光机与自动化产品运动控制隔振光学平台运动控制光机械件光学元件V23

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB1室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录产品目录运动控制B2 室温压电位移台B2 LSxxx.Lab系列室温压电直线台B4 Lxxx.indus系列极简室温压电直线台B6 LSxxz.Lab系列室温压电升降台B8 RSxx.Lab系列室温压电旋转台B9 GSxx-xx.Lab系列室温压电摆动台B11 Carrier.Lxxxx.XY、Carrier.R200系列室温压电中空载物台B13 Free6D.32150系列压电六轴并联系统B14 Sx00xx.C 系列室温压电扫描台B16 SD15/30.x.C系列室温压电高动态扫描台B17 SH30.xyz.C系列室温压电高负载扫描台B18 Carrier.S200.xy/xyz.C系列室温压电中空扫描台B19 CarrierHS100.xxx.C系列室温压电中空高负载扫描台B21 Carrier.OBxx.C.系列室温压电物镜对焦台B23 Mirrors.(Z12)TxTyxxxx 系列室温压电偏摆台B25 AutoScrew.Nano系列压电镜架与压电螺纹副B26 AutoScrew.LR系列压电镜架与压电螺纹副B27 低温压电位移台B27 Linearxx-x低温压电线性直线台B29 Linearxx-z低温压电线性升降台B31 Rotatorxx-(optic)低温压电旋转台B33 Goniometerxx-theta/phi低温压电摆动台B35 Scannerxx-xy/z低温压电扫描台B38 电动滑台B59 电动直线滑台B60 uFS系列亚微米电动滑台B63 LAK系列亚微米电动滑台B66 CXP/CXPF系列精密小尺寸电动滑台B71 uKSA系列高精密闭环电动滑台B75 KA系列精密闭环电动滑台B81PA系列精密电动滑台B87 LA系列精密紧凑型电动滑台B91 TSAxx-B系列方导轨电动滑台B94 TSAxx-C系列超薄电动滑台B97 电动升降台B97 CXZ系列电动升降滑台B100 CZF系列高精密升降台B104 TBZF系列楔块式电动升降台B108 PSAV系列大行程高负载电动升降台B111 KAxx -Z系列高精密闭环电动升降台B116 PAxx-Z系列精密电动升降台B121 电动旋转台B121 TBRU系列高精密闭环电动旋转台B125 TBRK系列精密半闭环电动旋转台B129 TBR/TBRF系列耐磨电动旋转台B134 SIN系列正弦结构旋转台B138 电动摆动滑台B138 GON系列电动摆动台B142 TBG系列电动摆动台B146 PSAG系列电动摆动台B150 对位平台B151 XY整体二维对位平台B159 XYR系列对位平台B165 HXP系列六轴并联机器人B165 HXP系列六轴并联机器人B169 QF系列气浮导轨滑台B172 多轴系统B172 Gx系列万向关节系统B175 Txx系列桁架（龙门）系统B177 Mx系列多轴位置调试系统B179 定制自动化设备B179半导体晶圆微操作、检验设备B180 控制器B180 MC-Newton.Pro.xO 室温压电位移台控制器B181 MC-Newton.NxO系列室温压电位移台控制器B182 MC-Newton.S/MSx系列室温压电级联控制器B184 MC-NewtonLT.0x系列低温压电位移台控制器B186 TMC-USB系列电动滑台运动控制器B190 MC600系列电动滑台运动控制器B193ZC300系列运动控制器B195 SR2驱动器B197 SR4驱动器B199 CVD512BR-K驱动器及其他B204 手动滑台B208 光纤专用手动滑台B211 uFP系列高灵敏度手动滑台B214 uFP系列高灵敏度光纤耦合多轴台B217 NXP多维度光学耦合台B220 NFP-x561系列高精密不锈钢手动直线滑台B224 APFP系列不锈钢精密光纤专用滑台B228 FP系列光纤专用滑台B230光纤专用夹具B238 真空用手动滑台B238 SK系列精密不锈钢手动直线滑台（真空）B242 SKV系列不锈钢手动升降台（真空）B244 真空手动旋转台B244 SKR系列不锈钢精密手动旋转台（真空）B246 真空手动摆动台B246 SMGON系列精密直驱式手动摆动台(真空）B249 真空滑台专用附件及其他B249 BP系列滑台专用底板（真空）B250 手动直线滑台B251 NFP系列高精密不锈钢手动直线滑台B258 SK系列精密不锈钢手动直线滑台B265 AK系列精密铝合金手动直线滑台B281 AD系列铝合金齿轮齿条式直线滑台B287 DSM系列丝杆中驱式手动直线滑台B290 手动升降台B290 SKV系列不锈钢手动升降台B292 AKV系列铝合金精密手动升降台B295 MJ系列剪式升降台B297 手动旋转台B297 SKR系列不锈钢精密手动旋转台B299 AKR系列铝合金精密手动旋转台B301 手动摆动台B301 SMGON系列高精密直驱式手动摆动台B304 MGON系列精密直驱式手动摆动台B307 AKG系列精密蜗轮蜗杆式手动摆动台B310 TSMG系列手动摆动台B311 整体式手动滑台B311 TSMW系列整体式手动台B313 组合式手动滑台B313 AAK系列组合式滑台B316 滑台专用附件及其他B316滑台专用底板B318滑台专用直角板B322分厘卡B323控制线&转接线点击返回总目录

公司简介资质说明光电科技引领者，世界品牌制造商。卓立汉光从事光电仪器和精密光学机械运动控制产品、系统解决方案和应用服务，是国产光电领域率先进行自主研发制造的企业之一。经过多年积累，公司已经拥有较为齐全的产品矩阵以及丰富的应用经验，在对标国际领先技术的同时，基于具体应用场景的需求进行应用创新，逐步在细分市场建立了产品的竞争优势。2005年卓立汉光在业内率先通过ISO9001质量管理体系SGS国际认证。2010年通过了国家级高新技术企业评审，并一直持续通过评审至今。2016年卓立汉光技术中心顺利通过市级技术中心评审。2019年，卓立汉光成为第一批国家级专精特新 “小巨人” 企业，并在此之后陆续荣获多次国家专精特新 “小巨人” 企业高质量发展资金支持。20多年来公司陆续获得国家技术发明奖二等奖、中华人民共和国教育部技术进步一等奖、神农中华农业科技奖一等奖、中国商业联合会科学技术奖特等奖项。先后取得百余项有效专利，其中近三十项发明专利和多项国际专利。公司以精密光学机械组件为核心的各类多功能运动、支撑及调节系统和产品已经形成产品系列化,规格多元化，国内众多科研单位、激光加工设备厂商、光纤设备厂商等都在使用我们的产品。我们坚持从设计、零件选型、制造、装配、检验、包装、运输、直到售后服务做好全方位质量保证，就是要让您“付有所值”，以合理的价位得到优质的产品，这是我们对您选择卓立汉光真诚的回报。

隔离杯图标示意说明三线摆真蜂窝台面440不锈钢微步能力≤5µm燕尾副导轨Micro Step≤5µmDovetail Slide Guide410不锈钢气浮平台线性滚珠导轨灵敏度≤2µm分厘卡C7级螺杆标准型5维调节长方体/立方体带锁紧气浮隔振430不锈钢灵敏度≤3µm螺纹副研磨丝杠直线轴承6维调节Linear Bearing2024铝合金双向频率阻尼平台C3级螺杆齿轮齿条交叉滚柱导轨分辨率01°弧形交叉滚柱导轨圆光栅高精密螺距025mm3维调节圆形柱状0.25mmPitchResolutonCurved Cross Roller GuideCircular Grating EncoderRack and Pinion双频阻尼304不锈钢同步带R型一体化导轨灵敏度≤1µm弧形V型滚珠导轨C5级螺杆精密型螺距0.3mm矩形片状4维调节0.3mmPitchCurved Ball Guide面包板6061铝合金固有频率超高精密蜗轮蜗杆分辨率≤1µm交叉滚柱轴环线性滑块导轨光栅尺滚珠丝杠圆形片状螺距0.2mmCEFCCRoHS2维调节0.2mmPitchLinear Slide GuideWorm and GearResouton6061

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB2室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录室温压电位移台选型表LSxxx.Lab系列室温压电直线台特点：•超安静运动，20kHz驱动频率•光栅尺闭环控制，可选纯自研光栅•高精度空间传感分辨率2nm(默认)05nm(.adv)可选•经济型空间传感分辨率50nm(.E)命名规则•最小步伐约10 nm，最小空间分辨率0.1nm•可提供多轴堆叠安装转接件•控制器兼容旋转台，摆动台•支持无磁(.NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件型号LS35x.LabLS65x.Lab底面尺寸×高度(mm)35×35×1265×65×13主体材质不锈钢，纯钛(.HV/.UHV)铝合金(标准版/.NM)，纯钛(.HV/.UHV)自重85g，50g(.NM)160g运动行程(mm)2030最大速度(mm/s)~20最小步伐(闭环)10nm，100nm(.E)驱动频率Max. 20 kHz (超安静运动)最大水平推力(N)2保持力(N)5全行程俯仰/偏摆0.3 mrad（0.017°）水平负载默认1000g，支持更大负载2000g竖直负载200g150g位置传感类型光栅尺传感位置传感量程(mm)2030位置传感分辨率.E版本：50nm；默认版本：2nm；.adv版本：0.5nm台面尺寸35：35mm*35mm65：65mm*65mm环境版本NM：绝对无磁版本HV：高真空版本UHV超高真空版本备注E版本不支持以上环境版本光栅尺类型：E：50nm光栅尺NA：2nm光栅尺adv：05nm光栅尺LS35x.Lab.E.HV

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB3室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录LS35x.LabLS65x.Lab尺寸图：www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies — “.Lab 系列“ 良好封装的位移台Piezoelectric Motion - RTwww.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesPiezoelectric Motion - RT — 可选版本⇨正常版本.NM .HV.UHV.NM绝对⽆磁版本；.HV⾼真空版本; .UHV，超⾼真空版本；1底⾯尺⼨*⾼度35 × 35 mm × 12 mm2主体材料铝合⾦/不锈钢纯钛/铝合⾦铝合⾦/不锈钢铝合⾦/3质量102 g (.R) 200 g (.O)80 g (.R) 140 g (.O)102 g (.R) 200 g (.O)120 g (.R) 210 g (.O)运动参数空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）4运动⾏程20 mm5最⼤速度~ 20 mm/s6最⼩步伐～ 10 nm7驱动频率Max. 20 kHz （超安静运动）8最⼤⽔平推⼒2 N9保持⼒5 N10全⾏程俯仰/偏摆 0.2 mrad / 0.3 mrad（0.012¡/0.017¡）11最⼤垂直负载500g运动参数空间推荐安装形式 II.（下列性质均在推荐安装形式下测得）12最⼤垂直负载500g13保持⼒5 N传感精度14位置传感类型电阻型传感（ .R 光栅尺传感（.O ）15位置传感量程20 mm16位置传感分辨率- 电阻型传感（ .R ），100-200 nm - 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选空间安装形式.I空间安装形式.IILS35x.Lab.R.HV /.UHVLS35x.Lab.O /.HV /.UHV极紧凑外形设计(.R) 和光学型(.O) (.O) 10 nm(默认); 4.88nm, (.R) 100-200nm •最⼩步伐约10 nm •可提供多轴堆叠安装转接件•控制器兼容旋转台，摇摆台•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电线性位移台— LS65x.Lab.O (闭环)室温·压电运动解决⽅案 — “.Lab 系列“ 良好封装的位移台Piezoelectric Motion - RT外形紧凑，动⼒性能不折扣的压电线性台；同时保证优质的价格空间。LS65x.Lab.O.NM /.HV /.UHV2D·尺⼨图234运动参数空5678驱910保1112运动参数空1314保传感精度151617•超安静运动，20 kHz驱动频率•65 mm × 65 mm × 13 mm极紧凑外形设计•闭环控制 · 位置传感⽀持电阻型(.R) 和光学型(.O)•⾼精度 · 空间传感分辨率(.O) 10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选•经济型 · 空间传感分辨率(.R) 100-200nm•最⼩步伐优于 10 nm•可提供多轴堆叠安装转接件•控制器兼容旋转台，摇摆台•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件产品特⾊

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB4室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录选型表Lxxx.indus系列极简室温压电直线台www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies·indus·线性运动— Lxxx.indus — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块www.multi-Þeld.com .indus 系列—极简⼯业⻛的运动模块，多维·纳⽶级运动也可以搭积⽊24 mm × 105 mm➡L060.indus➡L180.indus24 mm × 180 mm36 mm × 300 mm➡L100.induswww.multi-Þeld.com MultiFields Technologies— Lxxx.indus系列“ 极简⼯业⻛的运动模块www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies.indus 系列—极简⼯业⻛的运动模块，多维·纳⽶级运动也可以搭积⽊24 mm × 105 mm➡L060.indus➡L180.indus24 mm × 180 mm36 mm × 300 mm➡L100.indus MultiFields Technologieswww.multi-Þeld.com MultiFields Technologies系列—极简⼯业⻛的运动模块，多维·纳⽶级运动也可以搭积⽊24 mm × 105 mmL060.indus➡L180.indus24 mm × 180 mm36 mm × 300 mm➡L100.indus型号L030.indusL060.indusL100.indusL180.indus底面尺寸×高度（mm）63×24×14105×24×14180×24×14300×36×18安装空间93mm165mm280mm480mm主体材料不锈钢/铝合金质量（g）110174388840负载（kg）1123运动行程（mm）3060100180最大速度～20 mm/s最小步伐～10 nm驱动频率Max. 20 kHz （超安静运动）推荐最大负载（kg）2最大水平推力（N）3保持力（N）5全行程俯仰/偏摆03 mrad （0017°）位置传感类型光栅尺传感位置传感量程（mm）3060100180位置传感分辨率2nm命名规则行程：060：60mm100：100mm180：180mm030：30mm环境版本：NM：高真空版本HV：超高真空版本UHV：超高真空版本L030.indus.HV产品特⾊•超安静运动，20 kHz驱动频率•70 × 70 mm × 20 mm 极紧凑外形设计•闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm •最⼩步伐优于 10 nm •可提供多轴堆叠安装转接件•控制器兼容旋转台，摇摆台•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies室温压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块MultiFields&GroPiezoelectric Motion - RTPiezoelectric Motion - RT压电运动室温36 mm × 300 mmL030.indus 压电线性台 - 技术参数可选版本⇨L030.indus特殊版本可选⇨ .HV⾼真空版本; .UHV，超⾼真空版本；.NM 完全⽆磁版本；1底⾯宽度尺⼨63 mm x 24 mm x 14 mm2需要安装空间93 mm3主体材料不锈钢/铝合⾦4线缆 & 接头标准屏蔽线缆 D-Sub155质量110 g运动参数空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）6负载1kg7运动⾏程30 mm8最⼤速度 20 mm/s*9最⼩步伐～ 10 nm10驱动频率Max. 20 kHz （超安静运动）11推荐最⼤负载2 kg12最⼤⽔平推⼒3 N13保持⼒5 N14全⾏程俯仰/偏摆0.3 mrad（0.017°）传感精度15位置传感类型光栅尺传感16位置传感量程30 mm17位置传感分辨率2 nm*仅在⽤MC-Newton.Pro系列控制器驱动下达到2D·尺⼨图•L030x.Indus •L030x.Indus.UHV •L030x.Indus.HV •L030x.Indus.NM •L030x.Indus.HV.NM •L030x.Indus.UHV.NM可选型号.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空.NM ~ 完全⽆磁L030.indus 45.0 63.0 24.0 4 x M3 - 6H 6.33 x 3.0 H7 6.3 14.0 19.0 54.0 4.70.24 x M3 - 6H 5.0 45.0 63.0 24.0 4 x M3 - 6H 6.33 x 3.0 H7 6.3 14.0 19.0 54.0 4.70.24 x M3 - 6H 5.0

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB5室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录尺寸图：L030.indusL100.indusL060.indusL180.indus产品特⾊•超安静运动，20 kHz驱动频率•70 × 70 mm × 20 mm 极紧凑外形设计•闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm •最⼩步伐优于 10 nm •可提供多轴堆叠安装转接件•控制器兼容旋转台，摇摆台•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电运动室温Piezoelectric Motion - RTPiezoelectric Motion - RT压电运动室温36 mm × 300 mm17底⾯宽度尺⼨63 mm x 24 mm x 14 mm2需要安装空间93 mm3主体材料不锈钢/铝合⾦4线缆 & 接头标准屏蔽线缆 D-Sub155质量110 g运动参数空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）6负载1kg7运动⾏程30 mm8最⼤速度 20 mm/s*9最⼩步伐～ 10 nm10驱动频率Max. 20 kHz （超安静运动）11推荐最⼤负载2 kg12最⼤⽔平推⼒3 N13保持⼒5 N14全⾏程俯仰/偏摆0.3 mrad（0.017°）传感精度15位置传感类型光栅尺传感16位置传感量程30 mm17位置传感分辨率2 nm*仅在⽤MC-Newton.Pro系列控制器驱动下达到2D·尺⼨图•L030x.Indus •L030x.Indus.UHV •L030x.Indus.HV •L030x.Indus.NM •L030x.Indus.HV.NM •L030x.Indus.UHV.NM可选型号.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空.NM ~ 完全⽆磁L030.indus 63.0 45.0 24.0 4 x M3 - 6H 6.33 x 3.0 H7 6.3 14.0 19.0 54.0 4.70.24 x M3 - 6H 5.0 63.0 45.0 24.0 4 x M3 - 6H 6.33 x 3.0 H7 6.3 14.0 19.0 54.0 4.70.24 x M3 - 6H 5.0产品特⾊超安静运动，20 kHz驱动频率× 70 mm × 20 mm 极紧凑外形设计闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm ⼩步伐优于 10 nm •可提供多轴堆叠安装转接件•控制器兼容旋转台，摇摆台•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件 MultiFields Technologies·indus·线性运动— L030.indus 压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块MultiFields &Group36 mm × 300 mmL030.indus 压电线性台 - 技术参数可选版本⇨L030.indus特殊版本可选⇨ .HV⾼真空版本; .UHV，超⾼真空版本；.NM 完全⽆磁版本；底⾯宽度尺⼨63 mm x 24 mm x 14 mm2需要安装空间93 mm3主体材料不锈钢/铝合⾦4线缆 & 接头标准屏蔽线缆 D-Sub155质量110 g运动参数空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）6负载1kg7运动⾏程30 mm8最⼤速度～ 20 mm/s*9最⼩步伐～ 10 nm10驱动频率Max. 20 kHz （超安静运动）11推荐最⼤负载2 kg12最⼤⽔平推⼒3 N13保持⼒5 N14全⾏程俯仰/偏摆0.3 mrad0.017°传感精度15位置传感类型光栅尺传感16位置传感量程30 mm17位置传感分辨率2 nm*仅在⽤MC-Newton.Pro系列控制器驱动下达到尺⼨图L030x.Indus •L030x.Indus.UHV •L030x.Indus.HV •L030x.Indus.NM •L030x.Indus.HV.NM •L030x.Indus.UHV.NM可选型号.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空.NM ~ 完全⽆磁L030.indus 63.0 45.0 24.0 4 x M3 - 6H 6.33 x 3.0 H7 6.3 14.0 19.0 54.0 4.70.24 x M3 - 6H 5.0 63.0 45.0 4 x M3 - 6H 6.33 x 3.0 H7 6.3 19.0 54.0 4.70.2www.multi- MultiFields Technologies压电·indus·线性运动— L060.indus 室温压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块Piezoelectric Motion - RT压电运动室温12345运动参数空67891011121314传感精度151617产品特⾊超安静运动，20 kHz驱动频率105 mm x 24 mm x 14 mm极紧凑外形设计闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm 最⼩步伐优于 10 nm •可提供多轴堆叠安装转接件•控制器兼容旋转台，摇摆台•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件2D·尺⼨图可选型号L060.indus•L060x.Indus •L060x.Indus.UHV •L060x.Indus.HV •L060x.Indus.NM •L060x.Indus.HV.NM •L060x.Indus.UHV.NM.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空.NM ~ 完全⽆磁 108.0 90.0 75.0 24.0 3.0 贯穿7 x M3 - 6H 6.0 16.5 90.0 100.0 90.0 8 x M2 - 6H 10.04 x 4.3 4.6 108.0 90.0 75.0 24.0 3.0 贯穿7 x M3 - 6H 6.0 16.5 8 xwww.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiePiezoelectric Motion - RT压电运动室温12345运动参数67891011121314传感精度151617产品特⾊•超安静运动，20 kHz驱动频率•105 mm x 24 mm x 14 mm极紧凑外形设计•闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm •最⼩步伐优于 10 nm •可提供多轴堆叠安装转接件•控制器兼容旋转台，摇摆台•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件2D·尺⼨图可选型号L060.indus•L060x.Indus •L060x.Indus.UHV •L060x.Indus.HV •L060x.Indus.NM •L060x.Indus.HV.NM •L060x.Indus.UHV.NM.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空.NM ~ 完全⽆磁 108.0 90.0 75.0 24.0 3.0 贯穿7 x M3 - 6H 6.0 16.5 90.0 100.0 90.0 8 x M2 - 6H 10.04 x 4.3 4.6 108.0 90.0 75.0 24.0 3.0 贯穿7 x M3 - 6H 6.0 16.5 www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电·indus·线性运动— L100.indus 室温压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块压电运动室温MultiFields &GroupPiezoelectric Motion - RT压电运动室温19L100.indus 压电线性台 - 技术参数可选版本⇨L100.indus特殊版本可选⇨ .HV，⾼真空版本; .UHV，超⾼真空版本；.NM 完全⽆磁版本；底⾯宽度尺⼨180mm * 24 mm * 14 mm2需要安装空间280 mm3主体材料不锈钢/铝合⾦4线缆 & 接头标准屏蔽线缆 D-Sub155质量388 g运动参数空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）6负载2 kg7运动⾏程100 mm10驱动频率Max. 20 kHz （超安静运动）11推荐最⼤负载2 kg12最⼤⽔平推⼒3 N13保持⼒5 N14全⾏程俯仰/偏摆0.3 mrad（0.017°）传感精度15位置传感类型光栅尺传感16位置传感量程100 mm17位置传感分辨率2 nm*仅在⽤MC-Newton.Pro系列控制器驱动下达到产品特⾊超安静运动，20 kHz驱动频率180mm * 24 mm * 14 mm 极紧凑外形设计闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm 最⼩步伐优于 10 nm •可提供多轴堆叠安装转接件•控制器兼容旋转台，摇摆台•⽀持⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件2D·尺⼨图L100.indusL100x.Indus •L100x.Indus.UHV •L100x.Indus.HV •L100x.Indus.NM •L100x.Indus.HV.NM •L100x.Indus.UHV.NM 182.7 165.0 150.0 12 x 3.0 H7 3.011 x 2.6 2.0 24.0 17.0 182.7 165.0 150.0 11 x 2.6 2.0 24.0 17.0 www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电·indus·线性运动— L100.indus 室温压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块压电运动MultiFields &GroupPiezoelectric Motion - RT压电运动19L100.indus 压电线性台 - 技术参数可选版本⇨L100.indus特殊版本可选⇨ .HV⾼真空版本; .UHV，超⾼真空版本；.NM 完全⽆磁版本；宽度尺⼨180mm * 24 mm * 14 mm需要安装空间280 mm388 g运动参数空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）2 kg运动⾏程100 mm最⼤速度 20 mm/s*最⼩步伐～ 10 nm10驱动频率Max. 20 kHz （超安静运动）推荐最⼤负载2 kg12最⼤⽔平推⼒3 N13保持⼒5 N14全⾏程俯仰/偏摆0.3 mrad（0.017°）传感精度15位置传感类型光栅尺传感16位置传感量程100 mm17位置传感分辨率2 nm*仅在⽤MC-Newton.Pro系列控制器驱动下达到产品特⾊•超安静运动，20 kHz驱动频率•180mm * 24 mm * 14 mm 极紧凑外形设计•闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm •最⼩步伐优于 10 nm •可提供多轴堆叠安装转接件•控制器兼容旋转台，摇摆台•⽀持⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件2D·尺⼨图可选型号•L100x.Indus •L100x.Indus.UHV •L100x.Indus.HV •L100x.Indus.NM •L100x.Indus.HV.NM •L100x.Indus.UHV.NM.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空.NM ~ 完全⽆磁 182.7 165.0 150.0 12 x 3.0 H7 3.011 x 2.6 2.0 24.0 17.0 182.7 165.0 150.0 12 x 3.0 H7 3.011 x 2.6 2.0 24.0 17.0 www.multi-Þeld.com MultiFields Te压电·indus·线性运动— L180.indus 室温压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块Piezoelectric Motion - RT压电运动室温L180.indus产品特⾊超安静运动，20 kHz驱动频率300 mm * 36 mm * 18 mm 极紧凑外形设计闭环控制 · 空间传感分辨率 2 nm 最步伐优于 10 nm •可提供多轴堆叠安装转接件•控制器兼容旋转台，摇摆台•⽀持⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件2D·尺⼨图可选型号••L180x.Indus.HV •••L180x.Indus.UHV.NMwww.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies压电·indus·线性运动— L180.indus 室温压电运动⽅案 — “indus. 系列“ 极简⼯业⻛的运动模块Piezoelectric Motion - RTL180.indus 压可选版本⇨特殊版本可选⇨（下列性质均在推荐安装形11推荐最12最13保持14全偏摆传感精度15位置传感类型16位置传感量程17位置传感分辨率仅在⽤MC-NewtoL180.indus•300 mm * 36 mm * 18 mm 极紧凑外形设计•闭环控制空间传感分辨率 2 nm •最⼩步伐优于 10 nm ••⽀持⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件2D·尺⼨图可选型号•L180x.Indus •L180x.Indus.UHV •L180x.Indus.HV •L180x.Indus.NM •L180x.Indus.HV.NM •L180x.Indus.UHV.NM.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空.NM ~ 完全⽆磁

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB6室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录选型表LSxxz.Lab系列室温压电升降台命名规则台面尺寸：35：35mm*35mm65：65mm*65mm环境版本NM：绝对无磁版本HV：高真空版本UHV超高真空版本传感器类型：NA2nm光栅尺Adv05nm光栅尺LS35z.Lab.adv.HV特点：•超安静运动，20kHz驱动频率•光栅尺闭环控制，可选纯自研光栅•高精度空间传感分辨率2nm(默认)；0.5nm(.adv)可选•最小步伐约10nm，最小空间分辨率0.1nm•可提供多轴堆叠安装转接件•控制器兼容旋转台，摆动台•支持无磁(.NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件型号LS35z.LabLS65z.Lab底面尺寸×高度（mm）35×35×4165×65×44主体材质不锈钢，纯钛(.NM)铝合金(标准版/.NM)，纯钛(.HV/.UHV)自重（g）200300运动行程（mm）10最大速度（mm/s）~10最小步伐（nm）10驱动频率Max. 20 kHz （超安静运动）最大负载（g）500全行程俯仰/偏摆0.3 mrad（0017°）位置传感类型光栅尺传感位置传感量程（mm）10位置传感分辨率默认版本：2nm；.adv版本：05nm

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB7室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录尺寸图：LS35zLS65z.Lab 30.0 35.0 20.0 15.0 35.0 30.0 20.0 15.0 12 x M2 - 6H 3.08 x 2.0 H7 2.04 x M3 - 6H 3.0 3.0 41.0 35.0 4 x 2.4 4.0 30.0 15.0 30.0 2 x 2.0 H7 4.0LS35z.Lab.O / .HV /.UHV MultiFields Technologies2使⽤3主体4质量运动参数空间推5运动6最⼤7最⼩8驱动9最⼤10全⾏11全⾏传感精度12位置13位置14位置•经济型 · 空间传感分辨率(.R) 100-200nm•最⼩步伐 10 nm•可提供多轴堆叠安装转接件•控制器兼容旋转台，摇摆台•⽀持⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件LS35z.Lab.O / .HV /.UHVwww.multi-Þeld.com MultiFields Technologies— LS35z.Lab (闭环)良好封装的位移台Piezoelectric Motion - RTwww.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesPiezoelectric Motion - RTMultiFields &GroupLS35z.Lab .O / .R 压电线性台 — 技术参数可选版本⇨正常版本.HV.UHV.HV，⾼真空版本.UHV，超⾼真空版本；1底⾯尺⼨*⾼度35 × 35 mm × 33 mm35 × 35 mm × 43 mm2使⽤温度默认最⾼温度40 ℃，超⾼真空选项⽀持120 ℃3主体材料铝合⾦/不锈钢铝合⾦/不锈钢铝合⾦/不锈钢4质量102 g (.R)200 g (.O)102 g (.R)200 g (.O)102 g (.R)200 g (.O)运动参数空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）5运动⾏程10 mm6最⼤速度~ 10 mm/s7最⼩步伐～ 10 nm8驱动频率Max. 20 kHz （超安静运动）9最⼤推⼒/负载500 g10全⾏程俯仰0.3 mrad（0.017°）11全⾏程偏摆0.2 mrad（0.012°）传感精度12位置传感类型- 电阻型传感（ .R ）- 光栅尺传感（.O ）13位置传感量程10 mm14位置传感分辨率- 电阻型传感（ .R ），100-200 nm光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选极紧凑外形设计(.R) 和光学型(.O)(.O) 10 nm(默认); •经济型 · 空间传感分辨率(.R) 100-200nm•最⼩步伐 10 nm•可提供多轴堆叠安装转接件•控制器兼容旋转台，摇摆台•⽀持⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件LS35z.Lab.R.HV/.UHV/.NMLS35z.Lab.O / .HV /.UHV

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB8室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录RSxx.Lab系列室温压电旋转台命名规则台面尺寸3535mm*35mm6565mm*65mm环境版本NM绝对无磁版本HV：高真空版本UHV超高真空版本备注.E版本不支持以上环境版本光栅尺类型E50nm光栅尺NA2nm光栅尺RS35.Lab.E.HV特点：•超安静运动，20kHz驱动频率•光栅尺闭环控制，可选纯自研光栅•高精度空间传感分辨率最低0.07µrad(默认)•经济型空间传感分辨率最低2µrad(.E)•最小步伐优于3µrad•可提供多轴堆叠安装转接件•控制器兼容直线台，摆动台•支持无磁(.NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件选型表型号RS35.LabRS65.Lab底面尺寸×高度（mm）35×35×1165×65×13主体材质不锈钢，纯钛(.NM)铝合金(标准版/.NM)，纯钛(.HV/.UHV)自重90g200g运动行程（°）连续运动最大速度（°/s）~15~10最小步伐3µrad，10µrad(.E)驱动频率Max. 20 kHz （超安静运动）最大负载（kg）052自锁力矩（N*mm）1015驱动力矩（N*mm）710旋转盘（mm）Dia-33.5Dia-62位置传感类型光学位置传感器位置传感量程360°位置传感分辨率0.2µrad，3µrad(.E)0.07µrad2µrad(.E)尺寸图：RS35.LabRS65.Lab 35.0 35.0 33.5 30.0 21.6 13.6 8 x M2 4 x 1.35.0 11.0 11.0 33.5 35.0 35.0 33.5 30.0 21.6 13.6 8 x M2 4 x 1.35.0 11.0 11.0 33.5 65.0 65.0 63.0 25.4 50.0 8 x M3 - 6H 完全贯穿4 x 3.4 完全贯穿 8.0 8.04 x M2 - 6H 6.0

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB9室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录选型表GSxx-xx.Lab系列室温压电摆动台命名规则特点：•超安静运动，20kHz驱动频率•光栅尺闭环控制，可选纯自研光栅•高精度空间传感分辨率最低002µrad(默认)•最小步伐最低优于1µrad•可提供多轴堆叠安装转接件•控制器兼容直线台，旋转台•支持无磁(.NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件台面尺寸35：35mm*35mm65：65mm*65mm环境版本NM：绝对无磁版本HV：高真空版本UHV：超高真空版本旋转中心高度3535mm 5555mm77：77mm9797mmGS3535.Lab.NM型号GS35-35.LabGS35-55.LabGS65-77.LabGS65-97.Lab底面尺寸×高度（mm）35×35×2070×70×20主体材质不锈钢，纯钛(.NM)铝合金(标准版/.NM)，纯钛(.HV/.UHV)自重250g650g运动行程（°）+/-10°摇摆半径（mm）35557797最大速度（°/s）~3最小步伐2µrad1µrad驱动频率Max. 20 kHz （超安静运动）最大负载（g）10002000自锁力矩（N*mm）2550驱动力矩（N*mm）1020位置传感类型光学位置传感器位置传感量程20°位置传感分辨率005µrad003µrad002µrad

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB10室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录尺寸图：GS3535.LabGS65-77.LabGS3555.LabGS65-97.Lab 35.0 30.0 35.0 30.0 20.0 4 x 2.0 H7 3.08 x M2 - 6H 完全贯穿 1.6 完全贯穿 19.6 35.0 30.0 35.0 30.0 20.0 4 x 2.0 H7 3.08 x M2 - 6H 完全贯穿 1.6 完全贯穿 19.6 70.070.020.020.04 x M2 4.055.045.025.08 x M3 完全贯穿4 x 3.0 H755.020.045.04 x 3.0 H7 50.0 35.0 35.0 30.0 20.0 30.0 8 x M2 - 6H 完全贯穿 1.6 完全贯穿4 x 2.0 2.0 19.6 35.0 35.0 30.0 20.0 30.0 8 x M2 - 6H 完全贯穿 1.6 完全贯穿4 x 2.0 2.0 19.6 70.070.08 x M3 55.045.025.055.050.020.04 x M24 x 3.0 H7 70.020.04 x 3.0 H7 25.0ABCDEFGHJKLMNPRT242423232222212120191817171616151514141313121211111010987

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB11室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录选型表Carrier.Lxxxx.XY、Carrier.R200系列室温压电中空载物台命名规则特点：•最小步伐最低约5nm•最高速度20 mm/s•闭环传感，空间传感分辨率2nm(默认)；0.5nm(.adv)可选•支持无磁(NM) 、高真空(.HV) 和超高真空(.UHV) 选件•主体铝合金(硬质氧化发黑)XY行程：755075mm*50mm1010：100mm*100mm环境版本:HV: 高真空版本UHV: 超高真空版本Carrier.L1010.XY.adv.HV载物台类型：L对位载物台R：旋转载物台光栅尺类型:NA：2nm光栅尺adv0.5nm光栅尺www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电·⼤范围线性运动— Carrier.L7550.XY — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程载物台 — 精密光学，半导体表征www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesCarrier.L7550.XY⽅向⼤⾏程 75 mm × 50 mm最⼩步伐尺⼨约20 nm最⾼速度 20 mm/s闭环传感，空间分辨率1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm• 全⾏程运动中，保证通孔 85 mm × 65 mm• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件•主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）尺⼨图Carrier.L7550.XY ⼤范围压电扫描台 — 技术参数可选版本⇨正常版本.NM .NM，绝对⽆磁版本；.HV，⾼真空版本;.UHV，超⾼真空版本；1运动⽅向XY2外形尺⼨250 mm × 200 mm 30 mm3必要安装空间325 mm × 250 mm4有效穿孔85 mm × 65 mm5主体材料铝合⾦6线缆 & 接头标准屏蔽线缆D-Sub15kaptoPEEK7⼯作温度10 – 40 °C8质量2333 g运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）9运动⾏程75 mm × 50 mm10最⼤速度~ 15 mm/s11最⼩步伐～ 20 nm12驱动频率Max. 20 kHz （超安静运动）13最⼤负载2 kg14全⾏程俯仰/偏摆0.8 mrad（0.46°传感精度15位置传感类型- 光栅尺传感（16位置传感量程75 mm × 50 mm17位置传感分辨率- 光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1产品特⾊www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电⼤范围线性运动— Carrier.L1010.XY室温压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程载物台 — 精密光学，半导体表征Piezoelectric Motion - LTeld.com MultCarrier.L1010.XY• XY⽅向⼤⾏程 100 mm × 100 mm• 最⼩步伐尺⼨约 20 nm• 最⾼速度 10 mm/s• 闭环传感，空间分辨率1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm• 全⾏程运动中，保证通孔 70 mm × 70 mm• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件•主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）2D·尺⼨图Carrier.L1010.XY ，压电可选版本⇨正常版本绝对⽆磁版本⾼真空版本;，超⾼真空版本1运动⽅向2外形尺⼨3必要安装空间4有效通孔5主体材料6线缆 & 接头标7⼯作温度8质量运动参数空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式9运动⾏程10最⼤速度11最⼩步伐12驱动频率13最⼤负载14全⾏程俯仰/偏摆传感精度15位置传感类型16位置传感量程17位置传感分辨率光栅尺传感（.O产品特⾊Piezoelectric Motion - RTwww.multi-Þeld.com MultiFields Technologies室温压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征Piezoelectric Motion - RTCarrier.R200产品特⾊•旋转运动 300 °；•闭环分辨率优于 1 urad；•最⼤负载 1kg；•针对光学显微镜超分辨定制化解决⽅案；•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.HV）选件升级2D·尺⼨图Piezoelectric Motion - RT外形紧凑，动⼒性能不折扣的摇摆位移台；同时保证优质的价格空间。型号Carrier.L7550.XYCarrier.L1010.XYCarrier.R200外形尺寸（mm）250×200×30250×250×40200×200×24主体材料铝合金不锈钢铝合金自重（g）233340002000运动行程（mm）75×50100×100360°最小安装尺寸（mm）325×250×30350×250×40200×200×24通孔尺寸（mm）85×65120×120Φ60最大速度（mm/s）1510/最小步伐（nm）1010/驱动频率Max. 20 kHz （超安静运动）最大负载（kg）241全行程俯仰/偏摆08 mrad（0.46°）/位置传感类型光栅尺传感位置传感量程（mm）75×50100×100360°位置传感分辨率2nm 1µrad推荐使用温度10-40℃15-40℃

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB12室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录Carrier.L7550.XY尺寸图：Carrier.L1010.XYwww.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电⼤范围线性运动— Carrier.L7550.XY室温压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程载物台 — 精密光学，半导体表征Piezoelectric Motion - LTPiezoelectric Motion - RTwww.multi-Þeld.com ｜ MultiFields TechnologiesCarrier.L7550.XY• XY⽅向⼤⾏程 75 mm × 50 mm• 最⼩步伐尺⼨约20 nm• 最⾼速度 20 mm/s• 闭环传感，空间分辨率1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm• 全⾏程运动中，保证通孔 85 mm × 65 mm• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件•主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）2D·尺⼨图Piezoelectric Motion - LTMultiFields &GroupCarrier.L7550.XY ⼤范围压电扫描台 — 技术参数可选版本⇨正常版本.NM .HV.UHV.NM绝对⽆磁版本；.HV，⾼真空版本.UHV，超⾼真空版本；1运动⽅向X，Y2外形尺⼨250 mm × 200 mm × 30 mm3必要安装空间325 mm × 250 mm4有效穿孔85 mm × 65 mm5主体材料铝合⾦6线缆 & 接头标准屏蔽线缆D-Sub15kapton漆包线，PEEK-2mm插针7⼯作温度10 – 40 °C8质量2333 g运动参数空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）9运动⾏程75 mm × 50 mm10最⼤速度~ 15 mm/s11最⼩步伐 20 nm12驱动频率Max. 20 kHz （超安静运动）13最⼤负载2 kg14全⾏程俯仰/偏摆0.8 mrad0.46°）传感精度15位置传感类型- 光栅尺传感（.O 16位置传感量程75 mm × 50 mm17位置传感分辨率光栅尺传感（.O ），10 nm(默认); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可选产品特⾊Piezoelectric Motion - RTPiezoelectric Motion - RTwww.multi-Þeld.com MultiFields Technologies• 最⼩步伐尺⼨约20 nm• 最⾼速度 20 mm/s• 闭环传感，空间分辨率1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件•主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）2D·尺⼨图 MultiFields TechnologiesCarrier.L7550.XY• 全⾏程运动中，保证通孔 85 mm × 65 mm• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件•主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）7⼯作温度8质量运动参数空间推荐安装形式9运动⾏程10最⼤速度11最⼩步伐12驱动频率13最⼤负载14全⾏程俯仰/偏摆传感精度15位置传感类型16位置传感量程17位置传感分辨率www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电⼤范围线性运动— Carrier.L1010.XY室温压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程载物台 — 精密光学，半导体表征Piezoelectric Motion - LTCarrier.L1010.XY• XY⽅向⼤⾏程 100 mm × 100 mm• 最⼩步伐尺⼨约 20 nm• 最⾼速度 10 mm/s• 闭环传感，空间分辨率1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm• 全⾏程运动中，保证通孔 70 mm × 70 mm• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空.UHV）选件•主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）2D·尺⼨图Carrier.L1010.XY 可选版本运动⽅向2外形尺⼨3必要安装空间4有效通孔5主体材料6线缆 & 接头7⼯作温度8质量运动参数空间推荐安装形式9运动⾏程10最⼤速度11最⼩步伐12驱动频率13最⼤负载14全⾏程俯仰/偏摆传感精度15位置传感类型16位置传感量程17位置传感分辨率产品特⾊Piezoelectric Motion - RTwww.multi-Þeld.com MultiFields Technolo• 最⼩步伐尺⼨约 20 nm• 最⾼速度 10 mm/s• 闭环传感，空间分辨率1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm• •2D·尺⼨图www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesCarrier.L1010.XY• XY⽅向⼤⾏程 100 mm × 100 mm• 最⼩步伐尺⼨约 20 nm• 最⾼速度 10 mm/s• 闭环传感，空间分辨率1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm• 全⾏程运动中，保证通孔 70 mm × 70 mm• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件•主体铝合⾦（硬质氧化发⿊）2D·尺⼨图产品特⾊Carrier.R200www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电⼤尺⼨旋转运动— Carrier.R200室温压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征Piezoelectric Motion - RTPiezoelectric Motion - RTwww.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesPiezoelectric Motion - LTMultiFields &GroupCarrier.R200，压电扫描台 — 技术参数可选版本⇨.NM绝对⽆磁版本；.UHV，超⾼真空版本；1运动⽅向Z 轴旋转2底⾯尺⼨*⾼度200 mm × 200 mm × 24mm3主体材料铝合⾦4运动⾏程300°5台⾯尺⼨/中通孔φ 190 / φ 60 mm运动&位置传感6运动⽅式连续运动7光栅尺分辨率1 urad8驱动频率Max. 20 kHz9⾃锁⼒矩20 N*mm10驱动⼒矩15 N*mm11运动可重复精度300 µ° / 6 urad12最⼤负载1 kg13驱动电压Max. 120V其他14推荐使⽤温度15 到 40 摄⽒度15质量2 kg16安装螺纹孔兼容 Carrier.L7550Carrier.R200产品特⾊•旋转运动 300 °；•闭环分辨率优于 1 urad•最⼤负载 1kg；•针对光学显微镜超分辨定制化解决⽅案；•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.HV）选件升级2D·尺⼨图Piezoelectric Motion - RTPiezoelectric Motion - RT外形紧凑，动⼒性能不折扣的摇摆位移台；同时保证优质的价格空间。1运动⽅向2底⾯尺⼨*⾼度3主体材料4运动⾏程5台⾯尺⼨/中通孔运动&位置传感6运动⽅式7光栅尺分辨率8驱动频率9⾃锁⼒矩10驱动⼒矩11运动可重复精度12最⼤负载13驱动电压其他14推荐使⽤温度15质量16安装Carrier.R200www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesCarrier.R200； 1 urad；；超分辨定制化解决⽅案；.NM）和⾼真空（.HV）选件升级

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB13室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录选型表Free6D.3-2.150系列压电六轴并联系统Free6D.32.150.G2尺寸图：型号Free6D.3-2.150.G2外形尺寸（mm）Ø150×90主体材料不锈钢/铝合金运动参数行程 X, Y, Z±9 mm, ±9 mm, ±5 mm行程θX, θY , θZ±10°, ±10°, ±20°单向重复定位精度 X, Y, Z±03µm, ±03µm, ±0.1µm单向重复定位精度θX，θY，θZ±5µrad, ±5µrad, ±5µrad最小位移 X, Y, Z01µm, 0.1µm, 0.1µm最小位移θX，θY，θZ5µrad, 5µrad, 5µrad位置传感参数集成传感器光学编码器位置传感分辨率2nm控制器信息工作电压220 V控制器通道6通道输出控制通讯接口USB，232，网口通讯控制软件提供PC端使用软件，支持labview，串口命令集控制www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电⼤范围扫描运动— Carrier.S200.XY室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征Piezoelectric Motion - LTCarrier.S200.XY产品特⾊•两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；•闭环定位精度优于 1nm；•最⼤负载 500 g；•针对光学显微镜超分辨定制化解决⽅案；•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图TEL:010 56370168www.zolix.com.cn | www.multi-field.com106www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电⼤范围扫描运动— Carrier.S200.XY室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征Piezoelectric Motion - LTCarrier.S200.XY产品特⾊•两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；•闭环定位精度优于 1nm；•最⼤负载 500 g；•针对光学显微镜超分辨定制化解决⽅案；•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电运动室温室温压电运动·Lab系列全家福Linear Motion UnitRX 运动⽅向Z 运动⽅向Tx，摇摆台35 mmLS35x.Lab系列可选 .E / .adv 可选 .HV/. UHV 可选 .NMLS35z.Lab系列可选 .adv 可选 .HV/. UHV 可选 .NMGS35-35.Lab 系列可选 .HV/. UHV 可选 .NMG65 mmLS65x.Lab 系列可选 .E / .adv 可选 .HV/. UHV 可选 .NMLS65z.Lab 系列可选 .adv 可选 .HV/. UHV 可选 .NMGS65-77.Lab系列可选 .HV/. UHV 可选 .NMG.NM, 绝对⽆磁版本；.HV, ⾼真空版本; .UHV, 超⾼真空版本；LS35x.Lab 系列•LS35x.Lab.E •LS35x.Lab •LS35x.Lab.HV •LS35x.Lab.UHV •LS35x.Lab.NM •LS35x.Lab.HV.NM •LS35x.Lab.UHV.NM •LS35x.Lab.adv •LS35x.Lab.adv.HV •LS35x.Lab.adv.UHV •LS35x.Lab.adv.NM •LS35x.Lab.adv.HV.NM •LS35x.Lab.adv.UHV.NM LS35z.Lab 系列•LS35z.Lab •LS35z.Lab.HV •LS35z.Lab.UHV •LS35z.Lab.NM •LS35z.Lab.HV.NM •LS35z.Lab.UHV.NM •LS35z.Lab.adv.HV •LS35z.Lab.adv.UHV •LS35z.Lab.adv.NM •LS35z.Lab.adv.HV.NM •LS35z.Lab.adv.UHV.NM LS65x.Lab 系列•LS65x.Lab.E •LS65x.Lab •LS65x.Lab.HV •LS65x.Lab.UHV •LS65x.Lab.NM •LS65x.Lab.HV.NM •LS65x.Lab.adv •LS65x.Lab.adv.HV •LS65x.Lab.adv.UHV •LS65x.Lab.adv.NM •LS65x.Lab.adv.HV.NM •LS65x.Lab.adv.UHV.NM LS65z.Lab 系列•LS65z.Lab •LS65z.Lab.HV •LS65z.Lab.UHV •LS65z.Lab.NM •LS65z.Lab.HV.NM •LS65z.Lab.UHV.NM •LS65z.Lab.adv •LS65z.Lab.adv.HV •LS65z.Lab.adv.UHV •LS65z.Lab.adv.NM •LS65z.Lab.adv.HV.NM •LS65z.Lab.adv.UHV.NM 默认 ~ 2nm 空间分辨率.E ~ 50 nm 空间分辨率.adv ~ 0.5 nm 空间分辨率.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空版本.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空版本.NM ~ 完全⽆磁版本可选型号⇨www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电运动室温室温压电运动·Lab系列全家福Linear Motion UnitRX 运动⽅向Z 运动⽅向Tx，摇摆台35 mmLS35x.Lab系列可选 .E / .adv 可选 .HV/. UHV 可选 .NMLS35z.Lab系列可选 .adv 可选 .HV/. UHV 可选 .NMGS35-35.Lab 系列可选 .HV/. UHV 可选 .NMG65 mmLS65x.Lab 系列可选 .E / .adv 可选 .HV/. UHV 可选 .NMLS65z.Lab 系列可选 .adv 可选 .HV/. UHV 可选 .NMGS65-77.Lab系列可选 .HV/. UHV 可选 .NMG.NM, 绝对⽆磁版本；.HV, ⾼真空版本; .UHV, 超⾼真空版本；LS35x.Lab 系列•LS35x.Lab.E •LS35x.Lab •LS35x.Lab.HV •LS35x.Lab.UHV •LS35x.Lab.NM •LS35x.Lab.HV.NM •LS35x.Lab.UHV.NM •LS35x.Lab.adv •LS35x.Lab.adv.HV •LS35x.Lab.adv.UHV •LS35x.Lab.adv.NM •LS35x.Lab.adv.HV.NM •LS35x.Lab.adv.UHV.NM LS35z.Lab 系列•LS35z.Lab •LS35z.Lab.HV •LS35z.Lab.UHV •LS35z.Lab.NM •LS35z.Lab.HV.NM •LS35z.Lab.UHV.NM •LS35z.Lab.adv.HV •LS35z.Lab.adv.UHV •LS35z.Lab.adv.NM •LS35z.Lab.adv.HV.NM •LS35z.Lab.adv.UHV.NM LS65x.Lab 系列•LS65x.Lab.E •LS65x.Lab •LS65x.Lab.HV •LS65x.Lab.UHV •LS65x.Lab.NM •LS65x.Lab.HV.NM •LS65x.Lab.adv •LS65x.Lab.adv.HV •LS65x.Lab.adv.UHV •LS65x.Lab.adv.NM •LS65x.Lab.adv.HV.NM •LS65x.Lab.adv.UHV.NM LS65z.Lab 系列•LS65z.Lab •LS65z.Lab.HV •LS65z.Lab.UHV •LS65z.Lab.NM •LS65z.Lab.HV.NM •LS65z.Lab.UHV.NM •LS65z.Lab.adv •LS65z.Lab.adv.HV •LS65z.Lab.adv.UHV •LS65z.Lab.adv.NM •LS65z.Lab.adv.HV.NM •LS65z.Lab.adv.UHV.NM 默认 ~ 2nm 空间分辨率.E ~ 50 nm 空间分辨率.adv ~ 0.5 nm 空间分辨率.HV ~ 1e-7 mbar ⾼真空版本.UHV ~ 2e-11 mbar 超⾼真空版本.NM ~ 完全⽆磁版本可选型号⇨www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电六轴并联位移台— Free6D.3-2.150.G2压电运动室温6⾃由度并联设计，空间中彻底⾃由移动；F底⾯尺⼨*⾼主体材料线缆 & 接头最⼤垂直负运动参数⾏程X, Y, Z⾏程ΘX, Θ单向重复定单向重复定ΘX，ΘY最⼩位移 X最⼩位移Θ位置传感参集成传感器位置传感分控制器信息功能*控制⽅式控制器尺⼨重量⼯作电压最⼤输出电最⼤输出频最⼤输出功⼯作环境控制器通道位移台通道通讯接⼝控制软件位移台尺⼨图⼤范围扫描运动— Carrier.S200.XY — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征Carri产品特⾊两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；闭环定位精度优于 1nm；最⼤负载 500 g；针对光学显微镜超分辨定制化解决⽅案；⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级— Carrier.S200.XY — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征Carrier.S200.XY扫描运动 200 um × 200 um； 1nm； 500 g；超分辨定制化解决⽅案；.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级室温压电运动·LabLinear Motion UnitX 运动⽅向Z 运动⽅向LS35x.Lab系列可选 .E / .adv 可选 .HV/. UHV 可选 .NMLS35z.Lab系列可选 .adv 可选 .HV/. UHV 可选 .NMGS35-35.Lab 可选 .HV/. U可选 .NMLS65x.Lab 系列可选 .E / .adv 可选 .HV/. UHV 可选 .NMLS65z.Lab 系列可选 .adv 可选 .HV/. UHV 可选 .NMGS65-77.Lab可选 .HV/. U可选 .NM.NM, 绝对⽆磁版本；.HV, ⾼真空版本; .UHV, 超⾼真空版本；LS35x.Lab 系列•LS35x.Lab.E •LS35xLabLS35z.Lab 系列•LS35z.Lab •LS35z.Lab.HV LS65x.Lab 系列•LS65x.Lab.E 室温压电运动·LabLinear Motion UnitX 运动⽅向Z 运动⽅向LS35x.Lab系列可选 .E / .adv 可选 .HV/. UHV 可选 .NMLS35z.Lab系列可选 .adv 可选 .HV/. UHV 可选 .NMGS35-35.Lab 可选 .HV/. U可选 .NMLS65x.Lab 系列可选 .E / .adv 可选 .HV/. UHV 可选 .NMLS65z.Lab 系列可选 .adv 可选 .HV/. UHV 可选 .NMGS65-77.Lab系可选 .HV/. U可选 .NM.NM, 绝对⽆磁版本；.HV, ⾼真空版本; .UHV, 超⾼真空版本；LS35x.Lab 系列•LS35x.Lab.E •LS35xLabLS35z.Lab 系列•LS35z.Lab •LS35z.Lab.HV LS65x.Lab 系列•LS65x.Lab.E — Free6D.3-2.150.G2⾃由移动；

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB14室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录选型表Sx00.xx.C 系列室温压电扫描台 MultiFields Technologies压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列&电阻闭环控制www.multi-S300.x.C产品特⾊•X⽅向运动范围 300 um；•外形尺⼨，50 mm × 50 mm× 17 mm;•闭环定位精度优于 3 nm（开环版本可选）•最⼤负载 500 g•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图S300.x.C , 单维压电扫描台可选版本⇨正常版本.NM.NM，绝对⽆磁版本；.UHV，超⾼真空版本；运动⽅向X ⽅向2底⾯尺⼨*⾼度50 mm × 50 mm × 17 mm3主体材料铝合⾦ & 不锈钢铝合⾦ & 纯钛4运动⾏程300 um（开环）250 um （闭环）运动&定位5运动分辨率（开环）1 nm6运动可重复精度± 10 nm7线性误差优于 0.1%8共振频率350 Hz9最⼤负载500 g10闭环传感器（闭环版本）电容式11压电电容（X, Y）Max. 150 V其他信息12推荐使⽤温度-20 ~ 80 °C13质量200 g14线缆⻓度1m/ D-Sub 3W3www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies室温压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列Piezoelectric Motion - LTS100.z.C /S产品特⾊•Z ⽅向扫描运动 100 um•外形尺⼨，40 mm × 40 mm× 18 mm;•闭环定位精度优于 1nm（开环版本可选）•最⼤负载 500 g•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图1运动⽅向2底⾯尺⼨3主体材料4运动⾏程运动&定位5运动分辨率6运动可重复精度7摇摆8线性误差9共振频率（空载）10刚性11最⼤负载12闭环传感器（闭环版本13压电电容（其他信息14推荐使⽤温度15质量16线缆⻓度Piezoelectric Motion - RT压电⼆/三轴扫描运动— S100.xyz.C室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列Piezoelectric Motion - LT紧凑的3⾃由度扫描运动台，电容闭环控制⽀持S100.xy.CS100.xyz.C产品特⾊•三维度XY 扫描运动 100 um × 100 um× 100 um；•外形尺⼨，55 mm × 55 mm× 40 mm;•闭环定位精度优于 1 nm•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图Piezoelectric Motion - RT命名规则运动行程：100：100μm300300μm环境版本：NM：绝对无磁版本HV高真空版本UHV超高真空版本运动方向z：Z轴方向xy：XY轴方向xyz：XYZ轴方向S100.xy.C.HV传感器C：电容型S：电阻型特点：•紧凑设计、XYZ三轴在极小外形尺寸范围内做到较大行程•高负载，负载可至500g•闭环精度优于1nm•支持无磁(.NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件型号S100.z.C S100.xy.CS100.xyz.CS300.x.C运动方向Z方向S100.XY : X，Y方向S100.XYZ : X，Y，Z 方向X方向底面尺寸×高度（mm）40×40×1855×55×4050×50×17主体材料铝合金 & 不锈钢& 纯钛自重（g）150500200运动行程（µm）100(闭环)100×100100×100×100300 (开环)运动分辨率（nm）02 (开环)0.2 (开环) ;1 (闭环)3 (闭环)运动可重复精度（nm）±5< 10士10线性误差优于0.02%优于01%优于0.1%共振频率（Hz）500X，Y: 400，350Z: 300350刚性（N/µm）0505/闭环传感器电容式驱动电压150V推荐使用温度-20~80°C

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB15室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录S100.C尺寸图：S300.x.CS100.xy /xyz.Cwww.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies压电单轴扫描运动— S300.x.C室温压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列Piezoelectric Motion - LTPiezoelectric Motion - RTwww.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesPiezoelectric Motion - LTMultiFields &GroupS300.x.C产品特⾊•X⽅向运动范围 300 um•外形尺⼨，50 mm × 50 mm× 17 mm;•闭环定位精度优于 3 nm（开环版本可选）•最⼤负载 500 g；•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图可选版本⇨正常版本.NM.NM绝对⽆磁版本；.UHV，超⾼真空版本；运动⽅向X ⽅向2底⾯尺⼨*⾼度50 mm × 50 mm × 17 mm3主体材料铝合⾦ & 不锈钢铝合⾦ & 纯钛4运动⾏程300 um（开环）250 um （闭环）运动&定位5运动分辨率（开环）1 nm6运动可重复精度± 10 nm7线性误差优于 0.1%8共振频率350 Hz9最⼤负载500 g10闭环传感器（闭环版本）电容式11压电电容（X, Y）Max. 150 V其他信息12推荐使⽤温度-20 ~ 80 °C13质量200 g14线缆⻓度1m/ D-Sub 3W3Piezoelectric Motion - RTPiezoelectric Motion - RTwww.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电单轴扫描运动— S300.x.C压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列标准单轴扫描运动模块，⽀持电容&电阻闭环控制S300.x.C产品特⾊⽅向运动范围 300 um；××闭环定位精度优于 3 nm（开环版本可选）最⼤负载 500 g⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图1运动⽅向2底⾯尺⼨*3主体材料4运动⾏程运动&定位5运动分辨率6运动可重复7线性误差8共振频率9最⼤负载10闭环传感器11压电电容其他信息12推荐使⽤温13质量14线缆⻓度S300.x.CS300.x.C , 单维压电可选版本⇨正常版本.NM，绝对⽆磁版本；.UHV，超⾼真空版本；1运动⽅向2底⾯尺⼨*⾼度50 m3主体材料铝合⾦ & 不锈钢4运动⾏程5运动分辨率（开环）6运动可重复精度7线性误差8共振频率9最⼤负载10闭环传感器（闭环版本）11压电电容（X, Y）其他信息12推荐使⽤温度13质量14线缆⻓度www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电单轴扫描运动— S100.z.C / S室温压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列Piezoelectric Motion - LTPiezoelectric Motion - RTwww.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesPiezoelectric Motion - LTMultiFields &GroupS100.z.C /S产品特⾊•Z ⽅向扫描运动 100 um•外形尺⼨，40 mm × 40 mm× 18 mm;•闭环定位精度优于 1nm（开环版本可选）•最⼤负载 500 g•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图S100.z.C , 单维压电扫描台可选版本⇨正常版本.NM绝对⽆磁版本；.UHV，超⾼真空版本；1运动⽅向Z ⽅向2底⾯尺⼨*⾼度40mm × 40 mm × 18 mm3主体材料铝合⾦ & 不锈钢4运动⾏程100 um （闭环）运动&定位5运动分辨率0.2 nm6运动可重复精度± 5 nm7摇摆/俯仰± 25 µrad 8线性误差优于 0.02%9共振频率（空载）500 Hz10刚性0.5 N/um11最⼤负载500 g12闭环传感器（闭环版本）电容式13压电电容（Z150 V其他信息14推荐使⽤温度-20 ~ 80 °C15质量150g16线缆⻓度1m/ D-Sub 3W3Piezoelectric Motion - RTPiezoelectric Motion - RTwww.multi-Þeld.com MultiFields Technologieswww.m产品特⾊•Z ⽅向扫描运动 100 um；•外形尺⼨，40 mm × 40 mm× 18 mm;•闭环定位精度优于 1nm（开环版本可选）•最⼤负载 500 g；•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图7摇摆/俯仰8线性误差9共振频率（空载）10刚性11最⼤负载12闭环传感器（闭环版本）13压电电容（其他信息14推荐使⽤温度15质量16线缆⻓度 MultiFields Technologieswww.multi-Þeld.com ｜ MultiFields TechnologiesS100.z.C /S2底⾯尺⼨*⾼度40mm 40 mm × 183主体材料铝合⾦ & 不锈钢4运动⾏程100 um （闭环）运动&定位5运动分辨率0.2 nm6运动可重复精度± 5 nm7摇摆/俯仰± 25 µrad 8线性误差优于 0.02%9共振频率（空载）500 Hz10刚性0.5 N/um11最⼤负载500 g12闭环传感器（闭环版本）电容式13压电电容（Z）150 V其他信息14推荐使⽤温度-20 ~ 80 °C15质量150g16线缆⻓度1m/ D-Sub 3W3www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电⼆/三轴扫描运动— S100.xyz.C室温压电运动⽅案紧凑型 “S 系列“ 标准版系列Piezoelectric Motion - LT紧凑的3⾃由度扫描运动台，电容闭环控制⽀持www.multS100.xy.CS100.xyz.C产品特⾊•三维度XY 扫描运动 100 um × 100 um× 100 um•外形尺⼨，55 mm × 55 mm× 40 mm;•闭环定位精度优于 1 nm•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图S100.xy /可选版本⇨1运动⽅向2底⾯尺⼨*⾼度3主体材料4运动⾏程运动&定位5运动分辨率6运动可重复精度7线性误差8共振频率910闭环传感器（闭环版本）11驱动电压其他信息12推荐使⽤温度1314线缆⻓度Piezoelectric Motion - RTwww.multi-Þeld.com MultiFields Technolo•三维度XY 扫描运动 100 um × 100 um× 100 um；•外形尺⼨，55 mm × 55 mm× 40 mm;•闭环定位精度优于 1 nm•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesS100.xy.CS100.xyz.C产品特⾊•三维度XY 扫描运动 100 um × 100 um× 100 um；•外形尺⼨，55 mm × 55 mm× 40 mm;•闭环定位精度优于 1 nm•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB16室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录选型表SD15/30.x.C系列室温压电高动态扫描台特点：•X方向扫描运动15µm，30µm•外形尺寸，62mm x 40mm x 13.5mm，80mm x 40mm x 135mm•闭环分辨率优于01nm•电容位置传感•高速运动响应•支持高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesPiezoelectric Motion - LTSD30.x.C产品特⾊•X ⽅向扫描运动 15 um, 30 um；•外形尺⼨，62 mm × 40 mm× 13.5 mm, 80 mm × 40 mm× 13.5 mm;•闭环分辨率优于 0.1 nm;•电容位置传感；•⾼速运动响应；•真空（.HV），⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图Piezoelectric Motion - RTSD15.x.CSD15.x.CSD30.x.C压电⾼速单轴扫描运动— SD15/30.x.C室温压电运动⽅案 — 紧凑型 “SD系列“ ⾼动态系列Piezoelectric Motion - LTSD30.x.C产品特⾊•X ⽅向扫描运动 15 um, 30 um•外形尺⼨，62 mm × 40 mm× 13.5 mm, 80 mm × 40 mm× 13.5 mm;•闭环分辨率优于 0.1 nm;•电容位置传感；•⾼速运动响应；•真空（.HV），⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图SD15/30.x.C , 单维压电·⾼速扫描台可选版本⇨SD15.x.C.HV，⾼真空版本；.UHV，超⾼真空版本；1运动⽅向X ⽅向2底⾯尺⼨*⾼度62 mm × 40 mm× 13.5 mm80 mm 3主体材料铝合⾦4运动⾏程15 um （闭环）运动&定位5运动分辨率0.1 nm6运动可重复精度2 nm7线性误差优于 0.035%8摇摆2 urad9俯仰2 urad10共振频率3.3 kHz11共振频率（300g）1 kHz12刚性28 N/um13闭环传感器（闭环版本）电容式其他信息14推荐使⽤温度-20 ~ 80 °C15质量250 g16线缆⻓度1m/ D-Sub 3W317适配控制器Archimedes 系列控制器Piezoelectric Motion - RTSD15.x.C⾼速扫描运动，电容闭环传感，超⾼运动分辨率压电·⾼速单轴扫描运动— SD15/30.x.C室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “SD系列“ ⾼动态系列Piezoelectric Motion - LTSD30.x.C产品特⾊•X ⽅向扫描运动 15 um, 30 um；•外形尺⼨，62 mm × 40 mm× 13.5 mm, 80 mm × 40 mm× 13.5 mm;•闭环分辨率优于 0.1 nm;•电容位置传感；•⾼速运动响应；•真空（.HV），⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图Piezoelectric Motion - RTSD15.x.CSD15.x.CSD30.x.C⾼速扫描运动，电容闭环传感，超⾼运动分辨率压电·⾼速单轴扫描运动— SD15/30.x.C室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “SD系列“ ⾼动态系列Piezoelectric Motion - LT产品特⾊•X ⽅向扫描运动 15 um, 30 um；•外形尺⼨，62 mm × 40 mm× 13.5 mm, 80 mm × 40 mm× 13.5 mm;•闭环分辨率优于 0.1 nm;•电容位置传感；•⾼速运动响应；•真空（.HV），⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图Piezoelectric Motion - RTSD15.x.CSD15.x.CSD30.x.C⾼速扫描运动，电容闭环传感，超⾼运动分辨率压电⾼速单轴扫描运动— SD15/30.x.C室温压电运动⽅案 — 紧凑型 “SD系列“ ⾼动态系列Piezoelectric Motion - LTSD30.x.C产品特⾊•X ⽅向扫描运动 15 um, 30 um；•外形尺⼨，62 mm × 40 mm× 13.5 mm, 80 mm × 40 mm× 13.5 mm;•闭环分辨率优于 0.1 nm;•电容位置传感；•⾼速运动响应；•真空（.HV），⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图Piezoelectric Motion - RTSD15.x.C⾼速扫描运动，电容闭环传感，超⾼运动分辨率SD15.x.C尺寸图：SD30.x.C型号SD15.x.CSD30.x.C运动方向X方向底面尺寸×高度（mm）62×40×13580×40×135主体材料铝合金自重（g）250350运动行程（µm）15（闭环）30（闭环）运动分辨率（nm）0102运动可重复精度（nm）24线性误差优于0.035%摇摆（µrad）2俯仰（µrad）2共振频率（kHz）3322共振频率 (300g）（kHz）10625刚性（N/µm）2818闭环传感器（闭环版本）电容式推荐使用温度20 ~ 80°C命名规则运动行程：15：15μm30：30μm环境版本：HV：高真空版本UHV超高真空版本传感器C：电容型S：电阻型SD15.x.C.HV

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB17室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录选型表SH30.xyz.C系列室温压电高负载扫描台特点：•三维度XYZ扫描运动30µm x 30µm x 15µm•外形尺寸，160mm x 160mm x 35mm•闭环分辨率优于0.3nm•最大负载10 kg•支持高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件SH30.xyz.0 /.C尺寸图：www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesPiezoelectric Motion - LTwwSH30.xyz.0 /.C产品特⾊•三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x 15 um;•外形尺⼨，160 mm x 160 mm x 35 mm;•闭环分辨率优于 0.3nm•最⼤负载 10 kg;•⽀持⾼真空（..HV) 和超⾼真空 (.UHV) 选件升级2D·尺⼨图SH30可选版1运动⽅向2底⾯尺⼨*⾼度3主体材料4运动⾏程运动&定位5运动分辨率6运动可重复精度（闭7偏摆⻆度8共振频率 (空载)9最⼤负载10闭环传感器（闭环版11驱动电压其他信息12推荐使⽤温度13质量14线缆⻓度Piezoelectric Motion - RT10kg超⾼负载，3⾃由度 -XYZ线性移动压电三轴扫描运动— SH30.xyz.C室温压电运动⽅案 — 紧凑型 “SH 系列“ ⾼负载系列Piezoelectric Motion - LTSH30.xyz.0 /.C产品特⾊•三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x 15 um;•外形尺⼨，160 mm x 160 mm x 35 mm;•闭环分辨率优于 0.3nm•最⼤负载 10 kg;•⽀持⾼真空（..HV) 和超⾼真空 (.UHV) 选件升级2D·尺⼨图Piezoelectric Motion - RT10kg超⾼负载，3⾃由度 -XYZ线性移动压电三轴扫描运动— SH30.xyz.C室温压电运动⽅案 — 紧凑型 “SH 系列“ ⾼负载系列Piezoelectric Motion - RTPiezoelectric Motion - LTMultiFields &GroupSH30.xyz.0 /.C产品特⾊•三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x 15 um;•外形尺⼨，160 mm x 160 mm x 35 mm;•闭环分辨率优于 0.3nm•最⼤负载 10 kg;•⽀持⾼真空（..HV) 和超⾼真空 (.UHV) 选件升级2D·尺⼨图SH30.xyz.0 /.C, 3维压电扫描台-技术参数-1可选版本⇨SH30.xyz.C / .0.HV，⾼真空版本；.UHV，超⾼真空版本；.0 开环产品.C 电容传感1运动⽅向X ,Y ,Z ⽅向2底⾯尺⼨*⾼度160 mm x 160 mm x 35 mm3主体材料不锈钢4运动⾏程30 um x 30 um x 15 um运动&定位5运动分辨率0.1 nm(开环) 0.3nm (闭环6运动可重复精度（闭环）< 3 nm7偏摆⻆度20 urad / 20 urad / 50 urad8共振频率 (空载500 Hz9最⼤负载10 kg10闭环传感器（闭环版本）电容式11驱动电压150 V其他信息12推荐使⽤温度-20 ~ 80 °C13质量4 kg14线缆⻓度1m/ D-Sub 3W3Piezoelectric Motion - RT10kg超⾼负载，3⾃由度 -XYZ线性移动命名规则环境版本HV：高真空版本UHV：超高真空版本开闭环：C电容式闭环S：电阻式闭环0：开环SH30.xyz.C.HV型号SH30.xyz.0 /.C运动方向X ,Y ,Z 方向底面尺寸×高度（mm）160×160×35主体材料不锈钢自重（g）4000运动行程（µm）30×30×15运动分辨率（nm）01(开环) 03(闭环)运动可重复精度（闭环）（nm）<3偏摆角度（µrad）20/ 20 / 50共振频率 (空载)（Hz）500最大负载（kg）10闭环传感器（闭环版本）电容式驱动电压（V）150推荐使用温度20 ~ 80°C

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB18室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录选型表Carrier.S200.xy/xyz.C系列室温压电中空扫描台特点：•两维度XY 扫描运动200µm x 200µm•闭环分辨率优于2nm•最大负载500 g•针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案•支持无磁(.NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件命名规则Carrier.S200.xy/xyz.C尺寸图：www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesPiezoelectric Motion - RTCarrier.S200.xy.CCarrier.S200.xyz.C产品特⾊•两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um•闭环分辨率优于 2 nm；•最⼤负载 500 g•针对光学显微镜超分辨定制化解决⽅案；•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图压电⼤范围扫描运动— Carrier.S200.xy / xyz.C室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征Piezoelectric Motion - RTCarrier.S200.xy.CCarrier.S200.xyz.C产品特⾊•两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um•闭环分辨率优于 2 nm•最⼤负载 500 g•针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级Piezoelectric Motion - RTMultiFields &GroupCarrier.S200.xy /xyz.C，压电扫描台 — 技术参数可选版本⇨正常版本.NM，绝对⽆磁版本；.UHV，超⾼真空版本；1运动⽅向Carrier.S200.XY : XY ⽅向Carrier.S200.XYZ : XYZ ⽅向2底⾯尺⼨*⾼度182 mm × 150 mm × 15 mm3主体材料铝合⾦ & 不锈钢4运动⾏程Carrier.S200.xy : 200 um × 200 umCarrier.S200.xyz : 200 um × 200 um × 200 um5中空透孔77 mm × 65 mm运动&位置传感6运动分辨率2 nm7运动可重复精度± 20 nm8线性误差优于 0.1%9共振频率200Hz(X) 150Hz(Y)10最⼤负载500g11闭环传感器（闭环版本）电容式⾼速扫描运动，电容闭环传感，超⾼运动分辨率型号CarrierS200.xy.CCarrierS200.xyz.C运动方向XY 方向XY，Z 方向底面尺寸×高度（mm）182×150×15主体材料铝合金/ 不锈钢自重（g）1000运动行程（µm）200×200200×200×200中间通孔尺寸（mm）77×65运动分辨率（nm）2运动可重复精度（nm）士20线性误差优于01%共振频率（Hz）200(X) 150(Y)最大负载（g）500闭环传感器电容式驱动电压Max. 150 V推荐使用温度15 ~ 40°C质量（kg）1运动方向xyXY方向xyzXYZ方向环境版本：NM：绝对无磁版本HV：高真空版本UHV超高真空版本传感器：C：电容型S：电阻型Carrier.S200.xy.C.HV

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB19室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录选型表CarrierHS100.xxx.C系列室温压电中空高负载扫描台命名规则特点：•闭环分辨率优于1nm•最大负载35kg•针对光学显微镜超分辨定制化解决方案•支持无磁(.NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件负载类型S：轻负载HS：重负载环境版本：NM：无磁版本HV：高真空版本UHV超高真空版本传感器C：电容型S：电阻型Carrier.HS100.Z.C.HV运动方向Z：Z轴方向XY：XY轴方向ZTxTy：Z、θx和θy方向XYRz：XY和θz方向www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies⾼负载通孔型— Carrier.HS100.z.C系列“ 中空⼤负载扫描台Piezoelectric Motion - RTwww.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesCarrier.HS100.z.C超分辨定制化解决⽅案；）和⾼真空（.UHV）选件升级www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesPiezoelectric Motion - LTMultiFields &GroupCarrier.HS100.z.C，压电扫描台 — 技术参数可选版本⇨正常版本.NM绝对⽆磁版本；.UHV，超⾼真空版本；1运动⽅向Z ⽅向2底⾯尺⼨*⾼度150 mm × 150 mm × 30 mm3主体材料铝合⾦ & 不锈钢4运动⾏程100 um5中空透孔66 mm × 66 mm运动&位置传感6线性度误差（z⽅向运动）0.035%7俯仰/偏摆/旋转50 urad / 50 urad / 10 urad8运动分辨率（闭环/开环）1 nm / 0.3 nm9运动可重复精度± 10 nm10刚性2.5 N/ um11共振频率（空载/2.5 kg）500 Hz/ 200 Hz12最⼤负载5 kg13闭环传感器（闭环版本）电容式14驱动电压Max. 150 V其他15推荐使⽤温度15 到 40 摄⽒度16质量1 kgPiezoelectric Motion - RT⽅向运动，⼤通孔设计，并联设计+电容闭环传感www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies扫描运动⾼负载通孔型 Carrier.HS100.xy.C室温压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空⼤负载扫描台Piezoelectric Motion - LTPiezoelectric Motion - RTwww.multi-Þeld.com ｜ MultiFields TechnologiesCarrier.HS100.xy.C产品特⾊•两维度xy扫描运动 100 um；•闭环分辨率优于 1nm•最⼤负载 3.5 kg•针对光学显微镜超分辨定制化解决⽅案；•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields TechnologiesPiezoelectric Motion - LTMultiFields &GroupCarrier.HS100.xy.C，压电扫描台 — 技术参数可选版本⇨正常版本.NM绝对⽆磁版本；.UHV，超⾼真空版本；运动⽅向XY ⽅向2底⾯尺⼨*⾼度150 mm × 150 mm × 30 mm3主体材料铝合⾦ & 不锈钢4运动⾏程100 um x 100 um5中空透孔66 mm × 66 mm运动&位置传感6线性度误差（z⽅向运动）0.035%8运动分辨率（闭环/开环）1 nm / 0.2 nm9运动可重复精度± 10 nm10刚性2 N/ um11共振频率（空载/2.5 kg420 Hz/ 130 Hz12最⼤负载3.5 kg13闭环传感器（闭环版本）电容式14驱动电压Max. 150 V其他15推荐使⽤温度15 到 40 摄⽒度16质量1 kg2D·尺⼨图Piezoelectric Motion - RTPiezoelectric Motion - RT⾼负载·⾼速XY平⾯运动，⼤通孔设计，并联设计+电容闭环传感www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies⼤负载通孔·扫描运动— Carrier.HS100.zTxTy.C室温压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空⼤负载扫描台Piezoelectric Motion - LTwww.multi-Þeld.coCarrier.HS100.zTxTy.C•三维度Z，θxy 扫描运动；•100 um⾏程，1mrad & 1 mard•闭环分辨率优于 1nm；•最⼤负载 2.5 kg•针对光学显微镜超分辨定制化解决⽅案；•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级www.multi-Þeld.coCarrier.HS100.zTxT可选版本⇨1运动⽅向2底⾯尺⼨3主体材料4运动⾏程（，θx & θy 5中空透孔运动&位置传感6Z线性度误差7θ线性度误差8Z运动分辨率（闭环/开环）9θ运动分辨率（闭环/开环）10运动可重复精度 (Z & θ)11刚性12Z共振频率（空载/2.5 kg）13θ共振频率（空载/2.5 kg）14最⼤负载15闭环传感器（闭环版本）16驱动电压其他17推荐使⽤温度18质量19安装2D·尺⼨图Piezoelectric Motion - RT产品特⾊⾼负载·Z⽅向扫描运动，两轴摇摆调节，保证真正准直www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies扫描运动·⾼负载通孔型— Carrier.HS100.xyRz.C室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空⼤负载扫描台Piezoelectric Motion - LTCarrier.HS100.xyRz.C产品特⾊•两维度xy扫描运动 100 umz轴旋转运动1mrad•闭环分辨率优于 1nm；•最⼤负载 3.5 kg•针对光学显微镜超分辨定制化解决⽅案；•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图Piezoelectric Motion - RT⾼负载⾼速XY平⾯运动，Z轴旋转设计，保证XY⾯内准直运动型号Carrier.HS100.Z.CCarrier.HS100.XY.CCarrier.HS100.ZTxTy.CCarrier.S100.XYRz.C运动方向Z方向XY 方向Z方向+θx & θyXY 方向 + θz旋转底面尺寸×高度（mm）150×50×30150×150×30150×150×30150×50×30主体材料铝合金 & 不锈钢自重（g）1000运动行程100µm100µm ×100µm100µm×1 mrad ×1mrad100µm ×100µm ×1 mard中间通孔尺寸（mm）66×66线性度误差（z方向运动）0.035%运动分辨率（闭环/开环）1 nm / 0.3 nm1 nm / 0.2 nm1 nm / 05 nm0.05µrad / 0.04µrad1 nm / 02 nm0.05µrad / 004µrad运动可重复精度±10 nm±10 nm±10 nm, ±01µrad±10 nm, ±0.1µrad刚性（N/ µm）2.5222共振频率（空载/25 kg）500 Hz/ 200 Hz420 Hz/ 130 Hz480 Hz/ 160 Hz420 Hz/ 130 Hz最大负载（kg）5闭环传感器电容式驱动电压Max. 150 V推荐使用温度15 ~ 40°C

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB20室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录Carrier.HS100.Z.CCarrier.HS100.ZTxTy.C尺寸图：Carrier.HS100.XY.Cwww.multi-Þeld.com MultiFields Technologies扫描运动⾼负载通孔型— Carrier.HS100.z.C室温压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空⼤负载扫描台Piezoelectric Motion - RTwww.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesCarrier.HS100.z.C产品特⾊•Z 扫描运动 100 um•闭环分辨率优于 1 nm；•最⼤负载 3 kg•针对光学显微镜超分辨定制化解决⽅案；•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesPiezoelectric Motion - LTMultiFields &GroupCarrier.HS100.z.C，压电扫描台 — 技术参数可选版本⇨正常版本.NM绝对⽆磁版本；.UHV，超⾼真空版本；1运动⽅向Z ⽅向2底⾯尺⼨*⾼度150 mm × 150 mm × 30 mm3主体材料铝合⾦ & 不锈钢4运动⾏程100 um5中空透孔66 mm × 66 mm运动&位置传感6线性度误差（z⽅向运动）0.035%7俯仰/偏摆/旋转50 urad / 50 urad / 10 urad8运动分辨率（闭环/开环）1 nm / 0.3 nm9运动可重复精度± 10 nm10刚性2.5 N/ um11共振频率（空载/2.5 kg500 Hz/ 200 Hz12最⼤负载5 kg13闭环传感器（闭环版本）电容式14驱动电压Max. 150 V其他15推荐使⽤温度15 到 40 摄⽒度16质量1 kg2D·尺⼨图Piezoelectric Motion - RT⾼负载⾼速Z⽅向运动，⼤通孔设计，并联设计+电容闭环传感www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesCarrier.HS100.z.C产品特⾊•Z 扫描运动 100 um•闭环分辨率优于 1 nm；•最⼤负载 3 kg；•针对光学显微镜超分辨定制化解决⽅案；•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图｜ MultiFields Technologieswww.multi-www.multi-9运动可重复精度10刚性11共振频率（空载/2.5 kg）12最⼤负载13闭环传感器（闭环版本）14驱动电压其他15推荐使⽤温度16质量www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies扫描运动·⾼负载通孔型 Carrier.HS100.xy.C室温压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空⼤负载扫描台Piezoelectric Motion - LTCarrier.HS100.xy.C产品特⾊•两维度xy扫描运动 100 um•闭环分辨率优于 1nm•最⼤负载 3.5 kg；•针对光学显微镜超分辨定制化解决⽅案；•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级Carrier.HS100.xy.C1运动⽅向2底⾯尺⼨*⾼度3主体材料4运动⾏程5中空透孔运动&位置传感6线性度误差（8运动分辨率（闭环9运动可重复精度10刚性11共振频率（空载12最⼤负载13闭环传感器（闭环版本）14驱动电压其他15推荐使⽤温度16质量2D·尺⼨图Piezoelectric Motion - RT⾼负载⾼速XY平⾯运动，⼤通孔设计，并联设计+电容闭环传感www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesCarrier.HS100.xy.C产品特⾊•两维度xy扫描运动 100 um；•闭环分辨率优于 1nm；•最⼤负载 3.5 kg；•针对光学显微镜超分辨定制化解决⽅案；•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图Carrier.HS100.XYRz.Cwww.multi-Þeld.com MultiFields Technologies⼤负载通孔扫描运动— Carrier.HS100.zTxTy.C室温压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空⼤负载扫描台Piezoelectric Motion - LTPiezoelectric Motion - RTwww.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesCarrier.HS100.zTxTy.C•三维度Z，θxy 扫描运动；•100 um⾏程，1mrad & 1 mard•闭环分辨率优于 1nm•最⼤负载 2.5 kg•针对光学显微镜超分辨定制化解决⽅案；•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesPiezoelectric Motion - LTMultiFields &GroupCarrier.HS100.zTxTy.C，压电扫描台 — 技术参数可选版本⇨正常版本.UHV，超⾼真空版本；1运动⽅向Z，θx & θy 2底⾯尺⼨*⾼度150 mm × 150 mm × 30 mm3主体材料铝合⾦ & 不锈钢4运动⾏程（Z，θx & θy ）100 um1 mrad & 1mrad5中空透孔66 mm × 66 mm运动&位置传感6Z线性度误差0.035%7θ线性度误差0.15%8Z运动分辨率（闭环/开环）1 nm / 0.5 nm9θ运动分辨率（闭环/开环）0.05 urad / 0.04 urad10运动可重复精度 (Z & θ± 10 nm, ± 0.1urad11刚性2 N/ um12Z共振频率（空载/2.5 kg）480 Hz/ 160 Hz13θ共振频率（空载/2.5 kg）500 Hz/ 150 Hz14最⼤负载2.5 kg15闭环传感器（闭环版本）电容式16驱动电压Max. 150 V其他17推荐使⽤温度15 到 40 摄⽒度18质量1 kg19安装螺纹孔兼容 Carrier.L7550.XY2D·尺⼨图Piezoelectric Motion - RTPiezoelectric Motion - RT产品特⾊⾼负载·Z⽅向扫描运动，两轴摇摆调节，保证真正准直·扫描运动— Carrier.HS100.zTxTy.C — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台Carrier.HS100.zTxTy.C•三维度Z，θxy 扫描运动；•100 um⾏程，1mrad & 1 mard•闭环分辨率优于 1nm；•最⼤负载 2.5 kg；•针对光学显微镜超分辨定制化解决⽅案；•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图产品特⾊⽅向扫描运动，两轴摇摆调节，保证真正准直 MultiFields Technologieswww.multi-Carrier.HS100.zTxTy.Cwww.multi-可选版本⇨1运动⽅向2底⾯尺⼨*⾼度3主体材料4运动⾏程（Z，θx & 5中空透孔运动&位置传感6Z线性度误差7θ线性度误差8Z运动分辨率（闭环9θ运动分辨率（闭环10运动可重复精度 (Z & 11刚性12Z共振频率（空载13θ共振频率（空载14最⼤负载15闭环传感器（闭环版本）16驱动电压其他17推荐使⽤温度18质量19安装www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies扫描运动⾼负载通孔型— Carrier.HS100.xyRz.CPiezoelectric Motion - LTwww.multi-Carrier.HS100.xyRz.C产品特⾊•两维度xy扫描运动 100 umz轴旋转运动1mrad•闭环分辨率优于 1nm；•最⼤负载 3.5 kg•针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级www.multi-1运动⽅向2底⾯尺⼨3主体材料4运动⾏程5中空透孔运动&位置传感6线性度误差（7运动分辨率（闭环8运动可重复精度9刚性10共振频率（空载11最⼤负载12闭环传感器（闭环版本）13驱动电压其他14推荐使⽤温度15质量16安装2D·尺⼨图Piezoelectric Motion - RT⾼负载⾼速XY平⾯运动，Z轴旋转设计，保证XY⾯内准直运动www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空⼤负载扫描台Piezoelectric Motion - LT产品特⾊•两维度xy扫描运动 100 um，z轴旋转运动1mrad闭环分辨率优于•最⼤负载 3.5 kg；•针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图Piezoelectric Motion - RT⾼负载·⾼速XY平⾯运动，Z轴旋转设计，保证XY⾯内准直运动扫描运动·⾼负载通孔型— Carrier.HS100.xyRz.C室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空⼤负载扫描台Piezoelectric Motion - LTCarrier.HS100.xyRz.C产品特⾊•两维度xy扫描运动 100 um，z轴旋转运动1mrad；•闭环分辨率优于 1nm；•最⼤负载 3.5 kg；•针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图Piezoelectric Motion - RT⾼负载·⾼速XY平⾯运动，Z轴旋转设计，保证XY⾯内准直运动www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies•两维度xy扫描运动 100 um；•闭环分辨率优于 1nm；•最⼤负载 3.5 kg；•针对光学显微镜超分辨定制化解决⽅案；•⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级2D·尺⼨图

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB21室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录选型表Carrier.OBxx.C.系列室温压电物镜对焦台命名规则特点：•最快稳定时间(90% 位置稳定) 10-15ms以内•闭环分辨率优于1nm•最大负载500g，高负载版本(.HL) 2kg•支持无磁 (.NM) 、高真空 (HV) 和超高真空 (.UHV) 选件行程：050：50μm100100μm200：200μm400：400μm环境版本NM绝对无磁版本HV高真空版本UHV：超高真空版本HL高负载版本传感器C：电容型S电阻型Carrier.OB 100. C.HVwww.multi-Piezoelectric Motion - LTMultiFields &GroupCarrier.OB.050.C 物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数可选版本⇨正常版本.NM，绝对⽆磁版本；.HV，⾼真空版本.UHV，超⾼真空版本；运动⽅向Z 轴2⾏程50um3线性度0.02%4内置传感器电容式传感5传感器噪声1 nm6Z⽅向分辨率，开环0.2 nm7稳定时间 (90%位置到达)10 ms8共振频率（⽆负载）600 Hz9共振频率（150 g 负载）300 Hz10整体重量270 g11主体材料不锈钢304，铝合⾦ MultiFields Technologies⼤范围扫描运动— Carrier.OB050.C压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征Piezoelectric Motion - RTwww.multi-Carrier.OB050.C⽅向运动范围 50 um；最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；闭环定位精度优于 1nm最⼤负载 500 g；控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件2D·尺⼨图产品特⾊Piezoelectric Motion - RT内螺纹 RMSwww.multi-Carrier.OB100可选版本1运动⽅向2⾏程3线性度4内置传感器5传感器噪⾳6Z⽅向分辨率，开环7稳定时间 (90%位置到达)8共振频率（⽆负载）9共振频率（150 g 负载）10整体重量11主体材料www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电⼤范围扫描运动— Carrier.OB100.C室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征Piezoelectric Motion - RTwww.multi-Carrier.OB100.C产品特⾊•Z⽅向运动范围 100 um•最快稳定时间 (90% 位置稳定) 15ms 以内；•闭环定位精度优于 1nm•最⼤负载 500 g；•控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件2D·尺⼨图压电⼤范围扫描运动— Carrier.OBHL100.C室温压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征Carrier.OBHL100.C产品特⾊•Z⽅向运动范围 100 um•最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；•闭环定位精度优于 1nm•最⼤负载 500 g；•控制器兼容多场科技 MC- Archimedes Series•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件2D·尺⼨图Piezoelectric Motion - RT型号Carrier.OB.050.CCarrier.OB100.CCarrier.OBHL100.CCarrier.OBHL200.CCarrier.OBHL400.C材质不锈钢/铝合金自重（g）270270500270350运动方向Z 轴行程（µm）50100100200400线性度0.02%0.03%002%003%内置传感器电容式传感传感器噪声（nm）1Z方向分辨率，开环（nm）02稳定时间 (90%位置到达)（ms）1015101924共振频率（无负载）（Hz）600500900480380共振频率（150 g 负载）（Hz）300250500220165

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB22室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录Piezoelectric Motion - LTMultiFields &GroupCarrier.OB.050.C 物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数可选版本⇨正常版本.NM绝对⽆磁版本；.HV⾼真空版本.UHV，超⾼真空版本；1运动⽅向Z 轴2⾏程50um3线性度0.02%4内置传感器电容式传感5传感器噪声1 nm6Z⽅向分辨率，开环0.2 nm7稳定时间 (90%位置到达)10 ms8共振频率（⽆负载）600 Hz9共振频率（150 g 负载）300 Hz10整体重量270 g11主体材料不锈钢304，铝合⾦压电⼤范围扫描运动— Carrier.OB050.C室温压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征Piezoelectric Motion - LTPiezoelectric Motion - RTCarrier.OB050.C•Z⽅向运动范围 50 um；•最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；•闭环定位精度优于 1nm•最⼤负载 500 g；•控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件2D·尺⼨图产品特⾊Piezoelectric Motion - RTPiezoelectric Motion - RT内螺纹 RMSCarrier.OB.050.C 可选版本1运动⽅向2⾏程3线性度4内置传感器5传感器噪声6Z⽅向分辨率，开环7稳定时间 (90%位置到达8共振频率（⽆负载）9共振频率（150 g 负载）10整体重量11主体材料— Carrier.OB050.C — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征Carrier.OB050.C⽅向运动范围 50 um； (90% 位置稳定) 10ms 以内； 1nm； 500 g； Motion Controller - Archimedes Series.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件尺⼨图内螺纹 RMSCarrier.OBHL400.C234567891011www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电⼤范围扫描运动— Carrier.OB050.C室温压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征Piezoelectric Motion - LTCarrier.OB050.C•Z⽅向运动范围 50 um•最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；•闭环定位精度优于 1nm；•最⼤负载 500 g•控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件2D·尺⼨图产品特⾊Piezoelectric Motion - RT内螺纹 RMSwww.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesPiezoelectric Motion - LTCarrier.OB050.C•Z⽅向运动范围 50 um；•最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；•闭环定位精度优于 1nm•最⼤负载 500 g•控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件2D·尺⼨图产品特⾊Piezoelectric Motion - RT内螺纹 RMSCarrier.OB050.CCarrier.OB100.C.HLCarrier.OBHL200.C尺寸图：Carrier.OB100.Cwww.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesPiezoelectric Motion - LTMultiFields &GroupCarrier.OB.050.C 物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数可选版本⇨正常版本.NM绝对⽆磁版本；.HV，⾼真空版本.UHV，超⾼真空版本；运动⽅向Z 轴2⾏程50um3线性度0.02%4内置传感器电容式传感5传感器噪声1 nm6Z⽅向分辨率，开环0.2 nm7稳定时间 (90%位置到达10 ms8共振频率（⽆负载）600 Hz9共振频率（150 g 负载）300 Hz10整体重量270 g11主体材料不锈钢304，铝合⾦www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电⼤范围扫描运动— Carrier.OB050.C室温压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征Piezoelectric Motion - LTPiezoelectric Motion - RTwww.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesCarrier.OB050.C•Z⽅向运动范围 50 um；•最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；•闭环定位精度优于 1nm；•最⼤负载 500 g；•控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件2D·尺⼨图产品特⾊Piezoelectric Motion - RTPiezoelectric Motion - RT内螺纹 RMSwww.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电⼤范围扫描运动— Carrier.OB100.C室温压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征Piezoelectric Motion - RTCarrier.OB100.C产品特⾊•Z⽅向运动范围 100 um•最快稳定时间 (90% 位置稳定) 15ms 以内；•闭环定位精度优于 1nm•最⼤负载 500 g；•控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件2D·尺⼨图www.multi-6Z⽅向分辨率，开环7稳定时间 (90%位置到达8共振频率（⽆负载）9共振频率（150 g 负载）10整体重量11主体材料www.multi-Þeld.com MultiFields Technologieswww.multi-⽅向运动范围 50 um； (90% 位置稳定) 10ms 以内； 1nm 500 g Motion Controller - Archimedes Series.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件尺⼨图内螺纹 RMSwww.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies产品特⾊•Z⽅向运动范围 100 um；•最快稳定时间 (90% 位置稳定) 15ms 以内；•闭环定位精度优于 1nm；•最⼤负载 500 g•控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件2D·尺⼨图www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesMultiFields &GroupCarrier.OBHL100.C，物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数可选版本⇨正常版本.NM绝对⽆磁版本；.HV⾼真空版本.UHV，超⾼真空版本；运动⽅向Z 轴2⾏程100 um3线性度0.02%4内置传感器电容式传感5传感器噪⾳1 nm6Z⽅向分辨率，开环0.2 nm7稳定时间 (90%位置到达10 ms8共振频率（⽆负载）900 Hz9共振频率（150 g 负载）500 Hz10整体重量500 g11主体材料不锈钢304，铝合⾦www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电⼤范围扫描运动— Carrier.OBHL100.C室温压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征Piezoelectric Motion - RTwww.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesCarrier.OBHL100.C产品特⾊•Z⽅向运动范围 100 um•最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；•闭环定位精度优于 1nm•最⼤负载 500 g•控制器兼容多场科技 MC- Archimedes Series•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件2D·尺⼨图Piezoelectric Motion - RTPiezoelectric Motion - RT234567891011www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesCarrier.OBHL100.C产品特⾊•Z⽅向运动范围 100 um；•最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；•闭环定位精度优于 1nm；•最⼤负载 500 g•控制器兼容多场科技 MC- Archimedes Series•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件2D·尺⼨图1234567891011www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesCarrier.OBHL100.C产品特⾊•Z⽅向运动范围 100 um；•最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；•闭环定位精度优于 1nm•最⼤负载 500 g；•控制器兼容多场科技 MC- Archimedes Series•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件2D·尺⼨图

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB23室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录选型表Mirrors.(Z12)TxTyxxxx 系列室温压电偏摆台命名规则特点：•两自由度偏摆运动•ms级响应•偏摆多行程可选•最高精度µrad级别•支持无磁 (.NM) 、高真空 (HV) 和超高真空 (.UHV) 选件Z轴方向：NA：无Z轴行程Z：含Z轴行程环境版本：NM无磁版本HV：高真空版本UHV：超高真空版本θxθy行程：01011mrad，1mrad0303：3mrad，3mrad101010mrad，10mradMirrors.Z12TxTy 0101.NM12: z轴行程12mmwww.multi-Þeld.com MultiFields Technologies & Piezoelectric Motion - RT两维偏转，毫秒级运动响应，⾼⻆度分辨率解决⽅案； MultiFields TechnoloMirrors.TxTy0303Mirrors.TxTy0303/1010，技术参可选版本⇨Mirror.TxTy.0303.NM绝对⽆磁版本；.UHV，超⾼真空版本；1运动⽅向Tx, Ty2底⾯尺⼨*⾼度详⻅⼯程图3主体材料铝合⾦ & 不锈4运动⾏程θX, 3 mradθY, 3 mrad运动&定位5运动分辨率 (开环)0.05 urad (开环6运动分辨率 (闭环) 0.1 urad (闭环）7线性误差优于 0.1%8共振频率 (空载θX, θY ~ 2 kHz9摇摆半径5.5 mm10闭环传感器（闭环版本）SGS11驱动电压Max. 150 V其他信息12推荐使⽤温度-20 ~ 80 °C13搭配控制器Archimedes.3S 14线缆⻓度1 m/ D-Sub 315镜⽚重量30 g2D·尺⼨图产品特⾊Mirrors.TxTy1010•两⾃由度偏摆运动；•ms级响应；•摇摆多⾏程可选；•最⾼精度urad级别•控制器 MC - Archimedes.3S•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies· -Mirrors.TxTy0303/1010⼤⻆度 & ⾼动态偏转，⽤于镜⽚转动和光路调节等应⽤场景Piezoelectric Motion - RT两维偏转，毫秒级运动响应，⾼⻆度分辨率解决⽅案； MultiFields TechnologiesMirrors.TxTy0303Mirrors.TxTy0303/1010，技术参数可选版本⇨Mirror.TxTy.0303M.NM，绝对⽆磁版本；.UHV，超⾼真空版本；1运动⽅向Tx, Ty2底⾯尺⼨*⾼度详⻅⼯程图3主体材料铝合⾦ & 不锈钢4运动⾏程θX, 3 mradθY, 3 mrad运动&定位5运动分辨率 (开环)0.05 urad (开环) 06运动分辨率 (闭环) 0.1 urad (闭环） 07线性误差优于 0.1%8共振频率 (空载)θX, θY ~ 2 kHz9摇摆半径5.5 mm10闭环传感器（闭环版本）SGS11驱动电压Max. 150 V其他信息12推荐使⽤温度-20 ~ 80 °C13搭配控制器Archimedes.3S 控制器14线缆⻓度1 m/ D-Sub 3W315镜⽚重量30 g2D·尺⼨图产品特⾊Mirrors.TxTy1010•两⾃由度偏摆运动；•ms级响应；•摇摆多⾏程可选；•最⾼精度urad级别•控制器 MC - Archimedes.3S•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件www.multi-Þeld.com Piezoelectric Motion - RTMirrors.Z12TxTy01012D·尺⼨图产品特⾊•直径10 mm 通孔；•并联结构设计保证三⾃由度调节；•最⼤⾏程 12 um•ms 级别响应•最⾼精度urad级别•控制器 MC - Archimedes.3S•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（）和超⾼真空（.UHV）选件型号Mirrors.TxTy0303Mirrors.TxTy1010Mirrors.Z12TxTy0101运动方向θx，θyZ方向，θx，θy底面尺寸×高度（mm）详见工程图主体材料铝合金 & 不锈钢运动行程3mrad / 3mrad10mrad / 10mrad12µm / 1 mrad / 1mrad运动分辨率 (开环)005µrad0.2µradZ：02 nm；θx：005µrad；θy：005µrad运动分辨率 (闭环)0.1µrad0.5µradZ：04 nm；θx：01µrad；θy0.1µrad线性误差<01%02%共振频率 (空载)2 kHz1 kHz55 kHz偏摆半径55mm/闭环传感器（闭环版本）SGS电阻式驱动电压Max.150V推荐使用温度20~80℃搭配控制器Archimedes.3S控制器镜片重量30g30g/

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB24室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies6运动分辨率7线性误差8共振频率9摇摆半径10闭环传感器（闭环11驱动电压其他信息12推荐使⽤温度13搭配控制器14线缆⻓度15镜⽚重量Mirrors.TxTy1010urad级别•控制器 MC - Archimedes.3S•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件Mirrors.TxTy0303Mirrors.Z12TxTy0101尺寸图：Mirrors.TxTy1010www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电镜⽚偏摆台 -Mirrors.TxTy0303/1010⼤⻆度 & ⾼动态偏转，⽤于镜⽚转动和光路调节等应⽤场景Piezoelectric Motion - RT两维偏转，毫秒级运动响应，⾼⻆度分辨率解决⽅案；Piezoelectric Motion - RTwww.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesMirrors.TxTy0303Mirrors.TxTy0303/1010，技术参数可选版本⇨Mirror.TxTy.0303Mirror.TxTy.1010.NM绝对⽆磁版本；.UHV，超⾼真空版本；1运动⽅向Tx, Ty2底⾯尺⼨*⾼度详⻅⼯程图3主体材料铝合⾦ & 不锈钢4运动⾏程θX, 3 mradθY, 3 mradθX, 10 mradθY, 10 mrad运动&定位5运动分辨率 (开环0.05 urad (开环) 0.2 urad (开环) 6运动分辨率 (闭环 0.1 urad (闭环） 0.5 urad (闭环）7线性误差优于 0.1%8共振频率 (空载)θX, θY ~ 2 kHzθX, θY ~ 1 kHz9摇摆半径5.5 mm5.5 mm10闭环传感器（闭环版本）SGS11驱动电压Max. 150 V其他信息12推荐使⽤温度-20 ~ 80 °C13搭配控制器Archimedes.3S 控制器14线缆⻓度1 m/ D-Sub 3W315镜⽚重量30 g &Group2D·尺⼨图产品特⾊Mirrors.TxTy1010•两⾃由度偏摆运动；•ms级响应；•摇摆多⾏程可选；•最⾼精度urad级别•控制器 MC - Archimedes.3S•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空.UHV）选件www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电镜⽚偏摆台 -Mirrors.TxTy0303/1010⼤⻆度 & ⾼动态偏转，⽤于镜⽚转动和光路调节等应⽤场景Piezoelectric Motion - RT两维偏转，毫秒级运动响应，⾼⻆度分辨率解决⽅案；www.multi-Þeld.com Mirrors.TxTy0303Mirrors.TxTy0303/1010可选版本⇨Mirror.TxTy.0303.NM绝对⽆磁版本；.UHV，超⾼真空版本；1运动⽅向2底⾯尺⼨*⾼度3主体材料4运动⾏程θX, 3 mradθY, 3 mrad运动&定位5运动分辨率 (开环0.05 urad (6运动分辨率 (闭环 0.1 urad (7线性误差8共振频率 (空载)θX, θ9摇摆半径5.5 mm10闭环传感器（闭环版本）11驱动电压其他信息12推荐使⽤温度13搭配控制器14线缆⻓度15镜⽚重量2D·尺⼨图产品特⾊Mirrors.TxTy1010•两⾃由度偏摆运动；•ms级响应；•摇摆多⾏程可选；•最⾼精度urad级别•控制器 MC - Archimedes.3S•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies2D·尺⼨图产品特⾊•两⾃由度偏摆运动；•ms级响应；•摇摆多⾏程可选；•最⾼精度urad级别•控制器 MC - Archimedes.3S•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies2D·尺⼨图产品特⾊•两⾃由度偏摆运动；•ms级响应；•摇摆多⾏程可选；•最⾼精度urad级别•控制器 MC - Archimedes.3S•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies压电镜⽚偏摆台 -Mirrors.Z12TxTy01013⾃由度调节偏转，⽤于镜⽚转动和光路调节等应⽤场景3⾃由度调节，通孔型摇摆台，毫秒级运动响应，⾼分辨率解决⽅案；Piezoelectric Motion - RTwww.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesMirrors.Z12TxTy0101MultiFields &Group2D·尺⼨图产品特⾊Mirrors.Z12TxTy0101，技术参数可选版本⇨Mirrors.Z12TxTy0101.UHV，超⾼真空版本；运动⽅向ZTx & Ty ⽅向2底⾯尺⼨*⾼度详⻅⼯程图3主体材料铝合⾦ & 不锈钢4运动⾏程（Z / Tx /Ty12 um / 1 mrad / 1mrad运动&定位5运动分辨率 (开环 Z / Tx /TyZ0.2 nm Tx0.05 urad；Ty0.05 urad6运动分辨率 (闭环 Z / Tx /TyZ0.4 nm Tx0.1 urad；Ty0.1 urad7线性误差（Z / Tx /Ty0.2%8共振频率 (空载)5.5 kHz9刚性10 N/µm10闭环传感器（闭环版本）电阻式11驱动电压Max. 150 V其他信息12推荐使⽤温度-20 ~ 80 °C13搭配控制器Archimedes.3S 控制器14线缆⻓度1 m/ D-Sub 3W3•直径10 mm 通孔；•并联结构设计保证三⾃由度调节；•最⼤⾏程 12 um•ms 级别响应•最⾼精度urad级别•控制器 MC - Archimedes.3S•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空.UHV）选件www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesMirrors.Z12TxTy01012D·尺⼨图产品特⾊•直径10 mm 通孔；•并联结构设计保证三⾃由度调节；•最⼤⾏程 12 um•ms •最⾼精度urad级别•控制器 MC - Archimedes.3S•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（）选件Mirrors.Z12TxTy0101运动•最⾼精度urad级别•控制器 MC - Archimedes.3S•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB25室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录选型表AutoScrew.Nano系列压电镜架与压电螺纹副特点：•亚纳米级运动控制•高速响应50 kHz•最大行程18µm•控制器:MC- Archimedes.04•支持无磁 (.NM) 、高真空 (HV) 和超高真空 (.UHV) 选件型号AutoScrew.LR.Set.01AutoScrew.LR.Set.02主体材料铝合金 & 不锈钢铝合金 & 不锈钢自重（g）9.5g9.5g运动行程18µm18µm开环分辨率1nm1nm驱动电压0120V0120V电容550 nF550 nF最大推力300N300N最大频率50 kHz50 kHz使用温度10~40℃10~40℃镜片尺寸1 inch2 inch角度范围15°10°角度分辨率2µrad1µradAutoScrew.Nano.Set尺寸图：*AutoScrew.Nano为单独的压电螺纹副，适用于替换现有镜架的螺纹副组件；*AutoScrew.Nano.Set为两支压电螺纹副+SUS高稳定镜架的组合，且已安装完毕。压电·线性运动— AutoScrew.Nano室温·压电运动⽅案 — “AutoScrew 系列“ 光学镜架调节AutoScrew.Nano产品特⾊•亚纳⽶级运动控制；•⾼速响应50 kHz；•最⼤⾏程18 um，兼容多场光束稳定产品BeamStabilizer；•控制器兼容多场科技 MC - Archimedes.20•超⾼真空兼容，⽆磁场兼容2D·尺⼨图压电线性运动— AutoScrew.LR室温·压电运动⽅案 — “AutoScrew 系列“ 光学镜架调节Piezoelectric Motion - RTAutoScr•保持⼒ 100 N，进动⼒ 20 N•最⼩步伐 20 nm；•最⼤⾏程 6 mm•停⽌时⾃锁，⽆热量产⽣螺纹兼容标准镜架螺纹控制器兼容多场室温控制器，）、⾼真空2D·尺⼨图www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies产品特⾊室温·压电运动⽅案 — “AutoScrew 系列“ 光学镜架调节Piezoelectric Motion - RTAutoScr•保持⼒ 100 N，进动⼒ 20 N•最⼩步伐 20 nm；•最⼤⾏程 6 mm•停⽌时⾃锁，⽆热量产⽣螺纹兼容标准镜架螺纹控制器兼容多场室温控制器，）、⾼真空2D·尺⼨图www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies产品特⾊压电线性运动— AutoScrew.LR室温·压电运动⽅案 — “AutoScrew 系列“ 光学镜架调节Piezoelectric Motion - RTAutoScr•保持⼒ 100 N，进动⼒ 20 N•最⼩步伐 20 nm；•最⼤⾏程 6 mm•停⽌时⾃锁，⽆热量产⽣螺纹兼容标准镜架螺纹控制器兼容多场室温控制器，）、⾼真空2D·尺⼨图www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies产品特⾊

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cnB26室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台返回目录选型表AutoScrew.LR系列压电镜架与压电螺纹副特点：•保持力100 N，进动力20 N•最小步伐20nm•最大行程10mm•停止时自锁，无热量产生•螺纹兼容标准镜架螺纹•控制器：MC -Newton.E4•支持无磁 (.NM) 、高真空 (HV) 和超高真空 (.UHV) 选件型号AutoScrew.LR主体材料铝合金 & 不锈钢运动行程10mm最大速度典型2 mm/min最大步伐典型值20nm，最大50 nm驱动频率最大频率2 kHz主动推力20N保持力100 N最大侧向力1N搭配控制器MC-Newton.E2 / E4控制器通道数目2通道，4通道最大驱动电压100V MAX通讯接口USB / RS 485AutoScrew.LR尺寸图：·室温压电运动⽅案 — “AutoScrew 系列“ 光学镜架调节Piezoelectric Motion - RTAutoScrew.LR•保持⼒ 100 N，进动⼒ 20 N；•最⼩步伐 20 nm•最⼤⾏程 6 mm•停⽌时⾃锁，⽆热量产⽣•螺纹兼容标准镜架螺纹•控制器兼容多场室温控制器，MC - Newton.E4•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件2D·尺⼨图产品特⾊压电线性运动— AutoScrew.LR室温压电运动⽅案 — “AutoScrew 系列“ 光学镜架调节Piezoelectric Motion - RTPiezoelectric Motion - RTwww.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesAutoScrew.LR•保持⼒ 100 N，进动⼒ 20 N•最⼩步伐 20 nm•最⼤⾏程 6 mm•停⽌时⾃锁，⽆热量产⽣•螺纹兼容标准镜架螺纹•控制器兼容多场室温控制器，MC - Newton.E4•⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件2D·尺⼨图www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesPiezoelectric Motion - RTAutoScrew.LR 光学镜架调节 — 技术参数可选版本⇨正常版本.HV.NM绝对⽆磁版本；.HV⾼真空版本底⾯尺⼨*⾼度2主体材料不锈钢不锈钢3线缆 & 接头标准屏蔽线缆SMB 接头kapton漆包线，PEEK-2mm插针运动参数4运动⾏程10 mm5最⼤速度典型2 mm/min6最⼤步伐典型值20 nm，最⼤ 50 nm7驱动频率最⼤频率2 kHz8主动推⼒20 N9保持⼒100 N10最⼤侧向⼒1 N控制器 - MC-Newton.E2 / E411搭配控制器MC-Newton.E2 / E412控制器通道数⽬2通道，4通道13最⼤驱动电压100 V MAX14通讯接⼝USB / RS 48515供电电压DC 12 VMultiFields &Groupwww.multi-Þeld.com MultiFields Technologies产品特⾊压电·线性运动— AutoScrew.LR室温·压电运动⽅案 — “AutoScrew 系列“ 光学镜架调节Piezoelectric Motion - RT•保持⼒ 100 N，进动⼒•最⼩步伐 20 nm•最⼤⾏程 6 mm•停⽌时⾃锁，⽆热量产⽣2D·尺⼨图www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies产品特⾊*AutoScrew.LR为单独的压电螺纹副，适用于替换现有镜架的螺纹副组件；*AutoScrew.LR.Set为两支压电螺纹副+SUS高稳定镜架的组合，且已安装完毕

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B27返回目录低温压电位移台选型表Linearxx-x低温压电线性直线台特点：•紧凑设计，提供16×16mm25×25mm，35×35mm多种尺寸版本•超高真空 & 超低温兼容: 2e-11 mbar & 30 mK•无磁材料（纯 Ti & BeCu），最高兼容18 Tesla 磁场•超高负载 & 超高推力: 50 g & 15 N•闭环控制，内置位置传感器，最小位置分辨率01µm命名规则注：主体材质- ULT和ULT.UHV版本为 BeCu，其余纯Ti；线缆材质-磷铜双绞线，长20cm；*注：针脚材质- UHV版本为Peek，BeCu，其余为玻璃纤维填充；Linear16-xLinear16-zLinear25-xLiear2“16mm 系列”“25mm 系列•默认: 1.4 K ~ 400 K; 2e-7 mbar; 18 Tesla•可选1 - .ULT, 最低⼯作温度 30 mK;•可选2 - .UHV, 最⾼真空环境 2E-11 mbar;16*16*10.5 mm16*16*16 mm25*25*9.5 mm25*25*193 mm3 mm6 m50 g250 g300 1.5 N3 N2 N3 NResistive sensor传感量程3 mm3 mm6 mm6 m150 nm1 -2 umMax. 200 VDrive - 2 pinsSensor - 3 pinsDrive - 2 pins / 4pins (adv)Sensor - 3 pinsDrive - 2 pinsSensor - 3 pinsDrive - 24pins (Sensor - 10g12g24g34gLinear16-zLinear25-xLiear25-z“16mm 系列”“25mm 系列”默认: 1.4 K ~ 400 K; 2e-7 mbar; 18 Tesla可选1 - .ULT, 最低⼯作温度 30 mK;可选2 - .UHV, 最⾼真空环境 2E-11 mbar;16*16*16 mm25*25*9.5 mm25*25*19.6 mm3 mm6 mm250 g500 g3 N2 N3 NResistive sensor3 mm6 mm6 mm150 nm1 -2 umMax. 200 VDrive - 2 pins / 4pins (adv)Sensor - 3 pinsDrive - 2 pinsSensor - 3 pinsDrive - 2 pins / 4pins (adv)Sensor - 3 pins12g24g34gLiear25-z300 g3 N6 mm4pins (adv)Linear25-z-LRLinear35-xLinear35“25mm 系列”“35mm 系列”“35mm 系•默认: 1.4 K ~ 400 K; 2e-7 mbar; 18 T•可选1 - .ULT, 30 mK;•可选2 - .UHV, 2E-11 m25*25*29.6 mm35*35*10.5 mm35*35*30 16 mm8 mm300 g500 g3 N3 N5 NResistive se16 mm20 mm8 mm150 nm1 -2 umMax. 200Drive - 2 pins / 4pins (adv)Sensor - 3 pinsDrive - 2 pinsSensor - 3 pinsDrive - 2 p4pins (adSensor - 3 型号Linear16-xLinear25-xLinear35-x工作环境默认: 14 K ~ 400 K; 2e-7 mbar; 18 Tesla可选1 - .ULT, 最低工作温度30 mK;可选2 - .UHV, 最高真空环境2e-11 mbar;外形尺寸（mm）16×16×10.525×25×9.535×35×10.5行程（mm）3620最高负载（g）505002500最高推力（N）1523位置传感电阻传感传感量程（mm）3620传感器分辨率（nm）~150传感器重复精度（µm）12驱动电压Max. 200 V微调分辨率亚纳米@2K最小步伐10nm@300K电学插针驱动2pins，传感3pins重量（g）102438Linear35-x.HV台面尺寸：16：16mm*16mm25：25mm*25mm35：35mm*35mm环境版本NM：绝对无磁版本（max 18 tesla）HV高真空版本（2e7mbar）UHV：超高真空版本（2e11mbar）ULT超低温版本（30 mK）ULT.UHV超高真空&超低温版本（2e11mbar &30 mK）

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B28返回目录Linear16-x.HVLinear35-x.HV尺寸图：Linear25-x.HV4www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies低温 · 压电运动- 线性位移系列最⼩的线性位移台，⽀持闭环控制Linear16-x.HV主要特征紧凑设计, 尺⼨: 16*16*10.5 mm & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场超⾼负载 & 超⾼推⼒: 50 g & 1.5 N: 3 mm闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 0.1 um⼆维尺⼨www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies*所有数据均通过50欧姆线缆测量虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。可选版本⇨.HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼真空版本，默认产品;.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar1三维尺⼨16 × 16 mm × 10.5 mm2质量10 g适⽤环境范围3基础参数温度范围: 1.4 ~ 400 K最低真空度: 2e-7 mbar最⼤磁场: 18 Tesla4可选1 - 30 mK✓5可选2 - 2e-11 mbar✓材质6主体Pure TiBeCuPure Ti7线缆磷⻘铜双绞线，20cm8针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9针脚数量驱动 - 2 pins, 传感 - 3 pins运动参数10⾏程3 mm11最⼤运动速度 @300 K~ 2 mm/s12驱动电压Max. 200 V13最⼤负载50 g14最⼤推⼒1.5 N传感器（闭环）15位置传感器电阻传感16传感器⾏程3 mm17传感器分辨率~ 150 nm18重复定位精度1 - 2 um4www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies•超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场超⾼负载 & 超⾼推⼒: 50 g & 1.5 N⼤⾏程: 3 mm闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 0.1 um⼆维尺⼨4eld.com MultiFields TechnologiesLinear16-x.HV 18 Tesla 磁场 0.1 umwww.multi-5可选2 - 2e-11 mbar材质6主体7线缆8针脚材质9针脚数量运动参数10⾏程11最⼤运动速度 @300 K12驱动电压13最⼤负载14最⼤推⼒传感器（闭环）15位置传感器16传感器⾏程17传感器分辨率18重复定位精度主要特征•紧凑设计尺⼨: 25.4*25.4*9.5 mm•超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场•超⾼负载 & 超⾼推⼒: 500 g & 2 N•⼤⾏程: 6 mm•闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 0.1 umwww.multi-Þeld.com MultiFields Technologies低温 · 压电运动- 线性位移系列完美的平衡。⼀个结合了紧凑的尺⼨和出⾊的运动性能的顶级压电位移解决⽅案。Linear25-x-Slim.HV⼆维尺⼨低温・压电运动•⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场•超⾼负载 & 超⾼推⼒: 500 g & 2 N•⼤⾏程: 6 mm•闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 0.1 umwww.multi-Þeld.com MultiFields Tec⼆维尺⼨主要特征•紧凑设计, 尺⼨: 25.4*25.4*9.5 mm•超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场•超⾼负载 & 超⾼推⼒: 500 g & 2 N•⼤⾏程: 6 mm•闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 0.1 umwww.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies⼆维尺⼨10主要特征紧凑设计尺⼨: 35*35*10.5 mm超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场超⾼负载 & 超⾼推⼒: 2500 g & 3 N: 20 mm闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 0.1 umLinear35-x—技术参数*所有数据均通过50欧姆线缆测量虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。可选版本⇨.HV (默认).ULT.UHV.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar1三维尺⼨35 × 35 mm × 10.5 mm2质量38 g适⽤环境范围3基础温度范围: 1.4 ~ 400 K最低真空度: 2e-7 mbar最⼤磁场: 18 Tesla4可选1 - 30 mK✓5可选2 - 2e-11 mbar✓材质6主体Pure TiBeCuPure Ti7线缆磷⻘铜双绞线，20cm8针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9针脚数量驱动 -3 pins，传感 - 3 pins运动参数10⾏程20 mm11最⼤运动速度 @300 K~ 2 mm/s12驱动电压Max. 200 V13最⼤负载2500 g14最⼤推⼒3 N传感器（闭环）15位置传感器电阻传感16传感器⾏程20 mm17传感器分辨率~ 150 nm18重复定位精度1 - 2 umwww.multi-Þeld.com MultiFields Technologies“35mm 系列” — Linear35-x(闭环控制)低温 · 压电运动线性位移系列⾼负载和完美闭环控制的压电位移台Linear35-x.HV⼆维尺⼨www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies主要特征紧凑设计, 尺⼨: 35*35*10.5 mm超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场超⾼负载 & 超⾼推⼒: 2500 g & 3 N闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 0.1 umwww.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesLinear35-x.HV⼆维尺⼨10 18 Tesla 磁场 0.1 umLinear35-x—*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，可选版本⇨.HV (默认).HV ⾼真空版本，默认产品.ULT 超低温版本.UHV 超⾼真空版本1三维尺⼨2质量适⽤环境范围3基础5可选2 - 2e-11 mbar材质6主体Pure Ti7线缆8针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）9针脚数量运动参数10⾏程11最⼤运动速度 @300 K12驱动电压13最⼤负载14最⼤推⼒传感器（闭环）15位置传感器16传感器⾏程17传感器分辨率18重复定位精度闭环控制)Linear35-x.HV

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B29返回目录型号Linear16-zLinear25-zLinear25-z-LR Linear35-z工作环境默认: 1.4 K ~ 400 K; 2e-7 mbar; 18 Tesla可选1 - .ULT, 最低工作温度30 mK;可选2 - .UHV, 最高真空环境2e-11 mbar;外形尺寸（mm）16×16×16254×254×19625×25×29.635×35×30行程（mm）36168最高负载（g）250300300500最高推力（N）3335位置传感电阻传感传感量程（mm）36168传感器分辨率（nm）~150传感器重复精度（µm）12驱动电压Max. 200 V微调分辨率亚纳米@2K最小步伐10nm@300K电学插针驱动2pins，传感3pins驱动2/4（adv）pins，传感3pins驱动2pins，传感3pins重量（g）123440118选型表Linearxx-z低温压电线性升降台特点：•紧凑设计,提供16×16mm25×25mm，35×35mm三种台面规格•超高真空 & 超低温兼容: 2e-11 mbar & 30 mK•无磁材料（纯 Ti & BeCu），最高兼容18 Tesla 磁场•超高负载 & 超高推力: 最高可到500g&5N•闭环控制，内置位置传感器，最小位置分辨率0.1µm命名规则注：主体材质- ULT和ULT.UHV版本为 BeCu，其余纯Ti；线缆材质磷铜双绞线，长20cm*注：针脚材质- UHV版本为Peek，BeCu，其余为玻璃纤维填充；台面尺寸：16：25mm*25mm25：35mm*35mm35：35mm*35mm环境版本NM：绝对无磁版本（max 18 tesla）HV高真空版本（2e7mbar）UHV超高真空版本（2e-1mbar）ULT超低温版本（30 mK）ULTUHV超高真空&超低温版本（2e1mbar &30 mK）Linear16-z.HV5: 16 × 16 mm × 16 mm超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场超⾼推⼒: 250 g & 3 N闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 0.1 umLinear16-z—技术参数*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧可选版本⇨.HV (默认).ULT.UHV.HV ⾼真空版本，默认产品;.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar1三维尺⼨16 × 16 mm 16 mm2质量12 g适⽤环境范围3基础温度范围: 1.4 ~ 400 K最低真空度: 2e-7 mbar最⼤磁场: 18 Tesla4可选1 - 30 mK✓5可选2 - 2e-11 mbar✓材质6主体Pure TiBeCuPure Ti7线缆磷⻘铜双绞线，20cm8针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek9针脚数量驱动 - 2 pins, 传感 - 3 pins运动参数10⾏程3 mm11最⼤运动速度 @300 K~ 2 mm/s12驱动电压Max. 200 V13最⼤负载250 g14最⼤推⼒3 N传感器（闭环）15位置传感器16传感器⾏程17传感器分辨率18重复定位精度www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesLinear16-z.HVwww.multi-Þeld.com MultiFields Technologies线性位移系列7www.multi-Þeld.com MultiFields Technologieswww.*所有数据均通过50欧姆线缆测量可选版本1三维尺⼨2质量适⽤环境范围3基础4可选1 - 30 mK5可选2 - 2e-11 mbar材质6主体7线缆8针脚材质9针脚数量运动参数10⾏程11最⼤运动速度 @300 K12驱动电压13最⼤负载18重复定位精度主要特征•紧凑设计, 尺⼨: 25*25*19.6 mm•超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场•超⾼负载 & 超⾼推⼒: 300 g & 3 N•⼤⾏程: 6 mm•闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 0.1 umLinear25-z.HV⼆维尺⼨www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies低温・压电运动主要特征•紧凑设计尺⼨: 35*35*30 mm•超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场•超⾼负载 & 超⾼推⼒: 500 g & 5 N•⼤⾏程: 8 mm•闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 0.1 um•通光孔径: 10 mm⾼负载和完美闭环控制的压电位移台Linear35-z⼆维尺⼨9主要特征•紧凑设计, 尺⼨: 25*25*29.6 mm•超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场•超⾼负载 & 超⾼推⼒: 300 g & 3 N•⼤⾏程: 16 mm•闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 0.1 umwww.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesLinear25-z-LR.HV⼆维尺⼨低温・压电运动

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B30返回目录Linear16-z.HVLinear25-z-LRLinear35-z尺寸图：5主要特点紧凑设计, 尺⼨: 16 × 16 mm × 16 mm超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场超⾼负载 & 超⾼推⼒: 250 g & 3 N⼤⾏程: 3 mm闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 0.1 umLinear16-z—技术参数*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。可选版本⇨.HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼真空版本，默认产品.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar1三维尺⼨16 × 16 mm × 16 mm2质量12 g适⽤环境范围3基础温度范围: 1.4 ~ 400 K最低真空度: 2e-7 mbar最⼤磁场: 18 Tesla4可选1 - 30 mK✓✓5可选2 - 2e-11 mbar✓✓材质6主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7线缆磷⻘铜双绞线，20cm8针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9针脚数量驱动 - 2 pins, 传感 - 3 pins运动参数10⾏程3 mm11最⼤运动速度 @300 K~ 2 mm/s12驱动电压Max. 200 V13最⼤负载250 g14最⼤推⼒3 N传感器（闭环）15位置传感器电阻传感16传感器⾏程3 mm17传感器分辨率~ 150 nm18重复定位精度1 - 2 umwww.multi-Þeld.com ｜ MultiFields TechnologiesLinear16-z.HV⼆维尺⼨www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies低温压电运动- 线性位移系列最⼩的线性位移台，⽀持闭环控制低温压电运动5•, : 16 × 16 mm × 16 mm•超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场•超⾼负载 & 超⾼推⼒: 250 g & 3 N•⼤⾏程: 3 mm•闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 0.1 um8针www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies⼆维尺⼨5磁场 0.1 um4可选1 - 30 mK5可选2 - 2e-11 mbar材质6主体7线缆8针脚材质聚酯材料（玻璃9针脚数量运动参数10⾏程11最⼤运动速度 @300 K12驱动电压13最⼤负载14最⼤推⼒传感器（闭环）15位置传感器16传感器⾏程17传感器分辨率18重复定位精度｜ MultiFields TechnologiesLinear16-z.HVwww.multi-Þeld.com Linear25-z.HVwww.multi-Þeld.com MultiFields Technologies低温・压电运动主要特征•紧凑设计尺⼨: 25*25*19.6 mm•超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场•超⾼负载 & 超⾼推⼒: 300 g & 3 N•⼤⾏程: 6 mm•闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 0.1 um低温 · 压电运动- 线性位移系列⾼负载和完美闭环控制的压电位移台Linear25-z.HV⼆维尺⼨www.multi-Þeld.com ｜ MultiField• & : 300 g & 3 N•⼤⾏程: 6 mm•闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 0.1 um⼆维尺⼨www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies主要特征•紧凑设计, 尺⼨: 25*25*19.6 mm•超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场•超⾼负载 & 超⾼推⼒: 300 g & 3 N•⼤⾏程: 6 mm•闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 0.1 um⼆维尺⼨10www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies低温压电运动主要特征•紧凑设计, 尺⼨: 35*35*30 mm•超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场•超⾼负载 & 超⾼推⼒: 500 g & 5 N•⼤⾏程: 8 mm•闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 0.1 um•通光孔径: 10 mm“35mm 系列” — Linear35-z (闭环控制)低温 · 压电运动- 线性位移系列⾼负载和完美闭环控制的压电位移台Linear35-z⼆维尺⼨www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies低温・压电运动主要特征•紧凑设计, 尺⼨: 35*35*30 mm•超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场•超⾼负载 & 超⾼推⼒: 500 g & 5 N•⼤⾏程: 8 mm•闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 0.1 um•通光孔径: 10 mm“35mm 系列” — Linear35-z (闭环控制)低温 · 压电运动- 线性位移系列⾼负载和完美闭环控制的压电位移台Linear35-z⼆维尺⼨低温・压电运动主要特征•紧凑设计, 尺⼨: 35*35*30 mm•超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场•超⾼负载 & 超⾼推⼒: 500 g & 5 N•⼤⾏程: 8 mm•闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 0.1 um•通光孔径: 10 mm“35mm 系列” — Linear35-z (闭环控制)低温 · 压电运动- 线性位移系列⾼负载和完美闭环控制的压电位移台⼆维尺⼨主要特征紧凑设计, 尺⼨: 25*25*29.6 mm超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场超⾼负载 & 超⾼推⼒: 300 g & 3 N⼤⾏程: 16 mm闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 0.1 umwww.multi-Þeld.com ｜ MultiFields TechnologiesLinear25-z-LR.HV⼆维尺⼨*所有数据均通过50欧姆线缆测量可选版本1三维尺⼨2质量适⽤环境范围3基础4可选1 - 30 mK5可选2 - 2e-11 mbar材质6主体7线缆8针脚材质9针脚数量运动参数10⾏程11最⼤运动速度 @300 K12驱动电压13最⼤负载14最⼤推⼒传感器（闭环）15位置传感器16传感器⾏程17传感器分辨率18重复定位精度Linear25-z-LR.HV9Linear25-z-LR—技术参数*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。可选版本⇨.HV (默认).ULT.UHV.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar1三维尺⼨25.× 25 mm × 29.6 mm2质量34 g适⽤环境范围3基础温度范围: 1.4 ~ 400 K最低真空度: 2e-7 mbar最⼤磁场: 18 Tesla4可选1 - 30 mK✓5可选2 - 2e-11 mbar✓材质6主体Pure TiBeCuPure Ti7线缆磷⻘铜双绞线，20cm8针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9针脚数量驱动 - 2 / 4 (adv) pins，传感 - 3 pins运动参数10⾏程16 mm11最⼤运动速度 @300 K~ 2 mm/s12驱动电压Max. 200 V13最⼤负载300 g14最⼤推⼒3 N传感器（闭环）15位置传感器电阻传感16传感器⾏程16 mm17传感器分辨率~ 150 nm18重复定位精度1 - 2 um主要特征•尺⼨: 25*25*29.6 mm• & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场• & 超⾼推⼒: 300 g & 3 N•: 16 mm•闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 0.1 umwww.multi-Þeld.com MultiFields Technologies“25mm 系列” — Linear25-z-LR (闭环控制)低温 · 压电运动线性位移系列⾼负载和完美闭环控制的压电位移台Linear25-z-LR.HV⼆维尺⼨www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B31返回目录型号Rotator16Rotator25Rotator25-opticRotator35工作环境默认: 1.4 K ~ 400 K; 2e-7 mbar; 18 Tesla可选1 - .ULT, 最低工作温度30 mK;可选2 - .UHV, 最高真空环境2e-11 mbar;外形尺寸（mm）Dia 16×15625×25×6530×23×14535×35×165行程（mm）360° endless最高负载（g）100250250500最大力矩（N·cm）0.41.51.525最高速率@300 K10°/s3°/s3°/s10°/s位置传感电阻传感传感量程270°320°320°传感器分辨率10 m°传感器重复精度50 m°驱动电压Max. 200 V微调分辨率@2K5µ°4µ°4µ°3µ°最小步伐@30005m°04m°04m°03m°电学插针驱动 - 2pins，传感 - 3pins重量（g）10 g24 g24 g45 g选型表Rotatorxx-(optic)低温压电旋转台特点：命名规则注：主体材质- ULT和ULT.UHV版本为 BeCu，其余纯Ti；线缆材质-磷铜双绞线，长20cm*注：针脚材质- UHV版本为Peek，BeCu，其余为玻璃纤维填充；•紧凑设计, 最小台面直径仅16mm•超高真空 & 超低温兼容: 2e-11 mbar & 30 mK•无磁材料（纯 Ti & BeCu），最高兼容18 Tesla 磁场•高负载&大力矩, 最高500g&25N·cm•大行程: 360° endless•闭环控制，内置位置传感器，最小位置分辨率10 m°台面尺寸：16台面直径16mm25：台面直径25mm35台面直径35mm环境版本：NM：绝对无磁版本（max 18 tesla）HV：高真空版本（2e7mbar）UHV：超高真空版本（2e-11mbar）ULT：超低温版本（30 mK）ULTUHV：超高真空&超低温版本（2e11mbar &30 mK）Rotator25-optic.HV版本NA：标准版optic：optic版14Rotator16—技术参数*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。可选版本⇨.HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼真空版本，默认产品;.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar三维尺⼨16.× 15.6 mm2质量10 g适⽤环境范围3基础温度范围: 1.4 ~ 400 K最低真空度: 2e-7 mbar最⼤磁场: 18 Tesla4可选1 - 30 mK✓✓5可选2 - 2e-11 mbar✓✓材质6主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7线缆磷⻘铜双绞线，20cm8针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9针脚数量驱动 -2 / 7 pins，传感 - 3 pins运动参数10⾏程360 ° endless11最⼤运动速度 @300 K~ 10 °/s12驱动电压Max. 200 V13最⼤负载100 g14最⼤扭矩0.4 Ncm传感器（闭环）15位置传感器电阻传感16传感器⾏程17传感器分辨率18重复定位精度www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies系列” — Rotator16 (闭环控制): Dia 16*15.6 mm超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场超⾼推⼒: 100 g & 0.4 Ncm: 360 ° endless闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 10 m°Rotator16.HV15*所有数据均通过1三维尺⼨2质量适⽤环境范围3基础4可选1 - 30 m5可选2 - 2e-1材质6主体7线缆8针脚材质9针脚数量运动参数10⾏程最⼤运动速度驱动电压最⼤负载最⼤扭矩传感器（闭环）位置传感器16传感器⾏程17传感器分辨率18重复定位精度主要特征•紧凑设计, 尺⼨: 25 × 25 mm × 14.5 mm•超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场•超⾼负载 & 超⾼推⼒: 250 g & 1.5 Ncm•⼤⾏程: 360 ° endless•闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 10 m°www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies完美闭环控制的旋转压电台Rotator25.HV⼆维尺⼨16主要特征•紧凑设计, 尺⼨ 30*23*14.5 mm•超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场•超⾼负载 & 超⾼推⼒: 250 g & 1.5 Ncm•⼤⾏程: 360 ° endless•闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 10 m°•中⼼孔径：Φ 6 mmwww.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesRotator25-optic.HV⼆维尺⼨低温・压电运动主要特征•紧凑设计, 尺⼨: 35*35*16.5 mm•超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场•超⾼负载 & 超⾼推⼒: 500 g & 2.5 Ncm•⼤⾏程: 360 ° endless•闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 10 m°www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesRotator35.HV⼆维尺⼨低温・压电运动

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B32返回目录Rotator16.HVRotator25-optic.HV尺寸图：Rotator25.HV14Rotator16—技术参数*所有数据均通过50欧姆线缆测量虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。可选版本⇨.HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼真空版本，默认产品;.ULT 超低温版本兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar1三维尺⼨16.× 15.6 mm2质量10 g适⽤环境范围3基础温度范围: 1.4 ~ 400 K最低真空度: 2e-7 mbar最⼤磁场: 18 Tesla4可选1 - 30 mK✓✓5可选2 - 2e-11 mbar✓✓材质6主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7线缆磷⻘铜双绞线，20cm8针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9针脚数量驱动 -2 / 7 pins，传感 - 3 pins运动参数10⾏程360 ° endless11最⼤运动速度 @300 K~ 10 °/s12驱动电压Max. 200 V13最⼤负载100 g14最⼤扭矩0.4 Ncm传感器（闭环）15位置传感器电阻传感16传感器⾏程270 °17传感器分辨率10 m°18重复定位精度~ 50 m°www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies低温 · 压电运动- 旋转系列最⼩的旋转压电台，可闭环控制主要特征紧凑设计尺⼨: Dia 16*15.6 mm超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场超⾼负载 & 超⾼推⼒: 100 g & 0.4 Ncm⼤⾏程: 360 ° endless闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 10 m°Rotator16.HV⼆维尺⼨www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies低温・压电运动146主体7线缆8针脚材质9针脚数量运动参数10⾏程11最⼤运动速度12驱动电压13最⼤负载14最⼤扭矩传感器（闭环）15位置传感器16传感器⾏程17传感器分辨率18重复定位精度www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies主要特征•紧凑设计, 尺⼨: Dia 16*15.6 mm•超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场•超⾼负载 & 超⾼推⼒: 100 g & 0.4 Ncm•⼤⾏程: 360 ° endless•闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 10 m°⼆维尺⼨14适⽤环境范围3基础温度范围最低真空度最⼤磁场4可选1 - 30 mK✓5可选2 - 2e-11 mbar材质6主体Pure TiBeCu7线缆磷⻘铜双绞线，8针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu9针脚数量驱动 -2 / 7 pins运动参数10⾏程360 ° endless11最⼤运动速度 @300 K12驱动电压Max. 200 V13最⼤负载14最⼤扭矩传感器（闭环）15位置传感器16传感器⾏程17传感器分辨率18重复定位精度Þeld.com ｜ MultiFields Technologies 18 Tesla 磁场 10 m°Rotator16.HVwww.multi-Þeld.com MultiFields Technologie主要特征•紧凑设计, 尺⼨: 25 × 25 mm × 14.5 mm•超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场•超⾼负载 & 超⾼推⼒: 250 g & 1.5 Ncm•⼤⾏程: 360 ° endless•闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 10 m°www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies完美闭环控制的旋转压电台Rotator25.HV⼆维尺⼨低温・压电运动••闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 10 m°www.multi-Þeld.com ｜⼆维尺⼨, 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场超⾼负载 & 超⾼推⼒: 250 g & 1.5 Ncm⼤⾏程: 360 ° endless闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 10 m°www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies⼆维尺⼨16主要特征紧凑设计, 尺⼨ 30*23*14.5 mm超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场超⾼负载 & 超⾼推⼒: 250 g & 1.5 Ncm⼤⾏程: 360 ° endless闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 10 m°中⼼孔径：Φ 6 mmRotator25-optic—技术参数*所有数据均通过50欧姆线缆测量虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。.HV ⾼真空版本，默认产品;.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar1三维尺⼨30 × 23 mm × 14.5 mm2质量24 g适⽤环境范围3基础温度范围: 1.4 ~ 400 K最低真空度: 2e-7 mbar最⼤磁场: 18 Tesla4可选1 - 30 mK✓5可选2 - 2e-11 mbar✓材质6主体Pure TiBeCuPure Ti7线缆磷⻘铜双绞线，20cm8针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9针脚数量驱动 -2 pins，传感 - 3 pins运动参数10⾏程360 ° endless11最⼤运动速度 @300 K~ 3 °/s12驱动电压Max. 200 V13最⼤负载250 g14最⼤⼒矩1.5 Ncm传感器（闭环）15位置传感器电阻传感16传感器⾏程320 °17传感器分辨率10 m°18重复定位精度~ 50 m°www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies“25mm 系列” — Rotator25-optic (闭环控制)低温压电运动- 旋转系列完美闭环控制的旋转压电台Rotator25-optic.HV⼆维尺⼨www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies低温压电运动紧凑设计, 尺⼨ 30*23*14.5 mm超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场超⾼负载 & 超⾼推⼒: 250 g & 1.5 Ncm⼤⾏程: 360 ° endless闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 10 m°中⼼孔径：Φ 6 mmwww.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesRotator25-optic.HV磁场 10 m°*所有数据均通过50欧姆线缆测1三维尺⼨2质量适⽤环境范围3基础4可选1 - 30 mK5可选2 - 2e-11 mbar材质6主体7线缆8针脚材质9针脚数量运动参数10⾏程11最⼤运动速度 @300 K12驱动电压13最⼤负载14最⼤⼒矩传感器（闭环）15位置传感器16传感器⾏程17传感器分辨率18重复定位精度Rotator25-optic.HVRotator35.HV主要特征•紧凑设计, 尺⼨: 35*35*16.5 mm•超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场•超⾼负载 & 超⾼推⼒: 500 g & 2.5 Ncm•⼤⾏程: 360 ° endless•闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 10 m°www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies“35mm 系列” — Rotator35 (闭环控制)低温 · 压电运动- 旋转系列完美闭环控制的旋转压电台Rotator35.HV⼆维尺⼨低温・压电运动主要特征•紧凑设计, 尺⼨: 35*35*16.5 mm•超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场•超⾼负载 & 超⾼推⼒: 500 g & 2.5 Ncm•⼤⾏程: 360 ° endless•闭环控制，内置位置传感器，www.multi-Þeld.com MultiField⼆维尺⼨低温・压电运动主要特征•紧凑设计, 尺⼨: 35*35*16.5 mm•超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场•超⾼负载 & 超⾼推⼒: 500 g & 2.5 Ncm•⼤⾏程: 360 ° endless•闭环控制，内置位置传感器，最⼩位置分辨率 10 m°- Rotator35.HV⼆维尺⼨

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B33返回目录型号Goniometer25-thetaGoniometer25-phiGoniometer35-thetaGoniometer35-phi工作环境默认: 14 K ~ 400 K; 2e-7 mbar; 18 Tesla可选1 - .ULT, 最低工作温度30 mK;可选2 - .UHV, 最高真空环境2e-11 mbar;尺寸（mm）25×25×12.525×25×12.535×35×1635×35×16旋转中心与工作面距离（mm）4153.55066行程6.6°6°12°10°最大负载（g）200200500500最大推力（N）222233传感器电阻传感传感器行程6.6°6°12°10°分辨率02 m°0.5 m°驱动电压Max. 200 V微调分辨率@2K05µ°最小步伐@30050m°电子插针驱动-2pins，传感-3pins重量（g）20207070选型表Goniometerxx-theta/phi低温压电摆动台特点：命名规则注：主体材质- ULT和ULT.UHV 版本为 BeCu，其余纯Ti；线缆材质磷铜双绞线，长20cm；针脚材质- UHV版本为PeekBeCu，其余为玻璃纤维填充；台面尺寸25：台面尺寸25*25mm35：台面尺寸35*35mm环境版本：NM绝对无磁版本（max 18 tesla）HV：高真空版本（2e7mbar）UHV：超高真空版本（2e11mbar）ULT：超低温版本（30 mK）ULTUHV：超高真空&超低温版本（2e-11mbar &30 mK）版本theta：theta轴phi：phi轴Goniometer25-theta.UHV•紧凑的设计，最小台面尺寸仅25×25mm•超高真空 & 极低温兼容: 2e-11 mbar & 30 mK•无磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•高负载 max500 g•大行程: max12°•闭环控制，位置传感分辨率最高可达到0.2m°19www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesGoniometer25-theta.HV: 25*25*12.5 mm: 2 E-11 mbar & 30 mK组成，兼容18 Tesla磁场: 200 g & 41 mm 0.2 m°www.multi-Þeld.com MultiFields Tech*多场科技低温压电位移台对导线电阻原则上⽆要求（建议低于50欧姆）可选版本⇨.HV (默认).ULT.HV 版本, 默认产品.ULT 版本, He3或稀释低温系统中.UHV 版本, 兼容2E-11 mbar1尺⼨25 × 25 m2重量2⼯作环境3基础温度范围真空: 2最⼤磁场4可选1 - 30 mK✓5可选2 - 2e-11 mbar材料6主体纯Ti铍铜7线缆磷铜双绞8插针材料Polyster (glass Þber lled), BeCu9插针数⽬Drive - 2 pins运动参数10⾏程~ 11最⼤速度 @300 K~ 12驱动电压Max13最⼤负载2014最⼤推⼒215旋转中⼼与⼯作⾯距离41传感器 (闭环16位置传感器电阻17传感器⾏程618传感器分辨率0.20www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesGoniometer25-phi.HV特点紧凑的设计，外形尺⼨: 25*25*12.5 mm超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 200 g & 53.5 mm⼤⾏程: 6 °闭环控制，位置传感达到分辨率 0.2 m°1尺⼨2重量⼯作环境3基础4可选1 - 305可选2 - 2e材料6主体7线缆8插针材料9插针数⽬运动参数10⾏程11最⼤速度 @驱动电压最⼤负载最⼤推⼒旋转中⼼与传感器 (闭环)16位置传感器17传感器⾏程18传感器分辨www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesGoniometer35-theta.HV特点•紧凑的设计，外形尺⼨: 35*35*16 mm•超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 500 g & 50 mm•⼤⾏程: 12 °•闭环控制，位置传感达到分辨率 0.5 m°尺⼨图低温・压电运动www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesGoniometer特点•紧凑的设计，外形尺⼨: 35*35*16 mm•超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 500 g & 66 mm•⼤⾏程: 10 °•闭环控制，位置传感达到分辨率尺⼨图低温・压电运动

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B34返回目录Goniometer25-theta.HVGoniometer35-theta.HV尺寸图：Goniometer25-phi.HVRotator35-phi.HV19www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies闭环控制摇摆台Goniometer25-theta.HV紧凑的设计，外形尺⼨: 25*25*12.5 mm超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 200 g & 41 mm: 6.6 °闭环控制，位置传感达到分辨率 0.2 m°www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies*多场科技低温压电位移台对导线电阻原则上⽆要求（建议低于50欧姆）可选版本⇨.HV (默认).ULT.HV 版本, 默认产品.ULT 版本, He3或稀释低温系统中使⽤.UHV 版本, 兼容2E-11 mbar1尺⼨25 × 25 mm × 12.5 mm2重量20 g⼯作环境3基础温度范围: 1.4 ~ 400 K真空: 2e-7 mbar最⼤磁场: 18 Tesla4可选1 - 30 mK✓5可选2 - 2e-11 mbar材料6主体纯Ti铍铜7线缆磷铜双绞线8插针材料Polyster (glass Þber Þlled), BeCu9插针数⽬Drive - 2 pins, Sensor - 3 pins运动参数10⾏程~ 6.6 °11最⼤速度 @300 K~ 1 °/s12驱动电压Max. 200 V13最⼤负载200 g14最⼤推⼒2.2 N15旋转中⼼与⼯作⾯距离41 mm传感器 (闭环16位置传感器电阻传感器17传感器⾏程6.6 °18传感器分辨率0.2 m°www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies•⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 200 g & 41 mm•⼤⾏程: 6.6 °•闭环控制，位置传感达到分辨率 0.2 m°尺⼨图19 MultiFields Technologies材料6主体7线缆8插针材料9插针数⽬运动参数10⾏程11最⼤速度 @300 K12驱动电压13最⼤负载14最⼤推⼒15旋转中⼼与⼯作⾯距离传感器 (闭环)16位置传感器17传感器⾏程18传感器分辨率www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesGoniometer25-phi.HV特点•紧凑的设计，外形尺⼨: 25*25*12.5 mm•超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 200 g & 53.5 mm•⼤⾏程: 6 °•闭环控制，位置传感达到分辨率 0.2 m°尺⼨图低温压电运动www.multi-Þeld.com MultiFields T•⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 200 g & 53.5 mm•⼤⾏程: 6 °•闭环控制，位置传感达到分辨率 0.2 m°尺⼨图www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies特点•紧凑的设计，外形尺⼨: 25*25*12.5 mm•超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 200 g & 53.5 mm•⼤⾏程: 6 °•闭环控制，位置传感达到分辨率 0.2 m°尺⼨图21www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies系列” — Goniometer35-theta (闭环) · 压电运动摇摆台系列Goniometer35-theta.HV特点•紧凑的设计，外形尺⼨: 35*35*16 mm•超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•⾼负载旋转中⼼与⼯作⾯距离: 500 g & 50 mm•⼤⾏程: 12 °•闭环控制，位置传感达到分辨率 0.5 m°尺⼨图www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiGoniometer35-theta—*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上⽆要求（建议低于可选版本⇨.HV (默认).HV 版本默认产品;.UHV 版本, 兼容2E-11 mbar1尺⼨35 2重量⼯作环境3基础温度范围4可选1 - 30 mK5可选2 - 2e-11 mbar材料6主体纯Ti7线缆8插针材料Polyster (glass Þber Þlled), BeCu9插针数⽬Drive - 2 pins, Sensor运动参数10⾏程11最⼤速度 @300 K12驱动电压13最⼤负载14最⼤推⼒15旋转中⼼与⼯作⾯距离传感器 (闭环)16位置传感器17传感器⾏程18传感器分辨率www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields TechnologiesGoniometer35-theta.HV特点•紧凑的设计，外形尺⼨: 35*35*16 mm•超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 500 g & 50 mm•⼤⾏程: 12 °•闭环控制，位置传感达到分辨率 0.5 m°尺⼨图Goniometer35-theta.HV*多场科技低温压电位移台1尺⼨2重量⼯作环境3基础4可选1 - 30 mK5可选2 - 2e-11 mbar材料6主体7线缆8插针材料9插针数⽬运动参数10⾏程11最⼤速度 @300 K12驱动电压13最⼤负载14最⼤推⼒15旋转中⼼与⼯作⾯距离传感器 (闭环)16位置传感器17传感器⾏程18传感器分辨率www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies“35mm 系列” — Goniometer35-phi (闭环)低温 · 压电运动- 摇摆台系列闭环控制摇摆台Goniometer35-phi.HV特点•紧凑的设计，外形尺⼨: 35*35*16 mm•超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 500 g & 66 mm•⼤⾏程: 10 °•闭环控制，位置传感达到分辨率 0.5 m°尺⼨图低温・压电运动www.multi-Þeld.com 特点•紧凑的设计，外形尺⼨: 35*35*16 mm•超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 500 g & 66 mm•⼤⾏程: 10 °闭环控制，位置传感达到分辨率尺⼨图低温・压电运动Goniometer35-phi.HV特点•紧凑的设计，外形尺⼨: 35*35*16 mm•超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 500 g & 66 mm•⼤⾏程: 10 °•闭环控制，位置传感达到分辨率 0.5 m°尺⼨图

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B35返回目录型号Scanner16-xyScanner16-zScanner25-xyScanner25-zScanner35-xyScanner35-z工作环境默认: 14 K ~ 400 K; 2e-7 mbar; 18 Tesla可选1 - .ULT, 最低工作温度30 mK;可选2 - .UHV, 最高真空环境2e-11 mbar尺寸（mm）16×16×716×16×625×25×1025×25×8.535×35×14.535×35×14.5行程（µm）30×303055×5555100×100100最大负载（g）100100200200500500线性度误差Typical~01%可重复性< 10 nm驱动电压Max. 75 V @300K；Max. 180 V @4K分辨率（nm）0.50.50.80.80.50.5电子插针4 pins2 pins4 pins2 pins4 pins2 pins主体默认: 纯钛; ULT: 铍铜重量（g）8723206060选型表Scannerxx-xy/z低温压电扫描台特点：命名规则注：主体材质- ULT和ULT.UHV 版本为 BeCu，其余纯Ti；线缆材质磷铜双绞线，长20cm；针脚材质- UHV版本为PeekBeCu，其余为玻璃纤维填充；•台面尺寸最小仅16×16mm•超高真空 & 极低温兼容: 2e-11 mbar & 30 mK•无磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•高负载: 最高可到500g•空间扫描达到08nm 分辨率台面尺寸：16：台面16*16mm25：台面25*25mm35：台面35*35mm环境版本：NM绝对无磁版本（max 18 tesla）HV：高真空版本（2e-7mbar）UHV超高真空版本（2e1mbar）ULT超低温版本（30 mK）ULT.UHV超高真空&超低温版本（2e1mbar &30 mK）维度xy：xy轴z：z轴Scanner25-xy.UHV24www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesScanner16-xy.HV: 16*16*7 mm: 2 E-11 mbar & 30 mK组成，兼容18 Tesla磁场www.multi-eld.com可选版本⇨.HV (de.HV 版本, .ULT 版本,.UHV 版本1尺⼨2重量⼯作环境3基础4可选1 - 30 mK5可选2 - 2e-11 mbar材料6主体纯T7线缆8插针材料Polyster (g9插针数⽬运动参数10扫描维度16线性度误差17可重复性25www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesScanner16-z.HV紧凑的设计，外形尺⼨: 16*16*6 mm超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场⾼负载: 100 g@300 K: 30 um 0.5 nm 分辨率www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields TechnologiesScanner25-xy.HV特点•紧凑的设计，外形尺⼨: 25*25*10 mm•超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•⾼负载: 200 g•⾏程@300 K: 55*55 um•空间扫描达到 0.8 nm 分辨率尺⼨图低温・压电运动www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields TechnologiesScanner25-z.HV特点•紧凑的设计，外形尺⼨: 25*25*8.5 mm•超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•⾼负载: 200 g•⾏程@300 K: 55 um•空间扫描达到 0.8 nm 分辨率尺⼨图低温・压电运动

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B36返回目录Scanner16-xy.HVScanner25-xy.HV尺寸图：Scanner16-z.HVScanner25-z.HV24www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesScanner16-xy.HV特点•紧凑的设计，外形尺⼨: 16*16*7 mm•超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•⾼负载: 100 g•⾏程@300 K: 30*30 um•空间扫描达到 0.8 nm 分辨率尺⼨图www.multi-Þeld.com MultiFields Techn*多场科技低温压电位移台对导线电阻原则上⽆要求（建议低于50欧姆）可选版本⇨.HV (default).HV 版本, 默认产品.ULT 版本, He3或稀释低温系统中使.UHV 版本, 兼容2E-11 mbar1尺⼨2重量⼯作环境3基础4可选1 - 30 mK5可选2 - 2e-11 mbar材料6主体纯Ti7线缆8插针材料Polyster (glass Þber 9插针数⽬运动参数10扫描维度11⾏程@300 K12驱动电压13最⼤负载14电容@300 K15分辨率16线性度误差17可重复性24www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies•紧凑的设计，外形尺⼨: 16*16*7 mm•超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•⾼负载: 100 g•⾏程@300 K: 30*30 um•空间扫描达到 0.8 nm 分辨率尺⼨图7线缆8插针材料9插针数⽬运动参数10扫描维度11⾏程@300 K12驱动电压13最⼤负载14电容@300 K15分辨率16线性度误差17可重复性 MultiFields TechnologiesScanner16-xy.HVwww.multi-Þeld.com MultiFields Technolo3基础真空: 2e-7 m最⼤磁场4可选1 - 30 mK5可选2 - 2e-11 mbar材料6主体纯Ti铍铜7线缆磷铜双绞线8插针材料Polyster (glass Þber Þlled), BeCu9插针数⽬每个扫描维度运动参数10扫描维度11⾏程@300 K12驱动电压Max. 75 V @13最⼤负载14电容@300 K15分辨率16线性度误差17可重复性www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesScanner16-z.HV特点•紧凑的设计，外形尺⼨: 16*16*6 mm•超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•⾼负载: 100 g•⾏程@300 K: 30 um•空间扫描达到 0.5 nm 分辨率尺⼨图低温・压电运动www.multi-Þeld.com MultiField•⾼负载: 100 g•⾏程@300 K: 30 um•空间扫描达到 0.5 nm 分辨率尺⼨图www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies特点•紧凑的设计，外形尺⼨: 16*16*6 mm•超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•⾼负载: 100 g•⾏程@300 K: 30 um•空间扫描达到 0.5 nm 分辨率尺⼨图系列” — Scanner25-xy · 压电运动扫描台系列Scanner25-xy.HV特点•紧凑的设计，外形尺⼨: 25*25*10 mm•超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•⾼负载: 200 g•⾏程@300 K: 55*55 um•空间扫描达到 0.8 nm 分辨率尺⼨图Scanner25*多场科技低温压电位移台对导线电阻原则上⽆要求可选版本⇨1尺⼨2重量⼯作环境3基础4可选1 - 30 mK5可选2 - 2e-11 mbar材料6主体7线缆8插针材料9插针数⽬运动参数10扫描维度11⾏程@300 K12驱动电压13最⼤负载14电容@300 K15分辨率16线性度误差17可重复性26www.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesScanner25-xy.HV特点•紧凑的设计，外形尺⼨: 25*25*10 mm•超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•⾼负载: 200 g•⾏程•空间扫描达到 0.8 nm 分辨率尺⼨图26Scanner25-xy.HVScanner25-xy—技*多场科技低温压电位移台对导线电阻原则上⽆要求（建议低于可选版本⇨.HV (default).HV 版本, 默认产品.ULT 版本, He3.UHV 版本, 兼容1尺⼨2重量⼯作环境3基础4可选1 - 30 mK5可选2 - 2e-11 mbar6主体纯Ti7线缆8插针材料Polyster (glass 9插针数⽬运动参数10扫描维度11⾏程@300 K12驱动电压13最⼤负载14电容@300 K15分辨率16线性度误差17可重复性wwwmultiÞeldcom｜MultiFieldsTechnologies“25 mm 系列” — Scanner25-z低温 · 压电运动- 扫描台系列⾼负载扫描台Scanner25-z.HV特点•紧凑的设计，外形尺⼨: 25*25*8.5 mm•超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•⾼负载: 200 g•⾏程@300 K: 55 um•空间扫描达到 0.8 nm 分辨率尺⼨图低温・压电运动www.multi-Þeld.com MultiFields Te特点•紧凑的设计，外形尺⼨: 25*25*8.5 mm•超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•⾼负载: 200 g•⾏程@300 K: 55 um•空间扫描达到 0.8 nm 分辨率尺⼨图低温・压电运动“25 mm 系列” — Scanner25-z低温 · 压电运动- 扫描台系列⾼负载扫描台Scanner25-z.HV特点•紧凑的设计，外形尺⼨: 25*25*8.5 mm•超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•⾼负载: 200 g•⾏程@300 K: 55 um•空间扫描达到 0.8 nm 分辨率尺⼨图低温・电运动

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B37返回目录Scanner55-xy.HVScanner55-z.HVwww.multi-Þeld.com MultiFields TechnologiesScanner55-xy.HV紧凑的设计，外形尺⼨: 55*55*15 mm极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mKTi & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场: 500 g@300 K: 120*120 um空间扫描达到 2 nm 分辨率eld.com , .ULT 版本, He.UHV 版本, 兼1尺⼨2重量⼯作环境3基础4可选1 - 30 mK5可选2 - 2e-11 mbar材料6主体纯Ti7线缆8插针材料Polyster (glas9插针数⽬运动参数10扫描维度11⾏程@300 K12驱动电压13最⼤负载14电容@300 Kwww.multi-Þeld.com MultiFields Technologies⾏程@300 K: 120*120 um空间扫描达到 2 nm 分辨率尺⼨图 MultiFields Technologieswww材料6主体7线缆8插针材料9插针数⽬运动参数10扫描维度11⾏程@300 K12驱动电压13最⼤负载14电容@300 K15分辨率16线性度误差Scanner55-z.HV紧凑的设计，外形尺⼨: 55*55*16.5 mm极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mKTi & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场@300 K: 120 um 2 nm 分辨率低温・压电运动 MultiFields•⾼负载: 500 g•⾏程@300 K: 120 um•空间扫描达到 2 nm 分辨率尺⼨图29www.multi-Þeld.com MultiFields Technologies特点•紧凑的设计，外形尺⼨: 55*55*16.5 mm•超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK•⽆磁材料纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场•⾼负载: 500 g•⾏程@300 K: 120 um•空间扫描达到 2 nm 分辨率尺⼨图

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B38返回目录电动滑台也称为电动位移台，或简称为电移台、滑台、模组等，因其精度高、速度快、承载大、行程长等特点，而被广泛应用于科研、激光应用、全自动计量检测仪器设备、工业自动化等领域，以及实现真空、污染、无菌、辐射等环境下的自动位移控制。常见的电动滑台系统通常由三部分组成 ：电动滑台、电机驱动器、控制器。电机驱动器及控制器主要决定驱动扭矩、加减速度、信号处理、使用功能（如扫描、圆弧插补）等性能参数，随着电机控制技术的提升，除了电动滑台机械部件以外，电机驱动器和控制器也从很大程度上影响电动滑台的振动、噪音及电动滑台的定位精度。而电动滑台作为整个系统的核心，系统的主要技术指标如 ：位移精度、行程、直线度、负载、稳定性、使用环境、外形尺寸等均由其决定。由于电动滑台系统相对比较复杂，往往涉及到机械设计、电子技术、控制水平、加工能力、装配工艺等各个方面，所以电动滑台产品虽然被广泛应用，但是目前电动滑台的各项指标在国内也被深度混淆和误解，其中最重要也是最容易混淆的技术指标就是电动滑台的精度。先通过一个例子，测试一下您对精度的理解，如果您的答案是正确的，通常可以选到一款合适的电动滑台产品，若您的答案是错误的或回答不出来，那么请您在选择电动滑台时，仔细阅读本综合说明的内容。例：我们希望CXP系列电动滑台向前运动10.000mm，已知电动滑台的丝杠导程是1mm，电机的步距角1.8°，脉冲的细分数为8，那么：1.需要给电机多少个脉冲？答案 ：16000个脉冲。2.给了电机16000个脉冲（开环状况下），电动滑台是不是走了10.000mm？答案 ：不一定。开环情况下，运动方向的误差包括很多方面，我们分析可能的误差包括 ：控制部分是否将16000个脉冲全部发出？——控制器误差若控制器将16000个脉冲全部发出了，电机是否能全部响应？——电机响应误差若电机响应了每一个脉冲，但每一个脉冲，电机都走得精准吗？——电机精度误差若电机每一步走得都很准，联轴器形变时可能 “吃掉” 一些旋转量——联轴器误差螺杆开始旋转，螺杆和螺套中的滚珠可能有间隙——螺杆的空回若螺杆没有空回，螺杆的导程为1mm，螺杆需要转10圈，螺杆可能有位置偏差——螺杆的精度所以，电动滑台的误差可能来源于各个环节，想提高电动滑台的轴向精度，可以考虑采用闭环的方式。3.当我们采用分辨率为1μm的光栅尺做闭环控制，给电动滑台16000个脉冲后，光栅尺的读数为10.000mm，那么电动滑台确实运行了10.000mm吗？答案：不一定。虽然有光栅尺做闭环控制，但实际上仍然可能存在误差，此时的误差主要来自几个方面：一是光栅尺本身的精度误差；二是光栅尺和运动方向不严格平行时，引起的读数误差（余弦误差）。另外，还有反馈部分的控制精度等引起的误差。4.假如在第三种情况下（分辨率1μm的光栅尺做闭环），该CXP电动滑台每次向前走10mm时，轴向方向的误差确实小于1μm（比如：我们用激光干涉仪测定），我们能说该电动滑台的“精度”为1μm吗？答案 ：不能。精度的概念很复杂，不能简单量化 ：上述情况下，只表征了运动方向（轴向）的精度，非轴向的误差还有5个分量，未进行表征。上述情况应该表述为：该款CXP电动滑台，在某种特定测试条件下，它正方向（向前）的 “单向定位精度” 为1µm，而不是 “精度”。通过上面的例子我们可以看出，电动滑台的精度，涉及到方方面面，不能简单地用 “精度” 这个指标来衡量。反过来说，您若看到某厂家的电动滑台所称轴向精度很高，但又未标称非轴向误差（平直度、直线度、俯仰、偏摆、转动等）的指标时，请特别注意，有可能存在误导。电动滑台包括电动直线滑台、电动升降滑台、电动旋转滑台、电动摆动滑台、对位平台等多种形式，每一种形式都各有特点，卓立汉光可以提供国内精度高、品质好、种类全的电动滑台产品。电动滑台电动滑台综合介绍

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B39返回目录卓立汉光电动滑台产品分类表：uKSA系列电动滑台CXP及CXPF系列KA系列TSAxxC系列LA系列PSAV系列TBZF系列TBR及TBRF系列TBRK系列SIN系列PSAG系列TBG系列GON系列XYR系列XY系列尺寸驱动机构导向机构特点中、大尺寸滚珠丝杠交叉滚柱导轨超高精度、闭环、高承载小尺寸小导程滚珠丝杠交叉滚柱导轨高精度、微步能力强中、大尺寸滚珠丝杠线性滑块导轨高精度、闭环、高承载小、中尺寸滚珠丝杠线性滑块导轨标准精度、高速中、大尺寸研磨丝杠线性滑块导轨标准精度、自锁大尺寸蜗轮直线推杆直线轴承导轨标准精度、大行程、高承载小尺寸滚珠丝杠弧形交叉滚柱导轨高精度、正弦机构小尺寸蜗轮蜗杆弧形V型弧形导轨高精度、高刚性、高耐用性中、大尺寸蜗轮蜗杆弧形V型弧形导轨高刚性、高承载中、大尺寸滚珠丝杠交叉滚柱导轨XY整体二维、高精度小、中、大尺寸滚珠丝杠交叉滚柱导轨XYR三轴并联、高精度中、大尺寸蜗轮蜗杆交叉滚柱轴环超高精度、高刚性、高承载小、中尺寸蜗轮蜗杆交叉滚珠轴环高精度、高刚性、高耐用性小尺寸滚珠丝杠线性滑块导轨高精度、正弦机构、小角度小尺寸研磨丝杠交叉滚柱导轨自锁、可做Z轴PA系列中、大尺寸滚珠丝杠线性滑块导轨高精度、高承载TSAxxB系列小、中尺寸滚珠丝杠线性滑块导轨标准结构、标准精度KAZ系列中、大尺寸滚珠丝杠线性滑块导轨高精度、大行程、闭环PAZ系列中、大尺寸滚珠丝杠线性滑块导轨高精度、大行程电动升降滑台电动直线滑台电动旋转滑台电动摆动滑台电动对位平台LAK系列小尺寸滚珠丝杠线性滑块导轨超高精度uFS系列小尺寸滚珠丝杠线性滑块导轨超高精度、微步能力强TBRU系列中、大尺寸蜗轮蜗杆交叉滚柱轴环高精度、高重复性、高承载六轴并联HXP系列精密电动推杆绝对编码器高刚性、高精度QF系列直线电机气浮导轨超高精度高刚性、高精度气浮直线电机滑台CXZ系列高精度、耐用、高直线度交叉滚柱导轨或线性滑块导轨小、中尺寸滚珠丝杠CZF系列高精度、耐用交叉滚柱导轨小、中尺寸滚珠丝杠或线性滑块导轨

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B40返回目录由于实际工况不同，电动直线滑台存在多种形式，卓立汉光的电动直线滑台，按驱动方式不同，分为 ：直线电机滑台、丝杠导轨式滑台两种。其中丝杠导轨式滑台，又根据尺寸、行程、导向机构（导轨）等不同，分为若干系列。直线电机滑台（Linear Motor Stages）直线电机滑台是采用直线电机驱动，线性滑块导轨导向，使用闭环装置（通常为光栅尺）进行位置控制的一种高精度、高速度、高载荷能力的电动直线滑台。由于直线电机滑台无其它传动机构（如丝杠、同步带等），也不需要联轴器、轴承等连接部件，属于非接触式运动，不存在丝杠磨损的问题。直线电机滑台基本无摩擦噪音、运动也比较平稳、维护成本较低，再加上具有高刚性、高定位精度等特点，近年来，直线电机越来越多地应用于高端工业和科研领域。卓立汉光一直致力于直线电机滑台的研究，结合卓立汉光多年来在提升运动精度方面的积累和经验，配合我们在业界领先的加工、装配、检测技术，我们可以为您提供高品质、全方位的直线电机滑台解决方案。如果您对我们的直线电机滑台感兴趣，请您联系我司销售人员。丝杠导轨式滑台（Screw and Guide Stages）丝杠导轨式滑台通常包括：丝杠、导轨、底座、台面、电机、联轴器等部件（见图1）。影响电动滑台机械性能的主要因素有 ：丝杠、导轨、机体材质、加工质量和装配工艺等，接下来我们对部分重要部件进行介绍。图1. 卓立汉光CXP电动滑台结构图丝杠（Screw）丝杠（或称螺杆、丝杆）的主要作用是将电机的旋转运动，转化为直线方向的运动。丝杠分为很多种，常见的包括：滚珠丝杠、研磨丝杠、梯形丝杠等。滚珠丝杠（Ball Screw）丝杠与螺母之间通过钢珠形成滚动摩擦，滚珠丝杠具有传动效率高、传动灵敏、平稳、定位精度高、精度保持性好、传动刚度高、同步性能好等特点，目前被广泛应用在卓立汉光及国外同类厂家的电动滑台产品中，参照图2。滚珠丝杠的精度等级的划分，各个国家略有不同 ：国家标准GB（P、T），日本JIS（JIS B1192-1997）标准、德国DIN标准（DIN960513）、国际ISO标准（ISO34082：1991）等，其主要项目允差大致接近，部分项目有所区别。中国国家标准（GB/T175871/2/3-1998）中，将滚珠丝杠分为：1、2、3、4、5、7、10级等七个等级，1级精度最高，依次递减。滚珠丝杠的精度，涉及到很多方面，实际应用中，为了简单起见，我们通常用 “任意300mm行程内行程变动量V300p” 或者 “2π弧度内行程变动量V2πp” 来标称丝杠的精度，由于卓立汉光大量使用进口滚珠丝杠，也列出进口丝杠的精度对照表，详细内容可参见表1。滚珠丝杠的精度对电动滑台的轴向精度（或称运动方向精度，但也有人直接简称为精度）起到决定性作用。电动滑台的轴向精度通常不会优于滚珠丝杠标称的精度。若您遇到采用低等级丝杠，但电动滑台标称精度很高时，请您务必注意！电动直线滑台（Motorized Linear Satge）a.滚珠丝杠及螺母外观图图2. 滚珠丝杠b.滚珠丝杠内部结构图表1. 滚珠丝杠精度等级对照表说明标准符号精度等级(国标)12345710任意300mm行程内行程变动量(µm)GBV300p68121623522102π弧度内行程变动量(µm)V2πp45678--说明标准符号精度等级(进口)0135710见上述国标说明ISO,DINV300p3.56122352210V2πp3468JISC0C1C2C3C5C7C10V300355781850210V2π2.54568--部分台企C0C1C2C3C4C5C6C7C8C10V300p3.556812182350100210V2πp3446888

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B41返回目录研磨丝杠（Grinding Screw）丝杠与螺母之间为滑动摩擦（如图3a），相比于滚珠丝杠，研磨丝杠的摩擦力较大、效率较低，但研磨丝杠容易做到小尺寸、小导程，而且研磨丝杠通常带自锁，适用于制作尺寸较小、分辨率较高或竖直方向使用的电动滑台。卓立汉光电动滑台使用的研磨丝杠导程通常为0.5、1或2mm，详情请参照TSAxx-C系列产品的技术指标。梯形丝杠（Acme Thread Screw）螺纹牙形为梯形的丝杠称为梯形丝杠（如图3b），梯形丝杠同研磨丝杠类似，也属于滑动摩擦，梯形丝杠在滚珠丝杠普及之前曾被广泛应用，梯形丝杠的抗压、抗拉能力较强，而且梯形结构螺纹的自锁性能特别优越，现在常用于需要大负载的减速升降机构中（如图3c），但同滚珠丝杠相比，梯形丝杠的传动效率低、间隙较大、精度不高，所以在卓立汉光的精密型电动滑台中使用较少。梯形丝杠的精度也有所不同，国内分为7个等级,即3级、4级、5级、6级、7级、8级、9级,3级精度最高, 依次递减。若按照加工方式通常分为滚轧梯形丝杠、切削梯形丝杠、研磨梯形丝杠，300mm长度的上述三种梯形丝杠，大致的精度误差为 ：03mm、01mm、003mm左右。导轨（Guides）导轨作为直线滑台的导向机构，对于直线滑台的运动性能，有着非常大的影响。我们知道，基于笛卡尔直角坐标系内的任意刚体有六个自由度 ：三个平动自由度（x，y，z）和三个转动自由度（θx，θy，θz）。电动滑台走得 “准” 和 “直”，除了要控制好轴向（或称x方向、沿运动方向）的误差外，还需要严格控制非轴向的误差，导轨在控制轴向及非轴向误差方面起着非常重要的作用。导轨的结构也分为很多种，在电动直线滑台中，较常见的有 ：线性滑块导轨（也称直线导轨或滚珠直线导轨副，俗称方导轨）、直线轴承导轨（俗称圆导轨）、交叉滚柱（也称交叉滚子）导轨和燕尾副导轨。各种导轨的分类和对照表，请参照表2。卓立汉光的电动直线滑台使用多种形式的导轨，一般来说，小尺寸或精度较高的电动滑台（如：CXP系列）主要采用交叉滚柱导轨；中、大尺寸负载较大的电动滑台（如：PA系列）主要采用线性滑块导轨；直线轴承导轨主要应用在中、小尺寸（200mm行程以内）、轻负载（行程越大，负载能力越低）的电动滑台中 ；而采用燕尾副导轨的电动滑台，因其运动精度太低，卓立汉光已经不再生产，敬请注意。a. 研磨丝杠b. 梯形丝杠c. 采用梯形丝杠的减速升降机图3. 研磨丝杠及梯形丝杠表2. 导轨分类对照表线性滑块直线轴承交叉滚柱燕尾副摩擦系数小(0.003～0005)小(0.002)小(0.003)大(0.25～0.35)刚性高中高高负载能力高中高高行程大中中大精度高中高低价格较高中高低用途各类精密定位小行程、轻负载普通定位小行程、高负载精密定位粗定位卓立汉光严格依照ISO90012015国际质量管理体系的要求，在电动滑台的设计及滚珠丝杠等配件的使用上严格把关，并采用进口高精度激光干涉仪、三坐标测量仪等，对来料和成品进行检验。确保每台精密型电动滑台，均满足国家标准或企业标准（部分优于国家标准）！另外，滚珠丝杠的导程除了影响电动滑台的速度外，还对电动滑台的微步能力、分辨率等指标有着直接的影响。卓立汉光的小尺寸电动滑台通常采用1、2mm导程的滚珠丝杠，中、大尺寸的电动滑台通常采用4～10mm导程的滚珠丝杠，若您需要更大或更小丝杠导程的电动滑台，请您联系我们。

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B42返回目录线性滑块导轨（Linear Guides）线性滑块导轨由作为导向的固定元件（导轨）、移动元件（滑块）以及保证滑块运动的滚珠等部分组成（如图4）。线性滑块导轨的精度，目前各个厂家标称略有差别，但参照国内机械行业标准（JB/T71751/22006）、国标（GB-T 4020-1997）及国际标准（ISO1708：1989）通常分为2、3、4、5这四个等级。一般是通过测量 ：滑块上面与导轨基准底面的平行度以及滑块基准侧立面与同侧的导轨基准侧立面的平行度来确定导轨精度，精度等级对照表请参看表3。卓立汉光主要采用进口线性滑块导轨，在表4中列出部分进口的线性滑块导轨精度等级划分，供您参考 ：卓立汉光使用线性滑块导轨的电动直线滑台，通常采用双导轨、四滑块的结构，这样的结构虽然成本较高，但提升了电动滑台的负载能力和精度 ；而且卓立汉光的电动直线滑台，底板加工过程中均采用精密加工工艺，确保导轨安装面的平面度，可发挥出高等级线性滑块导轨的优秀性能！交叉滚柱导轨（Crossed-Roller Bearing Guides）交叉滚柱导轨因其精度高、直线度好、负载能力强等特点也成为广泛应用的一种导轨形式，交叉滚柱导轨是由两根具有V型滚道的导轨、滚柱保持架、圆柱体滚柱等组成，故也有人称其为V型导轨（如图5），相互交叉排列的圆柱体滚柱在经过精密磨削的V型滚道面上作往复运动，可承受各个方向的载荷，实现高精度、平稳的直线运动。交叉滚柱导轨国内产品按精度一般分2、3、4、5级，依次递减 ；国外产品大多分为高级（H级）和精密级（P级），P级优于H级。另外，由于交叉滚柱导轨需要采用滚柱保持架，保持架需占用相当一部分行程，通常要求导轨长度L不小于行程（Ls）的15倍，即 ：L≥15Ls，而保持架的长度Lb通常不大于导轨长度L减去一半有效行程Ls，即 ：Lb≤L-Ls/2。所以，采用交叉滚柱导轨的电动直线滑台，通常行程不大。卓立汉光采用交叉滚柱导轨的电动直线滑台包括：CXP、TSAxx-C等系列产品。图4. 线性滑块导轨表3. 线性滑块导轨精度等级(国内)平行度允许误差(μm)导轨长度(mm)精度等级2345≤500481420＞500～10006101725＞1000～15008132030＞1500～20009152232＞2000～250011172434＞2500～300012202838＞3000～350013202838＞3500～400015223040表4线性滑块导轨精度等级(进口)平行度允许误差(μm)导轨全长(mm)超高精密级P3(UP级)超精密级P4(SP级)精密级P5(P级)准精密级P6(H级)普通级PN(C级)50以下2224.5650～802235680～12522355.56.5125～20022467200～250225578250～31522.5589315～400236911400～5002361012500～63023.571214630～80024581416800～1000255916181000～1250361017201250～1600471119231600～20004.581321262000～25005101522292500～31506111725323150～4000916233034图5交叉滚柱导轨V型滚道滚柱保持架尾端螺钉

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B43返回目录直线轴承导轨（Linear Ball Bearing Guides）直线轴承导轨（如图6）是一种低成本的直线运动导轨，由圆柱轴和配套使用的轴承组成。由于轴承钢球与圆柱轴为点接触，故负载能力较小，而且圆柱轴需遵循一定的细长比，故直线轴承导轨不适合做大行程的电动滑台。直线轴承导轨的精度也分为很多等级，优点是价格低廉，但其负载能力较小、行程不宜很大、精度不高。燕尾副导轨（Dovetail Slide Guides）燕尾副导轨为滑动摩擦（如图7），摩擦力较大，不适合做高速运动，容易卡死，为了保证运行平顺，需要留出一定间隙，这就导致燕尾副导轨的精度较低。卓立汉光已经不再生产采用燕尾副导轨的电动滑台。但仍有部分手动滑台采用燕尾副导轨，详情请参阅手动滑台DSM系列、AD系列、摆动滑台TSMG系列。电机（Motor）或称电动机、马达、电动马达等，是一种将电能转化成机械能，并可再使用机械能产生动能，用来驱动其它装置的电气设备。电机是电动滑台的重要组成部分，电机的精度、响应速度、最大静转矩等指标直接影响着电动滑台的整体性能。电机的种类繁多，分类也很复杂，卓立汉光电动滑台中常用的电机包括：步进电机、直线电机、直驱电机（旋转台中使用）、伺服电机（交流、直流）等。步进电机（Step Motor）步进电机是一种将电脉冲转化为不连续机械运动的机电装置。步进电机的旋转是以固定的角度一步一步运行的，可以通过控制脉冲个数来控制旋转量，从而达到准确定位的目的。步进电机相关的几个基本概念如下 ：步距角（Step Angle）（或称电机固有步距角）：它表示控制系统每发一个步进脉冲信号，电机所转动的角度。电机出厂时给出了一个步距角的值，如卓立汉光电移台上较常用的电机给出的值为0.9°/18°（表示半步工作时为0.9°、整步工作时为1.8°，如果电机上只有一个值，说明这个值是整步时的步距角），这个步距角可以称之为 “电机固有步距角”，它不一定是电机实际工作时的真正步距角，实际的步距角和驱动器的细分有关。相数（Phase）：步进电机的相数是指电机内部的线圈组数，目前常用的有二相、三相、四相、五相步进电机。其中 “四相电机” 严格意义上说应归属于二相电机，它只是在二相电机的每相绕组多了一个中心抽头。电机相数不同，其步距角也不同，一般二相电机的步距角为0.9°/1.8°、三相为075°/12°/15°、五相为036°/072°。在没有细分驱动器时，用户主要靠选择不同相数的步进电机来满足自己步距角的要求。如果使用细分驱动器，则 “相数” 将变得意义不大，用户只需在驱动器上改变细分数，就可以改变步距角。国内常见二相（包括四相）、三相步进电机，日本及部分欧美国家五相步进电机使用较为广泛。图6.直线轴承导轨图7. 燕尾副导轨细分（Micro Step）：步进电机对电脉冲进行细分的主要目的是减弱或消除步进电机的低频振动，减少噪音。在细分过程中，有一个辅助功能 ：从一定程度上将电机的单步旋转步长降低，从而在理论上提升了电动滑台的分辨率。卓立汉光在优选电机的基础上，经过多年的研究和实践并参照国家标准和国际标准，在工业电动滑台中，通常按照整步、半步（2细分）、8细分或20细分进行标称。也有部分国外厂商，分辨率是按照整步（不细分）标称的，请在选择产品时注意。但也有部分厂商，利用分辨率是理论计算值这一点，误导消费者，在非常大的细分情况下，计算出电动滑台的分辨率很高，遇到这样的产品或厂家，请您务必注意。举例来说，若丝杠导程4mm，步距角为18°，开环情况8细分时的分辨率为 ：0.0025mm（即25µm），但有的厂家标称精度（实际上是理论分辨率）达到0.1µm（200细分下）甚至78nm（256细分下），要知道，普通电动滑台想达到微米级的精度都非常困难，更何况是亚微米级或几十纳米，请广大用户仔细辨别。保持转矩（Holding Torque）：保持转矩是指步进电机通电但没有转动时，定子锁住转子的力矩。它是步进电机最重要的参数之一，通常步进电机在低速时的力矩接近保持转矩。由于步进电机的输出力矩随速度的增大而不断衰减，输出功率也随速度的增大而变化，所以保持转矩就成为了衡量步进电机最重要的参数之一。

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B44返回目录行星减速机（如图8c）的结构比较紧凑、回程间隙小、精度较高，使用寿命长，但价格略贵。行星减速机在精密设备中使用较多，卓立汉光电动滑台使用行星减速机的产品，常用在Z轴需要精密移动，负载较大的情况中，详情请联系我们。减速机的种类很多，按照其传动方式及结构特点，大致分为 ：齿轮减速机（含谐波减速机）、蜗轮蜗杆减速机、行星减速机（含行星齿轮减速机）三类。蜗轮蜗杆减速机（如图8a）的主要特点是具有反向自锁功能，可以有较大的减速比，输入轴和输出轴不在同一轴线及平面上，常用在需改变输出方向的减速装置中 ；齿轮减速机（如图8b）结构复杂、体积大，用于较重负荷，在大型机械中使用较多 ；a. 蜗轮蜗杆减速机b. 齿轮减速机c. 多种行星减速机图8. 减速机直驱电机（Direct Drive Motor）直驱电机也称为直接驱动电机、DD马达等，直接驱动意味着在电机和受驱动负载之间，没有传动元件，并具有优良的静态或动态负载稳定度，可实现对运动的精确控制。比起电机加传动机构的装置来说，直驱电机维护费用低，工作效率高，有效节约能源，占地空间小。直驱电机，由于其输出力矩大而且通常需要安装位置反馈装置，实现 “伺服” 特性，因此有些公司将该产品直接称为力矩电机（Torque Motor）或力矩伺服电机（Torque Servo Motor）。直驱电机是一种具有软机械特性和宽调速范围的特种电机。这种电机不是以恒功率输出动力而是以恒力矩输出动力。直驱电机包括直流直驱电机、交流直驱电机和无刷直流直驱电机等，目前比较常见的直驱电机为无刷直流式。直驱电机能在一般较宽的转速范围内，使转矩基本恒定，适用于转速变化时，要求恒定转矩的传动场合。比如 ：生产过程中需要使产品维持恒定的张力和用恒定的线速度把产品卷绕在辊筒上的场合。所以直驱电机常用于纺织、印染、造纸、橡胶、电线电缆等制造领域中。直驱电机主要用在旋转机构上，卓立汉光采用直驱电机的电动旋转台为DDR系列产品，若您对该系列产品感兴趣，可咨询我司销售人员。伺服电机（Servo Motor）伺服电机是指在伺服系统中控制机械元件运转的电机，是一种辅助马达间接变速装置。伺服电机可使控制速度、位置精度非常准确，可以将电压信号转化为转矩和转速以驱动控制对象。伺服电机转子转速受输入信号控制，并能快速反应，在自动控制系统中，用作执行元件，具有响应时间常数小、线性度高等特性，可把所收到的电信号转换成电机轴上的角位移或角速度输出。伺服电机分为直流伺服和交流伺服两大类，其主要特点是 ：当信号电压为零时无自转现象，转速随着转矩的增加而匀速下降。到目前为止，高性能的电动伺服系统大多采用永磁同步交流伺服电机，控制驱动器多采用快速、准确定位的全数字位置伺服系统。典型生产厂家如 ：西门子、松下、三菱、安川等公司。伺服电机系统主要靠脉冲来控制，伺服电机驱动器接收到1个脉冲，伺服电机就会旋转对应的角度，从而实现角位移。与步进电机不同的是 ：伺服电机带有编码器，伺服电机每旋转一个角度，编码器会记录对应数量的反馈脉冲，这样一来，和伺服电机驱动器接收的控制脉冲形成了反馈，系统就会知道发了多少控制脉冲给伺服电机驱动器，同时又收到了多少反馈脉冲。这种闭环形式，能够很精确的控制电机的转动，从而实现比较精确的定位。需要说明的是，这种闭环，严格意义上称为 “半闭环”，只是从一定程度上，降低了控制和电机部分出现误差的可能性，对于机械部件引起的误差，还是不能矫正。如果您需要做 “全闭环”，通常需要通过光栅尺或其它形式来实现。卓立汉光常用松下100W和200W伺服电机，有需要请您参看相关内容或联系我们。步进伺服(Closed Loop Stepper Motor)步进伺服电机又称闭环步进电机，也就是在步进电机的基础上增加了编码器，但它又不是简单的累加的过程，它是按照伺服系统的工作原理进行设计和开发的，因此步进伺服电机往往与驱动器配套使用。步进伺服电机相比伺服电机有以下几个优点 ：1、步进伺服电机本质上是步进电机，在静止状态下是绝对静止不动的；2、步进伺服电机结合了步进电机的特点和伺服电机的控制方式，因此不会过冲；3、驱动器调试和使用比伺服电机要简单很多 ；4、伺服电机在低速时会出现蠕动，而步进伺服则不会。减速机（Gearbox）减速机也称减速器、减速箱等，减速机的目的是降低转速，增加转矩，属于机械结构，之所以放在电机部分介绍，是由于其常同电机配合使用，甚至是集成在一起，所以我们有时也将电机和减速机合在一起称为 “减速电机”。

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B45返回目录联轴器（Coupling）联轴器的作用是用于轴与轴或轴与回转零件的连接，使之一起做回转运动并传递转矩，补偿因制造、安装、工况环境变化而导致的偏心、偏角、轴向位移造成的偏差，部分联轴器还有缓和冲击、减小振动、提高轴系动态性能等作用。联轴器通常分为刚性联轴器和弹性联轴器两种。刚性联轴器的优点是其本身不会由于变形而丢失运动精度，特别适合需要做微小运动的情况下使用，但由于刚性联轴器在使用时，对连接轴允许的偏差比较小，也就是说零件的加工精度、装配工艺等方面要求非常高，所以在卓立汉光滑台产品中，只有高精度、需要进行微步运动的滑台中，才会采用刚性联轴器，如 ：CXP系列、SIN系列。闭环（Closed-Loop）也叫反馈控制系统，是将系统输出量的测量值与所期望的给定值相比较，由此产生一个偏差信号，利用此偏差信号进行调节控制，使输出值尽量接近于希望值。闭环就是通过外部机构，对 “实际值” 进行测量，“实际值” 与 “希望值” 相同时，闭环系统回馈 “正常” 的信号；当 “实际值” 与 “希望值” 不同时，闭环系统将两者的差值，反馈给控制部分，控制部分再次发出指令，直到闭环系统给出 “正常” 的信号。闭环的方式有很多种，但是需要注意的是 ：很多 “闭环” 并不是真的闭环，或者说并不是 “全闭环”。比如说，很多厂家在电动滑台的电机轴上增加旋转编码器或者直接选用自带编码器的伺服电机，虽然旋转编码器或者自带编码器的伺服电机，从一定程度上，校正了控制和电机部分引起的误差，但是后面的机械结构误差还是存在，所以我们通常把这种闭环方式称为 “半闭环”。理想的全闭环，是将闭环机构同最终移动部件连接，比如说将光栅尺读数头连接在电动滑台的运动台面上，或者将圆光栅安装在旋转台的台面下，并且将闭环机构的反馈信号，传回具有处理闭环反馈信号能力的控制器（如：MC600系列或TMC系列）中，并作出响应。常用的闭环部件包括 ：直线光栅尺、圆光栅、数显表等，参照图10。但是请大家注意，做了闭环之后，依然只是 “从一定程度上提高了精度”，为什么？因为闭环的这些部件，本身也存在误差！而且闭环部件的安装和读数误差也可能存在。卓立汉光电动滑台产品中，部分面向科研用户的产品（如 ：uKSA）采用进口直线光栅尺或采用进口圆光栅（如 ：DDR），配合卓立汉光自行研发的MC600系列或TMC系列控制器，可实现高精度的闭环控制。无论开环还是闭环系统，想要做出精确定位的产品或者系统，都很困难。卓立汉光希望与您携手，共同面对并解决精确定位这一世界级难题！弹性联轴器在一定范围内允许在两根连接轴存在轴向、径向或角度偏差时传递力矩。弹性联轴器有很多种，每种联轴器各有特点，根据不同的使用工况，选择适合的联轴器。常用的弹性联轴器，参见图9。卓立汉光电动滑台中的主要部件，除了上述提到的丝杠、导轨、电机及驱动器、联轴器等部件以外，还有台面、底座、传感器、机械微动开关、轴承等部分，每一个部件的设计、选材、生产加工都关系到电动滑台整体的性能。另外，装配工艺的规范和检验手段的提升也是必不可少的部分，卓立汉光根据ISO9001：2015国际质量管理体系的要求，对每一个零部件、每一道工序、每一台成品，都严格掌控，确保产品满足您的需求。平行切缝式联轴器弹簧式联轴器膜片式联轴器梅花式联轴器波纹管式联轴器螺纹式联轴器图9多种弹性联轴器直线光栅尺圆光栅数显表图10. 闭环部件

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B46返回目录电动升降滑台简称电动升降台、升降台等，是指通过电机驱动，控制台面做上下方向（或称Z轴）运动的电动设备。目前卓立汉光的电动升降台有几种形式 ：平移台竖直使用、滚珠丝杠+同步带升降台、滚珠丝杠+蜗轮蜗杆减速机构升降台、减速机升降台、齿轮或剪式升降台等。其中电动齿轮或剪式升降台由于精度太低，卓立汉光已经不再生产。表5. 各类电动升降滑台结构形式平移台竖直使用减速机升降滚珠丝杠+同步带升降台滚珠丝杠+蜗轮蜗杆减速机构升降台滚珠丝杆+楔块式型号PA等PSAVxx-240ZF小尺寸CZF系列产品中大尺寸CZF系列产品TBZF系列行程50～400mm50mm~400mm8mm20～40mm6~30mm分辨率较高（25µm左右）高（0.78µm左右）高（0.25µm）高（02～0.4µm）较高（0.91-3.5um）负载能力较小（5Kg以下）大（可达200Kg甚至更高）较小（5Kg以下）较大（10Kg以上）较大（10kg以上）台面方向竖直方向水平方向水平方向水平方向水平自锁不带自锁，需加失电保护器或带抱闸的电机带自锁不带自锁带自锁带自锁物理尺寸较大大小较小较小产品实例上述几种结构，各有优缺点，实际使用中需要根据要求，灵活选择。另外，在一些要求大行程、精度要求较高、承载较大的情况下，我们可以在 “平移台竖直使用” 的基础上，增加行星减速机，或增加配重的方法，以达到上述要求 ；或者是使用带自锁的梯形丝杠，也可以很好的解决负载方面的问题，具体方案可以联系我们。电动升降滑台（Motorized Z-stages）电动旋转滑台（Motorized Rotation Satges）电动旋转滑台，简称旋转台、旋转滑台等，是将电机的旋转运动，转化为台面做旋转运动的装置。电动旋转台的传动机构和导向机构同电动直线滑台及电动升降滑台不同，旋转台常见的传动机构包括 ：蜗轮蜗杆传动、同步带传动、齿轮传动、直驱电机传动、正弦机构传动等，请参照图11。a．蜗轮蜗杆传动b．同步带传动c．齿轮传动d．直驱电机传动e. 正弦机构传动图11旋转台传动机构旋转台从结构上分为 ：蜗轮蜗杆传动式、同步带传动式、齿轮传动式、直驱电机传动式、正弦机构传动式等。其中齿轮式旋转台由于精度太低，卓立汉光已不再生产。蜗轮蜗杆式旋转台（Gear and Worm Rotation Stages）蜗轮蜗杆式（见图11a）旋转台可以提供较大的传动比（蜗轮与蜗杆的转速比），结构比较紧凑，蜗杆与蜗轮的啮合是逐渐进入与逐渐退出，故冲击载荷小、转动平顺、负载能力较大、精度较高，不足之处是传动效率较低、摩擦力较大，而且传动比较大时，不适合做高速旋转。蜗轮蜗杆的材质通常分别使用铜（蜗轮）和钢（蜗杆）。但由于铜的硬度较钢小很多，所以蜗轮蜗杆中蜗轮属于更容易磨损的部件。为解决工业应用或设备中，高刚性、高频率使用要求，卓立汉光从近年起，将工业旋转滑台中的蜗轮材质全面升级为耐磨性更高的锡青铜。卓立汉光采用耐磨锡青铜的蜗轮蜗杆式旋转滑台为TBR系列、TBRF系列、TBRU系列。同步带旋转台（Belt Rotation Stages）同步带传动式（见图11b）旋转台，速度较快，但由于传动比较小，不宜做大负载转动，而且同步带具有一定的伸缩量，不适合做精确定位。齿轮旋转台（Gear Rotation Stages）齿轮传动（见图11c式）旋转台有效率高、结构紧凑、传动比稳定等特点，但容易发生齿面磨损、轮齿折断、轮齿啮合过紧的情况，为防止上述情况，通常需留有一定间隙，此间隙也用来防止由于误差和热变形而使齿轮卡住，并且给齿面间的润滑油膜留有空间，但间隙使反转时有空程，不能准确定位。由于此类产品精度太低，卓立汉光已经不再生产。

Tel: 01056370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台B47返回目录正弦机构旋转台（Sine Mechanism Rotation Stages）正弦机构（见图12）是小角度旋转台特有的结构之一，正弦机构旋转台的简单理解 ：一个电动直线滑台在旋转机构边缘处，沿着切线方向做小范围移动，带动旋转机构做小角度转动。a. SIN转台3D图b. 直线运动带动台面转动示意图c. 台面转动角度和直线运动的关系图12正弦机构旋转台示意图正弦机构旋转台的优势在于 ：机械部分采用滚珠丝杠+线性滑块的机构，所以摩擦力较小，磨损也很小，转动时效率较高。美中不足的地方是只能做小角度转动，而且转动过程中，转台的速度同直线滑台运动的速度并非完全线性的关系。实际上，台面转动角度θ、直线滑台移动距离x及台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P之间的关系为 ：所以台面转动的速度，计算公式为 ：正弦机构旋转台台面转动的速度=也正是由于台面转动速度同直线滑台运动速度有着正弦三角函数的关系，我们将此种结构的旋转滑台称为 ：正弦机构旋转滑台。另外，由于直线滑台沿着x轴移动时，在y方向会有一定的位移量，所以正弦机构旋转滑台中还需要增加y方向的机构来确保转动过程顺畅、无间隙。卓立汉光采用正弦机构的旋转滑台为SIN系列。导向机构（Guide）旋转台的导向机构一般为轴承或轴环，轴承（轴环）好坏直接影响旋转台的运动性能。卓立汉光旋转台中的导向机构常见的有 ：深沟球轴承（成对）、角接触球轴承，或交叉滚柱轴环（也称交叉滚子轴承）。图13交叉滚柱轴环与普通球轴承一般来说，球轴承中滚珠与导轨面为点接触，负荷能力较小，特别是当倾斜或竖直方向使用时，滚珠受力比较集中，容易在局部区域产生磨损 ；而交叉滚子轴承中的滚柱与V型导轨面是线接触，据部分资料显示，负荷能力可增大13倍以上，而且交叉滚子轴承通常可以承受较大轴向和径向的负载，无论水平放置、倾斜、竖直、甚至倒置使用时，各个滚柱的受力比较均匀，抗磨损能力及耐用性大幅增加。所以旋转滑台若存在大负载或偏载、倾斜、竖直、倒置使用时，建议优先选择采用交叉滚子轴承的旋转滑台。电动摆动滑台（Motorized Goniometer Stages）电动摆动滑台，也称角位台、摆动台等，是将电机的旋转运动，转化为台面做围绕空间某一点（旋转中心）的角度摆动的电动装置。卓立汉光摆动滑台的传动机构采用蜗轮蜗杆结构，其中蜗轮采用耐磨锡青铜材料。导向机构为弧形燕尾副导轨或弧形V型导轨，参见图14。由于燕尾副导轨精度相对较低，在电动滑台中基本不再使用。卓立汉光采用弧形燕尾副导轨的手动摆动滑台为TSMG系列产品，相关内容请参看手动滑台部分的产品介绍。图14. 弧形V型导轨卓立汉光的电动摆动滑台为TBG等系列。交叉滚柱轴环普通球轴承sinθ=直线滑台移动距离x台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P转台转动角度θ单位时间t=arcsin（x轴的移动速度台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P）螺杆导程360°电机步距角×驱动器细分数1mm360°1.8°×2=0.0025mm = 电机步距角驱动器细分数×传动比1.8°8×180=0.00125°=arcsin（直线滑台分辨率/旋转机构中心距）=arcsin（螺杆导程360°电机步距角×驱动器细分数/旋转机构中心距）arcsin（1360°1.8°×2/26）≈0.0055°arcsin（直线滑台分辨率/旋转机构中心距）arcsin（螺杆导程360°电机步距角×驱动器细分数/旋转机构中心距）arcsin（1360°1.8°×2/16）≈0.0090°arcsin（1360°18°×2/26）≈0.0055°sinθ=直线滑台移动距离x台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P转台转动角度θ单位时间t=arcsin（x轴的移动速度台面转动中心到直线滑台连接中心的距离）螺杆导程360°电机步距角×驱动器细分数1mm360°1.8°×2=0.0025mm = 电机步距角驱动器细分数×传动比1.8°8×180=0.00125°=arcsin（直线滑台分辨率/旋转机构中=arcsin（螺杆导程360°电机步距角×驱动器细分数旋转机构arcsin（1360°1.8°×2/26）≈0.0055°arcsin（直线滑台分辨率/旋转机构中心距）arcsin（螺杆导程360°电机步距角×驱动器细分数/旋arcsin（1360°1.8°×2/16）≈0.0090°arcsin（1360°18°×2/26）≈0.0055sinθ=直线滑台移动距离x台面转动中心到直线滑台连接中心的距离P直驱电机旋转滑台（Direct Drive Rotation Stages）我们在 “电机” 部分，已经介绍过DD马达的内容，直驱电机旋转滑台（见图11d），就是采用直驱马达，结合导向机构设计生产的电动旋转滑台。直驱电机旋转滑台一般都配置了高分辨率的编码器（圆光栅），因此很多DDR可以达到比普通旋转滑台高的精度。另一方面，由于DDR采用直接连接方式，减少了中间的传动机构（如 ：蜗轮蜗杆、齿轮、同步带等）,所以降低了机械结构产生的定位误差，以及机械摩擦时产生的噪音。目前DDR主要应用在高速、高精度、高转动惯量要求的领域和行业中，如 ：液晶面板行业、太阳能电池行业、半导体行业等。卓立汉光的直驱电机旋转台为DDR系列。