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Company
introduction
常州同惠电子股份有限公司创建于1994年，是一家集研发、制造、销售于一体的国家级高新技术企业。公司于2021年9月整体
迁入占地面积45亩，建筑面积30000平米的花园式现代化新厂房。公司现有员工300余人，75%以上具有大专及以上学历，研发人员
占员工总数的25%以上。
公司紧跟时代发展的脉搏，制定并践行“智能测试、高效测试、精准测试、工业互联”的发展战略，倡导“专业、专注、专
心”的匠心精神，始终致力于电子测量测试仪器的技术进步，尤其在精密阻抗测量领域具有三十年测试理论、测试技术和实践经验的
积累。公司顺应国家对科学测量仪器高质量发展的高度关注和大力支持，并基于对半导体和新能源行业发展的重要性及良好市场前景
的深刻理解，加大投入全力研发半导体和新能源行业产业链所需测试测量仪器，不断打破国外垄断和卡脖子风险，完美实现进口替
代，并致力于成为国际一流水平的电子测量测试综合解决方案供应商。
同惠始终把研发投入视为公司发展的基石，多年以来研发投入占公司营收的比例一直保持在12%以上。经过持续高比例的研发
投入，公司具备了较强的自主研发能力和技术优势，目前在硬件测试、嵌入式软件与算法、总线、系统集成、工业互联等方面积累了
多项核心技术成果，突破了高端电子元器件批量测试效率低、精度差、综合测试能力弱等一系列技术难题和瓶颈。先后成功研制出国
内首创甚至国际领先的优秀产品：如六位半台式数字多用表、10MHz 精密阻抗分析仪、并行多通道安规测试仪、宽频高速高精度电
子变压器综合测试系统、120A大电流电感偏流特性测试系统等都是拥有核心自主知识产权并填补国内空白的重要产品。130 MHz超
高测试频率的TH2851系列精密阻抗分析仪，基于自动平衡原理在阻抗分析仪领域国际领先。公司最新推出的TH199X系列源表/测量
单元、TH510系列功率半导体C-V特性测试仪、TH2690系列飞安表均是填补国内空白，完美实现进口替代的高端产品。公司目前拥
有授权专利65件（其中发明38件），在审发明专利43件，软件著作权 58件。
经过三十年的技术沉淀与积累，公司产品线不断丰富，产品技术性能不断突破，市场占有率不断提升，已成为中国电子元器
件测量仪器领军企业。公司目前主要产品系列为元件参数测试仪器、半导体器件测试仪器、绕线元件测试仪器、线束线缆测试仪器、
电气安规测试仪器、微弱信号测试仪器、电力电子测试仪器、台式数字多用表、电源/电池综合性能测试系统等大类400余个型号的测
试仪器产品。广泛应用于半导体、新能源、3C消费电子、5G 通讯、电力电子、家用电器等领域的科研与生产测试中。公司始终坚持
以创新的解决方案帮助客户解决测量难题、提高测试效率与产品品质，努力为客户创造更大价值。
公司在良好的发展过程中不断取得新的资质和荣誉：“国家高新技术企业”、“国家级专精特新小巨人企业”、“江苏省企
业技术中心”、“江苏省工业设计中心”、“江苏省磁性元器件智能电子测量仪器工程技术研究中心”、“江苏省军民融合创新平
台”等。公司承担过科技部中小企业创新基金项目2项、江苏省科技成果转化和省工信厅产业转型升级专项资金项目各1项、江苏省重
点研发项目2项及其它多项江苏省/常州市科技计划项目。曾获得多项部/省/市级科技奖励，包括江苏省创新创业大赛一等奖、机械工
业联合会科学技术二等奖、中国仪器仪表学会科技进步二等奖、江苏省科学技术三等奖3项、常州市科技进步二等奖2项、常州市创新
创业大赛一/二/三等奖多项。
“实现顾客满意”是同惠始终坚持的营销准则。公司已建成多层次的市场营销模式，在全国20多个省市建立了营销和服务网
络，为客户提供优质的产品和服务，贴近客户、倾听客户，构建与客户合作、沟通和交流的快捷通道，为客户创造价值。 海外市场
已成为公司发展的重要组成部分，已在北美、欧洲、东南亚、南亚等地建立了营销网络并取得了较好的成果，使来自中国的高科技产
品同样能满足世界客户的需要。
公司于2021年1月在新三板精选层挂牌上市，同年11月成为北交所首批上市企业。展望未来，同惠将继续以务实稳健的姿态，
肩负起更多社会责任，以国际化的视野和胸怀，奉献创新成果，共享发展价值。同惠—携手同心，惠及未来！
公司介绍
手册目录
Manual Catalog
型号 产品名称 主要参数/性能 页码
半导体器件/芯片测试仪器
TH500 功率半导体器件PIV测
试系统
双脉冲，200ns脉宽，栅极：±25V/±1A，16Bit分辨率；
漏极：250V/33A,18Bit分辨率 P1-2
TH199X系列 精密源/测试单元
八合一功能（电压源、电流源、电压
表、电流表、电阻表、晶体管图示仪、
脉冲发生器、具电子负载功能）
P3-9
TH193X系列 低噪声精密电源
TH510系列 半导体C-V特性分析仪
1kHz-2MHz,
Ciss、Coss、Crss、Rg、
VDS: ±200V/±1500V/±3000V
P10-18
功率器件CV特性测试解决方案 P19-27
TH2851系列 精密阻抗分析仪 10Hz-130MHz 25mΩ-40MΩ阻抗 0.08% P28-38
TH2848系列 精密阻抗分析仪 4Hz-10MHz
TH2839系列 阻抗分析仪 20Hz-10MHz 0.1mHz步进 0.05% P39-45
TH2840系列 LCR数字电桥20Hz-2MHz 0.1mHz步进 0.05% P46-52
TH2838系列 精密LCR数字电桥20Hz-2MHz 0.1mHz步进 0.05% P53-58
TH2690系列 飞安表/皮安表
/静电计/高阻计1000V、0.01fA、1000PΩ、1fC P59-63
TH1953/1963系列 台式数字多用表 1199999读数 1000次/s采样 P64-65
同惠电子测量仪器产品线 P66
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PIV测试系统
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TH500系列 功率半导体器件PIV测试系统
3个型号一套系统
a)工作指标 b)脉冲指标
1
详细参数
1. 栅极探头指标
工作条件 TH500C
参数 条件 最小值 最大值
编程电压范围 静态、脉冲 -25V +25V
脉冲幅度 可编程最大最小差值 30V
脉冲电流 输出或者输入最大有效值 -1A +1A
直流/有效值电流 -300mA +300mA
脉冲功率 输出或者输入 10W
直流功率 输出 3W
输入 0.5W
输出直流阻抗 1A、10mA量程 14.5Ω±2%
100uA量程 210Ω±2%
输出电容 20pF
探头对地阻抗 最大1W 100Ω
工作条件 TH500C
参数 条件 最小值 最大值
占空比 功率限制条件下任何电平 0% 100%
频率 最大开关电压 500kHz
脉冲宽度 速度=FAST时的最小脉宽 200ns
上升时间 速度=FAST时，空载，
10%到90% 33ns（典型值）
下降时间 速度=FAST时，空载，
90%到10% 32ns（典型值）
附件
体积A：220mm(W)x86mm(H)x378mm(D)
外型B：144mm(W)x62mm(H)x191mm(D)
外型C：144mm(W)x62mm(H)x191mm(D)
净重A：3kg
净重B：1kg
净重C：1kg
尺寸/重量
•本设备主要用于高压功率器件的静态特性及可靠性测试，
通过在一定偏置下对被测器件提供高压脉冲信号（PulseIV），模拟器件快速开关过程，进而测试器件工作过程中的
性能变化情况。
应用领域
• 提供固定静态偏置点进行窄脉冲动态IV测量，满足准等温
测试条件。
• 实现器件寄生效应的量化测量与数据运算。
• 脉宽最小低至200ns。
• 具有内部和外部同步能力。
• 脉冲时序设置和时域波形记录。
• 仪器设备可与socket&半自动探针台互联，进行封装以及晶
圆级芯片测试。
性能特点
LAN USB TMC
随
机
附
件：
三芯电源线
三端器件测试夹具
探头通信线缆
漏极供电线缆
栅极探头输出转BNC适配器
PIV测试系统
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a)工作指标
c)输出电压指标
c)输出电压指标
e)内部保护电路
b)脉冲指标
d)测量指标
d)测量指标
01-02
2
2. 漏极探头指标
工作条件 TH500C
参数 条件 典型值
可编程分辨率 16位 0.8mV
绝对精度 空载，1年 10mV+0.1%
噪声 0.1Hz-10kHz，空载，峰值噪声 0.6mV
0.1Hz-5MHz，空载，峰值噪声 3mV
脉冲边沿电压误
差值
速度=FAST 70mV
速度=MEDIUM 30mV
速度=SLOW 15mV
工作条件 TH500C
参数 条件 电压量程
25V
电流量程
1A 10mA 100μA
ADC分辨率 16位 880uV 35μA 0.35μA 4.8nA
建立时间 到99.9% 250ns 300ns 350ns 4μs/400μs
到99.99% 400ns 550ns 700ns -
恢复延迟 0.6μs 1μs
带宽 -3dB 14MHz 14MHz 6MHz 1.3MHz
绝对精度 Offset+gain 2.5mV+0.07% 200μA+0.07% 15μA+0.08% 0.6μA+0.1%
噪声 单次采样 ±3.5mV ±140μA ±10μA ±1μA
128次平均 ±0.3mV ±14μA ±1μA ±0.1μA
工作条件 TH500B
参数 条件 最小值 最大值
可编程电压输出范围 静态和脉冲输出 0V +250V
脉冲电流 探头工作范围 +33A
脉冲储能电容器 1000uF
DC和RMS电流 探头工作范围 +5A
脉冲功率 探头工作范围 3000W
直流功率 探头工作范围 100W
输出阻抗 0.3A量程&电流< 0.7A 2Ω
30A, 3A, 0.3A电流> 0.7A 0.4Ω
探针到地阻抗 最大功率 1W 100Ω
远端测量工作区域 电源线最大直流落差 -0.8V +0.8V
工作条件 TH500B
参数 条件 最小值 最大值
占空比 在功率范围内的任意值 0% 100%
频率
在250V 开关选择快速 50kHz
在250V 开关选择慢速 10kHz
绝对值 500kHz
脉冲宽度 在快速的最小脉宽 200ns
上升时间 10% to 90%, 快速，无负载 20ns (典型值)
下降时间 10% to 90%, 快速，无负载 22ns (典型值)
工作条件 TH500B
参数 条件 最小值 最大值
可编程分辨率 18位DAC 1mV
小幅度阶跃设置
时间
正10V阶跃 3ms to 30ms
负10V阶跃(低电压跌落电路禁止) 3ms to 20ms
负10V阶跃(低电压跌落电路使用) 50ms to 80ms
满量程设置时间
0 to 250V 325ms
250V to 0V (低电压跌落电路禁止) 200ms
250V to 0V (低电压跌落电路使用) 250ms
脉冲输出的电压
跌落
低电压跌落电路禁止, 10A电流
50µs 脉宽 -750mV -700mV
低电压跌落电路使用, 10A电流
50µs 脉宽 -60mV +10mV
低电压跌落电路
使用响应时间 1µs
工作条件 TH500B
参数 条件 电压量程 电流量程
250V 5V 30A 3A 300mA
ADC
分辨率 16 bits 4.7mV 90µV 590µA 58µA 5.5µA
设定
时间
to 99.9% 200ns 300ns 250ns 350ns 250ns
to 99.99% 300ns 500ns 500ns 600ns 700ns
恢复
延迟 0.5µs 0.5µs 0.5µs
带宽 -3dB 14MHz 7MHz
/4MHz 10MHz 7MHz 10MHz
绝对
精度
offset
+ gain
20mV
+0.1%
0.7mV
+0.1%
5mA
+0.3%
2.5mA
+0.2%
0.1mA
+0.1%
工作条件 TH500C
参数 条件 数值
量程阀值 1A / 33A
阈值分辨率 14 bits, 2.3mA
阈值设置精度 偏置+电流精度 100mA + 0.5%
RS232
HANDLER
USB HOST
LAN
USB DEVICE
SCPI
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微弱信号检测仪器
-精密源
/测量单元
附件
上架体积（mm）：215x132x490
外形体积（mm）：235x154x530
净重：约8.5kg（单通道）/ 10kg（双通道）
随机附件：TH26050B 两端测试电缆
TH26087B 香蕉头转射频两端测试盒
选配件： TH26050C 四端测试电缆
TH26087 低噪声滤波器
TH26087A 低噪声滤波器
TH26087B 香蕉头转两端转接盒
TH26087C 低噪声测试盒
TH26087D 香蕉头转四端转接盒
TH26087E 屏蔽测试盒
尺寸/重量
• 半导体、分立与被动元件测试
二极管、激光二极管、LED
光电探测器、传感器
场效应管、三极管
ICs(ICs、RFICs、MMICs)
电阻、变阻器、热敏电子、开关
• 精密电子及绿色能源器件测试
光伏电池
功率半导体
电池
汽车
医学仪器
用于板级测试的功率与直流偏置源
• 研究及教育
新材料研究
纳米器件特性
巨磁电阻
有机设备
任何精密I/V源或测量
应用领域
• TH1991/TH1992系列精密源/测量电源，可同时输出并测量电
压和电流，在仪器中集成了电流源、电压源、电压表、电流表功
能，各功能可任意切换。
TH1991/TH1992系列精密源/测量单元可输出高达±210V直流
电压、±3A直流电流以及±10.5A脉冲电流、最小10fA/100nV的电
源和测量分辨率，支持高速采样，可生成任意波形。
TH1991/TH1992系列精密源/测量单元系列采用了7英寸电容
式触摸屏，以Linux操作系统为底层，交互式图形用户界面及各种
显示模式，并内置了二极管、三极管、MOS管以及IGBT等器件的
I/V曲线扫描功能，无需连接上位机即可完成IV功能测试，可显著
提高测试效率。
TH1991/TH1992系列精密源/测量单元全面、综合的电源和测
量功能，是测试半导体、有源/无源器件以及各种其他器件与材料
的理想选择。
TH1991/TH1992系列精密源/测量单元广泛应用在研发和教育
应用、工业开发、测试和制造业等领域。
简要介绍
• 7英寸电容式触摸屏，分辨率800×480
• Linux操作系统
• 四象限精密电源输出
• 单/双通道输出及测量
• 高达±210V直流电压、±3A直流电流/±10.5A脉冲
• 10fA/100nV最小输出及测量分辨率（6 1/2位）
• 电压源、电流源、电压表、电流表或电阻表五种基本模式
• 高达1000000点/秒采样率，最小采样间隔1μs
• 支持直流、脉冲、扫描及列表输出
• 脉冲输出的脉宽最小可达50μs
• 任意波形生成及列表扫描功能（最小1μs间隔）
• 二极管、三极管、MOS管以及IGBT快速生成常用器件的特性
曲线，时域波形滚动显示功能
• 兼具二线制测量/四线制测量
• 输出滤波器时间常数（或截止频率）可自由设置以实现任意频响输出
• 数学运算功能、滑动平均滤波功能、偏差扣除功能
• Delta低电阻测试方法，有效补偿由热电动势引起的测量误差
• 14档分选功能，含Grading和Sorting两种模式
• 标配上位机软件，方便在电脑上控制及数据采集
性能特点
TH199X系列 精密源/测量单元
7个型号可选
基本参数 TH1991C TH1991B TH1991A TH1991 TH1992B TH1992A TH1992
源
输
出
直流 电压 ±63V ±210V
电流 ±1.515A ±3.03A
脉冲 ------ ±10.5A ------ ±10.5A
分辨率 源 5.5位 6.5位 5.5位 6.5位
测量 6.5位
电流分辨
率
源 1pA 100fA 1pA 10fA 100fA 1pA 10fA
测量 100fA 10fA 100fA 10fA 100fA 10fA
电流量程（DC） 100nA
-1.5A 10nA-3A 100nA
-3A 10nA-3A 100nA
-3A 10nA-3A
电压分辨
率
源 1μV 100nV 1μV 100nV
测量 100nV
电压量程 200mV60V 200mV-200V
最小时间间隔 50μs 20μs 10μs 1μs 20μs 10μs 1μs
通道数 1 2
3
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微弱信号检测仪器
-精密源
/测量单元
功能特点
A.四象限输出
B.多种工作方式
C.半导体元件静态特性测试
TH199X系列可在四个象限，最大输出范围（仅部分型号）
直流或脉冲 仅脉冲
TH199X可按如下工作模式工作
TH199X系列精密源/测量单元无需上位机软件，可直接在仪器界面设置并生成半导体元件如二极管、三极管、MOS管、IGBT等
IV特性曲线，并可以直接调用常用器件库，快速完成测试。
1）二极管IV特性测试
输出方式 最大电压 最大电流
直流或脉冲
210V 0.105A
21V 1.515A
6V 3.03A
脉冲 200V 1.515A
6V 10.5A
基本功能 描述
电压源 恒压输出
电流源 恒流输出
电压表 内部设为恒流源并输出0A，测外接电源的电压；此时源表内阻极大。
电流表 内部设为恒压源并输出0V，低端子浮空，测外接电源的电流；此时源表内阻极小。
电阻表 内部设为恒流源，测电阻两端电压。通过欧姆定理计算DUT阻值。
电流肼 输出电压、吸收电流；此时源表工作在第四象限。
10A脉冲电流源 输出大电流脉冲；最大脉宽1ms；最大占空比2.5%
开尔文测量 四线制测量；可有效消除导线压降带来的误差。
二极管正向IV特性测试
4
03-04
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微弱信号检测仪器
-精密源
/测量单元
2）场效应管输出特性曲线
输出特性曲线
场效应管阈值电压、跨导曲线测试
二极管反向IV特性测试
5
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微弱信号检测仪器
-精密源
/测量单元
3）三极管输入输出特性曲线
三极管输出特性曲线
三极管Gummel曲线
6
D.标配附件
YT3007 测试电缆 USB线
05-06
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微弱信号检测仪器
-精密源
/测量单元
技术参数
产品型号 TH1991C TH1991B TH1991A TH1991 TH1992B TH1992A TH1992
显示
显示器 7英寸电容式触摸彩色LCD显示器，分辨率800×480
关键指标
通道数 1 2
功率 31.8W
最大输出
电压 ±63V ±210V
电流 直流 ±1.515A ±3.03A
脉冲 ------ ------ ±10.5A ------ ±10.5A
电源
最大位数 位数 5 1/2 6 1/2 5 1/2 6 1/2
最小分辨率 电压 1μV 100nV 1μV 100nV
电流 1pA 100fA 1pA 10fA 100fA 1pA 10fA
测量
最大位数 位数 6 1/2
最小分辨率 电压 100nV
电流 100fA 10fA 100fA 10fA 100fA 10fA
电压量程 200mV
-60V
200mV-200V
最小间隔时间 50μs 20μs 10μs 1μs 20μs 10μs 1μs
电压测量/电压源（精度：读数百分比+偏置）
量程
±200mV 测量分辨率 100nV
精度 ±(0.015% + 225μV)
±2V 测量分辨率 1μV
精度 ±(0.02% + 350μV)
±20V 测量分辨率 10μV
精度 ±(0.015% + 5mV)
±200V 测量分辨率 100μV
精度 ±(0.015% + 50mV)
电流测量/电流源
量程
±10 nA 测量分辨率 10fA(TH1991A/TH1992A无此量程)
精度 ±(0.10 % + 50 pA)
±100nA 测量分辨率 100fA
精度 ±(0.06% + 100pA)
±1μA 测量分辨率 1pA
精度 ±(0.025% + 500pA)
±10μA 测量分辨率 10pA
精度 ±(0.025% + 1.5nA)
±100μA 测量分辨率 100pA
精度 ±(0.02% + 25nA)
±1mA 测量分辨率 1nA
精度 ±(0.02% + 200nA)
±10mA 测量分辨率 10nA
精度 ±(0.02% + 2.5μA)
±100mA 测量分辨率 100nA
精度 ±(0.02% + 20μA)
±1A 测量分辨率 1μA
精度 ±(0.03% + 1.5mA)
±1.5A 测量分辨率 1μA
精度 ±(0.05% + 3.5mA)
±3A 测量分辨率 10μA
精度 ±(0.4% + 7mA)
±10A 测量分辨率 10μA
精度 ±(0.4% + 25mA)
7
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微弱信号检测仪器
-精密源
/测量单元
脉冲源（脉宽是指10%上升沿至90%下降沿的时间，基数电平：脉冲低点电平，峰值电平：脉冲高端电平）
最小可编程脉冲宽度 50μs
脉宽编程分辨率 1μs
直流或脉冲
最高电压
210V
最大峰值电流 0.105A
最大基数电流 0.105A
脉冲宽度 50μs - 99999.9s
最大占空比 99.9999%
21V
最大峰值电流 1.515A
最大基数电流 1.515A
脉冲宽度 50μs - 99999.9s
最大占空比 99.9999%
6V
最大峰值电流 3.03A
最大基数电流 3.03A
脉冲宽度 50μs - 99999.9s
最大占空比 99.9999%
仅脉冲
200V
最大峰值电流 1.515A
最大基数电流 50mA
脉冲宽度 50μs - 2.5ms
最大占空比 2.5%
180V
最大峰值电流 1.05A
最大基数电流 50mA
脉冲宽度 50μs - 10ms
最大占空比 2.5%
6V
最大峰值电流 10.5A
最大基数电流 0.5A
脉冲宽度 50μs - 1ms
最大占空比 2.5%
电阻测量（自动电阻测量模式、4 线、2 V 量程）
量程
2Ω
分辨率 1μΩ
测试电流 1 A
电流量程 1 A
总误差 0.2% + 0.00035Ω
20Ω
分辨率 10μΩ
测试电流 100mA
电流量程 100mA
总误差 0.06% + 0.0035Ω
200Ω
分辨率 100μΩ
测试电流 10mA
电流量程 10mA
总误差 0.065% + 0.035Ω
2kΩ
分辨率 1mΩ
测试电流 1mA
电流量程 1mA
总误差 0.06% + 0.35Ω
20kΩ
分辨率 10mΩ
测试电流 100μA
电流量程 100μA
总误差 0.065% + 3.5Ω
200kΩ
分辨率 100mΩ
测试电流 10μA
电流量程 10μA
总误差 0.06% + 35Ω
2MΩ
分辨率 1Ω
测试电流 1μA
电流量程 1μA
总误差 0.095% + 350Ω
20MΩ
分辨率 10Ω
测试电流 100nA
电流量程 100nA
总误差 0.18% + 3.5kΩ
200MΩ
分辨率 10Ω
测试电流 10nA
电流量程 10nA
总误差 1.08% + 35kΩ
8
07-08
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* 参数如有修改 恕不另行通知 以最新资料为准
微弱信号检测仪器
-精密源
/测量单元
接口 RS232C、USB HOST、USB DEVICE、LAN、HANDLER
环境和温度
使用温湿度范围 23°C±5°C
存放温湿度范围 23°C±5°C
精度保证温湿度 23°C±5°C
预热时间 60分钟
环境温度变化 30%到80%RH
校准周期 一年
一般指标
电源 90 V to 264 V, 47 Hz to 63 Hz, 250 VA maximum
功率 31.8W
上架尺寸 215mmx132mmx490mm
外形尺寸 235mmx154mmx530mm
重量 约8.5kg（单通道）/ 10kg（双通道）
9
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400-624-1118
* 参数如有修改 恕不另行通知 以最新资料为准
微弱信号检测仪器
-精密源
/测量单元
RS232
HANDLER
USB HOST
LAN
USB DEVICE
SCPI
附件
上架体积（mm）：215x132x490
外形体积（mm）：235x154x530
净重：约6kg（单通道）/ 7.5kg（双通道）
随机附件：三芯电源线
TH26050B 两端测试电缆
TH1931-003 超低噪声滤波器
TH26017 USB接口线
TH26050S 四端测试电缆
选配件：TH26050C 四端测试电缆
TH26087 低噪声滤波器
TH26087A 低噪声滤波器
TH26087B 香蕉头转两端转接盒
TH26087C 低噪声测试盒
TH26087D 香蕉头转四端转接盒
TH26087E 屏蔽测试盒
尺寸/重量
为了降低功耗，电池供电设备持续降低供电电压，这需要更
精确的电源来准确表征设备行为；由于更高的数据速率和更快的
时钟频率，移动通信等应用领域的噪声性能要求也越来越严格。
这些技术趋势使得先进产品的测试变得越来越困难，因为它们对
噪音和其他外部干扰极其敏感。
因此，现在需要具有更高精度、更好噪声性能和更通用的
供电电源。TH1931/TH1932卓越性能和创新功能适用于各种应
用，使您能够执行以前无法进行的关键测试和评估。
• 模数转换器和数模转换器
• 高精度模拟IC和电路
• 射频集成电路
• 医疗应用
• 电缆/线束评估
• 压控振荡器（VCO）
• 传感器设备和换能器
• 太阳能电池和接口电路
• 电化学应用
• 研究与教育
• 晶体振荡器
• 用于小电压测量的电流源
• 电池管理模拟器
• 先进材料评估
应用领域
• TH193X是6½位低噪声电源，测量分辨率固定为4½位。
TH193X提供触摸屏、前面板键和旋钮来施加电压/电流或测量电压
/电流/电阻。
仪器还支持多个功能，如扫描输出、脉冲输出、任意波形生
成、迹线缓冲区、数学表达式和图形绘制。
因此TH193X可以是DC（恒定）电压/电流源、扫描电压/电流
源、脉冲发生器、任意波形发生器和万用表。
简要介绍
• 7英寸电容式触摸屏，分辨率800×480
• Linux操作系统，中英文界面
• 四象限精密电源输出
• 单/双通道输出及测量
• 高达±210V直流电压、±3A直流电流/±10.5A脉冲
• 10fA/0.1μV最小输出分辨率（6 1/2位）
• 1pfA/10μV最小测量分辨率（4 1/2位）
• 支持电压、电流、电阻、功率测量
• 电压源、电流源、电压表、电流表四种基本模式
• 最小采样间隔1μs
• 支持直流、脉冲、扫描及列表输出
• 脉冲输出的脉宽最小可达50μs
• 1mHz-10kHz任意波形生成及列表扫描功能（最小1μs间隔）
• 灵活的可编程输出电阻功能
• 数学运算功能、滑动平均滤波功能、偏差扣除功能
• 14档分选功能，含Grading和Sorting两种模式。
性能特点
TH193X系列 低噪声精密电源
2个型号可选
基本参数 TH1931 TH1932
通道数 1 2
源输出
直流 电压 ±210V
电流 ±3.03A
脉冲 ±10.5A
最大功率 31.8W
分辨率 源 6 1/2位
测量 4 1/2位
电流分辨率 源 10fA
测量 1pA
电压分辨率 源 0.1μV
测量 10μV
TH193X系列低噪声精密电源包括以下几种类型：
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微弱信号检测仪器
-精密源
/测量单元
功能特点
A．7英寸电容式触摸屏、Linux操作系统底层，用户界面友好
B．四象限输出，6 1/2位输出分辨率
由于采用了7英寸电容式触摸屏及Linux操作系统底层，因此对
于用户而言，不仅可直观的在界面上看到双通道设置及测量参数，
而且可触屏直接操作，大大提高了设置和测量效率。
TH193X系列支持4象限输出，最大输出范围及功率如下
在设定时，支持6 1/2位编程分辨率
输出方式 最大电压 最大电流 最大功率
直流或脉冲
210V 0.105A
31.8W
21V 1.515A
6V 3.03A
脉冲 200V 1.515A
6V 10.5A
使用通道1和2的限值
通道1电压V1 通道2电压V2 电流限值a
0V<|V1|≤6V 0V<|V1|≤6V I1+I2≤4A
6V<|V1|≤21V I1+I2*1.6≤4A
6V<|V1|≤21V 0V<|V1|≤6V I1+I2*0.625≤2.5A
6V<|V1|≤21V I1+I2≤2.5A
※注意：I1：通道1电流，I2：通道2电流
直流或脉冲 脉冲输出时：占空比≤99.9999% 仅脉冲占空比≤2.5%
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微弱信号检测仪器
-精密源
/测量单元
C．多种源输出模式
TH193X作为源输出时，可输出如下波形
1） 直流源输出
2） 脉冲源输出
3） 扫描输出
此时作为脉冲源（电压或电流）输出，红色框中图示输出状态，可设置脉冲源不同参数，以控制脉冲输出或测量定时。
此时作为扫描源输出（电压或电流），红框图示扫描源输出状态，扫描同时可对每个步骤进行测量，扫描方式分以下八种方
式：
此时作为恒压源（CV）或恒流源（CC）输出，可同时测量两个参数，测量参数类型可为：VOLTs(V)电压、AMPs(I)电流、
OHMs(R)电阻和WATTs(P)功率
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微弱信号检测仪器
-精密源
/测量单元
4） 列表扫描输出（任意波形输出）
此时作为列表扫描输出（电压或电流），红框图示扫描源输出状态，可按预先设定波形输出，并按每个输出值测量电压或电
流。
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微弱信号检测仪器
-精密源
/测量单元
D．4 1/2位测量分辨率，可测量多种参数
TH193X系列低噪声电源除了作为源输出功能之外，还可进行测量，测量分辨率为4 1/2位，并可测量多种参数
测试示意图
测量参数：
U： 电压 仪器测量结果Vmeas
I： 电流 仪器测量结果Imeas
R： 电阻 Resistance=Vmeas/Imeas
P： 功率 Power=Vmeas×Imeas
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微弱信号检测仪器
-精密源
/测量单元
技术参数
产品型号 TH1931 TH1932
显示
显示器 7英寸电容式触摸彩色LCD显示器，分辨率800×480
关键指标
通道数 1 2
最大输出
电压 ±210V
电流 直流 ±3.03A
脉冲 ±10.5A
电源
最大位数 位数 6 1/2
最小分辨率 电压 0.1μV
电流 0.01pA
测量
最大位数 位数 4 1/2
最小分辨率 电压 10μV
电流 1pA
电压量程 0.2V-200V
最小间隔时间 1μs
电压输出
量程 编程
分辨率
精度
±（%读数百分比+
偏置）
DC输出电压或脉冲峰值/基极电压
最大电流1
脉冲宽度2
DC输出 脉冲输出
0.2V 100nV ±(0.015%+225μV) 0≤|V|≤0.21V
±3.03A
±3.03A 50μs≤t≤tmax
±10.5A 50μs≤t≤1ms
2V 1μV ±(0.015%+225μV) 0≤|V|≤2.1V
±3.03A 50μs≤t≤tmax
±10.5A 50μs≤t≤1ms
20V 10μV ±(0.015%+5mV) 0≤|V|≤6V
±3.03A 50μs≤t≤tmax
±10.5A 50μs≤t≤1ms
0≤|V|≤21V ±1.515A ±1.515A 50μs≤t≤tmax
200V 100μV ±(0.015%+50mV)
0≤|V|≤6V ±3.03A
±3.03A 50μs≤t≤tmax
±10.5A 50μs≤t≤1ms
0≤|V|≤21V ±1.515A ±1.515A 50μs≤t≤tmax
0≤|V|≤180V — ±1.05A 50μs≤t≤10ms
0≤|V|≤200V — ±1.515A 50μs≤t≤2.5ms
0≤|V|≤210V ±105mA ±105mA 50μs≤t≤tmax
注意：
上标1
：
上标2
：
对DC输出或脉冲输出（50μs≤t≤tmax(=99.9999ks)）使用通道1和2时，参考限值表格部分。
对于50μs≤t≤tmax的脉冲，最大占空比为99.9999%
对于50μs≤t≤1ms的脉冲、50μs≤t≤2.5ms的脉冲或50μs≤t≤10ms的脉冲，最大占空比为2.5%。
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微弱信号检测仪器
-精密源
/测量单元
电流输出
量程 设置
分辨率
精度
±（%读数百分比+
偏置）
DC输出电流或脉冲峰值/基极电流1 2
最大电压
脉冲宽度t
3
DC输出 脉冲输出
10nA 10fA ±(0.10%+50pA) 0≤|I|≤10.5nA
±210V ±210V
50μs≤t≤tmax
100nA 100fA ±(0.06%+100pA) 0≤|I|≤105nA
1μA 1pA ±(0.025%+500pA) 0≤|I|≤1.05μA
10μA 10pA ±(0.025%+1.5nA) 0≤|I|≤10.5μA
100μA 100pA ±(0.02%+25nA) 0≤|I|≤105μA
1mA 1nA ±(0.02%+200nA) 0≤|I|≤1.05mA
10mA 10nA ±(0.02%+2.5μA) 0≤|I|≤10.5mA
100mA 100nA ±(0.02%+20μA) 0≤|I|≤105mA
1A
1μA
±(0.03%+1.5mA)
0≤|I|≤105mA
105mA≤|I|≤1.05A ±21V ±21V
0≤|I|≤1.05A — ±200V 50μs≤t≤2.5ms
— ±180V 50μs≤t≤10ms
1.5A ±(0.05%+3.5mA)
0≤|I|≤105mA ±210V ±210V
50μs≤t≤tmax 105mA≤|I|≤1.515A ±21V ±21V
0≤|I|≤1.515A — ±200V 50μs≤t≤2.5ms
0≤|I|≤1.05A — ±180V 50μs≤t≤10ms
3A
10μA
±(0.4%+7mA)
0≤|I|≤105mA ±210V ±210V
105mA≤|I|≤1.515A ±21V ±21V 50μs≤t≤tmax
1.515A≤|I|≤3.03A ±6V ±6V
10A4 ±(0.4%+25mA)5
0≤|I|≤10.5A — ±6V 50μs≤t≤1ms
0≤|I|≤1.515A — ±200V 50μs≤t≤2.5ms
0≤|I|≤1.05A — ±180V 50μs≤t≤10ms
※注意：
上标1
：
上标2
：
上标3
：
上标4
：
上标5
：
对DC输出或脉冲输出（50μs≤t≤tmax(=99.9999ks)）使用通道1和2时，参考限值表格部分。
对于50μs≤t≤1ms的脉冲，最大基数电流为500mA，对于50μs≤t≤2.5ms的脉冲或50μs≤t≤10ms的脉冲，最大基数电流
为50mA。
对于50μs≤t≤tmax的脉冲，最大占空比为99.9999%，对于50μs≤t≤1ms的脉冲、50μs≤t≤2.5ms的脉冲或50μs≤t≤10ms
的脉冲，最大占空比为2.5%。
10A量程仅限于脉冲模式，不适用于DC模式
测量速度为0.01PLC
电压测量
量程 电压测量值 分辨率 精度
0.2V 0≤|V|≤0.212V 10μV ±(0.015% + 225μV)
2V 0≤|V|≤2.12V 100μV ±(0.02% + 350μV)
20V 0≤|V|≤21.2V 1mV ±(0.015% + 5mV)
200V 0≤|V|≤212V 10mV ±(0.015% + 50mV)
电流测量
量程 电流测量值 分辨率 精度
10nA 0≤|I|≤10.6nA 1pA ±(0.10 % + 50pA)
100nA 0≤|I|≤106nA 10pA ±(0.06% + 100pA)
1μA 0≤|I|≤1.06μA 100pA ±(0.025% + 500pA)
10μA 0≤|I|≤10.6μA 1nA ±(0.025% + 1.5nA)
100μA 0≤|I|≤106μA 10nA ±(0.02% + 25nA)
1mA 0≤|I|≤1.06mA 100nA ±(0.02% + 200nA)
10mA 0≤|I|≤10.6mA 1μA ±(0.02% + 2.5μA)
100mA 0≤|I|≤106mA 10μA ±(0.02% + 20μA)
1A 0≤|I|≤1.06A 100μA
±(0.03% + 1.5mA)
1.5A 0≤|I|≤1.53A ±(0.05% + 3.5mA)
3A 0≤|I|≤3.06A 1mA
±(0.4% + 7mA)
10A1 0≤|I|≤10.6A ±(0.4% + 25mA)
※注意：
上标1
： 适用于脉冲模式，不适用于DC模式。
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微弱信号检测仪器
-精密源
/测量单元
脉冲源（脉宽是指10%上升沿至90%下降沿的时间，基数电平：脉冲低点电平，峰值电平：脉冲高端电平）
最小可编程脉冲宽度 50μs
脉宽编程分辨率 1μs
接口 RS232C、ΜSB HOST、ΜSB DEVICE、LAN、HANDLER
环境和温度
环境 适合室内设备使用
操作状态温度 0°C - 55°C
操作状态湿度 30% - 80% RH（无凝结）
操作状态海拔 0 - 2000米（6561英尺）
存放状态温度 30°C - +70°C
存放状态湿度 10% - 90% RH（无凝结）
存放状态海拔 0 - 4600米（15092英尺）
开机后预热时间 ≥60分钟
一般指标
电源 90 V to 264V,47 Hz to 63Hz, maximum
功耗 ＜250VA
上架尺寸 215mmx132mmx490mm
外形尺寸 235mmx154mmx530mm
重量 约8.5kg（单通道）/10kg（双通道）
安全 I类安全
EMC标准 IEC61326-1/EN61326-1
AS/NZS CISPR 11
绝缘电阻 在参比工作条件下，电源端子与外壳之间的绝缘电阻不小于50MΩ；
在湿热运输条件下，电源端子与外壳之间的绝缘电阻不小于2MΩ。
绝缘强度 在参比工作条件下，电源端子与外壳之间能承受额定电压为1.5kV，频率为50Hz的
交流电压1分钟，无击穿及飞弧现象。
泄漏电流 ≤3.5mA
安全认证 CE、cCSAμs、C-Tick
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元器件参数测试仪
-半导体C-V特性分析
仪
TH510系列 半导体器件C-V特性分析仪
4个型号可选（±200V/±1500V/±3000V）
10
09-10
RS232
HANDLER
USB HOST
LAN GPIB
USB DEVICE
RS485
SCPI MODBUS
附件
体积（mm）：430(W)x177(H)x405(D)
净重：约16kg
随机附件：电源线一根
TH26063B 测试夹具（仅TH511和TH512）
TH26063C 测试夹具（仅TH511和TH512）
TH26063D 连接电缆
TH26063G 测试延长线
TH26063J 测试夹具（仅TH513）
选配件：200V通道板
1500V通道板
图形扫描软件
尺寸/重量
• 半导体功率器件
二极管、三极管、MOSFET、IGBT、晶闸管、集成电路、光
电子芯片等寄生电容测试、C-V特性分析
• 半导体材料
晶圆切割、C-V特性分析
• 液晶材料
弹性常数分析
• 电容元件
电容器C-V特性测试及分析，电容式传感器测试分析
应用领域
• TH510系列半导体C-V特性分析仪是常州同惠电子根据当前半
导体功率器件发展趋势，针对半导体材料及功率器件设计的分析仪
器。
仪器采用了一体化集成设计，二极管、三极管、MOS管及
IGBT等半导体功率器件寄生电容、CV特性可一键测试，无需频繁
切换接线及设置参数，单管功率器件及模组功率器件均可一键快速
测试，适用于生产线快速测试、自动化集成。
CV曲线扫描分析能力亦能满足实验室对半导体材料及功率器
件的研发及分析（此功能为选件）。
仪器设计频率为1kHz-500kHz/2MHz，VGS电压可达±40V，
VDS电压可达±200V/±1500V/±3000V，足以满足大多数功率器件
测试。
简要介绍
• 一体化设计：
LCR+栅极电压VGS+漏极电压VDS+通道切换+上位机软件
• 栅极电压VGS：0 - ±40V
• 漏极电压VDS：0 - ±200V/±1500V/±3000V
• 单管器件（点测）、模组器件（列表扫描）、曲线扫描(选件)
三种测试方式
• 四寄生参数(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)
同屏一键测量及显示
• 标配2通道，可扩展至6通道，可测单管、多芯或模组器件
（TH511E/TH513仅1通道）
• CV曲线扫描、Ciss-Rg曲线扫描
• 电容快速充电技术，实现快速测试
• 接触检查Cont
• 通断测试OP_SH
• 自动延时设置
• Crss Plus功能：解决高频下Crss负值问题
• 高压击穿保护：解决栅极电压过高反冲仪器问题
• Interlock安全锁功能：增加高压防护墙(仅TH513)
• Cs-V功能：二极管结电容CV特性测试分析
• 等效模式转换功能，可选Cs或Cp模式
• 10档分选
性能特点
简要参数 TH511E TH511 TH512 TH513
通道 1 2(可扩展至6) 2(可扩展至6) 1
测试频率 1kHz-500kHz 1kHz-2MHz
测试参数 Ciss、Coss、Crss、Rg
LCR功能 √ ------
VGS范围 0 - ±40V
VDS范围 0 - ±200V 0 - ±1500V 0 - ±3000V
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元器件参数测试仪
-半导体C-V特性分析
仪
11
Dynamic
Input Capacitance Ciss VGS=0V，
VDS=25V，
f=1MHz
- 1300 -
pF
Onput Capacitance Coss - 96 -
Reverse Transfer Capacitance Crss - 6 -
Reverse Output
Capacitance,Energy Relateda Co(er) VDS=0V to 520V,
VGS=0V
- 45 -
Effective Output
Capacitance,Time Relatedb Co(tr) - 62 -
Total Gate Charge Qg
VGS=10V
ID=4A,
VDS=520V
- 25 -
Gate-Soruce Charge Qgs - 2.0 - nC
Gate-Drain Charge Qgd - 2.7 -
Turn-on Delay Time td(on)
VDD=520V, ID=4A,
VGS=10V,Rg=9.1Ω
- 25 -
ns Rise Time tr - 55 -
Turn-off Delay Time td(off) - 70 -
Fall Time tf - 40 -
Gate input Resistance Rg f=1MHz,open drain - 2 - Ω
一台仪器内置了LCR数字电桥、VGS电压源、VDS电压源、高低压切换矩阵以及上位机软件，将复杂的接线、繁琐的操作集成
在支持电容式触摸的Linux系统内，操作更简单。特别适合产线快速化、自动化测试。
功能特点
B.单管器件测试，10.1吋大屏，四种寄生参数同屏显示，让细节一览无遗
A.一体化测试，集成度高、体积小、效率高
C.列表测试，多个、多芯、模组器件测量参数同屏显示
MOSFET或IGBT最重要的四个寄生参数：Ciss、Coss、Crss、
Rg，Cies、Coes、Cres、Rg均可一键测试，10.1吋大屏可同时将
测量结果、等效电路图、分选结果等重要参数同时显示，一目了
然。
一键测试单管器件器件时，无需频繁切换测试脚位、测量参
数、测量结果，大大提高了测试效率。
TO-200 FULLPAK
TH510系列半导体C-V特性分析仪支持最多6个单管器件、6芯器件或6模组器件测试，所有测量参数通过列表扫描模式同时显
示测试结果及判断结果。
同时保存6个通道参数可快速调用切换。
CH1
CH2
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元器件参数测试仪
-半导体C-V特性分析
仪
11-12
12
E.Cs-V功能,二极管结电容CV特性测试分析
得益于TH510系列功率器件CV特性分析仪内置了2路直流
电源，使二极管的CV特性分析成为可能，Cs-V功能可用于测
试各种二极管的结电容，并可分析二极管的CV特性。
TH510系列半导体C-V特性分析仪支持C-V特性曲线分析，可以以对数、线性两种方式实现曲线扫描，可同时显示多条曲线：
同一参数、不同Vg的多条曲线；同一Vg、不同参数多条曲线。
TH510系列同时支持多种曲线扫描模型。
曲线支持散点标记及粗细调节 Ciss-Rg曲线扫描
D.曲线扫描功能（选件）
在MOSFET的参数中，CV特性曲线也是一个非常重要的指标，如右图
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F.等效模式转换
TH510系列功率器件CV特性分析仪测试结果的电容C均为
串联模式Cs，对于部分需求测试并联模式Cp需求的客户，可自
行切换。
G.多种独特技术，解决自动化配套测试痛点
在配套自动化设备或者产线时，经常会遇到下列问题，
同惠针对多种情况进行了优化。
1） 独特技术解决Ciss、Coss、Crss、Rg产线/自动化
系统高速测试精度
同惠电子在电容测试行业近30年的经验积累，得以在产
线、自动化测试等高速高精度测试场合，都能保证电容、电
阻等测试精度。
常规产线测试，提供标准0米测试夹具，直插器件可直接
插入进行测试，Ciss、Coss、Crss、Rg测试精度高。
针对自动化测试，由于自动化设备测试工装通常需要较长连接线，大多自动化设备生产商在延长测试线时会带来很大的精度
偏差，为此，同惠设计了独特的2米延长线并内置了2米校准，保证Ciss、Coss、Crss、Rg测试精度和0米测试夹具一致。
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2）接触检查（Contact）功能，提前排除自动化测试隐患
在高速测试特别是自动化测试中，经常会由于快速插拔或闭合，造成
测试治具或工装表面磨损、引线断裂而接触不良，接触不良的造成的最直
接后果是误判测试结果而难以发现，在废品率突然增加或发出产品故障原
因退回时才会发现，因此是一个极大的隐患。
同惠TH510系列半导体C-V特性分析仪采用了独特的硬件测试方法，
采用了四端测量法，每个脚位均有两根线连接，若任意一根线断裂或者
接触点接触不良，均可及时发现并提供接触不良点提示，仪器自动停止测
试，等待进一步处理。
保障了结果的准确性，同时利于客户及时发现问题，避免了不良品率
提高及故障品退回等带来的损失。
接触不良提示
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可自定义阈值电压大小及开启、关闭
3）快速通断测试（OP_SH）,排除损坏器件
在半导体器件特性测试时，由于半器件本身是损坏件，特别是多芯器件其中一个芯已经损坏的情况下，测试杂散电容仍有可
能被判断为合格，而半导体器件的导通特性才是最重要的特性。
因此，对于本身导通特性不良的产品进行C-V特性测试是完全没有必要的，不仅仅浪费了测量时间，同时会由于C-V合格而混
杂在良品里，导致成品出货后被退回带来损失。
TH510系列半导体C-V特性分析仪提供了快速通断测试（OP_SH）功能,可用于直接判断器件本身导通性能。
4）Crss+Plus功能，解决自动化测试系统高频下Crss负值问题
Crss电容通常在pF级，容量较小，测试是个难题。
而在自动化测试系统中，由于过多的转接开关、过长测
测试引线等带来的寄生参数。
因此，测试Crss，特别是在高频测试时通常会出现负
值，
同惠电子凭借在电容器测试行业30年的技术及经验积
累，采用独特的算法的Crss Plus模式，可保证即使是在自动
化测试系统中、高频下也能测的正确的结果。
短路提示
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针对模组式器件如双路（Dual）MOSFET、多组式
IGBT，有些器件会有不同类型芯片混合式封装，TH510系列
CV特性分析仪针对此情况做了优化，常见模组式芯片Demo
已内置，特殊芯片支持定制。
仪器提供了 1 0 档
分选，为客户产品质
量分级提供了可能，
分选结果直接输出至
HANDLER接口。
在与自动化设
备连接时，怎么配置
HANDLER接口输出，
一直是自动化客户的
难题，TH510系列将
HANDLER接口脚位、
输入输出方式、对应信
号、应答方式等完全可
视化，让自动化连接更
简单。
5）漏源高压击穿保护技术，防止损坏测试仪器 7）模组式器件设置，支持定制
8）10档分选及可编程HANDLER接口
6）Interlock互锁功能，确保高压下操作环境安全(仅TH513)
在测试功率器件电容时，漏极D通常会加上高压，特别
是第三代功率半导体器件，电压甚至可高达1000V-3000V，
当漏源瞬间击穿时，常会导致电容器瞬间短路放电，在漏源
电压1500V时，放电电流可高达780A，如此大的瞬间电流，
会反冲至仪器内部电路，并导致损坏。
同惠高压击穿保护技术，解决了此隐患，避免经常由于
高压冲击损坏仪器，降低了维修成本的同时提高了自动化测
试的效率。
在测试功率器件需施加高压，因此对于操作者及其他设
备的安全隔离非常重要，特别是在自动化产线，通常会将高
压设备放置在一个隔离的环境，并通过安全门开启关闭来保
证操作者的安全。
TH510系列功率器件CV特性分析仪配置了Interlock接
口，可与安全门开关连接，在安全门开启时切断高压输出并
禁止仪器启动，只有关闭后才能正常工作。确保了操作者和
设备的安全。
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I.支持定制化，智能固件升级方式
同惠仪器对于客户而言是开放的，仪器所有接口、指令集均为开放设
计，客户可自行编程集成或进行功能定制，定制功能若无硬件更改，可直
接通过固件升级方式更新。
仪器本身功能完善、BUG解决、功能升级等，都可以通过升级固件
(Firmware)来进行更新，而无需返厂进行。
固件升级非常智能，可以通过系统设置界面或者文件管理界面进行，
智能搜索仪器内存、外接优盘甚至是局域网内升级包，并自动进行升级。
J.半导体元件寄生电容知识
在高频电路中，半导体器件的寄生电容往往会影响半导体的动态特性，所以在设计半导体元件时需要考虑下列因素：
在高频电路设计中往往需要考虑二极管结电容带来的影响；MOS管的寄生电容会影响管子的动作时间、驱动能力和开关损耗
等多方面特性；寄生电容的电压依赖性在电路设计中也是至关重要，以MOSFET为例。
Rg
H.简单快捷设置
参数可以任意选择，可打开及关闭，关闭参数可有效节约时间和数据传输；延时
时间可自动设置或自行设置；栅极电阻可选漏源短路或漏源开路。
单测设置界面
采用图形化设置界面，功能参数对应
原理图设置一目了然。
列表扫描设置界面 CV扫描设置界面
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符号 名称 测试原理 影响
Ciss 输入电容 漏源短接，用交流信号测得的栅极和源极之间的容，
Ciss = Cgs +Cgd 影响延迟时间；Ciss越大，延迟时间越长
Coss 输出电容 栅源短接，用交流信号测得的漏极和源极之间的容，
Coss = Cds +Cgd
Crss越大，漏极电流上升特性越差，这不利于
MOSFET的损耗。高速驱动需要低电容。
Crss 反向传输电容
源极接地，用交流型号测得的漏极和栅极之间的电
容，也称米勒电容反向传输电容等同于栅漏电容。
Crss = Cgd
影响关断特性和轻载时的损耗。
如果Coss较大，关断dv／dt减小，这有利于噪声。
但轻载时的损耗增加。
Rg 栅极输入电阻 Rg被定义漏源短接，偶尔也被定义为漏极开路
K.标配附件
TH26063B 测试夹具 TH26063C 测试夹具 TH26063G 测试延长线
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技术参数
产品型号 TH511E TH511 TH512 TH513
通道数 1 2（可选配4/6通道） 1
显示
显示器 10.1英寸(对角线)电容触摸屏
比例 16:9
分辨率 1280×RGB×800
测量参数 Ciss、Coss、Crss、Rg，四参数任意选择
LCR模式 √ ------
测试频率
范围 1kHz-500kHz 1kHz-2MHz
精度 0.01%
分辨率
10mHz 1.00000kHz-9.99999kHz
100mHz 10.0000kHz-99.9999kHz
1Hz 100.000kHz-999.999kHz
10Hz 1.00000MHz-2.00000MHz
测试电平
电压范围 5mVrms-2Vrms
准确度 ±（10%×设定值+2mV）
分辨率
1mVrms 5mVrms-1Vrms
10mVrms 1Vrms-2Vrms
VGS电压
范围 0 - ±40V
准确度 1%×设定电压+8mV
分辨率
1mV 0V - ±10V
10mV ±10V - ±40V
VDS电压 范围 0 - ±200V 0 - ±1500V 0 - ±3000V
准确度 1%×设定电压+100mV
输出阻抗 100Ω，±2%@1kHz
数学运算 与标称值的绝对偏差Δ，与标称值的百分比偏差Δ%
校准功能 开路OPEN、短路SHORT、负载LOAD、夹具校准
测量平均 1-255次
AD转换时间（ms/次）
快速+：2.5ms(＞5kHz)
快速：11ms
中速：90ms
慢速：220ms
最高准确度 0.5%（具体参考说明书）
Ciss、Coss、Crss 0.00001pF - 9.99999F
Rg 0.001mΩ - 99.9999MΩ
Δ% ±（0.000% - 999.9%）
多功能参数
列表扫描
点数 50点，每个点可设置平均数，每个点可单独分选
参数 测试频率、Vg、Vd、通道
触发模式
顺序SEQ：当一次触发后，在所有扫描点测量，/EOM/INDEX只输出一次
步进STEP：每次触发执行一个扫描点测量，每点均输出/EOM/INDEX，但列表扫描比较器结果只
在最后的/EOM才输出
图形扫描
扫描点数 任意点可选，最多1001点
结果显示 同一参数、不同Vg的多条曲线；同一Vg、不同参数多条曲线
显示范围 实时自动、锁定
坐标标尺 对数、线性
扫描参数 Vg、Vd
触发方式 手动触发一次，从起点到终点一次扫描完成，下个触发信号启动新一次扫描
结果保存 图形、文件
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比较器
Bin分档 10Bin、PASS、FAIL
Bin偏差设置 偏差值、百分偏差值、关
Bin模式 容差
Bin计数 0-99999
档判别 每档最多可设置四个参数极限范围，四个测试参数结果设档范围内显示对应档号，超出设定最大
档号范围则显示FAIL，未设置上下限的测试参数自动忽略档判别
PASS/FAIL指示 满足Bin1-10,前面板PASS灯亮，否则FAIL灯亮
存储调用 内部 约100M非易失存储器测试设定文件
外置USB 测试设定文件、截屏图形、记录文件
键盘锁定 可锁定前面板按键，其他功能待扩充
接口
USB HOST 2个USB HOST接口，可同时接鼠标、键盘，U盘同时只能使用一个
USB DEVICE 通用串行总线插座，小型B类（4个接触位置）；与USB TMC-USB488和USB2.0相符合，阴接头
用于连接外部控制器。
LAN 10/100M以太网，8引脚，两种速度选择
HANDLER 用于Bin分档信号输出
RS232C 标准9针，交叉
RS485 标准差分线
GPIB 24针D-Sub端口（D-24 类），阴接头与IEEE488.1、2和SCPI兼容
开机预热时间 60分钟
输入电压 100-120VAC/198-242VAC可选择，47-63Hz
供电电源功率 不小于130VA
尺寸（WxHxD）mm 430x177x405
重量 16kg
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功率器件CV特性测试解决方案
随着我国加快实现“碳达峰、碳中和”的目标，电气化替代已成为实现目标的关键。
电气化替代是通过功率半导体把光伏、风电、特高压、新能源汽车、高铁等织成一张可循环的高效、可靠、可控能源网络 ，
实现对可再生能源的高效管理和利用降低能耗、减少碳排放。
同时功率半导体 在计算机、交通、消费电子、汽车电子 为代表的 4C 行业应用也越来越广泛。
可以预见，随着新能源爆发式增长，在新能源汽车领域，汽车的动力系统、空调压缩机、充电桩等都需要大量功率半导体器
件；风电和光伏产生的电不能直接并网，需要逆变器、变流器进行电能转化，这会新增大量的功率半导体需求。
随着科技的发展，现有半导体材料已经经过了三个发展阶段：
1. MOS管的寄生电容
以台湾育碧VBZM7N60为例
MOS管具有三个内在的寄生电容：Cgs、Cgd、Cds以及栅极电阻Rg，
由此可见，第三代半导体展现出了高压、高频、高速、低阻的优点，其击穿电压，在某些应用中可高到 1200-1700V。这些
特点带来如下新特性：
• 极低的内部电阻，与同类硅器件相比，效率可提高70%
• 低电阻可改善热性能(最高工作温度增加了)和散热，并可获得更高的功率密度
• 散热得到优化，与硅器件相比，就可采用更简单的封装、尺寸和重量也大大减少
• 极短的关断时间(GaN器件接近于零)，能工作于很高的开关频率，工作温度也更低
这些特性，在功率器件尤其是MOSFET以及IGBT上面的应用最为广泛。
其中，功率器件以MOSFET、IGBT为代表，两者均为电压控制电流型功率开关器件，MOSFET优点是驱动电路简单、开关速
度快、工作频率高，IGBT是由BJT和MOSFET组合成的复合器件，兼具两者的优点：速度快、能耗低、体积小、而且大功率、大
电流、高电压。
MOSFET以栅极（G）极电压控制MOSFET开关，当VGS电压大于阈值电压VGS(th) 时，MOSFET导通。
IGBT同样以栅极（G）极电压控制IGBT开关，当VGE电压大于阈值电压VGE(th) 时，IGBT导通。
因此，在第三代半导体高速发展的同时，测量技术也面临全面升级，特别是高电压、大电流、高频率测试，以及电容特性
（CV）特性。
本方案用于解决MOSFET、IGBT单管器件、多个器件、模组器件的CV特性综合解决
在了解本方案之前，需先了解一下MOSFET、IGBT器件的米勒效应、CV特性等相关知识。
二．功率器件的米勒效应、CV特性
一．前言
半导体材料 禁带宽度（eV） 理论最高温度（℃） 熔点（K） 主要应用
第一代 锗 Ge 1.1 1221 低压、低频、中功率晶体管、光电
硅 Si 0.7 175 1687 探测器
第二代 砷化镓 GaAs 1.4 1511 微波、毫米波器件、发光器件
第三代 碳化硅 SiC 3.05 600 2826 高温、高频、抗辐射、大功率器件
发光二极管、半导体激光器 氮化镓 GaN 3.4 800 1973
氮化铝 AIN 6.2 2470
金刚石 C 5.5 >3800
氧化锌 ZnO 3.37 2248
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三个等效电容是构成串并联组合关系，它们并不是独立
的，而是相互影响，其中一个关键电容就是米勒电容Cgd。
这个电容不是恒定的，它随着栅极和漏极间电压变化而迅
速变化，同时会影响栅极和源极电容的充电。
规格书上对上述三个电容的CV特性描述
由描述可见，三个电容均会随着VDS电压的增加而呈现下
降的趋势。
符号 名称 影响
Ciss 输入电容 Ciss = Cgs +Cgd，影响延迟时间；Ciss越大，延迟时间越长
Coss 输出电容 Coss = Cds +Cgd，Coss越大，漏极电流上升特性越差，这不利于MOSFET的损耗。高速驱动需要
低电容。
Crss 反向传输电容 Crss = Cgd，即米勒电容，影响关断特性和轻载时的损耗。如果Coss较大，关断dv／dt减小，这有
利于噪声。但轻载时的损耗增加。
Rg 栅极输入电阻 影响开关管的开关速度。栅极电阻太大，开关速度显著降低，开关损耗大。
栅极电阻太小，高开关速度带来的是很大的电流电压变化率即强烈的干扰。
在规格书常用Ciss、Coss、Crss这三个参数代替。
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理想的MOS管驱动波形应是方波，当Cgs达到门槛电压之后， MOS管就会进入饱和导通状态。
实际上在MOS管的栅极驱动过程中，由于米勒效应，会存在一个米勒平台。米勒平台实际上就是MOS管处于“放大区”的典
型标志，所以导致开通损耗很大。
由前述知识可见，功率器件的寄生电容的测试，需要满足下列几点：
①由于寄生电容基本在pF级别至nF级别，测试频率至少需要100kHz-1MHz，这些可由参数表找到
②测试寄生电容时，用于测试的LCR或者阻抗分析仪至少需要2路直流电源，其中VDS需要电压很高，由几十V至几百V，第三
代半导体功率器件甚至需要几千V。
③参数表中CV特性曲线，需要可变的VDS，因此DS电压源需要可调电源。
米勒平台形成的详细过程：
2. MOS管的米勒效应
3. 寄生电容、CV特性、栅极电阻Rg测试技术
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具体几个寄生电容极栅极电阻测试原理如下：
1） 输入电容Ciss
2） 输出电容Coss
3） 反向传输电容Crss
4） 栅极电阻Rg
漏源（DS）短接，用交流信号测得的栅极和源极之间的电容
Ciss = Cgs +Cgd
栅源GS短接，用交流信号测得的漏极和源极之间的电容
Coss = Cds +Cgd
源极G接地，用交流信号测得的栅漏GD极之间的电容，也称米勒电容
Crss = Cgd
漏源DS短接，或开路，用交流信号测得栅源GS间交流电阻
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现今，市场上功率器件CV特性测试仪器，普遍存在下列痛点：
1. 进口设备
进口设备功能全、一体化集成度高、测试准确，但是有如下缺点：
a) 价格昂贵，动则几十万甚至上百万的价格，一般企业很难承受。
b) 操作繁琐，集成了太多功能加上大多英文化的操作界面，对于用户操作并不友好。
c) 测试效率低，一台设备可能完成动态特性、静态特性的全部测试，但是接线复杂、操作难度大，测试结果用时较长，
测试效率无法保障。
2. 国产设备
在进口设备无法满足用户测试需求的情况下，国产设备应运而生，以相对功能单一、操作方便、价格低廉快速占领了一部分
市场，但是，这些设备同样也有如下缺点：
a） 体积庞大，大多数国产设备，由于没有专业的电容测试经验，通常是用几台电源、一台LCR、工控机或者PLC、机箱、
测试工装等组合而成，因此体积过大，无法适用于自动化产线快速生产。
b） 漏源电压VDS过低，大多最高只能达到1200V左右，已无法满足第三代半导体功率器件测试需求。
c） 测量精度低，由于缺乏专业电容测量经验，加上过多的转接，导致电容特别是pF级别的小电容无法达到合适的测量精度。
d） 测试效率低，同样由于组合仪器过多，加上需用工控机或PLC控制过多仪器，导致测试单个器件时间过长。
e） 扩展性差，由于设备过多，各种仪器不同的编程协议，很难开放第三方接入以集成至客户产线自动化测试整体方案中。
针对当前测试痛点，同惠电子作为国产器件测量仪器头部企业，责无旁贷的担负起进口仪器国产化替代的责任，本着为
客户所想、为客户分忧的精神，契合市场热点及需求，及时推出了针对半导体功率器件CV特性的一体化、系列化解决方案。
单管或者多个MOSFET、IGBT测试解决方案
单管器件或者多个单管器件测试相对简单，同惠提供了TH510系列半导体C-V特性分析仪即可满足基本测试要求。
TH510系列半导体半导体C-V特性分析仪基本情况如下：
三．半导体功率器件CV特性测试痛点
四．同惠半导体功率器件CV特性解决方案
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a） 实验室、产线工作台
对于实验室、产线工作台应用，一台单机即可完成全
部测试，提供了标准化直插治具，对于直插式MOSFET或
IGBT器件，直接插入治具即可进行测试；同时可以测试最
多6个单个器件。
优势如下：
· 体积小，便于集成
· 测试精度高
· 测试速度快，测试效率高
· 性价比高，比国产系统更便宜
· 操作简单方便
· 功能可定制化
应用场景
b） 产线自动化测试
针对产线自动化测试，公司提供了2米延长线便于客户
自己改装自动化产线工装改装，仪器出厂前已校准好2米
线测试数据，保证只要按标准要求改装，不会损失测试精
度。
仪器已标配了HANDLER接口，可自行编程每个信号线
的输入输出电平及信号特征，便于与自动化产线进行I/O信
号交互。
仪器内置了SCPI、MODBUS标准编程指令协议，用户
可自行编程集成到产线自动化测试系统中，同惠也提供标
准化上位机软件或定制特殊需求的上位机软件。
优势如下：
· 提供2米扩展延长线
· 测试精度高
· 测试速度快，测试效率高
· 标配HANDLER接口
· 操作简单方便
· 功能可定制化
基本参数
特点
型号 TH511 TH512 TH513
测试频率 1kHz-2MHz
通道 标配2通道，可扩展4/6通道 标配2通道
测试参数 Ciss、Coss、Crss、Rg（MOSFET）或Cies、Coes、Cres、Rg（IGBT）
测试方式 点测、列表扫描、图形扫描(选件)
VGS范围 0-±40V
VDS范围 0 - ±200V 0 - ±1500V 0 - ±3000V
分选 10档
接口 RS232C、USB HOST、USB DEVICE、LAN、GPIB、HANDLER
编程协议 SCPI、MODBUS
体积小： LCR+VGS电源+VDS电源+高低压切换开关+软件集成在一台仪器内部，体积仅430mm(W)x177mm(H)x405mm(D)
集成度高： 无需上位机软件，仪器本身即可测试4个参数及多种曲线
操作方便： 10.1寸触摸屏，Linux操作简单
提供标准工装，直接插入器件即可测试
精度高： 以同惠30年阻抗测试基础，全部转接开关内置，开路/短路校准技术保证了电容和电阻测试精度和单机一样
VDS高： 最高可达200V/1500V/3000V
通道多 标配2通道，可扩展至6通道，适合多个单管器件或模组器件测试
扩展性好： 提供RS232C、USB、LAN接口
SCPI协议
支持HANDLER接口交互
可方便集成与自动化产线或功率电子测试系统
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五．多芯器件或模组MOSFET、IGBT测试方案
多芯器件、模组器件由于内部集成多个MOSFET、IGBT芯片，而且内部电路比较复杂，因此，测试相对复杂。
实物图
等效电路图（部分）
由上图可见，部分多芯器件、模组器件由于脚位众多、核心多、有贴片封装、异形封装等，如果用单机去测试，接线都
很困难，而要完成整颗器件测试更是难上加难。
因此，同惠为此开发了针对模组式器件的测试系统
1） 系统结构
整套系统基于TH510系列半导体CV特性分析仪，加上定制工装、上位机软件等组成了一套完整的测试、数据分析系统。
可替换治具头，匹配不同
封装功率器件
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2） 上位机软件
测试软件采用同惠测试系统通用框架，根据不同产品或不同需求会有相应更改
<<< 测试页面
数据编辑页面 >>>
<<< 数据记录页面
权限设置页面 >>>
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元器件参数测试仪
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清单可根据不同需求定制
序号 设备名称 型 号 单位 数量 备注
1 半导体CV特性分析仪 TH511 台 1 可根据DS电压选择不同型号
2 工控机 研华610 套 1 含无线键盘、鼠标
3 操作台 ----- 台
4 测试治具 套 1 定制
5 系统机柜 TH301 套
6 扫码枪 基恩士SR700 台 1 可根据需求选择
7 系统软件 套 1 定制
3） 整套测试系统配置清单
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元器件参数测试仪
-阻抗分析仪
TH2851 精密阻抗分析仪
5个型号可选(10Hz-130MHz)
随机附件： TH26047A 四端对测试夹具
TH26005D 四端对测试夹具
TH26082A 100Ω标准件
TH26010 镀金短路板
TH26061D_P1 校准套件
AR05TTS1000N 贴片电阻
选配件： TH26007A 磁环测试夹具
TH26008A SMD元件测试夹具
TH26009B SMD元件测试钳
TH26048B 四端对测试夹具
TH26062A 四端对测试夹具
TH26063 四端对测试夹具
TH26108C 四端对贴片测试夹具
TH26077 电介质测试夹具
TH26086 TH2851-7mm夹具
TH26088 TH2851磁导率测试夹具
TH26086_CAL TH2851-7mm夹具校准套件
等适用于电桥的夹具配件或定制
附件
体积（mm）：428 (W)×220(H)×325(D)
净重：14.5kg
尺寸/重量
• 无源元件：
电容器、电感器、磁芯、电阻器、压电器件、变压器、芯片组件和
网络元件等的阻抗参数评估和性能分析。
• 半导体元件：
LED驱动集成电路寄生参数测试分析；变容二极管的C-VDC特性；
晶体管或集成电路的寄生参数分析
• 其它元件：
印制电路板、继电器、开关、电缆、电池等阻抗评估
• 介质材料：
塑料、陶瓷和其它材料的介电常数和损耗角评估
• 磁性材料：
铁氧体、非晶体和其它磁性材料的导磁率和损耗角评估
• 半导体材料：
半导体材料的介电常数、导电率和C-V特性液晶材料：液晶单元的
介电常数、弹性常数等C-V特性
应用领域
• TH2851系列阻抗分析仪是常州同惠电子采用当前国际先进的自
动平衡电桥原理研制成功的新一代阻抗测试仪器，为国产阻抗测试
仪器的最新高度。
TH2851系列阻抗分析仪彻底改变了传统国产仪器复杂繁琐
的操作界面，基于Windows10操作系统，实现了全电脑化操作界
面，让测试更智能、更简便。
TH2851系列阻抗分析仪也彻底超越了国外同类仪器120MHz
的频率瓶颈；解决了国外同类仪器只能分析、无法单独测试的缺
陷；中英文操作界面也解决了国外仪器仅有英文界面的尴尬；采用
单测和分析两种界面，让测试更简单。
快达2.5ms的测试速度、及高达40MΩ的阻抗测试范围可以满
足元件与材料的测量要求，特别有利于低损耗(D)电容器和高品质
因数(Q)电感器的测量。四端对的端口配置方式可有效消除测试线
电磁耦合的影响，将低阻抗测试能力的下限比常规五端配置的仪器
向下扩展了十倍。
简要介绍
• 测试频率：10Hz-130MHz • 基本阻抗精度：0.08%，典型值≤±0.045%
• 高精度：采用自动平衡电桥技术，四端对测试配置
• 高稳定性和一致性
• 高速度：最快达2.5ms的测试速度
• 高分辨：10.1英寸电容式触摸屏，分辨率1280*800
• 点测、列表扫描、图形扫描、等效电路、晶体振荡器分析五种
测试方式
• 1601点多参数列表扫描功能
• 四参数测量
• 自动电平控制（ALC）功能
• 4通道图形扫描功能，每通道可显示4条曲线，通道和曲线有14
种分屏显示方式
• 分析功能：等效电路分析、晶体振荡器分析、压电分析、
曲线轨迹对比、介电常数分析（选件）、磁导率分析（选件）
• 强大的分选：LCR模式10档分选
• 图形扫描模式每条曲线单独分选，频率分段扫描并分选
• 高兼容性：支持SCPI指令集，兼容KEYSIGHT E4990A、
E4980A、E4980AL、HP4284A
性能特点
RS232
HANDLER HMDI
GPIB
USB HOST
VGA
LAN
USB DEVICE
SCPI
TH2851系列阻抗分析仪包括以下几种类型：
简要参数 TH2851
- 015
TH2851
- 030
TH2851
- 050
TH2851
- 080
TH2851
- 130
测试频率 10Hz
-15MHz
10Hz
-30MHz
10Hz
-50MHz
10Hz
-80MHz
10Hz
-130MHz
基本精度 0.08%
AC信
号源
电压 5mVrms - 2Vrms
电流 200μA - 20mArms
DC偏
置
电压 0V - ±40V
电流 0mA - ±100mA
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元器件参数测试仪
-阻抗分析仪
功能特点
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A.高精度
宽带自动调零型自动平衡电桥技术的应用，得以在10Hz-130MHz频率、25mΩ-40MΩ的阻抗范围内都能达到理想的10%测量
精度，其中最高精度达0.08%，远远高于射频反射测量法的阻抗分析仪、网络分析仪的精度。
下图是在速度5、测试频率1MHz，测量100Ω电阻的曲线，
由下图可见其轨迹噪声≦0.003%（≦±0.0015Ω）
B.高稳定性和高一致性 C.高速度
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元器件参数测试仪
-阻抗分析仪
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F.强大的分析图形界面
G.分段扫描功能
最多可以4通道同时显示，每个通道
可以最多显示4条曲线。通道和曲线各有
十四种分屏显示方法。
分段扫描是在一个扫描周期内，设置不同的频率分段进行扫描，扫描时可设置不同的电平及偏置，扫描结果直接图形显示，
用于需要快速筛选多个频率段参数的扫描需求。
如晶体谐振器需要测试标称谐振/抗谐振频率以及其他杂散频率，通过分段扫描功能可在特定频率范围内扫描测量，无需扫描
不相关频率
单通道四曲线显示
双通道双曲线显示
单通道单曲线
四通道四曲线
10.1寸触摸屏、1280*800分辨率，Windows10系统、中英
文操作界面，支持键盘、鼠标、LAN、VGA/HDMI接口，带来的
是无以伦比的操作便捷性。
大屏幕带来更多的好处是，可以把所有测试参数及分选参
数、分选结果、功能选择等参数放置在同一屏幕，而且看起来绝
不拥挤和杂乱，同时可以显示四种测量参数，四种测量参数任意
可调。屏幕左边的按钮可以快捷选择8套测试参数
可以最多设置1601点的列表扫描，每个点可以单独设置测试
频率、测试电压、直流偏置等测试条件。
D.10.1寸大屏，四种测量参数，让细节一览无遗 E.增强的列表扫描功能
通道 显示窗口 单个窗口可以设置不同扫描
条件
曲线 测量参数 每个窗口可以设置4条曲线
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元器件参数测试仪
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H.强大的光标分析能力
TH2851系列精密阻抗分析仪具有强大的光标分析能力，可以通过光标实现如下功能：
1. 读取测量结果的数值（作为绝对数值或者相对于参考点的相对值）
2. 查找曲线上的特定点（光标查找）
3. 分析曲线测量结果，计算统计数据
4. 使用光标值修改扫描范围以及纵坐标缩放
TH2851 可以在每条曲线上显示 10 个光标，包括了参考光标。
每个光标有一个激励值（坐标系 X 轴对应的数值）和响应值（坐标系 Y 轴对应的数值）。
光标查找功能允许搜索下列条件测量点：
最大值、最小值
峰谷值： 峰值（极大值）、谷值（极小值）、光标左侧最近的峰谷值、光标右侧最近的峰谷值、多重峰谷值
目标值： 距离光标最近的目标值、光标左侧最近的目标值、光标右侧最近的目标值、多重目标值
2） 等效电路分析测试
现实生活中不同类型的器件可以被等效成简单的三参数四种模型、四
参数三种模型的阻抗器件，等效电路分析测试功能提供了7种基本的电路
模型用于等效这些器件。
可以通过仿真的等效电路参数值的阻抗拟合曲线与实际测量的阻抗曲
线进行对比，还可以通过您输入的参数按照所选择的模型进行拟合。
等效的电路模型可以直接输出成TXT文档方便用户保存使用
I.强大的图形分析功能
1） 曲线分选功能
可以对扫描曲线全部或者部分区域的测试值进行合格/不合格判断，常用于谐振曲线筛选如压电元件等谐振频率。
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元器件参数测试仪
-阻抗分析仪
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3） 晶体振荡器分析（压电器件分析）
对晶体振荡器进行测量以及性能分析，测量计算后获取晶体的谐振
频率、反谐振频率、品质因数等重要参数。
同时，对于其他压电器件如压电陶瓷滤波器、压电陶瓷陷波器、
压电陶瓷鉴频器、压电陶瓷变压器、大功率超声波发生器、换能器（振
子）、声表面波器件、电声器件等都可以测试如静态电容、损耗、谐振
频率、反谐振频率、机械耦合系数等参数。
4） 曲线轨迹对比
曲线轨迹对比用于对被测件进行连续测量，所有曲线显示在同一个坐标系中。由下列两种应用：
a) 针对多种不同被测件
对比不同测量条件下的曲线轨迹
设置不同的频率点，计算出所有曲线在该频率点的测量值
b) 针对同一个被测件
对比同一个条件下测量的多次测量结果重复性
设置不同频率点，计算出所有曲线在该频率点的测量值
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元器件参数测试仪
-阻抗分析仪
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J.介电常数分析（选件）
TH2851系列精密阻抗分析仪支持介质材料介电常数、介质损耗分析，需选购测试夹具及分析软件。
1.配置
2.TH26077介质材料测试夹具
1）外形结构
2）基本参数
3）测试原理
4）介电常数公式
TH26077电介质材料测试夹具是设计在TH2851上进行准确的介电常数及介质损耗测量的夹具。通过使用平行板方法测量
固态材料的介电常数，从而消除离散电容。
CP：测试仪器测出的等效并联电容值（F）
ta ：被测材料的平均厚度（m）
A ：屏蔽电极中测试电极的面积(m2
)
d ：屏蔽电极中测试电极的直径（m）
屏蔽电极A1 ：38×10-3 [m]
屏蔽电极A2 ：5×10-3 [m]
ε0 ：自由空间介电常数8.854×10-12 [F/m]
序号 型号 必选项
1 TH2851 阻抗分析仪主机 √
2 TH26077 介质材料测试夹具 √
3 TH2851 介电常数测试软件 √
测试频率 DC-30MHz
测量参数 电容（C）、耗损因数（D）、介电常数（εr', εr''）
测试电极 电极种类 被测材料直径 被测材料厚度
屏蔽电极A1 40mm - 56mm ≤10mm
屏蔽电极A2 10mm - 56mm ≤10mm
测试原理 平行板测量法
清零 开路、短路
屏幕电极A屏蔽端
非屏幕电极B
测试磁场示意图
被测材料
测试电极
Cp
屏幕电极A中心电极
屏蔽电极A1
屏蔽电极A
电极A固定螺钉
千分尺小旋钮
非屏蔽电极B
电极A压力
弹簧
一个控制电极B的螺钉孔
屏蔽电极A2
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元器件参数测试仪
-阻抗分析仪
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3.介电常数分析软件
该软件为选件，开通后在TH2851界面直接选择对应的参数即可，分别可以单测、列表扫描、曲线扫描，下图为曲线扫描
界面。
K.磁导率分析
TH2851支持磁性材料磁导率测试，在主机的基础上，需选配测试夹具及磁导率分析软件，具体配置如下：
1.配置
2.测试夹具
1）TH26086转接底座 2）TH26088磁导率测试夹具
序号 型号 必选项
1 TH2851 阻抗分析仪主机 √
2 TH26086 测试夹具底座 √
3 TH26088 磁导率测试夹具 √
4 TH2851 磁导率测试软件 √
5 TH26086_CAL夹具校准套件 √
测试频率 DC - 130MHz
最高电压 ±42V 峰值（AC+DC）
工作温度 0°C - 40°C
测试频率 1kHz - 1GHz
样本尺寸 高度h 内径范围b（直径） 外径范围c（直径）
小型部件用 ≤ 3 mm ≥ 3.1 mm ≤ 8 mm
大型部件用 ≤ 8.5 mm ≥ 5 mm ≤ 20 mm
用于将4端对转换成N型7mm底座，适配其他测试夹具
如TH26088磁导率测试夹具。
TH26086为必选项，若未选购，TH26088将无法正确测
量。
TH26088可精确测量环形磁性材料的磁导率。由于该夹
具的结构是环形线圈绕一圈（无漏磁），因此不需要绕环形线
圈的导线，而且允许广泛的频率覆盖。 它配有一个小型和一
个大型夹具，适应各种尺寸，是测量磁性材料的理想结构。
技术参数 技术参数
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元器件参数测试仪
-阻抗分析仪
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3.测试原理
2）有效磁导率μ'e、μ\"e
1）磁导率基本概念
采用电感测量法测量，在环形磁芯的磁芯上缠绕导线，并放置在一个密闭的圆柱形空间内（TH26088夹具），通过阻抗
分析仪测量导线两端的电感（自感），根据测试电感量及下列公式推导出有效磁导率。
磁导率是材料与磁场的相互作用，等于电感 B
（磁感应强度）与磁场强度 H 的比值
复数相对导磁率 (μ*r) 由实部和虚部组成
实部 (μ'r)：储存电能
虚部 (μ＂r)：消耗能量
也是真空导磁率 (μ0)的复数导磁率μ*r)
损耗角正切 tanδ为无效导磁率，是实部 (μ'r)
和虚部 (μ＂r)的比值
Reff 磁芯损耗 (包括线路电阻) 的等效电阻
Leff 环形线圈的电感
RW 线路电阻
N 匝数
磁芯的平均磁路长度 [m]
A 环形磁芯的横截面积 [m2
]
ω 2πf (角频率)
μ0 真空导磁率=4π×10-7 [H/m]
3）相对导磁率μ
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元器件参数测试仪
-阻抗分析仪
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4.磁导率分析软件
选择开通磁导率分析软件之后，仪器便可以在单测、列表扫描、曲线扫描中直接选择磁导率参数，直接在界面显示测试
结果
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L.标配附件
M.选配附件
TH26007A磁环测试夹具 TH26108C四端对贴片测试夹具
TH26063四端对测试夹具
TH26047A四端对测试夹具 TH26082A 100Ω标准件 TH26010 镀金短路板 ❶TH26061D_P1 校准套件
❷AR05TTS1000N 贴片电阻
TH26005D四端对测试夹具
TH26008ASMD 元件测试夹具 TH26009B SMD元件测试钳 TH26062A四端对测试夹具
TH26048B四端对测试夹具 TH26077电介质测试夹具 TH26086 TH2851-7mm夹具 TH26088 TH2851磁导率测试夹具
TH26086-CAL
7mm夹具校准套件
·工作频率：DC-40 MHz
·最大偏置：±42 V
·应用：SMD器件，尤其高频小电
容≤3pF或小电感≤1µH，测试频率
≥100kHz,且对D和Q要求高的器件
·工作频率： DC-120MHz
·最大直流偏置: ±42V
·应用：小型磁环单匝电感量测
试，尺寸大小可定制
·工作频率: DC-100kHz
·最大直流偏置：±42V
·应用：测试螺栓电容器，
DC_LINK电容
·工作频率：DC-120 MHz
·最大直流偏置: ±42 V
·应用：用于导线类器件的阻抗
测试，带屏蔽接地端
·工作频率：DC-120 MHz
·最大直流偏置: ±42 V
·工作频率： DC-120MHz
·最大直流偏置: ±42V
·应用：SMD 器件，尤其高频小
电容≤3pF或小电感≤1µH。测
试 频率≥100kHz
·工作频率：DC-15 MHz
·最大直流偏置：±42V
·应用：用于各种 SMD 器件测试
·工作频率: DC-100kHz
·最大直流偏置：±42V
·应用：测试电动汽车用薄膜大容
量DC_LINK电容
·工作频率：DC-30 MHz
·DUT尺寸：10mm – 56mm
·DUT厚度：≤10mm
·应用：固体材料的介电分析
·工作频率：DC-130 MHz
·应用：四端对接口转7mm接口
·工作频率：DC-130 MHz
·DUT尺寸：≤20mm
·DUT厚度：≤8.5mm
·应用：磁性材料复数磁导率分析
·工作频率：DC-13 MHz
·最大直流偏置：±42 V
·应用：用于各种直插式轴向和径
向阻抗器件
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