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浙江海纳半导体股份有限公司
企业&产品介绍
ZHEJIANG HAINA SEMICONDUCTOR CO.
COMPANY & PRODUCTS
浙江海纳半导体股份有限公司（以下简称“海纳股份”，股票代码：������）是浙江众合科技股份有限公司旗下
主力成员企业之一，成立于����年�月，前身是����年成立的浙江大学半导体厂。公司在硅单晶体生长技术、
硅材料缺陷研究、硅片切割研磨、硅晶圆抛光技术、硅片检测等各个方面都有着深入的研究和开发。是一家集
研发、制造、销售及服务为一体的国家级高新技术企业。
公司主要产品为�-�英寸半导体级硅单晶锭、高端研磨片及抛光片，应用于集成电路、分立器件、敏感元器件与
传感器、LED、节能灯等多个领域，在国内外市场具有较高的知名度和影响力。
ABOUT US
关于我们
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企业简介
COMPANY PROFILES
发展历程
DEVELOPMENT PATH
由浙江大学课题组
转变为独立的浙江
大学半导体厂。
����年第一次将
CZ单晶硅出口海
外 。
被国务院发展研究
中 心 评 为“ 直 拉 单
晶硅产量全国第
一”。
����年，公司改制
为 股 份 制 企 业，在
深圳交易所挂牌上
市。 ����年，海纳
半导体宁波基地投
产。
����年，成立杭州海
纳半导体有限公司。
����年，进入国家第
一批国家鼓励的集
成电路生产企业。
����年，高层领导
研究决定将厂区从
省会迁址至衢州，
进一步降低生产成
本。
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主动迈步
走上市场
����
技术领先
国内第一
����
产能扩张
建立分厂
����
拓展领域
再创新业
公司全年满产，高端
产品市占率进一步
扩大，成为行业“隐
形冠军”。
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全年满产
隐形冠军
为优化产品结构、
提 升 产 品 品 质，公
司在山西省太原市
综改区投资建设年
产���吨的硅单晶
生产基地。
����年�月 ����年�月
山西基地
扩建产能
新三板挂牌
����
迁址开化
获得新生
� � � � 年 � 月，公 司
完成了团队入股的
股 权 优 化 改 革，绑
定了团队经营责任
绩 效，激 励 了 全 体
员工工作积极性。
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团队入股
优化改革
公司荣获国家级“专
精 特 新 小 巨 人 ”称
号，并完成公司成立
至今的首轮外部融
资，引入三家产业背
景的战略投资人。
����年�月
“小巨人”
引入战投
市场介绍
MARKET INTRODUCTION
硅材料产业
太阳能硅材料产业 半导体硅材料产业
集成电路（IC）产业 分立器件产业
我公司所属产业
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支持掺杂硼磷砷锑
支持本征
支持重掺
支持特殊厚度定制
支持特殊晶向定制
支持小批量生产
企业优势
BUSINESS ADVANTAGE
营收业绩
REVENUE PERFORMANCE
生产计划电子化
物料管理弹性化
应急预案预备化
交付方式多样化
交付快
五道检验流程
四项防呆措施
全项目过程控制
直径偏差＜�.�mm
厚度偏差＜��um
晶向偏差＜�°
表面TTV＜�um
质量优
�*��小时（除节假）
快速反应
当天回复
三天解决
售前咨询；技术沟通
售后支持
品类多 服务好
合并营收入（万元）
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约����� ����
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����年 ����年 ����年 ����年
合并净利润（万元）
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����年 ����年 ����年 ����年
改进创新
IMPROVE AND INNOVATE
社会责任
SOCIAL RESPONSIBILITY
我们十分重视员工的权益及人生安全:特
别设立了安全生产小组，负责公司的生产
安全、消防安全、治安安全。设有月度安全
生产会议、安全生产日常检查和员工安全
教育。
安全生产
� 生产事故
我们力争节能防污、绿色生产：公司通过
了国际�����环境管理体系。投资���万
设立污水净化站，可处理污水���吨/日，
对排放水质在线检测。每年对污水排放委
外检测。产品通过RoSH、REACH标准。
环境保护
� 环境受罚
�%
技术研发的投入占比
��.��%
良率
��%
设备升级率
公司每年会至少拿出年净利润
的�%，作为技术和研发的投入。
����年实际技术与研发的投入
����万元，
超过�%的最低比例。
为适应新的生产技术，公司每年
会对设备进行部分或者整体升级，
所升级的设备数占总数的量，不
低于��%。
基于����年的综合出厂良率，
设定����年的良率目标为
��.��%。
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海外布局
OVERSEAS LAYOUT
海纳股份于����年��月收购日本株式会社松崎製作所（以下简称“日本松崎”），为海纳股份公司自行研发与
生产加工�寸、��寸硅片打下坚实基础。����年浙江海纳收购了日本松崎制作所，凭借日本松崎领先的抛光片
技术以及先进的管理理念，已成为海纳股份业务突破海外市场的重要窗口，为海纳股份的跨越式发展提供了
强大的支撑。
日本松崎制作所是一家在日本细分行业中名列前茅的�英寸抛光硅片公司，创立于����年，于����年更名为
松崎制作所。拥有本社工厂、出云工厂、福井工厂三个工厂。自创立以来，公司一直追求精密的抛光、清洗技
术，以行业最高水平的洁净硅片的稳定供给为目标，作为电子产业的后方在微观世界中日益精进。公司以测
试、m o n i to r 硅 片、d u m m y 硅 片、再 生 硅 片 的 抛 光 清 洗 为 主 要 事 业，精 密 加 工 精 度、质 量 得 到 了 客 户 的
信赖。
出雲大社
（縁結びの神様）
松崎製作所
本社工場
玉泉温泉
足立美術館
（日本庭園�年連続日本一）
国立公園「三瓶山」
三瓶自然館「アクセス」
世界遺産
「石見銀山遺跡」
しまね海洋館「アクセス」
（幸せのバブルリング）
PRODUCTS AND SERVICES
产品与服务
产品概述
PRODUCT DESCRIPTION
����年，海纳股份开化工厂单晶硅锭产能约���吨/年，继续全年满产，产品类型中，抛光片已逐渐上量，全年
生产约���万片（不含日本松崎），占比逐年提高，已占总收入的��.��%。产品尺寸也向中大尺寸发展，浙江海
纳开化工厂全年生产�-�寸片研磨片、抛光片共计约��万片；日本松崎全年共计生产中大尺寸抛光片约���万
片，贡献销售收入�.��亿元。
单晶晶锭
可指定目标电阻率范围
�-�英寸，可滚圆,可切片
生长方式
掺杂剂
晶向
直径
电阻率
研磨片厚度
抛光片厚度
�inch(��.�mm)
�.����ٷcm-���ٷcm
���um-���um
���um-���um
�inch(���mm)
研磨硅片
双面研磨
�-�英寸，厚度公差＜��um
抛光硅片
双抛/单抛/简易抛
�-�英寸，TIR＜��um
氧化硅片
双面氧化/单面氧化
氧化层厚度��nm-�um
CZ MCZ
硼（B） 磷（P） 砷（As） 锑（Sb）
<���> 方向 <���> 方向 <���> 方向 <其他定制>
�inch(���mm) �inch(���mm) �inch(���mm)
<其他定制>
产品产能
PRODUCT CAPACITY
PRODUCTION AND DELIVERY
生产与交付
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工艺简介
PROCESS INTRODUCTION
晶体生长
割断
样片检测
滚圆
晶锭检验
切片
切片清洗
热处理
倒角
磨片
磨片清洗
磨片检验
化学腐蚀
抛光
抛光片清洗
抛光片检验
包装发货
生产设备
PRODUCTION EQUIPMENT
检测设备
TESTING EQUIPMENT
单晶炉
线切机
倒角机
磨片机
抛光机
晶体生长
切片
倒角
研磨
抛光
单晶拉制
硅棒切割成硅片
硅片外周倒角
硅片研磨
硅片抛光
电阻率测试仪
红外光谱仪
少子寿命测试仪
硅片分选仪
多功能硅片检测系统
金属含量检测仪
超景深三维显微系统
颗粒测试仪
晶锭检验、磨片检验
检验
晶锭检验
磨片检验、抛光片检验
磨片检验、抛光片检验
抛光片检验
硅片CVD
抛光片检验
检测电阻率
检测氧碳含量
检测少子寿命
不同电阻率厚度分选
检测厚度、TTV、BOW、WARP、TIR、STIR
检测抛光片表面金属
检测硅片缺陷
检测抛光片表面颗粒度
设备名称 所在工序 用途
设备名称 所在工序 用途
WIN-WIN COOPERATION
合作共赢
海纳股份传承浙江大学“求是”血脉，延续“求精”基因，与浙江大学、浙江工业大学等院校通过“联合研究，共
同开发”的方式进行技术合作与创新，并受两位技术专家的专业指导：
（�）叶志镇，浙江海纳特聘首席科学家，博导，浙江大学材料系主任、求是特聘教授、中国科学院院士、浙江省
特级专家。
（�）胡晓君，教授，博导，浙江工业大学材料科学与工程学院副院长。
电话/Tel:+��(����)-��������
轨道交通业务合作电话: ����-��������
杭州市临安区青山湖街道胜联路���号众合科技青山湖科技园
Qingshan Lake Technology Park, No.��� Shenglian Road, Qingshan Lake Street, Lin'an District, Hangzhou
杭州市滨江区江汉路����号双城国际�号楼��楼
��F,Insigma park,No.���� Jianghan Rd,Bingjiang DistrictHangzhou,Zhejiang,China
传真/Fax:+��(����)-��������
www.unittec.com 股票代码/s.c:������
