三丰精密量仪 2025-2026 产品目录 - 电子画册在线预览、各类电子画册在线制作-云展网平台

11-6

传感器・设备组合单元

非接触式传感器(线性激光传感器)

在多传感器系统中，该设备用于向传感器分配电能和同步传感器。

非接触线性激光传感器

SurfaceMeasure-S 系列

附件(选件)

传感器网络集线器 Master

结合了光学技术和传感器技术的线性激光传感器。

・最大测量宽度：100 mm

・测量范围：80 mm

・Z轴重复性：0.5 µm

Master2410

附件(选件)

输入/输出电缆

用于电源供应和控制的电缆，传感器无需使用连接外部输入/输出设备和传感器的电缆。

Master。

附件(选件)

电源和Ethernet电缆

附件(选件)

Master电缆

用于连接传感器和Master的电缆。

11传感器

・设备组合单元接触式传感器非接触式传感器栅尺单元附件

・选件

11-7

传感器・设备组合单元

非接触・高精度激光测长系统

激光测径仪

由于采用了超高精度扫描电机，该系列产品具有很高的测量速度。

还可以满足线性精度等高精度需求。

544系列

接口装置

I/F module

544系列

紧凑、薄型控制器，可安装在配电盘和设备中。

LSM-CU-A

有四种类型的接口可供选择，因此您可以选择合适的接口来满足生产

线要求。

通过插入到控制器中，无需改变布局即可追加。

专为联入生产线使用而开发的通用传感器。

・测量范围：0.3 mm～30 mm

・保证重复性(2σ)：±0.06 µm(ø10 mm)

・保证线性度：±1.0 µm

・激光扫描次数：3,200次/秒

专为联入生产线使用而开发的超细线用传感器。

・测量范围：0.005 mm～2 mm

・保证重复性(2σ)：±0.015 µm(ø1 mm)

・保证线性度：±0.3 µm

・激光扫描次数：3,200次/秒

・连接并控制LSM-02-A/30-A(传感器)

・紧凑、薄型设计，可安装在配电盘和设备中

・支持无工具、一键式拆装到DIN导轨上

・USB Type-C、IO输入输出、工业用接口(选件)

・标配可实现轻松设定的设定用软件

544系列

测量部

LSM-02-A

544系列

测量部

LSM-30-A

11传感器

・设备组合单元接触式传感器非接触式传感器栅尺单元附件

・选件

11-8

传感器・设备组合单元

非接触・高精度激光测长系统

激光测径仪

由于采用了超高精度扫描电机，该系列产品具有很高的测量速度。

还可以满足线性精度等高精度需求。

544系列

附件(选件)

标准校准规套装

适用于激光测径仪校准的基础量规。量规尺寸

仅为一个方向一处的检测值。

544系列

附件(选件)

电线导向滑轮

用于辅助细线状件工件(磁性导线或光纤等)实

现稳定的外径测量。

(适用于LSM-02-A)

可轻松设置轴类等工件，也可调节高度，从而

实现高精密测量。

(适用于LSM-30-A)

544系列

附件(选件)

工作台

544系列

附件(选件)

信号延长/中继延长电缆

测量部和显示部分隔远距离使用时，需要连接

信号延长电缆。激光发射/接收装置分开使用

时，需要连接中继延长电缆。

激光发射/接收窗口被烟雾和灰尘附着时，激

光发射/接收装置上的出风口会吹出清洁的空

气，防止激光发射/接收窗口被污染。

(适用于LSM-30-A)

具有抑制因测量空间中空气波动而引起测量值

变化的效果。

(适用于LSM-30-A)

544系列

附件(选件)

空气罩

544系列

附件(选件)

激光光路稳定罩

544系列

附件(选件)

可调工作台

通过上下左右滑动机构，可轻松测量多种工件

的直径。

(适用于LSM-30-A)

11传感器

・设备组合单元接触式传感器非接触式传感器栅尺单元附件

・选件

11-9

传感器・设备组合单元

控制用直线栅尺

(线性编码器)

在直线方向上标有刻度，以数字数据输出移动量和位移量。用于NC机床、半导

体制造设备、检查设备等的定位和控制。

增量系统敞开式栅尺单元

ST46-EZA

搭载用按钮操作的“信号自动调整功能（EZA功能）”。具有宽松的安装允

许范围。此外，使用连接器外壳上配备的“设置指示器”，无需使用示波

器或PC即可轻松进行安装调整。

・检出原理：光电式

・最大有效测量长度：3000 mm

・分辨力：0.05 µm

・最大响应速度：2600 mm/s

绝对系统敞开式栅尺单元

ABS ST1300

采用远心光学系统成像方式。与以往的光电式相比，具有强稳定性(抗

污性优异、更大间隙GAP)。可根据用途从3种安装方式中选择。

・检出原理：光电式

・最大有效测量长度：12000 mm

・分辨力：0.001 µm

・最大响应速度：8000 mm/s

增量系统敞开式栅尺单元

ST36

绝对系统敞开式栅尺单元

ABS ST700

实现了敞开式绝对测量。采用非接触检出，最适合线性电机等的高速、

高加速度控制。

・检出原理：电磁感应式

・最大有效测量长度：3000 mm

・分辨力：0.1 µm

・最大响应速度：5000 mm/s

输出信号周期为4µm的二相正弦波的高精度机型。可根据用户的规格

从4种输出信号波形中选择。

・检出原理：光电式

・最大有效测量长度：3000 mm

・分辨力：0.01 µm

・最大响应速度：1200 mm/s

11传感器

・设备组合单元接触式传感器非接触式传感器栅尺单元附件

・选件

11-10

传感器・设备组合单元

绝对系统封闭式栅尺单元

ABS AT1100

采用电磁感应方式，具有出色的耐水性、耐油性。此外，采用冷却液等难

以入侵的结构和耐冷却液性能高的防尘橡胶材质。这是一款与以往产

品相比，可靠性更高的现场对应型直线栅尺。

・检出原理：电磁感应式

・最大有效测量长度：3040 mm

・分辨力：0.05 µm

・最大响应速度：3000 mm/s

绝对系统封闭式栅尺单元

ABS AT1300

采用远心光学系统成像的方式。与以前的光电式相比，具有强鲁棒性(耐

污、抗划伤)。作为三丰绝对式栅尺，实现了较高分辨力0.001µm。形状细

长，省空间的设计。

・检出原理：光电式

・最大有效测量长度：2200 mm

・分辨力：0.001 µm

・最大响应速度：3000 mm/s

增量系统封闭式栅尺单元

AT211-A, AT211-B

可直接连接控制装置的细长型二相方波输出栅尺。

・检出原理：光电式

・最大有效测量长度：1500 mm

・分辨力：0.1 µm

・最大响应速度：2000 mm/s

11传感器

・设备组合单元接触式传感器非接触式传感器栅尺单元附件

・选件

11-11

传感器・设备组合单元

数字读出系统

(DRO)

可安装在所有机床上，计数值采用数字显示，有助于提高工

作效率。

174系列

计数器(显示部)

KA-200

标配有车床、铣床专用功能的高性能显示装置。

增量系统封闭式栅尺单元

AT113

绝对系统封闭式栅尺单元

ABS AT715

增量系统封闭式栅尺单元

AT103

本体截面尺寸为22×35mm的细长型。可连接KA-200计数器和PSU200。

・检出原理：光电式

・最大有效测量长度：1500 mm

・最大响应速度：2000 mm/s

标准型，具有多种测量范围。可连接KA-200计数器和PSU-200。

・检出原理：光电式

・最大有效测量长度：6000 mm

・最大响应速度：2000 mm/s

绝对系统直线栅尺，采用了耐环境性优异的电磁感应式。

・检出原理：电磁感应式

・最大有效测量长度：3000 mm

・最小分辨力：1 µm

・最大响应速度：833 mm/s

11传感器

・设备组合单元接触式传感器非接触式传感器栅尺单元附件

・选件

11-12

传感器・设备组合单元

572系列

数显标尺测长单元

SD系列作为应用了数显卡尺的测长装置，可在小型机床、夹具及工具类的定位时轻松进行安装。

・检出原理：电磁感应式、静电电容式

・最大有效测量长度：1000 mm

・分辨力：0.01 mm

・响应速度：无限制

ABSOLUTE 数显测长单元作为应用了数显卡尺的测长装置，可在小型机床、夹具及

工具等定位时安装使用。

附件・选件备有与直线栅尺兼容的各种信号调整单元和程序。

接口单元脉冲信号转换单元

PSU-200

PSU-200通过将正弦波转换为方波信号并输出，与NC反馈系统、测量控

制装置、直线栅尺配套使用，以实现高精度的定位、提高分辨力。

接口单元串行信号转换单元

PSU-251/252

PSU-251系列为增量直线栅尺用串行信号转换接口单元。

对象品: SD-G

11传感器

・设备组合单元接触式传感器非接触式传感器栅尺单元附件

・选件

12-1

测量仪器

三坐标测量机

形状测量仪

硬度计

影像测量仪

光学仪器

12-2

■三坐标测量机

通用型……………………………………………………………………………………………12-3

5轴控制型 ………………………………………………………………………………………12-3

高精度型…………………………………………………………………………………………12-3

大型………………………………………………………………………………………………12-4

车间・在线型 ……………………………………………………………………………………12-5

软件………………………………………………………………………………………………12-6

测头………………………………………………………………………………………………12-7

各种选件…………………………………………………………………………………………12-8

■影像测量仪

通用自动测量型…………………………………………………………………………………12-9

高精度测量型……………………………………………………………………………………12-9

多传感器型………………………………………………………………………………………12-10

高精度3D测量型 ………………………………………………………………………………12-11

大型工件测量型…………………………………………………………………………………12-11

细微尺寸测量型…………………………………………………………………………………12-11

软件………………………………………………………………………………………………12-12

手动工作台型……………………………………………………………………………………12-13

2D彩色型 ………………………………………………………………………………………12-13

■光学仪器

投影仪……………………………………………………………………………………………12-14

测量显微镜………………………………………………………………………………………12-15

数据处理装置……………………………………………………………………………………12-16

显微镜单元………………………………………………………………………………………12-17

物镜………………………………………………………………………………………………12-18

可变焦距镜头……………………………………………………………………………………12-19

■形状测量仪

圆度・圆柱度・表面粗糙度・轮廓形状测量仪…………………………………………………12-20

表面粗糙度・轮廓形状测量仪 …………………………………………………………………12-21

轮廓形状测量仪…………………………………………………………………………………12-22

表面粗糙度测量仪………………………………………………………………………………12-22

圆度测量仪………………………………………………………………………………………12-24

■硬度计

显微维氏硬度计・维氏硬度计 …………………………………………………………………12-25

洛氏硬度计………………………………………………………………………………………12-27

12-3

通过检测空间上3个方向的坐标(X、Y、Z)，准确地获取测量工件的位置和形状的三坐标测量机。

广泛的尺寸和测头组合可满足各种测量需求。

高精度CNC三坐标测量机

STRATO-Apex 500/700/900

5轴控制CNC三坐标测量机

CRYSTA-Apex EX 1200R

超高精度CNC三坐标测量机

LEGEX 500/700/900 匠型

桥式通用CNC三坐标测量机

CRYSTA-Apex V500/700/900

搭载了5轴控制扫描测头REVO-2的CNC三坐标测量机。

・E0,MPE：2.9＋4L/1000 µm～(L：测量长度 mm)

实现了高精度、高速、高加速度测量的CNC三坐标测量机。

・E0,MPE：1.7＋3L/1000 µm～(L：测量长度 mm)

彻底分析并排除误差因素，并以匠人的精湛技艺完成了出色的直线度

与直角度，从而打造了超高精度(初项精度0.23µm)的CNC三坐标测量

机。

・E0,MPE：0.23＋L/1000 µm～(L：测量长度 mm)

初项0.7µm的高精度CNC三坐标测量机。

・E0,MPE：0.7＋2.5L/1000 µm～(L：测量长度 mm)

三坐标测量机

高精度型汇集了三丰引以为傲的精密测量技术。备有高速、高加速驱动的机型阵

容。

通用型 5轴控制型

自动测量小型到中型工件。备有适用于测量室、生产

线等各种安装环境的机型阵容。

我们还提供可高效测量具有自由曲面的复杂形状工件

的5轴控制测量型。

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪形状测量仪光学仪器硬度计

12-4

三坐标测量机

桥式通用CNC三坐标测量机

CRYSTA-Apex V1200/1600/2000

STRATO-Apex 1600/2000

龙门型高精度CNC三坐标测量机

STRATO-Apex G

专为支持大尺寸工件的质量评估和组装而开发的大型CNC三坐标测量机。

・E 0,MPE：2.3＋3L/1000 µm～(L：测量长度 mm)

・E 0,MPE：2.5＋4L/1000 µm～(L：测量长度 mm)

适用于大型、重物高精度测量结构(龙门移动、固定在地基上)的CNC三

坐标测量机。

大型备有可测量汽车和大型构造件等大尺寸工件的机型阵容。

汽车车身测量用卧式CNC三坐标测量机

CARBstrato

具有超大测量范围，也可用来测量汽车车身的卧式CNC三坐标测量

机。

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪形状测量仪光学仪器硬度计

12-5

三坐标测量机

在线型CNC三坐标测量机

MACH-V 9106

通过高加速度、高速移动、高速测量实现了高通量的在线型CNC三坐

标测量机。

・E 0,MPE：2.5＋3.5L/1000 µm～(L：测量长度 mm)

在线型卧式CNC三坐标测量机

MACH-3A 653

通过节省空间、高加速度、高速移动、高速测量实现高通量的在线型

卧式CNC三坐标测量机。利用分度台(选件)可覆盖所有测量面。

・E 0,MPE：2.2＋3.5L/1000 µm～(L：测量长度 mm)

在线型CNC小型三坐标测量头

MACH Ko-ga-me

可与移动轴组合，用于构建大型工件测量系统的CNC测量头。

・E 0,MPE：2.4＋5.7L/1000 µm～(L：测量长度 mm)

车间・在线型在生产线中或生产线侧引进三坐标测量机，及早发现不合格品。有助于降

低生产工序的风险并提高生产效率。

生产现场型CNC三坐标测量机

MiSTAR 555/575

以“不挑安装环境”为概念的CNC三坐标测量机。

・E 0,MPE：2.2＋3L/1000 µm～(L：测量长度 mm)

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪形状测量仪光学仪器硬度计

12-6

三坐标测量机

数据处理软件

MCOSMOS

测量程序自动生成软件

MiCAT Planner

点群数据处理软件

MSURF

齿轮测量评价软件

GEARPAK Express

可通过非接触式激光测头SurfaceMeasure获取工件表面点群、进行数

据分析和评价。与MCOSMOS配合，可全自动执行接触测量和非接触

测量。

可一个步骤完成齿轮的齿廓形状误差评价，齿宽·圆柱轴·键槽等的尺寸

测量。

三坐标测量机用的数据处理程序家族也充分考虑了与3D-CAD数据的配

合。

软件备有各种专用软件，用于评价和处理三坐标测量机的测量数据。

读取3D模型，一键自动生成高质量测量程序。大幅缩短测量程序创建

时间。

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪形状测量仪光学仪器硬度计

12-7

三坐标测量机

小型・高精度扫描测头

SP25M

高精度・低测力扫描测头

MPP-310Q

高精度扫描测头

SP80

5轴控制触发式测座

PH20

测头姿势角度无限制的5轴控制触发式测座。

电动测座

PH10MQ

可自动变更测头姿势(最多720个方向)的测座。可

搭载SP25M、SurfaceMeasure、QVP、TP200、

SURFTEST PROBE。

可自动交换测针的高精度触发式测头。

测头备有从接触式到非接触式的各种测头，可对应各种工件的测量。

非接触式线性激光测头

SurfaceMeasure

影像测头

QVP

小型・高精度触发式测头

TP200

粗糙度测量用测头

SURFTEST PROBE

可在三坐标测量机上进行粗糙度测量的测头。

可自动变更姿势的小型·高精度扫描测头。可安装长测针的高精度扫描测头。可进行中心点测量和锁紧扫描的高精度扫描测

头。

通过非接触方式，可大量获取工件表面3D形状

数据的线性激光测头。

可对影像测量仪难以处理的大型· 重型工件进

行画像测量。

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪形状测量仪光学仪器硬度计

12-8

三坐标测量机

CNC三坐标测量机用转台

MRT240、MRT320、QS600/800

三丰测针

为您的质量保障增添完美触感。

可高精度、高效率测量回转体工件(齿轮、叶轮、圆柱凸轮等)。

另外，通过与扫描测头并用进行同时扫描测量，能测量多种多样的轮廓形状，进一步扩展了应用测量范围。

各种选件备有各种选件，可以使三坐标测量机的测量更简单、更高效。

接收板套装(选件)

照片为Eco-fix Kit L。

Eco-fix Kit

测针(CMM用)

固定夹具

Eco-fix Kit

三丰公司固定夹具，可以如同积木式玩具一样组合，能对各种形状的工件进行固定。

因此，不需要制作专用固定夹具就可以轻松地进行测量工件的固定。

MRT240 MRT320 QS600/800

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪形状测量仪光学仪器硬度计

12-9

1台即可对应多种测量的影像测量仪。产品阵容丰富，可满足多样化需求。

影像测量仪

搭载彩色·变焦影像测量仪

QV Active

通用影像测量仪

QV APEX Pro

通过新开发的照明和控制技术，兼顾了高速测量和高精度测量的

CNC影像测量仪。

・E UX/E UY, MPE：1.5＋3L/1000 µm(L：测量长度 mm)

高精度影像测量仪

QV HYPER Pro

超高精度影像测量仪

QV ULTRA

搭载高分辨力、高精度标尺的QUICK VISION Pro的高精度机型。

・E UX/E UY, MPE：0.8＋2L/1000 µm(L：测量长度 mm)

通过高刚性构造和排除误差要因，实现Eux·Euy,MPE初项0.35µm的超高精

度CNC影像测量仪。

・E UX/E UY, MPE：0.35＋1.3L/1000 µm(L：测量长度 mm)

搭载彩色相机和镜头可更换式变焦单元，易于使用的CNC影像测量仪。

・E 1X/E 1Y：2＋3L/1000 µm(L：测量长度 mm)

通用自动测量型兼具高功能性和操作性的影像测量仪。能以非接触方式

测量多种工件。

高精度测量型通用自动测量型的高精度机型。

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪形状测量仪光学仪器硬度计

12-10

影像测量仪

搭载非接触式位移传感器的影像测量仪

QVH1 Pro

通过极小光斑直径的非接触位移传感器，可测量细微形状的复合测量

仪。

・E UX/E UY, MPE：1.5＋3L/1000 µm(L：测量长度 mm)

・E UX/E UY, MPE：0.8＋2L/1000 µm(L：测量长度 mm) 注：Hyper型

搭载非接触式位移传感器的影像测量仪

QVH4 Pro

搭载可测量陡峭斜面和反射率不同表面的非接触式位移传感器的复合

测量仪。

E UX/E UY, MPE：1.5＋3L/1000 µm(L：测量长度 mm)

E UX/E UY, MPE：0.8＋2L/1000 µm(L：测量长度 mm) 注：Hyper型

搭载触发式测头的影像测量仪

QV TP Pro

通过可有效测量侧面和高度的触发式测头，实现接触测量的复合测量

仪。

E UX/E UY, MPE：1.5＋3L/1000 µm(L：测量长度 mm)

E UX/E UY, MPE：0.8＋2L/1000 µm(L：测量长度 mm) 注：Hyper型

多传感器型除了影像测量外，还可以使用各种传感器进行测量。

搭载触发式测头的影像测量仪

QV TP Active

通过可有效测量侧面和高度的触发式测头，实现接触测量的复合测量

仪。

・E 1x/E 1Y：2＋3L/1000 µm(L：测量长度 mm)

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪形状测量仪光学仪器硬度计

12-11

影像测量仪

高精度3D测量型大型工件测量型

1台测量仪实现了坐标尺寸测量和3D形状非接触测

量。通过白光干涉方式，可应对多种测量表面。

本体采用门式移动结构，用于测量大型工件的影像测

量仪。由于工作台不移动，因此简化了工件的固定方

法，适合测量轻薄短小的工件。

非接触式3D测量系统

QVWLI Pro

大型影像测量仪

QV ACCEL

本体采用门式移动结构的大型工件测量用影像测量仪。

・E 1X/E 1Y：1.5＋3L/1000 µm(L：测量长度 mm)

搭载白光干涉仪，可测量亚微米级细微形状的高精度3D测量系统。

・E UX/E UY, MPE：0.8＋2L/1000 µm(L：测量长度 mm)

细微尺寸测量型高精度细微形状测量仪，兼备了测量细微领域和稍大工

件的通用性。

细微形状测量系统

UMAP Vision System TYPE2

搭载细微形状扫描测头的影像测量仪

MiSCAN Vision System

通过最小直径15µm的测针，可进行细微尺寸·形状的接触测量。

・E UX/E UY, MPE：0.8＋2L/1000 µm(L：测量长度 mm)　注：Hyper型

・E UX/E UY, MPE：0.35＋1.3L/1000 µm(L：测量长度 mm)　注：ULTRA型

・E 1X/E 1Y, MPE：1.5＋3L/1000 µm～(L：测量长度 mm) 注：测头测量(UMAP)

通过最小直径125µm的测针，可实现扫描测量的复合测量仪。

・E 1X/E 1Y, MPE：1.5＋3L/1000 µm(L：测量长度 mm)

・E 1X/E 1Y, MPE：0.8＋2L/1000 µm(L：测量长度 mm)　注：Hyper型

・E 0,MPE：1.9＋4L/1000 µm(L：测量长度 mm)　注：测头测量(MPP-NANO)

・E 0,MPE：1.9＋4L/1000 µm～(L：测量长度 mm) 注：测头测量(SP25M)

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪形状测量仪光学仪器硬度计

12-12

影像测量仪

QS-L/AF用软件

QSPAK

QI用软件

QIPAK

实现简单操作和可靠测量，易于初学者使用的软件。通过大景深，对于有阶差的工件也无需对焦，可实现广视场的批量测量。

软件备有从简单测量到复杂测量、兼具功能性和操作性的多种应用软件，适用

于各种测量。

QV用数据处理软件

QVPAK

除高性能影像测量功能外，还可通过各种位移传感器支持形状分析的

软件。

注：MiSCAN Vision System用的数据处理软件是MCOSMOS。

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪形状测量仪光学仪器硬度计

12-13

影像测量仪

手动工作台影像测量仪

QS-L/AFC

2D彩色影像测量仪

搭载了使用彩色相机实现高精细、高速影像自动对焦的影像测量仪。

・测量精度XY：(2.2＋0.02L) µm(L：测量长度 mm)

通过大景深光学系统和广视场画面实现了高效测量的2D影像测量仪。

・E 1XY：±(3.5＋0.02L) µm(L：测量长度 mm)

手动工作台型 2D彩色型

配备快速影像自动对焦功能，只需1台即可进行高度

测量的手动工作台影像测量仪。可对细微部分进行准

确测量。

可以稳定、高精度地测量形状及尺寸不同的各种工件

的2D彩色影像测量仪。通过显示工件整体图像，可

大幅提高测量效率。

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪形状测量仪光学仪器硬度计

12-14

光学仪器

本公司开发了可称为光学仪器之眼的镜头，拥有可应对各种测量课题的丰富的光学产品阵容。

投影仪可将检测物以精确的倍率放大并投影到屏幕上，高效进行测量、检查、观

察。可广泛用于从检查室到生产加工现场的各种安装环境。

光学仪器

302系列

测量投影仪

PJ-PLUS 系列

采用了高耐久性、出色节能性的LED照明和内置计数器的测量投影仪。

・屏幕有效直径：ø315 mm

・投影图像：倒立倒像

・照明：白色LED

303系列

高精度测量投影仪

PJ-H30 系列

投影图像非常明亮清晰，是PJ系列的高端机型。

・屏幕有效直径：ø306 mm

・投影图像：正立正像

304系列

投影仪

PV-5110 系列

搭载500 mm大尺寸投影屏。

适用于与放大图纸的比较测量、投影图像的描图。

・屏幕有效直径：ø508 mm

・投影图像：倒立倒像

172系列

投影仪

PH-3515F 系列

适合立铣刀、刀片、锯片等的测量和观察的投影仪。

・屏幕有效直径：ø353 mm

・投影图像：正立倒像

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪光学仪器形状测量仪硬度计

12-15

测量显微镜所有机型均达到了高等级的精度保证。配备有可直观定位的功能，兼具高

精度和易用性。

Z轴电机驱动测量显微镜

MF-J/MF-UJ/MF-UK

能以大约1秒的“惊人速度”进行对焦的电机驱动高精度测量显微镜。

・测量精度XY：(2.2＋0.02L)µm(L：测量长度 mm)

・观察方法：明视场/暗视场/简易偏光/微分干涉

・Z轴进给机构：电机驱动

176系列

测量显微镜

MF 系列

搭载了专用长工作距离物镜，易于操作的测量显微镜的标准机型。

・测量精度XY：(2.2＋0.02L)µm(L：测量长度 mm)

・观察方法：明视场

176系列

测量显微镜

MF-U 系列

集金相显微镜和测量显微镜的功能于一体，实现了高分辨力观察和高

精度测量。

・测量精度XY：(2.2＋0.02L)µm(L：测量长度 mm)

・观察方法：明视场/暗视场

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪光学仪器形状测量仪硬度计

12-16

工具显微镜

TM500

利用LED照明实现鲜明清晰观察的工具显微镜

・测量范围：50×50 mm、100×50 mm

・最大承载质量：5 kg

数据处理装置

359系列

显微镜用影像测量选件

Vision Unit

自动边缘检出等画像处理可提高测量效率，并减少测量人员的个人误

差。

264系列

2D数据处理装置

QM-Data200

可连接投影仪或测量显微镜进行运算处理的2D数据处理装置。

光学仪器

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪光学仪器形状测量仪硬度计

12-17

光学仪器

378系列

显微镜单元

FS70

带目镜的设备组合用显微镜单元

适用于由转塔进行变倍、由YAG激光进行细微加工

・观察图像：明视场、明暗视场、简易偏光、微分干涉

378系列

视频显微镜单元/广视场显微镜单元

VMU/WIDE VMU

设备集成用显微镜单元

适用于实视场ø30 mm观察的产品阵容

适用于多种观察（明视场、明暗视场、近红外）和激光加工

・观察图像：明视场、明暗视场

显微镜单元具有丰富的设备组合实绩，支持多种观察方法。为电子半导体、金属部件

等的检查分析提供方案。

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪光学仪器形状测量仪硬度计

12-18

光学仪器

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪光学仪器形状测量仪硬度计

物镜涵盖紫外～可见～近红外的宽波段物镜系列。适用于观察、检查、激光加

工。

明视场校正(VIS) 明视场校正(VIS) 近红外校正(NIR)

近紫外校正(NUV) 紫外校正(UV)

明视场观察、长工作距离、平场复消色差规格

明视场观察/近紫外观察/激光加工、长工作距离、平

场复消色差规格

明视场观察/暗视场观察、长工作距离、平场复消色

差规格

明视场观察/紫外观察/激光加工、长工作距离、平场

规格

明视场观察/近红外观察/激光加工、长工作距离、平

场复消色差规格

12-19

光学仪器

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪光学仪器形状测量仪硬度计

可变焦距镜头

TAGLENS-T1

TAGLENS用脉冲照明装置

PLS

通过高速驱动焦距获得大景深、全焦点图像。

・共振频率：70 kHz

・有效光阑孔径：ø11 mm

与TAGLENS-T1组合，用于获取所需位置的对焦图像及实现焦点合成等

的超高速LED脉冲照明装置。

可变焦距镜头备有可大幅扩展焦深的超高速可变焦距镜头的产品阵容。可缩短检查时

间，大幅提高观察效率。

中继光学显微镜单元

VMU-T1

通过集成TAGLENS-T1、物镜及相机，可构建焦距可变光学系统的显微

镜单元。

12-20

形状测量仪

备有丰富的测量仪产品阵容，可以精确测量表面粗糙度、轮廓形状、圆度

等各种形状。

211系列

圆度・圆柱度形状测量仪

ROUNDTRACER EXTREME

高速高精度非接触形状测量仪

ROUNDTRACER FLASH

2D断面轮廓分析软件

FORMTRACEPAK-AP

圆度・圆柱度形状测量分析程序

ROUNDPAK

除了圆度、圆柱度外，还标配平面度、平行度等多种参数，

设计值最佳拟合分析、谐波分析，

还可进行圆周上的最高点最低点检测等特殊分析。

使用2D图像传感器，可在数秒内评价尺寸和形状的非接触形状测量仪。

・测量高度：100 mm、300 mm

・测量直径：60 mm

・最大承载质量：6 kg

对影像测量仪、三坐标测量机、圆度测量仪的主程序获得的测量点群进

行2D轮廓分析和粗糙度分析的选件软件。

形状测量仪

圆度・圆柱度・表面粗糙度・轮廓形状测量仪集圆度、轮廓形状、表面粗糙度测量仪于一体的高端机

型。通过集约工序，有助于缩短测量时间，提高生产

率。

只需1台即可测量表面粗糙度、轮廓形状、圆度、圆柱形状的CNC形状测

量仪。

・旋转精度(径向)：(0.02＋3.5H/10000)µm(H：测量高度mm)

・最大承载质量：60 kg

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪光学仪器形状测量仪硬度计

12-21

形状测量仪

表面粗糙度・轮廓形状测量仪适用于轮廓形状测量和表面粗糙度测量的复合机

型。由于可在一台测量仪上实现两种测量，因此

可减少准备工时，缩短测量时间。

525系列

表面粗糙度·轮廓形状测量仪

FORMTRACER Avant

D3000/4000 系列

525系列

表面粗糙度·轮廓形状测量仪

FORMTRACER Avant

H3000 系列

通过更换检出器，只需1台即可测量表面粗糙度和轮廓形状的复合型测

量仪。

・测量范围(X)：100 mm、200 mm

・粗糙度测量范围(Z1)：800 µm/80 µm/8 µm

・轮廓测量范围(Z1)：轮廓 60 mm

只需1次测量即可评价表面粗糙度和轮廓形状的高精度触针式表面形

状测量仪。

・测量范围(X)：100 mm、200 mm

・测量范围(Z1)：16 mm

525系列

CNC表面粗糙度·轮廓形状测量仪

FORMTRACER Extreme

SV-C4500CNC

FORMTRACER Extreme

SV-C4500CNC HYBRID TYPE1

通过更换检出器，只需1台即可测量表面粗糙度和轮廓形状的CNC复合

型测量仪。

・测量范围(X)：200 mm

・粗糙度测量范围(Z1)：800 µm/80 µm/8 µm

・轮廓测量范围(Z1)：轮廓 60 mm

525系列

CNC表面粗糙度 · 轮廓形状测量仪

FORMTRACER Extreme

CS-5000CNC/CS-H5000CNC

只需1次测量即可评价表面粗糙度和轮廓形状的高精度触针式CNC形

状测量仪。

・测量范围(X)：200 mm

・测量范围(Z1)：12 mm/24 mm

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪光学仪器形状测量仪硬度计

12-22

218系列

轮廓形状测量仪

Contracer CV-2100 系列

218系列

高性能轮廓形状测量仪

FORMTRACER Avant

C3000/4000 系列与测量操作相关的开关集中配置在本体前面，实现了简单、准确、快速

测量的轮廓形状测量仪。

・测量范围(X)：100 mm

・测量范围(Z1)：50 mm

通过高速驱动和各种省时功能实现高效测量的数字轮廓形状测量仪。

・测量范围(X)：100 mm、200 mm

・测量范围(Z1)：60 mm

轮廓形状测量仪备有专门测量轮廓形状的测量仪阵容。可轻松、准确、迅速地进行形状测

量。

表面粗糙度测量仪表面粗糙度专用的测量仪。备有从便携式机型到台式机型的产品阵容，适

用于各种测量场景。

178系列

CNC表面粗糙度测量仪

SURFTEST Extreme

SV-3000CNC

178系列

高性能表面粗糙度测量仪

FORMTRACER Avant

S3000 系列

可自动测量大型、重型、复杂形状工件的CNC表面粗糙度测量仪。

・测量范围(X)：200 mm

・测量范围(Z1)：800 µm/80 µm/8 µm

通过高速驱动和准备工序的自动化单元实现高效测量的表面粗糙度测

量仪。

・测量范围(X)：100 mm、200 mm

・测量范围(Z1)：800 µm/80 µm/8 µm

形状测量仪

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪光学仪器形状测量仪硬度计

12-23

形状测量仪

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪光学仪器形状测量仪硬度计

178系列

表面粗糙度测量仪

SURFTEST SJ-500/SV-2100

SURFTEST SJ-500P/SV-2100M4

高精度、高性能、显示简洁、操作简便的专用控制装置型表面粗糙度测

量仪。

・测量范围(X)：50 mm、100 mm

・测量范围(Z1)：800 µm/80 µm/8 µm

178系列

便携式表面粗糙度测量仪

SURFTEST SJ-410 系列

采用可视性良好的大型彩色液晶显示屏，还可进行细微形状评价的便

携式表面粗糙度测量仪。

・测量范围(X)：25 mm、50 mm

・测量范围(Z1)：800 µm/80 µm/8 µm

178系列

便携式表面粗糙度测量仪

SURFTEST SJ-220/310 系列

接触工件即可测量，操作简单的便携式表面粗糙度测量仪。

・测量范围(X)：5.6 mm、16 mm

・测量范围(Z1)：360 µm

表面粗糙度测量仪表面粗糙度专用测量仪。备有从便携式机型到台式机型的产品阵容，适用

于各种测量场景。

12-24

形状测量仪

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪光学仪器形状测量仪硬度计

211系列

高精度圆度・圆柱度形状测量仪

ROUNDTEST RA-H5200 系列

ROUNDTEST RA-H5200 PLUS 系列

211系列

高性能圆度・圆柱度形状测量仪

ROUNDTEST RA-2200 系列

ROUNDTEST RA-2200 PLUS 系列

可自动调心/调水平并进行高速、高精度测量的大型圆度测量仪。

・旋转精度(径向)：(0.02＋3.5H/10000)µm(H：测量高度 mm)

・最大承载质量：80 kg

D型：强力支持调心/调水平作业

A型：自动调心/调水平

减轻测量人员负担的中型圆度测量仪。

・旋转精度(径向)：(0.02＋3.5H/10000)µm(H：测量高度 mm)

・最大承载质量：30 kg

圆度测量仪专门测量圆度和圆柱度形状的测量仪。备有从小型到大型的产品阵容，适

用于各种工件。

211系列

小型圆度测量仪

ROUNDTEST RA-120/120P

ROUNDTEST RA-10

操作简单的小型圆度测量仪。

・旋转精度(径向)：(0.04＋6H/10000)µm(H：测量高度 mm)

・最大承载质量：10 kg、25 kg

211系列

圆度・圆柱度形状测量仪

ROUNDTEST RA-1600

机身小巧紧凑，测量范围大

实现了可与高端机型媲美的高精度。

・旋转精度(径向)：(0.02＋6H/10000)µm(H：测量高度 mm)

・最大承载质量：25 kg

12-25

硬度计

备有支持品质管理的多种硬度计。

有经济型及高端CNC型，可根据用途选择。

显微维氏硬度计・

维氏硬度计

硬度计广泛用于金属材料和热处理部件等的硬度试验。

还备有可实现自动连续试验、有助于提高生产率的先进

机型。

显微维氏硬度计(自动型)

HM-210/220 系列

通过压痕读取和工作台移动的自动化，减少个人误差，提高试验效率。

・适用标准：JIS B7725 / ISO 6507-2

・试验力：98.07～9,807 mN(10～1,000 gf)、0.4903～19,610 mN(0.05～2,000 gf)

硬度计

810系列

显微维氏硬度计

HM-100 系列

810系列

显微维氏硬度计

HM-210A/220A

采用电磁力加载机构，可自由设置试验力的一体计算部型。

・适用标准：JIS B7725 / ISO 6507-2

・试验力：98.07～9,807 mN(10～1,000 gf)、0.4903～19,610 mN(0.05～2,000 gf)

可目视读取压痕的显微维氏硬度计的基础机型。

・适用标准：JIS B7725 / ISO 6507-2

・试验力：98.07～9,807 mN(10～1,000 gf)

810系列

维氏硬度计

HV-110A/120A

通过触摸屏操作切换试验力，操作性出色的维氏硬度计。

・适用标准：JIS B7725 / ISO 6507-2

・试验力：9.807～490.3 N(1～50 kgf)、2.942～294.2 N(0.3～30 kgf)

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪形状测量仪光学仪器硬度计

12-26

硬度计

显微维氏硬度计・

维氏硬度计

硬度计广泛用于金属材料和热处理部件等的硬度试验。

还备有可实现自动连续试验、有助于提高生产率的先进

机型。

维氏硬度计(自动型)

HV-110/120 系列

810系列

便携式硬度计

HH-300 系列

通过压痕读取和工作台移动的自动化，减少个人误差，提高试验效率。

・适用标准：JIS B7725 / ISO 6507-2

・试验力：9.807～490.3 N(1～50 kgf)、2.942～294.2 N(0.3～30 kgf)

只需抵在试样上即可进行试验的海绵、橡胶、塑料用硬度计。

・显示规格：模拟式/数显式

810系列

反弹式便携硬度计

HH-411 系列

机身紧凑，操作简单，一键即可进行硬度试验的便携式硬度计。

・里氏硬度：1～999 HL

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪形状测量仪光学仪器硬度计

12-27

硬度计

洛氏硬度计备有从可装载大型、重型工件进行负载试验的大型高端机型到小型经济机

型的产品阵容。

采用独特结构，无需切断即可进行内壁硬度试验的洛氏硬度计。

・适用标准：JIS B7726 / ISO 6508-2、ASTM E18-20

・试验力：588.4～1,471 N(60～150 kgf)

・最大承载质量：20 kg

810系列

CNC洛氏硬度计

HR-610A/620A

810系列

洛氏硬度计

HR-530/530L

无需切断即可直接对大型、重型工件进行试验，可加装电动X轴工作台

实现自动化。

・试验力：29.42～1,839 N(3～187.5 kgf)、9.807～2,452 N(1～250 kgf)

・最大承载质量：100 kg

810系列

洛氏硬度计

HR-200/300/400 系列

备有数字显示型和模拟显示型的洛氏硬度计。

・适用标准：JIS B7726 / ISO 6508-2、ASTM E18-20(HR-200除外)

・试验力：588.4～1,471 N(60～150 kgf)

CNC洛氏硬度计

HR-620B

标配电动Y轴工作台

可构建包括试样搬运在内的全自动洛氏硬度试验系统。

・试验力：9.807～2,452 N(1～250 kgf)

・最大承载质量：100 kg

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪形状测量仪光学仪器硬度计

12-28

硬度计

洛氏硬度计备有从可装载大型、重型工件进行负载试验的大型高端机型到小型经济机

型的产品阵容。

可高效进行试样的图像采集、压痕的自动测量、任意图案的自动连续测

量、多个试样试验的硬度计控制、评估和报告创建用软件。

硬度计用软件

AVPAK

可将来自硬度计的测量结果导入电子表格软件Excel中。

硬度计用数据处理软件

EXPAK

通过构建与各种硬度计(HV-110、HV-120、HM-210、HM-220、HR-600

系列)联动的系统实现自动化。

外部控制用软件

FORMEio

12测量仪器三坐标测量机影像测量仪形状测量仪光学仪器硬度计

13-1

精密量仪 • 量具的小知识

千分尺

高度卡尺

卡尺

13-2

计量的一般用语: 品质控质 ………………………………………………………………… 13-3

千分尺………………………………………………………………………………………… 13-5

测微头………………………………………………………………………………………… 13-11

内径测量器…………………………………………………………………………………… 13-15

卡尺…………………………………………………………………………………………… 13-17

高度卡尺……………………………………………………………………………………… 13-23

深度尺………………………………………………………………………………………… 13-27

量块…………………………………………………………………………………………… 13-28

数显指示表・指针式指示表・杠杆表………………………………………………………… 13-30

精密量仪 • 量具的小知识

扫码可查阅 [ 精密量仪 · 量具的小知识 ] 样本 PDF 版。

该样本介绍了测量工具、测量仪器相关的小知识。

Cp = USL-X

3×σ

Cp = X-LSL

3×σ

Cp = USL-LSL

6×σ

LSL USL

品质控制 quality control（QC）

为经济实惠地制造品质符合客户要求的产品或服务而采取

的方法体系。

过程品质控制 process quality control

通过过程控制减少产品的分散性，并保持较低的分散性。

促进改进工艺、标准化以及技术经验的积累。

统计过程控制 statistical process control (SPC)

通过统计方法处理的过程控制。

总体 population

要考虑改进和控制过程和产品品质的一组具有特征的对象

全体。基于样品处理的组通常是样品所代表的群体。

批次 lot

在同等条件下生产的产品集合。

样品 sample

从群体中挑选出的产品(或项目)中的一件，供研究调查其特性。

样品量 sample size

是指样品中所包含的抽样单位的数量。

偏差 bias

当执行多次测量时，由测量值得平均值减去真值计算而得。

散布 dispersion、imprecision

目标特性的值相对于平均值的变化。标准偏差通常用来表

示围绕平均值的分布。

直方图 histogram

直方图，将最大和最小测量值的范围划分为多个区并以条

形图的形式显示每个区的数值(出现频率)。这使得更容易理

解大致平均值或大体分散范围。钟形对称分布称为正态分

布，因其比较容易计算的特性，常用在理论的例子上。然

而，应该注意观察，因为在许多实际过程中并不符合正态

分布，如果假定符合，则会导致错误。

过程能力 process capability

过程能力在满足以下条件时发挥的表示过程固有的性能。

· 充分实现了工序的标准化

· 已排除异常原因

· 在统计管理状态下运行

当过程的品质特性输出显示正态分布时，过程能力用平均

值±3σ或6σ表示。σ(sigama)表示标准偏差。

过程能力指数 process capability index(PCI或Cp)

该指数值是指目标特性公差除以过程能力(6σ)。该数值通过

平均值(X)和标准值之差除以3σ而得。用来代表在单向公差

下的指数。过程能力指数假定特性遵循正态分布。

＜备注＞如果特性遵循如下正态分布，99.74%的数据是在

与平均值相差±3 的范围内。

双向公差

USL: 公差下限

LSL: 公差上限

过程能力指数(Cp) (双向公差)的具体例子

单向公差・・・如果只有公差上限

单向公差・・・如果只有公差下限

Cp = 1 与公差极限基本一致，无

法实现过程能力。

频率公差下限 (LSL)

公差上限(USL) 目标过程平均值

不合规

测量值

散布/不精确度

公差 (USL - LSL)

偏差平均值

13-3

计量的一般用语 : 品质控质

13精密量仪

·量具的小知识计量的一般用语

：品质控质千分尺测微头内径测量器卡尺高度卡尺深度尺量块数显指示表

1 2 3 4 5 6 7

上限控制线 (UCL)

中心线 (CL)

下限控制线 (LCL)

子组号

LSL USL

X + 3σ X + 2σ X + 1σ

X - 1σ X - 2σ X - 3σ

UCL

LCL

X + 3σ X + 2σ X + 1σ

X - 1σ X - 2σ X - 3σ

UCL

LCL

X + 3σ X + 2σ X + 1σ

X - 1σ X - 2σ X - 3σ

UCL

LCL

X + 3σ X + 2σ X + 1σ

X - 1σ X - 2σ X - 3σ

UCL

LCL

X + 3σ X + 2σ X + 1σ

X - 1σ X - 2σ X - 3σ

UCL

LCL

X + 3σ X + 2σ X + 1σ

X - 1σ X - 2σ X - 3σ

UCL

LCL

X + 3σ X + 2σ X + 1σ

X - 1σ X - 2σ X - 3σ

UCL

LCL

X + 3σ X + 2σ X + 1σ

X - 1σ X - 2σ X - 3σ

UCL

LCL

① 有一个点超出控制限制线(±3σ)

之一的

③ 连续增加或减少六点 ④ 交替增加和减少14点

⑤ 连续三个点中有两个超出中心线

两侧±2σ

⑥ 连续五点中的四个超过中心线

两侧±1σ

⑦ 有连续15点在中心线±1σ ⑧ 有连续8个点超过中心线±1σ

* 13-3～13-4页是参考日本标准协会JIS手册品质控制的基础上，并由三丰公司做出自行判断而编写的。

参考文献

・日本标准协会　JIS品质控制手册 Z 8101：1981 Z 8101-1：1999 Z 8101-2：1999 Z 9020：1999 Z 9021：1998

X-R控制图X-R control chart

用于过程控制的控制图，在整个过程中提供绝大部分

的信息。 -R控制图由以下构成。

· 监视过程平均值的偏差，根据各子组的平均值管理的控制图。

· 监视偏差的异常，根据范围管理的R管理图。

通常情况下，两个图表一起使用。

偶然原因 chance causes

这些变化原因的重要性相对较低。即使可以找到原因，也

无法从技术或经济上消除原因。

控制图 control chart

通过将过程变化分为由于偶然原因和由于故障引起的

变化来控制过程。控制图由一条中心线(CL)以及在其上

方和下方(UCL和LCL)合理确定的控制限制线组成。可以

说，在绘制表示过程输出的特征值时，如果所有点都

在无明显趋势的控制上限线和控制下限线以内，则过

程处于统计控制状态。控制图是控制过程输出以及品

质的有用工具。

Cp = 1.67

Cp = 1.33

过程能力足以满足要

求，因为它与公差极

限的差异不小于2σ。

过程能力为通常可以

接受的最小值，因为它

与公差极限的差异不

小于1σ。

如何读取控制图

如下所示的控制图中的连续点位的典型趋势，是不希望出

现的。这些趋势意味着一个“特殊原因”正在影响过程和

需要操作员采取措施去纠正。这些判定规则只提供一个引

导。当实际确定规则时，要考虑到过程中的具体变化。假

设控制上限和控制下限距离中心线3σ处，将控制图划分成

六个区，每1σ个间隔，适用下列规定。这些规则适用于X

控制图和X控制图。需要注意的是，这些“措施趋势规则”

是在假设正态分布的情况下而制定的。可以制定适应任何

其他分配的规则。

② 连续九个点位于中心线的一侧

注意Cp仅仅代表公差限制和过程偏差之间的关系，没有考

虑制程平均值的位置。

＜注意＞将过程平均值与目标过程平均值之间的差异考

虑在内的过程能力指数，即，上公差(USL减去平均值)除以

3σ(过程能力的一半)或下公差(平均值减去LSL)除以3σ，以

较小者为准。

13-4

计量的一般用语: 品质控质

13精密量仪

·量具的小知识计量的一般用语

：品质控质千分尺测微头内径测量器卡尺高度卡尺深度尺量块数显指示表

数显外径千分尺

测砧固定套管基准线调节螺母

尺架

微分筒

调速部棘轮

微分筒刻度

固定套管刻度

锁紧装置

隔热装置

尺架

测砧测量面测微螺杆锁紧装置固定套管

隔热装置

微分筒刻度

基准线

输出连接器(带输出机型)

按键

调速部

棘轮

各部位名称

标准外径千分尺

专用千分尺的应用

测量面测微螺杆

固定套管刻度

微分筒

薄片千分尺卡尺形内径千分尺花键千分尺壁厚千分尺尖爪千分尺

沟槽直径测量

螺纹有效直径测量正齿和斜齿齿轮的公法线测量齿轮的跨棒距测量奇数丝锥、铰刀等的外径测量

小直径·窄槽宽度测量花键轴的槽径测量管壁厚度测量槽径测量

可更换测砧式螺纹千分尺公法线千分尺齿轮千分尺 V形测砧千分尺

13-5

千分尺

13精密量仪

·量具的小知识计量的一般用语

：品质控质千分尺测微头内径测量器卡尺高度卡尺深度尺量块数显指示表

0 5

①

②

10 ①

② ③

①固定套管读数: 7.mm

②微分筒读数: ＋ 0.37mm

千分尺读数: 7.37mm

注) 0.37mm②是套筒基准线与微

分刻度对齐时的读数。

①套管读数： 6. mm

②微分筒读数： 0.21 mm

③游标与微分筒刻度读数：＋0.003 mm

千分尺读数： 6.213 mm

注意) ②当指引线为两个刻度(在这种情况下，21和22)之间的位置时，读取

0.21mm。

③而当游标尺刻度与其中一个微分筒刻度对齐时，读取0.003mm。

套管

基线

套管

基线

微分筒刻度微分筒刻度

约＋1 µm 约＋2 µm

注意) ②0.004mm是游标刻度线对应一个微分筒刻度线时的读数。

测微螺杆 ø6.3 ø6.35

30ʼ

测微螺杆 ø8

30ʼ

ø7.95

0 246 8 10 15 20

时间 (分钟)

热膨胀 (µm)

100 mm

200 mm

300 mm

测量范围

50 mm

0 2 9 9

0.001位(游标刻度分度值)

0.01

0.004mm游标读数

基线

0.001位

0.01位

0.1 位

1.0 位

10.0 位

读数值 2.994 mm

.004 mm

.09 mm

.9 mm

2. mm

00. mm *显示四位数。

刻度的读法

 标准刻度时(分度值0.01mm)

通常情况下，可以像上图那样读取到分度值0.01mm，也可以

像下图所示那样，读取分度值到0.001mm。

 带有游标刻度时(分度值0.001mm)

带游标刻度的千分尺在套管基线的上面有游标刻度。

 带计数器时(分度值0.001mm)

温度变化导致的测量误差

测量面的详细形状

类型有无声音单手操作备注

棘轮锁紧

有不适合一般

摩擦套管

(F型)

无适合无冲击或声音的平稳

操作。

棘轮套管

有适合可以通过声音确认动作

从而安心操作。

测力装置

*以上图形用于描述说明，并非按比例绘制。

温度变化引起的量杆膨胀 (200mm杆在20°C)

当手温不同的人在室温20ºC条件下手持量杆的顶端，上述

实验图表表示的是一个特定的千分尺量杆是如何随着时间

的推移膨胀的。在调整零位时，不要用手直接接触量杆，

尽量戴手套或者尽量少时间接触隔热材料部分，这是在调

整零位时非常重要的。如果量杆已经受热膨胀，必须等温

后再调整零位。

31°C

27°C

21°C

时间(分钟)

热膨胀 (µm)

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

硬质合金硬质合金

* 上图表显示的是千分尺变形，这是由于当徒手握住尺架，

手的热量传导引起的，温度引起的膨胀可能导致明显的测

量误差。测量时如果必须手持千分尺，则尽量减少接触时

间。如果安装一个热绝缘体或戴一副手套将会大大减少

这种影响。(请注意上面的图形显示是比较典型的影响结

果，并不能保证仅限这样的结果)。

13-6

千分尺

13精密量仪

·量具的小知识计量的一般用语

：品质控质千分尺测微头内径测量器卡尺高度卡尺深度尺量块数显指示表

L ε

ℓ

125

-3

-2

-1

225

膨胀差异 (µm)

标称长度 (mm)

325

0°C

10°C

20°C

425 525

P P

SøD øD

(b)

两平面间的圆柱

(a)

两平面间的球体

假设材料是钢质时

弹性模量： E=205 (GPa)

变化量：δ (µm)

球体或圆柱的直径：D (mm)

圆柱的长度：L (mm)

测力：P (N)

a)挟有球体时

δ1= 0.82 √P2

b)挟有圆柱时

δ2= 0.094×(P/L) √1/D

误差原因最大允许

误差排除误差的注意事项

即使采取预防

措施也无法排

除的误差

千分尺

进给误差 3µm 1. 使用前校正千分尺。 ±1µm

测砧

角度误差

假设半角误差

为15分，则为

±5µm

1. 测量角度误差和纠正千分

尺。

2. 使用相同的螺纹量规当做工

件来调整千分尺。

±3µm的

半角的

预测误差

没对齐的

接触点 +10µm +3µm

测量力的

影响 ±10µm

1. 如果可能，使用一个低测力的千

分尺。

2. 始终使用棘轮停止器。

3. 使用相同间距的螺纹量规来调整

千分尺。

+3µm

螺纹量规的

角度误差 ±10µm

1. 执行校正计算(角)。

2. 纠正长度误差。

3. 使用相同的螺纹量规当做工件来

调整千分尺。

+3µm

螺纹量规的

长度误差 ±(3 + L

25)µm

1. 执行校正计算。

2. 使用相同的螺纹量规当做工件来

调整千分尺。

±1µm

工件螺纹

角度误差

JIS 2级半角误

差±229分

-91µm

+71µm

1. 尽量减少角度误差。

2. 测量角度误差、进行校正计

算。

3. 大角度误差使用三针方法。

±8µm假设

半角误差

为±23分

累积误差 (±117+40)µm 可能产生累积误差 +26µm

−12µm

千分尺和量杆之间的热膨胀差异

*数值不是保证值，是实验值。

上述图表显示的结果是每一个温度下从125～525mm的范

围。

1.将千分尺和量杆放置在室温20ºC的环境下约24小时。

2.千分尺和量杆的温度恒定后，用量杆调整基准点。

3.将千分尺和量杆在0℃、10℃的环境下各放置约1小时。

4.各基准点测量

该图显示，调整基准点时，千分尺和量杆须放置在同一场

所至少几个小时以上。

胡克定律

胡克定律指出，只要应变保持在弹性材料的弹性极限以

内，弹性材料的应变就与引起该应变的应力成比例。

改变支撑方法和方向的影响 (单位: µm)

下表显示了在“支撑底部和中间部”的状态下，将测量值调

零，由于支撑方向不同“仅支撑中间部“、 ( \"横向支持中间部\"、\"

向下用手支撑\")而引起零点变化的状态。如果不与实际测量时

的姿势保持一致来调整基准点的话，会如下表所示，数值发生

变化，所以，请与测量时的姿势保持一致，进行基准点调整。

阿贝原理

阿贝原理即：测量轴线只有与标准量的轴线重合或在其延长

线上时，测量才会得到最大的精确的结果。这是因为任何由

于仪器测量爪的相对角度(θ)的变化产生的位移都无法被仪

器刻度测量出来，这就是阿贝误差(ε=ℓ-L如图)。测微螺杆

的直线度误差，测微螺杆的操纵和测力的变化都会导致误差

(θ)，并会随着R的增加而增大。

赫兹公式

赫兹方程给出了在弹性范围内两个表面(平坦表面、圆柱面或

球面)在某种作用力相互挤压时表面的变形度，并且作为计算

测力引起的工件变形的重要公式使用。

螺纹千分尺的主要测量误差

支点位置支撑底部与中间仅支撑中间

位置

最大测量长度(mm)

325 0 － 5.5

425 0 － 2.5

525 0 － 5.5

625 0 － 11.0

725 0 － 9.5

825 0 － 18.0

925 0 － 22.5

1025 0 － 26.0

支点位置横向支撑中间向下用手支撑

位置

最大测量长度(mm)

325 ＋1.5 －4.5

425 ＋2.0 －10.5

525 －4.5 －10.0

625 0.0 －5.5

725 －9.5 －19.0

825 －5.0 －35.0

925 －14.0 －27.0

1025 －5.0 －40.0

*数值不是保证值，是实验值。

13-7

千分尺

13精密量仪

·量具的小知识计量的一般用语

：品质控质千分尺测微头内径测量器卡尺高度卡尺深度尺量块数显指示表

公制螺纹或统一的螺纹(60°)

E＝M－3d＋0.866025P ………（1）

惠氏螺纹(55°)

E＝M－3.16568d＋0.960491P …（2）

d = 三针径

E = 螺纹有效径

M = 包含三针的外径测量尺寸

P = 螺距

(统一螺纹将英寸换算为毫米)

M1＝单针法千分尺读数

D ＝丝锥的直径

三槽: M＝3M1−2D ………………(3)

五槽: M＝2.2360M1−1.23606D …(4)

然后，把M代入公式(1)或(2),计算有效径E。

测微螺杆 d (x3)

测砧

螺钉 E M

测砧

测微螺杆

奇数丝锥量针

跨棒距测量法

dp dp

（a）（b）

90゜

inv 20°・＝・0.014904

inv 14.5°・＝・0.0055448

公法线长度的计算公式 (Sm):

Sm＝m cosα｛0 π（Zm－0.5）＋ Z invα0｝＋ 2χm sinα0

公法线长度内的计算齿数的公式 (Zm):

Zm'＝Z・K（f）＋0.5 (是距Zm'最近的整数)

K（f）＝ 1

｛secα0√（1＋2f）2

－cos2

α0－invα0－2f tanα0｝

且 f ＝χ

α0

: 模数

: 压力角

: 齿数

: 变位系数

: 公法线长度

: 公法线长度内的齿数

偶数齿:

dm＝dp＋cosφ＝dp＋ cosφ

奇数齿:

dm＝dp＋cosφ・cos ＝dp＋ cosφ ・cos

然而

invφ＝ dg － 2

＝ z・m・cosα0

（－ 2z － invα0

）＋ z ・χ

dg z・m・cosα0

χ π

（ z・m・cosα0 90

）（90

）

dp dp 2tanα0

从渐开线函数表获取φ(invφ) : 齿数

: 压力角

: 模数

: 变位系数

α0

螺纹有效径的测量

三针法

可以采用图中所示的三针法测量螺纹有效径。

采用计算式(1)和(2)来计算有效径(E)。

三针法的主要测量误差

螺纹类型三针的最佳针径

公制螺纹或统一的螺纹 (60º) 0.577P

惠氏螺纹 (55º) 0.564P

公法线长度

齿轮测量

误差原因排除误差的注意事项允许误差

即使采取预防措

施也无法排除的

误差

螺距误差

(工件)

1. 纠正螺距误差 ( p = E)。

2. 测量几个点并采用他们的平均

值。

3. 减少单一的螺距误差。

± 18µm 假

定螺距

误差为

0.02mm。

±3µm

半角误差

(工件)

1. 使用最佳的3针径。

2. 不需要改正。 ±0.3µm ±0.3µm

由于测砧

差异

1. 使用最佳的3针径。

2. 使用在一侧的直径接近平均值的

导线。

±8µm ±1µm

三针直径

误差

1. 为间距使用预先设置的测力。

2. 使用预先设置的测量边缘的宽

度。

3. 使用稳定的测力。

−3µm −1µm

累积误差

在最坏的情

况下

+20µm

−35µm

当仔细测量

+3µm

−5µm

单针法

奇数槽丝锥的有效径可以使用V形测砧千分尺及单针法测

量。通过计算公式(3)或(4)，获得测量值(M1)和计算M。

13-8

千分尺

13精密量仪

·量具的小知识计量的一般用语

：品质控质千分尺测微头内径测量器卡尺高度卡尺深度尺量块数显指示表

测微螺杆一侧的观察方向

平行平晶

测微螺杆一侧

沟槽状压痕

为 0.32µm x 4 = 1.28µm

平面度约为 1.3µm

(a) 自上而下读取 (b) 从正面读取 (c) 自下而上读取

钵状压痕

为 0.32µm x 2 = 0.64µm

平面度约为 0.6µm

平面平晶

测砧

平面平晶

测砧

(c)

(b)

(a)

4. 测量前调整起点(零)，采用不起毛的纸去擦拭测砧和测微螺

杆的测量面。

通过平行平晶干涉条纹可检测平行度

1. 首先使平行平晶紧贴测砧的测量面。

2. 观察在测力作用下测微螺杆方向产生的红色干涉条纹的

数量。在上图中为0.32µm × 3= 0.96µm，平行度约为1µm。

使用千分尺的一般注意事项

1.仔细检查类型、测量范围、精度和其他规格，为您的用

途选择合适的型号。

2.测量前，千分尺和工件放置在室温下足够长的时间，使

其温度均衡。

3.读取微分筒刻度线时直视基准线。如果从某个角度看刻

度线，由于视觉误差将无法读取线的正确位置。

通过平面平晶的干涉条纹可检测平面度

观察干涉

条纹方向

スリーブ

微分筒

8.注意千分尺不要摔落或碰撞任何东西。不要过度用力旋转

千分尺测微螺杆。如果感觉意外误操作导致千分尺可能已

损坏，使用前需要进一步检查其精度。

9.经过存放很长时间后或有保护性油膜，用在抗腐蚀的油

中浸泡过的布轻轻擦拭千分尺。

10.存放注意事项

 存储时避免阳光直射。

 存储在通风性良好、低湿度的场所。

 存储在没有灰尘的场所。

 如果存放在箱子或其它容器中，箱子或容器不能放在地上。

 存放期间，测量面之间应该留有0.1mm到1mm的空隙。

 不要将千分尺在夹紧的状态下存放。

5.作为日常保养的一部分，擦去测微螺杆外周和测量面上

的任何灰尘、碎屑和其他碎片。此外，用干布仔细擦拭

任何污渍和指纹。

6.正确使用恒定测力装置，以便在正确的测力下进行测

量。

7.当将千分尺安装到千分尺的台架时，台架应该固定夹紧

在千分尺边框的中心，但不要夹得太紧。

13-9

13精密量仪

·量具的小知识计量的一般用语

：品质控质千分尺测微头内径测量器卡尺高度卡尺深度尺量块数显指示表

千分尺性能全测量表面接触误差的最大允许误差【 JIS B 7502:2016】

作为千分尺的日本工业标准的JIS B 7502在2016年进行了修订

和发布，表示千分尺性能的“器差”更改为“示值误差”。

全测量面接触误差是千分尺最重要的示值误差。示值误差

受最大允许误差(MPE)的限制。换句话说，MPE与公差具有

相同的含义。以下是包括JIS 2016修订内容在内的的标准检

验方法。

外径千分尺的全测量表面接触误差是通过使整个测量表

面与待测物体测量范围中的任意点接触而测量出的示值误

差。

通过使用具有最小千分尺测量长度的恒定测力装置调整基

准点，插入JIS B 7506中规定的0或1级量块或测量表面之间的

等效或更高量规，可以获得该值(下图)，然后使用恒定测力装

置从千分尺的指示值中减去量块的尺寸。

图全测量表面接触误差测量

量块

13-10

13精密量仪

·量具的小知识计量的一般用语

：品质控质千分尺测微头内径测量器卡尺高度卡尺深度尺量块数显指示表

测微头行程

得到的行程

量块

平面

带有恒定测力装置无恒定测力装置

(无棘轮)

图-A

图-D

图-C

图-B

球面防止旋转装置

直柄型带锁紧螺母型

选型的要点

选择的要点有测量范围、测量面、轴套、分度、微分筒直

径等。

请参考各自的内容，选择符合目的的测微头。

测微螺杆螺距

 标准件(0.5mm螺距)

 1mm 螺距

可以快速设置。另外还可以防止0.5mm的误读。由于螺纹

较大，具有优良的耐负荷性。

 0.25mm、0.1mm螺距

便于微动进给和细微的位置调整。

恒定测力装置

 当作测量器使用时，推荐带有恒定测力装置的设备。

 当作制动器使用时，在优先考虑节省空间的情况下，可

以使用没有恒定测力装置的设备。

心轴锁

 将测微头当作制动器，使用带有心轴锁的测微头可以防

止由于松动而引发的事故。此外通过心轴锁的操作还可

以防止心轴的位置发生变化，从而可以放心使用。

设置范围(行程)

 请选择大于所预料行程的测量范围。标准型中准备了从

5mm-50mm的6个量程。

 需要超过50mm的长行程时，可以通过与量块的并用来解

决(图D)。

 在该产品样本中，微分筒(或行程端)的范围用虚线表示。

至于行程端，在设计夹具时就考虑到了微分筒移动到用直

线标出的位置。

直进式测微螺杆

直进式测微螺杆不会扭动测量物，从而可以防止测量物

的旋转，减少变形和磨损。

安装轴套

如上图:安装测微头的轴套可分为直柄型和带锁紧螺母型。

轴套的直径大小根据测微头主体的大小设计，公差h6。

各安装方法，具有以下特征。

　・带锁紧螺母型: 可简单牢固固定。

・直柄型: 虽然需要夹钳固定和粘合等，但应用范围更广，

在最终安装时，也可进行轴向的细微调整。

作为单卖品，备有可通用的多种类型的安装部件。

测量面

测量仪器使用时，通常使用平面型。

作为进给装置使用时，采用球面型可以最大限度地减少

测微头安装部分的倾斜所引起的误差(图A)。测微螺杆一

端使用平面型，在接触面安装硬质合金球体也可以实现(

图B)。

相对位置关系不稳定或需要更高的精度时，推荐使用防止

旋转装置(图C)。

需要像制动器那样的耐久性时，首推平面对平面型。

13-11

测微头

计量的一般用语

：品质控质千分尺测微头内径测量器卡尺高度卡尺深度尺量块数显指示表

13精密量仪

·量具的小知识

标准反向

双向

0 5

0 0

20 80

10 90

0 5

25 20

超精细进给应用

 备有操纵装置微动时所需的专用品。

微分筒外径

 微分筒的外径会对操作性以及细微的定位产生很大的影

响。外径小的微分筒能很快定位。外径大的微分筒可以做

到细微的定位并有读取功能。另外，有的型号还在大外径

微分筒上加装了调速装置，提高了操作性能。

固定装置的自制要领

安装测微头，需要固定轴套。需要采用精度稳定、内部稳妥的方法。典型的安装方法有以下三种，但是不特别推荐方法③，请

尽量采用方法①和②。

分度特征

 当作测量器使用，或被指定了移动量的时候，需要注意

刻度的规格。

 与外径千分尺相同的刻度规格为“标准刻度”，是标

准型。当测微螺杆缩进主体时，读数会增加。

 与之相反的是，在“反向刻度”样式中，随着测微螺杆

从主体伸出，读数会增加。

 正反两方向都可以轻松读取的是“双向刻度”规格，分

别用黑、红来表示数字的颜色，读取变得轻松简单。

 还有可以直接读取测量值的，带有计数器和数字显示的

机型。数字显示的机型不但不会出现误读还可以通过将

测量数据输出，进行测量数据的记录和统计演算。

安装方法

注意

①螺母固定方式 ②夹钳固定方式 ③螺钉固定方式

轴套直径 ø9.5 ø10 ø12 ø18 ø9.5 ø10 ø12 ø18 ø9.5 ø10 ø12 ø18

安装孔 G7 G7 H5

配合公差(mm) ＋0.005～＋0.020 ＋0.006～＋0.024 ＋0.005～＋0.020 ＋0.006～＋0.024 0～＋0.006 0～＋0.008

注意事项

需要注意相对于安装孔的A面的直角度。

如果直角度在0.16/6.5以内，可以无障碍地

加以固定。

请注意安装孔内壁出现的毛刺(夹钳加工部

位)。

固定螺钉的大小以M3×0.5, M4×0.7为妥

轴套部位的铆口加工应在90˚×0.5以内

加工时要特别小心不要引起轴套的变形。

A面

(单位: mm)

13-12

测微头

计量的一般用语

：品质控质千分尺测微头内径测量器卡尺高度卡尺深度尺量块数显指示表

13精密量仪

·量具的小知识

5 5 10 15

0 45

51015

5 0 5 5

20 45 15 10

0 5

20151045

标准

直柄型棘轮固定螺钉带六角孔的螺栓

标准

竖刻度

反刻度

反竖刻度

只有刻度

螺纹固定型

螺母紧固型

法兰

内螺纹加工

球面

法兰

尖爪

薄片(仅直进型)

花键

* 长测微螺杆型也可制作，请咨询三丰公司。

指定0点刻度

特别订制品 (产品举例介绍)

测微头可用于非常广泛的领域，为了满足客户的需要，三丰公司备有丰富的机型。另外为了满足用户的特殊需要，我们还承接制

作各种定制品。数量可从一个起，随时欢迎咨询。

1.测微螺杆端部形状举例

2.轴套形状举例

可以制作各种轴套以适应安装方法和安装部位形状的要求。

5. 安装联轴器的例子

可设计为测头提供驱动力的电机联轴器。

6. 微分筒紧固方法

微分筒的紧固方法可有棘轮、固定螺钉、带六角孔的螺栓

等。

7. 测微螺杆螺距加工

虽然测微螺杆螺距的标准是0.5mm，但是可以做成能够快

进的1mm，和可以微动进给的0.25mm,0.1mm。此外还可以

加工成英制螺距，欢迎咨询。

8. 螺纹部位润滑油

可以根据客户的指定，提供相应的润滑油。

9. 全不锈钢

可以根据要求，制作全不锈钢的测微头。

10. 简易包装

如果大量订购OEM等之时，交货之际可以进行简易包装。

4. 徽标雕刻

可根据需要雕刻特定徽标。

3. 刻度加工方案

可以进行反刻度、竖刻度等各种各样的刻度加工。即使是

加工例中没有的物品，也欢迎与我们联系。

13-13

13精密量仪

·量具的小知识

测微头

计量的一般用语

：品质控质千分尺测微头内径测量器卡尺高度卡尺深度尺量块数显指示表

最大承载质量限度

标准型测微螺杆螺距0.5 mm 39.2 N(4 kgf)

高性能型

测微螺杆螺距0.1 mm/0.25 mm 19.6 N(2 kgf)

测微螺杆螺距0.5 mm 39.2 N(4 kgf)

测微螺杆螺距1.0 mm 58.8 N(6 kgf)

测微螺杆螺距直接推进式 19.6 N(2 kgf) MHF微动用(带差动装置)

*MHT型至19.6N(2kgf)左右

安装方法破损、脱落负重

① 螺母固定方式 8.63～9.8 kN(880～1000 kgf)时主体破损

② 夹钳固定方式 0.69～0.98 kN(70～100 kgf)时安装件脱落

③ 螺钉固定方式 0.69～1.08 kN(70～110 kgf)时固定螺钉破损

* 破损、脱落时的负重仅作参考。

测微头的最大承载质量

测微头的最大承载质量会因安装方法的不同而发生很大变化。另外，还会因为是静负荷还是动负荷、是运转起来使用还是作为制动

器来使用等条件的不同而出现很大的变化。因此，无法将其定量为多少kgf。在此，介绍使用三丰公司推荐的最大载重限度(在保证

精度的范围内作为读取装置使用时，手动10万转以内)和小型测微头进行的静负荷试验的结果。

1. 建议最大承载质量限度

2. 测微头的静负荷试验(使用MHS试验)

〈试验方法〉

如图所示，设置测微头的主体，用材料试验机测量自P方向加载负荷至破损或脱落为止时的负载值(试验没有考虑精度保证范

围，加载负荷直至破损或脱落为止)。

① 螺母固定方式 ② 夹钳固定方式 ③ 螺钉固定方式

固定螺母

安装件

固定螺钉

13-14

13精密量仪

·量具的小知识

测微头

计量的一般用语

：品质控质千分尺测微头内径测量器卡尺高度卡尺深度尺量块数显指示表

ℓ

① 固定套筒读数： 35 mm

② 微分筒读数： 0.015 mm

读数值： 35.015 mm

图-1 图-2

045 35

510

微分筒

固定套筒

各部位名称(Holtest孔径千分尺)

测量爪

锥体测微螺杆

固定套筒微分筒

测力装置

刻度的读数

分度值　　　　　 0.005 mm

接杆式内径千分尺的温度变化造成的测量误差45

. 0.005mm V 1DI

工件基点调整

当使用孔径千分尺时，由于

产品的构造原因，用测量爪

全面接触测量与仅用测量爪

尖端测量的测量值是不同

的。

测量前，在相同条件下调整

测量起点。

当您使用测量爪尖端进行测

量时，需要调整测量爪尖端

的基点。

按图1所示，计算出向孔轴方向倾斜的误差，可得出下

图的曲线。图2中相对轴孔向左右倾斜的误差，与下图

的曲线大致相同，呈现负值。

尺寸偏差(接杆式内径千分尺)

如果内径千分尺的温度发生明显变化，其精度就会降低。

为防止此情况发生，请带上手套，只握住千分尺的绝缘

部，以减少来自操作人员手部的热传导。

在不同的测量点，测量值的变化 : 管内径

L : 倾斜时的长度

X : 倾斜量

△ : 倾斜导致的误差

△ : L－

=√ 2

+X2 －

: 管内径

L : 倾斜时的长度

X : 倾斜量

△ : 倾斜导致的误差

△ : L－

=√ 2

+X2 －

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

0.10

0.09

0.08

0.07

0.06

0.05

0.04

0.03

0.02

0.01

ℓ= 200 mm

ℓ= 500 mm

ℓ= 1000 mm

误差（mm）

偏移量倾斜（mm）

13-15

内径测量器

计量的一般用语

：品质控质千分尺测微头内径测量器卡尺高度卡尺深度尺量块数显指示表

13精密量仪

·量具的小知识

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