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产品特点

·流道设计无死角·母体材质：SS316L二次熔炼·真空压力至3500psig (241bar)

技术参数

气源压力：	vacuum to 3500 psig (241bar)
流量开关触发点：	25/50/100slpm (氮气at100 psig)
精度：	±10%
安装方向：	底部进气，垂直方向8内安装
工作温度：	-10~175F (-23~80℃)
母体材质：	SS 316L二次熔炼
进/出气连接：	1/4”焊接接管/VFS接头
泄漏率(外部）：
干簧管-
类型：	SPDT，3线2位
功率：	30VDC/3Wmax
开关电流：	0.2A max
承载电流：	0.5Amax
电阻：	0.1 Ohm max
电线长度：	3m
电线规格：	24AWG

引接线
蓝色：公共端
棕色：常闭
黑色：常开

产品尺寸 (mm)

端口连接 (进气-出气）	尺寸(mm)
端口连接 (进气-出气）	A	B	C
MV4-MV4	57.2	15.9	15.9
FV4-FV4	101.4	38	38
TW4-TW4	57.2	15.9	15.9
MV4-FV4	79.3	15.9	38
MV4-TW4	57.2	15.9	15.9
FV4-MV4	79.3	38	15.9
FV4-TW4	79.3	38	15.9
TW4-MV4	57.2	15.9	15.9
TW4-FV4	79.3	15.9	38

订购参数

产品特点

·大流量应用·可配置水平或垂直主线·通过装置的压降小·母体材质：SS316L

技术参数

气源压力：	vacuum to 3500 psig (241bar) 1/2" vacuumto 3000 psig (207bar)3/4" vacuum to 2200 psig (152bar) 1"
流量开关触发点：	详见订购参数
精度：	±20%
工作温度：	-10~175°F (-23~80℃)
母体：	SS316L
进/出气连接：	1/2"3/4"焊接接管/VFS接头， 1”焊接接管
泄漏率（外部）：
干簧管
类型：	SPDT，3线2位
功率：	30VDC/3Wmax
开关电流：	0.2A max
承载电流：	0.5A max
电阻：	0.1Ohmmax
电线长度：	3m
电线规格：	24AWG

产品尺寸(mm)

VEFS2-S-H- FV8-MV8 225

端口连接 (进气-出气）	尺寸（mm)
端口连接 (进气-出气）	A	B
	A	横向连接	纵向连接
FV8-MV8	90.2	115.6	68.9	77.8
TW8-TW8	65.8	115.6	68.9	77.8
FV12-MV12	140	138.2	91.2	77.8
TW12	89.6	138.2	91.2	77.8
TW16	99.1	141.5	94.5	77.8

订购参数

材质工艺规范S:316L SS P:VS001A \*详情请参阅附录。流量
连接方式氮气at100 psig
H：横向连接 1/2″
V:纵向连接 225:225slpm350:350slpm
进/出气连接 500:500 slpm950:950 slpmFV8:1/2"VFS(F) 3/4″ ETwWe: 12 Ss wed 100103 横向连接纵向连接
MV12: 3/4" vubseWeld 3000: 3000slpm ！标准格的流量为气在进气100g
TW16:1"tubeweld 4000:4000 slpm 际的工作流量。请参考P117进行换算！

换算公式

标准规格的检测流量为氮气在进气100psig， 2 0 ^ { \circ } C 时的值。若偏离标准工况，需换算为实际的工作流量。

1．压力换算系数： \mathsf { F p } { = } sqrt { ( \mathsf { O P } / 1 1 4 . 7 ) } OP：使用压力（绝压）psia
2．气体换算系数： \mathsf { F } \mathsf { g } = sqrt { ( 2 8 / \mathsf { M } \mathsf { W } ) } MW：使用气体的摩尔分子量g/mol
3．温度换算系数： \scriptstyle { \mathsf { F t } } = { sqrt { ( 2 9 3 / 0 7 ) } } OT：运行温度 ^ { \circ } C + 2 7 3

换算举例

若使用氢气（分子量2），在压力为72.5psig（表压），温度 2 5 ^ { \circ } C ，流量开关选用标准流量为500slpm(VEFS2-S-\*-\*-500-P）的场合，换算如下：

1．压力换算系数： \mathsf { F p } { = } sqrt { ( ( 7 2 . 5 { + } 1 4 . 5 ) / 1 1 4 . 7 ) } { \approx } 0 . 8 7 1
2．气体换算系数： { \sf F 9 } = sqrt { ( 2 8 / 2 ) } \approx 3 . 7 4 2
3．温度换算系数： \mathsf { F t } = sqrt { ( 2 9 3 / 2 9 8 ) } \approx 0 . 9 9 2
实际的工作流量为500slpm x 0 . 8 7 1 x 3 . 7 4 2 x 0 . 9 9 2 \approx 1 6 1 6 . 6 slpm

真空发生器/VacuumGeneratorVVG系列

产品特点

·最大真空压力:-90kPa
·不锈钢316L结构
·MMHG(Torr)真空发生器
·产品制造符合VS001B工艺规范 (详见附录)
·驱动压力最小:90 psig (6bar)
· 100 % 氨泄漏测试

产品尺寸(mm)

真空和流量图

技术参数

类型：	真空发生器
最大真空压力：	-90kPa
最大真空压力下的进气压力：	70psig (5bar)
最大真空压力下的流量：	37L/min
母体材质：	SS 316L
最大工作压力：	150psig (10 bar)
温度适用：	0~150℃
气源：	氮气

订购参数

订购举例

真空发生器/VacuumGeneratorVVGV1系列

产品特点

·气动驱动，常闭型
·一体化设计，整合真空文丘里管、气动阀和单向阀
·紧凑设计
·最大真空度：-88 KPa
·产品制造符合VS001B工艺规范 (详见附录)

产品尺寸(mm)

真空和流量图

端口连接	尺寸（mm）
端口连接	A	B	C
MV4,FV4	36.3	-	35
FV4			35
TW4	-		19
FV8-MV8		41.6
TW6		24.4

技术参数

N2进气压力：	70 to 110 psig (4.8 to 7.6 bar)
真空接口最大压力：	3,500 psig (241 bar)
单向阀开启压力：	3 psid (0.2bar) (differential)
适用温度：	-14~160F (-10~71℃)
进气连接：	1/4" VFS fitting
出气连接：	1/2"VFS fiting,3/8"Tube weld
真空接口连接：	1/4"VFS fitting/Tubeweld
气动阀驱动连接：	M5
气动阀驱动压力：	60 to 110 psig (4 to 7.6 bar)
泄漏率：	Bubble tight
材质
母体：	316L
O型圈：	FKM/FFKM (option)

订购参数

订购举例

真空发生器/VacuumGeneratorVVGV2系列

■产品特点

·手动或气动驱动
·一体化设计，整合真空文丘里管、膜片阀和单向阀
·紧凑设计
·最大真空度：-88KPa
·产品制造符合VS001B工艺规范 (详见附录)

产品尺寸(mm)

真空和流量图

技术参数

N2进气压力：	70 to 110 psig (4.8 to 7.6 bar)
N2流量：	60 slpm at 80 psig
真空接口最大压力：	3,000 psig (207 bar)
单向阀开启压力：	3 psid (0.2 bar) (differential)
适用温度：	-14~160°F (-10~71℃)
进气连接：	1/4"VFS接头
出气连接：	1/4"1/2"VFS接头，3/8"焊接接管
真空接口连接：	1/4"VFS接头/焊接接管
膜片阀驱动连接：	M5
膜片阀驱动压力：	70 to 110 psig (4.8 to 7.6 bar)
泄漏率：	4x10-8 mbar l/s He (内部)
材质	2x10-10 mbar l/s He (外部)
母体：
O型圈：	316L FKM/FFKM(可选)

订购举例

计量阀/MeteringValveVMV系列

产品特点

·低压计量阀
·母体材质：316
·可面板安装
·游标刻度手柄可选
·直线型和直角型可选
·产品制造符合VS001B工艺规范 (详见附录)
·工作压力最大可达2000psig(137bar)
·直线型流量系数 \mathtt { C v } = 0 . 0 0 4 ~ 0 . 1 6

技术参数

型号	压力-温度额定值		孔径 in. (mm)	关断	阀杆锥度
型号	温度℃	工作压力 bar	孔径 in. (mm)	关断	阀杆锥度
A型	-23℃C至+204℃ (FKMO型圈)	137	0.032 (0.81)	否	1°
B型	-23℃C至+204℃ (FKMO型圈)	68.9 ①	0.056 (1.42)	否	3°
C型	-23℃C至+148℃ (丁晴橡胶O型圈)		0.128 (3.25)	是@	6°

① 当由于细螺距螺纹的强度限制，和高操作力矩而需要将阀进行调整时，下游压力最大值为500psig(34.4bar)。② 不推荐在真空中或者是在气体环境下使用不锈钢C型阀进行关断，或在液体环境下反复关断。

开启圈数与流量系数关系图

2 0 ^ { \circ } C 0 7 0 ^ { \circ } \mathsf { F } ）时的流量数据

最大流量Cv=0.004
至大气压的压降 bar	空气质量 stdL/min
0.68	1.1
3.4	2.8
6.8	5.6

最大流量Cv=0.03
至大气压的压降 bar	空气质量 stdL/min
0.68	9.3
3.4	25.4
6.8	42.4

最大流量Cv=0.16
至大气压的压降 bar	空气质量 stdL/min
0.68	56.6
3.4	181
6.8	323

产品尺寸

端口连接		订购编号	尺寸in.(mm)
接头		订购编号	L	H	H1	H2	E	G
A型直线型
卡套接头	1/16 in.	SS-VMV-A-01	1.56 (39.6)	2.34 (59.4)			0.38 (9.6)	0.45 (11.4)
	1/8 in.	SS-VMV-A-02	1.90 (48.3)
	1/4 in.	SS-VMV-A-04	2.04 (51.8)
	3mm	SS-VMV-A-3M	1.90 (48.3)
	6mm	SS-VMV-A-6M	2.04 (51.8)
VFS外螺纹	1/4 in.	SS-VMV-A-MV4	2.06 (52.3)
1/16 in.	SS-VMV-AL-01		0.81 (20.6)	A型直角型 3.22 (81.8)		0.88 (22.4) 0.98 (24.9)		0.45 (11.4)
	1/8 in.	SS-VMV-AL-02	0.98 (24.9)	3.22 (81.8) 3.36 (85.3)
	1/4 in.	SS-VMV-AL-04	1.02 (25.9)	0.92 (23.4)
	3mm	SS-VMV-AL-3M	0.98 (24.9)
NPT外螺纹/ 1/8 in. 卡套接头	SS-VMV-AL-M2-02	0.98 (24.9)	3.07 (78.0)
B型直线型
卡套接头	1/8 in.	SS-VMV-B-02	2.02 (51.3)	2.78 (70.6)	1.56 (39.6)	/	0.50 (12.7)	0.58 (14.7)
	1/4 in.	SS-VMV-B-04	2.20 (55.9)
	3mm	SS-VMV-B-3M	2.02 (51.3)
	6mm 1/8 in.	SS-VMV-B-6M	2.20 (55.9)
NPT外螺纹	SS-VMV-B-M2	1.50 (38.1)
	1/4 in.	SS-VMV-B-M4	1.96 (49.8)
NPT内螺纹 VFS外螺纹	1/8 in. 1/4 in.	SS-VMV-B-F2 SS-VMV-B-MV4	1.94 (49.3) 2.06 (52.3)
B型直角型
1/8 in. 卡套接头		SS-VMV-BL-02	1.01 (25.7)	3.30 (83.8)	1.07 (27.2)	1.01 (25.7)	0.50 (12.7)
	1/4 in.	SS-VMV-BL-04	1.10 (27.9)	3.39 (86.1)		1.10 (27.9)
	3mm	SS-VMV-BL-3M	1.01 (25.7)	3.30 (83.8)		1.01 (25.7)
	6mm	SS-VMV-BL-6M	1.10 (27.9)	3.39 (86.1)		1.10 (27.9)
	1/8 in.	SS-VMV-BL-M2	0.75 (19.1)	3.04 (77.2)		0.75 (19.1)
NPT外螺纹	1/4 in. SS-VMV-BL-M4	0.98 (24.9)	3.27 (83.1)	1.02 (25.9)
NPT外螺纹/ 卡套接头	1/8 in.	SS-VMV-BL-M2-02	1.01 (25.7)	3.04 (77.2)		0.75 (19.1)
NPT内螺纹	1/8 in.	SS-VMV-BL-F2	0.97 (24.6)	3.26 (82.8)		0.97 (24.6)

产品尺寸

端口连接		订购编号	尺寸in.(mm)
接头	尺寸			H	H1	H2	E	G

卡套接头	1/4 in.	SS-VMV-C-04	2.34 (59.4)	2.82 (71.6)	1.26 (32.0)	/	1.13 (28.7)	0.58 (14.7)
	3/8 in.	SS-VMV-C-06	2.46 (62.5)
	6mm	SS-VMV-C-6M	2.34 (59.4)
NPT外螺纹	1/4 in.	SS-VMV-C-M4	2.00 (50.8)
C型直角型
卡套接头	1/4 in.	SS-VMV-CL-04	1.17 (29.7)	3.77 (95.8)	1.04 (26.4)	1.17 (29.7)	1.13 (28.7)	0.58 (14.7)
	6mm	SS-VMV-CL-6M

选购附件

游标刻度手柄

产品特点：

·有助于保证可重复流量调整·能获得精确到1/25圈的读数·游标刻度手柄包含整套安装零件

订购举例：SS-VMV-AL-02-Y

|订购参数

波纹管密封计量阀/MeteringBellowsValveVBMV系列

产品特点

·测微计式手柄，能进行精确的，可重复的流量设定。·测微计手柄以0.001in. ( 0 . 0 2 5 ~ {mm } 增量测量阀杆位置。·工作压力可达700 psig (48.2 bar)
·温度高达 3 1 5 ^ { \circ } \mathsf { C } 0 6 0 0 ^ { \circ } \mathsf { F } ）
·316不锈钢结构
·产品制造符合VS001B工艺规范 (详见附录)
·用计量阀杆头 \mathsf { C v } = 0 . 0 1 9
·用调节阀杆头 C v = 0 . 3 0

技术参数

阀体对波纹管密封	阀杆头	阀杆锥度	Cv	内部容积 in.3 (cm3)	系列
垫片	计量	3°	0.019	0.07 (1.1)	VBMV
垫片	调节	20°	0.3	0.11 (1.6)	VBMRV

开启圈数与流量系数关系图

$2 0 ^ { \circ } C 0 7 0 ^ { \circ } \mathsf { F } ）时的流量数据$

2 0 ^ { \circ } C 0 7 0 ^ { \circ } \mathsf { F } ）时的流量数据

压力——温度额定值

材料	316SS
系列	VBMV/VBMRV
温度，℃(F)	工作压力，psig (bar)
-28 (-20)至37 (100) 93 (200)	700 (48.2) 610 (42.0)
148 (300) 204 (400)	530 (36.5) 450 (31.0)
260 (500) 315 (600)	375 (25.8) 300 (20.6)

产品尺寸(mm)

订购参数

端口连接		系列	订购编号	尺寸，(mm)
类型	进/出气			孔径	H	A	C	B	L
卡套接头	1/4"	VBMV	SS-VBMV-04-04	1.4	133	36.8	14.2		62.5
		VBMRV	SS-VBMRV-04-04	4.2	133
	6mm	VBMV	SS-VBMV-6M-6M	1.4	133	36.8			26.9
		VBMRV	SS-VBMRV-6M-6M	4.2	133
焊接接管	3/8"	VBMV	SS-VBMV-TW6-TW6	1.4	133	36.8	14.2	25.4	42.7
		VBMRV	SS-VBMRV-TW6-TW6	4.2
VFS外螺纹	1/4"	VBMV	SS-VBMV-MV4-MV4	1.4	133	36.8	11.2	25.4	56.9
		VBMRV	SS-VBMRV-MV4-MV4	4.2	133

产品特点

·紧凌型单向阀
·O型圈FKM标配，EPDM/FFKM可选
·产品制造符合VS001B工艺规范 (详见附录)
·最大工作压力:6000 psig (413bar)
·开启压力:1/3psi/1psi
·进/出气接口:VFS接头

产品应用

产品尺寸（mm)

·专为仪表面板和系统设计
·氢能源
·大流量应用

订购编号	尺寸(mm)
订购编号	A	B
VCVH-S-MV4-MV4	58.2	17.4
VCVH-S-MV8-MV8	68.3	25.4
VCVH-S-MV12-MV12	83.3	41.2

技术参数

工作压力：	Max. 6000 psig (413 bar)
开启压力：	1/3psi /1psi
母体材质：	详见订购参数
进/出气连接：	详见订购参数
O型圈：	FKM标配 EPDM/FFKM可选
泄漏率：	泡沫测试

公称开启压力	开启压力范围	复位压力
psi (bar)
1/3 (0.03)	3 (0.21) under	6 (0.42) under
1(0.07)	4 (0.28) under	5(0.35)
5(0.35)	3~9 (0.21~0.63)	2(0.14)
10 (0.69)	7~15 (0.49~1.1)	3(0.21)
25(1.8)	20~30 (1.4~2.1)	17(1.21)

|流量参数

额定值基于碳氟化合物FKM密封件。

材质	316SS
系列	04/08	12/18
温度，℃(F)	工作压力， psig (bar)
-28 (-20)至37 (100)	6000 (413)*	5000 (344)*
93 (200)	5160 (355)	4290 (295)
121 (250)	4910 (338)	4080 (281)
148 (300)	4660 (321)	3875 (266)
204 (400)	4280 (294)	3560 (245)

\*关于带有卡套管接头端接的阀的压力额定值详细资料，请查阅VIGOUR卡套管数据。

订购参数

产品特点

·直线型过滤器
·滤芯材质：316L
·产品制造符合VS001B工艺规范 (详见附录)
·体积小巧，重量轻
·优异的化学兼容性
·适用于氧气

技术参数

工作压力：	2350 psig (162bar)
工作温度：	-10~100℃
材质
母体：	SS 316L
滤芯：	SS 316L
垫圈：	SS 316L/PTFE
端口连接：	VFS螺纹接头

产品尺寸(mm)

订购参数

可调式单向阀/AdjustableCheckValveVCA系列

产品特点

·可调节出口压力的单向阀
·调节螺丝设定开启压力
·锁紧螺丝保持设定
·产品制造符合VS001B工艺规范 (详见附录)
·316L不锈钢材料

产品应用

·用于特气设备调压阀后的超压排放·需要设定压力的单向流通场景

流量参数

技术参数

工作压力：	Max.3000 psig (206 bar)
开启压力：	3~350psi
母体材质：	详见订购参数
进/出气连接：	详见订购参数
O型圈：	FKM(标准)EPDM/FFKM（可选）
泄漏率：	泡沫测试

产品尺寸(mm)

端口连接	尺寸(mm)
	A	B
04	82	15.8
6M
8M
M4	84.3 79.2
MV4	78.5

订购参数

全焊接单向阀/All-WeldedCheckValveVUCV系列

产品特点

·全焊接设计，无死角
·开启压力小于2psig (0.13bar)
·产品制造符合VS001B工艺规范 (详见附录)
·用于超高纯的316LSS材料
·耐久性强，耐腐蚀，寿命长
·弹簧材料Elgiloy?，使用过程中无噪音

技术参数

工作压力：	3000 psig (200bar)
开启压力：
工作温度：	-10~80℃
材质
母体：	SS 316L
弹簧：	Elgiloy@
O型圈：	FKM（标准)EPDM/FFKM（可选）
流量参数：	Cv=0.55 (1/4"）Cv=0.70(1/2")

产品尺寸(mm)

端口连接	尺寸(mm)
端口连接	A	B
1/4"VFS外螺纹	45.7	22
1/2"VFS外螺纹	52.5	27

订购参数

一产品特点

·VUF系列是直线式气体过滤器，专为超高纯度气体过滤应用而设计
·滤芯材质：PTFE，外壳材质：316L
·产品制造符合VS001B工艺规范 (详见附录)
·颗粒去除效率高
·过滤精度 0 . 0 0 3 \mu { m }
·具有优秀的化学兼容性
·耐高温、高压工作环境
·结构紧凑，易于安装
· 100 % 氨漏测试

流量图

产品尺寸 (mm)

订购编号	尺寸 (mm)
订购编号	A	B
VUF-P-MV4-MV4-60	84.1	18.9
VUF-P-MV4-FV4-60	88.9	18.9
VUF-P-MV4-MV4-120	127	25.8
VUF-P-MV4-MV4-500	127	33.8
VUF-P-MV4-FV4-500	141.2	33.8
VUF-P-MV8-MV8-120	133.4	25.8
VUF-P-MV8-MV8-1000	127	33.8

订购参数

订购编号	外壳材质	滤芯材质	进气连接	出气连接	最大流量
VUF-P-MV4-MV4-60	316L	PTFE	1/4" VFS male	1/4" VFS male	0~60 slpm
VUF-P-MV4-FV4-60	316L	PTFE	1/4"VFSmale	1/4"VFSfemale	0~60slpm
VUF-P-MV4-MV4-120	316L	PTFE	1/4"VFS male	1/4"VFS male	0~120 slpm
VUF-P-MV4-MV4-500	316L	PTFE	1/4" VFS male	1/4"VFSmale	0~500 slpm
VUF-P-MV4-FV4-500	316L	PTFE	1/4" VFS male	1/4" VFS female	0~500 slpm
VUF-P-MV8-MV8-120	316L	PTFE	1/2"VFSmale	1/2"VFS male	0~120 slpm
VUF-P-MV8-MV8-1000	316L	PTFE	1/2"VFS male	1/2"VFS male	0~1000 slpm

产品特点

·全金属过滤器
·紧凑设计
·保护敏感气体组件免受颗粒物损坏
·可与燃气系统集成，不浪费空间
·产品制造符合VS001B工艺规范 (详见附录)
·颗粒物小至0.3um
·用高纯度氮气清洗
·适合标准1/4”或 1 / 2 " VFS垫圈

产品特点

订购参数

产品特点

产品尺寸(mm)

订购参数

换算公式

换算举例

真空发生器/VacuumGeneratorVVG系列

产品特点

产品尺寸(mm)

真空和流量图

技术参数

订购参数

订购举例

真空发生器/VacuumGeneratorVVGV1系列

产品特点

产品尺寸(mm)

真空和流量图

技术参数

订购参数

订购举例

真空发生器/VacuumGeneratorVVGV2系列

■产品特点

产品尺寸(mm)

真空和流量图

技术参数

订购举例

计量阀/MeteringValveVMV系列

产品特点

技术参数

开启圈数与流量系数关系图

产品尺寸

产品尺寸

选购附件

游标刻度手柄

产品特点：

|订购参数

波纹管密封计量阀/MeteringBellowsValveVBMV系列

产品特点

技术参数

开启圈数与流量系数关系图

压力——温度额定值

产品尺寸(mm)

订购参数

产品特点

产品应用

产品尺寸（mm)

|流量参数

订购参数

产品特点

订购参数

可调式单向阀/AdjustableCheckValveVCA系列

产品特点

产品应用

流量参数

产品尺寸(mm)

订购参数

全焊接单向阀/All-WeldedCheckValveVUCV系列

产品特点

订购参数

一产品特点

流量图

产品尺寸 (mm)

订购参数

产品特点

流量图

产品尺寸 (mm)

订购参数

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