三坐标测量机

产品样本 No.C16000(13)

三坐标测量机用

非接触式激光测头

SurfaceMeasure

1

实现高精度、高速度、高效率的测量

不受工件反射率的影响，可迅速捕捉稳定的形状数据。

2

在开发部门

在试制部门

在生产部门

非接触式线性激光测头登场了

通常属于检测设备范畴的三坐标测量机，现在也

可作为生产设备被广泛应用在开发、试制、生产

等所有的工艺过程。

既可以用来管理批量产品的变动性，又可以将解析数据反馈回前一道工序，例如：

修改模型数据等。

可以使用模拟进行试制品与CAD数据的比较，检查工件干涉和设置间隙，并且优化

机加工设置，因此缩短了从原型到大批量生产的整个过程。

对没有标准模型和CAD数据的产品，可以基于测量点云数据优化设计，大幅提高开

发工艺的效率。

SurfaceMeasure系列

拥有激光照射方式以及测量范围不同的全部7种

机型。可以在考虑测量工件的性状和运用方法等

基础上，为客户提供激光测头。

3

非接触式激光测头Mitutoyo Quality

无需考虑测量工件的颜色和光泽情况也可以进行测量。

工件

制模

数据循环

专门开发用于CNC三坐标测量机的一款轻量型、高性能的非接触式线性激光测头。

数字信号的使用消除了信号不稳定对测量精度的影响，也提高了测量速度。

而且，根据环境和工件材料能够自动调整激光强度和相机敏感度，实现无喷粉测量，从而提供了更简易，更适

宜的激光扫描环境。

激光扫描提供的海量测量点数据(点云)，便于扩展到制造业。

不仅可以用于尺寸测量，而且还可以用点云数据建模，点云数据使用商业软件，结构/流体分析和传送到制模机

的数据作为工具用于数字工程。

无喷粉测量和高速扫描

可靠性

混合测量

全自动测量

非接触式三坐标测量机的特点: 3个关键词

・基于三坐标测量机，支持质量保证。

・允许用接触式测头验证非接触式测量数据。

・通过用测量点建立一个面使先前不可见的形状可视化。

・根据所需测量精度或者工件形状的不同，支持接触式测头

和非接触式测头之间互换。

・用测头交换架进行自动更换测头。

・使从测量到报告生成等一系列的操作程序化。

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黒 青 赤 緑 金

銅 銀 紫

色彩板的测量

反光物体的测量

* 如果使用激光测头专用带供电端口的ACR3 (特别订购规格)的

话，开机时可以不用预热。

■通过最大720个方向定位控制，即便是复杂的工件也

能在好的角度进行高速扫描。此外，通过使用ACR3*，

可以分别采用“非接触式”或“接触式”测量，实现

了全自动化测量。

■激光强度和相机感光度可自动进行调节，即便是有多

种颜色或不同反射率的物体也能获取稳定的形状数据。

高速扫描 无喷粉测量

■飞点形式，对边缘部分测量实现高形状再现性，并且

达到高水准的扫描精度。(SurfaceMeasure 201FS的情况)

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SurfaceMeasure系列的规格

从要求精度、测量速度、测量范围等多方面综合考虑，为客户提供SurfaceMeasure

测量方案。

作为三坐标测量机厂家建议使用的非接触线激光测头。

●通过CNC三坐标测量机(CRYSTA，STRATO，FALCIO系列，其他)进行操作。

SurfaceMeasure产品阵容

规格

型 号 SurfaceMeasure

403

SurfaceMeasure

1110

SurfaceMeasure

201FS

激光照射方式 线性激光 飞点

测量宽度 40 mm 110 mm 最大23 mm

测量深度 30 mm 100 mm 15 mm

工作距离 66 mm 155 mm 57.5 mm

扫描误差 *2 8µm 9µm 1.8µm

最大采样速率 60,000点/秒 300,000点/秒 25,000点/秒

质量 430 g 440 g 500 g

激光等级

EN/IEC Class2 [ EN/IEC 60825-1(2014) ]

JIS Class2 [ JIS C 6802 : 2014 ]

激光类型 半导体红色激光 半导体激光

测量用激光

波长 660 nm 670 nm

输出 4 mW 2.5 mW 1 mW

引导用激光

波长 — 635 nm —

输出 — 1 mW —

*：根据本公司检查方法。(1σ/球面测量)、仅测头误差。

403 1110 201FS

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测头特征和应用

测量范围

SurfaceMeasure 特 征 应 用

403 700规格的CNC三坐标测量机也可使用 小零件、高精密零件

1110 数据获取速度达到以往的4倍，可有效缩短有一定深度的

工件以及大范围的测量时间 车身、内板、铸件、飞机机身、叶片

201FS 具有较强的飞点式激光照射和多重反射功能的

SurfaceMeasure系列较高精度机型 小零件、高精密零件

15

50 57.5

201FS

高灵敏度、通用测量

40

30 51

66

403

通用测量

183

147.5

110

（68）

100 106.5

156.5

1110

通用测量

267.5

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数据处理软件

非接触测量的评价，首先从能够捕捉到成型零部件的表面开始。

从零部件表面得到的高密度点云，通过 MSURF进行“几何要素抽样”、

“自由曲面以及截面形状评价”、“与主数据的比较检验”等的数据分析。

另外，通过向逆向工程领域发展，我们可以期待以 3D 数据为核心激

活“产品制造周期”。

■MSURF V5.3 软件包

软件包

软件

On line Off line

MSURF-S

RUN

MSURF-S

1

MSURF-S

2

MSURF-S

3

MSURF-G

1

MSURF-G

2

MSURF-G

3

MSURF-I

PRO

MSURF-S ○ ○ ○ ○

MSURF-G ○ ○ ○

MSURF-I ○

MSURF-I Option ○ ○ ○ ○

MSURF-MESH PRO ○ ○ ○ ○ ○

MSURF-PLANNER*1 ○ ○ ○ ○

MSURF-PLANNER RUN*1 ○

*1：运行MSURF-PLANNER生成的测量宏，需配合使用“ MSURF-PLANNER RUN\"。

*MSURF系列与Windows7 (64bit)或Windows10 (64bit)兼容。(截止2021年2月）

MSURF是一个软件程序，能使用户在使用非接触式激光测头—— SurfaceMeasure时在相同的平台上进行从测量到

评估的一系列操作。

点云数据处理软件 MSURF V5.3

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■用安装了SurfaceMeasure的CNC三坐标测量机进行点云数据测量的软件。

只要定义出扫描的开始点、扫描的长度和幅度3个项目就能生成扫描路径。

●可以一边确认摄像预览一边操作J/S来指定上述3个项目，

易于操作。

●当画面上已经有点云数据或标准数据时，可以用鼠标

指定这些数据来定义这3个项目，对于测量路径生成的

模拟、剩余数据部分的再测量指定等都很方便，有助于

缩短测量工时。

●使用J/S操作盒上的按键可以设置/执行扫描路径/注册和

删除宏。

因为可以不使用PC操作执行测量，测量效率显著提高，

尤其对于大型坐标测量机。

■可以在MCOSMOS中启动MSURF-S

●在MCOSMOS中创建的工件坐标系在MSURF-S中也可以使

用，因此，可以实现融合了“接触式和非接触式测量”

的全自动测量。

■扫描路径能作为测量程序登录。

●已编程完的测量程序，其覆盖功能可以变更部分或全

部测量条件。

●能测量多个同样的工件。

●按照测量条件和三坐标测量机的规格计算出测量程序

的执行时间。

MSURF-S

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■根据设计值对所测量的点云数据进行分析和对比验证(支持CAD数据导入)。

误差彩色拼图 壁厚彩色拼图

段差、间隔的评价

断面评价（尺寸计算）

面曲率评价

■CAD数据导入

●STEP, SAT作为标准支持。

●选件、CATIA V4, CATIA V5, ProEngineer, Unigraphics, VDAFS,

Parasolid, Solidworks, IGES适用。

■断面形状的比较

●切断点云数据或网格标准数据，可以进行断面形状的

比较、角度、距离、R等的尺寸计算。

■自动生成操作程序

●自动记录操作程序(包括测量程序的执行在内)，因此，

可以实现测量到评价、报告生成等一系列操作的自动

化。

■平面形状的比较

●将点云数据或网格数据与CAD数据作比较，平面形状误

差用彩图来表示。

●可以用彩图表示厚度，因此没有必要像以前那样切断

工件实物。

●可以定义数显卡尺的形状，因此能对应各种段差和缝

隙的评估。

●在面曲率的评估中，可进行如尺寸公差内指定R角的评

价等。

MSURF-I

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■为MSURF-S的离线版本。因为可以通过使用CAD

数据事先制作程序，可以在准备好实物的时候立

即开始进行测量工作。制作测量宏指令时不必占

有测量机，所以可以提高测量机的使用效率。

* MSURF-G不能与MSURF-S组合使用。

■可以对于点云和网状物进行过滤等各种操作。与

标准功能相比，功能得到强化。另外，对于网状

物的间隔，强化，填充，清理等，可以使用标准

功能中不能使用的功能。

* MSURF-MESH PRO是MSURF-I选项功能。

■运行/编辑MSURF - Planner制作的测量宏指令时，

必要的选项。

* MSURF-Planner Run是追加MSURF-S或MSURF-G时的选件。

* 安装了MSURF-Planner的PC，不需要该选项。

■MSURF-PLANNER是自动生成从3D CAD数据到

线性激光测头用的测量宏指令(面形状，要素形状)

的软件。

测量路径为优化(移动路径，测头头部旋转次数等)

的内容，提高了客户的生产效率。

MSURF-PLANNER自动生成测量宏

MSURF-G

MSURF-MESH PRO

MSURF-PLANNER

MSURF-PLANNER RUN

三坐标测量机

传感器系统

影像测量机

试验设备

形状测量机

测长装置

光学仪器

小量具和数据管理系统

本公司产品分类按照日本《外汇及对外贸易管理法》被列为管制产品类。如将本公司产品用于出口，或

携带出境，则需要日本政府的出口许可。购买商品出口后，即使该产品不属于上述法令的管制对象(而属

于《全面监管制度》管制品)，该产品的售后服务将会受到影响。如有任何问题，请致电当地三丰联络处。

注释 ：

全部产品介绍，特别是本手册中有关图表、图形、尺寸、性能数据以及其它技术数据均为近似值。在此基础上，我们保留对设计、

技术数据、尺寸和质量进行变更的权力。截止至本手册印刷，上述标准、相似的技术规则、产品规格、说明和图表均正确有效。

规格如有变更，恕不另行通知。

Mitutoyo Corporation

日本神奈川县川崎市高津区坂户1-20-1

电话：(044)813-8230

传真：(044)813-8231

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