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飞纳Phenom™

台式扫描电子显微镜

聚焦台式電鏡·致力電鏡普及

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公司介绍

复纳科学仪器（上海)有限公司成立于2012年，在专注飞纳电镜业务的基础上，为高校、研究所、企业和政府客户提供智能、高效、可靠的实验室科学仪器及解决方案。聚焦台式电镜，致力电镜普及，无论是市场份额，还是产品技术，飞纳电镜一直是台式电镜的领跑者，全球有5000+用户，在中国已有2500+用户。

引入欧美高科技仪器

Technoorg Linda 制样设备

ICSPI 原子力显微镜

DENSsolutions TEM原位样品杆

NEOSCAN X 射线显微成像

VSParticle 全自动纳米沉积平台

Forge Nano 粉末原子层沉积系统

Tera Print 无掩膜光刻打印系统

Fastmicro 可视化颗粒检测

CoreDux 半导体专用软管

Confocal.nl 重扫描共聚焦显微镜

LUMICKS 单分子与细胞互作分析系统

合作开发定制化解决方案

与Sioux Technologies合作开发

全自动硅藻检验系统 Diatom AI 等

产品历史介绍- --02
新品速递--- --04
NEW Phenom AI 智能化扫描电镜-- ---06
ChemiSEM 彩色成像技术-- --08
Phenom MAPS 大面积图像拼接 --10
Avizo Trueput 软件 ----- ---11
Phenom AFM-SEM 原子力扫描电镜一体机 --12
产品特点介绍---- --14
01.超高分辨：肖特基场发射电子枪系列- -18
Phenom Pharos STEM 台式扫描透射电镜--- --20
Phenom Pharos G2台式场发射电镜能谱一体机-------------22
Phenom Nano G2 台式场发射电镜能谱一体机------ -------23
02.高性能：CeB6 晶体灯丝 P 系列--- --24
Phenom ProX G7 电镜能谱一体机-- ---26
Phenom Pro G7 高分辨率专业版- ---27
NEW Phenom STEM P 系列 --28
Phenom Pure G7 高性价比版----- ---29
03.大腔室、多功能、自动化平台系列- --30
Phenom XL G3 大仓室自动化扫描电镜-- --32
拉伸台---- --33
真空转移多功能样品杯---- ---33
NEW HydroBolt 原位 SEM 电化学样品台- --34
NEW FireBolt SEM 原位加热&偏压--- ---36
Phenom GSR 枪击残留物分析系统 -38
DiatomAITM自动硅藻检验系统--- --39
Phenom ParticleX 全自动颗粒统计分析系统--- --40
ParticleX Battery 全自动锂电清洁度分析系统- -42
ParticleX Steel 全自动钢铁夹杂物分析系统---- --43
Particle AC全自动汽车清洁度分析系统 -44
04.选配件：飞纳电镜能谱仪- --46
05.Prosuite 软件拓展-- -48
06.制样设备：TECHNOORG LINDA 离子研磨仪--- ---50
售后服务---- ---52
应用案例-- --54
部分用户- --64

产品历史介绍

扫码了解第一台飞纳电镜的诞生

PHENOMWORLD

1948-1997

飞纳电镜源自荷兰飞利浦电子光学部门，1949年，全世界第一台商业化的电镜EM100在PHILIPS实验室制造完成。

2006

FEI发布全球第一台飞纳台式扫描电镜(Phenom Desktop SEM)。首次使用寿命长达1500h、高亮度、低色差的CeB₆晶体灯丝。

荷兰Sioux集团与FEI 公司合资成立了Phenom World 公司，聚焦开发飞纳台式扫描电镜。

2021

2021年7月，飞纳场发射电子源系列发布第二代产品，分辨率优于1.5 nm，放大倍数达到200万倍，全新升级“全面屏”UI界面，性能及操作便捷性均得到大幅提升。

2009

2021

发布 Diatom AI 硅藻全自动 AI识别系统，在公检法，环境监测，地质勘探等领域，解放了操作人员的双手，大幅减少了操作人员寻找目标物的时间。

2020

飞纳CeB₆系列发布第6代产品，全新UI，性能全面升级。二次电子分辨率提升到6nm，能谱面扫分析速度全面提升。以图像为中心的“全面屏”设计理念，首次将扫描电镜、能谱以及配套软件完全集成到同一软件界面，用户操作更加高效、便捷。

2012

Karel Van der Mast 教授带领原飞利浦电镜部门精英们，研发出世界首台电镜能谱一体机Phenom ProX，开创电镜能谱设计新理念，两年热销790台，同年发布3D粗糙度测量等功能性软件。

2020

全面升级的全自动颗粒物及清洁度分析系统Parti-cleX，可对杂质颗粒、金属夹杂物进行自动识别，自动归类，并导出符合ISO等标准要求的报告。专注锂电池杂质，钢铁夹杂物，以及汽车清洁度检测。

云参观飞纳电镜荷兰埃因霍温工厂

2014

飞纳推出大仓室全自动显微镜Phenom XL，样品仓尺寸100mm×100mm，可选配二次电子探测器，同时推出孔径统计分析测量系统。

2018

把复杂的设计交给飞纳，将极致的体验留给客户。历时6年的研发，飞纳为中国用户呈现全球第一台台式场发射扫描电镜PhenomLE，采用肖特基场发射电子枪，分辨率优于2.5nm，放大倍数达到50万倍。

2023年飞纳电镜发布全球唯一台式场发射扫描透射电镜 Phenom Pharos SEM-STEM!将台式电镜分辨率提升至1nm，BF、DF、HAADF模式快速切换。可实现快速成像、筛选样品，成为生物电镜表征流程的加速器和催化剂。

Pharos SEM-STEM 台式扫描透射电镜

可灵活放置，通过与传统电镜灵活搭配使用，可实现快速成像、筛选样品，成为生物电镜表征流程的加速器和催化剂。由于其操作简便性，也可作为开放自由上机或培训使用。

Phenom Pharos STEM是如何工作的？

2024年飞纳电镜发布一系列最新软件，ChemiSEM彩色成像技术、PhaseMapping相分布软件、MAPS大面积图像拼接软件，Avizo Truput 的电池质量控制和检测的创新型解决方案，引领扫描电镜行业进入智能图像处理时代。

ChemiSEM 彩色成像技术

ChemiPhase 物相分析软件

Phenom MAPS 大面积图像拼接

2024年10月全新发布的AFM-in-Phenom XL 结合了扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)的优势，实现了在同一系统中对样品进行多模态(SEM及AFM形貌、元素、机械、电学、磁学)关联分析。

2025年飞纳电镜重磅推出第三代大仓室自动化扫描电镜Phenom XLG3，以及第七代电镜能谱一体机 Phenom ProX G7、高分辨率专业版 Phenom Pro G7与高性价比标准版 Phenom Pure G7。新一代产品搭载全新开发的高灵敏度背散射探测器(BSD)，即使在2kV的低电压条件下仍具有卓越的成像能力。

同时，灯丝寿命实现重大突破，使用寿命翻倍提升至3000小时，平均5年才需更换一次，大幅降低使用成本并提升系统可靠性。

稳定可靠:80年顶尖技术传承

独家采用CeB6晶体灯丝:3000h超长使用寿命，平均5年换灯丝

面向工业4.0的自动化与AI智能扫描电镜

●内置专利减震系统，可直接放置于生产车间、高楼层QC实验室等

原厂集成能谱EDS:从电子光学设置、图像采集到能谱分析和面分布，都在同一个统一、直观的界面中完成

卓越的低电压成像功能：对于不导电、导电性差、以及电子束敏感样品，不喷金，仍具有卓越的成像能力

机械手自动上样

无需人工干预，高一致性标准操作

数据数字化回传

直接服务机器学习模型优化，助力知识库不断壮大

高稳定性环境适应能力：

摆脱传统电镜昂贵安装条件束缚，办公区，高楼层也可稳定运行

自由编程：

打造私人订制工作流，电镜按照设定的指令自动运行

全流程自动成像与参数调节

全自动对焦、亮度对比度优化、自动移动样品位置，批量成像记录

大幅提高工作效率：

让扫描电镜承担重复的机械拍照和测试工作，减少人为操作的误差

在微观世界探索的征途中，扫描电镜一直是科研工作者们手中的利器。然而，传统的扫描电镜操作模式往往受限于固定的程序和人工操作，效率和精度难以进一步提升。如今，飞纳台式扫描电镜以独特的自由编程(PPI)功能，为微观世界的探索带来了前所未有的自由度和无限可能。

什么是 PPI?

PPI 英文全称为 Phenom ProgrammingInterface,直译就是飞纳电镜编程接口。PPI是操作者与飞纳电镜互动的一个窗口，通过这个窗口研究人员可以编写自己的扫描电镜运行脚本，从而调动电镜为你工作，甚至创建一个独有的解决方案，解放双手，真正做到FreetoAchieve,让扫描电镜更加智能化。

让扫描电镜承担重复的机械拍照和测试工作

飞纳电镜的自由编程功能，就像是为科研人员提供了一把开启微观世界宝藏的“万能钥匙”。用户可以根据自己的研究需求和工作流程，编写专属的程序代码，让电镜按照设定的指令自动运行。

无论是自动拍照、自动调整放大倍数、自动移动样品位置，还是自动保存图像，一切都可以通过编程轻松实现。这不仅大大提高了工作效率，还减少了人为操作的误差，让每一次微观世界的探索都更加精准、高效。把时间留给思考与创新，让扫描电镜承担重复劳作，开启科研与检测的高效新旅程。

10份样品，每个样品选10个区域，每个区域分别拍10000倍、
8000倍、5000倍、2000倍、1000倍、500倍。一键自动拍照全搞定！

•支持一键拍摄所有样品，所有位置，所有放大倍数的电镜照片

• 具备自动亮度对比度调整功能

• 具备自动聚焦功能

• 支持自定义文件夹输入及选择功能

•支持背散射、二次电子以及混合模式的扫描电镜图像采集功能，且具备自动识别探测器功能一根据实时观察模式下的探测器选项自动选择对应的探测器进行成像(包括背散射二次电子混合模式)

ChemiSEM 实时成分定性定量彩色面分布

EDS能谱仪在电镜工作时始终在后台收集成分数据，利用算法同时处理BSE（背散射电子)和EDS信号，从而可以实时显示样品的形态和定量元素分布结果。

扫码了解ChemiSEM 技术

ChemiPhase (Phase Mapping Analysis)

统计分析X射线面扫成像数据，并按照成分组成的特异性进行相的划分，提取出特征相分布。同时具有相归类，计算相比例等功能，非常适用于合金、陶瓷、矿物分析等领域的测试分析。

扫码了解 ChemiPhase

PPI自由编程：

融合了可编程PPI后，飞纳台式扫描电镜已进化成为智能化的测量工具。根据客户的工作流，进行自由编程，如自定义自动拍照（视频）、自动扫描、以及更加完善的工作流。

创建自己的工作流程

集成飞纳电镜于工作环境

○完全可控

创建自己的操作界面

编写自己的操作界面

编写并运行自己的脚本

扫码了解详细信息

EBL 电子束曝光：

可在飞纳电镜中，利用电子束来进行微细图案的曝光和制造,在这个过程中，电子束被聚焦并精确地照射在感光材料表面，制备具有特定形状、尺寸、材料的微纳结构，该技术能够在纳米级别上精确制造复杂图形和结构，可应用于包括微电子、集成电路制造、传感器、生物医学等诸多领域。

Phenom MAPS 系统

该系统像百度地图一样，通过层级的方式，实现对样品的拍摄与数据回看。PhenomMAPS提供的是一个涵盖所有样品信息的数码存档，从全面(宏观)到具体(微观)无所不包，彻底变革了传统扫描电镜的分析与数据存储模式。并且，多图层数据可以包含能谱。

大面积能谱 EDS 拼图实现微观到宏观的全面元素分析

大视野高分辨图像采集

探索全自动的高质量、多尺度成像解决方案

离线数据管理

离线版本方便您随时进行数据处理，并规划下一次成像工作

CISA 多平台数据关联

光谱、拉曼、红外、XPS等通通可以关联，以样品为中心进行数据处理工作

通过地图化的多层级扫描电镜和能谱数据采集及关联系统，为您提供多模态的“上帝视角”，全面掌握显微镜数据，不再错过任何细节。

CISA，关联一切可视化图片

光镜、拉曼、红外、XPS，以及CAD 或手绘草图，均可以关联。通过结合 XPS和 SEM的分析，可以精确地将化学信息与显微镜提供的高分辨率结构信息融合。CISA关联工作流程尤其适用于研究电池、高分子材料、催化剂和金属等样品的材料研究。

下图案例：通过 MAPS CISA，将 SEM 和 XPS 面分布以及全谱分析的功能相结合，分析多孔砂粒子的表面组成和形貌。

Avizo Trueput 软件

专门为电池质控而研发的，为您带来自动化的电池质量控制和检测的创新型解决方案。AvizoTrueput软件可以帮助您缩短QA/QC 检测时间，操作简单:使用飞纳电镜获取图像后，选择自动检测分析方式，一键自动生成您的检测报告，使您可以在生产现场轻松获取可重复的结果。

扫码了解Avizo Trueput 软件

产品参数（SEM）：

灯丝材料	优于 3000 小时 CeB₆ 灯丝
分辨率	优于8nm
电镜放大	最高 200,000 倍
加速电压	基本模式: 2kV, 5kV, 10kV, 15kV 和 20kV；高级模式:4.8 kV - 20.5 kV 连续可调
探测器	背散射电子探测器、二次电子探测器(可选)、能谱探测器(可选)
样品室尺寸	100 mm × 100 mm × 40 mm

产品参数（AFM）：

设备扫描范围(开环)	100μm ×100μm ×20μm
设备扫描范围（闭环）	70 μm ×70μm ×20μm
分辨率	0.2 nm x 0.2 nm x 0.04 nm
最大样品尺寸	40 mm x40 mm ×8 mm

AFM-SEM测量模式

LiteScope AFM兼容赛默飞世尔、TESCAN、蔡司、日立、JEOL等主流品牌SEM系统及其配件，其他品牌电镜亦可定制适配。

形貌特征

• 亚纳米形貌\*

• 表面粗糙度\*

• 局部弹性

• 局部硬度

多模态关联分析

•关联探针电子显微镜

磁性能

• 磁畴成像\*

电机械性能

• 压电畴成像\*

电性能

• 导电性映射\*

• 局部表面电势映射\*

• 局部电性能\*

• 1/V 曲线\*

• F/z曲线

说明:带有\*的模式表示 Phenom AFM-SEM的可用测量模式

材料科学

半导体

纳米结构

生命科学

制样简单，从光镜导航快速切换至SEM图像

制样简单

无需喷金即可观察不导电样品

装样(非 Phenom XL 系列)

载样，抽真空15秒

装样(Phenom XL 系列)

载样，抽真空30秒

相较传统电镜，成像速度提升10倍

让精密仪器无后顾之忧，全球 5000+用户选择

最“老”的电镜，也是最“新”的电镜

● 自动化扫描电镜，让测试效率翻倍

清晰的彩色光学导航点击即可移动至观测区域

快速切换至高倍的 SEM 图像智能操作

界面简洁，智能操作

·自动调焦 ·自动优化亮度与对比度
·调整放大倍数，加速电压等工作条件

·快速切换背散射电子/二次电子探测器；Mix 比例可任意调整

01 超高分辨：肖特基场发射电子枪系列

优秀的低电压成像能力，可减轻电子束对样品的损伤和穿透，最大程度还原样品的真实形貌。延续电镜能谱一体化设计，升级的快速面扫可以即时显示所选元素的分布情况，实时能谱分析功能大幅提升了检测效率。

最大放大200万倍分辨率优于1 nm

1. 分辨率最高的台式电镜

2. 卓越的低电压成像

更好地观测绝缘和电子束敏感产品最大程度还原样品的真实面貌

3. 电镜能谱一体化设计

实时快速面扫和线扫功能实时显示所选元素的分布情况

Phenom Pharos STEM 扫描透射电子显微镜

灯丝类型	肖特基热场发射电子枪
分辨率	优于1nm
系统兼容	Phenom Pharos G2 台式场发射扫描电镜
样品兼容	Φ 3 mm TEM 载网(夹具固定）
成像时间	小于40秒*
成像模式	BF、DF、HAADF、自定义**
系统特点	固定的工作距离，设置最优的探测器，完全集成的UI
真空度	0.1 Pa, 10 Pa 和 60 Pa

\*加载样品到呈现图像的时间

\*\*STEM配备11分割探测器，用户可以对其进行自定义选择

纳米 Au 颗粒

PharosSTEM模式对碳污染具有较高的抵抗能力，使样品的成像和分析过程更加稳定。Pharos STEM配置的各类成像模式，具有高分辨率和优异的信噪比，可提高Au颗粒的信号衬度。

10nm Au 颗粒 STEM 模式 100,000x

碳纳米管

在扫描电镜的SED图中可以直观显示碳纳米管的粗细，以及碳纳米管之间的交织状态。但是在STEM图中，可以看到隐藏在3D结构中的小颗粒，这些颗粒在SEM图中是无法看到的。

碳纳米管的SED图(上)和 STEM图（下

心肌组织超薄切片（来自上海精准医学研究院梁雅坤老师)

血管、血管内皮细胞、红细胞超微结构

心肌细胞内的：心肌纤维、线粒体、脂肪超微结构

通过STEM扫描透射探测器，获得明场、暗场、HAADF成像模式，观察树脂包埋样品超薄切片中的细胞内结构、细胞器或病毒，或对分散到铜网上的外泌体样品进行直接表征。

Phenom Pharos G2 台式场发射电镜能谱一体机

灯丝类型	肖特基热场发射电子枪
分辨率	优于 1.5 nm
光学显微镜	放大 27 - 160 倍
电镜放大	最高 200 万倍
抽真空时间	小于15秒
加速电压	1 kV - 20 kV 连续可调
探测器	背散射电子探测器、二次电子探测器、能谱探测器(可选)
放置环境	完全防震，放置普通实验室、办公室、厂房均可
真空模式	高 - 中 - 低三种
原厂集成能谱探测器	Si3N₄窗口硅漂移探测器（SDD）
不导电样品	无需喷金，直接观察
冷却方式	无液氮 Peltier 效应电制冷
内置智能 UPS	不间断电源适配器

Phenom Nano G2 台式场发射电镜能谱一体机

灯丝类型

肖特基热场发射电子枪

分辨率

优于 2.5 nm

光学显微镜

电镜放大

放大27-160倍

最高 100 万倍

抽真空时间

小于15秒

加速电压

2 kV - 15 kV 连续可调

探测器

背散射电子探测器、二次电子探测器、能谱探测器（可选）

放置环境

完全防震，放置普通实验室、办公室、厂房均可

真空模式

高 - 中 - 低三种

原厂集成能谱探测器

S i _ { 3 } N _ { 4 } 窗口硅漂移探测器(SDD)

不导电样品

无需喷金，直接观察

冷却方式

无液氮 Peltier 效应电制冷

内置智能UPS

不间断电源适配器

02 高性能：CeB₆晶体灯丝P系列

全新一代CeB₆晶体灯丝扫描电镜，台式设计，完全防震。

操作便捷，适用不同经验级别的用户，培训30分钟即可上手操作。

支持拓展各种特色功能。

1. 分辨率高

放大倍数 35 万倍分辨率优于6 nm

2. CeB₆晶体灯丝高亮度长使用寿命低色差

3.24寸“全面屏”操作界面电镜、能谱在同一操作界面无需切换，操作便捷高准确性能谱算法

灯丝材料

优于 3,000 小时 CeB₆ 灯丝，平均 5 年更换灯丝

分辨率

优于6nm

光学显微镜

放大 27 -160 倍

电镜放大

最高 350,000 倍

抽真空时间

小于15秒

加速电压

基本模式: 2kV,5kV, 10kV,15kV 和 20kV高级模式:4.8 kV - 20.5 kV 连续可调

探测器

背散射电子探测器、二次电子探测器（可选），能谱探测器

放置环境

普通实验室或办公室、厂房

真空模式

高-低真空

升级功能：

PhenomProX可选配所有P系列样品杯硬件选件，可选配超大视野图像拼合、孔径、颗粒、纤维统计分析测量系统和3D粗糙度重建等软件选件。

Phenom Pro G7 高分辨专业版

灯丝材料

分辨率

光学显微镜

电镜放大

抽真空时间

加速电压

探测器

放置环境

优于3,000小时CeB₆灯丝，平均5年更换灯丝

优于6nm

放大27-160 倍

真空模式

最高350,000 倍

小于15秒

基本模式: 2kV,5kV, 10kV, 15kV 和 20kV高级模式:4.8 kV - 20.5 kV 连续可调

背散射电子探测器、二次电子探测器(可选)

升级

普通实验室或办公室、厂房

高-低真空

Phenom ProX G7 电镜能谱一体机

升级功能：

Phenom Pro后期可升级为同时具备显微图像和元素成分分析的电镜能谱一体机 Phenom ProX。PhenomPro可选配所有P系列样品杯硬件选件，可选配超大视野图像拼合、孔径、颗粒、纤维统计分析测量系统和3D粗糙度重建等软件选件。

灯丝材料

优于 3,000 小时 CeB₆ 灯丝，平均 5 年更换灯丝

分辨率

系统兼容

优于6nm

Phenom Pro / ProX 系列台式扫描电镜

样品兼容

ø 3 mm TEM 载网(夹具固定）

成像时间

< 40 s\*

成像模式

BF、DF、HAADF、自定义\*\*

成像工作流程

固定的 WD，设置最优的探测器，完全集成的UI

真空度

0.1 & 60 Pa

\*加载样品到呈现图像的时间

\*\*STEM配备11分割探测器，用户可以对其进行自定义选择

Phenom Pure G7 高性价比版

灯丝材料

优于3,000 小时CeB₆灯丝，平均 5 年更换灯丝

分辨率

优于10 nm

光学显微镜

放大27倍

电镜放大

最高 175,000 倍

抽真空时间

小于15秒

加速电压

5 kV 和 10 kV

探测器

背散射电子探测器、二次电子探测器(可选)、能谱探测器(可选)

放置环境

普通实验室或办公室、厂房

真空模式

高-低真空

升级

可升级为 Phenom Pro、Phenom ProX

升级功能：

Phenom Pure 可升级为 Phenom Pro(分辨率优于 6 nm) → 电镜能谱一体机 Phenom ProX。PhenomPure可选配所有P系列样品杯硬件选件，可选配超大视野图像拼合、孔径、颗粒、纤维统计分析测量系统和3D粗糙度重建等软件选件。

03 大腔室、多功能、自动化平台系列

第三代大仓室卓越版CeB₆晶体灯丝扫描电镜，台式设计，完全防震支持自主软件编程，定制化全自动操作流程，灵活度高原位拓展测试丰富，原位拉伸、压缩，加热、充放电循环测试等

1. 大仓室样品台

36 个样品，一次进样大尺寸样品，无损观测

2. 软件自由度高

支持 PPI 接口，实现软件编程全自动拍照和样品分析

3. 硬件拓展能力强

支持拉伸、压缩等原位测试支持拓展真空转移样品杯支持 Prosuit 软件拓展平台支持拓展 AFM

>>> img = pháe.anquisition.smage >>> stats = ppá.Pzocessing.MakeStatisticalimg) >2> print(etats) I min: 0. max: 252, mean: 97.$055. sumSquares: 1.3214ze+010,

3D roughness reconstruction: Generate three-dimensional images and take sub micrometerroughness measurements

Automated Image mapping Automatically take multiple high resolution images of a large area.

Element Identification Elemental mapping and line scan reveals the distribution of elements.

Fiber metric Automated fiberthickness measurement

Particle metric Automated particle measurement

Time-Lapse recorder Create SEM movies

Pore metric Automated pore measurement

Remote UI Control the Phenom from anywhere

Gun Shot Residue Automated gun shot residue analysis

产品参数：

灯丝材料	优于 3,000小时CeB₆灯丝，平均 5 年更换灯丝
分辨率	优于8nm
光学显微镜	放大 3 - 19 倍
电镜放大	最高 200,000 倍
抽真空时间	30 秒
加速电压	基本模式: 2kV, 5kV, 10kV, 15kV 和 20kV
	高级模式: 4.8 kV - 20.5 kV 连续可调
探测器	全新升级的背散射电子探测器、二次电子探测器(可选)、能谱探测器(可选)
真空模式	高 - 中 - 低三种
样品室尺寸	100 mm×100 mm×40 mm

实现原位拉伸或压缩测试

拉伸台(可选)

观察金属材料拉伸过程中晶粒的变形与扭转

适配 Phenom XL 系列

受力状态下动态观察样品

录制动态拉伸／压缩视频

最大受力1 kN或0.15 kN

动态测量测试过程中的受力曲线

真空转移多功能样品杯(可选)

用于保护手套箱中制备的敏感样品，并将样品转移到扫描电镜或其他真空仪器中，避免因氧气或水分导致样品被氧化。

手套箱制备样品，转移至样品杯

密封下运输样品

将样品杯放入 SEM，观察样品

适配 Phenom XL 系列

手套箱与SEM之间的样品传递

放入电镜自动开启，取出后自动关闭

与锂电池材料无反应

无磁性部分

充放电功能可选(0- 5 V,0- 50 mA)

力曲线功能可选(0 - 250 N)

加热功能可选(室温-100℃)

HydroBolt 原位 SEM 电化学样品台(适配 XL)

DENSsolutionsHydroBolt是一款基于MEMS的体相电化学样品台，可在扫描电镜腔体内与桌面平台上开展液相偏压实验。该装置在毫升级反应腔体内配置真实对电极与参比电极，保障电化学数据精准可靠；同时支持片上电极与外接电极，可便捷完成参比电位校准。

HydroBolt采用 SEM 样品台与TEM原位样品杆通用的纳米芯片设计。在开展复杂的原位液相透射电镜(LPTEM)加热、偏压实验前，可先用该设备完成样品初筛，实现无缝的跨平台关联表征与多尺度分析。

产品参数：

产品配置	SEM 及桌面两用
SEB / FIB 兼容性*	Phenom XL
兼容探测器	SE,BSE,EDS
样品载体	纳米芯片
芯片兼容性	Stream Infinity 功能型 LH 纳米芯片 Stream Infinity 功能型 LHB 纳米芯片
原位激励条件	液相\|液相+偏压
工作电极	芯片上铂电极或玻碳电极
外接独立对电极**	铂丝
外接独立参比电极**	Ag/AgCl
液相工作模式	静态、流动
兼容溶液体系	水溶液、有机溶剂
SEM 样品台外形尺寸	25 mm (H) × 54 mm (L) × 40 mm (W)
SEM 样品台安装接口	7 x 3.2 mm 定位销

\*若需确认和其他品牌设备的兼容情况，请咨询以获取更多信息。

原位电化学研究

SEM 观测：不同电位条件下,Pt 工作电极表面 Zn 的电沉积过程，t=0 秒与 t=50 秒。

液相偏压 SEM 表征

采用基于 MEMS 的毫升级样品台，可在 SEM 与 FIB 设备中开展原位液相偏压实验。

●实时观测

可实时观测电沉积、枝晶生长、电极退化等动态过程，将形貌物理变化与电化学数据建立关联。

致谢:鲁尔波鸿大学R. Aymerich-Armengol博士、加泰罗尼亚纳米科学与纳米技术研究所A.Garzón Manjón 博士、杜塞尔多夫马克斯·普朗克可持续材料研究所 S. Zhang博士。

简化的安装流程

HydroBolt采用坚固外壳设计，只需拧紧密封螺丝即可完成组装。
采用真实Ag/AgCl参比电极，确保电化学数据精准可靠。

循环伏安法参数：电位范围±0.5 V,扫描速率0.1 V/s,步长0.01V;电解液:20 mM CuSO4、+ 10 mM KH2PO4。

采用外置 Ag/AgCl 参比电极与 Pt 对电极，有效防止电位漂移，支持长时间循环实验。

真实的电化学响应

● 台式校准功能

配备电连接与液流端口，支持用户在实验台前进行前期测试与参比电位校准。

兼容手套箱的组装设计

坚固外壳通过拧紧密封螺丝即可快速组装，可直接在手套箱内完成简易安装。

跨平台表征

多尺度关联分析

通过原位 SEM 与 TEM 样品杆共用通用纳米芯片，无缝关联液相TEM实验流程。在不同显微镜间转移完全相同的样品，可在微米与纳米尺度开展实验，追踪样品在电位、液流及温度作用下的动态变化。

即插即用集成

与您现有的 DENSsolutions Stream Infinity TEM 样品杆共用完全一致的软件、接口与控制电子模块。

FireBolt SEM 原位加热＆偏压(适配 XL)

DENSsolutions FireBolt 是一款基于MEMS 技术的样品台，可在扫描电子显微镜(SEM)或聚焦离子束(FIB)设备内，对样品同步开展原位电学与热学表征。该样品杆最多配备8个电触点，依托自研MEMS技术集成加热与偏压加载功能，支持高阶原位实验流程。

它能够在SEM腔体中观测由热、电激励引发的实时动态过程，例如相变与畴转变、再结晶与晶粒长大、纳米材料烧结、电迁移以及器件失效演化。此外，该产品芯片与DENSsolutions透射电镜(TEM)原位样品杆采用通用芯片设计，可对同一样品或同一特征点位实现连贯的多尺度、关联表征。

产品参数：

SEB / FIB 兼容性	Phenom XL
成像模式	背散射成像、透射成像
兼容探测器*	SE, BSE, EDS and EBSD
TKD 分析	离轴、近轴、同轴模式
样品载体	纳米芯片
芯片兼容性**	加热型（Wildfire 双倾）加热+偏压型（Lightning）加热+偏压型(Lightning Arctic)
原位激励	加热和 /或偏压加载
样品类型	纳米颗粒、纳米线、薄膜、二维片层、FIB 薄片、混合块体-FIB 薄片
温度范围	加热芯片：RT to 1300 °C 加热偏压芯片: RT to 900 °C
电压范围***	-/+ 40 V
SEM 样品台外形尺寸	37 mm (H) x 44 mm (L) x 25 mm (W)
SEM 样品台安装接口	两根 8 x 3.2 mm 定位销
样品预倾角	20 度

\*特定 SEM设备能否兼容 BSE、EDS、EBSD及对应探测器，需由DENSsolutions进行验证。
\*\*请选择适配您现有DENSsolutions透射电镜样品杆的FireBoltMEMS版本，实现 SEM/TEM跨关联表征流程。
\*\*\*电压可扩展至更高量程，请咨询以获取更多信息。

原位加热与偏压

多触点多功能 MEMS 型 SEM 样品台

可在 SEM 与 FIB 设备内实现最高 1300C 样品局域加热；最高 9 0 0 ^ { \circ } \mathsf { C } 条件下同步开展电、热耦合表征。

●广泛的设备兼容性

可无缝适配主流电镜品牌，支持多种探测器，包含二次电子(SE)、背散射电子(BSE)、能谱(EDS)

取向与相分布图表征

(左)装配侧入式 EBSD 探测器的 FireBolt 样品台，用于离轴 TKD测试。(中)FSE图像，展示750℃，退火奥氏体钢的材料退化，附带对应的互相关图、相分布图与取向图。(右)插图对比同一点位在2 5 ^ { \circ } C 与 7 5 0 ^ { \circ } \mathsf { C } 下的电子背散射衍射花样(EBSP)。

图像与数据由林茨大学(JKU Linz) Alexey Minenkov 博士提供。

跨平台表征

$\mathsf { S r } _ { 2 } \mathsf { F e M o } _ { 0 . 6 5 } \mathsf { N i } _ { 0 . 3 5 } \mathsf { O } _ { 6 } 纳米颗粒原位加热至 9 0 0 ^ { \circ } \mathsf C , 呈现材料退化行为。致谢：于利希研究中心，能源技术研究所基础电化学方向，Shibabrata Basak。$

\mathsf { S r } _ { 2 } \mathsf { F e M o } _ { 0 . 6 5 } \mathsf { N i } _ { 0 . 3 5 } \mathsf { O } _ { 6 } 纳米颗粒原位加热至 9 0 0 ^ { \circ } \mathsf C , 呈现材料退化行为。致谢：于利希研究中心，能源技术研究所基础电化学方向，Shibabrata Basak。

TKD 分析

FireBolt 样品台采用独特结构设计，可适配多款 EBSD探测器，支持离轴、近轴与同轴透射菊池衍射(TKD)分析，能够观测升温过程中的晶体学变化与物相转变。

模块化灵活设计

FireBolt配备可拆式杆头，可便捷翻转样品;将感兴趣区域直接对准电子束出射侧的EBSD探测器，消除衍射图案模糊问题，最大化提升衍射成像质量。

●一体化多尺度实验流程

可将搭载加热、偏压功能的同款纳米芯片直接在SEM与TEM之间转移，实现无缝的跨平台材料表征。可将微米尺度的SEM面扫表征，与原子尺度的高分辨TEM成像及成分化学分析直接关联。

●即插即用集成

与 DENSsolutions 现有 Lightning、Lightning Arctic 透射电镜样品杆共用完全一致的软件、接口与控制电子模块。

Phenom GSR 枪击残留物分析系统

全球首创，基于台式扫描电镜的枪击残留物GSR自动分析系统，符合当前的ASTME1588 标准中的GSR要求，并配备了ENFSI提供的标准布局格式。

DiatomAI™自动硅藻检验系统

为硅藻相关检验提供成熟、可靠、高效的解决方案，可自动完成每批各个样品的高质量图像捕捉，实现地毯式拼图(可设置夜间自动运行）；用户从获取的图片中逐个查找、标记硅藻位置。该系统可对所有标记的位置自动高倍数取图，自动生成包含所有被标记硅藻的高质量图片的报告。该系统具备样品进度管理模块，用户可追踪每个案件的各个样品的分析进度。

扫码了解DiatomAl自动硅藻检验系统

DiatomAI™自动硅藻检测步骤:

制备、装载样品

自动取图

标记疑似硅藻位置，自动对标记位置进行高倍取图

查找完成后，生成报告

DiatomAI™系统优势：

自动识别各种不同类型的硅藻：小至2μm的硅藻也能轻松分辨

自动测量硅藻尺寸

数据统计，实现硅藻个数的自动计数

硅藻种类自动判别和归类

自动计算硅藻数量比例，突出优势种

支持专家人为复检、溯源

适用领域

环境水质检测

海洋科学研究

地质与地球研究

古环境与古气候变化研究

允许多用户同时标记

法医溺亡案件侦查

Phenom ParticleX 全自动颗粒统计分析系统

1992 年-- Aspex钨灯丝自动分析单一系统

2017 年-- Explorer 4CeB晶体灯丝自动分析单一系统

2019年--ParticleXCeB6晶体灯丝常规电镜+自动分析双系统

ParticleX 全自动分析原理

自动全样品扫描

自动拍照、颗粒识别

自动能谱分析

全自动颗粒分类

一键获取数据报告

30年研发经验积累，最专业的分析系统

软硬件一体化设计，保证了系统稳定工作

双系统分析：既可以做全自动分析，也可以作为常规扫描电镜使用

{ \mathsf { C e B } } _ { 6 } 晶体灯丝，单根寿命超过 3000 h，亮度更高更稳定

灵活定制自动分析流程，满足个性化检测需求

一键生成检测报告

ParticleX Battery 全自动锂电清洁度分析系统

锂电池中的铜、锌、铁等金属异物可能导致严重的安全事故，对金属异物的管控也已成为行业共识。飞纳电镜ParticleX锂电池清洁度分析系统可自动识别、分析和统计铜、锌、铁等金属异物，进而帮助分析异物来源，改善生产条件，减少安全事故的发生。

金属异物导致失效原理

颗粒物统计表

Particle Results
Size Class Based On: DMAX		B5 π X < 15	C15 ≤ X < 25	D25 ≤ X < 50	E50 ≤ X < 100	F100 ≤ X < 150	G150 ≤ X<200	H200 ≤ X < 400	1400 ≤ X < 600	J600 ≤ X < 1000	K1000 ≤ X
Size Range (um)	Total	B5 π X < 15	C15 ≤ X < 25	D25 ≤ X < 50	E50 ≤ X < 100	F100 ≤ X < 150	G150 ≤ X<200	H200 ≤ X < 400	1400 ≤ X < 600	J600 ≤ X < 1000	K1000 ≤ X
Zn alloy	17	15	1	1
Zn-O	1	1
Cr alloy	6	6
Fe>10 and Fe<50	101	82	15	4
Fe>50 and Fe<80	73	63	6	3		1
Fe>80	4	4
Fe-Cr	30	24	4		2
Fe-Cr-Ni	2888	1342	464	481	387	116	47	42	7	2
Fe-Ni	2	2
Ni alloy	4	4
Al alloy	16	7	6	3
AI-O	11	11
Ca-Mg-Na-K-Si	156	128	23	3	2
NCM	696	680	13	3
Non_Ferrous Mental	1	1
Ti alloy	5	4		1
Zr alloy	1	1
Fe-P	17	17
Total Counts	4029	2392	532	499	391	117	47	42	7	2	0
Notes: 1

扫码了解 ParticleX Battery

颗粒粒度分布

颗粒形貌分析

○杂质颗粒检测

○ 高分辨率成像- 8nm 分辨率

ParticleX Steel 全自动钢铁夹杂物分析系统

分析测定钢中非金属夹杂物的是一项复杂的工作，它既需要对钢样中存在的大量夹杂物进行定量分析，测量其尺寸、形貌等，又需要测定它们的化学组成、分布以及变化趋势等。

在各种夹杂物分析技术中，目前国内外公认的最准确和可靠的分析仪器是由前美国FEI公司生产的 Aspex系列产品(ParticleX前身)。因其独有的全自动集成一体化的快速夹杂物分析和报告功能在全球钢铁行业得到了广泛认可，并且已有大量文献报道该技术在钢铁生产中有各种成功案例。

系统分析界面

扫码了解 ParticleX Steel

杂质物统计表

Inclusion Classification Summary
Classification	Particles	[%]	Mg	AI	SI	s	Ca	Mn	Features/mm2A	rea%In	ciindex
C12A7	405	28.0	10.3	28.2	1.8	10.4	47.2	20	2.4	38.3	0.00091
GaS	369	25.5	87	10.8	0.9	30.4	46.2	3.1	2.2	14.5	000036
CA	364	25.2	111	39 8	2.0	5.7	38.2	3.1	21	23.9	0.00060
C3A	154	10.7	9.3	175	1.4	8.4	610	24	09	19.5	000049
CaSAluminate	61	42	7.8	23.7	1.5	233	40.8	29	0.4	3.0	0.00006
CA2	54	37	107	50.4	2.0	3.0	29.6	4.3	0.3	1.7	0.00004
Spinel Rich	38	2.6	36.5	38.5	0.8	42	173	20	0.2	11	0.00003
Spinel Pure	1	01	38.4	50.5	1.2		68	32	0.0	0.0	0.00000
All above combined	1446	100.0	10.6	26.5	1.5	14.2	44.4	2.0	8.5	100.0	0.00250
Average chemical compositionreported in %Area%= Area of ciass/Area of selected classes
Inclusion index = Area of inclusions/Area Scanned
Total scanned area is 169.8672mm²

夹杂物分析相图

Particle AC 全自动汽车清洁度分析系统

汽车行业越来越关注 \mathsf { S i O } _ { 2 } , \mathsf { A l } _ { 2 } \mathsf { O } _ { 3 } 等硬质颗粒的影响，传统的清洁度分析方法（重量法和光镜法）只能提供清洁部件上大颗粒灰尘和碎片的总体重量或形状信息，而不能全面分辨颗粒的污染源。Particle AC取代传统颗粒物清洁度检测方法，允许工程师看见微米尺寸的颗粒并确定其化学成分，从而判断出污染源。

ISO16232 / VDA-19 Results
Size Class		B	C	D	E	F	G	H	一	J	K
Size Range (um)	Total	5≤X<15	15≤X<25	25 ≤X< 50	50 ≤ X < 100	100 ≤X< 150	150 ≤ X < 200	200 ≤ X < 400	400 ≤ X < 600	600 ≤ X < 1000	1000 ≤ X
SiO2	42	22	14	5				1
Si Rich	1	1
AI203	2	1		1
AI203 with S	1		1
Glass-1	4	3	1
Glass-2	1	1
Aluminosilicates	22	15	4	2	1
Mineral	191	146	31	14
Ca-Aluminosilicates	36	21	9	5	1
Steel	64	42	13	7	2
High Ca	13	11	2
Misc Salts	119	111	7	1
Non-Ferrous Metal	6	4	2
Oxidized Al	6	4	1	1
Flourinated	5	2	2	1
Total Counts	513	384	87	37	4	0	0	1	0	0	0
Notes:

扫码了解Particle AC汽车清洁度检测系统

颗粒物统计表

Rank	ID	Size(μm)	Width(μm)	Class	x	Y	Aspect	Area	0	Si	Na	W
5	5	45.658	41.203	Glass	-0.642	1.614	1.119	1284.370	62.800	17.100	9.100	6.300

Rank	ID	Size(μm)	Width(μm)	Class	x	Y	Aspect	Area	Si	W	0
6	6	31.781	23.702	Si Rich (Si-C/Si-N)	-0.692	1.556	1.341	519.261	76.700	13.700	9.500

Rank	ID	Size(μm)	Width(μm)	Class	x	Y	Aspect	Area	0	Si	Na	W
7	7	42.041	32.868	Glass	-0.642	1.480	1.279	853.984	61.000	17.900	9.900	6.300
P

特殊硬质颗粒物

专用滤膜样品杯

Particle AC 全自动汽车清洁度分析系统基于扫描电镜(SEM)+能谱仪(EDS)的全自动颗粒分析系统一键启动、全自动分析、智能分类、标准输出报告。

部分用户

国内外知名车企都在使用ParticleAC全自动汽车清洁度分析系统，进行硬质颗粒的检测和管控：

扫码观看三电是如何进行空调清洁度管控的

SANHUA AUTOMOTIVE

04 选配件：飞纳电镜能谱仪

飞纳重新定义了快速、易用、性能卓越的台式扫描电镜，创新性的用户友好操作界面，使得无论何种熟练程度的用户，都可在数分钟内轻松获取SEM图像。高度集成的能量色散X射线能谱仪(EDS)，与SEM图像相互补充，用于揭示材料成分、结构及性能的内在关联。基于高度集成化的硬件，高效精准的谱峰识别、可靠的量化分析、以及定制化的应用程序，只需轻点几次鼠标即可完成整套分析工作流，并支持一键导出能谱结果报告。

特点 1：SEM - EDS 高度集成化设计

成像及能谱分析时无需切换工作距离

统一的应用及售后技术支持

终身免费的软件升级服务

统一操作界面，成像及能谱分析协同效率高

提供能谱数据离线分析工具

支持能谱面扫结果二次选区分析

特点2：优秀的探测器硬件

Si { } _ { 3 } \ N _ { 4 } 陶瓷窗口，机械强度高、透过率高

同时兼顾信号收集速度与光谱分辨率

能量分辨率优于123eV

特点3：实时 Quantmap 面扫功能

实现重叠元素面扫的实时、有效剥离

实时高效扣背底，准确呈现低含量元素的分布位置

快速面扫，数秒之内呈现优秀的高清面扫结果

漂移校正，对面扫过程中的样品漂移进行动态锁定

特点 4：先进修正技术以及标样数据库

完整的标样数据库，分析范围涵盖 B (5) - Cf (98)号元素

全自动样品倾斜算法，自动识别样品倾斜率，并对结果进行倾斜修正动态成峰处理时间，动态平衡分辨率、计数率与死时间的最优参数

高空间分辨率

硒颗粒 SEM 图(颗粒约 100 nm)

硒颗粒能谱图

扫码了解飞纳电镜的能谱仪是如何工作的

快速面扫模式在5秒钟内显示第一个结果，之后随时间建立元素识别

05 强大的 Prosuite 拓展软件

ProSuite拓展软件平台是专为飞纳台式扫描电镜设计的应用模块，可以直接连接到飞纳电镜或通过本地网络、互联网连接，从而实现网络存储和远程系统控制。并进一步拓展了扫描电镜的应用，将复杂的系统实现自动化控制，可实现自动全景图片拼合，3D粗糙度重建，纤维统计分析测量，孔径统计分析测量，颗粒统计分析测量等。

自动全景图像拼合：

XY 边缘数据缝合 AI Stiching 技术和动态自动对焦 DAF 技术

在连接时自动补偿X、Y、Z全部数据以全域超景深形式展示完整样品图像

高分辨率高精度缝合算法：电镜下图像连接无波动

○超大视野：最大可达100 mm

无需干预，全自动采集图片，并生成全景图像

适用地质，金属，考古，陶瓷，电子，半导体等行业

1,024 x 1,024 像素局部特写揭示样品的表面细节

3D 粗糙度重建系统：

基于“阴影显形”(Shape by Shadow)技术进行实时三维重建，无需样品倾斜

可利用高通滤波、低通滤波对三维图像进行二次重建

自动进行粗糙度测量(平均粗糙度 Ra 和粗糙高 Rz 等)

可输出 3D曲线，2D/3D图像，CSV等信息

适用于纹理分析、证物鉴定、摩擦学分析及缺陷分析等

飞纳Phenom™

公司介绍

引入欧美高科技仪器

目录

产品历史介绍

1948-1997

2006

2021

2009

2021

2020

2012

2020

2014

2018

Pharos SEM-STEM 台式扫描透射电镜

机械手自动上样

数据数字化回传

高稳定性环境适应能力：

自由编程：

全流程自动成像与参数调节

大幅提高工作效率：

什么是 PPI?

让扫描电镜承担重复的机械拍照和测试工作

ChemiSEM 实时成分定性定量彩色面分布

ChemiPhase (Phase Mapping Analysis)

PPI自由编程：

EBL 电子束曝光：

Phenom MAPS 系统

离线数据管理

CISA 多平台数据关联

CISA，关联一切可视化图片

Avizo Trueput 软件

产品参数（SEM）：

产品参数（AFM）：

AFM-SEM测量模式

形貌特征

多模态关联分析

磁性能

电机械性能

电性能

制样简单，从光镜导航快速切换至SEM图像

制样简单

无需喷金即可观察不导电样品

01

超高分辨：肖特基场发射电子枪系列

1. 分辨率最高的台式电镜

2. 卓越的低电压成像

3. 电镜能谱一体化设计

Phenom Pharos STEM 扫描透射电子显微镜

纳米 Au 颗粒

碳纳米管

Phenom Pharos G2 台式场发射电镜能谱一体机

Phenom Nano G2 台式场发射电镜能谱一体机

02

高性能：CeB₆晶体灯丝P系列

1. 分辨率高

升级功能：

Phenom Pro G7 高分辨专业版

升级功能：

Phenom Pure G7 高性价比版

升级功能：

03

大腔室、多功能、自动化平台系列

1. 大仓室样品台

2. 软件自由度高

3. 硬件拓展能力强

产品参数：

拉伸台(可选)

真空转移多功能样品杯(可选)

HydroBolt 原位 SEM 电化学样品台(适配 XL)

产品参数：

原位电化学研究

液相偏压 SEM 表征

●实时观测

简化的安装流程

真实的电化学响应

● 台式校准功能

兼容手套箱的组装设计

跨平台表征

FireBolt SEM 原位加热＆偏压(适配 XL)