Elite 系列⼤能量紫外激光器

15W

激光功率

20000 h

+

使⽤寿命

概述

⼤能量紫外激光器以波⻓355nm为特点，单脉冲能量1.5mJ，峰值功率强⼤。其独特之处在于⾼效切割SiC和⾦刚⽯晶圆，直接切断晶圆和⾦属层，

效率惊⼈，崩边＜2um。

产品描述

● 激光功率15W

● 采⽤UV-clean专利技术，解决功率衰减，使⽤⽆忧

● 寿命超过20000⼩时，免维护，⽆需定期调试

2

● 优异的光束质量M ＜1.3，⼯艺简单、效率更⾼

● 3层防护，防护等级IP65，更能适应恶劣的⼯作环境

● 坚固耐⽤，安装⽅便，易于集成

应⽤领域

● Sic、⾦刚⽯晶圆划线

● 晶圆钻孔、划线

● 陶瓷划线、钻孔

UV-clean

⾃有技术

产品参数

型号

激光参数

波⻓（nm）

平均功率(W)

单脉冲能量(uJ)

脉冲宽度（ns）

重复频率

脉冲稳定性

⻓期稳定性

光束参数

偏振⽐

光束直径

光束圆度

光束质量

电源参数

预热时间

供电要求

环境温度

存储温度

物理参数

冷却⽅式

⼯作⽔温

MMEPU-355-15-HE

355nm

>15W@10kHz

~1500uJ@60kHz

~30ns@60kHz

10-20kHz

<3%
rms

<±3%

⽔平偏振；>100:1

~1mm(出光孔）

>90%

2

TEM ,M <1.3
00

冷启动时<15分钟

DC17.5V,350W

10-35℃，湿度<80%

-10-40℃，湿度<90%

⽔冷

25℃

尺⼨参考

Elite 系列⾼功率紫外激光器

18-30W

激光功率

20000 h

+

使⽤寿命

概述

⾼功率紫外激光器，有效解决功率衰减，并拥有优越的光束质量和脉冲稳定性，使⽤⽆忧。

产品描述

● 激光功率18W-30W

● 采⽤UV-clean专利技术，解决功率衰减，使⽤⽆忧

● 寿命超过20000⼩时，免维护，⽆需定期调试

2

● 优异的光束质量M ＜1.3，⼯艺简单、效率更⾼

● 3层防护，防护等级IP65，更能适应恶劣的⼯作环境

● 坚固耐⽤，安装⽅便，易于集成

● 太阳能电池划线

● PCB、FPC分板、切割

● 硅⽚划线

● 薄膜切割

应⽤领域

UV-clean

⾃有技术

尺⼨参考

产品参数

型号

激光参数

波⻓（nm）

平均功率(W)

单脉冲能量(uJ)

脉冲宽度（ns）

重复频率

脉冲稳定性

⻓期稳定性

光束参数

偏振⽐

光束直径

光束圆度

光束质量

电源参数

预热时间

供电要求

环境温度

存储温度

物理参数

冷却⽅式

⼯作⽔温

MMEPU-355-18 MMEPU-355-20 MMEPU-355-25 MMEPU-355-30

>18W@50kHz

~350uJ@50kHz

>25W@50kHz

~500uJ@50kHz

>30W@50kHz

~600uJ@50kHz

12ns@50kHz

50-500kHz

<3%
rms

<±3%

⽔平偏振；>100:1

〜1mm(出光孔)/〜6mm(6倍扩束)

>90%

2

TEM ,M <1.3
00

冷启动时<15分钟

DC24V,500W

10-35℃，湿度<80%

-10-40℃，湿度<90%

⽔冷

25℃

>20W@50kHz

~400uJ@50kHz

355nm±1nm

Elite 系列⾼功率绿光激光器

30W

激光功率

20000 h

+

使⽤寿命

UV-clean

⾃有技术

概述

具备极佳的功率稳定性，确保了⻓时间运⾏，同时⼜有较⾼的单脉冲能量，可以在短时间内产⽣更⾼的能量密度，从⽽更好的应对碳化硅等硬度较

⾼的材料。

产品描述

● 采⽤UV-clean专利技术解决功率衰减问题，使⽤⽆忧

● 使⽤寿命超过
20000
⼩时，免维护，⽆需定期调试

● 卓越的光束质量
M²<
1.3，⼯艺简单，效率更⾼

● 3层防护，防护等级
IP65，更适合恶劣的⼯作环境

● 坚固耐用，易于安装和集成

应⽤领域

● 晶圆退⽕

● 晶圆钻孔、划线

产品参数

型号

激光参数

波⻓（nm）

平均功率(W)

单脉冲能量(uJ)

脉冲宽度（ns）

重复频率

脉冲稳定性

⻓期稳定性

光束参数

偏振⽐

光束直径

光束圆度

光束质量

电源参数

预热时间

供电要求

环境温度

存储温度

物理参数

冷却⽅式

⼯作⽔温

MMEPG-532-30

532nm

>30W@60kHz

~500uJ@60kHz

20ns@60kHz

50-500kHz

<3%
rms

<±3%

垂直偏振；>100:1

6mm(内置扩束镜）

>90%

2

TEM ,M <1.3
00

冷启动时<15分钟

DC24V,350W

10-35℃，湿度<80%

-10-40℃，湿度<90%

⽔冷

25℃

尺⼨参考

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