3.3.5.消光比测试仪

性能

· 1 2 6 0 ~ 1 6 3 0 { n m } 全带
·消光比，光功率，偏振角同时显示
·50dBPER测量动态范围
·宽范围功率输出 ( - 4 0 ~ + 1 0 0 8 m / - 2 5 ~ + 2 0 0 8 m )
·光电管模拟信号直接输出
·实时（10Hz）测量
·可更换接头：FC，SC，LC

应用

·光器件偏振轴对准 ·跳线接头评估 ·PMF尾纤LD评估 ·保偏光纤熔接

3.3.6.插损回损测试仪

ILM-100插损测试仪

RLM-100回损测试仪

3.3.7.快速扫描测量系统

快速扫描测量系统整合了TSL可调谐激光器、MPM光功率计、PCU偏振控制器及根据用户需求自定义的软件，为R&D及生产环境的IL、WDL、PDL测试提供快速、多功能、全自动的平台。系统同时采集可调谐光源的输出功率及DUT透过的光功率作实时参比，获取高精度的IL、WDL以及PDL（采用Muller矩阵方法）。

性能优势

·实时功率参考：高精度的WDL/PDL测试-功率可重复性 < ± 0 . 0 2 { { d B } } -PDL可重复性 < ± 0 . 0 \dot { } 1dB
·缩放运算：高波长精度/节省测量时间
·支持多通道测量
·支持图形介面软件及编程接口 (DLL)

主要应用

·器件和模块光学特性测试：

-可调谐滤波器，插入器，FBG，
耦合器，分光器，隔离器，开..-WSS及波长阻断器
-DWDM器件
·硅光子材料表征，包括微腔环形谐振器·光谱
·干涉测量

配置

Wavelength Dependent Loss Measurement (MPM-21O) PDL测试

Wavelength Dependent Loss Measurement (with any power meter)WDL测试

多站测试

多站测试中，TSL、PCU与MCU构成一个服务中心，分发触发信号及光束到不同的测试站。每个测试站包括功率计和客户端PC。在运行过程中，TSL持续的扫频，使得每个测试站可以独立而并行地工作。多站测试架构极大提升了高精度测量与分析的效率。

测试示例

·80dB动态范围WDL测量

·波长准确度达到±3pm（标准气体吸收

3.3.8.多通道光电探头阵列

·波长分辨率达到0.1pm (超高Q微腔测量)

1 中中动动动面：二厦

MPA-100为一台高度集成、机架安装的带尾纤光电二极管阵列。为光功率测试提供1/10传统光功率计的成本和体积。

主要应用

·数据通讯测试，宽带/CATV网络，电信网络；·数据中心设备监控；
·主动光纤光缆连接监控

80通道产品MPA-100-10-8-IR-SM-01的响应一致性

4.光通讯器件

Santec公司具备通讯及传感领域的多方面核心技术：可调谐ECDL、可调谐VCSEL、LCOS、MEMS、OCT、镀膜、光学设计、结构与机械分析、固件与线路板设计、系统及软件设计。基于全面的微电子、微机械、电子学、光学、镀膜等技术，Santec提供器件和子模块级别的功率监控器、可变衰减器、光学滤波器、滤波芯片、光学子模块等，用于光通讯领域OEM。

1）功率监控器

·终端Tap光电管
·迷你Tap光电管
·集成多路Tap光电管
·单向Tap光电管
·集成、带PMF的Tap光电管
·带尾纤的Tap光电管
·迷你尾纤Tap光电管
·数字化输出多通道Tap光电管

2）可变衰减器

3）光学滤波器及多通道MUX/DeMUX滤波模组

·基于MEMS技术，电压驱动的可调衰减器
·迷你系列COVA-1
·MEMS系列MOVA-1
·低压驱动/高速系列MOVA-H
·PMF系列

·基于MEMS的可调谐滤波器MTF-1 ·2口在线滤波器OFM-15 ·3口Add/Drop 滤波模块 ·多通道MUX/DeMUX模块 ·3口Add/Drop CWDM模块 ·CWDMMUX/DeMUX模块 ·紧凑型CWDMMUX/DeMUX模块

4）光学子模组

5）滤波芯片

Santec提供芯片级PON滤光片、CWDM滤光片、增透芯片、订制滤光片等。

5.OCT与传感

扫频式OCT是当前OCT技术发展的主流方向之一。随着快速扫频光源在波长范围、功率、扫频速率、相干性等方面的不断丰富和发展，扫频OCT展现了强大的应用前景：

·组织和器官三维成像：眼科（角膜、虹膜、视网膜）、皮下成像、口腔与牙科、内窥OCT、脑外科.·软封装、透明材料、多层结构、混合物、半导体材料三维透视成像
·3D表面成像、深度/孔形貌探测
·FMCW雷达

.·..

扫频式OCT由快速扫频光源、物方光学系统、干涉模块、光电探测器及数据采集处理等部分组成。本节介绍多种光源满足不同方向OCT的需求，同时也介绍其他功能模块，及用于特定目的的工业/医疗OCT系统。
除OCT外，扫频光源也可用在其他传感中，如气体探测激光雷达等。

5.1.OCT快速扫频光源

基于Santec领先的VCSEL、ECDL、MEMS技术，提供1060nm、1310nm共四种类型的快速扫频光源，满足不同领域OCT设备的需要。

1）HSL-1：1060nm，灵活扫描频率/扫描范围

HSL-1基于点泵浦VCSEL，运行在1 0 6 0 \mathsf { n m } ，超长相干长度、低噪声、扫频速率可达400kHz。

特点

·高扫频速率
·单纵模，长相干长度，避免相干复现
·无模式竞争噪声
·软件可定义的四种扫描速度与范围
·集成K-触发

应用

HSL-1台式(左）OEM式（右)

·眼科OCT
·高含水样品OCT
·FMCWLIDAR
·光谱/干涉/光学遥感
·OFDR
·FBG审验

2）HSL-10:高扫描速率

HSL-10式一台集成式的MEMS快扫描激光器，提供 1 0 0 k H z 扫频速率和上佳的稳定性与可靠性。

·Santec自有的MEMS技术

特点

·快扫描范围，长相干长度
·集成K-trigger
·单向扫频
·支持OEM及订制
·应用
·视网膜成像

主要性能

·中心波长： \boldsymbol { { 1 0 6 0 } } { { n m } } ·最高输出功率： >=slant 4 0 \mathsf { m } \mathsf { W } ·扫频速率：100kHz·扫频范围： >=q 90nm·相干长度： >=slant 10mm

3）HSL-20：高速率/长距离成像

HSL-20为 1 3 1 0 \mathsf { n m } 波段的MEMS快扫频光源，具备长相干长度和宽扫频范围。

特点

·Santec自有的MEMS技术
·快扫描范围，长相干长度
·集成K-trigger
·单向扫频
·支持OEM及订制

应用

Scan Characteristics

·口腔及牙科成像
·眼科前庭成像
·心血管成像/内窥OCT
·激光焊接监控
·工业产品在线无损检测
·光谱与光学遥感

主要性能

·中心波长： 1 2 8 0 ~ 1 3 4 0 { n m }
·最高输出功率： >= 4 0 { m W }
·扫频速率：50kHz/ 1 0 0 k H z
·扫频范围： \risingdotseq 1 0 5 n m （204号
·占空比： >= 4 5 % （204号
·相干长度： >= 1 6 {mm } / >= 2 0 { m n } 门

4）HSL-2100:高精度

HSL-2100采用多边形扫描头扫描激光波长，提供独特的高可重复性线性扫描。高品质的OCT图像可不依赖于 k _ { - } 时钟取样，显著地降低了系统的复杂程度和造价。宽扫谱范围使得轴向分辨率极大提升。OEM版本的HSL-2100已经广泛地在FDA认证的医疗系统中得到验证。

特点

·扫描范围高达 \boldsymbol { 1 7 0 } { n m } ·扫描速度 3 k H z ~ 5 0 k H z ·高度线性扫描，高可重复性·与标准数据采集卡兼容

应用

·高分辨率成像 ·晶圆厚度测量/形貌测量 ·低成本成像系统

主要性能

·名义中心波长：1310nm
·最高输出功率： >=slant 2 0 { m W }
·扫频速率：20kHz
·扫频范围： \cong 1 7 0 { n m }
·占空比： >=slant 45 %
·相干长度： >= 6 \mathsf {mm } （204号

5.2.扫频OCT系统

IVS 系列组合式的扫频OCT系统提供完整功能，同时可以灵活地调整配置，可用于医学、工业等领域宽范围的应用。可选择根据应用调整各组件的配置，以优化成像速度，分辨率，成像范围及深度。系统提供图形界面的软件，可进行扫描控制、3D图形显示、切面显示等。可选API用于集成至其他设备或进行自动化图形处理。支持软件、硬件订制。

·非接触、非破环、非侵入三维成像
·1-D，2-D，3-D测量能力
·可选择光源及探测系统以优化成像条件
·可达400kHzA轴扫描速率
·GUI支持图形，强度，时间及原始数据输出
·3-D查看器以及图像分析软件（选件）
·支持 { \mathsf { C } } { + } { + } ，C#，Labview的SDK（选件）

1）IVS-1000-VCSEL：长成像距离/1060nm

Whole Eye

IVS-1000-VCSEL采用Santec可调谐VCSEL光源。1060nm工作波长特别适合高含水体系成像，因此被广泛用在眼科OCT中。VCSEL光源具有超长的相干长度，适用于多种需要大深度成像的应用。这套系统的采集速度可以通过软件设置，提供成像范围与分辨率之间的灵活优化调节。

2）IVS-2000-HR:高分辨率/1310nm

·高含水样品成像·中心波长： \approx 1 0 6 0 \mathsf { n m } （20·眼科OCT ·A轴扫描速率：10\~400kHz(可选择）·轴向分辨率：<16um (大气中)

应用： 主要性能：

Finger (Showing sweat duct)

IVS-2000-HR为高轴向分辨率成像应用设计。可选择探测端组件以优化扫描范围和横向分辨率，以为不同应用提供最佳的细节分辨。系统非常适合于皮肤科及医疗美容中的皮肤成像研究。

应用：

主要性能：

·高分辨率医美皮肤成像·高分辨率、高精度工业成像·活体肿瘤成像

·中心波长：310nm·A轴扫描速率：20kHz (可选择)·轴向分辨率： < 9 \mu \mathsf { m } (大气中）

3)IVS-2000-HS:高速度/1310nm

IVS-2000-HS采 用1310nm工作波长，为快速成像优化。结合1310nm激光低散射的特征，IVS-2000-HS为高散射材料提供高对比度、更大深度的成像。这套系统特别适合在线检测与监控。

应用：

主要性能：

·工业/在线监测·激光焊接匙孔监控·心血管成像/内窥成像

Multiple Lenses

·中心波长： 3 1 0 { n m } ·A轴扫描速率： 1 0 0 k H z (可选择)·轴向分辨率： < 1 8 \mu { m } (大气中)

4）IVS-2000-LC:长距离/1310nm

IVS-2000-LC采用1310nmMEMS驱动的长相干长度扫频激光器，扫频速率为50kHz。系统成像距离可达到18mm(空气中)。快速数据采集、扩展深度成像的能力使其非常适合工业成像应用，例如3-D表面的精密测量。

国

应用：

·眼球前庭成像 ·工业成像 ·3-D轮廓

主要性能：

·中心波长：310nm·A轴扫描速率：50kHz·轴向分辨率： < 1 8 \mu { m } (大气中）

5)IVS-2000-ST:标准型

Semiconductor Device

IVS-2000-ST提供通用成像应用各方面平衡的性能。特别适合实验室研究使用，及整合至产线使用。IVS-2000-ST为这类应用提供高精度，高稳定和低造价的解决方案。

应用： 主要性能：·OCT成像系统研发 ·中心波长：1310nm·工业OCT集成 ·A轴扫描速率：20kHz·轴向分辨率：<18um (大气中)

5.3.3-D形貌仪

特点

·高灵敏度：最小检测灵敏度100dB，动态范围>70dB·单光束：单光束测量方式避免形状与结构之间的干涉·高速度：最高可达400000点/秒测量速度
·长探测距离：可探测达1m的距离
·环境光免疫：相干测量，不受环境光（日光、照明、测量体系自发光）影响

气缸盖成像 (左）与激光焊接匙孔监控 (右)

OPS-1000系列扫频式相干成像的3-D形貌仪整合了快扫描可调谐激光技术、干涉计量技术，提供单光束、高灵敏度、非接触的光学方法形貌测量。OPS-1000可为各种类型形状、材质、颜色及表面形状的物体提供高速、高精度、无接触的形貌测量功能。

·材料表面3-D测试 ·缺陷3-D测试 ·全自动形貌绘制 ·实时过程监控

5.4.FMCWLiDAR

InnerVisionFMCWLiDAR采用高速扫频、单纵模1060nm光源HSL-1。借助光源单纵模、超长相干距离的特性，可实现长距离3-D形貌绘制。

特性

·相干外差式测量（FMCW方式）
·长距离、高灵敏度、低功率
·阳光/环境光/其他雷达光免疫
·双模式：LiDAR方式生成点云，或OCT方式生成密度分布

5.5.中红外扫频光源

Santec中红外扫频光源提供3200nm\~3400nm高速扫频功能，非常适合TDLAS气体检测传感。

中红外TDLAS实验装置

Measurement Resultsof Typical Hydrocarbons

应用

·3200-3400nm
·高分辨率 { < } 0 . 1 \mathsf { p m } ，窄线宽：转动光谱分辨
·同时测量多种气体
·高速扫描，动态测量（例如：燃烧）
·少机械结构，鲁棒的紧凑设计，激光头独立
·直接气体测量

应用

·石化厂过程控制·燃煤电厂烟气监控·半导体产线气体监控·天然气甲烷分析·下一代内燃机研发·中红外OCT

5.6.OCT部件

除OCT光源及系统外，Santec提供OCT所用探测器、数据采集、核心光路、采集及分析软件等部件，方便用户搭建OCT系统。

1）平衡探测器

平衡探测器输出一个与两路光信号之间的差值有关的信号，是扫频OCT的常规探测器，可避免激光器功率起伏导致的共模噪声。Santec BPD-200为OCT专门设计，具备很低的背反射和平坦的平衡响应，可减轻不期望的伪图像。BPD-200在检测两路位相相反的信号时灵敏度为3dB，可在大多数场合用在外差测量系统。

·宽动态范围 （DC-80/200/400MHz)
·平坦的平衡水平
·高可靠性，高增益，高线性
·为伪像抑制专门设计
·扫频OCT
·外差测量
·OFDR (光频域反射仪)
·波长范围：950nm\~1600nm
·频响：80MHz，200MHz或 400MHz
·最高输入功率：20mW（10mW/400MHz型号）

2）灵活性SS-OCT数据采集器

HAD-5200B-S提供高速 DAQ，与Santec高性能扫频光源兼容。专利的重定标技术写入FPGA，用于实时OCT图形处理。

·高速ADC (12bit，1GS/s)
·适合SS-OCT实时影像处理的订制FPGA
·实时采样，FFT，FIR滤波及色散补偿
·高可靠性，高线性，高增益
·2路模拟输出可用于X-Y扫描探针控制

应用

·扫频OCT
·外差测量
·OFDR（光频域反射仪）

性能

·输入：2通道单端
·取样率：1GS/s
·分辨率：12bit
·触发：外触发/模拟信号触发/软件触发
·模拟输出：±4V，16位，2通道
·系统总线：PCIE2.0，5.0GT/s x 8

3）OCT级干涉模组

IFM100及IMF200是Mach-Zehnder型干涉仪模组，通常为每个客户的OCT系统配置而订制，可将PS-OCT包括在内。IFM-100/200可包含诸如可见指引光、电控光学延迟线之类的功能。Santec也可为OEM用户订制解决方案，包括 Michelson及Fizeau干涉仪。

性能

·集成光学延迟线，可调衰减器及偏振控制选件·SMF和PMF版本·Mach-Zehnder结构（标准），可选Michelson或Fizeau

应用

·扫频OCT
·外差测量
·OFDR(光频域反射仪）

4）主控软件 InnerVision Software

IVS 软件随所有IVS SS-OCT系统提供。它包括1D，2D，3D及成像模式，可存储为各种图形格式也可存储原始数据。所有IVS 软件功能亦可通过Santec的SDK，利用 \cot + + / C#/Lab view编程实现。

·3D图形及切面图形测量和显示
·时间变化图像记录
·折射率转换
·图像及原始数据输出
·点到点测距
·峰值定位

5）OCT图形查看器

OCT3D Viewr为以3D模式查看OCT图像而专门设计。导入OCT数据即可生成清晰而出众的图像。支持旋转，修剪，对比度调节等多种操作和设定，以实现图像优化。图形可做成动画并保存，生成令人惊叹的报告，展现3D图形各方面特性在设置改变时的变化。

·缩放
·拖拽移动
·帧叠加
·修剪，旋转
·任意视角切面找平
·分割 (分离感兴趣的部分）
·对比度设置，透明度及透视渲染
·色彩柱状图显示
·输出位图或视频
·直接装载IVS软件数据

6）3DOCT分析软件

MultiSliceViewer提供OCT3D数据（IVS系列原始数据）的进一步分析功能。对所有 x - y - z 平面数据的同步分析可提供对图像数据的更好理解。这一强大的工具可协助从数据集中提取细节信息，以及对3D内容的定量分析。

·三平面2-D切片图实时展现
·任意随机点2-D切片图形
·任意2D数据点平均
·任意2D数据峰位定位
·折射率标度图形展示
·BMP，JPG，PNG输出
·任意两个数据点之间测距
·三平面同时展示

5.7.临床眼科诊断仪

ARGOS 是一台经过FDA认证的眼科诊断仪，由Santec旗下的MoVU 公司提供。ARGOS 整合基于SS-OCT的生物计量（Biometry)与采用红外成像的角膜曲度计（Video Karatometry），在1秒钟内得出全面的眼科生物计量结果，即使最厚的白内障病患情况下也能够清晰诊疗。

h

·FDA approved
·1μm SS-OCT ^ + Video Keratometry
·仅需一秒获得全面眼科生物计量信息：
- Axiel length 眼轴 -Corneal diameter角膜直径
- Coneal thickness 角膜厚度 - K-value (Flat)
-Antieriorchamberdepth前房深度 - K-value (Steep)
- Lens thickness透镜厚度 - Toric angle 隆突角
- Pupil size 瞳孔尺寸

诊断过程

5.8.硅晶圆检测仪

SIT-200硅晶圆检测仪是Alnair Labs公司采用高速扫频激光器，利用干涉计量的方法设计制造的用于硅晶圆厚度检测的干涉仪。与常规测厚采用宽带光源不同，可调谐激光器具备很高的功率谱密度，从而提高了测量的动态范围，因此，SIT-200支持非抛光的晶圆测量，例如在湿刻过程中以及湿刻之后的晶圆。

测量原理

精密扫频激光光源以高速度调谐激光波长。样品前、后表面反射的激光的干涉信号经过PD探测后，根据波长-干涉信号强度的关系即可得到晶圆厚度。

设备与元器件

1.太赫兹设备与器件---169
1.1.太赫兹光谱仪---170
1.2.太赫兹源与成像设备---173
1.3.太赫兹探测器与元器件---178

2.激光元器件---181

2.1.CVl激光元件---181
2.2.Altechna光学元器件---189
2.3.激光晶体---193
2.4.高性能激光加工元器件---195
2.5.Semrock滤光片---198
2.6.Andover滤光片---205
2.7.VUV/UV光学元器件---208
2.8.杂散光吸收膜与镀层---209
2.9.衍射光学元件---211
2.10.液晶空间光调制器---214

3.仪器设备---219

3.1.飞秒激光微加工---219
3.2超快激光瞬态光谱测试系统---223

1.太赫兹设备与器件

太赫兹（THz）是指介于远红外与常规无线电波之间的电磁辐射，大约在 1 0 ^ { 1 1 } ~ 1 0 ^ { 1 3 } \mathsf { H z } (100GHz\~10THz，波长 3 0 \mu { m } ~ 3 0 0 0 \mu { m } ，波数 3 ~ 3 0 0 \mathsf {cm } ^ { - 1 } ; 范围内。 T H z 辐射具备独特的特征：

·兼具光学波段与射频波段电磁波的特征；
·所设及技术、源、器件部分与射频电子学相关，部分与光学类似；
·宇宙辐射的重要组成部分；
·THz谱段内有大量物质特别是大分子物质的特征吸收谱线；
·针对水、金属、无机物、有机物有良好的吸收衬度；
·人体无害；
·THz电场变化的时间尺度在ps量级，与很多材料内部动力学过程时间尺度匹配。
·这些特点决定了THz辐射具备广阔的应用前景：·材料表征与识别；
·材料动力学过程研究；
·天文学；
·工业无损检测;
·安检;
·THz通讯与雷达·

本节主要介绍THz相关的仪器设备，包括THz光谱系统、源、光学元件、探测器与成像器件等

1.1.太赫兹光谱仪

THz光谱仪为测量样品在 T H z 波段的吸收／反射/透射等光谱的仪器。目前最常用的技术是太赫兹时域光谱仪，采用超快激光经由太赫兹天线、光整流器等产生的瞬态电场脉冲作为宽谱太赫兹源，再利用反向效应的探测器探测。

1.1.1.ADVANTEST太赫兹时域光谱仪简介

TAS 系列太赫兹时域光谱仪是ADVANTEST近年新设的光学检测部门推出的系统。作为著名的半导体设备制造商，ADVANTEST致力于提供工业级、实用化、高稳定性的检测系统

1）异步扫描延时方式：高稳定、高分辨与高速度

与常规的采用光学延迟线的太赫兹时域光谱系统不同，TAS系列采用双飞秒激光异步扫描的方式。脉冲位相锁定的两台高稳定度光纤飞秒激光器以略微不同的重复频率出光，每一个脉冲对之间叠加一个精确的延时，其中一个脉冲用于激发太赫兹辐射而其后的脉冲用于探测太赫兹电场强度。无机械结构的延时确保了系统稳定性；精细、准确的延时确保了时间取样精细度从而实现高分辨率光谱分析；光学延时的方法无需等待导轨动作，实现高速度采样，在扫描成像应用方面具备显著优势。

异步扫描太赫兹时域光谱仪示意

2）光谱范围与动态范围

直接由飞秒激光器驱动的切伦霍夫辐射具备宽光谱、高动态范围的特征，提升辐射功率近20倍。

3）全光纤耦合，便利使用

THz发射源和探测器独立，与主机之间采用全光纤连接，可以任意布局。

仪器定期自行校准，可维持月度时间尺度的一致性，适应非常缓慢的过程（例如结晶）检测。

主要应用：

根据应用场景，ADVANTEST采用光导天线、酸锂晶体等发射器，均可达到70dB动态范围。

THzsignal comparison usingSi bolometer

·各类材料太赫兹吸收谱，反射谱测试
·生物，药品，食品，农业，林业基础科研
·太赫兹新材料，新晶体的表征与研发
·无损探伤，无损检测的基础研究
·太赫兹通讯，太赫兹电子学的基础研究
·化学反应，晶体结晶过程的监控
·危险品，毒品特征吸收谱库建立及透过包装物检测
·非接触无损厚度测试，缺陷检测
·高速示波器或高频电子器件的频宽校准
·低温，强磁场，高压等极限环境下的样品太赫兹频谱检测

1.1.2.开放式太赫兹时域光谱仪

TAS-TS 系列开放式太赫兹时域光谱仪是一台通用仪器，提供开放的太赫兹发射头和接收头，而用户可灵活配置发射－探测的几何构型、样品室、样品架、扫描机构等。TAS-TS适合用户从零开始建设太赫兹实验室，或希望覆盖尽可能多的太赫兹光谱应用，例如：太赫兹光谱，扫描成像；联用低温、强磁场、高压等装置；自主开发无损检测、安检、刑侦、化学、生医应用系统等。

配置与参数：

系统架构：

·双光线飞秒激光、异步扫描系统、数据分析系统·太赫兹采样系统（最多可适配双发射 ^ + 双接收模组）·光纤耦合太赫兹发射/接收模组

可选项：

·光谱成像 (可吹扫密闭样品仓、扫描装置)·变角度、低温、强磁场等

1.1.3.台式太赫兹时域光谱仪

TAS 台式太赫兹时域光谱仪为分析仪器级产品，用户无需了解THz时域光谱的细节。如同常规分析仪器一样，开仓、放置样品、测试，即可完成各种化学、生物、高分子、超分子、介电材料、药品、危险品、特种材料等太赫兹光谱分析。

特点：

·一体化设备，与FTIR的操作同样简便
·可达7THz的超宽频谱范围
·无需任何光路调校即可切换透射、反射，ATR，偏振，变温测试模式
·提供30个/组不同形状尺寸的太赫兹样品池/样品架适应各种样品

配置与参数：

1.1.4.傅里叶变换太赫兹光谱仪

太赫兹光谱学的另一种方法是利用传统的傅里叶变换红外光谱仪的架构，在辐射源，谱仪主体，探测系统上做全面的优化或提升，将原本涵盖近红外－远红外的傅里叶变换红外光谱仪整体延展覆盖至红外-太赫兹全谱段（5um\~5mm/0.06\~60THz/2cm\~2000cm)。加拿大Sciencetech-lnc公司在这个方向处于世界领先地位。

设备特点：

·IR-THz波段优化可工作谱段 5 \mu m - 5mm / 0 . 0 6 - 6 0 7 H z ·标准分辨率 0 . 1 2 {cm } ^ { - 1 } ，即 3 . 5 \mathsf { G H z @ 1 7 } \mathsf { H z } ; 可升级至 0 . 0 2 \mathsf {cm } ^ { - 1 } 分辨率；·设备基于迈克尔逊干涉仪标准架构完成常规红外-太赫兹光谱分析；·可工作于Martin-Puplett模式，在圆二色或线二色测试时可获得更高的信噪比。

典型配置：

·SPS-300basesystem:含不锈钢真空光谱仪主体，内置电动顶镜调节系统，扫描干涉仪工作于迈克尔逊模式，75W超稳定汞灯，真空阀门组，电脑及软件
·V-pump-UItravac:真空泵组
·SPS-403样品室（常压或真空模式）
·160-REC：冷却用冰水机
·BO-HEB:液氮制冷Hot Electron Bolometer远红外与太赫兹探测器
·LIA-830:锁相放大器

常用选项：

·外置红外辐射源
·可切换的外置光源入口
·光谱仪双出口选项
·加长干涉仪扫描行程： 0 . 0 2 \mathsf {cm } ^ { - 1 } 光谱分辨率

主要技术指标：

·测试光谱范围：5-2000cm-1（即5um-2mm;0.15-60THz)
·标准模式分辨率： 0 . 1 2 {cm } ^ { - 1 } ； (即3.6GHz分辨率)
·真空环境：10-3Torr到10-5Torr；完全排除环境水蒸气对光谱的影响
·中红外-远红外-太赫兹频段扫频范围无缝衔接
·第一探测器出口室温工作 DTGS探测器用于常规探测，第二探测器出口液氨制冷高灵敏度宽光谱 Bolometer探测器，液氮杜瓦加液氨杜瓦二级制冷既保证4.2K液氨温度深度制冷获得最低探测器噪声，又同时通过前级的液氮杜瓦预制冷保证最低的液氨消耗量；涵盖5-2000
波数（即 5-2000um;0.15-60THz)
·模块化设计，支持第三方和用户订制光源，探测器，采样器

SPS-300傅里叶变换太赫兹光谱仪安装案例

1.2.太赫兹源与成像设备

1.2.1.太赫兹量子级联激光器

量子级联激光器（Quantum Cascade Laser，QCL）是一种非常重要的产生远红外～太赫兹辐射的半导体光源。美国LongWavePhotonics公司技术源自麻省理工大学，是将太赫兹量子级联激光器商品化的领导厂商。

QCL位于斯特林制冷机中

QCL位于脉冲管制制冷机中

QCL位于脉冲管制制冷机中

THz QCL优势：

可在1-5THz的高频太赫兹波段有数毫瓦 (即EasyQCL100系列)及数十毫瓦的输出即EasyQCL1000系列），针对太赫兹高透过率样品，可以获得比太赫兹低频段成像高一个数量级以上的空间分辨率。

相对于大功率气体太赫兹激光器，体积小，能耗低，更适合于构
架应用系统
可以做调制，是很好的太赫兹通讯光源
THzQCL-DFB可实现精密扫频

产品系列：

QCL量子级联激光器或激光器阵列
小型真空腔体与真空泵
斯特林制冷机或脉冲管制冷机
激光器电源
激光器控制软件

可调谐激光器THzQCL-DFB-3.8THz输出

EasyQCL典型输出

1.2.2.毫米波成像系统

100GHz量级的电磁波波长在mm量级，故称为毫米波，通常也归入太赫兹波段。毫米波用于成像时其分辨率能够达到mm量级，不同组分（如金属、水分、有机物）在这个波段等有良好的吸收/反射衬度，同时对生物组织完全无害，非常适合在人体安检、箱包检测、产品质检等领域替代×射线。

毫米波可以由全固态的肖特基二极管产生。TeraSense的IMPATT技术能够产生100GHz ~ 300GHz，功率可达W量级的毫米波，并可配置不同的波导输出各种光强分布，配合 TeraSense面阵毫米波相机、快速线扫描毫米波相机，构成毫米波成像系统。

1）IMPATT毫米波光源

IMPATT毫米波光源可产生100G\~300GHz，最高功率1.8W的辐射。可配置不同的天线。

·IMPATT技术
·100G，140G，200G，300GHz
·保护隔离器提供更高稳定性
·TTL调制
·高频调制选项(100MHz，1.5ns上升/下降时间）
·可拆卸号角天线
·紧凑、成本低

2）太赫兹面阵相机

TeraSense面阵成像相机可用于毫米波直接成像。

. 0 . 0 5 ~ 0 . 7 \top H z 响应
·256，1024，4096像素
·体积小，价格低
· 5 0 H z 视频模式

3）100GHz太赫兹扫描成像系统

高速THz扫描成像系统是TeraSense的拳头产品。集成快速线扫描THz相机、THz光源，用户可非常方便的组建太赫兹无损检测系统。

光源

线扫描系统采用带特殊光学系统的光源，分为Type丨和TypeI两种。

·无电离辐射
·扫描速度：可达15m/s
·5,000线/秒采集率
·易于工业集成

Type 1 1 Type 1 1 动态范围示意

左：传送带检测系统示意图；右：部分成像示例

100GHz反射式人体安检演示机

4）300GHz线扫描成像系统

习

5）TeraSense其它产品

·可调谐THz源

·快速THz探测器

·THz元件

PTEE、PTFE、TPX太赫兹元器件：

INO 公司提供高频段太赫兹相机及匹配的镜头，同时提供用于THz成像的均匀光源。

1.3.太赫兹探测器与元器件

1.3.1.太赫兹高莱探测器

高莱探测器（Golay Cell）是一类光声探测器，为现有室温工作条件下最灵敏的太赫兹探测器。高莱探测器可测量脉冲太赫兹辐射，测量连续太赫兹辐射时需加斩波器。

（左）高莱探测器和电源；（右）数据采集器

1.3.2.太赫兹热释电探测器

热释电探测器可探测脉冲太赫兹辐射及斩波的连续太赫兹辐射。其灵敏度较高莱探测器低三个数量级，但造价较低。

俄罗斯Tydex公司提供各种材料、用途的太赫兹光学元器件：

1）太赫兹衰减片组

2）太赫兹法泊干涉仪

法泊干涉仪(FP干涉仪）为干涉式太赫兹滤光器，可通过改变镜片间距来改变透过波长。配合宽带 T H z 源、高精度位移台，可构成THz光谱仪。

Tydex厂家的可以提供该方案全套零部件，如透镜、干涉仪、探测器及带通滤光片等，供用户架构太赫兹频谱或波长测试设备。

·测试范围：0.1-15THz
·两片反射镜间距：0-9.5mm
·定位精度：±1.25um
·口径：52mm
·光轴高：110mm
·高损伤阈值
·操作简单

3）太赫兹低通滤光片

4）太赫兹带通滤光片

O

O

·截止波长：13,21,27.5,34,55，70，75,94um
·透过部分透过率： >=slant 8 0 % （20
·截止部分透过率： < 0 . 1 %
·损伤阈值：7-8W/cm²
·波长范围:0.1-15THz(0.1，0.3，1，3THz有库存)
·透过部分透过率： 6 0 % - 9 0 %
·截止部分透过率： < 4 %
·损伤阈值：60-100W/cm²

5）太赫兹窗片

高阻硅窗口 太赫兹级晶体窗口 TPX窗口

·尺寸：25.4-101.6mm（高阻硅）； 2 5 . 4 - 5 0 . 8 {mm } （太赫兹级晶体）；25.4-50.8mm (TPX)
·厚度 * \mathsf {mm } （高阻硅）; 1 - 3mm （太赫兹级晶体窗）： 2 - 3 . 5mm (TPX窗）

6）太赫兹透镜

·尺寸：25.4，38.1，50.8mm(TPX透镜）；25.4，38.1，50.8mm（高阻硅透镜）·焦距：25-200mm(TPX透镜）； 2 5 - 2 0 0 \mathsf {mm } ( 高阻硅透镜）

7）太赫兹反射镜

·尺寸：25.4,38.1,50.8,76.2mm ·厚度：6.35mm

9）太赫兹分光镜

d

·材料：高阻硅·口径： ~ 1 5 0 {mm } ·分光比：46/54

8）太赫兹波片

·光谱范围：30-1000um·口径： 2 0 ^ { \ast } 2 0 \mathsf {mm } 5 0 ^ { \ast } 5 0 {mm } ·类型：1/2，1/4

10）太赫兹偏振片

00·波长范围：7um-3000um·一般尺寸：25mm·最大尺寸： 1 0 0 \mathsf {mm } ·刻线数： 1 2 0 0 / {mm }

1.3.4.太赫兹激光功率计

Ophir激光功率计与激光能量计常规的校准波段一般为 0 . 1 9 ~ 2 0 \mu m （15\~1580THz）。专门为THz波段设及的探头可扩展至0.1‘3 0 \tau \mathsf { H z } 0

OOPHIR Photor ANewpt

2.激光元器件

2.1.CVI激光元件

美国CVI laser optics 设计和生产紫外到近红外波段的高性能光学器件，主要应用在激光的光束调节和传输方面，在业内有很高的知名度。
产品包括球面镜，平面镜，偏振片，棱镜和波片。还提供一系列用于超快激光应用的低色散和色散补偿光学元件。
CVI产品精度高，性能好，光学元件各个参数达到行业顶尖水平，适用于对光学元件各方面性能要求高的科研、工业领域。
提供定制，批量生产。

2.1.1.反射镜

CVI提供超过350种镜片可供选择；设计入射角为 0 ^ { \circ } 或 4 5 ^ { \circ } ，覆盖波段从190nm到2000nm；提供金、银、铝等金属镀膜，用于提高反射率、起保护作用等；使用BK7或UVFS材料，能够实现入/10表面质量的镜片；提供具有高反射率的镀膜镜片，如MaxMirror和MaxBRIte能在宽波段内实现大于 9 8 % 的反射率。若是单面镀膜，会在未镀膜面用箭头指向镀膜面，方便使用。

1）飞秒激光反射镜

具有宽带、高反射率、高损伤阈值和低群延迟色散的特点，应用于飞秒激光器。

提供两种型号分别对应 7 4 0 ‰ ， 7 2 0 - 9 0 0 { { n m } } 两个波段，并具备不同尺寸可选。

2）线性激光窄带反射镜

高反射率、高损伤阈值，覆盖紫外到红外的所有主流激光器的波段。有十几款不同产品对应不同的波长和不同激光器。

3）宽带介质反射镜

高宽带、高反射率，应用于低功率到高功率激光和固定或可变的入射角。

有两款不同类型的产品：MPQ和TLM2。其中，MPQ覆盖主流的紫外和可见光波段的激光器波长，具有极高的反射率。TLM2：可调谐。能分别在 4 5 0 { ~ } 2 1 0 0 { n m } 波段实现连续激光和在7 8 0 ~ 1 0 3 0 { n m } 短脉冲激光的高反射率。

4）金属镀膜反射镜

具备能实现在紫外波段到中红外波段的高反射率金属膜层和起保护作用的保护膜。

2.1.2.球面透镜

球面透镜主要用于聚焦、成像、准直或扩束等，广泛应用于各光学系统。

CVI提供由N-BK7，UV级熔融石英，准分子级熔融石英，CaF2和N-SF11等材料构成，直径范围为2.5至 7 6mm ，焦距为3mm至10m的透镜。

透镜支持各种镀膜，包括增透膜、高反膜等。镜片的面形精度达到入/10，能减少波前失真，使散射最小。
包括平凸透镜、双凸透镜、平凹透镜、双凹透镜。

1）平凸透镜

主要起聚光和准直光路的作用。当聚焦光在凸面处入射，且透镜在无限共轭比处使用时，能代替best-formlens，使得球面像差最小，更加经济实惠。离轴使用时能减少球面像差和近零慧差。透镜材料是N-BK7或熔融石英，不同型号的产品适用波段从193nm到 1 6 0 0 \mathsf { n m } ，覆盖紫外到近红外。支持客户定制镀增透膜，部分型号对连续激光和脉冲激光有较高的损伤阈值，窄带脉冲激光： 1 5 { J /cm } ^ { 2 } 20 nsec, 2 0 \mapsto 1 2 @ 1 0 6 4 \ : \mathsf { n m } ，宽带脉冲激光：style { { 1 0 ~ J /cm } } ^ { 2 } . 20nsec, 2 0 1 1 2 @ 1 0 6 4 \mathsf { n m } ，连续激光： 1 M W / \subset m ^ { 2 } { \circ } 1 0 6 4 \ : { n m } 。

2）双凸透镜

应用于常规的1:1成像、扩束和光束中继传输。正凸透镜能对真实物体的虚拟成像以及0.2至5良好的正共轭图像比（取决于波长）。也可用于较低f值的对焦应用，当以单位共轭比使用时，其表现为最佳形式的单重透镜。覆盖波长从 1 9 3 \mathsf { n m } 到1 5 5 0 { n m } ，透镜材料是N-BK7或熔融石英。有高面形精度（入/10）和表面质量（10-5）。支持定制焦距、尺寸和各类型的增透膜。

3）平凹透镜

应用于光学扩束，在光学系统中增大系统焦距、平衡像差。当准直光从凹面处入射、位于无穷共轭处时能减少球面误差和彗形像差。不同款型号覆盖波长从193nm到 1 5 5 0 { n m } 。透镜材料为N-BK7和UVFS。支持定制尺寸、焦距和镀增透膜。部分型号有较高损伤阈值。窄带脉冲激光： 1 5 \mathsf { J } / \mathsf {cm } ^ { 2 } 20nsec, 2 0 H z { { ‰} } 1 0 6 4 \ n m ，宽带脉冲激光： 1 0 { J } / {cm } ^ { 2 } 20 nsec,20 Hz @ 1064nm，连续激光： 1 1 \mathsf { M W /cm } ^ { 2 } \ @ 1 0 6 4 \mathsf { n m } 。

4）双凹透镜

在各个光学系统中用于分散光或扩束，在成像系统中可以透过透镜看到形成的虚像。透镜材料为N-BK7和熔融石英，波段从193nm到 1 5 5 0 { n m } 。通光孔径大于 8 5 % ，镀增透膜后透过率超过 9 9 % （具体由波长决定）有较高的损伤阈值：窄带脉冲激光1 5 { J } / {cm } ^ { 2 } 20 nsec,20 Hz @ 1064nm，宽带脉冲激光： 1 0 ~ { J /cm } ^ { 2 } . （2号20 nsec, 2 0 H z @ 1 0 6 4 \ : \mathsf { n m } 连续激光：1MW/cm² @ 1064nm

5）BestForm正透镜

应用于光线的汇集和聚焦，也可对点光源进行准直。在聚焦时能最大限度地减少慧形像差和球面像差。性能卓越，能提供单透镜中最小的聚焦斑点。型号为BFPL，透镜材料熔融石英。通光孔径大于 7 5 % ，镀增透膜后透过率超过 9 9 % （视具体波长）有较高的损伤阈值：宽带脉冲激光 1 0 ~ { J /cm } ^ { 2 } 20 nsec,20 Hz @ 1064nm，窄带脉冲激光 1 5 { J } / {cm } ^ { 2 } 20 nsec, 2 0 H z @ 1064nm连续激光：1MW/cm² @1064 nm

6）非球面玻璃聚光器

用于低成本的正透过率采购应用。在低f值，高通量的情况下应用，降低像差。不推荐成像、聚焦和或高功率下应用。波段4 0 0 { - } 7 0 0 { { n m } } ，镀氟化镁增透膜。表面质量80-50。

2.1.3.柱透镜

圆柱透镜能在一个维度上聚焦或展开光。典型应用包括激光扫描仪，全息，光学信息处理/计算，光谱学，染料激光和扫描共焦显微镜。CVI激光光学柱面透镜制造精度高，损伤阈值高，能在工业，OEM和研究应用中的高激光功率条件下保证元件的性能。这些精密镜头具有高表面精度，能达到20-10表面质量，能理想应用于大功率激光和降低散射以获得更好的信号噪声性能的应用。可镀宽带增透膜，支持定制。

1）平凸型柱镜

用于在一个维度上聚光。正柱面透镜可以将输入准直光聚焦到一条线上，将光点变换为线图像或改变图像的纵横比。适用于激光线聚焦，激光投影，光束整形以及狭缝和线检测器阵列的照明。透镜材料N-BK7和熔融石英。表面质量10-10。波段： 1 9 3 \mathsf { n m } - 1 5 5 0 \mathsf { n m } 。损伤阈值：style { { 1 } } 0 { { J } } / \subset { { m } } ^ { 2 } 20nsec, 2 0 1 1 2 @ 1 0 6 4 \mathsf { n m } 提供高能量低损耗的增透膜。镀膜后透过率大于 9 9 % 。

2）平凹型柱镜

仅在一个维度上扩展光束，负圆柱透镜将输入准直光分离出一条线。适用于激光线生成，光束整形和图像的一维压缩。波段193m-1550nm，透镜材料N-BK7和紫外熔融石英（UVFS）。表面质量20-10，曲率误差 ± 0 . 5 % ，焦距误差 ± 0 . 5 % 。通光孔径大于 8 5 % 透过率大于 9 9 % ，损伤阈值： 1 0 \mathsf { J } / \mathsf {cm } ^ { 2 } 20 nsec,20 Hz @ 1064 nm

2.1.4.组合透镜

多元素透镜是需要专门性能或高度相位差应用的理想解决方案。CVI的消色差透镜，平面镜和物镜镜片旨在最大限度地减少波前畸变以获得优秀的光束质量和最小的焦斑尺寸。CVI除了色差校正外还提供高度的球面像差和彗差校正。 \mathsf { C V I } 1 0 6 4 \mathsf { n m } 的F-theta透镜提供高损伤阈值，具有小且均匀的焦点尺寸以及高扫描线性度。多元件组件也可用于增加或减少光束直径。组装中使用的高品质光学平面可以将激光准直系统的发散/收敛设置为小于20urad。

1）消色差透镜

用于在图像平面的同一点聚焦两个或多个波长。减少球面像差和彗形像差。非常适合宽带应用，如天文望远镜，等离子光谱，生物医学仪器和激光束转向。由于其性能远远优于简单的单透镜，也能理想应用于单波长条件。能最大限度地减少球面像差和彗形像差。波段：400nm-700nm，透镜材料：N-BK4或SF10等玻璃材料。通光孔径大于 90 % ，表面质量20-10/60-20（根据型号），透过率大于 9 9 . 5 %

2）消球差透镜

在单色光条件下使用，通过消除彗形像差和球面像差得到最小焦点尺寸。优秀得衍射限制性能，应用在理想的非线性光学，激光束扩展和准直，干涉仪，材料处理和光纤耦合。波段 2 6 6 \mathsf { n m } - 1 5 5 0 \mathsf { n m } ，通光孔径大于 90 % 。其中，LAI波段 7 8 0 \mathsf { n m } - 1 5 5 0 \mathsf { n m } ，表面质量60-40，可以通过简单调整后焦点位置，校正球面像差，彗形像差，散光和球面色差，使其能在各种波长下使用。LAPQ波段266nm-1064nm，表面质量10-5，透镜材料UVFS，通过消除像差可以得到最小的焦点尺寸。

2.1.5.波片

波片通过双折射来改变光的偏振态，包括标准波片和偏振旋转器。应用于需要优化，控制或分析偏振的应用中旋转极化，在线性和圆偏振之间转换，调整椭圆率或分离波长。我们提供一系列高性能，高损伤阈值石英波片，包括零级，多级和双波长波片以及 9 0 ^ { \circ } 偏振旋转器，选择主要由工作波长和温度范围定。它们具有广泛的尺寸，波长，可根据具体需求提供定制。

每个石英板已经精确地被切割和抛光以实现低透射波前误差，高表面质量优异的平行度，从而在全孔径上实现高性能和精确的延迟控制。偏振旋转器的最高激光损伤阈值和性能达到同样高的标准，并可以以 ± 0 . 5 ^ { \circ } 的精度旋光。可以与用于光学隔离的偏振分光镜立方体一起使用或作为连续可变的分束器使用。

0O

用于旋转偏振方向（入/2波片）或在线性和圆偏振（入/4波片）之间转换。当对波长和温度的敏感度不重要时推荐高性能和高激光损伤阈值型号。适用于窄带宽激光及稳定的工作温度范围。

波段：193nm-1550nm。适合于工作在温度稳定的环境下，高表面质量10-5，有高损伤阈值 1 0 { \ J /cm } ^ { 2 } 20nsec,20 Hz;1 MW/cm² CW@1064 nm

2）零阶石英波片

9

1）多阶石英波片

用于旋转偏振（入/2延迟）或在线性和圆偏振（入/4延迟）之间转换的复合零级波片。推荐用于可调谐半导体飞秒激光器。

具有高性能规格和高激光损伤阈值，广泛的有用带宽，优异的热稳定性等优点。可以选择光学接触，环形安装和空气间隔接触。波长193nm到 1 5 5 0 { n m } ，其复合设计使得它能在宽带宽范围内实现半波或四分之一波长的相位延迟。工作温度稳定，表面质量10-5，透过率大于 9 9 . 7 5 % 0

损伤阈值 1 0 { J } / {cm } ^ { 2 } 20 nsec,20 Hz；1MW/cm² cw @ 1064 nm。

3）双波长石英波片

用于旋转一个特定波长的偏振（入/2延迟）而另一个波长偏振不变波片（入延迟）的双波长波片，具有高激光损伤阈值和双波长源的精确控制的优点。适合窄带宽和稳定的工作温度范围。表面质量10-5，延迟误差：23℃下入/100。

镀增透膜后，

3 5 5 + 5 3 2 R < 0 . 5 % at 3 5 5 \mathsf { n m } and R < 0 . 5 % at 5 3 2 { \mathsf { n m } } 3 5 5 + 1 0 6 4 = R < 1 . 3 % at 3 5 5 \mathsf { n m } and R < 0 . 5 % at 1064nm5 3 2 + 1 0 6 4 = R < 0 . 6 % at 5 3 2 { \mathsf { n m } } and R < 0 . 3 % at 1 0 6 4 \ : { n m } 损伤阈值： 1 0 { J /cm } ^ { 2 } 20nsec, 2 0 H z 1 \mathsf { M W /cm } ^ { 2 } \mathsf { c w @ \ 1 0 6 4 \ n m } 标准型号适用于Nd:YAG激光器，其他波长和相位延迟组合支持定制。

4）90°偏振旋转器

能够将线偏振光的偏振方向旋转 9 0 ^ { \circ } ，直接放在光路中，不需要角度调整。

适用单波长入射光，具有高损伤阈值。支持偏振旋转角度、尺寸和波长的定制RT型号波长： 1 0 6 4 \mathsf { n m } ，表面质量10-5，镀增透膜，镜面反射率小于 0 . 2 5 % 。损伤阈值 style { { 1 0 ~ J /cm } ^ { 2 } } 20 nsec,20 Hz;1 MW/cm² cw @ 1 0 6 4 \ : \mathsf { n m } 。

2.1.6.窗片和光学基片

窗口是简单而高性能的基板，具有平行或微光楔的表面。它们将一个光学环境与另一个光学环境分开，并可对光束进行采样或转向。CVI支持定制多种形状，楔形选项和抗反射涂层。所有这些都按照严格标准制造，低波前失真、低散射、高激光损伤阈值，能满足对镜片要求极为严格的激光应用。

1）高透射率激光窗口

00镀增透膜提高透射率。高表面质量，低散射的光学窗口，具有一个或两个防反射涂层，用于高功率应用和输出最大光束。光楔选项： < 1 0 arc sec或 3 0 ± 5 arc min。标准直径从12.7-101.6mm，标准厚度从1 . 0 { - } 1 2 . 7 {mm } ，均支持定制。波段：193nm-1550nm，有单面镀膜和双面镀膜两种型号。

镜片材料：UVFS，表面质量10-5，高损伤阈值，脉冲激光 1 5 ~ \mathsf { J } / \mathsf {cm } ^ { 2 } 20ns, 2 0 H z at1064nm，连续激光1MW/cm²at1064nm。尺寸、基底和镀膜均支持定制。

2）无镀膜光学基底

通过降低光楔，最大限度减少发射光束的角度偏差和对准误差。表面质量高，波前失真小，适用于消色差束采样等。圆形基板的楔形 < 1 0 arc sec,矩形或矩形基板的楔形 < arc min低楔形选项： 3 0 ± 5arcmin大楔形选项： 1 ^ { \circ } 或3。镜片材料：FS和BK-7。传播波前误差：入/10@633nm，表面质量10-5。

通光孔径大于 8 5 % ，光楔 3 0 ± 5arcmin。基底、尺寸和镀膜均支持定制。

2.1.7.分束器

分束器通过波长，功率或偏振分离光束，通过 9 0 ^ { \circ } 反射并传输其余部分。选择分束器的关键是为应用找到正确的功率处理和光束位移组合。CVI的平面和立方分光镜提供了各种涂层选项，利用光学粘合剂，光学接触等技术，以实现高功率处理。涂层选项包括偏振，激光线性非偏振，离子束溅射，宽带电介质和宽带混合涂层。每个分束器按照严格的规格制造，以确保光束质量，包括低光楔形，低透射波前误差以及高表面质量。其宽带AR（BBAR）涂层具有在非常宽的范围内和高损伤阈值（10J/ \mathsf {cm } ^ { 2 } 20ns，20Hz，脉冲 1 0 6 4 \mathsf { n m } 1 0 6 4 \mathsf { n m } 连续激光为1MW／cm），平均反射率 <=slant 0 . 5 % 。支持定制精确尺寸，形状，波长或分割比例。

1）分束镜

非常适合对高能量的应用，提供光束位移，鬼光束和偏振灵敏度都在合适范围内的分束镜。

高激光损伤阈值、光束偏移量约为 0 . 3 x 厚度，背面镀增透膜以减少鬼光束反射。支持不同功率和波长的分离。镜片材料：N-BK7和UVFS，通光孔径大于 8 5 % 。其面形精度入/10at 6 3 3 ~ \mathsf { n m } ，表面质量10-5，反射率 R u n p { = } 5 0 % ± 1 5 % 。 5 0 % - 5 0 % 分光，具体分光波长、功率参照不同的型号。

2）立方体分束器

通过接合界面避免了光束位移，但接口限制最大功率（如用环氧树脂用于接合）。鬼反射虽然减少，但仍然存在。具有无光束位移、易于安装、耐用和高激光损伤阈值的优点。可用于功率或偏振分离。通光孔径大于 8 5 % ，表面质量20-10，不同型号涵盖波段266nm-2000nm。

3）分束器组件

高能量连续可变分光器通过结合半波片和偏振分束器，以实现光束传输的可变衰减。透过率 = 1 % - 9 5 % ，高损伤阈值，能实现高功率激光精确控制。波长从266-1064nm，可用于Nd:YAG激光器。反射率小于 0 . 2 5 % ，损伤阈值： 5 \mathsf { J } / \mathsf {cm } ^ { 2 } @ 1 0 6 4 \mathsf { n m } .

2.1.8.偏振器

偏振器将光束分成两个高度偏振光束，从而使它们适合用于特定偏振的分离。当选择一个偏振器时，消光比和功率承受能力主要考虑内容，特别是激光应用。通常选择平面镜和立方体形式，入射角为 4 5 ^ { \circ } 或布儒斯特角。CVI的线性激光偏振器和宽带偏振器涵盖波段从紫外到红外。具有高损伤阈值，在 1 0 6 4 \mathsf { n m } 达到20J / { \mathsf {cm } } ^ { 2 } (20ns， 2 0 H z 脉冲激光），消光比高达5000:1。偏振器的主要用途是将光束分离成S分量或P分量。也可用于不同偏振光耦合，当偏振方向正交时可以获得很高的耦合效率，若输入无偏振光，则约有 50 % 的耦合效率。可以和波片组合作为无源光隔离器。

1）立方体偏振器

能用于紫外到近红外的窄带或宽带波段，棱镜表面可以限制功率处理（用环氧树脂胶合）。易于安装，具有高损伤阈值，波段248nm-2000nm。表面质量：10-5，反射率小于 0 . 2 % 。使用熔融石英等，具体参数参照不同型号。

2）偏振片

适用于高能量激光方面的应用，具有高表面质量、窄带、低光楔，低TWE，能最大限度保证光束质量。具有高损伤阈值、低波前误差（入/8），提供的标准波长为Nd：YAG和Nd：YLF激光器的对应波长，其它波长可以定制。传输效率（部分） λ >=slant 5 2 7 \mathsf { n m } ; 9 5 % ， λ = 3 5 5 \ : { { n m } } 90 % ， λ = 2 4 8 nm or 266 nm: 8 5 % 表面质量10-5，连续激光损伤阈值：1 . 1 \mathsf { M W /cm } ^ { 2 } \ @ \ 1 0 6 4 \ \mathsf { n m } 。脉冲激光损伤阈值： 2 0 { \ J /cm } ^ { 2 } 20nsec, 2 0 H z { \scriptsize { 1 } } 1 0 6 4 \ : \mathsf { n m } 面形精度：镀膜前 λ / 1 0 at 6 3 3 { \mathsf { n m } } ，材料紫外级熔融石英。

2.1.9.超快光学元件

应用于超短脉冲激光，可以在泵浦，钛蓝宝石振荡器，放大器，及相关的部分应用。

它们包括激光线反射镜，宽带电介质和金属镀膜反射镜，偏振器，立方体分束器，色散补偿棱镜，和镀增透膜窗口。适用于脉冲长度10到130飞秒的超快激光。提供半导体激光器和钛蓝宝石激光器的定制。具有低群延迟色散和高损伤阈值，提供波长和曲率半径的定制。

1）啁啾脉冲反射镜

具有宽带、高反射率、高激光损伤阈值，低群延迟色散的特点。专为超短脉冲激光应用设计的高反射镜。覆盖波长200-20000nm，超过8 5 % 的通光孔径，反射率大于 9 5 . 5 % （根据具体型号、波长决定）。材料N-BK7、UVFS，入射角 0 ^ { \circ } 或45°，镀膜后面形精度入/10at6 3 3 { \mathsf { n m } } 。表面质量10-5。

2）啁啾脉冲偏振器

将光束分成两个高度偏振光束，从而使它们适合用于特定偏振的分离。根据消光比和功率选择一个适当偏振器。有平面和立方体形式可供选择。入射角可以为 4 5 ^ { \circ } 或布儒斯特角。窄带，高损伤阈值，脉冲激光 style { 1 0 \operatorname J /cm ^ { 2 } } . 20 nsec,20 Hz @ 1064nm连续激光 1 M W / ( m ^ { 2 } { ∞ } 1064nm，适合高能量激光应用。表面质量10-5，镀膜前面形精度入/10at6 3 3 { \mathsf { n m } } 。

3）啁啾脉冲分束器

高效率，低色散，s或p偏振光按50：50分光。超过 2 0 0 \mathsf { n m } 的带宽。
中心波长从790到 1 5 5 0 { n m } 。

高效率、高耐久度使得它们在超快激光系统和实验优于部分反射金属涂层的元件。接近线性的群延迟色散，适用于激光脉冲持续时间 > 15fs的激光系统。材料UVFS，入射角 4 5 ^ { \circ } 。

2.1.10.棱镜

CVI提供了包括光束转向，成像图像调整，波长分离等多种类型的棱镜。适合于在高功率激光工业，科研应用。可以定制的材料和尺寸，也提供各种电介质和金属涂层镀膜的棱镜。

棱镜在工业上有广泛应用，如通过光谱中实现激光跟踪和定位，测距和大气监测。其宽带宽、高损伤阈值，使得在激光系统中的色散补偿腔内使用或作为光束分离器。棱镜实现通过精抛光具有高表面质量、高面形精度和高激光损伤阈值，可选择镀低损耗抗增透膜。通过优秀的制造工艺，CVI的棱镜具有大的通光孔径，小尺寸公差，以及低角度偏差的优点。棱镜的使用材料包括N-BK7，熔融二氧化硅，Suprasil1，晶体石英和N-F2，其他材料可根据要求提供。支持各种光学涂层。

1）无涂层楔形棱镜

000用于控制入射光束的偏差，并消除由于背反射造成的杂散光束。应用在干涉测量，光学的质量检测，以及高增益灵敏激光器的输出耦合。两个楔形棱镜可以通过角圆锥体组合改变波束转向。低楔选项：3 0 ± 5arcmin，高楔选项： 1 ^ { \circ } 或 3 ^ { \circ } 。标准厚度 3 . 1 7 5 - 1 2 . 7 { {mm } } ，标准直径从 1 2 . 7 - 1 0 1 . 6 {mm } 。直径和厚度支持定制。使用材料：UVFS或N-BK7，表面质量10-5，传输波前误差入/10 @ 633nm。通光孔径：大于 8 5 % 。

2）无涂层直角棱镜

用于 9 0 ^ { \circ } 或 1 8 0 ^ { \circ } 反射准直光束。因此用于改变成像方向，逆反射和作为外反射器。具有高品质的表面抛光，适合在高功率应用中使用。材料为N-BK7或UVFS，支持定制材料和尺寸。标准倒角:0.35mm@45°，角度公差： ± 3arcmin。

3）镀增透膜棱镜

用于 9 0 ^ { \circ } 或 1 8 0 ^ { \circ } 反射准直光束。因此用于改变成像方向，逆反射和作为外反射器。具有高品质的表面抛光，适合在高功率应用中使用。材料为N-BK7或UVFS，支持定制材料和尺寸。由于其镀增透膜会减少光束进入棱镜时的反射损耗。表面质量10-5，通光孔径大于 5 0 % 角度误差 ± 3 ^ { \circ } arcmin。损伤阈值：脉冲激光 1 0 ~ \mathsf { J } / \mathsf {cm } ^ { 2 } 20nsec,20\mathsf { H z @ 1 0 6 4 n m } 连续激光10MW/cm@1064nm

4）色散棱镜

用于将光束分离成不同分量波长，或将色散添加到系统中。通常以最小偏差角度使用，使得入射角和出射角相等，棱镜放大倍数为1，反射损耗低。

用高品质表面抛光的N-BK7，紫外级熔融石英，N-F2和Suprasil1等材料，适合高功率使用。

等边棱镜具有更多的色散性能，等腰棱镜具有更好的p偏振透射。可以定制尺寸，材料和涂层。

PellinBroca棱镜用于 9 0 ^ { \circ } 的波长分离。将单波长相对于输入光束偏离 9 0 ^ { \circ } ，多波长偏离 9 0 ^ { \circ } 左右。表面质量10-5，通光孔径大于 8 5 % 。损伤阈值 1 5 ~ \mathsf { J } / \mathsf {cm } ^ { 2 } . 20nsec, 2 0 \mapsto 1 2 { \circ } 1 0 6 4 \ n m ，面形精度/10 p-vat 6 3 3 { \mathsf { n m } } ，角度误差：α： ± 3 0 arc min, β : ± 2 ^ { \circ } 。

2.1.11.滤光片

CVI提供了近千个种滤光片，包括带通，边缘和陷波滤波器。波长范围从一到几百纳米。我们的中性密度滤光片可以均匀地衰减单个激光波长或宽范围的波长。具有 93 % 的平均传输效率，OD6带外阻挡和高激光损伤阈值的规格，适合使用条件苛刻的激光应用。中性密度滤光片系列可镀包括吸收性涂层，金属涂层和介电涂层，使其能在宽波长范围、较低功率使用，也能通过在单个高功率激光波长下使用。支持客户定制。

8000 0000用在宽辐照度范围下呈比例衰减，分离或组合光束，而不影响波长。宽带使用，衰减随波长变化，低功率。镀金属膜：宽带使用，波长均匀衰减，低功耗。镀电介质膜：窄带使用，精确衰减；高激光损伤阈值。波长从250nm-2550nm，表面质量80-50，镜片材料：熔融石英或 BK7。表面光洁度： <=slant 3 λ per 2 5 - \mathsf {mm } area。

2.2.Altechna光学元器件

Altechna公司1996年成立于立陶宛，是一家光电和激光器研究的公司，主要致力于提供激光高能光学配件，激光光路设计解决方案，同时代理当地知名光电工业品牌，并提供高品质的检测保证以及激光器相关配件的制造。产品和服务涵盖DPSS 激光器，DPSS 飞秒激光器，激光系统制造和整合，光学系统设计生产以及研究机构的建立，备有常规库存，可在最快时间内提供相关光学元件，已与四十多个国家的科研机构和公司保持良好的合作关系，主要的市场如欧洲，美国，日本，中国，韩国等。

产品和服务包括一般光学元件，偏振光学元件，激光器晶体，非线性晶体，激光器以及激光器配件，光学原件品质计量检测。

2.2.1.普通光学元件

1）各种镀膜非镀膜光学窗口基底

·材质：有BK7，UVFS等。
·规格：从 1 2 . 7 {mm } x 3 {mm } 到 7 6 . 2 {mm } x 8 {mm } , 最大可定制 5 0 0 \mathsf {mm } 窗口。
·用途：分光镜，窗口和部分反射镜的理想材质，适用于UV，高功率和超短脉冲激光应用。

2）透镜

包括平凸凹透镜，正负柱面镜，鲍威尔透镜，消色差透镜等。

·材质：有BK7，UVFS,CaF2和ZnSe等。
·规格：包括直径 1 2 . 7 {mm } , 2 5 . 4 {mm } 和50.8mm，厚度 2 . 0 \mathsf {mm } 和 3 . 0 \mathsf {mm } ，焦距可选20mm-10000mm，最大可定制 5 0 0 \mathsf {mm } 直径，1.5-20000mm焦距的产品。
·用途：可用于光束聚焦发散。
·材质：有BK7，UVFS等。

1公

·规格：尺寸规格有 1 0 x 1 0 {mm } 20x20mm和 3 0 x 3 0 {mm } 等，焦距有50-3000mm。
·用途：主要用于激光振镜，光谱学，染料激光器，声光和其他应用。
·材质：N-BK7，S-YIH6，N-SF5
·规格：尺寸主要是 9 {mm } 直径，扇顶角从10-90度，激光光束宽度主要有1，2，3mm。
·用途主要用于产生均匀的激光光束，用于设备视觉应用。
·材质：各种材质皆有。
·规格：直径有 1 2 . 7 {mm } 和 2 5 . 4 \mathsf {mm } 焦距有 3 0 { - } 2 5 0 {mm } ，支持定制。

·用途：主要用于消除光学像差和色差，可用波长范围400-1050nm。包括平凸棱锥和平凹棱锥。·材质：主要材质有UVFS。·规格：直径主要有 2 5 . 4 \mathsf {mm } 厚度 5 . 0 \mathsf {mm } , 顶角有90-179度。

3）棱锥

·用途：主要用于激光打孔环切，显微学和医疗行业。包括色散棱镜和直角棱镜等。
·材质：主要材质有BK7，UVFS，
·规格：尺寸可支持定制。

4）棱镜

·用途：用于波长分离，光路调整等

5）镀介质膜元件

6）镀金属膜元件

包括激光高反射镜，分光镜，激光输出耦合镜，波长分束镜，增透膜窗口等。

·材质：主要材质有BK7，UVFS。 ·规格：直径有 1 2 . 7 {mm } ” 2 5 . 4 \mathsf {mm } 和 5 0 . 8 {mm } 0 ·用途：适用波长从紫外到近红外波段，高反射镜反射率可达到 9 9 . 9 % □

dS

包括圆形镜，椭圆形平面反射镜，离轴抛物镜，柱面凹面镜，直角棱镜反射镜等。

·材质：主要材质有BK7和UVFS，镀膜有金，银，铝等。
·规格：直径有 1 2 . 7 {mm } , 2 5 . 4 {mm } 和 5 0 . 8 \mathsf {mm } 。
·用途：可用于高反射率要求。

7）滤光片

$8包括彩色玻璃滤光片，干涉滤光片，中性密度滤光片，环形可调中性密度滤光片。

·材质：Schott glass，中性密度镜片。
·规格：直径 1 2 . 7 {mm } , 2 5 . 4 {mm } , 5 0 . 8 {mm }
·用途：主要用于激光功率衰减和滤光，彩色玻璃滤光片可针对黄光，橙光，红光，蓝光，绿光等，；干涉滤光片波长范围250-5000nm；中性密度滤光片衰减比例有 0 . 1 % - 8 0 % 0

8）无偏振分光立方体

·材质：BK7。
·规格：5×5×5，12.7x12.7x12.7，15x15×15。
·用途：用于光束等比例分光，不受偏振影响，偏差不超过 5 % ，主要用于5 3 2 \mathsf { n m } ，633nm，1064nm波长。

1）波片

00 O

·材质：石英。
·规格：适用波长范围 2 4 0 { - } 9 0 0 0 { n m } ，包括二分之一，四分之一波片。
·用途：可用于高功率能量应用。

2）偏振片

包括宽带中红外偏振片，径向/角向偏振片，薄膜偏振片，高对比度高消光薄膜偏振片。

·材质：主要材料有KRS-5,CaF2,ZnSe，UVFS等。
·规格：宽带中红外偏振片波长范围20-1000um，；径向/角向偏振片波长范围488-1550nm，透过率 4 0 % - 7 0 % ；薄膜偏振片波长范围 266-1550nm。
·用途：偏振分光。

3）偏振转换器

·材质：石英。
·规格：波长范围400-2000nm，尺寸 1 0 \mathsf { m } - 1 0 \mathsf { m } \mathsf { m } ，传输率 4 0 % #（204号 90 % 。
·用途：可用于各种偏振旋转和光斑整形应用。

□□ Convertedbeam(532nm) intensityatdiferent ir Converter shown in cross-polarized light at different incident

polrization angies

4）偏振器

polarization angles

包括格兰偏振器，格兰-泰勒偏振器，格兰-汤普森偏振器，沃拉斯顿偏振器，罗尚偏振器。

·材质：a-BBO，Calcite，YVO4等。
·规格：通光孔径 8mm , 1 0mm , 1 2 . 7mm , 1 5mm , 2 0mm 等。
·用途：适用波长范围200-4000nm，主要用于将非偏振光转换为偏振光。

5）偏振分光立方体

·材质：主要材质 BK7，UVFS等。
·规格：波长范围 250-2200nm，，s和p方向反射透射比例大于（204号 90 % 以上。
·用途：偏振分光。

2.2.3.超快&超宽带光学元件

1）超宽带高反射镜

·材质：BK7。·规格：波长范围350-1100nm，可用于0-50度入射角，发射率可达到99%，常用尺寸有直径2 5 . 4 \mathsf {mm } ，厚度6.35mm。·用途：高功率激光光路调整。

GDD vs.Wavelenght,AOl=45°

GDD vs.Wavelenght, AOl=0°

8 www m
350400450500550600650700750800850 90095010001050 1100 Wavelength, nm

wwwwwwwwW U M 350400450 500 550600650700750800850900 950 10001050 1100 Wavelength, nm

2）低（GDD）超快反射镜

·材质：主要材质为UVFS。·规格：GDD值可控制在-10fs²-10fs²，波长范围250-1060nm，反射率大于 9 9 % 0·用途：主要用于飞秒应用，可同时兼顾高反射率和低GDD。

Calculated GDD-reflection values of [1K00-GDD] coating

Calculated reflectiion curve of [1K00-GDD] coating

Calculated GDD-reflection values of 1K45-GDD]coating

Calculated reflectioncurve of [1K45-GDD] coating

3）GTI色散压缩镜

·材质：主要材质为UVFS。
·规格：12.7x5mm，25.4x5mm。
·用途：主要用于Yb:YAG，Yb:KGW飞秒激光器的脉冲压缩，也可用来优化其他波长，如Ti:Sapphire激光系统，反射率可达到 9 9 . 9 % 中心波长误差可控制在 1 % 左右。

Simulated GDD curve for GTI mirror, HR>99.8 %@700-900 nm, GDD@780-820 nm, AOI=0 deg

Simulated GDD curve for GTI mirror, HR>99.8 % @930-1150 nm, GDD@1020-1060 nm,AOI=0 deg

Measured reflection curve for GTI mirror, HR>99.8 %@700-900 nm, GDD@780-820 nm, AOI=0 deg

Measured reflection curve forGTmirror,HR>99.8 @930-1150nm，GDD@1020-1060 nm,AOI=0deg

4）色散镜

包括宽带色散镜，高负色散镜，高正色散镜。

·参数及应用：波长范围 2 3 0 { - } 6 5 0 0 { n m } ，主要用于飞秒系统应用，可提供非常高的GDD补偿值。

5）超高反射率反射镜

·参数及应用：反射率可达到 9 9 . 9 9 % ，带宽大于 2 0 0 \mathsf { n m } ，波长范围260-2900nm。

6）三阶色散（TOD）镜

·参数及应用：当脉宽小于30fs，需要补偿三阶色散，且不引入任何GDD。波长范围590-1800nm。

7）超宽带抗反射镜片

·参数及应用：为了防止镜片产生菲涅尔反射，镜片都会镀增透膜，该镜片提供宽带增透膜，并保持低GDD值，反射率低于 5 % ，波长范围 550-2375nm。

8）超宽带分束镜

·参数及应用：主要用于超短脉冲，波长范围265-3275nm，分光后主要分为透射和反射两个部分，且相位都不会发生任何改变，色散有着良好的控制。

2.3.激光晶体

Raicol 公司总部在以色列，成立于1995年，主要从事非线性晶体制造及研发，从晶体生长到装配都有完善的解决方案，支持电光调Q。产品主要用于航空航天，通信，医疗，工业及科研激光等市场，常规产品有RTP，KRTP，BBO等，同时有用于SHG和THG的超精良LBO 晶体，用于高功率激光的SHG的HGTR KTP和SKTP 晶体，用于SHG和OPO的KTP 晶体以及自主研发的PPKTP 晶体等，可支持不同尺寸及特殊要求的定制方案。

1）用于高功率激光的HGTRKTP

2）BBO晶体及电光模块

3)LBO晶体

适用波长：160\~2600nm

4）KTP晶体：用于OPO

5）PPKTP

6）RTP电光模组

RTP EO Cell Structure

2 . 4 . 高性能激光加工元器件

德国SilOptics 已经有一百二十多年的历史，一直致力于高性能光学元件、镜头的研发和制造。产品广泛用于高功率激光加工与超快激光加工。

SillOptics主要提供四类产品：扫描镜头；扩束镜；非球面镜；镜片组合。

2.4.1.扫描镜头(ScanLens)

常用于工业材料加工，如钻孔，焊接，切割等，同时也用于医药，生物科学和其他科研方面。适用于短脉冲，超短脉冲飞秒激光设备。

1）熔石英远心f-theta镜头

O

·规格：波长范围266-1980nm，焦距32.2-305.5mm，扫描区域大小有6x6mm， 2 0 x 2 0 \mathsf {mm } ，60x60mm，90x90mm，130x130mm等。
·用途：可用于激光垂直加工，包括材料表面钻孔和建模，适合大视场应用和高功率激光应用，同时对镜头热效应有良好的优化效果。

2）熔石英f-theta镜头

·规格：波长范围266-1980nm，焦距118.4-919.9mm，扫描区域大小有 7 3 x 7 3mm ，160x160mm，215x215mm，139x139mm，425x425mm等。·用途：常用于高功率激光应用，如焊接，清理和建模等，对于镜头热效应有良好的优化。

3）光学玻璃远心f-theta镜头

·规格：波长范围405-1064nm，焦距53.1-207.3mm，扫描区域大小有14x14mm， 2 0 x 2 0 \mathsf {mm } ，60x60mm，139x139mm等。
·用途：孔径光阑所在位置在焦点前面，通过转向实现激光垂直加工。

4）光学玻璃f-theta镜头

O

·规格：波长范围405-1064nm，焦距89.7-1200mm，扫描区域大小有53x53mm，90x90mm，160x160mm，748x748mm等。
·用途：主要用于大扫描区域加工，有良好的光学品质。

5）光学玻璃小型f-theta镜头

·规格：小镜框，光束输出孔径尺寸最大为 8 m { m } ，支持M39x1螺纹，可附件M55x1，M79x1和M85x1螺纹转换头，波长范围532nm，1064nm，焦距62.9-335.1mm，扫描区域大小有30x30mm，65x65mm，155x155mm，200x200mm等。
·用途：由于视场小，所以相对标准镜头成像会更好，可用于小区域扫描加工。

6）色差修正f-theta镜头

·规格：波长范围有 5 3 2 n m + 1 0 6 4 n m ，355nm+1064nm，808nm-980nm，450nm-650nm，405nm-650nm，焦距 6 0 . 3 {mm } , 1 6 3 . 2 {mm } ， 2 5 4 \mathsf {mm } 等，扫描区域大小 2 2 x 2 2 \mathsf {mm } 7 0 x 7 0 {mm } ，180x180mm等。·用途：通过在线测试系统证明，市场上色差修正f-theta镜头可用于 1 0 6 4 \mathsf { n m } 和 5 3 2 \mathsf { n m } 波长。用于共聚焦显微镜应用时，可对于450nm-650波长范围进行优化，同时也可以优化355nm和1064nm波长的镜头。对于所有波长的光，相同焦长和工作距离，可以获得相同的成像视场。

2.4.2.扩束镜

主要用于光学系统里扩大或者缩小光束直径尺寸，适用于高平均功率激光和高脉冲功率激光，包括固定放大率和可调放大率两种，其中有手动调节和自动调节。

1）ALPHA固定倍率扩束镜

低吸收率高光圈，固定放大率的扩束镜，熔石英材质。

·规格：主要是为波长范围1030nm-1090nm，放大倍数0.8-6.0，最大入射孔径10-25.5mm。
·用途：主要为高功率大光斑激光设计，高功率一般1/e2区域的光斑大小为 6 { - } 9 \mathsf {mm } 全光斑尺寸最大可到达18mm，石英材质可降低损伤阈值，低吸收膜可优化镜头的热效应，从而可以用于千瓦级别的高能激光应用。

2）熔石英固定放大率的扩束镜

·规格：放大倍数从1.5×到 2 0 x ，适用波长范围为266-1980nm。·用途：为了方便瞄准，采用了空气间隙双透镜的系统结构，从而最小化像差和限制衍射成像，而且非常方便调节镜头的发散角，该镜头为伽利略式，相对于开普勒式镜头没有外焦点，外形尺寸也比较短。

3）微型熔石英固定放大率的扩束镜

4）带马达接头的熔石英固定放大率扩束镜

·规格：波长范围 3 5 5 - 1 0 9 0 { n m } ，放大倍数0.8-4.0，最大入射孔径 8 - 1 2 \mathsf {mm } 0·用途：适用于对空间尺寸要求小的应用，镜头只包括两个镜头组，可实现与标准镜头一样的光学成像，整体长度只有44.7mm，发散角调节和机械螺纹与标准的扩束镜是兼容的，同时也提供低吸收膜，可用于高功率激光应用。

·规格：波长范围266-1980nm，放大倍数1.5-20，最大入射孔径 6 . 0 { - } 8 . 0 \mathsf {mm } ·用途：由标准镜头改进可远程控制发散角的变化，原始的光学性能仍然稳定，马达接头可支持6mm调节行程上分辨率达到2400步。

5）可变倍熔石英扩束镜

6）电动可变倍熔石英扩束镜

·规格：波长范围266-1980nm，放大倍数1.0-8.0，最大入射孔径 1 0 . 0 \substack { - 1 8 . 0 {mm } } 0·用途：由超高修正的4片镜片组成，发散角和放大率设定都是独立，非常方便操作，在变焦和调整发散角时，镜头总长是一定的，可实现不同焦距的应用。

·规格：波长范围266-1090nm，放大倍数1.0-8.0，最大入射孔径 1 0 . 0 - 1 0 . 5mm 0·用途：一般情况下，可通过马达接头由PC远程控制放大率，发散角需要手动调节，实现不同焦距的应用。

7）增强强动力可变倍熔石英扩束镜

·规格：波长范围 2 6 6 - 1 0 9 0 \mathsf { n m } ，放大倍数1.0-8.0，最大入射孔径 9 . 0 \mathsf {mm } 。·用途：适用于要求比较前沿刺激的应用，全电动高精度系统，工业应用可充分利用其卓越的发散角和放大率调节的重复性和可靠性。

2.4.3.非球面镜片

应用于非常多的光学系统内，主要优点有降低球差，大孔径，质量轻，低损耗和不产生虚影。由于本身的高纯度的石英材质和低吸收膜可降低热效应。目前，最大尺寸可做到 1 8 0 \mathsf {mm } ，焦距长度范围 2 0 \mathsf {mm } - 2 0 0 \mathsf {mm } 之间，可用于聚焦和瞄准。

1）带框熔石英精密非球面透镜

2）无框熔石英精密非球面透镜

0

·规格：波长范围515-1980nm，焦距
20-204.6mm，外框尺寸有36mm，
41mm，56mm三种。·用途：该镜头适合聚焦和瞄准，可用于高功率和光纤激光应用。

·规格：波长范围515-1980nm，焦距20-204.6mm。·用途：随着非球面镜在光学系统里的广泛应用，对于高数值孔径的光学系统要求更高的分辨率，高输出的非球面偏差要小于0.05umRMSi。用于高分辨要求，可支持定制品。

3）无框熔石英标准非球面透镜

·规格：波长范围515-1980nm，焦距20-82.7mm。
·用途：对于焦长在 \scriptstyle 1 0 0 { \mathsf {mm } } 以内，可提供对于非球面公差要求不是很高的标准系列产品，偏差小于0.25umRMSi。可用于大光斑高功率的光纤和多模激光应用。

2.4.4.组合式聚焦镜头

多级镜片组合可优化镜头成像误差，对于非扫描应用，可提供精密的聚焦性能。单色光学系统只在特定波长进行修正，空气间隙的石英材质镜头非常适合高功率激光的准直和聚焦。消色差光学系统需要由多种玻璃材质和不同偏差的镜头组成，又由于组件往往是粘合在一起的，降低了损失阈值，所以只能应用于平均功率低于200W的激光应用。

1）带框空气隙熔石英聚焦镜头

·规格：波长范围266-1090nm，焦距 2 3 . 8 - 2 4 9 . 8 \mathsf {mm } 0·用途：用于光路聚焦，可拆卸

2）双胶合光学玻璃聚焦镜头

·规格：波长范围 1 0 6 4 \mathsf { n m } ，焦距 2 5 - 3 1 0 {mm } 0·用途：用于消除光学色差，体积小方便组合。

2.5.Semrock滤光片

美国 Semrock公司专业生产滤光片，具有大量设计专利和技术，已经成为生命科学行业的滤光片的标准，是目前市场上先进的光谱滤光器生产公司。

产品主要应用于DNA测序、荧光显微镜和成像、高通量筛选、点护理诊断、拉曼和FTIR光谱、光学断层相干扫描等。

Semrock通过硬涂层能极大地提高滤光片的光学损伤阈值。常规滤光片在8W 1 0 m ^ { 2 } 连续曝光一天，传输下降了 42 % 。相比之下，Semrock滤光片能保持不变。在以1W/cm²的强度照射，常规镜片在300小时后出现故障，无法滤光，而即使经过超过100小时的曝光，Semrock 滤光片也不会改变。

2.5.1.单带/单边滤光片

此类滤光片通常具备一个通过／截止带或边沿，为最常用的滤光片。

1）单带通滤光片

此类滤光片通常具有非常宽的阻挡带宽，但中心透过率有限。

·范围： 2 2 4 \mathsf { n m } - 1 6 2 2 \mathsf { n m }
·透过率： 4 0 % - 7 0 %
·FWHM: 9 . 4 { n m } - 3 2 { n m } 不等
·圆形和方型可选
·直径： 5 - 2 5mm 边长： 5 - 2 5mm

2）激光净化滤光片

这一类滤光片具备很高的中心透过率，对于激光左右的一些杂散波长（如气体激光器的等离子线、半导体激光器的ASE等）有滤除作用。

·专门针对激光应用的滤光片，分别对于 3 7 5 \mathsf { n m } ·405nm、435nm、 4 3 9 \ : { n m } ， 4 7 3 { \mathsf { n m } } 、640nm、 7 8 5 \ : { n m } r 9 7 5 \ : { n m } 的激光。带宽：6-10nm·标准尺寸： \Phi md { p } 1 2 . 5mm x 3 . 5mm 、 \Phi 2 5 {mm } x 3 . 5 {mm } 支持定制 5mm - 3 2mm ，尺寸误差 0 . 1 \mathsf {mm }

3）窄带净化滤光片

·波长248nm-1075nm
·通过率： 4 0 % - 8 0 % 不等
·FWHM：1.7nm-4.1nm（标准），最大不超过4nm
·标准尺寸：Φ 1 2 . 5mm x 3 . 5mm 、 \Phi 2 5 {mm } x 3 . 5 {mm } 支持定制 5mm - 3 2mm ，尺寸误差 0 . 1 \mathsf {mm }

4）长通边沿滤光片

·波长： 2 2 4 \mathsf { n m } - 1 5 8 0 \mathsf { n m } ，平均透过率： > 9 0 % ·通过带宽： 2 0 0 \mathsf { n m } 左右·标准尺寸： \Phi 2 5 {mm } x 3 . 5 {mm } 支持定制： 5mm - 5 0 . 8mm

5）45°长通单边沿二向色镜

此类滤光片在荧光显微中大量使用，用于分离激发光和荧光。

·波长： 2 6 6 \mathsf { n m } - 1 0 6 4 \mathsf { n m } （20
·平均透过率： 5 9 0 %
·标准尺寸： 2 5 . 2 \ : {mm } x 3 5 . 6 \ : {mm } x 1 . 1 \ : {mm }
·支持定制： 5mm - 5 0 . 8mm

6）单带陷波滤光片

·适用波长： 4 0 5 \mathsf { n m } - 8 0 8 \mathsf { n m }
·OD带宽：9nm-41nm不等
·OD值： { > } 6 . 6
·标准尺寸： \Phi 2 5 {mm } x 3 . 5 {mm }
·支持定制 5mm - 3 2mm ，尺寸误差 0 . 1 \mathsf {mm }

7）偏振带通滤光片

·波长： 3 5 3 n m - 1 0 5 9 n m ，平均透过率： > 9 5 %
·通过带宽：10nm-43nm左右
·偏振比：1000000:1
·标准尺寸： 2 5 . 2 \ : {mm } x 3 5 . 6 \ : {mm } x 2 . 0 {mm } 、 \Phi 2 5 {mm } x 3 . 5 {mm }
·支持定制： 5mm - 2 5 . 4mm

8）宽带高反镜

·波长：350nm-1300nm
·反射率： > 9 9 %
·入射角： 0 ^ { \circ } 到 5 0 ^ { \circ } 或 4 5 ^ { \circ }
·标准尺寸： 2 5 . 2 \ : {mm } x 3 5 . 6 \ : {mm } x 1 . 1 \ : {mm }
·支持定制： 5mm - 5 0 . 8mm

9）低GDD反射镜/分光片

·波长：375nm-1100nm·反射/透射比 . 5 0 % - 5 0 % ， 3 0 % - 7 0 % 等 \mathtt { G D D } = 0 ± 1 0 fs2·标准尺寸： \Phi 2 5 . 4 {mm } x 3 . 0 {mm } 不支持定制

多带/多边滤光片具备多个透过/截止带或边沿，是一类特殊的滤光片。

1）可调谐带通滤光片

这一类滤光片通过旋转角度可以改变透过的中心波长，且能够在调谐中保持稳定的透过率和带宽。

·波长：378nm-900nm
·透过率： > 7 0 % 到 > 9 0 % 不等
·出射角： 0 ^ { \circ } 和 6 0 ^ { \circ } 带宽： 1 5 \mathsf { n m }
·标准尺寸： 2 5 . 2 \ : {mm } x 3 5 . 6 \ : {mm } x 2 . 0 \ : {mm }
·支持定制： 5mm - 5 0 . 8mm

2）5.13多带通滤光片

·提供双带通、三带通、多带通滤光片。
·波长376nm-1550nm
·带宽 1 0 n m ， 2 0 \mathsf { n m } 、 4 0 \mathsf { n m } 等透过率 { > } 9 0 % 标准尺寸 2 5 \ : {mm } x 5 . 0 \ : {mm } ·支持定制，尺寸 5mm - 5 0 . 8mm

3）45多边沿二向色分光镜

·提供双带通、三带通、多带通滤光片。
·波长395nm-659nm
·带宽 9 n m - 4 0 n m 不等透过率 > 9 0 % （204号
·标准尺寸25.2mm×35.6mm×1.1mm； 2 2 . 0 \ m x 2 9 . 0 \mm x 1 . 1 \mm ·支持定制，直径 5mm - 5 0 . 8mm 矩形 5mm - 5 5mm

4）多带陷波滤光片

·提供双带通、三带通、多带通滤光片。
·波长229nm-1064nm
·根据具体型号确定，透过率 > 9 0 %
·标准尺寸 2 5 \ : {mm } x 3 . 5 \ : {mm }
·支持定制，直径 5mm - 5 0 . 8mm 矩形 5mm - 5 0 . 8mm

5）BrightLine?单波段滤光片组

Semrock提供的紫外荧光滤光片，具有高透射率，边缘陡度和阻挡作用，与高性能可见滤光片相媲美。

该组中的滤光片是芳香族氨基酸（如色氨酸）和其他紫外线激发荧光物种成像固有荧光的理想选择，对近红外光不敏感。

6）BrightLine?多波段滤光片组

针对采用基于LED的光源，DAPI，FITC，TRITC和Cy5等优化的荧光团显微成像的滤光片组合。

·标准尺寸： \Phi 2 5 ~ {mm } x 5 . 0 ~ {mm } ， \Phi 2 5 ~ {mm } x 3 . 5 ~ {mm } 、25.2 mm x3 5 . 6 \ : {mm } x 1 . 1 \ : {mm }

·标准尺寸： \Phi 2 5 ~ {mm } x 5 . 0 ~ {mm } ， \Phi 2 5 ~ {mm } x 3 . 5 ~ {mm } 、 2 5 . 2 \ : {mm } x 3 5 . 6 \ : {mm } x 1 . 1 \ : {mm }

7）Pinkel多频段滤光片组

该滤光片是对用蓝色，绿色和红色荧光蛋白（特别是BFP，GFP和HcRed）进行三重标记的样品进行成像的理想选择。对于蓝色通道中的DAPI（或Hoechst）染色剂，以及其他绿色或红色荧光团，如绿色和红色通道中的FITC或德克萨斯红色样品也非常适用。

·标准尺寸： \Phi 2 5 ~ {mm } x 5 . 0 ~ {mm } 、 \Phi 2 5 ~ {mm } x 3 . 5 ~ {mm } 、25.2mmx3 5 . 6 \ : {mm } x 1 . 1 \ : {mm }

8）BrightLineSedat滤光片组

该9滤光片组合"Sedat"四频段专为DAPI，FITC，TRITC和 Cy5的高速成像而设计。

完整的组合包括一个具有四个单频带发射器的四频分束器，其将安装在滤光轮中，并且可以安装在LED光引擎中或安装在滤光轮中的四个单频激励器

·标准尺寸： \Phi 2 5 ~ {mm } x 5 . 0 ~ {mm } ， \Phi 2 5 ~ {mm } x 3 . 5 ~ {mm } 、25.2mmx35.6mmx 1.1mm