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大范围线性运动一Carrier.L1010.XY
一体式二维平面运动，闭环控制，压电惯性电机
产品特色
·超安静运动 ·XY一体式组合结构 ·全行程运动中，保证通孔·纳米级分辨率 ·断电位置自保持 ·内置高精度光学位置传感器·可与高精度压电扫描台堆叠组合
产品图片&尺寸
产品参数
| 1 可选版本 | .NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； |
| 2 | X.Y |
| 运动方向 3 外形尺寸 | 250×250×40mm |
| 必要安装空间 | 350×350×40mm |
| 4 | 120 × 120 mm |
| 5 | 有效通孔 铝合金／不锈钢 |
| 6 7 | 主体材料 标准屏蔽线缆D-Sub15×2；kapton漆包线，PEEK-D-Sub15×2 |
| 线缆&接头 | 10-40℃ |
| 8 | 工作温度 |
| 9 | 运动行程 100 ×100 mm |
| 10 | 最大速度 ~10mm/s* (真空环境使用时降低至10%) |
| 11 最小步伐 (闭环) | 10 nm |
| 12 | 驱动频率 Max.20 kHz |
| 13 水平方向使用最大负载 | 4kg |
| 14 全行程俯仰/偏摆 | 0.3 mrad |
| 15 位置传感器类型 | 光学位置传感器 |
| 16 位置传感器分辨率 | 2 nm (默认) |
| 17 | 控制器规格 MC-Newton.S系列 |
大范围线性运动一Carrier.L1010s.XY
一体式二维平面运动，闭环控制，压电惯性电机
产品特色
·超安静运动 ·XY一体式组合结构·全行程运动中，保证通孔·纳米级分辨率·断电位置自保持 ·内置高精度光学位置传感器·紧凑设计 ·可与高精度压电扫描台堆叠组合
产品图片&尺寸
产品参数
| 1 | 可选版本 | .NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； |
| 2 | 运动方向 | X,Y |
| 3 | 外形尺寸 | 185×185×28mm |
| 4 | 必要安装空间 | 285×285×28mm |
| 5 | 有效通孔 | 20×20mm(全行程）；50×50mm(行程 |
| 6 | 主体材料 | 铝合金，不锈钢／陶瓷 |
| 7 | 线缆&接头 | 标准屏蔽线缆D-Sub15×2；kapton漆包线，PEEK-D-Sub15×2 |
| 8 | 工作温度 | 10-40℃ |
| 9 | 质量 | 2kg |
| 10 | 运动行程 | 100 ×100mm |
| 11 | 最大速度 | 10 mm/s* (真空环境使用时降低至10%) |
| 12 | 最小步伐 (闭环) | 10nm |
| 13 | 驱动力 | 2N |
| 14 | 保持力 | 4N |
| 15 | 水平方向使用最大负载 | 4kg |
| 16 | 全行程俯仰/偏摆 | 0.3 mrad |
| 17 | 位置传感器类型 | 光学位置传感器 |
| 18 | 位置传感器分辨率 | 2 nm (默认) |
| 19 | 控制器规格 | MC-Newton.S系列 |
单通道压电运动控制器一MC-Newton.E
压电运动·室温－压电运动控制器
产品参数
MC-Newton.E
| 1 | 控制模式 | 开环控制&闭环控制 |
| 2 | 尺寸大小(L×W×H) | 105×68×22mm |
| 3 | 规格简介 | 用于压电惯性电机闭环运动的控制器 |
| 4 | 控制通道 | 单通道 |
| 5 | 传感探测类型 | 增量式光学位置传感器 |
| 6 | 通讯接口 | USB串口、RS485、RS232 |
| 7 | 电机接口 | 直连电机 |
| 8 | 控制器供电 | 24VDC |
| 9 | 最大输出功率 | 15W |
| 10 | 最大输出频率 | 5kHz |
| 11 | 连接器（电源输入） | DC5525 |
| 12 | 输出电压范围 | 0~50V |
| 13 | 远程升级 | 支持 |
| 14 | 软件 | 上位机程序，控制指令集，SDK |
“Lab,indus,mini"运动控制器一 MC-Newton.S&MSx压电运动·室温－压电运动控制器
产品参数 MC-Newton.S MC-Newton.MSx
| 1 | 控制模式 | 开环控制&闭环控制 | |
| 2 | 尺寸大小(L×W×H) | 136×131×32 mm | 136×131mm (32× (x+1) 1 mm |
| 3 | 规格简介 | 用于压电惯性电机闭环运动的控制器 | |
| 4 | 控制通道 | 单通道 | 1~10 |
| 5 | 传感探测类型 | 增量式光学位置传感器 | |
| 6 | 通讯接口 | USB，EtherNet，RS485 | USB，EtherNet，RS485，EtherCAT (on request) |
| 7 | 电机接口 | D-Sub15 | |
| 8 | 控制器供电 | 24VDC | 24VDC&120W |
| 9 | 最大输出功率 | 30W | 单通道输出30W；多通道同时输出100W |
| 10 | 连接器 (电源输入) | DC5525 | |
| 11 | 输出电压范围 | 0~75V | |
| 12 | 模拟信号控制模式 | -10V~10V (单端) | |
| 13 | 手动控制运动模式 | 面板按键 | |
| 14 | 硬件触发功能 | SMA接口，支持TTL (3.3V），I/O | |
| 15 | 远程升级 | 支持 | |
| 16 | 软件 | 上位机程序，控制指令集，SDK | |
‘Speed"控制器 一 MC-Doppler.S & MSx
压电运动·室温-压电运动控制器
·紧凑型模块化结构·先进的运动控制算法·闭环控制，支持光栅位置传感器·高性能驱动力 ·灵活配置，至多10通道模式
产品图片&尺寸
| 品梦效 MC-Doppler.S MC-Doppiers.MSx | ||
| 1 | 控制模式 开环控制&闭环控制 | |
| 2 | 尺寸大小(L×W×H) 136×131×32 mm | 136 ×131mm (32× (×+1) mm |
| 3 | 规格简介 用于压电超声波电机闭环运动的控制器 | |
| 4 | 控制通道 单通道 | ×通道 (x≤10） |
| 5 | 传感探测类型 增量式光学位置传感器 | |
| 6 | 通讯接口 USB，EtherNet，RS485 | USB，EtherNet，RS485，EtherCAT (on request) |
| 7 | 电机接口 D-Sub15 | |
| 8 控制器供电 | 24VDC | |
| 9 连接器 (电源输入) | DC5525 | |
| 10 模拟信号控制模式 | -10~10V (单端) | |
| 11 手动控制运动模式 | 面板按键 | |
| 12 硬件触发功能 | SMA 接口，支持TTL (3.3V），I/O | |
| 13 远程升级 | 支持 | |
| 14 软件 | 上位机程序，控制指令集，SDK | |
Chap.03短行程扫描产品压电扫描台系列
3.1.紧凑型
3.1.1
S系列
紧凑&平衡的设计
3.1.2SH系列重负载扫描台
3.1.3SD系列高动态响应
3.2.2Carrier.SL系列轻载下更好的工作频率
3.2.3Carrier.OB系列物镜对焦与扫描
Part 3.1S，SH & SD 系列(紧凑型设计)
紧凑外形设计，电容闭环控制，超高精度多自由度，丰富行程可选，最大覆盖到 5 0 0 ~ { \mu { m } } ；高动态版本，超高负载可选择；
X轴扫描台 一 S100.X.C，S300.X.C & S500.X.C标准单轴扫描运动模块，长行程运动单元
·压电陶瓷堆叠驱动 ·亚纳米级位置分辨率 ·内置电容传感器，闭环控制·无摩擦柔顺结构导向·长行程运动范围 ·直接位置检测
产品图片&尺寸
| 产品参数 S100.X.C S300.X.C S500.X.C | |||||
| 1 可选版本 | .NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； | ||||
| 2 | 运动方向 | ×方向 | |||
| 3 | 底面尺寸×高度 | 55×55×17mm 70× 70×17mm | |||
| 4 | 主体材料 | 铝合金&不锈钢 | |||
| 5 | 运动行程 (开环) | 120um | 350 um | ||
| 6 | 运动行程 (闭环) | 100 um | 300 um 500um | ||
| 7 | 运动分辨率 (开环) | 0.2 nm | 0.5nm 0.7 nm | ||
| 8 | 运动分辨率 (闭环) | 0.5nm | 0.9 nm 1.5 nm | ||
| 9 | 线性度 | 0.03% | |||
| 10 | 摇摆／俯仰 | ±3urad/±3urad | ±3 urad /±3 urad ±6urad/±6urad | ||
| 11 | 共振频率 (空载） | 700 Hz | 370 Hz 200 Hz | ||
| 12 | 最大拉力 | 10N | |||
| 13 | 水平方向使用最大负载 | 500g | |||
| 14 | 传感器类型 | 电容式 | |||
| 15 | 驱动电压 | Max. 150V | |||
| 16 | 推荐使用温度 | 15~40°℃ | |||
| 17 | 质量 160g | 200g | 240g | ||
| 18 | 控制器规格 MC-Archimedes.N系列 | ||||
Z轴扫描台 一 S100.Z.C，S300.Z.C
标准单轴扫描运动模块，超薄升降运动
| 产品参数 | S100.Z.C | S300.Z.C | |
| 1 | 可选版本 | .NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； | |
| 2 | 运动方向 | Z方向 | |
| 3 | 底面尺寸×高度 | 55×55×18mm | |
| 4 | 主体材料 | 铝合金&不锈钢 | |
| 5 | 运动行程 (开环) | 120 um | 350 um |
| 6 | 运动行程 (闭环) | 100 um | 300um |
| 7 | 运动分辨率 (开环) | 0.2 nm | 0.5nm |
| 8 | 运动分辨率 (闭环) | 0.5nm | 1 nm |
| 9 | 摇摆/俯仰 | ±100 urad | ±200 urad |
| 10 | 线性度 | 0.03% | |
| 11 | 共振频率 (空载) | 700 Hz | 320 Hz |
| 12 | 刚性 | 0.5 N/um | 0.25 N/um |
| 13 | 最大负载 | 500g | |
| 14 | 传感器类型 | 电容式 | |
| 15 | 驱动电压 | Max.150V | |
| 16 | 推荐使用温度 | 15~40°℃ | |
| 17 | 质量 | 170g 250g | |
| 18 | 控制器规格 | MC-Archimedes.N系列 | |
XY/XYZ扫描台 一 S100.XY/XYZ.C， S200.XY/XYZ.C紧凑的3自由度扫描运动台，多功能纳米运动单元
| 产品参数 | S100.XY.C | S200.XY.C | S100.XYZ.C | S200.XYZ.C | |
| 1 | 可选版本 .NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； | ||||
| 2 | 运动方向 | X，Y方向 | X,Y，Z方向 | ||
| 3 | 底面尺寸×高度 | 55×55×27mm | 55×55×30mm | 55×55×40mm | 55×55×45mm |
| 4 | 主体材料 | 铝合金&不锈钢 | |||
| 5 | 运动行程 (开环) | 120 × 120 um | 240× 240 um | 120 × 120×120 μm | 240 × 240× 240 um |
| 6 | 运动行程 (闭环) | 100 ×100 um | 200 × 200 um | 100 × 100×100 μm | 200×200×200μm |
| 7 | 运动分辨率 (开环) | 0.2 nm | 0.4 nm | 0.2 nm | 0.4nm |
| 8 | 运动分辨率 (闭环) | 1nm | 1.5 nm | 1nm | 1.5 nm |
| 9 | 线性度 | 0.03% | |||
| 10 | 共振频率 (X/Y/Z空载) | 400/350／-Hz | 300/250／-Hz | 400/350/300Hz | 300/250/200Hz |
| 11 | 刚性 | 0.5 N/um | 0.25 N/um | 0.5 N/um | 0.25 N/um |
| 12 | 传感器类型 | 电容式 | |||
| 13 | 驱动电压 | Max.150 V | |||
| 14 | 推荐使用温度 | 15~40℃ | |||
| 15 | 线缆 | D-Sub 3W3 | |||
| 16 | 控制器规格 | MC-Archimedes.N系列 | |||
XYZ扫描台 一 S100.XYZ.C.P
超小型三维并扫描台，并联运动
·压电陶瓷堆叠驱动 ·无摩擦柔顺结构导向·内置电容传感器，闭环控制·直接位置检测 ·亚纳米级位置分辨率·超小型并联多轴结构
产品图片&尺寸
产品参数
| 1 | 可选版本 | .NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； |
| 2 | 运动方向 | X,Y,Z |
| 3 | 底面尺寸×高度 | 40×40×40mm |
| 4 | 主体材料 | 铝合金&不锈钢 |
| 5 | 闭环行程 (X/Y/Z) | 100 ×100×100 um |
| 6 | 线性度 | 0.03% |
| 7 | 运动分辨率 (闭环) | 1 nm |
| 8 | 重复定位精度 (X/Y/Z) | 10 nm |
| 9 | 共振频率 (X/Y/Z空载) | 700/700/700 Hz |
| 10 | 最大负载 | 200g |
| 11 | 传感器类型 | 电容式 |
| 12 | 驱动电压 | Max. 150 V |
| 13 | 推荐使用温度 | 15~40°℃ |
| 15 | 线缆 | D-Sub 3W3 |
| 16 | 控制器规格 | MC-Archimedes.N系列 |
高速单轴扫描运动一SD15/30.X.C
标准单轴扫描运动模块，高刚性模组
| 品参数 SD15.X.C | |||
| 1 可选版本 | .NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； | ||
| 2 | 运动方向 | ×方向 | |
| 3 | 底面尺寸×高度 | 62×40×13.5mm | 80×40×13.5mm |
| 4 | 主体材料 | 不锈钢 | |
| 5 | 运动行程 (闭环) | 15 um | 30 um |
| 6 | 运动分辨率 (闭环) | 0.1nm | 0.2nm |
| 7 | 运动可重复精度 | 2nm | 4 nm |
| 8 | 线性度 | 0.03% | |
| 9 | 俯仰/偏摆 | 2 urad | |
| 10 | 共振频率 (空载) | 3.3kHz | 2.2 kHz |
| 11 | 共振频率 (300g) | 1 kHz | 0.625kHz |
| 12 | 刚性 | 28 N/um | 18 N/um |
| 13 | 传感器类型 | 电容式 | |
| 14 | 推荐使用温度 | 15~40℃ | |
| 15 | 质量 | 250g | 350g |
| 16 | 线缆 | D-Sub 3W3 | |
| 17 | 控制器规格 MC-Archimedes.N系列 | ||
三轴扫描运动一 SH30.XYZ.C
1 0 ~ \mathsf {kg } 超高负载，3自由度-XYZ线性移动
产品特色 ·压电陶瓷堆叠驱动 ·无摩擦柔顺结构导向·内置电容传感器，闭环控制·高负载能力 ·亚纳米级位置分辨率·直接位置检测
D 产品图片&尺寸
产品参数
SH30.XYZ.C
| 1 | 可选版本 | .NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； |
| 2 | 运动方向 | X,Y，Z方向 |
| 3 | 底面尺寸×高度 | 160×160×35mm |
| 4 | 主体材料 | 不锈钢 |
| 5 | 运动行程 (闭环) | 30×30×15μm |
| 6 | 运动分辨率 (开环) | 0.1 nm |
| 7 | 运动分辨率 (闭环) | 0.3nm |
| 8 | 偏摆角度 | 20/20/50 urad |
| 9 | 共振频率 （空载） | 500 Hz |
| 10 | 最大负载 | 10kg |
| 11 | 传感器类型 | 电容式 |
| 12 | 驱动电压 | Max. 150 V |
| 13 | 推荐使用温度 | 15~40°℃ |
| 14 | 质量 | 2kg |
| 15 | 线缆 | D-Sub 3W3 |
| 16 | 控制器规格 | MC-Archimedes.N系列 |
Part 3.2.1Carrier.S系列(通孔型·标准设计)负载，工作频率和精度的完美平衡之选
| 行程－200 um | 行程－300 μm |
| Carrier.S200.Z.C 200μm | |
| Carrier.S200.XY.C | |
| 200 × 200 um | |
| Carrier.S200.XYZ.C | Carrier.S300.XYZ.C |
| 200× 200× 200 um | 300 ×300×300 μm |
| Carrier.S200.XYRz.C 200×200μm，±2mrad | |
| Carrier.S200.ZTxTy.C | |
| 200 μm，±2 mrad，±2 mrad | |
| Carrier.S200.XYZTxTyRz.C | |
| 200 × 200× 200 μm, ±2 mrad，±2 mrad，±2 mrad |
(通孔型)单轴Z方向运动一 Carrier.S100/200.Z.C
高负载Z方向运动，大通孔设计
·压电陶瓷堆叠驱动·无摩擦柔顺结构导向·内置电容传感器，闭环控制·直接位置检测 ·亚纳米级位置分辨率·大通孔尺寸·重负载能力
| 1 | 可选版本 | .NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； | |
| 2 | 运动方向 | Z方向 | |
| 3 | 底面尺寸×高度 | 150×150×30mm | |
| 4 | 主体材料 | 铝合金&不锈钢 | |
| 5 | 运动行程 | 100 um | 200 um |
| 6 | 中空透孔 | 80×80mm | |
| 7 | 线性度 | 0.03% | |
| 8 | 俯仰/偏摆 | 50 urad | ±50 urad |
| 9 | 旋转 | 10 urad | ±10 urad |
| 10 | 运动分辨率 (闭环/开环) | 1 nm /0.3nm | |
| 11 | 运动可重复精度 | 10 nm | 10 nm |
| 12 | 刚性 | 2.5 N/um | 1.7 N/um |
| 13 | 共振频率 (空载/2.5kg) | 500/200 Hz | 350/120 Hz |
| 14 | 最大负载 | 5kg | |
| 15 | 传感器类型 | 电容式 | |
| 16 | 驱动电压 | Max. 150 V | |
| 17 | 推荐使用温度 | 15~40℃ | |
| 18 | 控制器规格 | MC-Archimedes.N系列 | |
(通孔型)双轴XY运动- Carrier.S100/200.XY.C
高负载·高速XY平面运动，大通孔设计，并联设计
→ 产品特色 ·压电陶瓷堆叠驱动 ·无摩擦柔顺结构导向·内置电容传感器，闭环控制·并联检测驱动 ·亚纳米级位置分辨率·重负载能力
产品图片&尺寸
| 品参数 Carrier.S100.XY.C | Carrier.S200.XY.C | ||
| 1 | 可选版本 | .NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； | |
| 2 | 运动方向 | XY方向 | |
| 3 | 底面尺寸×高度 | 150×150×30mm | |
| 4 | 主体材料 | 铝合金&不锈钢 | |
| 5 | 运动行程 (XY) | 100 × 100 um | 200 × 200 um |
| 6 | 中空透孔 | 66 ×66mm | |
| 7 | 线性度 | 0.03% | |
| 8 | 运动分辨率 (闭环/开环) | 1 nm /0.2nm | 2 nm / 0.4 nm |
| 9 | 运动可重复精度 | 10 nm | 10 nm |
| 10 | 刚性 | 2 N/um | 1 N/um |
| 11 | 共振频率 (空载/2.5kg) | 420/130 Hz | 340 /100 Hz |
| 12 | 最大负载 | 5kg | |
| 13 | 传感器类型 | 电容式 | |
| 14 | 驱动电压 | Max.150 V | |
| 15 | 推荐使用温度 | 15~40℃ | |
| 16 | 控制器规格 | MC-Archimedes.N系列 | |
（通孔型)三轴 XYZ 运动一 Carrier.S100/200/300.XYZ.C高负载XYZ运动，大通孔设计，并联结构
产品特色
·压电陶瓷堆叠驱动·无摩擦柔顺结构导向·内置电容传感器，闭环控制·直接位置检测 ·亚纳米级位置分辨率·大通孔尺寸·重负载能力
产品图片&尺寸
| 1 | 可选版本 | .NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； | ||
| 2 | 运动方向 | XYZ方向 | ||
| 3 | 底面尺寸×高度 | 150×150×30mm | ||
| 4 | 主体材料 | 铝合金&不锈钢 | ||
| 5 | 运动行程 (XYZ) | 100 × 100 × 100 um | 200× 200× 200 um | 300× 300×300 um |
| 6 | 中空透孔 | 66×66mm | ||
| 7 | 运动分辨率 (闭环/开环) | 1 nm /0.3nm | 1.5 nm /0.4 nm | 2 nm/0.5nm |
| 8 | 运动重复精度 | 10nm | 10nm | 10 nm |
| 9 | 线性度 (XYZ) | 0.03% | ||
| 10 | Z向运动-XY偏移 | ±30 nm | ±50 nm | |
| 11 | 共振频率 (XYZ，空载) | 180/180/390 Hz | 155/155/320 Hz | 135/135/250 Hz |
| 12 | 共振频率 (XYZ，350g) | 150/150/250 Hz | 120/120/200 Hz | 90/90/140 Hz |
| 13 | 最大负载 | 5kg | 3kg | |
| 14 | 传感器类型 | 电容式 | ||
| 15 | 驱动电压 | Max.150V | ||
| 16 | 推荐使用温度 | 15~40℃ | ||
| 17 | 控制器规格 | MC-Archimedes.N系列 | ||
(通孔)三轴ZTxTy运动- Carrier.S100/200.ZTxT
高负载Z方向扫描运动，两轴摇摆调节
·压电陶瓷堆叠驱动 ·无摩擦柔顺结构导向·内置电容传感器，闭环控制·直接位置检测 ·亚纳米级位置分辨率·大通孔尺寸·重负载能力 ·并联结构设计
产品图片&尺寸
| 产品参数 | Carrier.S100.ZTxTy.C Carrier.S200.ZTxTy.C | ||
| 1 | 可选版本 | .NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； | |
| 2 | 运动方向 | Z，θx，θy | |
| 3 | 底面尺寸×高度 | 150×150×30mm | |
| 4 | 主体材料 | 铝合金&不锈钢 | |
| 5 | 运动行程（Z，0x，θy） | 100 um，±1mrad，±1mrad | 200 μm，±2 mrad，±2 mrad |
| 6 | 中空透孔 | 80×80mm | |
| 7 | Z线性度 | 0.03% | |
| 8 | 0线性度 | 0.15% | |
| 9 | Z运动分辨率 (闭环/开环) | 1 nm /0.5nm | 1.5 nm /0.7 nm |
| 10 | θ运动分辨率 (闭环/开环) | 0.05 urad /0.04 urad | 0.1 urad /0.06 urad |
| 11 | 运动可重复精度 (Z/θ) | 10 nm/±0.05 urad | 10 nm /±0.1 urad |
| 12 | 刚性 | 2 N/um | 1.5 N/um |
| 13 | Z共振频率 (空载/2.5kg) | 480/180 Hz | 350/125 Hz |
| 14 | 0共振频率 (空载/2.5kg) | 500/190 Hz | 370 /110 Hz |
| 15 | 最大负载 | 5kg | |
| 16 | 传感器类型 | 电容式 | |
| 17 | 驱动电压 | Max.150 V | |
| 18 | 控制器规格 | MC-Archimedes.N系列 | |
（通孔型）三轴 XYRz 运动 一 Carrier.S100.XYRz.C
高负载高速XY平面运动，绕Z轴旋转设计
·压电陶瓷堆叠驱动 ·无摩擦柔顺结构导向·内置电容传感器，闭环控制·直接位置检测 ·亚纳米级位置分辨率·重负载能力
产品图片&尺寸
| 1 | 可选版本 | .NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； | |
| 2 | 运动方向 | X,Y&θz | |
| 3 | 底面尺寸×高度 | 150 ×150×30mm | |
| 4 | 主体材料 | 铝合金&不锈钢 | |
| 5 | 运动行程 (X，Y，θz) | 100um，100 um，±1mard | 200um，200um，±2mard |
| 6 | 中空透孔 | 66× 66mm | |
| 7 | 线性度 (z方向运动) | 0.03% | |
| 8 | 运动分辨率 (闭环/开环) | 1 nm /0.3nm | 2 nm /0.5 nm |
| 9 | 运动可重复精度 | 10 nm | 10 nm |
| 10 | 刚性 | 2 N/um | 1 N/um |
| 11 | 共振频率 (空载/2.5kg) | 420/130 Hz | 340/100 Hz |
| 12 | 最大负载 | 5kg | |
| 13 | 传感器类型 | 电容式 | |
| 14 | 驱动电压 | Max.150V | |
| 15 | 推荐使用温度 | 15~40℃ | |
| 16 | 控制器规格 | MC-Archimedes.N系列 | |
(通孔型)XY扫描运动-Carrier.SL200.XY/XYZ.C
长行程扫描运动，大孔径通光结构，超薄设计
·压电陶瓷堆叠驱动·无摩擦柔顺结构导向·内置电容传感器，闭环控制·直接位置检测 ·亚纳米级位置分辨率·超薄结构，便于插入光学系统·针对超高分辨率光学显微镜应用 ·适配长行程显微镜载物台
| 产品参数 Carrier.SL200.XY.C Carrier.SL200.XYZ.C | |||
| 1 可选版本 | .NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； | ||
| 2 | 运动方向 | XY方向 | |
| 3 | 底面尺寸×高度 | 182×150×19.5mm 190 ×150×19.5mm | |
| 4 | 主体材料 | 铝合金&不锈钢 | |
| 5 | 运动行程 | 200 × 200um | 200×200× 200 um |
| 6 | 中空透孔 | 77 × 65mm | 77 × 65mm |
| 7 | 运动分辨率 | 2 nm | |
| 8 | 运动可重复精度 | 10nm | |
| 9 | 线性度 | 0.03% | |
| 10 | 最大负载 | 500g | |
| 11 | 传感器类型 | 电容式 | |
| 12 | 驱动电压 | Max.150 V 15~40℃ | |
| 13 | 推荐使用温度 | 安装孔位兼容Carrier.L7550.XY | |
| 14 | 其他 | MC-Archimedes.N系列 | |
| 15 | 控制器规格 | ||
Part 3.2.3Carrier.OB系列 (通孔型·物镜专用)
物镜位置调整，行程覆盖从100um到400um，支持大负载高频率工作
| 行程 | 型号 |
| 100 μm | Carrier.OB100.C |
| 200 um | Carrier.OB200.C |
| 400 μm | Carrier.OB400.C |
| 100 um (重载) | Carrier.OBHL100.C |
| 200 × 200 μm | Carrier.OB200.XY.C |
| 250 Hz | 1nm |
| 220 Hz | 3nm |
| 165 Hz | 5nm |
| 560 Hz | 1nm |
| 300 Hz | 2 nm |
物镜Z运动控制一Carrier.OB.C系列
针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案
| 产品参数 | Carrier.OB100.C | Carrier.OB200.C | Carrier.OB400.C | |
| 1 | 可选版本 | .NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； | ||
| 2 | 运动方向 | Z轴 | ||
| 3 | 行程 | 100 um | 200 um | 400 um |
| 4 | 俯仰，摇摆 | ±10 urad | ±20 μrad | ±30 urad |
| 5 | 线性度 | 0.03% | ||
| 6 | 运动分辨率 (开环) | 0.2 nm | 0.4 nm | 0.8 nm |
| 7 | 运动分辨率 (闭环) | 1nm | 3nm | 5nm |
| 8 | 可重复性 | 10 nm | ||
| 9 | 传感器类型 | 电容式传感 | ||
| 10 | 稳定时间（90%位置到达） | 15ms | 19 ms | 24 ms |
| 11 | 刚性 | 0.5 N/um | 0.35 N/um | 0.25 N/um |
| 12 | 共振频率 (无负载) | 600 Hz | 480 Hz | 380 Hz |
| 13 | 共振频率 (150g负载) | 250 Hz | 220 Hz | 165 Hz |
| 14 | 整体重量 | 270g | 350g | |
| 15 | 主体材料 | 不锈钢，铝合金 | ||
| 16 | 推荐使用温度 | 15~40℃ | ||
| 17 | 控制器规格 | MC-Archimedes.N系列 | ||
物镜Z运动控制一Carrier.OBHL100.C
高速扫描运动，电容闭环传感，超高运动分辨率
产品特色
·压电陶瓷堆叠驱动 ·无摩擦柔顺结构导向·内置电容传感器，闭环控制·毫秒级响应速度 ·亚纳米级位置分辨率·大负载能力，支持多种规格镜头·可升级自动对焦功能·可定制更大通光孔径
产品图片&尺寸
产品参数
| 1 | 可选版本 | .NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； |
| 2 | 运动方向 | Z轴 |
| 3 | 行程 | 100 um |
| 4 | 线性度 | 0.03% |
| 5 | 可重复性 | 3nm |
| 6 | 内置传感器 | 电容式传感 |
| 7 | 运动分辨率 (开环) | 0.3 nm |
| 8 | 运动分辨率 (闭环) | 1nm |
| 9 | 稳定时间（90%位置到达) | 5ms |
| 10 | 刚性 | 3 N/um |
| 11 | 共振频率 (无负载) | 1KHz |
| 12 | 共振频率 (150g负载) | 560 Hz |
| 13 | 整体重量 | 500g |
| 14 | 主体材料 | 不锈钢，铝合金 |
| 15 | 工作环境 | 15~40°℃ |
| 16 | 控制器规格 | MC-Archimedes.N系列 |
物镜XY运动控制一 Carrier.OB200.XY.C
高速扫描运动，电容闭环传感，超高运动分辨率
→产品特色 ·压电陶瓷堆叠驱动 ·无摩擦柔顺结构导向·内置电容传感器，闭环控制·直接位置检测 ·亚纳米级位置分辨率
→ 产品图片&尺寸
产品参数
Carrier.OB200.XY.C
| 1 | 可选版本 | .NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； |
| 2 | 运动方向 | XY |
| 3 | 底面尺寸×高度 | 70×70×25mm |
| 4 | 主体材料 | 铝合金&不锈钢 |
| 5 | 运动行程 | 200 × 200 um |
| 6 | 中通孔径 | 20mm |
| 7 | 闭环分辨率 | 2 nm |
| 8 | 运动可重复精度 | 10 nm |
| 9 | 线性度 | 0.03% |
| 10 | 空载共振频率 | 350 Hz |
| 11 | 最大负载 | 500g |
| 12 | 传感器类型 | 电容式 |
| 13 | 驱动电压 | Max.150 V |
| 14 | 推荐使用温度 | 15~40℃ |
| 15 | 质量 | 280g |
| 16 | 控制器规格 | MC-Archimedes.N系列 |
高分辨率显微系统的综合运动解决方案
样品定位扫描，物镜对焦，光束扫描
特色 ·全压电运动系统 ·大范围样品运动 ^ + 微尺度精密扫描 ·低温漂系统·全闭环解决方案 ·亚纳米级位置分辨率 ·可升级自动对焦
产品图片&尺寸
| 1 | 系统组合 (从上至下) | Carrier.OB400.C Carrier.SL200.XYZ.C Carrier.L1010s.XY |
| 2 | 运动方向 | XYZ |
| 3 | 宏动行程 | 100 × 100 mm (XY,Carrier.L1010s.XY) |
| 4 | 精密扫描行程 | 200 × 200× 200 um (XYZ,Carrier.SL200.XYZ.C) |
| 5 | 物镜调节范围 | 400 um (Z,Carrier.OB400.C) |
| 6 | 宏动系统最小步进 (闭环) | 10 nm (XY, Carrier.L1010s.XY) |
| 7 | 精密扫描分辨率 (闭环) | 2 nm (XYZ, Carrier.SL200.XYZ.C) |
压电运动控制器一MC-Archimedes.N系列
多自由度配置组合，低噪声，高伺服带宽
→ 产品特色
·在线参数调节 ·高性能运动控制算法·数字指令、模拟信号控制·高阶数字线性化 ·多种输入，输出接口·多通道灵活配置·用于压电扫描台的全数字式伺服运动控制器
产品图片&尺寸
产品参数
| 1 | 控制模式 | 开环控制&闭环控制 |
| 2 | 尺寸大小(L×W×H，Weight) | 230 ×120×(30×(N+1)） mm |
| 3 | 规格简介 | FPGA |
| 5 | 控制通道 | N通道 (N≤8) |
| 6 | 传感探测类型 | .S应变片；.C电容位置传感器 |
| 7 | 传感器采样速率 | 20kHz/50kHz (选配高级版) |
| 8 | 通讯接口 | USB，EtherNET |
| 9 | 位移台接口 | D-SUB 3W3接口 |
| 10 | 控制器供电 | 24V DC |
| 11 | 输出功率 | 24W |
| 12 | 连接器 (电源输入) | IEC inlet |
| 13 | 输出电压范围 | -20~150V |
| 14 | 模拟输入 | 0~10V (单端) |
| 15 | Trigger | SMA接口，支持TTL (3.3V) |
| 16 | 二次开发 | 上位机程序，控制指令集，SDK |
压电运动控制器一MC-Archimedes.N系列高伺服带宽数字式控制系统，多种控制模式
Part 4.1Mirrors 系列 (高速摆镜系列)
高动态镜片运动控制，闭环操作支持多自由度运动，支持完全无磁，高真空兼容版本也提供大行程镜片运动控制
压电移相器一Mirrors.Z12
高动态位置姿态定位，光路调节，毫秒级运动响应，高分辨率相位调节解决方案
·压电陶瓷堆叠驱动 ·无摩擦柔顺结构导向·内置SGS传感器，闭环控制·纳米级位置分辨率 ·毫秒级响应速度
产品图片&尺寸
产品参数
| 1 | 可选版本 | .NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； |
| 2 | 运动方向 | Z方向 |
| 3 | 底面尺寸×高度 | Φ25×31mm |
| 4 | 主体材料 | 不锈钢 |
| 5 | 运动行程 (开环) | 15um |
| 6 | 运动行程 (闭环) | 12 um |
| 7 | 运动分辨率 (闭环) | 0.2 nm |
| 8 | 线性度 | 0.1% |
| 9 | 刚度 | 40 N/um |
| 10 | 共振频率 (空载) | 4 kHz |
| 11 | 最大负载 | 200g |
| 12 | 传感器类型 | SGS |
| 13 | 驱动电压 | Max.150V |
| 14 | 推荐使用温度 | 15~40℃ |
| 15 | 线缆 | D-Sub 3W3 |
| 16 | 重量 | 40g |
| 17 | 控制器规格 | MC-Archimedes.N系列 |
镜片偏摆台一Mirrors.T { \bar { x } } Ty0303/1010
大角度&高动态偏转，用于镜片转动和光路调节等应用场景
| 产品参数 | Mirrors.TxTy.0303 Mirrors.TxTy.1010 |
| 1 可选版本 .NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； | |
| 2 运动方向 Tx，Ty | |
| 3 底面尺寸×高度 Φ25×45mm Φ25×75mm | |
| 4 主体材料 不锈钢 | |
| 5 运动行程 (0X0Y闭环) ±1.5mrad，±1.5mrad ±5mrad，±5mrad | |
| 6 运动分辨率 (开环) 0.05urad (开环) 0.2 urad (开环) | |
| 7 运动分辨率 (闭环) 0.1 urad (闭环) 0.5 urad (闭环) | |
| 8 线性度 0.1% | |
| 9 共振频率 (θX，θY空载) 2 kHz 1 KHz | |
| 10 摇摆半径 6.5mm 6.5mm | |
| 11 传感器类型 SGS | |
| 12 驱动电压 Max.150 V | |
| 13 推荐使用温度 15~40℃ | |
| 14 线缆 D-Sub 3W3 15 控制器规格 MC-Archimedes.N系列 |
镜片偏摆台—Mirrors.Z12TxTy0101
3自由度调节，通孔型摇摆台，毫秒级运动响应
产品特色 ·压电陶瓷堆叠驱动 ·无摩擦柔顺结构导向·内置SGS传感器，闭环控制·中心通孔 ·亚纳米级位置分辨率·并联结构三自由度调节·毫秒级响应速度
产品图片&尺寸
产品参数
| 1 | 可选版本 | .NM，绝对无磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； |
| 2 | 运动方向 | Z，Tx&Ty方向 |
| 3 | 底面尺寸×高度 | 30×30mm |
| 4 | 主体材料 | 铝合金&不锈钢 |
| 5 | 运动行程 (Z/Tx/Ty闭环) | 12 μm /1mrad /1mrad |
| 6 | 运动分辨率 (开环Z/Tx/Ty) | 0.2 nm /0.05 urad /0.05 urad |
| 7 | 运动分辨率 (闭环Z/Tx/Ty) | 0.4 nm /O.1 urad/0.1 urad |
| 8 | 线性度 (Z/Tx/Ty) | 0.2% |
| 9 | 共振频率 (空载) | 5.5kHz |
| 10 | 刚性 | 10 N/um |
| 11 | 传感器类型 | SGS |
| 12 | 驱动电压 | Max.150V |
| 13 | 推荐使用温度 | -20~80℃ |
| 14 | 线缆 | D-Sub 3W3 |
| 15 | 控制器规格 | MC-Archimedes.N系列 |
压电电动螺钉一AutoScrew.LR
室温·压电运动方案一“AutoScrew系列“光学镜架调节
产品特色 ·低温漂设计 ·停止时自锁，无热量产生·螺纹兼容标准镜架螺纹·极佳的稳定性 ·高分辨率 ·领先的输出力
产品图片&尺寸
产品参数
| 1 | 可选版本 | .HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； |
| 2 | 底面尺寸×高度 | 35× 15×57.4 mm |
| 3 | 主体材料 | 不锈钢 |
| 4 | 线缆&接头 | 标准屏蔽线缆SMB接头，kapton漆包线，PEEK-2mm插针 |
| 5 | 运动行程 | 10mm |
| 6 | 最大速度 | 典型1.2mm/min |
| 7 | 最小步伐 | 典型值20nm，最大50nm |
| 8 | 驱动频率 | 2 kHz |
| 9 | 主动推力 | 20N (可达 50 N) |
| 10 | 保持力 | 100N |
| 11 | 最大侧向力 | 1N |
| 12 | 适配控制器 | MC-Newton.E4 |
| 13 | 最大驱动电压 | Max.100V |
| → 产品参数 | AutoScrew.LR.Set.01 | AutoScrew.LR.Set.02 |
| 1 | 适配镜片尺寸 1 inch | 2 inch |
| 2 | 角度范围 15° | 10° |
| 3 | 角度分辨率 2 urad | 1 urad |
压电电动螺钉 一 AutoScrew.Nano
| 室温 压电运动方案· AutoScrew系列"光学镜架调节 | |||
| 产品特色 | ·亚纳米级运动控制 | ·兼容多场光束稳定产品BeamStabilizer | |
| 产品图片&尺寸 | ·超高真空兼容 | ·动态调节 | |
| AutoScrew.Nano.Set | AutoScrew.Nano 压电螺钉 | ||
| 压电螺钉镜架组件 | |||
| 产品参数 | AutoScrew.Nano | ||
| 1 | 可选版本 | .HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本； | |
| 2 | 主体材料 | 不锈钢/铝合金 | |
| 3 | 线缆&接头 | 标准同轴线缆SSMB；真空版kapton同轴线缆，SSMB | |
| 4 | 运动行程 | 18 um | |
| 5 | 开环分辨率 | 1nm | |
| 6 | 驱动电压 | 0-120V | |
| 7 | 电容 | 550nF | |
| 8 | 最大推力 | 300N | |
| 适配控制器 | MC-Archimedes.4 | ||
| 9.5g | |||
| 9 | |||
| 10 | |||
| 重量 | |||
| → | 产品参数 | AutoScrew.Nano.Set.01 | AutoScrew.Nano.Set.02 |
| 1 | 适配镜片尺寸 | 1 inch | 2 inch |
| 2 | 角度范围 | 0.5mrad | 0.3mrad |
| 3 | 角度分辨率 | 0.02 urad | 0.01 urad |
四通道控制器一MC-Newton.E4室温·压电运动方案一“AutoScrew.LR系列“四通道控制器
产品特色
·集成手动控制按钮 ·可级联供电
产品图片&尺寸
MC-Newton.E4
| 1 | 控制模式 | 开环控制 |
| 2 | 控制通道 | 四通道 |
| 3 | 放大器单元 | 1单元，分时切换 |
| 4 | 通讯接口 | USB |
| 5 | 电机接口 | SMB×4 |
| 6 | 驱动电压 | 120V |
| 7 | 驱动频率 | 2000 Hz |
| 8 | 手动控制模式 | 面板按键 |
| 9 | 电源电压 | 12 VDC |
| 10 | 控制方式 | 字符串指令集 |
| 11 | 适配压电电机类型 | AutoScrew.LR系列 |
四通道控制器一 MC-Archimedes.4
室温·压电运动方案一“AutoScrew.Nano系列“四通道控制器
MC-Achimedes.4
| 1 | 控制模式 | 开环控制 |
| 2 | 控制通道 | 四通道 |
| 3 | 通讯接口 | USB |
| 4 | 电机接口 | SMB×4 |
| 5 | 输入电压范围 | 0~10V |
| 6 | 输出电压范围 | 0~150V |
| 7 | 最大输出功率 | 30W |
| 8 | 电源电压 | 24VDC |
| 9 | 控制方式 | 字符串指令集 |
| 10 | 适配压电电机类型 | AutoScrew.Nano系列、标准低压压电堆叠 |
ColdTABLE
极低振动&低温光学测试平台无液氦
3-12
页码
| 白求 3.系统性能 | 13-18 | ||
| 3.1 | 低温性能 降温时间、系统最低温及温度稳定性 | 13 | |
| 3.1.1 | 降温时间&温度稳定性 室温降至最低温仅需180分钟 | 13 | |
| 3.1.2 | 低温温度控制器-"Kelvinion" 最大100W功率输出和最低300mK温度控制 | 15 | |
| 3.2 | 振动测试：结果&方法 水平、竖直方向的振动实测数据 | 17 | |
| 4.选件 | 19-31 | ||
| 4.1 | 低温物镜-"Huygens-X"系列 多种可长时间在4K环境工作的低温物镜 | 19 | |
| 4.1.1 | 技术指标 N.A.~0.90,N.A.~0.60,N.A.~0.36 | 19 | |
| 4.1.2 | 数据结果 焦移&Strehl比率 | 21 | |
| 目录 | 页码 | |
| 5.定制化方案 | 31-32 | |
| 5.1 定制化的热辐射屏及真空腔体 | 31 | |
| 6.技术说明 | 33-34 | |
| 6.1 如何在ColdTABLE中使用室温物镜 | 33 | |
| 7.案例分享 | 35-38 | |
| 7.1 光学透射实验 | 35 | |
| 7.2 光波导激发实验 | 37 | |
ColdTABLE，概述1一系统构成
基础配置包含了ColdTABLE正常运行所需的必要配件，支持一键启动，无需额外购置。
→ColdTABLE系统部件
\blacktriangledown 关键指标 (详细信息请参阅41页)
1．振动情况
- < 5 \mathsf { n m } \mathsf { P - P } 振动水平 (3个方向) {0} 系统最低温\*一 气浮平台可隔离压缩机及环境中的振动噪音
2．降温性能
- < 2 . 8 ~ \mathsf { K } 系统最低温
- 180分钟，系统300K降至4K
-温度范围： 2 . 8 \mathsf { K } - 3 2 0 \mathsf { K }
一无需液氨消耗
3.低温物镜&压电运动模组 (选件)
一低温物镜：N.A.0.90,0.60&0.36，详见4.1
一完整的压电运动解决方案，详见4.2
4．尺寸信息&光学接口
-100mm4K冷盘区域一侧面8个光学窗口 ^ + 顶部1个光学窗口
\* ColdTABLE.Quiet
ColdTABLE，概述1一系统构成
基础配置包含了ColdTABLE正常运行所需的必要配件，支持一键启动，无需额外购置。
ColdTABLE
对于一般的低温和低振动应用场景，ColdTABLE采用大功率GM制冷机，在确保系统的低振动前提下，为用户提供更为出色的低温性能和制冷效率。
1．振动水平
< 2 4 \mathsf { n m } \mathsf { P { - } P } 振动水平（3个方向） {0} 系统最低温一气浮平台可隔离压缩机及环境中的振动噪音
2．制冷性能
< 2 . 8 1 系统最低温一制冷功率 2 2 0 { \ m W } @ 4 . 2 \mathsf { K } 一3小时降温时间，从 3 0 0 \mathsf { K } 到4K-温度范围 2 . 8 \mathsf { K } - 3 2 0 \mathsf { K } － 水冷压缩机
• ColdTABLE.Quiet对于振动环境要求极为严苛的应用场景，我们为用户提供了新的选择——ColdTABLE.Quiet。
1．振动水平
- < 5 \mathsf { n m } \mathsf { P - P } 振动水平 (3个方向) {0} 系统最低温一压缩空气气浮隔振系统
2．制冷性能
- < 3 . 8 ~ \mathsf { K } 系统最低温
一制冷功率 4 0 { \ m w } \ @ \ 4 . 2 { \ K }
-270分钟降温时间，从 3 0 0 \mathsf { K } 到 4 \mathsf { K }
-温度范围 3 . 8 \mathsf { K } - 3 2 0 \mathsf { K }
－风冷压缩机
ColdTABLE，样品腔 2.1一简介
样品腔作为低温光学实验开展的地方，用户的产品体验直接依赖于使用该设备时与样品腔的交互。
样品腔：探索新现象&新科学的地方。
\blacktriangleleft 标准光学接口布局
■真空腔 (上半部分)
8个光学窗口均匀分布在样品腔侧面；
1个顶部光学窗口；
光学窗口外侧支持 3 0 ~ \mathsf {mm } 光学笼式结构&支持SM1螺纹/SM1.5螺纹。
→50K防辐射屏蔽罩
镜面抛光的纯铝材质，极高的反射系数及极轻的质量。
■真空腔(下半部分)
光纤气密接口；
其他功能气密接口。
