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创 变 智 造 新 未 来
台达光栅尺MSR-LE 系列
光栅尺
随着工业和科技领域的不断发展，现代制造业、半导体生产、医疗设备制造、航空航天等领域对于精密测量的依赖日益增加，传统测量工具在面对微小尺寸和高精度要求时存在侷限性，导致生产效率下降和成本增加，在追求产品质量与制程效率的智能制造浪潮下，已不敷时代所需。因此，台达光栅尺的开发应运而生，提供高稳定性和高可靠性的测量应用。
台达光栅尺在高分辨率、非接触式、抗干扰性和长期稳定性方面具有卓越的性能。此外，光栅尺可用于线性位置测量，适用于高精高速动态应用，多功能特性使其成为众多行业应用首选的测量回授传感器。
反射式光学传感设计
超高精度验证
目录
光栅尺介绍 2
产品特色 4
应用实例 6
型号说明 7
产品规格 8
外观尺寸 10
脚位定义 12
订购信息 13
产品特色
反射式光学传感设计
• 精细反射式光学传感设计，光源与光传感器一体化整合
• 具有较宽松的安装公差，却可达成高精度需求
绝佳抗污能力
• 传感图纹阵列设计提高耐污染能力 (如轻油渍与微粒子等)
| 表面状态 | 干净 | 指纹 | 油渍 | 笔迹 |
| 示意图 | ||||
| 脏污宽度 | 11mm | 4mm | 1mm | |
| 信号强度(%) | 100 | 58 | 43 | 79 |
| NO | ||||
| 信号失真 | NO | 脏污使信号衰减，但通过内建算法计算确保不漏脉冲 |
超高精度验证
• 使用激光干涉仪检测内含台达光学尺的线马模块\*，重复精度可达0.128 µm
• 一般设备的普通应用精度要求为 2 µm 左右，高阶应用精度要求为 1 µm 左右。台达线性电机和光学尺解决方案使用空气轴承，重复精度可达 0.128 µm\*线马模块涵台达线性电机、台达光学尺、空气轴承 \*线马模块涵台达线性电机、台达光学尺、空气轴承
| 单位 | (+)µm | (-)µm | (Bidir) µm |
| 重复精度 | 0.105 | 0.073 | 0.128 |
实时显示警报信息 & 信号强度
• 提供信号诊断、警报与防暴冲机制，实时显示警报信息及信号强度百分比
• 搭配台达驱动器可以侦测信号是否异常过大或过小、脉冲数是否漏失
• 如检测到异常，驱动器发出光学尺专属警报代码 (Alarm code) 并且使伺服 servo off，防止因瞬间位置变化太大而暴冲
| 报警名称 | Alarm 25* | Alarm 33* |
| 说明 | 光学尺脉冲数异常 | 光学尺信号异常 |
| 排除方式 | 确认尺表面清洁，全行程皆无异常后，重上电 | 确认编码器安装妥当，全行程皆无异常后，重上电 |
显示信号强度
| 台达 | 他牌 | |
| 警报信息显示 | 0 | 0 |
| 信号强度百分比显示 | 0 X | |
应用实例
电子组装设备厂
光学组装设备厂
背景与需求
• 因应插件应用 Cycle Time 需求，需提升多轴效率的方案型产品
• 力量精度误差大，生产良率无法稳定控制
• 需不断调整参数，且无法同时摆放多轴
导入效益
• 精度提高 15%，产量提高 15%
• 实时反馈位移数据，无须不断调整设备
• 设备多轴应用，提高整体工艺生产率
背景与需求
• 需就既有设备最大化产能效率
• 传统气缸无法自动调控与记录每笔压合参数
导入效益
• 安装速度提升 25%，良率提升 25%
• 可储存机台参数，易于针对异常状况进行分析
| 代码 | 分辨率 |
| 10 | 1μm |
| 05 | 0.5μm |
| 01 | 0.1μm |
| 4N 4nm | |
型号说明
产品规格
| 系列 | MSR-LEH-SDI | MSR-LEH-SDE | MSR-LEH-SDA | ||||
| 型号 | MSR-LEH-SDIxxDD5S1 | MSR-LEH-SDE4N3Q5S1 | MSR-LEH-SDA4NxD5S1 | ||||
| XX= | X= | ||||||
| 10 | 05 | 01 | 一 | 3 | B | ||
| 尺寸(L×W×H) | 35×13.5×11.5mm | $3 6 . 4 \times 1 5 . 2 \times 1 4 . 2 \mathsf { m m }$ | 36×16.5×16.5mm | ||||
| 光学栅距 | 256μm | 64μm | 204.8μm | ||||
| 最长尺长 | 10m | 10m | 6.7 m (Max.) | ||||
| 热膨胀系数 | $1 1 \mu \mathrm { m / m / ^ { \circ } C }$ | ||||||
| 尺精度 | ± 5μm/m [at $2 0 ^ { \circ } \mathrm { C } ]$ | ||||||
| 可支持最高速度 | 须根据分辨率输出设定*1 | 10 m/s | 10m/s | ||||
| 输出信号 | TTL，差分A/B/Z | 台达通讯 | 台达通讯 | BiSS-C 通讯 | |||
| 分辨率 | 1μm | 0.5μm | 0.1μm | 4nm | 4nm | ||
| 电源需求 | 5 V ± 5%, 170 mA (Max.) | 5 V ± 5%, 170 mA (Max.) | 5 V ± 5%, 250 mA (Max.) | ||||
| 5VDc 电力，符合标准 IEC 60950-1 SELV 需求 | |||||||
| EMC 符合 | IEC 61326-1 | ||||||
| 细分误差 | ±~0.5μm | ±~80nm | ±~160nm | ||||
| 震动幅度(操作时) | $\leq 1 0 0 \mathsf { m } / \mathsf { s } ^ { 2 }$ (55~2,000 Hz，3 轴，EN 60068-2-6) | ||||||
| 冲击程度 (非操作时) | $\leq 5 0 0 \mathsf { m } / \mathsf { s } ^ { 2 }$ (11 ms, 1/ sine,3 轴，EN 60068-2-27) | ||||||
| 操作温度 | $0 \sim + 7 0 ^ { \circ } \mathrm { C }$ | $0 \sim + 8 0 ^ { \circ } \mathrm { C }$ | |||||
| 保存温度 | $- 2 0 \sim + 7 0 ^ { \circ } \mathrm { C }$ | $- 2 0 \sim + 8 0 ^ { \circ } \mathsf { C }$ | |||||
| 湿度 | 95% 相对湿度(未凝结)，符合 EN 60068-2-78 | ||||||
| IP等级 | IP40 | IP64 | |||||
| 信号线 | • 5 对，镀锡与韧化铜 30 AWG• 单屏蔽，外径为 $3 . 9 \pm 0 . 2 \mathsf { m m }$ • 弯曲半径为 50 mm挠曲寿命 ${ > } 4 0 \times 1 0 ^ { 6 }$ 个循环UL 认可组件 | •2 对，镀锡与韧化铜 30 AWG• 单屏蔽，外径为 $4 . 2 \pm 0 . 2 \mathsf { m m }$ • 弯曲半径为 50 mm挠曲寿命 ${ > } 1 0 \times 1 0 ^ { 6 }$ 个循环• UL 认可组件 | •4 对，镀锡与韧化铜 30 AWG• 单屏蔽，外径为3.6±0.2mm• 弯曲半径为 50 mm挠曲寿命 ${ > } 4 0 \times 1 0 ^ { 6 }$ 个循环 UL 认可组件 | ||||
| 认证 | CE | ||||||
| 安装公差 | Y | ±0.2mm | ±0.5mm | ±0.4mm | |||
| Z | ±0.2mm | ||||||
| Roll OX | $\pm 0 . 5 ^ { \circ }$ | $\pm 1 . 5 ^ { \circ }$ | $\pm 1 . 5 ^ { \circ }$ | ||||
| Pitch OY | $\pm 1 . 0 ^ { \circ }$ | $\pm 1 . 5 ^ { \circ }$ | $\pm 0 . 5 ^ { \circ }$ | ||||
| Yaw 0Z | ±1° | ±2° | |||||
光学尺
| 型号 | MSR-LES-SLI Series | MSR-LES-SLE Series MSR-LES-SLA Series | |
| 尺寸(T×W) | 0.6×8 mm | ||
| 光学栅距 | 256μm | $6 4 \mu \mathrm { m }$ | 204.8μm |
| 精度等级 $( 2 0 ^ { \circ } \mathsf { C } )$ | $\pm 5 \mu \mathrm { m } / \mathrm { m }$ | ||
| 最长尺长 | 10m | 10m | 6.7m |
| 材质 | 不锈钢、背胶 | ||
| 重量 | 12.3g/m | ||
| 线性热膨胀系数 $( 2 0 ^ { \circ } \mathsf { C } )$ | $1 1 \mu \mathrm { m } / \mathrm { m } / { } ^ { \circ } \mathrm { C }$ | ||
| 操作温度储存 | $0 ^ { \circ } \mathrm { C } \sim + 7 0 ^ { \circ } \mathrm { C }$ | ||
| $- 2 0 ^ { \circ } \mathsf C \sim + 7 0 ^ { \circ } \mathsf C$ | |||
| 湿度 | 95% RH(不结露) | ||
最高速度表 (TTL 型输出）
| 分辨率 | 1μm 0.5μm | 0.1μm |
| 时脉输出选项 (MHz) | 最高速度 (m/s) | |
| 40 | 20m/s 10m/s | 2m/s |
| 20 | 10m/s 5m/s | 1.5m/s |
| 2 | 1m/s 0.5m/s | 0.15m/s |
光学读头
MSR-LEH-SDA
脚位定义
脉冲型光学读头 - 脚位定义
MSR-LEH-SDIxxDD5S1、MSR-LEH-SDExxDD5S1 (D-sub 9 way)
| 功能 | 信号 | D-sub 9 way |
| 电源 | 5V | 5 |
| GND | 1 | |
| 输出信号 | A+ | 2 |
| A- | 6 | |
| B+ | 4 | |
| B- | 8 | |
| Z+ | 3 | |
| Z- | 7 | |
| 校正 | CAL | 9 |
| 屏蔽 | Shielding Case | |
台达通讯型光学读头 - 出线定义
| 功能 | 信号 | Quick 9 way |
| 电源 | 5V | 7 |
| GND | 8 | |
| 输出信号(Serial Comm.) | T+ | 1 |
| T- | 4 | |
| Reserved | 2,3,5,6 | |
| 屏蔽 | Shielding | 9 |
绝对通讯型光学读头 - 脚位定义
| 功能 | 信号 | D-sub 9 way |
| 电源 | 5V | 4 |
| GND | 8 | |
| 输出信号(Serial Comm.) | T+ | 5 |
| T- | 9 | |
| SLO+ | 6 | |
| SLO- | 7 | |
| MA+ | 2 | |
| MA- | 3 | |
| 屏蔽 | Shielding Case | |
订购信息
| 增量/绝对式 | 信号类型 | 分辨率 | 可搭配驱动器 | 型号 | |
| 增量式 |  | A/B/Z 脉冲输出型 | $1 \mu \mathrm { m }$ | 各家驱动器 | MSR-LEH-SDI10DD5S1 |
| $0 . 5 \mu \mathsf { m }$ | MSR-LEH-SDI05DD5S1 | ||||
| $0 . 1 \mu \mathrm { m }$ | MSR-LEH-SDI01DD5S1 | ||||
 | 通讯型 (台达通讯协议) | 4nm | 台达伺服驱动器 ASDA-A3/W3 系列 | MSR-LEH-SDE4N3Q5S1 | |
绝对式  | 通讯型 (台达通讯协议) | 4nm | 台达伺服驱动器 ASDA-A3/W3 系列 | MSR-LEH-SDA4N3D5S1 | |
| 通讯型 (BiSS-C) | 4nm | 各家驱动器 (可支持 BiSS-C) | MSR-LEH-SDA4NBD5S1 | ||
光学尺
| 增量/绝对式 | 型号 | 尺长 | 可搭配读头型号 | |
| 脉冲-增量式 | 一 | MSR-LES-SLI10000S1 | 10m | MSR-LEH-SDI10DD5S1 MSR-LEH-SDI05DD5S1 MSR-LEH-SDI01DD5S1 |
| MSR-LES-SLI05000S1 | 5m | |||
| MSR-LES-SLI03000S1 | 3m | |||
| MSR-LES-SLI02000S1 | 2m | |||
| MSR-LES-SLI01000S1 | 1m | |||
| MSR-LES-SLE10000S0 | 10m | |||
| MSR-LES-SLE05000S0 | 5m | |||
| 通讯-增量式 | MSR-LES-SLE03000S0 | 3m | MSR-LEH-SDE4N3Q5S1 | |
| MSR-LES-SLE02000S0 | 2m | |||
| MSR-LES-SLE01000S0 | 1m | |||
| MSR-LES-SLA06000S1 6m | ||||
| MSR-LES-SLA05000S1 | 5m | |||
| MSR-LES-SLA04000S1 | 4m MSR-LEH-SDA4N3D5S1 MSR-LEH-SDA4NBD5S1 | |||
| MSR-LES-SLA03000S1 | 3m | |||
| MSR-LES-SLA02000S1 | 2m | |||
| MSR-LES-SLA01000S1 | ||||
| 1m | ||||
订购信息
配件
| 增量/绝对式 | 型号 | 说明 | 光学读头型号 |
| 脉冲- 增量式 | MSR-LEH-KSIS1  | 贴尺工具使用于光学尺 贴附在机具平面上，供 MSR-LEH-SDI 读头校直应用 | MSR-LEH-SDI10DD5S1 MSR-LEH-SDI05DD5S1 MSR-LEH-SDI01DD5S1 |
| 通讯-增量式 |  MSR-LEH-KSES1 | 贴尺工具使用于光学尺 贴附在机具平面上，供 MSR-LEH-SDE 读头校直应用 | MSR-LEH-SDE4N3Q5S1 |
通讯-绝对式  | MSR-LEH-KSAS1 | 贴尺工具使用于光学尺 贴附在机具平面上，供 MSR-LEH-SDA 读头校直应用 | MSR-LEH-SDA4N3D5S1 MSR-LEH-SDA4NBD5S1 |
配件 / 末端贴片
| 配件类型 | 型号 | 尺寸 (L x W x T) | 附注 |
| Delta 末端贴片 | 3205849700 | 35×15×0.9mm | 1包 200 片 |
使用方法
1. 移除末端贴片的背面表膜带
2. 对正末端贴片的中心和边缘标志于尺的末端。放置贴片并黏合
3. 确认尺的两末端皆黏平末端贴片
配件 / 线
| 线类型 | 型号 | 长度 | 线径(ø) | ||||
| 脉冲 - 增量式 校正用线 配 USB Type-A | MSR-LEH-CGDA0200S1 | $2 , 0 0 0 \pm 5 0 \mathrm { m m }$ | $7 8 . 7 4 \pm 1 . 9 7 \mathrm { i n c h }$ | 3.2 | |||
| 脉冲 - 增量式 校正用线 配 USB Type-C | MSR-LEH-CGDC0200S1 | $2 , 0 0 0 \pm 5 0 \mathrm { m m }$ | $7 8 . 7 4 \pm 1 . 9 7 \mathrm { i n c h }$ | 3.2 | |||
| 48mm | L | ||||||
| 03.2 S 1 | 0 向 | ||||||
| USB Type-A Dsub 9way (female) 38mm L 52mm | |||||||
| USB Type-C | |||||||
| 03.2 | o | ||||||
| 1 | 向 | ||||||
配件 / 线
| 线类型 | 型号 | 长度 | 线径(ø) 6.3 | ||||||
| 脉冲 - 增量式 延长线 (to CN5 of Delta Drive) | MSR-LEH-MGDD0300S1 | $3 , 0 0 0 \pm 5 0 \mathrm { m m }$ | $1 1 8 . 1 1 \pm 1 . 9 7 \mathrm { i n c h }$ | ||||||
| MSR-LEH-MGDD0500S1 | $5 , 0 0 0 \pm 5 0 \mathrm { m m }$ | $1 9 6 . 8 5 \pm 1 . 9 7 \mathrm { i n c h }$ | 6.3 | ||||||
| 52 mm L | |||||||||
| 1 | 52 mm | ||||||||
| 回 © | |||||||||
| 066.3 | 回 | ||||||||
| Dsub 9way (female) | Dsub 15way (male) of DELTA Drive CN5 | ||||||||
配件 / 线
| 线类型 | 型号 | 长度 | 线径(ø) 6.3 | |||||
| BiSS-C 通讯 - 绝对式 延长线 (to CN2 of Delta Drive) | MSR-LEH-MABD0300S1 | $3 , 0 0 0 \pm 5 0 \mathrm { m m }$ | $1 1 8 . 1 1 \pm 1 . 9 7 \mathrm { i n c h }$ $1 9 6 . 8 5 \pm 1 . 9 7 \mathrm { i n c h }$ | |||||
| MSR-LEH-MABD0500S1 | ||||||||
| 台达通讯 - 绝对式 延长线 (to CN2 of Delta Drive) | MSR-LEH-MA3D0300S1 | $5 , 0 0 0 \pm 5 0 \mathrm { m m }$ $3 , 0 0 0 \pm 5 0 \mathrm { m m }$ | 6.3 6.3 | |||||
| MSR-LEH-MA3D0500S1 | $1 1 8 . 1 1 \pm 1 . 9 7 \mathrm { i n c h }$ | 6.3 | ||||||
| $5 , 0 0 0 \pm 5 0 \mathrm { m m }$ | $1 9 6 . 8 5 \pm 1 . 9 7 \mathrm { i n c h }$ | |||||||
 | ||||||||
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电话:(0791)8625-5010 电话:(0551)6281-6777 电话 :(027)6784-5292 电话：(0731)8549-9156 电话：(0591)8755-1305
福州
厦门
电话:(0592)5313-601
南宁电话：(0771)2621-501
贵阳 电话:(0851)8690-1374
昆明
电话:(0871)6313-7362
成都
电话:(028)8434-2075
重庆
电话：(023)8806-0306
西安
电话:(029)8836-0780
呼和浩特 电话：(0471)6297-808
太原
电话:(0351)4039-485
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济南
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