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ULTRA HIGH PURITY GAS SYSTEM
超高纯产品系列
Gas
Control
Solutions
PRECISE MANUFACTURING
SERVING THE WORLD
VIGOUR始终保持技术领先，以“高安全、高洁净、高精度”为产品
研发核心，专注于为设备制程提供安全、稳定、可靠的气体控制
系统，保障设备安全持续运营的同时，推动产业升级。
安全 稳定 可靠
BRAND
INTRODUCTION
PRECISE MANUFACTURING
SERVING THE WORLD
PRECISE MANUFACTURING
SERVING THE WORLD
PRECISE MANUFACTURING
SERVING THE WORLD
关于我们
VIGOUR 在全球拥有三大研发生产中心，是国际领先的流体控制系统方案设计制
造服务商，专注于流体压力控制系统设备、集中供气系统、气体监控系统、仪器仪
表的研发与制造。我们集合气体减压阀、压力控制面板、气体终端模块、扩展模板
及管路阀门组件，重新组合集成，实现了统一、高效的流体控制系统。行业涉及“
石油石化，生命科学”等领域。特别是在半导体制造中的刻蚀、扩散、离子注入和
薄膜沉积工艺等关键制程为客户提供完整的气体控制系统解决方案及定制服务。
VIGOUR 先后获得上海市专精特新企业、上海市高新技术企业、欧盟CE(PED
ISO2503)、ISO9001、ISO14001、ISO45001、Rohs、发明专利证书、实用新
型证书等。
1
减压器
单级式减压器
10/25 μin. Ra
150 psig
Vac to /10/30/60/100 psig
0.06 / 0.1
316L
名称：
光洁度：
进气：
出气：
Cv：
材质：
VSR-50UB
单级式减压器
10/25 μin. Ra
300/3500 psig
Vac to /10/30/60/100/150 psig
0.09 / 0.15
316L
名称：
光洁度：
进气：
出气：
Cv：
材质：
VSR-100UB
单级式减压器
10/25 μin. Ra
300/1700/3000 psig
Vac to /30/60/100/150/250 psig
0.65 / 1.1
316L
名称：
光洁度：
进气：
出气：
Cv：
材质：
VSR-210UB
单级式减压器
10/25 μin. Ra
300/2300/3000 psig
Vac to /30/60/100/150 psig
0.45
316L
名称：
光洁度：
进气：
出气：
Cv：
材质：
VSR-410UB
单级式减压器
10/25 μin. Ra
300/3500 psig
Vac to /30/60/100/150 psig
0.09 / 0.15
316L
名称：
光洁度：
进气：
出气：
Cv：
材质：
VSR-510UB
单级式减压器
10/25 μin. Ra
300/3500 psig
Vac to /10/30/60/100 psig
0.13
316L
名称：
光洁度：
进气：
出气：
Cv：
材质：
VSR-610UB
双级式减压器
10/25 μin. Ra
3500 psig
Vac to /30/60/100 psig
0.05 / 0.07
316L
名称：
光洁度：
进气：
出气：
Cv：
材质：
VSR-710UB
单级式减压器
10/15 μin. Ra
800/1700/3000 psig
Vac to /30/60/100/150 psig
3.0 / 4.0
316L
名称：
光洁度：
进气：
出气：
Cv：
材质：
VSR-910UB
单级式减压器
10 μin. Ra
300 psig
Vac to /30/60/100/150 psig
1.6
316L
名称：
光洁度：
进气：
出气：
Cv：
材质：
VSR-920UB
单级式减压器
10 μin. Ra
5800 psig
25~500 / 100~2500 psig
0.09 / 0.15
316L
名称：
光洁度：
进气：
出气：
Cv：
材质：
VSR-930UB
名称：
光洁度：
进气：
出气：
Cv：
材质：
VSR-911UB
单级式减压器
10/15 μin. Ra
800/1700/3000 psig
300 psig
3.0 / 4.0
316L
单级式减压器
10/25 μin. Ra
300/3500 psig
Vac to /10/30/60/100/150 psig
0.09 / 0.15
316L
名称：
光洁度：
进气：
出气：
Cv：
材质：
VSR-1000UB
2
减压器
单级式减压器
5/7/10 μin. Ra
150 psig
Vac to /10/30/60/100 psig
0.06 / 0.1
316L 二次熔炼
名称：
光洁度：
进气：
出气：
Cv：
材质：
VSR-50UC
单级式减压器
5/7/10 μin. Ra
300/3500 psig
Vac to /10/30/60/100/150 psig
0.09 / 0.15
316L二次熔炼
名称：
光洁度：
进气：
出气：
Cv：
材质：
VSR-100UC
单级式减压器
5/7/10 μin. Ra
300/1700/3000 psig
Vac to /30/60/100/150/250 psig
0.65 / 1.1
316L二次熔炼
名称：
光洁度：
进气：
出气：
Cv：
材质：
VSR-210UC
单级式减压器
5/7/10 μin. Ra
300/2300/3000 psig
Vac to /30/60/100/150 psig
0.45
316L二次熔炼
名称：
光洁度：
进气：
出气：
Cv：
材质：
VSR-410UC
单级式减压器
5/7/10 μin. Ra
300/3500 psig
Vac to /30/60/100/150 psig
0.09 / 0.15
316L二次熔炼
名称：
光洁度：
进气：
出气：
Cv：
材质：
VSR-510UC
单级式减压器
5/7/10 μin. Ra
300/3500 psig
Vac to /10/30/60/100 psig
0.13
316L二次熔炼
名称：
光洁度：
进气：
出气：
Cv：
材质：
VSR-610UC
双级式减压器
5/7/10 μin. Ra
3500 psig
Vac to /30/60/100 psig
0.05 / 0.07
316L二次熔炼
名称：
光洁度：
进气：
出气：
Cv：
材质：
VSR-710UC
单级式减压器
5/7/10 μin. Ra
300 psig
Vac to /30/60/100/150 psig
1.6
316L二次熔炼
名称：
光洁度：
进气：
出气：
Cv：
材质：
VSR-920UC
单级式减压器
5/7/10 μin. Ra
300/3500 psig
Vac to /10/30/60/100/150 psig
0.09 / 0.15
316L二次熔炼
名称：
光洁度：
进气：
出气：
Cv：
材质：
VSR-1000UC
膜片阀
Max. 3000 psig
10 μin. Ra
1/4”3/8”1/2”VFS接头/焊接接管
0.27 / 0.5
316L
名称：
压力：
光洁度：
连接：
Cv：
材质：
VDV33UB
膜片阀
Max. 300 psig
10 μin. Ra
1/4”3/8”1/2”VFS接头/焊接接管
0.3 / 0.65
316L
名称：
压力：
光洁度：
连接：
Cv：
材质：
VDV52UB
膜片阀
Max. 150 psig
10 μin. Ra
1/4”1/2”VFS外螺纹
0.3 / 0.65
316L
名称：
压力：
光洁度：
连接：
Cv：
材质：
VDV22UB
低压组合式膜片阀
Max. 150 psig
10 μin. Ra
1/4”VFS接头 / 焊接接管
0.3
316L
名称：
压力：
光洁度：
连接：
Cv：
材质：
VDV36UB
膜片阀（可更换阀座）
Max. 300 psig
10 μin. Ra
1/4”3/8”1/2”VFS接头/焊接接管
0.3 / 0.65
316L
名称：
压力：
光洁度：
连接：
Cv：
材质：
VDV42UB
3
膜片阀
膜片阀
Max. 150 psig
10 μin. Ra
1/4”3/8”1/2”3/4”VFS接头/焊接接管
0.3 / 0.65
316L
名称：
压力：
光洁度：
连接：
Cv：
材质：
VDV32UB
膜片阀
手动 Max. 300 / 气动 Max. 250 psig
10 μin. Ra
3/4”1/2”3/8”VFS接头/焊接接管
2.8
316L
名称：
压力：
光洁度：
连接：
Cv：
材质：
VDV37UB
膜片阀
Max. 1300 / 3000 psig
10 μin. Ra
1/4”3/4”1/2”3/8”VFS接头 / 焊接接管
手动 1.0，气动 1.0 / 0.7
316L
名称：
压力：
光洁度：
连接：
Cv：
材质：
VDV38UB
膜片阀
Max. 300 psig
10 μin. Ra
3/4”1/2”VFS接头 / 焊接接管
2.8
316L
名称：
压力：
光洁度：
连接：
Cv：
材质：
VDV39UB
膜片阀
Max. 3000 psig
10 μin. Ra
1/4”3/8”VFS接头/焊接接管
手动 0.29 / 气动 0.23
316L
名称：
压力：
光洁度：
连接：
Cv：
材质：
VDV40UB
高压组合式膜片阀
Max. 3000 psig
10 μin. Ra
1/4”VFS接头 / 焊接接管
0.1
316L
名称：
压力：
光洁度：
连接：
Cv：
材质：
VDV46UB
超高纯吹扫阀组
Max. 3000 psig
10 μin. Ra
1/4”VFS接头 / 焊接接管
0.1
316L
名称：
压力：
光洁度：
连接：
Cv：
材质：
VDV48UB
4
膜片阀
膜片阀
Max. 150 psig
7 μin. Ra
1/4”3/8”1/2”3/4”VFS接头 / 焊接接管
0.3 / 0.65
316L 二次熔炼
名称：
压力：
光洁度：
连接：
Cv：
材质：
VDV32UC
膜片阀
Max. 3000 psig
7 μin. Ra
1/4”3/8”1/2”VFS接头 / 焊接接管
0.27 / 0.5
316L 二次熔炼
名称：
压力：
光洁度：
连接：
Cv：
材质：
VDV33UC
膜片阀（可更换阀座）
Max. 300 psig
7 μin. Ra
1/4”3/8”1/2”VFS接头 / 焊接接管
0.3 / 0.65
316L 二次熔炼
名称：
压力：
光洁度：
连接：
Cv：
材质：
VDV42UC
膜片阀
Max. 300 psig
7 μin. Ra
1/4”3/8”1/2”VFS接头 / 焊接接管
0.3 / 0.65
316L 二次熔炼
名称：
压力：
光洁度：
连接：
Cv：
材质：
VDV52UC
高压组合式膜片阀
Max. 3000 psig
7 μin. Ra
1/4”VFS接头 / 焊接接管
0.1
316L 二次熔炼
名称：
压力：
光洁度：
连接：
Cv：
材质：
VDV46UC
膜片阀
手动 Max. 300 / 气动 Max. 250 psig
7 μin. Ra
3/4”1/2”3/8”VFS接头/焊接接管
2.8
316L 二次熔炼
名称：
压力：
光洁度：
连接：
Cv：
材质：
VDV37UC
膜片阀
Max. 1300 / 3000 psig
7 μin. Ra
1/4”3/4”1/2”3/8”VFS接头 / 焊接接管
手动 1.0，气动 1.0 / 0.7
316L 二次熔炼
名称：
压力：
光洁度：
连接：
Cv：
材质：
VDV38UC
膜片阀
Max. 3000 psig
7 μin. Ra
1/4”3/8”VFS接头/焊接接管
手动 0.29 / 气动 0.23
316L 二次熔炼
名称：
压力：
光洁度：
连接：
Cv：
材质：
VDV40UC
低压组合式膜片阀
Max. 150 psig
7 μin. Ra
1/4”VFS接头 / 焊接接管
0.3
316L 二次熔炼
名称：
压力：
光洁度：
连接：
Cv：
材质：
VDV36UC
超高纯吹扫阀组
Max. 3000 psig
7 μin. Ra
1/4”VFS接头 / 焊接接管
0.1
316L 二次熔炼
名称：
压力：
光洁度：
连接：
Cv：
材质：
VDV48UC
压力控制面板
单侧式
300/3500 psig
Vac to /10/30/60/100/150 psig
0.09 / 0.15
名称：
类型：
进气：
出气：
Cv：
VUP-1U
压力控制面板
双侧式
300/3500 psig
Vac to /10/30/60/100/150 psig
0.09 / 0.15
名称：
类型：
进气：
出气：
Cv：
VUP-2U
压力控制面板
自动切换
300/3500 psig
Vac to /10/30/60/100/150 psig
0.09 / 0.15
名称：
类型：
进气：
出气：
Cv：
VUP-3U
压力控制面板
单侧式
300/1700/3000 psig
Vac to /30/60/100/150 psig
0.65 / 1.1 (HF选项)
名称：
类型：
进气：
出气：
Cv：
VUP-4U
压力控制面板
双侧式
300/1700/3000 psig
Vac to /30/60/100/150 psig
0.65 / 1.1 (HF选项)
名称：
类型：
进气：
出气：
Cv：
VUP-5U
压力控制面板
自动切换
300/1700/3000 psig
Vac to /30/60/100/150 psig
0.65 / 1.1 (HF选项)
名称：
类型：
进气：
出气：
Cv：
VUP-6U
气体终端控制面板
100TG / 200TG / 300TG
Max. 300 psig
Vac to /10/30/60/100/150 psig
1/4”1/2”VFS接头
316L
名称：
系列：
进气：
出气：
连接：
材质：
VUP
波纹管阀
Vacuum to 500 psig
Vacuum to 125 psig
1/4” VFS接头/焊接接管/卡套接头
0.3
316L
名称：
手动：
气动：
连接：
Cv：
材质：
VUBV
波纹管阀
Vacuum to 375 psig
Vacuum to 250 psig
3/4”1”1.5”2”VFS接头/焊接接管
14.5 / 21 / 46 / 52
316L
名称：
手动：
气动：
连接：
Cv：
材质：
VUBV2
波纹管密封计量阀
Max. 700 psig
1/4”6mm 卡套接头
3/8”焊接接管，1/4”VFS接头
0.019 / 0.3
316
名称：
压力：
连接：
Cv：
材质：
VBMV
低压计量阀
Max. 2000 psig
1/16”1/4”1/8”6mm 3mm 卡套接头
1/4”1/8”NPT接头，1/4”VFS接头
0.004 / 0.03 / 0.16
316
名称：
压力：
连接：
Cv：
材质：
VMV
原子层沉积阀
Max. 145 psig
1/4”1/2”VFS接头 / 焊接接管
电磁阀 / 位置传感器
0.27 / 0.62
316L / 316L 二次熔炼
名称：
压力：
连接：
选配：
Cv：
材质：
VALD
5
阀 / 控制系统
单向阀
Max. 4500 psig
1/3 psig / 1psig
1/4”1/2”3/4”VFS接头
0.67 / 1.8 / 4.7
316L
名称：
压力：
开启：
连接：
Cv：
材质：
VCVH
全焊接单向阀
Max. 3000 psig
<2 psig
1/4”1/2”VFS 外螺纹
0.55 / 0.7
316L / Hastelloy® C276
名称：
压力：
开启：
连接：
Cv：
材质：
VUCV
可调式单向阀
Max. 3000 psig
3~350psig
1/4”6mm 8mm 卡套接头，
1/4”VFS外螺纹/NPT外螺纹
316L
名称：
压力：
开启：
连接：
材质：
VCA
过滤器
0.5/2/5/10/20/40/70 μm
1/4”1/2”VFS接头
316L
316L
名称：
过滤：
连接：
滤芯材质：
母体材质：
VFH
过滤器
0.003μm
1/4”1/2”VFS接头
PTFE
316L
名称：
过滤：
连接：
滤芯材质：
母体材质：
VUF
垫片式过滤器
0.003μm
1/4”3/8”1/2”VFS垫圈
316L / 镍
316L
名称：
过滤：
垫片尺寸：
垫片材质
母体材质：
VUGF
压力表
轴向 / 径向
bar / psig 双刻度
1/4”VFS接头
2”
符合 ASME B40.1 Grade A
名称：
类型：
刻度：
连接：
尺寸：
精度：
VRU / VGU
真空发生器
-90 kPa
Max. 70 psig
1/2”VFS接头
1/4”VFS接头
316L
名称：
最大真空度：
真空接口压力：
出气连接：
真空连接：
材质：
VVG
真空发生器
-88 kPa
Max. 3000 psig
1/2”VFS接头，3/8”焊接接管
1/4”VFS接头/焊接接管
316L
名称：
最大真空度：
真空接口压力：
出气连接：
真空连接：
材质：
VVGV2
真空发生器
-88 kPa
Max. 3500 psig
1/2”VFS接头，3/8”焊接接管
1/4”VFS接头/焊接接管
316L
名称：
最大真空度：
真空接口压力：
出气连接：
真空连接：
材质：
VVGV1
流量开关
vacuum to 3500 psig
±10%
底部进气，垂直方向8°内安装
1/4”VFS接头 / 焊接接管
316L 二次熔炼
名称：
压力：
精度：
安装方向：
连接：
材质：
VEFS1
流量开关
vacuum to 3500 psig
±20%
横向连接 / 纵向连接
1/2”3/4”VFS接头 / 焊接接管
316L
名称：
压力：
精度：
安装方向：
连接：
材质：
VEFS2
6
附件
电接点压力表
轴向 / 径向
bar / psig 双刻度
1/4”VFS接头
2”
符合 ASME B40.1 Grade A
名称：
类型：
刻度：
连接：
尺寸：
精度：
VCG20S / VRG20S
钢瓶接头
6mm 卡套接头,
1/4”6mm 焊接接管
10/15 μin. Ra
316L
名称：
连接：
光洁度：
材质：
VUC
钢瓶接头
1/4”VFS接头
1/4”1/2”焊接接管
镍 / PCTFE
316
名称：
连接：
垫片：
螺母：
VUC DISS
VFS 面密封接头 / 微焊接头 /
焊管接头 / 焊接组件
螺母 / 螺帽 / 垫片 / NPT螺纹 /
微焊弯头 / 微焊三通 / 微焊四通 /
焊管弯头 / 焊管三通 / 锁紧装置
名称：
类型：
VVR / HVVR / VMW / VTW / VWR
压力表
轴向 / 径向
bar / psig 双刻度
1/4”6mm 卡套管接头
2”
符合 ASME B40.1 Grade A
名称：
类型：
刻度：
连接：
尺寸：
精度：
VRT / VGT 附件
7
电接点压力表
轴向 / 径向
bar / psig 双刻度
1/4”VFS接头
2”
±2.5%
名称：
类型：
刻度：
连接：
尺寸：
精度：
VGU20SE / VRU20SE
高效率响应 精准性管控 定制化服务
超纯产品系列 高纯产品系列
模块化集成系统 气体输送系统
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