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MultiFields
多场科技
ColdTABLE
极低振动 & 低温光学测试平台
⽆液氦
MultiFields Technologies
MultiFields® Product Catalog 2024
多场低温科技（北京）有限公司
北京市
怀柔区科学城
有⾊⾦属研究院园区2号楼5层
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shipshen@multiÞelds.com
+86 18600553105
MultiFields Technologies Co., Ltd.
5th Floor, 2# Building
Industry Park of Nonferrous Metal Research Institute
Huairou Science City
Huairou District, Beijing, China
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多场科技
北京卓立汉光仪器有限公司 | www.zolix.com.cn
压电运动产品
室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
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多场科技
室温·压电运动单元
无磁 | 超高真空
卓立携手合作伙伴“多场科技”提供线性运动，旋转运动，摇摆运动和扫描
运动的产品。也针对极端环境 (30mK, 2·E-11 mbar & 18 Tesla) 下高精
度空间位移操控需求，提供全尺的闭环运动解决案。
室温 & 低温·压电运动台 ( 闭环 )
基本运动模块覆盖：
•线性移动(闭环) •旋转（闭环） • 摇摆（闭环） • 纳米扫描运动
室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
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⻓⾏程运动单元 （压电运动台）
纳⽶级精最⼩步伐，运动⾏程可到1000 mm
系列
很均衡，兼顾外形尺⼨、⾏程、速度、负载的⽔桶产品，多种运动可选
系列
就是快，超⾼速不⽌
系列
很⼤⼒，超⾼负载能⼒以上运动⽅向推⼒输出
系列
极简⻛，极⼩运动截⾯，⼯业集成的不⼆之选
系列
很⼩，最⼩⾄投影⾯积
压
电
运
动
室
温
压
电
运
动
室
温
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⻓⾏程⾼级运动模组
并联结构设计，针对应⽤场景深度优化
系列
⻓⾏程并联结构，⽀持轴，轴多⾃由度选择
六⾃由度并联运动台
结构紧凑的六⾃由度并联，可⾃由定义坐标原点，纳⽶级精度
三⾃由度并联运动台
三⾃由度并联，可调平，可升降
系列
⼆维显微载物台，紧凑外形，适配市⾯所有常⻅显微镜
压电位移台运动控制器
单、多通道任意搭配，强⼤的驱动能⼒，丰富的通讯接⼝
压
电
运
动
室
温
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⻓⾏程运动单元 （压电运动台）
纳⽶级精最⼩步伐，运动⾏程可到1000 mm
系列
很均衡，兼顾外形尺⼨、⾏程、速度、负载的⽔桶产品，多种运动可选
系列
就是快，超⾼速不⽌
系列
很⼤⼒，超⾼负载能⼒以上运动⽅向推⼒输出
系列
极简⻛，极⼩运动截⾯，⼯业集成的不⼆之选
系列
很⼩，最⼩⾄投影⾯积
压
电
运
动
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温
压
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运
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⻓⾏程⾼级运动模组
并联结构设计，针对应⽤场景深度优化
系列
⻓⾏程并联结构，⽀持轴，轴多⾃由度选择
六⾃由度并联运动台
结构紧凑的六⾃由度并联，可⾃由定义坐标原点，纳⽶级精度
三⾃由度并联运动台
三⾃由度并联，可调平，可升降
系列
⼆维显微载物台，紧凑外形，适配市⾯所有常⻅显微镜
压电位移台运动控制器
单、多通道任意搭配，强⼤的驱动能⼒，丰富的通讯接⼝
压
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动
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温
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室温·压电运动单元
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（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
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短⾏程扫描产品（压电扫描台系列）
纳⽶级、亚纳⽶级分辨率，动态扫描、跟踪，柔性导向⽆摩擦
紧凑型扫描台
紧凑外形设计，电容闭环控制，超⾼精度
，，
系列，标准型扫描台
，，
系列，⾼动态系列
，
系列，重载型扫描台
通孔型扫描台
负载，⼯作频率和精度的完美平衡之选
系列，标准型通孔扫描台
，，
系列，轻载型通孔扫描台
系列，物镜控制型扫描台
，，
扫描台控制器
压
电
运
动
室
温
压
电
运
动
室
温
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压
电
运
动
室
温
压电光学⾃动化
精确光束控制，快速响应跟踪与静态⾼稳定性的多重解决⽅案
⾼速光学摇摆台
⽅向光学摇摆台
光学摇摆台
，
光学摇摆台
电动镜架及压电电动螺钉
压电螺钉驱动器
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短⾏程扫描产品（压电扫描台系列）
纳⽶级、亚纳⽶级分辨率，动态扫描、跟踪，柔性导向⽆摩擦
紧凑型扫描台
紧凑外形设计，电容闭环控制，超⾼精度
，，
系列，标准型扫描台
，，
系列，⾼动态系列
，
系列，重载型扫描台
通孔型扫描台
负载，⼯作频率和精度的完美平衡之选
系列，标准型通孔扫描台
，，
系列，轻载型通孔扫描台
系列，物镜控制型扫描台
，，
扫描台控制器
压
电
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动
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温
压
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压
电
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压电光学⾃动化
精确光束控制，快速响应跟踪与静态⾼稳定性的多重解决⽅案
⾼速光学摇摆台
⽅向光学摇摆台
光学摇摆台
，
光学摇摆台
电动镜架及压电电动螺钉
压电螺钉驱动器
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室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
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压
电
运
动
室
温
压
电
运
动
室
温
1.1
Lab 系列
精度，速度&负载
的平衡的选择
1.2.
Speed 系列
超过200mm/s
⾼速运动
1.1.3
GSx.Lab 系列
⻆摆运动平台
1.2.2
RSx.Speed 系列
⾼速旋转运动平台
1.2.1
LSx.Speed 系列
⾼速x⽅向运动平台
1.1.1
LSx.Lab 系列
x⽅向运动平台
1.1.2
RSx.Lab 系列
旋转运动平台
Chap.01
⻓⾏程·运动单元 (压电运动台)
纳⽶级最⼩步伐，完全静⾳驱动，产品矩阵全⾯覆盖常规需求
压
电
运
动
室
温
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1.3.
Force 系列
最⼤100N推⼒
超⼤输出
1.4.
Indus 系列
超⻓线性运动⾏程
300mm以上
1.5.
mini 系列
11 mm x 11 mm
极⼩外形尺⼨
1.3.2
LSx.Force 系列
x⽅向运动平台
1.3.1
FDU 系列
基础运动模块
1.5.1
x.mini 系列
x⽅向运动平台
1.4.1
Lxxx.indus 系列
x⽅向运动平台
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压
电
运
动
室
温
压
电
运
动
室
温
1.1
Lab 系列
精度，速度&负载
的平衡的选择
1.2.
Speed 系列
超过200mm/s
⾼速运动
1.1.3
GSx.Lab 系列
⻆摆运动平台
1.2.2
RSx.Speed 系列
⾼速旋转运动平台
1.2.1
LSx.Speed 系列
⾼速x⽅向运动平台
1.1.1
LSx.Lab 系列
x⽅向运动平台
1.1.2
RSx.Lab 系列
旋转运动平台
Chap.01
⻓⾏程·运动单元 (压电运动台)
纳⽶级最⼩步伐，完全静⾳驱动，产品矩阵全⾯覆盖常规需求
压
电
运
动
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温
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1.3.
Force 系列
最⼤100N推⼒
超⼤输出
1.4.
Indus 系列
超⻓线性运动⾏程
300mm以上
1.5.
mini 系列
11 mm x 11 mm
极⼩外形尺⼨
1.3.2
LSx.Force 系列
x⽅向运动平台
1.3.1
FDU 系列
基础运动模块
1.5.1
x.mini 系列
x⽅向运动平台
1.4.1
Lxxx.indus 系列
x⽅向运动平台
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室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
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压
电
运
动
室
温
运动⽅向 运动⽅向
系列 系列
系列 系列
系列
系列
，绝对⽆磁版本；，⾼真空版本；，超⾼真空版本；
Part 1.1
“Lab系列”产品矩阵汇总
速度，最⼩步伐 & 负载的均衡之选；全品类超100种基础运动模块，覆盖绝⼤多数使⽤需求
压
电
运
动
室
温
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⻆摆台 旋转台
系列 系列 系列
系列 系列 系列
N/A
N/A
，绝对⽆磁版本；，⾼真空版本；，超⾼真空版本；
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压
电
运
动
室
温
运动⽅向 运动⽅向
系列 系列
系列 系列
系列
系列
，绝对⽆磁版本；，⾼真空版本；，超⾼真空版本；
Part 1.1
“Lab系列”产品矩阵汇总
速度，最⼩步伐 & 负载的均衡之选；全品类超100种基础运动模块，覆盖绝⼤多数使⽤需求
压
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⻆摆台 旋转台
系列 系列 系列
系列 系列 系列
N/A
N/A
，绝对⽆磁版本；，⾼真空版本；，超⾼真空版本；
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室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
“Lab 系列”
速度，负载和外形尺⼨的均衡选择
特殊⼯作环境 ! 标准
标准版
⼤⽓环境
外形尺⼨
!
运动⾃由度
!
运动台型号
!
# 标准版，类种
!
!
光学传感 !
!
!
!
!
!
!
!
!
!
!
!
# 经济版，类种
!
!
光学传感 !
!
!
!
# ⾼级版，类种
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光学传感 !
!
!
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!
压
电
运
动
室
温
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⾼真空版
超⾼真空版
⽆磁版本
⼤⽓环境
完全⽆磁材料
⽆磁⾼真空版
完全⽆磁材料
⽆磁超⾼真空
版
完全⽆磁材料
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! ! ! ! !
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电
运
动
室
温
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“Lab 系列”
速度，负载和外形尺⼨的均衡选择
特殊⼯作环境 ! 标准
标准版
⼤⽓环境
外形尺⼨
!
运动⾃由度
!
运动台型号
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# 标准版，类种
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光学传感 !
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# 经济版，类种
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光学传感 !
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# ⾼级版，类种
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光学传感 !
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电
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动
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⾼真空版
超⾼真空版
⽆磁版本
⼤⽓环境
完全⽆磁材料
⽆磁⾼真空版
完全⽆磁材料
⽆磁超⾼真空
版
完全⽆磁材料
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压
电
运
动
室
温
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室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
# 产品参数 LS35x.Lab LS35x.Lab.E
1 特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
⽆
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 35 × 35 × 12 mm
3 主体材料 标准版，.HV，.UHV 不锈钢；NM，纯钛 不锈钢
4 质量 标准版，.HV，.UHV 85 g；NM，60g 85 g
5 运动⾏程 20 mm （加⻓版本最⾼可⾄50 mm）
6 驱动频率 Max. 20 kHz
7 线缆 & 接头 标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15；UHV版本，kapton漆包线，PEEK D-Sub15
8 最⼤速度 ~ 20 mm/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
9 最⼩步伐（闭环） 10 nm（⾼级版 5 nm） 100 nm
10 位置重复精度 ±100 nm ±300 nm
11 运动⽅向最⼤推⼒ 2 N （⾼推⼒版本可达4N） 2 N
12 保持⼒ 3 N （⾼推⼒版本可达5 N）
13 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 1kg
14 竖直⽅向使⽤最⼤负载 100 g（⾼推⼒版本可达250g）
15 位置传感器类型 光学位置传感器
16 位置传感器分辨率 标准版本 2 nm；.adv 版本 0.5 nm； 50 nm 分辨率
17 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
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压
电
运
动
室
温
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
另
⾏
通
知
︒
“Lab系列” 线性位移台 — LS35x.Lab
速度，纳⽶级空间分辨率 & 推⼒的平衡之选，超安静运动
# 产品特⾊ • 纳⽶级位置连续调节
• 5nm 最⼩步伐
• 超⾼真空，完全⽆磁版本 • 百万次全⾏程耐久测试
# 产品图⽚ & 尺⼨
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• 可与旋转台，摇摆台等⾃由堆叠组合
# 产品参数 LS35z.Lab
1 特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 35 × 35 × 41 mm
3 主体材料 标准版 .HV，.UHV 不锈钢；.NM，纯钛
4 质量 标准版，.HV，.UHV 250 g；NM，160g
5 运动⾏程 10 mm
6 驱动频率 Max. 20 kHz
7 线缆 & 接头 标准版/HV版本，屏蔽线缆 D - Sub15；UHV版本，kapton漆包线，PEEK D - Sub15
8 最⼤速度 ~ 10 mm/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
9 最⼩步伐（闭环） 10 nm（⾼级版 5 nm）
10 位置重复精度 ±150nm
11 运动⽅向最⼤推⼒/负载 500 g
12 全⾏程俯仰/偏摆 0.3 mrad
13 位置传感器类型 光学位置传感器
14 位置传感器分辨率 标准版本 2 nm； .adv 版本 0.5 nm；
15 控制器规格 MC-Newton.S系列
更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
压
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运
动
室
温
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“Lab系列”垂直位移台 — LS35z.Lab
速度，纳⽶级空间分辨率 & 推⼒的平衡之选，超安静运动
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
另
⾏
通
知
︒
# 产品特⾊ • 超安静运动
• 断电位置⾃保持
• 内置⾼精度光学位置传感器 • 纳⽶级分辨率
# 产品图⽚ & 尺⼨
• 可与旋转台，摇摆台等⾃由堆叠组合
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TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
# 产品参数 LS35x.Lab LS35x.Lab.E
1 特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
⽆
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 35 × 35 × 12 mm
3 主体材料 标准版，.HV，.UHV 不锈钢；NM，纯钛 不锈钢
4 质量 标准版，.HV，.UHV 85 g；NM，60g 85 g
5 运动⾏程 20 mm （加⻓版本最⾼可⾄50 mm）
6 驱动频率 Max. 20 kHz
7 线缆 & 接头 标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15；UHV版本，kapton漆包线，PEEK D-Sub15
8 最⼤速度 ~ 20 mm/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
9 最⼩步伐（闭环） 10 nm（⾼级版 5 nm） 100 nm
10 位置重复精度 ±100 nm ±300 nm
11 运动⽅向最⼤推⼒ 2 N （⾼推⼒版本可达4N） 2 N
12 保持⼒ 3 N （⾼推⼒版本可达5 N）
13 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 1kg
14 竖直⽅向使⽤最⼤负载 100 g（⾼推⼒版本可达250g）
15 位置传感器类型 光学位置传感器
16 位置传感器分辨率 标准版本 2 nm；.adv 版本 0.5 nm； 50 nm 分辨率
17 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
www.multi-field.com ｜ MultiFields Technologies
压
电
运
动
室
温
产
品
会
随
技
术
升
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或
换
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⽽
不
断
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设
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规
格
或
参
数
︐
如
有
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改
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不
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通
知
︒
“Lab系列” 线性位移台 — LS35x.Lab
速度，纳⽶级空间分辨率 & 推⼒的平衡之选，超安静运动
# 产品特⾊ • 纳⽶级位置连续调节
• 5nm 最⼩步伐
• 超⾼真空，完全⽆磁版本 • 百万次全⾏程耐久测试
# 产品图⽚ & 尺⼨
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• 可与旋转台，摇摆台等⾃由堆叠组合
# 产品参数 LS35z.Lab
1 特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 35 × 35 × 41 mm
3 主体材料 标准版 .HV，.UHV 不锈钢；.NM，纯钛
4 质量 标准版，.HV，.UHV 250 g；NM，160g
5 运动⾏程 10 mm
6 驱动频率 Max. 20 kHz
7 线缆 & 接头 标准版/HV版本，屏蔽线缆 D - Sub15；UHV版本，kapton漆包线，PEEK D - Sub15
8 最⼤速度 ~ 10 mm/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
9 最⼩步伐（闭环） 10 nm（⾼级版 5 nm）
10 位置重复精度 ±150nm
11 运动⽅向最⼤推⼒/负载 500 g
12 全⾏程俯仰/偏摆 0.3 mrad
13 位置传感器类型 光学位置传感器
14 位置传感器分辨率 标准版本 2 nm； .adv 版本 0.5 nm；
15 控制器规格 MC-Newton.S系列
更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
压
电
运
动
室
温
www.multi-field.com ｜ MultiFields Technologies
“Lab系列”垂直位移台 — LS35z.Lab
速度，纳⽶级空间分辨率 & 推⼒的平衡之选，超安静运动
产
品
会
随
技
术
升
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或
换
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⽽
不
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其
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规
格
或
参
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如
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不
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通
知
︒
# 产品特⾊ • 超安静运动
• 断电位置⾃保持
• 内置⾼精度光学位置传感器 • 纳⽶级分辨率
# 产品图⽚ & 尺⼨
• 可与旋转台，摇摆台等⾃由堆叠组合
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TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
# 产品参数 LS65x.Lab LS65x.Lab.E
1 特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
⽆
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 65 × 65 × 13 mm
3 主体材料 标准版，.NM 铝合⾦； .HV .UHV 纯Ti 铝合⾦
4 质量 标准版：160 g；.NM 110 g；.HV .UHV 260 g；.HV.NM .UHV.NM 210 g
5 运动⾏程 30 mm （加⻓版本最⾼可⾄100 mm）
6 驱动频率 Max. 20 kHz
7 线缆 & 接头 标准版 / HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15，UHV版本，kapton漆包线，PEEK D-Sub15
8 最⼤速度 ~ 20 mm/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
9 最⼩步伐（闭环） 10 nm（⾼级版 5 nm） 100 nm
10 位置重复精度 ±100 nm ±300 nm
11 运动⽅向最⼤推⼒ 2 N （⾼推⼒版本可达4N） 2 N
12 保持⼒ 3 N （⾼推⼒版本可达5N）
13 全⾏程俯仰/偏摆 0.3 mrad
14 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 2 kg
15 竖直⽅向使⽤最⼤负载 100 g（⾼推⼒版本可达250g）
16 位置传感器类型 光学位置传感器
17 位置传感器分辨率 默认版本 2 nm；.adv 版本 0.5 nm； 50 nm
18 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
www.multi-field.com ｜ MultiFields Technologies
压
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“Lab系列” 线性位移台 — LS65x.Lab
速度，纳⽶级空间分辨率 & 推⼒的平衡之选，超安静运动
产
品
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随
技
术
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# 产品特⾊ • 超⾼真空，完全⽆磁版本兼容
• 百万次全⾏程耐久测试
• 纳⽶级位置连续调节 • 超精密运动
# 产品图⽚ & 尺⼨
4 x 3.20 3.00
6.00 5.40 4 x M3 - 6H 3.50
2.50 3.50
4 x 3.00 H7 2.00
4 x M3 - 6H 3.50
2.50 3.50
15.00
65.00
65.00
13.00
4 x 3.00 H7 1.50
25.00 45.00
50.00
4 x 3.20 3.00
6.00 5.40 4 x M3 - 6H 3.50
2.50 3.50
4 x 3.00 H7 2.00
4 x M3 - 6H 3.50
2.50 3.50
15.00
65.00
65.00
13.00
4 x 3.00 H7 1.50
25.00 45.00
50.00
4 x 3.20 3.00
6.00 5.40 4 x M3 - 6H 3.50
2.50 3.50
4 x 3.00 H7 2.00
4 x M3 - 6H 3.50
2.50 3.50
15.00
65.00
65.00
13.00
4 x 3.00 H7 1.50
25.00 45.00
50.00
• 可与旋转台，摇摆台等⾃由堆叠组合
压
电
运
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“Lab系列” 升降位移台 — LS65z.Lab
速度，纳⽶级空间分辨率 & 推⼒的平衡之选，超安静运动
# 产品参数 LS65z.Lab
1 特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 65 × 65 × 44 mm
3 主体材料 标准版，.NM 铝合⾦；.HV .UHV 纯Ti
4 质量 标准版：310 g；.NM 270 g；.HV .UHV 500 g；.HV.NM .UHV.NM 460 g
5 运动⾏程 10 mm（增程版20 mm）
6 驱动频率 Max. 20 kHz
7 线缆 & 接头 标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15；UHV版本，kapton漆包线，PEEK D-Sub15
8 最⼤速度 ~ 10 mm/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
9 最⼩步伐（闭环） 10 nm（⾼级版 5 nm）
10 位置重复精度 ±150 nm
11 运动⽅向最⼤推⼒/负载 500 g （平衡负载版本最⾼可⾄1.5 kg）
12 全⾏程俯仰/偏摆 0.3 mrad
13 位置传感器类型 光学位置传感器
14 位置传感器分辨率 标准版本 2 nm；.adv 版本 0.5 nm；
15 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
产
品
会
随
技
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升
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或
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# 产品特⾊ • 超⾼真空，完全⽆磁版本兼容
• 百万次全⾏程耐久测试
• 纳⽶级位置连续调节
# 产品图⽚ & 尺⼨
10.00
65.00
54.00 4 x M3 - 6H 4.00
2.50 4.00
4 x M3 4.00
2.50 4.00
3.05 X 90.00°, 近端
8 x M2 - 6H 4.00
1.60 4.00
55.00 50.00 30.00 20.00
25.00
30.00
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65.00
4 x 3.40 5.00 4 x 3.00 H7 2.00
55.00 50.00
45.00
55.00
44.00
10.00
65.00
54.00 4 x M3 - 6H 4.00
2.50 4.00
4 x M3 4.00
2.50 4.00
3.05 X 90.00°, 近端
8 x M2 - 6H 4.00
1.60 4.00
55.00 50.00 30.00 20.00
25.00
30.00
55.00
65.00
4 x 3.40 5.00 4 x 3.00 H7 2.00
55.00 50.00
45.00
55.00
44.00
10.00
65.00
54.00 4 x M3 - 6H 4.00
2.50 4.00
4 x M3 4.00
2.50 4.00
3.05 X 90.00°, 近端
8 x M2 - 6H 4.00
1.60 4.00
55.00 50.00 30.00 20.00
25.00
30.00
55.00
65.00
4 x 3.40 5.00 4 x 3.00 H7 2.00
55.00 50.00
45.00
55.00
44.00
• 可与旋转台，摇摆台等⾃由堆叠组合
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
# 产品参数 LS65x.Lab LS65x.Lab.E
1 特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
⽆
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 65 × 65 × 13 mm
3 主体材料 标准版，.NM 铝合⾦； .HV .UHV 纯Ti 铝合⾦
4 质量 标准版：160 g；.NM 110 g；.HV .UHV 260 g；.HV.NM .UHV.NM 210 g
5 运动⾏程 30 mm （加⻓版本最⾼可⾄100 mm）
6 驱动频率 Max. 20 kHz
7 线缆 & 接头 标准版 / HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15，UHV版本，kapton漆包线，PEEK D-Sub15
8 最⼤速度 ~ 20 mm/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
9 最⼩步伐（闭环） 10 nm（⾼级版 5 nm） 100 nm
10 位置重复精度 ±100 nm ±300 nm
11 运动⽅向最⼤推⼒ 2 N （⾼推⼒版本可达4N） 2 N
12 保持⼒ 3 N （⾼推⼒版本可达5N）
13 全⾏程俯仰/偏摆 0.3 mrad
14 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 2 kg
15 竖直⽅向使⽤最⼤负载 100 g（⾼推⼒版本可达250g）
16 位置传感器类型 光学位置传感器
17 位置传感器分辨率 默认版本 2 nm；.adv 版本 0.5 nm； 50 nm
18 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
www.multi-field.com ｜ MultiFields Technologies
压
电
运
动
室
温
“Lab系列” 线性位移台 — LS65x.Lab
速度，纳⽶级空间分辨率 & 推⼒的平衡之选，超安静运动
产
品
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技
术
升
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或
换
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如
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# 产品特⾊ • 超⾼真空，完全⽆磁版本兼容
• 百万次全⾏程耐久测试
• 纳⽶级位置连续调节 • 超精密运动
# 产品图⽚ & 尺⼨
4 x 3.20 3.00
6.00 5.40 4 x M3 - 6H 3.50
2.50 3.50
4 x 3.00 H7 2.00
4 x M3 - 6H 3.50
2.50 3.50
15.00
65.00
65.00
13.00
4 x 3.00 H7 1.50
25.00 45.00
50.00
4 x 3.20 3.00
6.00 5.40 4 x M3 - 6H 3.50
2.50 3.50
4 x 3.00 H7 2.00
4 x M3 - 6H 3.50
2.50 3.50
15.00
65.00
65.00
13.00
4 x 3.00 H7 1.50
25.00 45.00
50.00
4 x 3.20 3.00
6.00 5.40 4 x M3 - 6H 3.50
2.50 3.50
4 x 3.00 H7 2.00
4 x M3 - 6H 3.50
2.50 3.50
15.00
65.00
65.00
13.00
4 x 3.00 H7 1.50
25.00 45.00
50.00
• 可与旋转台，摇摆台等⾃由堆叠组合
压
电
运
动
室
温
www.multi-field.com ｜ MultiFields Technologies
“Lab系列” 升降位移台 — LS65z.Lab
速度，纳⽶级空间分辨率 & 推⼒的平衡之选，超安静运动
# 产品参数 LS65z.Lab
1 特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 65 × 65 × 44 mm
3 主体材料 标准版，.NM 铝合⾦；.HV .UHV 纯Ti
4 质量 标准版：310 g；.NM 270 g；.HV .UHV 500 g；.HV.NM .UHV.NM 460 g
5 运动⾏程 10 mm（增程版20 mm）
6 驱动频率 Max. 20 kHz
7 线缆 & 接头 标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15；UHV版本，kapton漆包线，PEEK D-Sub15
8 最⼤速度 ~ 10 mm/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
9 最⼩步伐（闭环） 10 nm（⾼级版 5 nm）
10 位置重复精度 ±150 nm
11 运动⽅向最⼤推⼒/负载 500 g （平衡负载版本最⾼可⾄1.5 kg）
12 全⾏程俯仰/偏摆 0.3 mrad
13 位置传感器类型 光学位置传感器
14 位置传感器分辨率 标准版本 2 nm；.adv 版本 0.5 nm；
15 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
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其
设
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规
格
或
参
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︐
如
有
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⾏
通
知
︒
# 产品特⾊ • 超⾼真空，完全⽆磁版本兼容
• 百万次全⾏程耐久测试
• 纳⽶级位置连续调节
# 产品图⽚ & 尺⼨
10.00
65.00
54.00 4 x M3 - 6H 4.00
2.50 4.00
4 x M3 4.00
2.50 4.00
3.05 X 90.00°, 近端
8 x M2 - 6H 4.00
1.60 4.00
55.00 50.00 30.00 20.00
25.00
30.00
55.00
65.00
4 x 3.40 5.00 4 x 3.00 H7 2.00
55.00 50.00
45.00
55.00
44.00
10.00
65.00
54.00 4 x M3 - 6H 4.00
2.50 4.00
4 x M3 4.00
2.50 4.00
3.05 X 90.00°, 近端
8 x M2 - 6H 4.00
1.60 4.00
55.00 50.00 30.00 20.00
25.00
30.00
55.00
65.00
4 x 3.40 5.00 4 x 3.00 H7 2.00
55.00 50.00
45.00
55.00
44.00
10.00
65.00
54.00 4 x M3 - 6H 4.00
2.50 4.00
4 x M3 4.00
2.50 4.00
3.05 X 90.00°, 近端
8 x M2 - 6H 4.00
1.60 4.00
55.00 50.00 30.00 20.00
25.00
30.00
55.00
65.00
4 x 3.40 5.00 4 x 3.00 H7 2.00
55.00 50.00
45.00
55.00
44.00
• 可与旋转台，摇摆台等⾃由堆叠组合
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
压
电
运
动
室
温
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运
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“Lab系列” 升降位移台 — LS80z.Lab
速度，纳⽶级空间分辨率 & 推⼒的平衡之选，超安静运动
# 产品参数 LS80z.Lab
特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
底⾯尺⼨ × ⾼度 80 × 80 × 40 mm
主体材料 标准版，.NM 铝合⾦；.HV .UHV 纯Ti
运动⾏程 10 mm
驱动频率 Max. 20 kHz
线缆 & 接头 标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15；UHV版本，kapton漆包线，PEEK D-Sub15
最⼤速度 ~ 3 mm/s（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
最⼩步伐（闭环） 10 nm
保持⼒ 15 N
运动⽅向最⼤推⼒/负载 1 kg （平衡负载版本可⾄3 kg）
位置传感器类型 光学位置传感器
位置传感器分辨率 2 nm
控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
# 产品特⾊ • 超安静运动
• 断电位置⾃保持
• 更⼤负载能⼒
• 纳⽶级分辨率
• 内置⾼精度光学位置传感器
• 可与旋转台，摇摆台等⾃由堆叠组合
# 产品图⽚ & 尺⼨
80.00
80.00
50.00
25.00
50.00 25.00
8 x M3 - 6H 4.00
40.00
85.68
4 x 3.20 2.50
75.00
75.00
44.82
86.69
50.00
80.00
80.00
50.00
25.00
50.00 25.00
8 x M3 - 6H 4.00
40.00
85.68
4 x 3.20 2.50
75.00
75.00
44.82
86.69
50.00
80.00
80.00
50.00
25.00
50.00 25.00
8 x M3 - 6H 4.00
40.00
85.68
4 x 3.20 2.50
75.00
75.00
44.82
86.69
50.00
“Lab系列” 线性位移台 — LS105x.Lab
速度，纳⽶级空间分辨率 & 推⼒的平衡之选，超安静运动
# 产品参数 LS105x.Lab
1 特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 105 × 105 × 20 mm
3 主体材料 标准版，.NM 铝合⾦；.HV .UHV 纯Ti
5 运动⾏程 60 mm （加⻓版本最⾼可⾄200 mm）
6 驱动频率 Max. 20 kHz
7 线缆 & 接头 标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15，UHV版本，kapton漆包线，PEEK D-Sub15
8 最⼤速度 ~ 20 mm/s（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
9 最⼩步伐（闭环） 10 nm
10 运动⽅向最⼤推⼒ 3 N
11 保持⼒ 5 N
12 全⾏程俯仰/偏摆 0.2 mrad
13 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 4 kg
14 位置传感器类型 光学位置传感器
15 位置传感器分辨率 2 nm
16 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持
• 更⼤负载能⼒
• 内置⾼精度光学位置传感器
• 可与旋转台，摇摆台等⾃由堆叠组合
# 产品图⽚ & 尺⼨
105.00
4 x M4 5.00
4 x 4.00 H7 4.00
8 x M3 5.00
25.00
55.00
50.00
75.00
95.00 75.00 55.00 50.00 20.00
105.00
75.00
75.00 50.00
95.00
4 x 4.00 H7 4.00
4 x 4.30 6.00
8.20 6.00
30.00
105.00
4 x M4 5.00
4 x 4.00 H7 4.00
8 x M3 5.00
25.00
55.00
50.00
75.00
95.00 75.00 55.00 50.00 20.00
105.00
75.00
75.00 50.00
95.00
4 x 4.00 H7 4.00
4 x 4.30 6.00
8.20 6.00
30.00
压
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运
动
室
温
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产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
另
⾏
通
知
︒
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
压
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品
会
随
技
术
升
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或
换
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⽽
不
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格
或
参
数
︐
如
有
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不
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通
知
︒
“Lab系列” 升降位移台 — LS80z.Lab
速度，纳⽶级空间分辨率 & 推⼒的平衡之选，超安静运动
# 产品参数 LS80z.Lab
特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
底⾯尺⼨ × ⾼度 80 × 80 × 40 mm
主体材料 标准版，.NM 铝合⾦；.HV .UHV 纯Ti
运动⾏程 10 mm
驱动频率 Max. 20 kHz
线缆 & 接头 标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15；UHV版本，kapton漆包线，PEEK D-Sub15
最⼤速度 ~ 3 mm/s（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
最⼩步伐（闭环） 10 nm
保持⼒ 15 N
运动⽅向最⼤推⼒/负载 1 kg （平衡负载版本可⾄3 kg）
位置传感器类型 光学位置传感器
位置传感器分辨率 2 nm
控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
# 产品特⾊ • 超安静运动
• 断电位置⾃保持
• 更⼤负载能⼒
• 纳⽶级分辨率
• 内置⾼精度光学位置传感器
• 可与旋转台，摇摆台等⾃由堆叠组合
# 产品图⽚ & 尺⼨
80.00
80.00
50.00
25.00
50.00 25.00
8 x M3 - 6H 4.00
40.00
85.68
4 x 3.20 2.50
75.00
75.00
44.82
86.69
50.00
80.00
80.00
50.00
25.00
50.00 25.00
8 x M3 - 6H 4.00
40.00
85.68
4 x 3.20 2.50
75.00
75.00
44.82
86.69
50.00
80.00
80.00
50.00
25.00
50.00 25.00
8 x M3 - 6H 4.00
40.00
85.68
4 x 3.20 2.50
75.00
75.00
44.82
86.69
50.00
“Lab系列” 线性位移台 — LS105x.Lab
速度，纳⽶级空间分辨率 & 推⼒的平衡之选，超安静运动
# 产品参数 LS105x.Lab
1 特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 105 × 105 × 20 mm
3 主体材料 标准版，.NM 铝合⾦；.HV .UHV 纯Ti
5 运动⾏程 60 mm （加⻓版本最⾼可⾄200 mm）
6 驱动频率 Max. 20 kHz
7 线缆 & 接头 标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15，UHV版本，kapton漆包线，PEEK D-Sub15
8 最⼤速度 ~ 20 mm/s（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
9 最⼩步伐（闭环） 10 nm
10 运动⽅向最⼤推⼒ 3 N
11 保持⼒ 5 N
12 全⾏程俯仰/偏摆 0.2 mrad
13 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 4 kg
14 位置传感器类型 光学位置传感器
15 位置传感器分辨率 2 nm
16 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持
• 更⼤负载能⼒
• 内置⾼精度光学位置传感器
• 可与旋转台，摇摆台等⾃由堆叠组合
# 产品图⽚ & 尺⼨
105.00
4 x M4 5.00
4 x 4.00 H7 4.00
8 x M3 5.00
25.00
55.00
50.00
75.00
95.00 75.00 55.00 50.00 20.00
105.00
75.00
75.00 50.00
95.00
4 x 4.00 H7 4.00
4 x 4.30 6.00
8.20 6.00
30.00
105.00
4 x M4 5.00
4 x 4.00 H7 4.00
8 x M3 5.00
25.00
55.00
50.00
75.00
95.00 75.00 55.00 50.00 20.00
105.00
75.00
75.00 50.00
95.00
4 x 4.00 H7 4.00
4 x 4.30 6.00
8.20 6.00
30.00
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产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
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其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
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通
知
︒
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
www.multi-field.com ｜ MultiFields Technologies
压
电
运
动
室
温
# 产品参数 RS35.Lab RS35.Lab.E
1 特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
⽆
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 35 × 35 × 11 mm
3 主体材料 标准版，.HV，.UHV，不锈钢；NM，纯钛 不锈钢
4 质量 70 g（标准版）
5 运动⾏程 360 °
6 驱动频率 Max. 20 kHz
7 线缆 & 接头 标准版 / HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15，UHV 版本，kapton 漆包线，PEEK D-Sub15
8 中通孔径 5 mm
9 最⼤速度 ~ 45 °/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
10 最⼩步伐（闭环） 3 µrad 10 µrad
11 位置重复精度 ±7.5 µrad ±25 µrad
12 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 500 g
13 ⾃锁⼒矩 0.05 N·m
14 驱动⼒矩 0.02 N·m
15 转盘直径 33.5 mm
16 位置传感器类型 光学位置传感器
17 位置传感器分辨率 0.2 µrad 3 µrad
18 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
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⽽
不
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规
格
或
参
数
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如
有
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知
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“Lab系列” 旋转位移台 — RS35.Lab
转速，亚微弧度级⻆度分辨率 & 驱动⼒矩的平衡之选，超安静运动
# 产品特⾊ • 超安静运动
• 中空结构
• 断电位置⾃保持
• 纳⽶级分辨率
• 内置⾼精度光学位置传感器
• 可与线性台，摇摆台等⾃由堆叠组合
# 产品图⽚ & 尺⼨
4 x 2.40 1.50
4.20 9.00
4 x M2 - 6H 2.50
1.60 2.50 4 x 1.50 H7 2.00
20.00 15.00
15.00
20.00
30.00
30.00
4 x M2 - 6H 2.50
35.00
11.00
35.00
5 x 2.00 H7 1.50
15.00
5.00
15.00
25.00
4 x 2.40 1.50
4.20 9.00
4 x M2 - 6H 2.50
1.60 2.50 4 x 1.50 H7 2.00
20.00 15.00
15.00
20.00
30.00
30.00
4 x M2 - 6H 2.50
35.00
11.00
35.00
5 x 2.00 H7 1.50
15.00
5.00
15.00
25.00
4 x 2.40 1.50
4.20 9.00
4 x M2 - 6H 2.50
1.60 2.50 4 x 1.50 H7 2.00
20.00 15.00
15.00
20.00
30.00
30.00
4 x M2 - 6H 2.50
35.00
11.00
35.00
5 x 2.00 H7 1.50
15.00
5.00
15.00
25.00
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“Lab系列” 旋转位移台 — RS65.Lab
转速，亚微弧度级⻆度分辨率 & 驱动⼒矩的平衡之选，超安静运动
# 产品参数 RS65.Lab RS65.Lab.E
1 特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM ，完全⽆磁版本；
⽆
底⾯尺⼨ × ⾼度 65 × 65 × 13 mm
主体材料 标准版，.NM铝合⾦；.HV .UHV 纯Ti 铝合⾦
质量 标准版，.NM 120 g；.HV .UHV 170 g
运动⾏程 360 °
驱动频率 Max. 20 kHz
线缆 & 接头 标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15，UHV版本，kapton漆包线，PEEK D-Sub15
中通孔径 25.4mm
最⼤速度 ~ 25 °/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
最⼩步伐（闭环） 3 µrad 10 µrad
位置重复精度 ±5 µrad ±20 µrad
⽔平⽅向使⽤最⼤负载 2 kg
⾃锁⼒ 0.1 N·m
驱动⼒矩 0.04 N·m
转盘直径 62 mm
位置传感器类型 光学位置传感器
位置传感器分辨率 0.07 µrad 2 µrad
控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
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更
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设
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规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
另
⾏
通
知
︒
# 产品特⾊ • 超安静运动
• 断电位置⾃保持
• 中空结构
• 纳⽶级分辨率
• 内置⾼精度光学位置传感器
• 可与线性台，摇摆台等⾃由堆叠组合
# 产品图⽚ & 尺⼨
55.00
55.00
4 x 3.40 4.50
8.00 8.00
30.00
30.00
50.00
4 x M2 - 6H 3.50
1.60 3.50
8 x M3 - 6H 3.50
2.50 3.50
65.00
13.00
65.00
45.00
50.00
4 x 3.00 H7 3.00
55.00
55.00
4 x 3.40 4.50
8.00 8.00
30.00
30.00
50.00
4 x M2 - 6H 3.50
1.60 3.50
8 x M3 - 6H 3.50
2.50 3.50
65.00
13.00
65.00
45.00
50.00
4 x 3.00 H7 3.00
55.00
55.00
4 x 3.40 4.50
8.00 8.00
30.00
30.00
50.00
4 x M2 - 6H 3.50
1.60 3.50
8 x M3 - 6H 3.50
2.50 3.50
65.00
13.00
65.00
45.00
50.00
4 x 3.00 H7 3.00
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
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温
# 产品参数 RS35.Lab RS35.Lab.E
1 特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
⽆
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 35 × 35 × 11 mm
3 主体材料 标准版，.HV，.UHV，不锈钢；NM，纯钛 不锈钢
4 质量 70 g（标准版）
5 运动⾏程 360 °
6 驱动频率 Max. 20 kHz
7 线缆 & 接头 标准版 / HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15，UHV 版本，kapton 漆包线，PEEK D-Sub15
8 中通孔径 5 mm
9 最⼤速度 ~ 45 °/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
10 最⼩步伐（闭环） 3 µrad 10 µrad
11 位置重复精度 ±7.5 µrad ±25 µrad
12 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 500 g
13 ⾃锁⼒矩 0.05 N·m
14 驱动⼒矩 0.02 N·m
15 转盘直径 33.5 mm
16 位置传感器类型 光学位置传感器
17 位置传感器分辨率 0.2 µrad 3 µrad
18 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
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不
另
⾏
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知
︒
“Lab系列” 旋转位移台 — RS35.Lab
转速，亚微弧度级⻆度分辨率 & 驱动⼒矩的平衡之选，超安静运动
# 产品特⾊ • 超安静运动
• 中空结构
• 断电位置⾃保持
• 纳⽶级分辨率
• 内置⾼精度光学位置传感器
• 可与线性台，摇摆台等⾃由堆叠组合
# 产品图⽚ & 尺⼨
4 x 2.40 1.50
4.20 9.00
4 x M2 - 6H 2.50
1.60 2.50 4 x 1.50 H7 2.00
20.00 15.00
15.00
20.00
30.00
30.00
4 x M2 - 6H 2.50
35.00
11.00
35.00
5 x 2.00 H7 1.50
15.00
5.00
15.00
25.00
4 x 2.40 1.50
4.20 9.00
4 x M2 - 6H 2.50
1.60 2.50 4 x 1.50 H7 2.00
20.00 15.00
15.00
20.00
30.00
30.00
4 x M2 - 6H 2.50
35.00
11.00
35.00
5 x 2.00 H7 1.50
15.00
5.00
15.00
25.00
4 x 2.40 1.50
4.20 9.00
4 x M2 - 6H 2.50
1.60 2.50 4 x 1.50 H7 2.00
20.00 15.00
15.00
20.00
30.00
30.00
4 x M2 - 6H 2.50
35.00
11.00
35.00
5 x 2.00 H7 1.50
15.00
5.00
15.00
25.00
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“Lab系列” 旋转位移台 — RS65.Lab
转速，亚微弧度级⻆度分辨率 & 驱动⼒矩的平衡之选，超安静运动
# 产品参数 RS65.Lab RS65.Lab.E
1 特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM ，完全⽆磁版本；
⽆
底⾯尺⼨ × ⾼度 65 × 65 × 13 mm
主体材料 标准版，.NM铝合⾦；.HV .UHV 纯Ti 铝合⾦
质量 标准版，.NM 120 g；.HV .UHV 170 g
运动⾏程 360 °
驱动频率 Max. 20 kHz
线缆 & 接头 标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15，UHV版本，kapton漆包线，PEEK D-Sub15
中通孔径 25.4mm
最⼤速度 ~ 25 °/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
最⼩步伐（闭环） 3 µrad 10 µrad
位置重复精度 ±5 µrad ±20 µrad
⽔平⽅向使⽤最⼤负载 2 kg
⾃锁⼒ 0.1 N·m
驱动⼒矩 0.04 N·m
转盘直径 62 mm
位置传感器类型 光学位置传感器
位置传感器分辨率 0.07 µrad 2 µrad
控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
产
品
会
随
技
术
升
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或
换
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⽽
不
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︐
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# 产品特⾊ • 超安静运动
• 断电位置⾃保持
• 中空结构
• 纳⽶级分辨率
• 内置⾼精度光学位置传感器
• 可与线性台，摇摆台等⾃由堆叠组合
# 产品图⽚ & 尺⼨
55.00
55.00
4 x 3.40 4.50
8.00 8.00
30.00
30.00
50.00
4 x M2 - 6H 3.50
1.60 3.50
8 x M3 - 6H 3.50
2.50 3.50
65.00
13.00
65.00
45.00
50.00
4 x 3.00 H7 3.00
55.00
55.00
4 x 3.40 4.50
8.00 8.00
30.00
30.00
50.00
4 x M2 - 6H 3.50
1.60 3.50
8 x M3 - 6H 3.50
2.50 3.50
65.00
13.00
65.00
45.00
50.00
4 x 3.00 H7 3.00
55.00
55.00
4 x 3.40 4.50
8.00 8.00
30.00
30.00
50.00
4 x M2 - 6H 3.50
1.60 3.50
8 x M3 - 6H 3.50
2.50 3.50
65.00
13.00
65.00
45.00
50.00
4 x 3.00 H7 3.00
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
# 产品参数 GS35-35.Lab
特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
底⾯尺⼨ × ⾼度 35 × 35 × 20 mm
主体材料 标准版， .HV，.UHV 不锈钢；.NM，纯钛
质量 标准版， .HV，.UHV 250 g；.NM 90 g
运动⾏程 ±8 °
驱动频率 Max. 20 kHz
线缆 & 接头 标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15，UHV版本，kapton漆包线，PEEK D-Sub15
摇摆半径 35 mm（台⾯）
最⼤速度 ~ 3 °/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
最⼩步伐（闭环） 2 µrad
位置重复精度 ±10 µrad
⽔平⽅向使⽤最⼤负载 1 kg
⾃锁⼒矩 0.2 N·m
驱动⼒矩 0.07 N·m
位置传感器类型 光学位置传感器
位置传感器分辨率 0.05 µrad
控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
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“Lab系列” ⻆摆位移台 — GS35-35.Lab
转速，亚微弧度级⻆度分辨率 & 驱动⼒矩的平衡之选，超安静运动
产
品
会
随
技
术
升
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或
换
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⽽
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或
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如
有
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知
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# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持
• 可与线性台，旋转台等
⾃由堆叠组合
• 内置⾼精度光学位置传感器
• 共旋转中⼼设计的2轴⻆摆台叠加
# 产品图⽚ & 尺⼨
8 x M2 - 6H 2.00
1.60 2.00
4 x 2.00 H7 3.00 30.00
35.00 30.00 20.00 15.00
35.00
10.00°
20.00
35.00
30.00
20.00
2 x 2.00 H7 5.00
10.00
3 x 2.20 6.00
4.20 11.00
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“Lab系列” ⻆摆位移台 — GS35-55.Lab
转速，亚微弧度级⻆度分辨率 & 驱动⼒矩的平衡之选，超安静运动
# 产品参数 GS35-55.Lab
1 特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 35 × 35 × 20 mm
3 主体材料 标准版，.HV，.UHV，不锈钢；.NM，纯钛
4 质量 标准版， .HV，.UHV 250 g；.NM 90 g
5 运动⾏程 ±8 °
6 驱动频率 Max. 20 kHz
7 线缆 & 接头 标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15，UHV版本，kapton漆包线，PEEK D-Sub15
8 摇摆半径 55 mm（台⾯）
9 最⼤速度 ~ 3 °/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
10 最⼩步伐（闭环） 2 µrad
11 位置重复精度 ±10 µrad
12 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 1 kg
13 ⾃锁⼒矩 0.2 N·m
14 驱动⼒矩 0.07 N·m
15 位置传感器类型 光学位置传感器
16 位置传感器分辨率 0.03 μrad
17 控制器规格 MC-Newton.S系列
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产
品
会
随
技
术
升
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或
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格
或
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如
有
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# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持
• 可与线性台，旋转
台等⾃由堆叠组合
• 内置⾼精度光学位置传感器
• 共旋转中⼼设计的2轴⻆摆台叠加
# 产品图⽚ & 尺⼨
8 x M2 - 6H 2.00
1.60 2.00
4 x 2.00 H7 2.00
25.00
30.00
35.00 30.00 20.00 15.00
55.00
10.00°
20.00
35.00
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2.00 H7 6.08
25.00
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3 x 2.20 7.00
4.20 11.00
8 x M2 - 6H 2.00
1.60 2.00
4 x 2.00 H7 2.00
25.00
30.00
35.00 30.00 20.00 15.00
55.00
10.00°
20.00
35.00
30.00
20.00
2.00 H7 6.08
25.00
10.00
3 x 2.20 7.00
4.20 11.00
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
# 产品参数 GS35-35.Lab
特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
底⾯尺⼨ × ⾼度 35 × 35 × 20 mm
主体材料 标准版， .HV，.UHV 不锈钢；.NM，纯钛
质量 标准版， .HV，.UHV 250 g；.NM 90 g
运动⾏程 ±8 °
驱动频率 Max. 20 kHz
线缆 & 接头 标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15，UHV版本，kapton漆包线，PEEK D-Sub15
摇摆半径 35 mm（台⾯）
最⼤速度 ~ 3 °/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
最⼩步伐（闭环） 2 µrad
位置重复精度 ±10 µrad
⽔平⽅向使⽤最⼤负载 1 kg
⾃锁⼒矩 0.2 N·m
驱动⼒矩 0.07 N·m
位置传感器类型 光学位置传感器
位置传感器分辨率 0.05 µrad
控制器规格 MC-Newton.S系列
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“Lab系列” ⻆摆位移台 — GS35-35.Lab
转速，亚微弧度级⻆度分辨率 & 驱动⼒矩的平衡之选，超安静运动
产
品
会
随
技
术
升
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或
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格
或
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如
有
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# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持
• 可与线性台，旋转台等
⾃由堆叠组合
• 内置⾼精度光学位置传感器
• 共旋转中⼼设计的2轴⻆摆台叠加
# 产品图⽚ & 尺⼨
8 x M2 - 6H 2.00
1.60 2.00
4 x 2.00 H7 3.00 30.00
35.00 30.00 20.00 15.00
35.00
10.00°
20.00
35.00
30.00
20.00
2 x 2.00 H7 5.00
10.00
3 x 2.20 6.00
4.20 11.00
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“Lab系列” ⻆摆位移台 — GS35-55.Lab
转速，亚微弧度级⻆度分辨率 & 驱动⼒矩的平衡之选，超安静运动
# 产品参数 GS35-55.Lab
1 特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 35 × 35 × 20 mm
3 主体材料 标准版，.HV，.UHV，不锈钢；.NM，纯钛
4 质量 标准版， .HV，.UHV 250 g；.NM 90 g
5 运动⾏程 ±8 °
6 驱动频率 Max. 20 kHz
7 线缆 & 接头 标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15，UHV版本，kapton漆包线，PEEK D-Sub15
8 摇摆半径 55 mm（台⾯）
9 最⼤速度 ~ 3 °/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
10 最⼩步伐（闭环） 2 µrad
11 位置重复精度 ±10 µrad
12 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 1 kg
13 ⾃锁⼒矩 0.2 N·m
14 驱动⼒矩 0.07 N·m
15 位置传感器类型 光学位置传感器
16 位置传感器分辨率 0.03 μrad
17 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
产
品
会
随
技
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升
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或
换
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格
或
参
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︐
如
有
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不
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# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持
• 可与线性台，旋转
台等⾃由堆叠组合
• 内置⾼精度光学位置传感器
• 共旋转中⼼设计的2轴⻆摆台叠加
# 产品图⽚ & 尺⼨
8 x M2 - 6H 2.00
1.60 2.00
4 x 2.00 H7 2.00
25.00
30.00
35.00 30.00 20.00 15.00
55.00
10.00°
20.00
35.00
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2.00 H7 6.08
25.00
10.00
3 x 2.20 7.00
4.20 11.00
8 x M2 - 6H 2.00
1.60 2.00
4 x 2.00 H7 2.00
25.00
30.00
35.00 30.00 20.00 15.00
55.00
10.00°
20.00
35.00
30.00
20.00
2.00 H7 6.08
25.00
10.00
3 x 2.20 7.00
4.20 11.00
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
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“Lab系列” ⻆摆位移台 — GS65-77.Lab
转速，亚微弧度级⻆度分辨率 & 驱动⼒矩的平衡之选，超安静运动
# 产品参数 GS65-77.Lab
1 特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 70 × 70 × 20 mm
主体材料 标准版，.NM 铝合⾦；.HV .UHV 纯Ti
3 质量 标准版：310 g；.NM 290 g；.HV .UHV 430 g；.HV.NM .UHV.NM 400 g
4 运动⾏程 ±10 °
5 驱动频率 Max. 20 kHz
6 线缆 & 接头 标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15，UHV版本，kapton漆包线，PEEK D-Sub15
7 摇摆半径 77 mm（台⾯）
8 最⼤速度 ~ 3 °/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
9 最⼩步伐（闭环） 1 µrad
10 位置重复精度 ±7.5 µrad
11 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 2 kg
12 ⾃锁⼒ 0.4 N·m
13 驱动⼒矩 0.15 N·m
14 位置传感器类型 光学位置传感器
15 位置传感器分辨率 0.03 μrad
16 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
产
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会
随
技
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有
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# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持
• 可与线性台，旋转
台等⾃由堆叠组合
• 内置⾼精度光学位置传感器
• 共旋转中⼼设计的2轴⻆摆台叠加
# 产品图⽚ & 尺⼨
4 x M3 3.00
2.50 3.00
3.05 X 90.00°, 近端
4 x 3.00 H7 3.20
3.50 X 90.00°, 近端 8 x M2 - 6H 4.00
1.60 5.20
2.05 X 90.00°, 近端
55.00 45.00 30.00 25.00
20.00
30.00
50.00
55.00
4 x M3 3.00
2.50 3.00
3.30 X 90.00°, 近端
70.00
10.00°
77.00
20.00
4 x 3.00 H7 2.35
25.00
45.00
50.00
4 x 3.20 100.00
6.00 16.00
4 x M3 3.00
2.50 3.00
3.05 X 90.00°, 近端
4 x 3.00 H7 3.20
3.50 X 90.00°, 近端 8 x M2 - 6H 4.00
1.60 5.20
2.05 X 90.00°, 近端
55.00 45.00 30.00 25.00
20.00
30.00
50.00
55.00
4 x M3 3.00
2.50 3.00
3.30 X 90.00°, 近端
70.00
10.00°
77.00
20.00
4 x 3.00 H7 2.35
25.00
45.00
50.00
4 x 3.20 100.00
6.00 16.00
# 产品参数 GS65-97.Lab
1 特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 70 × 70 × 20 mm
3 主体材料 标准版，.NM 铝合⾦；.HV .UHV 纯Ti
4 质量 标准版：310 g；.NM 290 g；.HV .UHV 430 g；.HV.NM .UHV.NM 400 g
5 运动⾏程 ±10 °
6 驱动频率 Max. 20 kHz
7 线缆 & 接头 标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15，UHV版本，kapton漆包线，PEEK D-Sub15
8 摇摆半径 97 mm（台⾯）
9 最⼤速度 ~ 3 °/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
10 最⼩步伐（闭环） 1 µrad
11 位置重复精度 ±7.5 µrad
12 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 2 kg
13 ⾃锁⼒ 0.4 N·m
14 驱动⼒矩 0.15 N·m
15 位置传感器类型 光学位置传感器
16 位置传感器分辨率 0.02 μrad
17 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
压
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“Lab系列” ⻆摆位移台 — GS65-97.Lab
转速，亚微弧度级⻆度分辨率 & 驱动⼒矩的平衡之选，超安静运动
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
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更
其
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计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
另
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通
知
︒
# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持
• 可与线性台，旋转
台等⾃由堆叠组合
• 内置⾼精度光学位置传感器
• 共旋转中⼼设计的2轴⻆摆台叠加
# 产品图⽚ & 尺⼨
4 x M3 4.00
2.50 4.00
3.50 X 90.00°, 近端
4 x 3.00 H7 2.35
3.50 X 90.00°, 近端
4 x M3 4.00
2.50 4.00
3.30 X 90.00°, 近端
8 x M2 - 6H 4.00
1.60 5.20
55.00 45.00 30.00 25.00
20.00
30.00
50.00
55.00
70.00
10.00°
97.00
20.00
70.00
4 x 3.00 H7 3.20
50.00
25.00
45.00
4 x 3.20 2.00
6.00 15.00
4 x M3 4.00
2.50 4.00
3.50 X 90.00°, 近端
4 x 3.00 H7 2.35
3.50 X 90.00°, 近端
4 x M3 4.00
2.50 4.00
3.30 X 90.00°, 近端
8 x M2 - 6H 4.00
1.60 5.20
55.00 45.00 30.00 25.00
20.00
30.00
50.00
55.00
70.00
10.00°
97.00
20.00
70.00
4 x 3.00 H7 3.20
50.00
25.00
45.00
4 x 3.20 2.00
6.00 15.00
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
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“Lab系列” ⻆摆位移台 — GS65-77.Lab
转速，亚微弧度级⻆度分辨率 & 驱动⼒矩的平衡之选，超安静运动
# 产品参数 GS65-77.Lab
1 特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 70 × 70 × 20 mm
主体材料 标准版，.NM 铝合⾦；.HV .UHV 纯Ti
3 质量 标准版：310 g；.NM 290 g；.HV .UHV 430 g；.HV.NM .UHV.NM 400 g
4 运动⾏程 ±10 °
5 驱动频率 Max. 20 kHz
6 线缆 & 接头 标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15，UHV版本，kapton漆包线，PEEK D-Sub15
7 摇摆半径 77 mm（台⾯）
8 最⼤速度 ~ 3 °/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
9 最⼩步伐（闭环） 1 µrad
10 位置重复精度 ±7.5 µrad
11 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 2 kg
12 ⾃锁⼒ 0.4 N·m
13 驱动⼒矩 0.15 N·m
14 位置传感器类型 光学位置传感器
15 位置传感器分辨率 0.03 μrad
16 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
产
品
会
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或
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如
有
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# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持
• 可与线性台，旋转
台等⾃由堆叠组合
• 内置⾼精度光学位置传感器
• 共旋转中⼼设计的2轴⻆摆台叠加
# 产品图⽚ & 尺⼨
4 x M3 3.00
2.50 3.00
3.05 X 90.00°, 近端
4 x 3.00 H7 3.20
3.50 X 90.00°, 近端 8 x M2 - 6H 4.00
1.60 5.20
2.05 X 90.00°, 近端
55.00 45.00 30.00 25.00
20.00
30.00
50.00
55.00
4 x M3 3.00
2.50 3.00
3.30 X 90.00°, 近端
70.00
10.00°
77.00
20.00
4 x 3.00 H7 2.35
25.00
45.00
50.00
4 x 3.20 100.00
6.00 16.00
4 x M3 3.00
2.50 3.00
3.05 X 90.00°, 近端
4 x 3.00 H7 3.20
3.50 X 90.00°, 近端 8 x M2 - 6H 4.00
1.60 5.20
2.05 X 90.00°, 近端
55.00 45.00 30.00 25.00
20.00
30.00
50.00
55.00
4 x M3 3.00
2.50 3.00
3.30 X 90.00°, 近端
70.00
10.00°
77.00
20.00
4 x 3.00 H7 2.35
25.00
45.00
50.00
4 x 3.20 100.00
6.00 16.00
# 产品参数 GS65-97.Lab
1 特殊版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 70 × 70 × 20 mm
3 主体材料 标准版，.NM 铝合⾦；.HV .UHV 纯Ti
4 质量 标准版：310 g；.NM 290 g；.HV .UHV 430 g；.HV.NM .UHV.NM 400 g
5 运动⾏程 ±10 °
6 驱动频率 Max. 20 kHz
7 线缆 & 接头 标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15，UHV版本，kapton漆包线，PEEK D-Sub15
8 摇摆半径 97 mm（台⾯）
9 最⼤速度 ~ 3 °/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
10 最⼩步伐（闭环） 1 µrad
11 位置重复精度 ±7.5 µrad
12 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 2 kg
13 ⾃锁⼒ 0.4 N·m
14 驱动⼒矩 0.15 N·m
15 位置传感器类型 光学位置传感器
16 位置传感器分辨率 0.02 μrad
17 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
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“Lab系列” ⻆摆位移台 — GS65-97.Lab
转速，亚微弧度级⻆度分辨率 & 驱动⼒矩的平衡之选，超安静运动
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
另
⾏
通
知
︒
# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持
• 可与线性台，旋转
台等⾃由堆叠组合
• 内置⾼精度光学位置传感器
• 共旋转中⼼设计的2轴⻆摆台叠加
# 产品图⽚ & 尺⼨
4 x M3 4.00
2.50 4.00
3.50 X 90.00°, 近端
4 x 3.00 H7 2.35
3.50 X 90.00°, 近端
4 x M3 4.00
2.50 4.00
3.30 X 90.00°, 近端
8 x M2 - 6H 4.00
1.60 5.20
55.00 45.00 30.00 25.00
20.00
30.00
50.00
55.00
70.00
10.00°
97.00
20.00
70.00
4 x 3.00 H7 3.20
50.00
25.00
45.00
4 x 3.20 2.00
6.00 15.00
4 x M3 4.00
2.50 4.00
3.50 X 90.00°, 近端
4 x 3.00 H7 2.35
3.50 X 90.00°, 近端
4 x M3 4.00
2.50 4.00
3.30 X 90.00°, 近端
8 x M2 - 6H 4.00
1.60 5.20
55.00 45.00 30.00 25.00
20.00
30.00
50.00
55.00
70.00
10.00°
97.00
20.00
70.00
4 x 3.00 H7 3.20
50.00
25.00
45.00
4 x 3.20 2.00
6.00 15.00
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
压
电
运
动
室
温
压
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运
动
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压
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产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
另
⾏
通
知
︒
Part 1.2
“Speed 系列”
就是快，超⾼速运动不⽌200 mm/s
#
#
#
#
#
压电超声驱动，光栅尺闭环，直线运动
⾏程：20 mm（最⾼50 mm可选）
速度：200 mm/s
最⼩空间位移：50 nm
压电超声驱动，光栅尺闭环，直线运动
⾏程：30 mm（最⾼100 mm可选）
速度：200 mm/s
最⼩空间位移：50 nm
压电超声驱动，光栅尺闭环，直线运动
⾏程：60 mm（最⾼200 mm可选）
速度：200 mm/s（最⾼500 mm/s可选）
最⼩空间位移：50 nm
压电超声驱动，光栅尺闭环，旋转运动
⾏程：＞360°
速度：720 °/s
最⼩空间位移：5 urad
压电超声驱动，光栅尺闭环，旋转运动
⾏程：＞360°
速度：200 °/s
最⼩空间位移：5 urad
压
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产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
另
⾏
通
知
︒
Part 1.3
“Force 系列”
很⼤⼒，出⼒可超100 N
#
#
#
压电尺蠖式驱动，直线运动
⾏程：最⾼100 mm可选
驱动⼒：30 N
最⼩空间位移：10 nm
压电尺蠖式驱动，直线运动
⾏程：最⾼100 mm可选
驱动⼒：60 N
最⼩空间位移：10 nm
压电尺蠖式驱动，直线运动
⾏程：最⾼100 mm可选
驱动⼒：100 N（最⾼300 N可选）
最⼩空间位移：10 nm
压电尺蠖式驱动，光栅尺闭环，直线运动
⾏程：30 mm（最⾼100 mm可选）
驱动⼒：30 N
最⼩空间位移：10 nm
#
#
压电尺蠖式驱动，光栅尺闭环，直线运动
⾏程：60 mm（最⾼100 mm可选）
驱动⼒：60 N
最⼩空间位移：10 nm
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产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
另
⾏
通
知
︒
Part 1.2
“Speed 系列”
就是快，超⾼速运动不⽌200 mm/s
#
#
#
#
#
压电超声驱动，光栅尺闭环，直线运动
⾏程：20 mm（最⾼50 mm可选）
速度：200 mm/s
最⼩空间位移：50 nm
压电超声驱动，光栅尺闭环，直线运动
⾏程：30 mm（最⾼100 mm可选）
速度：200 mm/s
最⼩空间位移：50 nm
压电超声驱动，光栅尺闭环，直线运动
⾏程：60 mm（最⾼200 mm可选）
速度：200 mm/s（最⾼500 mm/s可选）
最⼩空间位移：50 nm
压电超声驱动，光栅尺闭环，旋转运动
⾏程：＞360°
速度：720 °/s
最⼩空间位移：5 urad
压电超声驱动，光栅尺闭环，旋转运动
⾏程：＞360°
速度：200 °/s
最⼩空间位移：5 urad
压
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产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
另
⾏
通
知
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Part 1.3
“Force 系列”
很⼤⼒，出⼒可超100 N
#
#
#
压电尺蠖式驱动，直线运动
⾏程：最⾼100 mm可选
驱动⼒：30 N
最⼩空间位移：10 nm
压电尺蠖式驱动，直线运动
⾏程：最⾼100 mm可选
驱动⼒：60 N
最⼩空间位移：10 nm
压电尺蠖式驱动，直线运动
⾏程：最⾼100 mm可选
驱动⼒：100 N（最⾼300 N可选）
最⼩空间位移：10 nm
压电尺蠖式驱动，光栅尺闭环，直线运动
⾏程：30 mm（最⾼100 mm可选）
驱动⼒：30 N
最⼩空间位移：10 nm
#
#
压电尺蠖式驱动，光栅尺闭环，直线运动
⾏程：60 mm（最⾼100 mm可选）
驱动⼒：60 N
最⼩空间位移：10 nm
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室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
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“Speed系列”线性位移台 — LS50x.Speed
静⾳、⾼速、耐⽤的运动组件
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
另
⾏
通
知
︒
# 产品特⾊ • 静⾳运动 • ⾼运动速度 • 闭环运动控制 • 纳⽶级分辨率
# 产品图⽚ & 尺⼨
# 产品参数 LS50x.Speed
1 可选版本
.NM，绝对⽆磁版本；
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 50 x 50 x 14 mm
3 主体材料 标准版/.NM：铝合⾦; .HV/.UHV：钛
4 ⾏程 24 mm (⻓⾏程版本最⻓可到50 mm)
5 线缆 & 接头 标准版/.NM/.HV：屏蔽线缆&D-SUB15；.UHV: kapton漆包线&PEEK D-SUB15
6 最⼤速度 200 mm/s
7 最⼩步⻓ 50 nm
8 驱动⼒ 2 N
9 保持⼒ 2 N
10 俯仰/偏摆 0.3 mrad
12 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 2 kg
14 竖直⽅向使⽤最⼤负载 150 g
15 传感器类型 光学位置传感器
16 传感器分辨率 2 nm
17 控制器规格 MC-Doppler系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
8 x M2.5 3.5
50.00 45.00
45.00
30.00
14.00
4 x 2.90 1.30
30.00
45.00
8 x M2.5 3.5
50.00 45.00
45.00
30.00
14.00
4 x 2.90 1.30
30.00
45.00 8 x M2.5 3.5 50.00 45.00
45.00
30.00
14.00
4 x 2.90 1.30
30.00
45.00
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“Speed系列”线性位移台 — LS65x.Speed
静⾳、⾼速、耐⽤的运动组件
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
另
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通
知
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# 产品特⾊ • 静⾳运动 • ⾼运动速度 • 闭环运动控制 • 纳⽶级分辨率
# 产品图⽚ & 尺⼨
65.00
65.00
55.00 50.00
25.00
4 x M3 3.50
15.00
25.00
50.00
4 x 3.20 5.00
65.00
65.00
55.00 50.00
25.00
4 x M3 3.50
15.00
25.00
50.00
4 x 3.20 5.00
# 产品参数 LS65x.Speed
1 可选版本
.NM，绝对⽆磁版本；
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 65 x 65 x 15 mm
3 主体材料 标准版/.NM：铝合⾦; .HV/.UHV：钛
4 ⾏程 30 mm (⻓⾏程版本最⻓可到100 mm)
5 线缆 & 接头 标准版/.NM/.HV：屏蔽线缆&D-SUB15；.UHV: kapton漆包线&PEEK D-SUB15
6 最⼤速度 200 mm/s
7 最⼩步⻓ 50 nm
8 驱动⼒ 3 N
9 保持⼒ 3 N
10 俯仰/偏摆 0.2 mrad
12 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 3 kg
14 竖直⽅向使⽤最⼤负载 150 g（⾼推⼒版本可到250 g）
15 传感器类型 光学位置传感器
16 传感器分辨率 2 nm
17 控制器规格 MC-Doppler系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
65.00
65.00
55.00 50.00
25.00
4 x M3 3.50
15.00
25.00
50.00
4 x 3.20 5.00
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
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“Speed系列”线性位移台 — LS50x.Speed
静⾳、⾼速、耐⽤的运动组件
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
另
⾏
通
知
︒
# 产品特⾊ • 静⾳运动 • ⾼运动速度 • 闭环运动控制 • 纳⽶级分辨率
# 产品图⽚ & 尺⼨
# 产品参数 LS50x.Speed
1 可选版本
.NM，绝对⽆磁版本；
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 50 x 50 x 14 mm
3 主体材料 标准版/.NM：铝合⾦; .HV/.UHV：钛
4 ⾏程 24 mm (⻓⾏程版本最⻓可到50 mm)
5 线缆 & 接头 标准版/.NM/.HV：屏蔽线缆&D-SUB15；.UHV: kapton漆包线&PEEK D-SUB15
6 最⼤速度 200 mm/s
7 最⼩步⻓ 50 nm
8 驱动⼒ 2 N
9 保持⼒ 2 N
10 俯仰/偏摆 0.3 mrad
12 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 2 kg
14 竖直⽅向使⽤最⼤负载 150 g
15 传感器类型 光学位置传感器
16 传感器分辨率 2 nm
17 控制器规格 MC-Doppler系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
8 x M2.5 3.5
50.00 45.00
45.00
30.00
14.00
4 x 2.90 1.30
30.00
45.00
8 x M2.5 3.5
50.00 45.00
45.00
30.00
14.00
4 x 2.90 1.30
30.00
45.00 8 x M2.5 3.5 50.00 45.00
45.00
30.00
14.00
4 x 2.90 1.30
30.00
45.00
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“Speed系列”线性位移台 — LS65x.Speed
静⾳、⾼速、耐⽤的运动组件
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
另
⾏
通
知
︒
# 产品特⾊ • 静⾳运动 • ⾼运动速度 • 闭环运动控制 • 纳⽶级分辨率
# 产品图⽚ & 尺⼨
65.00
65.00
55.00 50.00
25.00
4 x M3 3.50
15.00
25.00
50.00
4 x 3.20 5.00
65.00
65.00
55.00 50.00
25.00
4 x M3 3.50
15.00
25.00
50.00
4 x 3.20 5.00
# 产品参数 LS65x.Speed
1 可选版本
.NM，绝对⽆磁版本；
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 65 x 65 x 15 mm
3 主体材料 标准版/.NM：铝合⾦; .HV/.UHV：钛
4 ⾏程 30 mm (⻓⾏程版本最⻓可到100 mm)
5 线缆 & 接头 标准版/.NM/.HV：屏蔽线缆&D-SUB15；.UHV: kapton漆包线&PEEK D-SUB15
6 最⼤速度 200 mm/s
7 最⼩步⻓ 50 nm
8 驱动⼒ 3 N
9 保持⼒ 3 N
10 俯仰/偏摆 0.2 mrad
12 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 3 kg
14 竖直⽅向使⽤最⼤负载 150 g（⾼推⼒版本可到250 g）
15 传感器类型 光学位置传感器
16 传感器分辨率 2 nm
17 控制器规格 MC-Doppler系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
65.00
65.00
55.00 50.00
25.00
4 x M3 3.50
15.00
25.00
50.00
4 x 3.20 5.00
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
压
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温
“Speed系列”线性位移台 — LS105x.Speed
静⾳、⾼速、耐⽤的运动组件
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
另
⾏
通
知
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# 产品特⾊ • 静⾳运动 • ⾼运动速度 • 闭环运动控制 • 纳⽶级分辨率
# 产品图⽚ & 尺⼨
# 产品参数 LS105x.Speed
1 可选版本
.NM，绝对⽆磁版本；
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 105 x 105 x 15 mm
3 主体材料 标准版/.NM：铝合⾦; .HV/.UHV：钛
4 ⾏程 60 mm (⻓⾏程版本最⻓可到200 mm)
5 线缆 & 接头 标准版/.NM/.HV：屏蔽线缆&D-SUB15；.UHV: kapton漆包线&PEEK D-SUB15
6 最⼤速度 200 mm/s
7 最⼩步⻓ 50 nm
8 驱动⼒ 4 N
9 保持⼒ 4 N
10 俯仰/偏摆 0.2 mrad
12 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 5 kg
14 竖直⽅向使⽤最⼤负载 不推荐
15 传感器类型 光学位置传感器
16 传感器分辨率 2 nm
17 控制器规格 MC-Doppler系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
105.00
105.00
95.00
50.00
8 x M4 5.00
20.00
4 x 4.30 6.00
50.00
95.00
105.00
105.00
95.00
50.00
8 x M4 5.00
20.00
4 x 4.30 6.00
50.00
95.00
压
电
运
动
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温
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“Speed系列”旋转位移台 — RS65.Speed
静⾳、⾼速、耐⽤的运动组件
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
另
⾏
通
知
︒
# 产品特⾊ • ⾼扭矩
• 空间紧凑
• ⾼转速 • 闭环控制，内置光栅位置传感器
# 产品图⽚ & 尺⼨
# 产品参数 RS65.Speed
1 可选版本
.NM，绝对⽆磁版本；
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 65 x 65 x 20 mm
3 主体材料 标准版/.NM：铝合⾦; .HV/.UHV：钛
4 运动⾏程 360°
5 驱动频率 40~50 kHz
6 线缆 & 接头 标准版/.NM/.HV：屏蔽线缆&D-SUB15
7 最⼤转速 720 °/s
8 最⼩步⻓ 50 urad
9 驱动⼒矩 0.1 N·m
10 保持⼒矩 0.1 N·m
12 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 2 kg
14 传感器类型 光学位置传感器
15 传感器分辨率 5 urad
16 控制器规格 MC-Doppler系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
25.00
65.00
65.00
55.00
4 x 3.40 20.00
8.00 15.00
8 x M3 4.00
50.00 25.00 65.00
65.00
55.00
4 x 3.40 20.00
8.00 15.00
8 x M3 4.00
50.00
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
压
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动
室
温
压
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“Speed系列”线性位移台 — LS105x.Speed
静⾳、⾼速、耐⽤的运动组件
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
另
⾏
通
知
︒
# 产品特⾊ • 静⾳运动 • ⾼运动速度 • 闭环运动控制 • 纳⽶级分辨率
# 产品图⽚ & 尺⼨
# 产品参数 LS105x.Speed
1 可选版本
.NM，绝对⽆磁版本；
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 105 x 105 x 15 mm
3 主体材料 标准版/.NM：铝合⾦; .HV/.UHV：钛
4 ⾏程 60 mm (⻓⾏程版本最⻓可到200 mm)
5 线缆 & 接头 标准版/.NM/.HV：屏蔽线缆&D-SUB15；.UHV: kapton漆包线&PEEK D-SUB15
6 最⼤速度 200 mm/s
7 最⼩步⻓ 50 nm
8 驱动⼒ 4 N
9 保持⼒ 4 N
10 俯仰/偏摆 0.2 mrad
12 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 5 kg
14 竖直⽅向使⽤最⼤负载 不推荐
15 传感器类型 光学位置传感器
16 传感器分辨率 2 nm
17 控制器规格 MC-Doppler系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
105.00
105.00
95.00
50.00
8 x M4 5.00
20.00
4 x 4.30 6.00
50.00
95.00
105.00
105.00
95.00
50.00
8 x M4 5.00
20.00
4 x 4.30 6.00
50.00
95.00
压
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运
动
室
温
www.multi-field.com ｜ MultiFields Technologies
“Speed系列”旋转位移台 — RS65.Speed
静⾳、⾼速、耐⽤的运动组件
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
另
⾏
通
知
︒
# 产品特⾊ • ⾼扭矩
• 空间紧凑
• ⾼转速 • 闭环控制，内置光栅位置传感器
# 产品图⽚ & 尺⼨
# 产品参数 RS65.Speed
1 可选版本
.NM，绝对⽆磁版本；
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 65 x 65 x 20 mm
3 主体材料 标准版/.NM：铝合⾦; .HV/.UHV：钛
4 运动⾏程 360°
5 驱动频率 40~50 kHz
6 线缆 & 接头 标准版/.NM/.HV：屏蔽线缆&D-SUB15
7 最⼤转速 720 °/s
8 最⼩步⻓ 50 urad
9 驱动⼒矩 0.1 N·m
10 保持⼒矩 0.1 N·m
12 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 2 kg
14 传感器类型 光学位置传感器
15 传感器分辨率 5 urad
16 控制器规格 MC-Doppler系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
25.00
65.00
65.00
55.00
4 x 3.40 20.00
8.00 15.00
8 x M3 4.00
50.00 25.00 65.00
65.00
55.00
4 x 3.40 20.00
8.00 15.00
8 x M3 4.00
50.00
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
压
电
运
动
室
温
压
电
运
动
室
温
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压
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运
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温
“Speed系列”旋转位移台 — RS105.Speed
⾼速度、⾼耐⽤的运动组件
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
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⾏
通
知
︒
# 产品特⾊ • ⾼扭矩 • ⾼转速 • 闭环控制，内置光栅位置传感器
# 产品图⽚ & 尺⼨
# 产品参数 RS105.Speed
1 可选版本
.NM，绝对⽆磁版本；
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 130 x 105 x 20 mm
3 主体材料 标准版/.NM：铝合⾦; .HV/.UHV：钛
4 运动⾏程 360°
5 驱动频率 70~80 kHz
6 线缆 & 接头 标准版/.NM/.HV：屏蔽线缆&D-SUB15
.UHV: kapton漆包线&PEEK D-SUB15
7 最⼤转速 200 °/s
8 最⼩步⻓ 10 urad
9 驱动⼒矩 0.2 N·m
10 保持⼒矩 0.2 N·m
12 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 5 kg
14 传感器类型 光学位置传感器
15 传感器分辨率 1 urad
16 控制器规格 MC-Doppler系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
135.00
105.00 95.00
4 x 4.50 5.00
8.00 12.00
23.00
105.00
135.00
105.00 95.00
4 x 4.50 5.00
8.00 12.00
23.00
105.00
压
电
运
动
室
温
www.multi-field.com ｜ MultiFields Technologies
“Force系列” 执⾏器 — FDU030
超⾼分辨率、动⼒强劲的压电推杆
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
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规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
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不
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通
知
︒
# 产品特⾊ • ⾼性能驱动⼒ • ⾼分辨率精密位移 • 紧凑设计，易于集成
# 产品图⽚ & 尺⼨
# 产品参数 FDU030
1 可选版本
.NM，绝对⽆磁版本；
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
2 外形尺⼨（⻓*宽*⾼） 45 x 30 x 25 mm
3 主体材料 标准版/.NM：不锈钢; .HV/.UHV：钛
4 线缆 & 接头 标准版/.NM/.HV：屏蔽线缆&D-SUB15
.UHV: kapton漆包线&PEEK D-SUB15
5 运动⽅向最⼤推拉⼒ 30 N
6 保持⼒ 40 N
7 ⾏程 45 mm (最⻓200 mm 可选）
8 最⼤频率 2000 Hz
9 最⼤速度 2 mm/s
10 最⼩步⻓（开环） 1 nm
11 驱动电压 -10 ~ 100 V
12 开环分辨率 0.02 nm
13 推荐使⽤温度 10 ~ 40 ℃
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
30.00
48.00
40.00 8 x M3 - 6.00
22.00 25.00
2 x M3 5.00
6.00
8.00
14.00
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
压
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压
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温
“Speed系列”旋转位移台 — RS105.Speed
⾼速度、⾼耐⽤的运动组件
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
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其
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计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
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⾏
通
知
︒
# 产品特⾊ • ⾼扭矩 • ⾼转速 • 闭环控制，内置光栅位置传感器
# 产品图⽚ & 尺⼨
# 产品参数 RS105.Speed
1 可选版本
.NM，绝对⽆磁版本；
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 130 x 105 x 20 mm
3 主体材料 标准版/.NM：铝合⾦; .HV/.UHV：钛
4 运动⾏程 360°
5 驱动频率 70~80 kHz
6 线缆 & 接头 标准版/.NM/.HV：屏蔽线缆&D-SUB15
.UHV: kapton漆包线&PEEK D-SUB15
7 最⼤转速 200 °/s
8 最⼩步⻓ 10 urad
9 驱动⼒矩 0.2 N·m
10 保持⼒矩 0.2 N·m
12 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 5 kg
14 传感器类型 光学位置传感器
15 传感器分辨率 1 urad
16 控制器规格 MC-Doppler系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
135.00
105.00 95.00
4 x 4.50 5.00
8.00 12.00
23.00
105.00
135.00
105.00 95.00
4 x 4.50 5.00
8.00 12.00
23.00
105.00
压
电
运
动
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温
www.multi-field.com ｜ MultiFields Technologies
“Force系列” 执⾏器 — FDU030
超⾼分辨率、动⼒强劲的压电推杆
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
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规
格
或
参
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如
有
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通
知
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# 产品特⾊ • ⾼性能驱动⼒ • ⾼分辨率精密位移 • 紧凑设计，易于集成
# 产品图⽚ & 尺⼨
# 产品参数 FDU030
1 可选版本
.NM，绝对⽆磁版本；
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
2 外形尺⼨（⻓*宽*⾼） 45 x 30 x 25 mm
3 主体材料 标准版/.NM：不锈钢; .HV/.UHV：钛
4 线缆 & 接头 标准版/.NM/.HV：屏蔽线缆&D-SUB15
.UHV: kapton漆包线&PEEK D-SUB15
5 运动⽅向最⼤推拉⼒ 30 N
6 保持⼒ 40 N
7 ⾏程 45 mm (最⻓200 mm 可选）
8 最⼤频率 2000 Hz
9 最⼤速度 2 mm/s
10 最⼩步⻓（开环） 1 nm
11 驱动电压 -10 ~ 100 V
12 开环分辨率 0.02 nm
13 推荐使⽤温度 10 ~ 40 ℃
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
30.00
48.00
40.00 8 x M3 - 6.00
22.00 25.00
2 x M3 5.00
6.00
8.00
14.00
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
压
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“Force系列” 执⾏器 — FDU060
超⾼分辨率、动⼒强劲的压电推杆
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
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规
格
或
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数
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如
有
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通
知
︒
# 产品特⾊ • ⾼性能驱动⼒ • ⾼分辨率精密位移 • 紧凑设计，易于集成
# 产品图⽚ & 尺⼨
# 产品参数 FDU060
1 可选版本
.NM，绝对⽆磁版本；
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
2 外形尺⼨（⻓*宽*⾼） 50 x 40 x 30 mm
3 主体材料 标准版/.NM：不锈钢; .HV/.UHV：钛
4 线缆 & 接头 标准版/.NM/.HV：屏蔽线缆&D-SUB15
.UHV: kapton漆包线&PEEK D-SUB15
5 运动⽅向最⼤推拉⼒ 60 N
6 保持⼒ 70 N
7 ⾏程 40 mm (最⻓200 mm 可选）
8 最⼤频率 2000 Hz
9 最⼤速度 6 mm/s
10 最⼩步⻓（开环） 1 nm
11 驱动电压 -10 ~ 100 V
12 开环分辨率 0.02 nm
13 推荐使⽤温度 10 ~ 40 ℃
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
8 x M3 6.00
50.00
40.00 30.00
40.00
30.00
10.00
8.00
20.00
2 x M4 5.00
压
电
运
动
室
温
www.multi-field.com ｜ MultiFields Technologies
“Force系列”执⾏器 — FDU100
超⾼分辨率、动⼒强劲的压电推杆
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
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不
另
⾏
通
知
︒
# 产品特⾊ • ⾼性能驱动⼒ • ⾼分辨率精密位移 • 紧凑设计，易于集成
# 产品图⽚ & 尺⼨
# 产品参数 FDU100
1 可选版本
.NM，绝对⽆磁版本；
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
2 外形尺⼨（⻓*宽*⾼） 70 x 40 x 30 mm
3 主体材料 标准版/.NM：不锈钢; .HV/.UHV：钛
4 线缆 & 接头 标准版/.NM/.HV：屏蔽线缆&D-SUB15
.UHV: kapton漆包线&PEEK D-SUB15
5 运动⽅向最⼤推拉⼒ 100 N
6 保持⼒ 120 N
7 ⾏程 20 mm (最⻓200 mm 可选）
8 最⼤频率 2000 Hz
9 最⼤速度 5 mm/s
10 最⼩步⻓（开环） 1 nm
11 驱动电压 -10 ~ 100 V
12 开环分辨率 0.02 nm
13 推荐使⽤温度 10 ~ 40 ℃
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
40.00
70.00
60.00
30.00
8 x M3 6.00
30.00
8.00
20.00
10.00
2 x M4 5.00
���� ������� ������� �� M���������� ������������
��� �� ������ �� ��������� ���� �� �� ��� �������
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���100 �1.1
2025�2�26
1 1
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
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温
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“Force系列” 执⾏器 — FDU060
超⾼分辨率、动⼒强劲的压电推杆
产
品
会
随
技
术
升
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或
换
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规
格
或
参
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如
有
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通
知
︒
# 产品特⾊ • ⾼性能驱动⼒ • ⾼分辨率精密位移 • 紧凑设计，易于集成
# 产品图⽚ & 尺⼨
# 产品参数 FDU060
1 可选版本
.NM，绝对⽆磁版本；
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
2 外形尺⼨（⻓*宽*⾼） 50 x 40 x 30 mm
3 主体材料 标准版/.NM：不锈钢; .HV/.UHV：钛
4 线缆 & 接头 标准版/.NM/.HV：屏蔽线缆&D-SUB15
.UHV: kapton漆包线&PEEK D-SUB15
5 运动⽅向最⼤推拉⼒ 60 N
6 保持⼒ 70 N
7 ⾏程 40 mm (最⻓200 mm 可选）
8 最⼤频率 2000 Hz
9 最⼤速度 6 mm/s
10 最⼩步⻓（开环） 1 nm
11 驱动电压 -10 ~ 100 V
12 开环分辨率 0.02 nm
13 推荐使⽤温度 10 ~ 40 ℃
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
8 x M3 6.00
50.00
40.00 30.00
40.00
30.00
10.00
8.00
20.00
2 x M4 5.00
压
电
运
动
室
温
www.multi-field.com ｜ MultiFields Technologies
“Force系列”执⾏器 — FDU100
超⾼分辨率、动⼒强劲的压电推杆
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
另
⾏
通
知
︒
# 产品特⾊ • ⾼性能驱动⼒ • ⾼分辨率精密位移 • 紧凑设计，易于集成
# 产品图⽚ & 尺⼨
# 产品参数 FDU100
1 可选版本
.NM，绝对⽆磁版本；
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
2 外形尺⼨（⻓*宽*⾼） 70 x 40 x 30 mm
3 主体材料 标准版/.NM：不锈钢; .HV/.UHV：钛
4 线缆 & 接头 标准版/.NM/.HV：屏蔽线缆&D-SUB15
.UHV: kapton漆包线&PEEK D-SUB15
5 运动⽅向最⼤推拉⼒ 100 N
6 保持⼒ 120 N
7 ⾏程 20 mm (最⻓200 mm 可选）
8 最⼤频率 2000 Hz
9 最⼤速度 5 mm/s
10 最⼩步⻓（开环） 1 nm
11 驱动电压 -10 ~ 100 V
12 开环分辨率 0.02 nm
13 推荐使⽤温度 10 ~ 40 ℃
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
40.00
70.00
60.00
30.00
8 x M3 6.00
30.00
8.00
20.00
10.00
2 x M4 5.00
���� ������� ������� �� M���������� ������������
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X.X � 0.05 ��
X.XX � 0.02��
角度 � 0°15�
����度
1.6
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名称
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���� ��
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比例
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���
���100 �1.1
2025�2�26
1 1
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
压
电
运
动
室
温
压
电
运
动
室
温
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压
电
运
动
室
温
“Force系列”直线位移台 — LS65x.Force
超⾼分辨率、动⼒强劲的线性运动台
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
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设
计
规
格
或
参
数
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如
有
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通
知
︒
# 产品特⾊ • ⾼性能驱动⼒
• 直驱传动⽆间隙
• ⼤负载垂直提升
• 优秀的导向系统
• 闭环控制，内置光栅位置传感器
• 完整运动台设计，⽅便安装使⽤
# 产品图⽚ & 尺⼨
# 产品参数 LS65x.Force
1 可选版本
.NM，绝对⽆磁版本；
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
2 外形尺⼨（⻓*宽*⾼） 45 x 30 x 25 mm
3 主体材料 标准版/.NM：不锈钢; .HV/.UHV：钛
4 线缆 & 接头 标准版/.NM/.HV：屏蔽线缆&D-SUB15
.UHV: kapton漆包线&PEEK D-SUB15
5 运动⽅向最⼤推拉⼒ 30 N
6 保持⼒ 40 N
7 ⾏程 30 mm (最⻓100 mm 可选）
8 最⼤频率 2000 Hz
9 最⼤速度 2 mm/s
10 最⼩步⻓（开环） 5 nm
11 驱动电压 -10 ~ 100 V
12 开环分辨率 0.02 nm
13 推荐使⽤温度 10 ~ 40 ℃
14 传感器类型 光学位置传感器
15 传感器分辨率 2 nm
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
65.00
65.00 55.00 50.00
25.00
45.00
55.00
20.00
25.00
50.00
4 x 3.20 5.00
65.00
65.00 55.00 50.00
25.00
45.00
55.00
20.00
25.00
50.00
4 x 3.20 5.00
65.00
65.00 55.00 50.00
25.00
45.00
55.00
20.00
25.00
50.00
4 x 3.20 5.00
压
电
运
动
室
温
www.multi-field.com ｜ MultiFields Technologies
“Force系列”直线位移台 — LS105x.Force
超⾼分辨率、动⼒强劲的线性运动台
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
另
⾏
通
知
︒
# 产品特⾊ • ⾼性能驱动⼒
• 直驱传动⽆间隙
• ⼤负载垂直提升
• 优秀的导向系统
• 闭环控制，内置光栅位置传感器
• 完整运动台设计，⽅便安装使⽤
# 产品图⽚ & 尺⼨
# 产品参数 LS105x.Force
1 可选版本
.NM，绝对⽆磁版本；
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
2 外形尺⼨（⻓*宽*⾼） 50 x 40 x 30 mm
3 主体材料 标准版/.NM：不锈钢; .HV/.UHV：钛
4 线缆 & 接头 标准版/.NM/.HV：屏蔽线缆&D-SUB15
.UHV: kapton漆包线&PEEK D-SUB15
5 运动⽅向最⼤推拉⼒ 60 N
6 保持⼒ 80 N
7 ⾏程 60 mm (最⻓200 mm 可选）
8 最⼤频率 2000 Hz
9 最⼤速度 6 mm/s
10 最⼩步⻓（开环） 5 nm
11 驱动电压 -10 ~ 100 V
12 开环分辨率 0.02 nm
13 推荐使⽤温度 10 ~ 40 ℃
14 传感器类型 光学位置传感器
15 传感器分辨率 2 nm
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
105.00
105.00
50.00
95.00 4 x M4 8.00 30.00
4 x 4.30 5.00
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4 x 4.30 5.00
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95.00 4 x M4 8.00 30.00
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95.00
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
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“Force系列”直线位移台 — LS65x.Force
超⾼分辨率、动⼒强劲的线性运动台
产
品
会
随
技
术
升
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或
换
代
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格
或
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数
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如
有
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通
知
︒
# 产品特⾊ • ⾼性能驱动⼒
• 直驱传动⽆间隙
• ⼤负载垂直提升
• 优秀的导向系统
• 闭环控制，内置光栅位置传感器
• 完整运动台设计，⽅便安装使⽤
# 产品图⽚ & 尺⼨
# 产品参数 LS65x.Force
1 可选版本
.NM，绝对⽆磁版本；
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
2 外形尺⼨（⻓*宽*⾼） 45 x 30 x 25 mm
3 主体材料 标准版/.NM：不锈钢; .HV/.UHV：钛
4 线缆 & 接头 标准版/.NM/.HV：屏蔽线缆&D-SUB15
.UHV: kapton漆包线&PEEK D-SUB15
5 运动⽅向最⼤推拉⼒ 30 N
6 保持⼒ 40 N
7 ⾏程 30 mm (最⻓100 mm 可选）
8 最⼤频率 2000 Hz
9 最⼤速度 2 mm/s
10 最⼩步⻓（开环） 5 nm
11 驱动电压 -10 ~ 100 V
12 开环分辨率 0.02 nm
13 推荐使⽤温度 10 ~ 40 ℃
14 传感器类型 光学位置传感器
15 传感器分辨率 2 nm
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
65.00
65.00 55.00 50.00
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4 x 3.20 5.00
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4 x 3.20 5.00
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“Force系列”直线位移台 — LS105x.Force
超⾼分辨率、动⼒强劲的线性运动台
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# 产品特⾊ • ⾼性能驱动⼒
• 直驱传动⽆间隙
• ⼤负载垂直提升
• 优秀的导向系统
• 闭环控制，内置光栅位置传感器
• 完整运动台设计，⽅便安装使⽤
# 产品图⽚ & 尺⼨
# 产品参数 LS105x.Force
1 可选版本
.NM，绝对⽆磁版本；
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
2 外形尺⼨（⻓*宽*⾼） 50 x 40 x 30 mm
3 主体材料 标准版/.NM：不锈钢; .HV/.UHV：钛
4 线缆 & 接头 标准版/.NM/.HV：屏蔽线缆&D-SUB15
.UHV: kapton漆包线&PEEK D-SUB15
5 运动⽅向最⼤推拉⼒ 60 N
6 保持⼒ 80 N
7 ⾏程 60 mm (最⻓200 mm 可选）
8 最⼤频率 2000 Hz
9 最⼤速度 6 mm/s
10 最⼩步⻓（开环） 5 nm
11 驱动电压 -10 ~ 100 V
12 开环分辨率 0.02 nm
13 推荐使⽤温度 10 ~ 40 ℃
14 传感器类型 光学位置传感器
15 传感器分辨率 2 nm
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
105.00
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95.00 4 x M4 8.00 30.00
4 x 4.30 5.00
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95.00 4 x M4 8.00 30.00
4 x 4.30 5.00
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4 x 4.30 5.00
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95.00
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室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
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Part 1.4
“Indus 系列”
极简的设计，超⼤的运动⾏程
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外形尺⼨：!!
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#
Part 1.5
“mini 系列”
超紧凑外形，线性运动台
外形尺⼨：!!
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TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
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Part 1.4
“Indus 系列”
极简的设计，超⼤的运动⾏程
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#
Part 1.5
“mini 系列”
超紧凑外形，线性运动台
外形尺⼨：!!
#
外形尺⼨：!!
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
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“Indus系列” 线性位移台 — L030.Indus ~ L150.Indus
极简⼯业⻛的运动模块
# 产品参数 L030.Indus L060.Indus L100.Indus L150.Indus
1 可选版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 60 × 24 ×14 mm 105 × 24 × 14 mm 180 × 24 × 14 mm 250 × 36 × 16.5 mm
3 必要安装空间
（⻓度⽅向） 93 mm 165 mm 280 mm 480 mm
4 主体材料 不锈钢，铝合⾦
5 线缆 & 接头 标准版 / HV 版本，屏蔽线缆 D-Sub15；UHV 版本，kapton 漆包线，PEEK D-Sub15
6 质量 110 g（标准版） 174 g（标准版） 388 g（标准版） 840 g（标准版）
7 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 1 kg 1 kg 2 kg 3 kg
8 运动⾏程 30 mm 60 mm 100 mm 150 mm
9 最⼤速度 ～ 10 mm/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
10 最⼩步伐 10 nm
11 驱动频率 Max. 20 kHz
12 运动⽅向最⼤推⼒ 2 N
13 保持⼒ 3 N
14 位置传感器类型 光学位置传感器
15 位置传感器分辨率 2 nm
16 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
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# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持
• 多种⾏程规格
• 内置⾼精度光学位置传感器
# 产品图⽚
# 产品参数 LS200.Indus
1 可选版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 80 × 295 × 20 mm
3 主体材料 不锈钢，铝合⾦
4 线缆 & 接头 标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15；UHV版本，kapton漆包线，PEEK D-Sub15
5 质量 1050 g（标准版）
6 运动⾏程 200 mm
7 最⼤速度 ～ 10 mm/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
8 最⼩步伐 10 nm
9 驱动频率 Max. 20 kHz
10 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 2 kg
11 运动⽅向最⼤推⼒ 3 N
12 保持⼒ 5 N
13 位置传感器类型 光学位置传感器
14 位置传感器分辨率 2 nm
15 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
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“Indus系列”线性位移台 — LS200.Indus
极简⼯业⻛的运动模块
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# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持
• ⻓⾏程下节省空间的设计
• 内置⾼精度光学位置传感器
# 产品图⽚ & 尺⼨
4 x 3.30 6
M4 - 6H 6
8 x 2.50 6 8 x 3.00 H7 3.00
M3 - 6H 6
60.00
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25.00
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50.00
8 x 3.40 6.4
6.50 3.60
80.00
295.00
82.00 20.00
8 x 3.00 H7 3.00
240.00
50.00
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4 x 3.30 6
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8 x 2.50 6 8 x 3.00 H7 3.00
M3 - 6H 6
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25.00
25.00
45.00
50.00
8 x 3.40 6.4
6.50 3.60
80.00
295.00
82.00 20.00
8 x 3.00 H7 3.00
240.00
50.00
45.00 25.00
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“Indus系列” 线性位移台 — L030.Indus ~ L150.Indus
极简⼯业⻛的运动模块
# 产品参数 L030.Indus L060.Indus L100.Indus L150.Indus
1 可选版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 60 × 24 ×14 mm 105 × 24 × 14 mm 180 × 24 × 14 mm 250 × 36 × 16.5 mm
3 必要安装空间
（⻓度⽅向） 93 mm 165 mm 280 mm 480 mm
4 主体材料 不锈钢，铝合⾦
5 线缆 & 接头 标准版 / HV 版本，屏蔽线缆 D-Sub15；UHV 版本，kapton 漆包线，PEEK D-Sub15
6 质量 110 g（标准版） 174 g（标准版） 388 g（标准版） 840 g（标准版）
7 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 1 kg 1 kg 2 kg 3 kg
8 运动⾏程 30 mm 60 mm 100 mm 150 mm
9 最⼤速度 ～ 10 mm/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
10 最⼩步伐 10 nm
11 驱动频率 Max. 20 kHz
12 运动⽅向最⼤推⼒ 2 N
13 保持⼒ 3 N
14 位置传感器类型 光学位置传感器
15 位置传感器分辨率 2 nm
16 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
产
品
会
随
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# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持
• 多种⾏程规格
• 内置⾼精度光学位置传感器
# 产品图⽚
# 产品参数 LS200.Indus
1 可选版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 80 × 295 × 20 mm
3 主体材料 不锈钢，铝合⾦
4 线缆 & 接头 标准版/HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15；UHV版本，kapton漆包线，PEEK D-Sub15
5 质量 1050 g（标准版）
6 运动⾏程 200 mm
7 最⼤速度 ～ 10 mm/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
8 最⼩步伐 10 nm
9 驱动频率 Max. 20 kHz
10 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 2 kg
11 运动⽅向最⼤推⼒ 3 N
12 保持⼒ 5 N
13 位置传感器类型 光学位置传感器
14 位置传感器分辨率 2 nm
15 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
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“Indus系列”线性位移台 — LS200.Indus
极简⼯业⻛的运动模块
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# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持
• ⻓⾏程下节省空间的设计
• 内置⾼精度光学位置传感器
# 产品图⽚ & 尺⼨
4 x 3.30 6
M4 - 6H 6
8 x 2.50 6 8 x 3.00 H7 3.00
M3 - 6H 6
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8 x 3.40 6.4
6.50 3.60
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8 x 3.00 H7 3.00
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4 x 3.30 6
M4 - 6H 6
8 x 2.50 6 8 x 3.00 H7 3.00
M3 - 6H 6
60.00
60.00
25.00
25.00
45.00
50.00
8 x 3.40 6.4
6.50 3.60
80.00
295.00
82.00 20.00
8 x 3.00 H7 3.00
240.00
50.00
45.00 25.00
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
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“mini系列“线性位移台 — X11.mini
超紧凑外形的线性运动台
# 产品参数 X11.mini
1 可选版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
底⾯尺⼨ × ⾼度 11 × 11 × 6.5mm
主体材料 不锈钢，铝合⾦
质量 10 g（标准版）
运动⾏程 6 mm
驱动频率 Max. 20 kHz
空间运动分辨率（开环） <1 nm
⽔平⽅向使⽤最⼤负载 50 g
运动⽅向最⼤推⼒ 0.3 N
保持⼒ 0.5 N
控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
# 产品特⾊ • 超微⼩结构
• 纳⽶级分辨率
• 超安静运动 • 断电位置⾃保持
# 产品图⽚ & 尺⼨
!\"\"#$$!
%!&! 1.00 完全贯穿
!'#($!
!'#($!
)!&! 1.10 完全贯穿
M1.4x0.3 - 6H 完全贯穿
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!*#+$!
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%!&! 1.00 完全贯穿
!'#($!
!'#($!
)!&! 1.10 完全贯穿
M1.4x0.3 - 6H 完全贯穿
!\"\"#$$!
!*#+$!
# 产品参数 X20.mini
1 可选版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 20 × 20 × 12 mm
3 主体材料 标准版，.HV，.UHV 不锈钢；NM，纯钛
4 质量 30 g（标准版）
5 运动⾏程 10 mm
6 驱动频率 Max. 20 kHz
7 线缆 & 接头 标准版 / HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15；UHV 版本，kapton 漆包线，PEEK D-Sub15
8 最⼤速度 ~ 10 mm/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
9 最⼩步伐（闭环） 10 nm
10 运动⽅向最⼤推⼒ 1.5 N
11 保持⼒ 3 N
12 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 300 g
13 垂直⽅向使⽤最⼤负载 100 g
14 位置传感器类型 光学位置传感器
15 位置传感器分辨率 2 nm
16 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
“mini系列“线性位移台 — X20.mini
超紧凑外形的线性运动台
# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持 • 内置⾼精度光学位置传感器
# 产品图⽚ & 尺⼨
20.0
23.2
15.0
20.0
2 x M2 5.00
12.0
20.0
15.0
15.0
4 x M1.6 - 6H 3.2
1.3 4.3
1.7 X 90°, 近端
4 x M1.6 - 6H 2.00
20.0
23.2
15.0
20.0
2 x M2 5.00
12.0
20.0
15.0
15.0
4 x M1.6 - 6H 3.2
1.3 4.3
1.7 X 90°, 近端
4 x M1.6 - 6H 2.00
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TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
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如
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“mini系列“线性位移台 — X11.mini
超紧凑外形的线性运动台
# 产品参数 X11.mini
1 可选版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
底⾯尺⼨ × ⾼度 11 × 11 × 6.5mm
主体材料 不锈钢，铝合⾦
质量 10 g（标准版）
运动⾏程 6 mm
驱动频率 Max. 20 kHz
空间运动分辨率（开环） <1 nm
⽔平⽅向使⽤最⼤负载 50 g
运动⽅向最⼤推⼒ 0.3 N
保持⼒ 0.5 N
控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
# 产品特⾊ • 超微⼩结构
• 纳⽶级分辨率
• 超安静运动 • 断电位置⾃保持
# 产品图⽚ & 尺⼨
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M1.4x0.3 - 6H 完全贯穿
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M1.4x0.3 - 6H 完全贯穿
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# 产品参数 X20.mini
1 可选版本
.HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
.NM，完全⽆磁版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 20 × 20 × 12 mm
3 主体材料 标准版，.HV，.UHV 不锈钢；NM，纯钛
4 质量 30 g（标准版）
5 运动⾏程 10 mm
6 驱动频率 Max. 20 kHz
7 线缆 & 接头 标准版 / HV版本，屏蔽线缆 D-Sub15；UHV 版本，kapton 漆包线，PEEK D-Sub15
8 最⼤速度 ~ 10 mm/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
9 最⼩步伐（闭环） 10 nm
10 运动⽅向最⼤推⼒ 1.5 N
11 保持⼒ 3 N
12 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 300 g
13 垂直⽅向使⽤最⼤负载 100 g
14 位置传感器类型 光学位置传感器
15 位置传感器分辨率 2 nm
16 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
“mini系列“线性位移台 — X20.mini
超紧凑外形的线性运动台
# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持 • 内置⾼精度光学位置传感器
# 产品图⽚ & 尺⼨
20.0
23.2
15.0
20.0
2 x M2 5.00
12.0
20.0
15.0
15.0
4 x M1.6 - 6H 3.2
1.3 4.3
1.7 X 90°, 近端
4 x M1.6 - 6H 2.00
20.0
23.2
15.0
20.0
2 x M2 5.00
12.0
20.0
15.0
15.0
4 x M1.6 - 6H 3.2
1.3 4.3
1.7 X 90°, 近端
4 x M1.6 - 6H 2.00
压
电
运
动
室
温
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产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
其
设
计
规
格
或
参
数
︐
如
有
更
改
恕
不
另
⾏
通
知
︒
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
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压
电
运
动
室
温
Part 2.1
“FreeXD 系列”
并联结构·同时保证⾃由度和精度的最好选择
#
并联结构，光栅尺闭环，ZTxTy三⾃由度调节
⾏程：
Z：±5 mm；θX，θY：±3 °，±3 °
最⼩空间位移：
Z：25 nm；θX，θY：7.5 μrad
最⼤负载可定制
并联结构，光栅尺闭环，XYZTxTyRz 六⾃由度调节
⾏程：
X，Y，Z：±10 mm，±10 mm，±5 mm
θx，θy，θz：±10 °，±10 °，±20 °
最⼩空间位移：
X，Y，Z：10 nm，10 nm，10 nm
θX，θY，θZ：1 μrad，1 μrad，1 μrad
#
极紧凑并联结构，光栅尺闭环，XYZTxTyRz 六⾃由度调节
⾏程：
X，Y，Z：±5 mm，±5 mm，±2.5 mm
θx，θy，θz：±16 °，±13 °，±26 °
最⼩空间位移：
X，Y，Z：10 nm，10 nm，10 nm
θX，θY，θZ： 1 μrad，1 μrad，1 μrad
#
压
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运
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室
温
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⼀体式结构，光栅尺闭环，⼆维平⾯运动
⾏程：75 × 50 mm
最⼩步伐10 nm
空间分辨率 2 nm
负载 2 kg
#
Part 2.2
“Carrier 系列”
针对显微领域的⼤尺⼨运动集成⽅案
⼀体式结构，光栅尺闭环，⼆维平⾯运动
⾏程：100 × 100 mm
最⼩步伐 10 nm
空间分辨率 2 nm
负载 4 kg
#
紧凑型，⼀体式结构，光栅尺闭环，⼆维平⾯运动
⾏程：100 × 100 mm
最⼩步伐 10 nm
空间分辨率 2 nm
负载 4 kg
#
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压
电
运
动
室
温
Part 2.1
“FreeXD 系列”
并联结构·同时保证⾃由度和精度的最好选择
#
并联结构，光栅尺闭环，ZTxTy三⾃由度调节
⾏程：
Z：±5 mm；θX，θY：±3 °，±3 °
最⼩空间位移：
Z：25 nm；θX，θY：7.5 μrad
最⼤负载可定制
并联结构，光栅尺闭环，XYZTxTyRz 六⾃由度调节
⾏程：
X，Y，Z：±10 mm，±10 mm，±5 mm
θx，θy，θz：±10 °，±10 °，±20 °
最⼩空间位移：
X，Y，Z：10 nm，10 nm，10 nm
θX，θY，θZ：1 μrad，1 μrad，1 μrad
#
极紧凑并联结构，光栅尺闭环，XYZTxTyRz 六⾃由度调节
⾏程：
X，Y，Z：±5 mm，±5 mm，±2.5 mm
θx，θy，θz：±16 °，±13 °，±26 °
最⼩空间位移：
X，Y，Z：10 nm，10 nm，10 nm
θX，θY，θZ： 1 μrad，1 μrad，1 μrad
#
压
电
运
动
室
温
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⼀体式结构，光栅尺闭环，⼆维平⾯运动
⾏程：75 × 50 mm
最⼩步伐10 nm
空间分辨率 2 nm
负载 2 kg
#
Part 2.2
“Carrier 系列”
针对显微领域的⼤尺⼨运动集成⽅案
⼀体式结构，光栅尺闭环，⼆维平⾯运动
⾏程：100 × 100 mm
最⼩步伐 10 nm
空间分辨率 2 nm
负载 4 kg
#
紧凑型，⼀体式结构，光栅尺闭环，⼆维平⾯运动
⾏程：100 × 100 mm
最⼩步伐 10 nm
空间分辨率 2 nm
负载 4 kg
#
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
压
电
运
动
室
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压
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六⾃由度并联运动台 — Free6D.3-2.070
超⼩型6⾃由度并联设计，多姿态任意调节
# 产品参数 Free6D.3-2.070
1 可选版本 .HV，⾼真空版本;
.UHV，超⾼真空版本；
2 底⾯尺⼨*⾼度 Ø70 × 65 mm
3 主体材料 不锈钢 / 铝合⾦
4 线缆 & 接头（6x） 标准屏蔽线缆D-Sub15 x 2；kapton 漆包线，PEEK-D-Sub15 x 2
5 最⼤垂直负载 300 g
6 运动⾏程 X，Y，Z ±5 mm，±5 mm，±2.5 mm
7 运动⾏程 θX，θY ，θZ * ±16 °，±13 °，±26 °
8 单向重复精度 X，Y，Z * ±0.15 μm，±0.15 μm，±0.1 μm
9 单向重复精度θX，θY，θZ ±8 μrad，±8 μrad，±8 μrad
10 最⼩步伐 X，Y，Z 10 nm，10 nm，10 nm
11 最⼩步伐 θX，θY，θZ 1 μrad，1 μrad，1 μrad
12 传感器类型 光学位置传感器
13 位置传感器分辨率 2 nm
14 控制器规格 MC-Free6D
$ 并联运动系统各轴之间相互耦合，制约；所标注指标为单轴独⽴运动条件下可实现的最⼤⾏程。
更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
产
品
会
随
技
术
升
级
或
换
代
⽽
不
断
变
更
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设
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规
格
或
参
数
︐
如
有
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通
知
︒
# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持
• 并联驱动结构
• 内置⾼精度光学位置传感器
• ⾼刚性系统
# 产品图⽚ & 尺⼨
压
电
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动
室
温
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六⾃由度并联运动台 — Free6D.3-2.150
6⾃由度并联设计，空间中彻底⾃由移动
# 产品参数 Free6D.3-2.150
1 可选版本 .HV，⾼真空版本;
.UHV，超⾼真空版本；
2 底⾯尺⼨*⾼度 Ø150 × 90 mm
3 主体材料 不锈钢 / 铝合⾦
4 线缆 & 接头（6x） 标准屏蔽线缆 D-Sub15；kapton漆包线，PEEK D-Sub15插针
5 最⼤垂直负载 1 kg
6 运动⾏程 X，Y，Z * ±10 mm，±10 mm，±5 mm
7 运动⾏程 θX，θY ，θZ * ±10 °，±10 °，±20 °
8 单向重复精度 X，Y，Z ±0.15 μm，±0.15 μm，±0.1 μm
9 单向重复精度 θX，θY，θZ ±5 μrad，±5 μrad，±5 μrad
10 最⼩步伐 X，Y，Z 10 nm，10 nm，10 nm
11 最⼩步伐 θX，θY，θZ 1 μrad，1 μrad，1 μrad
12 传感器类型 光学位置传感器
13 位置传感器分辨率 2nm
14 控制器规格 MC-Free 6D
$ 并联运动系统各轴之间相互耦合，制约；所标注指标为单轴独⽴运动条件下可实现的最⼤⾏程。
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产
品
会
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技
术
升
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或
换
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通
知
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# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持
• 并联驱动结构
• 内置⾼精度光学位置传感器
• ⾼刚性系统
# 产品图⽚ & 尺⼨
90.00
100.00
150.00
50.00
40.00
6 x M4 - 6H 4.00
3.30 4.00
6 x 3.00
0.00
0.00 3.00
12 x M2 - 6H 4.00
1.60 4.00
125.00
2 x 6.60 完全贯穿
13.00 6.00
60.00
80.00
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2025�1�15
1 1
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
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六⾃由度并联运动台 — Free6D.3-2.070
超⼩型6⾃由度并联设计，多姿态任意调节
# 产品参数 Free6D.3-2.070
1 可选版本 .HV，⾼真空版本;
.UHV，超⾼真空版本；
2 底⾯尺⼨*⾼度 Ø70 × 65 mm
3 主体材料 不锈钢 / 铝合⾦
4 线缆 & 接头（6x） 标准屏蔽线缆D-Sub15 x 2；kapton 漆包线，PEEK-D-Sub15 x 2
5 最⼤垂直负载 300 g
6 运动⾏程 X，Y，Z ±5 mm，±5 mm，±2.5 mm
7 运动⾏程 θX，θY ，θZ * ±16 °，±13 °，±26 °
8 单向重复精度 X，Y，Z * ±0.15 μm，±0.15 μm，±0.1 μm
9 单向重复精度θX，θY，θZ ±8 μrad，±8 μrad，±8 μrad
10 最⼩步伐 X，Y，Z 10 nm，10 nm，10 nm
11 最⼩步伐 θX，θY，θZ 1 μrad，1 μrad，1 μrad
12 传感器类型 光学位置传感器
13 位置传感器分辨率 2 nm
14 控制器规格 MC-Free6D
$ 并联运动系统各轴之间相互耦合，制约；所标注指标为单轴独⽴运动条件下可实现的最⼤⾏程。
更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
产
品
会
随
技
术
升
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或
换
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有
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通
知
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# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持
• 并联驱动结构
• 内置⾼精度光学位置传感器
• ⾼刚性系统
# 产品图⽚ & 尺⼨
压
电
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动
室
温
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六⾃由度并联运动台 — Free6D.3-2.150
6⾃由度并联设计，空间中彻底⾃由移动
# 产品参数 Free6D.3-2.150
1 可选版本 .HV，⾼真空版本;
.UHV，超⾼真空版本；
2 底⾯尺⼨*⾼度 Ø150 × 90 mm
3 主体材料 不锈钢 / 铝合⾦
4 线缆 & 接头（6x） 标准屏蔽线缆 D-Sub15；kapton漆包线，PEEK D-Sub15插针
5 最⼤垂直负载 1 kg
6 运动⾏程 X，Y，Z * ±10 mm，±10 mm，±5 mm
7 运动⾏程 θX，θY ，θZ * ±10 °，±10 °，±20 °
8 单向重复精度 X，Y，Z ±0.15 μm，±0.15 μm，±0.1 μm
9 单向重复精度 θX，θY，θZ ±5 μrad，±5 μrad，±5 μrad
10 最⼩步伐 X，Y，Z 10 nm，10 nm，10 nm
11 最⼩步伐 θX，θY，θZ 1 μrad，1 μrad，1 μrad
12 传感器类型 光学位置传感器
13 位置传感器分辨率 2nm
14 控制器规格 MC-Free 6D
$ 并联运动系统各轴之间相互耦合，制约；所标注指标为单轴独⽴运动条件下可实现的最⼤⾏程。
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产
品
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技
术
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# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持
• 并联驱动结构
• 内置⾼精度光学位置传感器
• ⾼刚性系统
# 产品图⽚ & 尺⼨
90.00
100.00
150.00
50.00
40.00
6 x M4 - 6H 4.00
3.30 4.00
6 x 3.00
0.00
0.00 3.00
12 x M2 - 6H 4.00
1.60 4.00
125.00
2 x 6.60 完全贯穿
13.00 6.00
60.00
80.00
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X.X � 0.05 ��
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1.6
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比例
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2025�1�15
1 1
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
# 产品参数 Free3D.ZTxTy.150
1 可选版本 .HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 Ø150 × 110 mm
3 主体材料 铝合⾦
4 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆D-Sub15 × 3；kapton 漆包线，PEEK-D-Sub15 × 3
5 垂直负载 3 kg
6 重量 1.5 kg
7 运动⾏程 Z * ±5 mm
8 运动⾏程θX，θY * ±3 °，±3 °
9 最⼤速度 10 mm/s，5 °/s
10 最⼩步伐 Z 25 nm
11 最⼩步伐θX，θY 7.5 μrad，7.5 μrad
12 单向重复精度 Z ±0.15 μm
13 单向重复精度θX，θY ±2.5 μrad，±2.5 μrad
14 传感器类型 光学位置传感器
15 位置传感器分辨率 2 nm
16 控制器规格 MC-Newton.MS3
$ 并联运动系统各轴之间相互耦合，制约；所标注指标为单轴独⽴运动条件下可实现的最⼤⾏程。
更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
压
电
运
动
室
温
压
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三⾃由度并联运动台 — Free3D.ZTxTy.150
3⾃由度并联设计，空间中ZTT移动
产
品
会
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术
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或
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规
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如
有
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改
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不
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通
知
︒
# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持
• 并联驱动结构
• 内置⾼精度光学位置传感器
• 灵活的可定制⽅案
# 产品图⽚ & 尺⼨
压
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六⾃由压电控制器，MC-Free6D
# 产品参数 MC-Free6D
1 功能 根据⽤户输⼊的位移指令，实现对位移台六轴空间姿态的运动调节
2 控制⽅式
各驱动单元模块通过光栅位置反馈实现闭环控制；
通过专⽤软件，实现对六轴并联运动的解算，分配到各驱动单元模块，
实现六轴空间姿态的同时调节。
3 控制器尺⼨ 200 × 200 × 140 mm
4 重量 2.7 kg
5 ⼯作电压 24 V
6 最⼤输出频率 20 kHz
7 最⼤输出功率 100 W
8 ⼯作环境 0～50 °C，<70 % RH
9 控制器通道 6通道输出控制
10 位移台通道接⼝ DB15 female，6组
11 通讯接⼝ USB Type-C，EtherNet，EtherCAT（on request）
12 控制软件 提供PC端使⽤软件，⽀持命令集控制
13 特⾊ 三维模型动态跟踪，⽀持路径规划，旋转中⼼可调
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
产
品
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如
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# 产品特⾊ • 6通道⼀体式 • 多种通信接⼝ • 先进的运动控制算法
# 产品图⽚ & 尺⼨
• 闭环控制，⽀持光栅位置传感器
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
# 产品参数 Free3D.ZTxTy.150
1 可选版本 .HV，⾼真空版本；
.UHV，超⾼真空版本；
2 底⾯尺⼨ × ⾼度 Ø150 × 110 mm
3 主体材料 铝合⾦
4 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆D-Sub15 × 3；kapton 漆包线，PEEK-D-Sub15 × 3
5 垂直负载 3 kg
6 重量 1.5 kg
7 运动⾏程 Z * ±5 mm
8 运动⾏程θX，θY * ±3 °，±3 °
9 最⼤速度 10 mm/s，5 °/s
10 最⼩步伐 Z 25 nm
11 最⼩步伐θX，θY 7.5 μrad，7.5 μrad
12 单向重复精度 Z ±0.15 μm
13 单向重复精度θX，θY ±2.5 μrad，±2.5 μrad
14 传感器类型 光学位置传感器
15 位置传感器分辨率 2 nm
16 控制器规格 MC-Newton.MS3
$ 并联运动系统各轴之间相互耦合，制约；所标注指标为单轴独⽴运动条件下可实现的最⼤⾏程。
更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
压
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三⾃由度并联运动台 — Free3D.ZTxTy.150
3⾃由度并联设计，空间中ZTT移动
产
品
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技
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升
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换
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不
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规
格
或
参
数
︐
如
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恕
不
另
⾏
通
知
︒
# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 断电位置⾃保持
• 并联驱动结构
• 内置⾼精度光学位置传感器
• 灵活的可定制⽅案
# 产品图⽚ & 尺⼨
压
电
运
动
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温
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六⾃由压电控制器，MC-Free6D
# 产品参数 MC-Free6D
1 功能 根据⽤户输⼊的位移指令，实现对位移台六轴空间姿态的运动调节
2 控制⽅式
各驱动单元模块通过光栅位置反馈实现闭环控制；
通过专⽤软件，实现对六轴并联运动的解算，分配到各驱动单元模块，
实现六轴空间姿态的同时调节。
3 控制器尺⼨ 200 × 200 × 140 mm
4 重量 2.7 kg
5 ⼯作电压 24 V
6 最⼤输出频率 20 kHz
7 最⼤输出功率 100 W
8 ⼯作环境 0～50 °C，<70 % RH
9 控制器通道 6通道输出控制
10 位移台通道接⼝ DB15 female，6组
11 通讯接⼝ USB Type-C，EtherNet，EtherCAT（on request）
12 控制软件 提供PC端使⽤软件，⽀持命令集控制
13 特⾊ 三维模型动态跟踪，⽀持路径规划，旋转中⼼可调
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
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# 产品特⾊ • 6通道⼀体式 • 多种通信接⼝ • 先进的运动控制算法
# 产品图⽚ & 尺⼨
• 闭环控制，⽀持光栅位置传感器
TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
室温·压电运动单元
MultiFieldsⓇ 产品⽬录 2025 / 室温·压电超精密运动
（ ⽆磁｜超⾼真空 ）
多场科技 · 超精密运动
# 产品参数 Carrier.L7550.XY
1 可选版本 .NM，绝对⽆磁版本；.HV，⾼真空版本；.UHV，超⾼真空版本；
2 运动⽅向 X，Y
3 外形尺⼨ 250 × 200 × 30 mm
4 必要安装空间 325 × 250 mm
5 有效通孔 85 × 65 mm
6 主体材料 铝合⾦ / 不锈钢
7 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆D-Sub15 x 2；kapton 漆包线，PEEK-D-Sub15 x 2
8 ⼯作温度 10 – 40 °C
9 质量 2.5 kg（标准版）
10 运动⾏程 75 × 50 mm
11 最⼤速度 ~ 15 mm/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
12 最⼩步伐（闭环） 10 nm
13 驱动频率 Max. 20 kHz
14 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 2 kg
15 全⾏程俯仰/偏摆 0.3 mrad
16 位置传感器类型 光学位置传感器
17 位置传感器分辨率 2 nm （默认）
18 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
压
电
运
动
室
温
www.multi-field.com ｜ MultiFields Technologies
压
电
运
动
室
温
⼤范围线性运动 — Carrier.L7550.XY
⼀体式⼆维平⾯运动，闭环控制，压电惯性电机
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# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• 适配商⽤显微系统
• 断电位置⾃保持
• XY⼀体式组合结构
• 全⾏程运动中，保证通孔
• 内置⾼精度光学位置传感器
# 产品图⽚ & 尺⼨
• 可与⾼精度压电扫描台堆叠组合
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# 产品参数 Carrier.L1010.XY
1 可选版本 .NM，绝对⽆磁版本；.HV，⾼真空版本；.UHV，超⾼真空版本；
2 运动⽅向 X，Y
3 外形尺⼨ 250 × 250 × 40 mm
4 必要安装空间 350 × 350 × 40 mm
5 有效通孔 120 × 120 mm
6 主体材料 铝合⾦ / 不锈钢
7 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆D-Sub15 x 2；kapton 漆包线，PEEK-D-Sub15 x 2
8 ⼯作温度 10 – 40 °C
9 运动⾏程 100 × 100 mm
10 最⼤速度 ~ 10 mm/s*（真空环境使⽤时降低⾄ 10 %）
11 最⼩步伐（闭环） 10 nm
12 驱动频率 Max. 20 kHz
13 ⽔平⽅向使⽤最⼤负载 4 kg
14 全⾏程俯仰/偏摆 0.3 mrad
15 位置传感器类型 光学位置传感器
16 位置传感器分辨率 2 nm （默认）
17 控制器规格 MC-Newton.S系列
* 更多产品详情、图纸及三维模型，请联系我们获取。
压
电
运
动
室
温
www.multi-field.com ｜ MultiFields Technologies
⼤范围线性运动 — Carrier.L1010.XY
⼀体式⼆维平⾯运动，闭环控制，压电惯性电机
产
品
会
随
技
术
升
级
或
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其
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格
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# 产品特⾊ • 超安静运动
• 纳⽶级分辨率
• XY⼀体式组合结构
• 断电位置⾃保持
• 全⾏程运动中，保证通孔
• 内置⾼精度光学位置传感器
# 产品图⽚ & 尺⼨
• 可与⾼精度压电扫描台堆叠组合 !\"#$# !!\"$# !##$# %\"#$# \"#$# %!#$# %!#$#
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TEL: +86 10 5637 0168 Email: info@zolix.com.cn
