超高精度CNC三坐标测量机 三坐标测量机

产品样本 No.C16034

1 更大化地排除误差因素并融合三丰前沿技术的“匠”心之作

助您跨越精度的壁垒！

最大允许长度测量误差E0,MPE=(0.23＋0.7L/1000)µm

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旨在追求更高精度的“匠”系列！

三丰为了传承现有的高水平技能引入了“匠师传承制度”。

·理想的本体结构

·高本体刚性

·高维的振动对策

·超高精度测长单元

·高水平的控制技术

·超高精度的研磨技术

·超高直线度精加工

·高垂直度精加工

驱动轴

X轴横梁

Z轴主轴

空气轴承

驱动轴

主要规格

型号

项目 LEGEX 574 匠 LEGEX 774 匠 LEGEX 776 匠 LEGEX 9106 匠

测量范围

X轴 500 mm 700 mm 900 mm

Y轴 700 mm 1000 mm

Z轴 450 mm 600 mm

最大驱动速度 200 mm/s

最大驱动加速度 980 mm/s2

分辨力 0.00001 mm(0.01 µm)

导向方式 空气轴承

安装温度环境

温度环境1 温度环境2

温度范围 19～21 ℃ 18～22 ℃

温度变化 0.5 ℃/h

温度分布 1.0 ℃/m

本体精度

使用测头 最大允许长度测量误差 E0,MPE

MPP-310Q (0.23＋0.7L/1000)µm(温度环境1)

(0.25＋0.7L/1000)µm(温度环境2)

超高精度晶化

玻璃栅尺

理想测量机本体构成

即使测量范围500 mm，也具备误差在0.58 µm以下的实力！

最大允许长度测量误差 E0,MPE=(0.23＋0.7L/1000)µm

“匠”培养的精加工技术

注释 ：

全部产品介绍，特别是本手册中有关图表、图形、尺寸、性能数据以及其它技术数据均为近似值。在此基础上，我们保留对设计、

技术数据、尺寸和质量进行变更的权力。截止至本手册印刷，上述标准、相似的技术规则、产品规格、说明和图表均正确有效。仅经

三丰公司确认的提议具有权威性。

规格如有变更，恕不另行通知。

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三坐标测量机

精密传感器

影像测量仪 形状测量仪

栅尺单元

光学仪器

试验设备 小量具和数据管理系统

003 2310(1)B-(AK-AK)AK, 中国印刷印刷日期: 2023

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月