小型气动滑台MXH2系列(ø6 ~ ø25)

外形尺寸图 (毫米)

行程

5 - 60mm

MXH2B25

行程

75, 100,

125, 150mm

MXH2B25

3836

7

20

2 x M5 x 0.8

供气口

4 x M5 x 0.8

深8

7.5

15 10 + 行程

20

4 x M5 x 0.8

深8

32

20

7374

31.5 34

4 x M5 x 0.8

深15.5

3120

20 LA LB

LT

J x M5 x 0.8

深11.5

4 x M5 x 0.8

螺塞

40

66.5 + 行程

48.5 + 行程

6 NS

19

15.5

36

11.5

3 x M6 x 1.0

底孔ø5.2

6 x ø9.3沉孔深8

7.5 5.5

3836

7

20

4 x M5 x 0.8

深8 2 x M5 x 0.8

供气口

7.5

15 20 + 行程

20

4 x M5 x 0.8

深8

77.5 78.5

36 34

32

20

4 x M5 x 0.8

深15.5

LT

LA LB LC

3120

20 J x M5 x 0.8

深16

36

77 + 行程

58 + 行程

15.5 6 NS

19

40 16

3 x M6 x 1.0

底孔ø5.2

6 x ø9.3沉孔深8

4 x M5 x 0.8

螺塞

5.57.5

[mm]

行程

5, 10

15, 20

25, 30

40

50

60

L1

87

97

107

117

127

137 85

75

65

55

45

35

NS

133.5

123.5

113.5

103.5

93.5

83.5

LT

30

25

20

—

—

—

LB

30

25

20

30

20

10

LA

80

70

60

50

40

30

L3

68

118

108

98

88

78

L2

6

6

6

4

4

4

J

[mm]

行程

75

100

125

150

J

6

8

8

6

175

150

125

100

NS

199

224

149

174

LT

35

35

—

—

LC

35

35

30

30

LB

35

35

30

30

LA

50

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

当停电后，编码器可记忆位置数据，电源恢复

后可继续移动，不需要返回原点。

无需电池安装，减低更修率。

注)有关电缸外型尺寸图，请与SMC联系或可通过本公司官网下载，http://www.smcworld.com

高刚性高精度型电驱动缸(滑块型)

无电池绝对式编码器

LEKFS系列

型号表示方法 LEKFS 25 E A 400 R3 C5173

共同规格

LEKFS16 LEKFS25 LEKFS32 LEKFS40

100 ~ 500 100 ~ 500 100 ~ 500 200 ~ 600

14 15 12

2 4

10 5

29 59

10 ~ 600 5 ~ 300

10 ~ 600 5 ~ 300

25 30 20 45 50 25 55 65

0.5 7.5 15 4 10 20 2 2 23

轴向安装 401 ~ 500

~ 400

~ 400 20 ~ 1100 12 ~ 750 6 ~ 400 24 ~ 1200 16 ~ 800 8 ~ 400 30 ~ 1200 20 ~ 850 10 ~ 300 10 ~ 700 5 ~ 360

30 ~ 1200 20 ~ 850 10 ~ 300

30 ~ 750 20 ~ 550 10 ~ 300

501 ~ 600

缸体安装 401 ~ 500

10 ~ 700 5 ~ 360 20 ~ 900 12 ~ 600 6 ~ 300 24 ~ 800 16 ~ 650 8 ~ 325 30 ~ 750 20 ~ 550 10 ~ 300

501 ~ 600 — — — — — —

— — — — — — — —

— —

3000

±0.01 (螺距H: ±0.02)

0.05

20 12 6 24 16 8 30 20 10

50/20

滚珠丝杆(LEKFSm)、滚珠丝杆+皮带(LEKFSmR/L)

轴承种类 滑动轴承

5 ~ 40

□28 □42 □56.4

24 VDC ±10%

24 VDC ±10%

57 123 141

47 78 157 72 108 216 75 113 225

2.9 5

51

5 5

型号

行程(mm)

水平

垂直 最大可搬重量(kg)

速度

(mm/s)

行程

范围

加减速度(mm/s2

)

重复定位精度(mm)

耐冲击/耐振动(m/s2

)

螺距(mm)

间隙(mm)

驱动方式

使用温度范围(°C)

使用湿度范围(%RH) 90或以下

电机尺寸

电机种类 无电池绝对型(步进电机24VDC)

编码器 无电池绝对型(4096 p/r)

电源规格(V)

瞬时最大耗电量(W)

类型 非磁力锁

保持力(N)

消费电力(W)

电源规格(V)

JXCE1 JXCEF JXC91 JXCP1 JXCL1 JXCLF JXCM1

种类

系列

通讯协议

对应马达

定位点数

电源电压

EtherCAT®

直接输入型

EtherNet/IP™

直接输入型

PROFINET

直接输入型

IO-Link

直接输入型

CC-Link

直接输入型 步信息输入型

EtherCAT® EtherNet/IP™ PROFINET

JXCD1

DeviceNet™

直接输入型

并行输入输出 带STO安全功能直带输入型 DeviceNet™ IO-Link 带STO安全功能直带输入型 CC-Link

无电池绝对型(步进电机24VDC)

64点

24 VDC

JXC51/JXC61

※1 与LEFS比较

※2 尺寸40、Mep、外悬臂量300mm时

※3 不包括H螺距

采用圆弧结构 实现高刚性和高精度

耐力距※1 ※2

提升高达61%

滑块偏差※1

减少高达50%

零间隙

300mm

伸出距离300mm

滑台间隙

尺寸

LEKFS LEFS

25 0 0.079

32 0 0.068

40 0 0.052

伸出距离造成滑台间隙

[mm]

安装尺寸与LEFS系列相同，完全可替换

高度/阔度一样

滑台阔度

缸体阔度

高度

高度

2

1

LEKFS系列

LEFS系列

缸体安装间距一样

工件安装间距一样

钢球旋转中心

滑轨(转动面)

LEKFS系列 4列圆弧

LEFS系列

钢球旋转中心

滑轨(转动面)

尺寸

25

16

32

40

电机安装位置

无记号 轴向安装

R 缸体右端

L 缸体左端

电机种类

E 无电池绝对式

(步进马达24VDC)

电机选项

无记号 无带锁

B 带锁

电缸本体电缆长度 (m)

无记号 无电缆 R8 8

R1 1.5 RA 10

R3 3 RB 15

R5 5 RC 20

行程

尺寸 对应行程

100 200 300 400

25

16

—

32 —

40 —

500 600

—

—

螺距

记号 LEKFS16 LEKFS32 LEKFS40

H 24 30

A 10 16 20

B 5

LEKFS25

20

12

6 8 10

(mm)

• 符合第三方获得的产品认证

(EN 61508 SIL 3, EN 62061 SIL CL 3, EN ISO 13849-1 Cat. 3 PL e)

• EN 61800-5-2 STO (Safe Torque Off) 功能

*STO安全功能对应品

直带输入型*

带STO安全功能

直带输入型*

带STO安全功能

电驱动缸规格电规格带锁单元规格

C 5 1 7 3 I/O电缆长度

STO安全功能对应品

通讯协议

控制器安装方式

7 螺丝固定式

8 DIN轨导固定式 轴数

控制器种类

无记号 无控制器

C□1□□ 带控制器

记号 类型 标准

轴数、特殊规格

STO安全功能对应品

E EtherCAT®

9 EtherNet/IP™

P PROFINET

D DeviceNet™

L IO-Link

M CC-Link Ver. 1.10

5 并行输入(NPN)

6 并行输入(PNP)

记号 类型 适合协议

无记号 无配件 —

S 直型通讯接头 DeviceNet™

T T分支型通讯接头 CC-Link Ver. 1.10

1 1.5m

3 3m

5 5m

并行输入(NPN)

并行输入(PNP)

记号 轴数 规格

1 单轴 标准

F 单轴

1 2 3 4 5 6 7 8

1

4 6

5 7

2 3

8

51

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

高刚性高精度型电驱动缸(滑块型)/无电池绝对式编码器LEKFS系列

外形尺寸图 (毫米)

本体安装基准面

(B尺寸范围) 4 x M5 x 0.8,

螺纹深8.5 45

64

(102)

50

3H9 (

+0.025

0 )深3

ø3H9 ( +0.025 0 )深3

3.5

38

38

58

6.5 6

(57.5) 24

磁性开关槽

(每边1排)

M4 x 0.7

螺纹深8

(F.G.端子)

(4) [2] 2 [(4)]

原点 原点

(56) [54] 行程 54 [(56)]

10 (52) A (工作台移动距离) 52 (115.5) 65

L 电缆长度≈250

24

电机电缆

48

(2.4) 38.5

5 48

n x ø4.5

120

D x 120 (=E)

B

F

10

4

8

G H

电机选项：带锁

(160.5) 电缆长度≈250

65

电机电缆

带锁电缆

15

20 □24

(mm)

行程 L A B n D E F G H 无带锁 带锁

LEKFS25E□-100□ 335.5

35

380.5 106 210 4 — — 100

45

LEKFS25E□-200□ 435.5 480.5 206 310 6 2 240 220

LEKFS25E□-300□ 535.5 580.5 306 410 8 3 360 340

LEKFS25E□-400□ 635.5 680.5 406 510 8 3 360 340

LEKFS25E□-500□ 735.5 780.5 506 610 10 4 480 460

尺寸表

(mm)

行程 L A B n D E F G H 无带锁 带锁

LEKFS16E□-100□ 304.5

40

348.5 106 180 4 — — 80

50

LEKFS16E□-200□ 404.5 448.5 206 280 6 2 200 180

LEKFS16E□-300□ 504.5 548.5 306 380 8 3 300 280

LEKFS16E□-400□ 604.5 648.5 406 480 10 4 400 380

LEKFS16E□-500□ 704.5 748.5 506 580 12 5 500 480

尺寸表

3H9 (

+0.025 0 )深3

3H9 (

+0.025

0 )深3 ø3H9 ( +0.025

0 )深3

LEKFS25E

LEKFS16E

本体安装基准面

(B尺寸范围)

(72)

50

24

12

ø3 H9 (+0.025

0 ) 深3

39.4

3 H9 (+0.025

0 ) 深3

3.528

4 x M4 x 0.7

螺纹深6.4

7

L (2.4)

(37) (117.5)

(41) [39]

(4) [2]

A (工作台移动距离) 37

行程

2 [(4)]

39 [(41)]

36.5 43.5

65

电缆长度≈250

24

电机电缆

(ø3H9) (2 x ø5)

[原点] 原点

磁性开关槽

(每边1排)

40

27.6

652.3

5.5

23.5

M4 x 0.7

螺纹深7

(F.G.端子)

3 43

B

D x 100 (= E)

100

F

G H 8

8

3 H9 (+0.025

0 ) 深3

4

3 H9 (+0.025

0 )

深3 ø3 H9 (+0.025

0 )

深3

n x ø3.5

电机选项：带锁

161.5

20 x 15

24

(2.4)

电缆长度≈250

65

电机电缆(2 x ø5)

带锁电缆(ø3.5)

本体安装基准面

(B尺寸范围) 42

70

ø5H9 (122) (

+0.030

0 )深5

4 x M6 x 1,

螺纹深9.9

44

60

5H9 (

+0.030

0 )深5 5.5

48

(70)

(79)

306.5

原点

(4) [2]

10 (66) [64] 行程

原点

L 电缆长度≈250

(62) A (工作台移动距离) 62 (142) (2.4)

64 [(66)] 65

2 [(4)]

磁性开关槽(每边1排) 60 46.8

电机电缆 24

5 60

B

D x 150 (=E)

150

15 15

n x ø5.5

6

10

G 25

5H9 (

+0.030

0 ) ø5H9 (

+0.030

0 )

深5 深5

7.5

(146)

65

电缆长度≈250

带锁电缆 电机电缆

15

20 24

电机选项：带锁

(mm)

行程 L A B n D E G 无带锁 带锁

LEKFS32E□-100□ 382 434 106 230 4 — — 130

LEKFS32E□-200□ 482 534 206 330 6 2 300 280

LEKFS32E□-300□ 582 634 306 430 6 2 300 280

LEKFS32E□-400□ 682 734 406 530 8 3 450 430

LEKFS32E□-500□ 782 834 506 630 10 4 600 580

尺寸表

M4 x 0.7

螺纹深8

(F.G.端子)

5H9 (

+0.030

0 )深5

LEKFS32E

52

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

高刚性高精度型电驱动缸(滑块型)/无电池绝对式编码器LEKFS系列

外形尺寸图 (毫米)

L

10 (52) A (工作台移动距离) 52 40.5

56 [54] 行程

(4) [2]

原点 原点

2 [(4)]

54 [(56)]

38.5 48

(mm)

行程 L A B n D E F G H

LEKFS25□□-100□ 260.5

35

106 210 4 — — 100

45

LEKFS25□□-200□ 360.5 206 310 6 2 240 220

LEKFS25□□-300□ 460.5 306 410 8 3 360 340

LEKFS25□□-400□ 560.5 406 510 8 3 360 340

LEKFS25□□-500□ 660.5 506 610 10 4 480 460

尺寸表

(mm)

行程 L A B n D E F G H

LEKFS16□E□-100□ 216.5

40

106 180 4 — — 80

50

LEKFS16□E□-200□ 316.5 206 280 6 2 200 180

LEKFS16□E□-300□ 416.5 306 380 8 3 300 280

LEKFS16□E□-400□ 516.5 406 480 10 4 400 380

LEKFS16□E□-500□ 616.5 506 580 12 5 500 480

尺寸表

本体安装基准面

(B尺寸范围)

24 65

(85) (2.4) (68.5)

106电缆长度≈250

38

电机电缆

4 x M5 x 0.8,

螺纹深8.5

ø3H9 ( +0.025

0 ) 深3

503.5

3H9 (+0.025

0 )

深3

(102)

64

45

M4 x 0.7,

螺纹深8

(F.G.端子)

磁性开关槽

(每边1排)

58

(7.5) (46) 38 (45.9) (48) 24

6 6.5

B

D x 120 (= E)

120

F

10

3H9 (+0.025

0 )

深3

5 84

3H9 (+0.025

0 )

深3

ø3H9 (+0.025

0 )

深3

8

G H

4

电机选项：带锁 24

20

15

电缆长度≈250

(109)

(125.5)

65

(2.4) 电缆长度≈400 (7.5)

电机电缆

带锁电缆

65

电机安装位置：右侧平行 电机安装位置：左侧平行

106

46474746

106

LEKFS25RE

LEKFS16RE

L 电缆长度≈250

13 (86) A (工作台移动距离) 86 (165) (3.1)

(4) [(2)] 原点

(90) [88] 行程

原点

88 [(90)]

2 [(4)]

65

24

电机电缆

磁性开关槽

(每边1排)

68 53.8

电缆长度≈250

电机选项：带锁

(214)

(3.1) 65

电机电缆 带锁电缆

24

20

15

(mm)

行程 L A B n D E G 无带锁 带锁

LEKFS40E□-200□ 556 605 206 378 6 2 300 280

LEKFS40E□-300□ 656 705 306 478 6 2 300 280

LEKFS40E□-400□ 756 805 406 578 8 3 450 430

LEKFS40E□-500□ 856 905 506 678 10 4 600 580

LEKFS40E□-600□ 956 1005 606 778 10 4 600 580

尺寸表

61

(90)

(68) 31

8

8

M4 x 0.7

螺纹深8

(F.G.端子)

本体安装基准面

(B尺寸范围) 60

106

(170) 4 x M8 x 1.25

螺纹深13 ø6H9 ( +0.030 0 )深7 58 74

6H9 ( +0.030 0 )深7 7

7 67

150

D x 150 (=E) 60

B

n x ø6.6

7

11

深6 深6 G 70

6H9 ( +0.030

0 )深6

6H9 ( +0.030 0 ) ø6H9 (+0.030 0 )

LEKFS40E

95.7 95.7

42.7 42.73535

电机安装位置：左侧平行 电机安装位置：右侧平行

本体安装基准面

(B尺寸范围)

65

电缆长度≈250

96

80

(2.4) (2.4) (95.7)

(72)

50

24

3 H9 (+0.025

0 ) 深3

电机电缆

(2 x ø5)

ø3 H9 (+0.025

0 ) 深3

12

4 x M4 x 0.7

螺纹深6.4 39.43.528

(52.5) 40

磁性开关槽

(每边1排) (43.5)

27.6

6

5.5 M4 x 0.7

螺纹深7

(F.G.端子) 23.5

(35)

L

A (工作台移动距离) 37 (29.5)

Stroke

7 (37)

[原点] 原点 36.5 43.5

(41) [39]

(4) [2]

39 [(41)]

2 [(4)]

(ø3H9)

B

D x 100 (= E)

100

F

4

3

8

34

G H 8

3 H9 (+0.025

0 )

深3

3 H9(+0.025

0 )

深3

ø3 H9 (+0.025

0 )

深3

n x ø3.5

20 x 15

65 24

141 (2.4)

125

(2.4)

电机选项：带锁

Cable length ≈ 250

Lock cable (ø3.5)

Motor cable (2 x ø5)

53

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

高刚性高精度型电驱动缸(滑块型)/无电池绝对式编码器LEKFS系列

外形尺寸图 (毫米)

L

10 (62) A (工作台移动距离)

(66) [64] 行程

62 55

64 [(66)]

(4) [2]

原点

2 [(4)]

原点

磁性开关槽(每边1排) 46.8 63

(mm)

行程 L A B n D E G

LEKFS32□□-100□ 295 106 230 4 — — 130

LEKFS32□□-200□ 395 206 330 6 2 300 280

LEKFS32□□-300□ 495 306 430 6 2 300 280

LEKFS32□□-400□ 595 406 530 8 3 450 430

LEKFS32□□-500□ 695 506 630 10 4 600 580

尺寸表

(mm)

行程 L A B n D E G

LEKFS40□□-200□ 453.4 206 378 6 280

LEKFS40□□-300□ 553.4 300 280

300

2

2

306 478 6

LEKFS40□□-400□ 653.4 406 578 8 3 450 430

LEKFS40□□-500□ 753.4 506 678 10 4 600 580

LEKFS40□□-600□ 853.4 606 778 10 4 600 580

尺寸表

48

70

(8.5) (59.9) (59.9) (63) 30 6.5 7.5

M4 x 0.7,

螺纹深8

(F.G.端子)

电机选项：带锁

20 15

24

带锁电缆

(138.5)

65

电缆长度≈250

(164.5) (2.4) 65

电缆长度≈400

(8.5)

电机电缆

电机安装位置：左侧平行

153

6460

电机安装位置：右侧平行6064

153

电机选项：带锁 24

20 15 65

(137) (2.4) 电缆长度≈40065

(116.5)

(8.5)

带锁电缆

电缆长度≈250

电机电缆

电机安装位置：右侧平行 电机安装位置：左侧平行

132.5

60626260

132.5

L

13 (86) A (工作台移动距离) 86 62.4

(90) [88] 行程 88 [(90)]

4 [2] 2 [(4)]

原点 原点

磁性开关槽(每边1排) 53.8 68

(60) 61

90

(60) (68) 31

8 8

M4 x 0.7,

螺纹深8

(F.G.端子)

(8.5)

7 76

B

D x 150 (= E)

150

60 15

n x ø6.6 6H9 ( +0.030

0 )深6

7

深6

ø6H9 ( +0.030

0 6H9 ( ) +0.030

0 )

深6 11

G 70

本体安装基准面

(B尺寸范围) 4 x M8 x 1.25

螺纹深13

24

电机电缆

(95.5) (121.5) (2.4) (8.5) 65 58

153电缆长度≈250

74

(170)

106

60

6H9 ( +0.030

0 )深7 7

ø6H9 ( +0.030

0 )深7

5 06

B 15

D x 150 (=E) 15

150

n x ø5.5

6

5H9 (+0.030

+0 )

深5

G 25

5 ø5H9 (+0.030 0 )

深5

5H9 (+0.030 0 )

深5

C C

本体安装基准面

(B尺寸范围)

(2.4)

65

24

(94)

(73.5)

电机电缆

(8.5)

132.5电缆长度≈250

44

(沉孔深3)

4 x M6 x 1螺纹深12.5

(沉孔深3)

60

(122)

70

42

5H9 (+0.030

0 )深8

(沉孔深3)

5.5

ø5H9 (+0.030

0 )深8

C-C

) 3(

) 36(

15.2

5H9

ø6.4

8

M6 (4个安装孔)

ø6.4 (4个安装孔)

LEKFS32RE

LEKFS40RE

54

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

当停电后，编码器可记忆位置数据，电源恢复

后可继续移动，不需要返回原点。

无需电池安装，减低更修率。

高刚性高精度型电驱动缸(滑块型)

(AC伺服马达驱动)

型号表示方法

共同规格

LEKFS25 LEKFS32 LEKFS40

100 ~ 500 100 ~ 500 200 ~ 600

10 20 20 30 40 45 30 50 60

4 8 15 5 10 20 7 15 30

401 ~ 500

~ 400 1500 900 450 1500 1000 500 1500 1000 500

1200 720 360 1500 1000 500 1500 1000 500

501 ~ 600 — — — — — — 1500 1000 500

20000

±0.01

0.05或以下

20 12 6 24 16 8 30 20 10

50/20

滚珠丝杆(LEKFS□)、滚珠丝杆+皮带(LEKFS□R/L)

轴承种类 滑动轴承

电机类型S2, S3, S4：增量17位编码器(分辨率：131072 p/rev)

电机类型T6, T7, T8：绝对值22位编码器(分辨率：4194304 p/rev) (用于LECSB2-T□, LECSS2-T□)

电机类型T6, T7, T8：绝对值18位编码器(分辨率：262144 p/rev) (适用于LECSC2-T□)

5 ~ 40

100W/□40 200W/□60 400W/□60

24 VDC ±10%

445 725 1275

78 131 255 131 197 385 220 330 660

6.3 7.9 7.9

型号

行程(mm)

水平

垂直 最大可搬重量(kg)

速度

(mm/s) 行程范围

加减速度(mm/s2

)

重复定位精度(mm)

耐冲击/耐振动(m/s2

)

螺距(mm)

间隙(mm)

驱动方式

使用温度范围(°C)

使用湿度范围(%RH) 90或以下(未冻结)

电机功率尺寸

电机种类 交流伺服电机(100/200VAC)

编码器

瞬时最大耗电量(W)

类型 非磁力锁

保持力(N)

消费电力(W)

电源规格(V)

※1 与LEFS比较

※2 尺寸40、Mep、外悬臂量300mm时

※3 不包括H螺距

采用圆弧结构 实现高刚性和高精度

耐力距※1 ※2

提升高达61%

滑块偏差※1

减少高达50%

零间隙

300mm

伸出距离300mm

滑台间隙

尺寸

LEKFS LEFS

25 0 0.079

32 0 0.068

40 0 0.052

伸出距离造成滑台间隙

[mm]

安装尺寸与LEFS系列相同，完全可替换

高度/阔度一样

滑台阔度

缸体阔度

高度

高度

2

1

LEKFS系列

LEFS系列

缸体安装间距一样

工件安装间距一样

钢球旋转中心

滑轨(转动面)

LEKFS系列 4列圆弧

LEFS系列

钢球旋转中心

滑轨(转动面)

电驱动缸规格电规格带锁单元规格

LEKFS 32 R S3 B 200 S 2 A2

电机选项

无记号 无带锁

B 带锁

行程[mm]

100 100

~ ~

600 600

*有关详细信息，请参阅下面的适用行程表

尺寸

25

32

40

电机安装位置

无记号 轴向安装

R 缸体右端

L 缸体左端

电缆类型*

无记号 无电缆

S 标准电缆

R 机器人电缆(柔性电缆)

*电机电缆和编码器电缆是包含在产品中。

(如果电机选项“B：有锁定”已含锁线。)

标准电缆进线方向为“(B)反轴侧。”

对于右侧/左侧滚珠丝杠的并联电机类型

驱动器，电缆进线方向为“(A)轴边。”

电缸本体电缆长度[m]*1

无记号 无电缆

2 2

5 5

A 10

*1 编码器、电机和锁电缆的长度相同。

I/O电缆长度[m]*1

记号 无电缆

H 无电缆(仅连接器)

1 1.5

*1 当控制器种类选择“无记号：无控制器”

时，只能选择“无记号：无电缆”。

电机种类

型号 类型 输出

[W] 尺寸 控制器类型 对应控制器

S2*1

交流伺服电机

(增量式编码器)

交流伺服电机

(增量式编码器)

100 25 A1/A2 LECSA -S1

S3 200 32 A1/A2 LECSA -S3

S4 400 40 A2 LECSA2-S4

T6*2 100 25

B2 LECSB2-T5

C2 LECSC2-T5

S2 LECSS2-T5

T7 200 32

B2 LECSB2-T7

C2 LECSC2-T7

S2 LECSS2-T7

T8 400 40

B2 LECSB2-T8

C2 LECSC2-T8

S2 LECSS2-T8

*1 对于电机类型S2，兼容的驱动器部件号后缀为S1。

*2 对于电机类型T6，兼容的驱动器部件号为LECS□2-T5。

螺距[mm]

记号 LEKFS25 LEKFS32 LEKFS40

H 20 24 30

A 12 16

B 6 8 10

20

脉冲输入型/定位型 脉冲输入型 CC-Link直接输入型 型

种类

系列 LECSA LECSB-T LECSC-T LECSS-T

点位表数量 Up ~ 7 Up ~ 255 Up ~ 255 (2位占有时) —

脉冲输入 — —

适用网络 — — CC-Link SSCNET III / H

控制编码器 增量式17编码器 绝对22编码器 绝对18编码器 绝对22编码器

通讯功能 USB通讯 USB通讯, RS422通讯 USB通讯

电源电压 100 ~ 120 VAC (50/60 Hz),

200 ~ 230 VAC (50/60 Hz)

200 ~ 240 VAC

(50/60 Hz)

200 ~ 240 VAC

(50/60 Hz)

200 ~ 230 VAC

(50/60 Hz)

控制器种类

对应控制器 电源电压[V] 尺寸

25

无记号 无控制器 —

A1 LECSA1-S□ 100 ~ 120

A2 LECSA2-S□ 200 ~ 230

B2 LECSB2-S□ 200 ~ 230

LECSB2-T□ 200 ~ 240

C2 LECSC2-S□ 200 ~ 230 LECSC2-T□

S2 LECSS2-S□ 200 ~ 230

LECSS2-T□ 200 ~ 240

* 选择对应控制器时，电缆是包括。选择电缆类型和电缆长度。

例) S2S2：标准电缆(2m)+控制器(LECSS2)

S2：标准电缆(2m)

无记号：无电缆和控制器

32 40

—

对应行程表 标准

100

LEKFS25 —

LEKFS32 —

LEKFS40 —

*非标准行程请与SMC联系，因为它们是特殊订单生产的。

型式

行程

[mm] 200 300 400 500 600

LEKFS系列

1

1

2 3 4 5 6 7 8 9 10

10

1

4

9

10

2 3 5

7 8

6

55

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

高刚性高精度型电驱动缸(滑块型)(AC伺服马达驱动)LEKFS系列

外形尺寸图 (毫米)

(mm)

行程 L A B n D E F G H 无带锁 带锁

LEKFS25□□-100□ 389

35

429 106 210 4 — — 100

45

LEKFS25□□-200□ 489 529 206 310 6 2 240 220

LEKFS25□□-300□ 589 629 306 410 8 3 360 340

LEKFS25□□-400□ 689 729 406 510 8 3 360 340

LEKFS25□□-500□ 789 829 506 610 10 4 480 460

尺寸表

LEKFS25

LEKFS32

LEKFS40

5 84

B

D x 120 (= E)

10

3 H9 (+0.025

0 ) 深3

4

120

F

n x ø4.5

8

G H

3 H9 (+0.025

0 )

深3

ø3 H9 (+0.025

0 )

深3

58

38

6.5 6

66

24

磁性开关槽

(每边1排)

M4 x 0.7

螺纹深8

(F.G.端子)

L

10 (52)

(56)

(4)

A (工作台移动距离)

行程

52

(54)

169 (带锁：209)

(2.2)

电机侧行程末端

48 38.5

Z相检测位置：2±1

(ø6H9)

电机电缆

(ø6)

编码器电缆

(ø7)

带锁电缆 (ø4.5)

本体安装基准面

(B尺寸范围)

(102)

64

45

ø3 H9 (+0.025 0 ) 深3

22.5

50

3 H9 (+0.025

0 ) 深3

3.5

38

4 x M5 x 0.8

螺纹深8.5

L

10 (62) A (工作台移动距离)

(66)

(4)

行程

Z相检测位置：2±1

磁性开关槽

(每边1排)

(ø5H9)

201 (带锁：231)

(64)

62

(2.2)

电机侧行程末端

46.860

5 06

B

D x 150 (= E)

150

15

15

5 H9 (+0.0030

0 ) 深5

6

n x ø5.5

G 25

10 ø5 H9 (+0.030 0 )

深5

5 H9 (+0.030

0 )

深5

(122)

70

42

21 4 x M6 x 1

螺纹深9.5

ø5 H9 (+0.030

0 ) 深5

本体安装基准面(B尺寸范围)

60

5 H9 (+0.030

0 ) 深5

5.544

带锁电缆 (ø4.5)

编码器电缆

(ø7)

电机电缆

(ø6)

70

48

6.5 7.5

84

30

M4 x 0.7

螺纹深8

(F.G.端子)

本体安装基准面(B尺寸范围) ø6 H9 (+0.030

0 ) 深7

(170)

106

60

30

58

6 H9 (+0.030 0 ) 深7 774

4 x M8 x 1.25

螺纹深13

电机电缆

(ø6)

编码器电缆

(ø7)

带锁电缆 (ø4.5)

L

13 (86)

(90)

(4)

A (工作台移动距离)

行程

86 223.5 (带锁：253.5)

(88)

(3.1)

电机侧行程末端

磁性开关槽

(每边1排) 53.868

Z相检测位置：2±1

(ø6H9)

90

61

85.5

31

8

8

M4 x 0.7

螺纹深8

(F.G.端子)

7 67

B

D x 150 (= E)

150

60

15

6 H9 (+0.030 0 ) 深6

7

70

6 H9 (+0.030

0 )

深6

ø6 H9 (+0.030

0 )

深6

11

G

n x ø6.6

(mm)

行程 L A B n D E G 无带锁 带锁

LEKFS32□□-100□

LEKFS32□□-200□

LEKFS32□□-300□

LEKFS32□□-400□

LEKFS32□□-500□

441 471 106 230 4 — — 130

541 571 206 330 6 2 300 280

641 671 306 430 6 2 300 280

741 771 406 530 8 3 450 430

841 71 506 630 10 4 600 580

尺寸表

(mm)

行程 L A B n D E G 无带锁 带锁

LEKFS40□□-200□

LEKFS40□□-300□

LEKFS40□□-400□

LEKFS40□□-500□

LEKFS40□□-600□

614.5 644.5 206 378 6 2 300 280

714.5 744.5 306 478 6 2 300 280

814.5 844.5 406 578 8 3 450 430

914.5 944.5 506 678 10 4 600 580

1014.5 1044.5 606 778 10 4 600 580

尺寸表

56

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

高刚性高精度型电驱动缸(滑块型)(AC伺服马达驱动)LEKFS系列

外形尺寸图 (毫米)

LEKFS25R

LEKFS32R

LEKFS40R

(60) M4 x 0.7

螺纹深8

(F.G.端子)

7.56.5

(63) 30

70

(Z) (60) 48

C-C

ø6.4

ø5H9

ø6.4 (4处)

(M6 (4处))

) 36(

(3)

.2 5

8

1

5 60

B

D x 150 (= E)

15

15

150 5 H9 (+0.030 0 )

深5

6

G 25

10

ø5 H9 (+0.030 0 )

深5

5 H9 (+0.030 0 )

深5

n x ø5.5

L

10 (62) A(工作台移动距离)

(66)

(4)

行程

62 55

(64)

磁性开关槽

(每边1排)

Z相检测位置：2±1 46.863 (60) 3 ø5H9 Table spacer

电机侧行程末端

C C

(122)

70

42

5 H9 (+0.030

0 ) 深8

(沉孔深度3)

5.5

132.5

44

Z

X (2.4)

W

ø5 H9 (+0.030 0 )

深8

(沉孔深度3)

4 x M6 x 1螺纹深度15.2

(沉孔深度3)

本体安装基准面

(B尺寸范围)

2160

电机电缆

(ø6)

编码器电缆(ø7)

90

61

(60)

(60)

(68) 31

M4 x 0.7

螺纹深8

(F.G.端子)

8

8

(Z)

本体安装基准面

(B尺寸范围)

X

W

(2.4)

Z 153

58

ø6 H9 (+0.030

0 ) 深7

(170)

106

60

30

6 H9 (+0.030

0 )

深7

774电机电缆(ø6)

编码器电缆(ø7)

4 x M8 x 1.25螺纹深度13

13

L

(86)

(90)

(4)

A(工作台移动距离)

行程

86 62.4

磁性开关槽

(每边1排) 53.868

(88)

电机侧行程末端

(ø6H9)

Z相检测位置：2±1

7 67

B

D x 150 (= E)

150

60

15

7

G 70

11

6 H9 (+0.030

0 )

深6

6 H9 (+0.030

0 )

深6 ø6 H9 (+0.030

0 )

深6

n x ø6.6

(mm)

行程 L A B n D E F G H

LEKFS25□□□-100□ 260.5

35

106 210 4 — — 100

45

LEKFS25□□□-200□ 360.5 206 310 6 2 240 220

LEKFS25□□□-300□ 460.5 306 410 8 3 360 340

LEKFS25□□□-400□ 560.5 406 510 8 3 360 340

LEKFS25□□□-500□ 660.5 506 610 10 4 480 460

尺寸表

B

5 84

8

D x 120 (= E) F

10

3 H9 (+0.025

0 )

深3 120

4

G H

3 H9 (+0.025

0 )

深3

ø3 H9 (+0.025

0 )

深3

n x ø4.5

(46) (Z)

58

38

66.5

(48) 24

磁性开关槽

(每边1排)

(44.8)

M4 x 0.7

螺纹深8

(F.G.端子)

L

10 (52)

(56)

4

A(工作台移动距离)

行程

52 40.5

(54)

38.5 48

Z相检测位置：2±1

(ø3H9)

电机侧行程末端

X (2.4)

W

Z 106

38

ø3 H9 (+0.025

0 ) 深3

(102)

64

45

50 22.5 3 H9 (+0.025

0 )

深3

3.5

电机电缆(ø6)

编码器电缆(ø7)

4 x M5 x 0.8

螺纹深8.5

本体安装基准面(B尺寸范围)

电机选项：带锁

编码器电缆

(ø7) 电机电缆(ø6)

带锁电缆(ø4.5)

106

4647

电机安装位置：缸体左侧

电机安装位置：缸体右侧 4746

106

6260

132.5

132.5

6062

编码器电缆

(ø7)

电机电缆

(ø6)

带锁电缆

(ø4.5)

电机安装位置：缸体左侧 电机选项：带锁

电机安装位置：缸体右侧

电机

类型

X W Z

无带锁 带锁 无带锁 带锁 无带锁 带锁

S2 116.5

T6 111.9

电机尺寸表 (mm)

15.8

15.8

14.1

153.4 87 123.9 14.1

152.5 82.4 123

(mm)

行程 L A B n D E G

LEKFS32□□□-100□ 295 106 230 4 — — 130

LEKFS32□□□-200□ 395 206 330 6 2 300 280

LEKFS32□□□-300□ 495 306 430 6 2 300 280

LEKFS32□□□-400□ 595 406 530 8 3 450 430

LEKFS32□□□-500□ 695 506 630 10 4 600 580

尺寸表

电机

类型

X W Z

无带锁 带锁 无带锁 带锁 无带锁 带锁

S3 121.7

T7 110.1

电机尺寸表 (mm)

17.1

17.1

17.1

150.3 88.2 116.8 17.1

146.9 76.6 113.4

电机安装位置：缸体左侧 电机选项：带锁

电机安装位置：缸体右侧

(mm)

行程 L A B n D E G

LEKFS40□□□-200□ 453.4 206 378 6 280

LEKFS40□□□-300□ 553.4 2 300 280

2 300

306 478 6

LEKFS40□□□-400□ 653.4 406 578 8 3 450 430

LEKFS40□□□-500□ 753.4 506 678 10 4 600 580

LEKFS40□□□-600□ 853.4 606 778 10 4 600 580

尺寸表

电机

类型

X W Z

无带锁 带锁 无带锁 带锁 无带锁 带锁

S4 149.2

T8 137.3

电机尺寸表 (mm)

17.1

17.1

17.1

177.8 110.2 138.8 17.1

174.1 98.3 135.1

6064

6460

Encoder cable

(ø7)

Lock cable

(ø4.5)

Motor cable

(ø6)

57

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

●真空与正压都适用

−100kPa ~ 1.0MPa (20˚C)

过滤精度 5µm

使用压力范围

真空压 真空压 -100 ~ 0kPa -100kPa

在粉尘环境下

想要保护机器!

工作物

吸盘

IN OUT

正压 1.0MPa

例) 保护电磁阀

正压 0 ~ 1MPa

IN OUT

适用气管外径 真空气庄下最大流量 正庄下最大流量

[L/min(ANR)] [L/min(ANR)] 系列

45

80

200

650

5

10

20

100

ZFC1□

ZFC5□

ZFC3□

ZFC7□

ø2 ø3.2 ø4 ø6 ø8 ø10 ø12

0.7MPa, 压力下降30kPa时。依配管阻抗，流量有无法符合的情形，请注意。

新

新

注)流量(正压)条件 : 供给压力0.7MPa，压力下降30kPa

型号 ZFC1□ ZFC3□ ZFC5□ ZFC7□

连接口径(适用气压管外径) ø2

15

2

45

5

50

7

80

10

100

10

200

20

250

30

450

70

550

80

650

100

ø3.2 ø3.2 ø4 ø4 ø6 ø6 ø8 ø10 ø12

使用流体 压缩空气·氮气

使用压力 -100kPa ~ 1.0MPa(20o

C时)

1.5(20o

C时)

0~60

流量(正压)L/min 注)

流量(真空压)

保证耐压力 MPa

使用·周围温度范围o

C

过滤度 μm 5(过滤效率95%)

滤心更换差压 MPa 0.1(真空压力20kPa)

过滤面积 mm2 140 470 750 1260

10.5

4.5

2.5 4.5 20.0 25.0

0.5 1.7 6.0 7.0

45.0 60.5 53.9 68.3 79.6

8.5 11.2 19.0

ZFC-EL-1 ZFC-EL-2 ZFC-EL-3

ZFC-BR001 ZFC-BR002 ZFC-BR003

10.0 11.5 23.0

适用气压管材质 尼龙·软尼龙·聚氨酯

重量 g

内容积 cm 3

全长 mm

全宽 mm 23.6

托架全宽 mm 27.3

ZFC-EL-4

ZFC-BR004

外壳材质

滤芯型号(备件)

托架(任选项)

聚碳酸酯

共同规格

ZFC 5 4 B

选配

本体尺寸

适合软管外径

ø2

ø3.2

ø4

ø6

ø8

ø10

ø12

记号 本体尺寸 过滤面积

1 5L/min 140mm2

3 10L/min 470mm2

5 20L/min 750mm2

7 100L/min 1260mm2

记号 适用气压

管外径 ZFC1 ZFC3 ZFC5 ZFC7

1

2

3

4

5

6

7

无记号 无

B 附托架

●

●

―

―

―

―

―

●

●

―

―

―

―

―

●

●

―

―

―

―

―

●

●

●

●

―

―

―

外形尺寸图 (毫米)

型号表示方法

适用气压管外径

(ø6, ø8)

适用气压

管外径

(ø10, ø12)

(ø6, ø8)

IN

IN

24

68.3

34

8.7

20.6 28.4

4.5

26.6

39.8

27.3

20

39.8

ø23.6

ZFC7

ZFC7

(ø10, ø12)

19.3

8.7

33.7

4.5

79.6

34

24

27.3

20

ø23.6

19.3

IN

IN

8.5

33

45

2 M3盘头

小螺丝安装孔

8.8 25 11.2

33

60.5

8.5

适用气压管外径

适用气压

管外径

(ø2, ø3.2)

(ø3.2, ø4)

适用气压

管外径

(ø4, ø6)

10

8

12.8

10

8

12.8

ø8.5

ø11.2

17.5 25 18

IN

20

30

53.9

15.7 13.6

6.4

24.6

4.5

ø19

33.4

23

18

ZFC1

ZFC3

(ø2, ø3.2)

(ø3.2, ø4)

ZFC5

(ø4, ø6)

2 M3盘头

小螺丝安装孔

小型真空过滤器

ZFC系列

RoHS

58

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

可选项/部件型号

零件名称

托架

组件

AFJ20

型号 : AF24P-070AS

AFJ30

型号 : AF34P-070AS

零件名称 材质 零件型号

AFJ20 AFJ30 AFJ40

过滤器滤芯

5µm 不织布 白

黑

白

AF20P-060S AF30P-060S AF40P-060S

40µm AF22P-820S AF32P-820S AF42P-820S

80µm AF22P-830S AF32P-830S AF42P-830S

可选项/维修零件型号

连接真空发生器

真空过滤器

AFJ-D系列

吸盘

安装在真空发生器的前面,可过滤

固体杂质，延长真空发生器的寿命。

吸盘吸附时，阻止工件上附着的

清洗水被吸入真空发生器。

真空破坏阀

破坏流量

调整用

节流阀

真空

过滤器

吸盘

工件

真空

压力

传感器

供气阀

真空发生器

当水滴有可能进入真空压力传感器时, 请使用通用流体型真空压力传感器。

关于具体操作请参考共同注意事项及使用说明书。

符号

真空过滤器

AFJ-D系列

RoHS

共同规格

型号 AFJ20 AFJ30 AFJ40

接管口径(Rc) 1/8 1/4 1/4 3/8 1/4 3/8 1/2

使用流体 压缩空气

周围温度及使用流体温度 -5 ~ 60°C(未冻结)

保证耐压力 0.5MPa

使用压力范围 -100 ~ 0kPa

过滤精度注1) ~ 注4) 5µm, 40µm, 80µm

冷凝水储留量(cm3

) 8 25 45

杯体材质 聚碳酸酯

杯体保护罩 一 标准装备(聚碳酸酯)

推荐

流量注5)

(L/min

(ANR))

除水型

(-S)

80 100 180 230 200 310 370

100 130 210 340 230 390 500

大流量型

(-T)

5µm

5µm

100 140 190 250 210 350 440

40µm

40µm

120 180 230 380 250 480 660 80µm

80µm

重量（kg） 0.09 0.17 0.35

注1) 40µm(80µm)的滤芯可过滤，尺寸大于长宽高均在40µm(80µm)以上的固态颗粒。

注2) 5µm用滤芯，使用了过滤精度相当于5µm的纤维类型。

注3) 40µm用滤芯，使用了网眼大小40µm的树脂网。

注4) 80µm用滤芯，使用了网眼大小80µm的树脂网。

注5) 初期压力损失4kPa时的处理空气量。

应用例

AFJ20-D AFJ30-D AFJ40-D

型号表示方法

20

30

40

本体尺寸

1/8

AFJ20 AFJ30 AFJ40

1/4

3/8

1/2

01

02

03

04

接管口径(Rc)

AFJ 20 02 5 S

符号 接管口径

(Rc) 过滤精度

5

40

80

符号

5µm

40µm

80µm

滤芯精度 杯体材质

无记号

6

记号 杯体

聚碳酸酯杯体

尼龙杯体

D

除水型

大流量型

用途选择

S

T

真空产生器系统的应用

2

大流量型

异物 滤芯

固体

杂质

除去

从IN侧进入的空气经过挡板后

通过滤芯除去异物。

除水型

异物

水滴 从IN侧进入的空气，经过挡板

上设计的固定角度扇页而旋转，

进入的水滴因为离心力而被分离。

固体

杂质

除去

水滴

除去

支架A

支架B

安装螺丝 装配支架

* 该组件由一个

支架 A/B 和 2 安装

螺丝。

可清洗

可清洗

真空过滤器

AFJ40

型号 : AF44P-070AS

59

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

AFJ30-D, AFJ40-D

真空过滤器 AFJ-D系列

外形尺寸图 (毫米)

AFJ20-D

维修空间

T

N

S

R

C

B

G

J M

U

D

Q

V

A

2 x P

(接管口径)

托架

(选配)

IN OUT

A

T

N

S

R

C

B

E

J M

D U

Q

V

托架

(选配)

IN OUT

2 x P

(接管口径)

维修空间

G

型号 标准规格 选配规格

托架安装尺寸

P A B C D E G J M N Q R S T U V

AFJ20-D 1/8, 1/4 40 79.3 17.5 21 — 25 21 30 27 22 5.4 8.4 60 2.3 28

AFJ30-D 1/4, 3/8 53 104.3 21.5 26.5 30 35 26.5 41 35 25 6.5 13 71 2.3 32

AFJ40-D 1/4, 3/8, 1/2 70 136.1 25.5 35.5 38.4 40 35.5 50 52 30 8.5 12.5 88 2.3 39

(Rc)

60

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

· 改善对酒精抗阻性

· 真空及压缩空气均可使用

· 减少压力降

· 使用六角螺母安装，易于装拆

· 主要应用于多种零件插件机使用,

因过滤器容积小(1cm3), 可缩短真空吸着时间

流体

使用压力范围

环境和流体温度

过滤精度

滤芯耐压差

压缩空气

-100 ~ 500kPa

0 ~ 60˚C (不结冰)

A: 5µm, B: 10µm, C: 20µm

D: 40µm, E: 70µm

0.15MPa

共同规格

22.6

OUT IN

M5×0.8 18 M5×0.8

对边2.5 对边8

ø12.5

应用例

ZFC050-M5X50 ZFC050-M5X68 ZFC050-AU6X68

ZFC050-M5X50

ZFC-EL050-X50 ZFC-EL013-A

型号 ZFC050-M5X68 ZFC050-AU6X68

(安装在PFMV前)

压缩空气

-100 ~ 700 -100 ~ 600

0 ~ 60(未冻结)

过滤精度(μm) 20 30

使用流体

使用压力范围(kPa)

环境和流体温度(°C)

备件 注) (滤芯型号)

A A

M5×0.8

IN OUT

(3.5)

ø9.2

14

17.5

3

对边7

剖面图A-A

六角对边2

滤芯

M5×0.8

A A

M5×0.8

IN OUT

(3.5)

ø9.2

14

17.5

3

对边7

剖面图A-A

六角对边2

滤芯

M5×0.8

六角对边2

深3

ø6倒钩

六角对边2

A A

OUT

M5×0.8

14 (3.5)

24.5

(7)

IN

ø9.2

对边7

剖面图A-A

ø2

14 ø9.2 ø9.2

(7) 14

小型真空过滤器

ZFZ-03-002※※系列

RoHS

符号

微型真空过滤器(螺纹型)

ZFC050系列

RoHS

型号表示方法

型号 μm 滤芯型号

A 5 ZFZ-EL03002A

B 10 ZFZ-EL03002B

C 20 ZFZ-EL03002C

D 40 ZFZ-EL03002D

E 70 ZFZ-EL03002E

型号 材质

Nil NBR

F FKM

过滤精度 密封圈材质

注) 当压力降到20KPa, 可更换滤芯

ZFZ 03 002 ※※

外形尺寸图 (毫米)

外形尺寸图 (毫米)

共同规格

注) 型号单位是一包，一包内有10个滤芯。

61

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

新款真空发生器组合

ZK2□A系列

RoHS

• 增加节能压力开关 : 真空压力到达时，供给流量减少90%。

• 真空发生器效率提高 : 吸入流量增加50%, 耗气量减少30%

• 小型化, 轻量化。

[mm]

[mm]

[L/min ANR ]

[L/min ANR ]

[L/min ANR ]

[kPa]

[MPa]

[MPa]

ZK2 07

-91

0.3~0.6

0.35 0.4

ZK2 10 ZK2 12 ZK2 15

0.7

34

29

24

2~40 2~50 2~125 2~150

1.0

56

44

40

1.2

74

61

58

1.5

89

67

90

项目 型式

供给压力范围

标准供给压力

适用吸盘直径

真空发生器喷嘴孔径

最大吸入量

最大耗气量

最高真空压力

高消音消声器

消声器式

共同规格

带省能功能的真空数字式压力开关

(与供给阀联动达到设定真空度即停止供气)

供气

真空 真空

供气

只有在真空压力不足

时，才断续地消耗压

缩空气，断续地排气

只要在吸附工件期间，

一直消耗压缩空气，

持续地排气

真空单元组合变化

先导压力供给 (PS) 孔

ø4 快速接头

真空压供给 (PV) 孔

ø6 快速接头

真空 (V) 孔

ø6, ø8 快速接头

喷嘴径 真空开关

无真空传感器

供给阀，破坏阀的组合

空气压供给 (PV) 孔

真空 (V) 孔 排气 (EXH) 孔

破坏流量调整针阀

供给阀 破坏阀

N.C N.C

N.C 无

真空保持式 N.C

无 无

ø0.7, ø1.0, ø1.2, ø1.5 · 压力检测器

· 真空用压力传感器

· 附省能源功能真空用压力传感器

供给阀，破坏阀额定电压

24 VDC

ø6

ø6, ø8 快速连接

圆形锁锣母

螺丝刀操作型

高消音消声器排气

消声器排气

真空产生器(带阀/无阀)

单

体

组

合

变

化

真空泵系统

供给阀信号

ON

OFF

ON

OFF

省能源

控制

现有品

吸著确认

压力

省能源

ON/OFF

动作

到达真空压

大气压

真空孔压力

现有的

真空产生器

附省能功能真空

开关真空产生器

62

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

新款真空发生器组合ZK2□A系列

(单个组件)

ZK2 A

A

A

真空发生器系统(带阀)

真空发生器系统(无阀)

真空泵系统* P K 5 A L 08

12

12

00

ZK2 A K 5 A L 08

ZK2 A N 0 N N 08 *

组件内无真空发生器，真空由客户提供。

型号表示方法

记号 真空系统形式 组件形式 排气形式

P 单体式 无

Q 集装式 无

A 消声器

G 高消音消声器

C 排气共通

H 高消音消声器

真空系统及组件形式

真空泵系统

真空发生器

系统

单体式

集装式

记号 真空系统形式 发生器孔径

00 真空泵系统 无

07 ø0.7

10 ø1.0

12 ø1.2

15 ø1.5

真空发生器喷嘴孔径

真空发生器

系统

记号 供给阀 破坏阀

K N.C N.C.

J N.C 无

R* 真空保持式

*

只需瞬时供电于供给阀，一直保持真空

状态，可作为工件掉落防止对策用，

供电于破坏阀同时会断电供给阀。

N.C.

真空供给阀/破坏阀选项

N 无 无

记号 电压

5 DC24V

0* 无

额定电压

记号 记号

压力范围

(kPa) 输出方式

P 0~-101

T -100~100

A 0~-101

E -100~100

K** NPN 1个输出

N

NPN 2个输出

*如查询更多规格，另有PNP可选择，请联系SMC.

**必须在③选”K”。

模拟输出

1-5V

供给阀、破坏阀和真空/压力传感器出线选项

传感器

接线样式 接头形式、导线形式

C 集装式插头(集装板专用)

注1)

注3)

注4)

注1)

注2)

注1) 压力传感器 : 直接出线式线长3m 。真空压力传感器 : L型插头线长2m。

注2) 若 选“K”, 必须在 选“W”。注3) 若 选“N”, 就不能选配 。注4) 若 选“P”,“T”, 就不能选配 。

L 带阀，带传感器

不带阀，带传感器

带阀，不带传感器

不带阀，不带传感器

L1

L2

L3

W L型插头(专用节能导线)

Y 不带阀(在 选N时)

N 无供给阀，破坏阀，压力传感器(在 及 选N时)

供给阀 / 破坏阀用

记号

06

08

接管口径

ø6配管

ø8配管

真空口配管

无记号

K

无

带破坏流量调节阀

任选项

J

-100~100

类型

节能真空压力传感器

无压力传感器及数字真空压力开关

压力传感器

真空压力传感器

压力传感器/数字真空压力传感器

14.5

5.8 5

26.5

15

46.4

1

8.9

2×ø4.6

33.5

单体式 托架(型号:ZK2-BK1-A)

*托架需另外采购

外形尺寸图 (毫米)

型号表示方法 (集装式) ZZK2 04 A- A 1 L -

记号 内容

单独配线

无

D-sub插座

(25针)

扁平插座

(26针)

L

F*

P**

N

配线方式

记号 真空系统形式 接管口径

P PV共通:ø8

PS共通:ø6

A

真空系统及组件端口

真空泵系统

真空发生器

系统 PV共通:ø8

记号 组件位数

01 1个

02 2个

··· ···

10 10个

组装集装个数

记号 排气形式

2 真空泵系统

1 真空发生器

2 系统

无消声器(ZK2Q00配用)

排气消声器在集装板两侧(ZK2C配用)

无消声器(单独排气)(ZK2H配用)

排气方式

单独配线

D-sub插座

扁平

插座

无记号 无

DIN导轨式

真空供给口

共通(PD)

单独给供气

B

D

L

任选项

DIN导轨式

安装

共通PD口

单独

PV口

* D-sub连接电线3m长，型号 : AXT100-DS25-030 ** 扁平连接电线3m长，型号 : AXT100-FC26-3

以上需另外采购

0

10

20

30

40

50

60

200 2000 20000

噪音水平 [dB (A)]

频率[Hz]

ZK2A07

ZK2G07 (通孔式消音器)

(消音器内藏)

2,000~20,000Hz的

降低高频域

ZK2G系列

高消音消声器

46dB※(A) 最大提升20%

排气使其直接对大气排放

能发挥最大真空性能且删除

不愉快的音频

低噪音 吸入

流量

新

※喷嘴ø0.7时

2 3 4 5 6 7 8

4

1

1 2 3

5 6

7 8

2

2

3 4 5

4

1

5

5

5

3

3 5

1

3

5

*

在 选N时，必须这里

选“0”。

3

63

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

新款真空发生器组合ZK2□A系列

33.5 6

89

80.9

76.8 B 2000

82.9 79

57.6 27.5 19.4 30

4 15 1.2 104

16.5 38.5

A

E 1, 3

S

LED表示

G

ZK2 LAA/E

K

R A

G

A C

06 ø6 8.25 4

08 ø8 11.4 6

B

06 ø6 9.7

PV孔型

手动操作

(供给阀)

手动操作(破坏阀)

2×ø4.5安装孔

10

全开时

真空

过滤器

5

45.9 37.4 8.4 3.5

(PV)孔

E

33.8

排气口

高消音

消音器外壳

高消音消音器排气时

破坏流量

调整针阀

真空

(V)孔

空气压

供给

C六角对边

V孔型

插座端子

按键(SET)

表示(红)

表示(绿)

按键(UP)

OUT2

OUT1

真空发生器系统、单体、带供给阀

破坏阀、真空压力传感器

带节能真空

压力传感器

带真空

压力传感器

真空

过滤器

10

4 15

300

82.9 79

3000 38.7 19.4 27.5

80.9

76.8

2×ø4.5

E 1, 3

94.2

16.5 38.5

A

33.5 6

B

G

ZK2 LA- A

G K

R P

T

B

06 ø6 9.7

手动操作

(供给阀)

手动操作(破坏阀) 9.9

安装孔

全开时

A C

06 ø6 8.25 4

08 ø8 11.4 6

V孔型 PV孔型

45.9 37.4 8.4 3.5

5

PV

高消音消音器排气时

E

33.8

排气口

高消音

消音器外壳

破坏流量

调整针阀

空气压

供给

孔

C六角对边

真空

(V)孔

真空发生器系统、单体、带供给阀及

破坏阀、压力传感器 带压力传感器

单体式

外形尺寸图 (毫米)

ZZK2 A- L P

A

单独配线(集装式)

真空发生器系统、真空泵系统、单独配线(集装式)、带供给阀及破坏阀、无压力传感器及数字真空压力传感器

D 1 2 3 n U

C

D

33.8

M3

54.8

2.6

1

A 54.8

-B

79

84

3.8

10

1.3

76.7

10

35

32

4×M4

88.870

PD

15 33

82.987.962 53

37.4 26.4

EXH

n−1 ×15

45.9 38

L4

L3

L2

1.5 L1

4.6

5

5.5

5.3

L5

L6 5.5

10.5

12.8

3.5

10.5

8.4

B

300

E

mm

A B C D

06 8.3

08 11.4

4 9.7 8.7

6

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

L1 30 45 60 75 90 105 120 135 150 165

L2 45 60 75 90 105 120 135 150 165 180

L3 56.8 71.8 86.8 101.8 116.8 131.8 146.8 161.8 176.8 191.8

L4 67.5 82.5 97.5 112.5 127.5 142.5 157.5 172.5 187.5 202.5

L5 62.5 75 87.5 112.5 125 137.5 150 162.5 187.5 200

L6 73 85.5 98 123 135.5 148 160.5 173 198 210.5

孔型 位置

DIN导轨式安装

全开时:

手动操作(供给阀)

手动操作(破坏阀)

2 x 共通先导

压力供气(PS)孔

可选项记号

安装孔

DIN导轨固定螺丝

(选择可选项-B时)

先导压力排气孔

真空泵系统PE孔

高消音消声器 PS及PD孔尺寸

单独排气孔

共通供气(PV)孔

2 x ø8 破坏流量调整针阀

2 x 共通供气

孔

2 x 共通供气

孔

EXH 孔

n x 单独排气

n x 真空(V)孔

(内置过滤器)

(真空发生器系统) (真空泵系统)

按键(DOWN)

64

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

真空发生器/大流量喷嘴型

ZHV系列

共同规格

型号 ZHV10 ZHV20 ZHV30 ZHV40

密封材料 NBR

铝合金

压缩空气

0 ~ 0.7MPa

使用流体

供给压力范围

本体材质

环境和流体温度

通径 ø13 ø21.6 ø30 ø42

重量(g) 46 (55) 209 (228) 526 (587) 1063 (1182)

ZH-BK1-10-A ZH-BK1-20-A ZH-BK1-30-A ZH-BK1-40-A

ZH-DB1-10-A ZH-DB1-20-A ZH-DB1-30-A ZH-DB1-40-A

托架组件

集尘袋组件

注1) ( )=重量，代表产品已含托架组件。

注1) 吸入流量为理论值。 注2) 上记特性、喷出部压力为大气压状态时的值。

-5 ~ 80°C (未冻结)

供给压缩空气可进行吹风或产生真空

*2 ZHV20，与产品(ZH20-X185)对比 *3 ZH10，与产品(ZH10-X185)对比

重量 最大削减50%*2

(减少208g)

209g 417g

体积 最大削减50%*3

(减少17000mm3)

17000mm3

34000mm3

• 与以前产品(ZH-X185)本体安装尺寸、通口连接方法，通径相同。

• 可通过调节喷嘴位置控制吹气/真空流量

*1调整喷嘴前松开内六角固定螺钉，调整后重新拧紧螺钉。

*吸入流量、排出流量、耗气量会发生变化。

吹气流量为供气量的

4倍或以上

如果排放需要流量，

有助于减少流量消耗

*ZHV10除外

内六角紧定螺钉*1

供给压缩空气

喷嘴

吸入流量可增加

3倍或以上

逆时针转动喷嘴

增加流量

(真空压力增加)

顺时针转动喷嘴降低流量(真空压力降低)

排出流量可

提高4倍或以上

可产生供气量3倍或

以上的真空流量

如果吸入需要流量，

有助于减少流量消耗

*ZHV10除外

吹气

真空

切割树脂零件

粉末收集

加工机

水滴的吹散 工件

应用例

吹除粉屑

ZHV30

40-

流量特性

供给压力 [MPa]

吸入流量 [L/min (ANR)]

空气消耗量 [L/min (ANR)]

喷出流量 [L/min (ANR)]

真空压力 [kPa] -9

-8

-7

-6

-5

-4

-3

-2

-1

0

ZHV40

0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8

9000

8000

7000

6000

5000

4000

3000

2000

1000

0

喷出流量

空气消耗量

吸入流量

真空压力

真空压力 [kPa]

供给压力 [MPa]

吸入流量 [L/min (ANR)]

空气消耗量 [L/min (ANR)]

喷出流量 [L/min (ANR)]

-9

-8

-7

-6

-5

-4

-3

-2

-1

0

ZHV30

0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8

0

1000

2000

3000

4000

5000

6000 喷出流量

空气消耗量

吸入流量

真空压力

真空压力 [kPa]

供给压力 [MPa]

吸入流量 [L/min (ANR)]

空气消耗量 [L/min (ANR)]

喷出流量 [L/min (ANR)]

-9

-8

-7

-6

-5

-4

-3

-2

-1

0

ZHV20

0

500

1000

1500

2000

2500

3000

0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8

喷出流量

空气消耗量

真空压力

吸入流量

ZHV10真空压力 [kPa]

供给压力 [MPa]

吸入流量 [L/min (ANR)]

空气消耗量 [L/min (ANR)]

喷出流量 [L/min (ANR)]

0

100

200

300

400

500

600

700

800

-9 900

-8

-7

-6

-5

-4

-3

-2

-1

0

0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8

喷出流量

吸入流量

空气消耗量

真空压力

通径大，可吸入切屑，灰尘等 备有托架，集尘袋可选购

通径：

备有ø13,

ø21.6,

ø30, ø42

流动方向

托架组件

托架

集尘袋组件

通道直径：10µm

尺寸表 [mm]

型号 A øB øC D E F G H J K L M N øP

ZHV10-□□ 72.7 34 19 10 12.2 16.2 69.5 29.7 4 35 27 4.5 22 28

ZHV20-□□ 119 55 32 15 18.5 23.5 110.5 46.2 56 48 38 48

型号 Q R S T U V øW X Y Z AA AB AC øAD

ZHV10-□□ 28.7 18.3 35 18 1 1/8 13 17 M3 x 0.5 6 300 150 190 28

ZHV20-□□ 48.7 28.1 56.5 29 1/4 21.6 27.5 M4 x 0.7 8 400 200 250 44

ZHV10

20-

注1) 本螺丝部部请勿用来固定

尺寸表 [mm]

型号 A øB øC

ZHV30-□□ 157.3 64 50 20 22.5 28.5 145.8 59.8 5 70 60 5.5 52 64.7 33.6

ZHV40-□□ 201.5 87 64 25 27.2 33.5 195.3 73 6 90 78 6.5 74 87.7 43.4

D E F G H J K L M N P Q

型号 øV AE

ZHV30-□□ 72 37 2 1/4 30 35 52.9 52.9 M4 x 0.7 10 59

ZHV40-□□ 92 47 2.3 3/8 42 45 67.9 67.9 76 500 250 310

R S T U W X Y Z AA AB AC AD

搬运

*小球、粉末等

材料的搬运

L/min (ANR)

型号 真空压力

[kPa] 吸入流量 吹风流量 通径 空气消耗

流量

ZHV10

-6

520 670 180 ø13

ZHV20 1975 2360 380 ø21.6

ZHV30 4590 5310 710 ø30

ZHV40 5270 6820 1330 ø42

型号种类

注1) 供气压力在0.5MPa计算

外形尺寸图(毫米)

N*2

ø

P

B空气压供给(P)孔

螺丝尺寸：U

内六角紧定螺钉(2处)

(在对面180°) 2 x M

L

K

A

G H

Q J

注1) 本螺丝部部请勿用来固定

流体通过孔径：W

S

T

U

无托架

AD

X 4 x Y螺丝深

V

P

SMC E

吸入空气 吐出空气

øC ±0.3

D E

Z F

øB

øC ±0.3

ø

N

Q

P

内六角紧定螺钉

空气压供给(P)孔

螺丝尺寸：V

A

G

H

R J

L

K

2 x M

*1

吸入空气

AB

AA

AC

真空发生器 集尘袋

喉夹子

集尘袋安装尺寸图

无托架

45°

45° X

Y

W

AE

4 x Z螺丝深

R

S T

流体通过孔径：V

集尘袋安装尺寸图

吸入空气

AC

AB

AD

真空发生器 集尘袋

喉夹子 V E SMC

P

吸入空气 吐出空气

øC ±0.3

øC ±0.3

D E

AA F

*1

RoHS

65

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

直管型真空发生器

ZU□A系列

ZU 05 S A

真空压力

接管口径

记号 口径 ZU03/04 ZU05/07

无记号 ø4快换接头 ● ─

ø6快换接头 ─ ●

01 Rc1/8内螺纹 ─ ●

N ø5/32\" ● ─

喷嘴直径

03 0.3mm

04 0.4mm

05 0.5mm

07 0.7mm

型号表示方法

使用温度范围

使用流体

适用气管材质

使用压力范围

标准供给压力 ZU03/04

ZU05/07

-5 ~ 50℃(未冻结)

压缩空气

FEP、PFA、尼龙、软尼龙、聚氨酯

0.1 ~ 0.6MPa

0.35MPa

0.45MPa

共同规格

RoHS

符号

记号 最高真空压力 ZU03/04 ZU05/07

S -85 kPa (ZU03)/-87 kPa (ZU04) —

-90 kPa —

L -40 kPa —

-48 kPa —

吸入流量

供给压力 [MPa] 供给压力 [MPa]

ZU05SA

排气特性

ZU05LA

排气特性

供给压力 [MPa] 供给压力 [MPa]

ZU07SA

排气特性

ZU07LA

排气特性

供给压力 [MPa]

真空压力 [kPa]

真空压力 [kPa]

真空压力 [kPa]

真空压力 [kPa]

真空压力 [kPa]

真空压力 [kPa]

真空压力 [kPa]

供给压力 [MPa]

真空压力

空气消耗量

吸入流量

ZU03SA

排气特性

ZU03LA

排气特性

供给压力 [MPa] 供给压力 [MPa]

ZU04SA

排气特性 排气特性

ZU04LA

外形尺寸图 (毫米) 7.7

10

ø8.2

13.3 13.3

47

9.7

12

ø10.4

13.3 L2 13.3

L1

2×连接螺纹Rc1/8

12

ø13.3

L1

ZU03/04

ZU05/07

L1

ZU05 A01 67.2

ZU07 A01 74.2

L1 L2

ZU05 A 52 25.4

ZU07 A 59 32.4

快换接头连接 螺纹连接

型号 型号

2×适用气管

外径ø6

2×适用气管

外径ø4、ø5/32\"

产生器规格

ZU03□A 0.3 -85 1.8 3.7 2.4 ZU04□A

ZU05□A

ZU07□A

0.4 -87

-90

3.2

3.4

5.8 7.4

0.5 -48

-40

7 13 14 18.6

0.7 11 16 28 4.3

型号

喷嘴

直径

(mm)

最高真空压力 最大吸入流量

耗气量 快换

接头

连接

螺纹

锁入

连接

标准供给压力时的值

特性所示各值为代表值。依受限大气压(天候、标高等)会有变化。

S型 L型 S型 L型

19.1

3.9

质量(g)

真空压力

真空压力

真空压力

真空压力

真空压力

真空压力

真空压力

空气消耗量

吸入流量

空气消耗量 空气消耗量

吸入流量

吸入流量

空气消耗量

空气消耗量

空气消耗量

空气消耗量

吸入流量

吸入流量 吸入流量空气消耗量L/min [ANR]吸入流量L/min [ANR]

真空压力 [kPa]

空气消耗量L/min [ANR]

吸入流量L/min [ANR]

空气消耗量L/min [ANR]

吸入流量L/min [ANR]

空气消耗量L/min [ANR]

吸入流量L/min [ANR]

空气消耗量L/min [ANR]

吸入流量L/min [ANR]

空气消耗量L/min [ANR]

吸入流量L/min [ANR]

空气消耗量L/min [ANR]

吸入流量L/min [ANR]

空气消耗量L/min [ANR]

吸入流量L/min [ANR]

0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7

-100

-80

-60

-40

-20

0

10

8

6

4

2

0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7

-100

-80

-60

-40

-20

0

10

8

6

4

2

0

0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7

-100

-80

-60

-40

-20

0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7

-100

-80

-60

-40

-20

0

15

12

9

6

3

0

15

12

9

6

3

0

0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7

-100

-80

-60

-40

-20

0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7

-100

-80

-60

-40

-20

0

25

20

15

10

5

0 0

25

20

15

10

5

0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7

-100

-80

-60

-40

-20

0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7

-80

-60

-40

-20

0

50

40

30

20

10

0 0

50

40

30

20

10

66

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

伯努利型吸盘 RoHS

ZNC系列

附件型号

共同规格

型号

吸取力 [N]

耗气量 [L/min] (ANR)

型式 伯努利型

使用流体 压缩空气

使用压力范围 0.1 ~ 0.5 MPa

保证耐压力 0.75 MPa

本体

材质

铝合金

合成树脂

不锈钢 -5 ~ 80°C (0 ~ 50°C)

-5 ~ 40°C (0 ~ 40°C)

-5 ~ 80°C (0 ~ 50°C)

润滑脂 无润滑脂

重量[g]*2 本体

材质

铝合金

合成树脂

不锈钢

ZNC40

13.8

182

48

30

139

ZNC30

10.7

138

27

17

77

ZNC20

5.2

131

12

7

34

ZNC60

28.3

182

110

67

323

ZNC80

65

255

193

119

568

真空压力传感器 PSE541-M5-X2 (无润滑脂)

额定压力范围：0 ~ -101 kPa

*1 ( )带真空压力传感器。

*2 重量是不带塞头。

环境及

使用温度*1

构造

原理图

工件

安装口

压缩空气

供气口

本体

偏转器

产生真空

型号表示方法

ZNC 40

ZNC 20

本体外径

30

20

ø30 mm

ø20 mm

40 ø40 mm

60 ø60 mm

80 ø80 mm

本体材质

压力传感器

无记号 没带

S 带压力传感器

型号：PSE541-M5-X2

附件

无记号 铝合金

P 合成树脂

S 不锈钢

无记号

带档块

基本型(没带附件)

PN 丁腈橡胶

(黑色)

PS 硅橡胶

(白色)

带防震动

保护盖

VP 合成树脂

VS 不锈钢

*挡抉日后不能外加选用。

*挡抉与防震动保护盖不能同时选用。

*防震动保护盖可日后选用外加。

* 带防震动保护盖与本体材质配对表

符号 材质 本体

外径

本体材质

铝合金 合成树脂 不锈钢

VP 合成

树脂

30

20

40 —

60

80

— — —

—

— — —

— — —

— — —

VS 不锈钢

30

20

40 —

60

80

挡块 ZNCM PS 2

材质

PN 丁腈橡胶(黑色)

PS 硅橡胶(白色)

适合本体外径

1 20, 30

2 40, 60, 80

防震动保护盖

材质

VP 合成树脂

VS 不锈钢

ZNCM 40 VP

本体外径

30

20

ø30 mm

ø20 mm

40 ø40 mm

80 ø80 mm

60 ø60 mm

负压 0.2 ~ 0.5mm

工作物

防振罩

负压

基本型

吸附玻璃等平整坚硬的非通气性工作物时，为

非接触状态，相距约0.2~0.5mm达到平衡。

档块

防止工作物横向滑动，吸附玻璃等平整坚硬

的工作物时，推荐附档块器以防滑。

带防振动保护盖

可以抑制吸附布或纸等软质工作物时

产生的振动声。

负压

档块

工作物

ZNC60□

吸取力与工件距离对比图

0 0.5 1 1.5 2 2.5 3工件距离 [mm]

吸取力 [N] 30

25

20

15

10

5

0

0.1 [MPa]

0.4 [MPa]

0.3 [MPa]

0.2 [MPa]

0.5 [MPa]

ZNC80□

吸取力与工件距离对比图

0 1 2 3

工件距离 [mm]

吸取力 [N] 70

60

50

40

30

20

10

0

0.1 [MPa]

0.4 [MPa]

0.3 [MPa]

0.2 [MPa]

0.5 [MPa]

0.5 1.5 2.5

ZNC40□

吸取力与工件距离对比图

0 0.5 1 1.5 2 3工件距离 [mm]

吸取力 [N] 14

12

10

8

6

4

2

0

0.1 [MPa]

0.4 [MPa]

0.3 [MPa]

0.5 [MPa]

0.2 [MPa]

2.5

ZNC30□

吸取力与工件距离对比图

工件距离 [mm]

吸取力 [N] 12

10

8

6

4

2

0

0.1 [MPa]

0.4 [MPa]

0.3 [MPa]

0.2 [MPa]

0.5 [MPa]

0 0.5 1 1.5 2 2.5 3

ZNC20□

吸取力与工件距离对比图

0 0.5 1 1.5 2 2.5 3

工件距离 [mm]

吸取力 [N]

0.1 [MPa]

0.5 [MPa]

0.4 [MPa]

0.3 [MPa]

0.2 [MPa]

6

5

4

3

2

1

0

安装板

无记号 没带安装板

T 带安装板 铝合金

TS 不锈钢

图示安装方法-ZNC20

顶面供气 侧面供气

可在安装板顶面连接快换接头供气。

可安装塞头密封安装板顶面供气口，

连接快换接头在侧面供气。

带安装板

不带

安装板

侧面供气 本体供气(无配管时)

靠本体顶面O型胶圈与工件连接作

密封，连接快换接头在侧面供气。

以无配管使用时，用附属的塞头密封

侧面供气口，从顶面接管供气。

本体外径ø30 ~ ø80

本体外径ø20

67

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

外形尺寸图 (毫米)

伯努利型吸盘ZNC系列

外径 : ø20

基本型(不带安装板)

带挡块(不带安装板) 带防震保护盖(不带安装板)

17.5

防震保护盖

2.2

35°

24

35°

2 x M2.5

螺纹深4.2

11.3

11.8

16.5

M5 x 0.8

螺纹深3.7

供气口PB

M5 x 0.8

6.5 螺纹深3.7安装口

2 x M3 x 0.5

螺纹深6

带塞头：2.2

O型胶圈槽

沉孔直径ø5.8深0.8

供气口PA

带塞头：2.26.2

45°

14

20

0.8 ø2.8

120°

120°

挡块

17

带挡块(带安装板)

外径 : ø20

基本型(带安装板)

带防震保护盖(带安装板)

35°

11.3

11.8

16.5

(24)

7.5

2 x M2.5

螺纹深4.2

M5 x 0.8

螺纹深3.7

供气口PB

6.5

M5 x 0.8

螺纹深3.7

安装口

16

20

45°

2 x M3 x 0.5

螺纹深6

带塞头：2.2

带塞头：2.2 M5 x 0.8螺纹深3.7

供气口PC

35°

2.2

24

防震保护盖

(25)

10.5

120°

120°

17

挡块

0.8 ø2.8

吸附塑料外壳

∗客户自行准备本体安装连接部件

吸附薄布

本体尺寸：ø20

本体尺寸：ø40

应用例

*1 供气口可选择PA或PB，若不用的口可用塞头倒住。

*2 安装口可用作装压力传感器或作释放口。

*1 供气口可选择PB或PC，若不用的口可用塞头倒住。

*2 安装口可用作装压力传感器或作释放口。

68

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

吸附线路板 吸附气泡包装物料 吸附薄型布料 吸附纸张

应用例

外形尺寸图 (毫米)

伯努利型吸盘ZNC系列

*1 供气口可选择PA或PB，若不用的口可用塞头倒住。

*2 安装口可用作装压力传感器或作释放口。

基本型

外径 : ø30, ø40, ø60

带挡块 带防震保护盖

带挡块

带防震保护盖

V

W

120°

120°

挡块

E

保护盖：合成树脂

∗只有ø40

保护盖：不锈钢

17.5

17.5

防震保护盖*3

2.2

F

G

45°

45° M5 x 0.8螺纹深4

供气口PA*1

沉孔直径øK, 深L

A

B

O型胶圈糟

沉孔直径øM, 深0.8

带塞头：N C 带塞头：N

4 x H螺纹深J

ø1.2多口连接孔

ø1.2多口连接孔

ø30

R

16.5

S

T x M2.5螺纹深U

M5 x 0.8螺纹深4

供气口PB*1

沉孔直径øP, 深Q

120°

120°

D ø1.2多口连接孔

∗当ø40本体材质是合成树脂，就没有螺纹部份。

M5 x 0.8螺纹深4

安装口*2

沉孔直径øP, 深Q

沉孔直径øX, 深Y

沉孔直径øK, 深L

O型胶圈糟

沉孔直径øM, 深0.8

带塞头：N

4 x H螺纹深J

M5 x 0.8螺纹深4

安装口*2

沉孔直径øP, 深Q

6.5

120°

120°

V

E 17.5

G

120°

120°

45

45°

°

C

B

R

16.5

S D

6.5

A

[mm]

A

ZNC

80

无记号

80 70 27.5 17 74 — 84 M5 x 0.8 10 17 2.5 20 2

193

P 119

S 568

基本型

外径 : ø80

(mm)

型号 A 重量[g]∗1

重量∗1

[g]

ZNC

外型直径 本体材质

型号

外型

直径

本体

材质

30

无记号

30 23 8.7 — 27 — 34 M3 x 0.5 6 8.5 3.3 10.5 2.2 8.5 0.8

1.0

11.3 11.8 2 4.2 0.8 2.8

27

P 17

S 77

40

无记号

40 32 11 3.5 34 42.2 44

M4 x 0.7 8 11.5 3.6 13.5 2 8.5 10.5 12 3 5 1 5.8

48

P 30

S 139

60

无记号

60 47 21 10 54 — 64

110

P 67

S 323

*1 重量只是基本型，不包括附件。

防震保护盖

挡块

2.2

øW

*1 重量只是基本型，不包括附件。

*1 供气口可选择PA或PB，若不用的口可用塞头倒住。

*2 安装口可用作装压力传感器或作释放口。

T x M2.5螺纹深U

Rc 1/8

供气口PA*1

Rc 1/8

供气口PB*1

8.5 1.0 8.3 12 3 5 1 5.8 15.2 1.0

B C D E F G H J K L M N P Q R S T U V W X Y

B C D E F G H J K L M N P Q R S T U V W

69

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

015

02

035

04

06

08

10

13

16

N

S

U

F

GN

GS

ø1.5

ø2

ø3.5

ø4

ø6

ø8

ø10

ø13

ø16

ZP3 015 U N

吸盘直径

吸盘材质

吸盘类型-吸盘直径

吸盘直径

* 销售单位

ø1.5 ~ ø8 : 10 个

ø10 ~ ø16 : 5 个

吸盘类型

U (平形)

UM (平形带肋)

B (风琴形)

015 02 035 04 06 08 10 13 16

丁腈橡胶

硅橡胶

聚氨脂橡胶

氟化橡胶

导电性丁腈橡胶

导电性硅橡胶

吸盘

较现有ZP系列全长缩短最大9mm

·较省空间

·提高脱离性

ZP3-06UM□

[重量: 0.3克]

ø7

ø5

ø3

ø2

ø6

ø6.5

2

6

1.5

0.8

ZP3-08UM□

[重量: 0.3克]

ø7

ø5

ø3

ø2

ø8

ø8.5

2

6

1.5

0.8

ZP3-04UM□

[重量: 0.3克]

ø7

ø5

ø3

ø1.2

ø4.5

ø4

2

6

1.5

0.5

ZP3-015U□

[重量: 0.1克]

ø3

ø2

ø1.5 1 0.5 0.3

ø0.8

ø1.5

ø2

3

ZP3-02U□

[重量: 0.1克]

ø3

ø2

ø1.5 1 0.5 0.3

ø0.8

ø2.5

ø2

3

ZP3-035U□

[重量: 0.1克]

ø3

ø2

ø1.5 1 0.5 0.3

ø0.8

ø4

ø3.5

3

平形 平形

带肋

ZP3-10UM□

[重量: 0.6克]

ø9

ø6

ø4

ø2

ø10

ø11

2 2 1

7

ZP3-13UM□

[重量: 0.7克]

ø9

ø6

ø4

ø2

ø13

ø14

2 2

1.2

7

ZP3-16UM□

[重量: 0.8克]

ø9

ø6

ø4

ø2

ø16

ø17

2 2 1.2

7

平形

带肋

ZP3-10B□

[重量: 0.8克]

ø9

ø6

ø4

ø2

ø6

ø10

ø11

10

2 2 2

ZP3-13B□

[重量: 1.0克]

ø9

ø6

ø4

ø3

ø8.4

ø13

ø14

10

2 2 2

ZP3-16B□

[重量: 1.1克]

ø9

ø6

ø4

ø3

ø11.4

ø16

ø17

10

2 2 2

ZP3-04B□

[重量: 0.3克]

ø7

ø5

ø3

ø4

ø4.5

ø1.8

8

2.2

1.5 2

ZP3-06B□

[重量: 0.3克]

ø7

ø5

ø3

ø6

ø7

ø2

ø3.4

8

31.5 2

ZP3-08B□

[重量: 0.4克]

ø7

ø5

ø3

ø8

ø9

ø2

ø5.2

8

31.5 2

风琴形

垂直

真空口接管型

注：有关以上不同接管方式选型请与SMC业务员联系。

水平

真空口接管型

带缓冲水平

真空口接管型

带缓冲垂直

真空口接管型

新款吸盘

ZP3系列(ø1.5 ~ ø16)

RoHS

型号表示方法

外形尺寸图 (毫米)

□

注1) S白色, U茶色(BROWN), 其余材质是黑色。

70

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

RoHS 防静电真空吸盘(表面电阻值106 ~ 109

Ω)

ZP-905-CJXN0525系列

(ø4, ø6, ø8, ø10, ø15, ø16, ø20 , ø25, ø30)

• 吸盘材质：防静电硅

• 痕迹对策吸盘材质：防静电HNBR

外形尺寸图

型号表示方法

吸盘单体形状

04 06 08 10 15 16 20 25 30

MU

(平型) ● ●

UM

(带沟平型) ● ● ● ●

MT

(尖端吸盘) ● ● ● ● ●

MB

(风琴型) ● ●

吸盘类型 吸盘直径

(毫米)

øD

I

G

H Y

øB

øA

øC

øF

øE MU(平型)

I

øD

G

H Y

øB

øA

øC

øF

øE UM(带沟平型)

此处沟槽的形状

因吸盘直径(ø)而异

型号 A B C D E F G H I Y

4 4.8 1.5 6.5 5 3 3.5 1.4 6.5 0.8

6 6.7 2 6.5 5 3 3.5 1.4 6.5 1

(mm)

04

06

型号 A B C D E F G H I Y

6 6.7 2 7 5 3 3.5 1.5 6 0.8

8 8.5 2 7 5 3 3.5 1.5 6 0.8

10 11 2 9 6 4 4 2 7 1

16 17 2 9 6 4 4 2 7 1.2

(mm)

06

08

10

16

I

G

H Y

øD

øB

øA

øC

øF MT(尖端吸盘) øE

型号 A B C D E F G H I Y

10 10 11 1.6 8 5 3 3.5 1.4 6.5 0.3

15 15 16 1.5 8.5 6 4 4 2 5.5 0.3

20 20 17 1.5 13.5 10 6 4 2 5.5 0.3

25 25 26 1.5 15 10 6 4 2 5.5 0.3

30 30 31 1.5 18 10 6 4 2 5.5 0.3

(mm)

型号 A B C D E F G H I Y K

8 9 2.5 8 6 4 4 2 9 9.6 4.7

10 11 -- 11 7.8 4.6 3.5 -- 9.5 10.8 6.8

(mm)

øB

Y

I

øD

G

H

øC

øF

øE

øA

øJ

øK

øB

Y G

I

øA

øD

øK

øF

øE

øJ

MB(风琴型)

吸盘直径：ø8 吸盘直径：ø8

此处沟槽的形状

因吸盘直径(ø)而异

08

10

1.4

3.5 3.5

ø5ø3 ø1.5

3 M5X0.8 ø8

8.5

M5X0.8ø1.5ø6ø4 ø8

9

4

2

3.5

1.5

1.5 1.5

3

1.5

ZP2A-0305-CJXN0885 ZP2A-0406-CJXN0885

1.4

3.5 3.5

ø3

ø5

ø1.5

3 M5X0.8

ø8

8.5

1.5

M5X0.8

ø8

ø

ø1.5

ø6

4

9

4

2

3.5

1.5

1.5

3

1.5

ø7.8 ø2.5

M5X0.8

(9) 3

2

4 3.5

ø5

3.5

4

ø10 ø6 ø14

M5X0.8

9

2

ø2.5

3

4 2.5

ZP2A-4678-CJXN0885 ZP2A-0610-CJXN0885

安装用连接器型号和尺寸(材质：不锈钢/SUS)

带垫圈 不带垫圈

04MU

06MU

06UM

08UM

10MT

适用吸盘型号

08MB

10UM

16UM

15MT

适用吸盘型号

10MB

适用吸盘型号

20MT

25MT

30MT

适用吸盘型号

吸盘单体 ZP UM

吸盘直径

吸盘形状

吸盘形状 吸盘形状

MU 平型

UM 带沟平型

MT 尖端吸盘

MB 风琴型

905 CJXN0525

记号 吸盘直径

04 ø4

06 ø6

08 ø8

10 ø10

15 ø15

16 ø16

20 ø20

25 ø25

30 ø30

吸盘材质

记号 材质

无记号 防静电硅

HBU 防静电HNBR

是否含碳

含(黑色)

不含(蓝色)

1) 对静电敏感的工件使用防静电垫，以分散与工件摩擦产生的静电。2)由于表面电阻受操作环境(温度，湿度)的影响，请根据工件和操作环境选择最佳的真空垫形状。3) 用途因真空吸盘的形状而异。根据工件和操作环境选择最佳形状。

4) 如果垫和工件的高度不是恒定的，例如吸附高度不均匀的工件，请一起使用弹簧内置式滑块。5) 继续使用防静电真空垫(橡胶)会导致磨损，并且外部尺寸会逐渐变小。随着垫的直径变小，提升力将叠加，但可被吸收。

6) 真空垫的更换时间决定操作条件，例如通过达到的真空压力降低磨损而导致外部变化，吸附的响应时间延迟等。如果出现任何异常情况，请通过检查进行更换。

使用注意事项

71

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

真空吸盘缓冲器

ZP3-CJXU0723系列

固定型缓冲器

ZP3-CJXU0723系列

D0803S

A B C A B C

32.5 6.5 26

D1010S 51 15 36

D1010SM 50 14 36

D1015S 62 20 42

尺寸

型号 型号

(mm)

D1015SM 61 19 42

D1410SM 50 14 36

D1420SM 72 24 48

D0803S

C

4.5 4.5

A

ø3

ø5

B

17

ø6.9

3.5

3.5

1.4

M8X0.75

3 ø1.7

ø1.7 (孔)

10

6

10

ø11.2

M5X0.8

有效螺纹长度4

D10□□S

ø1.7 (孔)

12 C

3 5

A

ø3

ø6

B

ø8.9 M10x1

1.4

3.5

3

4

ø8.8 10.5

ø5

1

8

M5X0.8

有效螺纹长度4

ø13.5

12 3 5

M14x1.0

ø10.5

B

3.5

A

ø6.5

C

3

M5X0.8

有效螺纹长度4

9

ø20.8

19

D14□□SM

M5X0.8

有效螺纹长度5

6

19

16

ø1.7 (孔)

ø17.5

D10□□SM

M5X0.8

有效螺纹长度5 ø1.7 (孔)

5.5

12 C

A

ø6

B

ø8.9

øM10x1 8.8

2.5 1 3 3

8

M5X0.8

有效螺纹长度4

ø13.5

12

型号表示方法

杆端可选项

ZP3 S

缓冲行程

记号 行程

03 3mm

06 6mm

10 10mm

15 15mm

20 20mm

CJXU0723

缓冲器类型

记号 类型

M 插入型

D 固定型

缓冲器主体尺寸

记号 尺寸

08 M8x0.75

10 M10x1.0

14 M14x1.0

*根据螺纹外径。

记号 可选项 适用体型尺寸

S 带连接器 8mm, 10mm

SM 杆端内螺母M5 10mm, 14mm

缓冲器单体形状

缓冲器类型 体型尺寸 03 06 10 15 20

带连接器(S)

带连接器(S)

插入型 M8x0.75 带连接器(S) ● ●

固定型

M8x0.75 ●

M10x1.0 ● ●

杆端内螺母(SM)

M5攻丝

杆端内螺母(SM)

M5攻丝

M14x1.0 ● ●

连接器

行程

※请在确认吸盘附件的尺寸后，再选择吸盘或者带连接器的吸盘。

※选型前，请根据主体尺寸、安装类型，确认行程的可用范围。

*S规格和SM规格的整体长度不同。

*S规格请使用尺寸大小与连接器附着部位相同的优先。

(如果吸盘尺寸错误，可能会导致泄露)

插入型缓冲器

ZP3-CJXU0723系列

M08□□S型 (伸出状态)

10

ø11.2

内置烧结过滤器

(大气释放)

C

8

ø5ø3

3.5

A

ø1.7

ø8

M8X0.75

2-ø1.5通孔 垫圈

B

2

D

垫圈专用拧紧工具的尺寸

海绵垫圈 垫片垫圈 盖螺母

ZP3-16A-VU2628 ZP3-16B-VU2628 ZP3-13AA-XU0723

6st

3st

ZP3-13AB-XU0723

※对专用垫圈和夹钳进行替换或维护时，请参照上述零件型号另行选购。

ø9.3

ø13

1

1.5

ø8

ø10

0.5

10 7.5+St'

ø1

M8X0.75ø8.2

1

海绵垫圈

垫片垫圈

盖螺母

夹板

大气释放

(参考下方操作

注意事项第5点)

※夹板(推荐)

+0.012

0

t

t=8

ød=ø8

垫圈拧紧工具(插入型用)

使用垫圈专用的拧紧工具，按下图所示拧紧。

M0803S 27.5 7 4.5 16

A B C D

M0806S 36.5 10 7.5 19

尺寸

型号

(mm)

D0803S D1010S(SM) / D1410SM D1015S(SM) D1420SM

100 210

0st'

20st'

(g)

(mm)

100 190

0st'

15st'

(g)

(mm)

100 170

0st'

10st'

(g)

(mm)

100 140

0st'

3st'

(g)

(mm)

固定型

插入型

M0803S M0806S

70 95

0st'

6st'

(g)

(mm)

70 80

0st'

3st'

(g)

(mm)

※ 1g=0.0098N

※由于缓冲器内部的折叠阻力，实际缓冲力

比弹簧力大10~20%

缓冲器弹簧力(默认状态：无负载)

防静电真空吸盘(表面电阻值106 ~ 109

Ω)ZP-905-CJXN0525系列

1. 侧向力作用于缓冲杆时，缓冲器的使用寿命会缩短。

2. 建议拧紧螺母、盖螺母力矩M8 : 5~2.0NM； M10 : 2~3NM；M14 : 6.5~7.6NM

3. 螺母可能会因为使用条件和环境的不同而变松，请确保进行定期维护。

4. 插入型(固定型)缓冲器可能因操作条件和使用环境的不同，导致0~1kPa的压降情况。

※ 5. 使用插入型(固定型)缓冲器时，不要堵塞盖螺母顶部的孔。

6. 首先，检查规格的尺寸是否正确。然后，确保插入型(固定型)缓冲器在夹板中安装合适。

操作注意事项

在使用产品之前一定要阅读此说明书。关于真空设备的注意事项，

请参阅SMC官网主页上的安全说明和产品处理注意事项的后页。

72

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

RoHS

外形尺寸图 (毫米)

用于薄片,薄膜等的吸着

吸着时可抑制工件平面的变形

注1)不适用于施加负载的工件搬运

ZP2 T B10 MT N A5

真空引出方向

T

吸盘材质

记号 材质

N 丁腈橡胶

S 硅橡胶

F 氟化橡胶

GN 导电性丁腈橡胶

GS 导电性硅橡胶

记号 形状

MT 薄型

(带沟)

吸盘形状

安装连接

吸盘直径(记号)

螺纹径(记号)

H5G(M5 x 0.8 外螺纹)

B5(M5 x 0.8 内螺纹)

A5(M5 x 0.8 外螺纹带六角接头)

型号表示方法 垂直真空接管型/带连接器

记号 方向

垂直

B10 B15 B20 B25 B30

扁平型吸盘

ZP2系列(ø10~ø30)

M5 x 0.8

5.5 0.3

ø1.5

ø21

ø20

5.58(13.5)

六角对边14

ZP2-TB20MT□-B5

5. 5 8

(13.5)

ø26

ø1.5 0.3 5.5

M5 x 0.8

ø25

六角对边14

ZP2-TB25MT□-B5

5. 5 8

(13.5)

M5 x 0.8

5.5

0.3

ø1.5

ø31

ø30

六角对边14

ZP2-TB30MT□-B5

M5 x 0.8

5. 5 8

(13.5)

5.5

ø11

(0.3)

ø1.5

六角对边8

ø10

ZP2-TB10MT□-B5

M5 x 0.8

5.5

5. 5 8

(13.5)

ø16

ø1.5

ø15 (0.3)

六角对边8

ZP2-TB15MT□-B5

ø10

M5 x 0.8

7 5. 3 (10.5)

0.5

ø8

(0.3)

ø11

ø1.5

六角对边1.5

ZP2-TB10MT□-H5G

ø15

ø8

M5 x 0.8

7 5. 3 (10.5)

ø1.5

ø16

(0.3) 0.5

六角对边1.5

ZP2-TB15MT□-H5G

ø20

(10.5) 73.5 M5 x 0.8

ø14

0.5 (0.3)

ø21

ø1.5

六角对边

2.5

ZP2-TB20MT□-H5G

ø25

ø26

ø1.5

(10.5) 73.5 M5 x 0.8

ø14

0.5 (0.3)

六角对边2.5

ZP2-TB25MT□-H5G

ø30

ø31

ø1.5

7 5. 3 (10.5)

M5 x 0.8

ø14

0.5 0.3

六角对边2.5

ZP2-TB30MT□-H5G

M5 x 0.8

0.5

ø1.5 0.3

ø31

ø30

(13.5)

3.5 10

六角对边14

ZP2-TB30MT□-A5

M5 x 0.8

0.5

ø1.5 0.3

ø26

ø25

(13.5)

3.5 10

六角对边14

ZP2-TB25MT□-A5

(13.5)

M5 x 0.80.53.5 10 ø1.5 0.3

ø11

ø10

六角对边8

ZP2-TB10MT□-A5

M5 x 0.8

0.5

ø1.5 0.3

ø21

ø20

(13.5)

3.5 10

六角对边14

ZP2-TB20MT□-A5

(13.5)

M5 x 0.80.53.5 10

ø1.5 0.3

ø16

ø15

六角对边8

ZP2-TB15MT□-A5

记号

B10 ø10

B15 ø15

B20 ø20

B25 ø25

B30 ø30

吸盘直径

吸盘直径

73

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

RoHS ®

高精度数字式压力传感器(低压应用)

面板安装连接件+

前面保护罩(ZS-46-D)

面板厚度0.5~7

托架B(横装：ZS-46-A2)

托架安装尺寸

托架A(直装：ZS-46-A1)

ZSE20AF-X576~X580系列

可测量及显示压力范围在10kPa或以下

型号表示方法

ZSE20AF A J

输出

A NPN集电极开路2个输出

B PNP集电极开路2个输出

C NPN集电极开路

1个输出+模拟电压

D NPN集电极开路

1个输出+模拟电流

M5 X576

可选项

X576 -500 ~ 500Pa

X577 -1.000 ~ 1.000kPa

X578 -2.00 ~ 2.00kPa

X579 -5.00 ~ 5.00kPa

X580 -10.00 ~ 10.00kPa

型号 额定压力范围

接管规格

M5 M5内螺纹

记号

无记号

规格描述

没有托架

托架A

(直装)

托架B

(横装)

面板安装

连接件

面板安装

连接件

+

前面防护罩

A1

ZS-46-A1

ZS-46-A2

ZS-46-B

ZS-46-D

A2

B

D

型号

M5转R1/8插头 ZS-46-N1

可选项1

20

20

2x7.2

20

2x5.2

13.69.1

5.2

20

45

30

20 2

50.8

47.8

R4.5

R4.5 21

34.6

25

30

共同规格

型号

压缩空气，非腐蚀性气体，不燃烧性气体

DC12~24V±10%，脉动(p-p)10%以下

35mA或以下

±2%满刻度以下±1数位(在环境温度25±3˚C)

±3%满刻度(在25°C操作温度)

1V或以下(在80mA负载电流时)

4ms以下，0 ~ 60s/0.01s步骤可变

从0可变

NPN或PNP集电极开路输出

有短路保护功能

3显示(主显示，副显示×2)

有输出时灯亮 输出1, 2橙色

1) 主显示：红/绿

2) 副显示：橙

主显示：4位，7段显示

副显示：4位，前一位11段，其馀7段显示

重载防油电线，5条ø3.5, 2m

导电截面积：0.15mm² (AWG26)、绝缘体外径：1.0mm

80mA

28V

LCD

MPa, kPa, kgf/cm², bar, psi, InHg, mmHg

±1%满刻度以下

使用流体

额定压力范围

设定压力范围

保证耐压力

设定压力分解度

电子

配置

供应电压

消耗电流

显示精度

重覆精度

温度特性

输出类型

最高负载电流

最高供应电压

残留电压

延迟时间

设定点模式

设定区间模式 应差

短路保护

显示单位

显示类型

显示数目

显示颜色

显示数位

指示灯

密封标准 IP40

使用温度范围 使用：-5°C ~ 50°C、保存：-10°C ~ 60°C(未冻结)

使用湿度范围 操作及保存：35 ~ 85% RH(未冻结)

耐电压 引线与壳体间AC 1000V在1分钟内

绝缘阻抗 50MΩ或以上(DC500V兆欧表)引线与壳体间

标准 符合CE/UKCA、UL/CSA、RoHS标准

引线压力配置准确度开关输出显示耐环境

-X576 -X577 -X578 -X579 -X580

-500 ~ 500Pa -1.000 ~ 1.000kPa -2.00 ~ 2.00kPa -5.00 ~ 5.00kPa -10.00 ~ 10.00kPa

-525 ~ 525Pa -1.050 ~ 1.050kPa -2.10 ~ 2.10kPa -5.25 ~ 5.25kPa -10.50 ~ 10.50kPa

2.5kPa 5kPa 10kPa 25kPa 50kPa

1Pa 0.001kPa 0.01kPa 0.01kPa 0.01kPa

最大负荷阻抗 电源电压12V时：300Ω电源电压24V时：600Ω最小负荷阻抗 50Ω

输出形式

输出形式

反应时间

输出阻抗

负荷阻抗

电压输出：1-5V

电压输出：4-20mA

约1kΩ

20ms以上

模拟输出

电压

输出

电流

输出

面板安装连接件

(ZS-46-B) M5型

外形尺寸图 (毫米)

4 x ø2.6 20

2.5

配管口径

5

连接头

M5x0.8螺纹深度3.5

深度7或以下

带接头导线

50.8

47.8

21

R4.5

R4.5

34.5

34.5

面板厚度0.5~7

4.8

6.3

20.2

34.5

33.5

22

1.6

30

25

74

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

新款3色3显示高精度数字式压力传感器

·数字式显示，实时压力及设定值可同时显示在同一介面。

·简易设定。

·反应时间快，由旧有产品2.5ms提升到1.5ms。

·耗电量少，电流为25mA或以下。

额定压力范围

正压用

记号

无记号

规格描述

没有托架

托架A

(直装)

托架B

(横装)

面板安装

连接件

面板安装

连接件

+

前面防护罩

ISE20 -0.100 ~

1.000 MPa

0.0 ~

-101.0 kPa

-100.0 ~

100.0 kPa

ZSE20

A1

ZS-46-A1

ZS-46-A2

ZS-46-B

ZS-46-D

A2

B

D

ZSE20F

真空用

混合压

真空用

ISE20 N M5 L

输出规格

接管规格

NPN集电极开路(1输出)

PNP集电极开路(1输出)

N

M5 M5内螺纹

01 R1/8

P

面板厚度0.5~7

面板厚度0.5~7

面板安装连接件(ZS-46-B)

面板安装连接件+前面保护罩(ZS-46-D)

M5型

带接头导线

托架安装尺寸

托架A(直装: ZS-46-A1)

托架B(横装: ZS-46-A2)

01型

A

01 R1/8 对边宽度10

接管规格 接管口径

共同规格

型号 ZSE20 (真空用) ZSE20F (混合用)

-100.0 ~ 100.0 kPa

0.1 kPa

500 kPa

0.001 MPa

1.5 MPa

-105.0 ~ 105.0 kPa

0.0 ~ -101.0 kPa

10.0 ~ -105.0 kPa

-0.100 ~ 1.000 MPa

-0.105 ~ 1.050 MPa

压缩空气，非腐蚀性气体，不燃烧性气体

DC12~24V±10%，脉动(p-p)10%以下(带电源电极保护)

25mA或以下

±2%满刻度以下 ±1数位(在环境温度25±3˚C)

±2%满刻度以下(在25°C操作温度)

1V或以下(在80mA负载电流时)

1.5ms或以下(带防震荡功能：20,100,500,1000,2000或5000ms)

NPN或PNP集电极开路1个输出

有短路保护功能

3显示(主显示，副显示×2)

有输出时灯亮 输出1橙色

1) 主显示：红/绿

2)副显示：橙

主显示：4位，7段显示

副显示：4位，前一位11段，其馀7段显示

重载防油电线，3条 ø3.4, 2m

导电截面积：0.15mm² (AWG26)、绝缘体外径：1.0mm

80mA

28V

LCD

MPa, kPa, kgf/cm², bar, psi, InHg, mmHg MPa, kPa, kgf/cm²,

bar, psi

±0.2%满刻度以下±1数位

ISE20 (正压用)

使用流体

额定压力范围

设定压力范围

最低设定单位

保证耐压力

电子

配置

供应电压

消耗电流

显示精度

重覆精度

温度特性

输出类型

最高负载电流

最高供应电压

残留电压

反应时间

短路保护

显示单位

显示类型

显示数目

显示颜色

显示数位

指示灯

密封标准 IP40

使用温度范围 使用：0°C~50°C、保存：-10°C~60°C(未冻结)

使用湿度范围 操作及保存：35~85% RH(未冻结)

耐电压 引线与壳体间AC 1000V在1分钟内

绝缘阻抗 50MΩ或以上(DC500V兆欧表)引线与壳体间

标准 符合CE、UL/CSA、RoHS标准

型号 引线

M5转R1/8插头 ZS-46-N1

型号表示方法

外形尺寸图 (毫米)

ZSE20(F)/ISE20系列

可选项1

压力配置准确度开关输出显示耐环境

RoHS ®

75

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

IP40

RoHS ®

·数字式显示,实时压力及设定值可同时显示在同一介面。

·简易设定。

·反应时间快,由旧有产品2.5ms提升到1.5ms。

·耗电量少,电流为35mA* 或以下。

*省电模式时约40%下降

面板厚度0.5~7

面板厚度0.5~7

面板安装连接件(ZS-46-B)

面板安装连接件+前面保护罩(ZS-46-D)

可选项

记号

无记号

规格描述

没有托架

托架A

(直装)

托架B

(横装)

面板安装

连接件

面板安装

连接件

+

前面防护罩

A1

ZS-46-A1

ZS-46-A2

ZS-46-B

ZS-46-D

A2

B

D

带接头导线

M5型

托架安装尺寸

托架A(直装: ZS-46-A1)

托架B(横装: ZS-46-A2)

01型

A

01 R1/8 对边宽度10

接管规格 接管口径

共同规格

型号 ZSE20A (真空用) ZSE20AF (混合用)

-100.0 ~ 100.0 kPa

0.1 kPa

500 kPa

0.001 MPa

1.5 MPa

-105.0 ~ 105.0 kPa

0.0 ~ -101.0 kPa

10.0 ~ -105.0 kPa

-0.100 ~ 1.000 MPa

-0.105 ~ 1.050 MPa

压缩空气，非腐蚀性气体，不燃烧性气体

DC12~24V±10%，脉动(p-p)10%以下

35 mA以下

±2%满刻度以下 ±1数位(在环境温度25±3˚C)

±2%满刻度以下(在25˚C操作温度)

1V 或以下(在80mA负载电流时)

1.5 ms 或以下(带防震荡功能：20,100,500,1000,2000或5000 ms)

NPN或PNP集电极开路2个输出

有短路保护功能

3显示(主显示，副显示x2)

有输出时灯亮 输出1 输出2 橙色

1) 主显示：红/绿

2) 副显示：橙

主显示：4位，7段显示

副显示：4位，前一位11段，其馀7段显示

电线，5芯ø3.5, 2m

导电截面积：0.15mm²(AWG26)、绝缘体外径：1.0mm

80mA

28V

LCD

MPa, kPa, kgf/cm², bar, psi, InHg, mmHg MPa, kPa, kgf/cm²,

bar, psi

±0.2%满刻度以下 ±1数位

ISE20A (正压用)

使用流体

额定压力范围

设定压力范围

最低设定单位

保证耐压力

电子

配置

供应电压

消耗电流

显示精度

重覆精度

温度特性

输出类型

最高负载电流

最高供应电压

残留电压

反应时间

短路保护

显示单位

显示类型

显示数目

显示颜色

显示数位

指示灯

密封标准 IP40

使用温度范围 使用：-5˚C~50˚C、保存：-10˚C~60˚C(未冻结)

使用湿度范围 操作及保存：35~85% RH(未冻结)

耐电压 引线与壳体间AC 1000V在1分钟内

绝缘阻抗 50MΩ或以上(DC500V兆欧表)引线与壳体间

标准 符合CE, UL/CSA, RoHS标准

引线

型号

M5转R1/8插头 ZS-46-N1

ZSE20A R M5

M5

01

J

输出规格

接管规格

M5内螺纹

R1/8

R1/8配管连接器

配管孔

记号

A

大气开放孔 深度7以下

内容

最大负荷阻抗 电源电压12V时：300Ω电源电压24V时：600Ω最小负荷阻抗 50Ω

输出形式

输出形式

输出模式

输出时间

输出形式

输出阻抗

负荷阻抗

电压输出：1-5V

电压输出：4-20mA 电压输出：2.4-20mA 电压输出：3.2-20mA

电压输出：0.6-5V 电压输出：0.8-5V

约1kΩ

无电压输入：0.4以下

可选择自动补正、自动补正零

5ms以上

15.2

7.2

接管口径

01:R1/8

ZS-46-N1

型号表示方法

外形尺寸图 (毫米)

R

S

T

V

NPN集电极开路(2输出)+模拟电压输出

NPN集电极开路(2输出)+模拟电流输出

PNP集电极开路(2输出)+模拟电压输出

PNP集电极开路(2输出)+模拟电流输出

记号 内容

ISE20A

ZSE20A

ZSE20AF

0~-101kPa

-100~100kPa

-0.1~1MPa

额定压力范围

30

30

25

M5 x 08

34.5 4.8

6.3

20.2

50.8

47.8

R4.5

R4.521 34.5

4 x ø2.6

20±0.1

1.5

5

5.2

19

30

25

30

34.6

25

34.5

11 20.2

50.8

R4.5

R4.521

33.5 47.8

33.5

42.4 1.6

22

20

20

30

30

20 47 45 5.2

7.2 7.2 5.2 13.6 9.1

5.2

20

2

45

5.2

9.6 14.7

ZSE20A(F)/ISE20A系列

新款3色3显示高精度数字式压力传感器

2输出+模拟输出(电压/电流)压力配置准确度传感器输出模拟输出电压输出电流输出显示耐环境

自动

补正

输入

76

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

DC AC

G 直接出线 ● ―

GS 直接出线

(附突波电压保护回路) ● ●

D DIN端子型

(附突波电压保护回路) ● ●

DL ● ●

XSA 1 1 1 P 5 G 2

阀尺寸 内孔径 接头尺寸

接头的种类

V 面密封接头

S 卡套接头

内螺纹型

P 内螺纹

电压

3 AC110V

4 AC220V

5 DC24V

6 DC12V

连接块

无记号 无

A 附连接块

※ 本体在平坦部固定时，为了垫高本体时

使用。只需连接块时，请参照下表。

导线出线方式

表　连接块型号

型式 型号

XSA1 XSA1R-8-1

XSA2 XSA2R-8-1 XSA3

注）

T

端子型

(附突波电压

保护回路)

DIN端子型・附指示灯

(附突波电压

保护回路)

● ●

TL

端子型 • 附指示灯

(附突波电压

保护回路)

● ●

C 导线管型

(附突波电压保护回路) ● ●

共同规格

注1) “作动压力差”为孔1(高压侧）与孔2(低压侧)的差。

例)0.3MPa的场合，孔2为真空(1Torr以下)时，孔1加压至0.2MPa(G)。

注2) “逆方向可能压力”为孔1为大气压时，从孔2可加压的压力。

注3) 泄漏量为周围温度20℃，差压0.1MPa的值，气体透过除外。

注4) AC全部为附全波整流器。

＊有关尺寸问题，请与SMC业务员查询。

注5) 消耗电力、视在电力为周围温度20℃，输入额定电压时的值。

(误差幅：±10%)

注6) 周围温度20℃，额定电压输入时的值。但依周围的环境会有变化，

因此为参考值。

注7) 直接出线的值。

型式 XSA1-1 XSA1-2 XSA2-22 XSA2-32 XSA2-43 XSA3-3 XSA3-43

作动形式 常时闭

使用流体 压缩空气、惰性气体

内孔径mmø 2 3 4.5 6 4.5 6

耐压MPa(G) 1.5

最低使用压力Pa(abs)／OUT侧 1 × 10-6

最高使用压力MPa(G)/IN侧 1.0

最高作动压力差MPa注1) 0.8 0.3 1.0 0.3 0.1 0.8 0.3

逆方向可能压力MPa(G)注2) 0.5 0.25 0.4 0.2 0.05 0.2 0.15

泄漏量Pa • m3

/s注3) 内部

内螺纹

连接尺寸

1.3 × 10-9

面密封接头(吋)

卡套接头(吋)

外部 1.3 × 10-11

配管连接方式 面密封接头／卡套接头／内螺纹型

1/4 3/8

-

1/4

1/8 1/4

3/8

3/8

周围温度及使用流体温度o

C 5～60

额定电压注4)

消耗电力W注5) DC 4.5 7 10.5

视在电力VA注5) AC 7 9.5 12

线圈温度上升o

C注6) DC 50 55 65

AC 60 70 70

容许电压变动 额定电压的 10%以下

容许泄漏电压 DC 额定电压的2%以下

AC 额定电压的5%以下

线圈绝缘的种类 B种

质量kg注7)

面密封接头 0.28 0.41 0.42 0.53 0.62

卡套接头

Rc 1/4内螺纹型

0.28 0.41 0.42 0.53 0.55

0.33 0.53 - 0.74 0.74

2

1 2

1 3

2

AC110 / 220 DC12 / 24V

面密封接头 卡套接头

接头型 XSA 1 1 2 S 5 G 2

内螺纹型

内螺纹型

接头型

1 1 ø2

2 ø3

1 1/8

2 2 ø3

3 ø4.5

2 1/4

3 3 ø4.5

4 ø6

3 3/8

阀尺寸 内孔径 接头尺寸

1 尺寸1 1 ø2

2 ø3

2 1/4

2 尺寸2 2 ø3

3 ø4.5

4 ø6

2 1/4

3 3/8

3 尺寸3 3 ø4.5

4 ø6

2 1/4

3 3/8

尺寸1

尺寸2

尺寸3

内螺纹型

型号表示方法

高真空阀

XSA系列

77

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

高真空阀XSA系列

1 2

D

P

接管口径

C

H

A

E

300 G F

Bs

(B)

(卡套接头)

B

(面密封接头)

(L)

连接块

15

2 x M5

螺纹深 M

型号 A B Bs C D E F L M P

[吋]

直接出线 : G DIN 插座型 : D 端子型 : T

G H G H J G H J

XSA1- 2S 22 55 24 63 30 8.5 20 3 8

1/4

27 53.5 64.5 45.5 52.5 99.5 47.5 68.5 XSA1- 2V 50 —

XSA2- 2S

25

63 31.5

73.5 35

11.5

22

5 10

29.5

32

63

67.5

72

67

69.5

55

64

59.5

55

57.5

102 57 71 XSA2- 2V 56 —

XSA2-43S 64.5 31 3/8 XSA2-43V 67 —

78 61.5 XSA3-32S 63 31.5

40 24.5

1/4

104.5 73.5 XSA3-32V 56 —

XSA3-43S 64.5 31 3/8 XSA3-43V 67 — 82.5 66

[mm]15

连接块

2 x 5.5

没带连接块 带连接块

G

25

32

G1/2

H

J

F

C

端子型 : T

DIN 插座型 : D

J

31.5

G F

C

(44) H

G1/2

电缆 O.D. :

ø6 ~ ø12 六角对边 22

1 2

面密封接头,卡套接头 直接出线 : G

内螺纹型 直接出线 : G

外形尺寸图 (毫米)

P

接管口径

D

C

H

E

A

Q

300 G F

B

R

1 2

2 x M5 螺纹深 M

型号 ABC D E F M Q R G H G H J G H J

30 30 66 30 11 20 8 1/8 ø19 20 27 56.5 64.5 48.5 52.5 99.5

67 60.5 55

69.5 69.5 57.5

50.5 68.5

36 36 79 35 14 22 10 1/4 ø24 20 29.5 68.5 102 62.5 71

XSA1- 1P

XSA2- 2P

XSA3- 3P 40 40 88 40 16.5 24.5 3/8 ø29 22 32 77.5 104.5 71.5 73.5

直接出线 : G DIN 插座型 : D 端子型 : T

[mm]

P

[吋]

G

25

32

G1/2

H

J

F

C

端子型 : T

DIN 插座型 : D

J

31.5

G F

C

(44) H

G1/2

电缆 O.D. :

ø6 ~ ø12 六角对边 22

78

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

平行密封型闸阀(对应300mm晶圆) RoHS

XGTP系列

XGTP31□-50336

晶圆尺寸mm

操作压力MPa (G)

0.2

嵌入式(无本体) 10

14

14

阀型式

磁簧开关及插座

1 2 3

阀

型式

嵌入式

无本体） 标准本体） 半遮蔽本体）

XGTP 3 1 2 50336 1 C

― ― ―

A D-A93 ―

：0.5m

：20°C ~ 60°C

：20°C ~ 60°C

：20°C ~ 60°C

C D-A93

(AMP)

1)

F D-A93 D

2)

1 ( )

)

)

) (

AMP制T3105000

2 Hirose CDE-9SF05

OPEN/CLOSE

N

平行密封型闸阀

对应晶圆尺寸

300mm晶圆对应

1 FKM

2 Kalrez® 4079

※Kalrez®

50×336mm

14kg( )

~

1/5

22%

300

1)

2)

3) 90o

C

4)

300

50×336

0.45~0.6

6.5×10-11

6.5×10-7

6.5×10-8

6.5×10-9

6.5×10-10

20~120/~150(烤焙时)

1

4以下

0.6~1

20~90(但磁簧开关除外)

AM350

A6063

A5052

A6061

SUS304

Rc1/8

1.0×10-6Pa(abs)

型号表示方法

轴数与密封型式

1轴波纹管

开口窗尺寸

端点锁定

闸门部密封圈材质

盒式 盒式

开口窗尺寸(高×宽)mm

轴数

使用环境压力注1)

Pa(abs)

作动差压kPa

大气压~10-6

不活性气体

内部泄漏注2)

Pa • m3/s

内部泄漏注2)

Pa • m3/s

FKM, Kalrez®, 4079(选配)

自由

垂直

开闭位置附锁定机构

逆压时内部泄漏注2)

Pa • m3/s

[逆压力：0.1MPa (abs)以下]

使用温度注3)

°C

使用流体

作动时间注4)

S

闸门部

驱动部

密封圈材质

伸缩囊

闸门

本体

上盖

其他

主要真空部材质

主要真空部材质

安装方向

操作孔连接口径

端点锁定口径

气缸容积L

盒式(标准本体)

盒式(半遮蔽本体)

重量kg

O形环：FKM

O形环：FKM

O形环：Kalrez®

O形环：Kalrez®

79

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

平行密封型闸阀(对应300mm晶圆) XGTP 系列

60

59

405

36 45

卡匣式(半遮蔽本体)/ XGTP313

336

50

59

60

卡匣式(标准本体） XGTP312

50

336

440

371

112 50

254

阀密封面

(XGTP312, 313共通)

/

62

97 274

59

348

50

336开口尺寸 开口尺寸

254

嵌入式(无本体）/ XGTP311

数字

压力开关

ISE20C(H)

工艺气体用减压阀

AP1000、AP1100、

AP1500

N2气体、空气供给管路

洁净

气体过滤器

SF□

平稳

通气阀

XVD

高真空

电磁阀

XSA

负载锁定腔室

负载锁定腔室

工艺腔室 工艺腔室 工艺腔室

后处理腔室

装载机&

卸载机

装载机&

卸载机

装载机&

卸载机

传送腔室

后处理腔室

工艺腔室 工艺腔室 工艺腔室

传送腔室

工艺腔室

工艺腔室

数字式压力开关

ZSE20C(F)

水用过滤器

FQ1

带单向阀快插接头

KKA

带单向阀快

插接头

KKA

冷却水管路

温调管路

排气管路

排气管路

干燥泵

透平分子泵

高真空平稳排气阀

XLD

高真空弹性

密封L型阀

XLF

高真空

L型阀

XL□

数字

压力开关

ISE20C(H)

直动2/3通

电磁阀

VDW/VX2

洁净

减压阀

SR□

数字

流量开关

PF3W

高真空手动

L型阀

XLH

高真空双作用

L型阀

XL□

高真空L型阀

XL□

精密型温调器

高功能变频器型

HRZD

温调器

高功能变频器型

HRZ

透平分子泵 干燥泵

带波纹管的气缸

订制

订制

气控式阀驱动用

平行密封型缝阀/XGTP

门阀/XGD

非接触气爪

XT661-X260

扩散滤芯

4位置双3通阀

SJ SY

相关元件

订制

真空用

自由安装气缸

ZCUK

外形尺寸图 (毫米)

80

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

带大气释放阀真的真空阀

XLJ系列

大气

大气

：KF40

泵

( )

OFF

XLJ Series

ON

XLJ Series

泵OFF/

大气

真空

大气压

大气

泵

( )

真空

大气压

大气

■

■

( )

XLJ 25 1 G1

•

25 KF25

40 KF40

XLJ-25 XLJ-40

1 AC100V

2 AC200V

3 AC110V

4 AC220V

5 DC24V

6 DC12V

7 AC240V

J AC230V

型号 XLJ-25

•

O

大气压~1×10-2Pa

1.3×10-6Pa • m3/s以下注1)

1.3×10-8Pa • m3/s以下注1)

5~40°C

12L/s注2)

AC100V, 200V, 110V, 230V, 220V, 240V

DC12V, 24V

KF25

质量

ON (真空泵)

OFF (真空泵)

0.95kg

XLJ-40

45L/s注2)

KF40

1.5kg

2sec 、 3)

大气

1） 20°C 0.1MPa

2） L型的 。

3） 气 75L/min 。

：KF25

XLJ-40 300 63 [AC型] 53 [DC型]

128

66

泵

XLJ-25

54

80

85

111

48

300 54 [AC型]

44 [DC型]

泵

(48) (6) 168 65 ø55

65

ø55

ø38

ø40

776

ø26

50

ø26 ø38 ø40

50 10 130

外形尺寸图 (毫米)

CE认证

81

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

符号

电-气比例阀(流量控制)

JSP系列 1(入) 2(出)

型号表示方法

绕圈360o旋转, 方便配线

空气 水

流量 [L/min]

电流 [mA]

350

300

250

200

150

100

50

0

60 100 140 180 220 260

0.4 MPa

0.2 MPa

0.1 MPa

阀体选择：黄铜或不锈钢

根据正常电流控制流量

重复精度 ±3% F.S.或以下

灵敏度 2% F.S.或以下

消耗能量 4W (对于JSP10)

IP67

直接配管型

底座配管型

JSP 1 1 S F 201 R 5 G

JSP 1 3 S F 200 5 G

1 2 3 5

4

6

限流器

(大)

限流器

(中)

限流器

(细)

传统(2通阀)

采用一个2通阀来控制一个流量

2通阀1

2通阀2

2通阀3

JSP系列

控制器

mA

小 大

通过电流控制的电-气比例阀控制流量

特点

共同规格

*1 可用性取决于孔口直径。 请参阅适用的流体表。

*2 阀门泄漏率是在压差为0.05MPa或以上、电磁阀朝上、环境温度为20℃时测定。

由于该产品的泄漏不为零，因此不能用于压力容器内的保压等用途。

*3 建议电磁阀向上安装，以防止异物堆积。

*4 本产品具有IP67，但如果水进入产品，可能会导致故障或损坏。

*5 请在电源电压设定为额定电压、电流限制的情况下使用。

如果进行电压控制，由于线圈温度上升导致电流变化，因此无法控制流量。

*6 这是在额定电流下进行电流控制时的值。

系列 10 20

阀结构

阀结构 直动式截止阀

流体温度范围 压缩空气：0 ~ 50°C

水：1 ~ 50°C (未冻结)

*1

环境温度 0 ~ 50°C

耐压力 0.6 MPa

最高系统压力 1.0 MPa

阀泄量/外泄量*2 1 cm3

/min (ANR)或以下

安装方式*3 自由

保护*4 IP67 (DIN插座式为IP65)

阀体材料 不锈钢、黄铜

密封材料 FKM

线圈规格

额定电流/额定电压*5 200 mA/24 VDC

400 mA/12 VDC

260 mA/24 VDC

520 mA/12 VDC

功率消耗*6 4 W 5.6 W

温升*6 80°C

流量特性图

重复精度

±3% F.S.

或以下

灵敏度

2% F.S.

或以下

尺寸

10

20

阀体

材料

不锈钢

黄铜

不锈钢

黄铜

阀体种类

直接配管型

底座配管型

直接配管型

底座配管型

接管

口径

Rc1/8

Rc1/4

Rc3/8

最大操作*4

压差

[MPa]

0.35

0.4

孔口直径

[mmø]

1.4

2.3

2

3.2

最大流量*1

[空气]

[L/min]

50

100

125

300

最大流量*1*2*3

[水] [L/min]

1.5

—

3

—

型号

JSP11

3 -

S

CF100

1

JSP11

3 -

S

CF200

1

JSP21

3 -

S

CF200

3

JSP21

3 -

S

CF300

3

*1 这是最大操作压差。

*2 当使用尺寸20过水时，出口管内径必须为ø6.5mm或以上。

*3 当管道末端连接喷嘴或类似装置时，喷嘴直径应大于孔口直径。

*4 即使压差在最大值范围内。 由于二次侧的喷嘴等限制器而导致二次侧压力变高，则可能无法进行稳定的流量控制。

导线引出方式

导线引出方式 系列

10 20

直接出线式

记号

G

导管式

CS (带电压保护回路) —

DS DIN插座式

(带电压保护回路)

尺寸 6

系列

1 10

2 20

1

记号

2 阀体材料

S

C

阀体材料

不锈钢

黄铜

记号

[直接配管型]孔口直径和接管口径

系列

20

1.4 —

2.3 —

2.0

3.2

接管

口径

Rc1/8

Rc1/8

Rc1/4

Rc3/8

Rc1/4

Rc3/8

10

—

—

—

—

3

101

201

202

203

302

303

记号 孔口直径

[mmø]

额定电压

记号

5

6

额定电压

24 VDC

12 VDC

5

不锈钢

黄铜

托架配件型号(任选项)

系列10

型号 托架材料

JSX021-12A-3

系列20

机身材料 托架材料 图样

图样

不锈钢

黄铜 黄铜

不锈钢

不锈钢

型号

JSX022-12A-2-1

JSX022-12A-2-1

JSX20-12A-4

不锈钢

机身材料

不锈钢、黄铜

接管口径

Rc1/4

Rc3/8

Rc1/4,

Rc3/8

[底座配管型]孔口直径和接管口径

接管

口径

系列

10 20

—

—

— —

— —

—

—

*附4个安装螺丝

4

100

200

200

300

记号

1.4

2.3

2.0

3.2

孔口直径

[mmø]

直接配管型 底座配管型

2款配管型种类

*底座由客户

自行设计配装

82

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

外形尺寸图 (毫米)

电-气比例阀JSP系列

适用电缆

ø3 ~ ø7

Pg7

53.3

45.6

12.5

59.2

ø25

入

20

4

39

1/8

1

14

33

2 x ø3.4

67

55.3

18

B

C

入

G1/2

适用电缆

ø6 ~ ø12

≈500 48.9 18

C

B

IN

ø36

E

D

A

E

D

A

ø36

2 x 接管口径

1 (入), 2 (出)接管口径 B

C

≈300 28.5 18

入

G

F

2 x M5 x 7.6

ø36

A

D

E

2 x 接管口径

1 (入), 2 (出)接管口径

JSP10

阀体材料 不锈钢, 黄铜

JSP20 接管口径 Rc1/4, Rc3/8

阀体材料 黄铜

G : 直接出线式 托架选项 型号：JSX021-12A-3

托架选项 型号：JSX20-12A-4

DS：DIN插座式

(带电压保护回路)

G : 直接出线式

DS：DIN插座式

(带电压保护回路)

15

2 x M3 x 5

ø25

27.7

8

22

2 x Rc1/8

1 (入), 2 (出)

接管口径

≈300 23.4 12.5

59.2

入

ø25

ø25

22

8

35.7

2 x Rc, 1/8

1 (入), 2 (出)接管口径

CS : 导管式

36

9

1/4, 3/8

64

1.5

52

24

4 x ø6

[mm]

接管口径 A

E

F G 直接出线式 (G) 导管式 (CS)

Rc1/4 34.7 42.1 22.2 22.2

Rc3/8 22 48 70.9 11.3 38.7 46.1 19 20.6

19 40 66.9 9

B C D

直接配管型 接管口径 Rc1/8

直接配管型

83

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

外形尺寸图 (毫米)

电-气比例阀(流量控制)JSP系列

入

A

B

≈500 48.9 18

28.1

C

D

2 x 接管口径

1 (入), 2 (出)接管口径

NPT1/2

ø36

28.1

C

D

2 x 接管口径

1 (入), 2 (出)接管口径

入

≈300 28.5 18

B

A

28.1

C D

ø36

2 x 接管口径

1 (入), 2 (出)接管口径

入

A

B

55.3

67 18

G1/2

适用电缆

ø6 ~ ø12

[mm]

接管口径 A B

Rc1/4, Rc3/8 22.2 22.2

A

B

2 x M5 x 3

56

1/4, 3/81.5

33

4

13

46

2 x ø5.3

B-B

*1 对于øD尺寸，我们推荐ø8.2(相当于Rc1/8导孔)

或更大。

*2 我们建议t尺寸为20或更小。

如果t尺寸大于此值，流量可能会降低。

因此，要充分根据实际运行情况进行检查。 120°

ø4

ø2.4

R4.9

R7.3

ø2.4

øD*1

øD*1

t*2

(R7.3)

(R4.9)

(ø4)

A

入

B

出

B

23 ±0.1

23 ±0.1

OUT port

IN port

4 x M3

螺纹深：6或以上

扭力：0.9±10%N·m

ø25

15.7

阀体材料：黄铜 29

23

2329

输入口径

输出口径

阀体材料：不锈钢 29

23

2329

12.5

4 x ø3.4

输入口径

输出口径

出口方向检视孔

ø2.3, 深0.9

≈300 23.4 12.5

47.2

安装螺丝

M3 x 8

4.3

ø25

23.8

53.3

45.6

12.5

47.2

安装螺丝

M3 x 8

Pg7

适用电缆

ø3 ~ ø7

4.3

JSP10 底座配管型

阀体材料 不锈钢, 黄铜

JSP20 接管口径 Rc1/4, Rc3/8

阀体材料 不锈钢

G : 直接出线式 托架选项 型号：JSX022-12A-2-1

G : 直接出线式 DS：DIN插座式 底座孔尺寸

CS : 导管式

[mm]

接管口径 A B C

D

直接出线式 (G) 导管式 (CS)

Rc1/4 40 71.2 12.5 39 46.4 Rc3/8 48

DS：DIN插座式

图标A

直接配管型

84

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

外形尺寸图 (毫米)

电-气比例阀(流量控制)JSP系列

焊接机气体保护 空气吹扫和基板吹扫

吹气排水和稳定流量控制

(流量传感器反馈)

应用例

旋转控制牙科用牙钻

牙钻

空气

Air

热水箱水温控制 稀释流体 补充注液

水

高温度

低温度

Water

出

B

入

B

31 ±0.1

31 ±0.1

A

4 x M4

螺纹深：6或以上

扭力：1.4 ±10% N·m

IN port

OUT port

ø36

29.1

≈500 48.9 18

53.9

安装螺丝 5

M4 x 10

阀体材料：黄铜

31

3931

39 IN port

OUT port

阀体材料：不锈钢

39

31

16.5

3931

IN port

OUT port

4 x ø4.3

出口方向检视孔

ø2.5, 深1.4

ø36

21.7

≈300 28.5 18

53.9 5

安装螺丝

M4 x 10

ø36

30.6

67

55.3

18

53.9

G1/2

5

安装螺丝

M4 x 10

适用电缆

ø6 ~ ø12

JSP20

阀体材料 不锈钢, 黄铜

G : 直接出线式 DS：DIN插座式

B-B

øD*1

(R8.8)

(R6.2)

(ø5)

t*2

øD*1

*1 对于øD尺寸，我们推荐ø10.9(相当于Rc1/4导孔)

或更大。

*2 我们建议t尺寸为20或更小。

如果t尺寸大于此值，流量可能会降低。

因此，要充分根据实际运行情况进行检查。 CS : 导管式 130°

R8.8

R6.2

ø2.6

ø5

ø2.6

图标A

底座孔尺寸

底座配管型

85

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

IDF AF AR AMD PF2M

ZF PF2M

IDU IR AFD

调压阀 流量传感器

流量传感器 真空生产线

模拟输出

1V

显示

1L/min

5V

类比输出

1V

75L/min 100L/min 显示

：75L/min 100L/min

5V(10V)20mA)、

在额定压力范围10 105% ， 变

於1~100L/min，使用1~5V输出的感测器，

於75L/min流量传感器想5V输出时

SFD100

PF2M701 PF2M702 PF2M705 PF2M710 PF2M725 PF2M750 PF2M711

流体

流量规格

适用流体

流体温度范围

检出方式

额定流量范围 CO2

设定流量范围

操作压力范围注1）

型号

可选择2分间隔、5分间隔

-0.1 ~ 0.75MPa

1.0MPa

DC12 ~ 24V±10%

DC18 ~ 30V±10%

设定最小单位

型号表示方法

显示部反转功能

即使产品上下反转，也不会有显示上下

颠倒的情形

配件型号(任选项)

干燥空气、

瞬间流量

累计流量

瞬间流量

累计流量

压力规格

电气规格

累计脉冲的换算

累计保特功能

耐压力

压力特性

电源电压注2)

IO-Link

消耗电流

热式(主流式) 热式(分流式)

0 ~ 50o

C

0.01~1L/min

0.001L/min 0.01L/min 0.1L/min 1L/min

0.02~2L/min 0.05~5L/min 0.1~10L/min 0.3~25L/min 0.5~50L/min 1~100L/min

0.01~0.5L/min

-0.05~1.05L/min

0.00~9999999.99L 0.0~99999999.9L

0.01L

0.01L/pulse 0.1L/pulse

0.1L 1L

0~999999999L

0.00~9999999.99L 0.0~99999999.9L 0~999999999L

-0.1~2.1L/min -0.25~5.25L/min -0.5~10.5L/min -1.3~26.3L/min -2.5~52.5L/min -5~105L/min

0.02~1L/min 0.05~2.5L/min 0.1~5L/min 0.3~12.5L/min 0.5~25L/min 1~50L/min

-0.05~1.05L/min -0.1~2.1L/min -0.25~5.25L/min -0.5~10.5L/min -1.3~26.3L/min -2.5~52.5L/min -5~105L/min

干燥空气、N2、Ar、CO2 (JIS B8392-1 1.1.2~1.6.2、ISO8573-1 1.1.2~1.6.2)

显示精度

模拟输出精度

精度

输出形式

开关

输出

输出模式

开关动作

电压输出

电流输出

模拟

输出

显示

显示模式

显示可能范围 零舍去范围

配管

DIN

导线

面板安装接合器

流量调整阀

±3%F.S.±1digit

±3%F.S.

±5%F.S.±1digit (0 ~ 50o

C : 25o

C基準) ±3%F.S.±1digit (15 ~ 35o

C : 25o

C基準)

80mA

从0可变

电压输出 : 1~5V(可选择0~10V)、电流输出4~20mA

可选0.05s、0.1s、0.5s、1s、2s、5s

开关ON时亮灯 OUT1/2 : 橙

IP40

AC1000V 1 分钟充电部与外壳之间

50ms±40%

L/min、cfm

保护

往复精度

温度特性

最大负载电流

最大外加电压

内部下降电压

应答时间

迟延时间

应差

保护

输出形式

阻抗

应答时间注3)

显示单位基准

单位 瞬间流量

累计流量

瞬间流量

累计流量注4)

显示部

动作显示灯

数位过滤器

保护构造

耐电压

绝缘阻抗

使用温度范围

使用湿度范围

耐环境

规格

配管规格

托架

接流体部主材质

本体

重量

轨道安装金具

±5%F.S.±1digit（ 0.35MPa 基準

35mA以下

逆接续保护

±1%F.S.±1digit（数位过滤器0.05s 选择时为±2%F.S.±1digit

NPN／PNP 集电极开路输出

可选设定点模式，设定区间模式，逐步输出模式，

逐步脉冲输出模式，错误输出，开关输出OFF

选择性正转输出，反转输出

DC28V (只限NPN)

NPN : 1V以下(负载电流80mA) PNP : 1.5V以下(负载电流80mA)

50ms以下

0~0.10s(每0.01s)、0.1~1.0s(每0.1s)、1~10s(每1s)

可选择20s、30s、40s、50s、60s

短路保护

输出阻抗约1kΩ

最大负载功率电源电压24V时 : 600Ω 电源电压12V时 : 300Ω

标准状态(STD)、基准状态、(NOR)选择

瞬间流量显示、渐进流量显示选择

L ft 、 3

N2

0 ~ ±10%F.S. (对于最大额定流量, 每1%F.S.选择)

瞬间流量显示、渐进流量显示选择

50MΩ以上(DC500V高阻计量测) 充电部与外壳之间

动作时 : 0~50o

C、保存时 : -10~60o

C (无冷凝或结冰)

动作时·保存时 : 35 ~ 85%RH (无冷凝或结冰)

C4 (ø4) C6 (ø6) C8 (ø8), Rc1/4

PF2M721

2~200L/min

1L/pulse

-10~210L/min

2~100L/min

-10~210L/min

CE认证 (EMC指令、 RoHS指令)

40g 48g, (Rc1/4 ~ 72g)

+34g

+35g

+20g

+15g

+65g

PPS、PBT、FKM、SUS304、黄铜(无电解镀镍)、Si、Au、GE4F)

干燥机 空气过滤机 微雾分离器

共同规格

压缩空气用

建议使用方法

真空用

真空过滤器

注1) 负压为产品IN侧(1次侧)的压力值。注3) 标准状态(STD) : 20[

o

C]、101.3[kPa] (绝对压力)、65 [%RH] (规格上记载的流量为标准状态的值)

注2) 产品复数紧密设置时，电源电压的上限请使用DC24V。注4) 累计流量显示乘方表示。平常以上位4码显示。

RoHS ®

2色显示数字式流量传感器

PF2M7/PF2M7-L系列

PF2M 7 10 - C6 - A -

量度流体范围

调节流量阀/配管方向

10 0.1至10L/min

05 0.05至5L/min

02 0.02至2L/min

01 0.01至1L/min

25 0.2至25L/min

50 0.5至50L/min

11 1至100L/min

21 2至200L/min

A

B

C

D

E

F

记号

校正证明书

A 有

无记号 无

输出规格

L -

注1）1 5V或 0 10V 的任何一方可用按钮操作选择。出货时则选择1 5V。

模拟输出1 ~ 5V

NPN/PNP/外部输入

模拟输出0 ~ 10V注1

模拟输出1 ~ 5V 模拟输出0 ~ 10V注1

模拟输出4 ~ 20mA

模拟输出4 ~ 20mA

模拟输出1 ~ 5V 模拟输出0 ~ 10V注1

模拟输出4 ~ 20mA

IO-Link/NPN/PNP

L2 IO-Link/NPN/PNP

L3 IO-Link/NPN/PNP

L4 IO-Link/NPN/PNP

PNP

PNP

NPN

NPN

PNP

NPN

PNP

NPN

OUT1 OUT2

口径尺寸

C8 ø8 ——— — — —

02 Rc1/4 ——— — — —

记号 口径 相关流量范围

1 2 5 10 25 50 100 200

C4 ø4 — ———

C6 ø6 — —

模拟自由跨度功能

IN

IN

OUT

OUT

显示反转功能设定

记号 调节

流量阀 配管方向 相关流量范围

1 2 5 10 25 50 100 200

无记号 无

S 有

有

L 无

直通

直通

背面

背面

W — —

— —

型号:ZS-33-D

型号:ZS-33-F

插座部用橡胶外罩(硅橡胶)

附插座导线(2m)

※ 与PFM系列(现有产品)

有互换性※ 与PFM系列(现有产品)

有互换性

型号 : ZS-33-MS

托架(附流量调整阀用)

型号:

ZS-33-2JS

面板安装接合器

(附流量调整阀用）

:

型号:

ZS-33-F

插头部用橡胶套(硅橡胶) M12插头导线

面板安装

接合器B

面板安装

接合器S

面板

安装金具

面板安装接合器

(无流量调整阀用）

型号: ZS-33-2J

面板安装

接合器B

面板

面板安装

接合器

安装金具 ※ 与PFM系列(现有产品)

有互换性

型号:ZS-33-M

托架(无流量调整阀用)

攻牙螺丝

附2支

型号

插头导线(2m)

ZS-33-D

※与 PFM 系列(现有产品)

有互换性

+

型号:

攻牙螺丝 ZS-33-DM

附3支

-

(13) 100

茶

白

黑

蓝

(42.5)

3

2

4

1

茶

白

黑

蓝

插头

配线图

M12(外)

+21

直通配管

带调节阀

背面配管

带调节阀

*型号以带

2米长电线

1

2

3

4

86

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

2色显示数字式流量传感器 PF2M7/PF2M7-L系列

外形尺寸图 (毫米)

PF2M7 S-C4/C6/C8(-L)

8

28 20

2 x P Q

2 x 快换接头

适合管子外径 :

ø4, ø6, ø8

OUT1

DC(−)

OUT2

DC(+)

18

48

58

68

76

A

18

13

3

(30.9) 38.5 46.9 (最大53.9)

10.2 1.4

2 x 3.4

[mm]

型号 A P Q

PF2M705/710S-C4(-L)

PF2M705/710/725/750S

-C6(-L)

PF2M711/721S-C8(-L)

87.1 ø2.8 深 8.4 ø2.5 深 6

87.9 ø2.8 深 8.4 ø2.5 深 6

96 ø2.8 深 6.2 ø2.5 深 5

2 x 内螺纹

连接口径 : Rc 1/4

OUT1

DC(−)

OUT2

DC(+)

8

28 20

2 x P Q

18

48

58

68

76

A

B

18

3

(30.9) 38.5 46.9 (最大53.9)

10.2 1.4

2 x 3.4

13

PF2M7 S-02(-L)

OUT

48

A

18

10.2 1.4 (30.9) 38.5 C

18

68

2 x 3.4

8

28

2 x P

IN

3

PF2M7 L-C4/C6/C8(-L)

[mm]

型号 A C P

PF2M701/702/705/710L

-C4(-L) 84.4 7.6 ø2.8 深 8.4

PF2M701/702/705/710/

725/750L-C6(-L) 84.4 8 ø2.8 深 8.4

PF2M711/721L-C8(-L) 88 12 ø2.8 深 6.2

8

28

2 x P

DC(+)

OUT1 OUT2

DC(−)

48

18

10.2 1.4 13 (30.9) 38.5

18 2 x 3.4

3

A

PF2M7 -C4/C6/C8(-L)

[mm]

型号 A P

PF2M701/702/705/710

-C4(-L) 59.1 ø2.8 深 8.4

PF2M701/702/705/710/

725/750-C6(-L) 59.9 ø2.8 深 8.4

PF2M711/721-C8(-L) 68 ø2.8 深 6.2

DC(+)

OUT1 OUT2

DC(−)

2 x 快换接头

适合管子外径 :

ø4, ø6, ø8

2 x 快换接头

适合管子外径 :

ø4, ø6, ø8

48

A

18 8

28

2 x P

(30.9) 38.5

18

68 IN OUT

3

C

10.2 1.4

平面宽度B 2 x 3.4

OUT2

DC(+)

OUT1

DC(−)

PF2M L-02(-L)

[mm]

型号 A C B P

PF2M711/721L-02(-L) 88 13 17 ø2.8 深 6.2

PF2M7 -02(-L)

8

28

2 x P

48

A

18 Width across flats B

OUT1

DC(−)

OUT2

DC(+)

(30.9) 38.5

18

13

3

10.2 1.4

2 x 3.4

[mm]

型号 A B P

PF2M711/721-02(-L) 70 17 ø2.8 深 6.2

2 x 连接口径

连接口径 : Rc 1/4

2 x 内螺纹

连接口径 : Rc 1/4

[mm]

型号 A B P Q

PF2M711/721S-02(-L) 98 17 ø2.8 深 6.2 ø2.5 深 5

87

气源处理组合元件气动控制元件气动执行元件电动执行元件真空元件压力及流量检测元件除静电元件其他元件

1

2

3

4

5

6

7

8

2色显示数字式流量传感器 PF2M7/PF2M7-L系列

流量/模拟输出

1V 5V

0V 10V 流量 流量

电压输出(1−5V)

电流输出(4−20mA)

电压输出(0−10V) 注1)

注2） D或H，依零舍去功能的设定值变动。零舍去设定值以0设定时，流量显示值从0L/min开始显示。於水平方向设置及供给压力

0.35MPa以外的条件，流体没有流动时，也有可能以0L/min以外的流量显示

输

出

额定流量

最小值

额定流量

最小值

零舍去

范围

零舍去

范围

额定流量

最大值

额定流量

最大值

外形尺寸图 (毫米)

输

出

58

28 29.9 38.5 面板厚度

3