关节

不锈钢

质量: 1.6g

M2X0.4

4.5

・用适配器将测针转到理想的方向。

货号 06AFA210

描述 MS2-测针转向节 M2 钢不锈钢 M2

16.5

・用适配器将测针转到理想的方向。

货号 06ABN812

描述 MS2-测针中心座不锈钢

质量: 0.8g

M2X0.4

4-M2X0.4

7.5

・用适配器将测针转到5个理想的方向。

货号 06ABN813

描述 MS2-M3 适配器

M3X0.5

质量: 0.4g

M2X0.4

不锈钢

ø4

・这是测头的适配器，为了使用M3螺纹的

测针，它的测针附属部分使用M2螺纹

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