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产品样本 No.C14028(3)
影像测量机
CNC影像测量机
Quick Vision Pro系列
Quick Vision系列
非接触式测量的升级版
支持高精度测量的主体结构和自动对焦功能。
融合高性能技术实现3D 非接触测量。
Q u i c k V i s i o n P r o 是一款不断进化的 C N C 影像测量机。
Evolutionary
Advance
1
近年来，我们生活的环境发生了巨大变化，汽车电动化、 5 G 通信、 IoT 技术
的日益升级和技术革新正在以前所未有的速度不断进化。
为了应对这些技术革新及产业结构的发展速度， Quick Vision Pro 经过精心
研制，旨在实现影像测量机所追求的各种高速化。
让我们亲身感受一下三丰提供的高通量非接触式测量。
可实现影像测量机所追求的各种高通量测量
2
微小
精度要求严格的医疗设备
医疗设备与人们的健康和生命息息相关。 对使用的每个零件都有严
格要求， 例如内窥镜前端部分的镜头和钳子配置在最小直径3 mm
以下的装配口上。 Quick Vision Pro 利用最大4,300倍的高倍率光学
镜头、多种自动对焦、基于边缘检测的高分辨力，对这种具有微小
精度要求的工件进行非接触式测量。 重复精度进一步提升，测量技
术能力也受到了等同于国际基准的认可。
鉴于紧急情况下医疗物资的紧张，医疗设备需要进一步扩充。 三丰
将通过提高相关制造领域的测量技术为医疗事业的发展作出贡献。
三丰的高信赖测量应用，三大领域之《医疗》
医用阀的测量示例
MEDICAL
3
适于细微形状尺寸测量的理想光学系统 高精度的3D测量
利用10种物镜和主体内成像镜头的组合，光学倍率可达
到150倍（显示器倍率4,300倍）。因此可以测量细微零
件，如医疗设备部件。
除了基于单焦点高分辨力影像的高精度的高度测量
外， 通过PFF（Point From Focus）捕获测量对象的
3D形状。 从而有了更多可测量的项目。
医用钳子影像的测量示例
PFF获取的3D形状分析 MCubeMap
4
前沿
适用电动汽车新零件的柔性测量
受减排温室气体活动的影响，汽车生产从汽油车、柴油车转向电动
汽车， 汽车的主要部件也随之加速转变为马达、 电池、 半导体等。
Quick Vision Pro 将在例如太薄而难以接触测量的电机铁芯的层压前
单品、 要求低速测量的微小凹凸形状的燃料电池分离器、 要求高
速测量的细微形状的变频器半导体零件等的制造工序中一展特长。
三丰的高信赖测量应用，三大领域之《汽车》
应对汽车行业严苛的品质管理 可通过3D CAD模型进行在线编程
随着“CASE”变革的不断推进， 今后汽车行业对电子
和半导体零件的需求将日益增加。 Quick Vision Pro将从
接触式、 非接触式两方面着手助推今后汽车行业的品
质管理。
除了利用3D CAD模型进行在线编程的功能外， 还可脱机生成影
像及触发式测头的程序，从而通过提高Quick Vision Pro主体的运
行效率来缩短交付周期。
发动机控制单元的测量示例 通过3D CAD模型进行在线编程
设计值比对示例
AUTOMOBILE
5
6
全自动化
对应量产系统的无停顿测量
受转产电动汽车、 5G 实用化带来的各种服务扩大以及对数据中心设
备投资的恢复等影响，半导体市场正显现出复苏的迹象。 预计半导
体产业将进一步发展， 并随着需求的扩大而量产化。 Quick Vision
Pro 利用主体的驱动与测量相机的频闪同步进行高速测量， 将推动
半导体制造业的发展。 例如当测量半导体行业的喷淋头时，工作台
可以保持无停顿的移动来测量喷头众多孔尺寸或异物侵入检测，从
而大幅缩短了工时。
三丰的高信赖测量应用，三大领域之《半导体》
预防量产产品发生不良 多功能传感器实现3D测量
利用无停顿测量的 STREAM功能和瞬间对焦的 TAF
实现高速测量。 通过增加测量元素的数量， 预防
量产产品发生不良。
在影像测量的基础上并用非接触式位移传感器、
PFF（Point From Focus）、WLI（白光干涉仪），可
分析表面形状及截面形状等。
缺陷检查软件DDPAK-QV
缺陷检查软件DDPAK-QV， 可在尺寸测量的基础上
轻松增加灰尘、 毛刺、 缺损等缺陷检查功能。 可
检出以往的尺寸测量所无法掌控的产品缺陷。
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ELECTRONIC PARTS
喷淋头孔异物检查
7
8
聚焦
物镜
聚焦
工件的表面
Z轴跟踪自动
利用STREAM功能进行无停顿测量的示例
Z轴追踪高效率测量示例
APPLICATION
Quick Vision Pro的高通量测量适用于半导体封装FO-PLP的RDL工序中的位置信息测量。 此
外，丰富的IO软件（选件）可轻松构建自动化，如使用SCARA机器人自动搬运工件。
Quick Vision Pro利用新开发的StrobeSnap功能，可高速、高效完成边缘检测。 此外，通过TAF
(Tracking Auto Focus)功能，还实现跟踪自动边缘，对垂直方向波动的边缘进行高速测量。
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理想位置 角度偏差量θ
实际位置
Y方向位置偏差
X方向位置偏差
贴片机
FO-PLP
冲模位置信息
半导体制造装置
设计值比对示例
EV车用电机铁芯的轮廓形状测量
9
微细3D形状尺寸测量示例
医疗设备部件测量示例
Quick Vision利用PFF、WLI、CPS等丰富的传感技
术，可获得微细形状的2D、3D尺寸。 例如，在
多层基板的测量中， 测量配线的线宽和线距、
过孔直径、 表面粗糙度时， 可使用白光干涉仪
WLI通过3D形状进行测量和分析。
小尺寸的医疗部件测量时需要可靠性。 而Quick Vision Pro凭借着丰富多选的物
镜，可对医疗部件中细微的工件发挥出色的测量效果。 此外，对于以往使用接触式测量
仪难以测量的微细轮廓形状， 也可利用PFF、CPS（非接触位移传感器）通过图像对比进
行3D测量。
倒装芯片IC组件基板
内窥镜部件
医疗钳子
利用PFF进行3D形状测量
过孔直径测量 铜线的线宽和线距测量 3D粗糙度测量
Core substrate 核心衬底
芯片 铜线
电介质
焊球
焊料抗蚀剂
10
丰富的功能实现多种测量
QUICK VISION Pro 高水平集成了 Mitutoyo 多年来开发的测量技术。 通过结合标
准物镜、特殊软件 (QVPAK) 和各种可选传感器， QUICK VISION Pro 拥有了更为广
泛的功能，以支持各种测量。 在满足测量环境日益增长的需求的同时，其功能
也将继续不断的改进，以强有力地支持解决任何挑战。
4 通过白光干涉获取3D形状的细微数据
白光干涉仪
利用与工件之间产生的白光干涉，可实现细微领域
的表面分析（粗糙度等）以及形状（数微米的不规
则）的高精度3D测量。
3 支持非接触式测量坡度大的工件和透明体
色差点传感器
1 StrobeSnap
在PC画面上显示光学镜头捕获到的放大影像。 可利用边缘检测及自动对焦等多
种功能测量尺寸（所有机型通用）。
利用白色光源的焦距差， 可测量坡度大的工件。 此外， 通过同时检测工件2点的表
面高度，还可测量薄形透明体的厚度。
2 在不移动立体工件的状态下进行测量
触发式测头
与触发式测头组合使用时， 可在不旋转工件的状态下
以任意高度测量侧面， 还可对以往难以应对的立体工
件进行测量。
TECHNOLOGY
11
聚焦
物镜
聚焦
工件的表面
Z轴跟踪自动
2
1
4
简化测量工序
QV分度台
通过旋转工件，准备1次即可自动多面测量。
适用于所有工件形状
跟踪自动对焦（TAF）
通过物镜的激光照射自动对焦。 根据工件形状自动追踪焦点，可节省
对焦作业，提高测量效率。
5 根据多个截面影像测量3D形状
PFF(Point From Focus)
升高物镜位置后扫描工件，通过从不同高度的
多个截面影像（影像对比）得到的信息获取3D
形状数据。
3 5
高速非接触式测量微小阶差和曲面形状
激光位移传感器
采用不易受工件颜色等影响的激光对焦方式。 通过传
感器扫描工件，非接触式获取其表面的形状数据。
12
Quick Vision Pro 实现高通量测量的核心功能
StrobeSnap
跟踪对焦（TAF）
STREAM功能（选件）
高性能影像自动对焦
Quick Vision Pro的影像自动对焦可在各种条件下进行高精度、 高速度的高度测量， 无论是镜面还是粗糙面， 如机械加工面、
塑料成型品等。 影像自动对焦速度也比以往机型提高了约30%。
对于工件的高度变化， 可利用激光进行瞬时Z轴跟踪。 通过StrobeSnap及STREAM功能可进一步提高效果， 大大提升测量
效率。
STREAM功能通过主体驱动与频闪照明同步的无停顿测量，实现令人惊异的高效率。
在以下测量示意图所示的连续要素测量中，测量时间比StrobeSnap更短。
Quick Vision Pro（包括HYPER机）可通过选件升级STREAM功能。
Quick Vision Pro对观察单元、照明单元进行了改良，将测量效率以往提高了约40%。 此外，通过两种模式的测量编程，对各
类测量样品均可实现高效率测量。 利用TAF及高速影像自动对焦， 即使是有高度变化的测量样品， 也能实现令人惊异的高
效率。
Quick Vision Pro所有机型均搭载了频闪照明，通过新开发的影像测量功能“StrobeSnap”，同时实现了高通量测量和高精度测
量。 无论测量位置是否有连续性，对于大多数测量样品，测量时间可以缩短约35～45％。 此外，工件测量程序兼容性高，
简单操作即可创建高速测量的工件测量程序。
IC组件
图案对焦
即使是电子半导体部件中广泛应用的玻璃表面、薄膜表面、镜面加
工等对比度很低的表面，也可通过投射光路内配置的图案进行自动
对焦。
多点自动对焦
多点自动对焦可任意设定多个对焦位置和大小、 角度。 1次调焦动
作可获得多个点的高度信息，实现高效的高度测量及平面度测量。
以往的
测量
测量时间
StrobeSnap
缩短
约35
～45％
以往的
测量
测量时间
STREAM
功能
缩短
约80％
以往的
测量
测量时间
QV-Pro
缩短
约30％
高度不定的
测量位置
薄且易变形的形状
在XY=0.2mm间距，626个
视野0.62×0.47mm的
条件下测量
STREAM测量 36秒
※使用本公司演示工件
与旧规格相比较
※使用本公司演示工件
与旧规格相比较
※使用本公司演示工件
与旧规格相比较
测量示意图
测量示意图
测量示意图
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NEW
NEW
NEW
13
垂直反射照明
程控环形照明
透射照明
载物玻璃
※彩色LED照明机型的示意图。
高性能照明装置
· Quick Vision Pro的透射、垂直反射、程控环形照明均采用LED光源。
·照明均匀性高度统一，多台QV之间可共用同一工件测量程序。
·LED光源的响应性优异，提高了测量效率。
·与卤素光源相比寿命长， 照明强度变动小， 大幅地降低了照明强度变化导致的
错误。
垂直反射照明 程控环形照明 透射照明
程控环形照明(PRL)
白色LED照明 / 彩色LED照明
通过变更2个曲面反射镜的位置， 可在30°～80°范围内随意
设定环形照明的照射角度， 从而有效增强倾斜面及细微阶
差的边缘。
PRL照明可单独设定前后左右的光量， 并可根据测量部位进
行多种照明设置。
Quick Vision Pro可选择白色LED照明或彩色LED照明作为反射照明及环形照明。 彩色LED机型通过
改变照射光的颜色，可以增强边缘对比度。
程控电动转塔
Quick Vision Pro的程控电动转塔具有出色的倍率再现性，
适用于高精度测量。标准规格为1X、2X、6X三档可变倍
率※1
。可与0.5倍至25倍的多种物镜相组合，选择最适合
测量工件的光学系统。物镜也可在购入主体后另购。
※1：定制规格也可变更为1X、2X、4X三档或1X、2X、4X、6X四档可
变倍率。
使用QV-HR1X时
使用QV-HR10X时
转塔6x 视场1.04×0.78 mm
转塔6x 视场0.10×0.07 mm
转塔1x 视场6.27×4.70 mm
转塔1x 视场0.62×0.47 mm
转塔2x 视场3.13×2.35 mm
转塔2x 视场0.31×0.23 mm
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利用模拟彩色影像显示功能，可以从RGB各个照射图像生成颜色再现性高的彩色观察图像。
NEW
14
适用于高精度测量的结构
搭载温度补偿功能
主体的基本结构采用固定桥式Y形工作台移动型结构。
该结构的各轴移动对结构变形影响很小， 因此不易产生空间坐标的偏移， 可实现高精度测
量。 （ACCEL除外）
Quick Vision Pro所有机型均搭载了温度补偿功能。
APEX 手动温度补偿 通过软件输入
HYPER 自动温度补偿 通过XYZ各轴标尺和工件温度传感器实时自动输入
精度保证温度 ①20±2℃ ②19～24℃ 在大范围温度条件下可保证精度。
还符合ISO10360-7:2011 JIS B 7440-7:2015 标准（选件）
满足ISO10360-7 / JIS B 7440-7的精度保证。
无论是影像测量还是触发式测头测量，均可放心测量包含高度的空间位置尺寸。
对应机型请参阅各机型的规格P.17～21。
精度保证值包含检查不确定度的MPE标记
QV APEX Pro / QV HYPER Pro
QVTP APEX Pro / QVTP HYPER Pro
QVH4 APEX Pro / QVH4 HYPER Pro
精度保证项目
·长度测量误差 EU,MPE
·探测误差 PF2D,MPE
什么是真正的溯源性
使用严格符合国家标准的基准器
为获得客户的信赖，需要具备可溯源到国家标准的测量水平。
·三丰拥有严格符合日本国家标准的长度基准器，通过测量设备的
校准所使用的基准器进行校准，建立并维持着各种测量设备的溯
源性。
·本公司的校正部门通过ILAC的MRA（互认协议）获得了国际公认
的认证机构IAJapan的JCSS认证， 被认为具有与海外的校正机构
同等的测量技术能力。
三丰计量标准校准课【JCSS认证企业 No.0067】
基准频率振荡器（用作光频梳装置的基准器）
国立研究开发法人 产业技术综合研究所 计量标准综合中心【NMIJ/AIST】
与世界标准时间同步的原子钟
三丰计量标准校准课【JCSS认证企业 No.0067】
633nm碘分子饱和吸收稳频He-Ne激光器
宇都宫校准中心【JCSS认证企业 No.0031】
实用型633nm波长稳定He-Ne激光器
国家标准
二级标准
实用标准
※右图介绍了影像测量机溯源性的概略。
基准尺
影像测量机
温度补偿传感器
长度测量误差EU,MPE
15
高精度
0.25μm
0.8μm
1.5μm
触发式测头
TP20、TP200
QVTP
Li-H
测头
QVH1
非接触式位移传感器
CPS
测头
QVH4
白光干涉透镜
QV WLI
大型
丰富的产品线和系统。
扩大测量用途，促进各行各业的品质管理。
Quick Vision Pro 具有广泛的测量范围和对应不同需求的测量精度。
适用于医疗、汽车、电子和半导体等多个产业的品质管理。
此外，以通过光学镜头放大测量对象的影像测量系统为主，使用非接触式传感器、触发式测头
及白光干涉仪等多种传感器组合，进一步扩大了测量的应用范围。
LINE-UP
16
高精度
●标配 StrobeSnap 功能， 是可进行高速测量的 Quick
Vision的升级机型。
●配备可瞬间对焦工件的跟踪自动对焦装置的机型，
可大幅提高测量效率。
QV APEX Pro
●可配备成STREAM功能，通过XY主体驱动与频闪照
明同步，在不关停工作台的状态下进行无停顿影像
测量，大大缩短测量时间。
QV Apex 302 Pro
CNC影像测量机 Quick Vision
彩色LED
标志含义
配备
彩色LED
可特殊定制
彩色LED
无法组合
白色LED 彩色LED B&W相机 频闪 STREAM TAF TP Type4 PFF WLI
名称 QV APEX 302 Pro QV APEX 404 Pro QV APEX 606 Pro
货号 363-601 363-603 363-602 363-604 363-611 363-613 363-612 363-614 363-621 363-623 363-622 363-624
型号 QV-X302P1L-E QV-X302T1L-E QVX302P1C-E
QVX302T1C-E QV-X404P1L-E QV-X404T1L-E QVX404P1C-E
QVX404T1C-E QV-X606P1L-E QV-X606T1L-E QVX606P1C-E
QVX606T1C-E
测量范围 [mm] 300×200×200 400×400×250 600×650×250
观察装置※1 程控电动转塔 1X, 2X, 6X系列
跟踪自动对焦装置 — √ — √ — √ — √ — √ — √
照明装置
透射照明 白色LED
垂直反射照明 白色LED 彩色LED 白色LED 彩色LED 白色LED 彩色LED
程控环形照明 白色LED 彩色LED 白色LED 彩色LED 白色LED 彩色LED
光栅尺分辨力 [µm] 0.1
影像测量精度
[µm]
EUX/EUY,MPE （1.5+3L/1000）
EUXY,MPE （2.0+4L/1000）
EUZ, MPE （1.5+4L/1000）
激光自动对焦重复精度 [µm] — σ≤0.8 — σ≤0.8 — σ≤0.8 — σ≤0.8 — σ≤0.8 — σ≤0.8
温度补偿功能 手动温度补偿
触发式侧头(可选) 可追加雷尼绍TP200或TP20触发式测头，详细请咨询三丰营业部
TP测量精度※2 E1X, E1Y, E1Z (1.8+3L/1000) µm
※1 支持程控电动转塔1X-2X-4X机型及1X-2X-4X-6X机型可接受特殊定制
※2 按照本公司检查方法。
Type1
17
符合ISO标准
ISO
18
QV Hyper 302 Pro
彩色LED B&W相机 频闪
高精度CNC影像测量机
QV HYPER Pro
●配备高分辨力、高精度标尺的高精度机型。
●配备可瞬间对焦工件的跟踪自动对焦装置的机型，
可大幅提高测量效率。
●可配备STREAM功能，通过XY主体驱动与频闪照明
同步，在不关停工作台的状态下进行无停顿影像测
量，大大缩短测量时间。
●备有高通用性的白色LED照明机型和边缘检测能力
更强的RGB彩色LED照明机型。
●标配有使用测量机主机温度传感器和工件温度传感
器的自动温度补偿功能。
白色LED STREAM TAF TP Type4 PFF
名称 QV HYPER 302 Pro QV HYPER 404 Pro QV HYPER 606 Pro
货号 363-605 363-607 363-606 363-608 363-615 363-617 363-616 363-618 363-625 363-627 363-626 363-628
型号 QV-H302P1L-E QV-H302T1L-E QVH302P1C-E
QVH302T1C-E QV-H404P1L-E QV-H404T1L-E QVH404P1C-E
QVH404T1C-E QV-H606P1L-E QV-H606T1L-E QVH606P1C-E
QVH606T1C-E
测量范围 [mm] 300×200×200 400×400×250 600×650×250
观察装置※1 程控电动转塔 1X, 2X, 6X系列
跟踪自动对焦装置 — √ — √ — √ — √ — √ — √
照明装置
透射照明 白色LED
垂直反射照明 白色LED 彩色LED 白色LED 彩色LED 白色LED 彩色LED
程控环形照明 白色LED 彩色LED 白色LED 彩色LED 白色LED 彩色LED
光栅尺分辨力 [µm] 0.02
影像测量精度
[µm]
EUX/EUY,MPE （0.8+2L/1000）
EUXY,MPE （1.4+3L/1000）
EUZ, MPE （1.5+2L/1000）
激光自动对焦重复精度 [µm] — σ≤0.8 — σ≤0.8 — σ≤0.8 — σ≤0.8 — σ≤0.8 — σ≤0.8
温度补偿功能 自动温度补偿
触发式侧头(可选) 可追加雷尼绍TP200或TP20触发式测头，详细请咨询三丰营业部
TP测量精度※2 E1X, E1Y, E1Z (1.8+3L/1000) µm
※1 支持程控电动转塔1X-2X-4X机型及1X-2X-4X-6X机型可接受特殊定制
※2 按照本公司检查方法。
Type1 WLI 符合ISO标准
ISO
●配备非接触式位移传感器，可利用扫描功能测量细微阶差和3D形状
的复合型测量机。
●配备波长共焦方式的非接触位移传感器（色差点传感器）。
●位移传感器采用LED光源，利用自动调光功能，即便是反射率不同
的材质也可进行连续测量。
QVH4 Pro
QVH4 HYPER 606 Pro
搭载非接触式位移传感器的CNC影像测量机
白色LED B&W相机 频闪 TAF TP Type1 Type4 PFF WLI
名称 QVH4 APEX 302 Pro QVH4 APEX 404 Pro QVH4 APEX 606 Pro
货号 365-601 365-611 365-621
型号 QVH4A-X302P1L-E QVH4A-X404P1L-E QVH4A-X606P1L-E
主机部分 尺寸、质量
测量范围 [mm]
影像 300×200×200 400×400×250 600×650×250
影像、非接触式位移传感器
通用 176×200×200 276×400×250 476×650×250
观察装置※1 程控电动转塔 1X-2X-6X
照明装置
透射照明 白色LED
垂直反射照明 白色LED
程控环形照明 白色LED
光栅尺分辨力 [µm] 0.1
影像测量精度
[µm]
EUX/EUY,MPE （1.5+3L/1000）
EUXY,MPE （2.0+4L/1000）
EUZ, MPE （1.5+4L/1000）
位移传感器
测量精度[µm]※2 E1Z （1.5+4L/1000）
温度补偿功能 手动温度补偿
※1 支持程控电动转塔1X-2X-4X机型及1X-2X-4X-6X机型可接受定制 ※2 按照本公司检查方法。
名称 QVH4 HYPER 302 Pro QVH4 HYPER 404 Pro QVH4 HYPER 606 Pro
货号 365-605 365-615 365-625
型号 QVH4A-H302P1L-E QVH4A-H404P1L-E QVH4A-H606P1L-E
光栅尺分辨力 [µm] 0.02
影像测量精度
[µm]
EUX/EUY,MPE （0.8+2L/1000）
EUXY,MPE （1.4+3L/1000）
EUZ, MPE （1.5+2L/1000）
位移传感器
测量精度[µm]※1 E1Z （1.5+2L/1000）
温度补偿功能 自动温度补偿
其他规格与QVH4 Apex Pro相同。
※1 按照本公司检查方法。
符合ISO标准
ISO
彩色LED STREAM
19
分光器
分光器
针孔
针孔
白色光源
色差透镜
测量工件表面 λk
λk
λn
λ1
线性传感器
旋转网格
工件高度变化后
峰值位置发生变化
λ1 λk λn
h₂
Ⅰ
λ
距离 - 尺寸
角度 - 尺寸
角度 - 尺寸
名称 QVH1 302 QVH1 404 QVH1 606 QVH1 302 QVH1 404 QVH1 606
Apex Hyper
标准机型 QVH1-X302P1L-D QVH1-X404P1L-D QVH1A-X606P1L-D QVH1-H302P1L-D QVH1-H404P1L-D QVH1-H606P1L-D
测量范围 [mm] 影像 300×200×200 400×400×250 600×650×250 与Apex相同
影像位移传感器通用 180×200×200 280×400×250 480×650×250 与Apex相同
观察装置※1 程控电动转塔 1X - 2X - 6X
照明装置
透射照明
垂直反射照明 白色LED
程控环形照明
光栅尺分辨力 [µm] 0.1 0.02
影像测量精度
[µm]※2
E1X,E1Y （1.5+3L/1000） （0.8+2L/1000）
E1Z （1.5+4L/1000） （1.5+2L/1000）
E2XY （2.0+4L/1000） （1.4+3L/1000）
位移传感器
测量精度[µm] E1Z （1.5+4L/1000） （1.5+2L/1000）
※1 支持程控电动转塔1X-2X-4X机型及1X-2X-4X-6X机型可接受定制 ※2 按照本公司检查方法。
QV HYBRID TYPE1
●配备非接触式位移传感器， 可利用扫描功能
测量细微阶差和3D形状的复合型测量机。
●位移传感器的检测方法采用双针孔测量原
理。 与刀口法和三角测量法相比具有激光线
束方向性小的特点。
●激光光斑直径只有约2 μm， 可测量细微
形状。 QV Hybrid Type1 Apex 404
搭载非接触式位移传感器的CNC影像测量机
白色LED B&W相机 彩色相机 STREAM TAF TP Type1 Type4 PFF WLI 符合ISO标准
ISO
彩色LED
20
半导体激光
物镜
发光二极管 B
分光镜
准直透镜
针孔（竖针）
针孔（横针）
发光二极管 A
光栅尺
&
物镜驱动部
Hyper QVWLI
●Hyper QVWLI是QV配备白光干涉仪的复合型高精度3D测量
系统。
●可根据WLI光学系统获取的3D数据进行三维表面形状分析/
三维粗糙度分析。
还可根据3D数据， 进行指定高度的尺寸测量和截面形状
测量。
名称 Hyper QVWLI 302 Hyper QVWLI 404 Hyper QVWLI 606
标准机型 QVW-H302P1L-D QVW-H404P1L-D QVW-H606P1L-D
测量范围 [mm] 影像测量 300×200×190 400×400×240 600×650×220
WLI测量 215×200×190 315×400×240 515×650×220
观察装置※1 程控电动转塔 1X - 2X - 6X
照明装置
透射照明 白色LED
垂直反射照明 白色LED
程控环形照明 白色LED
WLI光学测头 卤素
光栅尺分辨力 [µm] 0.01
影像测量精度
[µm]※2
E1X,E1Y （0.8+2L/1000）
E1Z （1.5+2L/1000）
E2XY （1.4+3L/1000）
精度保证光学条件 2.5倍物镜（QV-HR2.5X 或 QV-SL2.5X）＋中倍镜筒透镜
WLI Z轴最大测量范围 QVWLI A-5X, QVWLI A-10X: 6.3 mm, QVWLI A-25X: 3.2 mm, QVWLI A-50X: 1.0 mm
WLI Z轴重复精度 [µm]※2 2σ≤0.08
※1 支持程控电动转塔1X-2X-4X机型及1X-2X-4X-6X机型可接受定制 ※2 按照本公司检查方法。
非接触3D测量机
Hyper QVWLI 606
白色LED 彩色相机 STREAM TAF TP Type1 Type4 PFF WLI 符合ISO标准
ISO
分光镜
干涉物镜
白色光
CCD 相机
参照镜
分光镜
工件 工件
WLI光学测头 干涉条纹和强度示意图
彩色LED B&W相机 Z轴扫描 干涉条纹
QV ACCEL
●主体采用移动桥式结构，用于测量大型工件的影像测量机。
●移动桥式结构不移动工作台， 因此简化了工件的固定方法， 适合测
量轻薄短小的工件。
● QV ACCEL 1212（测量范围:1250×1250×100 mm）、QV ACCEL
1517（测量范围:1500×1750×100 mm）可接受定制。 QV ACCEL 808
名称 QV ACCEL 808 QV ACCEL 1010
标准机型 QV-A808P1L-D QV-A1010P1L-D
测量范围 [mm] 800×800×150 1000×1000×150
观察装置※1 程控电动转塔 1X - 2X - 6X
照明装置
透射照明 白色LED
垂直反射照明 白色LED
程控环形照明 白色LED
光栅尺分辨力 [µm] 0.1
影像测量精度
[µm]※2
E1X,E1Y （1.5+3L/1000）
E1Z （1.5+4L/1000）
E2XY （2.5+4L/1000）
重复精度
[µm]※2
短尺寸 XY轴 3σ≤0.2
长尺寸 3σ≤0.7
※1 支持程控电动转塔1X-2X-4X机型及1X-2X-4X-6X机型可接受定制 ※2 按照本公司检查方法。 短尺寸＝在一个画面内重复、长尺寸＝在移动的同时重复
CNC影像测量机
白色LED 彩色相机 STREAM TAF TP Type1 Type4 PFF WLI 符合ISO标准
ISO
彩色LED B&W相机
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ULTRA QV
●实现测量精度E1XY（0.25+2L/1000）μm的高精度CNC影像测量机。
●X、Y、Z各轴采用本公司开发的高分辨力（0.01 μm）、 高精度的
低热膨胀玻璃标尺。
●Y轴采用高刚性固定桥式移动工作台设计， 底座采用具热稳定性强
的岩石平板。
名称 ULTRA QV 404
标准机型 QV-U404P1N-D QV-U404T1N-D
测量范围 [mm] 400×400×200
观察装置※1 程控电动转塔 1X - 2X - 6X
跟踪自动对焦装置 — √
照明装置
透射照明 卤素
垂直反射照明 卤素
程控环形照明 卤素
光栅尺分辨力 [µm] 0.01
影像测量精度
[µm]※2
E1X,E1Y （0.25+L/1000）
E1Z（50 mm行程） （1.0+2L/1000）
E1Z（全行程） （1.5+2L/1000）
E2XY （0.5+2L/1000）
激光自动对焦重复精度 [µm] — σ≤0.8
※1 支持程控电动转塔1X-2X-4X机型及1X-2X-4X-6X机型可接受定制 ※2 按照本公司检查方法。
ULTRA QV 404
高精度CNC影像测量机
卤素 彩色相机 STREAM TAF Type1 Type4 PFF WLI 符合ISO标准
ISO
彩色LED B&W相机 TP
QV物镜
注）根据镜头的不同，功能的使用可能会受限。
详情请联系三丰公司
物镜 QV-SL0.5X※ QV-HR1X QV-SL1X QV-HR2.5X QV-SL2.5X QV-HR5X QV-5X QV-HR10X※ QV-10X※ QV-25X※
货号 02AKT199 02AKT250 02ALA150 02AKT300 02ALA170 02AWD010 02ALA420 02AKT650 02ALG010 02ALG020
PFF对应物镜套装 — — — 02AKX895B — 02AXA915B 02AKX900B 02AKX905B — 02AKX910B
工作距离 [mm] 30.5 40.6 52.5 40.6 60.0 20.0 33.5 20.0 30.5 13.0
视场(H) mmx(V) mm
转塔1X 12.54x9.4 6.27x4.7 2.49x1.86 1.24x0.93 0.62x0.47 0.25x0.18
转塔2X 6.27x4.7 3.13x2.35 1.24x0.93 0.62x0.47 0.31x0.23 0.12x0.09
转塔6X 2.09x1.56 1.04x0.78 0.41x0.31 0.20x0.15 0.10x0.07 0.04x0.03
※使用物镜QV-SL0.5X、QV-HR10X、QV-10X、QV-25X时，根据不同的工件，可能会发生亮度不足等部分限制。
显示器倍率※1 15X 29X 58X 72X 87X 144X 173X 290X 430X 580X 720X 870X 1440X 1730X 4300X
视场[mm] 12.54x9.40 6.27x4.70 3.13x2.35 2.49x1.86 2.09x1.56 1.24x0.93 1.04x0.78 0.62x0.47 0.41x0.31 0.31x0.23 0.25x0.18 0.20x0.15 0.12x0.09 0.10x0.07 0.04x0.03
物镜0.5倍 ● ● ●
物镜1倍 ● ● ●
物镜2.5倍 ● ● ●
物镜5倍 ● ● ●
物镜10倍※2 ● ● ●
物镜25倍※2 ● ● ●
※1 显示器倍率为使用22英寸宽屏液晶显示器时等倍显示的参考值。 QVPAK Ver10以上版本可变更视频窗口的尺寸。
※2 物镜10倍、物镜25倍与电动转塔2X及6X组合使用时，对于不同的工件可能会发生亮度不足的情况。
校准片&QV补偿片
校准片
用于摄像元件的像素尺寸补偿和倍率装置PPT
在各倍率时的自动对焦精度和光轴偏移补偿。
注）根据镜头的不同，功能的使用可能会受限。
详情请联系三丰公司
QV补偿片
用于补偿光学系统的屏幕显示失真的“屏幕内补偿”和减少
工件因图案和纹理等不同所产生的自动对焦偏差的“自动对
焦补偿”的玻璃片。
OPTION
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功能与操作性完美结合的
应用软件
在高性能图像测量功能的基础上，还备有非接触式位移传感器
的形状分析及测量程序的自动生成等丰富的应用软件。 可以
解决用户从简单到复杂测量中的测量难题。
SOFTWARE
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双区域对比度工具 亮度工具
1 单击工具
选择测量项目（圆、 线等）之后， 只需一键单击
要测量的边缘， 即可实现不依赖于熟练度的高精
度测量。
此外， 异常点去除功能可自动排除毛刺和灰尘等
的影响。
3 多点自动对焦
可细化自动对焦工具， 按照任意的大小、 位置、
角度配置多个自动对焦工具。
2 AI照明工具
备有创建步骤时可将光量调整成双区 域对比度
工具和创建程序时自动补偿光量的亮度 工具。
可在重复测量期间稳定光强度， 提高边缘检测的
再现性，减少光量变化引起的边缘检测错误。
除了可使用在测量结果的报告中外，
还可通过用鼠标选择图形， 进行要
素之间的运算以及 PCD 测量等高级
运算。
此外， 有效地使用图形功能， 不仅
可轻松编辑工件测量程序， 还有助
于确认当前的工件坐标系以及检查是
否有测量遗漏。
4 QV图形 NEW
丰富的测量功能
QV Easy编辑器可以详细记录操作员的操作，从而轻松进行编辑。
此外，程序列表会显示错误图标，可快速查看需纠正处。
标配了根据QVPAK的测量结果制作报告的功能。
可直接输出为PDF文件，制作如医疗部品等对可靠性要求高的报告。
5 QV Easy编辑器 6 MiCAT Reporter NEW
边缘检测错误图标
公差超限判定图标
要素测量错误图标
1
2
4
3
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设计值比对示例
利用QVH4的丙烯酸透镜阵列测量示例
利用PFF获取的SMD端子高度测量示例
利用PFF的模具部件
测量示例
MCubeMap
3 D 表面形状分析软件
可根据QVWLI获取的3D数据， 依照JIS B681-2:2018(ISO25178-6:2010)标准进行Sa、
Sq等高度参数以及与空间、复合、功能相关的三维粗糙度参数的分析。
此外，还可根据QV Hybrid获取的3D数据进行2D形状及体积计算等。
FORMTRACEPAK-AP
形状评定·分析软件
通过HQVWLI测量印刷电路板的线宽、线距及导体厚
度的示例
根据QV的跟踪自动工具、非接触式位移传感器、HQVWLI、PFF获得的形状数据，可进行设计值比对和形状分析。
轮廓比对功能
·生成设计数据
CAD数据转换、标准工件转换、函数指定、文本文件转换、
非球面设计值生成
·设计值比对
法线方向比对、轴方向比对、拟合比对
细微形状分析
·分析项目 ： 点测量、线测量、圆测量、距离测量、交点测量、角度测量、原点
设定、轴旋转
·演算项目 ： 最大值、最小值、平均值、标准偏差、面积
报告制作功能
·测量结果、误差线图、误差展开图
其他功能
·分析步骤的记录/执行
·外部输出功能
CSV格式输出、文本输出、DXF/IGES格式输出
FORMTRACEPAK-PRO
形状评定·分析软件
可根据QVWLI获取的3D数据进行3D表面粗糙度、表面形状分析。
此外，还可对PFF、QV Hybrid的非接触式位移传感器所获取的3D形状进行显示分析。
主要功能
·三维显示
线框、明暗、等高线、等高线填充
·趋势补偿、滤波处理
基于平面、球面、圆柱面、多面体的趋势补偿
每个轮廓的一维数字滤波、二维数字滤波
·丰富的表面性状的数值化、数字化
可通过相对负荷曲线、面积分布曲线对磨损和积油区域进行评估。
可进行光谱分析、截面积和体积分析，求出波峰及波谷的倾斜角和谷数的柱状
表格。
·基于测量数据的特征提取功能
可进行任意截面的提取、坡度增强，并且同步分析截断面的波峰波谷。
OPTION SOFTWARE
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MSURF-I
可将QV Hybrid及QVWLI、PFF等获取的3D形状数据与3D CAD模
型等设计数据进行比对。
※MSURF-I的分析还需配置PC。
EASYPAG-PRO
脱机示教软件
可使用 2D CAD 模型脱机生成 QVPAK 的工件测量
程序。
可减少创建工件测量程序所需的工时，从而缩短交付
周期。
DXF IGES Gerber 数据
脱机示教操作画面
QV3DPAK
QV3DPAK是通过PFF(Point From Focus)及WLI(白光干涉仪）生成三
维形状的软件。
测量点与线的距离
QV3DCAD
可使用3D CAD模型生成QVPAK的工件测量程序。
最新版本支持与QV系统同步， 在查看实际工件的同时进行教学
的在线模式、 和可使用未连接主机的计算机生成工件测量程序
的脱机模式。
脱机示教模式
在线教学模式
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从状态管理到预防维护，
实现以“可视化”为起点的智能工厂。
三丰实现了通过网络集中管理制造工序信息的功能。 MeasurLink 通过实时收集和分析测量机的数据来
预测不良品的发生。 还通过显示测量机运行状态的 Status Monitor（SMS:Smart Measuring System）提高
客户的生产效率。
QV Eio
具体化落实智能工厂的 I O 应用
QV Eio-PLC 对应事例
QV用PC
QV主体
定位夹具
QVPAK
QV Eio-PLC
测量机QV
测量启动指令 etc.
测量结果判断 etc. 控制用PLC
搬运机器人
仓库
操作盘
紧急停止电路
安全栏
SMART FACTORY
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Status Monitor 状态监视器 MeasurLink 测量数据网络系统
可远程监测测量机的运行状况 通过“品质可视化”减少不良品发生
●实现运行状况的数据收集和可视化
●支持MT Connect通信
服务器
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损伤
兼具缺陷检查和高精度测量功能的
Quick Vision系列用软件“DDPAK-QV”
DDPAK-QV 是 Quick Vision 用的缺陷检查软件。
在测量时使用， 可同时进行灰尘、 毛刺、 缺损等
缺陷检查和高精度的非接触测量。
缺陷检查 高精度测量
凹陷
毛刺
缺损
异物
INSPECTION
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■缺陷检测示例
玻璃的瘪痕
DDPAK-QV
CNC 影像测量机 Quick Vision 用
缺陷检查软件
■特点
●通过构建将Quick Vision系列获取到的图像数据无缝衔接式传输到DDPAK-QV的缺陷检查系统，可以输出缺陷的坐标位置数据并自动保存图像。
●可以测量缺陷尺寸并分析形状。 通过分析缺陷的坐标位置和尺寸、深度及高度等数值，可以用于分析缺陷原因并为预防缺陷发生、改善生产工序作出贡献。
●客户正在使用的Quick Vision也可追加缺陷检查软件DDPAK-QV。 通过添加检查功能，可以扩大现有Quick Vision的应用范围。
喷淋头孔异物检查 检测到的缺陷的图像显示为红色。 刀具崩刃
玻璃缺损 电子元件的印刷渗色
有异物混入孔内 镜面划痕
※DDPAK-QV为定制产品。 适用的工件及缺陷请另行咨询。
30
三坐标测量机
传感器系统
影像测量机
试验设备
形状测量机
测长装置
光学仪器
小量具和数据管理系统
135 2111(2)B-(AK-AK)PG, 中国印刷
Mitutoyo Corporation
1-20-1
(044)813-8230
(044)813-8231
(
)
