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普雷茨特光学测量技术产品概览
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目录
普雷茨特发展历程 04
ENOVASENSE 激光光热传感器 06
点传感器，面阵传感器，应用行业
光谱共焦系列
原理 14
单点传感器及探头 16 22 24 30
多点传感器及探头
线传感器及探头
线阵相机及探头
干涉系列
原理 32
IT系列传感器及探头 34
飞点扫描仪系列 38
激光焊接监控及增材制造系列 42
关于本产品目录的一般性声明：
1. 权利保留：普雷茨特中国保留对本目录所含内容（尤其是各项技术参数及技术规范）进行修改的权利。如需进一步确认，请洽询本公司客户服务部门。
2. 操作安全提示：在操作相关产品（包括但不限于ENOVASENSE 系列激光光热传感器）时，务必采取适当的防护措施。有关安全事项的详细信息，请参阅对应产品说明文件中的安全数据表。
3.参数说明：本目录所列各项参数，系普雷茨特研发部门在标准条件下所取得之结果。对于不同样品、使用环境或配置条件下可能存在的性能差异，本公司不保证其一致性。
PRECITEC 公司于 1971 年在德国巴登巴登建立。PRECITEC 光学测量技术有限公司总部位于德国(伊森堡，近法兰克福)，在全球 22个国家和地区设有子公司和代表处，作为直销经营模式的国际化运营公司，我们为您提供的解决方案和服务可以得到全球资源的支持和共享，让您可以快速掌握全球高端核心光学测量技术，帮助您在市场化竞争中具有充足的竞争力。
1971普雷茨特在德国巴登巴登成立
2005普雷茨特中国成立
2017
1,第一台飞点扫描仪
2, 第一台光谱视觉相机
2013第一台线阵传感器 CLS
1997第一台CHRocodile光谱共焦传感器
1992成功研发激光焊接监控系统 LWM
2008第一台光纤耦合平面切割头
2014高功率智能切割头 ProCutter
我们在自身领域所积累的专业知识和经验，可以帮助客户提升生产工艺，同时使他们更具竞争力。下面，我们将提供一些在不同工业应用领域的例子，在这些工业应用领域，我们有超过二十年的丰富经验。
半导体
在晶圆制造与先进封装领域，普雷茨特传感器技术贯穿全流程应用：晶圆键合中实现精准调平与多层厚度测量，减薄与划片环节保障厚度在线监控及切割槽深检测，光刻与 AOI 检测
中提供高精度焦距引导，同时覆盖 TTV/LTV/Bow/Warp 等晶圆形貌参数测量，以及纳米压印间隙控制、TSV/RDL 检测、Bumping 3D 量测等新兴工艺需求，为制程良率与工艺控制提供多维度的传感解决方案。
电子电路
普雷茨特非接触式光学传感器不仅服务于传统消费电子制造环节，助力诸如移动电话、平板电脑及显示器的高精度在线检测过程，更深度赋能载板制造、光通讯模块、AI通
讯等的关键量检测环节，确保全制程工艺控制与品质提升，实现亚微米级别的精度控制，实现对产品质量的准确与稳定检测与监控。
PRECITEC 光学测量传感器深入以消费类电子、半导体、玻璃、新能源汽车、CMM/OMM、塑料、医疗等为代表的各行各业，时刻挖掘高精度在线测量的精度极限，拓宽离线检测的多种可能性。高精度和高动态性能使得 PRECITEC 的光学测量传感器几乎可以测量所有材质的物体，同时拥有行业内先进的角度特性也是 PRECITEC 产品被选择的重要原因之一。
2023
1,普雷茨特收购法国测量
品牌 Enovasense
2, 飞点扫描仪 FSS 310 荣获棱镜奖
3, 线传感器 CLS 2 Pro
2021 单点传感器 CHRocodile Mini
2020全球首发ProCutter 2.0- 实现功率 30 kW 切割
2022
线阵传感器 CLS 2
2015
2026
最新一代激光焊接监控系统
LWM 8.50
1,第一台智能激光焊接解决方案WeldMaster 问世
2, 第一台同轴送丝机CoaxPrinter 问世
普雷茨特可提供多种测量传感器型号，涵盖高精度、高性价比等多种选择。而且易于集成，已经支持市面各种软件，此外普雷茨特界面丰富易学，SDK 简单便捷，操作快速
上手。普雷茨特光学测量产品可实现同类产品实际最高精度、同类产品实际使用最高重复性，目前已经在行业内百年企业中实现多年重复使用。
2025
1，飞点面阵扫描仪 FAST 300
2, Enovasense 面阵传感器
坐标测量
玻璃
普雷茨特光学传感器在玻璃行业可实现高速、高精度的厚度与形貌测量，涵盖从常温玻璃容器到 1700℃ 热石英管的广泛温度范围，并支持多层 PVB 膜检测。其技术具备高测量速率与微小缺陷识别能力，有效提升生产良率与效率。
其他
普雷茨特光学测量传感器凭借其高精度与高稳定性，其应用范围已广泛延伸至医疗、塑料、汽车制造、航空航天、及前沿科研等多个关键领域，为不同行业的精密测量与质量控制提供坚实支撑。
ENOVASENSE 点传感器—涂层厚度测量
Enovasense 点传感器借助易于集成的超紧凑型探头，可对任何涂层材料的厚度进行精确的无损测量。使用我们的专利激光光热技术，这些传感器是非接触性的、非破坏性的、非侵入性的、非辐射性的、快速和可重复的。
测量诸如油漆、清漆、金属、陶瓷或有机层、油墨、高光漆、珐琅、树脂、粘合剂等涂层均可实现，无论沉积在什么基材上。该传感器的测量对振动不敏感，并可以对许多不同的零件形状和弯曲度提供精确的测量，即使高温也不成障碍。
传感器自带的软件操作简易，可实现在任何涂层应用中的快速配置和校准。特定的应用程序允许在执行一系列测量的同时计算统计数据。
有效性
可测量厚度范围广，从纳米到毫米
▶无接触，无辐射
长距离公差，大角度特性
多样性
适用于所有涂层和基材材料的厚度测量
不受零件曲率、形状和边缘影响
干、湿、未固化的涂料均可实现精确测量。对零件温度的高容忍度（热和冷）
对粗糙度或不均匀的材料成分不敏感
用户友好
免维护
抗震动能力强
紧凑，重量低
控制器技术参数
| 以太网 | |
| 光源 | 激光二极管(不同波长：455 nm - 980 nm - 1550 nm) ²) |
| 工作温度 | +5℃~+50℃ |
| 尺寸 (长×高×深) | 123 mm x 85 mm x 200 mm |
| 重量 | 1.7 kg |
| 电源电压 | +24 VDC / 3 A max |
| 额定功率 0.01 W- 150 W(取决于应用) | |
探头技术参数
| T031 | T031 R 1) | T060 | T 060 R 1) | ||
| 测量范围2) | 10 nm -1 mm | ||||
| 重复性 2) 3) | < 1% 被测物厚度 | ||||
| 角度特性2) | 高达±50° | ||||
| 距离公差² | ±1 mm ~ 15 mm | ||||
| 测量速度 | 1 Hz ~ 100 Hz | ||||
| 尺寸 | 长度直径 | 93 mm66 mm | 130 mm66 mm | 64 mm35 mm | 97 mm35 mm |
| 重量 | 400 g | 450 g | 150 g | 200g | |
| 标准配置下的工作距离4 | 13.5 mm33.5 mm | 20 mm40 mm | |||
| 光斑直径5 | 0.3 mm ~ 10 mm | ||||
| 备注 | 根据要求提供自动旋转选项，所有探头在移动部件上的工作速度可达150m/min | ||||
应用案例的技术参数
| 涂料和聚合物，有机涂料 | |||
| 测量范围² | 1 μm -1 mm | 1 μm -500 μm | 10 nm - 1 µm |
| 精度2 | < 2 µm | < 0.5 μm | < 1 nm |
| 重复性²) | 1 % | 0.5 % | 2% |
| 角度特性2) | ± 2° ±30° ±10° | ||
面阵传感器—表面下区域检测
需要了解材料表层或涂层下是否存在裂缝、缺陷或其他异常？面阵传感器将为您提供所有答案，同时还能测量涂层厚度。
Enovasense HR面阵传感器是分析物体表层下情况的一种独特方法，它采用超小型探头，成本效益高。这种表面下可视化技术可以让您发现材料或焊接处的任何裂缝、缺陷、分层、不良附着力或任何其他变化。
有了这款超小型设备，您就可以绘制零件整个表面的涂层厚度图，而无需使用某种自动化解决方案。只需一秒钟，就能以超高的分辨率测量整个表面的100,000多个点。可以对各种零件形状和曲率进行精确测量，甚至可以对高温零件进行测量。
此外，这种获得专利的非接触式激光热成像技术还适用于涂料，如油漆、清漆、金属、陶瓷或有机涂层、油墨、清漆、瓷漆、树脂和粘合剂，无论它们沉积在什么基材上。此外，EnovasenseHR还配有直观的软件，可针对任何涂层应用进行快速配置和校准。
厚度
经济高效的表层下分析手段
一次拍摄即可测量整个表面
▶在一秒左右的时间内捕捉100,000多个点
非接触、非侵入、非辐射
通用性
可检测多种表面下缺陷，如裂纹、缺陷、脱层、材料变化或粘附不良等
▶对工件温度（热或冷)具有很高的耐受性
对各种涂层和基材进行厚度测绘
测量形状、边缘、各种曲率和表面结构
用户友好
免维护
对振动不敏感
▶结构紧凑、重量轻
| 接口 | 以太网 |
| 光源 | 激光二极管 |
| 工作温度 | +5℃~+50℃ |
| 重量 | 6 kg |
| 电源电压 | 230V/50~60 Hz |
| 涂层厚度测量范围1) | 1 µm ~ 1 mm |
| 视野范围 | 12.8 mm x 9.6 mm28 μm |
| 空间分辨率 | |
| 角度特性1） | 高达+50° |
| 距离公差1) | +1 mm ~ 15 mm |
| 测量速度 | 0.1 Hz~ 1 Hz (110,592 个点) |
| 矩阵尺寸 | 384x288 |
| 点数 | 110,592 |
| 最大激光功率(最大激光强度功率) | 150 W(1.22 W/mm²) |
| 控制器尺寸 | 19"(1U) |
| 探头尺寸 | 90 mm x 95 mm x 128 mm |
| 工作距离 | 50 mm |
| 重量 | 400 g |
| 订货号 | 5105791 |
每道工艺 PRECITEC 都在
我们各种探头的主要优势在于其高度的可集成性。这些探头结构紧凑、非接触、对震动、环境条件和变化不敏感，因而提供了从实验室到过程中和在线测量的无数集成可能性。在许多生产过程中，即使在没有其他非破坏性技术的应用中，也能实现100%的控制。
卷对卷工艺
卷对卷工艺中沉积的涂层厚度可以通过非辐射和紧凑的方式测量，即使在速度高达150米/分钟的卷材涂覆生产线上也能实现。
您可以增加探头数量，以获得持续的上/下或宽度位置，或者将探头安装在我们的传输系统上，以获得完整的传送带宽度扫描。
粉末涂料
我们为粉末涂料在线测量提供了一站式解决方案，可在固化前或固化后、垂直或水平线上嵌入控制点。工件的形状或尺寸不再是问题，因为系统会自动检测到目标区域并直接到达正确位置。
此外，我们独特的算法可通过一次校准覆盖所有涂料颜色。
从实验室到在线测量
100% 安全防护罩
旋转台选项，用于测量近圆柱形部件
③三轴自动移动
④自动更换工具，用于改变光斑尺寸和激光光束方向
触摸屏控制和软件套件，具有制图功能
专业技能促进您的业务增长
我们在光热技术方面的专业知识和经验意味着我们可以改进生产工艺，使其在广泛的工业应用中更具竞争力。
汽车涂层
我们的光热探头可对汽车涂料(如制动盘上的防腐涂料以及内饰和部件涂料）进行可靠、可重复的过程中测量。这项技术的独特之处还在于它能够测量金属涂层，如制动盘上的激光熔覆硬层以及发动机缸体中的热喷涂铁涂层。
此外，其还可以测量热处理深度。由于该测量技术可以测量各种工件的曲率和形状，因此具有很强的集成性。
航空涂层
对于许多航空涂层而言，唯一可能的非破坏性厚度测量方法就是光热技术。从复合材料上的外部涂料到小型固定部件上的防腐涂料，我们的技术为航空航天工业带来了独特的优势。超小型T60光学探头是专门为测量涡轮机轴内部而开发的。此外，还可测量多种热喷涂金属和陶瓷以及阳极氧化等表面处理。
电动汽车
我们的传感器可用于电池行业的许多重要控制，例如测量电池单元上的绝缘涂料层以及电极薄膜的厚度、密度、孔隙率和涂层重量。在燃料电池应用中，可以检测双极板上的金属或有机涂层，甚至可以检测极薄通道中的涂层。
半导体
Enovasense 技术特别适合测量不透明层，例如TiN或TaN等典型的硬掩膜，并在测量非晶碳层的硬掩膜的重复性也非常出色。
此外，它还可以测量PVD、CVD或溅射工艺中应用的各种块状金属或合金。最后，该技术还可测量沉积在半导体元件后端的环氧树脂或聚合物封装涂层，在该涂层的研磨过程中也可进行测量。
消费电子
空间分辨率低至0.3mm，可以测量智能手机、平板电脑和可穿戴设备等电子产品中的关键参数。不管是屏幕上沉积层的厚度，还是粘合剂的粘合，均可将测量嵌入到生产流程中，实现超精密控制。此外，沉积在电子元件上的诸如环氧树脂层或树脂的不透明涂层不透明涂层，无论其形状如何，都可以进行测量。
医用涂层
激光光热技术可以测量骨科矫形器上(骨科植入物)的生物相容性涂层，如热喷涂钛和HAP涂层，不受部件几何形状的影响。无需精确对准或事先在沉积前进行测量。超小型探头可以轻松集成，可在清洁环境中测量实现涂层工件的100%全检，无需任何接触，也不会污损部件。
光谱共焦传感器结构
光谱共焦位移传感器是一种通过光学色散原理建立距离与波长间的对应关系，利用光谱仪解码光谱信息，从而获得位置信息的装置。
在光谱共焦位移传感器系统中，系统的测量范围受4个方面的因素影响：
1）光源光谱分布范围
2)色散镜头在工作波段范围内的轴向色差
3)光谱仪的工作波段
4)光纤耦合器的工作波段
光谱共焦优势多功能光谱共焦传感器
我们的光谱共焦传感器通过高品质光学镜头沿着光轴在不同距离而非单个点上聚焦白光，所有的可见光波段都在焦点上。这种多功能的光学传感器为测量技术开辟了新的维度。
▶任何材料都可测试-非透明/透明材料，漫反射/反射，吸收，彩色，粗糙/抛光
同轴测试避免了阴影的影响
极高的斜面接受度和数值孔径使得可测量角度在反射表面可达45°，漫射率表面>80°
极高的Z轴分辨率和精度-无需Z轴扫描获取测试结果，每个测试点都可传递一个测试值
超快测试速度的多点线阵传感器允许多点平行测试
小且恒定的光斑尺寸可实现极高的横向分辨率
光学探头完全被动，无需移动任何部件或者嵌入电路-可保证极高的热稳定性，长时间的可靠性和重复性
相较于传统三角反射激光的优势
光斑大小的影响
通常只有在聚焦点位置光斑最小，离开聚焦点后光斑会变大。因此三角反射方式在进行微小结构测量任务时，非常困难。
遮挡阴影的影响
由于发射部和接收部之间的夹角，对于高差特别是深孔的检测会存在遮挡阴影部分死角区域。
在量程内每个位置都是响应波长的光的聚焦点，可以全量程保持高分辨率和精度。因此，光谱共焦方式非常适合测量微小几何结构和轮廓变化。
光线从四面八方返回，即使大部分被阻挡，只要有一小部分光返回，照样可以稳定测量。特别是可以测量其他方式检测困难的小孔和槽底部分。
优势特性
在生产过程中，使用光谱共焦传感测试技术结合计算机辅助通过表面测试来监控质量有如下诸多优势：
▶任何情况下都具有极高的精度
高速实时测试和处理
▶通过多点测试提高速度-测试速度每秒可高达100万 3D点
▶探头正常使用无损持久
▶极易集成到生产工艺和系统中
CHROCODILE C/C HS 点光谱一体式传感器
CHRocodile C/C HS 传感器以其极紧凑的设计，稳健和集度高的设计，可以实现高精度距离和厚度测量。它极易集成到各种自动化检测设备，特别适合工业在线质量监控的应用。此外，CHRocodile C/C HS还拥有极高动态范围和优异的信噪比，可保证在任何测试表面都能得到令人满意的测试结果。
CHRocodileC/C HS革命性的设计把光电器件和光学探头集成在了一个单独且香烟盒大小的外壳中，有若干可便于用户更换的测试探头，系统可结合精确的坐标用于特殊的测量任务。得益于其紧凑的尺寸和经济的价格，CHRocodile C/C HS 是替换传统激光三坐标测量传感器的理想选择。
CHRocodile C/C HS 技术参数
优势特性
高效：紧凑，轻巧，低功耗
多功能：可在不同表面和材料上测试距离和厚度，探头可更换
▶用户友好：免维护，易于集成到生产线，非接触式测量
▶ 高性价比：低成本，高性能
| 传感器型号 | CHRocodile C | CHRocodile C HS |
| 测量应用 | 距离，厚度2个(可升级为4个) | |
| 距离峰值数量 | ||
| 测量速度 | 最大 4k Hz (可升级至 10k Hz) | |
| 与外部设备同步 | 触发输入，同步输出，3个编码输入 | |
| 接口 | 以太网，RS-422，RS-232，通过外部拓展盒：两路模拟输出 | |
| 传输速率 | 以太网(100 Mbit);RS-422,RS-232 (9600–1843200 Baud) | |
| 光源 | LED | |
| 防护等级 | IP50 | |
| 工作温度 | 0℃~+50℃ | |
| 尺寸(长x宽x高) | 99 mm x 65 mm x 47 mm (不含探头) | |
| 重量(不含探头) | 430 g | |
| 电源电压 | 24V | |
| 额定功率 | 4W | |
| SDK | C，C++ 写入 DLL；架构 4 写入 SDK | |
| 订货号 | 5009276 5100742 | |
| 配件 | 外部盒子提供2路模拟输出，3个编码器输入(订货号5009932) | |
| 探头型号 | 200μm 探头 | 500μm 探头 | 1mm 探头 | 4mm 探头 | 10mm 探头 |
| 测量范围 | 200 μm | 500 μm | 1 mm | 4 mm | 10 mm |
| 扩展测量范围1) | 400 μm 1 | mm | 2 mm | 8 mm | 16 mm |
| 工作距离2)(mm) | 4.8 ± 0.5 | 12.7 ± 0.5 | 15.5 ± 0.7 | 37.5 ± 0.9 | 71.5±3 |
| 厚度测量范围3 | 最大 0.3 mm | 最大 0.75 mm | 最大1.5 mm | 最大6mm | 最大 15 mm |
| 最小厚度测量范围3) | 20μm | 30 μm | 45 μm | 140 μm | 380 μm |
| Z轴分辨率 8 | nm 20 | nm | 40 nm | 160 nm | 400 nm |
| 线性精度4) | 150 nm | 170 nm | 400 nm | 1.6 μm | 4 μm |
| 光斑直径(CHR C) | 3.4 μm | 5μm | 5μm | 8 μm | 16 μm |
| 光斑直径(CHR C HS) | 6.8 μm | 10 μm | 10 μm | 17 μm | 32 μm |
| 横向分辨率(CHR C) | 1.7 μm | 2.5 μm | 2.5 μm | 4 μm | 8 μm |
| 横向分辨率(CHR C HS) | 3.4 μm | 5μm | 5μm | 8.5 μm | 16 μm |
| 角度特性5) | 90°±45° | 90°±45° | 90°± 28° | 90°±20° | 90°±14° |
| 尺寸(外部)mm | d=23,1=23.7 | d=43,1= 56.2 | d = 28,1 = 17 | d = 34, 1 = 26.6 | d = 40,1 = 35.3 |
| 重量 | 20 g 250 | g 31 | g | 57 g 86 | g |
| 订货号 | 5100306 5010231 5009279 5009280 5009281 | ||||
CHROCODILE MINI 单点传感器
新型CHRocodile Mini 传感器可实现高精度无接触距离和厚度测量。因此，非常适合用于位置和尺寸确定（如微电子元件)、形貌、轮廓等应用，以及粗糙度测量(如工具表面)以及玻璃或塑料涂层的厚度测量。
CHRocodileMini在狭小空间亦具有很大的灵活性。紧凑的控制器和光学探头通过光纤连接。这使得它可以单独将光学探头与控制器分开。此外，探头不包含任何影响测量准确性的移动部件或发热电子元件。
由于其紧凑的尺寸和经济的价格，CHRocodileMini是传统激光三角测量传感器的理想替代品。CHRocodileMini的另一个版本CHRocodileMini+，尺寸相同，接口更多(编码器，2×模拟量输出，数字输入/输出）这使得它更容易被集成到任何类型的检测设备中。
| 传感器型号 | CHRocodile Mini | CHRocodile Mini+ |
| 测量应用 | 距离，厚度 | |
| 距离峰值数量 | 2个(可升级至4个) | |
| 测量速度 | 最大 4k Hz (可升级至 10k Hz) | |
| 测量范围 | 取决于所用光学探头 | |
| 测量接口 | 1 | |
| 和外部设备连接 | 触发输入，同步输出 | 触发输入，同步输出，3个编码器输入 |
| 接口 | Ethernet 以太网接口，RS-422/RS-232 | Ethernet以太网接口,RS-422/RS-232, 2 x模拟量输出(-10V to +10 V, 16-Bit) |
| 数据传输 | Ethernet 以太网(100 Mbit)，RS-422(最高 10 MBaud)，RS-232(最高 921600 Baud) | |
| 光源 | LED | |
| 工作温度 | 0°℃-50℃ | |
| 尺寸(长x宽x高) | 95 mm x 106 mm x 95 mm | |
| 重量 | 500 g | 550 g |
| 电源电压 | 24 VDC ±10% (独立供电电源100 - 240 VAC,50 - 60 Hz) | |
| 额定功率 | 4W | |
| 订货号 5101528 5101526 | ||
| 探头型号 | 600 μm 探头 | 1.1 mm 探头 | 4mm 探头 | 10mm 探头 |
| 测量范围 | 600 μm | 1.1 mm | 4 mm | 10 mm |
| 扩展测量范围1) | 650 μm 2.1 | mm | 8 mm | 19 mm |
| 工作距离2) | 6.5 mm ±0.2 mm | 15 mm ± 0.5 mm | 37.5 ± 0.9 mm | 69 ±1.7 mm |
| 厚度测量范围3) | 900 μm | 最大 1.6 mm | 最大 6mm | 最大15mm |
| Z轴分辨率 | 25 nm | 45 nm | 180 nm | 400 nm |
| 线性精度 | 220 nm | 0.4 μm | 1.4 μm | 4μm |
| 横向分辨率 | 3 μm | 5μm | 8 μm | 16 μm |
| 角度特性4) | 90°±30° | 90°± 25° | 90°± 20° | 90°±14° |
| 尺寸(外包装)mm | d =19 mm,1= 127 mm | d=26 mm,1= 70 mm | d=36 mm,1= 67 mm | d = 40 mm,1 = 75.5 mm |
| 重量 | 72g 85 | g | 162 g | 209g |
| 订货号 5102073 5104157 5101122 5101568 | ||||
光谱点传感器—合适的产品用于合适的测量任务
作为CHRocodile传感器系列中成功的产品，第二代传感器经改进后更加适合如今的工业应用需求。CHRocodile传感器的工作能力、测量性能和可靠性已在各种工业应用中得到验证。
新的高性能电子器件结合高速以太网接口，高强度白光LED和高灵敏度的探测器，使传感器可实现最高70 kHz的测量速度和高测量精度。新一代传感器配置了自动光源控制装置，可实现非接触式距离，形貌和厚度的测试，甚至对干复杂的几何形状和拥有不同反射率，粗糙度和折射率的材料的测量任务都可胜任。测量具有极高的精度和复现性，甚至在测试环境波动的情况下都相当稳定。此外，CHRocodile2传感器可在光谱共焦和于涉模式下轻松切换，以此来实现诸如透明塑料和多层膜的更多的测量的可能性。
新型CHRocodile2SX传感器特别适用于硅晶片减薄过程中的原位厚度测量，以及厚玻璃之间的气隙测量，同时玻璃板的厚度也可实现同步测量。
CHROCODILE 2SX
▶ 晶片可测量厚度范围从0.5μm 到200μm
▶配有一个在线研磨探头和一个离线探头
▶ 在晶片减薄过程中实现连续的过程监控
CHROCODILE 2 S/2 SE
多功能传感器，可用于非接触式距离和厚度测试
▶ 最高 70 kHz 的测量速度
▶易于集成到产线，免维护，稳健
▶CHRocodile 2 SE 选用高强度外部光源，可实现快速测量
CHROCODILE 2 S HS
▶ 最大信噪比
▶极高的动态范围，最高10 kHz的测量速度
特殊设计，可测试具有不同反射率的表面和高倾角的产品
▶易于集成到生产线，免维护，稳健
CHROCODILE 2 DPS
▶不透明材料双边厚度测试
▶ 台阶高度测试
▶ 包含参考处理
| 传感器型号 | CHROCODILE 2 S/2 SE/2 S HS/2 S HP 1) | CHROCODILE 2 DPS/2 DPS HP | CHRocodile 2 LR |
| 应用 | 距离，厚度 | 距离、厚度、台阶高度和双面厚度测量 | 距离，厚度 |
| 测量速度 | CHRocodile 2 S/2 SE/2S HP: 最高 70 kHzCHRocodile 2 S HS: 最高 10 kHz | CHRocodile 2 DPS: 最高 10 kHzCHRocodile 2 DPS HP: 最高 35 kHz | 70 kHz |
| 测试通道数 | 1 | 2 | 1 |
| 与外部设备同步 | 触发输入，同步输入，5个编码输入 | ||
| 接口 | RS-422(最高10MBaud)、以太网(100Mbit)、EtherCAT®、2x模拟量 | (-10V~+10V,16 Bit) | |
| 光源 | CHRocodile 2 S/2 SE/2 S HS: LEDCHRocodile 2 HP: LD | CHRocodile 2 DPS: LEDCHRocodile 2 DPS HP: LD | SLD |
| 工作温度 | CHRocodile 2 S/2 SE/2S HS: +5°℃~+50°℃CHRocodile 2 S HP: +5°℃~+ 45°℃ | CHRocodile 2 DPS: +5°C~+50°℃CHRocodile 2 DPS HP: +5°C~+45°C | +5℃~+50℃ |
| 尺寸(宽*高*深) | 220 mm× 110 mm× 125 mm | 220 mm× 110 mm× 125 mm | 220 mm x 110 mm x 127 mm |
| 重量 | 2kg | 1.8 kg | 2kg |
| 电源电压 | 16-30 V DC（独立供电电源 90-264 V AC) | ||
| 额定功率 | LED 光源：20 W，LD 光源：30 W | ||
| 订货号 | 5103126 (CHRocodile 2 S)5103132(CHRocodile 2 SE)5100981(CHRocodile 2 HS)5100447 (CHRocodile 2 HP) | 5104941 (CHRocodile 2 DPS V2)5104948 (CHRocodile 2 DPS HP SC-Duplex) | 5106181 |
| 备注 | CHRocodile 2 S: 高速测量，干涉测量模式下可进行自动光控测量共焦测量时具有极高的横向分辨率，CHRocodile 2 SE: 外部耦合器单次 HDR 模式 替代两个单独的传感器自动光源控制CHRocodile 2 HS: 低反射表面的测量CHRocodile 2 S HP: 单次 HDR 模式 | ||
CHROCODILE 2 系列光谱共焦传感器CHRocodile 2 S/2 SE/2 S HS/2 DPS
| 光学探头 | ||||||||||
| 测量范围(LED光源) | 100 μm 3) 100 μm 100 μm 1 mm 1.2 mm300 μm400 μm600 μm1 mm1.2 mm V2(LR专用) 90°V2 | |||||||||
| 测量范围(LD 光源)） | 70 μm | 70 μm 1 | 00μm(SLD光源) | 170 μm | 240 μm | 360 μm | 0.57 mm | 0.61 mm | 0.73 mm | 0.73 mm |
| 工作距离5 | 1.0 mm | 1.4 mm | 6.5 mm | 4.5 mm | 15 mm | 6.5 mm | 19 mm | 1.5 mm | 9 mm | 3 mm |
| 厚度测量范围6) | 最大 150 μm | 最大150 μm | 最大 150 μm | 最大 450 μm | 最大 600 μm | 最大 900 μm | 最大 1.5 mm | 最大 1.5 mm | 最大 1.2 mm | 最大1.2mm |
| 轴向分辨率 | 2 nm | 2 nm | 3 nm | 3 nm | 3 nm | 3 nm | 4 nm | 4 nm | 4 nm | 4 nm |
| 线性精度 | 30 nm | 30 nm | 30 nm | 80 nm | 95 nm | 100 nm | 170 nm | 170 nm | 200 nm | 200 nm |
| 横向分辨率 | 1.3 μm | 1.8 μm | 0.7 μm | 2.5 μm | 2 µm | 2 µm | 1.8 μm | 5μm | 7.5 μm | 7.5 μm |
| 角度特性 | ±55–85° | ±45-85° | ±40-85° | ±30-85° | ±45-85° | ±30-85° | ±45-85° | ±30-85° | ±14-85° | ±14-85° |
| 尺寸（不含光纤连接器） | 1=128mm | l = 66 mm | l= 158 mm | l=111mm | 1=149mm | 1=125mm | 1=164mm | 1=52mm | 1=48mm | l=48mm |
| d=15mm | d =8 mm | d = 30 mm | d=15mm | d=50mm | d=19mm | d=55mm | d=19mm | d=8mm | d=8mm | |
| 重量 | 130 g | 36 g | 323 g | 38 g | 1250 g | 71 g | 1118g | 69 g | 15g | 15g |
| 订货号 | 5100998 | 5002430 | 5005770 | 5002227 | 5002589 | 5002183 | 5002130 | 5101166 | 5107146 | 5105111 |
| 备注 | 超高数值孔径 | 高数值孔径 | 角度版本可选(5003578) | 高数值孔径 | 角度版本可选 | 高数值孔径，角度版本可选 | 紧凑版本，带角度 | 带90°转角 | ||
LWL Multimode, Synthetic Covered, FIAPC or DMI 合成外壳，FIAPC 或 DMI 接口
订货号5007213
LWL, 0.75m, MM, SC, E2000 / FIAPC
订货号 5007094LWL, 1.5m, MM, SC, E2000 / FlAPC
订货号5005163
LWL, 2m, MM, SC, E2000 / FIAPC
订货号5007172
LWL, 2.5m, MM, SC, E2000 / FIAPC
订货号5007939
LWL, 3m, MM, SC, E2000 / FIAPC
\*该表格中配件为光纤和探头组合，特殊情况选用
订货号5008103
LWL, 5m, MM, SC, E2000 / FIAPC
订货号5010266
LWL, 6m, MM, SC, E2000 / FIAPC
订货号5010343
LWL, 7m, MM, SC, E2000 / FIAPC
订货号5010724 LWL, 8m, MM, SC, E2000 / FIAPC
订货号5008450
LWL, 10m, MM, SC, E2000 / FIAPC
| 光学探头 | ||||||||||
| 2 mm 2 mm 3 mm 5 mm 6 mm 8 mm 10 mm 12 mm 25 mm 38.5 mm | 测量范围(LED 光源) | |||||||||
| 1.3 mm | 1.1 mm | 3.0 mm | 3.4 mm | 3.7 mm | 5.0 mm | 5.4 mm | 7.5 mm | 12.2 mm | 19.5 mm | 测量范围(LD 光源） |
| 61 mm | 14 mm | 18 mm | 30 mm | 53 mm | 36 mm | 68 mm | 54 mm | 77 mm | 101 mm | 工作距离5 |
| 最大3mm | 最大3 mm | 最大 4.5 mm | 最大7.5 mm | 最大9mm | 最大12 mm | 最大 15 mm | 最大18mm | 最大 38 mm | 最大 58 mm | 厚度测量范围6) |
| 6 nm | 6 nm | 8 nm | 12 nm | 14 nm | 18 nm | 22 nm | 26 nm | 52 nm | 79 nm | 轴向分辨率 |
| 260 nm | 260 nm | 400 nm | 700 nm | 800 nm | 850 nm | 1.1 μm | 1.4 μm | 2.8 μm | 4.3 μm | 线性精度 |
| 6 µm | 6 μm | 6 μm | 12.5 μm | 7 μm | 15 μm | 12 μm | 15 μm | 12.5 μm | 17 μm | 横向分辨率 |
| ±15-85° | ±30-85° | ±30-85° | ±15-85° | ±30-85° | ±15-85° | ±20-85° | ±15-85° | ±15-85° | ±12-85° | 角度特性7) |
| l=109mm | l=70mm | l=123mm | 1=46mm | l=190mm | 1=45mm | 1=146mm | l=61 mm | 1=243mm | 1=242mm | 尺寸(不含光纤连接器) |
| d=45mm | d=33mm | d=49mm | d=24mm | d=25/79mm | d=25mm | d=65mm | d=36mm | d=76mm | d=76mm | |
| 315 g | 220 g | 417 g | 96 g | 1110g | 97 g | 721 g | 281 g | 1637 g | 1737 g | 重量 |
| 5002399 | 5005126 | 5104462 | 5009198 | 5009001 | 5002327 | 5001688 | 5002508 | 5002206 | 5009498 | 订货号 |
| 侧向发光(5007184),超亮 | 高精度范围，LED 传感器扩展量程5 mm | 极紧凑，大工作距离 | 大工作距离 | 极紧凑 | 超亮 | 超紧湊 | 超亮 | 厚度测量范围大 | 备注 | |
LWL Multimode, Synthetic Covered, E2000 合成外壳，带防尘接口
订货号5002800
LWL, 1m, MM,SC, E2000 / FC-APC
订货号 5000216LWL, 2 m, MM, SC, E2000 / FC-APC
订货号5000217
LWL, 3m, MM, SC, E2000 / FC-APC
订货号 5000218LWL, 5 m, MM, SC, E2000/FC-APC
订货号 5000220LWL, 10m, MM, SC, E2000 / FC-APC
订货号5000221
LWL, 15m, MM, SC, E2000 / FC-APC
订货号 5000222
LWL, 20m, MM, SC, E2000 / FC-APC
订货号5002794
LWL, 25m, MM, SC, E2000 / FC-APC
订货号5001673 LWL, 30 m, MM, SC, E2000 / FC-APC
订货号5000227 LWL, 40m, MM, SC, E2000 / FC-APC
订货号 5008891LWL, 50m, MM, SC, E2000 / FC-APC
LWL Multimode, Metal Covered, E2000 金属外壳，带防尘接口
订货号5008804
LWL, 0.75m, MM,SC, E2000/FIAPCLWL, 0.5m, 订货号5008413 LWL,7.5m,MM, MC,E2000/FC-APC MM,MC, E2000/FC-APC
订货号5010238
LWL, 1m, MM, MC, E2000 / FC-APC
订货号5000233
LWL, 2 m, MM, MC, E2000 / FC-APC
订货号5000234
LWL, 3 m, MM, MC, E2000 / FC-APC
订货号5000235
订货号5000236
LWL, 10m, MM, MC, E2000 / FC-APC
LWL, 15m, MM, MC, E2000 / FC-APC
订货号5000237
订货号 5008489
LWL, 25m, MM, MC, E2000 / FC-APC
LWL, 5 m, MM, MC, E2000 / FC-APC
CHROCODILE MPS 2L 线阵多点传感器
灵活测试最优化
该多点传感器可以同步进行最高24路距离和厚度测试。单个传感器可以测量两条线，每条线包含12个点。其独特的设计适合各种灵活的测量任务，可与多个光学光谱线阵和点探头连接使用。最大24个测试点可实现多重组合，这种灵活性使客户可实现在不同反射率和不同角度的表面的各种复杂的测试任务，例如，具有复杂形状和不同颜色的玻璃容器的侧壁厚度测量。
两个特殊设计的线阵探头非常适合玻璃容器在冷却端的在线检测。这些线阵探头最高可以使用12个总长度为12.5mm测试点，以此来保证可以高效的测试玻璃容器中的缺陷，空隙和薄的区域。
优势特性
▶沿着一条线测试膜层厚度和距离，可替代24个独立传感器
▶灵活的产品结构，可与任何点或者线测量探头连接
▶易于集成到生产线的检测设备，免维护，稳健
| 应用 | 距离，厚度4,500Hz(2个光学线阵探头)；9,000Hz(1个光学线阵探头) |
| 测量速度 | |
| 测量通道数 | 2×12点/线 |
| 与外部装置同步 | 触发输入，同步输入，5个编码器输入 |
| 接口 | 以太网，服务端口：RS-422，USB |
| 传输速率 | 100Mbit(以太网)，9,600-921,600波特(RS422),USB:921,600波特(虚拟串行通信端口) |
| 光源 | LED |
| 光纤连接器 | 2×MPT213 mm×230 mm×133 mm |
| 尺寸(长×宽×高) | |
| 重量 | 2.4 kg5008311 |
| 订货号 |
光学探头技术参数
| 探头型号 | 多点探头 MP 18 | 多点探头 MP 10.5 | 单点探头 SP 12 |
| 应用 | 厚度，距离 | 厚度，距离 | 厚度，距离 |
| 测量范围 | 18 mm | 10.5 mm | 12 mm |
| 测试点数 | 12 | 12 | 1 |
| 线长 | 12.5 mm | 12.5 mm | |
| 工作距离 | 49 mm ±2 mm | 50 mm ±2 mm | 54 mm ±2 mm |
| 光斑直径 | 28 μm | 30 μm | 30 μm |
| 点间距 | 1.14 mm | 1.14 mm | |
| 数值孔径 | 0.34 | 0.27 | 0.27 |
| 角度特性 | 90°±20° | 90°±15° | 90°±15° |
| 厚度测量范围 | 0.5 mm-27 mm | 0.4 mm-15.75 mm | 0.5 mm-18 mm |
| 尺寸(长×宽×高) | 250 mm×75 mm×50 mm | d = 56 mm; l = 215 mm | d = 36 mm;l = 85 mm |
| 重量(不含光纤) | 1600 g | 870 g | 430 g |
| 尺寸(外部)mm | d=28,I=23.7 | d=28,l=17 | d=34, I=26.6 |
| 订货号 | 5009505 | 5010167 | 5010168 |
| 防护玻璃 | 可更换 可更换 | 不包含 | |
CHRocodile MPS 光学多点传感器可提供多达 96 路同步距离和厚度测试。得益于它的96路独立通道，在96个测量点内，CHRocodile MPS 可使用不同的探头。对于非接触式形貌和厚度此类极具挑战的测试任务，CHRocodile MPS可以胜任。
CHRocodile 传感器具有极高的动态范围和极优异的信噪比，在不同反射率表面和不同角度下，都能得到极佳的测试结果。CHRocodileMPS96测量速度每秒可达2000点，可有效缩短测试时间。
高效
▶可沿线测试膜层厚度和距离
▶最多可替代96个独立传感器
多功能
▶可兼容任何点探头和线探头
▶5个编码器输入，触发输入，同步输出
▶彩色玻璃侧壁厚度测量
CHROCODILE MPS 96 技术参数
| 应用 | 距离，厚度2,000 |
| 测量速度/通道 | |
| 线性度 | 3.3x10-⁴× 测量范围上限 |
| 分辨率 | 3x10-6×测量范围上限 |
| 测试通道数 | 96 |
| 与外部装置同步 | 触发输入，同步输出，5个编码器输入 |
| 接口 | 以太网，服务端口：RS-422,RS-232 |
| 传输速率 | 100Mbit (Ethernet 以太网),9,600-921,600 Baud (RS-422 /RS-232),USB: 921,600 Baud(虚拟串行端口) |
| 光源 | LED |
| 光纤连接器 | E2000 |
| 光纤长度 | 2 m-40 m(多模光纤) |
| 尺寸(长×宽×高) | 306 mm×97 mm×133 mm |
| 重量 | 约8 kg |
| 电源电压 | 24 V DC±10%(独立供电电源100-240 V AC) |
| 工作温度 | +5℃~+50°℃ |
| 额定功率 | 40W |
| SDK | SDK 可用，NET框架 4 或更高版本兼容 |
| 操作系统 | Windows XP, Windows 7, Windows 8 |
| 订货号 | 5008310 |
CHROCODILE CLS 2PRO 系列线传感器
通过光学检测实现质量控制
光谱共焦线传感器CHRocodile CLS 2Pro 实现了线长、角度和速度的最佳组合。其非常适用于消费电子和半导体行业。
通过最高每秒40,000条线的快速扫描，可以在很短的时间内确定样品的三维结构-非常适合工作周期时间很关键的在线应用。
光谱共焦测量技术提供的数据具有极高的横向和轴向分辨率，能够确保对任何类型的材料进行测量，并且没有阴影效应-即使是复杂的几何形状。
此外，易于更换的光学探头提供了高度的灵活性，使传感器的规格符合您的要求。您可以选择12mm的线宽，用于快速检测大型部件，或者选择具备优异数值孔径的短线，用于测量带有大角度倾斜的表面。
听筒薄膜
多样性
免维护
▶可测量所有表面
无死角
高效性
测量速度快
精确度高
非接触
用户友好&安全
易于集成到产线中
可更换探头实现瞬时内轮廓测量
CHROCODILE CLS 2Pro 技术参数
| 传感器型号 | CHRocodile CLS 2Pro |
| 测量值 | 距离 |
| 测量速度[线/秒](全量程) | 14,500 |
| 测量速度[线/秒]((高速模式，部分量程) | 最高 40,000 |
| 点数/线 | 1200 |
| 与外部设备同步 | 触发脉冲输入，同步输出，5个编码器输入 |
| 接口 | 以太网，RS-4221) |
| 光源 | 激光二极管 |
| 工作温度 | +5℃~+35°℃ |
| 尺寸（宽*高*深) | 285 mm x 215 mm x 135 mm |
| 重量 | 7 kg |
| 输入电压 | 24 V DC ±10% |
| 额定功率 | <50W |
| 订货号 | 5106129;5106128(0EM版本) |
| 探头型号 | 1.25 mm 探头 | 2.5 mm 探头 | 3.5 mm 探头 | 5 mm 探头 |
| 测量范围 1.25 | mm 2.5 | mm 3.5 | mm | 5 mm |
| 线长度 | 4.5 mm ±0.1 mm | 8 mm ± 0.2 mm | 19.6 mm± 0.8 mm | 11.9 mm ± 0.3 mm |
| 点间隔 | 3.75 μm± 0.09 μm | 6.67 μm ± 0.17 μm | 16.35 μm ± 0.66 μm | 9.92 μm ± 0.25 μm |
| 工作距离2) | 13 mm ± 0.5 mm | 21.4 mm ± 0.8 mm | 48mm±2mm | 42 mm± 1.2 mm |
| Z轴分辨率 | 0.1 μm | 0.2 μm | 0.5 μm | 0.4 μm |
| 静态重复性3 0 | .05 μm | 0.1 μm 0 | .25 μm | 0.2 μm |
| 线性精度 | 1 μm | 2 μm | 3 μm | 4 µm |
| 数值孔径 | 0.7 | 0.62 | 0.24 | 0.42 |
| 角度特性5 | 90°±45° | 90°±38° | 90°±14° | 90°±25° |
| 尺寸 [mm]l= 长度，d= 直径 | l= 145 mm,d = 83 mm | l= 160 mm, | 1=109 | l= 140 mm, |
| d =90 mm | d = 83 mm | d = 83 mm | ||
| 重量 1.42 | kg 1.42 | kg 0.91 | kg 1.80 | kg |
| 订货号 | 5103994 | 5103988 | 5103990 | 5103992 |
CHROCODILE CLS 2 系列线传感器
通过光学检测实现质量控制
光谱共焦线传感器CHRocodile CLS 2 是在严酷的工业环境中进行精确3D在线质量控制的理想工具。它非常适用于消费电子和半导体行业的应用，如检测智能手机外壳或半导体芯片的形貌，以及测量和检测焊接凸包或裂缝。
通过最高40,000条线/秒的快速线扫，可以在很短的时间内确定样品的三维结构-非常适合工作周期时间很关键的在线应用。
光谱共焦测量技术提供的数据具有极高的横向和轴向分辨率，能够确保对任何类型的材料进行测量，并且没有阴影效应-即使是复杂的几何形状。
此外，易于更换的光学探头提供了高度的灵活性，使传感器的规格符合您的要求。
多样性
免维护
可测量所有表面
无死角
高效性
测量速度快
精确度高
非接触
用户友好&安全
易于在产线中集成
可更换探头实现瞬时内轮廓测量
| 传感器型号 | CHRocodile CLS 2 |
| 测量值 | 距离 |
| 测量速度[线/秒](全量程) | 14,500 |
| 测量速度[线/秒](部分量程) | 18,300 |
| 测量速度[线/秒] | 40,000¹）（高速模式，1/3量程） |
| 点数/线 | 1200 |
| 与外部设备同步 | 触发脉冲输入，同步输出，5个编码输入 |
| 接口 | 以太网,RS-422²) |
| 光源 | 激光二极管 |
| 工作温度 | $+ 5 ^ { \circ } \mathrm { C } \sim + 3 5 ^ { \circ } \mathrm { C }$ |
| 无探头时尺寸(宽×高×深) | 346 mm x 185 mm x 135mm |
| 重量 | 6.2kg |
| 输入电压 | $2 4 \lor \mathsf { D C } \pm 1 0 \%$ |
| 额定功率 | <50W |
| 订货号 | 5106131;5106130(0EM版本) |
| 探头型号 | 0.08 mm 探头 | 0.12 mm 探头 | 0.24 mm 探头 | 0.37 mm 探头 | 0.6 mm 探头 2 | .5 mm 探头 | 10 mm 探头 |
| 测量范围(mm) | 0.08 | 0.12 0 | .24 | 0.37 | 0.68 | 2.5 | 10.6 |
| 线长度(mm) | $1 . 1 8 \pm 0 . 0 4$ | 1.78 ± 0.06 | $1 . 1 8 \pm 0 . 0 4$ | $3 . 7 5 \pm 0 . 1$ | $2 . 3 6 \pm 0 . 0 5$ 4 | .4 ± 0.1 | 11.9 ±0.3 |
| 点间隔 (μm) | 0.984 ± 0.004 | 1.485± 0.006 | 0.98 ± 0.03 | $3 . 1 2 8 \pm 0 . 0 1$ | $1 . 9 7 \pm 0 . 0 4$ | $3 . 6 9 \pm 0 . 0 8$ | 9.9 ± 0.2 |
| 工作距离 (mm)³) | 6.14 ± 0.3 | 6.2 ± 0.3 | 5.9±0.4 | $1 1 . 6 \pm 0 . 6$ 9 | .2 ± 0.4 | 27.0 ± 0.6 | 36.6±1.0 |
| Z轴分辨率 (μm) | 0.022 | 0.025 | 0.025 | 0.05 | 0.05 | 0.2 | 0.8 |
| 线性精度(μm)4) | 0.1 | 0.14 | 0.25 | 0.4 | 0.5 | 2 | 8 |
| 数值孔径 | 0.8 | 0.77 | 0.8 | 0.66 | 0.77 | 0.55 | 0.22 |
| 角度特性5 | $9 0 ^ { \circ } \pm 5 3 ^ { \circ }$ | $9 0 ^ { \circ } \pm 5 0 ^ { \circ }$ | $9 0 ^ { \circ } \pm 5 3 ^ { \circ }$ | $9 0 ^ { \circ } \pm 4 1 ^ { \circ }$ | $9 0 ^ { \circ } \pm 5 0 ^ { \circ }$ | $9 0 ^ { \circ } \pm 3 3 ^ { \circ }$ | 90°±13° |
| 尺寸[mm] | 1=156 mm | l= 138 mm | l= 137 mm, | $1 = 1 6 0 \mathrm { m m } ,$ | $1 = 1 5 5 \mathrm { m m } ,$ | l = 160 mm, | l= 118 mm, |
| l=长度，d= 直径 | d = 90 mm | d = 90 mm | d=90 mm | $\mathrm { d } = 9 0 \mathrm { m m }$ | $\mathsf { d } = 9 0 \mathsf { m m }$ | d = 90 mm | d =90 mm |
| 重量 1.25 | kg 1.10 | kg 1.2 | kg 1.3 | kg | 1.41 kg 1.84 | kg 0.85 | kg |
| 订货号 5106929 5106827 5104930 5106926 5103110 5103115 5103120 | |||||||
CHROCODILE CLS 系列线传感器
光谱共焦线传感器CHRocodile CLS 可实现高速3D测量效果，它能做到以每秒384,000次的频率进行纳米级精度的测量。得益于其一体化的设计，CHRocodile CLS能够方便地集成入产线上的检验设备，包括恶劣的生产环境中。传感器出色的动态测量范围和信噪比使CHRocodile CLS能够轻松地测量任何类型的材料-包括抛光和高度倾斜的表面。高性价比的CHRocodileCLS传感器无疑是超高速3D检测的满意之选。
优势特性
▶高速测量：1,152,000个点/秒，6,000条轮廓/秒
▶一体式设计：控制器探头一体，可任意更换探头
用户友好：测量稳定，无需维护，集成方便
应用案例
| 传感器型号 | CHRocodile CLS | CHRocodile CLS HS |
| 应用 | 距离，厚度 | 距离，厚度 |
| 线/秒 | 100-2,000 Hz | 最高 6,000 Hz1) |
| 每条线测量点数 | 192 | 192 |
| 测量范围 | 取决于探头 | 取决于探头 |
| 与外部设备同步 | 触发脉冲输入，同步输出，5个编码输入 | 触发脉冲输入，同步输出，5个编码输入 |
| 接口 | 以太网，服务端口：RS-422，USB | 以太网，服务端口：RS-422，USB |
| 传输速率 | 100 Mbit(以太网),9,600-921,600波特(RS 422), | 100 Mbit(以太网),9,600-921,600波特(RS 422),921,600 波特 (USB 虚拟串口) |
| 921,600 波特 (USB 虚拟串口) | ||
| 光源 | LED | LED |
| 工作温度 | +5℃~+50°℃ | +5°℃~+50°℃ |
| 储藏温度 | -20℃~+70℃ | -20℃~+70℃ |
| 无探头时尺寸(宽×高×深) | 391 mm× 100 mm× 114 mm | 391 mm× 100 mm× 114 mm |
| 重量 | 4kg | 4kg |
| 输入电压 | 24+/-10% V DC(独立适配器电源 100-240 V AC/50 Hz-60 Hz) | 24+/-10% V DC(独立适配器电源 100-240 V AC/50 Hz-60 Hz) |
| 额定功率 | 20 W | 40W |
| 防护等级 | IP 50 (DIN 40050 / IEC 144) | IP 50 (DIN 40050 / IEC 144) |
| 订货号 | 5007994(垂直)，5007995(90°角) | 5100387(垂直) |
| 探头型号 CLS | 0.2 CLS | 0.5 C | LS 0.5LL CLS | 1 CLS | 2 CLS | 2.3 CLS | 2.45 | CLS4 |
| 测量范围 | 200 μm | 500 μm | 500 μm | 950 μm | 2,000μm | 2,300 μm | 2,450 μm | 3900 μm |
| 线长度 | 0.96 mm ± 0.01 mm | 1.43 mm ± 0.02 mm | 4.5 mm ± 0.05 mm | 1.91 mm ± 0.02 mm | 8.3 mm ± 0.1 mm | 1.53 mm ± 0.02 mm3 | .33mm±0.034mm | 4.78 mm ± 0.04 mm |
| 点间隔 | $5 \mu \mathrm { m } \pm 0 . 0 5 \mu \mathrm { m }$ | $7 . 5 \mu \mathrm { m } \pm 0 . 0 8 \mu \mathrm { m }$ | $2 3 . 6 \mu \mathrm { m } \pm 0 . 3 \mu \mathrm { m }$ | $1 0 \mu \mathrm { m } \pm 0 . 1 \mu \mathrm { m }$ | $4 3 . 5 \mu \mathrm { m } \pm 0 . 5 \mu \mathrm { m }$ | 8 μm ± 0.08 μm | 17.43 μm ± 0.18 μm | 25 μm ± 0.25 μm |
| 工作距离1 | $5 . 3 \ : \mathrm { m m } \pm 0 . 4 \ : \mathrm { m m }$ | $1 2 { \ : } \mathrm { m m } \pm 0 . 4 { \ : } \mathrm { m m }$ | $2 3 . 3 \ : \mathrm { m m } \pm 0 . 5 \ : \mathrm { m m }$ | $1 8 . 5 m m \pm 0 . 5 m m$ | $2 7 . 5 m m \pm 0 . 5 m m$ | 15.6 mm ± 0.5 mm | 33 mm ± 0.6 mm | 36.4 mm ± 0.6 mm |
| 光斑直径 | 2 μm | 3 μm | 9.4μm | 4 μm | 17 μm | 3.2 μm | 7 μm | 10 μm |
| 横向分辨率 | 1 μm | 1.5 μm | 4.7 μm | 2μm | 8.5 μm | 1.6 μm | 3.5 μm | 5 μm |
| Z轴分辨率20 | nm 50 | nm 70 | nm 80 | nm | 250nm 200 | nm 200 | nm 320 | nm |
| 精度2 | ± 80 nm | ± 200 nm | ± 280 nm | ± 300 nm | ±1 µm | ±780 nm | ±800 nm | ±1.2 µm |
| 数值孔径 | 0.7 | 0.61 | 0.33 | 0.55 | 0.2 | 0.55 | 0.5 | 0.33 |
| 角度特性3 | 90°+/-44° | 90°+/-38° | $9 0 ^ { \circ } + 1 - 2 0 ^ { \circ }$ | $9 0 ^ { \circ } + 1 - 3 3 ^ { \circ }$ | 90°+/-11° | $9 0 ^ { \circ } + 1 - 3 3 ^ { \circ }$ | 90°+/-30° | 90°+/-20° |
| 厚度测量范围4 | 220 μm-3400 μm | 300 μm-5.5 mm | ||||||
| 20 μm-280 μm | 40 μm-700 μm | 50 μm-700 μm | $7 5 \vert \vert \boldsymbol { \mathfrak { m } } - 1 . 3 5 \vert \boldsymbol { \mathfrak { m } } \vert \vert$ | 280 μm-2800 μm | 200 μm-3.1 mm | |||
| 光度效率5) | 7 | 10 | 50 | 14 | 50 | 2 | 14 | 22 |
| 尺寸 | l=70.4 mm | l=75 mm | I=66.5 mm | l=93.3 mm | l=84 mm | l=99 mm | l=127.4 mm | l=120 mm |
| d=37 mm | d=52 mm | d=54 mm | d=54 mm | d=55 mm | d=54 mm | d=65 mm | d=58 mm | |
| 重量 | 190 g 240 | g | 230 g 430 | g 200 | g | 390 g | 750g | 510g |
| 订货号 | 5007993 | 5009885 | 5100239 | 5007895 | 5009888 | 5009128 | 5100907 | 5007896 |
5）位于量程中点，2kHz，LED100%，在无涂层的玻璃上测量，估计的平均信号强度，用%表示
CHROCODILE CVC 线阵相机
你有试过自动聚焦的显微相机么？
PRECITEC的光谱共焦线扫描相机利用光谱共焦原理获取二维图像，它区别于传统自动聚焦显微相机，依靠调节高度实现区域聚焦，今后再也不需要自动聚焦了。
这个技术为在线品质管控和离线应用提供了更好的解决方案，像金属部件的表面检测，晶片缺陷检测，或者OLED芯片检测。
光谱共焦线扫描相机使用CameraLink 或者 GiGE接口，可以非常容易的接入到任何图像处理环境，集成了同轴光源的一体化设计更易于集成到产品线上。
优势特性
紧凑且集成同轴光源一体化设计，可替换探头
超大的景深，测量范围内均可聚焦图像，无需自动对焦
所有材质上均可获取极高对比度图像，不同材质间对比度差异明显
量程范围内防抖动设计
▶200万像素的高速区域扫描，拥有最大140kHz的采样频率
相较于传统相机的优势
应用案例
手机中框外表面划痕缺陷检测
手机盖板玻璃溢胶区域检测
玻璃划痕检测
| 名称 | CAMERA LINK 连接线 | TRIGGER 线 | 采集卡 |
| 图片 |  |  |  |
| 订货号 | 5010251 | 5010426 | 5010249 |
| 传感器型号 | 使用 CAMERA LINK | 使用 ETHERNET NBASE |
| 测量原理 | 光谱共焦 | |
| 测量数据 | 光强 | |
| 分辨率 | 2,048 像素 | |
| 最大测量速度 | 100 kHz | 140 kHz |
| 触发开始/停止以及编码器触发 | TTL同步触发输入输出：触发开始/停止以及编码器触发 | |
| 接口 | Camera Link® | NBASE-T communication protocoll |
| 开发包 | via s DLL, compatibility. NET | |
| 操作系统 | Windows XP, Windows 7, Windows 8, Windows 10 | |
| 相机电压 | 12-24 V DC(独立供电电源 100-240 V AC，50-60 Hz) | |
| 相机电压 | 24-36 V DC(独立供电电源100-240 VAC，50-60 Hz) | |
| 额定功率 | 40 W | |
| 工作温度 | +5℃~+50℃ | |
| 储存温度 | -20°℃~+70°℃ | |
| 防护等级 | IP 50 (DIN 40050 /IEC 144) | |
| 重量 | 2.95 kg | |
| 尺寸(长×宽×高) | 270×155×111 mm | 270×155×111 mm |
| 订货号 | 5010019(垂直)；5010141(90°角度) | 5010245(垂直)；5010246(90°角度) |
CVC 配件
| 探头型号 | CVC 0.9-150 | CVC 1.8-150 | CVC 0.6-160 | CVC 0.9-400 | CVC 1.8-400 | CVC 5-1500 | CVC 2-2000 | CVC 2.9-3000 |
| 聚焦深度 | 150 μm | 150 μm | 160 μm | 400 μm | 400 μm | 1,500 μm | 2,000 μm | 3,000 μm |
| 工作距离 (mm) | 10.65 ± 0.4 | $9 . 8 5 \pm 0 . 4$ | $5 . 3 4 \pm 0 . 3$ | $1 2 \pm 0 . 4$ | 10.8±0.4 | 25.4±0.6 | 33.1 ± 0.8 | 36.5 ± 0.8 |
| 线长(mm) | 1.84 ± 0.02 | 3.69 ± 0.04 | $1 . 1 9 \pm 0 . 0 2$ | $1 . 7 6 \pm 0 . 0 2$ | $3 . 6 9 \pm 0 . 0 4$ | 10.24 ± 0.10 | 4 ± 0.04 | 5.88 ± 0.06 |
| 横向分辨率 | 0.9 μm | 1.8 μm | 0.6 μm | 0.9 μm | 1.8 μm | 5μm | 1.95 μm | 2.9μm |
| 镜面最大频率 (kHz) | 401.1)/44012) | $1 0 0 ^ { 1 . 1 ) } / 1 4 0 ^ { 2 . 2 ) }$ | $2 0 ^ { 1 . 1 ) } / 2 0 ^ { 1 . 2 ) }$ | $2 5 ^ { 1 . 1 ) } / 2 5 ^ { 1 . 2 ) }$ | $1 0 0 ^ { 1 . 1 ) } / 1 2 5 ^ { 1 2 ) }$ | $1 0 0 ^ { 1 . 1 ) } / 1 4 0 ^ { 1 . 2 ) }$ | $1 0 0 ^ { 1 . 1 ) } / 1 2 5 ^ { 1 . 2 ) }$ | $1 0 0 ^ { 1 . 1 ) } / 1 2 5 ^ { 1 . 2 ) }$ |
| 像素 | 2,048 | 2,048 | 2,048 | 2,048 | 2,048 | 2,048 | 2,048 | 2,048 |
| 动态范围 (bit) | 8 | 8 | 8 | 8 | 8 | 8 | 8 | 8 |
| 测量角度 | 90°+/-30° | 90°+/-30° | 90°+/-44° | 90°+1-38° | 90°+/-30° | 90°+/-12° | 90°+/-30° | 90°+/-20° |
| 数值孔径 | 0.5 | 0.5 | 0.7 | 0.61 | 0.5 | 0.22 | 0.5 | 0.33 |
| 探头重量 | 180 g | 215g | 195g | 225 g 260 | g 190 | g 750 | g | 515g |
| 尺寸 | l=83.5 mm | l=84.4 mm | 1=78.4 mm | l=83 mm | I=83.4 mm | l=73.8 mm | l=113.8 mm | l=129.5 mm |
| d=55 mm | d=55 mm | d=52 mm | d=52 mm | d=55 mm | d=55 mm | d=65 mm | d=58 mm | |
| 订货号 | 5010020 | 5010021 | 5010247 | 5010248 | 5010022 | 5010024 | 5100618 | 5010023 |
光干涉法测量
光干涉传感器的测量优势
▶可适用几乎任何类型材料的测量
非透明物体(塑料，膜，粘合剂...)[红外光源]
透明物体(玻璃，洁净塑料， 聚合物，硅...)[白光]
▶同轴测量可避免遮蔽影响
▶多层厚度测量
极高分辨率和精度(最高纳米级别)
紧凑型设计，便于集成
极其稳定可靠测量，防振动干扰
光学厚度
光干涉法测量透明体厚度原理
使用与光谱共焦相同的白光作为光源，配上特殊的探头，也可以利用光谱仪的配置来测量玻璃/薄层的厚度。当光投射到薄层的表面(玻璃/薄层厚度在2μm到250μm之间），反射光会产生干涉图样并被传感器接收。通过计算反射信号的傅里叶变换，传感器能以最大66.000次每秒的速度捕捉多层材料的厚度。此测量方法适用于液体和固体材料，能够测量玻璃、流体或薄膜厚度，甚至空气层厚。
光干涉法测量非透明体厚度原理
使用红外光光源和特殊探头，类似硅或塑料之类的不透明材料也能被测量。根据从物体两个（或多个）表面反射回来的光信号，能够通过干涉图样计算出厚度。如果样本有许多层，每层的单独厚度和总厚度都能被算出。由干探头不含任何电子元件或移动部件，在做流水线测量时非常可靠，不受潮湿，酸性或不干净的环境因素影响。
普雷茨特光学的高精度同轴干涉点传感器可以实现距离和厚度的非接触式测量，测量范围高达12,600μm。得益于传感器纳米级别的分辨率，同样适用于在诸如晶圆这样的微结构上的测量。此外，多层分立膜层的厚度的测量也可通过一次测试同时实现。
我们的光学测量技术可为粗糙，参杂和高参杂的晶圆，半透明和不透明的塑料，玻璃，涂层和粘结剂等红外透明材料提供质量监控。
光学干涉传感器结构小巧紧凑，易于集成到高端测量设备和空间有限的区域中，而且由于非接触技术的使用，无需维护和更换。
普雷茨特光学开发的DLL提供通用接口用以集成CHRocodile装置。对于特殊的传感器应用需求，请联系我们获取定制的解决方案。
厚度测量是基于干涉测量法的。宽带红外或者可见光通过我们的光学探头聚焦到待测工件上，在同轴结构中，从不同表面反射回的光会被同样的光学探头收集然后做频谱分析。通过对干涉谱做傅立叶分析，确定所有膜层的厚度。
干涉点传感器综述
优势特性
▶2 μm- 17,700 μm 高精度厚度测量
所有具有粗糙，高反射或者不透明表面的红外透料都可测量
可在恶劣的工业环境中使用，甚至诸如水，油，酸等液态环境中也能实现测量
对热，潮湿和振动不敏感
▶ 最高 70 kHz采样速率，是高速在线检测的理想选择
消费电子产品
高速在线质量控制：玻璃表面平面度检测、玻璃或涂层厚度测量、台阶高度和气隙分析
玻璃管
玻璃管用于生产小瓶、安瓿瓶和注射器，需要精确控制管壁厚度和圆度，以满足严格的质量控制和医疗行业规定。一次扫描即可完成TTV、弯曲和翘曲检测。
半导体
一次扫描即可检测TTV、弯曲和翘曲。
非接触、无损光学传感器可在工件处理(CMP和研磨）过程中量化晶片厚度。
新能源汽车
确保铜发卡上珐琅涂层厚度的精确性对于防止短路和保持高电气性能至关重要。检测任务包括检测裂纹、监控激光剥离以及确保涂层无损坏。
所有的干涉CHRocodile设备都配有一个测试通道并提供如下技术规格：
触发输入，同步输出，5个编码器输入
| 接口 | Interface Ethernet, EtherCAT®1), RS-422, 2 x 模拟(-10 V to +10 V, 16 Bit) |
| 传输速率 | Ethernet (100Mbit), EtherCAT®1)(100Mbit), RS-422 (最高10MBaud) |
| 光源 | CHRocodile 2S:LEDCHRocodile 2SX:LED/SLDCHRocodile 2IT TW:卤素灯其余IT 传感器:SLD |
| 工作温度 | +5℃~+50°℃ |
| 尺寸 (宽x高x深) | 220 mm x 110 mm x 135 mm |
| 重量 | 2 kg |
| 供电电压 | 16 - 30 V DC (独立供电电源 90 - 264 V AC) |
| 额定功率 | 20 W | 30 W (CHRocodile 2 SX) |
| 参考镜 | wd 31 mm, IT + IT RW | wd 91 mm, IT + IT RW | wd 31 mm, LR DW | wd 91 mm, LR DW | wd 5 mm, 2S/HS/HP |
| 工作距离 | 31 mm | 91 mm | 31 mm | 91 mm | 5mm |
| 订货号 | 5007618 | 5007619 | 5010597 | 5010598 | 5010098 |
| 备注 | 适用于 IT TW wd 40mm 的探头 | 适用于 IT TW wd 100 | 适用于 IT TW wd 40 mm | 一体式的探头 | |
| mm 的探头 的探头 | |||||
干涉点传感器
我们的高分辨率同轴干涉点传感器可在2μm至17,700μm的测量范围内进行非接触式距离和厚度测量。其纳米分辨率使其也可用于测量微结构，例如晶片上的微结构。另一个优点是，一次测量可同时测定多个单独层的厚度。
本数据表概述了控制器与探头的最佳组合，以满足您的特定应用需求。
传感器概览
| 传感器型号 | 最大测量速度 | 额定测量范围(MIN - MAX)1) | 扩展测量范围 (MAX) | 轴向分辨率 | 线性精度(额定） | 订货号 | 主要应用 |
| CHROCODILE 2S | 70 kHz | 2 μm − 180 μm | 1 nm | 0.2 μm | 5103126 | 最薄层、涂层、中薄至超薄(Si)晶片。CHR2 SX | |
| CHROCODILE 2 SX | 5 kHz | 2 μm-850 μm | 1,400 μm | 1 nm | 0.2 μm | 5104119 | 系列专为最大200 μm的硅晶片设计。 |
| CHROCODILE 2 IT TW 2) | 66 kHz | 4 μm - 300 μm | 500 μm | 1 nm | 0.2 μm | 5105696 | 最薄的一层，也位于不透明层之后，尤其是硅晶片。 |
| CHROCODILE 2 IT 400 | 66 kHz40 kHz | 29μm-3,000μm | 4,500 μm | 1 nm | 0.6 μm | 51059755106179 | 适用于Si、SiC、InGaAs晶圆和其他常见半导体材料的标准传感器。IT1000-1700系列适用于最厚的晶片和多 |
| CHROCODILE 2 IT 500 | 66 kHz40 kHz | 38 μm - 3,900 μm | 6,100 μm | 1 nm | 0.8 μm | 51059805106180 | |
| CHROCODILE 2 IT 1000 | 66 kHz40 kHz | 66 μm-7,000 μm | 10,500 μm | 2nm | 1.45 μm | 51059825105470 | |
| CHROCODILE 2 IT 1300 | 66 kHz40 kHz | 87 μm - 8,800 μm | 14,700 μm | 3 nm | 1.85 μm | 51052005105971 | 层结构。 |
| CHROCODILE 2 IT 1700 | 66 kHz40 kHz | 114μm-11,000μm | 17,700 μm | 4 nm | 2.3 μm | 51059865104574 | |
| CHROCODILE 2 IT RW 500 | 66 kHz40 kHz | 44 μm- 4,400 μm | 6,900 μm | 1.5 nm | 0.9 μm | 51059905105998 | 适用于粗糙表面 |
| CHROCODILE 2 IT RW 1000 | 66 kHz40 kHz | 57 μm-5,800 μm | 9,000 μm | 2 nm | 1.2 μm | 51059925105169 | |
| CHROCODILE 2 IT DW 250 | 70 kHz | 15 μm- 1,500 μm | 3,000 μm | 1nm | 0.3 μm | 5106183 | 掺杂和高掺杂晶片、多层结构、在液体中进行测量，是FSS 310的首选工具。 |
| CHROCODILE 2 IT DW 500 | 70 kHz | 26μm-2,500 μm | 5,000 μm | 1 nm | 0.5 μm | 5106185 | |
| CHROCODILE 2 IT DW 1000 | 10,700 μm | 2 nm | 1.4 μm | 51052265106187 | |||
| 66 kHz40 kHz | 66 μm - 7,200 μm | ||||||
| CHROCODILE 2 LR | 70 kHz | 16μm-1,900μm | 3,900 μm | 1nm | 0.35 μm | 5106181 | 适用于光学透明和半透明材料的万能工具。 |
| CHROCODILE 2 K | 塑料，吹塑薄膜 | ||||||
| 4 kHz | 15 μm - 1,500 μm | 2,250 μm | 5 nm | 1 μm | 5103676 |
探头概览
| CHROCODILE 2 TW, LR | CHROCODILE 2 IT, RW, DW, K | |||||||
| 工作距离3 | 40 mm 100 mm 200 mm | 40 mm | 100 mm 200 mm | |||||
| 横向分辨率 | CHR 2 IT TW:CHR 2 IT LR: | 30 μm | 75 μm | 150 μm15 μm | CHR 2 IT:CHR 2 IT RW:CHR 2 IT DW/K: | 5.5 μm6.2 μm | 13 μm | 26 μm |
| 15 μm | 30 μm | |||||||
| 3 μm | 7.5 μm | |||||||
| 3.7 μm | 9 µm | 18 μm | ||||||
| 测量角度4 | ±5°-85° | ±2°-85° | ±1.1°-85° | ±5°-85° | ±2.5°-85° | ±1.2°-85° | ||
| 尺寸(不含光纤连接器) | l= 54 mm | l = 56 mm | l= 57 mm | l= 48 mm | | = 52.5 mm | 1=49.5 mm | ||
| d = 15 mm | d = 15 mm | d = 15 mm | d = 15 mm | d = 15 mm | d = 15 mm | |||
| 重量 | 57 g | 62 g | 63 g | 52g | 57 g | 50g | ||
| 订货号 | 5002807 | 5006420 | 5105812 | 5101549 | 5102340 | 5105659 | ||
| 备注 所有探头均可进行厚度测量，可提供用于距离测量的兼容配件。 | ||||||||
探头概览
| CHROCODILE 2 S, SX 5) | CHROCODILE 2 S | |||||
| 工作距离3) 40 mm | 100 mm | 200 mm | 10.6 mm | 18.1 mm | 27 mm | |
| 横向分辨率 | 31 μm | 65 μm | 150 μm | 6.5 μm | 25μm | 20 μm |
| 测量角度4 | ±5°-85° | ±2.5°-85° | ±1.1°-85° | ±10°-85° | ±5°-85° | ±5°-85° |
| 尺寸(不含光纤连接器) | |= 56 mmd = 15 mm | 1= 56 mm | l= 56 mm | l= 67 mm | l= 40 mm | |= 54 mm |
| d = 15 mm | d = 15 mm | d = 8 mm | d = 8 mm | d = 15 mm | ||
| 重量 | 61 g | 62 g | 64g | 23g | 10g | 21 g |
| 订货号 | 5104329 | 5104330 | 5105833 | 5003517 | 5002947 | 5005000 |
| 备注 光纤固定在探 紧凑型，光纤固定头上 在探头上 | ||||||
| 喷水探头 | 适用于IT DW系列 | 适用于IT系列 | 适用于2SX系列 | 适用于 HTW系列 |
| 工作距离 | 3 mm | 3 mm | 3 mm | 2 mm |
| 数值孔径 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.12 |
| 订货号 | 5102576 | 5102578 | 5105511 | 5104133 |
LWL IT, Synthetic Covered 合成外壳(适用于 CHR 2 干涉 IT 400-1700)
订货号5000239
LWL, 2m, CHR IT, SC, E2000 / FC-APC
订货号5000240
LWL, 3m, CHR IT, SC, E2000 / FC-APC
订货号5000241
LWL, 5m, CHR IT, SC, E2000 / FC-APC
订货号5000242
LWL, 10m, CHR IT, SC, E2000 / FC-APC
订货号5000243
LWL, 20m, CHR IT, SC, E2000 / FC-APC
LWL DW, Synthetic Covered 合成外壳（适用于 CHR 2 干涉 DW 250-1000)
订货号5003936
LWL, 3m, DW, SC, E2000 / FC-APC
订货号5003937
LWL, 5m, DW, SC, E2000 / FC-APC
订货号5009136 LWL, 10m, DW, SC, E2000 / FC-APC
订货号5006281
LWL, 15m, DW, SC, E2000 / FC-APC
订货号5000251
LWL, 2m, CHR LR, SC, E2000 / FC-APC
订货号5000252
LWL, 3m, CHR LR, SC, E2000 / FC-APC
LWL LR， Synthetic Covered 合成外壳（适用于 CHR 2 干涉 LR）
订货号5000253
LWL, 5m, CHR LR, SC, E2000 / FC-APC
订货号5007034
LWL, 7.5, CHR LR, SC, E2000 / FC-APC
FLYING SPOT SCANNER 红外干涉飞点扫描仪
自由定义和选取检测区域
高效
精确
▶快速
非接触
多功能
▶ 离线/在线质量控制中的快速区域检测
▶可自定义样品感兴趣区域检测的扫描形状和滤波器
▶远心成像可得到反射面上理想测试结果
用户友好/安全
▶ 样品集成
▶ 无损测量
稳健
▶ 领先于激光
普雷茨特最新的光学探头与CHRocodile传感器的结合使用使高速光学相干断层扫描成像在厚度和形貌检测中的应用成为可能。为在线和离线质量监控和3D检测提供的尖端技术可用于各种不同的材料和表面。
“飞点向导”软件让您的应用设置变得非常简单方便。通过创建一系列测试区域列表，可以非常简洁的定义你的测试过程。独立的CHRocodile光学传感器可存储自定义检测过程并且自动控制探头。同时，软件也可以使测试结果和统计数据可视化。
普雷茨特飞点扫描器(FSS)能够实现厚度和形貌的高速OCT扫描成像，并可与各种CHRocodile 2IT 和传感器相结合，创建一个智能检测系统。FSS具备先进的技术，能够实现高速非接触式区域检测，确保在线和离线质量保障，以及对各种材料和表面的3D测量。
飞点扫描仪技术参数
| 探头型号 | 80mm 飞点扫描仪(2IT/2IT DW) | 80mm 飞点扫描仪(2LR) | 40mm 飞点扫描仪(2IT/2IT DW) |
| 应用 | 厚度，距离 | ||
| 测量速度 | 最高 70 kHz | 最高 66 kHz | 最高 70 kHz |
| 测量范围 | 取决于所用 CHRocodile 2 IT 传感器 | 23 μm - 2,600 μm | 取决于所用 CHRocodile 2 IT 传感器 |
| 工作距离 200 | mm 200 | mm 122.5 | mm |
| 最快移动速度1) | 10 m/s | 10 m/s | 5 m/s |
| 扫描区域(直径) 80 | mm 80 | mm 40 | mm |
| 横向分辨率 | |||
| CHRocodile 2 IT DW | 21 μm | 6.5 μm | |
| CHRocodile 2 IT | 31 μm | 10 μm | |
| CHRocodile 2 LR | 25 μm | ||
| 数值孔径 | 0.015 | 0.015 | 0.05 |
| 角度特性 | 90°±1° | 90°±1° | 90°± 2.5° |
| 工作温度 | +10℃至+40℃ | ||
| 尺寸（高×宽×深)含光学部分，2 | 88x114x201 | 288x 114 x 201 | 235 x 101 x 201 |
| 单位 mm | |||
| 重量（镜头+扫描仪） 3.8 | kg 3.8 | kg 3.7 | kg |
| 电源电压 | 24 V DC (独立供电电源 90-264 V AC) | ||
| 额定功率 | 最大 60 W5010514 5101387 5010668 | ||
| 订货号 | |||
应用案例
飞点面阵扫描仪 FAST 300
FAST 300
灵活、独立的 ROI检测
飞点面阵扫描仪(FAST)可对距离、厚度和形貌进行OCT测量。它基于一项独特的突破性技术，能够实现高速、非接触式检测，以实现对各种材料和表面的质量保证。
FAST300版本从根本上改变了半导体市场。300mm的超大扫描区域可在10秒钟内对直径12 英寸的晶片进行全面的TTV、弯曲和翘曲检测，包括处理时间在内，实现了每小时最高的检测吞吐量。由于采用了活动镜系统，长路径的线性轴被取代，从而大大缩短了测量时间，并且无需昂贵的精密运动系统。
Precitec的多功能软件界面和工具使您能够轻松设置应用。您可以通过创建扫描模式列表来自定义测量程序。独立式光学传感器CHRocodile 2 ITDW系列/FAST300可存储自定义程序并自主控制扫描程序。最后，软件可显示结果和统计数据。
高效
▶ 多种材料上的精确测量
▶尽可能短的周期内实现灵活检测
▶亚微米级分辨率
多功能
高速 ROI 区域检测，实现 100% 离线和在线质量控制
▶支持用户自定义扫描轨迹进行超快速ROI检测
用户友好/安全
▶易于集成
▶非接触，无损
稳健
▶引导光
CHROCODILE 2 IT DW / FAST 300 技术参数
| 探头型号 FAST 300 mm测量值 厚度，距离 | |
| 测量速度 | 最高 40 kHz |
| 工作距离 | 150 mm |
| 最大移动速度² | 10 m/s |
| 扫描区域(直径) | 300 mm |
| 数值孔径 | 0.018 |
| 横向分辨率 | 31 μm |
| 与表面的测量角度² | ±1°- 85° |
| 工作温度 | +10°℃至+30℃ |
| 尺寸（高×宽）含光学部分 | 742 mm x 360 mm |
| 重量（镜头+扫描仪） | 29.1 kg |
| 电源电压 | 24 V DC （独立供电电源 90 - 264 V AC) |
| 额定功率 | 最大 60 W |
| 订货号 | 5106979 |
FAST 300 与 CHRocodile 2 IT DW 控制器配合使用，有两种专用型号：DW 250和 DW 1000。传感器和控制器通过光纤连接，实现高速信号传输。
作为独立系统，CHRocodile2ITDW可储存定制的测量程序并管理探头操作。
| 控制单元 | CHRocodile 2 IT DW 250 / FAST 300 | CHRocodile 2 IT DW 1000 / FAST 300 |
| 测量速度(最大) | 40 kHz | 40 kHz |
| 额定测量范围（最小-最大)1) | 15 μm-1,500 μm | 66 μm-7,200 μm |
| 扩展测量范围(最大) | 3,000 μm | 10,700 μm |
| 轴向分辨率 | 0.2 μm | 0.2 μm |
| 线性精度(额定) | 0.4 μm | 1.5 μm |
| 订货号 | 5107241 | 5107240 |
激光焊接监控 LWM
激光焊接监控LWM4.0是一款用于量产的实时质量监控系统。
在焊接过程中，LWM4.0系统能够实时记录焊接中所产生的信号。被记录下的传感器数据与参考线进行比对，并实时将所产生的偏差发送给上一级控制系统。问题能够在早期被发现，才能保证更加长期稳定的生产。
LWM4.0的应用范围更加广泛，可搭配不同的激光光源(红外、蓝光、绿光)，提供特殊版本。该系统在监测铝材、不锈钢以及铜材等不同合金物质的焊接中具有特殊的优势。
新型激光焊接监控器8.50 是普雷茨特激光焊接过程监控的最先进产品：由于采用了额外的光学通道，它能够更加灵敏地实时检测焊接误差，从而提高过程稳定性。在焊接铜、铝或不锈钢等不同材料时，该传感器能真正发挥其作用。两个额外的温度通道可实现对热过程的无缝监控，即使在近红外范围内也是如此。50kHz的高采样率可用于激光功率和脉冲持续时间较低的微焊接应用。无需XY对齐的简单集成也节省了时间，降低了安装成本。
LWM 技术参数
| 传感器型号 | LWM |
| 数字输入/输出端的数量 | 输入/输出端各16个 |
| 程序数量 | 32 个/128 到 256 个 |
| 可并行处理的数字通道数量 | 最多8个 |
| 传感器数量 | 最多16个 |
| 传感器的采样率 | 最大 40 KHz |
| 传感器 | 仅限于生产的各种激光头设备温度、背部反射、等离子体、激光功率 |
| 应用实例 激光拼焊板、白车身、变速箱、座椅、卤素灯和气囊 | |
增材制造 COAXPRINTER
CoaxPrinter在增材制造中为您提供广泛的应用—从精细结构到复杂的大型3D形状。它用于30打印、原型构建和表面加硬。无孔层可以在任何方向应用。
CoaxPrinter加工头可实现无方向性的金属送丝激光沉积。基于独特的环形光和同轴进料，焊丝均匀熔化，并与部件表面的熔池良好连接，确保工件的一致性。
与使用粉末的激光沉积焊接相比，由于100%的填充材料被引入和利用，因此可以实现非常高的材料利用率。圆形焦点中的均匀能量分布实现了较大的工艺窗口，即使在工作距离波动的情况下也能实现稳定的工艺。这对于构建自由形式的2.5D结构特别有益。
Coaxprinter的应用领域很广泛。例如高质量部件的修复、耐磨损的涂层以及薄壁2.5D结构或大容量上层结构的生成。
COAXPRINTER 技术参数
| 型号 | |
| CoaxPrinter | |
| 最大激光功率 | 5 kW at NA ≤ 0.22; 6 kW at NA ≤ 0.13 |
| 光纤芯径 | 300 - 1.000 μm |
| 聚焦焦点 | 160 mm |
| 焊丝伸出长度 | ≈10 mm |
| 重量 | 12 - 20 kg(基于配置决定)半导体激光器、碟片激光器、光纤激光器等等连续激光器 |
| 光源 |
MPRECITEC
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