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创变智造新未来
台达光栅尺MSR-LE 系列
光栅尺
随着工业和科技领域的不断发展，现代制造业、半导体生产、医疗设备制造、航空航天等领域对于精密测量的依赖日益增加，传统测量工具在面对微小尺寸和高精度要求时存在侷限性，导致生产效率下降和成本增加，在追求产品质量与制程效率的智能制造浪潮下，已不敷时代所需。因此，台达光栅尺的开发应运而生，提供高稳定性和高可靠性的测量应用。
台达光栅尺在高分辨率、非接触式、抗干扰性和长期稳定性方面具有卓越的性能。此外，光栅尺可用于线性位置测量，适用于高精高速动态应用，多功能特性使其成为众多行业应用首选的测量回授传感器。
绝佳抗污能力实时显示警报信息& 信号强度
目录
光栅尺 介绍 2
产品特色 4
应用实例
型号说明 7
产品规格 8
外观尺寸 10
脚位定义 12
订购信息 13
产品特色
反射式光学传感设计
• 精细反射式光学传感设计，光源与光传感器一体化整合• 具有较宽松的安装公差，却可达成高精度需求
绝佳抗污能力
• 传感图纹阵列设计提高耐污染能力 (如轻油渍与微粒子等)
超高精度验证
• 使用激光干涉仪检测内含台达光学尺的线马模块\*，重复精度可达 0.128 \upmum
• 一般设备的普通应用精度要求为 2 \upmu\mathsf{m} 左右，高阶应用精度要求为 1 \upmum 左右。台达线性电机和光学尺解决方案使用空气轴承，重复精度可达 0.128 \upmum \* 线马模块涵台达线性电机、台达光学尺、空气轴承
实时显示警报信息 & 信号强度
• 提供信号诊断、警报与防暴冲机制，实时显示警报信息及信号强度百分比• 搭配台达驱动器可以侦测信号是否异常过大或过小、脉冲数是否漏失• 如检测到异常，驱动器发出光学尺专属警报代码 (Alarm code) 并且使伺服 servo off，防止因瞬间位置变化太大而暴冲
| 报警名称 | Alarm25* | Alarm33* |
| 说明 | 光学尺脉冲数异常 | 光学尺信号异常 |
| 排除方式 | 确认尺表面清洁，全行程皆无异常后，重上电 | 确认编码器安装妥当，全行程皆无异常后，重上电 |
| 台达 | 他牌 | |
| 警报信息显示 | O | O |
| 信号强度 百分比显示 | O | X |
应用实例
电子组装设备厂
背景与需求
• 因应插件应用 Cycle Time 需求，需提升多轴效率的方案型产品
• 力量精度误差大，生产良率无法稳定控制
• 需不断调整参数，且无法同时摆放多轴
导入效益
• 精度提高 15% ，产量提高 15% • 实时反馈位移数据，无须不断调整设备• 设备多轴应用，提高整体工艺生产率
光学组装设备厂
背景与需求
• 需就既有设备最大化产能效率• 传统气缸无法自动调控与记录每笔压合参数
导入效益
• 安装速度提升 25% ，良率提升 25% • 可储存机台参数，易于针对异常状况进行分析
型号说明
产品规格
| 系列 | MSR-LEH-SDI | MSR-LEH-SDE | MSR-LEH-SDA | |
| 型号 | MSR-LEH-SDIxxDD5S1 | MSR-LEH-SDE4N3Q5S1 | MSR-LEH-SDA4NxD5S1 | |
| XX= | X= | |||
| 10 05 01 35 ×13.5x11.5mm | 36.4 ×15.2 x14.2 mm | 3 B 36 x16.5x16.5mm | ||
| 尺寸 (L×W×H) 光学栅距 | 256μm | 64μm | 204.8μm | |
| 最长尺长 | 10m | 10 m | 6.7 m (Max.) | |
| 热膨胀系数 | 11μm/m/℃ | |||
| 尺精度 | ± 5μm/m [at 20°℃] | |||
| 可支持最高速度 输出信号 | 须根据分辨率输出设定*1 TTL，差分A/B/Z | 10 m/s 台达通讯 | 台达通讯 | 10 m/s BiSS-C 通讯 |
| 分辨率 | 1μm 0.5μm 0.1μm | 4 nm | 4 nm | |
| 电源需求 | 5V±5%, 170mA (Max.) 5V±5%, 170mA (Max.) | |||
| 5V±5%,250 mA (Max.) 5Vpc电力，符合标准IEC60950-1SELV需求 | ||||
| EMC符合 细分误差 | ±~ 0.5μm | IEC 61326-1 ±~80 nm | ±~160 nm | |
| 震动幅度 (操作时) | ≤100m/s² (55~2,000Hz，3轴，EN 60068-2-6) | |||
| 冲击程度（非操作时） | ≤500m/s² (11ms,%2 sine,3 轴,EN 60068-2-27) | |||
| 操作温度 | 0~+70℃ | 0~+80°℃ -20~+80°℃ | ||
| 保存温度 湿度 | -20~+70°℃ 95%相对湿度（未凝结），符合EN60068-2-78 | |||
| IP等级 ：单屏蔽，外径为3.9±0.2mm 信号线 弯曲半径为50mm | IP40 ·5对，镀锡与韧化铜30AWG ·2对，镀锡与韧化铜30AWG 单屏蔽，外径为4.2±0.2mm | IP64 ·4对，镀锡与韧化铜30AWG 单屏蔽，外径为3.6±0.2mm 弯曲半径为50mm | ||
| 认证 | 挠曲寿命>40×10°个循环 ·UL认可组件 UL认可组件 | 挠曲寿命>40×10°个循环 UL认可组件 | ||
| Y | ±0.2mm | 弯曲半径为50mm 挠曲寿命>10×10°个循环 CE ±0.5mm | ||
| 安装 公差 | Z | ±0.2mm | ±0.4mm | |
| Roll ox | ±0.5° | ±1.5° | ±1.5° | |
| Pitch OY | ±1.0° | ±1.5° | ±0.5° | |
| Yaw Oz | ±1° | ±2° | ||
| 型号 | MSR-LES-SLISeries | MSR-LES-SLE Series | MSR-LES-SLA Series |
| 尺寸 (T×W) | 0.6x8 mm | ||
| 光学栅距 | 256μm | 64μm | 204.8μm |
| 精度等级(20°C) | ±5μm/m | ||
| 最长尺长 | 10 m | 10 m | 6.7m |
| 材质 | 不锈钢、背胶 | ||
| 重量 | 12.3 g/m | ||
| 线性热膨胀系数（20°C） | 11μm/m/°℃ | ||
| 操作 温度 | 0°℃~+70°℃ | ||
| 储存 | - 20°℃~+70℃ | ||
| 湿度 | 95%RH(不结露) |
| 分辨率 | 1μm 0.5μm | 0.1μm |
| 时脉输出选项（MHz） | 最高速度(m/s) | |
| 40 | 20m/s 10m/s | 2m/s |
| 20 | 10 m/s 5m/s | 1.5m/s |
| 2 | 1m/s 0.5 m/s | 0.15 m/s |
外观尺寸
光学读头
MSR-LEH-SDI
MSR-LEH-SDE
光学读头
MSR-LEH-SDA
脚位定义
脉冲型光学读头 - 脚位定义
MSR-LEH-SDIxxDD5S1、MSR-LEH-SDExxDD5S1 (D-sub 9 way)
| 功能 | 信号 | D-sub 9 way |
| 电源 | 5V | 5 |
| GND | 1 | |
| 输出信号 | A+ | 2 |
| A- | 9 | |
| B+ | 4 | |
| B- | 8 | |
| Z+ | 3 | |
| Z- | 7 | |
| 校正 | CAL | 9 |
| 屏蔽 | Shielding | Case |
| 功能 | 信号 | Quick9way |
| 电源 | 5V | 7 |
| GND | 8 | |
| T+ | 1 | |
| 输出信号 (Serial Comm.) | T- | 4 |
| Reserved | 2, 3, 5, 6 | |
| 屏蔽 | Shielding | 9 |
| 功能 | 信号 | D-sub 9 way |
| 电源 | 5V | 4 |
| GND | 8 | |
| +1 | 5 | |
| 输出信号 (Serial Comm.) | T- | 9 |
| SLO+ | 9 | |
| SLO- | 7 | |
| MA+ | 2 | |
| MA- | 3 | |
| 屏蔽 | Shielding | Case |
\* 读头线为公
订购信息
| 增量/绝对式 | 信号类型 | 分辨率 | 可搭配驱动器 | 型号 | |
| 增量式 | A/B/Z脉冲输出型 | 1μm | 各家驱动器 | MSR-LEH-SDI10DD5S1 | |
| 0.5μm | MSR-LEH-SDI05DD5S1 | ||||
| 0.1μm | MSR-LEH-SDI01DD5S1 | ||||
| 通讯型 (台达通讯协议) | 4nm | 台达伺服驱动器 ASDA-A3/W3系列 | MSR-LEH-SDE4N3Q5S1 | ||
| 绝对式 | 通讯型 (台达通讯协议) | 4nm | 台达伺服驱动器 ASDA-A3/W3系列 | MSR-LEH-SDA4N3D5S1 | |
| 通讯型(BiSS-C) | 4nm | 各家驱动器 (可支持BiSS-C) | MSR-LEH-SDA4NBD5S1 | ||
| 增量/绝对式 | 型号 | 尺长 | 可搭配读头型号 | |
| 脉冲-增量式 | MSR-LES-SLI10000S1 | 10m | MSR-LEH-SDI10DD5S1 MSR-LEH-SDI05DD5S1 MSR-LEH-SDI01DD5S1 | |
| MSR-LES-SLI05000S1 | 5m | |||
| MSR-LES-SLI03000S1 | 3m | |||
| MSR-LES-SLI02000S1 | 2m | |||
| MSR-LES-SLI01000S1 | 1m | |||
| 通讯-增量式 | MSR-LES-SLE10000S0 | 10 m | MSR-LEH-SDE4N3Q5S1 | |
| MSR-LES-SLE05000S0 | 5m | |||
| MSR-LES-SLE03000SO | 3m | |||
| MSR-LES-SLE02000S0 | 2m | |||
| MSR-LES-SLE01000S0 | 1m | |||
| 通讯-绝对式 | MSR-LES-SLA06000S1 | 6m | MSR-LEH-SDA4N3D5S1 MSR-LEH-SDA4NBD5S1 | |
| MSR-LES-SLA05000S1 | 5m | |||
| MSR-LES-SLA04000S1 | 4m | |||
| MSR-LES-SLA03000S1 | 3m | |||
| MSR-LES-SLA02000S1 | 2m | |||
| MSR-LES-SLA01000S1 | 1m | |||
订购信息
配件 / 线
配件 / 线
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