非接触·高精度·在线测量系统

精密传感器

激光测径仪

LSM-02-A/30-A/CU-A

产品样本 No.C13024

1

在线测量时代的

高精度外径测量解决方案

三丰新型传感器帮助实现“互联”智能工厂，为客户带来新价值。

支持测量范围为5µm、重复性±0.03µm的

高精度测量

易于安装到DIN导轨上，采用适用于配电盘

的薄型设计

2

应用

系统构成

导管、电磁线测量

PC用

LSM控制器应用软件

滚子轴承测量

滚筒的外径与跳动的同时测量

※照片中的激光为示意图。

胶片、薄片的厚度测量

USB或通用Ethernet

LSM传感器(LSM-02-A / LSM-30-A)

外部设备(PLC)

内联用

LSM控制器

I/F模块LSM控制器

3

产品阵容

传感器部分的特点

控制器部分的特点 模块部分的特点

作为测量仪器制造商的精度保证

保证(2σ)的重复性

ø1 mm ：±0.015 µmLSM-02-A

ø10 mm ：±0.06 µm LSM-30-A

保证线性度

±0.3 µm LSM-02-A ±1.0 µm LSM-30-A

LSM-02-A LSM-30-A

LSM-CU-A I/F模块

易于嵌入使用，紧凑型机身 LSM-02-A

可将受光发光部分开使用 LSM-30-A

配备超细线测量模式

适用于5 µm LSM-02-A

耐环境性能支持IP67

使用了高精度电机的高精度扫描

激光扫描次数：3,200 次/秒

备有4种接口，可根据生产线需求选择所需的规格

控制器的设计便于插入模块而无需改变布局

紧凑、薄型设计，可安装在配电盘和设备中

即使包含电缆在内，也可用于深度仅100mm的配电盘

无需使用工具，可轻易完成在DIN导轨上的拆装

USB Type-C、I/O端口，工业用接口 (选件)

标配可实现轻松设定的设定用软件

支持垂直安装，布局灵活

4

向导形式

通过采用对话的形式，只需选

择所需的项目，即可轻松而迅

速地完成操作。

测量工件的位置调整

可直观、定量地掌握测量工件

相对于LSM的最佳位置，以此

进行准确、迅速的位置调整，

实现具有高再现性的稳定测量。

帮助显示功能

对不清楚的功能和名称显示简

单说明，随时答疑解惑。此外，

还具有用户手册PDF的链接功

能，可在短时间内进行正确的

设定。

测量条件选择画面

位置调整前

测量条件的详细设定画面

位置调整后

显示用户手册 PDF

单击显示各项的简单说明

软件 ［LSMPAK］

LSMPAK是一款设定软件，可直观地设定LSM测量条件(使用的功能、合格与否判断等)和

校准、对测量工件进行定位等。还具有测量值采集和监控功能。

Point1

Point3

Point2

根据对焦情况进

行位置调整

5

规格

货号 544-123 544-124

型号 LSM-02-A LSM-30-A

测量范围 0.005～2 mm

0.05～2 mm※1 0.3～30 mm

分辨力 0.01 µm 0.01 µm

重复性(2σ)

※2 全范围

中范围

ø 2 mm：±0.03 µm※3

ø 1 mm：±0.015 µm※3

ø 30 mm：±0.09 µm※4

ø 10 mm：±0.06 µm※4

线性度※2 ±0.3 µm※5 全范围：±1.0 µm※5

窄范围：±(0.6＋0.1⊿D) µm※5※6

定位误差※2※7 ±0.4 µm 全区域(10×30)：±1.8 µm

中心区域(5×20)：±1.0 µm

测量区域 1×2(光轴方向×扫描方向) mm 10×30(光轴方向×扫描方向) mm

平均化次数 16～2048次 ※8 1～2048次

激光级别 半导体激光：Class 1(最大输出：1.0 mW、波长：650 nm)

激光扫描次数 3200次/sec

激光扫描速度 76 m/s 226 m/s

防护等级 IP67

激光发射部与

激光接收部的距离 标准：130 mm、最大：350 mm

使用环境 温度：0 ℃～40 ℃、湿度：35%RH～85%RH(无凝结)

高度：2000 m以下

储存环境 温度：-10 ℃～50 ℃、湿度：35%RH～85%RH(无凝结)

CE标志 / UKCA标志

EMC指令：EN IEC 61326-1、

抗扰度试验要求：Clause 6.2 Table2

排放限制：ClassA

RoHs指令：EN IEC 63000

标准附属品 信号电缆：No.02AGQ190

CD(用户手册)：No.02AGQ039

※1 基本设定中设定“不执行超细线测量”或“边缘指定”时的范围

※2 使用气相沉积铬图案的玻璃基板工件进行精度检查。

环境：温度：20 ℃±1 ℃；湿度：50%±10 ℃

※3 以0.32秒的测量间隔对ø 2 mm / ø 1 mm的量规进行2分钟测量后的±2σ的值(σ：标准偏差)

※4 以0.32秒的测量间隔对ø 30 mm / ø 10 mm的量规进行2分钟测量后的±2σ的值(σ：标准偏差)

※5 在测量区域中心测量时的值

※6 工件为与标准量规的直径差(单位：mm)

※7 将测量工件沿光轴方向/扫描方向移动而产生的误差

※8 如果在基本设定中设定为“不执行超细线测量”，则可以使用1～8次平均化次数，但测量范围将为0.05 mm～2 mm。

■传感器部分

6

(电缆空间)

测量区域

70以上

1111

28

20.5 19.5

56

84

22.5

10.5 17.5 15.5

35 17.5 17.5

105.5 41 34.5

181

22.5 17.59.5 14.5

6

40

6.5

4 3（长孔深度4）

90 29.5

126 55

1

2

57.5 32.5

3×M4×6

4×M3×6

(R)

ø3 4

ø3 5

ø3 5

ø3 5

分开时

*可延长到277mm

*

（电缆空间）

(背面相同) (背面相同)

测量区域

24 18

64.533.5 25.856.8

18.5

8 8

10 150 41 7 9.5 9.514.5 9.5

6 6

80 50

170 130

70以上

46

20 239 20 38

80 5.8

12

4.5

26 23.5

355

18

90.3 90 108 57.5

42

38

4.5 95.5 65.5

30

10

22

50

55

57

4 3（长孔深度4） 3（长孔深度4） 4

4.5

90

3 36 3

18.5 23.5

18.5 23.5

42

21 21

3×M4×8 2×M4×8

8×M3

8×M3

ø3

3×M4×8 3×M4×8

LSM-02-A

LSM-30-A

单位： mm

单位： mm

7

规格

货号 544-121

型号 LSM-CU-A

测量功能 ※1

分段指定 1～7(透明物体为1～3)

边缘指定 1～255

平均化方法 算术平均：1～2048；移动平均：32～2048

功能

透明物体指定、超细线指定(仅限LSM-02-A)、2项目测量、测量工件自动检测、排除异常值、

合格与否判断(上下限值、多段筛选、目标值与公差)、防护玻璃的脏污检测、抽样测量、

模拟输出、参数设定(测量条件)：20、工件位置、校准、预设、

偏置、统计计算、2套以上的计算、传感器识别

标准I/F

指示灯 ［POWER］LED(绿)、［ERROR］LED(红)

信号电缆连接器 Mini D-Sub(15针)

USB连接器 Type-C

I/O连接器 分离型端子台(18针)

电源连接器 分离型端子台(6针)

额定电源 DC＋24 V±10%、3.0 A以上 ※2

使用环境 温度：0 ℃～50 ℃、湿度：20%RH～85%RH(无凝结)

高度：2000 m以下

储存环境 温度：-10 ℃～60 ℃、湿度：20%RH～85%RH(无凝结)

质量 约550 g

CE标志 / UKCA标志

EMC指令：EN IEC 61326-1、

抗扰度试验要求：Clause 6.2 Table2

排放限制：ClassA

RoHs指令：EN IEC 63000

标准附属品

I/O端子台插座：No.D800-396、电源端子台插座：No.D827-827

接地导线(4 m)：No.02AGQ068

CD(LSMPAK安装程序、用户手册)：No.02NGA070

规格

货号 02AGQ300 02AGQ370

型号 LSM-EI-A LSM-EC-A

通信标准 EtherNet/IP EtherCAT

接口 LED

NETWORK STATUS指示灯：双色LED1(红/绿) RUN指示灯：单色LED1(绿)

MODULE STATUS指示灯：双色LED1(红/绿) ERROR指示灯：单色LED1(红)

RJ45连接器 双通道

Ethernet通信

通信端口 RJ45×2

通信速度 100 Mbps 全双工

使用电缆 Cat.5e以上STP电缆

规格

货号 02AGQ350

型号 LSM-PN-A

通信标准 PROFINET

接口 LED

RUN指示灯：双色LED1(红/绿)

ERROR指示灯：双色LED1(红/绿)

RJ45连接器 双通道

Ethernet通信

通信端口 RJ45×2

通信速度 100 Mbps全双工

使用电缆 Cat.5e以上STP电缆

PROFINET功能

PROFINET RT

符合适用级别B的PROFINET设备

媒体冗余协议(MRP)客户端

组播提供商和订户

最短循环时间 2 msec

最多连接数量(AR※1

) 2

每个连接控制器的CR数量※2 周期数据用：2个；参数设定用：1个

※1 各功能会因为组合不同而受到限制。

※2 请使用具有＋24 V / 3.0 A以上输出的AC适配器/开关电源。

参考　AC适配器：Signcomplex / AC适配器 24V / 3A DC端口直径5.5×2.1 mm、电源连接器：(株)KAUMO / 电源连接器 外径5.5 mm 内径2.1 mm

开关电源：欧姆龙(株) / OMRON S8VS-12024

※1 AR：Application Relation的缩写；AR的种类：Device Access

※2 CR：Communication Relation的缩写

■控制器

■接口装置

8

规格

货号 02AGQ390

型号 LSM-CC-A

通信标准 CC-Link IE TSN

接口 LED

D Link：双色LED1(红/绿)

ERROR：单色LED1(红)

RJ45连接器 双通道

Ethernet通信

通信端口 RJ45×2

通信速度 100 Mbps 全双工

使用电缆 Cat.5e以上STP电缆

CC-Link IE TSN

功能

CC-Link IE TSN 符合A级认证的远程站

最短循环时间 1 msec

通用规格

使用环境 温度：0 ℃～50 ℃、湿度：20%RH～85%RH(无凝结)

储存环境 温度：-10 ℃～60 ℃、湿度：20%RH～85%RH(无凝结)

CE标志/UKCA标志

EMC指令：EN IEC 61326-1

抗扰度试验要求：Clause 6.2 Table2

排放限制：ClassA

RoHs指令：EN IEC 63000

■控制器

■使用时的注意事项

■接口装置

■接口装置

2.5

48

100

168 28.3

69.5

61.5

112.5

9.5

28 14

140

159

47.4

10

9.5 140

159

28 14 47.4 10

9.5

1428

140

159

47.4

10

9.5

1428

140

159

47.4

10

LSM-CU-A LSM-EI-A LSM-PN-A

LSM-EC-A LSM-CC-A

激光级别 1

关于兼容性

LSM传感器LSM-02 / 30-A及LSM控制器LSM-CU-A与以往机型(LSM-3000、3100、4000、4100、400系列、5000、5100、5200、6000、6100、6200、500系列、500H系列、500S系列)不兼容。

关于测量工件与测量条件

根据测量工件的形状或表面粗糙度，可能会产生测量误差。此时请尽可能使用已知形状或表面粗糙度相同的校准仪或标准量规，并务必进行校准。如果由于测量条件而导致测量值偏差较大，可通过

尽可能增加测量次数来进行高精度测量。

关于噪声对策

为防止误动作，请勿将本装置的信号电缆和中继电缆与高压线或产生浪涌噪声的电缆布设在一起。另外，请务必进行接地。

激光相关安全注意事项

本装置使用低功率可见激光进行测量，相当于EN/IEC 60825-1/JIS C 6802“激光产品辐射安全标准”的Class 1(可见光)。LSM传感器LSM-02/30-A上贴有如下图所示的Class 1说明标签。

单位： mm 单位： mm 单位： mm

9

标准校准规套装

用于校准激光测径仪的校准规。

校准规尺寸是仅对1个方向上1处位置的检验值。

电线导向滑轮

使电磁线和纤维等细线的外径保持稳定以方便测量的导向用带轮夹具。

激光光路稳定罩

具有抑制因测量空间中空气波动而引起测量值变化的效果。

空气罩

在激光接收/发射窗口有烟尘附着的情况下，通过安装在激光接收/发射部上的空气出口吹出清洁空气，可防止激光接收和发射窗口变脏。

各测量范围如下所示：

LSM-02-A：ø 0.1 mm～ø 1.5 mm

想要测量从不足ø 0.1 mm到大于ø 1.5 mm的工件时

请咨询本公司销售、服务窗口。

需要校准规时，

均请使用LSM-02-A用校准规套装(No.02AGD110)。

适用机型 LSM-02-A

货号 02AGD200

适用机型 LSM-30-A

货号 02AGQ452

适用机型 LSM-30-A

货号 02AGQ450

※空气罩附带有5 m长的气管(外径ø 6 mm)。

2×六角带孔螺栓(M4)

激光射出口

流量调节用接头

气管

42

6.5

38

6

54.5

69.5

51

21.5

31

12

46.5 62

40.5

44

激光接收部一侧

激光发射部一侧

测量工件

(测量范围：ø 0.1～ø 1.5)

2×六角带孔螺栓(M3)

校准规安装孔

8

测量位置中心：25

ø 13

测量位置中心：15.5

11

10.5 15.5

38

24.5

测量位置中心：16.5

12.5 12.5

（26）

19.5

（28） 2×六角带孔螺栓(M4)

激光射出口42

5

16

18.4

38

10 46.5

44.2

28

14

5162

5 5 5

36

校准规 校准规

ø 2(双中心孔)

测量方向标示线

校准规 5 ø 0.1 ø 1

ø 10 ø 30

ø 2

212221

131414

ø 10 ø 10

ø 0.1

ø 10

ø 2 ø 1 ø 30

2222 20.86

适用机型 LSM-02-A LSM-30-A

套装货号 02AGD110 02AGD130

套装内容

(货号)

台架 02AGD111 02AGD131

校准规 ø0.1：958200

ø2 ：958202

ø1 ：02AGD920

ø30：02AGD961

包装盒 958203 02AGD980

选件

LSM-02-A LSM-30-A

单位： mm

单位： mm

单位： mm

单位： mm

单位： mm

10

可调工作台(LSM-30-A用)

通过上下左右滑动机构，可轻松测量各种工件的直径。

非常适合精密轴、滚子、销规等的品质管理。

可调工作台标准附属品(LSM-30-A用)

V型块

挡块

信号延长电缆/中继延长电缆

在使用中测量装置和显示装置距离较远时，需要信号延长电缆；在激光发射/接

收部分开使用时，需要中继延长电缆。

工作台

可轻松设置轴等并调整高度，从而实现高精度测量。

货号 02AGD490

测量范围 0.3～30 mm

水平行程 200 mm

垂直行程 35 mm

最大承载质量 2.0 kg

质量 4.9 kg

标准附属品 V型块(No.02AGD420)×2

挡块(No.02AGD430)×1

附件

(选件)

中心架(No.02AGD440)

上下移动V型块(No.02AGD450)

货号 02AGD420

工件直径ø Dmax 30 mm

轴直径ødmax 30 mm

(øD-ød)max 25 mm

质量 0.03 kg(单件的质量)

备注

可使用的校准规

ø 1(No.02AGD920)

ø 10 (No.229317)

ø 25 (No.02AGD963)

ø 30 (No.02AGD961)

货号 02AGD430

质量 0.05 kg

用途 用于工件的定位

信号延长电缆

货号 电缆长度

02AGN780A 5 m

02AGN780B 10 m

02AGN780C 15 m

02AGN780D 20 m

中继延长电缆

货号 电缆长度

02AGQ464A 1 m

02AGQ464B 3 m

适用机型 LSM-30-A

货号 02AGD270

※ LSM-02-A的信号电缆总长度不得超过20 m。

※ LSM-30-A的信号电缆总长度不得超过29 m，中继电缆的总长度不得超过5 m。

※ 信号电缆和中继电缆合起来的总长度不得超过29 m。

校准规安装孔

4×六角带孔螺栓(M3)

测量位置中心：22.5

测量位置中心：57.5

上下移动手轮

发光部一侧 受光部一侧

10.5 15.5

6

50 62

12 44

66

测量位置中心：31

25

127.8

96 34 90(垂直行程：约56 mm) 25

（178）

180

垂直行程：35

测量位置中心：97.5

11 167

460

26

滑动台

水平锁紧装置 上下移动夹钳

300

活动区域：505以下(水平行程：200)

测量位置中心：90 测量位置中心：300

LSM发光装置

LSM接收装置

上下移动手轮

信号延长电缆

中继电缆(0.5m)

仅LSM-30-A(0.5m)

中继延长电缆

信号电缆(5m) No.02AGN770A

显示装置 激光发射部 激光

接收部

H

20 27

6

L2 L1

同轴阶梯工件

øD

ød

ø10：校准规安装孔

35

20 27

6

ød

单位： mm

单位： mm

单位： mm

单位： mm

003 2412(2)B-(AK-AK)AK, 中国印刷印刷日期: 2024

年12

月

注释 ：

全部产品介绍，特别是本手册中有关图表、图形、尺寸、性能数据以及其它技术数据均为近似值。在此基础上，我们保留对设计、

技术数据、尺寸和质量进行变更的权力。截止至本手册印刷，上述标准、相似的技术规则、产品规格、说明和图表均正确有效。仅经

三丰公司确认的提议具有权威性。

规格如有变更，恕不另行通知。

本司商品基于日本外汇及对外贸易法，有时需要取得日本政府的输出许可。向非本土企业提供产品输

出及技术信息时，请咨询最近的营业所。

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