Mitutoyo

显微镜单元 物镜(紫外、近紫外、可见、近红外区)

产品样本No.C14020（5）

三丰运用自主开发的光学技术和长年积累的精密加工技术，推出了丰富的显微镜单元和物镜产品阵容

在各个应用领域博得了世界各地用户的喜爱。
使用示例：半导体、电子、液晶相关等产品的生产品质管理系统、实验研究装置使用的光学系统外观检查系统的嵌入式光学单元微生物等运动物体的观察等

系统使用示例

系统使用示例

VMU系列提供各种小型、轻便的显微镜单元，可集成到从小型到大型的自动光学检测设备（AOI和维修设备中。

数字显微镜系统

VMU-V+数码相机

可安装数码相机，通过外部显示器进行观察和拍摄。可实现横向水平、上下颠倒等高自由度的固定方法。与简易支架一起使用，还可作为紧凑型显微镜使用。★金属、树脂、印刷面等表面观察拍摄★微量流体分析用光学系统★以观察和分析细胞、微生物等为目的的光学系统

激光加工系统

聚酰亚胺膜的剥离

使用VMU-L4B进行的UV激光加工(照片提供：V-TechnologyCo.,Ltd.）

使用VMU-L4B进行的UV激光加工（照片提供：HOYACANDEOOPTRONICS株式会社）

口

通过与YAG激光（1064nm、532nm、355nm、266nm）物镜组合，可实现高精度、高品质加工。

与简易支架一起使用，还可作为紧凑型显微镜使用。

去除上层后的IC表面SEM照片

红外分析检查系统

彩色滤光片的加工

★保护膜、有机薄膜等的剥离★金、铝等金属配线切割、下层图案的外露
★FPD的各种缺陷修复★光掩模修复
★标记、修剪、图像形成、局部退火、划线
此外还支持飞秒激光等各种激光（详情请咨询本公司）

通过与本公司制MPlanApoNIR系列等支持红外区的物镜组合，可在红外线下实现可见光下做不到的非破坏性检查。

★液晶薄膜、硅基板等的厚度测量
★MEMS内部的非破坏评价、3D安装评价
★半导体封装（IC的内部观察、晶圆键合空洞评价传感器
★红外分光特性分析

双相机·两种倍率显微镜系统

通过VMU-LB和固定倍率观察用相机卡口的组合，能够对同一位置以不同倍率同时观察。（低倍率侧：2/3型、高倍率侧：1/2型等）

可扫描二维码观看视频。 □ https://bcove.video/3H2MhkA

可下载各产品的CAD数据、透射特性与像方焦点位置数据。详细内容请查看本公司主页进行确认。
□https://sensing.mitutoyo.co.jp/

目录

视频显微镜单元 VMU <br>（物镜为选件）

■特点

·紧凑、轻巧的相机观察专用显微镜(适用于金属、树脂、印刷表面、微小运动物体等各种观察对象。）
·适用于使用YAG激光(近红外、可见、近紫外、紫外)的微细加工\*1(半导体电路的切割、修整、修复、打标、薄膜(绝绿膜)的去除和加工、液晶彩色滤光片等的修复等。）
·适用于红外光学系统\*2
·反射照明光学系统标配带孔径光阑远心照明（非常适合需要均匀照明的图像处理。可用于尺寸测量、形状检查、定位等。）
·VMU-LB和VMU-L4B强化了显微镜主体的刚性和综合性能(与以往产品相比)
·除标准规格外，还可按照需求设计制作双相机、双倍率(低倍率、高倍率)等产品

（物镜为选件）

特点

·超大视场观察对应(成像视场g30mm)
·视场周边的亮度大幅提高(降低对光照分配特性的依赖)
·适用于红外观察1
·紧凑的观察光学系统(外观尺寸图P.34)
·适用于高分辨力物镜HR系列（瞳径g16.8mm设计）

※1：另需红外光源或红外摄像机等。此外，关于红外观察的详情，请向最近的本公司营业所咨询。

特点

·超大视场观察对应（成像视场g30mm）·适用于各种观察法（通常的明视场观察、适合用于外观检查和划痕检查的暗视场观察、具有偏光特性的观察对象的偏光观察）

VMU

系统构成

WIDEVMU-HR/WIDEVMU-BD

系统构成

1安装时可能另需适配器，敬请咨询

VMU系列通用选件

手动转塔

最多可安装4个物镜，转塔的方向可相对于安装面自由设置。

聚焦单元A·B

用于VMU的手动聚焦。
在简易支架上安装A时，简易支架的工作台中央与光轴一致，转塔方向可360度自由设置。

TV适配器单元

安装到C-Mount部即可改变成像倍率。

调心电动转塔

最多可安装5个物镜，转塔的方向可相对于安装面自由设置。

图片：在VMU-V上安装的示例

偏光单元

进行简易偏光观察时使用，也建议在使用低倍率物镜时用于提高对比度。

固定倍率观察用相机卡口

在激光振荡器配备规格的激光接口卡口上安装即为双相机端口规格，可以使用两台相机观索同一部位。适用于2/3型以下相机（C-Mount规格）。

WIDEVMU-HR/WIDEVMU-BD系列通用选件

■明视场(BF)用转塔明暗视场(BD)用转塔

最多可安装4个物镜。

聚焦单元C

用于WIDEVMU的手动聚焦。在简易支架上安装时，工作台中央与光轴一致。

明视场(BF)用电动转塔明暗视场(BD)用电动转塔

明视场(BF)用电动转塔最多可安装5个物镜（带调心机构)，明暗视场(BD)用电动转塔最多可安装4个物镜。

|偏光单元(C)

进行简易偏光观察时使用，也建议在使用低倍率物镜时用于提高对比度。

VMU系列通用选件外形尺寸图

手动转塔

VMU-V·H时

注1：安装转塔时请拆下卡口部分使用。注2：转塔方向可相对于安装面自由设置

VMU-LB·L4B时

注1：安装转塔时，为使物体面到VMU主体的安装螺纹的距离保持固定，请先拆下中间镜筒和卡口部分再进行安装。
注2：转塔方向可相对于安装面自由设置。

聚焦单元A·B

■调心电动转塔

※使用M PlanApo HR100× (378-815-4)时

VMU-V·H时

注1：安装转塔时请拆下卡口部分使用。注2：转塔方向可相对于安装面自由设置

※使用M Plan Apo NIR HR100x(378-864-15)时

VMU-LB * L4B时

注1：安装转塔时，为使物体面到VMU主体的安装螺纹的距离保持固定，请先拆下中间镜筒和卡口部分再进行安装。
注2：转塔方向可相对于安装面自由设置。

偏光单元

VMU-V·H时

注：安装检偏镜单元需拆下照明镜筒部。安装起偏镜单元需拆下带孔径光阑反射照明单元。

VMU-LB * L4B时

注：安装检偏镜单元前需拧松护罩。安装起偏镜单元需拆下带孔径光阑反射照明单元。

WIDEVMU-HR/WIDEVMU-BD系列通用选件外形尺寸图

明视场(BF)用转塔

■明暗视场(BD)用转塔

WIDEVMU-HR时

注1：安装转塔需拆下单物镜卡口部位，WIDEVMU主体安装位置与工作台的距离不变。
注2：转塔安装方向仅限图中所示方向。

WIDEVMU-BDV * * BDH时

注1：安装转塔需拆下单物镜卡口部位，WIDEVMU主体安装位置与工作台的距离不变。
注2：转塔安装方向仅限图中所示方向。

■明视场(BF)用电动转塔

明暗视场(BD)用电动转塔

WIDEVMU-HR时

注1：安装转塔需拆下单物镜卡口部位，WIDEVMU主体安装位置与工作台的距离不变。

注2：转塔安装方向仅限图中所示方向。

WIDEVMU-BDV * * BDH时

注1：安装转塔需拆下单物镜卡口部位，WIDEVMU主体安装位置与工作台的距离不变。

注2：转塔安装方向仅限图中所示方向。

聚焦单元C

偏光单元(C)

注：安装起偏镜单元需拧松照明镜筒部的护罩安装检偏镜单元需拆下相机镜筒部。

显微镜单元 FS70

■特点

目镜、转塔、物镜为选件。

·带目镜观察部的小巧显微镜单元（适用于金属表面和半导体、液晶、树脂等各种观察对象。）

·适用于使用YAG激光(近红外、可见、近紫外、紫外)的微细加工\*

(半导体电路的切割、修整、修复、打标、薄膜（绝绿膜)的去除和加工、液晶彩色滤光片等的修复等。）

·适用于红外光学系统2

·推出了适用于明视场、暗视场、简易偏光、微分干涉观察的机型

·反射照明光学系统标配带孔径光阑科勒照明

·通过采用内部转塔和长工作距离物镜，确保了在显微镜下的高操作性

规格

■系统构成

※2安装时可能另需适配器，敬请咨询。

FS70系列通用选件

偏光装置

进行简易偏光观察时使用，也建议在使用低倍率物镜时用于提高对比度。

微分干涉装置

微分干涉观察时使用，与偏光装置一同使用。

适配器B

\mathbb { I } 0 . 5 x \mathbb { T } \vee 适配器

用于安装C-Mount规格的相机。

货号378-042
成像视场：011mm
质量：170g

通过使用 1 0 . 5 x 缩小中继光学系统，可以在显示器上进行大视场观察（实际视场的2倍）。

货号375-054
成像视场：011mm
质量：300g

注）与适配器B一同使用。

FS70系列通用选件外形尺寸图

■物镜转换适配器

可在明暗视场用转塔上安装明视场用物镜的螺纹转换适配器。与明暗视场用物镜同时使用也可保持相同焦点。

FS70倾斜目镜镜筒

推出了可变角度目镜规格，用户在使用显微镜目镜观察时，可以根据身高将自镜调节到舒适的眼点。

照片：FS70Z-TH（目镜、物镜、转塔为选件）

176-212DC378-016DC的该孔径不同。

手动聚焦单元S

手动聚焦单元S与标准聚焦单元相比，可以在不改变眼点位置的情况下，将安装位置提高68mm。以下货号为预先安装了本聚焦单元的FS70主体。

明视场用物镜M Plan Apo /M Plan Apo HR

VMU WIDEVMU FS70 MF-U HyperMF-U特点 ·无限远校正·明视场观察用·长工作距离·平场复消色差规格

外观尺寸图

M Plan Apo 1×

M Plan Apo10×

M Plan Apo HR 5×

MPlan Apo 2×

M Plan Apo 20×

M Plan Apo HR10×

MPlanApo 5 x

(工作距离)4 151825 95（齐焦距离）

MPlan Apo HR 50×

MPlanApo 50×

M Plan Apo 7.5×

MPlan Apo100× <br>MPlan Apo HR 1 0 0 x

明视场用物镜M Plan Apo SLVMU WIDEVMU FS70 MF-U HyperMF-U

特点

·无限远校正
·明视场观察用
·超长工作距离(超长规格)
·平场复消色差规格

外观尺寸图

MPlan Apo SL20×

M Plan Apo SL50×

（工作距离）4 1413825 95（齐焦距离）

明视场用物镜

G Plan Apo

VMU WIDEVMU FS70 MF-UHyper MF-U

特点

MPlan Apo SL100×

·无限远校正
·明视场观察用
·超长工作距离
·平场复消色差规格
·按玻璃厚度为3.5mm（材质：BK7)进行了校正设计···适合透过玻璃的高倍率观察。※玻璃的厚度、材质（折射率)可按用户指定设计制作。

外观尺寸图

G Plan Apo 50×

明暗视场用物镜BD Plan Apo

FS70 WIDEVMU MF-U HyperMF-U

特点

·无限远校正
·明视场观察及暗视场观察用适用于观察检测对象表面的划痕或凹凸等。
·长工作距离
·平场复消色差规格

外观尺寸图

BD Plan Apo100×

明视场用近红外区校正物镜M Plan Apo NIR /MPlan Apo NIR HR/M Plan Apo NIR B

VMU FS70

特点

·无限远校正·明视场观察及激光加工用
·长工作距离·平场复消色差规格
·对可见区（常用观察波长区）到近红外区(波长\~1800nm）进行了校正设计。
·NIRHR：高分辨力规格···分辨力提高约50%以上(与标准型相比)

外观尺寸图

明视场用液晶近红外区校正物镜LCD Plan Apo NIR /LCD Plan Apo NIR HR

VMUFS70

特点

·无限远校正
·透过液晶玻璃的明视场观察及激光加工用
·超长工作距离
·平场复消色差规格
·按液晶玻璃厚度为1.1mm或0.7mm进行了校正设计···适合透过玻璃的高倍率观察。※玻璃的厚度、材质（折射率）可按用户指定设计制作。

|外观尺寸图

LCD Plan Apo NIR 20×(t0.7)

LCD Plan Apo NIR 50×(t1.1)/(t0.7)

LCD Plan Apo NIR HR 50×(t0.7)

LCD Plan Apo NIR 100×(t0.7)

LCDPlan Apo NIR HR100×(t0.7)

明视场用近紫外区校正物镜M Plan Apo NUV/M Plan Apo NUV HR

VMU FS70

特点

·无限远校正
·明视场观察及激光加工用
·长工作距离
·平场复消色差规格
·对近紫外区（波长355nm）到可见区（常用观察波长区）进行了校正设计。
·NUVHR：高分辨力规格···分辨力提高约50%以上(与标准型相比)

外观尺寸图

M PlanApo NUV10×

MPlanApo NUV 2 0 x

M Plan Apo NUV 50×

MPlanApo NUV 1 0 0 x

MPlanApoNUVHR 5 0 x

明视场用液晶近紫外区校正物镜LCD Plan Apo NUV/LCD Plan Apo NUV HR

VMUFS70

特点

·无限远校正
·透过液晶玻璃的明视场观察及激光加工用
·超长工作距离
·平场复消色差规格
·按液晶玻璃厚度为1.1mm或0.7mm进行了校正设计···适合透过玻璃的高倍率观察。玻璃的厚度、材质（折射率)可按用户指定设计制作。

■外观尺寸图

LCD PlanApo NUV HR 5 0 x ( \mathbf { \hat { t } } \mathbf { 0 } . 7 )

Mitutoyo

明视场用紫外区校正 物镜M Plan UV

VMU FS70

特点

·无限远校正
·明视场观察及激光加工用
·长工作距离
·平场规格
·对紫外区（波长266nm）和可见区（常用观察波长区）进行了校正设计。重点保证了紫外区的高透射率。

外观尺寸图

明视场用液晶紫外区校正 物镜LCD Plan UV

VMU FS70

特点

·无限远校正
·透过液晶玻璃的明视场观察及激光加工用
·长工作距离
·平场规格
·按液晶玻璃厚度为0.7mm进行了校正设计··适合透过玻璃的高倍率观察。※玻璃的厚度、材质（折射率)可按用户指定设计制作。

I外观尺寸图

成像(镜筒)透镜MT

像差校正范围

MT-1,2,40：可见区（435.8\~656.3nm） MT-L ：近紫外区(355nm）到近红外区(1800nm) MT-L4 ：紫外区（266nm）到可见区（620nm)

外观尺寸图

物镜和成像镜头的配置

VMU、WIDEVMU、FS70采用了使用物镜和成像（镜筒）透镜进行成像的无限远校正光学系统。
物镜与成像镜头之间的光通量为平行光线，能减少反射照明用半反射镜产生的重影、棱镜、滤光片等的像位变化。
使用本公司制造的物镜设计光学系统时，请使用上述成像（镜筒）透镜。

本公司的长工作距离物镜在成像镜头按照指定尺寸配置时，可以覆盖成像视场g30mm(MT-1/2)、g24mm(MT-40/L/L4)。当插入自有的照明光学系统或其他光学元件，超过了指定尺寸时，可以通过下式求出大致尺寸。

1：物镜的出童直径（mm）l=（02-01）·f2/g[mm] (1) 2：成像镜头的入射透镜直径[mm]f2：成像镜头的焦距[mm]1=2·f·NA[mm] (2) 0 ：成像视场（mm]

（例）以成像视场g24使用MPlanApo \boldsymbol { \mathfrak { 1 0 x } } 和MT-1时，的距离最大可为多少？

由（2）可得 \begin{array} { c } { 0 1 = 2 x 2 0 x 0 . 2 8 } \\ { = 1 1 . 2 (mm ) } \end{array} （204号
※15页的规格栏中MPlanApo 1 0 x 的焦距 = 2 0 \mathsf {mm } ，数值孔径NA=0.28由（1）可得 \begin{array} { c } { \ell = ( 2 4 { * } 1 1 . 2 ) x 2 0 0 / 2 4 } \\ { = 1 0 6 . 6 ~ { (mm ) } } \end{array}
距离在 \mathscr { L } = 106mm以下时，以成像视场g24可以得到没有渐晕的成像。※上述规格栏中MT-1的人射透镜直径 : = 2 4 \mathsf {mm } ，焦距f \ c = 200mm在指定尺寸以下使用物镜和成像镜头对光学性能没有影响。
关于其他详细情况，请咨询本公司。

Mitutoyo

■外观尺寸图

※齐焦距离为设计值。

大视场目镜WF

MFMF-U HyperMF HyperMF-U FS70

■特点·大视场型目镜WF·采用外部聚焦式光学系统···可根据用途安装各种分划板

外观尺寸图

WF 1 0 x 1 2 4

WF 2 0 x 1 1 2

分划板

■特点

·可以插入目镜(中间成像位置)，简单地测量尺寸···适用于No.378-866、378-858
·分划板线宽10um···仅No.516576为7um
·外径g25mm、厚度1mm

外观尺寸图

各种显微镜选件

简易支架

IXY工作台

用于安装VMU、WIDEVMU、FS70的支架。组合使用XY工作台和透射照明单元，可以用作能够进行透射照明观察的小型显微镜。

图片：安装FS70Z及XY工作台的示例（目镜、物镜、转塔、照明装置为选件)

透射照明单元

安装在简易支架的底座部，用于进行透射照明。
光源请使用以下光纤照明装置(100W/150W)。

■光纤照明装置(100W)

外形尺寸图

VMU外形尺寸图

VMU-V

VMU-H

VMU-LB

VMU-L4B

■FS70外形尺寸图

FS70L

WIDEVMU-BDV

FS70L4

WIDEVMU-BDH

解说物镜螺纹规格

1.适用范围 本螺纹规格适用于本公司的显微镜物镜螺纹。
2.形状及尺寸符合JISB-7141-1994，其规定如下。

明视场用物镜、测量显微镜、定心显微镜物镜

三丰物镜的光学特性

本公司物镜按照近红外区、可见区、近紫外区、紫外区的不同波长划分了系列。
除了常用的可见观察外，还适用于红外及紫外观察、激光(YAG、飞秒等)微细加工，提高了特定波长区的透射特性。

关于物镜特性的详细内容，请向最近的本公司营业部门咨询。可以按照用户指定的特定波长，设计制作对相应波长的透射特性进行优化的产品。注)上述透射特性的曲线图并不保证在任何情况下都具有图中的透射率。

解说激光的使用方法和注意事项

本公司显微镜单元VMU、FS70的各系列都备有使用显微镜配备型激光[主要为Nd：YAG激光基波(1064nm)、二次谐波(532nm）、三次谐波(355nm)、四次谐波(266nm)]进行激光加工的类型。使用支持激光的显微镜单元及显微镜物镜进行的激光加工是以微细加工为目的，无法照射高输出功率的激光。使用之前请预先确认使用激光的注意事项。

■激光适用显微镜单元的激光输入条件

请按照以下条件确定激光输人上限值。另外，光学系统的入射激光视为平行光且无偏光。

■物镜的激光输入上限值

向物镜直接入射激光时，请根据以下条件确定激光输入上限值。
另外，光学系统的入射激光视为平行光。

例脉冲宽度为1/4时，能量密度约为1/2。使用波长为1064nm、脉冲宽度为2.5ns的激光时，输入上限值为0.1(J/cm2)。

光学术语

1.数值孔径(NA=Numerical Aperture的缩写)

数值孔径NA是决定物镜分辨力、焦深、成像亮度等的重要值。
NA以下式表示，数值越大，成像的分辨力越高、焦深越小。

n是物镜前端与试料之间介质的折射率，介质为空气时 \scriptstyle γ = 1 . 0 , θ 是穿过物镜最外侧的光线与透镜中心（光轴)的夹角。

物镜
空气（n=1） 试料
载玻片

2.分辨力(R=Resolvingpower的缩写)

能够分辨距离极小的点或线的最小间隔叫作分辨力。
分辨力(R)由数值孔径NA和波长决定。

3.工作距离(W.D.=WorkingDistance的缩写)

指对准焦点时试料面到物镜前端的距离。

4.齐焦距离

对准焦点时试料面到物镜安装位置的距离。

5.无限远校正光学系统

使用物镜和成像(镜筒)透镜成像的光学系统叫作无限远校正光学系统。

6.有限远校正光学系统

物镜单独在有限远的位置成像的光学系统叫作有限远校正光学系统。

7.物镜的焦距(f=FocalLength的缩写)与倍率的关系

主点到焦点的距离，f1为物镜的焦距，f2为成像（镜筒)透镜的焦距。倍率由物镜的焦距和成像(镜筒)透镜的焦距之比决定。（无限远校正光学系统时)

8.视场数（F.N. \ c = FieldNumber的缩写)、实际视场、显示器显示倍率

(1)显微镜可以观察的检测对象的范围(直径)

样品表面上观察范围的大小由目镜视场光阑的直径决定，以mm表示该直径的值叫作视场数。实际视场为实际使用物镜放大观察到的物体面上的范围。
实际视场可通过下式计算。目镜的视场数
实际视场（mm)=物镜倍率24（mm)
(例)1×镜头的实际视场为24（mm）=110×镜头的实际视场为2.4（mm）= 24(mm)10

(2)显示器观察范围

显示器观察范围 (mm ) =

(3)显示器显示倍率

显示器上的显示对角线长度（mm）显示器显示倍率=物镜的倍率×相机摄像元件的对角线长度（mm）

9.焦深(D.F.=DepthofFocus的缩写)

使用显微镜对准焦点时，前后移动焦平面也清晰可见的范围。数值孔径越大，焦深越小，反之则焦深越大(数值孔径小)，聚焦范围更大，在同一焦点下可以确认微小的高低差等。因为肉眼的调节能力因人而异，每个人感觉到的焦深各不相同。现在常用的是与实验结果比较一致的Berek公式。立体显微镜等使用的低倍率镜头的焦深较大，与相机术语景深同义。

●目镜观察时（Berek公式）

± 0 ( \mu { m } ) = / { ∞ x 2 5 0 . 0 0 0 } { \mathsf { N A } x \mathsf { M } } + / { λ } { 2 x ( \mathsf { N A } ) ^ { 2 } } \quad λ = 0 . 5 5 \mu { m } ( \sharp \sharp \sharp \sharp \sharp \mathsf { K } ) ：肉眼分辨力0.0014（假设眼睛的视角为5分）M：综合倍率（物镜倍率 x 目镜倍率）

OTV显示器观察时

10.明视场照明和暗视场照明

明视场照明是照明视场的观察方法，明视场反射照明是穿透物镜垂直照明，以此来观察试料的照明方法，暗视场照明是从物镜外周对试料进行照明（以相对于光轴倾斜的光线对试料进行照明)，使没有伤痕的平坦部分发暗，仅有凹凸或伤痕的部分发亮，以此来进行观察的照明方法。

11.复消色差物镜和消色差物镜

复消色差物镜是对三种颜色的光(红蓝黄)进行色差(色散)校正的镜头。消色差物镜是对两种颜色的光(红蓝)进行色差校正的镜头。

12.科勒照明

带视场光阑和孔径光阑的照明光学系统，已得到大多数生物显微镜、金相显微镜等的采用，照射光不在观察面上直接成像，而是均匀照射整个观察范围。视场光阑能使照射范围的轮廓变得清晰，孔径光阑能调节亮度。

13.远心

使主光线经过焦点的光学系统，具有即使焦点偏移，成像中心的大小也不发生变化的特点。

14.孔径光阑

用于调节光经过的范围，与亮度、分辨力有关的光阑。特别是使用透射照明测量圆筒检测对象的宽度尺寸时，采用合适的光阑可以减少衍射光，正确进行测量和观察。

15.视场光阑

用于阻断观察范围之外的光的光阑。通过阻断多余的光，可以确保成像清晰。

16.平场(Plan)

校正消色差镜头或复消色差镜头的像面、图像的弯曲，对平面像进行校正，使其呈现清晰平面的物镜。本公司的FS物镜全部为Plan规格。

17.渐晕

因穿透物镜的人射光在成像之前出现某些问题而导致周边部光线减弱、变暗的现象。

18.耀斑

指透镜内的内反射和镜筒内的散射使光在视场内的发生重叠（发白）的现象，会导致成像的对比度降低。

19.重影

成像光学系统内光学部件发生多重反射，使一个成像看上去像两个重叠的现象。

20.物镜的瞳径和光斑直径

●瞳径

可对物镜(后侧)入射的轴上平行光束的最大直径。瞳径可以通过下式计算。

瞳径（gmm)=2×NA×fNA：物镜的NAf：物镜的焦距（mm）

●光斑直径

对物镜(后侧)入射强度分布均匀的光束时，聚光强度分布值为0的直径。
光斑直径可通过下式粗略计算。

λ 光斑直径（gum)=1.22× （参考值） NA

NA：物镜的NA：使用的波长（um）

但上式不适用于激光等截面上的强度分布为高斯分布的光源。激光束直径一般用达到峰值的1/e的值，即13.5%的直径来表示，激光的光斑直径可以通过下式计算。

4×λxf 光斑直径（gum）=- （参考值） π×D

：使用的波长（um）
D：激光出射光束直径（gum)
f：物镜的焦距（um）

RYOKA菱华国际贸易有限公司

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注释：

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