Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B48返回目录精密位移系统的技术指标介绍选购精密位移产品时要根据具体应用考虑不同的性能指标，正确理解各项技术指标的物理意义，对最终组建的系统性能至关重要，因此本文就常用的一些技术指标做简要介绍。六个自由度（Six degrees of freedom）基于笛卡尔直角坐标系内的任意刚体有六个自由度 ：三个平动自由度（x，y，z）和三个转动自由度（θx，θy，θz）。对于单轴的位移机构，理想的状况是 ：它只沿着我们要求的运动方向移动，在其它自由度上没有移动量，但实际上无法做到，所以我们除了控制好运动方向这个自由度以外，还需要约束其它五个自由度的运动。分辨率（Resolution）分辨率是指移动系统可以分辨的最小位置增量。这是一个理论值，针对电动滑台而言，分辨率是指步进电机接到一个脉冲时，滑台的移动量。理论上单个脉冲可以做到很小，也就是说理论上滑台的移动量可以做到很小（比如说：在螺杆导程为4mm，电机步距角为18°，将电脉冲进行256细分时，电移台的理论分辨率为0078µm）。但实际上当细分数过高时，想要精确控制变得很困难，而且电机对高细分后的脉冲响应也会变差，所以高细分情况下经常会发生 ：给了脉冲不动，或运动后不准的情况。卓立汉光经过多年的经验，我们标称的分辨率（开环情况下）一般是在8细分情况下的指标，这个指标相对来讲是真实的。关于这部分内容，请您参阅电机部分的基础介绍。•电动滑台的分辨率可以用如下公式计算：当螺杆导程为1mm，电机的步距角为1.8°，驱动器细分数为2时，分辨率= =0.0025mm，即分辨率为25µm。•蜗轮蜗杆式旋转台的角度分辨率可以用如下公式计算：蜗轮蜗杆式旋转台的角度分辨率= 当电机的步距角为18°，蜗轮蜗杆的传动比为180：1，驱动器细分数为8时，分辨率= =000125°•正弦机构旋转台的角度分辨率可以用如下公式计算：当电机的步距角为1.8°，螺杆导程为1mm，驱动器细分数为2，旋转机构中心距为26mm时，误差（Error，Deviation）误差是指实测值和理想值的结果之间的差值。对于滑台来说误差主要有两个方面 ：轴向误差和非轴向误差。轴向误差（On-Axis Error）与沿着运动方向（对于电动滑台通常定义为X方向，对于旋转台通常定义为θz方向）的参数有关的误差，包括：精度、重复定位精度、空回等。精度（Accuracy）精度往往被误解为最小移动增量（Incremental Motion），但最小增量实际上应该称为分辨率（Resolution），上面我们已经谈到，分辨率是一个理论值。严格意义上来说，精度是指绝对精度（Absolute Accuracy），也就是 ：对于一个给定的输入量，滑台运行后的实际位置。这个实际位置和理想位置，通常会有一定的差距，这就是（绝对位置）误差，我们通常称其为 “（绝对）精度”。电动滑台的（绝对）精度通常需要考虑到很多因素，包括控制部分、电机、联轴器、丝杠、导轨、连接用轴承等各个环节，都有可能影响电动滑台的（绝对）精度，对于旋转台或摆动滑台，也存在同样的情况。甚至在闭环系统中，光栅尺等装置本身的精度也会影响绝对精度。相关内容，请参照 “电动滑台产品综合介绍” 部分。整套产品（或系统）的精度，虽然不是各个部件（或系统组件）误差的简单相加，但通常不会优于各个部件（或系统组件）的误差，这一点需要特别注意。比如，电动滑台的行程为200mm，假设螺杆全长为340mm，选用5级螺杆（精度23µm/300mm），如果标称电动滑台的 “精度” 小于25µm显然是不合适的。sinθ=直线滑台移动距离x台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P转台转动角度θ单位时间t=arcsin（x轴的移动速度台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P）螺杆导程360°电机步距角×驱动器细分数1mm360°18°×2=0.0025mm = 电机步距角驱动器细分数×传动比1.8°=0.00125°=arcsin（直线滑台分辨率/旋转机构中心距）=arcsin（螺杆导程360°电机步距角×驱动器细分数/旋转机构中心距）arcsin（1360°18°×2/26）≈0.0055°arcsin（直线滑台分辨率/旋转机构中心距）arcsin（螺杆导程360°电机步距角×驱动器细分数/旋转机构中心距）arcsin（1360°18°×2/16）≈0.0090°arcsin（1360°18°×2/26）≈0.0055°sinθ=直线滑台移动距离x台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P转台转动角度θ单位时间t=arcsin（x轴的移动速度台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P）600转/分钟60秒×1mm（导程）=10mm/s，arcsin（X轴最大移动速度台面中心到滚珠丝杠连接轴中心位置的距离P）≈38.7°/sarcsin（X轴最大移动速度台面中心到滚珠丝杠连接轴中心位置的距离P）≈22.6°/ssinθ=直线滑台移动距离x台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P转台转动角度θ单位时间t=arcsin（x轴的移动速度台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P）螺杆导程360°电机步距角×驱动器细分数1mm360°1.8°×2=0.0025mm = 电机步距角驱动器细分数×传动比1.8°8×180=0.00125°=arcsin（直线滑台分辨率/旋转机构中心距）=arcsin（螺杆导程360°电机步距角×驱动器细分数/旋转机构中心距）arcsin（1360°18°×2/26）≈0.0055°arcsin（直线滑台分辨率/旋转机构中心距）arcsin（螺杆导程360°电机步距角×驱动器细分数/旋转机构中心距）arcsin（1360°18°×2/16）≈0.0090°arcsin（1360°18°×2/26）≈0.0055°sinθ=直线滑台移动距离x台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P转台转动角度θ单位时间t=arcsin（x轴的移动速度台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P）600转/分钟60秒×1mm（导程）=10mm/s，arcsin（X轴最大移动速度台面中心到滚珠丝杠连接轴中心位置的距离P）≈38.7°/sX轴最大移动速度sinθ=直线滑台移动距离x台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P转台转动角度θ单位时间t=arcsin（x轴的移动速度台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P）螺杆导程360°电机步距角×驱动器细分数1mm360°1.8°×2=0.0025mm = 电机步距角驱动器细分数×传动比18°8×180=0.00125°=arcsin（直线滑台分辨率/旋转机构中心距）=arcsin（螺杆导程360°电机步距角×驱动器细分数/旋转机构中心距）arcsin（1360°18°×2/26）≈0.0055°arcsin（直线滑台分辨率/旋转机构中心距）arcsin（螺杆导程360°电机步距角×驱动器细分数/旋转机构中心距）arcsin（1360°18°×2/16）≈0.0090°arcsin（1360°18°×2/26）≈0.0055°sinθ=直线滑台移动距离x台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P转台转动角度θ单位时间t=arcsin（x轴的移动速度台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P）600转/分钟60秒×1mm（导程）=10mm/s，arcsin（X轴最大移动速度台面中心到滚珠丝杠连接轴中心位置的距离P）≈38.7°/sarcsin（X轴最大移动速度台面中心到滚珠丝杠连接轴中心位置的距离P）≈22.6°/ssinθ=直线滑台移动距离x台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P转台转动角度θ单位时间t=arcsin（台面转动中心到直线滑台连接中心的距螺杆导程360°电机步距角×驱动器细分数= 电机步距角驱动器细分数×传动比1.8°8×180=0.00125°=arcsinarcsin（1360°1.8°×2/26）≈0.0055°arcsin（直线滑台分辨率/旋转机构中心距）arcsinarcsin（1360°1.8°×2/16）≈0.0090°arcsinsinθ=直线滑台移动距离x台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P转台转动角度θ单位时间t=arcsin（x轴的移动速度台面转动中心到直线滑台连接中心的距600转/分钟60秒×1mm（导程）=10mm/s，arcsin（X轴最大移动速度台面中心到滚珠丝杠连接轴中心位置的距离i（X轴最大移动速度）226°/sinθ=直线滑台移动距离x台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P转台转动角度θ单位时间t=arcsin（x轴的移动速度台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P）螺杆导程360°电机步距角×驱动器细分数1mm360°1.8°×2=0.0025mm 电机步距角×1.8°8×180=0.00125°=arcsin（直线滑台分辨率/旋转机构中心距）=arcsin（螺杆导程360°电机步距角×驱动器细分数/旋转机构中心距）arcsin（1360°1.8°×2/26）≈0.0055°arcsin（直线滑台分辨率/旋转机构中心距）arcsin（螺杆导程360°电机步距角×驱动器细分数/旋转机构中心距）arcsin（1360°1.8°×2/16）≈0.0090°arcsin（1360°18°×2/26）≈0.0055°sinθ=直线滑台移动距离x台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P转台转动角度θ单位时间t=arcsin（x轴的移动速度台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P）600转/分钟60秒×1mm（导程）=10mm/s，arcsin（X轴最大移动速度台面中心到滚珠丝杠连接轴中心位置的距离P）≈38.7°/sarcsin（X轴最大移动速度台面中心到滚珠丝杠连接轴中心位置的距离P）≈226°/s分辨率=正弦机构旋转台的分辨率=sinθ=直线滑台移动距离x台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P转台转动角度θ单位时间t=arcsin（x轴的移动速度台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P）螺杆导程360°电机步距角×驱动器细分数1mm360°1.8°×2=0.0025mm = 电机步距角驱动器细分数×传动比.8×180=0.00125°=arcsin（直线滑台分辨率/旋转机构中心距）=arcsin（螺杆导程360°电机步距角×驱动器细分数/旋转机构中心距）arcsin（1360°1.8°×2/26）≈0.0055°arcsin（直线滑台分辨率/旋转机构中心距）arcsin（螺杆导程360°电机步距角×驱动器细分数/旋转机构中心距）arcsin（1360°1.8°×2/16）≈0.0090°arcsin（1360°1.8°×2/26）≈0.0055°sinθ=直线滑台移动距离x台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P转台转动角度θ单位时间t=arcsin（x轴的移动速度台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P）600转/分钟60秒×1mm（导程）=10mm/s，arcsin（X轴最大移动速度台面中心到滚珠丝杠连接轴中心位置的距离P）≈38.7°/sarcsin（X轴最大移动速度台面中心到滚珠丝杠连接轴中心位置的距离P）≈22.6°/s正弦机构旋转台的角度分辨率==

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B49返回目录重复定位精度（Repeatability）重复定位精度是指移动系统多次可达到一个既定点的能力，通常重复定位精度是指单个方向上的，这样能将 “空回” 的指标分开，避免数据混乱。空回(Return Stroke)也称回程间隙、空转、反转定位精度、空行程等，同背隙(反冲间隙、哐量、静态间隙等)指标不同，回程间隙是表征产品运动方向相反时，机械结构的间隙误差。背隙(Backlash)背隙又称反冲间隙、哐量、静态间隙、传动副间隙等，同回程间隙(空回、反转、反转定位精度等)指标不同，背隙是表征电动产品在非运动状态下(电机不加电或电机加电但不转动)机械结构的间隙误差。非轴向误差（Off-Axis Error）与约束的自由度方向相关的误差，包括非轴向线性误差和非轴向角度误差两个方面。非轴向线性误差就是我们通常说的直线度，直线度分为两个正交分量，一个是垂直方向（Z方向）的直线度，称平直度（Flatness），也称为平行度、平面度 ；另一个是水平方向（Y方向）的直线度（Straightness），称直线度。非轴向角度误差有三个相互垂直的分量，分别是 ：θz方向的偏摆（Yaw）、θy方向的俯仰（Pitch）和θx方向的转动（Roll）。对于电动滑台系统，上述非轴向误差的说明图例如下图 ：对于旋转台系统，轴向和非轴向的误差说明，请参照检验方法中的相关说明。垂直方向（Z方向）的平直度（平行度、平面度）和水平方向（Y方向）的直线度θz方向的偏摆（Yaw）、θy方向的俯仰（Pitch）、θx方向的转动（Roll）

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B50返回目录关于检验产品精度的相关说明北京卓立汉光仪器有限公司的相关产品，出厂前均按照国家标准、行业标准、专业标准、或企业标准（部分高于上述同类标准）进行检验，我们根据ISO9001：2015国际质量管理体系的要求，对于产品的技术指标负责，我们所使用的检测仪器定期送至国家级计量单位进行校准。卓立汉光所使用的测量仪器和实验仪器名称检验精度或范围厂家国别说明5维激光干涉仪长度方向：002µm 角度：01＂美国成品检测三坐标测量仪（也称三次元测量仪）系统分辨率：0078µm 测量精度：28µm+L/300合资（瑞典）零件检测、成品检测平面度检测仪001～0001mm/m中国成品检测振动频率检测仪0.06～1000Hz中国成品检测安规综合测试系统漏电流：001mA 接地电阻：001Ω英国成品检测（电子类）数显测微自准直仪01＂中国成品检测齿轮双面啮合综合检查仪1µm中国零件检测万能工具显微镜1µm 中国部分成品及零件检测洛氏硬度计2070HRC中国部分成品及零件检测机械振动台加速度:10g；频率：10～80Hz中国成品检测高低温循环实验箱40～150°C 中国成品检测常规检测设备：包括000级大理石测试平台、万用表、示波器、光栅尺及数显表、万能角度尺、卡尺、刀口尺、高度尺、千分尺、千分表、各类检验用工装等零件检测项目卓立汉光零件检测中除了常规检测手段外，针对FA工业品中的若干系列，如：CXP系列、SIN系列、TBR系列、XYR系列，核心零件采用：洛氏硬度计、齿轮双面啮合综合检查仪、三坐标测量仪等进行检测，确保零件质量。检测零件检测项目检测范围检测设备常规机加工零件物理尺寸及图纸要求所有产品常规检测设备关键机加工零件有关键指标的基准面、定位面的精度等所有产品三坐标测量仪蜗轮蜗杆材料TBR系列、TBG系列等第三方检测机构蜗轮蜗杆硬度TBR系列、TBG系列等洛氏硬度计蜗轮蜗杆啮合精度限TBR系列齿轮双面啮合综合检查仪丝杠物理尺寸及图纸要求所有产品常规检测设备丝杠同轴度限CXP系列、SIN系列、XYR系列抽检三坐标测量仪、齿轮双面啮合综合检查仪导轨及轴承物理尺寸及图纸要求所有产品常规检测设备导轨及轴承基准面、定位面精度所有产品三坐标测量仪、常规检测设备常规外购零件物理尺寸及图纸要求所有产品常规检测设备关键外购零件有关键指标的基准面、定位面的精度等所有产品三坐标测量仪成品检验项目卓立汉光成品检测中除了常规检测手段外，针对FA工业品中的若干系列，如 ：CXP系列、SIN系列、TBR系列、XYR系列，新增 ：微步能力、微步运动时重复定位精度、微步运动时回程间隙、静态平行度、背隙等指标的检测，确保成品更符合工业设备使用要求。检测项目直线及升降滑台旋转、摆动滑台及对位平台检测设备行程所有产品所有产品常规检测设备重复定位精度所有产品所有产品常规检测设备微步运动重复定位精度限CXP系列/激光干涉仪回程间隙所有产品所有产品常规检测设备背隙CXP系列、KA系列、PA系列TBR系列、TBG系列推力计、千分表微步运动回程间隙限CXP系列/激光干涉仪运动性能（包括速度、加速度等）标称该技术指标的产品标称该技术指标的产品常规检测设备精度（绝对定位精度）CXP系列、KA系列、PA系列限TBR系列、DDR系列激光干涉仪微步能力限CXP系列/激光干涉仪或千分表运动直线度标称该技术指标的产品/激光干涉仪或自准直仪运动平行度标称该技术指标的产品/激光干涉仪或自准直仪静态平行度标称该技术指标的产品标称该技术指标的产品千分表或三坐标检测仪俯仰CXP系列、KA系列、PA系列/激光干涉仪或自准直仪偏摆CXP系列、KA系列、PA系列/激光干涉仪或自准直仪端面（轴向）跳动/限旋转滑台千分表径向跳动/限旋转滑台千分表最大净转矩/限TBR系列扭力扳手、测试工装注：如无特别说明，检测项目为每台或按照国标规定的抽样率抽检。

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B51返回目录部分技术指标的检验方法对于电动直线滑台产品单向定位精度［单位：μm］：从基准点（原点）开始，在全行程上的某一方向（单方向）上，以一定间隔（通常选3～10个点，尽可能均布在全行程范围）依次驱动电动滑台并定位，分别实测在相应定位位置上的位移值（即从原点算起的移动距离），并和目标值（移动指令指示的理论距离）进行比较计算出位移偏差，将该最大差值作为单向定位精度。重复定位精度［单位：±μm］：重复定位精度一般是指单向重复定位精度，从同一方向向任意1点反复定位7次，测量停止位置的偏移量，计算出该最大偏移差的1/2。在行程中央部和两端这3点进行该测量，将计算出的最大值作为重复定位精度。卓立汉光推荐采用激光干涉仪检测重复定位精度指标，若没有激光干涉仪的情况下，可按照国标和卓立汉光企业标准中的相关内容，使用千分表对重复定位精度进行检测，检测方法如下 ：分别在全行程靠近起点、中点、终点位置附近进行取样检测，具体的步骤为：1.将电动滑台沿任意方向运动到取样点附近。2.将磁性表座吸附到测量平台（大理石平台或隔振平台）合适位置，调整千分表的位置，使千分表的表针与电动滑台的台面侧面轻触至千分表指针顺时针旋转一圈后对零位。3使电动滑台台面后退（千分表指针逆时针旋转）运动1000步后停止，然后使电动滑台台面前进（千分表指针顺时针旋转）运动1000步后停止，读取千分表示数，其与零位的差值为本次测量的误差。4重复3步骤7次，记下其中的最大值。5.分别在三个取样点重复上面的步骤，取这三个取样点最大值Vmax的1/2，即为本电动滑台的重复定位精度。背隙［单位：μm］：背隙又称反冲间隙、哐量、静态间隙、传动副间隙等，同回程间隙（空回、空转、反转定位精度等）指标不同，背隙是表征电动产品在非运动状态下（电机不加电或电机加电但不转动）机械结构的间隙误差。背隙的测量可采用激光干涉仪或推（拉）力计和千分表测量（参照下图）：沿任意方向进行定位，以该位置为基准，沿相同方向向移动面施加规定的负载。然后，在卸载状态下进行测量，测得的值和基准位置之差即为背隙。电动滑台测试背隙的具体方法如下 ：1沿任意方向将滑台定位在某一点，以该位置为基准。2用千分表的表针同电动滑台台面的另一个侧面（同运动方向相对）轻触并确保有有效读数，读取此时千分表的读数（若用激光干涉仪测量，此步骤可读取激光干涉仪读数）。3将推力计在滑台移动面（台面）上，沿运动的相反方向施加一定的负载（推荐1Kgf），然后移除推力计。4再次读取千分表（或激光干涉仪）的读数。5两次千分表（或激光干涉仪）读数的差值，即为背隙。6重复步骤1至步骤5至少3次，取最大差值作为此电动滑台的背隙。激光干涉仪推（拉）力计（1gf）或千分表电动滑台背隙测试示意图背隙台面运动方向作用力方向k同运动方向相反）

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B52返回目录回程间隙［单位：μm］：也称空回、空转、反转定位精度、空行程等，同背隙（反冲间隙、哐量、静态间隙等）指标不同，回程间隙是表征产品运动方向相反时，机械结构的间隙误差。回程间隙的测量可采用激光干涉仪测量（参照下图）：沿正（或负）方向进行定位，测量其位置（L1）。接着，发出指令使之向同一方向移动，从该位置发出同一指令沿负（或正）方向进行定位，测量其位置（L1），计算两次位置的差值（取绝对值），即：L1- L1。然后，发出指令使之沿负（或正）方向移动，从该位置发出同一指令沿正（或负）方向进行定位，测量其位置（L2），沿正及负方向反复进行7次该测量，计算出各次差值的平均值。在行程中央和两端这3点进行测量，将计算出的最大值作为回程间隙指标。即 ：回程间隙=电动滑台测试回程间隙的具体方法如下 ：在电动滑台的3个位置（尽可能均布在行程中央和两端）上，分别从正方向和反方向驱动电动滑台并定位，并记录两个方向的停止位置（定位位置）的差异值，以上测量共进行7次，并求出其平均值。我们定义以上3个位置中平均值的最大值为回程间隙。卓立汉光推荐采用激光干涉仪检测回程间隙指标，若没有激光干涉仪的情况下，可按照国标和卓立汉光企业标准中的相关内容，使用千分表对空回指标进行检测，检测方法如下 ：1使电动滑台沿某一方向运动到检测位置附近。2.将磁性表座吸附到测量平台合适位置，调整千分表的位置，使千分表的表针与电动滑台的台面侧面轻触至千分表指针顺时针旋转一圈。3使电动滑台台面前进（千分表指针顺时针旋转）运动33步后停止，调整千分表对正零位。4使电动滑台台面前进（千分表指针顺时针旋转）运动33步后停止，然后使电动滑台台面后退（千分表指针逆时针旋转）运动33步后停止，读取千分表示数，其与零位的差值为本次测量的误差。5.重复4步骤7次，记下7个误差值，取其中的最大值即为此点的回程间隙误差。6.重复上面的步骤，分别在3个取样点上测出回程间隙误差，取其中三个点的回程间隙误差最大值，即为本电动滑台的回程间隙。静态平行度［单位：μm］：静态平行度是指电动产品在非运动状态下（电机不加电或电机加电但不转动），台面相对于基准平面的平行度。将滑台固定在基准平面上，在整个面测量台面相对于基准平面的平行度，将最大高低差作为静态平行度。静态平行度的检验方法（参照下图）：1.将被测滑台固定在测量基准平台（如隔振平台或大理石平台）上。2在被测滑台的台面上，选取4～8个位置（尽可能均布在台面范围内），用三坐标测量仪或高度尺（必须也放在测量基准平台上）分别测量4～8个位置的高度。3.我们取4～8个位置的高度最大差值，定义为该被测滑台的静态平行度。注意：由于材料表面处理（喷砂，黑色阳极氧化）的影响，会在一定程上度影响产品的“静态平行度”指标，如果对静态平行度指标要求比较高，建议滑台的上台面不要采用喷砂及黑色阳极氧化的表面处理工艺。运动平行度［单位：μm］：也称平行度、平直度、平面度等，是指非轴向线性误差中的垂直方向的分量。将固定于基准平面（如隔振平台或大理石平台）上的滑台从基准点（行程端沿一定方向以一定间隔或全行程驱动电动滑台并定位），在相应定位位置上，分别测量垂直方向的差异量，我们定义其最大差值为运动平行度。运动平行度在实际测量时，可用激光干涉仪或千分表进行测量。如果用千分表进行测量，是将千分表固定在运动台面上，千分表的表头轻触在基准平面（如隔振平台或大理石平台）上，对垂直方向的变化量进行测量。17｛｜L1L＇1+｜L2L＇2｜+……+｜L7L＇7｜｝max

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B53返回目录运动直线度［单位：μm］：运动直线度是指非轴向线性误差中的水平方向的分量。将固定于基准平面（如隔振平台或大理石平台）上的滑台从基准点（行程端）到全行程运动，沿一方向以一定间隔（通常选3～10个点，尽可能均布在全行程范围）依次驱动电动滑台并定位，在相应定位位置上，分别测量水平方向的差异量，我们定义其最大差值为运动直线度。运动直线度在实际测量时，可用激光干涉仪或千分表+大理石标准量块进行测量。如果用千分表+大理石标准量块进行测量，首先要将大理石标准量块同滑台的运动轴（连接起点与终点的直线）尽可能调平行，然后将千分表固定在运动台面上，千分表的表头轻触在大理石标准量块侧面，对水平方向的变化量进行测量。俯仰、偏摆、转动［单位：＂］俯仰（也称上下摆动）、偏摆（也称左右摇动）、转动是指非轴向角度误差中三个相互正交的分量（参见下图）。滑台从基准点（行程端）沿一方向以一定间隔（通常选3～10个点，尽可能均布在全行程范围）依次进行定位，在总行程内，测量各定位点的角度偏差，我们分别定义上下摆动偏差为 “俯仰” ；左右摇动偏差为 “偏摆” ；绕轴向旋转运动偏差为 “转动”。俯仰、偏摆、转动在实际测量时，需要用自准直仪或者激光干涉仪等设备，无法用千分表进行测量。分辨率［单位：μm］：分辨率是一个理论计算值，这个项目不进行检验。分辨率同滑台的机械结构（如 ：丝杠导程）、电机和控制参数（如 ：电机步距角、驱动器细分数等）有很大相关性。通过理论计算（如 ：大幅增加驱动器的细分数）分辨率可以非常小，但分辨率不一定有实际意义，为了准确表征电动滑台的微步运动能力，可参照卓立汉光企业标准中 “微步能力” 指标。微步能力［单位：μm］：微步能力也称为最小有效步长、最小有效移动量，或简称为最小步长等，由于分辨率只是理论计算值，在具体工况中可能没有实际意义，所以此项技术指标是卓立汉光根据国标及企业标准提出的专项指标，旨在为客户精准选型提供更好的依据。微步能力是指在脉冲尽可能少的情况下，实际运行的位置和理论位置偏差不超过误差允许范围时的最小移动量。一般地，对于微步移动，我们设定误差允许的范围为移动步长的10%以内。如，CXP2060的实测结果 ：•步长20微米时，实际偏差�0.2微米，此时误差≤1%•步长5微米时，实际偏差�0.5微米，误差≤10%•步长2.5微米时，实际偏差�0.5微米，误差≤20%故我们标称CXP2060的实测微步能力小于5微米。由于微步能力和测试微步能力时的变化量数值都比较小，为避免测量误差对结果的影响，推荐用激光干涉仪进行检测。微步能力的检验方法如下 ：1在全行程靠近起点、中点、终点位置附近各随机选取一个位置（共3个位置）进行取样检测 ；2在上述3个位置上，设定移动步长（我们推荐先按照滑台整步分辨率设定为移动步长，如 ：CXP2060整步分辨率为5微米，我们将5微米设定为每次移动的步长），在同一个方向微步运动定位5次（3个位置共15次）。我们记录每一个停止位置（定位位置）的激光干涉仪读数，并和设定的整步分辨率做差值运算，记录最大变化量。俯仰（Pitch）：上下摆动的偏差（θy方向）转动（Roll）：绕轴向旋转的偏差（θx方向）偏摆（Yaw）：左右摇动的偏差（θz方向）

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B54返回目录3计算该最大变化量和设定的移动步长的比值 ：1）若比值≤10%，可认为此时的移动步长（整步分辨率）为微步能力。•若比值远小于10%时，说明微步能力有可能比此时的移动量要小，但由于满足判断的必要条件，故仍可以认为此时的移动量为微步能力。•若仍然希望找到更小的“微步能力”，推荐按照电机驱动器细分数×整步分辨率（即：通常为1/2、1/4、1/8…倍整步分辨率）来缩小移动步长，并重复步骤1、2，直到比值接近且小于10%的水平，可认为此时的移动步长为微步能力。2）若比值＞10%，则推荐按照2的幂次方倍放大移动步长（即：2、4、8…倍整步分辨率），并重复步骤1、2，直到比值≤10%时，可认为此时的移动步长为微步能力。微步运动时回程间隙［单位：μm］：微步运动时的回程间隙，也称微步运动空回，是指按照微步能力运动时，测试的回程间隙。此项技术指标是卓立汉光根据国标及企业标准提出的专项指标，旨在为客户精准选型提供更好的依据。由于微步运动和微步运动时回程间隙的数值都比较小，为避免测量误差对结果的影响，推荐用激光干涉仪进行检测。微步运动时回程间隙的检验方法如下 ：1.在全行程靠近起点、中点、终点位置附近各随机选取一个位置进行取样检测。2.在上述3个位置上，分别从正方向和反方向驱动滑台并定位，并记录两个方向的停止位置（定位位置）的差异值。每个位置进行3次测量，并求出其平均值。我们定义以上3个位置（共9次测量）中平均值的最大值为微步运动时回程间隙。微步运动时重复定位精度［单位：μm］：微步运动时的重复定位精度是指按照微步能力运动时，测试的重复定位精度。此项技术指标是卓立汉光根据国标及企业标准提出的专项指标，旨在为客户精准选型提供更好的依据。类似于重复定位精度，微步运动时重复定位精度一般是指单方向微步运动时的重复定位精度。由于微步运动和微步运动时重复定位精度的数值都比较小，为避免测量误差对结果的影响，推荐用激光干涉仪进行检测。微步运动时重复定位精度的检验方法如下 ：1在全行程靠近起点、中点、终点位置附近各随机选取一个位置进行取样检测 ；2.在上述3个位置上，分别从同一个方向按照微步能力做微步运动定位5次。我们首先记录每一个停止位置（定位位置）的最大变化范围，然后定义以上3个位置中的最大变化值为微步运动时重复定位精度。

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B55返回目录对于电动旋转滑台产品单向定位精度［单位：°］：从基准点（作为移动面测量基准的角度位置）沿一方向以一定间隔进行定位，通过一次旋转来测量、计算各定位点上的实测值（从基准点到实际移动的位置）与理论值（指定应该移动的位置）之差，将该最大差值作为单向定位精度。对于旋转滑台的单向定位精度，在实际测量时，需要用激光干涉仪（或自准直仪）及多面镜进行测量。重复定位精度［单位：±°］：重复定位精度一般是指单向重复定位精度，从同一方向向任意1点反复定位7次，测量停止位置的偏移量，计算出该最大偏移差。在圆周上多点（通常为任意4点）进行该测量，将计算出的最大值的1/2作为重复定位精度。旋转台重复定位精度在实际测量时，一般采用激光干涉仪（或自准直仪）及多面镜进行测量，测试方法 ：从基准点开始，以一定间隔（对于360°圆周旋转台需结合12面镜，角度差30°；对于SIN系列正弦机构旋转台，可根据行程范围，适当选取若干位置）依次定位12个位置，在每个位置上，从一个方向反复定位7次。分别实测在相应定位位置上的位置值（即从原点算起的移动值），并计算出和目标值（移动指令指示的理论值）的差值。计算出某方向（单方向）的平均值和标准偏差，我们定义以上各个位置上的平均值±标准偏差中的最大值的1/2为重复定位精度。在没有激光干涉仪（或自准直仪）及多面镜的情况下，可按照国标和卓立汉光企业标准中的相关内容，使用千分表对重复定位精度进行检测，检测方法如下 ：分别在台面圆周方向间隔30°均匀选取12个点（对于SIN系列正弦机构旋转台，可根据行程范围，适当选取若干位置）进行取样检测：1将旋转台沿任意方向运动到取样点附近 ；在其台面接近外沿处上固定一个测量块（对于SIN系列正弦机构旋转台，测量块的固定位置尽可能接近旋转台台面中心到滚珠丝杠连接轴的中心位置）。2将磁性表座吸附到测量平台合适位置，调整千分表的位置，使千分表的表针与旋转台台面的外圆对齐（对于SIN系列正弦机构旋转台，测量块位置应尽可能接近旋转台台面中心到滚珠丝杠连接轴的中心位置），并与台面上测量块的侧面轻触至千分表指针顺时针旋转一圈后对零位。3使旋转台台面后退（千分表指针逆时针旋转）运动1000步后停止，然后使旋转台台面前进（千分表指针顺时针旋转）运动1000步后停止，读取千分表示数，其与零位的差值为本次测量的误差。4重复3步骤7次，记下7个误差值，取其中的最大值即为此点的重复定位精度。5重复上面的步骤，分别在12个取样点上测出重复定位精度，取其中12个点的重复定位精度最大值的1/2，即为本旋转台的重复定位精度。6步骤5得到的重复定位精度为长度单位，可根据台面尺寸（半径）换算为角度单位。如：SIN12-60要求重复定位精度＜ ±0005°，如果固定块位置接近旋转台台面中心到滚珠丝杠连接轴的中心位置（即旋转半径为26mm），通过换算可知，当步骤5测出的重复定位精度（长度单位）应该＜ ±00022mm。背隙［单位：°］：背隙又称反冲间隙、哐量、静态间隙、传动副间隙等，同回程间隙（空回、空转、反转定位精度等）指标不同，背隙是表征电动产品在非运动状态下（电机不加电或电机加电但不转动）机械结构的间隙误差。旋转台背隙的测量一般采用激光干涉仪及多面镜，并结合推（拉）力计进行测量。对圆周上任意1点，沿切线方向向正（或负）方向施加一定大小的力，将此时的位置作为基准位置。接着，沿切线方向向负（或正）方向施加同样大小的力，测量距离基准位置的角度变化量。在圆周上多点（通常为任意4点）进行该测量，将计算出的最大值作为背隙值。

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B56返回目录在没有激光干涉仪及多面镜的情况下，旋转滑台的背隙可用千分表和推（拉）力计进行测量（参照下图），测量的具体方法如下 ：1.将一对测量块，按照中心对称固定在转台台面上，测量块被测区域应尽量接近转台的外沿（转台切线方向）。2.千分表与台面上一侧的测量块侧面轻触，至千分表指针顺时针旋转一圈。3.用推力计从一个方向推另一侧的测量块，施加一定的推力（1～3Kgf中的某固定值），将此时的千分表指针归零位，以该位置为基准。4用推力计从反方向推测量块，施加同样的推力，记录此时千分表的读数。5.转台旋转任意位置后，重复步骤1至步骤4至少3次，记录每次千分表的读数，取最大值作为此旋转滑台的背隙（长度单位）。6根据上述千分表的最大值以及旋转滑台的旋转半径，换算出该转台的背隙（角度单位）。如：TBR100旋转台，在2.5Kg正反向推力下，千分表的最大读数为9微米，按照半径50mm计算得出，该转台的背隙=arctg（0009/50）=001°。回程间隙［单位：°］：也称空回、空转、反转定位精度等，同背隙（反冲间隙、哐量、静态间隙等）指标不同，回程间隙是表征产品运动方向相反时，机械结构的间隙误差。旋转台回程间隙的测量一般采用激光干涉仪测量（参照下图）：沿正（或负）方向进行定位，测量其位置（L1）。接着，发出指令使之向同一方向移动，从该位置发出同一指令沿负（或正）方向进行定位，测量其位置（L＇1），计算两次位置的差值（取绝对值），即：L1L＇1。然后，发出指令使之沿负（或正）方向移动，从该位置发出同一指令沿正（或负）方向进行定位，测量其位置（L2），沿正及负方向反复进行7次该测量，计算出各次差值的平均值。在圆周上多点（一般为任意4点）进行测量，将计算出的最大值作为回程间隙指标。即：回程间隙=卓立汉光推荐采用激光干涉仪+多面镜的方法检测旋转台的回程间隙指标 ：从基准点开始，以一定间隔（对于360°圆周旋转台需结合12面镜，角度差30°；对于SIN系列正弦机构旋转台，可根据行程范围，适当选取合适位置）依次定位12个位置，在每个位置上，分别从正方向和反方向驱动电动滑台并定位，并记录两个方向的停止位置（定位位置）的差异值，以上每个位置共进行7次测量，并求出其平均值。我们定义以上12个点中回程间隙的最大值为此旋转台的空回。若没有激光干涉仪的情况下，也可按照国标和卓立汉光企业标准中的相关内容，使用千分表对重复定位精度进行检测，检测方法如下 ：分别在台面圆周方向间隔30°均匀选取12个点（对于SIN系列正弦机构旋转台，可根据行程范围，适当选取合适位置）进行取样检测 ：1.使旋转台沿某一方向运动到检测位置附近。在其台面接近外沿处上固定一个测量块（对于SIN系列正弦机构旋转台，测量块的固定位置尽可能接近旋转台台面中心到滚珠丝杠连接轴的中心位置）。17｛｜L1L1+L2L＇2+……+L7L＇7｜｝max2.将磁性表座吸附到测量平台合适位置，调整千分表的位置，使千分表的表针与旋转台上测量块的侧面（对于SIN，测量块位置应尽可能接近旋转台台面中心到滚珠丝杠连接轴的中心位置）轻触至千分表指针顺时针旋转一圈。3.使旋转台台面前进（千分表指针顺时针旋转）运动33步后停止，调整千分表对正零位。4.使旋转台台面前进（千分表指针顺时针旋转）运动33步后停止，然后使旋转台台面后退（千分表指针逆时针旋转）运动33步后停止，读取千分表示数，其与零位的差值为本次测量的误差。5.重复4步骤7次，记下7个误差值，取其中的最大值即为此点的回程间隙误差。6.重复上面的步骤，分别在12个取样点上测出回程间隙误差，取其中12个点的回程间隙误差最大值，即为本旋转台的回程间隙。7.步骤6得到的回程间隙为长度单位，可根据台面尺寸（半径）换算为角度单位。如 ：SIN12-60要求回程间隙＜0.005°，如果固定块位置接近旋转台台面中心到滚珠丝杠连接轴的中心位置（即旋转半径为26mm），通过换算可知，当步骤5测出的重复定位精度（长度单位）应该＜00022mm。

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B57返回目录静态平行度［单位：μm］：静态平行度是指电动产品在非运动状态下（电机不加电或电机加电但不转动），台面相对于基准平面的平行度。将滑台固定在基准平面上，在整个面测量台面相对于基准平面的平行度，将最大高低差作为静态平行度。静态平行度的检验方法（参照下图）：1.将被测滑台固定在测量基准平台（如隔振平台或大理石平台）上。2.在被测滑台的台面上，选取8个位置（尽可能均布在台面范围内），用高度尺（必须也放在测量基准平台上）分别测量8个位置的高度。3.我们取8个位置的高度最大差值，定义为该被测滑台的静态平行度。注意 ：由于材料表面处理（喷砂，黑色阳极氧化）的影响，会在一定程度上影响产品的 “静态平行度” 指标，如果对静态平行度指标要求比较高，建议滑台的上台面不要采用喷砂及黑色阳极氧化的表面处理工艺。轴向跳动［单位：μm］：又称端跳、端面跳动、表面跳动量等，是指旋转台台面旋转全行程（360°或有效行程范围）时，在台面的垂直方向测量其位置变化，我们定义其变化量的最大值为端跳，示意图如右 ：径向跳动［单位：μm］：又称径跳、偏心量等，指旋转台台面旋转全行程（360°或有效行程范围）时，在台面的水平方向测量其位置变化，我们定义其变化量的最大值为径跳，示意图参照端跳中说明。关于用千分表测量旋转台“端跳”和“径跳”的说明：在不使用标准的测试工装（检验级大理石平台、激光干涉仪或自准直仪、12面体反射镜、测试用大理石量块并调试为水平状态）情况下，若用千分表直接打台面的上表面和内圆，会在一定程度上放大产品的实际 “端跳” 和 “径跳” 指标，故以下用千分表直接测量旋转台 “端跳” 和 “径跳” 的方法仅供参考 ：端跳：1.台面匀速转动情况下，调整千分表至合适位置，使千分表的表针与旋转台上台面垂直，目测台面在行程范围内旋转时，千分表的变化量；2步骤1的变化量减去产品表面处理可能带来的偏差（如发黑处理造成的平面度误差可能为0～20微米；喷砂后发黑处理造成的平面度误差可能为0～50微米）后，该差值可作为该旋转台端跳的参考指标。径跳：1.台面匀速转动情况下，调整千分表至合适位置，使千分表的表针与旋转台内圆尽可能垂直，目测台面在行程范围内旋转时，千分表的变化量；2步骤1的变化量减去产品表面处理可能带来的偏差（如发黑处理造成的平面度误差可能为0～20微米；喷砂后发黑处理造成的平面度误差可能为0～50微米）以及内圆尺寸公差（如：Φ16H7，允许误差大致为18微米左右）后，该差值可做为该旋转台径跳的参考指标。分辨率［单位：°］：分辨率是一个理论计算值，这个项目不进行检验。电动旋转台的分辨率同它的机械结构（如：蜗轮蜗杆传动比）、电机和控制参数（如：电机步距角、驱动器细分数等）有很大相关性。通过理论计算（如 ：大幅增加驱动器的细分数）分辨率可以非常小，但分辨率不一定有实际意义，为了准确表征电动旋转台的微步运动能力，可参照“微步能力” 指标。微步能力［单位：°］：对于旋转台来说，微步能力是指最小有效转动角度，此项技术指标是卓立汉光根据国标及企业标准提出的专项指标，旨在为客户精准选型提供更好的依据。微步能力是指电动旋转台产品，在脉冲尽可能少的情况下，台面实际转动的位置和理论位置偏差不超过误差允许范围时的最小转动量。一般地，对于微步转动，我们设定误差允许的范围为转动量的10%以内。如，SIN12-60的实测结果（注 ：台面中心到滚珠丝杠连接轴中心位置的距离为26mm）：•台面转动0.044°（4个整步分辨率，对应台面连接轴处位置变化量约20微米），实际偏差�0.2微米，此时误差≤1%•台面转动0.011°（整步分辨率，对应台面连接轴处位置变化量约5微米），实际偏差�0.5微米，误差≤10%•台面转动0.0055°（半步分辨率，对应台面连接轴处位置变化量约25微米），实际偏差�0.5微米，误差≤20%故我们标称SIN12-60的实测微步能力为0011°（对应台面连接轴处位置变化量约5微米）。

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B58返回目录关于检验产品精度的相关说明1卓立汉光产品相关指标的检验，是卓立汉光检验部门在特定的环境和使用特定的检验设备时进行的，我们遵照国标、相关行业标准或企业标准进行检验，但由于国标等标准需要自行购买，所以我们没有权利或义务（无偿）提供或公布相关标准，我们所采用的检验方法，也有可能由于相关标准变更而变更。2. 产品技术指标的检验，通常是在空载情况下进行的（除了载荷能力测试）。负载情况下的技术指标，可能会发生变化。特别指出，如果您的负载超出我们标称的负载范围，或者您所购买的产品未进行正确、合理的安装，有可能会引起设备的损毁。3我们只提供卓立汉光部分单一自由度产品的精度检验，若需要对组合后的多个自由度产品进行精度检验，请您提前同相关的（销售）人员联系确认，我们可能会在某些特定条件下做出精度检验，但不排除收费的可能（收费的标准由双方协商或参照国家级计量单位的收费标准执行）。4我们不提供出货以后的精度检验服务。如果需要，您可以请第三方计量单位（需要卓立汉光和您双方认可）进行现场检验，检验如果发生费用由您和第三方计量单位协商解决。5. 我们会在一定时间内（通常为2年时间）保留合格产品的相关检验资料，我们无法保证在超出上述时间后，仍能够提供出厂前的检验记录。6. 我们可以为付费购买卓立汉光产品的客户提供相关产品的检验资料，但检验资料不作为产品出厂时的装箱单内容，若您希望取得我方的检验资料，请您提前同相关的（销售）人员联系确认。7. 我们遵照国标、相关行业标准或企业标准进行检验，但我们不是计量单位，不管付费与否，我们都不接受检验其它品牌或其它厂家产品的要求和申请，我们也不会出具非卓立汉光产品的相关检验证明。如果您对我们的检验方法或检验数据、资料存在异议，欢迎您联系我们。1.在旋转台全行程范围内，以一定间隔选3个位置（尽可能均布在全行程范围）进行取样检测 ；2.在台面的适当位置固定测量块（对于蜗轮蜗杆机构旋转台，测量块的固定位置尽可能接近旋转台台面外圆 ；对于正弦机构旋转台，测量块的固定位置尽可能接近旋转台台面中心到滚珠丝杠连接轴的中心位置），调整千分表位置，使千分表的表针与测量块轻触，并在千分表有读数的情况下，记录初始位置。3在上述3个位置处，设定旋转台的移动步长（我们推荐先按照旋转台整步分辨率设定为移动步长，如 ：SIN12-60的整步分辨率为0.011°，对应台面连接轴处位置变化量约5微米），在同一个方向微步运动定位5次（3个位置共15次）驱动旋转台。我们记录每一个停止位置（定位位置）的千分表读数，并和设定的移动步长做差值运算，记录最大变化量。4计算该最大变化量和设定的移动步长的比值 ：1) 若比值≤10%，可认为此时的移动步长为微步能力。•若比值远小于10%时，说明微步能力有可能比此时的移动步长要小，但由于满足判断的必要条件，故仍可以认为此时的移动步长为微步能力。•若仍然希望找到更小的“微步能力”，推荐按照电机驱动器细分数×整步分辨率（即：通常为1/2、1/4、1/8…倍整步分辨率）来缩小移动步长，并重复步骤1、2，直到比值接近且≤10%的水平，可认为此时的移动步长为微步能力。2) 若比值＞10%，推荐按照2的幂次方倍放大移动步长（即 ：2、4、8…倍整步分辨率），并重复步骤1、2，直到比值≤10%时，可认为此时的移动步长为微步能力。旋转台的微步能力在检测时，由于旋转中心的精准定位比较困难，再加上存在弦长、弧长等效情况以及角度换算关系，所以无法直接使用激光干涉仪检测，我们推荐用千分表进行测试，测试方法如下（参照右图）：

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B59返回目录电动直线滑台电动直线滑台uKSA系列CXP及CXPF系列KA系列TSAxxC系列LA系列尺寸驱动机构导向机构特点中、大尺寸滚珠丝杠交叉滚柱导轨超高精度、闭环、高承载小尺寸滚珠丝杠交叉滚柱导轨高精度、微步能力强中、大尺寸滚珠丝杠线性滑块导轨高精度、闭环、高承载小、中尺寸滚珠丝杠线性滑块导轨标准精度、高速小尺寸研磨丝杠交叉滚柱导轨自锁、可做Z轴PA系列中、大尺寸滚珠丝杠线性滑块导轨标准精度、高承载TSAxx-B系列中、大尺寸滚珠丝杠线性滑块导轨标准结构、标准精度电动直线滑台LAK系列小尺寸滚珠丝杠线性滑块导轨高精度、微步能力强uFS系列小尺寸滚珠丝杠交叉滚柱导轨高精度、微步能力强

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B60返回目录uFS系列亚微米电动滑台命名规则：说明：uFS系列产品是卓立汉光为解决小尺寸、高精度、高重复使用频率等情况专门设计的高精密电动滑台。该系列产品主体材料采用硬质铝合金，表面黑色阳极氧化处理，耐磨性好、外型美观。导轨采用进口交叉滚柱导轨，强度高、负载能力强、耐用性好，配合卓立汉光特有的导轨面精密加工技术，使该系列产品具有较高的运动精度。驱动机构采用进口滚珠丝杠（1mm导程），标配进口五相步进电机，可提供非常高的分辨率和定位精度。该系列产品非常适合集成在对空间、尺寸、重量要求较高的自动化设备、高精密仪器设备等中，也比较适合使用在运动范围较小、往复频率高、精度要求高的工业生产线中。特点：•主体材料为硬质铝合金，表面黑色阳极氧化处理，耐磨性好、外形美观•采用进口交叉滚柱导轨，强度高、负载能力强、耐用性好•导轨安装面采用精密加工工艺，使得产品具有较高的运动精度•采用进口小导程滚珠丝杠，标配进口五相步进电机，可提供较高的分辨率和定位精度uFS20-60(-NM) (-Nx)uFS系列代码：uFS：高精密，滚珠丝杠、交叉滚柱导轨、铝合金20行程：20：20mm60台面尺寸：60：60mm×60mmNM电机类型：无（默认）：标配5相步进电机NM：步进电机接口（不含电机）EN：步进伺服电机（含编码器）IE：集成驱动的步进伺服电机（485接口）Nx出线类型：无（默认）：DB9（30cm）Nx：散线（x：1、3、5、10单位：m）

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B61返回目录选型表：型号uFS20-60机械规格行程（mm）20台面尺寸（mm）60×60传动机构进口C3滚珠丝杠，Φ6×1导轨（导向机构）进口交叉滚柱导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重（Kg）058联轴器（外径孔径1孔径2）（mm）160305精度规格分辨率（整步/半步，µm）1/0520细分下的分辨率（µm）005最大速度（mm/s）*10单向定位精度（µm）≤10重复定位精度（µm）≤±1回程间隙（µm）≤1静态平行度（mm）≤005运动直线度（µm）≤5运动平行度（µm）≤5偏摆（″）≤20俯仰（″）≤20专用规格微步能力（µm）**≤0.2/≤05电气规格电机及步距角（°）五相28步进，0.36工作电流（A）075电机保持转矩（mN·m）38滑台接头10针连接器滑台接头线缆类型运动线缆滑台接头线缆长度（m）0.2限位传感器2个EE-SX4320（日本OMRON）原点传感器1个EE-SX4320（日本OMRON）传感器电源电压（V） DC5～24V±10%控制输出NPN开路集电极输出 DC5～24V 8mA以下残留电压03V以下（负载电流2mA时）输出逻辑检测（遮光）时：输出晶体管OFF（非导通）负载水平负载（Kg）6竖直负载（Kg）3倒置负载（Kg）3*注：最大速度是在空载情况下，按照步进电机600转/分钟的理论计算速度和实际测试值。**注：驱动器20细分下，≤02(80%数据)偏差在±20%以内，≤0.5(90%数据)偏差在±10%以内。

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B62返回目录电机接线定义：电机资料：电机参数：通用技术参数电气技术参数相数5电流0.75A/相（PHASE）电阻0.63Ω/相步距角0.36°保持力矩0.038N·m绝缘电阻100MΩ以上/Min转子惯量9×107kg·m2绝缘强度AC05KV 50/60Hz1分钟无异常使用温度范围10～+50℃重量0.11Kg电机工作允许温升范围线圈部温度上升80℃以下电气规格：电气规格整体说明：型号uFS20-60电机类型五相28步进电机驱动电流（A）075步距角（°）036滑台接口10针连接器限位传感器2个EE-SX4320（日本OMRON）原点传感器1个 EE-SX4320（日本OMRON）传感器电压（V） DC5～24V±10%消耗电流（mA）合计60mA以下控制输出NPN开路集电极输出 DC5～24V 8mA以下残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）输出逻辑检测（遮光）时：输出晶体管OFF（非导通）电机尺寸图：尺寸图：uFS2060

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B63返回目录LAK系列亚微米电动滑台命名规则：说明：LAK系列电动直线滑台是卓立汉光为解决小尺寸、高重复使用频率等情况专门设计的高精密型电动直线滑台。该系列产品主体材料采用硬质铝合金，表面黑色阳极氧化处理，耐磨性好、外型美观。导轨采用线性滑块导轨，强度高、负载能力强、耐用性好，配合卓立汉光特有的导轨面精密加工技术，使该系列产品具有较高的运动精度。驱动机构采用滚珠丝杠传动，标配五相步进电机，可提供较高的分辨率和定位精度。该系列产品非常适合集成在对空间、尺寸、重量要求较高的自动化设备、精密仪器设备等中，也比较适合使用在运动范围较小、往复频率高的工业生产线中。特点：•滚珠丝杠驱动，耐用性好•采用线性滑块导轨，运行平稳Linear Slide GuideLAK20-60 (-NM) (-Nx)LAK系列代码：LA：高精密，铝合金、滚珠丝杠、线性滑块导轨20行程：20：20mm60台面尺寸：60：60mm×60mmNM电机类型：无（默认）：标配步进电机NM：步进电机接口（不含电机）EN：步进伺服电机（含编码器）IE：集成驱动的步进伺服电机（485接口）Nx出线类型：无（默认）：DB9（30cm）Nx：散线（x：1、3、5、10单位：m）注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B64返回目录选型表：型号LAK20-60机械规格行程（mm）20台面尺寸（mm）60×60传动机构进口C3滚珠丝杠，Φ6×1导轨（导向机构）线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重（Kg）058联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm）160305精度规格分辨率（整步/半步，µm）2/120细分下的分辨率（µm）0.1最大速度（mm/s）*20单向定位精度（µm）≤20重复定位精度（µm）≤±1回程间隙（µm）≤1静态平行度（mm）≤005运动直线度（µm）≤10运动平行度（µm）≤10偏摆（″）≤25俯仰（″）≤30专用规格微步能力（µm）≤1容许力矩负载上下摆动（N·m）931左右摆动（N·m）9.8轴向转动（N·m）931力矩刚性上下摆动（µm/90N·cm）≤6左右摆动（µm/90N·cm）≤6电气规格电机及步距角（°）五相28步进，0.72工作电流（A）1.2电机保持转矩（mN·m）525滑台接头10针连接器滑台接头线缆类型运动线缆滑台接头线缆长度（m）0.2限位传感器2个EE-SX4320（日本OMRON）原点传感器1个EE-SX4320（日本OMRON）传感器电源电压（V） DC524V±10%控制输出NPN开路集电极输出 DC5～24V 8mA以下残留电压03V以下（负载电流2mA时）输出逻辑检测（遮光）时：输出晶体管OFF（非导通）负载水平负载（Kg）8竖直负载（Kg）3倒置负载（Kg）4*注：最大速度是在空载情况下，按照步进电机600转/分钟的理论计算速度和实际测试值。

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B65返回目录电机接线定义：电机资料：电机参数：通用技术参数电气技术参数相数5电流12A/相（PHASE）电阻063Ω/相步距角0.72°保持力矩0052N·m绝缘电阻100MΩ以上/Min转子惯量9×10-7kg·m2绝缘强度AC0.5KV 50/60Hz1分钟无异常使用温度范围10～+50℃重量0.11Kg电机工作时允许温度上升范围线圈部温度上升80℃以下电气规格：电气规格整体说明：型号LAK20-60电机类型五相28步进电机驱动电流（A）12步距角（°）0.72滑台接口10针连接器限位传感器2个EE-SX4320（日本OMRON）原点传感器1个EE-SX4320（日本OMRON）传感器电压（V） DC5～24V±10%消耗电流（mA）合计60mA以下控制输出NPN开路集电极输出 DC5～24V 8mA以下残留电压03V以下（负载电流2mA时）输出逻辑检测（遮光）时：输出晶体管OFF（非导通）电机尺寸图：尺寸图：LAK2060

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B66返回目录CXPF30-80 (-ST542) (-Nx)CXP系列代码：CXPF：高精密，2 mm导程滚珠丝杠、交叉滚珠导轨、铝合金、快速&刚性增强型20行程：30：30mm 50：50mm 75：75mm100：100mm 60台面尺寸：80：80mm ×80mm80100：80mm ×100mm80125：80mm ×125mm80175：80mm ×175mmST542电机类型：无（默认）：标配步进电机ST542：5相42步进电机NM：步进电机接口（不含电机）BR：刹车型步进电机EN：步进伺服电机（含编码器）IE ：集成驱动的步进伺服电机（485接口）Nx出线类型：无（默认）： DB9（30cm）Nx：散线（x：1、3、5、10单位： m）注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。CXP20-60 (-ST528) (-Nx)CXP系列代码：CXP：高精密，1mm导程滚珠丝杠、交叉滚珠导轨、铝合金20行程：15：15mm20：20mm60台面尺寸：40：40mm×40mm60：60mm×60mmST528电机类型：无（默认）：标配步进电机ST528：5相28步进电机NM：步进电机接口（不含电机）BR：刹车型步进电机EN：步进伺服电机（含编码器）IE：集成驱动的步进伺服电机（485接口）Nx出线类型：无（默认）：DB9（30cm）Nx：散线（x：1、3、5、10单位：m）注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。说明：CXP系列产品是卓立汉光为解决小尺寸、高使用频率等情况专门设计的高精密电动直线滑台。该系列产品主体材料采用硬质铝合金，表面黑色阳极氧化处理，耐磨性好、外型美观。产品采用交叉滚柱导轨，强度高、负载能力强、耐用性好，配合导轨面精密加工技术，使该系列产品具有较高的运动精度。驱动机构采用滚珠丝杠（1mm 导程），标配二相步进电机，可提供较高的微步能力和定位精度。该系列产品非常适合集成在对空间、尺寸、重量要求较高的自动化设备、精密仪器设备中，也比较适合使用在运动范围较小、往复频率高的工业生产线中。CXPF系列产品是在CXP结构的基础上，采用2mm导程的滚珠丝杠，更换尺寸更大的交叉滚柱导轨，可实现更快速度，更高刚性。CXPF系列产品适合在较大行程、高精度的要求下，对速度和刚性有更高要求的情况下使用。CXP/CXPF系列精密小尺寸电动滑台特点：•采用小导程滚珠丝杠，标配二相步进电机，微步能力强、耐用性好•采用交叉滚柱导轨，强度高、负载能力强•导轨安装面采用精密加工工艺，使得产品具有较高的运动精度•内置三个传感器（正负限位及零位），采用高柔线缆并实现线缆模组化，维护更方便命名规则：Micro Step≤5µm

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B67返回目录选型表：型号CXP15-40CXP20-60CXPF30-80CXPF50-80100CXPF75-80125CXPF100-80175机械规格行程(mm)1520305075100台面尺寸(mm)40×4060×6080×8080×10080×12580×175传动机构滚珠丝杠，φ6×1滚珠丝杠，φ8×2导轨交叉滚柱导轨主体材料即表面处理铝合金，黑色阳极氧化自重(kg)040.6121.41618联轴器16-03-0516-05-05分辨率(整步/半步，µm)5/2.510/520细分下的分辨率(µm)0.250.5最大速度(mm/s)*1020重复定位精度(µm)≤±1.5≤±2回程间隙(µm)≤3静态平行度(mm)≤008≤01运动直线度(µm)≤10运动平行度(µm)≤15专用规格微步能力(µm)**≤5≤2电气规格电机参数规格28电机42电机相数2步距角(°)18绝缘电阻100MΩ以上/Min绝缘强度\"500V AC 1分钟无异常\"绝缘等级UL B级重量(kg)0.11029电压(V)192.8电流13A/相1.7A/相电阻1.45±10%Ω/相165±10%Ω/相电感125mH/相3.6mH/相保持转矩00785N.m0.456N.m制动力矩0.00294N.m(参考值)0005N.m(参考值)转子惯量8g.c㎡56g.c㎡使用温度0~+50℃电机工作允许温度范围80℃ Max电气规格接头、传感器滑台接头DB9(针)滑台接头类型高柔性线缆滑台接头线缆长度(m)02限位传感器2个GP1S09xHCPI(日本SHARP)原点传感器1个GP1S09xHCPI(日本SHARP)传感器电压DC5-24V±10%消耗电流合计60mA以下控制输出NPN开路集电极输出DC5-24V 8mA以下残留电压0.3V以下(负载电流2mA时)输出逻辑检测(遮光)时：输出晶体管ON(导通)负载水平负载(kg)5816202530竖直负载(kg)235678倒置负载(kg)345555*注：最大速度是在空载情况下，按照步进电机600转/分钟的理论计算和实际测试值。**注：≤2µm(使用我司TMC控制器情况下)，当使用我司其他控制器时，微步能力≤5µm。

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B68返回目录尺寸图：CXP1540CXP20-60CXPF3080CXPF5080100

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B69返回目录CXPF7580125CXPF10080175

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B70返回目录电机接线定义：电机接线定义：电机资料：CXP系列电机参数：通用技术参数电气技术参数相数2电压19V电流13A/相（PHASE）步距角1.8°电阻145±10%Ω/相（PHASE）绝缘电阻100MΩ以上/Min电感125 mH/相（PHASE）绝缘等级UL B级保持力矩785mN·m以上/Min使用温度范围0～+50℃制动力矩2.94mN·m参考值绝缘强度500V AC 1分钟无异常转子惯量8 g·cm2重量011Kg电机工作时允许温度上升范围80℃ Max电气规格：电气规格整体说明：型号CXP系列CXPF系列电机类型二相28步进电机二相42步进电机驱动电流（A）1317步距角（°）18滑台接头DB9(针)限位传感器2个GP1S09xHCPI（日本SHARP）原点传感器1个GP1S09xHCPI（日本SHARP）传感器电压（V）DC5～24V±10%消耗电流（mA）合计60mA以下控制输出NMOS管开路漏电极输出DC5-24V 8mA以下残留电压0.3V以下(负载电流2mA时)输出逻辑检测（遮光）时：输出晶体管ON（导通）线缆类型高柔性线缆（德国和柔）线缆长度（m）02CXPF系列电机参数：通用技术参数电气技术参数相数2电压2.8V电流1.7A/相（PHASE）步距角18°电阻165±10%Ω/相（PHASE）绝缘电阻100MΩ以上/Min电感36 mH/相（PHASE）绝缘等级UL B级保持力矩456 mN·m以上/Min使用温度范围0～+50℃制动力矩5mN·m参考值绝缘强度500V AC 1分钟无异常转子惯量56 g·cm2重量029Kg电机工作时允许温度上升范围80℃ Max电机尺寸图：电机尺寸图：

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B71返回目录uKSA系列高精密闭环电动滑台说明：uKSA系列高精密闭环电动滑台是卓立汉光开发的高端电动滑台产品，该系列产品采用进口滚珠丝杠和交叉滚柱导轨，内置分辨率01µm进口光栅尺，其运动精度达到国际水平。该系列产品按行程分为50、100、200mm等三款产品，配合卓立汉光的MC6003P或TMC系列控制器，定位于超高精度要求的领域，如：超精密激光加工、超精密三维扫描测量等。特点：•加厚的铝合金底座，配合精密磨削工艺，保证产品的精度和稳定型•内置进口精密光栅尺，闭环分辨率可达01µm•采用进口C3级滚珠丝杠驱动，具有超高定位精度•采用进口交叉滚柱导轨，具有超高运动精度，强度高，负载能力强•标配三相步进电机，有效降低电移台运行时的振动和噪音命名规则：uKSA100 (-NM) (-Nx)uKSA系列代码：uKSA：高精密，滚珠丝杠、交叉滚柱导轨、铝合金100行程：50：50mm100：100mm200：200mmNM电机类型：无（默认）：标配3相步进电机NM：步进电机接口（不含电机）BR：含刹车抱闸功能电机EN：步进伺服电机（含编码器）IE：集成驱动的步进伺服电机（485接口）Nx出线类型：（此出线方式待定）无（默认）：DB9（30cm）Nx：散线（x：1、3、5、10单位：m）

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B72返回目录选型表：型号uKSA50uKSA100uKSA200机械规格台面尺寸（mm）245×180295×180400×180行程（mm）50100200传动机构进口C3滚珠丝杠，Φ16×4导轨（导向机构）进口交叉滚柱导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重（Kg）8.510.515联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm）26-635-10精度规格闭环分辨率（µm）0120细分开环分辨率（µm）0.667最大速度（mm/s）*40重复定位精度（µm）**≤±2回程间隙（µm）**≤1运动直线度(µm)≤6≤10运动平行度(µm) ≤6≤10电气规格电机及步距角(°)三相57步进电机，步距角1.2工作电流（A）56电机扭矩（N·m）09光栅尺品牌及型号JENAMV51-40NP-100滑台接头&光栅尺接头8针航空插座&7针航空插座限位传感器（内置）2个KX-SS-5GL2原点传感器（内置）1个PI-GK112-DIP1个PI-ITR8104传感器电源电压（V）DC5～24V±10%消耗电流（mA）合计60mA以下控制输出限位传感器：干触点（干接点）输出；零位光电传感器：NPN开路集电极输出；DC5～24V8mA以下残留电压03V以下（负载电流2mA时）输出逻辑限位传感器：触发时，输出开关ON（导通）；零位光电传感器：检测（遮光）时输出晶体管OFF（非导通）；负载水平负载（Kg）30竖直负载（Kg）5（竖直负载超过5Kg时，需要增加延时保护电路）*注：最大速度是在空载情况下，按照步进电机600转/分钟的理论计算速度和实际测试值。**注：开环模式下测量。

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B73返回目录尺寸图：uKSA50uKSA100uKSA200

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B74返回目录电气规格：电气规格整体说明：电机资料：电机参数：通用技术参数电气技术参数相数3电压1344V电流56A步距角12°电阻024Ω/相绝缘电阻100MΩ Min 500VDC电感0.267mH/相绝缘等级UL B级保持力矩0.9N·m使用温度范围20~+50℃制动力矩94mN·m参考值绝缘强度500V AC/1Min转子惯量220g·cm²重量0.75Kg电机工作时允许温度上升范围80℃ Max电机尺寸图：电机接线定义：型号uKSA50、uKSA100uKSA200电机类型三相步进电机驱动电流（A）56步距角（°）12滑台接头&光栅尺接头8针航空插座&7针航空插座限位传感器KX-SS-5GL2原点传感器PI-GK112-DIPPI-ITR8104传感器电压（V）DC5～24V±10%消耗电流（mA）合计60mA以下控制输出限位传感器：干触点（干接点）输出；零位光电传感器：NPN开路集电极输出；DC5～24V 8mA以下残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）输出逻辑限位传感器：触发时，输出开关ON（导通）；零位光电传感器：检测（遮光）时输出晶体管OFF（非导通）；

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B75返回目录KA系列精密闭环电动滑台命名规则：说明：KA系列产品是卓立汉光设计的中大尺寸、中大行程的精密闭环直线滑台，该系列产品底板采用U型结构加工而成，适合高承载、高刚性或组维使用。可选配防尘罩，有效的防止颗粒、粉尘进入滑台内部，保证滑台在运动过程中的稳定可靠，提高产品的耐用性和精度的保持性。 KA系列产品采用精密级滚珠丝杠，配合线性滑块导轨、高品质联轴器等部件，确保产品适用于复杂环境的高精度应用领域，该系列产品采用外置光栅尺，配合卓立汉光MC600或TMC系列控制器，闭环分辨率为1µm/0.5µm，该系列产品其他关键技术指标达到国际水平。特点：•U型铝合金底板精加工，表面黑色阳极氧化处理，耐磨性好、外型美观•外置光栅尺，闭环分辨率可达1µm/0.5µm•精密级滚珠丝杠，定位精度好•采用精密级线性滑块导轨，负载能力强，运动精度高•可选配防尘罩•标配二相步进电机，可换装伺服电机Linear Slide GuideKA100 (-ST242) (-C) (-ER) (-SR)-Z (-Nx)KA系列代码：KA：高精密、滚珠丝杠、线性滑块导轨、铝合金、闭环（1μm分辨率）100行程：050：50mm 100：100mm 150：150mm 200：200mm 300：300mm 400：400mmST242电机类型：无（默认）：标配步进电机NM：步进电机接口（不含电机）BR：刹车型步进电机（型号中带-Z尾标的滑台为竖直使用滑台，默认添加抱闸电机）EN：步进伺服电机（含编码器）IE：集成驱动的步进伺服电机（485接口）ST242：配2相42步进电机ASP1：配松下100W交流伺服电机ASY2：配安川200W交流伺服电机P1：配松下100W电机安装板和联轴器Y2：配安川200W电机安装板和联轴器C防护类型：无（默认）：无防护C：带防护ER光栅尺位置：无（默认）：左置ER：右置SR传感器位置：无（默认）：内置SL：左侧外置SR：右侧外置注：传感器与光栅尺不能位于同侧Z使用方式代码：Z：竖直使用Nx出线类型：无（默认）：DB9（30cm）Nx：散线（x：1、3、5、10单位：m）注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。KA600 (-ASP4) (-ER) (-Nx)KA系列代码：KA：高精密、滚珠丝杠、线性滑块导轨、铝合金、闭环（0.5μm分辨率）600行程：600：600mm 800：800mm 1000：1000mm ASP4电机类型：无（默认）：标配步进电机NM：步进电机接口（不含电机）BR：刹车型步进电机（型号中带-Z尾标的滑台为竖直使用滑台，默认添加抱闸电机）EN：步进伺服电机（含编码器）IE：集成驱动的步进伺服电机（485接口）ASP4：配松下400W交流伺服电机ASY4：配安川200W交流伺服电机P4：配松下400W电机安装板和联轴器Y2：配安川400W电机安装板和联轴器ER光栅尺位置：无（默认）：左置 ER：右置Nx出线类型：无（默认）：DB9（30cm）Nx：散线（x：1、3、5、10单位：m）注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B76返回目录选型表：型号KA050KA100KA150KA200KA300KA400KA600KA800KA1000机械规格行程（mm）501001502003004006008001000台面尺寸（mm）120×120150X150200X200传动机构精密滚珠丝杠Φ12×4精密滚珠丝杠Φ16×5精密滚珠丝杠Φ25×5导轨（导向机构）线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重（Kg）666872769910922326295联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm）30635834812精度规格闭环分辨率（µm）10.520细分开环分辨率（µm）11.25最大速度（mm/s）4050单向定位精度（µm）≤30≤70重复定位精度（µm）*≤±3≤±5背隙（反冲间隙）（µm）*≤3回程间隙（µm）*≤5静态平行度（mm）≤01≤0.12运动直线度（µm）≤10≤15≤15/100mm 运动平行度（µm）≤15≤20≤15/100mm 偏摆（″）≤30≤40/俯仰（″）≤35≤55/电气规格电机及步距角（°）二相57步进电机，步距角18工作电流（A）283.0电机保持转矩（N·m）1441.57光栅尺品牌及型号FagorMX或MKX系列LAMOTION滑台接头DB9(针)滑台接头线缆类型高柔性线缆（德国和柔）滑台接头线缆长度（m）0.2限位传感器（内置/外置）2个PM-L25（日本SUNX）原点传感器（内置/外置）1个PM-L25（日本SUNX）传感器电源电压（V）DC5～24V±10%消耗电流（mA）合计60mA以下控制输出NPN开路集电极输出；DC5～24V8mA以下残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）输出逻辑限位传感器：检测（遮光）时输出晶体管ON（导通）；零位光电传感器：检测（遮光）时输出晶体管OFF（非导通）；负载水平负载（Kg）305080竖直负载（Kg）竖直负载请使用“xx-Z”型号，具体参考KAxx-Z系列倒置负载（Kg）152540*注：开环模式下测量。

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B77返回目录尺寸图：KA050KA100KA150KA200

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B78返回目录KA300KA600KA400KA800

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B79返回目录KA1000请知悉：导轨滑块的端盖颜色有所不同，随机发货。

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B80返回目录电机接线定义：电机接线定义：电机资料：电机尺寸图：KA050、KA100、KA150、KA200、KA300、KA400电机参数：通用技术参数电气技术参数相数2电压2.4V电流28A/相步距角1.8°电阻085±10%Ω/相（PHASE）绝缘电阻100MΩ以上/Min电感30mH/相（PHASE）绝缘等级UL B级保持力矩1.44N.m以上/Min使用温度范围0～+50℃制动力矩15mN.m参考值绝缘强度500V AC1分钟无异常转子惯量245g.cm²重量1.1Kg电机工作时允许温度上升范围80℃ MaxKA600、KA800、KA1000电机参数电气规格：电气规格整体说明：型号KA050、KA100、KA150、KA200、KA300、KA400KA600、KA800、KA1000电机类型二相57步进电机驱动电流（A）283.0步距角（°）181.8滑台接头&光栅尺接头2个DB9(针)限位传感器2个PM-L25原点传感器1个PM-L25消耗电流（mA）合计60mA以下控制输出NPN开路集电极输出；DC5～24V8mA以下残留电压03V以下（负载电流2mA时）输出逻辑限位传感器：检测（遮光）时输出晶体管ON（导通）；零位光电传感器：检测（遮光）时输出晶体管OFF（非导通）；通用技术参数电气技术参数相数2电压3.6V电流3.0A/相（PHASE）步距角18°电阻12±10%Ω/相（PHASE）绝缘电阻100MΩ以上/Min电感22mH/相（PHASE）绝缘等级UL B级保持力矩1.57N·m以上/Min使用温度范围0～+50℃制动力矩88mN·m参考值绝缘强度500V AC 1分钟无异常转子惯量470g·cm²重量111Kg电机工作时允许温度上升范围80℃ Max电机尺寸图：

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B81返回目录PA100 (-ST242) (-C) (-SR)-Z (-Nx)PA系列代码：PA：高精密、滚珠丝杠、线性滑块导轨、铝合金、开环100行程：050：50mmw100：100mm150：150mm200：200mm300：300mm400：400mmST242电机类型：无（默认）：标配步进电机NM：步进电机接口（不含电机）BR：刹车型步进电机（型号中带-Z尾标的滑台为竖直使用滑台，默认添加抱闸电机）EN：步进伺服电机（含编码器）IE：集成驱动的步进伺服电机（485接口）ST242：配2相42步进电机ASP1：配松下100W交流伺服电机ASY2：配安川200W交流伺服电机P1：配松下100W电机安装板和联轴器Y2：配安川200W电机安装板和联轴器C防护类型：无（默认）：无防护C：带防护SR传感器位置：无（默认）：内置SL：左侧外置SR：右侧外置注：传感器与光栅尺不能位于同侧Z使用方式代码：Z：竖直使用Nx出线类型：无（默认）：DB9（30cm）Nx：散线（x：1、3、5、10单位：m）*注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。PA系列精密电动滑台命名规则：说明：PA系列产品是卓立汉光设计的中大尺寸、中大行程的精密直线滑台，该系列产品底板采用U型结构加工而成，适合高承载、高刚性或组维使用。可选配防尘罩，有效的防止颗粒、粉尘进入滑台内部，保证电移台在运动过程中的稳定可靠，提高该系列产品的耐用性和精度的保持性。PA系列采用精密级滚珠丝杠，配合线性滑块导轨、高品质联轴器等部件，确保产品适用于复杂环境的高精度应用领域。特点：•U型铝合金底板精加工，表面黑色阳极氧化处理，耐磨性好、外型美观•精密级滚珠丝杠，定位精度好•采用线性滑块导轨，负载能力强，运动精度高•可选配防尘罩•标配二相步进电机，可换装伺服电机Linear Slide Guide

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B82返回目录选型表：型号PA050PA100PA150PA200PA300PA400PA600PA800PA1000机械规格行程（mm）501001502003004006008001000台面尺寸（mm）120×120150X150200X200传动机构精密滚珠丝杠Φ12×4精密滚珠丝杠Φ16×5精密滚珠丝杠Φ25×5导轨（导向机构）线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重（Kg）5862667899921525284联轴器（外径孔径1孔径2）（mm）30635832812精度规格整步分辨率（µm）202520细分开环分辨率（µm）1125最大速度（mm/s）4050单向定位精度（µm）≤30/重复定位精度（µm）≤±3≤±5背隙（反冲间隙）（µm）≤3回程间隙（µm）≤5静态平行度（mm）≤0.1≤012运动直线度（µm）≤20≤25≤15µm/100mm运动平行度（µm）≤25≤30≤15µm/100mm偏摆（″）≤50/俯仰（″）≤55≤60/电气规格电机及步距角（°）二相57步进电机，步距角18工作电流（A）2.83.0电机保持转矩（N·m）144157滑台接头DB9(针)滑台接头线缆类型高柔性线缆（德国和柔）滑台接头线缆长度（m）02限位传感器2个PM-L25（日本SUNX）原点传感器1个PM-L25（日本SUNX）传感器电源电压（V）DC5～24V±10%消耗电流（mA）合计60mA以下控制输出NPN开路集电极输出；DC5～24V8mA以下残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）输出逻辑限位传感器：检测（遮光）时输出晶体管ON（导通）；零位光电传感器：检测（遮光）时输出晶体管OFF（非导通）；负载水平负载（Kg）305080竖直负载（Kg）竖直负载请使用“xx-Z”型号，具体参考PAxx-Z系列倒置负载（Kg）152540

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B83返回目录尺寸图：PA050PA100PA150PA200

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B84返回目录PA300PA600PA400PA800

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B85返回目录PA1000请知悉：导轨滑块的端盖颜色有所不同，随机发货。

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B86返回目录电机接线定义：电机接线定义：电机资料：电机尺寸图：电机尺寸图：PA050、PA100、PA150、PA200、PA300、PA400电机参数通用技术参数电气技术参数相数2电压24V电流28A/相步距角18°电阻0.85±10%Ω/相（PHASE）绝缘电阻100MΩ以上/Min电感3.0mH/相（PHASE）绝缘等级UL B级保持力矩1.44N.m以上/Min使用温度范围0～+50℃制动力矩15mN.m参考值绝缘强度500V AC 1分钟无异常转子惯量245g.cm²重量1.1Kg电机工作时允许温度上升范围80℃ MaxPA600、PA800、PA1000电机参数通用技术参数电气技术参数相数2电压36V电流30A/相（PHASE）步距角1.8°电阻12±10%Ω/相（PHASE）绝缘电阻100MΩ以上/Min电感2.2mH/相（PHASE）绝缘等级UL B级保持力矩157N·m以上/Min使用温度范围0～+50℃制动力矩88mN·m参考值绝缘强度500V AC 1分钟无异常转子惯量470g·cm²重量1.11Kg电机工作时允许温度上升范围80℃ Max电气规格：电气规格整体说明：型号PA050、PA100、PA150、PA200、PA300、PA400PA600、PA800、PA1000电机类型二相57步进电机驱动电流（A）2.83.0步距角（°）1.81.8滑台接头1个DB9(针)限位传感器2个PM-L25原点传感器1个PM-L25消耗电流（mA）合计60mA以下控制输出NPN开路集电极输出；DC5~24V8mA以下残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）输出逻辑限位传感器：检测（遮光）时输出晶体管ON（导通）；零位光电传感器：检测（遮光）时输出晶体管OFF（非导通）；

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B87返回目录LA 100 -60 (-ST528) (-Nx)LA系列代码：LA：精密，铝合金、滚珠丝杠、线性滑块导轨100行程：50：50mm100：100mm150：150mm60台面尺寸：60：60mm×60mmST528电机类型：无（默认）：标配2相步进电机ST528：5相28步进电机NM：步进电机接口（不含电机）EN：步进伺服电机（含编码器）IE：集成驱动的步进伺服电机（485接口）Nx出线类型：无（默认）：DB9（30cm）Nx：散线（x：1、3、5、10单位：m）注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。说明：LA系列是卓立汉光为解决工业中高重复使用频率等情况专门设计的精密电动滑台。该系列产品主体材料采用硬质铝合金，表面黑色阳极氧化处理，耐磨性好、外型美观。采用线性滑块导轨，强度高、负载能力强、耐用性好，配合导轨面精密加工技术，使该系列产品具有较高的运动精度。采用滚珠丝杠传动，标配二相步进电机，可提供较高的分辨率和定位精度。该系列产品非常适合集成在对空间、尺寸、重量要求较高的自动化设备、精密仪器设备等中，也比较适合使用在运动范围较小、往复频率高的工业生产线中。LA系列精密紧凑型电动滑台特点：•采用滚珠丝杠传动，标配二相步进电机，可提供较高的分辨率和定位精度•采用线性滑块导轨，强度高、负载能力较强、耐用性好•导轨安装面采用精密加工工艺，使得产品具有较高的运动精度•内置三个传感器（正负限位及零位），采用高柔线缆并实现线缆模组化，维护更方便命名规则：Linear Slide Guide

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B88返回目录选型表：型号LA50-60LA100-60LA150-60机械规格行程（mm）50100150台面尺寸（mm）60×60传动机构滚珠丝杠，Φ8×2导轨（导向机构）线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重（Kg）0730.851精度规格分辨率（整步/半步，µm）10/520细分下的分辨率（µm）0.5最大速度（mm/s）*20重复定位精度（µm）≤±2背隙（µm）≤1回程间隙（µm）≤3静态平行度（mm）≤0.08运动直线度（µm）≤20运动平行度（µm）≤30专用规格微步能力（µm）**≤2微步运动时重复定位精度（µm）≤±1微步运动时回程间隙（µm）≤0.5电气规格电机及步距角（°）二相28步进电机，步距角18工作电流（A）1.3电机扭矩（N·m）00785滑台接头DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆（德国和柔）滑台接头线缆长度（m）0.2限位传感器（内置）2个GP1S09xHCPI（日本SHARP）原点传感器（内置）1个GP1S09xHCPI（日本SHARP）传感器电源电压（V）DC5~24V±10%控制输出NPN开路集电极输出；DC5~24V 8mA以下；残留电压03V以下（负载电流2mA时）输出逻辑检测（遮光）时；输出晶体管ON（导通）负载水平负载（Kg）4垂直负载（Kg）2倒置负载（Kg）2*注：最大速度是在空载情况下，按照步进电机600转/分钟的理论计算速度和实际测试值；**注：≤2µm（使用我司TMC控制器情况下），当使用我司MC600和ZC300控制器时，微步能力≤5µm。

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B89返回目录LA5060LA10060LA150-60尺寸图：

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B90返回目录电机尺寸图：电机接线定义：电机资料：LA系列电机参数：通用技术参数电气技术参数相数2电压1.9V电流13A/相（PHASE）步距角18°电阻145±10%Ω/相（PHASE）绝缘电阻100MΩ以上/Min电感1.25 mH/相（PHASE）绝缘等级UL B级保持力矩78.5mN·m以上/Min使用温度范围0～+50℃制动力矩2.94mN·m参考值绝缘强度500V AC 1分钟无异常转子惯量8 g·cm2重量0.11Kg电机工作时允许温度上升范围80℃ Max电气规格：电气规格整体说明：型号LA系列电机类型二相28步进电机驱动电流（A）1.3步距角（°）1.8滑台接口DB9（针，带螺柱）限位传感器2个GP1S09xHCPI（日本SHARP）原点传感器1个 GP1S09xHCPI（日本SHARP）传感器电压（V）DC5～24V±10%消耗电流（mA）合计60mA以下控制输出NPN开路集电极输出DC5～24V 8mA以下残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）输出逻辑检测（遮光）时：输出晶体管ON（导通）

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B91返回目录TSAXX-B (-XX)(-Nx)TSA系列代码：TSA：标准精度，铝合金XX行程：50：50mm 100：100mm 150：150mm 200：200mm 300：300mmB台面尺寸：60：60mm×60mmXX电机类型：无（默认）：标配2相步进电机NM：步进电机接口（不含电机）BR：刹车型步进电机（型号中带-Z尾标的滑台为竖直使用滑台，默认添加抱闸电机）EN：步进伺服电机（含编码器）IE：集成驱动的步进伺服电机（485接口）Nx出线类型：无（默认）：DB9（30cm） Nx：散线（x：1、3、5、10单位：m）注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。TSAxx-B系列方导轨电动滑台说明：TSAxx-B系列方导轨电动直线滑台采用工业级滚珠丝杠传动，导轨采用线性滑块导轨，并选用高品质联轴器，提供整机质量保证。左右机械极限开关和零位传感器设置，有效保护产品。标准接口，方便信号传输。电机后配有手轮，可进行手动调节。标准安装孔位适合组成多维电动滑台，并方便与卓立汉光其它系列产品配套使用。适合载重大、需要运行平稳的应用，广泛被工业采用。特点：•工业级滚珠丝杠（导程4mm），标配二相步进电机，性价比高•采用线性滑块导轨，负载能力强选型表：型号TSA50-BTSA100-BTSA150-BTSA200-BTSA300-B机械规格行程（mm）50100150200300台面尺寸（mm）120×120传动机构精密滚珠丝杠，Φ12×4导轨（导向机构）线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重（Kg）3437414653精度规格分辨率（整步/半步，µm）10/520/108细分下的分辨率（µm）1.2525最大速度（mm/s）*40重复定位精度（µm）≤±5回程间隙（µm）≤7电气规格电机及步距角（°）二相42步进电机，0.9二相42步进电机，1.8工作电流（A）17电机保持转矩（N·m）0.42限位传感器（内置）2个KX-EE-SX672原点传感器（内置）1个PI-ITR8104负载水平负载（Kg）30垂直负载（Kg）3倒置负载（Kg）5*注：最大速度是在空载情况下，按照步进电机600转/分钟的理论计算速度和实际测试值。Linear Slide Guide命名规则：

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B92返回目录尺寸图：TSA50-BTSA100-BTSA150-BTSA200-BTSA300-B

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B93返回目录电机资料：电气规格整体说明：型号TSA50-B、TSA100-B、TSA150-BTSA200-B、TSA300-B电机类型二相42步进电机驱动电流（A）1.7步距角（°）091.8滑台接头DB9（针）限位传感器KX-EE-SX672原点传感器PI-ITR8104传感器电压（V）DC5～24V±10%消耗电流（mA）合计60mA以下控制输出限位传感器：干触点(干接点)输出零位光电传感器：NPN开路集电极输出 DC5～24V 8mA以下残留电压03V以下（负载电流2mA时）输出逻辑限位传感器：触发时，输出开关ON(导通)零位光电传感器：检测（遮光）时，输出晶体管OFF（非导通）电机资料：电机参数：通用技术参数电气技术参数相数2电压2.8V电流17A/相（PHASE）步距角09°/1.8°电阻15±10%Ω/相（PHASE）绝缘电阻100MΩ以上/Min电感3.2mH/相（PHASE）绝缘等级UL B级保持力矩420 mN·m以上/Min使用温度范围-10～+55℃制动力矩18mN·m参考值绝缘强度500V AC 1分钟无异常转子惯量32 g·cm2重量0.24Kg电机工作时允许温度上升范围80℃ Max电机尺寸图（42M-0.9D和42M-1.8D相同）：电机接线定义：

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B94返回目录TSAxx-C系列超薄电动滑台说明：TSAxx-C系列超薄电动直线滑台采用研磨丝杠传动、交叉滚柱导轨导向，选用高品质联轴器，提供整机质量保证。设置机械极限开关和零位传感器，保护产品，使用方便。标准接口，方便信号传输。电机后配有手轮，可进行手动调节。标准安装孔位适合组成多维电动滑台，并方便与卓立汉光其它系列产品配套使用。台面高度30mm，滑台最高处仅44mm，适合于空间高度要求小、行程小、分辨率要求高的应用。同时由于研磨丝杠有自锁性，也可作为Z轴使用。特点：•研磨丝杠（导程1mm），标配二相步进电机，性价比高•采用交叉滚柱导轨，负载能力较强•结构紧凑、台面尺寸薄、空间尺寸小•具有机械和传感器，安全性高，使用方便命名规则：TSAXX-C (-XX) (-Nx)TSA系列代码：TSA：标准精度，铝合金XX行程：30：30mm50：50mmC台面类型：C：薄型XX电机类型：无（默认）：标配2相步进电机NM：步进电机接口（不含电机）BR：刹车型步进电机（型号中带-Z尾标的滑台为竖直使用滑台，默认添加抱闸电机）EN：步进伺服电机（含编码器）IE：集成驱动的步进伺服电机（485接口）Nx出线类型：无（默认）：DB9（30cm）Nx：散线（x：1、3、5、10单位：m）注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B95返回目录选型表：型号TSA30-CTSA50-C机械规格行程（mm）3050台面尺寸（mm）90×9090×110传动机构研磨丝杠Φ8×1导轨（导向机构）交叉滚柱导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重（Kg）1.31.4精度规格分辨率（整步/半步，µm）5/258细分下的分辨率（µm）0625最大速度（mm/s）*10重复定位精度（µm）≤±5回程间隙（µm）≤7电气规格电机及步距角（°）二相42步进电机，18工作电流（A）1.7电机保持转矩（N·m）0.42限位传感器（内置）2个KX-EE-SX672原点传感器（内置）1个PI-ITR8104负载水平负载（Kg）10垂直负载（Kg）5倒置负载（Kg）3*注：最大速度是在空载情况下，按照步进电机600转/分钟的理论计算速度和实际测试值。尺寸图：TSA30-CTSA50-C

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B96返回目录电气规格：电气规格整体说明：型号TSA30-C、TSA50-C电机类型二相42步进电机驱动电流（A）1.7步距角（°）1.8滑台接头DB9（针）限位传感器KX-EE-SX672原点传感器PI-ITR8104传感器电压（V）DC5～24V±10%消耗电流（mA）合计60mA以下控制输出限位传感器：干触点(干接点)输出零位光电传感器：NPN开路集电极输出DC5～24V 8mA以下残留电压03V以下（负载电流2mA时）输出逻辑限位传感器：触发时，输出开关ON(导通)零位光电传感器：检测（遮光）时，输出晶体管OFF（非导通）电机资料：电机参数：通用技术参数电气技术参数相数2电压2.8V电流17A/相（PHASE）步距角18°电阻15±10%Ω/相（PHASE）绝缘电阻100MΩ以上/Min电感3.2mH/相（PHASE）绝缘等级UL B级保持力矩420 mN·m以上/Min使用温度范围-10～+55℃制动力矩18mN·m参考值绝缘强度500V AC 1分钟无异常转子惯量32 g·cm2重量0.24Kg电机工作时允许温度上升范围80℃ Max电机尺寸图：电机接线定义：

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B97返回目录CXZ-10-120(-NM)(-Nx)CXZ系列代码：CXZ：滚珠丝杠、交叉滚柱导轨、楔块式结构、Z 轴水平使用10行程：10：10mm120台面尺寸：120：120mm×120mmNM电机类型：无（默认）：标配步进电机NM：步进电机接口（不含电机）BR：刹车型步进电机（型号中带-Z尾标的滑台为竖直使用滑台，默认添加抱闸电机）EN：步进伺服电机（含编码器）IE：集成驱动的步进伺服电机（485接口）Nx出线类型：无（默认）：DB9（30cm）Nx：散线（x：1、3、5、10单位：m）注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。电动升降台TSAxxC系列PSAV系列TBZF系列TBR及TBRF系列TBRK系列SIN系列PSAG系列TBG系列GON系列XYR系列XY系列中、大尺寸研磨丝杠线性滑块导轨标准精度、自锁大尺寸蜗轮直线推杆直线轴承导轨标准精度、大行程、高承载小尺寸滚珠丝杠弧形交叉滚柱导轨高精度、正弦机构小尺寸蜗轮蜗杆弧形V型弧形导轨高精度、高刚性、高耐用性中、大尺寸蜗轮蜗杆弧形V型弧形导轨高刚性、高承载中、大尺寸滚珠丝杠交叉滚柱导轨XY整体二维、高精度小、中、大尺寸滚珠丝杠交叉滚柱导轨XYR三轴并联、高精度中、大尺寸蜗轮蜗杆交叉滚柱轴环超高精度、高刚性、高承载小、中尺寸蜗轮蜗杆交叉滚珠轴环高精度、高刚性、高耐用性小尺寸滚珠丝杠线性滑块导轨高精度、正弦机构、小角度小尺寸研磨丝杠交叉滚柱导轨自锁、可做Z轴TSAxxB系列小、中尺寸滚珠丝杠线性滑块导轨标准结构、标准精度KA-Z系列中、大尺寸滚珠丝杠线性滑块导轨高精度、大行程、闭环PA-Z系列中、大尺寸滚珠丝杠线性滑块导轨高精度、大行程电动升降滑台电动旋转滑台电动摆动滑台电动对位平台TBRU系列中、大尺寸蜗轮蜗杆交叉滚柱轴环高精度、高重复性、高承载六轴并联HXP系列精密电动推杆绝对编码器高刚性、高精度QF系列直线电机气浮导轨超高精度高刚性、高精度气浮直线电机滑台CXZ系列高精度、耐用、高直线度交叉滚柱导轨或线性滑块导轨小、中尺寸滚珠丝杠CZF系列高精度、耐用交叉滚柱导轨小、中尺寸滚珠丝杠或线性滑块导轨CXZ系列电动升降滑台说明：CXZ 系列电动升降滑台是北京卓立汉光仪器有限公司为解决小尺寸、高重复使用频率等情况专门设计的电动升降滑台。该系列产品主体材料采用硬质铝合金，表面黑色阳极氧化处理，耐磨性好、外型美观。导轨采用交叉滚柱，强度高、负载能力强、耐用性好。采用滚珠丝杠传动，标配二相步进电机，可提供较高的分辨率和重复定位精度。该系列产品非常适合集成在对空间、尺寸、重量要求较高的自动化设备、精密仪器设备等中，也比较适合使用在运动范围较小、往复频率高的工业生产线中。特点：•滚珠丝杠驱动，耐用性好•楔块结构，强度高、负载能力大•采用交叉滚柱导轨，运行平稳命名规则：