VIGOUR 气体控制解决方案产品目录 - 电子画册在线预览、各类电子画册在线制作-云展网平台

Gas

Control

Solutions

ULTRA HIGH PURITY GAS SYSTEM

超高纯产品系列

VUPS

Elgiloy ®

is registered trademark of Elgiloy Specialty Metals.

Vespel® is registered trademark of Dupont Specialty Metals.

Hastelloy®

is registered trademark of Haynes International,Inc.

Viton®

and Kalrez®

are registered trademarks of Dupont.

气体终端面板

VUP 系列

P114~116

p114~116

过滤器

VUF 系列

VFH 系列

P117~119

p117~118

p119

垫片式过滤器

VUGF 系列

P120

p120

流量开关

VEFS1 系列

VEFS2 系列

P121~123

p121

p122~123

可调式单向阀

VCA 系列

P113

p113

单向阀

VCVH 系列

P112

p112

微焊接组件

VMW 系列

P138~141

p138~141

VFS 面密封组件

VVR 系列

HVVR 系列

P124~137

p124~134

p135~137

焊接管组件

VTW 系列

P142~144

p142~144

焊接管联接件

VWR系列

P145

p145

钢瓶接头

VUC 系列

VUC DISS 系列

P146~148

p146

p147~148

工艺规范 P153~156

压力表 P149~152

全焊接单向阀

VUCV 系列

P111

p111

真空发生器

VVG 系列

VVGV1 系列

VVGV2 系列

P105~110

p105~106

p107~108

p109~110

超高纯减压器

VSR-50UB / UC 系列

VSR-100UB / UC 系列

VSR-1000UB / UC 系列

VSR-210UB / UC 系列

VSR-410UB / UC 系列

VSR-510UB / UC 系列

VSR-610UB / UC 系列

VSR-710UB / UC 系列

VSR-910UB 系列

VSR-911UB 系列

VSR-920UB / UC 系列

VSR-930UB 系列

P1~42

p1~4 p5~8 p9~12 p13~16

p17~20

p21~24

p25~28

p29~32

p33~34

p35~36

p37~40

p41~42

波纹管密封计量阀

VBMV 系列

P99~100

p99~100

原子层沉积阀

VALD 系列

P104

p104

计量阀

VMV 系列

P101~103

p101~103

波纹管阀

VUBV 系列

VUBV2 系列

P95~98

p95~96

p97~98

隔膜阀

VDV32UB / UC 系列

VDV33UB / UC 系列

VDV40UB / UC 系列

VDV42UB / UC 系列

VDV52UB / UC 系列

VDV22UB 系列

VDV36UB / UC 系列

VDV46UB / UC 系列

VDV48UB / UC 系列

VDV37UB / UC 系列

VDV38UB / UC 系列

VDV39UB 系列

P43~94

p43~48

p49~56

p57~60

p61~64

p65~69

p70

p71~74

p75~78

p79~82

p83~86

p87~92

p93~94

单级式减压器 / Single Stage Pressure Regulator

VSR-50UB 系列

产品特点

产品尺寸 (mm)

技术参数

流量图

类型：

进气压力：

出气压力：

表面光洁度：

材质

母体：

阀座：

膜片：

进/出气连接：

温度适用：

泄漏率：

流量参数：

供压效应：

重量：

单级式减压

150 psig (10bar)

Vac to 10/30/60/100 psig (0.7/2/4/7bar)

10μin. Ra (25μin. Ra 可选)

详见订购参数

PCTFE (Vespel® 可选)

Hastelloy® C276

1/4”VFS接头或焊接接管

-40oF to +160oF (-40oC to +71oC)

<1x10-9 mbar·l/s He (外部)

<1x10-8 mbar·l/s He (内部)

Cv=0.06 (Cv=0.1 可选)

Cv=0.06 进气压力每下降20 psig 出气压力上升0.2 psig；

Cv=0.1 进气压力每下降20 psig 出气压力上升0.4 psig

约 0.5kg (取决于连接或选项)

• 单级式减压器

• 表面光洁度 10μin. Ra (25μin. Ra 可选)

• 内部体积小，吹扫时间短

• 使用材质符合 ASTM A479 / A484 / A276 标准

• 流量：15 slpm (标准)，30 slpm (HF选项)

• 100%氦气泄漏检测 84.3

70.6

11.2

45o

28.4

28.4 2-M5- 6.4

Ф25.4

进气压力

100psig [6.8bar] 30psig [2.0bar]

5 (0.3)

10 (0.6)

15 (1.0)

20 (1.3)

25 (1.7)

30 (2.0)

35 (2.4)

0 2 4 6 8 10

出气压力 psig (bar)

流量 (slpm 氮气)

进气压力

75psig [5.1bar]

45psig [3.1bar] 30psig [2.0bar]

5 (0.3)

10 (0.6)

15 (1.0)

20 (1.3)

25 (1.7)

30 (2.0)

35 (2.4)

0 10 20 30 40 50 60 70 80

出气压力 psig (bar)

流量 (slpm 氮气)

Single Stage Pressure Regulator / 单级式减压器

VSR-50UB 系列

订购参数

订购举例

* 其它连接标准，请咨询生产商。

VSR - 50UBS - 10 - 7 - 3P - 1 - 2 - 3 - R25 - HF - VS - P

VSR - 50UBS - 10 - 7- 3P - FV4 - P - FV4

1 - 2 - 3

FV4：1/4\" VFS 螺纹

MV4：1/4\" VFS 螺纹

TW4：1/4\" 焊接接管

P：压力表 (1/4\" VFS接口)

材质

进气压力

10：150 psig

Cv 选项

空白：Cv=0.06

HF：Cv=0.1

表面光洁度

空白：10 μin. Ra

R25：25 μin. Ra

母体孔位

2P：2 孔

3P：3 孔

进/出气连接

阀座选项

空白： PCTFE

VS：Vespel®

工艺规范

空白：VS001B

P：VS001A

S：316L 本体

SHP：316L 本体和喷嘴

Hastelloy® C22 阀杆

*所有选项里的膜片材质均为 Hastelloy® C276。

出气压力

V0.7：Vac to 10 psig *

V2：Vac to 30 psig

V4：Vac to 60 psig

V7：Vac to 100 psig

0.7：to 10 psig *

2：to 30 psig

4：to 60 psig

7：to 100 psig

* 带V选项均不可调节负压，

仅由压力表显示负压。

* 详情请参阅附录。

2 1

3 1

2 2P 1

* 压力表

3 3P 1

2 *

接口形式选择

单级式减压器 / Single Stage Pressure Regulator

VSR-50UC 系列

产品特点

产品尺寸 (mm)

技术参数

流量图

类型：

进气压力 P1：

出气压力 P2：

表面光洁度：

材质

母体：

阀座：

膜片：

进/出气连接：

温度适用：

泄漏率：

流量参数：

供压效应：

重量：

单级式减压

150 psig (10bar)

Vac to 10/30/60/100 psig (0.7/2/4/7bar)

10μin Ra Average

(10μin. Ra Max / 7μin. Ra Max / 5μin. Ra Max 可选)

详见订购参数

PCTFE (Vespel® 可选)

Hastelloy® C276

1/4”VFS接头或焊接接管

-40oF to +160oF (-40oC to +71oC)

<1x10-9 mbar·l/s He (外部)

<1x10-8 mbar·l/s He (内部)

Cv=0.06 (Cv=0.1 可选)

Cv=0.06 进气压力每下降20 psig 出气压力上升0.2 psig；

Cv=0.1 进气压力每下降20 psig 出气压力上升0.4 psig

约 0.5kg (取决于连接或选项)

• 单级式减压器

• 表面光洁度 10μin. Ra Average

(10μin. Ra Max / 7μin. Ra Max / 5μin. Ra Max 可选)

• 内部体积小，吹扫时间短

• 使用材质符合 ASTM A479 / A484 / A276 标准

• 流量：15 slpm (标准)，30 slpm (HF选项)

• 100%氦气泄漏检测 84.3

70.6

11.2

45o

28.4

28.4 2-M5- 6.4

Ф25.4

进气压力

100psig [6.8bar] 30psig [2.0bar]

5 (0.3)

10 (0.6)

15 (1.0)

20 (1.3)

25 (1.7)

30 (2.0)

35 (2.4)

0 2 4 6 8 10

出气压力 psig (bar)

流量 (slpm 氮气)

进气压力

75psig [5.1bar]

45psig [3.1bar] 30psig [2.0bar]

5 (0.3)

10 (0.6)

15 (1.0)

20 (1.3)

25 (1.7)

30 (2.0)

35 (2.4)

0 10 20 30 40 50 60 70 80

出气压力 psig (bar)

流量 (slpm 氮气)

母体孔位

2P：2 孔

3P：3 孔

出气压力

V0.7：Vac to 10 psig *

V2：Vac to 30 psig

V4：Vac to 60 psig

V7：Vac to 100 psig

0.7：to 10 psig *

2：to 30 psig

4：to 60 psig

7：to 100 psig

* 带V选项均不可调节负压，

仅由压力表显示负压。

Single Stage Pressure Regulator / 单级式减压器

VSR-50UC 系列

订购参数

订购举例

* 其它连接标准，请咨询生产商。

VSR - 50UCSLV - 10 - 7- 3P - FV4 - P - FV4

1 - 2 - 3

进/出气连接

2 1

2 2P 1

* 压力表

3 3P 1

2 *

接口形式选择

3 1

VSR - 50UC SLV- 10 - 7 - 3P - 1 - 2 - 3 - R5 - HF - VS - P

材质

进气压力

10：150 psig Cv 选项

空白：Cv=0.06

HF：Cv=0.1

表面光洁度

空白：10 μin. Ra

R7：7 μin. Ra

R5：5 μin. Ra

阀座选项

空白： PCTFE

VS：Vespel®

工艺规范

SLV：316L 二次熔炼本体 P：VS001A

SHP：316L 本体和喷嘴

Hastelloy® C22 阀杆

*所有选项里的膜片材质均为 Hastelloy® C276。

* 详情请参阅附录。

FV4：1/4\" VFS 螺纹

MV4：1/4\" VFS 螺纹

TW4：1/4\" 焊接接管

P：压力表 (1/4\" VFS接口)

单级式减压器 / Single Stage Pressure Regulator

VSR-100UB 系列

产品特点

产品尺寸 (mm)

技术参数

流量图

类型：

进气压力：

出气压力：

表面光洁度：

材质

母体：

阀座：

膜片：

进/出气连接：

阀盖端口：

温度适用：

泄漏率：

流量参数：

供压效应：

重量：

单级式减压

Max. 3500 psig (250bar)

Vac to 10/30/60/100/150 psig (0.7/2/4/7/10bar)

10μin. Ra (25μin. Ra 可选)

详见订购参数

PCTFE (Vespel® 可选)

Hastelloy® C276

1/4”3/8” VFS接头或焊接接管

1/8”NPT (面板安装时，上盖端口不是螺纹连接)

-40oF to +160oF (-40oC to +71oC)

<1x10-9 mbar·l/s He (外部)

<1x10-8 mbar·l/s He (内部)

Cv=0.09 (Cv=0.15 可选)

Cv=0.09 进气压力每下降100 psig 出气压力上升0.35 psig

Cv=0.15 进气压力每下降100 psig 出气压力上升0.5 psig

约 1.35kg (取决于连接或选项)

• 单级式减压器

• 表面光洁度 10μin. Ra (25μin. Ra 可选)

• 内部无死角

• 使用材质符合 ASTM A479 / A484 / A276 标准

• 流量：30slpm (标准)，120slpm (HF选项)

• 压力控制精准

• 硬密封结构

• 100%氦气泄漏检测

2-M5

22.2

A 端口连接

FV4

MV4

inch (mm)

3.70 (94.0)

TW4 2.96 (75.2)

FV6

MV6 4.70 (119.4)

TW6 2.96 (75.2)

Ø50.8

最大 140

17.5

Ø54

2孔

2-M5

22.2

Ø55

3孔或 4孔

Cv=0.09 流量 (slpm 氮气)

进气压力

3500psig(241bar) 200psig(14bar)

10(0.7)

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.4)

60(4.1)

70(4.8)

80(5.5)

90(6.2)

100(6.9)

0 0 100 200 300 400 500

出气压力 psig (bar)

Cv=0.09 流量 (slpm 氮气)

进气压力

100psig(6.9bar)

80psig(5.5bar)

40psig(2.8bar)

20psig(1.4bar)

10(0.7)

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.5)

0 20 40 60 80

出气压力 psig (bar)

进气压力

10(0.7)

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.5)

0 20 40 60 80

Cv=0.15 流量 (slpm 氮气)

60(4.1)

出气压力 psig (bar)

100psig(6.9bar)

80psig(5.5bar)

40psig(2.8bar)

20psig(1.4bar)

Single Stage Pressure Regulator / 单级式减压器

VSR-100UB 系列

订购参数

订购举例

* 压力表

2 2 1

3P 1

4 4P 1

2 * 3 *

* 其它连接标准，请咨询生产商。

VSR - 100UBPS - 250 - 10 - 4P - 1 - 2 - 3 - 4 - R25 - HF - VS - P

FV4：1/4\" VFS 内螺纹

MV4：1/4\" VFS 外螺纹

FV6：3/8\" VFS 内螺纹

MV6：3/8\" VFS 外螺纹

IFV4：1/4\" 母体加工内螺纹压力表接口

TW4：1/4\" 焊接接管

进气压力

20：300 psig

250：3500 psig

表面光洁度

Cv 选项

空白：10 μin. Ra

R25：25 μin. Ra

空白：Cv=0.09

HF：Cv=0.15

母体孔位

2P：2 孔

3P：3 孔

4P：4 孔

出气压力

V0.7：Vac to 10 psig*

V2：Vac to 30 psig

V4：Vac to 60 psig

V7：Vac to 100 psig

V10：Vac to 150 psig

0.7：to 10 psig*

2：to 30 psig

4：to 60 psig

7：to 100 psig

10：to 150 psig

进/出气连接

安装方式

空白：底部支架安装

P：面板安装 *

* 面板安装孔径：Ф36mm

阀座选项

空白：PCTFE

VS：Vespel®

材质

S：316L 本体

SHP：316L 本体和喷嘴

Hastelloy® C22 阀杆

* 所有选项里的膜片材质均为 Hastelloy® C276

* 当出气压力为“V0.7”和“0.7”时，

进气压力只能是“20”。

* 带V选项均不可调节负压，

仅由压力表显示负压。

TW6：3/8\" 焊接接管

P：压力表 (1/4\" VFS接口)

IP：压力表 (IFV4接口)

接口形式选择

VSR - 100UBS - 250 - 10 - 4P - FV4 - P - P - FV4

1 - 2 - 3 - 4

工艺规范

空白：VS001B

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

单级式减压器 / Single Stage Pressure Regulator

VSR-100UC 系列

产品特点

产品尺寸 (mm)

技术参数

流量图

类型：

进气压力：

出气压力：

表面光洁度：

材质

母体：

阀座：

膜片：

进/出气连接：

阀盖端口：

温度适用：

泄漏率：

流量参数：

供压效应：

重量：

单级式减压

Max. 3500 psig (250 bar)

Vac to 10/30/60/100/150 psig (0.7/2/4/7/10 bar)

10μin. Ra Average

(10μin. Ra Max / 7μin. Ra Max / 5μin. Ra Max 可选)

详见订购参数

PCTFE (Vespel® 可选)

Hastelloy® C276

1/4”3/8”VFS接头或焊接接管

1/8”NPT (面板安装时，上盖端口不是螺纹连接)

-40oF to +160oF (-40oC to +71oC)

<1x10-9 mbar·l/s He (外部)

<1x10-8 mbar·l/s He (内部)

Cv=0.09 (Cv=0.15 可选)

Cv=0.09 进气压力每下降100 psig 出气压力上升0.35 psig

Cv=0.15 进气压力每下降100 psig 出气压力上升0.5 psig

约 1.35kg (取决于连接或选项)

• 单级式减压器

• 表面光洁度 10μin. Ra Average

(10μin. Ra Max / 7μin. Ra Max / 5μin. Ra Max 可选)

• 内部无死角

• 使用材质符合 ASTM A479 / A484 / A276 标准

• 流量：30slpm (标准)，120slpm (HF选项)

• 压力控制精准

• 硬密封结构

• 100%氦气泄漏检测

2-M5

22.2

A 端口连接

FV4

MV4

inch (mm)

3.70 (94.0)

TW4 2.96 (75.2)

FV6

MV6 4.70 (119.4)

TW6 2.96 (75.2)

Ø50.8

最大 140

17.5

Ø54

2孔

2-M5

22.2

Ø55

3孔或 4孔

Cv=0.09 流量 (slpm 氮气)

进气压力

3500psig(241bar) 200psig(14bar)

10(0.7)

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.4)

60(4.1)

70(4.8)

80(5.5)

90(6.2)

100(6.9)

0 0 100 200 300 400 500

出气压力 psig (bar)

Cv=0.09 流量 (slpm 氮气)

进气压力

100psig(6.9bar)

80psig(5.5bar)

40psig(2.8bar)

20psig(1.4bar)

10(0.7)

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.5)

0 20 40 60 80

出气压力 psig (bar)

进气压力

10(0.7)

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.5)

0 20 40 60 80

Cv=0.15 流量 (slpm 氮气)

60(4.1)

出气压力 psig (bar)

100psig(6.9bar)

80psig(5.5bar)

40psig(2.8bar)

20psig(1.4bar)

Single Stage Pressure Regulator / 单级式减压器

VSR-100UC 系列

订购参数

订购举例

* 压力表

2 2 1

3P 1

4 4P 1

2 * 3 *

* 其它连接标准，请咨询生产商。

FV4：1/4\" VFS 内螺纹

MV4：1/4\" VFS 外螺纹

FV6：3/8\" VFS 内螺纹

MV6：3/8\" VFS 外螺纹

IFV4：1/4\" 母体加工内螺纹压力表接口

TW4：1/4\" 焊接接管

进/出气连接

材质

SLV：316L 二次熔炼本体

316L 阀杆和喷嘴

SH：316L 二次熔炼本体

Hastelloy® C22 内部构件

SHP：316L 二次熔炼本体

Hastelloy® C22 阀杆

316L 喷嘴

H：Hastelloy® C22 本体和内部构件

* 所有选项里的膜片材质均为 Hastelloy® C276

TW6：3/8\" 焊接接管

P：压力表 (1/4\" VFS接口)

IP：压力表 (IFV4接口)

接口形式选择

VSR - 100UCSLV - 250 - 10 - 4P - FV4 - P - P - FV4

1 - 2 - 3 - 4

VSR - 100UCP SLV- 250 - 10 - 4P - 1 - 2 - 3 - 4 - R5 - HF - VS - P

进气压力

20：300 psig

250：3500 psig

表面光洁度

Cv 选项

空白：10 μin. Ra

R7：7 μin. Ra

R5：5 μin. Ra

空白：Cv=0.09

HF：Cv=0.15

母体孔位

2P：2 孔

3P：3 孔

4P：4 孔

出气压力

V0.7：Vac to 10 psig*

V2：Vac to 30 psig

V4：Vac to 60 psig

V7：Vac to 100 psig

V10：Vac to 150 psig

0.7：to 10 psig*

2：to 30 psig

4：to 60 psig

7：to 100 psig

10：to 150 psig

安装方式

空白：底部支架安装

P：面板安装 *

* 面板安装孔径：Ф36mm 阀座选项

空白：PCTFE

VS：Vespel®

* 当出气压力为“V0.7”和“0.7”时，

进气压力只能是“20”。

* 带V选项均不可调节负压，

仅由压力表显示负压。

工艺规范

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

单级式减压器 / Single Stage Pressure Regulator

VSR-1000UB 系列

产品特点

• 单级式减压器

• 表面光洁度 10μin. Ra (25μin. Ra 可选)

• 内部无死角

• 使用材质符合 ASTM A479 / A484 / A276 标准

• 流量：30slpm (标准)，120slpm (HF选项)

• 压力控制精准

• 硬密封结构

• 100%氦气泄漏检测

产品尺寸 (mm)

技术参数

流量图

类型：

进气压力：

出气压力：

表面光洁度：

材质

母体：

阀座：

膜片：

进/出气连接：

阀盖端口：

温度适用：

泄漏率：

流量参数：

供压效应：

重量：

单级式减压

Max. 3500 psig (250bar)

Vac to 10/30/60/100/150 psig (0.7/2/4/7/10bar)

10μin. Ra (25μin. Ra 可选)

详见订购参数

PCTFE (Vespel® 可选)

Hastelloy® C276

1/4”3/8” VFS接头或焊接接管

1/8”NPT (面板安装时，上盖端口不是螺纹连接)

-40oF to +160oF (-40oC to +71oC)

<1x10-9 mbar·l/s He (外部)

<1x10-8 mbar·l/s He (内部)

Cv=0.09 (Cv=0.15 可选)

Cv=0.09 进气压力每下降100 psig 出气压力上升0.35 psig

Cv=0.15 进气压力每下降100 psig 出气压力上升0.5 psig

约 1.35kg (取决于连接或选项)

Cv=0.09 流量 (slpm 氮气)

进气压力

3500psig(241bar) 200psig(14bar)

10(0.7)

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.4)

60(4.1)

70(4.8)

80(5.5)

90(6.2)

100(6.9)

0 0 100 200 300 400 500

出气压力 psig (bar)

Cv=0.09 流量 (slpm 氮气)

进气压力

100psig(6.9bar)

80psig(5.5bar)

40psig(2.8bar)

20psig(1.4bar)

10(0.7)

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.5)

0 20 40 60 80

出气压力 psig (bar)

进气压力

10(0.7)

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.5)

0 20 40 60 80

Cv=0.15 流量 (slpm 氮气)

60(4.1)

出气压力 psig (bar)

100psig(6.9bar)

80psig(5.5bar)

40psig(2.8bar)

20psig(1.4bar)

Max. 149

17.5

Ф50.8

Ф54

22.2

2-M5

A 端口连接

FV4

MV4

inch (mm)

3.70 (94.0)

TW4 2.96 (75.2)

FV6

MV6 4.70 (119.4)

TW6 2.96 (75.2)

Single Stage Pressure Regulator / 单级式减压器

VSR-1000UB 系列

订购参数

* 压力表

2 1 3P 1

4 4P 1

2 * 3 *

订购举例

* 其它连接标准，请咨询生产商。

VSR - 1000UBPS - 250 - 10 - 4P - 1 - 2 - 3 - 4 - R25 - HF - VS - P

FV4：1/4\" VFS 内螺纹

MV4：1/4\" VFS 外螺纹

FV6：3/8\" VFS 内螺纹

MV6：3/8\" VFS 外螺纹

IFV4：1/4\" 母体加工内螺纹压力表接口

TW4：1/4\" 焊接接管

进气压力

20：300 psig

250：3500 psig

表面光洁度

Cv 选项

空白：10 μin. Ra

R25：25 μin. Ra

空白：Cv=0.09

HF：Cv=0.15

母体孔位

2P：2 孔

3P：3 孔

4P：4 孔

出气压力

V0.7：Vac to 10 psig*

V2：Vac to 30 psig

V4：Vac to 60 psig

V7：Vac to 100 psig

V10：Vac to 150 psig

0.7：to 10 psig*

2：to 30 psig

4：to 60 psig

7：to 100 psig

10：to 150 psig

进/出气连接

安装方式

空白：底部支架安装

P：面板安装 *

* 面板安装孔径：Ф37mm

阀座选项

空白：PCTFE

VS：Vespel®

材质

S：316L 本体

SHP：316L 本体和喷嘴

Hastelloy® C22 阀杆

* 所有选项里的膜片材质均为 Hastelloy® C276

* 当出气压力为“V0.7”和“0.7”时，

进气压力只能是“20”。

* 带V选项均不可调节负压，

仅由压力表显示负压。

TW6：3/8\" 焊接接管

P：压力表 (1/4\" VFS接口)

IP：压力表 (IFV4接口)

接口形式选择

VSR - 1000UBS - 250 - 10 - 4P - FV4 - P - P - FV4

1 - 2 - 3 - 4

工艺规范

空白：VS001B

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

4 1

3 2

2 1

单级式减压器 / Single Stage Pressure Regulator

VSR-1000UC 系列

产品特点

• 单级式减压器

• 表面光洁度 10μin. Ra Average

(10μin. Ra Max / 7μin. Ra Max / 5μin. Ra Max 可选)

• 内部无死角

• 使用材质符合 ASTM A479 / A484 / A276 标准

• 流量：30slpm (标准)，120slpm (HF选项)

• 压力控制精准

• 硬密封结构

• 100%氦气泄漏检测

产品尺寸 (mm)

技术参数

流量图

类型：

进气压力：

出气压力：

表面光洁度：

材质

母体：

阀座：

膜片：

进/出气连接：

阀盖端口：

温度适用：

泄漏率：

流量参数：

供压效应：

重量：

单级式减压

Max. 3500 psig (250 bar)

Vac to 10/30/60/100/150 psig (0.7/2/4/7/10 bar)

10μin. Ra Average

(10μin. Ra Max / 7μin. Ra Max / 5μin. Ra Max 可选)

详见订购参数

PCTFE (Vespel® 可选)

Hastelloy® C276

1/4”3/8”VFS接头或焊接接管

1/8”NPT (面板安装时，上盖端口不是螺纹连接)

-40oF to +160oF (-40oC to +71oC)

<1x10-9 mbar·l/s He (外部)

<1x10-8 mbar·l/s He (内部)

Cv=0.09 (Cv=0.15 可选)

Cv=0.09 进气压力每下降100 psig 出气压力上升0.35 psig

Cv=0.15 进气压力每下降100 psig 出气压力上升0.5 psig

约 1.35kg (取决于连接或选项)

Cv=0.09 流量 (slpm 氮气)

进气压力

3500psig(241bar) 200psig(14bar)

10(0.7)

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.4)

60(4.1)

70(4.8)

80(5.5)

90(6.2)

100(6.9)

0 0 100 200 300 400 500

出气压力 psig (bar)

Cv=0.09 流量 (slpm 氮气)

进气压力

100psig(6.9bar)

80psig(5.5bar)

40psig(2.8bar)

20psig(1.4bar)

10(0.7)

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.5)

0 20 40 60 80

出气压力 psig (bar)

进气压力

10(0.7)

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.5)

0 20 40 60 80

Cv=0.15 流量 (slpm 氮气)

60(4.1)

出气压力 psig (bar)

100psig(6.9bar)

80psig(5.5bar)

40psig(2.8bar)

20psig(1.4bar)

Max. 149

17.5

Ф50.8

Ф54

22.2

2-M5

A 端口连接

FV4

MV4

inch (mm)

3.70 (94.0)

TW4 2.96 (75.2)

FV6

MV6 4.70 (119.4)

TW6 2.96 (75.2)

Single Stage Pressure Regulator / 单级式减压器

VSR-1000UC 系列

订购参数

* 压力表

2 1 3P 1

4 4P 1

2 * 3 *

订购举例

* 其它连接标准，请咨询生产商。

进/出气连接

材质

SLV：316L 二次熔炼本体

316L 阀杆和喷嘴

SH：316L 二次熔炼本体

Hastelloy® C22 内部构件

SHP：316L 二次熔炼本体

Hastelloy® C22 阀杆

316L 喷嘴

H：Hastelloy® C22 本体和内部构件

* 所有选项里的膜片材质均为 Hastelloy® C276

接口形式选择

VSR - 1000UCSLV - 250 - 10 - 4P - FV4 - P - P - FV4

1 - 2 - 3 - 4

VSR - 1000UCP SLV- 250 - 10 - 4P - 1 - 2 - 3 - 4 - R5 - HF - VS - P

进气压力

20：300 psig

250：3500 psig

表面光洁度

Cv 选项

空白：10 μin. Ra

R7：7 μin. Ra

R5：5 μin. Ra

空白：Cv=0.09

HF：Cv=0.15

母体孔位

2P：2 孔

3P：3 孔

4P：4 孔

出气压力

V0.7：Vac to 10 psig*

V2：Vac to 30 psig

V4：Vac to 60 psig

V7：Vac to 100 psig

V10：Vac to 150 psig

0.7：to 10 psig*

2：to 30 psig

4：to 60 psig

7：to 100 psig

10：to 150 psig

安装方式

空白：底部支架安装

P：面板安装 *

* 面板安装孔径：Ф37mm 阀座选项

空白：PCTFE

VS：Vespel®

* 当出气压力为“V0.7”和“0.7”时，

进气压力只能是“20”。

* 带V选项均不可调节负压，

仅由压力表显示负压。

工艺规范

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

FV4：1/4\" VFS 内螺纹

MV4：1/4\" VFS 外螺纹

FV6：3/8\" VFS 内螺纹

MV6：3/8\" VFS 外螺纹

FV8：1/2\" VFS 内螺纹

MV8：1/2\" VFS 外螺纹

IFV4：1/4\" 母体加工内螺纹压力表接口

TW4：1/4\" 焊接接管

TW6: 3/8\" 焊接接管

TW8: 1/2\" 焊接接管

P: 压力表 (1/4\" VFS接口)

IP: 压力表 (IFV4接口)

4 1

3 2

2 1

单级式减压器 / Single Stage Pressure Regulator

VSR-210UB 系列

产品特点

产品尺寸 (mm)

技术参数

流量图

类型：

进气压力：

出气压力：

表面光洁度：

材质

母体：

阀座：

膜片：

进/出气连接：

阀盖端口：

适用温度：

泄漏率：

流量参数：

供压效应：

重量：

单级式减压

Max. 3000 psig (200 bar)

Vac to 30/60/100/150/250 psig (2/4/7/10/17 bar)

10μin. Ra (25μin. Ra 可选)

详见订购参数

PCTFE (Vespel® 可选)

Hastelloy® C276

1/4”3/8”1/2”VFS接头或焊接接管

1/8” NPT (F) (面板安装时，上盖端口不是螺纹连接)

-40oF to +160oF (-40oC to +71oC)

<1x10-9 mbar·l/s He (外部)

<1x10-8 mbar·l/s He (内部)

Cv=0.65 (Cv=1.1可选)

进气压力每下降100 psig 出气压力上升3.5 psig Cv=0.65,

进气压力每下降100 psig 出气压力上升4.2 psig (HF / FC 选项)

约 2.0kg (取决于连接或选项)

• 单级式减压器

• 表面光洁度 10μin. Ra (25μin. Ra 可选)

• 内部无死角

• 使用材质符合 ASTM A479 / A484 / A276 标准

• 力补偿设计可选

• 压力控制精准

• 硬密封结构

• 膜片阀芯一体式设计

• 100%氦气泄漏检测

2-M5

22.2

FV6

MV6 5.22 (132.6)

TW6 4.00 (101.6)

FV8

MV8 5.22 (132.6)

TW8 4.34 (110.2)

A 端口连接

FV4

MV4

inch (mm)

3.70 (94.0)

TW4 3.46 (87.9)

50.8

63.5

4.00 (101.6)

最大 148 标准

ØB

17.5

Ø54

最大 161 ( FC 可选 )

进气压力

80psig (5.5 bar)

60psig(4.1bar) * 1/2” VFS 连接

10(0.7)

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.5)

0 200 400 600 800

出气压力 psig (bar)

流量 (slpm 氮气)

进气压力

145psig (10 bar) * 1/2” VFS 连接

出气压力 psig (bar)

10(0.7)

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.4)

60(4.1)

70(4.8)

80(5.5)

90(6.2)

200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000

FC (选项) 流量 (slpm 氮气)

进气压力

150psig (10.3 bar)

出气压力 psig (bar)

20(1.4)

40(2.8)

60(4.1)

80(5.5)

100(6.9)

120(8.3)

100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000

HF (选项) 流量 (slpm 氮气)

100psig (6.9 bar) 50psig (3.4 bar)

Single Stage Pressure Regulator / 单级式减压器

VSR-210UB 系列

订购参数

订购举例

* 压力表

2 3P 1

4 4P 1

2 * 3 *

* 其它连接标准，请咨询生产商。

进/出气连接

安装方式

出气压力

进气压力

* 面板安装孔径：Ф37mm

空白：10 μin. Ra

R25：25 μin. Ra

VSR - 210UBPS - 117 - V4 - 4P- 1 - 2 - 3 - 4 - R25 - HF - FC - VS - P

母体孔位

表面光洁度

空白：Cv=0.65

HF：Cv=1.1

Cv 选项

选项

FC：膜片式弹簧

2P：2 孔

3P：3 孔

4P：4 孔

空白：底部支架安装

P：面板安装*

20：300 psig

117：1700 psig (标准)

200：3000 psig*

V2：Vac to 30 psig

V4：Vac to 60 psig

V7：Vac to 100 psig

V10：Vac to 150 psig

2：to 30 psig

4：to 60 psig

7：to 100 psig

10：to 150 psig

P17：预设压力 to 250 psig*

* FC 选项：最大进气压力 300 psig

* FC 选项：进/出气连接 1/2”或 3/4”

* 出气压力不可使用: V2 / V4 / 2 / 4

* 接口3/4”最大压力 2400 psig

* 出气压力不可使用: V2 / V4 / 2 / 4

阀座选项

空白：PCTFE

VS：Vespel®

* 带V选项均不可调节负压，

仅由压力表显示负压。

* 出口压力预设 250 psig，

则进口压力在 800 psig (55 bar) 。

VSR - 210UBS - 117 - V4 - 2P - MV4 - MV4

1 - 2

接口形式选择

工艺规范

空白：VS001B

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

材质

S：316L 本体

SHP：316L 本体

Hastelloy® C22 阀杆

* 所有选项里的膜片材质均为 Hastelloy® C276

FV4: 1/4\" VFS 内螺纹

MV4: 1/4\" VFS 外螺纹

FV6: 3/8\" VFS 内螺纹

MV6: 3/8\" VFS 外螺纹

FV8: 1/2\" VFS 内螺纹

MV8: 1/2\" VFS 外螺纹

FV12: 3/4\" VFS 内螺纹

MV12: 3/4\" VFS 外螺纹

TW12: 3/4\" 焊接接管

IFV4: 1/4\" 母体加工内螺纹压力表接口

TW4: 1/4\" 焊接接管

TW6: 3/8\" 焊接接管

TW8: 1/2\" 焊接接管

P: 压力表 (1/4\" VFS接口)

IP: 压力表 (IFV4接口)

单级式减压器 / Single Stage Pressure Regulator

VSR-210UC 系列

产品特点

产品尺寸 (mm)

技术参数

流量图

类型：

进气压力：

出气压力：

表面光洁度：

材质

母体：

阀座：

膜片：

进/出气连接：

阀盖端口：

适用温度：

泄漏率：

流量参数：

供压效应：

重量：

单级式减压

Max. 3000 psig (200 bar)

Vac to 30/60/100/150/250 psig (2/4/7/10/17 bar)

10μin. Ra Average

(10μin. Ra Max / 7μin. Ra Max / 5μin. Ra Max 可选)

详见订购参数

PCTFE (Vespel® 可选)

Hastelloy® C276

1/4”3/8”1/2”3/4”VFS接头或焊接接管

1/8” NPT(F) (面板安装时，上盖端口不是螺纹连接)

-40oF to +160oF (-40oC to +71oC)

<1x10-9 mbar·l/s He (外部)

<1x10-8 mbar·l/s He (内部)

Cv=0.65 (Cv=1.1可选)

Cv=0.65 进气压力每下降100 psig 出气压力上升3.5 psig；

HF选项进气压力每下降100 psig 出气压力上升4.2 psig (FC可选)

约 2.0kg (取决于连接或选项)

• 单级式减压器

• 表面光洁度 10μin. Ra Average

(10μin. Ra Max / 7μin. Ra Max / 5μin. Ra Max 可选)

• 内部无死角

• 使用材质符合 ASTM A479 / A484 / A276 标准

• 膜片式弹簧

• 压力控制精准

• 硬密封结构

• 膜片阀芯一体式设计

• 100%氦气泄漏检测

2-M5

22.2

FV6

MV6 5.22 (132.6)

TW6 4.00 (101.6)

FV8

MV8 5.22 (132.6)

TW8 4.34 (110.2)

A 端口连接

FV4

MV4

inch (mm)

3.70 (94.0)

TW4 3.46 (87.9)

50.8

63.5

4.00 (101.6)

最大 148 标准

ØB

17.5

Ø54

最大 161 ( FC 可选 )

进气压力

80psig (5.5 bar)

60psig(4.1bar) * 1/2” VFS 连接

10(0.7)

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.5)

0 200 400 600 800

出气压力 psig (bar)

流量 (slpm 氮气)

进气压力

145psig (10 bar) * 1/2” VFS 连接

出气压力 psig (bar)

10(0.7)

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.4)

60(4.1)

70(4.8)

80(5.5)

90(6.2)

200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000

FC (选项) 流量 (slpm 氮气)

进气压力

150psig (10.3 bar)

出气压力 psig (bar)

20(1.4)

40(2.8)

60(4.1)

80(5.5)

100(6.9)

120(8.3)

100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000

HF (选项) 流量 (slpm 氮气)

100psig (6.9 bar) 50psig (3.4 bar)

Single Stage Pressure Regulator / 单级式减压器

VSR-210UC 系列

订购参数

订购举例

* 压力表

2 1

3P 1

4 4P 1

2 * 3 *

* 其它连接标准，请咨询生产商。

进/出气连接

FV4: 1/4\" VFS 内螺纹

MV4: 1/4\" VFS 外螺纹

FV6: 3/8\" VFS 内螺纹

MV6: 3/8\" VFS 外螺纹

FV8: 1/2\" VFS 内螺纹

MV8: 1/2\" VFS 外螺纹

FV12: 3/4\" VFS 内螺纹

MV12: 3/4\" VFS 外螺纹

TW12: 3/4\" 焊接接管

IFV4: 1/4\" 母体加工内螺纹压力表接口

TW4: 1/4\" 焊接接管

TW6: 3/8\" 焊接接管

TW8: 1/2\" 焊接接管

P: 压力表 (1/4\" VFS接口)

IP: 压力表 (IFV4接口)

VSR - 210UCSLV - 117 - V4 - 2P - MV4 - FV4

1 - 2

接口形式选择

安装方式

出气压力

进气压力

* 面板安装孔径：Ф37mm

空白：10 μin. Ra

R7：7 μin. Ra Max

R5：5 μin. Ra Max

VSR - 210UCP SLV- 117 - V4 - 4P- 1 - 2 - 3 - 4 - R5 - HF - FC - VS - P

母体孔位

表面光洁度

空白：Cv=0.65

HF：Cv=1.1

Cv 选项

选项

FC：膜片式弹簧

2P：2 孔

3P：3 孔

4P：4 孔

空白：底部支架安装

P：面板安装*

20：300 psig

117：1700 psig (标准)

200：3000 psig*

V2：Vac to 30 psig

V4：Vac to 60 psig

V7：Vac to 100 psig

V10：Vac to 150 psig

2：to 30 psig

4：to 60 psig

7：to 100 psig

10：to 150 psig

P17：预设压力 to 250 psig*

* FC 选项：最大进气压力 300 psig

* FC 选项：进/出气连接 1/2”或 3/4”

* 出气压力不可使用: V2 / V4 / 2 / 4

* 接口3/4”最大压力 2400 psig

* 出气压力不可使用: V2 / V4 / 2 / 4

阀座选项

空白：PCTFE

VS：Vespel®

* 带V选项均不可调节负压，

仅由压力表显示负压。

* 出口压力预设 250 psig，

则进口压力在 800 psig (55 bar) 。

工艺规范

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

材质

SLV：316L 二次熔炼本体

316L 阀杆和喷嘴

SH：316L 二次熔炼本体

Hastelloy® C22 内部构件

SHP：316L 二次熔炼本体

Hastelloy® C22 阀杆

316L 喷嘴

* 所有选项里的膜片材质均为 Hastelloy® C276

2 1

单级式减压器 / Single Stage Pressure Regulator

VSR-410UB 系列

产品特点

产品尺寸 (mm)

技术参数

流量图

类型：

进气压力：

出气压力：

表面光洁度：

材质

母体：

阀座：

膜片：

进/出气连接：

阀盖端口：

适用温度：

泄漏率：

流量参数：

供压效应：

重量：

单级式减压

Max. 3000 psig (200bar)

Vac to 30/60/100/150 psig (2/4/7/10bar)

10μin. Ra (25μin. Ra 可选)

详见订购参数

PCTFE (Vespel® 可选)

Hastelloy® C276

1/4”3/8”1/2”VFS接头或焊接接管

1/8” NPT (F) (面板安装时，上盖端口不是螺纹连接)

-40oF to +160oF (-40oC to +71oC)

<1x10-9 mbar·l/s He (外部)

<1x10-8 mbar·l/s He (内部)

Cv=0.45

进气压力每下降100 psig 出气压力上升1.6 psig

约 2.1kg (取决于连接或选项)

• 单级式减压器

• 表面光洁度 10μin. Ra (25μin. Ra 可选)

• 内部无死角

• 使用材质符合 ASTM A479 / A484 / A276 标准

• 进气压力最大3000 psig

• 压力控制精准

• 硬密封结构

• 膜片阀芯一体式设计

• 负压调整型可选

• 100%氦气泄漏检测

2-M5

22.2

FV6

MV6 5.22 (132.6)

TW6 4.00 (101.6)

FV8

MV8 5.22 (132.6)

TW8 4.34 (110.2)

A 端口连接

FV4

MV4

inch (mm)

3.70 (94.0)

TW4 3.46 (87.9)

50.8

63.5

4.00 (101.6)

最大 148

ØB

17.5

Ø54

进气压力

200 psig (14 bar) 600 psig (41 bar) 2000 psig (138 bar)

出气压力 psig (bar)

10(0.7)

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.4)

60(4.1)

70(4.8)

80(5.5)

90(6.2)

100 200 300 400 500 600 700 800

流量 (slpm 氮气)

60 psig (4.1 bar) 80 psig (5.5 bar)

进气压力

10(0.7)

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.5)

0 40 80 120 160 200

出气压力 psig (bar)

流量 (slpm 氮气)

进气压力

0 psig (0 bar)

出气压力 psig (bar)

-14.5(1)

-12(0.8)

-9(0.6)

-6(0.4)

-3(0.2)

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

流量 (slpm 氮气*)

* N2气体流动时，在正常条件下(0℃，1 atm)的体积流量。

Single Stage Pressure Regulator / 单级式减压器

VSR-410UB 系列

订购参数

订购举例

* 压力表

2 2 1

2 1

3P 1

4 4P 1

2 * 3 *

空白：10 μin. Ra

R25：25 μin. Ra

* 其它连接标准，请咨询生产商。

进/出气连接

安装方式

材质

出气压力

进气压力

* 面板安装孔径：Ф40mm

VSR - 410UBPS - 160 - V4 - 4P - 1 - 2 - 3 - 4 - R25 - VS - P

母体孔位

表面光洁度

VC2：-12.5~30 psig*

V2： Vac to 30 psig

V4：Vac to 60 psig

V7：Vac to 100 psig

V10：Vac to 150 psig

2：to 30 psig

4：to 60 psig

7：to 100 psig

10：to 150 psig

* VC2选项进气压力最大300 psig

* 出气压力不可用: V2 / V4 / 2 / 4

空白：底部支架安装

P：面板安装

20：300 psig

160：2300 psig (标准)

200：3000 psig*

2P：2 孔

3P：3 孔

4P：4 孔阀座选项

空白：PCTFE

VS：Vespel®

工艺规范

空白：VS001B

P：VS001A

* 所有选项里的膜片材质均为 Hastelloy® C276

S：316L 本体

Hasterlloy® C22 阀杆

* 除VC2外, 带V选项均不可调节负压，

仅由压力表显示负压。

FV4：1/4\" VFS 内螺纹

MV4：1/4\" VFS 外螺纹

FV6：3/8\" VFS 内螺纹

MV6：3/8\" VFS 外螺纹

FV8：1/2\" VFS 内螺纹

MV8：1/2\" VFS 外螺纹

IFV4：1/4\" 母体加工内螺纹压力表接口

TW4：1/4\" 焊接接管

TW6：3/8\" 焊接接管

TW8：1/2\" 焊接接管

P：压力表 (1/4\" VFS接口)

IP：压力表 (IFV4接口)

VSR - 410UBS - 160 - V4 - 2P - MV4 - MV4

1 - 2

接口形式选择

* 详情请参阅附录。

单级式减压器 / Single Stage Pressure Regulator

VSR-410UC 系列

产品特点

产品尺寸 (mm)

技术参数

流量图

类型：

进气压力：

出气压力：

表面光洁度：

材质

母体：

阀座：

膜片：

进/出气连接：

阀盖端口：

适用温度：

泄漏率：

流量参数：

供压效应：

重量：

单级式减压

Max. 3000 psig (200bar)

Vac to 30/30/60/100/150 psig (2/4/7/10bar)

10μin. Ra Average

(10μin. Ra Max / 7μin. Ra Max / 5μin. Ra Max 可选)

详见订购参数

PCTFE (Vespel® 可选)

Hastelloy® C276

1/4”3/8”1/2”3/4”VFS接头或焊接接管

1/8” NPT (F) (面板安装时，上盖端口不是螺纹连接)

-40oF to +160oF (-40oC to +71oC)

<1x10-9 mbar·l/s He (外部)

<1x10-8 mbar·l/s He (内部)

Cv=0.45

进气压力每下降100 psig 出气压力上升1.6 psig

约 2.1kg (取决于连接或选项)

• 单级式减压器

• 表面光洁度 10μin. Ra Average

(10μin. Ra Max / 7μin. Ra Max / 5μin. Ra Max 可选)

• 内部无死角

• 使用材质符合 ASTM A479 / A484 / A276 标准

• 进气压力最大3000psig

• 压力控制精准

• 硬密封结构

• 膜片阀芯一体式设计

• 负压调整型可选

• 100%氦气泄漏检测

2-M5

22.2

FV6

MV6 5.22 (132.6)

TW6 4.00 (101.6)

FV8

MV8 5.22 (132.6)

TW8 4.34 (110.2)

A 端口连接

FV4

MV4

inch (mm)

3.70 (94.0)

TW4 3.46 (87.9)

50.8

63.5

4.00 (101.6)

最大 148

ØB

17.5

Ø54

进气压力

200 psig (14 bar) 600 psig (41 bar) 2000 psig (138 bar)

出气压力 psig (bar)

10(0.7)

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.4)

60(4.1)

70(4.8)

80(5.5)

90(6.2)

100 200 300 400 500 600 700 800

流量 (slpm 氮气)

60 psig (4.1 bar) 80 psig (5.5 bar)

进气压力

10(0.7)

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.5)

0 40 80 120 160 200

出气压力 psig (bar)

流量 (slpm 氮气)

进气压力

0 psig (0 bar)

出气压力 psig (bar)

-14.5(1)

-12(0.8)

-9(0.6)

-6(0.4)

-3(0.2)

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10

流量 (slpm 氮气*)

* N2气体流动时，在正常条件下(0℃，1 atm)的体积流量。

Single Stage Pressure Regulator / 单级式减压器

VSR-410UC 系列

订购参数

订购举例

* 压力表

2 2 1

2 1

3P 1

4 4P 1

2 * 3 *

* 其它连接标准，请咨询生产商。

进/出气连接

安装方式

出气压力

进气压力

* 面板安装孔径：Ф40mm

VSR - 410UCP SLV- 160 - V4 - 4P - 1 - 2 - 3 - 4 - R5 - VS - P

VC2：-12.5~30 psig*

V2： Vac to 30 psig

V4：Vac to 60 psig

V7：Vac to 100 psig

V10：Vac to 150 psig

2：to 30 psig

4：to 60 psig

7：to 100 psig

10：to 150 psig

* VC2选项进气压力最大300 psig * 出气压力不可用: V2 / V4 / 2 / 4

空白：底部支架安装

P：面板安装

20：300 psig

160：2300 psig (标准)

200：3000 psig*

母体孔位

2P：2 孔

3P：3 孔

4P：4 孔阀座选项

空白：PCTFE

VS：Vespel®

工艺规范

P：VS001A

* 除VC2外, 带V选项均不可调节负压，

仅由压力表显示负压。

FV4：1/4\" VFS 内螺纹

MV4：1/4\" VFS 外螺纹

FV6：3/8\" VFS 内螺纹

MV6：3/8\" VFS 外螺纹

FV8：1/2\" VFS 内螺纹

MV8：1/2\" VFS 外螺纹

IFV4：1/4\" 母体加工内螺纹压力表接口

TW4：1/4\" 焊接接管

TW6：3/8\" 焊接接管

TW8：1/2\" 焊接接管

P：压力表 (1/4\" VFS接口)

IP：压力表 (IFV4接口)

VSR - 410UCSLV - 160 - V4 - 2P - MV4 - FV4

1 - 2

材质

SLV：316L 二次熔炼本体

Hastelloy® C22 阀杆

316L 喷嘴

SH：316L 二次熔炼本体

Hastelloy® C22 内部构件

* 所有选项里的膜片材质均为 Hastelloy® C276

表面光洁度

空白：10 μin. Ra Max

R7：7 μin. Ra Max

R5：5 μin. Ra Max

接口形式选择

* 详情请参阅附录。

单级式减压器 / Single Stage Pressure Regulator

VSR-510UB 系列

产品特点

产品尺寸 (mm)

技术参数

流量图

类型：

进气压力：

出气压力：

表面光洁度：

材质

母体：

阀座：

膜片：

进/出气连接：

阀盖端口：

适用温度：

泄漏率：

流量参数：

供压效应：

重量：

单级式减压

Max. 3500 psig

Vac to 30/60/100/150 psig

10μin. Ra (25μin. Ra 可选)

详见订购参数

PCTFE (Vespel® 可选)

Hastelloy® C276

1/4” / 3/8” VFS接头或焊接接管

1/8” NPT (面板安装时，上盖端口不是螺纹连接)

-40oF to +160oF (-40oC to +71oC)

<1x10-9 mbar·l/s He

<1x10-8 mbar·l/s He

Cv=0.09 (Cv=0.15 可选)

Cv=0.09 进气压力每下降100 psig 出气压力上升0.35 psig

Cv=0.15 进气压力每下降100 psig 出气压力上升0.5 psig

约 1.35kg（取决于连接或选项）

• 单级式减压器

• 表面光洁度 10μin. Ra (25μin. Ra 可选)

• 内部体积小，吹扫时间短

• 使用材质符合 ASTM A479 / A484 / A276 标准

• 流量: 30 slpm (标准)，120 slpm (HF选项)

• 压力控制精准

• 硬密封结构

• 膜片阀芯一体式设计

• 100%氦气泄漏检测

进气压力

2000-3000psig[138-207bar]

1000psig[69bar]

500psig[34bar]

200psig[14bar]

10 (0.6)

20 (1.3)

30 (2.0)

40 (2.7)

50 (3.4)

60 (4.1)

70 (4.8)

80 (5.5)

90 (6.2)

100 (6.8)

0 100 200 300 400

出气压力 psig (bar)

流量 (slpm 氮气)

进气压力

100psig[6.9bar]

80psig[5.5bar]

40psig[2.8bar]

20psig[1.4bar]

10 (0.5)

20 (1.0)

30 (1.5)

40 (2.0)

50 (2.5)

0 20 40 60 80

出气压力 psig (bar)

流量 (slpm 氮气)

Max. 149

17.5

Ф50.8

Ф54

22.2

2-M5

A 端口连接

FV4

MV4

inch (mm)

3.70 (94.0)

TW4 2.96 (75.2)

FV6

MV6 4.70 (119.4)

TW6 2.96 (75.2)

Single Stage Pressure Regulator / 单级式减压器

VSR-510UB 系列

订购参数

订购举例

* 压力表

2 1

4 1

3 2

3P 1

4 4P 1

2 * 3 *

* 其它连接标准，请咨询生产商。

VSR - 510UBPS - 250 - 10 - 4P - 1 - 2 - 3 - 4 - R25 - HF - VS - P

材质

进气压力

20：300 psig

250：3500 psig

表面光洁度

Cv 选项

空白：10 μin. Ra

R25：25 μin. Ra

空白：Cv=0.09

HF：Cv=0.15

母体孔位

2P：2 孔

3P：3 孔

4P：4 孔

出气压力

V2：Vac to 30 psig

V4：Vac to 60 psig

V7：Vac to 100 psig

V10：Vac to 150 psig

2：to 30 psig

4：to 60 psig

7：to 100 psig

10：to 150 psig

进/出气连接

安装方式

空白：底部支架安装

P：面板安装*

* 面板安装孔径：Ф37mm

阀座选项

空白：PCTFE

VS：Vespel S：316L 本体 ®

SHP：316L 本体和喷嘴

Hastelloy® C22 阀杆

H：Hastlloy 本体

*所有选项里的膜片材质均为 Hastelloy® C276

* 带V选项均不可调节负压，

仅由压力表显示负压。

FV4：1/4\" VFS 内螺纹

MV4：1/4\" VFS 外螺纹

FV6：3/8\" VFS 内螺纹

MV6：3/8\" VFS 外螺纹

IFV4：1/4\" 母体加工内螺纹压力表接口

TW4：1/4\" 焊接接管

TW6：3/8\" 焊接接管

P：压力表 (1/4\" VFS接口)

IP：压力表 (IFV4接口)

接口形式选择

VSR - 510UBS - 250 - 10 - 4P - FV4 - P - P - FV4

1 - 2 - 3 - 4

工艺规范

空白：VS001B

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

单级式减压器 / Single Stage Pressure Regulator

VSR-510UC 系列

产品特点

产品尺寸 (mm)

技术参数

流量图

类型：

进气压力：

出气压力：

表面光洁度：

材质

母体：

阀座：

膜片：

进/出气连接：

阀盖端口：

适用温度：

泄漏率：

流量参数：

供压效应：

重量：

单级式减压

Max. 3500 psig

Vac to 30/60/100/150 psig

10μin. Ra Average

(10μin. Ra Max / 7μin. Ra Max / 5μin. Ra Max 可选)

详见订购参数

PCTFE (Vespel® 可选)

Hastelloy® C276

1/4” / 3/8” VFS接头或焊接接管

1/8” NPT (面板安装时，上盖端口不是螺纹连接)

-40oF to +160oF (-40oC to +71oC)

<1x10-9 mbar·l/s He

<1x10-8 mbar·l/s He

Cv=0.09 (Cv=0.15 可选)

Cv=0.09 进气压力每下降100 psig 出气压力上升0.35 psig

Cv=0.15 进气压力每下降100 psig 出气压力上升0.5 psig

约 1.35kg (取决于连接或选项)

• 单级式减压器

• 表面光洁度 10μin. Ra Average

(10μin. Ra Max / 7μin. Ra Max / 5μin. Ra Max 可选)

• 内部体积小，吹扫时间短

• 使用材质符合 ASTM A479 / A484 / A276 标准

• 流量: 30 slpm (标准)，120 slpm (HF选项)

• 压力控制精准

• 硬密封结构

• 膜片阀芯一体式设计

• 100%氦气泄漏检测

进气压力

2000-3000psig[138-207bar]

1000psig[69bar]

500psig[34bar]

200psig[14bar]

10 (0.6)

20 (1.3)

30 (2.0)

40 (2.7)

50 (3.4)

60 (4.1)

70 (4.8)

80 (5.5)

90 (6.2)

100 (6.8)

0 100 200 300 400

出气压力 psig (bar)

流量 (slpm 氮气)

进气压力

100psig[6.9bar]

80psig[5.5bar]

40psig[2.8bar]

20psig[1.4bar]

10 (0.5)

20 (1.0)

30 (1.5)

40 (2.0)

50 (2.5)

0 20 40 60 80

出气压力 psig (bar)

流量 (slpm 氮气)

Max. 149

17.5

Ф50.8

Ф54

22.2

2-M5

A 端口连接

FV4

MV4

inch (mm)

3.70 (94.0)

TW4 2.96 (75.2)

FV6

MV6 4.70 (119.4)

TW6 2.96 (75.2)

Single Stage Pressure Regulator / 单级式减压器

VSR-510UC 系列

订购参数

订购举例

* 压力表

2 1

4 1

3 2

3P 1

4 4P 1

2 * 3 *

* 其它连接标准，请咨询生产商。

进/出气连接

FV4：1/4\" VFS 内螺纹

MV4：1/4\" VFS 外螺纹

FV6：3/8\" VFS 内螺纹

MV6：3/8\" VFS 外螺纹

IFV4：1/4\" 母体加工内螺纹压力表接口

TW4：1/4\" 焊接接管

TW6：3/8\" 焊接接管

P：压力表 (1/4\" VFS接口)

IP：压力表 (IFV4接口)

接口形式选择

VSR - 510UCSLV - 250 - 10 - 4P - FV4 - P - P - FV4

1 - 2 - 3 - 4

VSR - 510UCP SLV- 250 - 10 - 4P - 1 - 2 - 3 - 4 - R5 - HF - VS - P

材质

进气压力

20：300 psig

250：3500 psig

出气压力

V2：Vac to 30 psig

V4：Vac to 60 psig

V7：Vac to 100 psig

V10：Vac to 150 psig

2：to 30 psig

4：to 60 psig

7：to 100 psig

10：to 150 psig

安装方式

空白：底部支架安装

P：面板安装*

* 面板安装孔径：Ф37mm

SLV：316L 二次熔炼本体

SHP：316L 二次熔炼本体、

Hastelloy® C22 阀杆

H：Hastlloy 本体

*所有选项里的膜片材质均为 Hastelloy® C276

表面光洁度

空白：10 μin. Ra Max

R7：7 μin. Ra Max

R5：5 μin. Ra Max

空白：Cv=0.09

HF：Cv=0.15

Cv 选项

阀座选项

空白：PCTFE

VS：Vespel®

母体孔位

2P：2 孔

3P：3 孔

4P：4 孔

* 带V选项均不可调节负压，

仅由压力表显示负压。

工艺规范

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

单级式减压器 / Single Stage Pressure Regulator

VSR-610UB 系列

产品特点

产品尺寸 (mm)

技术参数

流量图

类型：

进气压力：

出气压力：

表面光洁度：

材质

母体：

阀座：

膜片：

进/出气连接：

阀盖端口：

适用温度：

泄漏率：

流量参数：

供压效应：

重量：

单级式减压

Max. 3500 psig

Vac to 10/30/60/100 psig

10μin. Ra (标准) 25μin. Ra (可选)

详见订购参数

PCTFE (Vespel® 可选)

Hastelloy® C276

1/4”3/8”1/2”VFS接头或焊接接管

1/8” NPT (在面板安装选项上，阀盖端口不是螺纹连接的)

-40oF to +160oF (-40oC to +71oC)

<1x10-9 mbar·l/s He (外部)

<1x10-8 mbar·l/s He (内部)

Cv=0.13

进气压力每下降100 psig 出气压力上升0.25 psig

约 1.54kg（取决于连接或选项）

• 单级式减压器

• 表面光洁度 10μin. Ra (25μin. Ra 可选)

• 内部无死角

• 使用材质符合 ASTM A479 / A484 / A276 标准

• 压力控制精准

• 硬密封结构

• 100%氦气泄漏检测

最大 142

Ø54

Ø63.5

17.5

2-M5

22.2

(mm)

A 端口连接

FV4

MV4

inch

4.30 (109.2)

TW4 3.46 (87.9)

FV6

MV6 5.22 (132.6)

TW6

FV8

MV8

TW8

4.00

5.22

4.00

(101.6)

(132.6)

(101.6)

进气压力

100psig[6.9bar]

80psig[5.5bar]

60psig[4.1bar]

0 50 100 150

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.4)

60(4.1)

10(0.7)

出气压力 psig (bar)

流量 (slpm 氮气)

进气压力

2000-3 00psig[138-2 bar]

1000psig[69bar]

500psig[34bar]

200psig[14bar]

10(0.7)

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.4)

60(4.1)

70(4.8)

80(5.5)

90(6.2)

100(6.9)

0 100 200 300 400 500 600

出气压力 psig (bar)

流量 (slpm 氮气)

Single Stage Pressure Regulator / 单级式减压器

VSR-610UB 系列

订购参数

订购举例

* 压力表

2 1

3P 1

4 4P 1

2 * 3 *

2 1

VSR - 610UBS - 250 - V4 - 2P - MV4 - FV4

1 - 2

S：316L

安装方式

材质

出气压力

进气压力

* 其它连接标准，请咨询经销商。

* 面板安装孔径：Ф37mm

空白：10 μin. Ra

R25：25 μin. Ra

2P：2 孔

3P：3 孔

4P：4 孔

空白：底部支架安装

P：面板安装

20：300 psig

250：3500 psig

进 / 出气连接

表面光洁度

VSR - 610UBPS - 250 - V2 - 4P - 1 - 2 - 3 - 4 - R25 - VS - P

母体孔位

V1：Vac to 10 psig

V2：Vac to 30 psig

V4：Vac to 60 psig

V7：Vac to 100 psig

1：to 10 psig

2：to 30 psig

4：to 60 psig

7：to 100 psig

阀座选项

空白：PCTFE

VS：Vespel®

* 带V选项均不可调节负压，

仅由压力表显示负压。

FV4：1/4\" VFS 内螺纹

MV4：1/4\" VFS 外螺纹

FV6：3/8\" VFS 内螺纹

MV6：3/8\" VFS 外螺纹

FV8：1/2\" VFS 内螺纹

MV8：1/2\" VFS 外螺纹

IFV4：1/4\" 母体加工内螺纹压力表接口

TW4：1/4\" 焊接接管

TW6：3/8\" 焊接接管

TW8：1/2\" 焊接接管

P：压力表 (1/4\" VFS接口)

IP：压力表 (IFV4接口)

接口形式选择

工艺规范

空白：VS001B

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

单级式减压器 / Single Stage Pressure Regulator

VSR-610UC 系列

产品特点

产品尺寸 (mm)

技术参数

流量图

类型：

进气压力：

出气压力：

表面光洁度：

材质

母体：

阀座：

膜片：

进/出气连接：

阀盖端口：

适用温度：

泄漏率：

流量参数：

供压效应：

重量：

单级式减压

Max. 3500 psig (250bar)

Vac to 10/30/60/100 psig (1/2/4/7bar)

10μin.Ra Average

(10μin.Ra Max / 7μin.Ra Max / 5μin.Ra Max 可选)

详见订购参数

PCTFE (Vespel® 可选)

Hastelloy® C276

1/4”3/8”1/2”VFS接头或焊接接管

1/8” NPT (在面板安装选项上，阀盖端口不是螺纹连接的)

-40oF to +160oF (-40oC to +71oC)

<1x10-9 mbar·l/s He (外部)

<1x10-8 mbar·l/s He (内部)

Cv=0.13

进气压力每下降100 psig 出气压力上升0.25 psig

约 1.54kg (取决于连接或选项)

• 单级式减压器

• 表面光洁度 10μin. Ra Average

(10μin. Ra Max / 7μin. Ra Max / 5μin. Ra Max 可选)

• 内部无死角

• 使用材质符合 ASTM A479 / A484 / A276 标准

• 压力控制精准

• 硬密封结构

• 100%氦气泄漏检测

最大 142

Ø54

Ø63.5

17.5

2-M5

22.2

(mm)

A 端口连接

FV4

MV4

inch

4.30 (109.2)

TW4 3.46 (87.9)

FV6

MV6 5.22 (132.6)

TW6

FV8

MV8

TW8

4.00

5.22

4.00

(101.6)

(132.6)

(101.6)

进气压力

100psig[6.9bar]

80psig[5.5bar]

60psig[4.1bar]

0 50 100 150

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.4)

60(4.1)

10(0.7)

出气压力 psig (bar)

流量 (slpm 氮气)

进气压力

2000-3 00psig[138-2 bar]

1000psig[69bar]

500psig[34bar]

200psig[14bar]

10(0.7)

20(1.4)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.4)

60(4.1)

70(4.8)

80(5.5)

90(6.2)

100(6.9)

0 100 200 300 400 500 600

出气压力 psig (bar)

流量 (slpm 氮气)

Single Stage Pressure Regulator / 单级式减压器

VSR-610UC 系列

订购参数

订购举例

* 压力表

2 1

3P 1

4 4P 1

2 * 3 *

2 1

VSR - 610UCSLV - 250 - V4 - 2P - MV4 - FV4

1 - 2

* 其它连接标准，请咨询经销商。

进 / 出气连接

FV4：1/4\" VFS 内螺纹

MV4：1/4\" VFS 外螺纹

FV6：3/8\" VFS 内螺纹

MV6：3/8\" VFS 外螺纹

FV8：1/2\" VFS 内螺纹

MV8：1/2\" VFS 外螺纹

IFV4：1/4\" 母体加工内螺纹压力表接口

TW4：1/4\" 焊接接管

TW6：3/8\" 焊接接管

TW8：1/2\" 焊接接管

P：压力表 (1/4\" VFS接口)

IP：压力表 (IFV4接口)

接口形式选择

安装方式

材质出气压力

进气压力

* 面板安装尺寸：Ф37mm

表面光洁度

VSR - 610UCP SLV - 250 - V4 - 4P - 1 - 2 - 3 - 4 - R5 - VS - P

母体孔位

V1：Vac to 10 psig

V2：Vac to 30 psig

V4：Vac to 60 psig

V7：Vac to 100 psig

1：to 10 psig

2：to 30 psig

4：to 60 psig

7：to 100 psig

空白：10 μin. Ra Max

R7：7 μin. Ra Max

R5：5 μin. Ra Max

2P：2 孔

3P：3 孔

4P：4 孔

空白：底部支架安装

P：面板安装

20：300 psig

250：3500 psig

阀座选项

空白：PCTFE

VS：Vespel®

SLV：316L 二次熔炼本体

316L 阀杆和喷嘴

SH：316L 二次熔炼本体

Hastelloy® C22 内部构件

*所有选项里的膜片材质均为 Hastelloy® C276

* 带V选项均不可调节负压，

仅由压力表显示负压。

工艺规范

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

双级式减压器 / Dual Stage Pressure Regulator

VSR-710UB 系列

产品特点

产品尺寸 (mm)

技术参数

流量图

类型：

进气压力：

出气压力：

表面光洁度：

材质

母体：

阀座：

膜片：

进/出气连接：

阀盖端口：

适用温度：

泄漏率：

流量参数：

供压效应：

重量：

双级式减压

3500 psig (250bar)

Vac to 30/60/100 psig (2/4/7bar)

10μin. Ra (25μin. Ra 可选)

详见订购参数

PCTFE (Vespel® 可选)

Hastelloy® C276

1/4”3/8” VFS接头或焊接接管

1/8” NPT (在面板安装选项上，阀盖端口没有螺纹)

-40oF to +160oF (-40oC to +71oC)

<1x10-9 mbar·l/s He (外部)

<1x10-8 mbar·l/s He (内部)

Cv=0.05 (Cv=0.07可选)

进气压力每下降100 psig 出气压力上升0.05 psig

约 2.5kg (取决于连接或选项)

• 双级式减压器

• 表面光洁度 10μin. Ra (25μin. Ra 可选)

• 内部体积小，吹扫时间短

• 使用材质符合 ASTM A479 / A484 / A276 标准

• 流量: 30 slpm (标准), 120 slpm (可选)

• 压力控制精准

• 硬密封结构

• 膜片阀芯一体式设计

• 100%氦气泄漏检测

Max. 197

Ф57

Ф54

A 端口连接

FV4

MV4

inch (mm)

3.70 (94.0)

FV6

MV6 4.70 (119.4)

进气压力

200psig[14bar]

10 (0.6)

20 (1.3)

30 (2.0)

40 (2.7)

50 (3.4)

60 (4.1)

70 (4.8)

80 (5.5)

90 (6.2)

100 (6.8)

0 50 100 150 200

出气压力 psig (bar)

流量 (slpm 氮气)

进气压力

400psig[28bar]

20 (1.3)

40 (2.7)

60 (4.1)

80 (5.5)

100 (6.8)

120 (8.2)

0 100 200 300 400

出气压力 psig (bar)

流量 (slpm 氮气)

400psig[28bar] HF选项

Dual Stage Pressure Regulator / 双级式减压器

VSR-710UB 系列

订购参数

订购举例

* 压力表

2 1

3P 1

4 4P 1

2 * 3 *

* 其它连接标准，请咨询生产商。

VSR - 710UBPS - 250 - 7 - 4P - 1 - 2 - 3 - 4 - R25 - VS - P

材质

进气压力

250：3500 psig

表面光洁度

空白：10 μin. Ra

R25：25 μin. Ra

母体孔位

2P：2 孔

3P：3 孔

4P：4 孔

出气压力

V2：Vac to 30 psig

V4：Vac to 60 psig

V7：Vac to 100 psig

2：to 30 psig

4：to 60 psig

7：to 100 psig

进/出气连接

安装方式

空白：底部支架安装

P：面板安装

* 面板安装尺寸：Ф36mm

阀座选项

空白：PCTFE

VS：Vespel® S：316L 本体

SHP：316L 本体

Hastelloy® C22 阀杆和喷嘴

*所有选项里的膜片材质均为 Hastelloy® C276

* 带V选项均不可调节负压，

仅由压力表显示负压。

FV4: 1/4\" VFS 内螺纹

MV4: 1/4\" VFS 外螺纹

FV6: 3/8\" VFS 内螺纹

MV6: 3/8\" VFS 外螺纹

IFV4: 1/4\" 母体加工内螺纹压力表接口

TW4: 1/4\" 焊接接管

TW6: 3/8\" 焊接接管

P: 压力表 (1/4\" VFS接口)

IP: 压力表 (IFV4接口)

接口形式选择

VSR - 710UBS - 250 - 4 - 4P - FV4 - P - P - FV4

1 - 2 - 3 - 4

工艺规范

空白：VS001B

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

双级式减压器 / Dual Stage Pressure Regulator

VSR-710UC 系列

产品特点

产品尺寸 (mm) 流量图

• 双级式减压器

• 表面光洁度 10μin. Ra Average

(10μin. Ra Max / 7μin. Ra Max / 5μin. Ra Max 可选)

• 内部体积小，吹扫时间短

• 使用材质符合 ASTM A479 / A484 / A276 标准

• 流量: 30 slpm (标准), 120 slpm (可选)

• 压力控制精准

• 硬密封结构

• 膜片阀芯一体式设计

• 100%氦气泄漏检测

技术参数

类型：

进气压力：

出气压力：

表面光洁度：

材质

母体：

阀座：

膜片：

进/出气连接：

阀盖端口：

适用温度：

泄漏率：

流量参数：

供压效应：

重量：

双级式减压

3500 psig (250bar)

Vac to 30/60/100 psig (2/4/7bar)

10μin. Ra Average

(10μin. Ra Max / 7μin. Ra Max / 5μin. Ra Max 可选)

详见订购参数

PCTFE (Vespel® 可选)

Hastelloy® C276

1/4”3/8”VFS接头或焊接接管

1/8”NPT (在面板安装选项上，阀盖端口没有螺纹)

-40oF to +160oF (-40oC to +71oC)

<1x10-9 mbar·l/s He

<1x10-8 mbar·l/s He

Cv=0.05 (Cv=0.07可选)

进气压力每下降100 psig 出气压力上升0.05 psig

约 2.5kg (取决于连接或选项) Max. 197 60

Ф57

Ф54

A 端口连接

FV4

MV4

inch (mm)

3.70 (94.0)

FV6

MV6 4.70 (119.4)

进气压力

200psig[14bar]

10 (0.6)

20 (1.3)

30 (2.0)

40 (2.7)

50 (3.4)

60 (4.1)

70 (4.8)

80 (5.5)

90 (6.2)

100 (6.8)

0 50 100 150 200

出气压力 psig (bar)

流量 (slpm 氮气)

进气压力

400psig[28bar]

20 (1.3)

40 (2.7)

60 (4.1)

80 (5.5)

100 (6.8)

120 (8.2)

0 100 200 300 400

出气压力 psig (bar)

流量 (slpm 氮气)

400psig[28bar] HF选项

Dual Stage Pressure Regulator / 双级式减压器

VSR-710UC 系列

订购参数

* 压力表

2 1

3P 1

4 4P 1

2 * 3 *

进/出气连接

订购举例

* 其它连接标准，请咨询生产商。

VSR - 710UCP SLV- 250 - 7 - 4P - 1 - 2 - 3 - 4 - R5 - VS - P

材质

进气压力

250：3500 psig

出气压力

V2：Vac to 30 psig

V4：Vac to 60 psig

V7：Vac to 100 psig

2：to 30 psig

4：to 60 psig

7：to 100 psig

安装方式

空白：底部支架安装

P：面板安装

* 面板安装尺寸：Ф36mm

SLV：316L 二次熔炼本体

SHP：316L 二次熔炼本体

Hastelloy® C22 阀杆和喷嘴

*所有选项里的膜片材质均为 Hastelloy® C276

* 带V选项均不可调节负压，

仅由压力表显示负压。

FV4: 1/4\" VFS 内螺纹

MV4: 1/4\" VFS 外螺纹

FV6: 3/8\" VFS 内螺纹

MV6: 3/8\" VFS 外螺纹

IFV4: 1/4\" 母体加工内螺纹压力表接口

TW4: 1/4\" 焊接接管

TW6: 3/8\" 焊接接管

P: 压力表 (1/4\" VFS接口)

IP: 压力表 (IFV4接口)

接口形式选择

VSR - 710UCSLV - 250 - 4 - 4P - FV4 - P - P - FV4

1 - 2 - 3 - 4

表面光洁度

空白：10 μin. Ra Max

R7：7 μin. Ra Max

R5：5 μin. Ra Max

母体孔位

2P：2 孔

3P：3 孔

4P：4 孔

阀座选项

空白：PCTFE

VS：Vespel®

工艺规范

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

单级式减压器 / Single Stage Pressure Regulator

VSR-910UB 系列

产品特点

产品尺寸 (mm)

• 单级式减压器

• 表面光洁度 15μin. Ra (10μin. Ra 可选)

• 供气系统的设计

• 采用一体式设计的波纹管做为感应元件

• 使用材质符合 ASTM A479 / A484 / A276 标准

• 硬密封结构

• 100%氦气泄漏检测

38.1

S76

2-M5

A 端口连接

FV12

MV12

inch (mm)

7.28 (185.0)

TW12 9.50 (241.4)

FV16

MV16 7.84 (199.2)

TW16 9.50 (241.4)

FV8

MV8 6.22 (158.0)

TW8 9.50 (241.4)

28.7

Max. 284.5

Ø90

技术参数流量图

类型：

进气压力：

出气压力：

表面光洁度：

材质

母体：

阀座：

膜片：

进/出气连接：

阀盖端口：

适用温度：

泄漏率：

流量参数：

重量：

单级式减压

Max. 3000 psig (200bar)

Vac to 30/60/100/150 psig (2/4/7/10bar)

15μin. Ra (10μin. Ra 可选)

SS 316L

PCTFE (Vespel® 可选)

Hastelloy® C276

1/2”3/4”1”VFS接头或焊接接管

1/8”NPT (可选)

-40oF to +160oF (-40oC to +71oC)

<1x10-9 mbar·l/s He (外部)

<1x10-8 mbar·l/s He (内部)

Cv=3.0 (1700/3000psig) / Cv=4.0 (800psig)

约 6.7kg (取决于连接或选项)

20(1.4)

10(0.7)

30(2.1)

40(2.8)

50(3.5)

60(4.1)

70(4.8)

80(5.5)

90(6.2)

500 1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000 4500 5000

进气压力

150psig[10.3bar]

100psig[6.9bar]

出气压力 psig (bar)

流量 (slpm 氮气)

Single Stage Pressure Regulator / 单级式减压器

VSR-910UB 系列

订购参数

* 压力表 1

2 1

3P 1

进/出气连接

订购举例

VSR - 910UBS - 55 - 4 - 3P - 1 - 2 - 3 - R10 - VS - P

S：316L

55： 800 psig (Cv=4.0）

117：1700 psig (Cv=3.0)

200：3000 psig* (Cv=3.0)

材质

出气压力

进气压力

* 其它连接标准，请咨询生产商。

接口形式选择

母体孔位

表面光洁度

空白：15 μin. Ra Max

R10：10 μin. Ra Max

2P：2 孔

3P：3 孔

V2：Vac to 30 psig

V4：Vac to 60 psig

V7：Vac to 100 psig

V10：Vac to 150 psig

2：to 30 psig

4：to 60 psig

7：to 100 psig

10：to 150 psig

阀座选项

空白：PCTFE

VS：Vespel®

* 带V选项均不可调节负压，

仅由压力表显示负压。

FV8: 1/2\" VFS 内螺纹

MV8: 1/2\" VFS 外螺纹

FV12: 3/4\" VFS 内螺纹

MV12: 3/4\" VFS 外螺纹

FV16: 1\" VFS 内螺纹

MV16: 1\" VFS 外螺纹

MV4: 1/4\" VFS 外螺纹

IFV4: 1/4\" 母体加工内螺纹压力表接口

TW8: 1/2\" 焊接接管

TW12: 3/4\" 焊接接管

TW16: 1\"焊接接管

P: 压力表 (1/4\" VFS接口)

IP: 压力表 (IFV4接口)

VSR - 910UBS - 55 - 10 - 2P - MV12 - FV12

1 - 2

工艺规范

空白：VS001B

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

* 仅适用出气压力：V7/7

单级式减压器 / Single Stage Pressure Regulator

VSR-911UB 系列

产品特点

产品尺寸 (mm)

• 单级式减压器

• 表面光洁度 15μin. Ra (10μin. Ra 可选)

• 供气系统的设计

• 采用一体式设计的波纹管做为感应元件

• 使用材质符合 ASTM A479 / A484 / A276 标准

• 硬密封结构

• 100%氦气泄漏检测

Ф90

270

技术参数流量图

类型：

进气压力：

出气压力：

表面光洁度：

材质

母体：

阀座：

膜片：

进/出气连接：

阀盖端口：

适用温度：

泄漏率：

流量参数：

重量：

单级式减压

Max. 3000 psig (200bar)

300 psig (21bar)

15μin. Ra (10μin. Ra 可选)

SS 316L

PCTFE (Vespel® 可选)

Hastelloy® C22

1/2”3/4”1”VFS接头或焊接接管

1/8”NPT (可选)

-40oF to +160oF (-40oC to +71oC)

<1x10-9 mbar·l/s He (外部)

<1x10-8 mbar·l/s He (内部)

Cv=3.0 (1700/3000psig) / Cv=4.0 (800psig)

约 6.7kg (取决于连接或选项)

A 端口连接

FV12

MV12

inch (mm)

7.28 (185.0)

TW12 9.50 (241.4)

FV16

MV16 7.84 (199.2)

TW16 9.50 (241.4)

FV8

MV8 6.22 (158.0)

TW8 9.50 (241.4)

2-M5 38.1

100(6.9)

50(3.45)

150(10.34)

200(13.79)

250(17.24)

300(20.69)

200 400 600 800 1200 1400 1600 1800 2000

进气压力

600psig [41.4bar]

进气压力 psig (bar)

流量 (slpm nitrogen)

Single Stage Pressure Regulator / 单级式减压器

VSR-911UB 系列

订购参数

* 压力表

2 1

3P 1

进/出气连接

订购举例

VSR - 911UBS - 55 - P21 - 3P - 1 - 2 - 3 - R10 - VS - P

S：316L

55： 800 psig (Cv=4.0）

117：1700 psig (Cv=3.0)

200：3000 psig* (Cv=3.0)

材质

出气压力

进气压力

* 其它连接标准，请咨询生产商。

接口形式选择

母体孔位

表面光洁度

空白：15 μin. Ra Max

R10：10 μin. Ra Max

2P：2 孔

3P：3 孔

P21: Preset to 300 psig*

阀座选项

空白：PCTFE

VS：Vespel®

* 300psig出口压力预设在800psig

(55bar)入口压力。

FV8: 1/2\" VFS 内螺纹

MV8: 1/2\" VFS 外螺纹

FV12: 3/4\" VFS 内螺纹

MV12: 3/4\" VFS 外螺纹

FV16: 1\" VFS 内螺纹

MV16: 1\" VFS 外螺纹

MV4: 1/4\" VFS 外螺纹

IFV4: 1/4\" 母体加工内螺纹压力表接口

TW8: 1/2\" 焊接接管

TW12: 3/4\" 焊接接管

TW16: 1\"焊接接管

P: 压力表 (1/4\" VFS接口)

IP: 压力表 (IFV4接口)

工艺规范

空白：VS001B

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

VSR - 911UBS - 55 - P21 - 2P - MV12 - FV12

1 - 2

* 仅适用VS选型。

单级式减压器 / Single Stage Pressure Regulator

VSR-920UB 系列

产品特点

产品尺寸 (mm)

技术参数流量图

类型：

进气压力：

出气压力：

表面光洁度：

材质

母体：

阀座：

膜片：

进/出气连接：

阀盖端口：

适用温度：

泄漏率：

流量参数：

供压效应：

重量：

单级式减压

Max. 300 psig (20bar)

Vac to 30/60/100/150 psig (2/4/7/10bar)

10μin. Ra

316L

PFA (Vespel® 可选)

Hastelloy® C276

3/4”1”VFS接头或焊接接管

1/8”NPT (可选)

-40oF to +160oF (-40oC to +71oC)

<1x10-9 mbar·l/s He (外部)

<1x10-8 mbar·l/s He (内部)

Cv=1.6

进气压力每下降100psig 出气压力上升7psig

约 2.7kg (取决于连接或选项)

• 单级式减压器

• 表面光洁度10μin. Ra

• 内部无死角

• 使用材质符合 ASTM A479 / A484 / A276 标准

• 流量可达 2000 slpm

• 压力控制精准

• 硬密封结构

• 手轮控制压力，操作简单

• 膜片阀芯一体式设计

• 100%氦气泄漏检测

A 端口连接

FV12

MV12

inch (mm)

6.78 (172.2)

TW12 6.00 (152.4)

FV16

MV16 7.34 (186.4)

2-M5 TW16 6.00 (152.4)

38.1

28.6

Ø75.9

Max. 163

Ø54

20(1.4)

40(2.8)

60(4.1)

80(5.5)

100(6.9)

120(8.3)

流量 (slpm nitrogen)

500 1000 1500 2000 2500

进气压力

150psig[10.3bar]

100psig[6.9bar]

出气压力 psig (bar)

Single Stage Pressure Regulator / 单级式减压器

VSR-920UB 系列

订购参数

* 压力表

1 2 1

3P 1

进/出气连接

订购举例

2 1

VSR - 920UBPS - 20 - V4 - 3P - 1 - 2 - 3 - VS - P

S：316L

20：300 psig

安装方式

材质出气压力

进气压力

* 其它连接标准，请咨询生产商。

接口形式选择

* 面板安装孔径：Ф39.6mm

母体孔位

2P：2 孔

3P：3 孔

空白：底部支架安装

P：面板安装*

BP：阀盖端口安装 (1/8”FNPT)

V2：Vac to 30 psig

V4：Vac to 60 psig

V7：Vac to 100 psig

V10：Vac to 150 psig

2：to 30 psig

4：to 60 psig

7：to 100 psig

10：to 150 psig

空白：PFA (标准)

VS：Vespel®

阀座选项

FV12: 3/4\" VFS 内螺纹

MV12: 3/4\" VFS 外螺纹

FV16: 1\" VFS 内螺纹

MV16: 1\" VFS 外螺纹

FV4: 1/4\" VFS 内螺纹

MV4: 1/4\" VFS 外螺纹

IFV4: 1/4\" 母体加工内螺纹压力表接口

TW12: 3/4\" 焊接接管

TW16: 1\"焊接接管

P: 压力表 (1/4\" VFS接口)

IP: 压力表 (IFV4接口)

工艺规范

空白：VS001B

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

VSR - 920UBS - 20 - 10 - 2P - MV12 - FV12

1 - 2

单级式减压器 / Single Stage Pressure Regulator

VSR-920UC 系列

产品特点

产品尺寸 (mm)

技术参数流量图

类型：

进气压力：

出气压力：

表面光洁度：

材质

母体：

阀座：

膜片：

进/出气连接：

阀盖端口：

适用温度：

泄漏率：

流量参数：

供压效应：

重量：

单级式减压

Max. 300 psig (20bar)

Vac to 30/60/100/150 psig (2/4/7/10bar)

10μin Ra Average

(10μin. Ra Max / 7μin. Ra Max / 5μin. Ra Max 可选)

316L 二次熔炼

PFA (Vespel® 可选)

Hastelloy® C276

3/4”1”VFS接头或焊接接管

1/8”NPT (可选)

-40oF to +160oF (-40oC to +71oC)

<1x10-9 mbar·l/s He (外部)

<1x10-8 mbar·l/s He (内部)

Cv=1.6

进气压力每下降100psig 出气压力上升7psig

约 2.7kg (取决于连接或选项)

• 单级式减压器

• 表面光洁度 10μin. Ra Average

(10μin. Ra Max / 7μin. Ra Max / 5μin. Ra Max 可选)

• 内部无死角

• 使用材质符合 ASTM A479 / A484 / A276 标准

• 流量可达 2000 slpm

• 压力控制精准

• 硬密封结构

• 手轮控制压力，操作简单

• 膜片阀芯一体式设计

• 100%氦气泄漏检测

A 端口连接

FV12

MV12

inch (mm)

6.78 (172.2)

TW12 6.00 (152.4)

FV16

MV16 7.34 (186.4)

2-M5 TW16 6.00 (152.4)

38.1

28.6

Ø75.9

Max. 163

Ø54

20(1.4)

40(2.8)

60(4.1)

80(5.5)

100(6.9)

120(8.3)

流量 (slpm nitrogen)

500 1000 1500 2000 2500

进气压力

150psig[10.3bar]

100psig[6.9bar]

出气压力 psig (bar)

Single Stage Pressure Regulator / 单级式减压器

VSR-920UC 系列

订购参数

订购举例

* 压力表

1 2 1

3P 1

2 1

VSR - 920UCP SLV- 20 - V4 - 3P - 1 - 2 - 3 - R5 - VS - P

SLV：316L 二次熔炼

20：300 psig

安装方式

材质出气压力

进气压力

* 其它连接标准，请咨询生产商。

接口形式选择

进/出气连接

* 面板安装孔径：Ф39.6mm

母体孔位

2P：2 孔

3P：3 孔

空白：底部支架安装

P：面板安装*

BP：阀盖端口安装 (1/8”FNPT)

V2：Vac to 30 psig

V4：Vac to 60 psig

V7：Vac to 100 psig

V10：Vac to 150 psig

2：to 30 psig

4：to 60 psig

7：to 100 psig

10：to 150 psig

空白：PFA (标准)

VS：Vespel®

阀座选项

FV12: 3/4\" VFS 内螺纹

MV12: 3/4\" VFS 外螺纹

FV16: 1\" VFS 内螺纹

MV16: 1\" VFS 外螺纹

FV4: 1/4\" VFS 内螺纹

MV4: 1/4\" VFS 外螺纹

IFV4: 1/4\" 母体加工内螺纹压力表接口

TW12: 3/4\" 焊接接管

TW16: 1\"焊接接管

P: 压力表 (1/4\" VFS接口)

IP: 压力表 (IFV4接口)

工艺规范

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

VSR - 920UCSLV - 20 - 10 - 2P - MV12 - FV12

1 - 2

表面光洁度

空白：10 μin. Ra

R7：7 μin. Ra

R5：5 μin. Ra

单级式减压器 / Single Stage Pressure Regulator

VSR-930UB 系列

产品特点

产品尺寸 (mm)

技术参数流量图

类型：

进气压力：

出气压力：

表面光洁度：

材质

母体：

阀座：

膜片：

进/出气连接：

阀盖端口：

适用温度：

泄漏率：

流量参数：

重量：

单级式减压

Max. 5800 psig (400bar)

500/2500 psig (35/170bar)

10μin. Ra

316L

PCTFE (Vespel® 可选)

Hastelloy® C276

1/4”VFS接头或焊接接管

1/8”NPT (在选择面板安装时，上盖端口不是螺纹连接的)

0oF to +140oF (-18oC to +60oC)

泡沫测试

Cv=0.09 (Cv=0.15 可选)

约 2.0kg (取决于连接或选项)

• 单级式减压器

• 表面光洁度 10μin. Ra

• 内部无死角，吹扫时间短

• 活塞传感元件

• 使用材质符合 ASTM A479 / A484 / A276 标准

• 参考流量: 30slpm(标准)，120slpm(HF选项)

• 压力控制精准

• 硬密封结构

• 手轮控制压力，操作简单

• 仅适用于惰性气体

端口连接 A

FV4

3.70 94

MV4

inch mm

2-M5

Ø54

Ø50.8

Max. 162.5

1400 (96.5)

1200 (82.7)

1200

1000 (68.9)

1000

800 (55.1)

800

600 (41.3)

600

400 (27.5)

400

200 (13.7)

0 200

出气压力 psig (bar)

流量 (slpm nitrogen)

进气压力

1500psig (103.4 bar)

1000psig(68.9bar)

Single Stage Pressure Regulator / 单级式减压器

VSR-930UB 系列

订购参数

订购举例

* 压力表

2 1

3P 1

3 1

* 其它连接标准，请咨询生产商。

VSR - 930UBPS - 400 - 170 - 4P - 1 - 2 - 3 - 4 - HF - VS - X - P

材质

进气压力

400：5800 psig

Cv 选项

空白：Cv=0.09

HF：Cv=0.15*

母体孔位

2P：2 孔

3P：3 孔

4P：4孔

出气压力

35：25~500 psig

170：100~2500 psig

进/出气连接

安装方式

空白：底部支架安装

P：面板安装 *

* 面板安装孔径 Ф36mm

阀座选项

空白：PCTFE

VS：Vespel®

选项

空白：自泄压

X：无自泄压

S：316L

接口形式选择

FV4: 1/4\" VFS 内螺纹

MV4: 1/4\" VFS 外螺纹

IFV4: 1/4\" 母体加工内螺纹压力表接口

TW4: 1/4\" 焊接接管

P: 压力表 (1/4\" VFS接口)

IP: 压力表 (IFV4接口)

工艺规范

空白：VS001B

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

VSR - 930UBS - 400 - 170 - 3P - FV4 - P - FV4

1 - 2 - 3

*HF选项仅使用Vespel®阀座

4 4P 1

2 * 3 *

VDV32UB 系列

隔膜阀 / Diaphragm Valve

-10 0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200

40°C, 10bar 80°C, 8.9bar

100°C, 8.4bar

150°C, 7.6bar

温度 (ºC)

压力 (Bar)

PCTFE 阀座

PI/PA 阀座

最大工作压力:

驱动工作压力:

最大工作温度:

表面光洁度:

材质

母体:

膜片:

密封垫:

手柄:

内部泄漏率:

外部泄漏率:

流量参数:

重量:

150 psig (10 bar)

58~87psig (4~6bar)

14oF ~ 176oF (-10oC ~ 80oC)

10μin. Ra

详见订购参数

Elgiloy®

PCTFE

<1x10-9 mbar·l/s He

1/4”Cv=0.3 3/8”1/2”3/4”Cv=0.65

约 0.27kg (取决于连接或选项)

• 适用于半导体制造设备和设施中超高纯、易燃或有毒的气体管路

• 直通膜片结构，具有优越的密封性能，卓越的耐用性和紧凑性

• 可视化手轮，有效判断开关状态

• 优异的排气特性

• EP标准表面处理

• 标准阀座材料为 PCTFE，Vespel® / PFA 可选

1/2 型

1/4 型（IS选项）

1/2 型

产品特点

温度 / 压力等级

技术参数

1/4 型（带锁）

VDV32UB 系列

Diaphragm Valve / 隔膜阀

产品尺寸 (mm)

1/4, 3/8, 1/2 手动型 (VFS 外螺纹)

Max Press. 10Bar

V1901

316L EP

2-M5X0.8

DP6

45°

OPEN 0° CLOSE 270°

1/4, 1/2, 3/4 手动型 (VFS 内螺纹)

2-M5X0.8

DP6

Max Press. 10Bar

V1901

316L EP

45°

OPEN 0° CLOSE 270°

3/4 手动型 (VFS 外螺纹)

2-M5X0.8

DP6

H C

Max Press. 10Bar

VXXXX

316L EP

OPEN 0° CLOSE 270°

手动型

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

3/4”VFS 外螺纹

3/4”VFS 内螺纹

4.4

Ф45

122.3

106.3

Ф25.4

Ф28

18.2

21.5

A B C E F L H

Ф34.6

REF. 89

1/4 手动型带锁 (VFS 外螺纹)

VDV32UB 系列

隔膜阀 / Diaphragm Valve

VDV32UBS - M - A - MV4 - MV4 - PA - LOTOC - IS - P

材质

执行机构

S：316L

选项

M：手动

PO：气动（常开）

PC：气动（常闭）空白：标准

IS：开关位置指示器

选项

空白：标准

LOTO：关闭位锁止*

LOTC：开启位锁止*

LOTOC：开启/关闭双位锁止*

工艺规范

空白：VS001B

P：VS001A

阀座选项

空白：PCTFE (标准)

VS：Vespel®

PA：PFA 气路方向

详见附表P69：气路方向图。

* 详情请参阅附录。

产品尺寸 (mm)

订购参数

* 其他连接标准，请咨询经销商。

端口连接

MV4：1/4\" VFS 外螺纹

FV4：1/4\" VFS 内螺纹

TW4：1/4\" 焊接接管

MV6：1/2\" VFS 外螺纹 3/8\" O.D.

FV6：1/2\" VFS 内螺纹 3/8” O.D.

TW6：3/8\" 焊接接管

MV8：1/2\" VFS 外螺纹

FV8：1/2\" VFS 内螺纹

TW8：1/2\" 焊接接管

MV12：3/4\" VFS 外螺纹

FV12：3/4\" VFS 内螺纹

* 仅手动型可选。

端口连接驱动方式孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

4.4

Ф39.6

Ф55

Ф25.4

Ф28

M5x0.8

18.2

A B C D E F L H

气动型（常开或常闭）

N.C / N.O

1/4”, 3/8”, 1/2” 管件尺寸仅供参考，其它连接方式请咨询工厂。

1/4 气动型 (VFS 外螺纹)

Max Press. 10Bar

V1901

316L EP

2-M5X0.8

DP6

45°

N.C / N.O

1/2 气动型 (VFS 内螺纹)

2-M5X0.8

DP6

N.C / N.O

Max Press. 10Bar

VXXXX

316L EP

45°

VDV32UC 系列

Diaphragm Valve / 隔膜阀

-10 0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200

40°C, 10bar 80°C, 8.9bar

100°C, 8.4bar

150°C, 7.6bar

温度 (ºC)

压力 (Bar)

PCTFE 阀座

PI/PA 阀座

最大工作压力:

驱动工作压力:

最大工作温度:

表面光洁度:

材质

母体:

膜片:

密封垫:

手柄:

内部泄漏率:

外部泄漏率:

流量参数:

重量:

150 psig (10 bar)

58~87psig (4~6bar)

14oF ~ 176oF (-10oC ~ 80oC)

7μin. Ra

详见订购参数

Elgiloy®

PCTFE

<1x10-9 mbar·l/s He

1/4”Cv=0.3 3/8”1/2”3/4”Cv=0.65

约 0.27kg (取决于连接或选项)

• 适用于半导体制造设备和设施中超高纯、易燃或有毒的气体管路

• 直通膜片结构，具有优越的密封性能，卓越的耐用性和紧凑性

• 可视化手轮，有效判断开关状态

• 优异的排气特性

• EP标准表面处理

• 标准阀座材料为 PCTFE，Vespel® / PFA 可选

产品特点

温度 / 压力等级

技术参数

1/2 型

1/4 型（IS选项）

1/2 型

1/4 型（带锁）

VDV32UC 系列

隔膜阀 / Diaphragm Valve

产品尺寸 (mm)

1/4, 3/8, 1/2 手动型 (VFS 外螺纹)

Max Press. 10Bar

V1901

316L EP

2-M5X0.8

DP6

45°

OPEN 0° CLOSE 270°

1/4, 1/2, 3/4 手动型 (VFS 内螺纹)

2-M5X0.8

DP6

Max Press. 10Bar

V1901

316L EP

45°

OPEN 0° CLOSE 270°

3/4 手动型 (VFS 外螺纹)

2-M5X0.8

DP6

H C

Max Press. 10Bar

VXXXX

316L EP

OPEN 0° CLOSE 270°

手动型

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

3/4”VFS 外螺纹

3/4”VFS 内螺纹

4.4

Ф45

122.3

106.3

Ф25.4

Ф28

18.2

21.5

A B C E F L H

Ф34.6

REF. 89

1/4 手动型带锁 (VFS 外螺纹)

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