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接触式位移传感器
精密传感器
LINEAR GAGE
产品样本 No.C13007(13)
1 三丰精密传感器 三丰精密传感器
接触式位移传感器 从高精度传感器到
性价比出众的传感器的
全系列产品阵容
2
标尺光栅
指示光栅
受光元件
聚光镜
LED
5 µm
A相
B相
PA相
PB相
20 µm 20 µm
测量间距
接触式位移传感器的检出器的光源(LED)和受光元件(光电二极管)彼此相对，
20µm栅距的标尺光栅和指示光栅位于两者之间。当光栅尺相对检出器移动
时，透过指示光栅窗口的光线强度连续变化，同时输出两个具有相对90度相
位差的同步正弦波信号。这些信号经放大与电子细分(插值)，并以0.1µm、
0.5µm和1µm的脉冲输出。因此，接触式位移传感器的本体可以单独使用。
接触式位移传感器的测量原理
采用光电式透射型直线栅尺
3 三丰的长度溯源体系
此体系图仅表示了三丰部分产品的溯源性概要，各个产品的详细体系图个别发布。
目前，对单独的溯源体系图依次进行了修正，部分会与本溯源体系图有所不同，敬请谅解。
三丰计量标准校准课
【JCSS认证企业 No.0067】
基准频率振荡器(用作光频梳装置的基准器)
三丰 宫崎工厂
【JCSS认证企业 No.0030】
633nm碘分子饱和吸收
稳频He-Ne激光器
三丰 宇都宫校准中心
【JCSS认证企业 No.0031】
长度用633nm
波长稳定He-Ne激光装置
三丰 川崎校准中心
【JCSS认证企业 No.0086】
长度用633nm
波长稳定He-Ne激光装置
三丰 宫崎工厂
实用型633nm波长稳定
He-Ne激光器
三丰 宇都宫校准中心
【JCSS认证企业 No.0031】
校准用量块
三丰 宫崎工厂
【JCSS认证企业 No.0030】
校准用量块
国立研究开发法人 产业技术综合研究所 计量标准综合中心【NMIJ/AIST】
与世界标准时间同步的原子钟〈特定基准器〉
国立研究开发法人 产业技术综合研究所 计量标准综合中心【NMIJ/AIST】
与世界标准时间同步的原子钟及光频梳装置〈特定基准器〉
长度分类的溯源性
国立研究开发法人 产业技术综合研究所
计量标准综合中心
参照光学检光板
三丰 计量标准校准课
【JCSS认证企业 No.0067】
633nm碘分子饱和吸收稳频He-Ne激光器
温度分类的溯源性
国立研究开发法人
产业技术综合研究所
计量标准综合中心
温度固定点群复现装置
〈特定基准器〉
各种测量设备
检查、校准装置
日本电气计器检定所
【JEMIC】
温度计校准用固定点复现装置
JCSS认证企业
温度计校准用固定点复现装置/
铂电阻温度计
三丰
计量标准校准课
【JCSS认证企业 No.0067】
温度计校准用固定点复现装置
(水三相点)/铂电阻温度计
三丰 宇都宫校准中心
【JCSS认证企业No.0031】
校准用量块/
千分尺量杆/阶差规
传感器系统 形状测量机 测长单元 光学仪器 温度计
三丰 销售服务总括本部
【JCSS认证企业 No.0186】
校正用量块/阶差规/基准尺/
长度用实用型633nm波长稳定He-Ne激光装置
阶差规 标准尺、基准尺 激光光源
截至2021年3月
平面平晶/平行平晶
三丰 广岛校准中心
【JCSS认证企业 No.0109】
校准用量块/
千分尺量杆/阶差规
环规 指示表检测器
三坐标测量机
量块
影像测量机 测量工具
4
接触式位移传感器的测量原理………………………………………… 2
三丰的长度溯源体系 ……………………………………………………… 3
应用 …………………………………………………………………………… 5～8
传感器、计数器一览表……………………………………………… 9、10
传感器规格
LG100 ………………………………………………………………………… 11～13
LG200 ……………………………………………………………………………… 14
LGH …………………………………………………………………………… 15、16
LGS-1012P ………………………………………………………………………… 17
传感器规格附件(选件) ……………………………………………………… 18～22
传感器规格(差动方波输出) ……………………………………………………… 23
传感器规格(Digimatic输出) ……………………………………………………… 24
计数器规格
EJ计数器、接口装置 ………………………………………………………… 25～27
EC(Digimatic输出专用) …………………………………………………………… 28
EH(1Ch、2Ch输入多功能型)带串行通信功能……………………………… 29～34
原点标识检测动作说明…………………………………………………………… 35
接触式位移传感器和计数器的连接/计数器的功能比较表 …………………… 36
用于 EH、EV、VL 的测量数据采集软件 SENSORPAK…………………………… 37
接触式位移传感器用附件(选件) …………………………………………… 38、39
精密测量仪器的小知识
精密测量仪器的小知识…………………………………………………………… 40
使用前……………………………………………………………………………… 41
接触式位移传感器安装时的注意事项…………………………………………… 42
■关于提供CAD数据
对于那些可以集成到各种机器和设备中使用的测量仪器，我们也特别重视。
您可以根据需要从我们的网站下载可直接用于您的设计工作的2D/3D CAD数据。
●本公司的主页
URL: https://www.mitutoyo.com.cn
INDEX
5 半导体零部件成型
封装
组装、检测
检测基板厚度
检测轧辊间隙 应用
精密零部件制造
芯片平行度测量
6
回流焊、检测
产品制造
测量复印机零件的平行度
FPD基板多点测量
测量铆合高度
就位确认
7 应用
汽车制造工序
平面度测量 刹车盘的多点测量 工件高度检测 测量凸轮轴位移量
8
工件跳动测量
加工机刀具长度测量 工件判别
检测夹具
9 传感器、计数器一览表
耐环境型 LG100*
测量范围：10 mm/25 mm/50 mm
分辨力：1 µm/0.5 µm/0.1 µm
Digimatic输出型
LGS
测量范围：12.7 mm
分辨力：10 µm
细长型
LG200*
测量范围：10 mm
分辨力：1 µm/0.5 µm/0.1 µm
转换头
No.21HZA196
转换头
No.21HZA195
高精度型
LGH
测量范围：10 mm
分辨力：0.01 µm/0.005 µm
参照第11页 参照第17页
参照第14页
参照第15页
注：LG200的计数器原点检测功能不可使用 *与三丰旧款计数器的连接，请向本公司的特约店或您附近的本公司
的营业课进行详细咨询。
A/B/Z相带原点标识 A/B相
Digimatic
［传感器］ ［转换头］
10
DIN导轨安装型
面板安装、固定型
EJ-102N 2轴输入、和差运算
可连接8台
2轴输入、和差运算
多功能
接口装置
EJ计数器用设置工具
CC-Link
No.21HZA186
LG QuickSetupTool (可在三丰网站免费下载)
EH计数器测量数据采集软件
SENSORPAK
EH-102Z
小型显示装置
EJ计数器用设定工具
1轴输入
EC-101D
多功能
EH-101P(1轴)
EH-102P(2轴) 2轴输入、和差运算
多功能
EH-102D
参照第25页
参照第29页
参照第28页
参照第29页
参照第29页
参照第25页
参照第25页
EtherNet/IP
No.21HZA188
参照第25页
参照第25页
PROFINET
No.21HZA187
参照第25页
参照第27页
参照第37页
USB
No.21HZA149
EtherCAT
No.21HZA264 A/B/Z相带原点标识
A/B/Z相带原点标识
A/B相
Digimatic
Digimatic
［计数器］ ［接口装置/软件］
11 ● 可联入生产线及测量室使用的高精度传感器。 ● 能保证整个测量范围的重复性(2σ)和窄范围精度。 ● 滑动耐久性达5,000万次以上※1，采用高耐油性材料，实现保护等级IP67G。 ※1 测量范围10 mm型(基于本公司试验的实际值) ● 所有系列均配备原点信号输出功能，可在超速等问题恢复后复位原点位置。 ● 可连接适合联入生产线或嵌入设备的小型计数器(EJ计数器)以及适合在测量室内使用的多
功能计数器(EH计数器)※2
。
※2 需使用转换头
542-190/542-191/542-192
LG100-110/0510/0110
542-193/542-194/542-195
LG100-125/0525/0125
542-196/542-197
LG100-150/0550
LG100-110 LG100-125 LG100-150
连接线(2 m)
(HIROSE)HR10A-10P-10P 43
ø14.7 (50) (48)
(18) (17)
连接部
附件(选件) ● 气动升降装置
测量范围10 mm用：No.02ADE230
测量范围25 mm用：No.02ADE250测量范围50 mm用：No.02ADE270
※所需空气压力：0.2～0.4 MPa (使用分辨力0.1 µm型时为0.2 MPa)
※空气供给时，测杆伸长 ● 橡胶套管(更换用)
测量范围10 mm用：No.21HAA331
测量范围25 mm用：No.21HZA176
测量范围50 mm用：No.21HZA184 ● 推力轴套套装
※外观尺寸见产品外观尺寸图
测量范围10 mm用：No.02ADB680
推力轴套：No.02ADB681
锁紧螺母：No.02ADB682
测量范围25、50 mm用：No.02ADN370
推力轴套：No.02ADN371
锁紧螺母：No.02ADB692
● 专用扳手
测量范围10 mm用：No.02ADB683
测量范围25、50 mm用：No.02ADB693 ※“推力轴套套装”是推力轴套和锁紧螺母
的组合产品。使用时需要单独购买紧固用“专用扳手”。另外，使用多个传感器时需
要购买〔推力轴套套装〕× 传感器数 + 专
用扳手 × 1。
● 延长电缆
5 m：No.21HZA197
10 m：No.21HZA198
20 m：No.21HZA199
※最多可以连接3条，延长长度最大为20 m ● 转换头
EH-101P、EH-102P连接用：No.21HZA195
EH-102Z连接用：No.21HZA196 〔〔
21HZA195(标准型)
21HZA196(带原点标识型)
单位：mm
规格
货号 542-190 542-191 542-192 542-193 542-194 542-195 542-196 542-197型号 LG100-110 LG100-0510 LG100-0110 LG100-125 LG100-0525 LG100-0125 LG100-150 LG100-0550
测量范围 10 mm 25 mm 50 mm
分辨力 1 µm 0.5 µm 0.1 µm 1 µm 0.5 µm 0.1 µm 1 µm 0.5 µm
示值误差(20 ℃)
L=任意测量长度(mm) 1.5＋L/50 µm 0.8＋L/50 µm 1.5＋L/50 µm 0.8＋L/50 µm 1.5＋L/50 µm
窄范围精度 0.5 µm(任意20 µm的范围)
重复性：2σ(20 ℃) 0.3 µm
原点重复性：σ(20 ℃) σ≤0.5 µm(在同一方向通过原点的恒定速度低于300 mm/s)
测力
测杆朝下 1.4 N以下 4.6 N以下 5.7 N以下
测杆水平 1.3 N以下 4.3 N以下 5.3 N以下
测杆朝上 1.2 N以下 4.0 N以下 4.9 N以下
位置检测方式 光电式透射型线性编码器
响应速度 1,500 mm/s 400 mm/s 1,500 mm/s 400 mm/s 1,500 mm/s
输出信号 90°相位差，差动方波(符合RS-422)
最小边缘间隔 500 ns
(2 MHz)
250 ns
(4 MHz)
500 ns
(2 MHz)
250 ns
(4 MHz)
500 ns
(2 MHz)
250 ns
(4 MHz)
输出信号间距 4 µm 2 µm 0.4 µm 4 µm 2 µm 0.4 µm 4 µm 2 µm
原点信号(Z相)位置 距测头顶端(下死点)约3 mm 距测头顶端(下死点)约5 mm
质量 约260 g 约300 g 约400 g
测头 硬质合金球形测头ø3mm(安装螺纹：M2.5(P＝0.45)×5) 标准测头No.901312
装夹套筒直径 ø8 mm ø15 mm
轴承类型 线性滚珠轴承
输出电缆长度 2 m(本体直接延伸出来)
连接器 使用插头：HR10A-10P-10P(HIROSE)，兼容插座：HR10A-10R-10S(HIROSE)，
兼容连接器：HR10A-10J-10S(HIROSE)
使用温度(湿度)范围 0~50 ℃(20~80%RH、无凝结)
储存温度(湿度)范围 －10~60 ℃(20~80%RH、无凝结)
标准附属品 测头更换用扳手：No.538610 测头更换用扳手：No.210187
A/B/Z相
带原点标识
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542系列—耐环境型
接触式位移传感器(光栅式)
12
外观尺寸图
542-190/542-191/542-192
LG100-110/LG100-0510/
LG100-0110
542-193/542-194/542-195
LG100-125/LG100-0525/
LG100-0125
542-196/542-197
LG100-150/LG100-0550
单位：mm
45.9
(13.3)
12
5
14.59.54
推力轴套
02ADB681
安装附件(选件)推力轴套套装时
锁紧螺母
02ADB682
M9.5×0.5
ø9.5 0
-0.015
17.3
6
ø8 0
-0.009
M9.5×0.5 (推力轴套安装用螺纹)
电缆长度＝2m
(螺纹高度)
0.6 14.8 (15.4)
43 ø14.7
61.5
34
行程 10.6以上
12.375.7 14 46.9
6.9(129.5)
84.1
(24.2)
21
4.5
18.5 95
推力轴套 02ADN371 M18×1 ø18 0-0.018
30.7
ø15 0-0.011
M14×0.5 (推力轴套安装用螺纹)
电缆长度＝2m
(螺纹高度) 0.6 20 (20.6) 43
ø14.7
61.7
34
行程
26以上
114.7
22
93.66.5
(208.3)
13.8 8.6
锁紧螺母
02ADB692
安装附件(选件)推力轴套套装时
124.9
(24.2)
21
4.5
18.5 95
M18×1
ø18 0-0.018
56.1
ø15 0-0.011
M14×0.5 (推力轴套安装用螺纹)
(螺纹高度) 0.6 20 (20.6)
43
ø14.7
61.7
34
行程
51.5以上
174
29.6 6
(316)
142
8.6 13.8
推力轴套
02ADN371
锁紧螺母
02ADB692
电缆长度＝2m
安装附件(选件)推力轴套套装时
应用
测量电池平整度
检测压入量
工作台定位
13 测量
计数器
工业用接口PLC
数据管理
小型计数器 EJ系列 ※3
多功能计数器 EH计数器 ※2
※1：EH计数器的USB输出为SENSORPAK专用。 ※2：连接EH计数器需使用转换头。 ※3：也可使用转换电缆连接常规的传感器。 (关于可连接的传感器，请另行咨询。)
RS-232
二相方波
工业用I/F·I/O USB
RS232C/USB ※1
LG100系列
LG200系列
PCPLC
可实时测量和管理数据
系统构成
14 ● 沿袭了业绩良好的LG100系列的耐振、耐冲击性能，本体尺寸更小。截面积仅相当于 LG100-110型的1/5。 ● 可联入生产线及测量室使用的高精度传感器。 ● 能保证整个测量范围的重复性(2σ)和窄范围精度。 ● 滑动耐久性达1亿次以上※1，采用高耐油性材料，实现保护等级IP67G。 ※1 基于本公司试验的实际值。 ● 可连接适合联入生产线或嵌入设备的小型计数器(EJ计数器)以及适合在测量室内使用的多功
能计数器(EH计数器)※2
。
※2 需使用转换头。
外观尺寸图
542-186/542-187/542-188
LG200-110/LG200-0510/LG200-0110
连接部
附件(选件) ● 气动升降装置：No.02ADE230
※所需空气压力：0.2~0.4 MPa (使用分辨力0.1 µm型时为0.2 MPa)
※空气供给时，测杆伸长● 橡胶套管：No.21HAA331(更换用) ● 推力轴套套装 ：No.02ADB680
推力轴套 ：No.02ADB681
锁紧螺母 ：No.02ADB682
● 专用扳手：No.02ADB683 ※“推力轴套套装”是推力轴套和锁紧螺母
的组合产品。使用时需要单独购买紧固
用“专用扳手”。另外，使用多个传感器
时需要购买〔推力轴套套装〕× 传感器数 + 专用扳手 × 1。
〔
特殊规格示例 ● 测力变更● 电缆长度变更(2 m以下) ● 连接器变更
推力轴套套装/专用扳手● 延长电缆
5 m：No.21HZA197
10 m：No.21HZA198
20 m：No.21HZA199
※最多可以连接3条，延长长度最大为20 m ● 转换头
EH-101P、EH-102P连接用：No.21HZA195
EH-102Z连接用：No.21HZA196
※可连接到EH-102Z，但原点检测功能无效。
规格
货号 542-186 542-187 542-188
型号 LG200-110 LG200-0510 LG200-0110
测量范围 10 mm
分辨力 1 µm 0.5 µm 0.1 µm
示值误差(20 ℃) 1.5＋L/50 µm L=任意测量长度(mm) 0.8＋L/50 µm L=任意测量长度(mm)
窄范围精度 0.5 µm(任意20 µm的范围)
重复性：2σ(20 ℃) 0.3 µm
测力
测杆朝下 0.8 N以下
测杆水平 0.75 N以下
测杆朝上 0.7 N以下
位置检测方式 光电式透射型线性编码器
响应速度 1500 mm/s 400 mm/s
输出信号 90 °相位差，差动方波(符合RS-422)
最小边缘间隔 500 ns(2MHz) 250 ns(4MHz)
输出信号间距 4 µm 2 µm 0.4 µm
质量 约210 g
测头 硬质合金球形测头ø3mm(固定螺钉：M2.5(P＝0.45)×5) 标准测头No.901312
装夹套筒直径 ø8 mm
轴承类型 线性滚珠轴承
输出电缆长度 约2.5 m(从传感器本体直接延伸出，到输出连接器)
连接器 使用插头：HR10A-10P-10P(HIROSE)，兼容插座：HR10A-10R-10S(HIROSE)，
兼容连接器：HR10A-10J-10S(HIROSE)
使用温度(湿度)范围 0~50 ℃(20~80%RH、无凝结)
储存温度(湿度)范围 －10~60 ℃(20~80%RH、无凝结)
标准附属品 测头更换用扳手：No.538610
单位：mm
A/B相
安装推力轴套时
02ADB682
02ADB681
安装附件(选件)推力轴套套装时
橡胶套管
M9.5×0.5
锁紧螺母推力轴套
行程
10以.6上
M9 ×.5 0.5
推力轴套安装用螺纹
ø9.5
0-0.015 14.5 9.5 4 5
44.9
12
(13.3)
(125.5)
73.1 6.5 14
ø11.7 ø8
0-0.009
(79.3
20.4 30 ) 43
14.7
(500)
(HIROSE)HR10A-10P-10P
单位：mm
542-186/542-187/542-188
LG200-110/0510/0110
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542系列—(细长型)
接触式位移传感器(光栅式)
15 ● 在10mm的宽范围内实现0.005µm或0.01µm的高分辨力和高精度，可与激光干涉仪相媲美。 ● 紧凑的机身可以极大地促进设备本身的小型化，不仅是测量高精度零件和高精度定位和控
制设备的长度测量传感器的理想选择，也适于用作测量设备的标准规。
● 另有低测力规格产品：根据用途可以选择低测力规格产品，可以测量容易变形的工件及高
性能胶片等。
● LGH系列是带有专用计数器的套装规格。
外观尺寸图
用途示例
附件(选件)
测量台架：No.971750 ● 阻尼提升电缆 ：No.971753 ● I/O输出连接器：No.02ADB440 ● SENSORPAK：No.02NGB072 ※SENSORPAK的详情请参阅第37页。
单位：mm
● 橡胶套管：No.238772
(542-715DC 及 542-720DC 更换用)
● 配备新采用的光电式反射型线直线
栅尺，以低价格实现了0.01µm的高
分辨力、示值误差0.2µm和10mm的
宽测量范围。
● 响应速度提高到以往产品的2.8倍
(250mm/s⇒700mm/s)，兼顾高精
度和高速性。
● 配备新开发的超高精度
透射型直线栅尺，实现
0.005µm(5nm)的高分辨力。
● 在10mm的宽测量范围内实现0.1µm的示值误差。适于标准规的校准、赋值、测
量仪器的基准器。
传感器 542-720DC
LGH-0510-B-EH
传感器 542-715DC
LGH-1010-B-EH
专用计数器
固定电缆
(台架安装时的倾斜角度) 144
148.2
11.2 137 7.5
138
68
156(台架安装时)
72 97
台(架安装时)
75.1
橡(胶脚垫安装时)
约10°
电缆Assy (2 m)
连接器连接 (可拆卸)安装用 (装夹套筒直径)
硬质合金Sø3测头
No.901312
提升线缆安装部 542-716DC(低测力型) LGH-1010C-B-EH无橡胶套 542-715(标准型) LGH-1010-B-EH
(37.6) (25)※ø4.8 ø10.4
10.563.3
ø15h6 0-0.011
40
18
20
10
148.3
(14)
85
25
R20
542-720DC(标准型) LGH-0510-B-EH
提升线缆安装部
硬质合金球面SR5测头
No.120058
电缆(2 ｍ)
542-721DC(低测力型) LGH-0510C-B-EH无橡胶套
行(程长度)
(装夹套筒直径)
10
40
18
20
145.9 25轴(套长度) 10.5 60.9 85
45.4 19.4 ø15h6 0-0.011
LGH-1010(C)-B-EH LGH-0510(C)-B-EH
标准规的校准、赋值 高精度零部件的检查
※针型测头安装示例
LGH-1010 : 0 ～137 mm)传感器安装孔 ø15H7 25
(350) 100 250
ø50
34～175最大测量范围 (
300
110
80 270
返回速度调节旋钮
500
ø24
12(行程)
43
测量工作台：台架
542系列—高精度型
接触式位移传感器(光栅式)
(0.01µm分辨力、0.005µm分辨力)
16 规格
类型 分辨力0.01 µm、示值误差0.2 µm型
货号 542-715DC(标准型) 542-716DC(低测力型)
型号 LGH-1010-B-EH LGH-1010C-B-EH
测量范围 10 mm
分辨力 0.01 µm(0.05 µm、0.1 µm、0.5 µm、1 µm用计数器可切换)
示值误差(20 °C)※1 0.2 µm
重复性(20 °C)※1 0.1 µm(2σ)
回程误差(20 °C)※1 0.1 µm
测力
测杆朝下 0.65 N以下 约0.12 N
测杆水平 0.55 N以下 不可使用
测杆朝上 0.45 N以下 不可使用
检出方式 光电式反射型线性编码器
可检测动作速度 常规测量时：700 mm/sec 峰值检测时：120 mm/sec
传感器质量 约370 g
测头 硬质合金Sø3 mm(M2.5(P=0.45)×5 mm) 标准测头No.901312
装夹套筒直径 ø15 mm
轴承类型 线性滚珠轴承
输出电缆 约2 m
使用温度范围 0°C～40 °C(基准温度20 °C)/20～80 %RH(无凝结)
储存温度范围 －10 °C～60 °C/20～80 %RH(无凝结)
计数器规格
显示范围 ±999.99999 mm
功能 置零、预设、方向切换、公差判断(3段/5段)、RS-LINK
峰值保持功能 ○
接口 RS-232C、USB(SENSORPAK专用)、Digimatic输出(打印机：DP-1VA LOGGER专用)※3
、I/O连接器
外部输出 ·RS-232C：计数数据、Digimatic输出：计数数据※3
·I/O连接器：计数数据(简易BCD)、公差判断结果、简易模拟输出
外部控制 置零、预设、数据保持、峰值测量模式切换、峰值清除电源 附带AC适配器，或DC＋12～24 V, MAX700 mA
功耗 8.4 W(MAX 700 mA) 对于市售电源，确保每个装置供电1A以上。
计数器质量 约900 g(不包含AC适配器等)
标准附属品 扳手(用于更换测头)、橡胶脚垫、支架、垫圈(用于计数器)、AC适配器、交流电源线、DC插头、使用说明书、检查证书
类型 分辨力0.005 µm、示值误差0.1 µm型
型号 542-720DC(标准型) 542-721DC(低测力型)货号 LGH-0510-B-EH LGH-0510C-B-EH
测量范围 10 mm
分辨力 0.005 µm(0.01、0.05、0.1 µm用计数器可切换)
示值误差(20 °C)※1 0.1 µm
重复性(20 °C)※1 0.02 µm(2σ)
回程误差(20 °C)※1 0.05 µm
测力
测杆朝下 0.65 N以下 约0.1 N
测杆水平 0.55 N以下 不可使用
测杆朝上 0.45 N以下 不可使用
检出方式 超高精度透射型线性编码器
可检测动作速度 250 mm/sec
传感器质量 约370 g
测头 硬质合金球形测头SR5(M2.5(P=0.45)×5 mm) 标准测头No.120058
装夹套筒直径 ø15 mm
轴承类型 线性滚珠轴承
输出电缆 约2 m
使用温度范围 15℃~25 ℃(基准温度20 ℃)/30~60 ％RH(无凝结)
储存温度范围 －10 ℃~60 ℃/20~80 ％(无凝结)※2
计数器规格
显示范围 ±99.999995 mm
功能 置零、预设、方向切换、公差判断(3段/5段)、RS-LINK
峰值保持功能 ×
接口 RS-232C、USB(SENSORPAK专用)、Digimatic输出(打印机：DP-1VA LOGGER专用)※3
、I/O连接器
外部输出 ·RS-232C：计数数据、Digimatic输出：计数数据※3
·I/O连接器：计数数据(简易BCD)、公差判断结果、简易模拟输出
外部控制 置零、预设、数据保持
电源 附带AC适配器，或DC＋12～24 V, MAX700 mA
功耗 8.4 W(MAX 700 mA) 每台市售电源应确保配置一个1 A以上的电源。
计数器质量 约900 g(不包含AC适配器等)
标准附属品 扳手(用于更换测头)、橡胶脚垫、支架、垫圈(用于计数器)、AC适配器、交流电源线、DC插头、使用说明书、检查证书
※1：仅在与配套的专用计数器组合使用时才能保证※2：开箱后的储存温度/湿度范围与使用温度/湿度范围相同。 ※3：Digimatic输出最多6位数据。7位以上的数据，不会输出到显示器。
17 单位：mm
外观尺寸图
连接部
附件(选件)
● 橡胶套管(更换用)：No.238774 ● 气动升降装置：No.903594 ● Digimatic电缆延长转接器 ：
No.02ADF640 ● Digimatic用延长电缆(0.5 m)：
No.02ADD950 ● Digimatic用延长电缆(1 m)：
No.936937 ● Digimatic用延长电缆(2 m)：
No.965014
※连接延长电缆时，需要Digimatic电缆延长适
配器。
● 配备静电电容型绝对编码器，即使关闭电源原点位置
也不变。
● 出色的防尘防水性能，达到IP66防护标准，适应现场
环境。
单位：mm
规格
货号 575-303
型号 LGS-1012P
测量范围 12.7 mm
分辨力 10 µm
示值误差(20 ℃) 15 µm
测力
测杆朝下 2.0 N以下
测杆水平 1.8 N以下
测杆朝上 1.6 N以下
位置检测方式 静电电容型ABSOLUTE线性编码器
响应速度 无限制(但不适合扫描测量)
输出方式 Digimatic输出
质量 约190 g
防护等级 相当于IP66(仅传感器)
测头 硬质合金球形测头ø3mm(安装螺纹：M2.5(P＝0.45)×5) 标准测头： No.901312
轴套外径 ø8 mm
轴承类型 滑动轴承
输出电缆长度 2 m(从传感器本体直接延伸出来)
使用温度(湿度)范围 0~40 ℃(20~80%RH、无凝结)
储存温度(湿度)范围 －10~60 ℃(20~80%RH、无凝结)
特殊规格示例
● 测力变更
● 电缆长度变更
● 连接器变更
575-303 LGS-1012P
38.7 15.2 6.2 66.2 26
146.1
35 17.4
φ8
7.6
φ10.9
25
0
-0.009
橡胶套管
37
8.6 20
Digimatic
575系列—Digimatic输出型
接触式位移传感器(ABS容栅式)
18
附件(选件)气动升降装置
传感器规格(附件)
● 通过供给、排出空气，使传感器的测杆前进、后退。
● 使用电磁阀可以进行自动测量。
LGS-1012P用 No.903594
LG100 25 mm用 No.02ADE250 LG100 50 mm用 No.02ADE270
LGS-1012P用 No.903594 LG100、LG200 10 mm用 No.02ADE230
单位：mm
单位：mm 单位：mm
规格
货号 903594 02ADE230 02ADE250 02ADE270
驱动行程 10 mm 10 mm 25 mm 50 mm
适用传感器 LGS-1012P LG100系列、LG200系列(仅限10 mm)
使用空气压力 0.5 MPa 0.2~0.4 MPa(使用分辨力0.1 µｍ型时为0.2 MPa)※
质量 60 g 150 g 250 g 300 g
※根据使用环境、条件不同，可能会发生超速错误。
发生错误时，需要调整使用空气压力、流量。
(95)
71.5
(17.2)
ø12
ø13
LG100系列安装状态 速度控制器 空气供给软管(软管外径ø4)
内置磁体气缸
SMC制CDJ2系列
(管内径＝ø10)
可使用SMC制管箍安装
型自动开关
例. D-C73(SMC)
[附件]
内六角螺栓M5×25
垫圈
18
37
19
OFF
ON
6.5
6
13
空气ON状态
31
42
ø6
1
7
延长杆
(附件)
(84)
10.5
1554.4 15
8.8 11.4
10以上测头行程 ( )
14
(83.6)
空气OFF状态
LG固定螺栓
(内六角螺栓M4×12)
气缸行程28
导轨(附件)
平垫圈(附件)
O形圈(附件)
速度控制器
空气供给软管
(软管外径ø4)
可使用SMC制管箍
安装型自动开关
例. D-C73(SMC)
［附件］
内六角螺栓M5×25垫圈
内置磁体气缸
SMC制CDJ2系列
(管内径＝ø16) (109) 1415 6.3 14.8 77.6 41.5 12.5
11 21
18 46 (25.5) 25以上 测头行程 ( )
空气ON状态 空气OFF状态
30 气缸行程
LG100系列安装状态
LG固定螺栓
(内六角螺栓M5×12)
(119.2)
4.5
15
7
20
42
ø6
OFF
ON
LG100系列安装状态
(183.1)
(158)
15
14.8 14.4
6 6
11 21
18 46
11.5
95.9 66.5
14 12.5
9.1
4
15
7 ø6 LG固定螺栓
(内六角螺栓M5×12)
空气ON状态 空气OFF状态
(51)
50以上 测头行程 ( )
导轨(附件)
平垫圈(附件)
O形圈(附件)
速度控制器
空气供给软管
(软管外径ø4)
可使用SMC制管箍
安装型自动开关
例. D-C73(SMC)
［附件］
内六角螺栓M5×25垫圈
内置磁体气缸
SMC制CDJ2系列
(管内径＝ø16) 55 气缸行程
OFF
ON
19 接触式位移传感器安装夹具
“直柄装夹套筒”型需要锁紧开口夹具，适用范围广，在最终安装时还可以向
前后方向进行位置微调，但必须注意防止过度紧固。
● 紧固扭矩的推荐值为0.4～0.5 N·m。(示例1)
轴套过紧会阻碍测杆平滑移动，因此请在固定后确认测杆的动作。
传感器规格(附件)
直柄装夹套筒
● 使用ø8装夹套筒的接触式位移传感器时，请同时使用ø9.5的衬套。
货号No.546288 ø9.5×15
货号No.546343 ø9.5×8.5
直柄装夹套筒用
Ⓑ
E I
H G
D
J
Ⓐ
F 2-L
K
C
M
E
G
D
H
2-I J C F
Ⓑ
Ⓐ
F E
H G
I
D
J
Ⓐ
Ⓑ
2-L
K
C
M
Ⓑ
H
Ⓐ
D
C
F G
E
2-J
I K
■ 直柄装夹套筒 ■ 直柄装夹套筒的安装示例
示例1
示例2
7.5
(4.5)
7.5
(4.5)
6
15
30 6
A
A-A' 截面
4.5通孔、7.5沉孔深度4.4
16 15(9)
M4×0.7通孔 A′
ø8H7
＋0.015 0
7.5
(4.5)
15
30
15
A
A-A' 截面 A′
M4×0.7
15(9)
10
20
ø10h7
缺口位置
(与螺纹呈90°)
＋0.015 0
ø8H7 ＋0.015 0
ø10h7 0 －0.015
15(9)
②
①
②
①
单位：mm
单位：mm
单位：mm
单位：mm
单位：mm
单位：mm
货号 303560 303569
符号 A-2 B-2
Ⓐ ø9.5 ø9.5
Ⓑ 9 14.5
C 15 20
D 20 30
E 23 35
F 5 7
G 11 16
H 8 12
I 1.5 3.25
J 32.5 42.5
K 4.5 7.25
L ø3.4 ø4.5
M M3×0.5 M3×0.5
货号 303562 303571
符号 A-4 B-4
Ⓐ ø9.5 ø9.5
Ⓑ 9 14.5
C 15 15
D 20 22.5
E 40 60
F 3 5
G 30 40
H 15 20
I ø3.4 ø4.5
J M3×0.5 M3×0.5
货号 303564 303573
符号 A-6 B-6
Ⓐ ø9.5 ø9.5
Ⓑ 9 14.5
C 30 40
D 42.5 52.5
E 4 6
F 15 18
G 10 15
H 15 20
I 4.5 7.25
J ø3.4 ø4.5
K M3×0.5 M3×0.5
货号 303566 303575
符号 A-8 B-8
Ⓐ ø9.5 ø9.5
Ⓑ 9 14.5
C 15 15
D 15 20
E 25 40
F 8.5 8.5
G 7.5 10
H 10 20
I 10 15
J 32.5 40
K 4.5 7.25
L ø3.4 ø4.5
M M3×0.5 M3×0.5
20
接触式位移传感器安装夹具
推力轴套是适用于LG100、LG200传感器的可选配件。
将推力轴套安装在轴套部，可作为带螺母轴套使用，
只需在平板上钻孔即可直接安装，不需要轴套固定机构。
■ 使用推力轴套安装
LG100/LG200 10 mm用
传感器规格(附件)
推力轴套
专用扳手 锁紧螺母
LG100/LG200 10 mm用 部件构成 推力轴套： No.02ADB681
锁紧螺母： No.02ADB682
专用扳手： No.02ADB683
单位：mm
LG100 50 mm用 部件构成 推力轴套： No.02ADN371
锁紧螺母： No.02ADB692
专用扳手： No.02ADB693
单位：mm
推力轴套规格
适用传感器 LG100/LG200 10 mm LG100 25/50 mm
货号
推力轴套套装※ 02ADB680 02ADN370
推力轴套 (02ADB681) (02ADN371)
锁紧螺母 (02ADB682) (02ADB692)
专用扳手 02ADB683 02ADB693
传感器安装孔径 ø9.5 mm ø18 mm
推荐板厚(安装用构件) 6~10.5 mm 10~12 mm
※“推力轴套套装”是推力轴套和锁紧螺母的组合产品。使用时需要单独购买紧固用“专用扳手”。
另外，使用多个传感器时需要购买“推力轴套套装”×传感器数 + 专用扳手 × 1。
推力轴套
02ADN371
(特殊附件)
锁紧螺母
02ADB692
(特殊附件)
M18×1
ø18 0
-0.018
1
9
5
8.5
4.5 (124.9)
21
(24.2)
※适合厚度为10～12 mm的安装部件。
只需在传感器安装夹具上简单地钻一个ø18mm的孔，即可使用推力轴套和锁紧螺母固定传感器，而且
安装简便、牢固。
■ 重要
安装推力轴套时，请务必先使用专用扳手(No.02ADB693)固定轴套。传感器本体与轴套间过大的力会
使传感器受到损伤。
■ 注意
专用扳手(No.02ADB693)和M14×0.5螺纹部分均用于安装推力轴套。请不要用于其它用途。
LG100 25 mm用 部件构成 推力轴套： No.02ADN371
锁紧螺母： No.02ADB692
专用扳手： No.02ADB693
单位：mm ※适合厚度为10~12 mm的安装部件。
只需在传感器安装夹具上简单地钻一个ø18mm的孔，即可使用推力轴套和锁紧螺母固定传感器，而且
安装简便、牢固。
■ 重要
安装推力轴套时，请务必先使用专用扳手(No.02ADB693)固定轴套。传感器本体与轴套间过大的力会
使传感器受到损伤。
■ 注意
专用扳手(No.02ADB693)和M14×0.5螺纹部分均用于安装推力轴套。请不要用于其它用途。
锁紧螺母
推力轴套
M18×1
02ADN371
(特殊附件)
02ADB692
(特殊附件)
ø18 0
-0.018 18.5
9
5
(84.1) 4.5
(24.2)
21
※适合厚度为6～10.5 mm的安装部件。
只需在传感器安装夹具上简单地钻一个ø9.5mm的孔，即可使用推力轴套和锁紧螺母固定传感器，而
且安装简便、牢固。
■ 重要
安装推力轴套时，请务必先使用专用扳手(No.02ADB683)固定轴套。传感器本体与轴套间过大的力会
使传感器受到损伤。
■ 注意
专用扳手(No.02ADB683)和M9.5×0.5螺纹部分均用于安装推力轴套。请不要用于其它用途。
LG100 10 mm用
推力轴套
锁紧螺母
M9.5×0.5 M9.5×0.5
锁紧螺母
推力轴套
LG200 10 mm用
02ADB681
02ADB682 02ADB682
02ADB681
(44.9) 5
9.
4
514.5
12
(13.3)
(45.9) 5
14.5
9.5
4 (13.3)
12
ø9.5 0
-0.015 ø9.5
0
-0.015
21 附件(选件)
传感器规格(附件)
延长电缆(LG100、LG200用)
橡胶套管
Digimatic延长电缆
用于测杆部防尘。
从传感器到接收电路的信号电缆可以延长。
最多可以连接3条，延长长度最大为20 m。
特殊定制：可适用于机器人电缆
特殊定制：可指定电缆长度
提升钩、安装支架
支架安装在测杆和测头之间，以用于安装提升钩。
橡胶套管规格
货号 适用传感器
21HAA331 LG100、LG200/10 mm
21HZA176 LG100/25 mm
21HZA184 LG100/50 mm
238774 LGS-1012P
货号 电缆长度
02ADD950 0.5 m
936937 1 m
965014 2 m
规格
货号 电缆长度
21HZA197 5 m
21HZA198 10 m
21HZA199 20 m
规格
货号 产品名称
02ADG181 安装支架
137693 提升钩
Digimatic电缆延长转接器
LGS-1012P系列容栅式传感器需要连接各种计数器但电缆长度不够时，可以使
用该转接器。
● 用于容栅式传感器LGS-1012P。
● 用于接触式位移传感器计数器(EC-101D、EG-101D、EB-11D、EH-102D、EV-16D)。
● 请不要使用2个以上本产品加长连接。
No.02ADF640 质量：15 g
单位：mm
36
100
20.3
17
扎带(标准附属品)
电缆延长转接器
提升钩
安装支架
提升钩安装示例
22
附件(选件)
传感器规格(附件)
测量台架 支架A、B
阻尼提升器
辉长岩比较仪台架
BSG-30HX No.215-156-10
比较仪台架
BSC-30HX No.215-505-10
用于将LGH安装在测量台以外的夹具上使用。
支架 A No.971751 质量：250 g
测量台 石材 支架 B No.971752 质量：180 g
基座尺寸 W250×D300×H95 mm
基准面平面度 3.5 µm
微动机构 方螺纹
安装孔(mm) ø20、ø9.53、ø8带衬套
LG100以25 mm/50 mm行程使用时，需要ø15的衬套
(No.21JAA331)。
测量台 淬火钢、沟纹测量台
基座尺寸 W179×D255×H89 mm
(测量台 □150×H25 mm)
基准面平面度 2.3 µm
微动机构 方螺纹
安装孔(mm) ø20、ø9.53、ø8带衬套
LG100以25 mm/50 mm行程使用时，需要ø15的衬套
(No.21JAA331)。
安装基准面
安装基准面
传感器
安装方向
传感器
安装方向
支架安装面 支架安装面
支架A(上表面安装用) 支架B(下表面安装用) 255025
3 ±7 0.2
15±0.2
45
14.5
2345 23
2-5.5通孔
9.5沉孔深度5.5
ø15H7
(传感器安装孔径)
ø15H7
(传感器安装孔径)
M4×0.76内六角螺栓
(传感器安装用)
M4×0.76内六角螺栓
(传感器安装用)
2-M5×0.8深度10
12.5
25
25
C2
C2
单位：mm
质量：25 kg
用于LGH实现高精度的测量工作台。
No.971753 质量：50 g
用于LGH测杆提升的释放。
带返回速度调节旋钮，可以避免测杆突然下落。
返回速度调节旋钮
500
ø24
12(行程)
43
单位：mm
单位：mm
传感器安装孔
ø15H7
25
(350) 100 250
ø50
34～175
300
110
80 270
LGH用测量台架
No.971750
23 差动方波输出规格
传感器规格
0.1 µm分辨力 LG100/LG200 0.5 µm分辨力 LG100/LG200 1 µm分辨力 LG100/LG200
输出信号 90°相位差、差动方波(相当于RS-422A)
信号间距 0.4 µm 2 µm 4 µm
最小边缘间隔 250 nsec 500 nsec
输出信号电平 ＋5 V(4.8～5.2 V、80 mA)
øA、øA、øB、øB：TTL、线路驱动器输出 AM26LS31或同级
使用连接器 HR10A-10P-10P(HIROSE电机)
兼容插座 HR10A-10R-10S(HIROSE电机)
推荐接收器 差动输入、线路接收器 AM26LS32
传感器电缆长度 2 m：从传感器本体直接延伸出来
连接延长电缆 最大20 m(备有5 m、10 m、20 m的延长电缆。)
错误时输出 时序图(参照发生错误时)
电源电压/功耗 +5 V(纹波电压0.2 Vpp以下)/80 mA
输出针脚排列
(1) 输出插头 HR10A-10P-10P(HIROSE电机)
(2) 针脚排列
※：向传感器供电的电源
LG100(带原点标识)时序图(正常时) 时序图(发生错误时)
LG100输出原点信号：øZ
时序图(正常时)
Tr(最小)→1 µm/0.5 µm(分辨力)
A相
B相
(1) 实时脉冲输出(当测杆收缩时相位A前进)
①输出条件：测杆驱动速度≤250 mm/s※2
②输出脉冲的最小边缘间隔＝Tr(参照右下表)
③滞后时间※1：最大1µs
①输出条件：在下述条件下传感器进入错误状态，
并以上图中的特殊模式输出。
● 传感器响应速度※3＜测杆驱动速度
● 受到噪声、振动等干扰时
②输出脉冲最小宽度：Te(参照下表)
※1：输出滞后时间：计数脉冲赶上测杆位置的时间
※2：实时脉冲输出的实际限制将降低到这个值。这是因为实际检测信号不可避
免地受到测杆运动所包含的加速度、信号自身的轻微噪声等误差成分的影
响。在理想情况(恒定速度、理想信号)以下的速度下，可能产生突发脉冲。
※3：传感器响应速度：请参考用户手册性能参数章节。
【重要】
● 发生错误时的输出无法作为计数数据，需检测接收电路的错误状态。
● 建议使用可进行5Mcps(方波为1.25 MHz)或以上计数的IC芯片电路设计。
针脚No. 信号名 针脚No. 信号名
1 PA 7 N.C.
2 PA 8 PZ
3 N.C. 9 ＋5 V※
4 PB 10 GND
5 PB 外壳 FG
6 N.C.
Te
A相、B相为同相(边缘同时变化)
A相
B相
■ 各条件下最小边缘间隔 / 脉冲宽度
型号 分辨力 Tr Te
( 正常时 ) ( 错误输出时 )
LG100 1 µm 0.4 µs 0.4 µs
LG100 0.5 µm 0.2 µs 0.4 µs LG100 0.1 µm
△Xz Xz
△ Xz：原点位置重复性(边缘再现性)± ＝±0.5 µm
(同方向标尺驱动速度小于300 mm/sec)
Xz：原点信号脉冲宽度＝约40~60 µm(参考)
A相
B相
øZ
△Xz
1 8
7
10
6
4 5
3
9
2
24
Digimatic输出规格
传感器规格
· 外部设备兼容插座
住友3M：V·Low Proheader
型号7610-5002××或同等产品
传感器侧 计数器侧
● 输出端子形式：CK、DATA
Nch开漏
最大输出电流：400 µAmax.
(VOL＝0.4 V时)
输出耐压：－0.3～7 V
1. 针脚排列、信号名
2. 电气规格
4. 时序图
3. 数据格式
10 2
9 1
2 10
1 9
注：传感器一侧与外部设备一侧的电源电压不同，请务必使用集电极开路或开漏电路。请
勿使用CMOS输出等。
d1 d2 d3 d4 d5 d6 d7 d8 d9 d10 d11 d12 d13
全部F 测量数据
小数点位置(0～5)
例：0→000000.
1→00000.0
5→0.00000
符号(＋：0、−：8)
单位(毫米：0、英寸：1)
● 基于4 bit＝ 1数位，输入d1 ~ d13的13数位。
● 每个数位按从最低位Bit(LSB)到最高位Bit(MSB)的顺序输出。
注1：带有星号*的规格仅适用于LGS。其它为Digimatic输出通用规格。
注2：请在CK为L电平时分辨力数据。
注3：当设置成绝对原点时(在t11期间)，请勿输入REQ信号(固定在H)。
注4：如果满足t5、t6 和t7， 并且REQ是连续输入， 那么每隔大约95 ms可以从
本产品获得输出数据。
注5：请在开机后2至3秒后开始输入ORIG和REQ (内部电路和传感器稳定的预计
时间)。
REQ
CK
DATA
t5 t6 t7
t2 t3 t4
t8
t1
ORIG绝对原点设置动作
t10 原点设置完成
t11
active
外部设备侧推荐I/F
·CK, DATA Vcc
·REQ, ORIG
R1
R1 CMOS Tr
输入
R2
Vdd
C 74HC14等
Vcc=5 V系统时
R1、R2=22 K ±10 %
C=330 pF±20 %
Tr=NPN集电极开路或Nch开漏输出(2SC2855等) “L”电平输出电压：VOL=0.2 Vmax.(IOL=10 mA等) “H”电平漏电流：IIK=2 µAmax.(VOH=5.5 V时)
● 输入端子形式：REQ、ORIG
上拉CMOS输入
内部电源电压：Vdd＝1.35～1.65 V
上拉电阻：R1＝10～100 KΩ
“H”电平输入电压：VIH＝1.1 Vmin. “L”电平输入电压：VIL＝0.3 Vmax.
Q A
何为绝对原点
标识定位？
绝对原点标识定位指即使电源关闭原点(0点)也不会消失。LGS系列配有可以设置绝对原点标识定位的
绝对标尺(静电电容式ABS标尺)功能。所以，电源再次打开时，总是输出相对于上次原点的测头位置。
因此，接通电源时不用每次进行核对，为自动化测量做贡献。
●使用波长不同的3个标尺，决定标尺的绝对地址。
●粗标尺
(COA)
●中标尺
(MED)
●细标尺
(FIN)
FIN
MED
COA 1周期 430.08 mm分辨力 3.36 mm
1周期 26.88 mm
分辨力 0.21 mm
1周期 1.68 mm分辨力 0.01 mm
● 如同铁路的枕木编号一样，本尺内部的绝对标尺都标有绝对地址。通过
读取滑块位置的绝对地址来显示测量值。
Question Answer
针脚No. 信号名 输入输出 内 容
1 GND ─ 信号接地
2 DATA 输出 测量数据输出端子
3 CK 输出 同步时钟输出端子
＊ 4 N.C. ─ 未使用
5 REQ 输入 外部设备数据发送请求输入端子
＊ 6 ORIG 输入 绝对原点设置信号输入端子
＊ 7 N.C. ─ 未使用
＊ 8 N.C. ─ 未使用
＊ 9 ＋5V ─ 电源供给端子(＋5 V±10 ％)
＊10 GND(F.G.) ─ 框架接地
注：带有星号*的是LGS的规格。
其它为Digimatic输出通用规格(10针方形规格)。
Digimatic标准(参考)
符号 min. max.
＊t1 0 2sec
t2 15 µs ─
t3 100 µs ─
t4 100 µs ─
t5 0 ─
＊t6 ─ ─
＊t7 ─ ─
＊t8 ─ ─
LGS
符号 min. max.
＊t1 30 µs 95 ms
t2 15 µs ─
t3 100 µs ─
t4 100 µs ─
t5 0 µs ─
＊t6 ─ 100 µs
＊t7 100 µs ─
＊t8 ─ 30 ms
＊t10 1.5 s ─
＊t11 ─ 4 s
绝对标尺方式 (静电电容型绝对标尺方式) ●已注册专利(日本、美国、英国、瑞士、德国、瑞典)
25 EJ计数器、接口装置：CC-Link、PROFINET、EtherNet/IP、EtherCAT、USB
计数器规格
特点● 节省空间，可联入生产线及测量室使用的接触式位移传感器用小型计数器。利
用高速通信实现生产现场的可视化、生产效率的提高、数据的积累。
● 小型计数器(EJ计数器)最多可连接8台，传感器最多可连接16轴。 ● 无需电缆即可在DIN导轨上直接连接各个装置，不占空间。1个电源可驱动所有
连接的装置和传感器。
● 可连接小型计数器(EJ计数器)和接口装置，通过工业用接口(CC-Link等)输出数
据。实现数据的持续监控和趋势管理。此外，备有USB接口，可轻松连接计算
机。
● 可对连接在同一个计数器上的2轴进行和差计算。
EJ-102N
计数器装置
CC-Link PROFINET EtherNet/IP EtherCAT USB
接口装置
安装示意图
规格
货号 542-080
型号 EJ-102N
显示单位 mm
传感器连接部数 2
适用传感器信号 差动方波、带原点标识的差动方波
(5 µm、1 µm、0.5 µm、0.1 µm分辨力)
输入响应频率 5 MHz用户
接口
显示 负号+8位及指示符 (显示轴数为1轴，手动切换)
按键数 4
外部
输入输出
I/O端口数 输入：4个端口(Ch切换、峰值清除、保持、预设)
输出：4个端口(Err/ALLGO、公差判断)
适用通信
标准
CC-Link、USB
(通过选件接口装置进行支持)
装置最大连接数 8台EJ计数器＋1台接口装置 (选件)(传感器最大连接数：16轴)
电源
输入电压 10 V~27 VDC
最大消耗
功率
仅1台：3 W以下(含2轴传感器)
最大连接时：30 W以下
(含接口装置和传感器16轴)
使用温度(湿度)范围 0 ºC~50 ºC(20%RH~80%RH、无凝结)
储存温度(湿度)范围 －10 ºC~60 ºC(20%RH~80%RH、无凝结)
本体质量 约120 g
货号 21HZA186
名称 接口装置 CC-Link适用接口
USB 2.0 Full Speed
CC-Link Ver. 1.10
CC-Link Ver. 2.00
用户
接口
显示 POWER(绿)、RUN(绿)、ERROR(红)、EJ-CONNECT(绿)
开关 旋转开关×3 (站号设置×2、通信速度设置×1)
功能
USB、CC-Link各协议通用、当前值的读取※1
、
当前值的保持(软件保持)、EJ计数器的参数设置、公差判
断值的设置、预设值的设置、预设／置零的清除、峰值
清除、错误清除※1 CC-Link的Ver1.10仅支持传输，Ver2.00支持循环、传输。
电源 EJ-102N供电(无法通过USB供电)
使用温度(湿度)范围 0 ºC~50 ºC(20%RH~80%RH、无凝结)
储存温度(湿度)范围 －10 ºC～60 ºC(20%RH~80%RH、无凝结)
货号 21HZA149
名称 接口装置USB
适用接口 USB 2.0 Full Speed
用户接口 POWER(绿)
功能
当前值的分辨力、当前值的保持(软件保持)、EJ计数器的参
数设置、公差判断值的设置、预设值的设置、预设／置零
的清除、峰值清除、错误清除
电源 EJ-102N供电(无法通过USB供电)
使用温度(湿度)范围 0 ºC~50 ºC(20%RH~80%RH、无凝结)
储存温度(湿度)范围 －10 ºC~60 ºC(20%RH~80%RH、无凝结)
货号 21HZA188
名称 接口装置 EtherNet/IP
适用接口 EtherNet/IP
用户接口 POWER(绿)、NETWORK(绿/红)、MODULE(绿/红)、
LINK P0RT1(绿/橙)、LINK P0RT2(绿/橙)、EJ-CONNECT(绿)
功能
USB、EtherNet/IP 各协议通用
当前值的读取、当前值的保持(软件保持)、EJ计数器的参数
设置、公差判断值的设置、预设值的设置、预设／置零的
清除、峰值清除、错误清除
电源 EJ-102N供电(无法通过USB供电)
使用温度(湿度)范围 0 ºC~50 ºC(20%RH~80%RH、无凝结)
储存温度(湿度)范围 －10 ºC~60 ºC(20%RH~80%RH、无凝结)
货号 21HZA264
名称 接口装置 EtherCAT
适用接口 EtherCAT
用户接口 POWER(绿)、RUN(绿)、ERROR(红)、
L/A IN(绿)、L/A OUT(绿)、EJ-CONNECT(绿)
功能
USB、EtherCAT 各协议通用
当前值的读取、当前值的保持(软件保持)、EJ计数器的参数
设置、公差判断值的设置、预设值的设置、预设／置零的
清除、峰值清除、错误清除
电源 EJ-102N供电(无法通过USB供电)
使用温度(湿度)范围 0 ºC~50 ºC(20%RH~80%RH、无凝结)
储存温度(湿度)范围 －10 ºC~60 ºC(20%RH~80%RH、无凝结)
货号 21HZA187
名称 接口装置 PROFINET
适用接口 PROFINET RT(RT Class1)/USB 2.0 Full Speed用户接口 POWER(绿)、NETWORK(绿/红)、MODULE(绿/红)、
LINK P0RT1(绿)、LINK P0RT2(绿)、EJ-CONNECT(绿)
功能
USB、PROFINET各协议通用
当前值的读取、当前值的保持(软件保持)、EJ计数器的参数
设置、公差判断值的设置、预设值的设置、预设／置零的
清除、峰值清除、错误清除
电源 EJ-102N供电(无法通过USB供电)
使用温度(湿度)范围 0 ºC~50 ºC(20%RH~80%RH、无凝结)
储存温度(湿度)范围 －10 ºC~60 ºC(20%RH~80%RH、无凝结)
可连接的接触式位移传感器系列 转换电缆(选件)
LG100/LG200 不需要
LGF-Z 需要(货号21HZA194)
LGF/LGK/LGB/LG 需要(货号21HZA193)
A/B/Z相
带原点标识
26
接口装置 CC-Link
接口装置 EtherNet/IP 接口装置 EtherCAT 接口装置USB
接口装置 PROFINET
无透明罩
有透明罩
2.2 20.7 26.65
2.5 56.2
85.6 60.3 0.3
59.25 2.7 88.9 91.8
(94.5)
31.7 (97.6)
2.5 56.2
95
69.7 0.2
59.25 2.6
31.7 (97.6)
2.5 56.2
95
69.7 0.2
59.25 2.6
95 2.6 0.2 69.7(97.6)
59.25
2.5 56.2
31.7
2.5 56.2
59.25
(97.6)
69.7
2.6 0.2 95
31.7
※可以安装到DIN导轨。外壳材质：PC、POM
外观尺寸图 单位：mm
2.5 56.2
59.25
(97.6)
69.7
2.6 0.2 95
31.7
EJ-102N
27 软件 LG QuickSetupTool
小型计数器(EJ计数器)的设置工具。使用计数器操作键进行的各种设置可通过计算机轻松完
成。此外，也可通过PC查看测量值和演算结果。
可从主页上免费下载使用。
※本软件仅适用于小型计数器(EJ计数器)。需连接接口装置。
参数设置
综合设置
图表显示
◆推荐运行环境
OS：Windows10 Pro 32 bit / 64 bit
显示器：1600×1200以上
内存：1024 MB以上
通信方式：USB2.0(Full speed)
USB连接器：TypeC连接器
※USB设备驱动通过Windows标准的驱动进
行运行。
附件(选件)
■ AC适配器
No.357651
■ AC电缆
No.02ZAA041※
※使用AC适配器时是必要的。
■ EJ计数器用的带针型端子的DC插孔
No.21HZA209※
28
EC(Digimatic输出专用)
计数器规格
特点
● 符合DIN尺寸(96×48 mm)和面板安装结构，易于系统一体化。
● 可进行公差判断输出或Digimatic输出。
功能
● 预设
● 公差判断(3段)
规格
外观尺寸图
EC-101D
000001
EC-101D
542-007
Serial No.
Model
Code No.
48
96 6.6 67 (8)
44.4
91.4
44.4
输入输出规格
(1) 兼容插头：MIL型连接器 FAS-10-17(山一)、XG4M-1030-T(欧姆龙)
(2) 针脚排列
1
10 2
9 OUT
EC-101D(No.542-007DC)
公差判断输出或Digimatic输出(切换)型
Digimatic 输出传感器用
(3) 输入输出电路
①输出电路(－NG, GO, ＋NG)
集电极开路输出为“L”时，晶体管为“ON”。
②输入电路(PSET, HOLD) “L”时输入有效。
(4) 时序图
①公差输出
②外部预设/保留
(5) 选件
I/O电缆(2 m)No.21HZA222
货号 542-007DC
型号 EC-101D
分辨力(mm) 0.01(±9999.99)/ 0.001(±999.999)/
〔通过传感器自动设定〕
显示 符号及6位数字(绿色LED)
公差判断显示 LED显示(3段 琥珀、绿、红)
外部输出
(切换式)
公差判断输出 ─NG、OK、＋NG(集电极开路)
数据输出 Digimatic输出
控制输入 外部P.SET，外部HOLD
额定
电源电压 附带AC适配器、或DC＋9~12V
功耗 4.8 W(MAX 400 mA)
确保每个装置供电1A以上。
使用/储存温度范围 使用：0~40 ℃ / 保存：─10~50 ℃
外观尺寸 96(W)×48(H)×84.6(D) mm
标准附属品 AC适配器：No.12BAR954
AC电缆：No.12BAK732
适用传感器 LGS, ID
质量 220 g
附件(选件)
Digimatic微型处理器用连接线
No.936937(1 m)、No.965014(2 m)
DC插头 PJ-2 No.214938
I/O电缆(2 m)No.21HZA222
0.01µF
＋5V
5KΩ 5KΩ
计数器
输入电流：IMAX 1mA
输入电压 ： H = 4 ～2 4 V
L=MAX1V
外部设备参考电路
请使用开路集电极输出
或继电器输出等。
※100 ms
MIN10ms MIN10ms
※100 ms
※根据传感器而定(数值为LGD时)
※主动输入L1＝“H”、0＝“L”
－NG
公差上限
公差下限
计数数据
＋NG
PSET
A相、B相为同相(边缘同时Digimatic 变化) 微型处理器
DP-1VA LOGGER
No.264-505DC
针脚No. I/O 名称 功能 选件
I/O电缆颜色
1 COM 连接内部GND 琥珀色、黑色
2 O ＋NG 公差输出：相关输出连接部为L
错误显示时〔＋NG＝－NG＝L〕
琥珀色、红色
3 O GO 黄色、黑色
4 O －NG 黄色、红色
5 I HOLD 保留输入 亮绿色、黑色
6 I P.SET 预设输入(错误取消) 亮绿色、红色
除上述列表以外的应不连接
※Digimatic输出模式时每个针脚的输出有所不同。
请在设定输出模式后连接线。
※I/O电缆(选件)的一端为散线。请客户自行加工。
电缆的F.G线(带压接连接部，绿色)请与本体的地线连接部连接。
Digimatic
计数器内部 外部电路(例：继电器)
相当于TD62583
0.01µF
输出
浪涌吸收
二极管
COM
29 EH(面板安装，多功能型)带串行通信功能
计数器规格
特点
●该型号的两种类型可用：1轴显示和2轴显示，可进行两传感器间的和差运算。
●是带有置零、预设和公差判断功能的多功能计数器。
●标配RS-232C接口，可将数据传输到个人电脑等上。
●内置联网功能(RS链接)，便于建立多点测量系统。(最多可链接10台)
●符合DIN尺寸(144×72 mm)和面板安装结构，
易于系统一体化
功能
置零 预设 测量模式切换
方向切换 最小显示位数变更 计数待机(防止启动时误动作)
公差判断输出 和/差计算 RS-232C通信
外部控制 错误显示 简易打印机输出
可在任何位置设置显示值的零点。 可将显示值预设为任意数值，从该预设值开
始计数。
除正常测量模式外，还能将测量模式切换为
最大值、最小值、跳动值(最大-最小)。
相对于测杆移动方向，可将便于读取计数器
显示值的方向设置为(+)或(-)。
为了容易观看测量值，最小位数1位可以灭
灯。(但是RS-232C及打印机打印位数执行到
最小位数。)
可以防止因为电源瞬间中断造成的误操作。
可对测量值自由设定2个(或4个)公差值，进
行3(5)段分类、判断。
输出形式为集电极开路。
使用2个传感器可以测量厚度和阶差。(仅限
2轴计数器)
可与个人电脑进行通信。
不仅可以读取测量值，还能进行各种远程操
作，如对计数器进行数据传输及各种设定的
更改等。
可从输入输出用端子对预设及显示保留进行
控制。
传感器在超速和损坏时，计数器会出现错误
显示。
另外，也会从输入输出端子进行错误输出。
可以向本公司生产的Digimatic微处理器
DP-1VA LOGGER打印测量数据。
(与RS-232C功能切换。)
0.000 0.000 1.234 123.456
TIR(跳动值)＝最大值─最小值
MAX
MIN
＋/－
基准面
CLR
电源ON
计数待机显示
计数显示
EH-101P
(No.542-075DC)
用于差动方波输出传感器
1轴输入型
EH-102Z
(No.542-073DC)
用于原点标识定位型差动方波输出传感器
2轴输入型
EH-102P
(No.542-071DC)
用于差动方波输出传感器
1轴输入型
EH-102D
(No.542-072DC)
Digimatic输出传感器用
2轴输入型
Digimatic A/B相 A/B相 A/B/Z相
带原点标识
30
计数器规格
规格
有1轴输入型和2轴输入型。
27
11.2
137
5.1
137
156.7
144
72 (3.1)
148.2
表示AC适配器的
安装方法
(约10度)
单位：mm
2 1
3 4
DC12-24V
RS-LINK
IN OUT
RS-232C I/O
700mA
DC IN
Code No.
Model
Serial No.
MADE IN JAPAN
*******
*******
******
Kawasaki, Japan
INPUT
B A
*******
Kawasaki, Japan
Code No.
Model
Serial No.
MADE IN JAPAN
*******
******
2 1
3 4
DC12-24V
RS-LINK
IN OUT
RS-232C I/O
700mA
DC IN
B INPUT A
*******
Kawasaki, Japan
Code No.
Model
Serial No.
MADE IN JAPAN
*******
******
2 1
3 4
DC12-24V
RS-LINK
IN OUT
RS-232C I/O
700mA
DC IN DC IN
700mA
I/O RS-232C
IN OUT
RS-LINK
DC12-24V
3 4
2 1
*******
Kawasaki, Japan
Code No.
Model
Serial No.
MADE IN JAPAN
*******
****** B
A
INPUT
Code No.
Model
Serial No.
MADE IN JAPAN
*******
*******
******
Kawasaki, Japan
2 1
3 4
DC12-24V
RS-LINK
IN OUT
RS-232C I/O
700mA
DC IN
68
138
68
138
68
138
68
138
68
138
542-075DC 542-071DC
542-073DC 542-074DC 542-072DC
外观尺寸图
货号 542-075DC 542-071DC 542-073DC 542-072DC
型号 EH-101P EH-102P EH-102Z EH-102D
显示轴数 1轴 2轴
最大输入频率 2.5 MHz(2相方形波) ─
分辨力(mm) 0.01/0.005/0.001/0.0005/0.0001［参数设定式］ 通过传感器自动设定
公差判断显示 LED显示(3段：琥珀色、绿色、红色 /5段 ：琥珀色、琥珀色闪烁、绿色、红色闪烁、红色)
接口
从RS-232C/USB/Digimatic中选择参数
(USB仅适用于SENSORPAK、Digimatic仅适用于DP-1VA LOGGER)
从公差3段／公差5段／简易BCD中选择参数
总公差判断输出(选择公差功能时)
模拟输出(1 V-4 V)
输入输出 控制输出 集电极开路
控制输入 显示BANK切换、峰值模式、预设、显示保持、指定轴保持：集电极开路
额定
电源电压 附带AC适配器(插孔输入)
功耗 8.4 W (MAX 700 mA)
对于市售电源，确保每个装置供电1A以上。
使用温度(湿度)范围 0~40 ℃(20~80%RH、无凝结)
储存温度(湿度)范围 －10~50 ℃(20~80 %RH、无凝结)
外观尺寸 144(W)×72(H)×156.7(D)ｍｍ
附件(选件) 输出连接器(带盖)：No.02ADB440
标准附属品 AC适配器：No.357651
AC电缆：No.02ZAA040
适用传感器 LG100、LG200(需要转换头21HZA195)※1 LG100、LG200
(需要转换头21HZA196) LGS、ID
质量 约760 g 约800 g 约800 g 约800 g
※1：原点功能无效。
31 计数器规格
RS链接功能
最多可以连接10个计数器，最多可同时进行20个通道的多点测量。
这种链接使用专用的RS连接线No.02ADD950(0.5 m)、No.936937 (1 m)
或No.965014(2 m)。
(整个系统的RS连接线的最大总长度为10 m。)
RS-232C通信功能
不仅可以读取测量值，还能进行多种远程设置，如计数器的置零等。
与PC进行数据交换时需要终端软件。请准备市售的终端软件。
MIN BCD输出时间 2 ms
MAX
2 ms
MIN
5 ms
MIN
5 ms
MIN
5 ms
SET1
BCDCK
REDY
MIN10 ms x 8=80 ms
简易模拟输出
■ 通过连接模拟记录器等可以监测动作波形。
(1)输出规格
输出电压＝2.5Ｖ＋计数值×电压分辨力(0.75 mV)
※满刻度：1.0~4.0 V
更新时间 ：5 ms(延迟时间：10 ms)
精度 ：±1 %(1~4 V)
※精度为满刻度4V对应的精度
负载电阻 ：300 ＫΩ以上
(2)测量范围
BCD输出
■ [A]ch、[B]ch以4bit为单位同时输出。
(1) 时序图
PEAK1 PEAK2 未使用
A/B_bit0 1x100 1x101
A/B_bit1 2x100 2x101
A/B_bit2 4x100 4x101
A/B_bit3 8x100 8x101
A/B_bit0 符号 BANK
1x107
2x107
4x107
8x107
未使用
PEAK1 PEAK2
NOM L L
MAX H L
MIN L H
TIR H H
D1 D2 D3 D4 D8
─１２３４５６０１
Bit0-3
SIGN L
Ｄ１ Ｄ 2 Ｄ 3 Ｄ 4 Ｄ 5 Ｄ 6 Ｄ 7 Ｄ 8
１ 0 6 5 4 3 2 1
▲
BANK1：L
BANK2：H
+ : H
- : L
(2) 数据格式
LSD(低位) MSD(高位)
数据输出实例
※可进行符号·BANK·PEAK·DATA输出的逻辑反转(PNo.21=1)
指令格式 相应输出 功能
GA＊＊CRLF G＃＊＊,＋01234.567CRLF 通过RS-232C输出[显示值]
CN＊＊CRLF CH＊＊CRLF 显示切换到[当前值]
CX＊＊CRLF CH＊＊CRLF 显示切换到[最大值]
CM＊＊CRLF CH＊＊CRLF 显示切换到[最小值]
CW＊＊CRLF CH＊＊CRLF 显示切换到[TIR(跳动值)]
CR＊＊CRLF CH＊＊CRLF 置零
CL＊＊CRLF CH＊＊CRLF 清除峰值
CP＊＊, ＋01234567CRLF CH＊＊CRLF 输入预设值
CD＊＊, ＋01234567CRLF CH＊＊CRLF 输入公差值S1
CE＊＊, ＋01234567CRLF CH＊＊CRLF 输入公差值S2
CF＊＊, ＋01234567CRLF CH＊＊CRLF 输入公差值S3
CG＊＊, ＋01234567CRLF CH＊＊CRLF 输入公差值S4
CS＊＊CRLF CH＊＊CRLF 取消错误
CK＊＊CRLF CH＊＊, $CRLF($=0或1) 检查保持状况
※1：“＊＊”表示传感器通道号01~99(00表示所有通道)。
2：“#”表示数据类型［N：当前值、X：最大值、M：最小值、W：TIR(跳动值)］。
3：CRLF：CR(回车)、LF(换行)。
4：用于输入预设和公差设定值，一个符号和不带小数点的8位数字组成一个值。
5：按照CD、CG的顺序设置3段公差、按照CD、CE、CF、CG的顺序设置5段公差。
注1：键盘操作时(如设置参数、预设值或公差)RS通信功能会暂停，当恢复可计数
状态时执行指令和数据输出。
2：请通过CS00CRLF(指定所有通道)取消计数准备状态。
个人电脑
※连接USB数据线时，仅本公司软件
SENSORPAK可以使用。
IN
单元1
RS-232C
电缆/
USB数据线
传感器编号 01 02 03 04……
OUT IN OUT
EH-102 EH-102
■ RS-232C 规格
(1) 兼容插头：D-sub9针(母头)、英制螺纹规格
(2) 针脚排列 1 5
6 9
插座
D-sub9针(公头)
英制螺纹规格
针脚No. 信号名 输入输出 功能
2 RXD IN 接收数据
3 TXD OUT 发送数据
4 DTR OUT 数据端准备
5 GND ─ 接地
6 DSR IN 数据设置准备
7 RTS OUT 请求发送
8 CTS IN 可发送
1, 9 N.C. ─ 连接失败
(3) 通信规格 ( 符合 EIA RS-232C)
注册位置 DTE(终端定义)、使用交叉型电缆
通信方式 半双工、电传打字协议
数据传送速率 4800、9600、19200 bps
位构成
起始位：1
数据位：(7,8)ASCII、大写字符
校验位：无、偶数、奇数
停止位：2
通信条件设置 通过参数设置
参数
No.30
测量范围(mm(mm)／(分辨力(mm))
10 µm传感器 1 µm传感器 0.1 µm传感器
0 ±19.99(0.01) ±1.999(0.001) ±0.1999(0.0001)
1 ±199.90(0.1) ±19.990(0.01) ±1.9990(0.001)
2 ±1999.00(1) ±199.900(0.1) ±19.9900(0.01)
32
计数器规格
标准附属品
附件(选件)
■ I/O连接器
用于外部 I/O 的插头。
No.02ADB440(带盖)
■ Digimatic微型处理器用连接线
向Digimatic微型处理器DP-1VA LOGGER输出计数器的测量数据。
No.936937(1 m)
No.965014(2 m)
■ 用于“RS链接”的连接线
串行连接使用“RS链接”时的计数器的连接线。
No.02ADD950(0.5 m)
No.936937(1 m)
No.965014(2 m)
货号 产品名称 数量
─ 垫圈(小型圆形平垫圈 标称4) 6
357651 AC适配器 1
02ZAA040 AC电缆 1
─ DC插头 1
214938 台架 1
─ 橡胶支脚(SJ-5303：3M) 4
99MBC018 使用说明书 1
33 计数器规格
输入输出规格
■ I/O 连接器连接部规格
(1) 兼容插头：No.02ADB440(带盖)特殊附件
(2) 针脚排列
(3) 输入输出电路
兼容插头(市售品)
10136-3000PE (3M：插头)
10336-52A0-008 (3M：盖)
DX40M-36P (HIROSE：插头)
DX30M-36-CV (HIROSE：盖)
①输出电路：NOM、AL1～AL5、BL1～BL5(仅限2轴计数器)
“L”时，晶体管开启。(集电极开路输出)
②输入电路：PA、PB(仅限2轴计数器)、HOLD
“L”时，输入有效。
+5 V
5KΩ 5 KΩ
0.01 µF
输出饱和电压：MAX0.7 V以下
计数器 外部设备 参考电路
请使用开路集电极输出
或继电器输出等无电压
输出。
输入电流：I MAX 1 mA
输入电压：H=4~24 V
L=MAX1 V
18 1
36 19
插座
10236-52A2
(3M) 等效
公差判断输出模式 BCD输出模式
针脚No. I/O 名称 功能 名称 功能
1、2 － COM 连接内部GND COM 连接内部GND
3 O AL1 ［A］上段公差输出
· 仅判断中涉及到的端子输出“L”
· 错误时
AL1、AL5 ＝ 输出“L”
AL2、AL3、AL4 ＝ 输出“H”
A_bit0
A_bit1
A_bit2
A_bit3
A_SIGN
［A］上段数据
4 O AL2
5 O AL3
6 O AL4
7 O AL5
8 I/O ALLGO 总公差判断输出 “H” ＝ OK “L” ＝ NG REDY “L” ＝ 数据有效
9 O RS_EXT
10 O NOM 可以计数时输出“L” 发生错误时输出“H”
11 O BL1 ［B］下段公差输出
· 仅判断中涉及到的连接部输出“L”
· 错误时
BL1、BL5 ＝ 输出“L”
BL2、BL3、BL4 ＝ 输出“H”
【2轴型号】
B_bit1
B_bit2
B_bit3
B_SIGN
B_bit0 ［B］下段数据
【2轴型号】
12 O BL2
13 O BL3
14 O BL4
15 O BL5
16～21 未连接
22 O A_ANG Ach 模拟输出
23 O B_ANG Bch模拟输出【2轴型号】
24 － AGND 模拟用GND
25 I SET1
26 I SET2 预先通过SET输入设置值，以MODE，DISP确定
27 I SET3
28 I DISP 显示BANK指定：与SET组合操作
29 I MODE 峰值切换：与SET组合操作
30 I BCDCK BCD输出指定：与SET组合操作
31 I EXTTRG USB触发器
32 I A_HOLD ［A］ch HOLD(上段显示保持)
※1
33 I B_HOLD ［B］ch HOLD(下段显示保持)
※1 【2轴型号】
34 I HOLD HOLD／错误取消※2
35 I PA ［A］：上段预设/峰值清除(峰值·保持时)
36 I PB ［B］：下段预设/峰值清除(峰值·保持时【) 2轴型号】
※1：输入时，小数点闪烁。
※2：输入时，UNIT的指示器闪烁。
输出耐压：MAX24 V
输出电流：MAX10 mA
输出饱和电压：MAX0.7 V
计数器内部 外部电路(例：继电器)
相当于TD62583
0.01 µF
输出
浪涌吸收
二极管
COM
34
计数器规格
(4) 时序图
①通电特性
③外部预设 (PA,PB) 输入
④峰值清除输入(输入HOLD之后，或同时输入预设值)
注1：( )内为峰值模式时、或保持输入引发RS-232C输出时的情况。
2：保持输入引发RS-232C输出时的情况。
注：键盘操作期间，RS-232C输出会被保留。 3：保持输入期间预设指示器会闪烁。
⑤ RS-232C 指令输入和响应输出
MIN.2 s
电源
HOLD
NOM
MIN.30 ms
MAX.30 ms
L1
上限值
下限值
L3
L5
MAX.10 ms
MAX.10 ms
MIN.30 ms MIN.30 ms
PA, PB
MAX.20 ms MIN.10 ms
指令
响应输出
LF LF
LF
注
MIN.30 ms
MIN.30 ms MIN. 0 ms
MIN.30 ms
HOLD
PA, PB
数据锁存周期MAX.10 µs(±20 ms)
注1
最大40ms数据输出
错误解除注2
注：键盘输入、RS-232C、Digimatic处理期间除外。
注：RS-LINK连接时，以最初接通电源的计数器为基准。
②公差判断结果输出时间
35 原点标识检测动作说明(EH-102Z、EJ-102N)
计数器规格
预设动作
上死点
内部计数器
显示
下死点
原点标识
位置
＝
将从预设值中减去内部计数后的值作为用户原点位置
存储在偏置存储器中
标准值的登录
(预设) 通过原点时，
计数器从偏置值开始计数。
注)上述说明中的线性传感器为 LG100 测量范围10 mm型。该线性传感器带有原点标识，大致位于距离下死点3 mm处。
行程为25/50 mm型的原点标识位置大致位于距离下死点5 mm处。
标准工件
3 mm -3 mm
5 mm
6 mm
4 mm
标准值
12mm
标准工件
通电
8 mm
⑥
⑤
⑧ ⑫
⑬
⑪
① ⑨ ⑩
④
③
②
⑦
原点标识检测的操作步骤
①接通连接传感器的计数器电源。
②将传感器的测杆从下死点位置移动大约3 mm以上，通过原点标识。
③计数器将自动读取原点，进行置零。
④安装标准工件。
⑤计数器显示从原点位置的位移尺寸。
⑥进行标准值的登录(预设)。
⑦拆除标准工件。
⑧显示从预设值变为的相对值。
⑨关闭计数器电源。
⑩再次接通计数器电源。
⑪将传感器的测杆从下死点位置移动大约3 mm以上，通过原点标识。
⑫计数器将自动分辨力原点，从储存的偏置值开始测量。
⑬显示测量工件的数值(测量)。
36
传感器和计数器的连接/计数器的功能比较表
传感器规格
接触式位移传感器 计数器
EC EH EJ
EC-101D EH-101P EH-102P EH-102Z EH-102D EJ-102N
542-007DC 542-075DC 542-071DC 542-073DC 542-072DC 542-080
适用传感器 Digimatic A/B相 A/B相 A/B/Z相带原点标识
Digimatic A/B/Z相带原点标识
0.0001 mm LG100/LG200 ※5 ※5 ※6
0.01 mm LGS
功能
连接传感器数量 1 1 2 2 2 2
显示
置零(前面按钮)
预设(前面按钮)
方向切换 ○ ○ ○ ○ ○ ○
GO/±NG指示 ○
GO/±NG输出 ○
5段公差判断显示/输出 ○ ○ ○ ○ ○
3段公差判断显示/输出 ○ ○ ○ ○ ○ ○
ABS传感器原点改写
ABS/INC切换 ○ ○
峰值保持(MAX,MIN)
跳动(TIR)测量
2倍显示 ○ ○ ○ ○ ○
和/差计算 ○ ○ ○ ○ ○
低数位取消 ○ ○ ○ ○ ○
外部置零 ※1
外部预设
外部保持
外部公差值输入(使用PC时)
外部公差记忆切换(使用I/O时)
外部峰值保持解除
输出
电源电压错误
超速错误
溢出错误
传感器错误
公差设置错误
通讯错误
并行BCD输出
串行BCD输出
简易BCD输出 ○ ○ ○ ○
简易模拟输出
公差判断输出 ※2 ○ ○ ○ ○ ○
极限判断输出
分段输出
RS-232C输出 ※2 ※2 ※2 ※2
Digimatic输出 ※4 ※3 ※3 ※3 ※3
USB输出(SENSORPAK专用)
RS链接 ※2 ※2 ※2 ※2
传感器最大连接数 10 20 20 20 16
CC-Link通信 ※7
PROFINET通信 ※7
EtherNet/IP通信 ※7
EtherCAT通信 ※7
USB通信 ※7
：标配 ○：通过内部参数可以更改
※1：支持外部预设置零 ※2：与Digimatic输出切换 ※3：与RS-232C输出切换 ※4：与公差判断输出切换 ※5：需要转换头21HZA195
※6：需要转换头 21HZA196 ※7：需要支持的接口装置
37 用于读取EH/VL测量数据的软件
SENSORPAK
● 将测量数据从带有RS-232C/USB输出的接触式位移传感器计数器(EH)、
Litematic用显示装置(VL)导入个人电脑的软件。
● 可以处理最多20通道的测量点。
● 测量数据可以进行四则运算和最大幅度运算。
● 可以向Excel传输测量数据。
● 通过柱形图、仪表等模拟显示实现实时显示。
测量画面① 测量画面② 测量画面③
程序盘(CD)
许可证密钥
规格
货号 02NGB072
产品构成 程序盘(CD)、许可证密钥、使用说明书
连接设备(连接方法)
支持三丰制RS-LINK的设备
·LGH系列(USB、RS-232C)
·EH计数器(USB、RS-232C)
·Litematic VL(RS-232C)
连接电缆
请另行准备以下规格的电缆。
附件
·RS-232C连接：I/O电缆(21HZA137)
※1
市售品
·USB连接：USB数据线(A型-B型)
·RS-232C连接：RS-232C交叉型电缆※1
连接传感器数量 最多20根(接触式位移传感器用计数器 使用RS-Link连接10台EH计数器时)
功能
显示※2 显示形式：计数形式·柱形图形式、仪表形式、图表形式、表格形式
显示周期时间：0.3 s (运行环境 连接20个传感器、显示1个窗口、无Excel输出)
运算 可进行任意传感器间的各种运算(最多30个项目) 运算种类：和、差、合计、平均值、最大值、最小值、范围(最大至最小)、常数演算
公差判断 独立判断：彩色显示各传感器、各运算结果 (3段公差 红/绿/红、5段公差 红/黄/ 绿/黄/红)
总判断：监视并彩色显示多个传感器、运算结果(红/绿)
记录※2
记录内容：单独通道数值、运算结果数值、公差判断结果、总公差判断结果、时间戳
最大记录数：软件内记录数 60000次 (连接6个传感器时) ~27000次 (连接20个传感器时)
外部输出：直接向Excel输出、CSV文件输出(支持MeasureLink)
记录触发器：键盘、定时器、外部TRG
输入输出※3 输入：记录用TRG(HOLD)
输出：总公差判断结果
运行环境 DOS/V兼容PC 推荐环境 CPU：Pentium4 2 GHz以上、内存：2 GB以上、硬盘剩余空间2 GB以上
OS：Windows 7 (32bit/64bit)、Windows 8.1 (32bit/64bit)、Windows 10 (64bit)
※1：如果连接的电脑没有RS-232C连接器，请咨询本公司。
※2：显示周期、最大记录数因环境(PC规格、连接传感器数、显示形式、通信设定)而异。
※3：使用I/O电缆时(附件)时。不使用I/O电缆时，计数器的I/O连接器支持同样的功能。(请另行查看计数器的使用说明书。)
38
传感器特殊附件
■ 各种测头、接长杆(可使用指示表的备用测针。)
■ 球形测头
■ 平面测头
■ 硬质合金球面测头
■ 壳式测头
■ 滚珠测头
■ 球面测头
■ 硬质合金平面测头
● 所有可更换测头的安装螺纹规格均为M2.5(P＝0.45)×5 mm。
● 更换测头后，应紧固测头确保使用期间不会松动。
(推荐紧固扭矩＝50 N·cm) ● 硬质合金测头具有特别优异的耐磨性。
是标准测头。
工件的测量面为球面时便于测量。
拥有大球面的测头，便于平面
测量。
便于锥形孔等凹痕较深时的
测量。
接触式位移传感器用附件(选件)
单位：mm
单位：mm
材质：淬火钢
单位：mm材质：淬火钢
单位：mm
材质：淬火钢
单位：mm平面度：3 µm
单位：mm材质：硬质合金
(仅球头面部)
(平面度：3 µm)
( )内的尺寸
只适用于货号
No.120042。
单位：mm
球头材质
L (mm) 硬质合金 红宝石 塑料
7.3 货号 901312 120047 901994
14 货号 21JAA225 － －
15 货号 120049 120051 －
17 货号 21JAA224 － －
20 货号 137391 137392 －
22 货号 21JAA226 － －
25 货号 120053 120055 －
30 货号 21AAA252 21AAA253 －
无槽 L
Sø3
10 3
øD
L
ø5 (平面度：3 µm) (平面度：5 µm)
L 货号
8 131365
10 21AAA340
D 货号
10 101117
15 21AAA341
20 21AAA342
25 21AAA343
30 21AAA344
注意：使用平面测头时，对与轴套的垂直度和与基准面的平行度有要求
时，需要进行包括光栅式传感器在内的调整。请作为特别订制产
品向三丰公司咨询。
注意：使用平面测头时，对与轴套的垂直度和与基准面的平行度有要求
时，需要进行包括光栅式传感器在内的调整。请作为特别订制产
品向三丰公司咨询。
L
SR
øD
øD SR L 货号
5 2.5
5 101386
10 101118
15 137393
20 101387
25 101388
30 21AAA254
SøD 球头材质 货号
1 硬质合金 21AAA349
1.5 21AAA350
1.8 淬火钢 101122
2.5 硬质合金 21AAA351
4 21AAA352
D ø5.5 ø8 ø10
SR 5 5 7
L 3 5 5
货号 111460 125258 101119
7.3
ø5
SøD
L
SR
øD
8
ø2
L
ød
øD
1.7(2)
10
2 3
ød
øD
材质：硬质合金
No.120056
ød0
ø5
ød D L 平面度 货号
4.3 5.2 5
3 µm
120041
6.5 7
10
120042
9.5 10.5 120043
15 17
5 µm
21AAA345
20 22 21AAA346
25 27 21AAA347
30 32 21AAA348
ød0 ød øD 货号
3 6.4 7 137255
4.5 8 9 137399
L
1.7
øD
SR
ø
※d：～ø40的产品， d
需要特别订制。
D L ø5.2 ø7.5 ø10.5
SR 5 7 10
5 货号 120058 － －
10 货号 － 120059 120060
39 ■ 硬质合金片形测头
■ 硬质合金刀刃形测头
■ 接长杆
■ 滚轴测头
■ 硬质合金针形测头
■ 锥形测头
■ 硬质合金锥形测头
■ 针形测头
便于进行圆柱的测量。
便于进行细槽直径的测量。
准确地确定测量位置时使用。
容易对工件造成损伤，不适合柔软工件的测量。
便于进行槽和孔的底面测量。
※尖端SR：0.2~、ℓ：40为止的产品，需要特别订制。
单位：mm材质：硬质合金
单位：mm材质：硬质合金
单位：mm材质：不锈钢
※需要特别订制。
单位：mm
材质：淬火钢
单位：mm
材质：硬质合金
单位：mm材质：硬质合金
单位：mm L 材质：淬火钢
SR0.4 (0.2) ( )内为No.137413的尺寸
ø5
货号 ℓ L
101121 11 15
137413 13 17
21AAA255 21 25
21AAA256 31 35
10
5
ø5
5
ø5
尖端：60° 尖端：90°
No.101120 No.101385
9
90° No.120057
ø2
ø5
8
0.5
15
90°
90°
ø1
ø2
※角度需要特别订制。
No.120068
ø5
7
øD
ø5
D ℓ 3 5 8 10 13
ø0.45 货号 120066 21AAA329 － － －
ø1 货号 120065 21AAA330 21AAA331 21AAA332 －
ø1.5 货号 － 21AAA335 － 21AAA336 120064
ø2 货号 － － 137257 － －
D ℓ 18 20 28 40
ø1 货号 － 21AAA333 － 21AAA334
ø1.5 货号 － 21AAA337 － 21AAA338
ø2 货号 21AAA257 － 21AAA258 21AAA339
10
2.5
H
øD
ø5
H D 0.4 0.6 1
ø2 货号 120061 120062 －
ø4 货号 － － 120063
注意：使用片形测头时，对与装夹套筒的垂直度和与基准面的平行度以
及测头方向有要求时，需要进行包括光栅式传感器在内的调整。
作为特别订制产品请向三丰公司咨询。
15
ø4
øD
8
No.120067
※øD：ø0.5～、：5～40的产品，
需要特别订制。
L 5
ø5.2
ø5
L 货号 L 货号
10 303611 55 21AAA259G
15 21AAA259A 60 304146
20 303612 65 21AAA259H
25 21AAA259B 70 21AAA259J
30 303613 75 21AAA259L
35 21AAA259C 80 21AAA259M
40 21AAA259D 90 304147
45 21AAA259E 100 303614
50 21AAA259F
单位：mm
滚轴材质：淬火钢
滚轴跳动：10 µm
No.901954
※øD需要特别订制。
※还备有滚轴跳动为5 µm的
高精度型产品。
(特别订制)
R5
六角螺母
23
15
φ10
10
9
3
40
精密测量仪器的小知识
精密测量仪器的小知识
传感器
■ 直柄装夹套筒
“直柄装夹套筒”型需要锁紧开口夹具，适用范围广，在最终安
装时还可以向前后方向进行位置微调，但必须注意防止过度紧
固。
■ 测力
测量时作用于工件的测力，接触式位移传感器的测头在行程末端
位置的力以牛顿(N)来表示。
■ 比较测量
测量超出测头测量范围的工件时，先制作一个给定工件基准尺寸
的标准规，然后测量工件与该基准尺寸之间的差，从而得到工件
尺寸，这种方法就叫做“比较测量”。
带螺母轴套 直柄装夹套筒
■ 传感器安装时的注意事项
● 请将轴套插入测量装置的安装部位或支架上固定。
● 请注意不要将轴套拧得过紧，否则操作传感器时可能会出现问
题。
● 切勿用螺钉尖端直接抵住传感器轴套进行固定。
● 切勿使用轴套以外的固定方法进行安装。
● 安装时传感器应与测量面呈垂直状态。若传感器与测量面之间
不垂直，测量时将产生误差。
● 请注意不要通过电缆向传感器施加力。
● 安装孔应当与测量方向平行。
如果倾斜安装，会使测量产生误差。
● 固定时应避免过度拧紧轴套，否则会影响传感器的平滑移动。
● 需要移动LGH系列进行测量时，安装应避免扯拽电缆，或者向传
感器施加过大的力。
轴套 安装螺钉 轴套 安装螺钉
固定件 固定件
■ LGH系列安装时的注意事项
LGH系列可以将轴套插入专用支架或其他装置中进行固定。
推荐固定安装孔孔径：15 mm ＋0.034 ＋0.014
计数器
■ 预设
在显示部设置任意数值，从该数值开始计数。
注) 距离下死点0.2 mm不在精度保证范围内，请在测杆抬起0.2mm以
上的位置进行置零。
注) 距离下死点0.2 mm不在精度保证范围内，请在测杆抬起0.2mm以
上的位置进行置零。
■ 方向切换
可将传感器移动方向设置为(＋)/(－)方向中的一种。
■ MAX、MIN、TIR设置
保持测量中的最大值(MAX)、最小值(MIN)、跳动值(TIR)。
■ 公差设置
对测量的数值是否在公差内进行分类时，该公差值需要事先设置
在各显示装置上。这个界限点的设置称为公差设置。
■ 集电极开路输出
利用晶体管的集电极输出驱动外部负荷的信号。
■ Digimatic编码
能够以连接三丰的各种数据处理装置与测量器的输出的通信形式
与Digimatic微型处理器DP-1VA LOGGER连接，进行各种统计运算
处理，创建直方图等。
■ BCD输出
通过2进制编码的10进制输出数据的方式。
■ RS-232C输出
可通过符合EIA标准的串行通信接口双向传输数据。
关于传输步骤，请确认各设备的规格。
■ CC-Link
由三菱电机株式会社开发的新开放现场网络，是Control &
Communication Link的简称。可同时处理控制和信息的高速现场网
络。
跳动值(TIR)＝最大值─最小值
MAX
MIN
0.000 0.000
0.000
＋/－
基准面
1.234 123.456
■ 置零
可在任意位置设置显示值的零点。
防护等级 种类 等级 内容
IP66
人体的接触及
对异物的防护 6 ： 密封防尘 防止灰尘进入
完全接触保护
对水的防护 6 ：防水 水流从任何方向直接喷射
也不会产生负面影响
IP67
人体的接触及
对异物的防护 6 ： 密封防尘 防止灰尘进入
完全接触保护
对水的防护 7：防浸型 在规定的条件下，即使浸入水
中，水也不会进入内部
■ IP防护等级
41 接触式位移传感器安装时的注意事项
精密测量仪器的小知识
使用前
精密测量仪器的小知识
■ 应避免安装在以下场所。
● 暴露在阳光直射或环境温度低于0℃或高于50 ℃※的地方
● 相对湿度低于20%或高于80%，
以及由于气温突变而产生凝露的地方
● 有腐蚀性气体或附近有易燃物的地方
● 含有灰尘、盐分或金属粉末的地方
● 本体会受到直接振动或冲击的地方
● 有可能接触到溅落的水、油或化学
品等的地方
● 有电子噪声的地方
■ 防止电气干扰
● 高压线、电源线、传感器电缆一起配线可能会造成传感器误动作，因此
传感器电缆应独立配线。
■ 所有接触式位移传感器系列均符合EMC指令及英国电磁
兼容性规定。
● EMC指令／电磁兼容性规定 :EN 61326-1
Immunity test requirements:Clause 6.2 Table2
Emission limit：Class A
Emission limit：Class B
● 如果使用市售的开关稳压器，应通过电源侧的框架接地连接部接
地。
● 如果由于电源叠加的噪声而发生故障，请使用隔离变压器作为电源
的稳压直流电源。
■ 关于接地
● 应避免本机的框架接地端子(F.G.)与大功率接地线共用，请单独实施
第3种接地。
注意
● 本产品为精密测量仪器，请避免掉落或其他冲击。
● 传感器的测杆(可动部位)通过弹簧连接在本体上。请小心不要向测杆伸出方向(单方向)用力拉出或旋转测杆，否则可能会造成弹簧的永久变形和损坏。
● 发货时传感器安装有标准测头(No.901312)，可以根据工件形状替换为不同类型的测头。(参照P.55、56)
当安装或拆除测头时，请用附带的扳手扣住扳手位，以便保持测杆不转动，然后用钳子夹住测头进行安装或拆除。当用钳子等夹紧测头时，在钳爪和测
头中间插入一片毛毡或其他柔布，用以保护测头免受损伤。
● 请勿使用行程两端作为原点(零点)。
■ 关于计数器的供电电源
下面以图解对需要用户注意的事项进行说明。使用传感器、计数器时可作为参考。
■ 更换测头时
当用钳子夹紧测头时，在钳爪和测头中间插入一片毛毡或其他柔布，用以保护测头免受损伤。
测头可以根据客户需要进行更换。
更换测头时，请用标配的扳手扣住扳手位，以便保持测杆不转动，然后用钳子等夹住测头进行安
装或拆除。
※LGS-1012P、EC/EH计数器、LGH-1010-B-EH为0~40 ℃、LGH-0510-B-EH为15~25 ℃
■ LG100、LG200系列
安装推力轴套时
LG100/LG200系列
①用扳手固定
②旋转钳子等
【测头的安装、拆除】
安装
拆卸
加装推力轴套后，只需在10 mm厚的板上钻一个直径ø9.5mm的孔即可安全、简便地安装传感器。
安装推力轴套时，请用可选的专用扳手扣住位于本体中部的扳手位，并用手握住滚花部位，以标
配的扳手拧紧锁紧螺母。若在安装时握住本体上的电缆引出部位，会对传感器产生扭转方向的扭
矩，可能导致传感器破损，请务必注意。
注 1 请参照P.20。
42
接触式位移传感器安装时的注意事项
精密测量仪器的小知识
■ 传感器的安装
● 请将装夹套筒插入测量装置的安装部位或支架上固定。
● 请注意不要将装夹套筒拧得过紧，否则操作传感器时可能会出现问题。
● 切勿用螺钉尖端直接抵住传感器装夹套筒进行固定。
● 切勿使用装夹套筒以外的固定方法进行安装。
● 安装时传感器应与测量面呈垂直状态。若传感器与测量面之间不垂直，测量时将产生误差。
● 请注意不要通过电缆向传感器施加力。
全部接触式位移传感器
■ 关于防尘、防水性
● 前置放大器和计数器不能提供尘/水防护。请不要安装在直接接触水或油的地方。
● 使用延长电缆时，应完全密封前置放大器和连接连接部，确保没有暴露在外的部分。
● 如果电缆表面被破坏，由于毛细管效应，水或其他液体可能会进入传感器，导致传感器故障。如果电缆表面出现损坏，应尽快维修或更换。
● 使用传感器时应充分注意避免切屑等损伤橡胶套管。
如果橡胶套管损坏传感器将不能防水防尘。如果出现损坏，应尽快维修或更换套管。
● 橡胶材料的套管和密封条并不能完全有效隔离各种冷却剂和化学品等。
如果橡胶部分出现明显劣化，请联系离您最近的三丰营业所。
● 本体各部位均实施密封处理，采用无法拆解的结构。
因此，切勿拆解传感器，否则传感器将无法发挥应有的性能。
■ 安装实例
示例1 示例2
● 紧固扭矩的推荐值为0.4～0.5 Nm。
装夹套筒过紧会阻碍测杆平滑移动，因此请在固定后确认测杆的动作。
7.5
(4.5)
7.5
(4.5) 6 15
30 6
A
A-A' 截面 4.5通孔、7.5沉孔深度4.4
16 15(9)
A′
M4×0.7通孔
ø8H ＋0.020
＋0.005
7.5
(4.5)
15
30
15
A
A-A' 截面 A′
M4×0.7
15(9)
10
20
ø10
缺口位置
(与螺纹呈90°)
＋0.020
＋0.005
ø8 ＋0.020
＋0.005
ø10 0 －0.015
15(9)
w
q
w
q
单位：mm
LGH型
■ 传感器的安装
LGH系列可以将装夹套筒插入专用支架或其他装置中进行固定。
推荐固定安装孔孔径：15 mm ＋0.024
＋ 0.006
● 安装孔应当与测量方向平行。如果倾斜安装，会使测量产生误差。
● 固定时应避免过度拧紧装夹套筒，否则会影响传感器的平滑移动。
● 需要移动LGH进行测量时，安装应避免扯拽电缆，或者向本体部施加过大的力。
■ 测量注意事项
● 为确保精度，开机后请预热30分钟。
● 请给传感器和被测量工件的温度稳定留出足够时间。
● 测量前请彻底清洁测头尖端和测量面，避免由于异物、灰尘和污渍影响精度。
● 测量时过高的阶差将导致超速错误，因此请根据工件特点采用恰当的测量方法。
装夹套筒 固定螺钉 装夹套筒 固定螺钉
固定件 固定件
装夹套筒 固定螺钉 装夹套筒 固定螺钉
固定件 固定件
注释 ：
全部产品介绍，特别是本手册中有关图表、图形、尺寸、性能数据以及其它技术数据均为近似值。在此基础上，我们保留对设计、
技术数据、尺寸和质量进行变更的权力。截止至本手册印刷，上述标准、相似的技术规则、产品规格、说明和图表均正确有效。仅经
三丰公司确认的提议具有权威性。
规格如有变更，恕不另行通知。
Mitutoyo Corporation
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https://www.mitutoyo.com.cn（中文）
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影像测量仪 形状测量仪
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007 2409(1)C-(AK-AK)AK, 中国印刷印刷日期: 2024
年9月
