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VDV32UC 系列

Diaphragm Valve / 隔膜阀

VDV32UCSLV - M - A - MV4 - MV4 - PA - LOTOC - IS - P

材质

执行机构

SLV：316L 二次熔炼

选项

M：手动

PO：气动（常开）

PC：气动（常闭）

空白：标准

IS：开关位置指示器

工艺规范

P：VS001A

气路方向

详见附表P69：气路方向图。

* 详情请参阅附录。

产品尺寸 (mm)

订购参数

选项

空白：标准

LOTO：关闭位锁止*

LOTC：开启位锁止*

LOTOC：开启/关闭双位锁止*

阀座选项

空白：PCTFE (标准)

VS：Vespel®

PA：PFA

* 其他连接标准，请咨询经销商。

端口连接

MV4：1/4\" VFS 外螺纹

FV4：1/4\" VFS 内螺纹

TW4：1/4\" 焊接接管

MV6：1/2\" VFS 外螺纹 3/8\" O.D.

FV6：1/2\" VFS 内螺纹 3/8” O.D.

TW6：3/8\" 焊接接管

MV8：1/2\" VFS 外螺纹

FV8：1/2\" VFS 内螺纹

TW8：1/2\" 焊接接管

MV12：3/4\" VFS 外螺纹

FV12：3/4\" VFS 内螺纹

* 仅手动型可选。

端口连接驱动方式孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

4.4

7

Ф39.6

Ф55

70

78

26

36

57

71

77

83

26

36

Ф25.4

Ф28

M5x0.8

11

18.2

A B C D E F L H

气动型（常开或常闭）

N.C / N.O

1/4”, 3/8”, 1/2” 管件尺寸仅供参考，其它连接方式请咨询工厂。

1/4 气动型 (VFS 外螺纹)

Max Press. 10Bar

V1901

316L EP

C

L

H

B

A

2-M5X0.8

DP6

E

F

45°

N.C / N.O

D

1/2 气动型 (VFS 内螺纹)

2-M5X0.8

DP6

N.C / N.O

D

E

Max Press. 10Bar

VXXXX

316L EP

B

L

H

A

C

45°

F

48

VDV33UB 系列

隔膜阀 / Diaphragm Valve

温度 (ºC)

压力 (bar)

-10 0 20 40 60 80 100

50

100

150

200

250

-10°C, 205bar 40°C, 205bar

最大工作压力:

驱动工作压力:

最大工作温度.:

表面光洁度:

材质

母体:

膜片:

密封垫:

手柄:

内部泄漏率:

外部泄漏率:

流量参数:

重量:

3000 psig (200 bar)

58~87psig (4~6bar)

14oF ~ 104oF (-10oC ~ 40oC)

10μin. Ra

详见订购参数

Elgiloy®

PCTFE

AL

<1x10-9 mbar·l/s He

1/4”Cv=0.27，3/8”1/2”Cv=0.5

约 0.27kg (取决于连接或选项)

• 适用于半导体制造设备和设施中超高纯、易燃或有毒的气体管路

• 直通膜片结构，具有优越的密封性能，卓越的耐用性和紧凑性

• 可视化手轮，有效判断开关状态

• 优异的排气特性

• EP标准表面处理

• 标准阀座材料为 PCTFE，Vespel® / PFA 可选

产品特点

温度 / 压力等级

技术参数

1/2 型

1/4 型

49

VDV33UB 系列

Diaphragm Valve / 隔膜阀

Dimensions (mm)

2-M5X0.8

DP6

A

B

Max Press. 205Bar

V1901

316L EP

H

C

L E

E

F

1/4 手动型 (VFS 外螺纹) 1/4 手动型 (VFS 内螺纹)

Max Press. 205Bar

V1901

316L EP

A

B

H

C

L E

E

2-M5X0.8

DP6

F

Max Press. 205Bar

V1911

316L EP

A

B

L

H

C

F

E

2-M5X0.8

DP6

E

1/2 手动型 (VFS 内螺纹)

1/4 气动型 (VFS 外螺纹常闭)

E

2-M5X0.8

DP6

F

B

Max Press. 205Bar

V1901

316L EP

C

L

H

A

Ø58

D Ø24

9

N.O

1/4 气动型 (VFS 外螺纹常开)

2-M5X0.8

DP6

H

A

B

L

C

Max Press. 205Bar

V19XX

316L EP

E

F

3/8, 1/2 手动型 (VFS 外螺纹)

A

Max Press. 205Bar

V1901

316L EP

H

C

B

L

N.C

D

E

2-M5X0.8

DP6

F

OPEN 0° CLOSE 180°

50

VDV33UB 系列

隔膜阀 / Diaphragm Valve

Ø58

D Ø24

9

N.O

Max Press. 205Bar

V1901

316L EP

B

H

C

L

A

E

2-M5X0.8

DP6

F

1/4 气动型 (VFS 内螺纹常开)

N.C

D

Max Press. 205Bar

V1901

316L EP

B

H

C

L

A

E

2-M5X0.8

DP6

F

1/4 气动型 (VFS 内螺纹常闭)

Max Press. 205Bar

V19XX

316L EP

A

L

B

H

C

27

E

F

2-M5X0.8

DP6

N.C

D

1/2 气动型 (VFS 内螺纹常闭)

2-M5X0.8

DP6

Max Press. 205Bar

V19XX

316L EP

H

L

B

A

C

N.C

D

E

F

3/8, 1/2 气动型 (VFS 外螺纹常闭)

1/4 气动型 (VFS 外螺纹常闭) HPC

A

N.C

D

E

2-M5X0.8

DP6

F

B

Max Press. 205Bar

V1901

316L EP

C

L

H

126

3/8, 1/2 气动型 (VFS 内螺纹常闭) HPC

Max Press. 205Bar

V19XX

316L EP

A

L

B

H

C

27

E

F

2-M5X0.8

DP6

N.C

D

126

51

VDV33UB 系列

Diaphragm Valve / 隔膜阀

VDV33UBS - M - A - MV4 - MV4 - PA - P

材质

S：316L

M：手动

PO：气动（常开）*

PC：气动（常闭）

HPC：气动（常闭）采用多气缸设计，

密封过程更线性

驱动方式

工艺规范

* 其他连接标准，请咨询经销商。

端口连接

MV4：1/4\" VFS 外螺纹

FV4：1/4\" VFS 内螺纹

TW4：1/4\" 焊接接管

TW6：3/8\" 焊接接管

RMV8：1/2\" VFS 可旋转式外螺纹

FV8：1/2\" VFS 内螺纹

TW8：1/2\" 焊接接管

* 气动型常开选项连接尺寸为1/4”

气路方向

详见附表P69: 气路方向图。

阀座选项

空白：PCTFE (标准)

VS：Vespel®

PA：PFA

空白：VS001B

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

产品尺寸 (mm)

订购参数

1/4”, 3/8”, 1/2” 管件尺寸仅供参考，其它连接方式请咨询工厂。

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

4.4

7

Ф54

74

86

28

47.1

58.7

71.6

122.2

123.2

28

38

18

27

11.1

18.2

A B C E F L H

手动型气动型（常开或常闭）

端口连接驱动方式孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

4.4

7

N.C

N.O

N.C

N.O

N.C

Ф56.5

Ф58

Ф56.5

Ф58

Ф56.5

90.5

134

90.5

134

105

28

47.1

58.7

71.6

122.2

123.2

28

38

18

27

M5x0.8

11.1

18.2

A B C D E F L H

气动型（常闭 HPC）

端口连接驱动方式孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

4.4

7

N.C

Ф55

148.6

162

28

47.1

58.7

71.6

122.2

123.2

28

38

18

27

M5x0.8

11.1

18.2

A B C D E F L H

52

VDV33UC 系列

隔膜阀 / Diaphragm Valve

温度 (ºC)

压力 (bar)

-10 0 20 40 60 80 100

50

100

150

200

250

-10°C, 205bar 40°C, 205bar

最大工作压力:

驱动工作压力:

最大工作温度.:

表面光洁度:

材质

母体:

膜片:

密封垫:

手柄:

内部泄漏率:

外部泄漏率:

流量参数:

重量:

3000 psig (200 bar)

58~87psig (4~6bar)

14oF ~ 104oF (-10oC ~ 40oC)

7μin. Ra

详见订购参数

Elgiloy®

PCTFE

AL

<1x10-9 mbar·l/s He

1/4”Cv=0.27，3/8”1/2”Cv=0.5

约 0.27kg (取决于连接或选项)

• 适用于半导体制造设备和设施中超高纯、易燃或有毒的气体管路

• 直通膜片结构，具有优越的密封性能，卓越的耐用性和紧凑性

• 可视化手轮，有效判断开关状态

• 优异的排气特性

• EP标准表面处理

• 标准阀座材料为 PCTFE，Vespel® / PFA 可选

1/2 型

1/4 型

产品特点

温度 / 压力等级

技术参数

53

VDV33UC 系列

Diaphragm Valve / 隔膜阀

Dimensions (mm)

2-M5X0.8

DP6

A

B

Max Press. 205Bar

V1901

316L EP

H

C

L E

E

F

1/4 手动型 (VFS 外螺纹) 1/4 手动型 (VFS 内螺纹)

Max Press. 205Bar

V1901

316L EP

A

B

H

C

L E

E

2-M5X0.8

DP6

F

Max Press. 205Bar

V1911

316L EP

A

B

L

H

C

F

E

2-M5X0.8

DP6

E

1/2 手动型 (VFS 内螺纹)

1/4 气动型 (VFS 外螺纹常闭)

E

2-M5X0.8

DP6

F

B

Max Press. 205Bar

V1901

316L EP

C

L

H

A

Ø58

D Ø24

9

N.O

1/4 气动型 (VFS 外螺纹常开)

2-M5X0.8

DP6

H

A

B

L

C

Max Press. 205Bar

V19XX

316L EP

E

F

3/8, 1/2 手动型 (VFS 外螺纹)

A

Max Press. 205Bar

V1901

316L EP

H

C

B

L

N.C

D

E

2-M5X0.8

DP6

F

OPEN 0° CLOSE 180°

54

VDV33UC 系列

隔膜阀 / Diaphragm Valve

Ø58

D Ø24

9

N.O

Max Press. 205Bar

V1901

316L EP

B

H

C

L

A

E

2-M5X0.8

DP6

F

1/4 气动型 (VFS 内螺纹常开)

N.C

D

Max Press. 205Bar

V1901

316L EP

B

H

C

L

A

E

2-M5X0.8

DP6

F

1/4 气动型 (VFS 内螺纹常闭)

Max Press. 205Bar

V19XX

316L EP

A

L

B

H

C

27

E

F

2-M5X0.8

DP6

N.C

D

1/2 气动型 (VFS 内螺纹常闭)

2-M5X0.8

DP6

Max Press. 205Bar

V19XX

316L EP

H

L

B

A

C

N.C

D

E

F

3/8, 1/2 气动型 (VFS 外螺纹常闭)

1/4 气动型 (VFS 外螺纹常闭) HPC

A

N.C

D

E

2-M5X0.8

DP6

F

B

Max Press. 205Bar

V1901

316L EP

C

L

H

126

3/8, 1/2 气动型 (VFS 内螺纹常闭) HPC

Max Press. 205Bar

V19XX

316L EP

A

L

B

H

C

27

E

F

2-M5X0.8

DP6

N.C

D

126

55

1/4”, 3/8”, 1/2” 管件尺寸仅供参考，其它连接方式请咨询工厂。

VDV33UC 系列

Diaphragm Valve / 隔膜阀

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

4.4

7

Ф54

74

86

28

47.1

58.7

71.6

122.2

123.2

28

38

18

27

11.1

18.2

A B C E F L H

手动型气动型（常开或常闭）

端口连接驱动方式孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

4.4

7

N.C

N.O

N.C

N.O

N.C

Ф56.5

Ф58

Ф56.5

Ф58

Ф56.5

90.5

134

90.5

134

105

28

47.1

58.7

71.6

122.2

123.2

28

38

18

27

M5x0.8

11.1

18.2

A B C D E F L H

气动型（常闭 HPC）

端口连接驱动方式孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

4.4

7

N.C

Ф55

148.6

162

28

47.1

58.7

71.6

122.2

123.2

28

38

18

27

M5x0.8

11.1

18.2

A B C D E F L H

VDV33UCSLV - M - A - MV4 - MV4 - PA - P

材质

SLV：316L 二次熔炼

工艺规范

* 其他连接标准，请咨询经销商。

端口连接

MV4：1/4\" VFS 外螺纹

FV4：1/4\" VFS 内螺纹

TW4：1/4\" 焊接接管

TW6：3/8\" 焊接接管

RMV8：1/2\" VFS 可旋转式外螺纹

FV8：1/2\" VFS 内螺纹

TW8：1/2\" 焊接接管

气路方向

详见附表P69：气路方向图。

P：VS001A

阀座选项

空白：PCTFE (标准)

VS：Vespel®

PA：PFA

* 详情请参阅附录。

产品尺寸 (mm)

订购参数

M：手动

PO：气动（常开）*

PC：气动（常闭）

HPC：气动（常闭）采用多气缸设计，

密封过程更线性

驱动方式

* 气动型常开选项连接尺寸为1/4”

56

1/4”手动型（带锁）

1/4”直角手柄

1/4”气动型

1/4”手动型

VDV40UB 系列

隔膜阀 / Diaphragm Valve

最大工作压力:

驱动工作压力:

最大工作温度.:

表面光洁度:

材质

母体:

膜片:

密封垫:

手柄:

内部泄漏率:

外部泄漏率:

流量参数:

重量:

3000 psig (200 bar)

70~110 psig (5~8bar)

-40oF ~ 160oF (-40oC ~ 71oC)

10μin. Ra

详见订购参数

Elgiloy®

PCTFE

AL

<1x10-9 mbar·l/s He

气动 Cv=0.23 手动 Cv=0.29

约 1.27kg (取决于连接或选项)

• 适用于半导体制造设备和设施中超高纯、易燃或有毒的气体管路

• 直通膜片结构，具有优越的密封性能，卓越的耐用性和紧凑性

• 可视化手轮，有效判断开关状态

• 优异的排气特性

• EP标准表面处理

• 标准阀座材料为 PCTFE，Vespel® 可选

1/4”手动型（带锁）

温度 (ºC)

压力 (bar)

-10 0 20 40 60 80 100

50

100

150

200

250

-10°C, 205bar 40°C, 205bar

1/4”直角手柄

产品特点

温度 / 压力等级

技术参数

1/4”气动型

1/4”手动型

57

VDV40UB 系列

Diaphragm Valve / 隔膜阀

* 其他连接标准，请咨询经销商。

VDV40UBS - M - A - MV4 - MV4 - VS - LO - P

材质

S：316L

气路方向

详见附表P69：气路方向图。

工艺规范

M：手动

PC：气动 (常闭) 端口连接

驱动方式

阀座选项

MV4：1/4\" VFS 外螺纹

FV4：1/4\" VFS 内螺纹

TW4：1/4\" 焊接接管

MV6：1/2\" VFS 外螺纹 3/8\" O.D.

FV6：1/2\" VFS 内螺纹 3/8” O.D.

TW6：3/8\" 焊接接管空白：PCTFE (标准)

VS：Vespel®

手动型

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

3/8”VFS 内螺纹

1/4\" 焊接接管

3/8\" 焊接接管

4.4

Ф47.5

77

28.4

70.6

98

53.8

67.4

28.4

Ф25.4

11.2

A B C E F L H

手动型（带锁）

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

3/8”VFS 内螺纹

1/4\" 焊接接管

3/8\" 焊接接管

4.4

Ф47.5

91

28.4

70.6

98

53.8

67.4

28.4

Ф25.4

11.2

A B C E F L H

气动型（常闭）

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

3/8”VFS 内螺纹

1/4\" 焊接接管

3/8\" 焊接接管

4.4

Ф50.3

105

28.4

70.6

98

53.8

67.4

28.4

Ф25.4

11.2

M5x0.8

A B C D E F L H

手动操作选项

空白：圆形手轮

LO：圆形手轮拔出旋转锁定

L：直角手柄

H

F

C

A

E

45o

DP6

2-M5x0.8

全开全闭

open 0o close 90o

L

B

空白：VS001B

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

产品尺寸 (mm)

订购参数

58

手动型 (VFS 内螺纹)

H

F

C

A

D

E

45o

DP6

2-M5x0.8

L

B

气动型 (VFS 内螺纹)

手动型 (带锁 VFS 内螺纹）

F

E

45o

DP6

2-M5x0.8

全开全闭

open 0o close 90o

H

C

A

L

B

VDV40UC 系列

隔膜阀 / Diaphragm Valve

最大工作压力:

驱动工作压力:

最大工作温度.:

表面光洁度:

材质

母体:

膜片:

密封垫:

手柄:

内部泄漏率:

外部泄漏率:

流量参数:

重量:

3000 psig (200 bar)

70~110 psig (5~8bar)

-40oF ~ 160oF (-40oC ~ 71oC)

7μin. Ra

详见订购参数

Elgiloy®

PCTFE

AL

<1x10-9 mbar·l/s He

气动 Cv=0.23 手动 Cv=0.29

约 1.27kg (取决于连接或选项)

• 适用于半导体制造设备和设施中超高纯、易燃或有毒的气体管路

• 直通膜片结构，具有优越的密封性能，卓越的耐用性和紧凑性

• 可视化手轮，有效判断开关状态

• 优异的排气特性

• EP标准表面处理

• 标准阀座材料为 PCTFE，Vespel® 可选

温度 (ºC)

压力 (bar)

-10 0 20 40 60 80 100

50

100

150

200

250

-10°C, 205bar 40°C, 205bar

产品特点

温度 / 压力等级

技术参数 1/4”手动型（带锁）

1/4”直角手柄

1/4”气动型

1/4”手动型

59

VDV40UC 系列

Diaphragm Valve / 隔膜阀

* 其他连接标准，请咨询经销商。

VDV40UCSLV - M - A - MV4 - MV4 - VS - LO - P

材质

SLV：316L 二次熔炼

气路方向

详见附表P69：气路方向图。

工艺规范

P：VS001A

M：手动

PC：气动 (常闭)

端口连接

驱动方式

阀座选项 MV4：1/4\" VFS 外螺纹

FV4：1/4\" VFS 内螺纹

TW4：1/4\" 焊接接管

MV6：1/2\" VFS 外螺纹 3/8\" O.D.

FV6：1/2\" VFS 内螺纹 3/8” O.D.

TW6：3/8\" 焊接接管

空白：PCTFE (标准)

VS：Vespel®

手动操作选项

空白：圆形手轮

LO：圆形手轮拔出旋转锁定

L：直角手柄

* 详情请参阅附录。

产品尺寸 (mm)

订购参数

60

手动型

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

3/8”VFS 内螺纹

1/4\" 焊接接管

3/8\" 焊接接管

4.4

Ф47.5

77

28.4

70.6

98

53.8

67.4

28.4

Ф25.4

11.2

A B C E F L H

手动型（带锁）

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

3/8”VFS 内螺纹

1/4\" 焊接接管

3/8\" 焊接接管

4.4

Ф47.5

91

28.4

70.6

98

53.8

67.4

28.4

Ф25.4

11.2

A B C E F L H

气动型（常闭）

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

3/8”VFS 内螺纹

1/4\" 焊接接管

3/8\" 焊接接管

4.4

Ф50.3

105

28.4

70.6

98

53.8

67.4

28.4

Ф25.4

11.2

M5x0.8

A B C D E F L H

H

F

C

A

E

45o

DP6

2-M5x0.8

全开全闭

open 0o close 90o

L

B

手动型 (VFS 内螺纹)

H

F

C

A

D

E

45o

DP6

2-M5x0.8

L

B

气动型 (VFS 内螺纹)

手动型 (带锁 VFS 内螺纹）

F

E

45o

DP6

2-M5x0.8

全开全闭

open 0o close 90o

H

C

A

L

B

VDV42UB 系列

隔膜阀 / Diaphragm Valve

-10 0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200

5

10

15

40°C, 10bar 80°C, 8.9bar

100°C, 8.4bar

150°C, 7.6bar

温度 (ºC)

压力 (Bar)

PCTFE 阀座

PI/PA 阀座

最大工作压力:

驱动工作压力:

最大工作温度:

表面光洁度:

材质

母体:

膜片:

密封垫:

手柄:

内部泄漏率:

外部泄漏率:

流量参数:

重量:

300 psig (20 bar)

58~87psig (4~6bar)

14oF ~ 176oF (-10oC ~ 80oC)

10μin. Ra

详见订购参数

Elgiloy®

PCTFE

AL

<1x10-9 mbar·l/s He

1/4”Cv=0.3 3/8”Cv=0.65

约 0.27kg (取决于连接或选项)

• 适用于半导体制造设备和设施中超高纯、易燃或有毒的气体管路

• 直通膜片结构，具有优越的密封性能，卓越的耐用性和紧凑性

• 可视化手轮，有效判断开关状态

• 优异的排气特性

• EP标准表面处理

• 标准阀座材料为 PCTFE，Vespel® / PFA 可选

产品特点

温度 / 压力等级

维修包订购信息

技术参数

订购编号

DV42-WXB-316L-PCTFE

DV42-WXB-316L-Vespel

DV42-WXB-316L-PFA

PCTFE

Vespel

PFA

包含1 pcs 阀座组件及2 pcs 膜片适用于可更换阀座隔膜阀

阀座材质描述说明

61

1/4 Type

1/4 Type（IS option）

1/4 Type

1/4 Type（Lock）

VDV42UB 系列

Diaphragm Valve / 隔膜阀

产品尺寸 (mm)

手动型

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

4.4

7

Ф45

64

78

26

36

57

71

77

26

36

Ф25.4

Ф28

11

18.2

A B C E F L H

62

A

Max Press. 10Bar

V1901

316L EP

C

L

H

B

2-M5X0.8

DP6

E

F

45°

1/4, 3/8 manual actuator (VFS male)

OPEN 0° CLOSE 270°

2-M5X0.8

DP6

L

B

Max Press. 10Bar

V1901

316L EP

A

H

C

E

F

45° 1/4 manual actuator (VFS female)

OPEN 0° CLOSE 270°

Ф34.6

26

57

REF. 94

11

26

1/4 manual actuator (VFS female) Position Lock

Max Press. 10Bar

V1901

316L EP

C

L

H

B

A

2-M5X0.8

DP6

E

F

45°

N.C / N.O

D

1/4 pneumatic actuator (VFS male)

端口连接驱动方式孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

4.4

7

Ф39.6

Ф55

70

78

26

36

57

71

77

26

36

Ф25.4

Ф28

M5x0.8

11

18.2

A B C D E F L H

气动型（常开或常闭）

N.C / N.O

订购参数

VDV42UBS - M - A - MV4 - MV4 - PA - LOTOC - IS - P

材质

执行机构

S：316L

M：手动选项

PO：气动（常开）

PC：气动（常闭）空白：标准

IS：开关位置指示器

工艺规范

空白：VS001B

P：VS001A

阀座选项

空白：PCTFE (标准)

VS：Vespel®

PA：PFA

气路方向

详见附表P69：气路方向图。

* 详情请参阅附录。

* 其他连接标准，请咨询经销商。

端口连接

MV4：1/4\" VFS 外螺纹

FV4：1/4\" VFS 内螺纹

TW4：1/4\" 焊接接管

TW6：3/8\" 焊接接管

选项

空白：标准

LOTO：关闭位锁止*

LOTC：开启位锁止*

LOTOC：开启/关闭双位锁止*

* 仅手动型可选。

VDV42UC 系列

隔膜阀 / Diaphragm Valve

最大工作压力:

驱动工作压力:

最大工作温度:

表面光洁度:

材质

母体:

膜片:

密封垫:

手柄:

内部泄漏率:

外部泄漏率:

流量参数:

重量:

300 psig (20 bar)

58~87psig (4~6bar)

14oF ~ 176oF (-10oC ~ 80oC)

7μin. Ra

详见订购参数

Elgiloy®

PCTFE

AL

<1x10-9 mbar·l/s He

1/4”Cv=0.3 3/8”Cv=0.65

约 0.27kg (取决于连接或选项)

• 适用于半导体制造设备和设施中超高纯、易燃或有毒的气体管路

• 直通膜片结构，具有优越的密封性能，卓越的耐用性和紧凑性

• 可视化手轮，有效判断开关状态

• 优异的排气特性

• EP标准表面处理

• 标准阀座材料为 PCTFE，Vespel® / PFA 可选

产品特点

技术参数

订购编号

DV42-WXB-316L S.R-PCTFE

DV42-WXB-316L S.R-Vespel

DV42-WXB-316L S.R-PFA

PCTFE

Vespel

PFA

包含1 pcs 阀座组件及2 pcs 膜片适用于可更换阀座隔膜阀

阀座材质描述说明

-10 0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200

5

10

15

40°C, 10bar 80°C, 8.9bar

100°C, 8.4bar

150°C, 7.6bar

温度 (ºC)

压力 (Bar)

PCTFE 阀座

PI/PA 阀座

温度 / 压力等级

维修包订购信息

63

1/4 Type

1/4 Type（IS option）

1/4 Type

1/4 Type（Lock）

VDV42UC 系列

Diaphragm Valve / 隔膜阀

产品尺寸 (mm)

订购参数

VDV42UCSLV - M - A - MV4 - MV4 - PA - LOTOC - IS - P

材质

执行机构

SLV：316L 二次熔炼

选项

M：手动

PO：气动（常开）

PC：气动（常闭）

空白：标准

IS：开关位置指示器

工艺规范

P：VS001A

气路方向

详见附表P69：气路方向图。

* 详情请参阅附录。

* 其他连接标准，请咨询经销商。

端口连接

MV4：1/4\" VFS 外螺纹

FV4：1/4\" VFS 内螺纹

TW4：1/4\" 焊接接管

TW6：3/8\" 焊接接管

阀座选项

空白：PCTFE (标准)

VS：Vespel®

PA：PFA

选项

空白：标准

LOTO：关闭位锁止*

LOTC：开启位锁止*

LOTOC：开启/关闭双位锁止*

* 仅手动型可选。

手动型

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

4.4

7

Ф45

64

78

26

36

57

71

77

26

36

Ф25.4

Ф28

11

18.2

A B C E F L H

A

Max Press. 10Bar

V1901

316L EP

C

L

H

B

2-M5X0.8

DP6

E

F

45°

1/4, 3/8 manual actuator (VFS male)

OPEN 0° CLOSE 270°

2-M5X0.8

DP6

L

B

Max Press. 10Bar

V1901

316L EP

A

H

C

E

F

45° 1/4 manual actuator (VFS female)

OPEN 0° CLOSE 270°

Ф34.6

26

57

REF. 94

11

26

1/4 manual actuator (VFS female) Position Lock

Max Press. 10Bar

V1901

316L EP

C

L

H

B

A

2-M5X0.8

DP6

E

F

45°

N.C / N.O

D

1/4 pneumatic actuator (VFS male)

端口连接驱动方式孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

4.4

7

Ф39.6

Ф55

70

78

26

36

57

71

77

26

36

Ф25.4

Ф28

M5x0.8

11

18.2

A B C D E F L H

气动型（常开或常闭）

N.C / N.O

64

VDV52UB 系列

隔膜阀 / Diaphragm Valve

最大工作压力:

驱动工作压力:

最大工作温度.:

表面光洁度:

材质

母体:

膜片:

密封垫:

手柄:

内部泄漏率:

外部泄漏率:

流量参数:

重量:

300 psig (20 bar)

58~87psig (4~6bar)

14oF ~ 176oF (-10oC ~ 80oC)

10μin. Ra

详见订购参数

Elgiloy®

PCTFE

AL

<1x10-9 mbar·l/s He

1/4”Cv=0.3 3/8”1/2”Cv=0.65

约 0.27kg (取决于连接或选项)

1/2 型

1/4 型

• 适用于半导体制造设备和设施中超高纯、易燃或有毒的气体管路

• 直通膜片结构，具有优越的密封性能，卓越的耐用性和紧凑性

• 可视化手轮，有效判断开关状态

• 优异的排气特性

• EP标准表面处理

• 标准阀座材料为 PCTFE，Vespel® / PFA 可选

温度 (ºC) PCTFE 阀座

PI/PA 阀座

-10 0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200

5

10

15

20

压力 (Bar)

40°C, 20bar 80°C, 17.8bar

100°C, 16.8bar

150°C, 15.2bar

产品特点

温度 / 压力等级

技术参数

65

VDV52UB 系列

Diaphragm Valve / 隔膜阀

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

4.4

7

Ф45

64

78

26

36

57

71

77

83

26

36

Ф25.4

Ф28

11

18.2

A B C E F L H

手动型

1/4, 3/8, 1/2 手动型 (VFS 外螺纹)

1/4, 1/2 手动型 (VFS 内螺纹)

1/4 气动型 (VFS 外螺纹)

1/2 气动型 (VFS 内螺纹)

端口连接驱动方式孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

4.4

7

Ф39.6

Ф55

70

78

26

36

57

71

77

83

26

36

Ф25.4

Ф28

M5x0.8

11

18.2

A B C D E F L H

气动型（常开或常闭）

N.C / N.O

2-M5X0.8

DP6

E

F

45°

N.C / N.O

D

Max Press. 20Bar

V1901

316L EP

C

L

H

B

A

2-M5X0.8

DP6

N.C / N.O

D

E 45°

F

Max Press. 20Bar

VXXXX

316L EP

B

L

H

A

C

2-M5X0.8

DP6

E

F

45°

A

Max Press. 20Bar

V1901

316L EP

C

L

H

B

2-M5X0.8

DP6

E

F

45°

L

B

Max Press. 20Bar

V1901

316L EP

A

H

C

VDV52UBS - M - A - MV4 - MV4 - PA - P

材质

S：316L

驱动方式

工艺规范

M：手动

PO：气动（常开）

PC：气动（常闭）

气路方向

详见附表P69：气路方向图。

* 其他连接标准，请咨询经销商。

端口连接

MV4：1/4\" VFS 外螺纹

FV4：1/4\" VFS 内螺纹

TW4：1/4\" 焊接接管

MV6：1/2\" VFS 外螺纹 3/8\" O.D.

FV6：1/2\" VFS 内螺纹 3/8” O.D.

TW6：3/8\" 焊接接管

MV8：1/2\" VFS 外螺纹

FV8：1/2\" VFS 内螺纹

TW8：1/2\" 焊接接管

阀座选项

空白：PCTFE (标准)

VS：Vespel®

PA：PFA

空白：VS001B

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

产品尺寸 (mm)

订购参数

OPEN 0° CLOSE 270°

66

VDV52UC 系列

隔膜阀 / Diaphragm Valve

温度 (ºC) PCTFE 阀座

PI/PA 阀座

最大工作压力:

驱动工作压力:

最大工作温度.:

表面光洁度:

材质

母体:

膜片:

密封垫:

手柄:

内部泄漏率:

外部泄漏率:

流量参数:

重量:

300 psig (20 bar)

58~87psig (4~6bar)

14oF ~ 176oF (-10oC ~ 80oC)

7μin. Ra

详见订购参数

Elgiloy®

PCTFE

AL

<1x10-9 mbar·l/s He

1/4”Cv=0.3 3/8”1/2”Cv=0.65

约 0.27kg (取决于连接或选项)

1/2 型

1/4 型

• 适用于半导体制造设备和设施中超高纯、易燃或有毒的气体管路

• 直通膜片结构，具有优越的密封性能，卓越的耐用性和紧凑性

• 可视化手轮，有效判断开关状态

• 优异的排气特性

• EP标准表面处理

• 标准阀座材料为 PCTFE，Vespel® / PFA 可选

-10 0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200

5

10

15

20

压力 (Bar)

40°C, 20bar 80°C, 17.8bar

100°C, 16.8bar

150°C, 15.2bar

产品特点

温度 / 压力等级

技术参数

67

VDV52UC 系列

Diaphragm Valve / 隔膜阀

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

4.4

7

Ф45

64

78

26

36

57

71

77

83

26

36

Ф25.4

Ф28

11

18.2

A B C E F L H

手动型

1/4, 3/8, 1/2 手动型 (VFS 外螺纹)

1/4, 1/2 手动型 (VFS 内螺纹)

1/4 气动型 (VFS 外螺纹)

1/2 气动型 (VFS 内螺纹)

端口连接驱动方式孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

3/8”VFS 外螺纹

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

4.4

7

Ф39.6

Ф55

70

78

26

36

57

71

77

83

26

36

Ф25.4

Ф28

M5x0.8

11

18.2

A B C D E F L H

气动型（常开或常闭）

N.C / N.O

2-M5X0.8

DP6

E

F

45°

N.C / N.O

D

Max Press. 20Bar

V1901

316L EP

C

L

H

B

A

2-M5X0.8

DP6

N.C / N.O

D

E 45°

F

Max Press. 20Bar

VXXXX

316L EP

B

L

H

A

C

2-M5X0.8

DP6

E

F

45°

A

Max Press. 20Bar

V1901

316L EP

C

L

H

B

2-M5X0.8

DP6

E

F

45°

L

B

Max Press. 20Bar

V1901

316L EP

A

H

C

VDV52UCSLV - M - A - MV4 - MV4 - PA - P

材质

SLV：316L 二次熔炼

驱动方式

工艺规范

M：手动

PO：气动（常开）

PC：气动（常闭）

气路方向

详见附表P69：气路方向图。

* 其他连接标准，请咨询经销商。

端口连接

MV4：1/4\" VFS 外螺纹

FV4：1/4\" VFS 内螺纹

TW4：1/4\" 焊接接管

MV6：1/2\" VFS 外螺纹 3/8\" O.D.

FV6：1/2\" VFS 内螺纹 3/8” O.D.

TW6：3/8\" 焊接接管

MV8：1/2\" VFS 外螺纹

FV8：1/2\" VFS 内螺纹

TW8：1/2\" 焊接接管

P：VS001A

阀座选项

空白：PCTFE (标准)

VS：Vespel®

PA：PFA

* 详情请参阅附录。

产品尺寸 (mm)

订购参数

OPEN 0° CLOSE 270°

68

气路方向图

隔膜阀 / Diaphragm Valve

3

4

2

1

P1 P2

P2

3

2

1

P1

P2

3

2

1

P1

P2

P1

3

2

1

P2

P1

3

2

1

P2

P1

P2

3

2

1

P2

P1

3

2

1

P1 P2

P2

P1

P2

4

1

P1

P2

2

1

P1

3

4

2

1

*P2

P2

*P1

5* 3

5

1 3

*P1 *P2

P2

*P1: 进气压力

*P2: 出气压力

“标准” 型 “A” 型 “B” 型

“K” 型

“C” 型 “D” 型

“G” 型 “H” 型

“I” 型

3

4

2

1

P1 P1

P2

“J” 型

3

4

2

1

P2 P1

P1

“L” 型

3

4

2

1

P2 P1

P2

P1

“M” 型

“E” 型 “F” 型

* 底部端口

端口示意图：

两端口流量气路图:

三端口流量气路图:

四端口流程气路图:

69

VDV22UB 系列

Diaphragm Valve/ 隔膜阀

-10 0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200

5

10

15

40°C, 10bar 80°C, 8.9bar

100°C, 8.4bar

150°C, 7.6bar

温度 (ºC)

压力 (Bar)

PCTFE 阀座

PI / PFA 阀座

最大工作压力:

驱动工作压力:

最大工作温度:

表面光洁度:

材质

母体:

膜片:

密封垫:

手柄:

内部泄漏率:

外部泄漏率:

流量参数:

重量:

150 psig (10 bar)

58~87psig (4~6bar)

14oF ~ 176oF (-10oC ~ 80oC)

10μin. Ra

详见订购参数

Elgiloy®

PCTFE

AL

<1x10-9 mbar·l/s He

1/4”Cv=0.3 1/2”Cv=0.65

约 0.36kg (取决于连接或选项)

• 适用于半导体制造设备和设施中超高纯、易燃或有毒的气体管路

• 直通膜片结构，具有优越的密封性能，卓越的耐用性和紧凑性

• 可视化手轮，有效判断开关状态

• EP标准表面处理

• 标准阀座材料为 PCTFE，Vespel® / PFA 可选

产品特点

温度 / 压力等级

技术参数

产品尺寸 (mm)

订购参数

2-M5x0.8

DP6 Ф25.4

45°

1/4 手动型/气动型 (VFS 外螺纹)

63.5

11

Ф45

57

72

11

Ф39.6

57

82

18.2

Ф45

77

96

18.2

Ф55

77

2-M5x0.8

DP6

Ф28

45°

1/2 手动型/气动型 (VFS 外螺纹)

VDV22UBS - M - MV4 - MV4 - PA - IS - P

材质

S：316L

执行机构

M：手动

PO：气动（常开）

PC：气动（常闭）

* 其他连接标准，请咨询经销商。

端口连接

MV4：1/4\" VFS 外螺纹

MV8：1/2\" VFS 外螺纹

FV4： 1/4\" VFS 内螺纹

FV8： 1/2\" VFS 内螺纹

阀座选项

空白：PCTFE (标准)

VS：Vespel®

PA：PFA

工艺规范

空白：VS001B

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

选项

空白：标准

IS：开关位置指示器

70

VDV36UB 系列

低压组合式隔膜阀 / Low-pressure Diaphragm Valves Manifold

最大工作压力:

驱动工作压力:

最大工作温度.:

表面光洁度:

材质

母体:

膜片:

密封件:

手柄:

泄漏率:（内部）

（外部）

流量参数:

重量:

150 psig (10 bar)

58~87psig (4~6bar)

14oF ~ 104oF (-10oC ~ 40oC)

10μin. Ra

详见订购参数

Elgiloy®

PCTFE

AL

<1x10-9 mbar·l/s He

Cv=0.3

约 1.36kg (取决于连接或选项)

• 通过将两个VDV32隔膜阀组合在一个阀体上，

实现了最小化的流道，从而实现了优异的气密特性。

• 比标准阀门有着更少的焊缝

• 占用面积小，减少空间布局

• 紧凑的结构

• 内部无死角

端口连接

VFS(F)

VFS(M)

尺寸 (mm)

A B

31 39

46.3 46.3

端口连接

VFS(F)

VFS(M)

尺寸 (mm)

A B

103.4 57.3

139.6 70

113 40

IN IN

OUT

30o

70

B A

11.1

Ф39.6

113

A

40

30o

IN IN IN IN

OUT

11.1

B

73

Ф39.6

产品特点

产品尺寸 (mm)

订购参数

71

VDV36UB 系列

Low-pressure Diaphragm Valves Manifold / 低压组合式隔膜阀

材质

S：316L

阀2 执行机构

阀1 执行机构

M：手动

PO：气动（常开）

PC：气动（常闭）

M：手动

PO：气动（常开）

PC：气动（常闭）

工艺规范

空白：VS001B

P：VS001A

流路选项

A：A 型

B：B 型

C：C 型

D：D 型

VDV36UBS - A - M - PC - 1 - 2 - 3 - P

MV4: 1/4\" VFS 外螺纹

FV4: 1/4\" VFS 内螺纹

TW4: 1/4\" 焊接接管

进/出气连接

* 其它连接标准，请咨询生产商。

VDV36UBS - C - PC - PC - FV4 - FV4 - FV4

1 - 2 - 3

IN OUT IN OUT IN OUT

1

2 3 1 2 3 1

3

2

IN IN

OUT

3 1

2

OUT IN

OUT

A Type B Type

C Type D Type

2 1

3

2 1

3

* 详情请参阅附录。

接口形式选择

订购参数

订购举例

72

VDV36UC 系列

低压组合式隔膜阀 / Low-pressure Diaphragm Valves Manifold

最大工作压力:

驱动工作压力:

最大工作温度.:

表面光洁度:

材质

母体:

膜片:

密封件:

手柄:

泄漏率:（内部）

（外部）

流量参数:

重量:

150 psig (10 bar)

58~87psig (4~6bar)

14oF ~ 104oF (-10oC ~ 40oC)

7μin. Ra

详见订购参数

Elgiloy®

PCTFE

AL

<1x10-9 mbar·l/s He

Cv=0.3

约 1.36kg (取决于连接或选项)

• 通过将两个VDV32隔膜阀组合在一个阀体上，

实现了最小化的流道，从而实现了优异的气密特性。

• 比标准阀门有着更少的焊缝

• 占用面积小，减少空间布局

• 紧凑的结构

• 内部无死角

端口连接

VFS(F)

VFS(M)

尺寸 (mm)

A B

31 39

46.3 46.3

端口连接

VFS(F)

VFS(M)

尺寸 (mm)

A B

103.4 57.3

139.6 70

113 40

IN IN

OUT

30o

70

B A

11.1

Ф39.6

113

A

40

30o

IN IN IN IN

OUT

11.1

B

73

Ф39.6

产品特点

技术参数

产品尺寸 (mm)

73

VDV36UC 系列

Low-pressure Diaphragm Valves Manifold / 低压组合式隔膜阀

材质

SLV：316L 二次熔炼

阀2 执行机构

阀1 执行机构

M：手动

PO：气动（常开）

PC：气动（常闭）

M：手动

PO：气动（常开）

PC：气动（常闭）

工艺规范

P：VS001A

流路选项

A：A 型

B：B 型

C：C 型

D：D 型

VDV36UCSLV - A - M - PC - 1 - 2 - 3 - P

MV4: 1/4\" VFS 外螺纹

FV4: 1/4\" VFS 内螺纹

TW4: 1/4\" 焊接接管

进/出气连接

* 其它连接标准，请咨询生产商。

VDV36UCSLV - C - PC - PC - FV4 - FV4 - FV4

1 - 2 - 3

IN OUT IN OUT IN OUT

1

2 3 1 2 3 1

3

2

IN IN

OUT

3 1

2

OUT IN

OUT

A Type B Type

C Type D Type

2 1

3

2 1

3

* 详情请参阅附录。

接口形式选择

订购参数

订购举例

74

VDV46UB 系列

高压组合式隔膜阀 / High-pressure Diaphragm Valves Manifold

最大工作压力:

驱动工作压力:

最大工作温度.:

表面光洁度:

材质

母体:

膜片:

密封件:

手柄:

泄漏率:（内部）

（外部）

流量参数:

重量:

3000 psig (200 bar)

58~87psig (4~6bar)

14oF ~ 104oF (-10oC ~ 40oC)

10μin. Ra

详见订购参数

Elgiloy®

PCTFE

AL

<1x10-9 mbar·l/s He

Cv=0.1

约 1.36kg (取决于连接或选项)

• 通过将两个VDV33隔膜阀组合在一个阀体上，

实现了最小化的流道，从而实现了优异的气密特性。

• 比标准阀门有着更少的焊缝

• 占用面积小，减少空间布局

• 紧凑的结构

• 内部无死角

产品特点

技术参数

产品尺寸 (mm)

Ф34.5 58 12

approx. 100

approx. 175

114.9

55

25

15

2-M5x0.8

DP6

55

40

75

VDV46UB 系列

High-pressure Diaphragm Valves Manifold / 高压组合式隔膜阀

材质

S：316L

工艺规范

空白：VS001B

P：VS001A

阀1 执行机构

PC：气动（常闭）

阀2 执行机构

PC：气动（常闭）

VDV46UBS - PC - PC - 1 - 2 - 3 - P

MV4: 1/4\" VFS 外螺纹

FV4: 1/4\" VFS 内螺纹

TW4: 1/4\" 焊接接管

进/出气连接

* 其它连接标准，请咨询生产商。

VDV46UBS - PC - PC - FV4 - FV4 - FV4

1 - 2 - 3

1 3

2

IN OUT

OUT

2

1

3

2

1

3

* 详情请参阅附录。

接口形式选择

订购参数

订购举例

76

VDV46UC 系列

高压组合式隔膜阀 / High-pressure Diaphragm Valves Manifold

最大工作压力:

驱动工作压力:

最大工作温度.:

表面光洁度:

材质

母体:

膜片:

密封件:

手柄:

泄漏率:（内部）

（外部）

流量参数:

重量:

3000 psig (200 bar)

58~87psig (4~6bar)

14oF ~ 104oF (-10oC ~ 40oC)

7μin. Ra

详见订购参数

Elgiloy®

PCTFE

AL

<1x10-9 mbar·l/s He

Cv=0.1

约 1.36kg (取决于连接或选项)

• 通过将两个VDV33隔膜阀组合在一个阀体上，

实现了最小化的流道，从而实现了优异的气密特性。

• 比标准阀门有着更少的焊缝

• 占用面积小，减少空间布局

• 紧凑的结构

• 内部无死角

产品特点

技术参数

产品尺寸 (mm)

Ф34.5 58 12

approx. 100

approx. 175

114.9

55

25

15

2-M5x0.8

DP6

55

40

77

VDV46UC 系列

High-pressure Diaphragm Valves Manifold / 高压组合式隔膜阀

材质

SLV：316L 二次熔炼

工艺规范

P：VS001A

阀1 执行机构

PC：气动（常闭）

阀2 执行机构

PC：气动（常闭）

VDV46UCSLV - PC - PC - 1 - 2 - 3 - P

MV4: 1/4\" VFS 外螺纹

FV4: 1/4\" VFS 内螺纹

TW4: 1/4\" 焊接接管

进/出气连接

* 其它连接标准，请咨询生产商。

VDV46UCSLV - PC - PC - FV4 - FV4 - FV4

1 - 2 - 3

1 3

2

IN OUT

OUT

2

1

3

2

1

3

* 详情请参阅附录。

订购参数

订购举例

接口形式选择

78

VDV48UB 系列

超高纯吹扫阀组 / Ultra High Purity Purging Block

最大工作压力:

驱动工作压力:

最大工作温度.:

表面光洁度:

材质

母体:

膜片:

密封件:

手柄:

泄漏率:（内部）

（外部）

流量参数:

重量:

3000 psig (200 bar)

70~110psig (5~8bar)

40oF ~ 160oF (-40oC ~ 71oC)

10μin. Ra

详见订购参数

Elgiloy®

PCTFE

AL

<1x10-9 mbar·l/s He

Cv=0.1

约 2.9kg (取决于连接或选项)

• 更换气瓶时可保证气体纯度的持续

• 阀门操作简便（手动 / 气动可选）

• 工艺气体与大气隔绝

• 设计紧凑

• 内部无死角

• 适用于超高纯气体

产品特点

技术参数

产品尺寸 (mm)

141.5

Ф50.3

M5x0.8

14.2 22.6

216.5

17.3 29

87.9

63.5

54.9

25.4

28.6

2xM5x0.8-6H

79

VDV48UB 系列

Ultra High Purity Purging Block / 超高纯吹扫阀组

材质

S：316L

工艺规范

空白：VS001B

P：VS001A

阀1 执行机构

M：手动

PC：气动（常闭）

端口连接

CGA：美标钢瓶接头

DIN：德标钢瓶接头

BSP：英标钢瓶接头

GB：国标钢瓶接头

JIS：日标钢瓶接头

UNI：意标钢瓶接头

NF：法标钢瓶接头

端口连接

空白：压力表（1/4”VFS接口）

IP：压力表（IFV4接口）

PT：压力传感器

阀2 执行机构

M：手动

PC：气动（常闭）

阀3 执行机构

M：手动

PC：气动（常闭）

VDV48UBS - PC - PC - PC - 1 - 2 - 3 - 4 - 5 - P

MV4: 1/4\" VFS 外螺纹

FV4: 1/4\" VFS 内螺纹

TW4: 1/4\" 焊接接管

进/出气连接

* 其它连接标准，请咨询生产商。

VDV48UBS - PC - PC - PC - CGA632 - FV4 - FV4 - FV4

1 - 2 - 3 - 4

4

5

2

1

1 3

3

2

4

5

* 详情请参阅附录。

接口形式选择

订购参数

订购举例

阀2

阀3 阀1

5

1 IN

OUT 4

OUT 3

OUT 2

80

VDV48UC 系列

超高纯吹扫阀组 / Ultra High Purity Purging Block

最大工作压力:

驱动工作压力:

最大工作温度.:

表面光洁度:

材质

母体:

膜片:

密封件:

手柄:

泄漏率:（内部）

（外部）

流量参数:

重量:

3000 psig (200 bar)

70~110psig (5~8bar)

40oF ~ 160oF (-40oC ~ 71oC)

7μin. Ra

详见订购参数

Elgiloy®

PCTFE

AL

<1x10-9 mbar·l/s He

Cv=0.1

约 2.9kg (取决于连接或选项)

• 更换气瓶时可保证气体纯度的持续

• 阀门操作简便（手动 / 气动可选）

• 工艺气体与大气隔绝

• 设计紧凑

• 内部无死角

• 适用于超高纯气体

产品特点

技术参数

产品尺寸 (mm)

141.5

Ф50.3

M5x0.8

14.2 22.6

216.5

17.3 29

87.9

63.5

54.9

25.4

28.6

2xM5x0.8-6H

81

VDV48UC 系列

Ultra High Purity Purging Block / 超高纯吹扫阀组

材质

S：316L 二次熔炼

工艺规范

P：VS001A

阀1 执行机构

M：手动

PC：气动（常闭）

端口连接

CGA：美标钢瓶接头

DIN：德标钢瓶接头

BSP：英标钢瓶接头

GB：国标钢瓶接头

JIS：日标钢瓶接头

UNI：意标钢瓶接头

NF：法标钢瓶接头

端口连接

空白：压力表（1/4”VFS接口）

IP：压力表（IFV4接口）

PT：压力传感器

阀2 执行机构

M：手动

PC：气动（常闭）

阀3 执行机构

M：手动

PC：气动（常闭）

VDV48UCSLV - PC - PC - PC - 1 - 2 - 3 - 4 - 5 - P

MV4: 1/4\" VFS 外螺纹

FV4: 1/4\" VFS 内螺纹

TW4: 1/4\" 焊接接管

进/出气连接

* 其它连接标准，请咨询生产商。

VDV48UCS - PC - PC - PC - CGA632 - FV4 - FV4 - FV4 - P

1 - 2 - 3 - 4

4

5

2

1

1 3

3

2

4

5

* 详情请参阅附录。

接口形式选择

订购参数

订购举例

阀2

阀3 阀1

5

1 IN

OUT 4

OUT 3

OUT 2

82

VDV37UB 系列

隔膜阀 / Diaphragm Valve

最大工作压力:

驱动工作压力:

最大工作温度.:

表面光洁度:

材质

母体:

膜片:

密封垫:

手柄:

内部泄漏率:

外部泄漏率:

流量参数:

重量:

手动 300 psig（20bar）/ 气动 250 psig (17bar)

80~100 psig (5.5~6.8bar)

-40oF ~ 159oF (-40oC ~ 71oC)

10μin. Ra

see ordering info

Elgiloy®

PCTFE

AL

<1x10-9 mbar·l/s He

Cv=2.8

约 1.36kg (取决于连接或选项)

• 适用于半导体制造设备和设施中超高纯、易燃或有毒的气体管路

• 直通膜片结构，具有优越的密封性能，卓越的耐用性和紧凑性

• 可视化手轮，有效判断开关状态

• 优异的排气特性

• EP标准表面处理

• 标准阀座材料为 PCTFE，Vespel® 可选

1/2”气动型

1/2”手动型

3/4”手动型（带锁）

-10 0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200

5

10

15

20

40°C, 17bar

100°C, 14.2bar

80°C, 15.1bar

150°C, 12.9bar

温度 (ºC)

压力 (Bar)

PCTFE 阀座

PI / PFA 阀座

产品特点

温度 / 压力等级

技术参数

83

VDV37UBS - M - MV8 - MV8 - P1 - P2 - VS - LO - IS - P

材质

S：316L

工艺规范

M：手动

PC：气动（常闭）

驱动方式

阀座选项

空白：PCTFE (标准)

VS：Vespel®

手动操作选项

空白：圆形手轮

LO：圆形手轮拔出旋转锁定

选项

空白：标准

IS：开关位置指示器

* 其他连接标准，请咨询经销商。

端口连接

TW6：3/8”焊接接管

FV8：1/2”VFS 内螺纹

MV8：1/2”VFS 外螺纹

TW8：1/2”焊接接管

FV12：3/4”VFS 内螺纹

MV12：3/4”VFS 外螺纹

TW12：3/4”焊接接管

VDV37UB 系列

Diaphragm Valve / 隔膜阀

手动型（带锁）

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

1/2”焊接接管

3/4”VFS 外螺纹

3/4”VFS 内螺纹

3/4”焊接接管

3/8”焊接接管

10.2

12.8

10.2

Ф57

93

63.2

134.6

216.0

162.6

216.0

25.4

37.7

14.2

43.9

A B C E F G L H

手动型

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

1/2”焊接接管

3/4”VFS 外螺纹

3/4”VFS 内螺纹

3/4”焊接接管

3/8”焊接接管

10.2

12.8

10.2

Ф57

72.4

63.2

134.6

216.0

162.6

216.0

25.4

37.7

14.2

43.9

A B C E F G L H

气动型（常闭）

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

1/2”焊接接管

3/4”VFS 外螺纹

3/4”VFS 内螺纹

3/4”焊接接管

3/8”焊接接管

10.2

12.8

10.2

Ф63

134.6

216.0

162.6

216.0

125

63.2

25.4

37.7

43.9

14.2

M5x0.8

A B C D E F G L H

A

D

H

C

L

G

F

B

E

A向 2-M5

DP6

A

H

C

G

F

L B

E

A向

VIEW-A

2-M5

DP6

全开全闭

open 0o close 90o

H

A

L

C

G

F

B

E

A向

VIEW-A

2-M5

DP6

全开全闭

open 0o close 90o

空白：VS001B

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

产品尺寸 (mm)

订购参数

进气吹扫

空白：无进气吹扫口

P1：1/4”进气吹扫口

出气吹扫

空白：无出气吹扫口

P2：1/4”出气吹扫口

带吹扫口图示

手动型（VFS外螺纹）

手动型（带锁 VFS外螺纹）

气动型（VFS外螺纹）

41.7

41.1

P2

Outlet Inlet

P1

84

VDV37UC 系列

隔膜阀 / Diaphragm Valve

最大工作压力:

驱动工作压力:

最大工作温度.:

表面光洁度:

材质

母体:

膜片:

密封垫:

手柄:

内部泄漏率:

外部泄漏率:

流量参数:

重量:

手动 300 psig（20bar）/ 气动 250 psig (17bar)

80~100 psig (5.5~6.8bar)

-40oF ~ 159oF (-40oC ~ 71oC)

7μin. Ra

see ordering info

Elgiloy®

PCTFE

AL

<1x10-9 mbar·l/s He

Cv=2.8

约 1.36kg (取决于连接或选项)

• 适用于半导体制造设备和设施中超高纯、易燃或有毒的气体管路

• 直通膜片结构，具有优越的密封性能，卓越的耐用性和紧凑性

• 可视化手轮，有效判断开关状态

• 优异的排气特性

• EP标准表面处理

• 标准阀座材料为 PCTFE，Vespel® 可选

-10 0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200

5

10

15

20

40°C, 17bar

100°C, 14.2bar

80°C, 15.1bar

150°C, 12.9bar

温度 (ºC)

压力 (Bar)

PCTFE 阀座

PI / PFA 阀座

产品特点

温度 / 压力等级

技术参数

1/2”气动型

1/2”手动型

3/4”手动型（带锁）

85

VDV37UCSLV - M - MV8 - MV8 - P1 - P2 - VS - LO - IS - P

材质

SLV：316L 二次熔炼

工艺规范

M：手动

PC：气动（常闭）

驱动方式

阀座选项

空白：PCTFE (标准)

VS：Vespel®

手动操作选项

空白：圆形手轮

LO：圆形手轮拔出旋转锁定

选项

空白：标准

IS：开关位置指示器

* 其他连接标准，请咨询经销商。

端口连接

TW6：3/8”焊接接管

FV8：1/2”VFS 内螺纹

MV8：1/2”VFS 外螺纹

TW8：1/2”焊接接管

FV12：3/4”VFS 内螺纹

MV12：3/4”VFS 外螺纹

TW12：3/4”焊接接管

VDV37UC 系列

Diaphragm Valve / 隔膜阀

P：VS001A

* 详情请参阅附录。

产品尺寸 (mm)

订购参数

进气吹扫

空白：无进气吹扫口

P1：1/4”进气吹扫口

出气吹扫

空白：无出气吹扫口

P2：1/4”出气吹扫口

手动型（带锁）

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

1/2”焊接接管

3/4”VFS 外螺纹

3/4”VFS 内螺纹

3/4”焊接接管

3/8”焊接接管

10.2

12.8

10.2

Ф57

93

63.2

134.6

216.0

162.6

216.0

25.4

37.7

14.2

43.9

A B C E F G L H

手动型

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

1/2”焊接接管

3/4”VFS 外螺纹

3/4”VFS 内螺纹

3/4”焊接接管

3/8”焊接接管

10.2

12.8

10.2

Ф57

72.4

63.2

134.6

216.0

162.6

216.0

25.4

37.7

14.2

43.9

A B C E F G L H

气动型（常闭）

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

1/2”焊接接管

3/4”VFS 外螺纹

3/4”VFS 内螺纹

3/4”焊接接管

3/8”焊接接管

10.2

12.8

10.2

Ф63

134.6

216.0

162.6

216.0

125

63.2

25.4

37.7

43.9

14.2

M5x0.8

A B C D E F G L H

A

D

H

C

L

G

F

B

E

A向 2-M5

DP6

A

H

C

G

F

L B

E

A向

VIEW-A

2-M5

DP6

全开全闭

open 0o close 90o

H

A

L

C

G

F

B

E

A向

VIEW-A

2-M5

DP6

全开全闭

open 0o close 90o

带吹扫口图示

手动型（VFS外螺纹）

手动型（带锁 VFS外螺纹）

气动型（VFS外螺纹）

41.7

41.1

P2

Outlet Inlet

P1

86

VDV38UB 系列

隔膜阀 / Diaphragm Valve

最大工作压力:

驱动工作压力:

最大工作温度.:

表面光洁度:

材质

母体:

膜片:

密封垫:

手柄:

内部泄漏率:

外部泄漏率:

流量参数:

重量:

3000 psig (200 bar) / 1300 psig (90 bar)

70~110 psig (5~8bar)

-40oF ~ 150oF (-40oC ~ 65oC)

10μin. Ra

详见订购参数

Elgiloy®

PCTFE

AL

<1x10-9 mbar·l/s He

手动 Cv=1.0

气动 Cv=1.0 (90bar) / Cv=0.7 (206 bar)

约 1.36kg (取决于连接或选项)

• 适用于半导体制造设备和设施中超高纯、易燃或有毒的气体管路

• 直通膜片结构，具有优越的密封性能，卓越的耐用性和紧凑性

• 可视化手轮，有效判断开关状态

• 优异的排气特性

• EP标准表面处理

• 标准阀座材料为 PCTFE，Vespel® 可选 1/2”气动型

1/2”手动型

温度 (ºC)

压力 (bar)

-10 0 20 40 60 80 100

50

100

150

200

250

-10°C, 205bar 40°C, 205bar

1/2”直角手柄

3/4”手动型（带锁）

产品特点

温度 / 压力等级

技术参数

87

低压手动型 (90bar)

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

3/4”VFS 外螺纹

3/4”VFS 内螺纹

3/8”焊接接管

1/2”焊接接管

3/4”焊接接管

4.4

7

Ф47.5

100

50.8

101.6

123.2

177.8

69.8

91

165.2

38

Ф38.1

18.2

A B C E F L H

低压手动型 (带锁 90bar )

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

3/4”VFS 外螺纹

3/4”VFS 内螺纹

3/8”焊接接管

1/2”焊接接管

3/4”焊接接管

4.4

7

Ф47.5

111

50.8

101.6

123.2

177.8

69.8

91

165.2

38

Ф38.1

18.2

A B C E F L H

低压气动型 (常闭 90bar)

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

3/4”VFS 外螺纹

3/4”VFS 内螺纹

3/8”焊接接管

1/2”焊接接管

3/4”焊接接管

4.4

7

Ф50.3

148

50.8

101.6

123.2

177.8

69.8

91

165.2

38

Ф38.1

18.2

M5x0.8

A B C D E F L H

VDV38UB 系列

Diaphragm Valve / 隔膜阀

产品尺寸 (mm)

A

B

DP9

2-M5x0.8

L

H

45o

C

F

E

全开全闭

open 0o close 90o

低压手动型（VFS外螺纹）

A

D

B

DP9

2-M5x0.8

L

H

F

45

C

o

E

低压气动型（VFS外螺纹）

低压手动型 (带锁 VFS外螺纹）

A

B

DP9

2-M5x0.8

L

H

45o

C

F

E

全开全闭

open 0o close 90o

88

VDV38UB 系列

隔膜阀 / Diaphragm Valve

高压气动型 (常闭 206bar)

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

3/4”VFS 外螺纹

3/4”VFS 内螺纹

3/8”焊接接管

1/2”焊接接管

3/4”焊接接管

4.4

7

Ф50.3

125

50.8

101.6

123.2

177.8

69.8

91

165.2

38

Ф38.1

18.2

M5x0.8

A B C D E F L H

* 其他连接标准，请咨询经销商。

VDV38UBS - M - MV8 - MV8 - VS - H - L - P

材质

S: 316L

M: 手动型

PC: 气动型 (常闭)

端口连接

驱动方式

阀座选项

MV4：1/4\" VFS 外螺纹

FV4：1/4\" VFS 内螺纹

MV8：1/2\" VFS 外螺纹

FV8：1/2\" VFS 内螺纹

TW6：3/8\" 焊接接管

TW8：1/2\" 焊接接管

MV12：3/4\" VFS 外螺纹

FV12：3/4\" VFS 内螺纹

TW12：3/4\" 焊接接管

空白: PCTFE (标准)

VS: Vespel®

工作压力

H: 3000 psig

M: 1300 psig

手动操作选项

空白: 圆形手轮

W: 圆形手轮带视窗*

LO: 圆形手轮拔出旋转锁定*

L: 直角手柄*

工艺规范

空白：VS001B

P：VS001A

*连接口径3/4”的压力为1650psig

*“W选项”仅适用压力1300psig

*“LO选项”仅适用压力1300psig

*“L选项”仅适用压力3000psig

* 详情请参阅附录。

产品尺寸 (mm)

订购参数

A

D

B

L

DP9

2-M5x0.8

H

F

45

C

o

E

高压气动型（VFS外螺纹）

89

VDV38UC 系列

Diaphragm Valve / 隔膜阀

最大工作压力:

驱动工作压力:

最大工作温度.:

表面光洁度:

材质

母体:

膜片:

密封垫:

手柄:

内部泄漏率:

外部泄漏率:

流量参数:

重量:

3000 psig (200 bar) / 1300 psig (90 bar)

70~110 psig (5~8bar)

-40oF ~ 150oF (-40oC ~ 65oC)

7μin. Ra

详见订购参数

Elgiloy®

PCTFE

AL

<1x10-9 mbar·l/s He

手动 Cv=1.0

气动 Cv=1.0 (90bar) / Cv=0.7 (206 bar)

约 1.36kg (取决于连接或选项)

• 适用于半导体制造设备和设施中超高纯、易燃或有毒的气体管路

• 直通膜片结构，具有优越的密封性能，卓越的耐用性和紧凑性

• 可视化手轮，有效判断开关状态

• 优异的排气特性

• EP标准表面处理

• 标准阀座材料为 PCTFE，Vespel® 可选

温度 (ºC)

压力 (bar)

-10 0 20 40 60 80 100

50

100

150

200

250

-10°C, 205bar 40°C, 205bar

产品特点

温度 / 压力等级

技术参数

1/2”气动型

1/2”手动型

1/2”直角手柄

3/4”手动型（带锁）

90

VDV38UC 系列

隔膜阀 / Diaphragm Valve

产品尺寸 (mm)

低压手动型 (90bar)

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

3/4”VFS 外螺纹

3/4”VFS 内螺纹

3/8”焊接接管

1/2”焊接接管

3/4”焊接接管

4.4

7

Ф47.5

100

50.8

101.6

123.2

177.8

69.8

91

165.2

38

Ф38.1

18.2

A B C E F L H

低压手动型 (带锁 90bar )

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

3/4”VFS 外螺纹

3/4”VFS 内螺纹

3/8”焊接接管

1/2”焊接接管

3/4”焊接接管

4.4

7

Ф47.5

111

50.8

101.6

123.2

177.8

69.8

91

165.2

38

Ф38.1

18.2

A B C E F L H

低压气动型 (常闭 90bar)

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

3/4”VFS 外螺纹

3/4”VFS 内螺纹

3/8”焊接接管

1/2”焊接接管

3/4”焊接接管

4.4

7

Ф50.3

148

50.8

101.6

123.2

177.8

69.8

91

165.2

38

Ф38.1

18.2

M5x0.8

A B C D E F L H

A

B

DP9

2-M5x0.8

L

H

45o

C

F

E

全开全闭

open 0o close 90o

低压手动型（VFS外螺纹）

A

D

B

DP9

2-M5x0.8

L

H

F

45

C

o

E

低压气动型（VFS外螺纹）

低压手动型 (带锁 VFS外螺纹）

A

B

DP9

2-M5x0.8

L

H

45o

C

F

E

全开全闭

open 0o close 90o

91

VDV38UC 系列

Diaphragm Valve / 隔膜阀

VDV38UCSLV - M - MV8 - MV8 - VS - H - L - P

材质

SLV: 316L 二次熔炼

M: 手动型

PC: 气动型 (常闭)

驱动方式

阀座选项

空白: PCTFE (标准)

VS: Vespel®

工作压力

H: 3000 psig*

M: 1300 psig

工艺规范

P：VS001A

*连接口径3/4”的压力为1650psig

* 详情请参阅附录。

产品尺寸 (mm)

订购参数

* 其他连接标准，请咨询经销商。

端口连接

MV4：1/4\" VFS 外螺纹

FV4：1/4\" VFS 内螺纹

MV8：1/2\" VFS 外螺纹

FV8：1/2\" VFS 内螺纹

TW6：3/8\" 焊接接管

TW8：1/2\" 焊接接管

MV12：3/4\" VFS 外螺纹

FV12：3/4\" VFS 内螺纹

TW12：3/4\" 焊接接管

手动操作选项

空白: 圆形手轮

W: 圆形手轮带视窗*

LO: 圆形手轮拔出旋转锁定*

L: 直角手柄*

*“W选项”仅适用压力1300psig

*“LO选项”仅适用压力1300psig

*“L选项”仅适用压力3000psig

高压气动型 (常闭 206bar)

端口连接孔口尺寸尺寸 (mm)

(mm)

1/4”VFS 外螺纹

1/4”VFS 内螺纹

1/2”VFS 外螺纹

1/2”VFS 内螺纹

3/4”VFS 外螺纹

3/4”VFS 内螺纹

3/8”焊接接管

1/2”焊接接管

3/4”焊接接管

4.4

7

Ф50.3

125

50.8

101.6

123.2

177.8

69.8

91

165.2

38

Ф38.1

18.2

M5x0.8

A B C D E F L H

A

D

B

L

DP9

2-M5x0.8

H

F

45

C

o

E

高压气动型（VFS外螺纹）

92

VDV39UB 系列

隔膜阀 / Diaphragm Valve

最大工作压力:

最大工作温度:

表面光洁度:

材质

母体:

膜片:

阀座:

手柄:

内部泄露率:

外部泄露率:

流量参数:

重量:

300 psig (20 bar)

14oF ~ 176oF (-10oC ~ 80oC)

10μin. Ra

详见订购参数

Elgiloy® (316L 可选)

PCTFE (PFA / Vespel® 可选)

AL

<1x10-9 mbar·l/s He

Cv=2.8

约 1.45kg (取决于连接或选项)

• 适用于高纯度气体和可燃性、毒性气体

• 直通膜片结构，具有优越的密封性能，卓越的耐用性和紧凑性

• 可视化手轮，有效判断开关状态

• 优异的排气特性

• EP标准表面处理

• 阀座材质：PCTFE（标准），Vespel® / PFA（可选）

-10 0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 200

5

10

15

20

40°C, 17bar

100°C, 14.2bar

80°C, 15.1bar

150°C, 12.9bar

温度 (ºC)

压力 (Bar)

PCTFE 阀座

PI / PFA 阀座

3/4”手动型

1/2”手动型

产品特点

温度 / 压力等级

技术参数

93

VDV39UB 系列

Diaphragm Valve / 隔膜阀

VDV39UBS - M - MV8 - MV8 - PA - P

材质

S: 316L

M: 手动

执行机构

工艺规范

空白：VS001B

P：VS001A

阀座材质

空白: PCTFE (标准)

VS: Vespel®

PA: PFA

* 其他连接标准，请咨询经销商。

端口连接

FV12：3/4”VFS 内螺纹

MV12：3/4”VFS 外螺纹

TW12：3/4”焊接接管

FV8：1/2”VFS 内螺纹

MV8：1/2”VFS 外螺纹

TW8：1/2”焊接接管

3/4 手动 (VFS 内螺纹) 1/2 手动 (VFS 内螺纹)

3/4 手动 (VFS 外螺纹) 1/2 手动 (VFS 外螺纹)

50

50 50

50

138.7

Ф50

4-M5x0.8

50

Ф50

4-M5x0.8

50

Ф50

4-M5x0.8

50

Ф50

4-M5x0.8

50

17.5

133

* 详情请参阅附录。

产品尺寸 (mm)

订购参数

94

VUBV 系列

波纹管阀 / Bellows Valve

手动压力:

气动压力:

操作压力:

表面光洁度:

工作温度.:

材质

母体:

波纹管:

密封件:

手柄:

泄漏率:（内部）

（外部）

流量参数:

重量:

Vacuum 500 psig (35bar)

Vacuum 125 psig (8.6bar)

45~120 psig (3.2~8.2bar)

10μin. Ra 标准

-40oF ~ 200oF (-40oC ~ 93oC)

316L

A269 / A240 不锈钢

PCTFE

AL

<1x10-9 mbar·l/s He

Cv=0.3

约 1.54kg (取决于连接或选项)

• 316L不锈钢结构

• 端口连接：卡套接头, 焊接接管, 和VFS接头

• 易于清洁，保持干净

• 出色的气密特性

• 所有材质经过EP处理

• 产品制造符合 VS001B 工艺规范（详见附录）

• 标准阀座材料为PCTFE，Vespel®（可选）

• 全金属密封

0 100 200 300 400 500 600

14.5 (1)

29 (2)

43.5 (3)

58 (4)

72.5 (5)

87 (6)

101.5 (7)

116 (8)

130.5 (9)

进气压力 psig (bar)

流量 (slpm nitrogen)

手动型

0 100 200 300 400 500 600

14.5 (1)

29 (2)

43.5 (3)

58 (4)

72.5 (5)

87 (6)

101.5 (7)

116 (8)

130.5 (9)

进气压力 psig (bar)

流量 (slpm nitrogen)

气动型

产品特点

流量参数

技术参数

95

VUBV 系列

Bellows Valve / 波纹管阀

VUBVS - M - MV4 - MV4 - VS

材质

S：316L

M：手动

PC：气动 (常闭)

执行机构

阀座选项

空白：PCTFE (标准)

VS：Vespel®

* 其他连接标准，请咨询工厂。

* TW4、FV4、MV4表面光洁度 Ra. 8μm 机加工和电抛光。

端口连接

TW4：1/4” 焊接接管

FV4：1/4” VFS (内螺纹)

MV4：1/4” VFS (外螺纹)

Ф47

Ф31.5

58.4

M5x0.8

Air inlet

M5x0.8

Air inlet

Ф27

Ф25

45o 45o

19.6

58.4

Panel hole

2-M5 Deepth 8

Max 110

92.8

47.5

11

Max 9.7

43.8

产品尺寸 (mm)

订购参数

96

VUBV2 系列

波纹管阀 / Bellows Valve

手动阀压力:

气动阀压力:

气缸驱动力:

表面光洁度:

工作温度:

材质

母体:

波纹管:

密封件:

手柄:

泄漏率:（内部）

（外部）

流量参数:

真空压力至 375 psig (25.8 bar)

真空压力至 250 psig (17.2 bar)

4.1~6.9 bar (3/4”or 1”), 6.2~6.9 bar (1.5”or 2”)

10μin. Ra

-22oF ~ 180oF (-30oC ~ 82oC)

316L

SUS316L / Hastelloy®

PCTFE

AL

<1x10-9 mbar·l/s He

详见“参数表格”

• 316L不锈钢结构

• 端口连接：VFS接头和焊接接管

• 易于清洁

• 出色的气密特性

• 所有材质经过EP处理

• 产品制造符合 VS001B 工艺规范（详见附录）

• 标准阀座材料为PCTFE，Vespel®（可选）

• 全金属密封

端口连接

MV12

FV12

TW12

MV16

FV16

TW16

TW24

TW32

3/4” 14.5

1” 21

手动阀：

375pisg (25.8bar)

气动阀：

250psig (17.2bar)

1.5” 46

2” 52

尺寸 Cv值最大压力

手动型 3/4~1”

手动型 1.5~2”

气动型 1”

产品特点

参数表格

技术参数

97

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