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Elite 系列
专注于半导体领域加工
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概述
大能量紫外激光器以波长355nm为特点，单脉冲能量1.5mJ峰值功率强大。其独特之处在于高效切割SiC和金刚石晶圆，直接切断晶圆和金属层，效率惊人，崩边 < 2 \mu \ m 。
产品描述
·激光功率15W
·单脉冲能量高 \mathsf { 1 . 5 m J } ，使用稳定
·优异的光束质量 M ^ { 2 } { < } 1 . 3 ，工艺简单、效率更高
·采用UV-clean专利技术，解决功率衰减，使用无忧
·3层防护，防护等级IP65，更能适应恶劣的工作环境
| 型号 | MMEPU-355-15-HE |
| 激光参数 | |
| 波长(nm) | 355nm |
| 平均功率(W) | >15W@10kHz |
| 单脉冲能量(uJ) | ~1500uJ@60kHz |
| 脉冲宽度(ns) | ~30ns@60kHz |
| 重复频率 | 10-20kHz |
| 脉冲稳定性 | |
| 长期稳定性 | |
| 光束参数 | |
| 偏振比 | 水平偏振；>100:1 |
| 光束直径 | ~1mm(出光孔) |
| 光束圆度 | >90% |
| 光束质量 | TEM.0,M² |
| 运行要求 | |
| 预热时间 | 冷启动时 |
| 供电要求 | DC17.5V,350W |
| 环境温度 | 10-35℃，湿度 |
| 存储温度 | -10-40°C，湿度 |
| 物理参数 | |
| 冷却方式 | 水冷 |
| 工作水温 | 25℃ |
应用领域
·SiC,金刚石晶圆研磨、划线、钻孔 ·陶瓷划线、钻孔
概述
高功率紫外激光器，有效解决功率衰减，并拥有优越的光束质量和脉冲稳定性，使用无忧。
产品描述
·激光功率18-30W
·坚固耐用，安装方便，易于集成
·寿命超过20000小时，免维护，无须定期调试
\bullet 优异的光束质量 M ^ { 2 } { < } 1 . 3 ，工艺简单、效率更高
·使用UV-clean技术，解决功率衰减问题，使用无忧
| 型号 | MMEPU-355-18 | MMEPU-355-20 | MMEPU-355-25 | MMEPU-355-30 | ||
| 激光参数 | ||||||
| 波长(nm) | 355nm±1nm | |||||
| 平均功率(W) | >18W@50kHz | >20W@50kHz >25W@50kHz | >30W@50kHz | |||
| 单脉冲能量(uJ) | ~350uJ@50kHz | ~400uJ@50kHz ~500uJ@50kHz | ~600uJ@50kHz | |||
| 脉冲宽度(ns) | 12ns@50kHz | |||||
| 重复频率 | 50-500kHz | |||||
| 脉冲稳定性 | ||||||
| 长期稳定性 | ||||||
| 光束参数 | ||||||
| 偏振比 | 水平偏振；>100:1 | |||||
| 光束直径 | ~1mm(出光孔)/~6mm(6倍扩束) | |||||
| 光束圆度 | >90% | |||||
| 光束质量 | TEMo0,M² | |||||
| 运行要求 预热时间 | 冷启动时 | |||||
| 供电要求 | DC24V,600W | |||||
| 环境温度 | 10-35C，湿度 | |||||
| 存储温度 | -10-40C，湿度 | |||||
| 物理参数 | ||||||
| 冷却方式 | 水冷 | |||||
| 工作水温 | 25℃ | |||||
应用领域
·太阳能电池划线 ·硅片划线
· PCB,FPC分板、切割 ·薄膜切割
概述
具备极佳的功率稳定性，确保了长时间运行，同时又有较高的单脉冲能量，可以在短时间内产生更高的能量密度，从而更好地应对碳化硅等硬度较高的材料。
产品描述
·激光功率30W
·坚固耐用，安装方便，易于集成
·寿命超过20000小时，免维护，无须定期调试
·优异的光束质量 \mathsf { M } ^ { 2 } { \ < } 1 . 3 ，工艺简单、效率更高
·使用UV-clean技术，解决功率衰减问题，使用无忧
| 型号 | MMEPG-532-30 |
| 激光参数 | |
| 波长(nm) | 532nm |
| 平均功率(W) | >30W@60kHz |
| 单脉冲能量(uJ) | ~500uJ@60kHz |
| 脉冲宽度(ns) | 20ns@60kHz |
| 重复频率 | 50-500kHz |
| 脉冲稳定性 | |
| 长期稳定性 | |
| 光束参数 | |
| 偏振比 光束直径 | 垂直偏振；>100:1 |
| 光束圆度 | 6mm(内置扩束镜) |
| 光束质量 | >90% |
| 运行要求 | TEM0o,M² |
| 预热时间 | |
| 供电要求 | 冷启动时 |
| 环境温度 | DC24V,600W |
| 存储温度 | 10-35C，湿度 |
| 物理参数 | -10-40℃，湿度 |
| 冷却方式 | 水冷 |
| 工作水温 | |
| 25℃ |
应用领域
·晶圆退火 ·晶圆钻孔、划线
总部
天津梅曼激光技术有限公司
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