南京蔚空微纳科技有限公司<br>Nanjing Vacuum Nano Technology Co., Ltd<br>X-RAY<br>微焦点X射线源<br>产品手册<br>PRODUCT MANUAL

关于我们<br>About us<br>南京蔚空微纳科技有限公司位于江北新区龙泰路8号润诚科技园，是一家有独立<br>研发能力的科技创新企业。蔚空微纳致力于高分辨、可集成化X射线源和成像系统<br>的设计开发，主要产品有微焦点X射线源、测膜厚X射线源、冷阴极X射线管等，广<br>泛应用于芯片成像、新能源电池成像、膜厚测量等领域。<br>核心团队来自东南大学、香港科技大学、熊猫电子等，深耕X射线行业十余年，拥有十余项自主知识产权，一项卢森堡发明专利以及欧盟CE认证。成为全球冷阴极<br>X射线技术的引领者，一直是我们的不懈追求！<br>精益制造，锐意进取，品质卓越，信誉永恒<br>合作伙伴<br>51<br>01<br>设计案例<br>116<br>03<br>设计专利<br>17<br>02

产品选型<br>Product selection<br>型号 名称 管电压 管电流 焦点<br>VN-FTM025A 25kV测膜厚X射线管 25kV ≤1mA 0.5mm（可选）<br>VN-FTM050A 50kV测膜厚X射线管 50kV ≤1mA 0.5mm（可选）<br>VN-G080A 80kV玻璃X射线管 80kV 1.25mA 0.8mm<br>VN-MF090A<br>90kV微焦点X射线源<br>10-90kV 0.01-0.2mA 7μm@4W<br>10μm@8W<br>VN-MF090B 10-90kV 0.01-0.2mA 7μm@4W<br>10μm@8W<br>VN-MF110A<br>110kV微焦点X射线源<br>10-110kV 0.01-0.2mA 小焦点模式：<br>6μm@8W<br>大焦点模式：<br>VN-MF110B 10-110kV 0.01-0.2mA 40μm@22W<br>VN-MF130A<br>130kV微焦点X射线源<br>10-130kV 0.01-0.3mA<br>小焦点模式：<br>7μm@8W<br>中焦点模式：<br>20μm@16W<br>大焦点模式：<br>40μm@39W<br>VN-MF130B 10-130kV 0.01-0.3mA<br>VN-C160A 160kV陶瓷X射线管 160kV 4.5mA 0.8mm<br>产品型号多样，从功能，外观，体积，穿透效果，管电压，管电<br>流等各种角度出发，有微焦点X射线管，玻璃X射线管，陶瓷X射线管，<br>测膜厚X射线管等产品可供选择，满足客户端各方面使用需求，真正<br>做到了高适配，高成效，高颜值，高响应，高效率。

产品介绍<br>Product introduction<br>Reflection microfocus X-ray module<br>VN-FTM025A<br>小焦点模式：5μm@4W<br>大焦点模式：7μm@8W<br>寿命：8000h<br>该系列是一款低能X射线管，采用不锈钢外壳，内衬铅材质，内<br>罐绝缘油用于高压绝缘和冷却。该产品阳极接高压，阴极接地。该系<br>列体积小，重量轻，相对同类产品在散热及焦斑等性能上有明显优势。

产品介绍<br>Product introduction<br>Reflection microfocus X-ray module<br>VN-FTM050A<br>小焦点模式：5μm@4W<br>大焦点模式：7μm@8W<br>寿命：8000h<br>该系列是一款低能X射线管，采用不锈钢外壳，内衬铅材质，内<br>罐绝缘油用于高压绝缘和冷却。该产品阳极接高压，阴极接地。该系<br>列体积小，重量轻，相对同类产品在散热及焦斑等性能上有明显优势，<br>完可替代进口同类产品用于仪器维修。

产品介绍<br>Product introduction<br>Reflection microfocus X-ray module<br>VN-MF80A<br>小焦点模式：5μm@4W<br>大焦点模式：7μm@8W<br>寿命：8000h<br>本产品是80kV微焦点X 射线源，是一款低能X射线管，采用不锈钢<br>外壳，内衬铅材质，内罐绝缘油用于高压绝缘和冷却。该产品阳极接<br>高压，阴极接地。该系列体积小，重量轻，相对同类产品在散热及焦<br>斑等性能上有明显优势，完可替代进口同类产品用于仪器维修。

产品介绍<br>Product introduction<br>Reflection microfocus X-ray module<br>VN-MF90B<br>小焦点模式：5μm@4W<br>大焦点模式：7μm@8W<br>寿命：8000h<br>本产品是90 kV微焦点X 射线源，适用于高分辨率成像应用。在<br>工作电压和功率范围内优化的小尺寸焦点，可实现无失真清晰图像。<br>4瓦特时的5微米焦斑可用于高分辨率成像。X 射线管和电源均封装<br>在一个整机源内，让系统集成更加简单。

Reflection microfocus X-ray module<br>VN-MF110A<br>小焦点模式：6μm@8W<br>大焦点模式：40μm@22W<br>寿命：8000h<br>产品介绍<br>Product introduction<br>本产品是110 kV微焦点X 射线源A款，适用于高分辨率成像应用。<br>在工作电压和功率范围内优化的小尺寸焦点，可实现无失真清晰图<br>像。8瓦特时的6微米焦斑可用于高分辨率成像。X 射线管和电源均<br>封装在一个整机源内，让系统集成更加简单。

Reflection microfocus X-ray module<br>VN-MF110B<br>小焦点模式：6μm@8W<br>大焦点模式：40μm@22W<br>寿命：12000h<br>产品介绍<br>Product introduction<br>本产品是110 kV微焦点X 射线源B款，适用于高分辨率成像应用。<br>在工作电压和功率范围内优化的小尺寸焦点，可实现无失真清晰图<br>像。8瓦特时的6微米焦斑可用于高分辨率成像。X 射线管和电源均<br>封装在一个整机源内，让系统集成更加简单。

Reflection microfocus X-ray module<br>VN-MF130A<br>小焦点模式：7μm@8W<br>中焦点模式：20μm@16W<br>大焦点模式：40μm@39W<br>寿命：8000h<br>产品介绍<br>Product introduction<br>本产品是130kV微焦点X 射线源A款，适用于高分辨率成像应用。<br>在工作电压和功率范围内优化的小尺寸焦点，可实现无失真清晰图<br>像。5微米焦斑可用于高分辨率成像。X 射线管和电源均封装在一个<br>整机源内，让系统集成更加简单。

小焦点模式：7μm@8W<br>中焦点模式：20μm@16W<br>大焦点模式：40μm@39W<br>寿命：12000h<br>Reflection microfocus X-ray module<br>VN-MF130B<br>产品介绍<br>Product introduction<br>本产品是130kV微焦点X 射线源B款，适用于高分辨率成像应用。<br>在工作电压和功率范围内优化的小尺寸焦点，可实现无失真清晰图<br>像。5微米焦斑可用于高分辨率成像。X 射线管和电源均封装在一个<br>整机源内，让系统集成更加简单。

小焦点模式：7μm@8W<br>中焦点模式：20μm@16W<br>大焦点模式：40μm@39W<br>寿命：12000h<br>Reflection microfocus X-ray module<br>VN-C160A<br>产品介绍<br>Product introduction

产品测试案例<br>Product Test Case<br>1.电池测试<br>2.金线测试<br>3.芯片测试<br>小焦点 中焦点

产品展示-主要产品<br>Product Display-Main Products<br>1.微焦点X射线源<br>Micro focus X-ray source<br>2.测膜厚X射线管<br>File thickness measurement X-ray tube<br>3.真空镀膜设备<br>Micro nano processing technology<br>X-ray整机设备核心零部件<br>Core parts of X-ray conplele equipment<br>由轻元素组成材料的X射线测厚、X荧<br>光分析、密度分析等<br>X-ray thickness measurement,Xray fluorescence analysis,etc.<br>of materials consisting of light <br>elements<br>微纳加工工艺<br>Micro nano processing technology

应用案例-非标真空系统<br>Application case-non-standard vacuum system<br>1.非标真空腔体<br>3.真空蒸发镀膜系统<br>5.手套箱镀膜系统<br>2.等离子体清洗、蚀刻机<br>4.磁控溅射镀膜系列

手机：13291282136 徐季<br>Email：VacuumNano@163.com<br>公司地址<br>江苏省南京市江北新区龙泰路8号润诚科技园19幢<br>南京蔚空微纳科技有限公司<br>Nanjing Vacuum Nano Technology Co., Ltd