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更是开启了一段以您的研究或生产需求为核心的深度合作之旅。
我们将以深厚的技术积淀、严谨的制造工艺和对品质的极致追求，
期待与您深入探讨，为您量身定制更完美的科研解决方案！
联系热线 +86-21-6525 3206
上海市宝山区富联二路558号
info@fermi.com
费勉仪器
PROFILE
创立于 2012 年，是先进电子材料研发、制备、量测的高端仪器设备提供商。
13 年发展历程，费勉仪器始终坚持“自主研发 + 技术创新”，在超高真空、温度控制、薄膜制备、等
离子技术四个领域，都有丰富的技术积累和成熟产品线，代表性产品已在国内外众多知名研究机
构及工业客户中，得到了广泛应用和认可。
费勉仪器目前有四条产品线，分别是科学仪器、等离子光源、工业镀膜、工业量测。
本手册重点介绍科学仪器产品线。科学仪器产品线主要面向高校和科研院所用户，产品覆盖真空
产品、低温产品、薄膜制备、样品处理和表征量测五大板块。
费勉介绍
*以上数据截止于2025年06月
330+
员工规模
20000m2+
独立办公及生产空间
30%+
研发人员占比
公司英文名FERMI，是为了纪念伟大的物理学家Enrico Fermi
我们希望学习先贤，通过探究基础物理学原理来实现技术创新，服务人类社会，达到效率和品质的改善
——创始人寄语
创立于 2012 年，是先进电子材料研发、制备、量测的高端仪器设备提供商。
13 年发展历程，费勉仪器始终坚持“自主研发 + 技术创新”，在超高真空、温度控制、薄膜制备、等
离子技术四个领域，都有丰富的技术积累和成熟产品线，代表性产品已在国内外众多知名研究机
本手册重点介绍科学仪器产品线。科学仪器产品线主要面向高校和科研院所用户，产品覆盖真空
产品、低温产品、薄膜制备、样品处理和表征量测五大板块。
330+
员工规模
20000m
公司英文名FERMI，是为了纪念伟大的物理学家Enrico Fermi
我们希望学习先贤，通过探究基础物理学原理来实现技术创新，服务人类社会，达到效率和品质的改善
VACUUM PRODUCTS
真空产品
高真空技术主要涉及超高真空的获取、测量和维持，以及 UHV 条件下的运动。
费勉仪器已成功掌握超高真空环境涉及的一系列精密而复杂的技术，包括高效的真空泵系统、特
殊材料的选择和处理、精密的真空腔室设计，以及准确的真空测量和运动控制系统。
真空系列产品包括：多维平移台、旋转驱动、传样设备、UHV 腔体和 UHV 互联系统等。
线性驱动 多维平移台 旋转驱动
传样设备 真空互联系统 真空配件 & 耗材
直线伸缩驱动 全尺寸三维平移台 低温真空手提箱
产品详情 产品详情 产品详情
升降式传样杆
产品详情
了解更多产品
直线互联系统 LDC
产品详情
磁耦合旋转驱动
产品详情
高真空技术主要涉及超高真空的获取、测量和维持，以及 UHV 条件下的运动。
费勉仪器已成功掌握超高真空环境涉及的一系列精密而复杂的技术，包括高效的真空泵系统、特
殊材料的选择和处理、精密的真空腔室设计，以及准确的真空测量和运动控制系统。
真空系列产品包括：多维平移台、旋转驱动、传样设备、UHV 腔体和 UHV 互联系统等。
多维平移台
真空互联系统 真空配件 & 耗材
直线伸缩驱动 全尺寸三维平移台
产品详情 产品详情
产品详情
直线互联系统 LDC
LOW TEMPERATURE PRODUCTS
低温产品
费勉仪器深耕超低温技术多年，有具备完整的低温相关仪器设备设计、制造和技术服务的能力。
费勉仪器通过科技创新以及自主研发，已经形成了丰富的低温技术平台和低温产品矩阵。
主要产品包括低温光学恒温器、多轴低温样品杆、氦液化设备、低温强磁场测量系统等，广泛应
用于科研仪器、低温工程、量子信息和半导体制造等领域。
制冷机 低温恒温器 制冷杆
低温系统 低温泵 专用低温配件耗材
离子阱恒温器 Cryo-402 氦气减震恒温器 减震型自循环氦液化系统
产品详情 产品详情 产品详情
桌面减震恒温器 强磁场恒温器
产品详情 产品详情
了解更多产品
低温产品
用于科研仪器、低温工程、量子信息和半导体制造等领域。
低温泵 专用低温配件耗材
产品详情 产品详情
桌面减震恒温器 强磁场恒温器
产品详情
THIN FILM FABRICATION PRODUCTS
薄膜制备
薄膜制备技术，涵盖了物理与化学气相沉积两大类方法。其中，物理气相沉积（PVD）技术在真空
环境中占据主导地位，通过物理手段将材料源转化为气态原子、分子或离子，进而在基体表面沉
积具有特定功能的薄膜。化学气相沉积（CVD）方法，通过化学反应在气相中生成所需的物质，并
沉积到基体表面。
费勉仪器提供多种薄膜制备设备包括：分子束外延设备 MBE、磁控溅射 Sputtering、脉冲激光
沉积 PLD、电子束蒸镀 EBE、化学气相沉积 CVD 和原子层沉积 ALD 等。
MBE 系统 磁控溅射系统 PLD 系统
CVD 系统 ALD 系统 EBE 系统
MBE 400
产品详情
PLD 300
PVD 300
产品详情
产品详情
MBE 350
产品详情
了解更多产品
薄膜制备
环境中占据主导地位，通过物理手段将材料源转化为气态原子、分子或离子，进而在基体表面沉
费勉仪器提供多种薄膜制备设备包括：分子束外延设备 MBE、磁控溅射 Sputtering、脉冲激光
沉积 PLD、电子束蒸镀 EBE、化学气相沉积 CVD 和原子层沉积 ALD 等。
磁控溅射系统 PLD 系统
ALD 系统 EBE 系统
产品详情
PLD 300
产品详情
产品详情
MBE 350
产品详情
在材料科学和表面科学领域，原位样品处理
手段主要用于研究材料和界面的物理、化学
性质在实时、原位条件下的变化和演变。
原位样品处理手段提供了一种观察材料和界
面变化的实时窗口，为理解材料性能和反应
机理提供了重要的信息。不同的样品处理手
段可以结合使用，以获得更全面、准确的原位
信息。
费勉仪器提供多种原位样品处理设备，包括热
处理、原子 / 离子 / 电子处理和机械处理等。
SAMPLE PROCESSING
样品处理
热处理 光处理 离子 / 原子 /
电子处理
气氛处理 机械处理
（原位解理） 化学处理
高温高压反应池
产品详情
等离子源
产品详情
激光加热反应池
产品详情
了解更多产品
信息。
热处理 光处理
电子处理
机械处理
（原位解理） 化学处理
高温高压反应池
产品详情
等离子源
产品详情
产品详情
了解更多产品
SURFACE MEASUREMENT
表征量测
能谱类 光谱类 质谱类
探针类 物性测量类 电镜类
产品详情
TPD 系统 PEMMS-100
产品详情
STM/SPM
产品详情
表征量测技术是利用电子、光子、离子、原子、
强电场、热能等与固体表面的相互作用，测量
从表面散射或发射的电子、光子、离子、原子、
分子的能谱、光谱、质谱、空间分布或衍射图
像，得到表面成分、表面结构、表面电子态及
表面物理化学过程等信息的各种技术。
费勉仪器提供多种表征量测设备，包括能谱
类、质谱类和光谱类等。
了解更多产品
产品详情
TPD 系统 PEMMS-100
TYPICAL CASES
典型交付案例
北京大学
武汉大学
重庆大学
香港理工大学
澳门大学
泰国 SUT
美国RICE大学
云南大学
清华大学
太原理工大学
中科院化学所
武汉大学
澳门大学
太原理工大学
欢迎您选择费勉仪器！您购买的不止产品，
更是开启了一段以您的研究或生产需求为核心的深度合作之旅。
我们将以深厚的技术积淀、严谨的制造工艺和对品质的极致追求，
助力您攻克科学难题，实现技术突破。
期待与您深入探讨，为您量身定制更完美的科研解决方案！
产品手册
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费勉仪器科技（上海）有限公司
Fermion Instruments (Shanghai) Co., Ltd.
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