WAYEAL皖仪

SOLUTIONS FOR THESEMICONDUCTORINDUSTRY皖仪科技半导体行业监测/检测解决方案

核心内容

·企业介绍
·AMC监测解决方案一站式密封性检测解决方案实验室分析仪器解决方案

CONTENTS

01 企业介绍

COMPANYPRESENTATION

公司简介 01
核心优势 03
生产制造体系 05
售后服务体系 06

02

洁净车间AMC监测

CLEANROOM AMC MONITORING

AMC监测背景 07
AMC监测解决方案 08
AMC监测案例 09

03

污染源排口在线监测

ONLINE MONITORING OF POLLUTION SOURCEEMISSIONS

酸性排气在线监测 11
碱性排气在线监测 13
有机物排气在线监测 14
废水在线监测 15

04

一站式密封性检测解决方案

ONE-STOP SEALINGTESTING SOLUTION

05

应用背景 18
方案构成 19
核心产品介绍 20
场景应用 22

实验室分析仪器解决方案

LABORATORYANALYTICALINSTRUMENTATION SOLUTIONS

分析仪器的应用 24
离子色谱仪的应用 25
液相色谱质谱解决方案 26
气相色谱及质谱在半导体制造中应用 27

01 企业介绍COMPANYPRESENTATION

公司简介

COMPANYPRESENTATION

安徽皖仪科技股份有限公司（简称：皖仪科技）成立于2003年，2020年在上交所科创板上市，是安徽省首家科创板上市的企业（股票代码：688600）。

作为一家全球精密科学仪器的专业供应商，皖仪科技业务主要涵盖工业检测仪器、在线监测仪器、实验室分析仪器、医疗及生命科学仪器四大领域，现有员工1100余名，业务覆盖全球20多个国家。

皖仪科技一直坚持研发创新和产品领先的战略，近年来持续加大研发投入，每年研发投入占营收的 20 % 左右，先后建立了博士后科研工作站、院士工作站、国家级企业技术中心等科研平台，被评为国家级专精特新“小巨人”企业和国家知识产权示范企业等。

未来，皖仪科技将秉承“品质皖仪服务皖仪”的企业精神，致力于成为在精密科学仪器和生命健康领域具有较强国际竞争力的企业，成为富有责任感、受人尊敬的中国企业典范！

CSIA 中国半导体行业协会 M (Mtia°China Semiconductor Industry Association 集成电路材料产业技术创新联盟中国半导体行业协会 中国半导体行业协会 集成电路材料产业技术会员单位 会员单位 创新联盟会员单位

核心优势 COREBENEFITS

研发团队/R&DTEAMS

皖仪科技一直坚持研发创新和产品领先的战略，近年来持续加大研发投入，连续4年每年研发投入占营收的20 % 左右，截至2024年12月底，研发团队400余人。

其技术领头人来自清华大学、中国科学技术大学、西安交通大学、哈尔滨工业大学、南京航空航天大学等国内一流学府。公司研发实力在同行企业中处于较高水平，并取得了多项重要成就，多次承担国家火炬计划，获得多项科学技术奖项。此外，公司还被认定为国家级博士后科研工作站、国家企业技术中心、安徽省院士工作站等，并通过国际CMMI5级认证。

研发人才／R&DTALENTS

研发投入/R&DINVESTMENT

知识产权/INTELLECTUALPROPERTY

中国发明专利78项，国际专利2项，在审发明专利138项，实用新型及外观177项，软件著作权118项。

（截止2025年3月）

发明专利

在审发明专利

生产制造体系

MANUFACTURINGSYSTEM

公司产品研发过程中开展可靠性设计和可靠性试验工作，通过使用各种环境试验设备模拟气候环境中的高温、低温、高温高湿以及温度变化等情况，加速反应产品在使用环境中的状况，来验证其是否达到在研发、设计、制造中预期的质量目标，从而对产品整体进行评估，以确定产品可靠性寿命。

公司所有产品都在转量产前通过可靠性测试，确保上市新产品达到预期设计功能、性能和使用寿命的要求，满足客户对产品质量的需求。

公司设有数控精密加工车间，配备进口德玛吉(DMG)数控车削中心、米克朗(MIKRON)五轴加工中心和高速立式加工中心、马扎克(MAZAK)立式加工中心，核心关键精密零部件完全自主加工，有效保证零部件尺寸精度和形位公差，确保系统总成和仪器装配一致性和性能稳定性。

售后服务体系

AFTER-SALESSERVICESYSTEM

团队保证

公司已经建立了一支能够适应客户需求，具备快速反应能力，能向客户提供优质技术方案、技术咨询和售后服务的分级技术服务团队。

组织保证

公司在各大区设立了办事处，以便能对所辖区域快速反应，及时服务，以此来提高产品的美誉度。

管理保证

把技术服务工作作为相关专业部门人员的一个必备职责来抓。

能力保证

加强对各级技术支持体系和售后服务人员和培训。

制度保证

公司建立了完善的技术支持与售后服务体系和激励制度。

02 洁净车间AMC监测 CLEANROOMAMCMONITORING

AMC监测背景

AMCMONITORINGBACKGROUND

气体分子污染物（AIRBORNEMOLECULARCONTAMINANTS）简称AMC，包含酸、碱、有机物等。随着半导体制程节点不断逼近摩尔极限，芯片生产对于环境洁净度的要求越来越高，即便是纳米级的AMC也会对制程造成影响，从而降低产品良率和产能。

AMC监测解决方案

AMCMONITORING SOLUTION

2

酸碱阴阳离子： N { \mathsf O } _ { 3 } ^ { - } 、CL、F、 S { \mathsf { O } } _ { 4 } ^ { \ 2 - } 、 N H _ { 4 } ^ { + } 等

D1

无机气态分子：NH、N \mathsfit { O } _ { x } , HCL、HF、 { \mathsf { S O } } _ { 2 } , ， \mathsf { O } _ { 3 }

有机物：TVOC、IPA、ACE-TONE、PGME、PGMEA等分项VOC

主要产品/MAINPRODUCTS酸碱阴阳离子分析仪

IC7000(IC)

监测物质： N { \mathsf O } _ { 3 } ^ { - } 、CL-、F、 S { \mathsf { O } } _ { 4 } ^ { \ 2 - } 、 N H _ { 4 } ^ { + } 等阴阳离子监测原理：IC7000支持24小时无人值守运行，配备自动进样、在线稀释、实时校准功能减少人工干预，提升数据连续性；支持4G/5G远程数据传输，可通过云平台实时查看数据、调整参数；工作温度范围通常为* 1 0 ^ { \circ } \mathsf C 至 . 5 0 ^ { \circ } \mathsf { C } ，适应高寒、高温等极端环境。

核心指标：多种离子同步检测能力；双通道超滤池并联，大大延长更换周期；无需氮气源，通过空气即可实现淋洗液加压除气泡。

污染主要工艺来源：刻蚀、清洗、湿法工艺

主要产品/MAINPRODUCTS有机物分析仪

监测物质：挥发性有机物 (116种VOCS)

监测原理：VM1750型挥发性有机物连续监测系统是一款分析环境空气中多组分VOCS的高精度仪器，该系统由样品前处理模块和气相色谱-质谱联用仪（GCMS）模块构成，采用低温冷冻吸附方式将空气中的痕量挥发性有机物富集，随后高温解吸将样品传输至气相色谱-质谱联用仪（GCMS）分离并检测。

核心指标：检出限 { \tt s } 0 . 1 ppb 污染主要工艺来源：光刻、清洗剂、外气

AMC监测案例

AMC MONITORING CASE

已逐步实现半导体AMC监测国产化

1、在合肥、北京、武汉等12时晶圆厂，皖仪半导体AMC监测仪器正在取代国际一线进口产品，实现部分国产替代
2、持续发展激光光谱、质谱、离子色谱等技术在半导体AMC监测领域的应用

03 污染源排口在线监测 ONLINE'MONITORING OF POLLUTION SOURCE EMISSIONS

酸性排气在线监测

ONLINEMONITORING OFACIDIC EMISSIONS

CEMS1220烟气排放连续监测系统

系统介绍：

CEMS1220烟气排放连续监测系统采用紫外差分光谱技术直接测量S ; 0 _ { / { 2 } { 2 } } 、NO、 N \mathsf { O } _ { 2 } 、 { \mathsf { C l } } _ { 2 } ；整套系统由气态污染物0 S 0 _ { \scriptscriptstyle 2 } 、NO、 N \mathsf { O } _ { 2 } 1 \mathsf { O } _ { 2 } 、CI等）监测、烟气参数（温度、压力、流速、湿度等）监测、颗粒物监测及数据采集与处理单元4个子系统组成。

系统特点：

ON直测
无需氮氧化物转化炉，利用差分吸收光谱技术(DOAS)直接测量烟气中NO浓度。

维护方便

2气体分析仪中光源、气体室和光谱仪之间采用光纤连接，各部件维护和更换简单、成本低。

配置灵活

5 可以根据现场的具体工况参数和技术要求，进行灵活优化的配置，充分满足用户的要求。

应用范围：

火力发电、钢铁冶金、石化行业、水泥行业、工业窑炉、工业锅炉、半导体行业等。

CEMS1900烟气排放监测系统 （傅里叶红外法）

系统介绍：

本系统采用傅里叶红外吸收技术，实现对生活垃圾焚烧、危废和固废焚烧等烟气的气态污染物的测量。系统包括预处理单元、分析单元和数据采集与处理单元，可以连续监测 { \mathsf { S O } } _ { 2 } 、NO、 N \mathsf { O } _ { 2 } 、HF、HCI、CO、 { \mathsf { C O } } _ { 2 } 、 { \sf H } _ { 2 } \sf { O } 、NH3等参数的湿基值、干基值和折算值，并且根据烟气温度、压力、流速等多项相关参数统计排放率和排放总量。

系统原理：

红外光源发出的光通过进入干涉仪形成干涉光谱，经测量池内样气的特征吸收后聚焦到检测器上。干涉图经过放大器后被放大、过滤、数字化，数字化信号被进一步地数学处理，变换成单通道光谱图。最终对光谱图进行进一步分析，换算得到各个气体参数的浓度值。

碱性排气在线监测

ALKALINEEXHAUST ONLINEMONITORING

LG1100可调谐半导体激光气体分析仪

产品介绍：

LG1100激光气体分析仪采用了先进的光谱监测手段--可调谐半导体激光吸收光(TunableDiodeLaserAbsorptionSpectroscopy,TDLAS)，激光气体分析仪是采用一体化设计、高集成度的激光气体分析系统。相对于传统的监测方法，可调谐半导体激光吸收光谱技术具有实时在线、非接触测量、待测气体选择性高等优点，能够更准确、更实时的反映现场待测物的浓度。系统通过无须采样预处理的原位测量方式，能对各类工业过程气体、环保排放烟气等过程气体进行快速、准确和可靠的测量，可用于CO、 { \mathsf { C O } } _ { 2 } 、 C H _ { 4 } 、 N { \sf H } _ { 3 } 、 \mathsf { O } _ { 2 } 、 H _ { 2 } O 、HCI、HF等气体监测，为各行业气体在线监测提供可靠的解决方案。

产品介绍：

·高精度、漂移极低 ·可测量复杂气体混合物及其组分变化 ·响应时间<1s·高选择性、无交叉干扰 ·不受粉尘的影响 ·维护周期长，成本低可测量高温气体、最高可达 5 0 0 ^ { \circ } \mathsf { C } ·原位测量，无需采样 ·可同时测量气体浓度与温度

LG8000/LG8100可调谐激光气体分析仪

产品介绍：

LG8000/LG8100激光气体分析仪采用了先进的光谱监测手段一-可调谐半导体激光吸收光(Tunable Diode Laser Absor-ption Spectrosco-py)，获取待测气体特征吸收的光谱谱线。相对于传统的监测方法，可调谐半导体激光吸收光谱技术具有实时在线、非接触测量、待测气体选择性高等优点，能够更准确、更实时的反映现场待测物的浓度。系统通过原位高温抽取，采用多次反射池，检测限低。能对各类工业过程气体、环保排故烟气等过程气体进行快速、准确和可靠的测量，可用于CO、 { \mathsf { C O } } _ { 2 } 、 C H _ { 4 } 、 N { \sf H } _ { 3 } 、 \mathsf { O } _ { 2 } . ， H _ { 2 } O 、HCI、HF等气体监测，为各行业气体在线监测提供可靠的解决方案。

产品介绍：

·高精度、漂移极低高选择性、无交叉干扰·体积小，重量轻

采用多次反射池，检测限低原位抽取设计，全程高温（ > 2 0 0 ^ { \circ } \mathsf { C } ) （防止NH吸附结晶

维护周期长，成本低
响应时间 < 3 0 5
可测高温气体，不受粉尘影响

有机物排气在线监测

ONLINEMONITORING OF ORGANIC EMISSIONS

VOCs在线监测系统由气态污染物监测子系统、烟气参数监测子系统及数据采集与处理子系统组成，其中气态污染物监测子系统的预处理单元、分析单元和数据采集与处理子系统安装在机柜内，可以连续监测甲烷（ ( C H _ { 4 } ) 、总烃（THC）、非甲烷总烃(NMHC）等污染因子。

VM1700VOCs在线监测系统（气相色谱+FID检测器）

系统原理：

针对有机废气具有水汽含量高、浓度大、工况复杂等特点，设计开发有机废气在线分析仪，采用全程 1 7 5 ^ { \circ } { C } 高温伴热样品传、高温FID检测，样品经内置过滤器过滤后，被采集到定量环中，通过想气将定量环中的样品分别送入色造柱中进行分高，然后依次进入FID检测器进行检测。

系统特点：

采用标准的气相色谱分析方法，测量准确。

2 采用全程高温伴热设计，从采样到分析全程高温，避免高沸点VOCs的附着，防止部件腐蚀。

3 系统采用主气路抽气、旁路分析仪进气的取样方式，保证系统的响应时间。

4系统经过三级过滤，保证分析仪的使用寿命。

废水在线监测

ONLINEWASTEWATERMONITORING

WS1501型CODcr水质在线自动监测仪

系统介绍：

待测样品中加入定量的重铬酸钾溶液，在强酸介质中，以硫酸银作为催化剂，并加入硫酸汞作为氯离子掩蔽剂，混合液经高温、高压密闭消解后，通过光电比色法测定三价铬的产生量，得到吸光度，依据朗伯-比尔定律计算出待测样品中CODcr值，其中消耗的重铬酸根离子量相当于可氧化的有机物量。

仪器特点：

独有的三级精密光电计量装置，试剂抽取快速精确，大幅减1小蠕动泵管老化的影响；2 精确的温度补偿算法及环境光消除措施，无论春夏秋冬，精度始终如一；3 高可靠的试剂选择阀和消解瓶组件，故障率低，维护工作量小；完备的消解压力检测保护、温度保护及漏液报警功能，确保4设备安全运行；5 独特的维护流程现场可编辑，提高运维效率；6 更为人性化的触摸式图形界面，操作极其简便，无须劳神记忆，触手可及；4 自动电控安全门设计，细心呵护设备运维人员安全。

WS1503型氨氮水质在线自动监测

系统介绍：

在碱性介质和亚硝基铁氰化钠（硝普钠）存在的条件下，待测水样中的铵根离子与水杨酸盐和次氯酸离子反应生成水溶性的蓝色化合物，该物质在特定波长处具有最大吸收，通过光电比色法，根据朗伯-比尔定律，计算出待测样品中氨氮的含量，测量值通过显示屏显示。其中加入特定的掩蔽剂除去阳离子（特别是钙、镁离子）的干扰。

系统特点：

独有的三级精密光电计量装置，试剂抽取快速精确，大幅减1小蠕动泵管老化的影响；2 精确的温度补偿算法及环境光消除措施，无论春夏秋冬，精度始终如一；3 高可靠的试剂选择阀和消解瓶组件，故障率低，维护工作量小；4 独特的维护流程现场可编辑，提高运维效率；5 更为人性化的触摸式图形界面，操作极其简便，无须劳神记忆，触手可及；6 低温冷凝装置，突破性的解决试剂长时间保存问题;

04 一站式密封性检测解决方案ONE-STOP SEALING TESTING SOLUTION

应用背景

BACKGROUND

工业检测仪器在半导体的应用背景

在大型半导体生产中，氨质谱检漏仪广泛应用于各种工艺，如刻蚀、CVD、PVD、真空炉、离子注入等。它能在工艺维护后迅速确认工艺完整性和漏孔修复部位，确保次级生产中的真空管线和泵、气柜及复杂气体输送管线以及生产设施和治理的安全高效。

前道单晶炉管路厂务特气管路储气、液罐

中道
CVD
PVD
等离子刻蚀/清洗
离子注入
热处理炉
管路

后道封装

方案构成

COMPOSITIONOFTHEPROGRAM

氨质谱检漏仪

SFJ-16F双分子泵氨质谱检漏仪为满足客户严苛的泄露检测应用而生。采用自有独特的软件算法和经客户验证的真空系统设计。SFJ-16F可在量程范围内的快速响应，并在极短的时间内完成从达到开检条件到给出测试结果。独特设计的真空系统可以持续较高的氮气抽速和响应，满足客户需求。

核心产品介绍

INTRODUCTIONTO COREPRODUCTS

SFJ-16F (双泵)

场景应用

SCENARIOAPPLICATION

皖仪科技一站式密封性检测解决方案已覆盖全球 2 0 + 国家，助力数方条自动化产线升级，真正实现了“替代进口”。凭借专业的密封性检测解决方案和优质、高效、贴心的全方位服务，皖仪科技助力全球数方条自动化产线，为客户不断创造更大的价值。

05 实验室分析仪器解决方案LABORATORY ANALYTICAL

分析仪器的应用

APPLICATIONSOFANALYTICALINSTRUMENTS

分析仪器在半导体工艺流程中的应用

离子态杂质分析

离子色谱仪

·晶圆表面 ·电子特气·湿电子化学品 ·洁净空气·光刻胶及配套试剂 ·封测·蚀刻剂

有机污染物/有机成分分析

气相色谱、气质联用仪、液相色谱、液质联用仪

晶圆表面有机污染物 ·电镀液添加剂分析
湿电子化学品的有机 电子电器中有害有污染物 机物
光刻胶有机物分析/ 超纯水有机杂质配方剖析

离子色谱的应用

APPLICATIONSOFIONCHROMATOGRAPHY

离子色谱在半导体超纯水和高纯试剂中痕量杂质离子的检测

01多功能离子色谱在半导体超纯水的检测

皖仪IC6600多功能离子色谱 + , AS3120大体积自动进样器
无析出污染的高纯PP进样瓶，高纯高分子材料管路设计；
大体积35mL进样 ^ + 在线富集；自动20-100ppt标准曲线；
实现20-100ppt检测能力；定量重复性小于 3 %
加标回收率 8 0 % -- 1 2 0 %
通过在在权威机构洁净实验室验证，满足ASTM-28nm以下半导体工艺节点的对超纯水中痕量杂质离子的检测需求（低于20ppt）；

02多功能离子色谱在半导体高纯试剂检测的应用

高纯氢氟酸中痕量氯离子，硫酸根离子，硝酸根离子的检测高纯冰醋酸中痕量氯离子，氟离子，硫酸根离子，溴离子的检测高纯双氧水中痕量氯离子，硝酸根离子，硫酸根离子的检测；高纯硝酸中痕量氯离子，硫酸根离子，氟离子的检测；高纯浓氨水中痕量氟离子，氯离子，硫酸根离子的检测，

03半导体表面痕量无机杂质离子如F，CL、SO²-和 NH+等检测

半导体厂电子级超纯水检测专用机

液相色谱质谱解决方案

LIQUID CHROMATOGRAPHYMASS SPECTROMETRY SOLUTIONS

三重四极杆LC-MS/MS 凭借其高灵敏度MRM检测、复杂基质耐受性及自动化方法开发能力，成为半导体行业超纯试剂分析、工艺过程监控及污染物溯源的核心工具。通过精准控制有机污染物、离子杂质及功能性添加剂的含量，该技术为纳米级芯片制造的“超洁净”环境提供了关键质量保障，直接支撑半导体器件的高性能与高可靠性。

液相色谱的优势

HPLC、UHPLC技术，作为高度稳定、可靠、重现性好的分离技术，已经成功地在全世界各大实验室的各种苛刻分析领域中广泛应用

1 节省每个样品分析时间和支出，并大大改善结果

2 高流速和高通量获得理想分离度和灵敏度

3 节省每个样品分析时间和支出，并大大改善

4 适用专用亚二微米色谱柱获得卓越柱效

样品种类

检测参数

01、试剂及工艺溶液

01、有机污染物

清洗液、刻蚀液、电镀液、光刻胶中的有机污染物、工艺性杂质、材料纯度等

酚醛树脂、甲基丙烯酸酯类聚合物、甲醇、乙醇、PGMEA、材料分解的小分子化合物、十二烷基硫酸钠(SDS）、吐温类

02、晶圆和器件表面

02、离子型与功能性杂质杂

晶圆表面萃取物、器件拆解样品表面残留有机污染物

酸根和胺类、痕量掺杂剂的浓度、光敏剂如重氮萘醌(DNQ）类化合物的残留量、电镀添加剂如整平剂（如SPS）、光亮剂（如苄叉丙酮）

03、环境和辅助材料

03、特殊工艺试剂浓度

空气中有机物经溶剂溶解后的样品，封装材料中塑封料、焊锡膏等的溶剂萃取液

显影液TMAH浓度、CVD前驱体纯度如TEOS中的有机杂质（如乙醇、醛类)

气相色谱及质谱在半导体制造中应用

GAS CHROMATOGRAPHY AND MASS SPECTROMETRY AREUSEDIN SEMICONDUCTORMANUFACTURING

GM6100气相色谱质谱联用仪

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作为一家以国际化视野、按国际化标准运营的全球精密科学仪器专业供应商，皖仪科技加速“出海”战略，积极开拓海外市场，致力于为全球客户提供优质的产品和服务。目前，公司产品销往全球20多个国家和地区，包括泰国、埃及、秘鲁、墨西哥、哈萨克斯坦、巴西、阿根廷、智利、印尼、印度、越南、孟加拉、马达加斯加等，公司产品和服务获得了国际客户广泛认可。