卓立光谱与影像产品应用篇2024 - 电子画册在线预览、各类电子画册在线制作-云展网平台

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小型通用光电设备

iRTP 普克尔盒 iRTP PC 规格

iRTP Pockels 元件 (PC) 是第一个将 RTP 的优势带入电光市

场的产品。iRTP PC 是 Raicol 的 RTP 改进版本，专为工业激光

应用而设计。

其它相关产品

iRTP PC 特点

■ 高激光损伤阈值

■ 快速上升-下降时间和脉冲宽度

■ 防潮材料

■ 低吸收损耗

■ 无声振铃(不低于350kHz)

■ 热稳定性高，较宽的工作温度范围(10°C -50°C)

普克尔盒

元件 (PC)是第一个将

改进版本，专为工业激光应用而设计

下降时间和脉冲宽度

1 轴对齐

IRTP 参数 iRTP 6 iRTP 8 iRTP 10

孔径 6x6mm 8x8mm 10x10mm

电容 < 6pf

HWV V (λ/2)

(@1064) 3.3 KV

光传输 >99%

ER (@1064) 27 dB

损伤阈值典型值 , > 1GW/cm2

对齐 1 轴对齐

尺寸 Round: 35 mm, Length 35 mm. (there is a 1’’

design). Square: 35mmx35mmx35mm

上升时间 <1 ns

热稳定性 10 – 50 Deg.

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超抛光LBO晶体

常规应用

LBO 晶体增透涂层 @1064/532nm，532nm 的表面吸收谱

三硼酸锂 (Lithium Triborate LiB3Os) 适合各种非线性光学

应用。LBO 晶体具有高透明度、较高的非线性耦合、高损伤阈

值和良好的化学和力学性能。

■ 产生二次、三次谐波，适合高功率二极管泵浦的激光器，如

Nd:YAG和Nd:YLF激光器，Alexandrite，钛宝石，染料激光器

和超短脉冲激光器。

■ OPCPA Raicol LBO 晶体的有优势

■ 超级抛光元件，具有优异的表面

■ 质量:粗糙度< 3Å RMS和表面光洁度2/1

■ 非常低的体积吸收:

■ 最高可至2ppm/cm @1064nm

■ 晶体尺寸可达50x50毫米和最大

■ 长度50mm

■ 严格的品控

LBO 特性

■ 透明范围宽(160nm-2600nm)

■ 较高的非线性系数

■ 高损伤阈值

■ 较宽波长响应范围，适合I类、II类相位匹配

■ 高光学均匀性

■ 接受角大，偏离角小

图中显示了涂层

LBO在532nm处的

表面吸收，超抛光

晶体(粗糙度<3A)

的吸收比标准抛光

涂层LBO晶体(粗糙

度~10A)的吸收少4

倍。以上数据表明

Raicol制造的LBO

超抛光晶体具有更

长的寿命，并可承

受更高的功率。

。LBO

粗糙度测试

孔径 Up to 50x50 mm

长度 Up to 50 mm along x axis

平面度 Up to λ/10 @1064nm

粗糙度 <3Å RMS

平行度 Up to 5 arc sec.

垂直度 Up to 5 arc min.

刮痕 2/1 up to 0/0 per custom demand

增透膜 Dual band R < 0.1%

吸声系数

<Bulk (1064nm) =2-4 ppm/cm

<Surface (1064nm) = 1-2 ppm

<Bulk (532nm) = 8ppm/cm

<Surface (532nm) = 1-2 ppm

波前畸变 λ/8 @633 nm

损伤阈值

800 MW/cm² @1064 nm

500 MW/cm² @532 nm

300 MW/cm² @355 nm

For 10 ns pulses

晶体增透涂层@1064/532nm

抛光涂层粗糙度~10A) 倍。以上数据表明制造的 LBO 超抛光

特性 LiNbO3 RTP X-cut RTP Y-cut KRTP KD*P BBO

半波电压 @1064

nm for L=d (kV) 9 8 6.7 7 9 48

介电常数 ε 27.9 11 1 11 48 8

平均功率密度 (W/

cm2) 150 300 200 800 250 ＞ 1000

损伤阈值

(MW/cm2) 280 ＞ 600 600 600 500 ＞ 1000

有效孔径 (mm2) >8x8 2x2

to 15x15

2x2

to 6x6

2x2

to 6x6

5x5

to 20x20

1x1

to 12x12

消光比 (dB) >23 23-35 23-30 23-30 23-30 ＞ 30

温度稳定性

* 热电效应

不稳定

@ T<-20˚C

-50˚

to 70˚C

-50˚

to 70˚C

-50˚

to 70˚C 不稳定优秀

声响 10 Khz >1 MHz >1 MHz >1 MHz 10 Khz 25 Khz

吸湿性 NO NO NO NO YES YES

机械稳定中等优秀优秀优秀低优秀

晶体比较

粗糙度测试

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小型通用光电设备

KTP晶体 KTP OPO 晶体

Raicol 是全球首家开发高抗灰迹 KTP 晶体公司。高抗灰迹

KTP 晶体可以对于 1000-1400nm 的二次谐波有更高的平均耐

功率密度。当晶体受到高功率、高重复频率的激光脉冲或连续

波激光照射时，会产生灰迹。灰迹的形成是由于在 KTP 晶体中

诱导产生的色心，在可见光和近红外波长范围内具有宽的光学

吸收，特别是在 532nm 波段。灰迹形成的过程是累积的，并导

致谐波转换变差。

优势

■ 孔径-可达30x30mm2

■ 长度-可达40mm

■ 常规型号，单片，Plano-Plano和共聚焦OPO结构

■ 非临界相位匹配（NCPM），可用于人眼安全信号

（1570nm），无走离效应

■ 单片OPO的效率比典型的OPO高20-30%

■ 共焦OPO激光器的发散度比Plano-Plano激光器低

■ 针对2.1µm的走离补偿设计

常规应用

■ 激光测距仪(LRF)

■ 激光指示器

■ 其他民用、激光雷达和空间应用

KTP材料已获得用户的广泛认可并被应用于OPO,SHG和量子应

用等领域

优势

■ 在532 nm处的平均输出功率密度可达5 kW/ cm2

■ 非线性系数比LBO高4倍

■ 在可见光和近红外波段吸收低

■ 宽温度带宽

■ 防潮材料

■ 小走离和宽角带宽

高抗灰迹晶体 KTP OPO( 光学参量振荡器 ) 是将 1064nm 波长的激光转

换为 1572nm(“眼睛安全”) 和其他波长的最有效材料。

KTP 晶体

KTP（磷酸钛基钾，KTIOPo4

KTP 是 YAG 激光器中用于二次谐波的常见非线性光学晶体

 二次谐波效率约为

 高激光损伤阈值

 优异的热稳定性



KTP 材料已获得用户的广泛认可并被应用于

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光谱范围宽，高透明度，高非线性耦合系数

BBO 的相位匹配范围很广，在 SHG,SFD

最大 λ/10 @633 nm

BBO晶体与电光调制器

硼酸钡（BBO）是一种多功能的非线性晶体，光谱范围宽，

高透明度，高非线性耦合系数，高损伤阈值和有良好的力学与

化学性能。BBO 的相位匹配范围很广，在 SHG,SFD 和 OPO 方

面，适用范围可以从 190nm 到 1780nm.

BBO 晶体优点：

■ -非常宽的透明范围

■ -高损伤阈值

■ -高非线性系数

■ -高光学均匀度

■ -宽温度范围

BBO 晶体常规应用：

■ -Nd:YAG激光器倍频，三倍频，四倍频，五倍频

■ -钛宝石激光与紫翠玉激光的倍频，三倍频，四倍频

■ -氩离子，铜蒸汽与红宝石激光的倍频

■ -紫外-可见光OPO

■ -电光调制器（普克尔盒）

高抗灰迹晶体晶体比较

孔径最大 15x15 mm2

晶体最大长度最大 40 mm

平面度最大 λ/10 @633 nm

侧垂度最大 5 arc min

平行度最大 5 arc sec

表面质量 10/5

增透膜

增透 / 增透；

双波段增透 DBAR( 双波段反射率 <0.2%)

吸收系数

< 50ppm cm-1 @1064nm

< 100ppm cm-1 @532nm

激光损伤阈值

1GW/cm2@1064nm

500MW/cm2@532nm

10 ns 脉宽

波前畸变 λ/8 @633 nm

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小型通用光电设备

主要工作原理:

Optistat Dry 干式制冷机采用 GM 制冷机，主要部件有冷

头、压缩机以及高压氦气管。这三个部件组成了一个闭合的氦

气循环回路，可以产生制冷功率。冷头是GM制冷机循环的场所，

通过两根高压氦气管以及供电引线连接到压缩机。其中一根高

压氦气管供给高压氦气，另一根回收膨胀后的低压氦气。压缩

机提供必需的高压氦气流量来提供足够的制冷功率。

主要配置:

■ 制冷机主体

■ 闭循环压缩机

■ 氦导流管

■ 热辐射屏蔽

■ 真空屏蔽

■ 加热器

■ 温度传感器

■ 温度控制器

■ 密封电学传输通道

■ 高纯度石英窗片(窗片材质可选)

■ 涡轮分子泵

Optistat Dry BLV 底部换样真空型 Optistat Dry TLEX 顶部换样交换气型

干式制冷机工作原理示意图

牛津干式制冷机Optistat Dry(闭循环制冷机)

6.4 小型低温制冷机

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Optistat Dry BLV技术参数

样品温度范围 < 3 – 300 K

温度稳定性 ± 0.1 K

低振动振动小于 10 微米

典型制冷功率 0.2 W at 4.2 K

光学通路 f1，28mm 直径样品空间

尺寸 ( 高宽长 ) 635-900( 高度可调 ) x 240 x 290 mm

总重量 23 千克

Optistat Dry BLV主要特点

■ 低振动:与光学平台结合时振动小于10微米

■ 兼容性:与英制和公制的光学平台都可匹配使用

■ 竖直高度可调(635-900毫米)

■ 侧面换样:容易操作;换样后不会改变光路(光路稳定)，不需要重

新调整光路。

■ 创新的电学样品托选项，最高可提供12路电学引线

1、2、使用 Dryload 换样工具，提起电学样品托并移除3、完成换样

■配置反射样品架和透射样品架，这些样品架对光学测量非常理

想，没有任何电学连接限制。

■配置专用样品托:样品托选项

包括一个气密的21路微型D型

接口。接口与12路引线(10路

铜镍合金, 2路铜)相连，安装

至为电学测量特别设计的铜质

底座上。样品托由层压PCB构

成。用户只需将样品托放到指

定位置并拧紧螺丝即可完成电

学连接及热连接。

Optistat Dry TLEX技术参数

样品温度范围 < 4300 K

温度稳定性 ± 0.1 K

低振动振动小于 10 微米

典型制冷功率 0.2 W at 5 K

光学通路 f1，20mm 直径样品空间

样品空间交换气。5 分钟快速换样，45 分钟冷却

到基准温度

尺寸 ( 高宽长 ) 800-880( 高度可调 ) x 240 x 400 mm

总重量 28 千克

■ 自带检测线路，加热器以及温度计，由15路微型D型接口连接

Optistat Dry TLEX主要特点

■低振动:与光学平台结合时振动小于10微米

■兼容性:与英制和公制的光学平台都可匹配使用

■竖直高度可调(800-880毫米)

■顶部换样:样品处于交换气氛围，5分钟快速换样，45分钟冷

却到基准温度

■创新的电学样品托选项，最高可提供12路电学引线

主要应用:

紫外 / 可见光谱低温下的紫外或可见光谱实验可以揭示固体中电子能级与振模的相互作用

红外光谱低温红外光谱实验可测量原子间振模的变化及其他现象，例如超导体中转变温度以下的能隙

拉曼光谱低温可以使拉曼激发中的谱线更细

光致发光低温下光谱性质将更为清晰，因此我们可以获得更多的信息

超快光谱研究电子处于激发态的弛豫过程

电学性质光学与电学的测量，包括 I-V 曲线测量

Optistat Dry BLV主要技术参数

■ 可控温度范围从 < 3 K 到300 K

■ 冷却时间：120分钟内冷却到10K

■ 配置风冷压缩机

■ 低振动：与光学平台结合时振动小于10微米

■ 大样品空间，可用于研究各种大小的样品

■ 低运行费用

■ 优化的光学通路，数值孔径可达f1，通光孔径可达28mm，大通

光区域适合低光密度探测

■ 创新的电学样品托选项，最高可提供12路电学引线

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小型通用光电设备

牛津湿式制冷机Optistat ——储存杜瓦型

OptistatDN 储存杜瓦型 ( 交换气 ) OptistatDN-V 储存杜瓦型 ( 真空 )

储存杜瓦型主要技术参数:

型号 OptistatDN-X OptistatDN-V

样品温度范围 77.2 – 300 K

77.2 – 500 K( 配蓝宝石窗片 ) 77.2 – 500 K

温度稳定性 ± 0.1 K ± 0.1 K

最大样品空间 20 毫米直径 20 毫米直径

样品架尺寸 19 毫米宽 x 30 毫米长 20 毫米宽 x 50 毫米长

样品空间类型交换气真空

样品更换时间 5 分钟 60 分钟

制冷到 77K 时间 20 分钟 20 分钟

液氮存储量 1.2L 1.2L

在 77K 的保持时间 15 小时 15 小时

光学通路 f/1 f/1

重量 5 千克 5 千克

典型设置:

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牛津湿式制冷机Optistat ——连续流型

OptistatCF连续流型(交换气) 技术参数

类型静态交换气

Pull 模式

静态交换气

Push 模式

动态交换气

Pull 模式

动态交换气

Push 模式

样品温度范围 2.3 – 500 K 4.2 – 500 K 2.3 – 500 K，1.6 – 500 K( 单发 ) 4.2 – 500 K

温度稳定性 ± 0.1 K

最大样品空间 20 毫米直径

样品架尺寸 19 毫米宽 x 30 毫米长

样品空间类型交换气

样品更换时间 5 分钟

制冷到 4.2K 时间 25 分钟

液氦消耗 @4.2K < 0.55 L/ 小时

光学通路 f/1

重量 3.7 千克

OptistatCF-V连续流型(真空) 技术参数

类型 Pull 模式 Push 模式

样品温度范围 2.3 – 500 K 4.2 – 500 K

温度稳定性 ± 0.1 K

最大样品空间 30 毫米宽 x 58 毫米长

样品架尺寸 20 毫米宽 x 50 毫米长

样品空间类型真空

样品更换时间 60 分钟

制冷到 4.2K 时间 10 分钟

液氦消耗 @4.2K < 0.45 L/ 小时

光学通路 f/0.9

重量 2 千克

典型设置:

Optistat湿式制冷机主要应用:

■ 紫外可见，近红外光谱

■ 红外光谱FTIR

■ 光致发光和电致发光

■ 荧光光谱

■ 拉曼光谱

■ 透射反射吸收光谱

Optistat湿式制冷机主要特点:

■存储杜瓦型、连续流型多种类型可选

■样品在真空中或者交换气体中

■设计美观，小巧紧凑，质量轻，易于集成

■换样快

■稳定性，可靠性高

选项升级:

■500K高温选项

■精确可调高度和角度的样品杆选项

■反射、透射、比色皿多种样品架可选

■各种材料窗片(石英、无水石英、蓝宝石、

CaF、聚乙烯)

■真空泵系统

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小型通用光电设备

6.5 UQD 超快多通道逻辑计数单元

UQD-Logic 是一种多功能仪器，可有效满足精确光子计数和定时相

关的所有需求。它最初开发用于量子光学研究，包括量子通信，长距离

量子纠缠，量子密钥分配，量子随机数。但它也在其他领域得到应用，

如探测器表征，时间分辨荧光，单光子光谱仪等等。

核心能力：UQD-Logic-16 单元有效地结合了多通道和多站定时分

析，多事件相关和重合逻辑以及计数功能。该装置的最高优先级是实现

高速的运行和处理速度，它能够每秒连续处理数亿个输入事件，并带有

记录时序重合窗口低于 1 纳秒。分析和计算 16 个输入通道之间的所有

可能的逻辑组合。系统具有 USB 接口，用于数据交换和参数设置。

细节条件说明特征值

应用超快多通道符合逻辑计数

规格和供电要求外部电源 ( 用户提供，12V 直流，1A) 标准 NIM 插槽，+12V@1A，装置可独立运行

输入通道数独立通道 16@156 ps 分辨率 (8@78ps 高分辨率固件 )

输入定义 SMA，50Ω 终端阻抗

输入鉴别器可通过 USB 调节 ±2V，上升或下降沿，最小脉冲幅度 50mV

输出通道数模式触发输出 3

辅助输出周期信号导出内部时基 1 ( 有助于多个单元的同步 )

输出信号 TTL 脉冲 >2.5V high

输出脉冲持续时间 100 ns

重合分析高速搜索输入之间的所有可能组合

最大信号速率每个通道上的连续信号 200 MHz (Burst)

最小脉冲延时每个单独的输入通道 5 ns

最大重合率 (Burst) 模式处理 3.2 GHz 组合输入信号

最大重合率 (CW) 连续模式处理 100 MHz 组合输入信号

模式定义每个输入通道单独定义活跃 - 不活跃 - 忽视

重合窗口成功模式计数的相关时间窗口 0.156 - 100 ns

输入延时每个输入的相对延迟步幅调节 0.156 ns

计数器单个及模式输入独立计数 32 bit

时间分辨率 156 ps, (78ps 高分辨率固件 )

外部时基时间参考信号输入 10 MHz 的正弦波，1Ω 终止

最大连续传输率受 USB 传输和主机限制 10 MHz ( 速率取决于用户 PC 和代码优化 )

时间标签过滤每个时间窗口定义的标签数量，可通过 USB 进行调整最小 156 ps

驱动 Windows XP、7、8 的驱动程序。通过 .NET 进行内部处理。提供 C#, VB, cpp, LabView 等例程

提供 Linux 驱动 .

系统升级使用户能够更新设备、实现定制功能、更改时间分辨等 JTAG 接口，使用 Xilinx 免费软件包更新

用户软件基本测量和计数软件 TimeTagExplorer, 基于 Windows

应用

■ 高计数率纠缠源

■ 多光子实验，如光量子计算

■ 基于单光子和纠缠光子的量子通信和密码学研究

■ 前馈量子光学实验，包括门控检测器和触发光调制器

■ 时间相关的荧光

UQD 逻辑提供了几种独特的功能，使其在多光子计数实验中非常

通用 :

三态重合模式搜索：可以统计任意数目的模式，每个输入可以配置

为三种可能的状态 :\" 重合 \"、\" 忽略 \" 和 \" 反重合 \"。

时间标记过滤器 : 通过 UQD 独特的模式过滤，在单元内实现低级

别的数据缩减。只有在某个定时窗口中观察到最小数量的重合，它才会

将时间标签数据传输到计算机。此功能使研究人员能够在较长的工作时

间内记录时间标签信号，而不会最终生成许多难以处理和分析的千兆字

节大文件。

可调输入鉴别器 : 每个输入端接 50 欧姆，鉴别器阈值可以从 +2V

调整到 -2V，并触发正负边。

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015

核心光电模组

7.1 像增强器及 MCP

7.2 真空粒子探测器

254 VID 粒子影像探测器

7.3 条纹变像管

256 条纹相机管

7.4 高分辨率光子计数成像相机

257 单光子计数相机

7.5 超快 PMT

258 超快 PMT

7.6 多阳极 MCP-PMT

259 AuraTek 多阳极探测器

260 MAPMT228 多阳极 MCP-PMT

261 MAPMT253 多阳极 MCP-PMT

010-56370168 www.zolix.com.cn 259

核心光电模组

Photek 是一家生产像增强器、超快 PMT、条纹相机管、真空粒子探测器以及单光子计数相机系统的厂家。Photek 生产的像

增强器最大口径可以到达 150mm，最多可以做到 3MCP 连用；其生产的超快 PMT 具有多种规格可选，其最快的响应速度可以

到达 50ps，标准品具有 0-3MCP 可选；Photek 提供 X 或者 Y 方向扫描的条纹相机管，最高时间分辨率为 400fs，空间分辨率为

50lp/mm，也可以用于多画幅相机；Photek 提供真空探测器，探测电子、离子、中子等粒子，多个 MCP 可选，多种口径可选。

Photek 不仅生产以上的元器件，同时也提供基于像增强器的相机系统，其相机系统都是针对单光子计数而设计的，单光子计数相

机最高的特点是可以避免由于相机系统带来的模拟噪声，其中最低暗计数可以做到 <10cps/cm2

( 日盲为 2cps/cm2

)，基于不同的

测量原理，单光子计数相机分为高分辨率单光子计数相机和成像光子探测系统，成像光子探测系统的事件计数时间为 300ns。多

台 ICCD 连用系统，最多可以连用 253 台 ICCD，系统帧频最快为 5 千万帧。Photek 电学元器件包含快门控制器、高压模块、脉

冲激光 ( 阴极响应测试 )、前置放大器、制冷控制器等。

■ 口径 18、25、40、75、150mm

■ 单MCP、双MCP、三MCP

■ 最短门宽 2ns

■ 波长覆盖X-Ray，深紫外、日盲、VIS和NIR

■ 强磁场环境下特殊封装可选

■ 磁聚焦器可选

像增强器参数

MCP 尺寸入射窗阴极荧光屏输出窗

1 18 F(fibre) CSI P20 IFO(fibre optic)

2 25 Q(fused silica) SB P43 GL(glass)

3 40 Ｍ (MgF2 ) BI P46 ITA(fibre taper)

75 S(sapphire) LNS20 P47

150 S20 FS

S25

像增强器

入射窗透过率曲线 MCP 增益效率曲线

阴极响应曲线

荧光屏特性

像增强器尺寸

荧光波长 nm阳极效率 %

( 光功率 / 电功率 )

光子 / 电子

@5KV 湮灭时间

P20(540) 12 320 1ms(1%)

P43(548) 8.7 240 1.2ms

P46(530) 1.8 55 300ns

P47(410) 3 64 80ns

FS(513,668,768) 4.2 96 12us(10%)

增强器尺寸 MCP 孔径分辨率 (P43)

18mm 6µm 40-50lp/mm

25mm 6µm 32-40lp/mm

40mm 10µm 26-36lp/mm

75mm/150mm 25µm 10-15 lp/mm

■缩比器可选

■应用:条纹相机、分幅相

机、弱光探测、时间分

辨测试、天文学、微光

夜视、紫外预警、导弹

预警等

7.1 像增强器及 MCP

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18mm 系列 VID18 、VID218、VID318、VID218/NF、VID318/NF

25mm 系列 VID125、VID225、VID325、VID125/NF、

VID225/NF、VID325/NF

40mm 系列 VID140、VID240、VID340、VID140/NF、

VID240/NF、VID340/NF

75mm 系列 VID175、VID275、VID375、VID175/NF、

VID275/NF、VID375/NF

VID粒子影像探测器

粒子影像探测器没有阴极，适用于真空腔体中，可以探测

到电子、离子、中性粒子、反物质、强子、光子等。

接受定制

口径10mm、13mm、25mm、40mm

单MCP、双MCP、3MCP可选

探测范围覆盖各种粒子

最短上升沿 70ps

高空间分辨率和时间分辨率

应用

能谱、电子显微、高能光子成像、聚变、核物理、近场离子显

微镜、化学键强度测量、低温物理、同步辐射

产品参数

响应特性

多 MCP 结构

7.2 真空粒子探测器

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核心光电模组

探测器接口和外形

荧光屏特性

型号颜色峰值波长湮灭时间 (10%) 效率

P11 蓝 446 50μs 10

P20 黄/绿 540 50μs-10ms 30

P31 绿 550 40μs 25

P43 绿 548 1.2ms 50

P45 红白 - 1.4ms 20

P46 红/绿 530 160ns 7

P47 蓝 410 80ns 2.3

接收端

CCD 相机通过 CCD 相机接收，支持客户指定的相机；可以选配 GM1KV 实现最短 100ns 的选通

电阻阳极分辨率 512×512(2048×2048)，计数率为 105

真空 PMT 最快上升时间 70ps，光子计数带宽为 400MHz

多阳极 PMT 可以提供 8×8，16×1，12×8，Fabry-Perot 干涉纹阳极

多阳极 PMT 阳极结构

262 010-56370168 www.zolix.com.cn

Photochron2 Photochron5 ST-X ST-Y

阴极尺寸 8X9( 最大 ) 8mm 狭缝 20x3 35x5

同步扫描 88MHz >200MHz - -

时间分辨 ( 典型 ) ~3ps 2ps 36ps 50ps

时间分辨 ( 最大 ) - 400fs 2ps 2ps

空间分辨率 30lp/mm 50lp/mm 40lp/mm 50lp/mm

放大倍数 ~2 2-3 0.7-1.5 0.7-1.5

分幅选项 Double Mesh

gating

Double Mesh

gating - -

条纹相机管

Photek 提供的条纹相机管以及配套的电学设备，有普通的

条纹相机管和超快条纹相机管，也同样适用于分幅相机。

■ 时间分辨率 400fs

■ 8mm、20mm、35mm阴极可选

■ 同步扫描或者分幅可选

■ UV，日盲，VIS和NIR可选

■ 特殊封装适用于强磁场环境

产品参数

入射窗透过率曲线

荧光屏特性

荧光波长 nm 阳极效率 %

( 光功率 / 电功率 )

光子 / 电子

@5KV 湮灭时间

P20(540) 12 320 1ms(1%)

P43(548) 8.7 240 1.2ms

P46(530) 1.8 55 300ns

P47(410) 3 64 80nsW

FS(513，

668,768) 4.2 96 12us(10%)

■ 光示波器

■ 激光雷达

■ 激光点火

■ 核聚变反应

阴极响应曲线

应用

■ 条纹相机

■ 分幅相机

7.3 条纹变像管

010-56370168 www.zolix.com.cn 263

核心光电模组

单光子计数相机

Photek 生产的光子计数相机基于多 MCP 的高度增益而设计的，其消除了由于 CCD 等设备带来的模拟噪声，最低噪声可以做

到 2cps/cm2

，是极其微弱信号的最佳选择，同时配有 IFS32 分析软件，可以实现两种类型的光子计数成像方式和多区域信号分析。

应用

生物、化学发光，蛋白质、荧光素霉、ATP发光，微电极发光，多波长成像，预警，天文学，射线成像，荧光成像。

相机参数

■ 尺寸：18mm，25mm，40mm

■ 入射窗：熔融石英，光纤面板

■ 光电阴极：Solar Blind 、Bialkali、LN S20、S20

■ 阳极：电阻膜阳极、电容阳极、楔行或裸阳极

光谱响应范围

■ Solar Blind 180-300nm

■ Bialkali 180-500nm

■ LN S20 180-700nm

■ S20 180-900nm

暗噪声

■ Solar Blind <2cps/cm2

■ Bialkali <10cps/cm2

■ LN S20 <50cps/cm2

■ S20 <2000cps/cm2

,<20cps/cm2

(-30℃)

IPD 单光子成像相机

相机参数

■ 尺寸：18mm，25mm，40mm

■ 入射窗：光纤面板

■ 光电阴极：Solar Blind 、Bialkali、LN S20、S20

■ 阳极：P43荧光屏

光谱响应范围

■ Solar Blind 180-300nm

■ Bialkali 180-500nm

■ LN S20 180-700nm

■ S20 180-900nm

HRPCS 单光子成像相机

分辨率

■ Basler A602f 656X491 pixels

■ Basler A312f 782X582 pixels

■ Basler A102f 1292X1040 pixels

■ 可以支持指定相机耦合

暗噪声

■ Solar Blind <2cps/cm2

■ Bialkali <10cps/cm2

■ LN S20 <50cps/cm2

■ S20 <2000cps/cm2

,<20cps/cm2

(-30℃)

分辨率

■18mm 20lp/mm

■25mm 15lp/mm

■40mm 12lp/mm

计数率

■ 平场计数率 500000cps

■ 点光源计数率100cps(根据CCD的速出速度不一样而不同)

成像分辨率

■ 512×512，2048×2048

■ 计数率

■ 时间分辨时间300ns

■ 平场计数率 200000cps

■ 点光源计数率50000cps

7.4 高分辨率光子计数成像相机

IPD光子成像相机，时间计数时间300ns，空间分辨率2048×2048，接收端是阳极，通过软件成像。

HRPCS高分辨率光子成像相机，成像速度100fps。

264 010-56370168 www.zolix.com.cn

感光面积 10mm、12mm、13mm、25mm、40mm

微通道板数量 0-3MCP可选

电子增益 0-3x107

可选

上升沿最短为 50ps

动态范围最高为106

，一般值为40000

MCP 尺寸入射窗阴极快门

1 10 F(fibre) CSI NG( 没有快门 )

2 25 Q(fused silica) SB G( 快门 )

3 40 Ｍ (MgF2 ) BI

LNS20

S20

S25

超快PMT

Photek 生产的超快 PMT 是基于微通道板生产的，其最大的特

点是上升沿最低可以做到 50ps，而且口径可以做到很大，如果加

上 TOF 选项，可以是实现空间分辨单光子计数。

主要应用

■ 超快脉冲测量

■ 单光子计数

超快PMT参数

■ TCSPC

■ 事件计数

MCPs 最大电子增益

0 没有增益 ( 光电管 )

1 5X103

2 1X106

3 3X107

脉冲上升沿(PS)

MCP增益

入射窗透过率曲线

阴极响应曲线

MCPs 10mm 25mm 40mm

Min Typ Max Min Typ Max Min Typ Max

0 50 60 80 100 60 80 100

1 60 65 70 115 100 150 200

2 75 85 95 180 230 280

3 300 400 500 350

S25

■ 激光雷达

■ 粒子物理

■ 核物理

7.5 超快 PMT

010-56370168 www.zolix.com.cn 265

核心光电模组

AuraTek 多阳极探测器

AuraTek 是下一代基于多阳极 MCP-PMT 的多通道光子计数器，提供优秀的 <40ps rms 的单光子时间分辨能力，高密度的通

道格式，并具有可选的集成读出电路。目前主要提供三种规格：PCS-256， MAPMT228，MAPMT253。

新全升级版 AuraTek-PCS 多通道光子计数系统，已集成了多阳极 MCPPMT 和高性能 TOFPET 读出电路。每个通道的时间分辨率提升至 30ps ；经过振

幅步长校正后，计时性能小于 60ps rms ；通道触发最大速率提高至 480kHz。

PCS-256 多通道光子计数系统

新全升级版 AuraTek-PCS 多通道光子计数系统

AuraTek PCS-256 是一个创新的光子计数系统，结合了多阳极 MCP-PMT

和高性能 TOFPET 读出电路。这个简单易用的系统包含 256 个独立、高性能的

光子计数通道，每个通道都有一个时间戳，其分辨率为 44 ps，经过振幅步长校

正后，计时性能小于 100 ps rms。

该系统是自触发和事件驱动的，为每个检测到的光子提供时间和幅值数据。

每个通道的最大计数率为 160 kcps，最大系统总计数率约为 10 Mcps。

用户提供的可选事件标识符可以加盖时间戳并包含在数据流中，方法是用

外部输入替换 256 个阳极中的一个。

传感器头使用的 160MHz 时钟可以同步外部电路，也可以选择用户提供自

己的 160MHz 时钟。

千兆以太网接口 ( 最大数据速率 640Mbps) 与数据采集计算机进行最后连

接，提供在线数据显示和原始数据存储到磁盘供以后处理。

PCS-256 可与 Photek 的任何一种高灵敏度光电阴极一起使用，每一种阴极

都具有极高的量子效率和极低的暗计数，从而获得最佳的信噪比性能。

为您的特定需要而定制的 PCS-256 包括：光纤输入窗口近距离聚焦，多光

子脉冲读出，并使用 Photek 专有的各向异性导电膜技术改变像素大小和几何形

状。

提供实时监控数据和优化数据后处理的软件等。

主要应用

■时间分辨光谱学

■宽场时间相关单光子计数

■荧光寿命显微成像(FLIM)

■Forster共振能量传输(FRET)

■激光雷达

■波移光纤读出

■闪烁体/切伦科夫光纤读出

■微型通道读出

■光束监测

窗口熔融石英 ( 光纤面板选项 )

有效面积 28.16*28.16mm

电子倍增模式双 MCP

阳极规格 16*16 (256 通道 )

光电阴极日盲，双碱阴极，S20,

S25

暗电流 / 每个通道 ~2 cps

时间戳分辨率 44ps

渡越时间扩展 ( 时间步长

修正 ) 100ps

通道触发最大速率 160KHz

探头高压 <3000V

平均总计数 107

cps

7.6 多阳极 MCP-PMT

266 010-56370168 www.zolix.com.cn

MAPMT228 多阳极 MCP-PMT

AuraTek MAPMT228 是下一代多阳极微通道平板光电倍增管

(MCP-PMT)。它可以配置为多通道单光子计数器或模拟光子脉冲分析

仪。1024 个单独的阳极以 32×32 的模式排列，间距为 0.88 mm，形

成 28.16 mm 平方的有效面积。高密度阳极输出的连接使用 Photek 的

专有互连工艺，该工艺基于一种各向异性导电膜 (ACF)。客户可以要求

定制配置的全部 1024 阳极，或分组阳极形成独特的读出几何形状。时

序性能是最先进的，脉冲上升时间 < 175ps，单个光子传输时间

< 40ps rms每通道。

关键属性

■ 真正无噪声光子计数

■ 430 ps的FWHM脉冲宽度

■ < 40 ps rms渡越时间

■ 极低的暗计数

■ 高密度阳极：1024像素通道，0.88毫米间隔

■ 专有的ACF互连技术，客户可配置阳极读出，

■ 各种光电阴极可选：覆盖完整的紫外线到可见光波段

■ 免疫磁场干扰

■ 辅助选择最佳读出电子学

输入窗口熔融石英 ( 光纤面板可选 )

有效面积 28.16×28.16mm

电子倍增器双 MCP

阳极格式 32×32( 可重新配置 )

阳极间隔 0.88mm

光电阴极日盲，双碱阴极，S20, S25

106 增益电压 <2700V

每个阳极暗计数 <2.25 cps

脉冲上升时间 <175ps

脉冲宽度 <430 ps FWHM

传输时间 <40 ps RMS

线性总计数率最高 10MHZ

010-56370168 www.zolix.com.cn 267

核心光电模组

MAPMT253 多阳极 MCP-PMT

AuraTek MAPMT253 是下一代多阳极微通道平板光电倍增管 (MCP-PMT)。

它可以配置为多通道单光子计数器或模拟光子脉冲分析仪。4096 个单独的阳极

以 64×64 的模式排列，间距为 0.88 毫米，形成 53×53mm 的有效面积。整个

探测器是 59*59mm，可以方便多个 MAPMT253s 组合覆盖更大面积。高密度

阳极输出的连接使用 Photek 的专有互连工艺，该工艺基于一种各向异性导电膜

(ACF)。客户可以要求通过高密度连接器读出配置的全部 4096 个阳极，或将阳

极分组读出形成独特的读出几何形状。拥有最优的时序性能，脉冲上升时间 <

175ps，单个光子传输时间 < 40ps rms 每通道。

■真正无噪声光子计数

■ 430 ps的FWHM脉冲宽度

■< 40 ps rms渡越时间

■极低的暗计数

■高密度阳极： 4096像素通道，0.828毫米间隔

■专有的ACF互连技术，客户可配置阳极读出，

■各种光电阴极可选：覆盖完整的紫外线到可见光波段

■免疫磁场干扰

■真空接口适用

输入窗口熔融石英 ( 光纤面板可选 )

有效面积 53×53mm

电子倍增器双 MCP

阳极格式 64×64( 可重新配置 )

阳极间隔 0.828mm

光电阴极日盲，双碱阴极，S20, S25

106 增益电压 <3500V

每个阳极暗计数 <2 cps

脉冲上升时间 <175ps

脉冲宽度 <430 ps FWHM

传输时间 <40 ps RMS

线性总计数率最高 10MHZ

真空适用侧壁

268 010-56370168 www.zolix.com.cn

0157

测试系统

8.1 Flame image-C-LIF 火焰自由基成像系统

263 LIF/PLIF 燃烧诊断系统

264 平面激光诱导荧光（PLIF）

8.2 LIBS 系统

266 LIBS 简介

267 LIBS-Lab 实验室元素分析测试系统

270 LIBS-OL 工业在线元素分析测试系统

273 便携式 LIBS 测量系统

8.3 PlasmaD-TS 测试系统

8.4 PlasmaD-LIF 测试系统

275 激光诱导荧光（LIF or TALIF）

8.5 VUVAS 真空紫外光谱系统

8.6 Omni TR 透射、反射 / 吸收光谱测量系统

8.7 Laue 定向系统

8.8 超快光谱测试系统

8.9 VMI 粒子速度映像系统

287 Velocitas VMI 简介

288 Velocitas VMI 系统结构

8.10 LIFA 荧光寿命系统附件

292 LIFA 荧光寿命系统附件

8.11 拉曼及显微光谱系统

294 拉曼简介

296 RTS2 多功能激光共聚焦显微拉曼光谱系统

298 RTS-mini 共聚焦拉曼光谱系统

299 Finder 930 系列全自动化拉曼光谱分析系统

301 Finder Insight®

Pro 小型激光拉曼光谱仪

8.12 荧光相关测试系统

302 OmniFluo900 系列荧光光谱仪

310 SmartFluo-QY 一体式荧光及量子产率测试系统

311显微光致发光光谱仪 --Flex One\" 微光 \" 系列

312 基于 ICCD 的时间分辨荧光光谱系统

010-56370168 www.zolix.com.cn 269

测试系统

8.1 Flame image-C-LIF 火焰自由基成像系统

作为一套现代化、模块化的数据采集分析和成像系统，平面激光诱导荧光 (PLIF) 是对燃烧实验进行诊断的独特工具。通过对燃

烧自由基、污染物、燃料示踪剂等的测量，该系统可以对诸如燃料注入、点火现象和火焰锋面等现象进行研究，从而加深对燃烧

过程的理解。

LIF 技术的工作原理为：调谐激光波长，使激光的光子输

出频率和燃烧场内待探测离子的某一对上下能级间的跃迁频率

相同，形成共振吸收，将下能态粒子泵浦到上能态，当相应的

上能态粒子向下跃迁时，会产生荧光信号，然后通过分析荧光

信号的强度或光谱形态，获得燃烧场内探测分子浓度、分布及

温度等燃烧参量信息。

■ 调谐激光实现待测分析或离子的共振吸收，选择性激发荧光，

选择性探测荧光，极大的提升探测灵敏度与信噪比。

■ 可通过后数据分析获得被探测分子浓度，分布场和温度等丰富

的燃烧参量信息。

■ 激光辅助光学诊断，是光学非侵入式燃烧组分分析与成像的手

段，配套标准化光学测试系统，可用于航空航天、先进能源等

燃烧过程检测

■ 集成一体式可调谐染料激光系统，稳定，易操作，易维护

■ 宽动态范围的高灵敏度的影像强化ICCD实现纳秒级别的影像或

光谱采集

■ PLIF系统具有亚纳秒级的高级同步时间精度

■ 可实现单组份及多组份测试需求

■ 可扩展离子图像测速技术（PIV）

■ 系统具备燃烧自由基LIF和燃料示踪剂LIF的专用分析软件

■ 具有系统搭建、数据采集、数据分析、结果可视化的完整软件

平台

■ 可根据用户实际需求，提供个性化光学实验方案

LIF/PLIF燃烧诊断系统

该系统具有如下特点

PLIF 中的 LIF- 激光诱导荧光 (LIF) 技术激光诱导荧光 LIF 技术对燃烧诊断的优点

270 010-56370168 www.zolix.com.cn

平面激光诱导荧光（PLIF

PLIF: (Planar Laser Induced Fluorescence) 即所谓的“平面激光诱导荧光”，平面激光诱导荧光实验系统为二维测量系统。

实验中通过柱面透镜，将激光光束厚度进行整形，形

成激光片（laser sheet）, 激光片穿过火焰与火焰相交，

形成一个二维截面，通过光学成像的办法，测量火焰

中探测粒子的二维荧光图像，从而求出探测粒子在火

焰中的浓度分布及温度场的分布等信息。

本公司代理 ICCD 拍摄的 PLIF 图像

OH LIF, CO LIF, reaction rate (RR), temperature (T),

and mixturefraction (f)

小结：平面激光诱导荧光 PLIF 是在 LIF 基础上，

将激光整形成片状光，切入到燃烧场内，从而

激发并探测二维的燃烧场信息。

• 染料激光系统：可以根据测试对象的不同，调谐输出不同

的输出波长与能量；

• 激光整形与传输光路：用于把激光变成可以用于 PLIF 系

统的片状光；

• 探测系统：根据要求采用合适的 ICCD，进行适当的延迟

后得到特定时刻的荧光信息；同时还可以加上光谱仪等设

平面激光诱导荧光（PLIF）系统架构

时序控制装置：对整个实验的时序进行控制；

附属设备：附属设备主要包括用于搭建光路所必须采用的光

学平台，光具座，调整架以及反射镜，激光功率能量计等光

学配件；

数据采集与分析软件：可以对温度以及浓度场进行分析研究。

激光器（光源）

被检测反应池

荧光检测器

平面激光诱导荧光（PLIF

PLIF: (Planar Laser Induced Fluorescence) 即所谓的“平面激光诱导荧光”，平面激光诱导荧光实验系统为二维测量系统。

如下图所示：

实验中通过柱面透镜，将激光光束厚度进行整形，形

成激光片（laser sheet）, 激光片穿过火焰与火焰相交，

形成一个二维截面，通过光学成像的办法，测量火焰

中探测粒子的二维荧光图像，从而求出探测粒子在火

焰中的浓度分布及温度场的分布等信息。

本公司代理 ICCD 拍摄的 PLIF 图像

OH LIF, CO LIF, reaction rate (RR), temperature (T),

and mixturefraction (f)

小结：平面激光诱导荧光 PLIF 是在 LIF 基础上，

将激光整形成片状光，切入到燃烧场内，从而

激发并探测二维的燃烧场信息。

• 染料激光系统：可以根据测试对象的不同，调谐输出不同

的输出波长与能量；

• 激光整形与传输光路：用于把激光变成可以用于 PLIF 系

统的片状光；

• 探测系统：根据要求采用合适的 ICCD，进行适当的延迟

后得到特定时刻的荧光信息；同时还可以加上光谱仪等设

平面激光诱导荧光（PLIF）系统架构

时序控制装置：对整个实验的时序进行控制；

附属设备：附属设备主要包括用于搭建光路所必须采用的光

学平台，光具座，调整架以及反射镜，激光功率能量计等光

学配件；

数据采集与分析软件：可以对温度以及浓度场进行分析研究。

激光器（光源）

被检测反应池

荧光检测器

平面激光诱导荧光（PLIF）

平面激光诱导荧光（PLIF）系统架构

PLIF: (Planar Laser Induced Fluorescence)即所谓的“平面激光诱导荧光”，平面激光诱导荧光实验系统为二维测量系统。

如下图所示：

■ 染料激光系统：可以根据测试对象的不同，调谐输出不同的输

出波长与能量；

■ 激光整形与传输光路：用于把激光变成可以用于PLIF系统的片

状光；

■ 探测系统：根据要求采用合适的ICCD，进行适当的延迟后得到

特定时刻的荧光信息；同时还可以加上光谱仪等设备，进行光

谱分析，以便得到更丰富的信息；

■时序控制装置：对整个实验的时序进行控制；

■附属设备：附属设备主要包括用于搭建光路所必须采用的光

学平台，光具座，调整架以及反射镜，激光功率能量计等光

学配件；

■数据采集与分析软件：可以对温度以及浓度场进行分析研

究。

010-56370168 www.zolix.com.cn 271

测试系统

图 PLIF 影像采集系统

图 PLIF- 光谱采集方案系统

配套推荐设备分项参数

可调谐染料激光器及片光源整形传输光路

■ 激发波长：440-780nm连续可调，可以根据要求延

展到400-4500nm

■ 线宽： 0.06cm-1

■ 单脉冲能量：110mJ@560nm

■ 柱面镜焦距：50mm

■ 球形聚焦透镜：焦距500mm

■ 片光厚度：0.1-0.3mm

■ 重复频率：10Hz

常用激发波长对应测试自由基及本设备对应激光能量

波长 446nm 430nm 466.5nm 484nm 411nm 446nm 480nm

对应自由基 NO CO SO OH N 原子 O 原子 C 原子

原始图像数据

优化的LIF图像（组分测量）

特征量化 Y

双线测温 Y

火焰峰面

温度场分布

PLIF图像处理框图

图像修正

背景去噪+旋转+图像映射+线性标定

平滑滤波

272 010-56370168 www.zolix.com.cn

LIBS简介

LIBS 是 Laser-Induced Breakdown Spectroscopy ( 激光诱导击穿光谱仪 ) 的简称，该技术通过超短脉冲激光聚焦样品表面形成

等离子体，利用光谱仪对等离子体发射光谱进行分析，以此来识别样品中的元素组成成分，进而可以进行材料的识别、分类、定性

以及定量分析。

自从 LIBS 技术问世以来，该技术就被公认为是一种前景广阔的新技术，将为分析领域带来众多的创新应用。LIBS 作为一种新

的材料识别及定量分析技术，既可以用于实验室，也可以应用于工业现场的在线检测。

8.2 LIBS 系统

主要特点为

■ 直接测量：无须样品预处理

■ 样品多样性：任何物质都能测量(液体、固体、气体、气溶

胶、沉淀物、导体、绝缘体、透明体、非透明体···)

■ 分层分析：表面或者内部分析

■ 高空间分辨：分析口径可以达到8µm

■ 几乎无损检测：样品烧蚀的质量可以控制在微克以下

■ 多元素检测：能检测所有元素，包括质量最轻的几种(氢，

锂···)

LIBS 弥补了传统元素分析方法的不足，尤其在微小区域材

料分析、镀层 / 薄膜分析、缺陷检测、珠宝鉴定、法医证据鉴定、

粉末材料分析、合金分析等应用领域优势明显，同时，LIBS 还

可以广泛适用于地质、煤炭、冶金、制药、环境、科研等不同

领域的应用。

除了传统的实验室的应用，LIBS 还是为数不多的可以做成

手持便携装置的元素分析技术，更是目前为止被认为唯一可以

做在线分析的元素分析技术。这将使分析技术从实验室领域极

大地拓展到户外、现场、甚至生产工艺过程中

LIBS- 物理过程

强激光产生 GW 乃至更高的峰值功率密度 (1012w/cm2

)，

可以使物质样本瞬时等离子化，等离子体在湮灭过程中辐射对

应元素的等离子体发射特征谱线，利用高分辨率的光谱分析系

统来测量 LIBS 过程中的等离子发射谱线就可以进行物质成分

分析乃至基础物理学领域的原子分子学研究！

一套典型 LIBS 系统主要包括：激光器，光路系统 ( 含光束

传输以及信号收集 )，光谱仪以及探测控制系统！

典型 LIBS 系统结构图

■ 高灵敏度：液体测量，检测极限可以达到几百个PPb

■ 快速检测：多元素分析可以在数秒钟之内完成，单个元素速度

可以更快

■ 实地测量：实验室应用或者实地检测，接触或者非接触式测量

■ 清洁：无有毒气体释放，不需要酸处理过程

010-56370168 www.zolix.com.cn 273

测试系统

LIBS-Lab 实验室元素分析测试系统

先锋公司提供的实验室自搭建式 LIBS 系统，集成了国外先进的激光器，光谱仪，ICCD，脉冲延时发生器等仪器组成，为 LIBS

实验提供完整的解决方案，致力于元素检测限的提高、避免相互元素干扰和叠加峰的影响，时序的精确控制，痕量元素测试等领域

方面研究，满足于实验室固体，液体，气体样品的 LIBS 测试实验。

根据研究人员实验的不同需要，我们可以提供多种 LIBS 解决方案：

不同波长，不同频率，不同脉冲能量以及脉冲宽度的激光器

常用纳秒级调 Q 激光技术已经非常成熟并广泛应用于各领域的科研实验室中！推荐法国 Quantel 公司的 Q-smart 系列激光器

是其最经典的 Brillant 系列的升级版本，公司有超过 40 年的激光器设计生产经验 ( 公司创建于 1970 年 )。每年全球超过 3000 台的

激光系统安装！

■ 激光能量： >=850mJ, 450mJ，100mJ@1064nm

■ 脉冲宽度： 6-10ns

■ 脉冲重复频率： 10HZ,20HZ

■ GRM腔体，低发散角输出

■全封闭设计，对环境温度的适应能

力更强

■ 自动匹配晶体角度，最大化能量输出

■ 1064,532,355,266nm 波长灵活切换

■ 闪光灯寿命>1亿发

Q-smart 系统的主要特

点：高度集成，简单易用，

全智能控制

除了纳秒灯泵激光器之外，先锋公司同样提供更多的其他适合 LIBS 系统的激光器，比如：DPSS 激光器，皮秒激光器，飞秒

激光器等。

光谱仪及探测器

放电或激光解离等离子体光谱测试由于持续时间较短，强度较弱，传统的光谱测试方法有时很难获的很好的结果！主要难点

在于：

■ 大多数放电等离子体光谱测试，由于持续时间短，在保证高的光谱分辨率的同时，传统方法一次只能获得很窄的一段光谱数据，获

得全光谱数据只有通过多次测试。比如使用500mm的谱仪，标准1200l/mm的光栅，使用1024行的CCD，一次大约只能获的22nm

宽度的光谱数据，如果要获得200-800nm的全光谱数据，一般需要至少30次以上的重复采集。如果使用更高分辨率的光栅，将需要

更多的过程。

■ 等离子体光谱一般都需要较好的光谱分辨率，但这又与一次摄谱宽度相矛盾！普通的光谱仪的输出口的宽度或者说CCD的接收面都

是固定的，分辨率高了，色散高，固定宽度接收的谱线信息就少！兼顾摄谱宽度和分辨率是很困难的。

■ 等离子体的放电过程一般很难同步，尤其高压放电过程，同步信号非常不稳，且具有不可重复性。最好是能在一次过程中得到尽可

能多的信号！

■ 信号弱，或持续时间较短，这对探测器的灵敏度有较高的要求，ICCD主要是针对快速弱信号测试的，其特点就是在很短的曝光时间

内，可以通过前端的MCP增加最大1000倍的增益，从而获得更好的信噪比。

基于以上问题，在等离子体测试中，

比如LIBS实验中，推荐中阶梯光栅光

谱仪，在保证高分辨率的同时，一次

获得全谱信息。

保持高光谱分辨率的同时，得到这张

从200nm到950nm的谱线图需要多少

次放电？

274 010-56370168 www.zolix.com.cn

■ CT式光栅光谱仪：100次(如果1s放电一次，也就是需要100s时

间)

■ 中阶梯光栅光谱仪：1次

Andor的Me5000一款高品质的中阶梯光栅光谱仪，主要的特点

如下：

■ 1. 一次性成谱 200-900nm

■ 2. 高的光谱分辨率 0.1nm@500nm 0.05nm@250nm

■ 3. 高的光谱重复精度和准确度

■ 4. 无机械结构，稳定性好。

■ 5. 体积小，结构紧凑，适合各种实验条件。

■ 6:专利的光路设计，保证最高的光谱分辨率和极低的串扰<1%

■ 专利1:离轴的光学元件矫正

■ 专利2:双棱镜结构

■ 此设计可以获得在任何波段波长的分辨率都是固定的，更均

匀！如右下图:

■ 左边是常规中阶梯分光效果，右边是Andor ME5000！

■ 7:自动温度校正，Andor的ME5000中增加了内置温度探头监控

棱镜温度变化，自动修正温度变化对测试精度的影响！

中阶梯光栅光谱仪与普通光栅光谱仪的比较说明 :

主要参数 C-T 光栅光谱仪 SR500I-B1 中阶梯光谱仪 ME5000 说明

数值孔径 F/6.5 F/7 表征系统通光量，此值越小，通光量越大；

焦距 500mm 195mm

一次覆盖光谱范围 20nm( 1200l/mm 光栅 ) 700nm 中阶梯光谱仪的优势明显

光谱精度 +/-0.2nm 0.05nm 由于中阶梯光谱仪中没有机械移动的设备，很容易作到好的精度和

重复性。

分辨率 >0.05nm(10µm 狭缝，

1200l/mm 光栅 )

(λ/Δλ)5000

(0.04nm@200nm,

0.1nm@500nm)

在紫外可见区域，中阶梯光谱仪的分辨率要优于普通光谱仪。CT 光

谱仪的 0.05nm 分辨率根据狭缝大小和光栅不同，分辨率都会不同。

而中阶梯光谱仪的分辨率是固定的，因而每次测量的结果都是可比

较的。

入口方式狭缝入口或光纤入口 ( 单

腿或多腿 ) SMA 光纤入口 ( 单腿 ) 光栅光谱仪的入口可以是狭缝和光纤，

中阶梯光谱仪的入口只能是光纤。

实验室常见自搭建式 LIBS 系统结构图 :

010-56370168 www.zolix.com.cn 275

测试系统

技术介绍：

激光诱导击穿光谱（LIBS）是一种通过脉冲激光轰击样品

获得样品轰击面区域原子发射光谱的分析方法。其具有快速分

析，同时能检测多种元素等特点。经过几十年，特别是近 20

年的研究发展，LIBS 技术已经从实验室逐步向实际利用领域发

展，如冶金，文物鉴定，考古等方面。而该技术中除了相关的

激光器，快速诊断探测器，光谱仪的使用也至关重要。

激光器方面一般使用纳秒量级的脉冲激光器，激发波长以

532nm 或 1064nm 为主。当然越是窄脉冲激光器对于样品靶

面的烧蚀损伤越小，因此近年来科学家也开始使用飞秒激光作

为激发源。

快速探测器方面，一般采用 ISCMOS 作为标准的 LIBS 探

测器。但是 ISCMOS 也并非独一无二的选择。由于 LIBS 信号

的产生是在激发光轰击后的几百纳秒到几微秒产生，且持续时

间也有几微秒到几十微秒。因此科学家也可以通过时序控制器

调节探测器同激光器之间的延时，用快速的线阵 CCD 也可以

获得较准时间精度的 LIBS 信号。

LIBS 信号的分析受到很多因素的影响，激光器能量的稳

定性，探测器的时间精度，时序控制的准确等。近年来，随着

LIBS 光谱分析从定性往定量检测发展，对于谱仪的要求也越来

越高。市场上使用中阶梯光栅光谱仪比较广泛，其特点是可以

在一个比较宽的波段范围里检测信号。但是为了获得更高的光

谱分辨率，随之而来检测范围也会缩小，同时设备成本也会增

加。而传统 C-T（Czerny-Turner）结构的光谱仪有着使用方便，

性价比高的特点，目前仍然在 LIBS 领域有着不可忽视的作用。

C-T 结构光谱仪可以根据需要更换高刻画线或是低刻画线

光栅来获得高分辨或是更宽的光谱。相较于中阶梯光谱仪，其

也有着更高的光通量，从而可以检测更弱的信号。另外 C-T 结

构光谱仪也较容易实现较高质量的光谱成像，这可以使得我们

该类型谱仪有着各种输入和输出接口，入口方面可以连接

各种光纤，方便采集信号，出口探测器方面可以接 PMT，也可

以连接市场上多种类型的 ISCMOS 或是 CCD。

像增强型相机

本公司提供多种纳秒超快探测器ISCMOS

详见p137页

在生物 LIBS 领域，科学家利用 LIBS 技术逐渐对植物的重

金属含量分析，中药的成分分析进行研究，也获得了很多很有

实践意义的成果。上图中我们可以看到，信号的信噪比很突出，

并且峰型尖锐，很多离着很近的谱峰可以轻松分辨出来。

产品应用：

LIBS 系统的主要构成有激光器，聚焦系统，样品区域，

时序控制系统，信号接收装置，光谱仪和快速响应探测器

（ISCMOS）等部分组成。如下图所示：

图 1：LIBS 系统主要构架

图 2：科学家利用 Omni-500 谱仪和 ICCD 采集到的党参样品的成分元素分析

图 3：我们提供各种光谱仪组合

获得较高的分辨率和较完美谱线峰型，从而使定量分析变得简

单方便。

北京卓立汉光多年来致力于光谱仪的开发和研究，在小型

化 C-T 结构光谱仪（Omni 系列）领域走出了一条很有特点的

发展之路。

本公司相机推出 200mm，320mm，500mm 和 750mm 焦

距的 C-T 光谱仪。750 焦距光谱仪，采用 1200 刻线光栅，可

以得到 0.03nm 的分辨率，轻松解决各种 LIBS 信号分辨采集。

276 010-56370168 www.zolix.com.cn

该类型谱仪有着各种输入和输出接口，入口方面可以连接

各种光纤，方便采集信号，出口探测器方面可以接 PMT，也可

以连接市场上多种类型的 ISCMOS 或是 CCD。

图 3：我们提供各种光谱仪组合

LIBS-OL 工业在线元素分析测试系统

技术介绍：

激光诱导击穿光谱（LIBS）是一种通过脉冲激光轰击样品

获得样品轰击面区域原子发射光谱的分析方法。其具有快速分

析，同时能检测多种元素等特点。经过几十年，特别是近 20

年的研究发展，LIBS 技术已经从实验室逐步向实际利用领域发

展，如煤矿检测、冶金，文物鉴定，考古等方面。而该技术中

除了相关的激光器，快速诊断探测器，光谱仪的使用也至关重

要。

激光器方面一般使用纳秒量级的脉冲激光器，激发波长以

532nm 或 1064nm 为主。当然越是窄脉冲激光器对于样品靶

面的烧蚀损伤越小，因此近年来科学家也开始使用飞秒激光作

为激发源。

快速探测器方面，一般采用 ISCMOS 作为标准的 LIBS 探

测器。但是 ISCMOS 也并非独一无二的选择。由于 LIBS 信号

的产生是在激发光轰击后的几百纳秒到几微秒产生，且持续时

间也有几微秒到几十微秒。因此科学家也可以通过时序控制器

调节探测器同激光器之间的延时，用快速的线阵 CCD 也可以

获得较准时间精度的 LIBS 信号。

LIBS 信号的分析受到很多因素的影响，激光器能量的稳

定性，探测器的时间精度，时序控制的准确等。近年来，随着

LIBS 光谱分析从定性往定量检测发展，对于谱仪的要求也越来

越高。市场上使用中阶梯光栅光谱仪比较广泛，其特点是可以

在一个比较宽的波段范围里检测信号。但是为了获得更高的光

谱分辨率，随之而来检测范围也会缩小，同时设备成本也会增

在生物 LIBS 领域，科学家利用 LIBS 技术逐渐对植物的重

金属含量分析，中药的成分分析进行研究，也获得了很多很有

实践意义的成果。上图中我们可以看到，信号的信噪比很突出，

并且峰型尖锐，很多离着很近的谱峰可以轻松分辨出来。

产品应用：

LIBS 系统的主要构成有激光器，聚焦系统，样品区域，

时序控制系统，信号接收装置，光谱仪和快速响应探测器

（ISCMOS）等部分组成。如下图所示：

图 1：LIBS 系统主要构架

图 2：科学家利用 Omni-500 谱仪和 ISCMOS 采集到的党参样品的成分元素分析

加。而传统 C-T（Czerny-Turner）结构的光谱仪有着使用方便，

性价比高的特点，目前仍然在 LIBS 领域有着不可忽视的作用。

C-T 结构光谱仪可以根据需要更换高刻画线或是低刻画线

光栅来获得高分辨或是更宽的光谱。相较于中阶梯光谱仪，其

也有着更高的光通量，从而可以检测更弱的信号。另外 C-T 结

构光谱仪也较容易实现较高质量的光谱成像，这可以使得我们

获得较高的分辨率和较完美谱线峰型，从而使定量分析变得简

单方便。

北京卓立汉光多年来致力于光谱仪的开发和研究，在小型

化 C-T 结构光谱仪（Omni 系列）领域走出了一条很有特点的

发展之路。

本公司相机推出 200mm，320mm，500mm 和 750mm 焦

距的 C-T 光谱仪。750 焦距光谱仪，采用 1200 刻线光栅，可

以得到 0.03nm 的分辨率，轻松解决各种 LIBS 信号分辨采集。

像增强型相机

本公司提供多种纳秒超快探测器ISCMOS

详见p137页

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测试系统

得益于技术的不断进步，源自 ExoMars 火星探测任务，Spectral

Industries 推出全新一代 IRIS 中阶梯光栅光谱仪。具备中阶梯光栅光谱

仪高分辨、全谱直读的优势，同时提供无以伦比的 F/2 口径，为目前

效率最高的中阶梯光栅光谱仪。紧凑的设计、精确的时间控制、坚固

的结构和超高稳定性使得 IRIS 成为实验室、现场及 OEM LIBS 应用的

理想选择。

主要特点 :

■宽光谱范围:180800nm(880-1200nm标准)，紫外气体可吹扫

■大相对口径:f/2

■高分辨率:0.1 - 0.45nm (25µm×100µm狭缝)

■高度稳定性:波长漂移 < 5ppm/K

■订制探测器:紫外敏感 CMOS探测器

■精密时序控制:100ns延时分辨率，10ns延时抖动；快门时间:最小28µs

■采集速率:20fps(全光谱采集)

■紧凑坚固:220mm×195mm×80mm，3kg (包括相机)，业界最小巧、

最轻便

■电脑接口:Ethernet

从以上特点比较中不难看出，IRIS 中阶梯光谱仪几乎就是为小型化 LIBS 系统特别打造 :

上图为积分时间都是 1ms 时，三个系统获

得的不同信号强度对比！

■纳秒量级的延时调节以及抖动，为精确获得无背景辐

射等离子体光谱创造了条件

■ 超大光学口径，克服传统高分辨光谱

系统的缺点，提供优秀的信号收集能

力及超高信噪比

■相比于ICCD，获得超高性

价比

■深紫外光谱范围优越性能

LIBS 测量 : 流动的喷水嘴，0.2%Na (2g/l) , 延迟时间为激光器与

IRIS 相机探测器的之间的延迟

■超小体积，超轻重量，为

各种工业，现场，以及野

外甚至空间环境等提供了

可能

IRIS 中阶梯光谱仪 :

IRIS 传统中阶梯光谱仪 C-T 结构光栅光谱仪多通道掌上光谱仪

光谱范围 180 - 800nm 220 - 800nm 50nm 覆盖 180nm - 1µm

相对口径 F/2 F/7 F/7 N/A

延时步长 100ns 5ps* 5ps* 450ns

触发抖动 +/-10ns +/- 25ps* +/- 25ps* +/-10ns

最短快门 28us 2ns* 2ns* 1ms

体积 220×195×80

含探测器

210×120×85

不含探测器

600×320×200

不含探测器 460×150×165

重量 3kg

含探测器

2kg

不含探测器

25kg

不含探测器 7kg

分辨率 0.1 - 0.45nm 优于 0.1nm 0.1nm* 0.1nm

278 010-56370168 www.zolix.com.cn

■ IRIS UV增强光谱仪

■ 脉冲激光器—脉冲能量可调

■ 脉冲延迟发生器

■ 激光聚焦及信号收集光学头(可气体吹扫)

■ 可选自动控制三维样品扫描平台

■ 控制接分析软件

IRIS 在紫外光谱响应测试举例

Spectral 同时提供基于 IRIS 中阶梯谱仪的完整的便携式 LIBS 系统解决方案 :

010-56370168 www.zolix.com.cn 279

测试系统

StellarCASE-LIBS 系统第一次真正实现了超便携及低成本的光谱分析仪，它

可以实现对微量元素的实时定性测量，可用于专门的应用条件下，也可用于用户

指定的任何地方。便携式高分辨率 EPP2000 光谱仪集成了一个高强度脉冲激光，

样品室，可对紫外 - 近红外未知样品光谱进行分析。便携箱的尺寸为 18X14X7

英寸，可以通过 12V 的适配器或电池组进行工作，进行测试时需要确定所需要

的光谱仪的通道数量，多达 8 个通道的光谱仪可通过 USB2.0 进行连接并且能够

达到 0.1 或 0.2nm 的分辨率。

激光诱导击穿光谱 -LIBS 已成为常见的通过激光测量等离子体来测量元素

的技术，这使得可以通过光学手段对固体、液体、气体等微量元素发射光

谱进行检测，使用这种技术，无需样品制备，可进行无标定的定量分析。

系统配置的 SpectraWiz 软件可提供元素识别功能，使用光谱数据库进行定

性测量。样品可快速测量并被保存到指定文件夹中，软件选项允许定制元素谱搜

索算法，可以创建或搜索定制化合物数据库。

StellarCASE-LIBS 系统可用于各种应用

■ 工业材料分析

■ 勘探及开采

■ 环境监测

Specifications StellarCASE-LIBS

光谱仪通道数 : 最多可选配 8 通道尺寸 : 7 x 14 x 18 inches

光谱范围 : 190-1000nm wavelengths 数据转移速度 : 480 Mbits per second

光谱分辨率 : HR=0.1nm or SR=0.2nm 功耗 : 350 mA @ 12 VDC

探测器类型 :2048 pixel CCD array 计算机接口 : USB-2 port

激光器类型 : Pulsed Nd-YAG @1.06µm 激光功率 : 25 milli-joules (4ns pulse)

激光模式和频率 : Kigre MK-367, 1 Hertz 样品处能量 : 6 MegaWatts

激光器寿命 : > 300,000 shots 等离子体腔尺寸 : 2 x 2 x 3 inches

SR 系列波长范围 : 200nm =200-400/400-600 软件类型 :SpectraWiz Spectral-ID

HR 系类波长范围 :100nm =200-300/300-400 可定制软件 :LabView,Excel+VBA,Delphi

标准配置

LSR1:1 channel, 200nm range LHR2 :2 channels, 200nm range

LSR2:2 channel, 400nm range LHR3 :3 channels, 300nm range

LSR3:3 channel, 600nm range LHR4 :4 channels, 400nm range

LSR4:4 channel, 800nm range LHR5 :5 channels, 500nm range

LSR5:5 channel, 1000nm range LHR6 :6 channels, 600nm range

StellarCASE-LIBS 系统—微型光纤光谱仪可对紫外—可见—近红外光谱进行测试，

覆盖范围为 :190—1000nm，每个波长范围内都包含有一个高速的集成的数字化光谱扫

描仪，可对高灵敏度 2048CCD 探测器进行瞬间抓谱。各种型号的光谱仪均提供一系列

的光栅及狭缝供用户选择，来满足不同的应用要求。可应用光纤传输样品的光谱信息，

可通过标准的SMA905接口与光谱仪连接。光纤光谱仪经过格外强劲的防震动模块设计，

内部无移动部件。不可拆卸的光学组件和电子控制产品均在一个坚固的金属外壳保护下，

非常适合于便携式应用。多通道光谱仪使用 USB2.0 连接允许扩展其配置，在使用同样

的光栅时，LHR 光谱仪的分辨率是 LSR 光谱仪分辨率的 2 倍。在允许使用数量较少的

通道时，LSR 具有 LHR 2 倍的波长范围。大多数元素等离子体在 200-500nm 的紫外可

见光谱范围内发射，很少在 500-925nm 可见光近红外发射的范围。

任意一台 StellarCASE-LIBS 系统具包含光纤接口、样品室以及与计算机连接的

USB2.0 接口，有特殊要求时，可提供额外的电池组及激光同步操作。光纤光谱仪包括

CCD 探测器 ( 可升级至紫外 )，可定制滤光片及狭缝。每个通道允许在指定范围之外具

有 5nm 的重叠，SpectraWiz 软件可将所有的光学通道集成到单一的光谱图，进行元素

分析和显示。

■国土安全措施

■军事化学和生物制剂的取证分析

EPP2000

LSR Model

Wavelength

Range in nm

Grating

g/mm

Slit-14

nm res.

UV2 200-400 2400 0.20

VIS4 400-600 2400 0.20

VIS4b 600-800 2400 0.20

NIR3b 800-1000 1800 0.20

UV3 200-300 1800 0.10

VIS3 400-500 1800 0.10

VIS3b 500-600 1800 0.10

VIS3c 600-700 1800 0.10

NIR3 700-800 1800 0.10

NIR2 800-925 1200 0.10

■ 医药研发

■ 发动机油分析

便携式LIBS测量系统

280 010-56370168 www.zolix.com.cn

8.3 PlasmaD-TS 测试系统

汤姆逊散射光谱诊断系统

汤姆逊散射等离子体诊断完全解决方案

汤姆逊散射（Thomson Scattering）光谱诊断系统优点

基于激光技术发展起来的汤姆逊散射诊断原本用于高温聚

变等离子体的测量，借助激光技术和光电探测技术的突飞猛进，

汤姆逊散射在近年也大量应用于低温等离子体的密度和电子温

度的测量。汤姆逊散射具有空间分辨率高（局域测量），测量值

稳定可靠等优点。

测量的物理量：

■电子温度：下限0.1e

■密度：下限1019m-3.

该系统具有如下特点

■1、长焦距、高精度和宽光谱光谱仪，可满足低温等离子光谱

测量，

■2、集成一体式可调谐染料激光系统，稳定，易操作，易维护

■3、宽动态范围的高灵敏度的影像强化ISCMOS 实现纳秒级别的

影像或光谱采集

■ 4、具有系统搭建、数据采集、数据分析、结果可视化的完整

软件平台

■5、专业定制化收集透镜和笼式结构，有效消除锐利散射信号

的干扰

产品推荐可调谐染料激光器及片光源整形传输光路

■ 激发波长：220-780nm 连续可调，可以根据要求延展到200-

4500nm

■ 线宽： 0.06cm-1

■ 单脉冲能量：110mJ@560nm

■ 柱面镜焦距：50mm

■ 球形聚焦透镜：焦距500mm

■ 片光厚度：0.1-0.3mm

■ 重复频率：10Hz

IsCMOS 像增强型相机

■ 科学级制冷型IsCMOS

■ 18/25mm 大口径二代高效像增强器

■ 光谱响应范围：S20 光阴极，200-850nm

■ 光学快门： <3ns

■ 延迟与门控精度：10ps

■ 增强器阴极门控*高同步频率 300KHZ;

■ 内置时序控制器DDG

■ 耦合方式：1:1 光纤面板耦合

■ sCMOS 芯片：高分辨2048*2048阵列

■ 位深： 16bit

■ 制冷温度：室温减35度

■ *快帧速： 35fps.

■ 专业化数据采集控制软件

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测试系统

激光诱导荧光（LIF or TALIF）

8.4 PlasmaD-LIF 测试系统

LIF 在等离子体上的应用诊断开始于 1975 年左

右，首先是由 R.Stern 和 J.Johnson 提出的利用 LIF

装置可以测量中性基团和离子的相对速度、速度分布

函数等。90 年代后，LIF 被陆续应用到了 ECR、ICR、

磁控管、螺旋波 HELIX、ICP 以及微波驱动 CVD 等等

离子体源中。

处于基态或亚稳态的粒子吸收具有一定能量的光

子后被激发，再从激发态衰变为自旋多重度相同的基

态或低能态时，就会发出荧光辐射。而荧光光强与粒

子数成正比，因此，通过测量荧光光强，可以确定处

于基态或亚稳态的粒子密度。由于这种荧光发射的时

间长度低于微妙量级，必须采用脉冲宽度在纳秒量级

的激光来激发荧光，这种诊断方法因此被称作激光诱

导荧光（LIF）。

因为基团和粒子的激发波长不同，因此我们选择了波长可调谐的纳秒

脉宽染料激光器，通过添加不同的染料，输出不同的波长对被测试的粒子

和基团进行激发，从而得到激光诱导的荧光衰减与光谱信号，这些信号经

由相关的搜集光路被捕获到光谱仪与 ICCD 探测器组成的光谱探测系统中，

从而得到光谱、强度与时间尺度的三维荧光光谱，让研究人员进行相关的

分析。图中所用的 DG535/645 作为整个实验系统的时序控制装置。

■1.对Ar等离子体和He等离子体放电，常用的激光器波长可调谐范围不需要太宽

■2.要测H（氢）等离子体，激光波长需要205nm

■3.测CF等离子体需要261nm

■ 4.同时测 Ar等离子体的LIF，因为观测另一条谱线，所用的激光波长又是611nm的

所以LIF的波长范围应该根据要观测的等离子体放电的气体种类及观测那条谱线

来决定

如图2所示，为典型的等离子体装置LIF诊断实验架构图。

图１[1] 为 LIF 的基本原理图，在一个三

能级系统中：离子处于亚稳态时，当照射激光

能量等于跃迁激发的能量，离子被泵浦到激发

态。由于激发态不稳定，离子又会迅速退激到

基态并辐射出荧光。在激发态上停留时间很短

暂（一般只有几纳秒宽度）。由于离子不是静

止的，根据多普勒效应可知，在激光传输方向

上存在一个速度选择，只有在激光传输方向上

满足一定速度的离子才能被特定频率的激光诱

导激发：窄带激光束（ωlaser，κlaser）入

射，在入射方向上，只有离子速度和激光频

率满足关系式时，才能通过相应的激光激发被

泵浦到激发态。对入射激光频率进行扫描变换，

测量相应的荧光光强变化，就能得到亚稳态离

子速度分布函数在入射激光方向上的投影。如

果假定亚稳态离子温度和主体基态离子温度一

致，离子速度分布函数等动力学参数即可获得。

典型 LIF 实验架构与世界上的 LIF 架构参考

典型的 LIF 波长选择举例

图 1. LIF 基本原理图

图 2 典型的等离子体 LIF 诊断架构图

图 3. University of Greifswald LIF 诊断系统（H 原子）

图 4. IHP LIF 诊断系统

等离子体 LIF 诊断的基本模型

282 010-56370168 www.zolix.com.cn

VUVAS深紫外和真空紫外光谱仪

这是迄今为止，用于深紫外和真空紫外测量最好的仪器。相比其

他仪器厂家，McPherson 的光谱仪凭借其悠久的历史和卓越的技术，

特别在很少有光谱仪可以覆盖到的 120nm-400nm 光谱区域，有着当

之无愧的领先地位。在紫外激光器、光学器件、晶体材料、以及共振

拉曼仪器的研发和制造中，以及基础研究，都需要用到此波段的单色

仪来作分析、鉴定和测试。

McPherson 的 VUVAS 系统主要应用于 120nm 到 400nm 的光谱

分析，从干净、无尘、充氮气清洁或真空封装，到紫外增强的光学器件、

光源、探测器，再到电脑优化的光学系统，所有的 VUVAS 系统的部

件设计都是为了提高光学分析的效果和简化用户的测量任务。

VUVAS 系统也有用于气体和液体样品的样品架。大多数用户测量

覆盖在基板上的样品的透射，标配有一个 XYZ 可调的样品架，对于一

些特殊应用，可选低温单样品装置和大面积样品扫描附件。VUVAS 系

统还可以测量反射光谱并且还很容易改变光到样品表面的入射角。另

外探测器也是可调的，它可以保持 theta/2-theta 的几何学角度来做

镜面反射率测量，或者偏离这个角度来做散射和色散测量。

VUVAS 的设计可以提供绝对测量，一个探测器可以同时作为参考

探测器及最终的透射或反射的测量探测器，这种方法使得用户在不使

用额外附件的情况下得到更好的探测效果。在波长小于 350nm 时，可

以用于标准样品的材料很少，一个原因是材料需要能够接受高能量紫

外线的照射，另外对污染较敏感。在157nm的光波照射下，若有单层水，

氧气或油污染的存在，光会损失 15%。VUVAS 系统的真空设计，为光

谱测量提供了有效而精确的数据。

VUVAS 集成系统是一个整体解决方案。一键式真空 (N2 清洁 ) 控

制系统和软件设计可以让用户更放心也更方便的进行高品质的深紫外

和真空紫外测量，它弥补了许多实验室对于高性能紫外可见光谱仪检

测的设备需求，并在深紫外和真空紫外区域提供了坚实而卓越的性能。

■ 校正过的紫外光谱仪设计

■ 可选抽真空或充氮气两种方式

■ 115nm到380nm光谱范围

■ 可调样品和探测器角度

■ 透射，反射和散射测量

反射

标准偏差

新品

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