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idecoptics 复享
致力于为半导体先进制程提供集成测控产品和端到端一体化服务
8／公司介绍
上海复享光学股份有限公司成立于2011年，是一家服务于微纳制造和基础研究等领域的光学计量检测仪器设备公司，是国内光谱技术领军企业，入选第五批国家级专精特新“小巨人"企业，被上海市科学技术委员会授予“上海微纳制程智能检测工程中心"建设单位。近年来，公司凭借自主研发的深度光谱技术平台的深厚积累，瞄准具有较大市场规模的卡脖子关键技术点重点突破，为半导体前道工艺的光刻、刻蚀、镀膜、CMP、量检测等领域的头部企业提供核心光学子系统和深度算法，并配合客户实现国产替代需求，助力推动微纳制造发展。
O/半导体业务概览
复享光学面向先进制程、先进封装与先进材料等产业方向，融合多维多模态感知技术，发展实时与原位的测控驱执技术，为半导体装备提供精准可靠的集成式测控解决方案。
五大工艺过程
刻蚀与清洗过程组 离子注入过程组 图形化过程组 沉积过程组 减薄与CMP过程组 + 量测与检测
InView-OES
常规膜层刻蚀：Poly、SiNx、OX、PR、Metal等
VCSELmesa刻蚀、超薄膜层刻蚀、低开口率刻蚀、高深宽比刻蚀、IBE刻蚀等极弱OES信号刻蚀场景下的终点抓取
干法去胶、PECVD腔室清洁等工艺控制场景
| InView-OES-ND | InView-OES-SM | |
| 类别 | High Performance | General Purpose |
| 波段 | 200-980 nm | 200-850 nm |
| 信噪比 | 1000:1 | 350:1 |
| 动态范围 | 25000:1 | 5500:1 |
| 分辨率 | 1.68nm@10 μm狭缝 | 2.5nm@50 μm狭缝 |
| 通讯方式 | 网口 | 网口 |
配备InView-IEP.BOX和ideaEPD工业软件
可定制高效率光路
体积紧凑
可定制模型算法
< 1 % 原位膜厚监测精度
良应用领域
功率器件：沟槽型SiCMOSFETtrench刻蚀
存储器件：3DNANDstaircase刻蚀
逻辑器件：栅极刻蚀
其他复杂patternwafer刻蚀场景
薄膜沉积原位膜厚监控
MetronFilm-EX(全波段款)
反射膜厚测量仪
| 技术参数 | 参数指标 |
| 波长范围 | 190~1100nm |
| 光源 | 外置氘灯+卤素灯 |
| 厚度测量范围* | 1nm~260μm |
| 测量n&k最小厚度* | 50nm |
| 准确度*： | 1nm@≤500nm，或0.2%@≥500nm |
| 精度1 | 0.02nm |
| 稳定性² | 0.05nm |
| 光斑大小 | 1.5mm |
| 样品尺寸 | 直径从1mm到300mm或更大 |
| 测量速度 | 单层小于1秒 |
超宽测量范围1nm - 2 6 0 \mu { m } , 从超薄膜至厚膜达到超广覆盖。\*
·溯源NIST,测量准确性有保证，膜厚在 5 0 0 \mathsf { n m } 以下准确度达到1nm，膜厚在500nm以上准确度达到 1 0 . 2 % _ { \tt c } \*
着眼特色工艺，助力先进制程
适用多种先进工艺，可测单/多层膜的厚度和n&k。二元复合多层膜实测可多达232层(见文献1)。可应用于如3D NAND、A R + H C 复合光学涂层、PERC薄膜等的复杂膜系测量。
快速测量，单层膜测量1s内完成;多层膜检测耗时数量级下降。
光学测量；非接触、非破坏测量
节省空间、配置灵活、支持定制化
\*参数均取决于材料，详见技术规格 1 Fanetal.Light: Advanced Manufacturing(2021)2:27. https://doi.org/10.37188/lam.2021.027
2nm极薄膜测量 SiO2 on Si (2nm)
| Max | 2.85nm |
| Min | 2.62 nm |
| Range | 0.22nm (8%) |
| Average | 2.73nm |
| Std | 0.07nm |
MetronFilm-EX对低至2nm超薄膜实现精准测量。
100次测量结果均达到标注的准确度标准（1nm或 0 . 2 % { \omega } 5 0 0 \mathsf { n m } 以上)
光刻胶厚度及n&k测量 光刻胶950-PMMA
MetronME-XT-300
全自动穆勒矩阵椭偏仪
·先进的双旋转补偿器测量技术，单次测量可获取16组全穆勒矩阵光谱;可实现MullerMatrix、椭偏参数Psi&Delta (N&C&S)、反射率R、透射率T、偏振反射率Rp/Rs、偏振透射率Tp/Ts、偏振度DOP光谱的高精度测量；
覆盖宽测量波段，典型测量波段为245\~1000nm,支持向深紫外和红外波段扩展;测量灵敏度极高，可实现单原子层级膜厚测量准度；配备自动位移台，支持兼容4\~12寸晶圆Mapping功能,扫描路径参数化与自定义设置;支持自动对焦模块；高速光谱采集技术，可实现毫秒级光谱测量与分析;·支持扩展毫米级大光斑测量和微米级微光斑测量两种模式;·可视化样品对准，便于进行微区测量；·软件具备强大的数据分析能力，材料库包括上百种典型材料光学常数，人机交互方便快捷。
应用领域
idecoptics 复享
让制程更可控
上海复享光学股份有限公司ideaoptics Inc.
Tel: 400-001-5685
Web:www.ideaoptics.com
Sales Email:400@ideaoptics.cn
Add:上海市浦东新区金沪路358弄3号楼
