该页无缩略图
VUC DISS 系列
Cylinder Connection / 钢瓶接头
订购参数
垫片
堵塞和连接件
材质 订购编号 A H E
0.56
0.105
0.125 0.21
CGA/DISS
编码 订购编号 端口连接 H
总长度
F
六角平面
in.
632 ~ 642 1-1/8
712 ~ 718 1-1/4
720 ~ 728 1-1/4
VUC DISS- NNG - CGA632 - TW4 - Ni
组件选项
MV4: 1/4\" VFS 外螺纹
TW4: 1/4\" 焊接接管
TW8: 1/2\" 焊接接管
FV4：1/4\" VFS 内螺纹
N：螺母
P：堵塞
NNG：螺母+螺纹接头, 垫片
NNGP：螺母+螺纹接头, 垫片, 堵塞
Ni：镍
PC：PCTFE
CGA632 CGA64 CGA720
CGA634 CGA71 CGA722
CGA636 CGA71 CGA724
CGA638 CGA71 CGA726
CGA640 CGA71 CGA728
端口连接
垫片材质
CGA 编码
* 其他连接标准，请咨询厂家。
A
H
E
H H
* 硬度最高105维氏。
VUC-DISS-BP-63
VUC-DISS-BP-71
VUC-DISS-BP-72
堵塞
堵塞
堵塞
1.53
1.53
1.53
镍
PCTFE
VUC-DISS-G-NI
VUC-DISS-G-PC
堵塞 连接件
148
VGU/VRU/VGT/VRT 系列
压力表 / Pressure Gauge
产品特点
技术参数
产品尺寸 (mm)
VGU
VGT
VRU
VRT
VGT
Ø57.5
29.6
Ø51
80.3
10.2
S14
VRT
29.6
26.1
Ø57.5
10.2
S14
Ø58
63(2.48”)
28.5
VRU
Ø58
68.5(2.7”)
28.5
• 超高压“清洁”半导体气体应用，符合SEMI/SEMATECH标准
• 氮气净化
• 产品制造符合 VS001B 工艺规范（详见附录）
• 螺纹连接上配备保护帽
• 100%工厂校准和氦泄漏测试
• 最大速率为1x10-9 mbar I/s He
• 产品在100级无尘室测试和包装
类型:
材质
端口连接:
弹簧管:
容器:
视窗:
指针:
刻度：
表盘尺寸:
精度:
环境温度:
压力表
316L VAR，电解抛光
316L SS
304 SS
树脂
铝
psig / bar 双刻度
2”
Grade A per ASME B40.1
–40°F to 140°F (–40°C to 60°C)
149
VGU/VRU/VGT/VRT 系列
Pressure Gauge / 压力表
订购参数
VGU 系列, 径向连接, VFS接头
0~1.6/2.5/4/6/7/10/14/16/25/35/60 bar
0~23/30/60/86/100/140/200/230/350/500/860 psig
0~100/150/250/315/400 bar
0~1500/2000/3500//4500/5800 psig
Vac~1.6/2.5/4/6/7/10/14/16 bar
Vac~23/30/60/86/100/140/200/230 psig
VRU 系列, 轴向连接, VFS接头
0~1.6/2.5/4/6/7/10/14/16/25/35/60 bar
0~23/30/60/86/100/140/200/230/350/500/860 psig
0~100/150/250/315/400 bar
0~1500/2000/3500/4500/5800 psig
Vac~1.6/2.5/4/6/7/10/14/16 bar
Vac~23/30/60/86/100/140/200/230 psig
VGT 系列, 径向连接, 卡套接头
0~1.6/2.5/4/6/7/10/14/16/25/35/60 bar
0~23/30/60/86/100/140/200/230/350/500/860 psig
0~100/150/250/315/400 bar
0~1500/2000/3500//4500/5800 psig
Vac~1.6/2.5/4/6/7/10/14/16 bar
Vac~23/30/60/86/100/140/200/230 psig
VRT 系列, 轴向连接, 卡套接头
0~1.6/2.5/4/6/7/10/14/16/25/35/60 bar
0~23/30/60/86/100/140/200/230/350/500/860 psig
0~100/150/250/315/400 bar
0~1500/2000/3500/4500/5800 psig
Vac~1.6/2.5/4/6/7/10/14/16 bar
Vac~23/30/60/86/100/140/200/230 psig
VGU/VRU 系列 (超高纯VFS端口连接)
VGT/VRT 系列 (卡套端口连接)
订购编号 进气连接 压力表 (bar/psig)
订购编号 进气连接 压力表 (bar/psig)
1/4\" VFS 内螺纹
1/4\" VFS 外螺纹
1/4\"可旋转 VFS 外螺纹
1/4\" VFS 内螺纹
1/4\" VFS 外螺纹
1/4\" 可旋转 VFS 外螺纹
1/4\" VFS 内螺纹
1/4\" VFS 外螺纹
1/4\" 可旋转 VFS 外螺纹
1/4\" VFS 内螺纹
1/4\" VFS 外螺纹
1/4\" 可旋转 VFS 外螺纹
1/4\" VFS 内螺纹
1/4\" VFS 外螺纹
1/4\" 可旋转 VFS 外螺纹
1/4\" VFS 内螺纹
1/4\" VFS 外螺纹
1/4\" 可旋转 VFS 外螺纹
1/4\" 卡套接头
6mm 卡套接头
1/4\" 卡套接头
6mm 卡套接头
1/4\" 卡套接头
6mm 卡套接头
1/4\" 卡套接头
6mm 卡套接头
1/4\" 卡套接头
6mm 卡套接头
1/4\" 卡套接头
6mm 卡套接头
VGU20S-1.6/2.5/4/6/7/10/14/16/25/35/60B-FV4
VGU20S-1.6/2.5/4/6/7/10/14/16/25/35/60B-MV4
VGU20S-1.6/2.5/4/6/7/10/14/16/25/35/60B-RMV4
VGU20S-100/150/250/315/400B-FV4
VGU20S-100/150/250/315/400B-MV4
VGU20S-100/150/250/315/400B-RMV4
VGU20S-V1.6/V2.5/V4/V6/V7/V10/V14/V16B-FV4
VGU20S-V1.6/V2.5/V4/V6/V7/V10/V14/V16B-MV4
VGU20S-V1.6/V2.5/V4/V6/V7/V10/V14/V16B-RMV4
VRU20S-1.6/2.5/4/6/7/10/14/16/25/35/60B-FV4
VRU20S-1.6/2.5/4/6/7/10/14/16/25/35/60B-MV4
VRU20S-1.6/2.5/4/6/7/10/14/16/25/35/60B-RMV4
VRU20S-100/150/250/315/400B-FV4
VRU20S-100/150/250/315/400B-MV4
VRU20S-100/150/250/315/400B-RMV4
VRU20S-V1.6/V2.5/V4/V6/V7/V10/V14/V16B-FV4
VRU20S-V1.6/V2.5/V4/V6/V7/V10/V14/V16B-MV4
VRU20S-V1.6/V2.5/V4/V6/V7/V10/V14/V16B-RMV4
VGT20S-1.6/2.5/4/6/7/10/14/16/25/35/60B-T4
VGT20S-1.6/2.5/4/6/7/10/14/16/25/35/60B-T6M
VGT20S-100/150/250/315/400B-T4
VGT20S-100/150/250/315/400B-T6M
VGT20S-V2.5/V4/V16B-T4
VGT20S-V2.5/V4/V16B-T6M
VRT20S-1.6/2.5/4/6/7/10/14/16/25/35/60B-T4
VRT20S-1.6/2.5/4/6/7/10/14/16/25/35/60B-T6M
VRT20S-100/150/250/315/400B-T4
VRT20S-100/150/250/315/400B-T6M
VRT20S-V1.6/V2.5/V4/V6/V7/V10/V14/V16B-T4
VRT20S-V1.6/V2.5/V4/V6/V7/V10/V14/V16B-T6M
150
VGU20SE / VRU20SE 系列
电接点压力表 / Contact Gauge
产品尺寸 (mm)
产品特点
产品应用
• 带有电感触点的电接点压力表(KI)
• 用于监测供气压力和短缺情况
• 用于惰性、可燃性、氧化性、腐蚀性气体及气体混合物
• 产品制造符合 VS001B 工艺规范（详见附录）
• 标准表面光洁度10μin. (0.25μm) Ra
• 电线长度0.5m
• 带有NAMUR传感器
• 压力设置范围超过量程0~24%
• 产品在100级无尘室测试和包装
订购参数
技术参数
bar / psi
1/4\" VFS外螺纹 / 1/4\" VFS内螺纹
2”
±2.5%
316L
常闭
NAMUR
-25~100°C
双刻度:
连接:
尺寸:
精度:
母体材质:
功能:
输出类型:
温度:
压力控制面板可选配电接点压力表。它可实时读取电信号传输数据，与信号
箱结合使用，当压力下降至预先设定的阈值时可实现声光报警。
68.5
63
VGU 20 SE - 400
400: 0~5800psig (400bar)
250: 0~3500psig (250bar)
60: 0~870psig (60bar)
25: 0~360psig (25bar)
S: 316L EP
GU: 径向
RU: 轴向
系列 压力表
材质
VGU
VRU
151
VCG20S / VRG20S 系列
Contact Gauge / 电接点压力表
产品尺寸 (mm)
产品特点
产品应用
• 带电感接点的压力表(KI)
• 用于供气压力的监测
• 适用于惰性、可燃、氧化和腐蚀性气体及气体混合物
• 产品制造符合 VS001B 工艺规范（详见附录）
• 标准的表面光洁度 10μin. (0.25μm) Ra
• 内部是电解抛光，其它纯度标准可选
• 100%氦泄漏测试
• 产品在100级无尘室测试和包装
订购参数
技术参数
bar / psi
VFS接头
2”
Grade A per ASME B40.1
316L
常开 / 常闭
开关电压 ≤ AC 24V / DC 24V
开关电流 ≤ 0.5A
开关电源 ≤ 10VA / W
双刻度:
连接:
尺寸:
精度:
母体材质:
功能:
电气额定值：
气体控制板可选配电接点压力表。电接点压力表结合了原位读数的优点和电
信号传输的要求。结合信号盒，在压力下降的情况下产生视觉和声音报警信
号，并根据可调阈值监测管线压力。
VCG20 S - 400 - FV4 - NC
400: 0~5800psig (400bar)
250: 0~3500psig (250bar)
60: 0~870psig (60bar)
25: 0~360psig (25bar)
V4 : Vac~60psig (4 bar)
V7 : Vac~100psig (7 bar)
V10 : Vac~150psig (10 bar)
V16 : Vac~230psig (16 bar)
V25 : Vac~360psig (25 bar)
CG: 径向
RG: 轴向 压力范围
系列
S: 316L EP
材质
None: NC/NO
NC: 常闭
NO: 常开
选项
FV4: 1/4”VFS 内螺纹
RMV4: 1/4”VFS 外螺纹 (可旋转)
端口连接
VCG
Electrical Connection
Ф9.53
Ф50.7
Ф57.8
10.3
Male Nut
9/16-18UNF
9/16-18UNF
Union Nut
15.8 19
41
11
58.9
152
Ultrahigh-Purity Process Specification
半导体产品工艺规范
VS001A
一、范围
此文件对公司生产的用于半导体行业的超高纯电解抛光的不锈钢产品进行了规定，同样适用于超高纯塑料产品。此文件需要与产品
目录，技术公告和报告等一起使用，这样产品信息才完整。
二、设计
产品根据半导体行业标准，针对专门功能进行设计。产品目录、宣传资料中提到的测试-+结果都适用于下列标准：
不锈钢产品：
■ 水分分析：符合标准ASTM F 1397 “用于决定气体分配系统元件水分浓度的标准测试方法”
■ 碳氢化合物分析，符合标准ASTM F 1398 “用于决定气体分配系统元件总体碳氢化合物程度的标准测试方法”
■ 离子洁净度，符合标准ASTM F 1374 “用于决定气体分配系统元件表面离子/有机萃取物-IC/GC/FTIR的标准测试方法”
三、材料指南
由于不锈钢本身具有耐腐蚀和耐氧化的特性，因此是业内常用于气体系统的超高纯产品材料。AISI型316L（UNSS 31603）低碳不
锈钢在焊接或应力释放后能耐晶间腐蚀，因此在行业内广泛应用。
■ 不锈钢棒材符合下列标准：
＞ ASTM A479 “用于锅炉和其它压力容器的不锈和耐热棒材及型材”。
＞ ASTM A484 “用于不锈和耐热棒材、坯件及锻件的通用要求规范”。
＞ ASTM A276 “不锈和耐热棒材及型材”。
■ 塑料材料符合下列标准
＞ ASTM D3294“聚四氟乙烯树脂注塑板和注塑件的标准规范”。
＞ ASTM D4894 “聚四氟乙烯颗粒成型挤压材料”中的I型，1级聚四氟乙烯。
■ 316L 真空电弧重熔（VAR）和316L 真空感应熔炼（VIM）+真空电弧重熔（VAR）的棒材符合 SEMI F20-0305 “通用工业、高纯
和超高纯半导体制造316L不锈钢棒材、锻造、挤压成型、板材和管材元件规范”。
■ 初级炼钢工艺或是氩氧脱碳（AOD）或是真空感应熔炼（VIM）。可使用二级重熔操作，例如真空电弧重熔（VAR）以使部件获得
更好的洁净度，采用AOD+VAR处理的材料为316L VAR材料，采用VIM+VAR处理的材料为316L VIM-VAR材料。
■ 为了获得更一致的化学产品构成，我们对材料中的关键元素含量进行了规定，见表1.
表1：不锈钢中的关键元素含量规定
对不锈钢产品的验证包括但不只限于下列各项：
■ 材料符合性验证要满足ASTM A262规程A“奥氏体不锈钢晶间侵袭敏感性检测用标准程”的要求。
■ 化学成分验证要符合ASTM A751“用于钢质产品化学分析的测试方法、规程和术语”的要求。
■ 表面质量要通过超声波测试进行验证，符合ASTM E214“使用脉冲纵波反射方法的浸入式超声波测试规范”。
■ 夹杂物通过JK测试进行检测，符合ASTM E45“确定钢里夹杂物含量的标准规程，方法A”，等级基于Plate I-r。
四、制造和表面处理
在制造过程中，要对尺寸和表面抛光进行严格监控，每个机加工元件都有极好的表面抛光，平滑的过度，全清扫流道和平直的焊接
端可以将截留或产生的颗粒最小化。
■ 表面粗糙度/抛光标准基于SEMI F19 “不锈钢元件与介质接触表面条件规范”和SEMI F37 “用于气体分配系统元件确定表面粗糙
度参数的方法“流程。
■ 超高纯不锈钢产品经电解抛光处理的湿表面粗糙度Ra小于8μin（0.20μm），未经电解抛光处理的湿表面粗糙度Ra小于15μin（
0.40μm）。
■ 我司产品的粗糙度数字指SEMI F37内生产工艺的过程均值，或是代表算数平均值的粗糙度值。
元素 316 AOD 316L AOD 316L VAR 316L VIM-VAR
C 碳 0.035%～0.050% 0.015%～0.030% 0.015%～0.030% 0.015%～0.030%
S 硫 0.020%～0.030% 0.005%～0.030% 0.005%～0.012% 0.005%～0.010%
Mn 锰 1.50%～2.00% 1.00%～1.50% 1.00%～1.50% 0.15%～0.40%
153
Ultrahigh-Purity Process Specification
半导体产品工艺规范
VS001A
参数 规格 测试方法
铬 / 铁 比率>2.0
氧化铬 / 氧化铁 比率>2.0
氧化层平均厚度 ≥15A 钻式电子光谱仪（AES）
表面缺陷分析 5个样品区域内，每个区域的缺陷≤40个 电子显微镜（SEM）
外观 亮度光亮的镜面，一致的粗糙度 目视检查
电子光谱仪（ESCA）
特征 参数
电阻率 ≥17.5MΩ.cm (25℃时)
有机碳化合物 TOC <20ppb
二氧化硅 <5ppb
细菌 每100ml<10细菌数
热去离子水温度 ≥60℃
■ 表面粗糙度/抛光通过使用符合ASME B 46.1的仿形仪进行校验，测量时采用接头或阀门内孔的最大可获得长度，不包括锥形表面，
交叉点或焊接处。
五、电抛光和钝化
这部分只适用于电抛光不锈钢产品。接头和阀体与介质接触的表面都经过电抛光以提高表面条件并形成氧化铬皮耐腐蚀表面层。抛
光后，所有表面都经过钝化以去除游离铁。
■ 电抛光工艺是基于ASTM E1558“金相试样的电解抛光”, 并使用定制夹具进行处理。
■ 钝化工艺基于ASTM A380 “不锈钢零件、设备和系统的清洗、除锈和钝化”。
■ 按照表2进行电抛光和钝化的工艺验证。
表2：电抛光的验证方法和规范
六、电抛光临界点蚀温度
这部分只适用于电抛光产品。此电化学临界点蚀温度（CPT）测试以ASTM G150为基础，用于确定是否耐现场点蚀。此CPT测试在
一个固定电势上当电流密度迅速增长超过设定限制时对温度进行测试。使用氯化钠溶液，电势保持不变。临界点蚀温度应＞13℃。
七、清洁与干燥
清洁采用去离子水以限制颗粒物污染。产品要通过多个步骤的一系列热超声波清洗，去离子水冲洗和过滤干燥室进行清洁，去离子
水要符合以下标准：
■ 去离子水的特征要符合SEMI E49.7 “不锈钢系统子系统装配和测试程序指南”。
表3：去离子水特征
八、组装和测试
为了保护元件不受空气污染，元件直接从清洁系统中运送到洁净间进行组装和测试。洁净室区域的颗粒测试和分类符合ISO
14644-1 “洁净室及相关的受控环境”的Class 5等级，每立方米的空气中≥0.5μm的颗粒数量≤3520颗。
九、包装和标识
■ 包装和标识流程符合针对不锈钢产品的SEMI E49.6 “用于不锈钢系统的子系统组装和测试流程指南”的要求。
■ 标识和可追踪信息在不打开产品包装的情况下就可见。
154
Photovoltaic Process Specification
光伏产品工艺规范
VS001B
一、范围
此文件对公司生产的用于光伏行业的不锈钢产品进行了规定。此文件需要与产品目录，技术公告和报告等一起使用，这样产品信息
才完整。此文件的规定仅限于与介质气体接触的部件。
二、设计
产品根据半导体行业标准，针对专门功能进行设计。产品目录、宣传资料中提到的测试结果都适用于下列标准：
■ 水分分析：符合标准ASTM F 1397 “用于决定气体分配系统元件水分浓度的标准测试方法”
■ 碳氢化合物分析，符合标准ASTM F 1398 “用于决定气体分配系统元件总体碳氢化合物程度的标准测试方法”
■ 离子洁净度，符合标准ASTM F 1374 “用于决定气体分配系统元件表面离子/有机萃取物-IC/GC/FTIR的标准测试方法”
三、材料指南
由于不锈钢本身具有耐腐蚀和耐氧化的特性，因此是业内常用于气体系统的超高纯产品材料。AISI型316L（UNSS 31603）低碳不
锈钢在焊接或应力释放厚能耐晶间腐蚀，因此在行业内广泛应用。
不锈钢棒材符合下列标准：
■ ASTM A479 “用于锅炉和其它压力容器的不锈和耐热棒材及型材”。
■ ASTM A484 “用于不锈和耐热棒材、坯件及锻件的通用要求规范”。
■ ASTM A276 “不锈和耐热棒材及型材”。
■ SEMI F20-0305 “通用工业、高纯和超高纯半导体制造316L不锈钢棒材、锻造、挤压成型、板材和管材元件规范”。
■ 初级炼钢工艺或是氩氧脱碳（AOD）或是真空感应熔炼（VIM）。可使用二级重熔操作，例如真空电弧重熔（VAR）以使部件获得
更好的洁净度，采用AOD+VAR处理的材料为316L VAR材料，采用VIM+VAR处理的材料为316L VIM-VAR材料。
■ 为了获得更一致的化学产品构成，我们对材料中的关键元素含量进行了规定，见表1。
表1：不锈钢中的关键元素含量规定
对不锈钢产品的验证包括但不只限于下列各项：
■ 材料符合性验证要满足ASTM A262规程A“奥氏体不锈钢晶间侵袭敏感性检测用标准规程”的要求。
■ 化学成分验证要符合ASTM A751“用于钢质产品化学分析的测试方法、规程和术语”的要求。
■ 表面质量要通过超声波测试进行验证，符合ASTM E214“使用脉冲纵波反射方法的浸入式超声波测试规范”。
■ 夹杂物通过JK测试进行检测，符合ASTM E45“确定钢里夹杂物含量的标准规程，方法A”，等级基于Plate l-r。
四、制造和表面抛光
在制造过程中，要对尺寸和表面抛光进行严格监控，每个机加工元件都有极好的表面抛光，平滑的过度，全清扫流道和平直的焊接
端可以将截留或产生的颗粒最小化。
■ 表面粗糙度/抛光标准基于SEMI F19 “不锈钢元件与介质接触表面条件规范”和SEMI F37 “用于气体分配系统元件确定表面粗糙
度参数的方法“流程。
■ 超高纯不锈钢产品经电解抛光处理的湿表面粗糙度Ra小于8μin（0.20μm），未经电解抛光处理的湿表面粗糙度Ra小于15μin（
0.40μm）。
■ 我司产品的粗糙度数字指SEMI F37内生产工艺的过程均值，或是代表算数平均值的粗糙度值。
■ 表面粗糙度/抛光通过使用符合ASME B 46.1的仿形仪进行校验，测量时采用接头或阀门内孔的最大可获得长度，不包括锥形表面，
交叉点或焊接处。
五、电抛光和钝化
这部分只适用于电抛光产品。接头和阀体与介质接触的表面都经过电抛光以提高表面条件并形成氧化铬皮耐腐蚀表面层。抛光后，
所有表面都经过钝化以去除游离铁。
■ 电抛光工艺是基于ASTM B912 “使用电抛光的不锈钢钝化标准规格”。
元素 316 AOD 316L AOD 316L VAR 316L VIM-VAR
C 碳 0.035%～0.050% 0.015%～0.030% 0.015%～0.030% 0.015%～0.030%
S 硫 0.020%～0.030% 0.005%～0.030% 0.005%～0.012% 0.005%～0.010%
Mn 锰 1.50%～2.00% 1.00%～1.50% 1.00%～1.50% 0.15%～0.40%
155
Photovoltaic Process Specification
光伏产品工艺规范
VS001B
特征 参数
电阻率 ≥12MΩ·cm（25℃时）
有机碳化合物 TOC ＜300ppb
硅石 ＜50ppb
细菌 每 100ml＜50 细菌数
■ 钝化和预电抛光清洁工艺基于ASTM A380 “不锈钢零件、设备和系统的清洗、除锈和钝化”。
■ 电抛光和钝化的验证要根据ASTM B912 “使用电抛光的不锈钢钝化标准规格”中第6部分的测试方法进行。
六、电抛光临界点蚀温度
这部分只适用于电抛光产品。此电化学临界点蚀温度（CPT）测试以ASTM G150为基础，用于确定是否耐现场点蚀。此CPT测试在
一个固定电势上当电流密度迅速增长超过设定限制时对温度进行测试。使用氯化钠溶液，电势保持不变。临界点蚀温度应＞10℃。
七、清洁与干燥
清洁采用去离子水以限制颗粒物污染。产品要通过多个步骤的一系列热超声波清洗，去离子水冲洗和过滤干燥室进行清洁，根据
ASTM G127选择清洁剂。
■ 去离子水的特征要符合ASTM D5127类型E-3 “用于电子和半导体行业的超纯水的标准规范”的规定。
表2：去离子水特征
八、组装和测试
为了保护元件不受空气污染，元件直接从清洁系统中运送到洁净间进行组装和测试。
九、包装和标识
■ 包装和标识流程符合针对不锈钢产品的SEMI E49.6 “用于不锈钢系统的子系统组装和测试流程指南”的要求。
■ 标识和可追踪信息在不打开产品包装的情况下就可见。
156
157
Conversion Factors
单位换算公式
压力
流量
密度
atm bar ft of H2O in of hg in of H2O kg/cm2
kPa mm of Hg PSI
atm
bar
ft of H2O
in of hg
in of H2O
kg/cm2
kPa
mm of Hg
PSI
cm3
/min cm3
/sec ft3
/hr ft3
/min m3
/hr m3
/min L/hr Lpm
cm3
/min
cm3
/sec
ft3
/hr
ft3
/min
m3
/hr
m3
/min
L/hr
Lpm
gms/cm3
kg/m3 lbs/ft3
lbs/in3
lbs/U.S. gal
gms/cm3
kg/m3
lbs/ft3
lbs/in3
lbs/U.S. gal
.... 1.01325 33.932 29.921 407.1827 1.0332 101.3171 760 14.696
0.98692 .... 33.4883 29.530 401.8596 1.019716 100 750.062 14.50368
0.02947 0.029891 .... 0.882646 12 0.03048 2.9890 22.4198 0.433107
0.03342 0.033864 1.1340 .... 13.6 0.034532 3.376895 25.4 0.49115
0.00246 0.002499 0.083333 0.073556 .... 0.00254 0.0249089 1.86832 0.03609
0.9678 0.980665 32.8084 28.95903 393.7008 .... 98.03922 735.5592 14.22334
0.00987 0.010 0.33456 0.29613 4.01472 0.01020 .... 7.5006 0.14504
0.00132 0.001333 0.044603 0.03937 0.535240 0.001360 0.133322 .... 0.019337
0.06805 0.068948 2.3089 2.0360 27.70851 0.070307 6.89465 51.175 ....
.... 0.0166667 0.0021189 0.0000353 0.00006 0.000001 0.06 0.001
60 .... 0.1271340 0.0021189 0.0036 0.00006 3.6 0.06
471.9474 7.865790 .... 0.0166667 0.0283168 0.0004719 28.31685 0.4719474
28,316.85 471.9474 60 .... 1.699008 0.0283168 1699.008 28.31686
16,666.67 277.7778 35.31467 0.5885777 .... 0.0166667 1000 16.66667
1,000,000 16,666.67 2118.876 35.31467 60 .... 60,000 1000
16.66667 0.2777778 0.0353147 0.0005885 0.001 0.0000167 .... 0.0166667
1000 16.66667 2.118876 0.0353147 0.06 0.001 60 ....
.... 1000 62.428 0.0361273 8.3454
0.001 .... 0.062428 3.61273 x 10-5
5.78704 x 10-4
0.0083454
0.0160185 16.018463 .... 0.13368
27.679905 27.679.9 1728 .... 231
0.1198264 119.8264 7.4805195 0.004329 ....
乘以 BY
乘以 BY
乘以 BY
158
Material Compatibility
材料兼容性
stainless steel
nickel
hastelloy
PCTFE
VESPEL
PFA
FKM
EPDM
Ammonia NH3 1 1 1 1 3 1 3 1
Argon Ar 1 1 1 1 1 1 1 1
Arsine AsH3 1 2 2 1 0 1 1 0
Boron Trichloride BCl3 2 1 1 1 2 1 1 0
Boron Trifluoride BF3 2 1 1 1 0 1 1 0
Carbon Dioxide CO2 1 1 1 1 1 1 2 2
Carbon Monoxide CO 1 2 2 1 1 1 2 2
Carbon Tetraflouride CF4 1 1 1 1 0 1 1 0
Chlorine Cl2 2 1 1 1 0 1 2 3
Diborane B2H6 1 2 0 1 0 1 0 0
Dichlorosilane SiH2Cl2 2 1 1 1 0 1 1 0
Fluorine F2 2 1 1 1 0 1 1 0
Freon 23 Trifluoromethane CHF3 1 1 1 1 0 1 1 0
Freon 116 Hexafluoroethane C2F6 1 1 0 1 0 1 1 0
Germane GeH4 1 1 1 1 0 1 1 0
Helium He 1 1 1 1 1 1 1 1
Hydrogen H2 1 1 1 1 1 1 1 2
Hydrogen Bromide HBr 2 1 1 1 0 1 1 0
Hydrogen Chloride HCl 2 1 1 1 0 1 2 0
Hydrogen Fluoride HF 2 1 1 1 0 1 1 3
Hydrogen Sulfide H2S 1 1 0 1 0 1 3 1
Krypton Kr 1 1 1 1 1 1 1 1
Methane CH4 1 1 0 1 1 1 3 2
Methyl Fluoride CH3F 1 1 0 1 0 1 1 0
Nitric Oxide NO 1 1 1 1 0 1 1 0
Nitrogen N2 1 1 1 1 1 1 1 1
Nitrogen Trifluoride NF3 1 1 1 1 0 1 1 0
Nitrous Oxide N2O 1 1 1 2 1 2 1 1
Neon Ne 2 2 1 1 1 1 1 1
Oxygen O2 1 1 1 1 1 1 1 1
Ozone O3 2 2 1 1 0 1 2 1
Perflouropropane C3F8 1 1 1 1 1 1 1 0
Phosphine PH3 1 2 2 1 1 1 1 0
Phosphorus Trifluoride PF3 2 1 1 1 0 1 0 0
Silane SiH4 1 1 1 1 1 1 1 2
Silicon Tetrachloride SiCl4 2 1 1 1 0 1 0 0
Silicon Tetrafluoride SiF4 2 1 1 1 0 1 0 1
Sulfur Hexafluoride SF6 1 1 1 1 0 1 1 1
Tetraethyl Orthosilicate TEOS 1 1 1 1 0 1 0 0
Trichlorosilane SiHCl3 2 1 1 1 0 1 1 0
Tungsten Hexafluoride WF6 2 1 1 1 0 1 0 0
Xenon Xe 1 1 1 1 1 1 1 1
Material Compatibility
materials
metal plastic synthetic
rubber
Process Gas chemical formula
“0” no data / “1” recommend to use / “2” Part resistant, can be used / “3” Unavailable
Pressure Regulator and Valve Selection Gulde
减压阀&隔膜阀选型指南
210 VDV33 1/4\" 105 VDV32 1/4\" 10 VSR-510SH 10 VSR-510H
20 VSR-510SH HF 20 VSR-510H HF
265 VDV33 1/2\" 190 VDV32 1/2\" 40 VSR-410S 40 VSR-410SH
VDV33 1/4\"
Hydrogen Fluoride
(HF) 20 VDV32 1/2\" 20 VDV32 1/2\" 5 VSR-410S-VC2 5 VSR-410S-VC2
125 VDV32 1/4\" 55 VDV32 1/4\" 5 VSR-510S 5 VSR-100S
VDV33 1/4\" 40 VSR-410S 20 VSR-100S HF
215 VDV32 1/2\" 95 VDV32 1/2\" 40 VSR-410S
185 VDV33 1/4\" 90 VDV32 1/4\" 10 VSR-510S 10 VSR-100S
20 VSR-510S HF 20 VSR-100S HF
225 VDV33 1/2\" 160 VDV32 1/2\" 50 VSR-410S 50 VSR-410S
VDV33 1/4\"
210 VDV33 1/4\" 80 VDV32 1/4\" 5 VSR-510S 5 VSR-100S
40 VSR-410S 10 VSR-100S HF
260 VDV33 1/2\" 140 VDV32 1/2\" 40 VSR-410S
VDV33 1/4\"
105 VDV33 1/4\" 50 VDV32 1/4\" 20 VSR-510S 20 VSR-100S
60 VSR-410S 30 VSR-100S HF
130 VDV33 1/2\" 90 VDV32 1/2\" 60 VSR-410S
VDV33 1/4\"
245 VDV33 1/4\" 120 VDV32 1/4\" 10 VSR-510S 10 VSR-100S
20 VSR-510S HF 20 VSR-100S HF
295 VDV33 1/2\" 210 VDV32 1/2\" 40 VSR-410S 40 VSR-410S
VDV33 1/4\"
70 VDV32 1/2\" 40 VDV32 1/2\" 3 VSR-510S 3 VSR-100S
50 VSR-410S 5 VSR-100S HF
Methyl Bromide
(CH3 Br) 25 VDV32 1/2\" 15 VDV32 1/2\" 5 VSR-410S-VC2 5 VSR-410S-VC2
60 VDV32 1/2\" 45 VDV32 1/2\" 1 VSR-100S 10 VSR-410S-VC2
10 VSR-410S-VC2
200 VDV32 1/4\" 70 VDV32 1/4\" 3 VSR-510S 3 VSR-100S
50 VSR-410S 5 VSR-100S HF
350 VDV32 1/2\" 120 VDV32 1/2\" 75 VSR-210S 50 VSR-410S
75 VSR-210S
400 VDV33 1/4\" 120 VDV32 1/4\" 5 VSR-510S 5 VSR-100S
50 VSR-410S 10 VSR-100S HF
490 VDV33 1/2\" 200 VDV32 1/2\" 50 VSR-410S
VDV33 1/4\"
215 VDV33 1/4\" 110 VDV32 1/4\" 20 VSR-510S 20 VSR-100S
40 VSR-510S HF 40 VSR-100S HF
260 VDV33 1/2\" 190 VDV32 1/2\" 300 VSR-210S 100 VSR-410S
VDV33 1/4\"
250 VDV33 1/4\" 100 VDV32 1/4\" 50 VSR-510S 25 VSR-100S
50 VSR-710S 50 VSR-100S HF
400 VDV33 1/2\" 200 VDV32 1/2\" 250 VSR-510S HF 150 VSR-410S
VDV33 1/4\" 1000 VSR-210S 250 VSR-210S
1000 VDV38H 1000 VDV37 PC 300 VSR-210S HF
VDV37 M 300 1300S
VDV39 400 VSR-210S FC
1000 VSR-910S
Hydrogen Selenide
(H2 Se)
Hydrogen Selenide
Mixtures
(Nitrogen Balance)
Hydrogen Sulfide
(H2 S)
Krypton
(Kr)
Methane
(CH4)
Methanol
(CH3 OH)
Methyl Chloride
(CH3 CI)
Methysilane
(CH3 SiH3)
Nitrogen
(N2)
Neon
(Ne)
Methyl Fluoride
(CH3 F)
Hydrogen Chloride
Mixtures
(Nitrogen Balance)
气源端调压器
UA/UB/UC
最大流量
（slpm）
低压端调压器
UA/UB/UC 气体种类 最大流量
（slpm）
气源端阀门
UA/UB/UC
最大流量
（slpm）
低压端阀门
UA/UB/UC
最大流量
（slpm）
Pressure Regulator and Valve Selection Gulde
减压阀&隔膜阀选型指南
60 VDV32 1/2\" 60 VDV32 1/2\" 3 VSR-510S 3 VSR-100S
40 VSR-410S 5 VSR-100S HF
65 VDV32 1/2\" 60 VDV32 1/2\" 3 VSR-510S 3 VSR-100S
50 VSR-410S 5 VSR-100S HF
200 VDV33 1/4\" 75 VDV32 1/4\" 3 VSR-510S 8 VSR-100S
75 VSR-410S 20 VSR-100S HF
500 VDV33 1/2\" 140 VDV32 1/2\" 150 VSR-210S VS 40 VSR-410S
500 VSR-210S VS 100 VSR-210S
2500 VDV38H 750 VDV37 PC VSR-210S HF VS 160 VSR-210S HF
VDV37 M 1000 VSR-910S VS 325 VSR-210S FC
VDV39 800 VSR-910S
185 VDV33 1/4\" 90 VDV32 1/4\" 5 VSR-510S 5 VSR-100S
15 VSR-510S HF 15 VSR-100S HF
225 VDV33 1/2\" 160 VDV32 1/2\" 50 VSR-410S 50 VSR-410S
VDV33 1/4\"
75 VDV32 1/4\" 50 VDV32 1/4\" 3 VSR-510SH 5 VSR-510H
VDV33 1/4\" 50 VSR-410S 15 VSR-510H HF
150 VDV32 1/2\" 100 VDV32 1/2\" 75 VSR-210SH 30 VSR-410SH
200 VSR-210SH HF 75 VSR-210SH
300 VDV38 400 VDV37 PC 125 VSR-210SH HF
VDV37 M
VDV39 250 VSR-210SH FC
Chlorine Trifluoride
(CIF3) 20 VDV32 1/2\" 15 VDV32 1/2\" 6 VSR-410S-VC2 6 VSR-410S-VC2
185 VDV33 1/4\" 90 VDV32 1/4\" 5 VSR-710S 10 VSR-100S
20 VSR-100S HF
225 VDV33 1/2\" 160 VDV32 1/2\"
VDV33 1/4\"
Dichlorosilane
(SiH2 CI2) 20 VDV32 1/2\" 20 VDV32 1/2\" 7 VSR-410S-VC2 7 VSR-410S-VC2
70 VDV33 1/4\" 35 VDV32 1/4\" 3 VSR-510S 3 VSR-100S
5 VSR-510S HF 5 VSR-100S HF
85 VDV33 1/2\" 60 VDV32 1/2\" 25 VSR-410S 25 VSR-410S
VDV33 1/4\"
140 VDV33 1/4\" 55 VDV32 1/4\" 3 VSR-510S 3 VSR-100S
50 VSR-410S 6 VSR-100S HF
200 VDV33 1/2\" 100 VDV32 1/2\" 75 VSR-210S 50 VSR-410S
VDV33 1/4\" 75 VSR-210S
14 VDV32 1/2\" 7 VDV32 1/2\" 3 VSR-510S 3 VSR-100S
50 VSR-410S 50 VSR-410S
150 VDV37 PC 75 VDV37 PC 75 VSR-210S 75 VSR-210S
VDV37 M VDV37 M
14 VDV32 1/2\" 7 VDV32 1/2\" 1 VSR-100S 1 VSR-100S
7 VSR-410S-VC2 7 VSR-410S-VC2
380 VDV33 1/4\" 90 VDV32 1/4\" 3 VSR-510S 3 VSR-100S
50 VSR-410S 5 VSR-100S HF
485 VDV33 1/2\" 160 VDV32 1/2\" 75 VSR-210S 50 VSR-410S
VDV33 1/4\" 75 VSR-210S
Fluorine
(F2) 咨询厂商 咨询厂商 咨询厂商 咨询厂商 咨询厂商 咨询厂商 咨询厂商 咨询厂商
Butadiene (normal)
(C4 H10)
Butene-1
(C4 H8)
Carbon Dioxide
(CO2)
Carbon Monoxide
(CO)
Chlorine
(CI2)
Difluoroethylene
(C2 H2 F2)
Dimethylsilane
(C2 SiH8)
Disilane
(Si2 H6)
Ethylene
(C2 H4)
Diborane Mixtures
(Nitrogen Balance)
Diethyltelluride
(Te(C2 H5)2)
气源端调压器
UA/UB/UC
最大流量
（slpm）
低压端调压器
UA/UB/UC 气体种类 最大流量
（slpm）
气源端阀门
UA/UB/UC
最大流量
（slpm）
低压端阀门
UA/UB/UC
最大流量
（slpm）
Pressure Regulator and Valve Selection Gulde
减压阀&隔膜阀选型指南
185 VDV33 1/4\" 90 VDV32 1/4\" 5 VSR-510SH 5 VSR-510H
50 VSR-510SH HF 10 VSR-510H HF
225 VDV33 1/2\" 160 VDV32 1/2\" 50 VSR-410SH
VDV33 1/4\"
10 VDV32 1/4\" 4 VDV32 1/4\" 1 VSR-100S 1 VSR-100S
VDV33 1/4\" 7 VSR-410S-VC2 7 VSR-410S-VC2
18 VDV32 1/2\" 7 VDV32 1/2\"
185 VDV33 1/4\" 90 VDV32 1/4\" 10 VSR-510S 10 VSR-100S
20 VSR-510S HF 20 VSR-100S HF
225 VDV33 1/2\" 160 VDV32 1/2\" 50 VSR-410S 50 VSR-410S
VDV33 1/4\"
55 VDV32 1/2\" 40 VDV32 1/2\" 3 VSR-510S 3 VSR-100S
50 VSR-410S 5 VSR-100S HF
50 VSR-410S
Halocarbon 12B2
(CBr2 F2) 15 VDV32 1/2\" 15 VDV32 1/2\" 5 VSR-410SA 5 VSR-410S-VC2
140 VDV33 1/4\" 40 VDV32 1/4\" 3 VSR-510S 3 VSR-100S
50 VSR-410S 5 VSR-100S HF
170 VDV33 1/2\" 70 VDV32 1/2\" 50 VSR-410S
VDV33 1/4\"
110 VDV32 1/4\" 35 VDV32 1/4\" 3 VSR-510S 3 VSR-100S
50 VSR-410S 5 VSR-100S HF
190 VDV32 1/2\" 65 VDV32 1/2\" 50 VSR-410S
10 VDV33 1/4\" 50 VDV32 1/4\" 10 VSR-510S 5 VSR-100S
40 VSR-510S HF 15 VSR-100S HF
200 VDV33 1/2\" 100 VDV32 1/2\" 80 VSR-510S HF 30 VSR-410S
VDV33 1/4\" 500 VSR-210S 60 VSR-210S
600 VDV38H 500 VDV37 PC 100 VSR-210S HF
VDV37 M 250 VSR-210S FC
VDV39 500 VSR-910S
Halocarbon 21
(CHCI2F) 25 VDV32 1/2\" 15 VDV32 1/2\" 5 VSR-410S-VC2 5 VSR-410S-VC2
115 VDV33 1/4\" 145 VDV32 1/4\" 10 VSR-510S 10 VSR-100S
50 VSR-410S 20 VSR-100S HF
140 VDV33 1/2\" 250 VDV32 1/2\" 50 VSR-410S
VDV33 1/4\"
140 VDV33 1/4\" 55 VDV32 1/4\" 3 VSR-510S 3 VSR-100S
50 VSR-410S 6 VSR-100S HF
175 VDV33 1/2\" 100 VDV32 1/2\" 75 VSR-210S 50 VSR-410S
75 VSR-210S
30 VDV32 1/2\" 25 VDV32 1/2\" 7 VSR-410S-VC2 1 VSR-100S
7 VSR-410S-VC2
60 VDV32 1/2\" 40 VDV32 1/2\" 3 VSR-510S 3 VSR-100S
50 VSR-410S 5 VSR-100S HF
75 VSR-210S 50 VSR-410S
75 VSR-210S
60 VDV33 1/4\" 40 VDV32 1/4\" 3 VSR-510S 3 VSR-100S
50 VSR-410S 10 VSR-100S HF
100 VDV33 1/2\" 80 VDV32 1/2\" 75 VSR-210S 25 VSR-410S
VDV33 1/4\" 125 VSR-210S HF 50 VSR-210S
275 VDV38 400 VDV37 PC 90 VSR-210S HF
VDV37 M
VDV39 175 VSR-210S FC
450 VSR-910S
Halocarbon 115
(C2 CIF5)
Halocarbon 116
(C2 F6)
Halocarbon 13B1
(CBrF3)
Halocarbon 14
(CF4)
Halocarbon 23
(CHF3)
Halocarbon 32
(CH2 F2)
Halocarbon 114
(C2 CIF4)
Germane
(GeH4)
Germane Mixtures
（Nitrogen Balance)
Halocarbon 12
(CCI2 F2)
Halocarbon 13
(CCIF3)
Fluorine Mixtures
(20% maximum F2)
气源端调压器
UA/UB/UC
最大流量
（slpm）
低压端调压器
UA/UB/UC 气体种类 最大流量
（slpm）
气源端阀门
UA/UB/UC
最大流量
（slpm）
低压端阀门
UA/UB/UC
最大流量
（slpm）
Pressure Regulator and Valve Selection Gulde
减压阀&隔膜阀选型指南
60 VDV32 1/2\" 60 VDV32 1/2\" 4 VSR-510S 4 VSR-100S
45 VSR-410S 6 VSR-100S
75 VDV33 1/4\" 60 VDV32 1/4\" 5 VSR-510S 6 VSR-100S
60 VSR-410S 15 VSR-100S HF
100 VDV33 1/2\" 110 VDV32 1/2\" 150 VSR-410S 30 VSR-410S
VDV33 1/4\" 400 VSR-210S 75 VSR-210S
350 VDV38H 500 VDV37 PC 1000 VSR-910S 125 VSR-210S HF
VDV38H VDV37 M 250 VSR-210S FC
VDV39 600 VSR-910S
310 VDV33 1/4\" 75 VDV32 1/4\" 3 VSR-510S 3 VSR-100S
50 VSR-410S 6 VSR-100S HF
380 VDV33 1/2\" 125 VDV32 1/2\" 75 VSR-210S 50 VSR-410S
VDV33 1/4\" 75 VSR-210S
300 VDV33 1/4\"VS 70 VDV32 1/4\" VS 3 VSR-510S VS 8 VSR-100S VS
60 VSR-410S VS 20 VSR-100S HF VS
500 VDV33 1/2\"VS 140 VDV32 1/2\" VS 100 VSR-210S VS 35 VSR-410S VS
150 VSR-210S HF VS 85 VSR-210S VS
1500 VDV38 VS 750 VDV37 PC VS 500 VSR-210S HF VS 160 VSR-210S HF VS
VDV37 M VS 1000 VSR-910S VS 320 VSR-210S FC VS
VDV39 VS 800 VSR-910S VS
250 VDV33 1/4\" 75 VDV32 1/4\" 10 VSR-510S 10 VSR-100S
80 VSR-510S HF 25 VSR-100S HF
400 VDV33 1/2\" 150 VDV32 1/2\" 150 VSR-510S HF 50 VSR-410S
VDV33 1/4\" 1000 VSR-210S 120 VSR-210S
1000 VDV37 PC 200 VSR-210S HF
VDV37 M 400 VSR-210S FC
VDV39 1000 VSR-910S
70 VDV32 1/4\" 35 VDV32 1/4\" 2 VSR-510S 2 VSR-100S
VDV33 1/4\" 20 VSR-410S 4 VSR-100S HF
125 VDV32 1/2\" 60 VDV32 1/2\" 20 VSR-410S
Perfluorobutadiene
(C4 F6) 25 VDV32 1/2\" 25 VDV32 1/2\" 5 VSR-410S-VC2 5 VSR-410S-VC2
320 VDV33 1/4\" 80 VDV32 1/4\" 5 VSR-510S 5 VSR-100S
40 VSR-410S 10 VSR-100S HF
390 VDV33 1/2\" 145 VDV32 1/2\"
VDV33 1/4\"
185 VDV33 1/4\" 90 VDV32 1/4\" 10 VSR-510S 10 VSR-100S
20 VSR-510S HF 20 VSR-100S HF
225 VDV33 1/2\" 160 VDV32 1/2\"
VDV33 1/4\"
15 VDV33 1/4\" 5 VDV32 1/4\" 10 VSR-510S 10 VSR-100S
20 VSR-510S HF 20 VSR-100S HF
19 VDV33 1/2\" 9 VDV32 1/2\"
VDV33 1/4\" 52 VDV37 PC
41 VDV38H VDV37 M
VDV39
65 VDV32 1/4\" 42 VDV32 1/4\" 3 VSR-510S 3 VSR-100S
VDV33 1/4\" 50 VSR-410S 5 VSR-100S HF
115 VDV32 1/2\" 75 VDV32 1/2\" VSR-210S 50 VSR-410S
Propane
(C3 H8)
Nitric Oxide
(NO)
Phosphine Mixtures
(Nitrogen Balance)
Nitrous Oxide
(N2O)
Oxygen
(O2)
Perfluoropropane
(C3 F8)
Phosphine
(PH3)
Phosphorous
Pentafluoride
(PF5)
Nitrogen Dioxide
(NO2)
气源端调压器
UA/UB/UC
最大流量
（slpm）
低压端调压器
UA/UB/UC 气体种类 最大流量
（slpm）
气源端阀门
UA/UB/UC
最大流量
（slpm）
低压端阀门
UA/UB/UC
最大流量
（slpm）
Nitrogen Trifluoride
(NF3)
Pressure Regulator and Valve Selection Gulde
减压阀&隔膜阀选型指南
200 VDV33 1/4\" 25 VDV32 1/4\" 3 VSR-510S 3 VSR-100S
45 VDV32 1/2\" 50 VSR-410S 6 VSR-100S HF
280 VDV33 1/2\" 400 VDV37 PC 75 VSR-210S 50 VSR-410S
VDV37 M 75 VSR-210S
VDV39 95 VSR-210S HF
150 VDV33 1/4\" 90 VDV32 1/4\" 30 VSR-510S 30 VSR-100S
160 VDV32 1/2\" 100 VSR-510S HF 50 VSR-100S HF
250 VDV33 1/2\" VDV37 M 200 VSR-410S 150 VSR-410S
890 VDV37 PC 800 VSR-210S 400 VSR-210S
500 VDV33 1/2\" VDV37 M 600 VSR-210S HF
VDV39
250 VDV32 1/4\" 100 VDV32 1/4\" 5 VSR-510S 5 VSR-100S
VDV33 1/4\" 50 VSR-410S 30 VSR-100S HF
450 VDV32 1/2\" 225 VDV32 1/2\" 75 VSR-210S 60 VSR-410S
400 VSR-210S 125 VSR-210S
1000 VDV38 1000 VDV37 PC 600 VSR-210S HF 250 VSR-210S HF
VDV37 M 1100 VSR-910S 500 VSR-210S FC
VDV39 1000 VSR-910S
200 VDV33 1/4\" 80 VDV32 1/4\" 10 VSR-510S 10 VSR-100S
100 VSR-510S HF 25 VSR-100S HF
350 VDV33 1/2\" 150 VDV32 1/2\" 250 VSR-510S HF 50 VSR-410S
VDV33 1/4\" 600 VSR-210S 100 VSR-210S
1000 VDV38H 800 VDV37 PC 200 VSR-210S HF
VDV37 M 400 VSR-210S FC
VDV39 1000 VSR-910S
140 VDV32 1/4\" 55 VDV32 1/4\" 5 VSR-510S 5 VSR-100S
VDV33 1/4\" 40 VSR-410S 20 VSR-100S HF
240 VDV32 1/2\" 95 VDV32 1/2\"
185 VDV33 1/4\" 90 VDV32 1/4\" 15 VSR-510S 15 VSR-100S
50 VSR-510S HF 50 VSR-100S HF
225 VDV33 1/2\" 160 VDV32 1/2\" 150 VSR-410S 150 VSR-410S
VDV33 1/4\"
Boron Trichloride
(BCI3) 20 VDV32 1/2\" 15 VDV32 1/2\" 6 VSR-410S-VC2 6 VSR-410S-VC2
185 VDV33 1/4\" 90 VDV32 1/4\" 15 VSR-510S 15 VSR-100S
60 VSR-410S 30 VSR-100S HF
225 VDV33 1/2\" 160 VDV32 1/2\" 60 VSR-410S
VDV33 1/4\"
115 VDV33 1/4\" 60 VDV32 1/4\" 5 VSR-510S 5 VSR-100S
25 VSR-410S 10 VSR-100S HF
145 VDV33 1/2\" 100 VDV32 1/2\" 25 VSR-410S
VDV33 1/4\"
115 VDV33 1/4\" 60 VDV32 1/4\" 5 VSR-510S 5 VSR-100S
25 VSR-410S 10 VSR-100S HF
145 VDV33 1/2\" 100 VDV32 1/2\" 25 VSR-410S
VDV33 1/4\"
60 VDV32 1/2\" 60 VDV32 1/2\" 3 VSR-510S 3 VSR-100S
40 VSR-410S 5 VSR-100S HF
Boron Trifluoride
(BF3)
Boron 11 Trifluoride
(11BF3)
Butadiene
(C4 H6)
Arsine Mixtures
(Nitrogen Balance)
Acetylene
（C2 H2）
Air
Ammonia
（NH3）
Argon
（Ar)
Arsine
（AsH3)
Boron Trichloride Mix
(Nitrogen Balance)
气源端调压器
UA/UB/UC
最大流量
（slpm）
低压端调压器
UA/UB/UC 气体种类 最大流量
（slpm）
气源端阀门
UA/UB/UC
最大流量
（slpm）
低压端阀门
UA/UB/UC
最大流量
（slpm）
Pressure Regulator and Valve Selection Gulde
减压阀&隔膜阀选型指南
180 VDV32 1/2\" 70 VDV32 1/2\" 3 VSR-510S 3 VSR-100S
25 VSR-410S 5 VSR-100S HF
75 VSR-210S 25 VSR-410S
75 VSR-210S
55 VDV32 1/2\" 40 VDV32 1/2\" 3 VSR-510S 3 VSR-100S
VDV38 50 VSR-410S 5 VSR-100S HF
75 VSR-210S 50 VSR-410S
350 VDV37 PC 230 VDV37 PC 75 VSR-210S
VDV37 M VDV37 M
35 VDV32 1/4\" 20 VDV32 1/4\" 3 VSR-510S 3 VSR-100S
VDV33 1/4\" 50 VSR-410S 5 VSR-100S HF
60 VDV32 1/2\" 40 VDV32 1/2\" 75 VSR-210S 50 VSR-410S
75 VSR-210S
Halocarbon C318
(C4 F8) 25 VDV32 1/2\" 20 VDV32 1/2\" 6 VSR-410S-VC2 6 VSR-410S-VC2
Halocarbon C1418
(Octafluorocyclopentene)
(C5 F8)
7 VDV32 1/2\" 7 VDV32 1/2\" 3 VSR-410S-VC2 N/A 不需要调节阀
750 VDV33 1/4\" 250 VDV32 1/4\" 125 VSR-510S 65 VSR-100S
500 VSR-510S HF 125 VSR-100S HF
1000 VDV33 1/2\" 450 VDV32 1/2\" 2000 VSR-210S 275 VSR-410S
625 VSR-210S
2500 VDV38H 2500 VDV37 PC 900 VSR-210S HF
VDV37 M 1200 VSR-210S FC
VDV39 2500 VSR-910S
Hexafluoropropane
(C3 H2 F6) 20 VDV32 1/2\" 15 VDV32 1/2\" 6 VSR-410S-VC2 6 VSR-410S-VC2
60 VDV32 1/2\" 40 VDV32 1/2\" 3 VSR-510S 3 VSR-100S
50 VSR-410S 5 VSR-100S HF
75 VSR-210S 50 VSR-410S
75 VSR-210S
800 VDV33 1/4\" 300 VDV32 1/4\" 125 VSR-510S 65 VSR-100S
500 VSR-510S HF 125 VSR-100S HF
1600 VDV33 1/2\" 600 VDV32 1/2\" 1200 VSR-210S 275 VSR-410S
VDV33 1/4\" 625 VSR-210S
3000 VDV33 1/4\" 3000 VDV33 1/4\" 900 VSR-210S HF
VDV38H VDV37 PC
VDV37 M 1200 VSR-210S FC
VDV39 3000 VSR-910S
155 VDV33 1/4\" 55 VDV32 1/4\" 1 VSR-510SH 1 VSR-510H
30 VSR-410S 2 VSR-510H HF
190 VDV33 1/2\" 95 VDV32 1/2\" 50 VSR-210SH 30 VSR-410S
VDV33 1/4\" 50 VSR-210SH
350 VDV33 1/4\" 75 VDV32 1/4\" 2 VSR-510SH 8 VSR-510H
90 VSR-410S 20 VSR-510H HF
500 VDV33 1/2\" 150 VDV32 1/2\" 150 VSR-210SH 40 VSR-410SH
VDV33 1/4\" 600 VSR-210SH HF 85 VSR-210SH
2000 VDV38 850 VDV37 PC 2000 VSR-910S 160 VSR-210SH HF
VDV37 M 300 VSR-210SH FC
VDV39 800 VSR-910SH
Halocarbon 134A
(C2 H2 F4)
Halocarbon R218
(C2 F8)
Hydrogen
(H2)
Hydrogen Bromide
(HBr)
Hydrogen Chloride
(HCI)
Helium
(He)
Hexafluoropropylene
(C3 F6)
Halocarbon 125
(C2 HF5)
气源端调压器
UA/UB/UC
最大流量
（slpm）
低压端调压器
UA/UB/UC 气体种类 最大流量
（slpm）
气源端阀门
UA/UB/UC
最大流量
（slpm）
低压端阀门
UA/UB/UC
最大流量
（slpm）
产品保修服务
1. 保修期
自交付起1年，在此期间，如果交付的产品因达不到交货规格而发生故障，本公司将免费维修或更换产品。
2. 保修范围
● 保修范围仅限本公司工厂制作并交付的本公司产品。
● 无论是否在保修期内，本公司均不承担故障或事故补偿，以及对于客户的机会损失、利润损失、二次损失，对本公司产品以外造成
的损伤及客户的更换作业、当地机械设备的重新调整及试运行工作的补偿。
【免责事项】
以下情况即使在保修期内也不予保修：
1）非本公司人员更换交付产品的部件等（维修）后发生的故障。
2）天灾或不可抗力所造成的故障。
3）操作错误或操作疏忽所造成的故障。
4）使用或存放环境不当。
5）在设计规格条件的范围外使用，或对交付产品进行改造、用于非指定目的。
6）外部因素及腐蚀性流体所造成的腐蚀或故障。
7）经判断不属于本公司责任的其他情况。
Website : www.vigourco.com
Add：上海市松江区北松公路5355弄26#2层
Phone：(86) 021-6760 1819
Email：info@vigourco.com
扫码获取产品电子目录！
© 2026 VUPS Catalog CN Ver 5.0 CATA# VIGOUR® 保留所有权利。
关注我们，获取更多VIGOUR资讯！
