Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

B14室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

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选型表

Sx00.xx.C 系列室温压电扫描台

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

压电·单轴扫描运动— S300.x.C

室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列

Piezoelectric Motion - LT

标准单轴扫描运动模块，⽀持电容&电阻闭环控制

Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

S300.x.C

产品特⾊

• X⽅向运动范围 300 um；

• 外形尺⼨，50 mm × 50 mm× 17 mm;

• 闭环定位精度优于 3 nm（开环版本可选）

• 最⼤负载 500 g；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

2D·尺⼨图

S300.x.C , 单维压电扫描台

可选版本 ⇨ 正常版本 .NM

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 X ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 50 mm × 50 mm × 17 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢 铝合⾦ & 纯钛

4 运动⾏程 300 um（开环）

250 um （闭环）

运动&定位

5 运动分辨率（开环） 1 nm

6 运动可重复精度 ± 10 nm

7 线性误差 优于 0.1%

8 共振频率 350 Hz

9 最⼤负载 500 g

10 闭环传感器（闭环版本） 电容式

11 压电电容（X, Y） Max. 150 V

其他信息

12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

13 质量 200 g

14 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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压电·单轴扫描运动— S100.z.C / S

室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

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Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

S100.z.C /S

产品特⾊

• Z ⽅向扫描运动 100 um；

• 外形尺⼨，40 mm × 40 mm× 18 mm;

• 闭环定位精度优于 1nm（开环版本可选）

• 最⼤负载 500 g；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

2D·尺⼨图

S100.z.C , 单维压电扫描台

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 40mm × 40 mm × 18 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 100 um （闭环）

运动&定位

5 运动分辨率 0.2 nm

6 运动可重复精度 ± 5 nm

7 摇摆/俯仰 ± 25 µrad

8 线性误差 优于 0.02%

9 共振频率（空载） 500 Hz

10 刚性 0.5 N/um

11 最⼤负载 500 g

12 闭环传感器（闭环版本） 电容式

13 压电电容（Z） 150 V

其他信息

14 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

15 质量 150g

16 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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压电·⼆/三轴扫描运动— S100.xyz.C

室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列

Piezoelectric Motion - LT

紧凑的3⾃由度扫描运动台，电容闭环控制⽀持

Piezoelectric Motion - RT

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Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

S100.xy.C

S100.xyz.C

产品特⾊

• 三维度XY 扫描运动 100 um × 100 um× 100 um；

• 外形尺⼨，55 mm × 55 mm× 40 mm;

• 闭环定位精度优于 1 nm

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

2D·尺⼨图

S100.xy / xyz.C , 2维度 / 3维压电扫描台

可选版本 ⇨ S100.xy / xyz .C

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向

S100.XY : X，Y ⽅向

S100.XYZ : X，Y，Z ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 55 mm × 55 mm × 40 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 S100.xy.C : 100 um × 100 um

S100.xyz.C : 100 um × 100 um × 100 um

运动&定位

5 运动分辨率 0.2 nm(开环) 1nm（闭环）

6 运动可重复精度 < 10 nm

7 线性误差 优于 0.1%

8 共振频率 X， Y ：400 Hz，350Hz

Z：300 Hz

9 刚性 0.5 N/um

10 闭环传感器（闭环版本） 电容式

11 驱动电压 150 V

其他信息

12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

13 质量 500 g

14 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

命名规则

运动行程：

100：100μm

300：300μm

环境版本：

NM：绝对无磁版本

HV：高真空版本

UHV：超高真空版本

运动方向

z：Z轴方向

xy：XY轴方向

xyz：XYZ轴方向

S100.xy.C.HV

传感器

C：电容型

S：电阻型

特点：

•紧凑设计、XYZ三轴在极小外形尺寸范围内做到较大行程

•高负载，负载可至500g

•闭环精度优于1nm

•支持无磁(.NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件

型号 S100.z.C S100.xy.C S100.xyz.C S300.x.C

运动方向 Z方向 S100.XY : X，Y方向

S100.XYZ : X，Y，Z 方向 X方向

底面尺寸×高度（mm） 40×40×18 55×55×40 50×50×17

主体材料 铝合金 & 不锈钢& 纯钛

自重（g） 150 500 200

运动行程（µm） 100(闭环) 100×100 100×100 ×100 300 (开环)

运动分辨率（nm） 0.2 (开环) 0.2 (开环) ;1 (闭环) 3 (闭环)

运动可重复精度（nm） ± 5 < 10 士10

线性误差 优于0.02% 优于 0.1% 优于0.1%

共振频率（Hz） 500 X，Y: 400 ，350

Z: 300 350

刚性（N/µm） 0.5 0.5 /

闭环传感器 电容式

驱动电压 150V

推荐使用温度 -20~80°C

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B15室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

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S100.C

尺寸图：

S300.x.C

S100.xy /xyz.C

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压电·单轴扫描运动— S300.x.C 室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列

Piezoelectric Motion - LT

标准单轴扫描运动模块，⽀持电容&电阻闭环控制

Piezoelectric Motion - RT

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Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

S300.x.C

产品特⾊

• X⽅向运动范围 300 um；

• 外形尺⼨，50 mm × 50 mm× 17 mm;

• 闭环定位精度优于 3 nm（开环版本可选）

• 最⼤负载 500 g；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

2D·尺⼨图

S300.x.C , 单维压电扫描台

可选版本 ⇨ 正常版本 .NM

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 X ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 50 mm × 50 mm × 17 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢 铝合⾦ & 纯钛

4 运动⾏程 300 um（开环）

250 um （闭环）

运动&定位

5 运动分辨率（开环） 1 nm

6 运动可重复精度 ± 10 nm

7 线性误差 优于 0.1%

8 共振频率 350 Hz

9 最⼤负载 500 g

10 闭环传感器（闭环版本） 电容式

11 压电电容（X, Y） Max. 150 V

其他信息

12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

13 质量 200 g

14 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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压电·单轴扫描运动— S300.x.C

室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列

Piezoelectric Motion - LT

标准单轴扫描运动模块，⽀持电容&电阻闭环控制

Piezoelectric Motion - RT

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Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

S300.x.C

产品特⾊

• X⽅向运动范围 300 um；

• 外形尺⼨，50 mm × 50 mm× 17 mm;

• 闭环定位精度优于 3 nm（开环版本可选）

• 最⼤负载 500 g；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

2D·尺⼨图

S300.x.C , 单维压电扫描台

可选版本 ⇨ 正常版本 .NM

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 X ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 50 mm × 50 mm × 17 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢 铝合⾦ & 纯钛

4 运动⾏程

300 um（开环）

250 um （闭环）

运动&定位

5 运动分辨率（开环） 1 nm

6 运动可重复精度 ± 10 nm

7 线性误差 优于 0.1%

8 共振频率 350 Hz

9 最⼤负载 500 g

10 闭环传感器（闭环版本） 电容式

11 压电电容（X, Y） Max. 150 V

其他信息

12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

13 质量 200 g

14 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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压电á单轴扫描运动Ñ S300.x.C

室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列

Piezoelectric Motion - LT

标准单轴扫描运动模块，⽀持电容&电阻闭环控制

Piezoelectric Motion - RT

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Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

S300.x.C

产品特⾊

¥ X⽅向运动范围 300 um；

¥ 外形尺⼨，50 mm × 50 mm× 17 mm;

¥ 闭环定位精度优于 3 nm（开环版本可选）

¥ 最⼤负载 500 g；

¥ ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

2D·尺⼨图

S300.x.C , 单维压电扫描台

可选版本 ⇨ 正常版本 .NM

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 X ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 50 mm × 50 mm × 17 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢 铝合⾦ & 纯钛

4 运动⾏程

300 um（开环）

250 um （闭环）

运动&定位

5 运动分辨率（开环） 1 nm

6 运动可重复精度 ± 10 nm

7 线性误差 优于 0.1%

8 共振频率 350 Hz

9 最⼤负载 500 g

10 闭环传感器（闭环版本） 电容式

11 压电电容（X, Y） Max. 150 V

其他信息

12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 ¡C

13 质量 200 g

14 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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压电·单轴扫描运动— S100.z.C / S 室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

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Piezoelectric Motion - LT

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&Group

S100.z.C /S

产品特⾊

• Z ⽅向扫描运动 100 um；

• 外形尺⼨，40 mm × 40 mm× 18 mm;

• 闭环定位精度优于 1nm（开环版本可选）

• 最⼤负载 500 g；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

2D·尺⼨图

S100.z.C , 单维压电扫描台

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 40mm × 40 mm × 18 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 100 um （闭环）

运动&定位

5 运动分辨率 0.2 nm

6 运动可重复精度 ± 5 nm

7 摇摆/俯仰 ± 25 µrad

8 线性误差 优于 0.02%

9 共振频率（空载） 500 Hz

10 刚性 0.5 N/um

11 最⼤负载 500 g

12 闭环传感器（闭环版本） 电容式

13 压电电容（Z） 150 V

其他信息

14 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

15 质量 150g

16 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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压电·单轴扫描运动— S100.z.C / S

室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

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Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

S100.z.C /S

产品特⾊

• Z ⽅向扫描运动 100 um；

• 外形尺⼨，40 mm × 40 mm× 18 mm;

• 闭环定位精度优于 1nm（开环版本可选）

• 最⼤负载 500 g；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

2D·尺⼨图

S100.z.C , 单维压电扫描台

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 40mm × 40 mm × 18 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 100 um （闭环）

运动&定位

5 运动分辨率 0.2 nm

6 运动可重复精度 ± 5 nm

7 摇摆/俯仰 ± 25 µrad

8 线性误差 优于 0.02%

9 共振频率（空载） 500 Hz

10 刚性 0.5 N/um

11 最⼤负载 500 g

12 闭环传感器（闭环版本） 电容式

13 压电电容（Z） 150 V

其他信息

14 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

15 质量 150g

16 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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压电·单轴扫描运动— S100.z.C / S

室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

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Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

S100.z.C /S

产品特⾊

• Z ⽅向扫描运动 100 um；

• 外形尺⼨，40 mm × 40 mm× 18 mm;

• 闭环定位精度优于 1nm（开环版本可选）

• 最⼤负载 500 g；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

2D·尺⼨图

S100.z.C , 单维压电扫描台

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 40mm × 40 mm × 18 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 100 um （闭环）

运动&定位

5 运动分辨率 0.2 nm

6 运动可重复精度 ± 5 nm

7 摇摆/俯仰 ± 25 µrad

8 线性误差 优于 0.02%

9 共振频率（空载） 500 Hz

10 刚性 0.5 N/um

11 最⼤负载 500 g

12 闭环传感器（闭环版本） 电容式

13 压电电容（Z） 150 V

其他信息

14 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

15 质量 150g

16 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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压电·⼆/三轴扫描运动— S100.xyz.C 室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列

Piezoelectric Motion - LT

紧凑的3⾃由度扫描运动台，电容闭环控制⽀持

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S100.xy.C

S100.xyz.C

产品特⾊

• 三维度XY 扫描运动 100 um × 100 um× 100 um；

• 外形尺⼨，55 mm × 55 mm× 40 mm;

• 闭环定位精度优于 1 nm

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

2D·尺⼨图

S100.xy / xyz.C , 2维度 / 3维压电扫描台

可选版本 ⇨ S100.xy / xyz .C

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向

S100.XY : X，Y ⽅向

S100.XYZ : X，Y，Z ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 55 mm × 55 mm × 40 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 S100.xy.C : 100 um × 100 um

S100.xyz.C : 100 um × 100 um × 100 um

运动&定位

5 运动分辨率 0.2 nm(开环) 1nm（闭环）

6 运动可重复精度 < 10 nm

7 线性误差 优于 0.1%

8 共振频率 X， Y ：400 Hz，350Hz

Z：300 Hz

9 刚性 0.5 N/um

10 闭环传感器（闭环版本） 电容式

11 驱动电压 150 V

其他信息

12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

13 质量 500 g

14 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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压电·⼆/三轴扫描运动— S100.xyz.C

室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列

Piezoelectric Motion - LT

紧凑的3⾃由度扫描运动台，电容闭环控制⽀持

Piezoelectric Motion - RT

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Piezoelectric Motion - LT

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S100.xy.C

S100.xyz.C

产品特⾊

• 三维度XY 扫描运动 100 um × 100 um× 100 um；

• 外形尺⼨，55 mm × 55 mm× 40 mm;

• 闭环定位精度优于 1 nm

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

2D·尺⼨图

S100.xy / xyz.C , 2维度 / 3维压电扫描台

可选版本 ⇨ S100.xy / xyz .C

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向

S100.XY : X，Y ⽅向

S100.XYZ : X，Y，Z ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 55 mm × 55 mm × 40 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 S100.xy.C : 100 um × 100 um

S100.xyz.C : 100 um × 100 um × 100 um

运动&定位

5 运动分辨率 0.2 nm(开环) 1nm（闭环）

6 运动可重复精度 < 10 nm

7 线性误差 优于 0.1%

8 共振频率 X， Y ：400 Hz，350Hz

Z：300 Hz

9 刚性 0.5 N/um

10 闭环传感器（闭环版本） 电容式

11 驱动电压 150 V

其他信息

12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

13 质量 500 g

14 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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压电·⼆/三轴扫描运动— S100.xyz.C

室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “S 系列“ 标准版系列

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紧凑的3⾃由度扫描运动台，电容闭环控制⽀持

Piezoelectric Motion - RT

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S100.xy.C

S100.xyz.C

产品特⾊

• 三维度XY 扫描运动 100 um × 100 um× 100 um；

• 外形尺⼨，55 mm × 55 mm× 40 mm;

• 闭环定位精度优于 1 nm

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

2D·尺⼨图

S100.xy / xyz.C , 2维度 / 3维压电扫描台

可选版本 ⇨ S100.xy / xyz .C

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向

S100.XY : X，Y ⽅向

S100.XYZ : X，Y，Z ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 55 mm × 55 mm × 40 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 S100.xy.C : 100 um × 100 um

S100.xyz.C : 100 um × 100 um × 100 um

运动&定位

5 运动分辨率 0.2 nm(开环) 1nm（闭环）

6 运动可重复精度 < 10 nm

7 线性误差 优于 0.1%

8 共振频率 X， Y ：400 Hz，350Hz

Z：300 Hz

9 刚性 0.5 N/um

10 闭环传感器（闭环版本） 电容式

11 驱动电压 150 V

其他信息

12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

13 质量 500 g

14 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

B16室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

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选型表

SD15/30.x.C系列 室温压电高动态扫描台

特点：

•X方向扫描运动15µm，30µm

•外形尺寸，62mm x 40mm x 13.5mm，80mm x 40mm x 13.5mm

•闭环分辨率优于0.1nm

•电容位置传感

•高速运动响应

•支持高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件

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压电·⾼速单轴扫描运动— SD15/30.x.C

室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “SD系列“ ⾼动态系列

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

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Piezoelectric Motion - LT

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SD30.x.C

产品特⾊

• X ⽅向扫描运动 15 um, 30 um；

• 外形尺⼨，62 mm × 40 mm× 13.5 mm, 80 mm × 40 mm× 13.5 mm;

• 闭环分辨率优于 0.1 nm;

• 电容位置传感；

• ⾼速运动响应；

• 真空（.HV），⾼真空（.UHV）选件升级

2D·尺⼨图

SD15/30.x.C , 单维压电·⾼速扫描台-1

可选版本 ⇨ SD15.x.C SD30.x.C

.HV，⾼真空版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 X ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 62 mm × 40 mm× 13.5 mm 80 mm × 40 mm× 13.5 mm

3 主体材料 铝合⾦

4 运动⾏程 15 um （闭环） 30 um （闭环）

运动&定位

5 运动分辨率 0.1 nm 0.2 nm

6 运动可重复精度 2 nm 4 nm

7 线性误差 优于 0.035%

8 摇摆 2 urad

9 俯仰 2 urad

10 共振频率 3.3 kHz 2.2 kHz

11 共振频率（300g） 1 kHz 0.625 kHz

12 刚性 28 N/um 18 N/um

13 闭环传感器（闭环版本） 电容式

其他信息

14 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

15 质量 250 g 350 g

16 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3

17 适配控制器 Archimedes 系列控制器

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

SD15.x.C

SD15.x.C SD30.x.C

⾼速扫描运动，电容闭环传感，超⾼运动分辨率

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

压电·⾼速单轴扫描运动— SD15/30.x.C 室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “SD系列“ ⾼动态系列

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

SD30.x.C

产品特⾊

• X ⽅向扫描运动 15 um, 30 um；

• 外形尺⼨，62 mm × 40 mm× 13.5 mm, 80 mm × 40 mm× 13.5 mm;

• 闭环分辨率优于 0.1 nm;

• 电容位置传感；

• ⾼速运动响应；

• 真空（.HV），⾼真空（.UHV）选件升级

2D·尺⼨图

SD15/30.x.C , 单维压电·⾼速扫描台-1

可选版本 ⇨ SD15.x.C SD30.x.C

.HV，⾼真空版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 X ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 62 mm × 40 mm× 13.5 mm 80 mm × 40 mm× 13.5 mm

3 主体材料 铝合⾦

4 运动⾏程 15 um （闭环） 30 um （闭环）

运动&定位

5 运动分辨率 0.1 nm 0.2 nm

6 运动可重复精度 2 nm 4 nm

7 线性误差 优于 0.035%

8 摇摆 2 urad

9 俯仰 2 urad

10 共振频率 3.3 kHz 2.2 kHz

11 共振频率（300g） 1 kHz 0.625 kHz

12 刚性 28 N/um 18 N/um

13 闭环传感器（闭环版本） 电容式

其他信息

14 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

15 质量 250 g 350 g

16 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3

17 适配控制器 Archimedes 系列控制器

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

SD15.x.C

SD15.x.C SD30.x.C

⾼速扫描运动，电容闭环传感，超⾼运动分辨率

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

压电·⾼速单轴扫描运动— SD15/30.x.C

室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “SD系列“ ⾼动态系列

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

SD30.x.C

产品特⾊

• X ⽅向扫描运动 15 um, 30 um；

• 外形尺⼨，62 mm × 40 mm× 13.5 mm, 80 mm × 40 mm× 13.5 mm;

• 闭环分辨率优于 0.1 nm;

• 电容位置传感；

• ⾼速运动响应；

• 真空（.HV），⾼真空（.UHV）选件升级

2D·尺⼨图

SD15/30.x.C , 单维压电·⾼速扫描台-1

可选版本 ⇨ SD15.x.C SD30.x.C

.HV，⾼真空版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 X ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 62 mm × 40 mm× 13.5 mm 80 mm × 40 mm× 13.5 mm

3 主体材料 铝合⾦

4 运动⾏程 15 um （闭环） 30 um （闭环）

运动&定位

5 运动分辨率 0.1 nm 0.2 nm

6 运动可重复精度 2 nm 4 nm

7 线性误差 优于 0.035%

8 摇摆 2 urad

9 俯仰 2 urad

10 共振频率 3.3 kHz 2.2 kHz

11 共振频率（300g） 1 kHz 0.625 kHz

12 刚性 28 N/um 18 N/um

13 闭环传感器（闭环版本） 电容式

其他信息

14 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

15 质量 250 g 350 g

16 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3

17 适配控制器 Archimedes 系列控制器

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

SD15.x.C

SD15.x.C SD30.x.C

⾼速扫描运动，电容闭环传感，超⾼运动分辨率

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压电·⾼速单轴扫描运动— SD15/30.x.C

室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “SD系列“ ⾼动态系列

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

SD30.x.C

产品特⾊

• X ⽅向扫描运动 15 um, 30 um；

• 外形尺⼨，62 mm × 40 mm× 13.5 mm, 80 mm × 40 mm× 13.5 mm;

• 闭环分辨率优于 0.1 nm;

• 电容位置传感；

• ⾼速运动响应；

• 真空（.HV），⾼真空（.UHV）选件升级

2D·尺⼨图

SD15/30.x.C , 单维压电·⾼速扫描台-1

可选版本 ⇨ SD15.x.C SD30.x.C

.HV，⾼真空版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 X ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 62 mm × 40 mm× 13.5 mm 80 mm × 40 mm× 13.5 mm

3 主体材料 铝合⾦

4 运动⾏程 15 um （闭环） 30 um （闭环）

运动&定位

5 运动分辨率 0.1 nm 0.2 nm

6 运动可重复精度 2 nm 4 nm

7 线性误差 优于 0.035%

8 摇摆 2 urad

9 俯仰 2 urad

10 共振频率 3.3 kHz 2.2 kHz

11 共振频率（300g） 1 kHz 0.625 kHz

12 刚性 28 N/um 18 N/um

13 闭环传感器（闭环版本） 电容式

其他信息

14 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

15 质量 250 g 350 g

16 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3

17 适配控制器 Archimedes 系列控制器

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

SD15.x.C

SD15.x.C SD30.x.C

⾼速扫描运动，电容闭环传感，超⾼运动分辨率

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压电·⾼速单轴扫描运动— SD15/30.x.C 室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “SD系列“ ⾼动态系列

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

SD30.x.C

产品特⾊

• X ⽅向扫描运动 15 um, 30 um；

• 外形尺⼨，62 mm × 40 mm× 13.5 mm, 80 mm × 40 mm× 13.5 mm;

• 闭环分辨率优于 0.1 nm;

• 电容位置传感；

• ⾼速运动响应；

• 真空（.HV），⾼真空（.UHV）选件升级

2D·尺⼨图

SD15/30.x.C , 单维压电·⾼速扫描台-1

可选版本 ⇨ SD15.x.C SD30.x.C

.HV，⾼真空版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 X ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 62 mm × 40 mm× 13.5 mm 80 mm × 40 mm× 13.5 mm

3 主体材料 铝合⾦

4 运动⾏程 15 um （闭环） 30 um （闭环）

运动&定位

5 运动分辨率 0.1 nm 0.2 nm

6 运动可重复精度 2 nm 4 nm

7 线性误差 优于 0.035%

8 摇摆 2 urad

9 俯仰 2 urad

10 共振频率 3.3 kHz 2.2 kHz

11 共振频率（300g） 1 kHz 0.625 kHz

12 刚性 28 N/um 18 N/um

13 闭环传感器（闭环版本） 电容式

其他信息

14 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

15 质量 250 g 350 g

16 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3

17 适配控制器 Archimedes 系列控制器

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

SD15.x.C

SD15.x.C SD30.x.C

⾼速扫描运动，电容闭环传感，超⾼运动分辨率

SD15.x.C

尺寸图：

SD30.x.C

型号 SD15.x.C SD30.x.C

运动方向 X方向

底面尺寸×高度（mm） 62×40×13.5 80×40×13.5

主体材料 铝合金

自重（g） 250 350

运动行程（µm） 15（闭环） 30 （闭环）

运动分辨率（nm） 0.1 0.2

运动可重复精度（nm） 2 4

线性误差 优于 0.035%

摇摆（µrad） 2

俯仰（µrad） 2

共振频率（kHz） 3.3 2.2

共振频率 (300g）（kHz） 1 0.625

刚性（N/µm） 28 18

闭环传感器（闭环版本） 电容式

推荐使用温度 -20 ~ 80 °C

命名规则

运动行程：

15：15μm

30：30μm

环境版本：

HV：高真空版本

UHV：超高真空版本

传感器

C：电容型

S：电阻型

SD15.x.C.HV

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

B17室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

返回目录

选型表

SH30.xyz.C系列 室温压电高负载扫描台

特点：

•三维度XYZ扫描运动 30 µm x 30 µm x 15µm

•外形尺寸，160mm x 160mm x 35mm

•闭环分辨率优于0.3nm

•最大负载 10 kg

•支持高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件

SH30.xyz.0 /.C

尺寸图：

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

压电·三轴扫描运动— SH30.xyz.C

室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “SH 系列“ ⾼负载系列

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

SH30.xyz.0 /.C

产品特⾊

• 三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x 15 um;

• 外形尺⼨，160 mm x 160 mm x 35 mm;

• 闭环分辨率优于 0.3nm

• 最⼤负载 10 kg;

• ⽀持⾼真空（..HV) 和超⾼真空 (.UHV) 选件升级

2D·尺⼨图

SH30.xyz.0 /.C, 3维压电扫描台-技术参数-1

可选版本 ⇨ SH30.xyz.C / .0

.HV，⾼真空版本；

.UHV，超⾼真空版本；

.0 开环产品

.C 电容传感

1 运动⽅向 X ,Y ,Z ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 160 mm x 160 mm x 35 mm

3 主体材料 不锈钢

4 运动⾏程 30 um x 30 um x 15 um

运动&定位

5 运动分辨率 0.1 nm(开环) 0.3nm (闭环)

6 运动可重复精度（闭环） < 3 nm

7 偏摆⻆度 20 urad / 20 urad / 50 urad

8 共振频率 (空载) 500 Hz

9 最⼤负载 10 kg

10 闭环传感器（闭环版本） 电容式

11 驱动电压 150 V

其他信息

12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

13 质量 4 kg

14 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

10kg超⾼负载，3⾃由度 -XYZ线性移动

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压电·三轴扫描运动— SH30.xyz.C

室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “SH 系列“ ⾼负载系列

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

SH30.xyz.0 /.C

产品特⾊

• 三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x 15 um;

• 外形尺⼨，160 mm x 160 mm x 35 mm;

• 闭环分辨率优于 0.3nm

• 最⼤负载 10 kg;

• ⽀持⾼真空（..HV) 和超⾼真空 (.UHV) 选件升级

2D·尺⼨图

SH30.xyz.0 /.C, 3维压电扫描台-技术参数-1

可选版本 ⇨ SH30.xyz.C / .0

.HV，⾼真空版本；

.UHV，超⾼真空版本；

.0 开环产品

.C 电容传感

1 运动⽅向 X ,Y ,Z ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 160 mm x 160 mm x 35 mm

3 主体材料 不锈钢

4 运动⾏程 30 um x 30 um x 15 um

运动&定位

5 运动分辨率 0.1 nm(开环) 0.3nm (闭环)

6 运动可重复精度（闭环） < 3 nm

7 偏摆⻆度 20 urad / 20 urad / 50 urad

8 共振频率 (空载) 500 Hz

9 最⼤负载 10 kg

10 闭环传感器（闭环版本） 电容式

11 驱动电压 150 V

其他信息

12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

13 质量 4 kg

14 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

10kg超⾼负载，3⾃由度 -XYZ线性移动

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

压电·三轴扫描运动— SH30.xyz.C 室温·压电运动⽅案 — 紧凑型 “SH 系列“ ⾼负载系列

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

SH30.xyz.0 /.C

产品特⾊

• 三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x 15 um;

• 外形尺⼨，160 mm x 160 mm x 35 mm;

• 闭环分辨率优于 0.3nm

• 最⼤负载 10 kg;

• ⽀持⾼真空（..HV) 和超⾼真空 (.UHV) 选件升级

2D·尺⼨图

SH30.xyz.0 /.C, 3维压电扫描台-技术参数-1

可选版本 ⇨ SH30.xyz.C / .0

.HV，⾼真空版本；

.UHV，超⾼真空版本；

.0 开环产品

.C 电容传感

1 运动⽅向 X ,Y ,Z ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 160 mm x 160 mm x 35 mm

3 主体材料 不锈钢

4 运动⾏程 30 um x 30 um x 15 um

运动&定位

5 运动分辨率 0.1 nm(开环) 0.3nm (闭环)

6 运动可重复精度（闭环） < 3 nm

7 偏摆⻆度 20 urad / 20 urad / 50 urad

8 共振频率 (空载) 500 Hz

9 最⼤负载 10 kg

10 闭环传感器（闭环版本） 电容式

11 驱动电压 150 V

其他信息

12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

13 质量 4 kg

14 线缆⻓度 1m/ D-Sub 3W3

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

10kg超⾼负载，3⾃由度 -XYZ线性移动

命名规则

环境版本：

HV：高真空版本

UHV：超高真空版本

开闭环：

C：电容式闭环

S：电阻式闭环

0：开环

SH30.xyz.C.HV

型号 SH30.xyz.0 /.C

运动方向 X ,Y ,Z 方向

底面尺寸×高度（mm） 160×160×35

主体材料 不锈钢

自重（g） 4000

运动行程（µm） 30×30×15

运动分辨率（nm） 0.1(开环) 0.3(闭环)

运动可重复精度（闭环）（nm） <3

偏摆角度（µrad） 20/ 20 / 50

共振频率 (空载)（Hz） 500

最大负载（kg） 10

闭环传感器（闭环版本） 电容式

驱动电压（V） 150

推荐使用温度 -20 ~ 80 °C

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

B18室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

返回目录

选型表

Carrier.S200.xy/xyz.C系列 室温压电中空扫描台

特点：

•两维度XY 扫描运动200µm x 200µm

•闭环分辨率优于2nm

•最大负载 500 g

•针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案

•支持无磁(.NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件

命名规则

Carrier.S200.xy/xyz.C

尺寸图：

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压电·⼤范围扫描运动— Carrier.S200.xy / xyz.C

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - RT

Carrier.S200.xy.C

Carrier.S200.xyz.C

产品特⾊

• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；

• 闭环分辨率优于 2 nm；

• 最⼤负载 500 g；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - RT

MultiFields

&Group

Carrier.S200.xy /xyz.C，压电扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向

Carrier.S200.XY : X，Y ⽅向

Carrier.S200.XYZ : X，Y，Z ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 182 mm × 150 mm × 15 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 Carrier.S200.xy : 200 um × 200 um

Carrier.S200.xyz : 200 um × 200 um × 200 um

5 中空透孔 77 mm × 65 mm

运动&位置传感

6 运动分辨率 2 nm

7 运动可重复精度 ± 20 nm

8 线性误差 优于 0.1%

9 共振频率 200Hz(X) 150Hz(Y)

10 最⼤负载 500g

11 闭环传感器（闭环版本） 电容式

12 驱动电压 Max. 150 V

其他

13 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度

14 质量 1 kg

15 安装 螺纹孔兼容 Carrier.L7550.XY

2D·尺⼨图

⾼速扫描运动，电容闭环传感，超⾼运动分辨率

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

压电·⼤范围扫描运动— Carrier.S200.xy / xyz.C 室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - RT

Carrier.S200.xy.C

Carrier.S200.xyz.C

产品特⾊

• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；

• 闭环分辨率优于 2 nm；

• 最⼤负载 500 g；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - RT

MultiFields

&Group

Carrier.S200.xy /xyz.C，压电扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Carrier.S200.XY : X，Y ⽅向

Carrier.S200.XYZ : X，Y，Z ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 182 mm × 150 mm × 15 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 Carrier.S200.xy : 200 um × 200 um

Carrier.S200.xyz : 200 um × 200 um × 200 um

5 中空透孔 77 mm × 65 mm

运动&位置传感

6 运动分辨率 2 nm

7 运动可重复精度 ± 20 nm

8 线性误差 优于 0.1%

9 共振频率 200Hz(X) 150Hz(Y)

10 最⼤负载 500g

11 闭环传感器（闭环版本） 电容式

12 驱动电压 Max. 150 V

其他

13 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度

14 质量 1 kg

15 安装 螺纹孔兼容 Carrier.L7550.XY

2D·尺⼨图

⾼速扫描运动，电容闭环传感，超⾼运动分辨率

型号 CarrierS200.xy.C CarrierS200.xyz.C

运动方向 X，Y 方向 X，Y，Z 方向

底面尺寸×高度（mm） 182×150×15

主体材料 铝合金/ 不锈钢

自重（g） 1000

运动行程（µm） 200×200 200×200×200

中间通孔尺寸（mm） 77×65

运动分辨率（nm） 2

运动可重复精度（nm） 士20

线性误差 优于 0.1%

共振频率（Hz） 200(X) 150(Y)

最大负载（g） 500

闭环传感器 电容式

驱动电压 Max. 150 V

推荐使用温度 15 ~ 40 °C

质量（kg） 1

运动方向：

xy：XY方向

xyz：XYZ方向

环境版本：

NM：绝对无磁版本

HV：高真空版本

UHV：超高真空版本

传感器：

C：电容型

S：电阻型

Carrier.S200.xy.C.HV

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

B19室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

返回目录

选型表

CarrierHS100.xxx.C系列 室温压电中空高负载扫描台

命名规则

特点：

•闭环分辨率优于 1nm

•最大负载 3.5kg

•针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案

•支持无磁(.NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件

负载类型：

S：轻负载

HS：重负载

环境版本：

NM：无磁版本

HV：高真空版本

UHV：超高真空版本

传感器：

C：电容型

S：电阻型

Carrier.HS100.Z.C.HV

运动方向：

Z：Z轴方向

XY：XY轴方向

ZTxTy：Z、θx和θy方向

XYRz：XY和θz方向

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

扫描运动·⾼负载通孔型— Carrier.HS100.z.C 室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Carrier.HS100.z.C

产品特⾊

• Z 扫描运动 100 um

• 闭环分辨率优于 1 nm；

• 最⼤负载 3 kg；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.HS100.z.C，压电扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 150 mm × 150 mm × 30 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 100 um

5 中空透孔 66 mm × 66 mm

运动&位置传感

6 线性度误差（z⽅向运动） 0.035%

7 俯仰/偏摆/旋转 50 urad / 50 urad / 10 urad

8 运动分辨率（闭环/开环） 1 nm / 0.3 nm

9 运动可重复精度 ± 10 nm

10 刚性 2.5 N/ um

11 共振频率（空载/2.5 kg） 500 Hz/ 200 Hz

12 最⼤负载 5 kg

13 闭环传感器（闭环版本） 电容式

14 驱动电压 Max. 150 V

其他

15 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度

16 质量 1 kg

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

⾼负载·⾼速Z⽅向运动，⼤通孔设计，并联设计+电容闭环传感

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

扫描运动·⾼负载通孔型 Carrier.HS100.xy.C 室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Carrier.HS100.xy.C

产品特⾊

• 两维度xy扫描运动 100 um；

• 闭环分辨率优于 1nm；

• 最⼤负载 3.5 kg；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

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Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.HS100.xy.C，压电扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 XY ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 150 mm × 150 mm × 30 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 100 um x 100 um

5 中空透孔 66 mm × 66 mm

运动&位置传感

6 线性度误差（z⽅向运动） 0.035%

8 运动分辨率（闭环/开环） 1 nm / 0.2 nm

9 运动可重复精度 ± 10 nm

10 刚性 2 N/ um

11 共振频率（空载/2.5 kg） 420 Hz/ 130 Hz

12 最⼤负载 3.5 kg

13 闭环传感器（闭环版本） 电容式

14 驱动电压 Max. 150 V

其他

15 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度

16 质量 1 kg

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

⾼负载·⾼速XY平⾯运动，⼤通孔设计，并联设计+电容闭环传感

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⼤负载通孔·扫描运动— Carrier.HS100.zTxTy.C 室温á压电运动⽅案 Ñ ÒCarrier. HS系列Ò 中空-⼤负载扫描台

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

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Carrier.HS100.zTxTy.C

• 三维度Z，θxy 扫描运动；

• 100 um⾏程，1mrad & 1 mard

• 闭环分辨率优于 1nm；

• 最⼤负载 2.5 kg；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

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Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.HS100.zTxTy.C，压电扫描台 Ñ 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z，θx & θy

2 底⾯尺⼨*⾼度 150 mm × 150 mm × 30 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程（Z，θx & θy ） 100 um，1 mrad & 1mrad

5 中空透孔 66 mm × 66 mm

运动&位置传感

6 Z线性度误差 0.035%

7 θ线性度误差 0.15%

8 Z运动分辨率（闭环/开环） 1 nm / 0.5 nm

9 θ运动分辨率（闭环/开环） 0.05 urad / 0.04 urad

10 运动可重复精度 (Z & θ) ± 10 nm, ± 0.1urad

11 刚性 2 N/ um

12 Z共振频率（空载/2.5 kg） 480 Hz/ 160 Hz

13 θ共振频率（空载/2.5 kg） 500 Hz/ 150 Hz

14 最⼤负载 2.5 kg

15 闭环传感器（闭环版本） 电容式

16 驱动电压 Max. 150 V

其他

17 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度

18 质量 1 kg

19 安装 螺纹孔兼容 Carrier.L7550.XY

2Dá尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

产品特⾊

⾼负载áZ⽅向扫描运动，两轴摇摆调节，保证真正准直

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扫描运动·⾼负载通孔型— Carrier.HS100.xyRz.C 室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Carrier.HS100.xyRz.C

产品特⾊

• 两维度xy扫描运动 100 um，z轴旋转运动1mrad；

• 闭环分辨率优于 1nm；

• 最⼤负载 3.5 kg；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

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Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.S100.xyRz.C，压电扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 XY ⽅向 + Rz旋转

2 底⾯尺⼨*⾼度 150 mm × 150 mm × 30 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 100 um x 100 um Rz:1 mard

5 中空透孔 66 mm × 66 mm

运动&位置传感

6 线性度误差（z⽅向运动） 0.035%

7 运动分辨率（闭环/开环） 1 nm / 0.2 nm

8 运动可重复精度 ± 10 nm

9 刚性 2 N/ um

10 共振频率（空载/2.5 kg） 420 Hz/ 130 Hz

11 最⼤负载 3.5 kg

12 闭环传感器（闭环版本） 电容式

13 驱动电压 Max. 150 V

其他

14 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度

15 质量 1 kg

16 安装 螺纹孔兼容 Carrier.L7550.XY

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

⾼负载·⾼速XY平⾯运动，Z轴旋转设计，保证XY⾯内准直运动

型号 Carrier.HS100.Z.C Carrier.HS100.XY.C Carrier.HS100.ZTxTy.C Carrier.S100.XYRz.C

运动方向 Z方向 XY 方向 Z方向+θx & θy XY 方向 + θz旋转

底面尺寸×高度（mm） 150×50×30 150×150×30 150×150×30 150×50×30

主体材料 铝合金 & 不锈钢

自重（g） 1000

运动行程 100 µm 100 µm ×100 µm 100 µm×1 mrad × 1mrad 100 µm × 100 µm ×1 mard

中间通孔尺寸（mm） 66×66

线性度误差（z方向运动） 0.035%

运动分辨率（闭环/开环） 1 nm / 0.3 nm 1 nm / 0.2 nm 1 nm / 0.5 nm

0.05 µrad / 0.04 µrad

1 nm / 0.2 nm

0.05 µrad / 0.04 µrad

运动可重复精度 ± 10 nm ± 10 nm ± 10 nm, ± 0.1µrad ± 10 nm

, ± 0.1µrad

刚性（N/ µm） 2.5 2 2 2

共振频率（空载/2.5 kg） 500 Hz/ 200 Hz 420 Hz/ 130 Hz 480 Hz/ 160 Hz 420 Hz/ 130 Hz

最大负载（kg） 5

闭环传感器 电容式

驱动电压 Max. 150 V

推荐使用温度 15 ~ 40 °C

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

B20室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

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Carrier.HS100.Z.C

Carrier.HS100.ZTxTy.C

尺寸图：

Carrier.HS100.XY.C

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扫描运动·⾼负载通孔型— Carrier.HS100.z.C 室温á压电运动⽅案 Ñ ÒCarrier. HS系列Ò 中空-⼤负载扫描台

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

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Carrier.HS100.z.C

产品特⾊

• Z 扫描运动 100 um

• 闭环分辨率优于 1 nm；

• 最⼤负载 3 kg；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

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Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.HS100.z.C，压电扫描台 Ñ 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 150 mm × 150 mm × 30 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 100 um

5 中空透孔 66 mm × 66 mm

运动&位置传感

6 线性度误差（z⽅向运动） 0.035%

7 俯仰/偏摆/旋转 50 urad / 50 urad / 10 urad

8 运动分辨率（闭环/开环） 1 nm / 0.3 nm

9 运动可重复精度 ± 10 nm

10 刚性 2.5 N/ um

11 共振频率（空载/2.5 kg） 500 Hz/ 200 Hz

12 最⼤负载 5 kg

13 闭环传感器（闭环版本） 电容式

14 驱动电压 Max. 150 V

其他

15 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度

16 质量 1 kg

2Dá尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

⾼负载á⾼速Z⽅向运动，⼤通孔设计，并联设计+电容闭环传感

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扫描运动·⾼负载通孔型— Carrier.HS100.z.C

室温á压电运动⽅案 Ñ ÒCarrier. HS系列Ò 中空-⼤负载扫描台

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

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Carrier.HS100.z.C

产品特⾊

• Z 扫描运动 100 um

• 闭环分辨率优于 1 nm；

• 最⼤负载 3 kg；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

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Piezoelectric Motion - LT

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Carrier.HS100.z.C，压电扫描台 Ñ 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 150 mm × 150 mm × 30 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 100 um

5 中空透孔 66 mm × 66 mm

运动&位置传感

6 线性度误差（z⽅向运动） 0.035%

7 俯仰/偏摆/旋转 50 urad / 50 urad / 10 urad

8 运动分辨率（闭环/开环） 1 nm / 0.3 nm

9 运动可重复精度 ± 10 nm

10 刚性 2.5 N/ um

11 共振频率（空载/2.5 kg） 500 Hz/ 200 Hz

12 最⼤负载 5 kg

13 闭环传感器（闭环版本） 电容式

14 驱动电压 Max. 150 V

其他

15 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度

16 质量 1 kg

2Dá尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

⾼负载á⾼速Z⽅向运动，⼤通孔设计，并联设计+电容闭环传感

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室温á压电运动⽅案 Ñ ÒCarrier. HS系列Ò 中空-⼤负载扫描台

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Carrier.HS100.z.C

产品特⾊

• Z 扫描运动 100 um

• 闭环分辨率优于 1 nm；

• 最⼤负载 3 kg；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

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Carrier.HS100.z.C，压电扫描台 Ñ 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 150 mm × 150 mm × 30 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 100 um

5 中空透孔 66 mm × 66 mm

运动&位置传感

6 线性度误差（z⽅向运动） 0.035%

7 俯仰/偏摆/旋转 50 urad / 50 urad / 10 urad

8 运动分辨率（闭环/开环） 1 nm / 0.3 nm

9 运动可重复精度 ± 10 nm

10 刚性 2.5 N/ um

11 共振频率（空载/2.5 kg） 500 Hz/ 200 Hz

12 最⼤负载 5 kg

13 闭环传感器（闭环版本） 电容式

14 驱动电压 Max. 150 V

其他

15 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度

16 质量 1 kg

2Dá尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

⾼负载á⾼速Z⽅向运动，⼤通孔设计，并联设计+电容闭环传感

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扫描运动·⾼负载通孔型 Carrier.HS100.xy.C 室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台

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Carrier.HS100.xy.C

产品特⾊

• 两维度xy扫描运动 100 um；

• 闭环分辨率优于 1nm；

• 最⼤负载 3.5 kg；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

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MultiFields

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Carrier.HS100.xy.C，压电扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 XY ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 150 mm × 150 mm × 30 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 100 um x 100 um

5 中空透孔 66 mm × 66 mm

运动&位置传感

6 线性度误差（z⽅向运动） 0.035%

8 运动分辨率（闭环/开环） 1 nm / 0.2 nm

9 运动可重复精度 ± 10 nm

10 刚性 2 N/ um

11 共振频率（空载/2.5 kg） 420 Hz/ 130 Hz

12 最⼤负载 3.5 kg

13 闭环传感器（闭环版本） 电容式

14 驱动电压 Max. 150 V

其他

15 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度

16 质量 1 kg

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

⾼负载·⾼速XY平⾯运动，⼤通孔设计，并联设计+电容闭环传感

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扫描运动·⾼负载通孔型 Carrier.HS100.xy.C

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

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Carrier.HS100.xy.C

产品特⾊

• 两维度xy扫描运动 100 um；

• 闭环分辨率优于 1nm；

• 最⼤负载 3.5 kg；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

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Piezoelectric Motion - LT

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Carrier.HS100.xy.C，压电扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 XY ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 150 mm × 150 mm × 30 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 100 um x 100 um

5 中空透孔 66 mm × 66 mm

运动&位置传感

6 线性度误差（z⽅向运动） 0.035%

8 运动分辨率（闭环/开环） 1 nm / 0.2 nm

9 运动可重复精度 ± 10 nm

10 刚性 2 N/ um

11 共振频率（空载/2.5 kg） 420 Hz/ 130 Hz

12 最⼤负载 3.5 kg

13 闭环传感器（闭环版本） 电容式

14 驱动电压 Max. 150 V

其他

15 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度

16 质量 1 kg

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

⾼负载·⾼速XY平⾯运动，⼤通孔设计，并联设计+电容闭环传感

Carrier.HS100.XYRz.C

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⼤负载通孔·扫描运动— Carrier.HS100.zTxTy.C 室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

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Carrier.HS100.zTxTy.C

• 三维度Z，θxy 扫描运动；

• 100 um⾏程，1mrad & 1 mard

• 闭环分辨率优于 1nm；

• 最⼤负载 2.5 kg；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

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Carrier.HS100.zTxTy.C，压电扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z，θx & θy

2 底⾯尺⼨*⾼度 150 mm × 150 mm × 30 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程（Z，θx & θy ） 100 um，1 mrad & 1mrad

5 中空透孔 66 mm × 66 mm

运动&位置传感

6 Z线性度误差 0.035%

7 θ线性度误差 0.15%

8 Z运动分辨率（闭环/开环） 1 nm / 0.5 nm

9 θ运动分辨率（闭环/开环） 0.05 urad / 0.04 urad

10 运动可重复精度 (Z & θ) ± 10 nm, ± 0.1urad

11 刚性 2 N/ um

12 Z共振频率（空载/2.5 kg） 480 Hz/ 160 Hz

13 θ共振频率（空载/2.5 kg） 500 Hz/ 150 Hz

14 最⼤负载 2.5 kg

15 闭环传感器（闭环版本） 电容式

16 驱动电压 Max. 150 V

其他

17 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度

18 质量 1 kg

19 安装 螺纹孔兼容 Carrier.L7550.XY

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

产品特⾊

⾼负载·Z⽅向扫描运动，两轴摇摆调节，保证真正准直

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⼤负载通孔·扫描运动— Carrier.HS100.zTxTy.C

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

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Carrier.HS100.zTxTy.C

• 三维度Z，θxy 扫描运动；

• 100 um⾏程，1mrad & 1 mard

• 闭环分辨率优于 1nm；

• 最⼤负载 2.5 kg；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

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Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

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Carrier.HS100.zTxTy.C，压电扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z，θx & θy

2 底⾯尺⼨*⾼度 150 mm × 150 mm × 30 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程（Z，θx & θy ） 100 um，1 mrad & 1mrad

5 中空透孔 66 mm × 66 mm

运动&位置传感

6 Z线性度误差 0.035%

7 θ线性度误差 0.15%

8 Z运动分辨率（闭环/开环） 1 nm / 0.5 nm

9 θ运动分辨率（闭环/开环） 0.05 urad / 0.04 urad

10 运动可重复精度 (Z & θ) ± 10 nm, ± 0.1urad

11 刚性 2 N/ um

12 Z共振频率（空载/2.5 kg） 480 Hz/ 160 Hz

13 θ共振频率（空载/2.5 kg） 500 Hz/ 150 Hz

14 最⼤负载 2.5 kg

15 闭环传感器（闭环版本） 电容式

16 驱动电压 Max. 150 V

其他

17 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度

18 质量 1 kg

19 安装 螺纹孔兼容 Carrier.L7550.XY

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

产品特⾊

⾼负载·Z⽅向扫描运动，两轴摇摆调节，保证真正准直

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⼤负载通孔·扫描运动— Carrier.HS100.zTxTy.C

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

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Carrier.HS100.zTxTy.C

• 三维度Z，θxy 扫描运动；

• 100 um⾏程，1mrad & 1 mard

• 闭环分辨率优于 1nm；

• 最⼤负载 2.5 kg；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

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可选版本 ⇨ 正常版本

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z，θx & θy

2 底⾯尺⼨*⾼度 150 mm × 150 mm × 30 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程（Z，θx & θy ） 100 um，1 mrad & 1mrad

5 中空透孔 66 mm × 66 mm

运动&位置传感

6 Z线性度误差 0.035%

7 θ线性度误差 0.15%

8 Z运动分辨率（闭环/开环） 1 nm / 0.5 nm

9 θ运动分辨率（闭环/开环） 0.05 urad / 0.04 urad

10 运动可重复精度 (Z & θ) ± 10 nm, ± 0.1urad

11 刚性 2 N/ um

12 Z共振频率（空载/2.5 kg） 480 Hz/ 160 Hz

13 θ共振频率（空载/2.5 kg） 500 Hz/ 150 Hz

14 最⼤负载 2.5 kg

15 闭环传感器（闭环版本） 电容式

16 驱动电压 Max. 150 V

其他

17 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度

18 质量 1 kg

19 安装 螺纹孔兼容 Carrier.L7550.XY

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

产品特⾊

⾼负载·Z⽅向扫描运动，两轴摇摆调节，保证真正准直

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扫描运动·⾼负载通孔型— Carrier.HS100.xyRz.C 室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

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Carrier.HS100.xyRz.C

产品特⾊

• 两维度xy扫描运动 100 um，z轴旋转运动1mrad；

• 闭环分辨率优于 1nm；

• 最⼤负载 3.5 kg；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

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Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

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Carrier.S100.xyRz.C，压电扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 XY ⽅向 + Rz旋转

2 底⾯尺⼨*⾼度 150 mm × 150 mm × 30 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 100 um x 100 um Rz:1 mard

5 中空透孔 66 mm × 66 mm

运动&位置传感

6 线性度误差（z⽅向运动） 0.035%

7 运动分辨率（闭环/开环） 1 nm / 0.2 nm

8 运动可重复精度 ± 10 nm

9 刚性 2 N/ um

10 共振频率（空载/2.5 kg） 420 Hz/ 130 Hz

11 最⼤负载 3.5 kg

12 闭环传感器（闭环版本） 电容式

13 驱动电压 Max. 150 V

其他

14 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度

15 质量 1 kg

16 安装 螺纹孔兼容 Carrier.L7550.XY

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

⾼负载·⾼速XY平⾯运动，Z轴旋转设计，保证XY⾯内准直运动

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

扫描运动·⾼负载通孔型— Carrier.HS100.xyRz.C

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Carrier.HS100.xyRz.C

产品特⾊

• 两维度xy扫描运动 100 um，z轴旋转运动1mrad；

• 闭环分辨率优于 1nm；

• 最⼤负载 3.5 kg；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

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Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.S100.xyRz.C，压电扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 XY ⽅向 + Rz旋转

2 底⾯尺⼨*⾼度 150 mm × 150 mm × 30 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 100 um x 100 um Rz:1 mard

5 中空透孔 66 mm × 66 mm

运动&位置传感

6 线性度误差（z⽅向运动） 0.035%

7 运动分辨率（闭环/开环） 1 nm / 0.2 nm

8 运动可重复精度 ± 10 nm

9 刚性 2 N/ um

10 共振频率（空载/2.5 kg） 420 Hz/ 130 Hz

11 最⼤负载 3.5 kg

12 闭环传感器（闭环版本） 电容式

13 驱动电压 Max. 150 V

其他

14 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度

15 质量 1 kg

16 安装 螺纹孔兼容 Carrier.L7550.XY

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

⾼负载·⾼速XY平⾯运动，Z轴旋转设计，保证XY⾯内准直运动

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

扫描运动·⾼负载通孔型— Carrier.HS100.xyRz.C

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Carrier.HS100.xyRz.C

产品特⾊

• 两维度xy扫描运动 100 um，z轴旋转运动1mrad；

• 闭环分辨率优于 1nm；

• 最⼤负载 3.5 kg；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.S100.xyRz.C，压电扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 XY ⽅向 + Rz旋转

2 底⾯尺⼨*⾼度 150 mm × 150 mm × 30 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 100 um x 100 um Rz:1 mard

5 中空透孔 66 mm × 66 mm

运动&位置传感

6 线性度误差（z⽅向运动） 0.035%

7 运动分辨率（闭环/开环） 1 nm / 0.2 nm

8 运动可重复精度 ± 10 nm

9 刚性 2 N/ um

10 共振频率（空载/2.5 kg） 420 Hz/ 130 Hz

11 最⼤负载 3.5 kg

12 闭环传感器（闭环版本） 电容式

13 驱动电压 Max. 150 V

其他

14 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度

15 质量 1 kg

16 安装 螺纹孔兼容 Carrier.L7550.XY

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

⾼负载·⾼速XY平⾯运动，Z轴旋转设计，保证XY⾯内准直运动

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

扫描运动·⾼负载通孔型 Carrier.HS100.xy.C

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. HS系列“ 中空-⼤负载扫描台

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

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Carrier.HS100.xy.C

产品特⾊

• 两维度xy扫描运动 100 um；

• 闭环分辨率优于 1nm；

• 最⼤负载 3.5 kg；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁（.NM）和⾼真空（.UHV）选件升级

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Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.HS100.xy.C，压电扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 XY ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 150 mm × 150 mm × 30 mm

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 100 um x 100 um

5 中空透孔 66 mm × 66 mm

运动&位置传感

6 线性度误差（z⽅向运动） 0.035%

8 运动分辨率（闭环/开环） 1 nm / 0.2 nm

9 运动可重复精度 ± 10 nm

10 刚性 2 N/ um

11 共振频率（空载/2.5 kg） 420 Hz/ 130 Hz

12 最⼤负载 3.5 kg

13 闭环传感器（闭环版本） 电容式

14 驱动电压 Max. 150 V

其他

15 推荐使⽤温度 15 到 40 摄⽒度

16 质量 1 kg

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

⾼负载·⾼速XY平⾯运动，⼤通孔设计，并联设计+电容闭环传感

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

B21室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

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选型表

Carrier.OBxx.C.系列 室温压电物镜对焦台

命名规则

特点：

•最快稳定时间(90% 位置稳定) 10-15ms以内

•闭环分辨率优于 1nm

•最大负载500g，高负载版本(.HL) 2kg

•支持无磁 (.NM) 、高真空 (HV) 和超高真空 (.UHV) 选件

行程：

050：50μm

100：100μm

200：200μm

400：400μm

环境版本：

NM：绝对无磁版本

HV：高真空版本

UHV：超高真空版本

HL：高负载版本

传感器：

C：电容型

S：电阻型

Carrier.OB 100. C .HV

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Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.OB.050.C 物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z 轴

2 ⾏程 50um

3 线性度 0.02%

4 内置传感器 电容式传感

5 传感器噪声 1 nm

6 Z⽅向分辨率，开环 0.2 nm

7 稳定时间 (90%位置到达) 10 ms

8 共振频率（⽆负载） 600 Hz

9 共振频率（150 g 负载） 300 Hz

10 整体重量 270 g

11 主体材料 不锈钢304，铝合⾦

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

压电·⼤范围扫描运动— Carrier.OB050.C 室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Carrier.OB050.C

• Z⽅向运动范围 50 um；

• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；

• 闭环定位精度优于 1nm；

• 最⼤负载 500 g；

• 控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

2D·尺⼨图

产品特⾊

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

内螺纹 RMS

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - RT

MultiFields

&Group

Carrier.OB100.C 物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z 轴

2 ⾏程 100 um

3 线性度 0.03%

4 内置传感器 电容式传感

5 传感器噪⾳ 1 nm

6 Z⽅向分辨率，开环 0.2 nm

7 稳定时间 (90%位置到达) 15 ms

8 共振频率（⽆负载） 500 Hz

9 共振频率（150 g 负载） 250 Hz

10 整体重量 270 g

11 主体材料 不锈钢304，铝合⾦

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

压电·⼤范围扫描运动— Carrier.OB100.C

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Carrier.OB100.C

产品特⾊

• Z⽅向运动范围 100 um；

• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 15ms 以内；

• 闭环定位精度优于 1nm；

• 最⼤负载 500 g；

• 控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

2D·尺⼨图

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MultiFields

&Group

Carrier.OBHL100.C，物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z 轴

2 ⾏程 100 um

3 线性度 0.02%

4 内置传感器 电容式传感

5 传感器噪⾳ 1 nm

6 Z⽅向分辨率，开环 0.2 nm

7 稳定时间 (90%位置到达) 10 ms

8 共振频率（⽆负载） 900 Hz

9 共振频率（150 g 负载） 500 Hz

10 整体重量 500 g

11 主体材料 不锈钢304，铝合⾦

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

压电·⼤范围扫描运动— Carrier.OBHL100.C 室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Carrier.OBHL100.C

产品特⾊

• Z⽅向运动范围 100 um；

• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；

• 闭环定位精度优于 1nm；

• 最⼤负载 500 g；

• 控制器兼容多场科技 MC- Archimedes Series

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

型号 Carrier.OB.050.C Carrier.OB100.C Carrier.OBHL100.C Carrier.OBHL200.C Carrier.OBHL400.C

材质 不锈钢/铝合金

自重（g） 270 270 500 270 350

运动方向 Z 轴

行程（µm） 50 100 100 200 400

线性度 0.02% 0.03% 0.02% 0.03%

内置传感器 电容式传感

传感器噪声（nm） 1

Z方向分辨率，开环（nm） 0.2

稳定时间 (90%位置到达)（ms） 10 15 10 19 24

共振频率（无负载）（Hz） 600 500 900 480 380

共振频率（150 g 负载）（Hz） 300 250 500 220 165

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

B22室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

返回目录

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Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.OB.050.C 物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z 轴

2 ⾏程 50um

3 线性度 0.02%

4 内置传感器 电容式传感

5 传感器噪声 1 nm

6 Z⽅向分辨率，开环 0.2 nm

7 稳定时间 (90%位置到达) 10 ms

8 共振频率（⽆负载） 600 Hz

9 共振频率（150 g 负载） 300 Hz

10 整体重量 270 g

11 主体材料 不锈钢304，铝合⾦

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

压电·⼤范围扫描运动— Carrier.OB050.C 室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Carrier.OB050.C

• Z⽅向运动范围 50 um；

• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；

• 闭环定位精度优于 1nm；

• 最⼤负载 500 g；

• 控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

2D·尺⼨图

产品特⾊

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

内螺纹 RMS

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.OB.050.C 物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z 轴

2 ⾏程 50um

3 线性度 0.02%

4 内置传感器 电容式传感

5 传感器噪声 1 nm

6 Z⽅向分辨率，开环 0.2 nm

7 稳定时间 (90%位置到达) 10 ms

8 共振频率（⽆负载） 600 Hz

9 共振频率（150 g 负载） 300 Hz

10 整体重量 270 g

11 主体材料 不锈钢304，铝合⾦

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

压电·⼤范围扫描运动— Carrier.OB050.C

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Carrier.OB050.C

• Z⽅向运动范围 50 um；

• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；

• 闭环定位精度优于 1nm；

• 最⼤负载 500 g；

• 控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

2D·尺⼨图

产品特⾊

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

内螺纹 RMS

Carrier.OBHL400.C

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Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.OB.050.C 物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z 轴

2 ⾏程 50um

3 线性度 0.02%

4 内置传感器 电容式传感

5 传感器噪声 1 nm

6 Z⽅向分辨率，开环 0.2 nm

7 稳定时间 (90%位置到达) 10 ms

8 共振频率（⽆负载） 600 Hz

9 共振频率（150 g 负载） 300 Hz

10 整体重量 270 g

11 主体材料 不锈钢304，铝合⾦

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

压电·⼤范围扫描运动— Carrier.OB050.C 室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Carrier.OB050.C

• Z⽅向运动范围 50 um；

• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；

• 闭环定位精度优于 1nm；

• 最⼤负载 500 g；

• 控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

2D·尺⼨图

产品特⾊

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

内螺纹 RMS

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.OB.050.C 物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z 轴

2 ⾏程 50um

3 线性度 0.02%

4 内置传感器 电容式传感

5 传感器噪声 1 nm

6 Z⽅向分辨率，开环 0.2 nm

7 稳定时间 (90%位置到达) 10 ms

8 共振频率（⽆负载） 600 Hz

9 共振频率（150 g 负载） 300 Hz

10 整体重量 270 g

11 主体材料 不锈钢304，铝合⾦

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压电·⼤范围扫描运动— Carrier.OB050.C

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

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Carrier.OB050.C

• Z⽅向运动范围 50 um；

• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；

• 闭环定位精度优于 1nm；

• 最⼤负载 500 g；

• 控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

2D·尺⼨图

产品特⾊

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

内螺纹 RMS

Carrier.OB050.C

Carrier.OB100.C.HL Carrier.OBHL200.C

尺寸图：

Carrier.OB100.C

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Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.OB.050.C 物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z 轴

2 ⾏程 50um

3 线性度 0.02%

4 内置传感器 电容式传感

5 传感器噪声 1 nm

6 Z⽅向分辨率，开环 0.2 nm

7 稳定时间 (90%位置到达) 10 ms

8 共振频率（⽆负载） 600 Hz

9 共振频率（150 g 负载） 300 Hz

10 整体重量 270 g

11 主体材料 不锈钢304，铝合⾦

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压电·⼤范围扫描运动— Carrier.OB050.C 室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Carrier.OB050.C

• Z⽅向运动范围 50 um；

• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；

• 闭环定位精度优于 1nm；

• 最⼤负载 500 g；

• 控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

2D·尺⼨图

产品特⾊

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

内螺纹 RMS

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - RT

MultiFields

&Group

Carrier.OB100.C 物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z 轴

2 ⾏程 100 um

3 线性度 0.03%

4 内置传感器 电容式传感

5 传感器噪⾳ 1 nm

6 Z⽅向分辨率，开环 0.2 nm

7 稳定时间 (90%位置到达) 15 ms

8 共振频率（⽆负载） 500 Hz

9 共振频率（150 g 负载） 250 Hz

10 整体重量 270 g

11 主体材料 不锈钢304，铝合⾦

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压电·⼤范围扫描运动— Carrier.OB100.C 室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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Carrier.OB100.C

产品特⾊

• Z⽅向运动范围 100 um；

• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 15ms 以内；

• 闭环定位精度优于 1nm；

• 最⼤负载 500 g；

• 控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

2D·尺⼨图

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - LT

MultiFields

&Group

Carrier.OB.050.C 物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z 轴

2 ⾏程 50um

3 线性度 0.02%

4 内置传感器 电容式传感

5 传感器噪声 1 nm

6 Z⽅向分辨率，开环 0.2 nm

7 稳定时间 (90%位置到达) 10 ms

8 共振频率（⽆负载） 600 Hz

9 共振频率（150 g 负载） 300 Hz

10 整体重量 270 g

11 主体材料 不锈钢304，铝合⾦

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压电·⼤范围扫描运动— Carrier.OB050.C

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - LT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Carrier.OB050.C

• Z⽅向运动范围 50 um；

• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；

• 闭环定位精度优于 1nm；

• 最⼤负载 500 g；

• 控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

2D·尺⼨图

产品特⾊

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

内螺纹 RMS

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Piezoelectric Motion - RT

MultiFields

&Group

Carrier.OB100.C 物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z 轴

2 ⾏程 100 um

3 线性度 0.03%

4 内置传感器 电容式传感

5 传感器噪⾳ 1 nm

6 Z⽅向分辨率，开环 0.2 nm

7 稳定时间 (90%位置到达) 15 ms

8 共振频率（⽆负载） 500 Hz

9 共振频率（150 g 负载） 250 Hz

10 整体重量 270 g

11 主体材料 不锈钢304，铝合⾦

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压电·⼤范围扫描运动— Carrier.OB100.C

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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Carrier.OB100.C

产品特⾊

• Z⽅向运动范围 100 um；

• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 15ms 以内；

• 闭环定位精度优于 1nm；

• 最⼤负载 500 g；

• 控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

2D·尺⼨图

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MultiFields

&Group

Carrier.OBHL100.C，物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z 轴

2 ⾏程 100 um

3 线性度 0.02%

4 内置传感器 电容式传感

5 传感器噪⾳ 1 nm

6 Z⽅向分辨率，开环 0.2 nm

7 稳定时间 (90%位置到达) 10 ms

8 共振频率（⽆负载） 900 Hz

9 共振频率（150 g 负载） 500 Hz

10 整体重量 500 g

11 主体材料 不锈钢304，铝合⾦

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压电·⼤范围扫描运动— Carrier.OBHL100.C 室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - RT

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Carrier.OBHL100.C

产品特⾊

• Z⽅向运动范围 100 um；

• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；

• 闭环定位精度优于 1nm；

• 最⼤负载 500 g；

• 控制器兼容多场科技 MC- Archimedes Series

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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MultiFields

&Group

Carrier.OBHL100.C，物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z 轴

2 ⾏程 100 um

3 线性度 0.02%

4 内置传感器 电容式传感

5 传感器噪⾳ 1 nm

6 Z⽅向分辨率，开环 0.2 nm

7 稳定时间 (90%位置到达) 10 ms

8 共振频率（⽆负载） 900 Hz

9 共振频率（150 g 负载） 500 Hz

10 整体重量 500 g

11 主体材料 不锈钢304，铝合⾦

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压电·⼤范围扫描运动— Carrier.OBHL100.C

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - RT

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Carrier.OBHL100.C

产品特⾊

• Z⽅向运动范围 100 um；

• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；

• 闭环定位精度优于 1nm；

• 最⼤负载 500 g；

• 控制器兼容多场科技 MC- Archimedes Series

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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MultiFields

&Group

Carrier.OBHL100.C，物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z 轴

2 ⾏程 100 um

3 线性度 0.02%

4 内置传感器 电容式传感

5 传感器噪⾳ 1 nm

6 Z⽅向分辨率，开环 0.2 nm

7 稳定时间 (90%位置到达) 10 ms

8 共振频率（⽆负载） 900 Hz

9 共振频率（150 g 负载） 500 Hz

10 整体重量 500 g

11 主体材料 不锈钢304，铝合⾦

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压电·⼤范围扫描运动— Carrier.OBHL100.C

室温·压电运动⽅案 — “Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征

Piezoelectric Motion - RT

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Carrier.OBHL100.C

产品特⾊

• Z⽅向运动范围 100 um；

• 最快稳定时间 (90% 位置稳定) 10ms 以内；

• 闭环定位精度优于 1nm；

• 最⼤负载 500 g；

• 控制器兼容多场科技 MC- Archimedes Series

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空（.UHV）选件

2D·尺⼨图

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

B23室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

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选型表

Mirrors.(Z12)TxTyxxxx 系列 室温压电偏摆台

命名规则

特点：

•两自由度偏摆运动

•ms级响应

•偏摆多行程可选

•最高精度µrad级别

•支持无磁 (.NM) 、高真空 (HV) 和超高真空 (.UHV) 选件

Z轴方向：

NA：无Z轴行程

Z：含Z轴行程

环境版本：

NM：无磁版本

HV：高真空版本

UHV：超高真空版本

θxθy行程：

0101：1mrad，1mrad

0303：3mrad，3mrad

1010：10mrad，10mrad

Mirrors.Z 12 TxTy 0101.NM

12: z轴行程12mm www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

压电·镜⽚偏摆台 -Mirrors.TxTy0303/1010

⼤⻆度 & ⾼动态偏转，⽤于镜⽚转动和光路调节等应⽤场景

Piezoelectric Motion - RT

两维偏转，毫秒级运动响应，⾼⻆度分辨率解决⽅案；

Piezoelectric Motion - RT

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Mirrors.TxTy0303

Mirrors.TxTy0303/1010，技术参数

可选版本 ⇨ Mirror.TxTy.0303 Mirror.TxTy.1010

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Tx, Ty

2 底⾯尺⼨*⾼度 详⻅⼯程图

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 θX, 3 mrad

θY, 3 mrad

θX, 10 mrad

θY, 10 mrad

运动&定位

5 运动分辨率 (开环) 0.05 urad (开环) 0.2 urad (开环)

6 运动分辨率 (闭环) 0.1 urad (闭环） 0.5 urad (闭环）

7 线性误差 优于 0.1%

8 共振频率 (空载) θX, θY ~ 2 kHz θX, θY ~ 1 kHz

9 摇摆半径 5.5 mm 5.5 mm

10 闭环传感器（闭环版本） SGS

11 驱动电压 Max. 150 V

其他信息

12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

13 搭配控制器 Archimedes.3S 控制器

14 线缆⻓度 1 m/ D-Sub 3W3

15 镜⽚重量 30 g

MultiFields

&Group

2D·尺⼨图

产品特⾊

Mirrors.TxTy1010

• 两⾃由度偏摆运动；

• ms级响应；

• 摇摆多⾏程可选；

• 最⾼精度urad级别

• 控制器 MC - Archimedes.3S

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

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压电·镜⽚偏摆台 -Mirrors.TxTy0303/1010 ⼤⻆度 & ⾼动态偏转，⽤于镜⽚转动和光路调节等应⽤场景

Piezoelectric Motion - RT

两维偏转，毫秒级运动响应，⾼⻆度分辨率解决⽅案；

Piezoelectric Motion - RT

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Mirrors.TxTy0303

Mirrors.TxTy0303/1010，技术参数

可选版本 ⇨ Mirror.TxTy.0303 Mirror.TxTy.1010

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Tx, Ty

2 底⾯尺⼨*⾼度 详⻅⼯程图

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 θX, 3 mrad

θY, 3 mrad

θX, 10 mrad

θY, 10 mrad

运动&定位

5 运动分辨率 (开环) 0.05 urad (开环) 0.2 urad (开环)

6 运动分辨率 (闭环) 0.1 urad (闭环） 0.5 urad (闭环）

7 线性误差 优于 0.1%

8 共振频率 (空载) θX, θY ~ 2 kHz θX, θY ~ 1 kHz

9 摇摆半径 5.5 mm 5.5 mm

10 闭环传感器（闭环版本） SGS

11 驱动电压 Max. 150 V

其他信息

12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

13 搭配控制器 Archimedes.3S 控制器

14 线缆⻓度 1 m/ D-Sub 3W3

15 镜⽚重量 30 g

MultiFields

&Group

2D·尺⼨图

产品特⾊

Mirrors.TxTy1010

• 两⾃由度偏摆运动；

• ms级响应；

• 摇摆多⾏程可选；

• 最⾼精度urad级别

• 控制器 MC - Archimedes.3S

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

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压电·镜⽚偏摆台 -Mirrors.Z12TxTy0101 3⾃由度调节偏转，⽤于镜⽚转动和光路调节等应⽤场景

Piezoelectric Motion - RT

3⾃由度调节，通孔型摇摆台，毫秒级运动响应，⾼分辨率解决⽅案；

Piezoelectric Motion - RT

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Mirrors.Z12TxTy0101

MultiFields

&Group

2D·尺⼨图

产品特⾊

Mirrors.Z12TxTy0101，技术参数

可选版本 ⇨ Mirrors.Z12TxTy0101

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z，Tx & Ty ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 详⻅⼯程图

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程（Z / Tx /Ty） 12 um / 1 mrad / 1mrad

运动&定位

5 运动分辨率 (开环 Z / Tx /Ty） Z：0.2 nm； Tx：0.05 urad；Ty：0.05 urad

6 运动分辨率 (闭环 Z / Tx /Ty） Z：0.4 nm； Tx：0.1 urad；Ty：0.1 urad

7 线性误差（Z / Tx /Ty） 0.2%

8 共振频率 (空载) 5.5 kHz

9 刚性 10 N/µm

10 闭环传感器（闭环版本） 电阻式

11 驱动电压 Max. 150 V

其他信息

12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

13 搭配控制器 Archimedes.3S 控制器

14 线缆⻓度 1 m/ D-Sub 3W3

• 直径10 mm 通孔；

• 并联结构设计保证三⾃由度调节；

• 最⼤⾏程 12 um

• ms 级别响应

• 最⾼精度urad级别

• 控制器 MC - Archimedes.3S

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

型号 Mirrors.TxTy0303 Mirrors.TxTy1010 Mirrors.Z12TxTy0101

运动方向 θx，θy Z方向，θx，θy

底面尺寸×高度（mm） 详见工程图

主体材料 铝合金 & 不锈钢

运动行程 3mrad / 3mrad 10mrad / 10mrad 12 µm / 1 mrad / 1mrad

运动分辨率 (开环) 0.05µrad 0.2µrad

Z：0.2 nm；

θx：0.05µrad；

θy：0.05 µrad

运动分辨率 (闭环) 0.1µrad 0.5µrad

Z：0.4 nm；

θx：0.1 µrad；

θy：0.1 µrad

线性误差 <0.1% 0.2%

共振频率 (空载) 2 kHz 1 kHz 5.5 kHz

偏摆半径 5.5mm /

闭环传感器（闭环版本） SGS 电阻式

驱动电压 Max.150V

推荐使用温度 -20~80℃

搭配控制器 Archimedes.3S控制器

镜片重量 30g 30g /

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

B24室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

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压电á镜⽚偏摆台 -Mirrors.TxTy0303/1010

⼤⻆度 & ⾼动态偏转，⽤于镜⽚转动和光路调节等应⽤场景

Piezoelectric Motion - RT

两维偏转，毫秒级运动响应，⾼⻆度分辨率解决⽅案；

Piezoelectric Motion - RT

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Mirrors.TxTy0303

Mirrors.TxTy0303/1010，技术参数

可选版本 ⇨ Mirror.TxTy.0303 Mirror.TxTy.1010

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Tx, Ty

2 底⾯尺⼨*⾼度 详⻅⼯程图

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程

θX, 3 mrad

θY, 3 mrad

θX, 10 mrad

θY, 10 mrad

运动&定位

5 运动分辨率 (开环) 0.05 urad (开环) 0.2 urad (开环)

6 运动分辨率 (闭环) 0.1 urad (闭环） 0.5 urad (闭环）

7 线性误差 优于 0.1%

8 共振频率 (空载) θX, θY ~ 2 kHz θX, θY ~ 1 kHz

9 摇摆半径 5.5 mm 5.5 mm

10 闭环传感器（闭环版本） SGS

11 驱动电压 Max. 150 V

其他信息

12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 ¡C

13 搭配控制器 Archimedes.3S 控制器

14 线缆⻓度 1 m/ D-Sub 3W3

15 镜⽚重量 30 g

MultiFields

&Group

2D·尺⼨图

产品特⾊

Mirrors.TxTy1010

¥ 两⾃由度偏摆运动；

¥ ms级响应；

¥ 摇摆多⾏程可选；

¥ 最⾼精度urad级别

¥ 控制器 MC - Archimedes.3S

¥ ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

Mirrors.TxTy0303

Mirrors.Z12TxTy0101

尺寸图：

Mirrors.TxTy1010

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压电á镜⽚偏摆台 -Mirrors.TxTy0303/1010 ⼤⻆度 & ⾼动态偏转，⽤于镜⽚转动和光路调节等应⽤场景

Piezoelectric Motion - RT

两维偏转，毫秒级运动响应，⾼⻆度分辨率解决⽅案；

Piezoelectric Motion - RT

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Mirrors.TxTy0303

Mirrors.TxTy0303/1010，技术参数

可选版本 ⇨ Mirror.TxTy.0303 Mirror.TxTy.1010

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Tx, Ty

2 底⾯尺⼨*⾼度 详⻅⼯程图

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 θX, 3 mrad

θY, 3 mrad

θX, 10 mrad

θY, 10 mrad

运动&定位

5 运动分辨率 (开环) 0.05 urad (开环) 0.2 urad (开环)

6 运动分辨率 (闭环) 0.1 urad (闭环） 0.5 urad (闭环）

7 线性误差 优于 0.1%

8 共振频率 (空载) θX, θY ~ 2 kHz θX, θY ~ 1 kHz

9 摇摆半径 5.5 mm 5.5 mm

10 闭环传感器（闭环版本） SGS

11 驱动电压 Max. 150 V

其他信息

12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 ¡C

13 搭配控制器 Archimedes.3S 控制器

14 线缆⻓度 1 m/ D-Sub 3W3

15 镜⽚重量 30 g

MultiFields

&Group

2D·尺⼨图

产品特⾊

Mirrors.TxTy1010

¥ 两⾃由度偏摆运动；

¥ ms级响应；

¥ 摇摆多⾏程可选；

¥ 最⾼精度urad级别

¥ 控制器 MC - Archimedes.3S

¥ ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

压电á镜⽚偏摆台 -Mirrors.TxTy0303/1010 ⼤⻆度 & ⾼动态偏转，⽤于镜⽚转动和光路调节等应⽤场景

Piezoelectric Motion - RT

两维偏转，毫秒级运动响应，⾼⻆度分辨率解决⽅案；

Piezoelectric Motion - RT

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Mirrors.TxTy0303

Mirrors.TxTy0303/1010，技术参数

可选版本 ⇨ Mirror.TxTy.0303 Mirror.TxTy.1010

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Tx, Ty

2 底⾯尺⼨*⾼度 详⻅⼯程图

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程 θX, 3 mrad

θY, 3 mrad

θX, 10 mrad

θY, 10 mrad

运动&定位

5 运动分辨率 (开环) 0.05 urad (开环) 0.2 urad (开环)

6 运动分辨率 (闭环) 0.1 urad (闭环） 0.5 urad (闭环）

7 线性误差 优于 0.1%

8 共振频率 (空载) θX, θY ~ 2 kHz θX, θY ~ 1 kHz

9 摇摆半径 5.5 mm 5.5 mm

10 闭环传感器（闭环版本） SGS

11 驱动电压 Max. 150 V

其他信息

12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 ¡C

13 搭配控制器 Archimedes.3S 控制器

14 线缆⻓度 1 m/ D-Sub 3W3

15 镜⽚重量 30 g

MultiFields

&Group

2D·尺⼨图

产品特⾊

Mirrors.TxTy1010

¥ 两⾃由度偏摆运动；

¥ ms级响应；

¥ 摇摆多⾏程可选；

¥ 最⾼精度urad级别

¥ 控制器 MC - Archimedes.3S

¥ ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

压电á镜⽚偏摆台 -Mirrors.TxTy0303/1010

⼤⻆度 & ⾼动态偏转，⽤于镜⽚转动和光路调节等应⽤场景

Piezoelectric Motion - RT

两维偏转，毫秒级运动响应，⾼⻆度分辨率解决⽅案；

Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Mirrors.TxTy0303

Mirrors.TxTy0303/1010，技术参数

可选版本 ⇨ Mirror.TxTy.0303 Mirror.TxTy.1010

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Tx, Ty

2 底⾯尺⼨*⾼度 详⻅⼯程图

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程

θX, 3 mrad

θY, 3 mrad

θX, 10 mrad

θY, 10 mrad

运动&定位

5 运动分辨率 (开环) 0.05 urad (开环) 0.2 urad (开环)

6 运动分辨率 (闭环) 0.1 urad (闭环） 0.5 urad (闭环）

7 线性误差 优于 0.1%

8 共振频率 (空载) θX, θY ~ 2 kHz θX, θY ~ 1 kHz

9 摇摆半径 5.5 mm 5.5 mm

10 闭环传感器（闭环版本） SGS

11 驱动电压 Max. 150 V

其他信息

12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 ¡C

13 搭配控制器 Archimedes.3S 控制器

14 线缆⻓度 1 m/ D-Sub 3W3

15 镜⽚重量 30 g

MultiFields

&Group

2D·尺⼨图

产品特⾊

Mirrors.TxTy1010

¥ 两⾃由度偏摆运动；

¥ ms级响应；

¥ 摇摆多⾏程可选；

¥ 最⾼精度urad级别

¥ 控制器 MC - Archimedes.3S

¥ ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

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压电á镜⽚偏摆台 -Mirrors.TxTy0303/1010

⼤⻆度 & ⾼动态偏转，⽤于镜⽚转动和光路调节等应⽤场景

Piezoelectric Motion - RT

两维偏转，毫秒级运动响应，⾼⻆度分辨率解决⽅案；

Piezoelectric Motion - RT

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Mirrors.TxTy0303

Mirrors.TxTy0303/1010，技术参数

可选版本 ⇨ Mirror.TxTy.0303 Mirror.TxTy.1010

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Tx, Ty

2 底⾯尺⼨*⾼度 详⻅⼯程图

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程

θX, 3 mrad

θY, 3 mrad

θX, 10 mrad

θY, 10 mrad

运动&定位

5 运动分辨率 (开环) 0.05 urad (开环) 0.2 urad (开环)

6 运动分辨率 (闭环) 0.1 urad (闭环） 0.5 urad (闭环）

7 线性误差 优于 0.1%

8 共振频率 (空载) θX, θY ~ 2 kHz θX, θY ~ 1 kHz

9 摇摆半径 5.5 mm 5.5 mm

10 闭环传感器（闭环版本） SGS

11 驱动电压 Max. 150 V

其他信息

12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 ¡C

13 搭配控制器 Archimedes.3S 控制器

14 线缆⻓度 1 m/ D-Sub 3W3

15 镜⽚重量 30 g

MultiFields

&Group

2D·尺⼨图

产品特⾊

Mirrors.TxTy1010

¥ 两⾃由度偏摆运动；

¥ ms级响应；

¥ 摇摆多⾏程可选；

¥ 最⾼精度urad级别

¥ 控制器 MC - Archimedes.3S

¥ ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

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压电·镜⽚偏摆台 -Mirrors.Z12TxTy0101 3⾃由度调节偏转，⽤于镜⽚转动和光路调节等应⽤场景

Piezoelectric Motion - RT

3⾃由度调节，通孔型摇摆台，毫秒级运动响应，⾼分辨率解决⽅案；

Piezoelectric Motion - RT

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Mirrors.Z12TxTy0101

MultiFields

&Group

2D·尺⼨图

产品特⾊

Mirrors.Z12TxTy0101，技术参数

可选版本 ⇨ Mirrors.Z12TxTy0101

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z，Tx & Ty ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 详⻅⼯程图

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程（Z / Tx /Ty） 12 um / 1 mrad / 1mrad

运动&定位

5 运动分辨率 (开环 Z / Tx /Ty） Z：0.2 nm； Tx：0.05 urad；Ty：0.05 urad

6 运动分辨率 (闭环 Z / Tx /Ty） Z：0.4 nm； Tx：0.1 urad；Ty：0.1 urad

7 线性误差（Z / Tx /Ty） 0.2%

8 共振频率 (空载) 5.5 kHz

9 刚性 10 N/µm

10 闭环传感器（闭环版本） 电阻式

11 驱动电压 Max. 150 V

其他信息

12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

13 搭配控制器 Archimedes.3S 控制器

14 线缆⻓度 1 m/ D-Sub 3W3

• 直径10 mm 通孔；

• 并联结构设计保证三⾃由度调节；

• 最⼤⾏程 12 um

• ms 级别响应

• 最⾼精度urad级别

• 控制器 MC - Archimedes.3S

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

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压电·镜⽚偏摆台 -Mirrors.Z12TxTy0101

3⾃由度调节偏转，⽤于镜⽚转动和光路调节等应⽤场景

Piezoelectric Motion - RT

3⾃由度调节，通孔型摇摆台，毫秒级运动响应，⾼分辨率解决⽅案；

Piezoelectric Motion - RT

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Mirrors.Z12TxTy0101

MultiFields

&Group

2D·尺⼨图

产品特⾊

Mirrors.Z12TxTy0101，技术参数

可选版本 ⇨ Mirrors.Z12TxTy0101

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z，Tx & Ty ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 详⻅⼯程图

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程（Z / Tx /Ty） 12 um / 1 mrad / 1mrad

运动&定位

5 运动分辨率 (开环 Z / Tx /Ty） Z：0.2 nm； Tx：0.05 urad；Ty：0.05 urad

6 运动分辨率 (闭环 Z / Tx /Ty） Z：0.4 nm； Tx：0.1 urad；Ty：0.1 urad

7 线性误差（Z / Tx /Ty） 0.2%

8 共振频率 (空载) 5.5 kHz

9 刚性 10 N/µm

10 闭环传感器（闭环版本） 电阻式

11 驱动电压 Max. 150 V

其他信息

12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

13 搭配控制器 Archimedes.3S 控制器

14 线缆⻓度 1 m/ D-Sub 3W3

• 直径10 mm 通孔；

• 并联结构设计保证三⾃由度调节；

• 最⼤⾏程 12 um

• ms 级别响应

• 最⾼精度urad级别

• 控制器 MC - Archimedes.3S

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

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压电·镜⽚偏摆台 -Mirrors.Z12TxTy0101

3⾃由度调节偏转，⽤于镜⽚转动和光路调节等应⽤场景

Piezoelectric Motion - RT

3⾃由度调节，通孔型摇摆台，毫秒级运动响应，⾼分辨率解决⽅案；

Piezoelectric Motion - RT

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Mirrors.Z12TxTy0101

MultiFields

&Group

2D·尺⼨图

产品特⾊

Mirrors.Z12TxTy0101，技术参数

可选版本 ⇨ Mirrors.Z12TxTy0101

.NM， 绝对⽆磁版本；

.UHV，超⾼真空版本；

1 运动⽅向 Z，Tx & Ty ⽅向

2 底⾯尺⼨*⾼度 详⻅⼯程图

3 主体材料 铝合⾦ & 不锈钢

4 运动⾏程（Z / Tx /Ty） 12 um / 1 mrad / 1mrad

运动&定位

5 运动分辨率 (开环 Z / Tx /Ty） Z：0.2 nm； Tx：0.05 urad；Ty：0.05 urad

6 运动分辨率 (闭环 Z / Tx /Ty） Z：0.4 nm； Tx：0.1 urad；Ty：0.1 urad

7 线性误差（Z / Tx /Ty） 0.2%

8 共振频率 (空载) 5.5 kHz

9 刚性 10 N/µm

10 闭环传感器（闭环版本） 电阻式

11 驱动电压 Max. 150 V

其他信息

12 推荐使⽤温度 -20 ~ 80 °C

13 搭配控制器 Archimedes.3S 控制器

14 线缆⻓度 1 m/ D-Sub 3W3

• 直径10 mm 通孔；

• 并联结构设计保证三⾃由度调节；

• 最⼤⾏程 12 um

• ms 级别响应

• 最⾼精度urad级别

• 控制器 MC - Archimedes.3S

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

B25室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

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选型表

AutoScrew.Nano系列 压电镜架与压电螺纹副

特点：

•亚纳米级运动控制

•高速响应50 kHz

•最大行程18µm

•控制器:MC- Archimedes.04

•支持无磁 (.NM) 、高真空 (HV) 和超高真空 (.UHV) 选件

型号 AutoScrew.LR.Set.01 AutoScrew.LR.Set.02

主体材料 铝合金 & 不锈钢 铝合金 & 不锈钢

自重（g） 9.5g 9.5g

运动行程 18 µm 18 µm

开环分辨率 1nm 1nm

驱动电压 0-120V 0-120V

电容 550 nF 550 nF

最大推力 300N 300N

最大频率 50 kHz 50 kHz

使用温度 10~40℃ 10~40℃

镜片尺寸 1 inch 2 inch

角度范围 15 ° 10°

角度分辨率 2 µrad 1 µrad

AutoScrew.Nano.Set

尺寸图：

*AutoScrew.Nano为单独的压电螺纹副，适用于替换现有镜架的螺纹副组件；

*AutoScrew.Nano.Set为两支压电螺纹副+SUS高稳定镜架的组合，且已安装完毕。

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压电·线性运动— AutoScrew.Nano

室温·压电运动⽅案 — “AutoScrew 系列“ 光学镜架调节

Piezoelectric Motion - RT

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AutoScrew.Nano

产品特⾊

• 亚纳⽶级运动控制；

• ⾼速响应50 kHz；

• 最⼤⾏程18 um，兼容多场光束稳定产品BeamStabilizer；

• 控制器兼容多场科技 MC - Archimedes.20

• 超⾼真空兼容，⽆磁场兼容

2D·尺⼨图

AutoScrew.Nano.Set

Piezoelectric Motion - RT

MultiFields

&Group

AutoScrew.Nano 光学镜架调节 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本 .HV

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

1 主体材料 不锈钢/铝合⾦ 不锈钢/铝合⾦

2 线缆 & 接头 标准同轴线缆

Samba接头

kapton同轴线缆，

Samba

运动参数

3 运动⾏程 18 um

4 开环分辨率 1 nm

5 驱动电压 0 - 120 V

6 电容 550 nF

7 最⼤推⼒ 300N

8 最⼤频率 50 kHz

9 重量 9.5 g

其他

10 使⽤温度 10 - 40 °C

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压电·线性运动— AutoScrew.LR

室温·压电运动⽅案 — “AutoScrew 系列“ 光学镜架调节

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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AutoScrew.LR

• 保持⼒ 100 N，进动⼒ 20 N；

• 最⼩步伐 20 nm；

• 最⼤⾏程 6 mm

• 停⽌时⾃锁，⽆热量产⽣

• 螺纹兼容标准镜架螺纹

• 控制器兼容多场室温控制器，MC - Newton.E4

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

2D·尺⼨图

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Piezoelectric Motion - RT

AutoScrew.LR 光学镜架调节 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本 .HV

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

1 底⾯尺⼨*⾼度

2 主体材料 不锈钢 不锈钢

3 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆

SMB 接头

kapton漆包线，

PEEK-2mm插针

运动参数

4 运动⾏程 10 mm

5 最⼤速度 典型2 mm/min

6 最⼤步伐 典型值20 nm，最⼤ 50 nm

7 驱动频率 最⼤频率2 kHz

8 主动推⼒ 20 N

9 保持⼒ 100 N

10 最⼤侧向⼒ 1 N

控制器 - MC-Newton.E2 / E4

11 搭配控制器 MC-Newton.E2 / E4

12 控制器通道数⽬ 2通道，4通道

13 最⼤驱动电压 100 V MAX

14 通讯接⼝ USB / RS 485

15 供电电压 DC 12 V

MultiFields

&Group

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产品特⾊

压电·线性运动— AutoScrew.LR

室温·压电运动⽅案 — “AutoScrew 系列“ 光学镜架调节

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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AutoScrew.LR

• 保持⼒ 100 N，进动⼒ 20 N；

• 最⼩步伐 20 nm；

• 最⼤⾏程 6 mm

• 停⽌时⾃锁，⽆热量产⽣

• 螺纹兼容标准镜架螺纹

• 控制器兼容多场室温控制器，MC - Newton.E4

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

2D·尺⼨图

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Piezoelectric Motion - RT

AutoScrew.LR 光学镜架调节 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本 .HV

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

1 底⾯尺⼨*⾼度

2 主体材料 不锈钢 不锈钢

3 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆

SMB 接头

kapton漆包线，

PEEK-2mm插针

运动参数

4 运动⾏程 10 mm

5 最⼤速度 典型2 mm/min

6 最⼤步伐 典型值20 nm，最⼤ 50 nm

7 驱动频率 最⼤频率2 kHz

8 主动推⼒ 20 N

9 保持⼒ 100 N

10 最⼤侧向⼒ 1 N

控制器 - MC-Newton.E2 / E4

11 搭配控制器 MC-Newton.E2 / E4

12 控制器通道数⽬ 2通道，4通道

13 最⼤驱动电压 100 V MAX

14 通讯接⼝ USB / RS 485

15 供电电压 DC 12 V

MultiFields

&Group

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产品特⾊

压电·线性运动— AutoScrew.LR

室温·压电运动⽅案 — “AutoScrew 系列“ 光学镜架调节

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

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AutoScrew.LR

• 保持⼒ 100 N，进动⼒ 20 N；

• 最⼩步伐 20 nm；

• 最⼤⾏程 6 mm

• 停⽌时⾃锁，⽆热量产⽣

• 螺纹兼容标准镜架螺纹

• 控制器兼容多场室温控制器，MC - Newton.E4

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

2D·尺⼨图

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - RT

AutoScrew.LR 光学镜架调节 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本 .HV

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

1 底⾯尺⼨*⾼度

2 主体材料 不锈钢 不锈钢

3 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆

SMB 接头

kapton漆包线，

PEEK-2mm插针

运动参数

4 运动⾏程 10 mm

5 最⼤速度 典型2 mm/min

6 最⼤步伐 典型值20 nm，最⼤ 50 nm

7 驱动频率 最⼤频率2 kHz

8 主动推⼒ 20 N

9 保持⼒ 100 N

10 最⼤侧向⼒ 1 N

控制器 - MC-Newton.E2 / E4

11 搭配控制器 MC-Newton.E2 / E4

12 控制器通道数⽬ 2通道，4通道

13 最⼤驱动电压 100 V MAX

14 通讯接⼝ USB / RS 485

15 供电电压 DC 12 V

MultiFields

&Group

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产品特⾊

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn

B26室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

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选型表

AutoScrew.LR系列 压电镜架与压电螺纹副

特点：

•保持力 100 N，进动力 20 N

•最小步伐 20nm

•最大行程10mm

•停止时自锁，无热量产生

•螺纹兼容标准镜架螺纹

•控制器：MC -Newton.E4

•支持无磁 (.NM) 、高真空 (HV) 和超高真空 (.UHV) 选件

型号 AutoScrew.LR

主体材料 铝合金 & 不锈钢

运动行程 10mm

最大速度 典型2 mm/min

最大步伐 典型值20nm，最大 50 nm

驱动频率 最大频率2 kHz

主动推力 20N

保持力 100 N

最大侧向力 1N

搭配控制器 MC-Newton.E2 / E4

控制器通道数目 2通道，4通道

最大驱动电压 100V MAX

通讯接口 USB / RS 485

AutoScrew.LR

尺寸图：

压电·线性运动— AutoScrew.LR

室温·压电运动⽅案 — “AutoScrew 系列“ 光学镜架调节

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

AutoScrew.LR

• 保持⼒ 100 N，进动⼒ 20 N；

• 最⼩步伐 20 nm；

• 最⼤⾏程 6 mm

• 停⽌时⾃锁，⽆热量产⽣

• 螺纹兼容标准镜架螺纹

• 控制器兼容多场室温控制器，MC - Newton.E4

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

2D·尺⼨图

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - RT

AutoScrew.LR 光学镜架调节 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本 .HV

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

1 底⾯尺⼨*⾼度

2 主体材料 不锈钢 不锈钢

3 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆

SMB 接头

kapton漆包线，

PEEK-2mm插针

运动参数

4 运动⾏程 10 mm

5 最⼤速度 典型2 mm/min

6 最⼤步伐 典型值20 nm，最⼤ 50 nm

7 驱动频率 最⼤频率2 kHz

8 主动推⼒ 20 N

9 保持⼒ 100 N

10 最⼤侧向⼒ 1 N

控制器 - MC-Newton.E2 / E4

11 搭配控制器 MC-Newton.E2 / E4

12 控制器通道数⽬ 2通道，4通道

13 最⼤驱动电压 100 V MAX

14 通讯接⼝ USB / RS 485

15 供电电压 DC 12 V

MultiFields

&Group

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

产品特⾊

压电·线性运动— AutoScrew.LR室温·压电运动⽅案 — “AutoScrew 系列“ 光学镜架调节

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

AutoScrew.LR

• 保持⼒ 100 N，进动⼒ 20 N；

• 最⼩步伐 20 nm；

• 最⼤⾏程 6 mm

• 停⽌时⾃锁，⽆热量产⽣

• 螺纹兼容标准镜架螺纹

• 控制器兼容多场室温控制器，MC - Newton.E4

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

2D·尺⼨图

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - RT

AutoScrew.LR 光学镜架调节 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本 .HV

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

1 底⾯尺⼨*⾼度

2 主体材料 不锈钢 不锈钢

3 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆

SMB 接头

kapton漆包线，

PEEK-2mm插针

运动参数

4 运动⾏程 10 mm

5 最⼤速度 典型2 mm/min

6 最⼤步伐 典型值20 nm，最⼤ 50 nm

7 驱动频率 最⼤频率2 kHz

8 主动推⼒ 20 N

9 保持⼒ 100 N

10 最⼤侧向⼒ 1 N

控制器 - MC-Newton.E2 / E4

11 搭配控制器 MC-Newton.E2 / E4

12 控制器通道数⽬ 2通道，4通道

13 最⼤驱动电压 100 V MAX

14 通讯接⼝ USB / RS 485

15 供电电压 DC 12 V

MultiFields

&Group

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

产品特⾊

压电·线性运动— AutoScrew.LR

室温·压电运动⽅案 — “AutoScrew 系列“ 光学镜架调节

Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

AutoScrew.LR

• 保持⼒ 100 N，进动⼒ 20 N；

• 最⼩步伐 20 nm；

• 最⼤⾏程 6 mm

• 停⽌时⾃锁，⽆热量产⽣

• 螺纹兼容标准镜架螺纹

• 控制器兼容多场室温控制器，MC - Newton.E4

• ⽀持⽆磁（.NM）、⾼真空（.HV）和超⾼真空

（.UHV）选件

2D·尺⼨图

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

Piezoelectric Motion - RT

AutoScrew.LR 光学镜架调节 — 技术参数

可选版本 ⇨ 正常版本 .HV

.NM， 绝对⽆磁版本；

.HV， ⾼真空版本;

1 底⾯尺⼨*⾼度

2 主体材料 不锈钢 不锈钢

3 线缆 & 接头 标准屏蔽线缆

SMB 接头

kapton漆包线，

PEEK-2mm插针

运动参数

4 运动⾏程 10 mm

5 最⼤速度 典型2 mm/min

6 最⼤步伐 典型值20 nm，最⼤ 50 nm

7 驱动频率 最⼤频率2 kHz

8 主动推⼒ 20 N

9 保持⼒ 100 N

10 最⼤侧向⼒ 1 N

控制器 - MC-Newton.E2 / E4

11 搭配控制器 MC-Newton.E2 / E4

12 控制器通道数⽬ 2通道，4通道

13 最⼤驱动电压 100 V MAX

14 通讯接⼝ USB / RS 485

15 供电电压 DC 12 V

MultiFields

&Group

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

产品特⾊

*AutoScrew.LR为单独的压电螺纹副，适用于替换现有镜架的螺纹副组件；

*AutoScrew.LR.Set为两支压电螺纹副+SUS高稳定镜架的组合，且已安装完毕

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

B27

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低温压电位移台

选型表

Linearxx-x低温压电线性直线台

特点：

•紧凑设计，提供16×16mm，25×25mm，35×35mm多种尺寸版本

•超高真空 & 超低温兼容: 2e-11 mbar & 30 mK

•无磁材料（纯 Ti & BeCu），最高兼容 18 Tesla 磁场

•超高负载 & 超高推力: 50 g & 1.5 N

•闭环控制，内置位置传感器， 最小位置分辨率 0.1 µm

命名规则

注：主体材质- ULT和ULT.UHV版本为 BeCu，其余纯Ti；线缆材质-磷铜双绞线，长20cm；

*注：针脚材质- UHV版本为Peek，BeCu，其余为玻璃纤维填充；

3

Linear16-x Linear16-z Linear25-x Liear25-z

按尺⼨分类 “16mm 系列” “25mm 系列”

1 ⼯作环境

• 默认: 1.4 K ~ 400 K; 2e-7 mbar; 18 Tesla

• 可选1 - .ULT, 最低⼯作温度 30 mK;

• 可选2 - .UHV, 最⾼真空环境 2E-11 mbar;

2 外形尺⼨ 16*16*10.5 mm 16*16*16 mm 25*25*9.5 mm 25*25*19.6 mm

3 ⾏程 3 mm 3 mm 6 mm 6 mm

4 最⼤负载 50 g 250 g 500 g 300 g

5 最⼤推⼒ 1.5 N 3 N 2 N 3 N

6 位置传感 Resistive sensor

传感量程 3 mm 3 mm 6 mm 6 mm

传感器分辨率 150 nm

传感器重复精度 1 -2 um

7 驱动电压 Max. 200 V

8 电学插针 Drive - 2 pins

Sensor - 3 pins

Drive - 2 pins /

4pins (adv)

Sensor - 3 pins

Drive - 2 pins

Sensor - 3 pins

Drive - 2 pins /

4pins (adv)

Sensor - 3 pins

9 重量 10 g 12 g 24 g 34g

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

概览·低温线性压电运动台汇总

低温 · 压电运动- 线性位移系列

选择您合适的 MultiFieldsⓇ “线性位移系列” 产品

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

MultiFields

&Group

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

Linear25-z-LR

Linear35-x

Linear35-z Linear55-x Linear55-x-Pro

“25mm 系列” “35mm 系列” “35mm 系列” “55mm 系列” 按尺⼨分类

• 默认: 1.4 K ~ 400 K; 2e-7 mbar; 18 Tesla

• 可选1 - .ULT, 最低⼯作温度 30 mK;

• 可选2 - .UHV, 最⾼真空环境 2E-11 mbar;

⼯作环境 1

25*25*29.6 mm 35*35*10.5 mm 35*35*30 mm 55*55*10.5 mm 55*55*21.2 mm 外形尺⼨ 2

16 mm 20 mm 8 mm 30 mm 25 mm ⾏程 3

300 g 2500 g 500 g 2500 g 500 g 最⼤负载 4

3 N 3 N 5 N 3 N 5 N 最⼤推⼒ 5

Resistive sensor 位置传感 6

16 mm 20 mm 8 mm 30 mm 25 mm 传感量程

150 nm 传感器分辨率

1 -2 um 传感器重复精度

Max. 200 V 驱动电压 7

Drive - 2 pins /

4pins (adv)

Sensor - 3 pins

Drive - 2 pins

Sensor - 3 pins

Drive - 2 pins /

4pins (adv)

Sensor - 3 pins

Drive - 2 pins

Sensor - 3 pins

Drive - 2 pins /

7pins (adv)

Sensor - 3 pins

电学插针 8

40 g 38 g 118 g 130 g 200 g 重量 9

3

Linear16-x Linear16-z Linear25-x Liear25-z

按尺⼨分类 “16mm 系列” “25mm 系列”

1 ⼯作环境

• 默认: 1.4 K ~ 400 K; 2e-7 mbar; 18 Tesla

• 可选1 - .ULT, 最低⼯作温度 30 mK;

• 可选2 - .UHV, 最⾼真空环境 2E-11 mbar;

2 外形尺⼨ 16*16*10.5 mm 16*16*16 mm 25*25*9.5 mm 25*25*19.6 mm

3 ⾏程 3 mm 3 mm 6 mm 6 mm

4 最⼤负载 50 g 250 g 500 g 300 g

5 最⼤推⼒ 1.5 N 3 N 2 N 3 N

6 位置传感 Resistive sensor

传感量程 3 mm 3 mm 6 mm 6 mm

传感器分辨率 150 nm

传感器重复精度 1 -2 um

7 驱动电压 Max. 200 V

8 电学插针 Drive - 2 pins

Sensor - 3 pins

Drive - 2 pins /

4pins (adv)

Sensor - 3 pins

Drive - 2 pins

Sensor - 3 pins

Drive - 2 pins /

4pins (adv)

Sensor - 3 pins

9 重量 10 g 12 g 24 g 34g

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概览·低温线性压电运动台汇总

低温 · 压电运动- 线性位移系列

选择您合适的 MultiFieldsⓇ “线性位移系列” 产品

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MultiFields

&Group

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

Linear25-z-LR

Linear35-x

Linear35-z Linear55-x Linear55-x-Pro

“25mm 系列” “35mm 系列” “35mm 系列” “55mm 系列” 按尺⼨分类

• 默认: 1.4 K ~ 400 K; 2e-7 mbar; 18 Tesla

• 可选1 - .ULT, 最低⼯作温度 30 mK;

• 可选2 - .UHV, 最⾼真空环境 2E-11 mbar;

⼯作环境 1

25*25*29.6 mm 35*35*10.5 mm 35*35*30 mm 55*55*10.5 mm 55*55*21.2 mm 外形尺⼨ 2

16 mm 20 mm 8 mm 30 mm 25 mm ⾏程 3

300 g 2500 g 500 g 2500 g 500 g 最⼤负载 4

3 N 3 N 5 N 3 N 5 N 最⼤推⼒ 5

Resistive sensor 位置传感 6

16 mm 20 mm 8 mm 30 mm 25 mm 传感量程

150 nm 传感器分辨率

1 -2 um 传感器重复精度

Max. 200 V 驱动电压 7

Drive - 2 pins /

4pins (adv)

Sensor - 3 pins

Drive - 2 pins

Sensor - 3 pins

Drive - 2 pins /

4pins (adv)

Sensor - 3 pins

Drive - 2 pins

Sensor - 3 pins

Drive - 2 pins /

7pins (adv)

Sensor - 3 pins

电学插针 8

40 g 38 g 118 g 130 g 200 g 重量 9

3

Linear16-x Linear16-z Linear25-x Liear25-z

按尺⼨分类 “16mm 系列” “25mm 系列”

1 ⼯作环境

• 默认: 1.4 K ~ 400 K; 2e-7 mbar; 18 Tesla

• 可选1 - .ULT, 最低⼯作温度 30 mK;

• 可选2 - .UHV, 最⾼真空环境 2E-11 mbar;

2 外形尺⼨ 16*16*10.5 mm 16*16*16 mm 25*25*9.5 mm 25*25*19.6 mm

3 ⾏程 3 mm 3 mm 6 mm 6 mm

4 最⼤负载 50 g 250 g 500 g 300 g

5 最⼤推⼒ 1.5 N 3 N 2 N 3 N

6 位置传感 Resistive sensor

传感量程 3 mm 3 mm 6 mm 6 mm

传感器分辨率 150 nm

传感器重复精度 1 -2 um

7 驱动电压 Max. 200 V

8 电学插针 Drive - 2 pins

Sensor - 3 pins

Drive - 2 pins /

4pins (adv)

Sensor - 3 pins

Drive - 2 pins

Sensor - 3 pins

Drive - 2 pins /

4pins (adv)

Sensor - 3 pins

9 重量 10 g 12 g 24 g 34g

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概览·低温线性压电运动台汇总

低温 · 压电运动- 线性位移系列

选择您合适的 MultiFieldsⓇ “线性位移系列” 产品

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MultiFields

&Group

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

Linear25-z-LR

Linear35-x

Linear35-z Linear55-x Linear55-x-Pro

“25mm 系列” “35mm 系列” “35mm 系列” “55mm 系列” 按尺⼨分类

• 默认: 1.4 K ~ 400 K; 2e-7 mbar; 18 Tesla

• 可选1 - .ULT, 最低⼯作温度 30 mK;

• 可选2 - .UHV, 最⾼真空环境 2E-11 mbar;

⼯作环境 1

25*25*29.6 mm 35*35*10.5 mm 35*35*30 mm 55*55*10.5 mm 55*55*21.2 mm 外形尺⼨ 2

16 mm 20 mm 8 mm 30 mm 25 mm ⾏程 3

300 g 2500 g 500 g 2500 g 500 g 最⼤负载 4

3 N 3 N 5 N 3 N 5 N 最⼤推⼒ 5

Resistive sensor 位置传感 6

16 mm 20 mm 8 mm 30 mm 25 mm 传感量程

150 nm 传感器分辨率

1 -2 um 传感器重复精度

Max. 200 V 驱动电压 7

Drive - 2 pins /

4pins (adv)

Sensor - 3 pins

Drive - 2 pins

Sensor - 3 pins

Drive - 2 pins /

4pins (adv)

Sensor - 3 pins

Drive - 2 pins

Sensor - 3 pins

Drive - 2 pins /

7pins (adv)

Sensor - 3 pins

电学插针 8

40 g 38 g 118 g 130 g 200 g 重量 9

型号 Linear16-x Linear25-x Linear35-x

工作环境

默认: 1.4 K ~ 400 K; 2e-7 mbar; 18 Tesla

可选1 - .ULT, 最低工作温度 30 mK;

可选2 - .UHV, 最高真空环境 2e-11 mbar;

外形尺寸（mm） 16×16×10.5 25×25×9.5 35×35×10.5

行程（mm） 3 6 20

最高负载（g） 50 500 2500

最高推力（N） 1.5 2 3

位置传感 电阻传感

传感量程（mm） 3 6 20

传感器分辨率（nm） ~150

传感器重复精度（µm） 1-2

驱动电压 Max. 200 V

微调分辨率 亚纳米@2K

最小步伐 10nm@300K

电学插针 驱动-2pins，传感-3pins

重量（g） 10 24 38

Linear35-x.HV

台面尺寸：

16：16mm*16mm

25：25mm*25mm

35：35mm*35mm

环境版本：

NM：绝对无磁版本（max 18 tesla）

HV：高真空版本（2e-7mbar）

UHV：超高真空版本（2e-11mbar）

ULT：超低温版本 （30 mK）

ULT.UHV：超高真空&超低温版本（2e-11mbar &30 mK）

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

B28

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Linear16-x.HV

Linear35-x.HV

尺寸图：

Linear25-x.HV

4

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“16mm 系列” — Linear16-x (闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

最⼩的线性位移台，⽀持闭环控制

Linear16-x.HV

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 16*16*10.5 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 50 g & 1.5 N

• ⼤⾏程: 3 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

⼆维尺⼨

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MultiFields

&Group

Linear16-x— 技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 16 × 16 mm × 10.5 mm

2 质量 10 g

适⽤环境范围

3 基础参数

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 - 2 pins, 传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 3 mm

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 50 g

14 最⼤推⼒ 1.5 N

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 3 mm

17 传感器分辨率 ~ 150 nm

18 重复定位精度 1 - 2 um

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

4

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“16mm 系列” — Linear16-x (闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

最⼩的线性位移台，⽀持闭环控制

Linear16-x.HV

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 16*16*10.5 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 50 g & 1.5 N

• ⼤⾏程: 3 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

⼆维尺⼨

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MultiFields

&Group

Linear16-x— 技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 16 × 16 mm × 10.5 mm

2 质量 10 g

适⽤环境范围

3 基础参数

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 - 2 pins, 传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 3 mm

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 50 g

14 最⼤推⼒ 1.5 N

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 3 mm

17 传感器分辨率 ~ 150 nm

18 重复定位精度 1 - 2 um

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

4

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“16mm 系列” — Linear16-x (闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

最⼩的线性位移台，⽀持闭环控制

Linear16-x.HV

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 16*16*10.5 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 50 g & 1.5 N

• ⼤⾏程: 3 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

⼆维尺⼨

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MultiFields

&Group

Linear16-x— 技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 16 × 16 mm × 10.5 mm

2 质量 10 g

适⽤环境范围

3 基础参数

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 - 2 pins, 传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 3 mm

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 50 g

14 最⼤推⼒ 1.5 N

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 3 mm

17 传感器分辨率 ~ 150 nm

18 重复定位精度 1 - 2 um

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

6

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 25.4*25.4*9.5 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 500 g & 2 N

• ⼤⾏程: 6 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

Linear25-x—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 25.4 × 25.4 mm × 9.5 mm

2 质量 24 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 - 4 pins, 传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 6 mm

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 3 mm/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 50 g

14 最⼤推⼒ 3 N

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 6 mm

17 传感器分辨率 ~ 150 nm

18 重复定位精度 1 - 2 um

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“25mm 系列” — Linear25-x(闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

完美的平衡。 ⼀个结合了紧凑的尺⼨和出⾊的运动性能的顶级压电位移解

决⽅案。

Linear25-x-Slim.HV

⼆维尺⼨

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MultiFields

&Group

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

6

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 25.4*25.4*9.5 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 500 g & 2 N

• ⼤⾏程: 6 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

Linear25-x—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 25.4 × 25.4 mm × 9.5 mm

2 质量 24 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 - 4 pins, 传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 6 mm

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 3 mm/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 50 g

14 最⼤推⼒ 3 N

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 6 mm

17 传感器分辨率 ~ 150 nm

18 重复定位精度 1 - 2 um

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“25mm 系列” — Linear25-x(闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

完美的平衡。 ⼀个结合了紧凑的尺⼨和出⾊的运动性能的顶级压电位移解

决⽅案。

Linear25-x-Slim.HV

⼆维尺⼨

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MultiFields

&Group

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

6

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 25.4*25.4*9.5 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 500 g & 2 N

• ⼤⾏程: 6 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

Linear25-x—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 25.4 × 25.4 mm × 9.5 mm

2 质量 24 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 - 4 pins, 传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 6 mm

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 3 mm/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 50 g

14 最⼤推⼒ 3 N

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 6 mm

17 传感器分辨率 ~ 150 nm

18 重复定位精度 1 - 2 um

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“25mm 系列” — Linear25-x(闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

完美的平衡。 ⼀个结合了紧凑的尺⼨和出⾊的运动性能的顶级压电位移解

决⽅案。

Linear25-x-Slim.HV

⼆维尺⼨

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MultiFields

&Group

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

10

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 35*35*10.5 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 2500 g & 3 N

• ⼤⾏程: 20 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

Linear35-x—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 35 × 35 mm × 10.5 mm

2 质量 38 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 -3 pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 20 mm

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 2500 g

14 最⼤推⼒ 3 N

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 20 mm

17 传感器分辨率 ~ 150 nm

18 重复定位精度 1 - 2 um

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“35mm 系列” — Linear35-x(闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

⾼负载和完美闭环控制的压电位移台

Linear35-x.HV

⼆维尺⼨

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

MultiFields

&Group

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

10

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 35*35*10.5 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 2500 g & 3 N

• ⼤⾏程: 20 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

Linear35-x—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 35 × 35 mm × 10.5 mm

2 质量 38 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 -3 pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 20 mm

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 2500 g

14 最⼤推⼒ 3 N

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 20 mm

17 传感器分辨率 ~ 150 nm

18 重复定位精度 1 - 2 um

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

“35mm 系列” — Linear35-x(闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

⾼负载和完美闭环控制的压电位移台

Linear35-x.HV

⼆维尺⼨

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MultiFields

&Group

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

10

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 35*35*10.5 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 2500 g & 3 N

• ⼤⾏程: 20 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

Linear35-x—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 35 × 35 mm × 10.5 mm

2 质量 38 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 -3 pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 20 mm

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 2500 g

14 最⼤推⼒ 3 N

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 20 mm

17 传感器分辨率 ~ 150 nm

18 重复定位精度 1 - 2 um

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“35mm 系列” — Linear35-x(闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

⾼负载和完美闭环控制的压电位移台

Linear35-x.HV

⼆维尺⼨

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MultiFields

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低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

B29

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型号 Linear16-z Linear25-z Linear25-z-LR Linear35-z

工作环境

默认: 1.4 K ~ 400 K; 2e-7 mbar; 18 Tesla

可选1 - .ULT, 最低工作温度 30 mK;

可选2 - .UHV, 最高真空环境 2e-11 mbar;

外形尺寸（mm） 16×16×16 25.4×25.4×19.6 25×25×29.6 35×35×30

行程（mm） 3 6 16 8

最高负载（g） 250 300 300 500

最高推力（N） 3 3 3 5

位置传感 电阻传感

传感量程（mm） 3 6 16 8

传感器分辨率（nm） ~150

传感器重复精度（µm） 1-2

驱动电压 Max. 200 V

微调分辨率 亚纳米@2K

最小步伐 10nm@300K

电学插针 驱动-2pins，传感-3pins 驱动2/4（adv）pins，传感-3pins 驱动-2pins，传感-3pins

重量（g） 12 34 40 118

选型表

Linearxx-z低温压电线性升降台

特点：

•紧凑设计,提供16×16mm，25×25mm，35×35mm三种台面规格

•超高真空 & 超低温兼容: 2e-11 mbar & 30 mK

•无磁材料（纯 Ti & BeCu），最高兼容 18 Tesla 磁场

•超高负载 & 超高推力: 最高可到500g&5N

•闭环控制，内置位置传感器， 最小位置分辨率 0.1 µm

命名规则

注：主体材质- ULT和ULT.UHV版本为 BeCu，其余纯Ti；线缆材质-磷铜双绞线，长20cm；

*注：针脚材质- UHV版本为Peek，BeCu，其余为玻璃纤维填充；

台面尺寸：

16：25mm*25mm

25：35mm*35mm

35：35mm*35mm

环境版本：

NM：绝对无磁版本 （max 18 tesla）

HV：高真空版本 （2e-7mbar）

UHV：超高真空版本（2e-1mbar）

ULT：超低温版本 （30 mK）

ULT.UHV：超高真空&超低温版本（2e- 1mbar &30 mK）

Linear16-z.HV

5

主要特点

• 紧凑设计, 尺⼨: 16 × 16 mm × 16 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 250 g & 3 N

• ⼤⾏程: 3 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

Linear16-z—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 16 × 16 mm × 16 mm

2 质量 12 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 - 2 pins, 传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 3 mm

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 250 g

14 最⼤推⼒ 3 N

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 3 mm

17 传感器分辨率 ~ 150 nm

18 重复定位精度 1 - 2 um

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Linear16-z.HV

⼆维尺⼨

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MultiFields

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“16mm 系列” — Linear16-z (闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

最⼩的线性位移台，⽀持闭环控制

低

温

・

压

电

运

动

低

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・

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电

运

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7

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MultiFields

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低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

Linear25-z—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 25 × 25 mm × 19.6 mm

2 质量 34 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 - 2 / 4 (adv) pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 6 mm

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 300 g

14 最⼤推⼒ 3 N

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 6 mm

17 传感器分辨率 ~ 150 nm

18 重复定位精度 1 - 2 um

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 25*25*19.6 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 300 g & 3 N

• ⼤⾏程: 6 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

“25mm 系列” — Linear25-z (闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

⾼负载和完美闭环控制的压电位移台

Linear25-z.HV

⼆维尺⼨

10

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低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 35*35*30 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 500 g & 5 N

• ⼤⾏程: 8 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

• 通光孔径: 10 mm

“35mm 系列” — Linear35-z (闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

⾼负载和完美闭环控制的压电位移台

Linear35-z

⼆维尺⼨

Linear35-z—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 35 × 35 mm × 30 mm

2 质量 118 g

3 通光孔径 10 mm

适⽤环境范围

4 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

5 可选1 - 30 mK ✓ ✓

6 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

7 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

8 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

9 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

10 针脚数量 驱动 -2 pins，传感 - 3 pins

运动参数

11 ⾏程 8 mm

12 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s

13 驱动电压 Max. 200 V

14 最⼤负载 500 g

15 最⼤推⼒ 5 N

传感器（闭环）

16 位置传感器 电阻传感

17 传感器⾏程 8 mm

18 传感器分辨率 ~ 150 nm

19 重复定位精度 1 - 2 um

9

Linear25-z-LR—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 25.× 25 mm × 29.6 mm

2 质量 34 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 - 2 / 4 (adv) pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 16 mm

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 300 g

14 最⼤推⼒ 3 N

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 16 mm

17 传感器分辨率 ~ 150 nm

18 重复定位精度 1 - 2 um

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 25*25*29.6 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 300 g & 3 N

• ⼤⾏程: 16 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

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“25mm 系列” — Linear25-z-LR (闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

⾼负载和完美闭环控制的压电位移台

Linear25-z-LR.HV

⼆维尺⼨

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低

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低

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Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

B30

返回目录

Linear16-z.HV

Linear25-z-LR Linear35-z

尺寸图：

5

主要特点

• 紧凑设计, 尺⼨: 16 × 16 mm × 16 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 250 g & 3 N

• ⼤⾏程: 3 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

Linear16-z—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 16 × 16 mm × 16 mm

2 质量 12 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 - 2 pins, 传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 3 mm

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 250 g

14 最⼤推⼒ 3 N

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 3 mm

17 传感器分辨率 ~ 150 nm

18 重复定位精度 1 - 2 um

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Linear16-z.HV

⼆维尺⼨

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“16mm 系列” — Linear16-z (闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

最⼩的线性位移台，⽀持闭环控制

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

5

主要特点

• 紧凑设计, 尺⼨: 16 × 16 mm × 16 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 250 g & 3 N

• ⼤⾏程: 3 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

Linear16-z—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 16 × 16 mm × 16 mm

2 质量 12 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 - 2 pins, 传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 3 mm

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 250 g

14 最⼤推⼒ 3 N

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 3 mm

17 传感器分辨率 ~ 150 nm

18 重复定位精度 1 - 2 um

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Linear16-z.HV

⼆维尺⼨

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“16mm 系列” — Linear16-z (闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

最⼩的线性位移台，⽀持闭环控制

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

5

主要特点

• 紧凑设计, 尺⼨: 16 × 16 mm × 16 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 250 g & 3 N

• ⼤⾏程: 3 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

Linear16-z—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 16 × 16 mm × 16 mm

2 质量 12 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 - 2 pins, 传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 3 mm

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 250 g

14 最⼤推⼒ 3 N

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 3 mm

17 传感器分辨率 ~ 150 nm

18 重复定位精度 1 - 2 um

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Linear16-z.HV

⼆维尺⼨

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“16mm 系列” — Linear16-z (闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

最⼩的线性位移台，⽀持闭环控制

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

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Linear25-z.HV

7

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低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

Linear25-z—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 25 × 25 mm × 19.6 mm

2 质量 34 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 - 2 / 4 (adv) pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 6 mm

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 300 g

14 最⼤推⼒ 3 N

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 6 mm

17 传感器分辨率 ~ 150 nm

18 重复定位精度 1 - 2 um

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 25*25*19.6 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 300 g & 3 N

• ⼤⾏程: 6 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

“25mm 系列” — Linear25-z (闭环控制) 低温 · 压电运动- 线性位移系列

⾼负载和完美闭环控制的压电位移台

Linear25-z.HV

⼆维尺⼨

7

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低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

Linear25-z—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 25 × 25 mm × 19.6 mm

2 质量 34 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 - 2 / 4 (adv) pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 6 mm

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 300 g

14 最⼤推⼒ 3 N

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 6 mm

17 传感器分辨率 ~ 150 nm

18 重复定位精度 1 - 2 um

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 25*25*19.6 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 300 g & 3 N

• ⼤⾏程: 6 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

“25mm 系列” — Linear25-z (闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

⾼负载和完美闭环控制的压电位移台

Linear25-z.HV

⼆维尺⼨

7

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动

低

温

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压

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动

Linear25-z—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 25 × 25 mm × 19.6 mm

2 质量 34 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 - 2 / 4 (adv) pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 6 mm

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 300 g

14 最⼤推⼒ 3 N

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 6 mm

17 传感器分辨率 ~ 150 nm

18 重复定位精度 1 - 2 um

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 25*25*19.6 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 300 g & 3 N

• ⼤⾏程: 6 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

“25mm 系列” — Linear25-z (闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

⾼负载和完美闭环控制的压电位移台

Linear25-z.HV

⼆维尺⼨

10

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MultiFields

&Group

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 35*35*30 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 500 g & 5 N

• ⼤⾏程: 8 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

• 通光孔径: 10 mm

“35mm 系列” — Linear35-z (闭环控制) 低温 · 压电运动- 线性位移系列

⾼负载和完美闭环控制的压电位移台

Linear35-z

⼆维尺⼨

Linear35-z—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 35 × 35 mm × 30 mm

2 质量 118 g

3 通光孔径 10 mm

适⽤环境范围

4 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

5 可选1 - 30 mK ✓ ✓

6 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

7 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

8 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

9 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

10 针脚数量 驱动 -2 pins，传感 - 3 pins

运动参数

11 ⾏程 8 mm

12 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s

13 驱动电压 Max. 200 V

14 最⼤负载 500 g

15 最⼤推⼒ 5 N

传感器（闭环）

16 位置传感器 电阻传感

17 传感器⾏程 8 mm

18 传感器分辨率 ~ 150 nm

19 重复定位精度 1 - 2 um

10

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MultiFields

&Group

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 35*35*30 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 500 g & 5 N

• ⼤⾏程: 8 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

• 通光孔径: 10 mm

“35mm 系列” — Linear35-z (闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

⾼负载和完美闭环控制的压电位移台

Linear35-z

⼆维尺⼨

Linear35-z—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 35 × 35 mm × 30 mm

2 质量 118 g

3 通光孔径 10 mm

适⽤环境范围

4 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

5 可选1 - 30 mK ✓ ✓

6 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

7 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

8 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

9 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

10 针脚数量 驱动 -2 pins，传感 - 3 pins

运动参数

11 ⾏程 8 mm

12 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s

13 驱动电压 Max. 200 V

14 最⼤负载 500 g

15 最⼤推⼒ 5 N

传感器（闭环）

16 位置传感器 电阻传感

17 传感器⾏程 8 mm

18 传感器分辨率 ~ 150 nm

19 重复定位精度 1 - 2 um

10

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低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 35*35*30 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 500 g & 5 N

• ⼤⾏程: 8 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

• 通光孔径: 10 mm

“35mm 系列” — Linear35-z (闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

⾼负载和完美闭环控制的压电位移台

Linear35-z

⼆维尺⼨

Linear35-z—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 35 × 35 mm × 30 mm

2 质量 118 g

3 通光孔径 10 mm

适⽤环境范围

4 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

5 可选1 - 30 mK ✓ ✓

6 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

7 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

8 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

9 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

10 针脚数量 驱动 -2 pins，传感 - 3 pins

运动参数

11 ⾏程 8 mm

12 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s

13 驱动电压 Max. 200 V

14 最⼤负载 500 g

15 最⼤推⼒ 5 N

传感器（闭环）

16 位置传感器 电阻传感

17 传感器⾏程 8 mm

18 传感器分辨率 ~ 150 nm

19 重复定位精度 1 - 2 um

9

Linear25-z-LR—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 25.× 25 mm × 29.6 mm

2 质量 34 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 - 2 / 4 (adv) pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 16 mm

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 300 g

14 最⼤推⼒ 3 N

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 16 mm

17 传感器分辨率 ~ 150 nm

18 重复定位精度 1 - 2 um

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 25*25*29.6 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 300 g & 3 N

• ⼤⾏程: 16 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

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“25mm 系列” — Linear25-z-LR (闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

⾼负载和完美闭环控制的压电位移台

Linear25-z-LR.HV

⼆维尺⼨

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低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

9

Linear25-z-LR—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 25.× 25 mm × 29.6 mm

2 质量 34 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 - 2 / 4 (adv) pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 16 mm

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 300 g

14 最⼤推⼒ 3 N

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 16 mm

17 传感器分辨率 ~ 150 nm

18 重复定位精度 1 - 2 um

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 25*25*29.6 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 300 g & 3 N

• ⼤⾏程: 16 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

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“25mm 系列” — Linear25-z-LR (闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

⾼负载和完美闭环控制的压电位移台

Linear25-z-LR.HV

⼆维尺⼨

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&Group

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

9

Linear25-z-LR—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 25.× 25 mm × 29.6 mm

2 质量 34 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 - 2 / 4 (adv) pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 16 mm

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 2 mm/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 300 g

14 最⼤推⼒ 3 N

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 16 mm

17 传感器分辨率 ~ 150 nm

18 重复定位精度 1 - 2 um

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 25*25*29.6 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 300 g & 3 N

• ⼤⾏程: 16 mm

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 0.1 um

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

“25mm 系列” — Linear25-z-LR (闭环控制)

低温 · 压电运动- 线性位移系列

⾼负载和完美闭环控制的压电位移台

Linear25-z-LR.HV

⼆维尺⼨

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低

温

・

压

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动

低

温

・

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电

运

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Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

B31

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型号 Rotator16 Rotator25 Rotator25-optic Rotator35

工作环境

默认: 1.4 K ~ 400 K; 2e-7 mbar; 18 Tesla

可选1 - .ULT, 最低工作温度 30 mK;

可选2 - .UHV, 最高真空环境 2e-11 mbar;

外形尺寸（mm） Dia 16×15.6 25×25×6.5 30×23×14.5 35×35×16.5

行程（mm） 360 ° endless

最高负载（g） 100 250 250 500

最大力矩（N·cm） 0.4 1.5 1.5 2.5

最高速率@300 K 10 °/s 3 °/s 3 °/s 10 °/s

位置传感 电阻传感

传感量程 270 ° 320 ° 320 °

传感器分辨率 10 m°

传感器重复精度 50 m°

驱动电压 Max. 200 V

微调分辨率@2K 5µ° 4µ° 4µ° 3µ°

最小步伐@300 0.5m° 0.4m° 0.4m° 0.3m°

电学插针 驱动 - 2pins，传感 - 3pins

重量（g） 10 g 24 g 24 g 45 g

选型表

Rotatorxx-(optic)低温压电旋转台

特点：

命名规则

注：主体材质- ULT和ULT.UHV版本为 BeCu，其余纯Ti；线缆材质-磷铜双绞线，长20cm；

*注：针脚材质- UHV版本为Peek，BeCu，其余为玻璃纤维填充；

•紧凑设计, 最小台面直径仅16mm

•超高真空 & 超低温兼容: 2e-11 mbar & 30 mK

•无磁材料（纯 Ti & BeCu），最高兼容 18 Tesla 磁场

•高负载&大力矩, 最高500g&2.5N·cm

•大行程: 360 ° endless

•闭环控制，内置位置传感器， 最小位置分辨率10 m°

台面尺寸：

16：台面直径16mm

25：台面直径25mm

35：台面直径35mm

环境版本：

NM：绝对无磁版本 （max 18 tesla）

HV：高真空版本 （2e-7mbar）

UHV：超高真空版本（2e-11mbar）

ULT：超低温版本 （30 mK）

ULT.UHV：超高真空&超低温版本（2e11mbar &30 mK）

Rotator25-optic.HV

版本

NA：标准版

optic：optic版 14

Rotator16—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 16.× 15.6 mm

2 质量 10 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 -2 / 7 pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 360 ° endless

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 10 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 100 g

14 最⼤扭矩 0.4 Ncm

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 270 °

17 传感器分辨率 10 m°

18 重复定位精度 ~ 50 m°

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“16mm 系列” — Rotator16 (闭环控制)

低温 · 压电运动- 旋转系列

最⼩的旋转压电台，可闭环控制

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: Dia 16*15.6 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 100 g & 0.4 Ncm

• ⼤⾏程: 360 ° endless

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 10 m°

Rotator16.HV

⼆维尺⼨

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MultiFields

&Group

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

15

Rotator25—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 25 × 25 mm × 14.5 mm

2 质量 24 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 -2 pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 360 ° endless

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 3 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 250 g

14 最⼤扭矩 1.5 Ncm

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 320 °

17 传感器分辨率 10 m°

18 重复定位精度 ~ 50 m°

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 25 × 25 mm × 14.5 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 250 g & 1.5 Ncm

• ⼤⾏程: 360 ° endless

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 10 m°

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“25mm 系列” — Rotator25 (闭环控制)

低温 · 压电运动- 旋转系列

完美闭环控制的旋转压电台

Rotator25.HV

⼆维尺⼨

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&Group

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

16

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨ 30*23*14.5 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 250 g & 1.5 Ncm

• ⼤⾏程: 360 ° endless

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 10 m°

• 中⼼孔径： Φ 6 mm

Rotator25-optic—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 30 × 23 mm × 14.5 mm

2 质量 24 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 -2 pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 360 ° endless

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 3 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 250 g

14 最⼤⼒矩 1.5 Ncm

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 320 °

17 传感器分辨率 10 m°

18 重复定位精度 ~ 50 m°

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“25mm 系列” — Rotator25-optic (闭环控制)

低温 · 压电运动- 旋转系列

完美闭环控制的旋转压电台

Rotator25-optic.HV

⼆维尺⼨

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&Group

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

17

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 35*35*16.5 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 500 g & 2.5 Ncm

• ⼤⾏程: 360 ° endless

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 10 m°

Rotator35—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 35 × 35 mm × 16.5 mm

2 质量 45 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 -2 pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 360 ° endless

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 10 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 500 g

14 最⼤⼒矩 2.5 Ncm

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 320 °

17 传感器分辨率 10 m°

18 重复定位精度 ~ 50 m°

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“35mm 系列” — Rotator35 (闭环控制)

低温 · 压电运动- 旋转系列

完美闭环控制的旋转压电台

Rotator35.HV

⼆维尺⼨

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Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

B32

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Rotator16.HV

Rotator25-optic.HV

尺寸图：

Rotator25.HV

14

Rotator16—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 16.× 15.6 mm

2 质量 10 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 -2 / 7 pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 360 ° endless

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 10 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 100 g

14 最⼤扭矩 0.4 Ncm

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 270 °

17 传感器分辨率 10 m°

18 重复定位精度 ~ 50 m°

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“16mm 系列” — Rotator16 (闭环控制) 低温 · 压电运动- 旋转系列

最⼩的旋转压电台，可闭环控制

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: Dia 16*15.6 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 100 g & 0.4 Ncm

• ⼤⾏程: 360 ° endless

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 10 m°

Rotator16.HV

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14

Rotator16—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 16.× 15.6 mm

2 质量 10 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 -2 / 7 pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 360 ° endless

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 10 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 100 g

14 最⼤扭矩 0.4 Ncm

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 270 °

17 传感器分辨率 10 m°

18 重复定位精度 ~ 50 m°

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“16mm 系列” — Rotator16 (闭环控制)

低温 · 压电运动- 旋转系列

最⼩的旋转压电台，可闭环控制

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: Dia 16*15.6 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 100 g & 0.4 Ncm

• ⼤⾏程: 360 ° endless

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 10 m°

Rotator16.HV

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Rotator16—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 16.× 15.6 mm

2 质量 10 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 -2 / 7 pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 360 ° endless

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 10 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 100 g

14 最⼤扭矩 0.4 Ncm

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 270 °

17 传感器分辨率 10 m°

18 重复定位精度 ~ 50 m°

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“16mm 系列” — Rotator16 (闭环控制)

低温 · 压电运动- 旋转系列

最⼩的旋转压电台，可闭环控制

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: Dia 16*15.6 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 100 g & 0.4 Ncm

• ⼤⾏程: 360 ° endless

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 10 m°

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Rotator25—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 25 × 25 mm × 14.5 mm

2 质量 24 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 -2 pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 360 ° endless

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 3 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 250 g

14 最⼤扭矩 1.5 Ncm

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 320 °

17 传感器分辨率 10 m°

18 重复定位精度 ~ 50 m°

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 25 × 25 mm × 14.5 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 250 g & 1.5 Ncm

• ⼤⾏程: 360 ° endless

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 10 m°

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“25mm 系列” — Rotator25 (闭环控制)

低温 · 压电运动- 旋转系列

完美闭环控制的旋转压电台

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Rotator25—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 25 × 25 mm × 14.5 mm

2 质量 24 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 -2 pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 360 ° endless

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 3 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 250 g

14 最⼤扭矩 1.5 Ncm

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 320 °

17 传感器分辨率 10 m°

18 重复定位精度 ~ 50 m°

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 25 × 25 mm × 14.5 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 250 g & 1.5 Ncm

• ⼤⾏程: 360 ° endless

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 10 m°

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“25mm 系列” — Rotator25 (闭环控制)

低温 · 压电运动- 旋转系列

完美闭环控制的旋转压电台

Rotator25.HV

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15

Rotator25—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 25 × 25 mm × 14.5 mm

2 质量 24 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 -2 pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 360 ° endless

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 3 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 250 g

14 最⼤扭矩 1.5 Ncm

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 320 °

17 传感器分辨率 10 m°

18 重复定位精度 ~ 50 m°

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 25 × 25 mm × 14.5 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 250 g & 1.5 Ncm

• ⼤⾏程: 360 ° endless

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 10 m°

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“25mm 系列” — Rotator25 (闭环控制)

低温 · 压电运动- 旋转系列

完美闭环控制的旋转压电台

Rotator25.HV

⼆维尺⼨

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低

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16

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨ 30*23*14.5 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 250 g & 1.5 Ncm

• ⼤⾏程: 360 ° endless

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 10 m°

• 中⼼孔径： Φ 6 mm

Rotator25-optic—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 30 × 23 mm × 14.5 mm

2 质量 24 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 -2 pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 360 ° endless

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 3 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 250 g

14 最⼤⼒矩 1.5 Ncm

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 320 °

17 传感器分辨率 10 m°

18 重复定位精度 ~ 50 m°

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“25mm 系列” — Rotator25-optic (闭环控制)

低温 · 压电运动- 旋转系列

完美闭环控制的旋转压电台

Rotator25-optic.HV

⼆维尺⼨

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16

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨ 30*23*14.5 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 250 g & 1.5 Ncm

• ⼤⾏程: 360 ° endless

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 10 m°

• 中⼼孔径： Φ 6 mm

Rotator25-optic—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 30 × 23 mm × 14.5 mm

2 质量 24 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 -2 pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 360 ° endless

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 3 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 250 g

14 最⼤⼒矩 1.5 Ncm

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 320 °

17 传感器分辨率 10 m°

18 重复定位精度 ~ 50 m°

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“25mm 系列” — Rotator25-optic (闭环控制)

低温 · 压电运动- 旋转系列

完美闭环控制的旋转压电台

Rotator25-optic.HV

⼆维尺⼨

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低

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16

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨ 30*23*14.5 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 250 g & 1.5 Ncm

• ⼤⾏程: 360 ° endless

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 10 m°

• 中⼼孔径： Φ 6 mm

Rotator25-optic—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 30 × 23 mm × 14.5 mm

2 质量 24 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 -2 pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 360 ° endless

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 3 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 250 g

14 最⼤⼒矩 1.5 Ncm

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 320 °

17 传感器分辨率 10 m°

18 重复定位精度 ~ 50 m°

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“25mm 系列” — Rotator25-optic (闭环控制)

低温 · 压电运动- 旋转系列

完美闭环控制的旋转压电台

Rotator25-optic.HV

⼆维尺⼨

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Rotator35.HV

17

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 35*35*16.5 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 500 g & 2.5 Ncm

• ⼤⾏程: 360 ° endless

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 10 m°

Rotator35—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 35 × 35 mm × 16.5 mm

2 质量 45 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 -2 pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 360 ° endless

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 10 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 500 g

14 最⼤⼒矩 2.5 Ncm

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 320 °

17 传感器分辨率 10 m°

18 重复定位精度 ~ 50 m°

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“35mm 系列” — Rotator35 (闭环控制)

低温 · 压电运动- 旋转系列

完美闭环控制的旋转压电台

Rotator35.HV

⼆维尺⼨

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压

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低

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17

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 35*35*16.5 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 500 g & 2.5 Ncm

• ⼤⾏程: 360 ° endless

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 10 m°

Rotator35—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 35 × 35 mm × 16.5 mm

2 质量 45 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 -2 pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 360 ° endless

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 10 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 500 g

14 最⼤⼒矩 2.5 Ncm

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 320 °

17 传感器分辨率 10 m°

18 重复定位精度 ~ 50 m°

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

“35mm 系列” — Rotator35 (闭环控制)

低温 · 压电运动- 旋转系列

完美闭环控制的旋转压电台

Rotator35.HV

⼆维尺⼨

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MultiFields

&Group

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

17

主要特征

• 紧凑设计, 尺⼨: 35*35*16.5 mm

• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料（纯 Ti & BeCu），最⾼兼容 18 Tesla 磁场

• 超⾼负载 & 超⾼推⼒: 500 g & 2.5 Ncm

• ⼤⾏程: 360 ° endless

• 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩位置分辨率 10 m°

Rotator35—技术参数

*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1 三维尺⼨ 35 × 35 mm × 16.5 mm

2 质量 45 g

适⽤环境范围

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

最低真空度: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材质

6 主体 Pure Ti BeCu Pure Ti BeCu

7 线缆 磷⻘铜双绞线，20cm

8 针脚材质 聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu Peek, BeCu

9 针脚数量 驱动 -2 pins，传感 - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 360 ° endless

11 最⼤运动速度 @300 K ~ 10 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 500 g

14 最⼤⼒矩 2.5 Ncm

传感器（闭环）

15 位置传感器 电阻传感

16 传感器⾏程 320 °

17 传感器分辨率 10 m°

18 重复定位精度 ~ 50 m°

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“35mm 系列” — Rotator35 (闭环控制)

低温 · 压电运动- 旋转系列

完美闭环控制的旋转压电台

Rotator35.HV

⼆维尺⼨

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低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

B33

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型号 Goniometer25-theta Goniometer25-phi Goniometer35-theta Goniometer35-phi

工作环境

默认: 1.4 K ~ 400 K; 2e-7 mbar; 18 Tesla

可选1 - .ULT, 最低工作温度 30 mK;

可选2 - .UHV, 最高真空环境 2e-11 mbar;

尺寸（mm） 25×25×12.5 25×25×12.5 35×35×16 35×35×16

旋转中心与工作面距离（mm） 41 53.5 50 66

行程 6.6° 6° 12° 10°

最大负载（g） 200 200 500 500

最大推力（N） 2.2 2.2 3 3

传感器 电阻传感

传感器行程 6.6° 6° 12° 10°

分辨率 0.2 m° 0.5 m°

驱动电压 Max. 200 V

微调分辨率@2K 0.5µ°

最小步伐@300 50m°

电子插针 驱动-2pins，传感-3pins

重量（g） 20 20 70 70

选型表

Goniometerxx-theta/phi低温压电摆动台

特点：

命名规则

注：主体材质- ULT和ULT.UHV 版本为 BeCu，其余纯Ti；线缆材质-磷铜双绞线，长20cm；

针脚材质- UHV版本为Peek，BeCu，其余为玻璃纤维填充；

台面尺寸：

25：台面尺寸25*25mm

35：台面尺寸35*35mm

环境版本：

NM：绝对无磁版本 （max 18 tesla）

HV：高真空版本 （2e-7mbar）

UHV：超高真空版本（2e-11mbar）

ULT：超低温版本 （30 mK）

ULT.UHV：超高真空&超低温版本

（2e- 11mbar &30 mK）

版本

theta：theta轴

phi：phi轴

Goniometer25-theta.UHV

•紧凑的设计，最小台面尺寸仅25×25mm

•超高真空 & 极低温兼容: 2e-11 mbar & 30 mK

•无磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场

•高负载 max500 g

•大行程: max12°

•闭环控制，位置传感分辨率最高可达到 0.2m°

19

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“25mm 系列” — Goniometer25-theta (闭环)

低温 · 压电运动- 摇摆台系列

闭环控制摇摆台

Goniometer25-theta.HV

特点

• 紧凑的设计，外形尺⼨: 25*25*12.5 mm

• 超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场

• ⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 200 g & 41 mm

• ⼤⾏程: 6.6 °

• 闭环控制，位置传感达到分辨率 0.2 m°

尺⼨图

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Goniometer25-theta—技术参数

*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上⽆要求（建议低于50欧姆）

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV 版本, 默认产品;

.ULT 版本, He3或稀释低温系统中使⽤

.UHV 版本, 兼容2E-11 mbar

1 尺⼨ 25 × 25 mm × 12.5 mm

2 重量 20 g

⼯作环境

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

真空: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材料

6 主体 纯Ti 铍铜 纯Ti 铍铜

7 线缆 磷铜双绞线, 20cm

8 插针材料 Polyster (glass Þber Þlled), BeCu Peek, BeCu

9 插针数⽬ Drive - 2 pins, Sensor - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 ~ 6.6 °

11 最⼤速度 @300 K ~ 1 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 200 g

14 最⼤推⼒ 2.2 N

15 旋转中⼼与⼯作⾯距离 41 mm

传感器 (闭环)

16 位置传感器 电阻传感器

17 传感器⾏程 6.6 °

18 传感器分辨率 0.2 m°

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

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“25mm 系列” — Goniometer25-phi (闭环)

低温 · 压电运动- 摇摆台系列

闭环控制摇摆台

Goniometer25-phi.HV

特点

• 紧凑的设计，外形尺⼨: 25*25*12.5 mm

• 超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场

• ⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 200 g & 53.5 mm

• ⼤⾏程: 6 °

• 闭环控制，位置传感达到分辨率 0.2 m°

尺⼨图

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Goniometer25-phi—技术参数

*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上⽆要求（建议低于50欧姆）

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV 版本, 默认产品;

.ULT 版本, He3或稀释低温系统中使⽤

.UHV 版本, 兼容2E-11 mbar

1 尺⼨ 25 × 25 mm × 12.5 mm

2 重量 20 g

⼯作环境

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

真空: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材料

6 主体 纯Ti 铍铜 纯Ti 铍铜

7 线缆 磷铜双绞线, 20cm

8 插针材料 Polyster (glass Þber Þlled), BeCu Peek, BeCu

9 插针数⽬ Drive - 2 pins, Sensor - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 ~ 6 °

11 最⼤速度 @300 K ~ 1 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 200 g

14 最⼤推⼒ 2.2 N

15 旋转中⼼与⼯作⾯距离 53.5 mm

传感器 (闭环)

16 位置传感器 电阻传感器

17 传感器⾏程 6 °

18 传感器分辨率 0.2 m°

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

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“35mm 系列” — Goniometer35-theta (闭环)

低温 · 压电运动- 摇摆台系列

闭环控制摇摆台

Goniometer35-theta.HV

特点

• 紧凑的设计，外形尺⼨: 35*35*16 mm

• 超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场

• ⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 500 g & 50 mm

• ⼤⾏程: 12 °

• 闭环控制，位置传感达到分辨率 0.5 m°

尺⼨图

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Goniometer35-theta—技术参数

*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上⽆要求（建议低于50欧姆）

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV 版本, 默认产品;

.ULT 版本, He3或稀释低温系统中使⽤

.UHV 版本, 兼容2E-11 mbar

1 尺⼨ 35 × 35 mm × 16mm

2 重量 70 g

⼯作环境

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

真空: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材料

6 主体 纯Ti 铍铜 纯Ti 铍铜

7 线缆 磷铜双绞线, 20cm

8 插针材料 Polyster (glass Þber Þlled), BeCu Peek, BeCu

9 插针数⽬ Drive - 2 pins, Sensor - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 ~ 12 °

11 最⼤速度 @300 K ~ 1 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 500 g

14 最⼤推⼒ 3 N

15 旋转中⼼与⼯作⾯距离 50 mm

传感器 (闭环)

16 位置传感器 电阻传感器

17 传感器⾏程 12 °

18 传感器分辨率 0.5 m°

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

22

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“35mm 系列” — Goniometer35-phi (闭环)

低温 · 压电运动- 摇摆台系列

闭环控制摇摆台

Goniometer35-phi.HV

特点

• 紧凑的设计，外形尺⼨: 35*35*16 mm

• 超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场

• ⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 500 g & 66 mm

• ⼤⾏程: 10 °

• 闭环控制，位置传感达到分辨率 0.5 m°

尺⼨图

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MultiFields

&Group

Goniometer35-phi—技术参数

*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上⽆要求（建议低于50欧姆）

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV 版本, 默认产品;

.ULT 版本, He3或稀释低温系统中使⽤

.UHV 版本, 兼容2E-11 mbar

1 尺⼨ 35 × 35 mm × 16 mm

2 重量 70 g

⼯作环境

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

真空: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材料

6 主体 纯Ti 铍铜 纯Ti 铍铜

7 线缆 磷铜双绞线, 20cm

8 插针材料 Polyster (glass Þber Þlled), BeCu Peek, BeCu

9 插针数⽬ Drive - 2 pins, Sensor - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 ~ 10 °

11 最⼤速度 @300 K ~ 1 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 500 g

14 最⼤推⼒ 3 N

15 旋转中⼼与⼯作⾯距离 66 mm

传感器 (闭环)

16 位置传感器 电阻传感器

17 传感器⾏程 12 °

18 传感器分辨率 0.5 m°

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

B34

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Goniometer25-theta.HV

Goniometer35-theta.HV

尺寸图：

Goniometer25-phi.HV

Rotator35-phi.HV

19

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“25mm 系列” — Goniometer25-theta (闭环)

低温 · 压电运动- 摇摆台系列

闭环控制摇摆台

Goniometer25-theta.HV

特点

• 紧凑的设计，外形尺⼨: 25*25*12.5 mm

• 超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场

• ⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 200 g & 41 mm

• ⼤⾏程: 6.6 °

• 闭环控制，位置传感达到分辨率 0.2 m°

尺⼨图

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

MultiFields

&Group

Goniometer25-theta—技术参数

*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上⽆要求（建议低于50欧姆）

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV 版本, 默认产品;

.ULT 版本, He3或稀释低温系统中使⽤

.UHV 版本, 兼容2E-11 mbar

1 尺⼨ 25 × 25 mm × 12.5 mm

2 重量 20 g

⼯作环境

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

真空: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材料

6 主体 纯Ti 铍铜 纯Ti 铍铜

7 线缆 磷铜双绞线, 20cm

8 插针材料 Polyster (glass Þber Þlled), BeCu Peek, BeCu

9 插针数⽬ Drive - 2 pins, Sensor - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 ~ 6.6 °

11 最⼤速度 @300 K ~ 1 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 200 g

14 最⼤推⼒ 2.2 N

15 旋转中⼼与⼯作⾯距离 41 mm

传感器 (闭环)

16 位置传感器 电阻传感器

17 传感器⾏程 6.6 °

18 传感器分辨率 0.2 m°

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

19

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“25mm 系列” — Goniometer25-theta (闭环)

低温 · 压电运动- 摇摆台系列

闭环控制摇摆台

Goniometer25-theta.HV

特点

• 紧凑的设计，外形尺⼨: 25*25*12.5 mm

• 超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场

• ⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 200 g & 41 mm

• ⼤⾏程: 6.6 °

• 闭环控制，位置传感达到分辨率 0.2 m°

尺⼨图

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MultiFields

&Group

Goniometer25-theta—技术参数

*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上⽆要求（建议低于50欧姆）

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV 版本, 默认产品;

.ULT 版本, He3或稀释低温系统中使⽤

.UHV 版本, 兼容2E-11 mbar

1 尺⼨ 25 × 25 mm × 12.5 mm

2 重量 20 g

⼯作环境

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

真空: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材料

6 主体 纯Ti 铍铜 纯Ti 铍铜

7 线缆 磷铜双绞线, 20cm

8 插针材料 Polyster (glass Þber Þlled), BeCu Peek, BeCu

9 插针数⽬ Drive - 2 pins, Sensor - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 ~ 6.6 °

11 最⼤速度 @300 K ~ 1 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 200 g

14 最⼤推⼒ 2.2 N

15 旋转中⼼与⼯作⾯距离 41 mm

传感器 (闭环)

16 位置传感器 电阻传感器

17 传感器⾏程 6.6 °

18 传感器分辨率 0.2 m°

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

19

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“25mm 系列” — Goniometer25-theta (闭环)

低温 · 压电运动- 摇摆台系列

闭环控制摇摆台

Goniometer25-theta.HV

特点

• 紧凑的设计，外形尺⼨: 25*25*12.5 mm

• 超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场

• ⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 200 g & 41 mm

• ⼤⾏程: 6.6 °

• 闭环控制，位置传感达到分辨率 0.2 m°

尺⼨图

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&Group

Goniometer25-theta—技术参数

*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上⽆要求（建议低于50欧姆）

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV 版本, 默认产品;

.ULT 版本, He3或稀释低温系统中使⽤

.UHV 版本, 兼容2E-11 mbar

1 尺⼨ 25 × 25 mm × 12.5 mm

2 重量 20 g

⼯作环境

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

真空: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材料

6 主体 纯Ti 铍铜 纯Ti 铍铜

7 线缆 磷铜双绞线, 20cm

8 插针材料 Polyster (glass Þber Þlled), BeCu Peek, BeCu

9 插针数⽬ Drive - 2 pins, Sensor - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 ~ 6.6 °

11 最⼤速度 @300 K ~ 1 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 200 g

14 最⼤推⼒ 2.2 N

15 旋转中⼼与⼯作⾯距离 41 mm

传感器 (闭环)

16 位置传感器 电阻传感器

17 传感器⾏程 6.6 °

18 传感器分辨率 0.2 m°

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

20

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“25mm 系列” — Goniometer25-phi (闭环)

低温 · 压电运动- 摇摆台系列

闭环控制摇摆台

Goniometer25-phi.HV

特点

• 紧凑的设计，外形尺⼨: 25*25*12.5 mm

• 超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场

• ⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 200 g & 53.5 mm

• ⼤⾏程: 6 °

• 闭环控制，位置传感达到分辨率 0.2 m°

尺⼨图

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Goniometer25-phi—技术参数

*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上⽆要求（建议低于50欧姆）

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV 版本, 默认产品;

.ULT 版本, He3或稀释低温系统中使⽤

.UHV 版本, 兼容2E-11 mbar

1 尺⼨ 25 × 25 mm × 12.5 mm

2 重量 20 g

⼯作环境

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

真空: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材料

6 主体 纯Ti 铍铜 纯Ti 铍铜

7 线缆 磷铜双绞线, 20cm

8 插针材料 Polyster (glass Þber Þlled), BeCu Peek, BeCu

9 插针数⽬ Drive - 2 pins, Sensor - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 ~ 6 °

11 最⼤速度 @300 K ~ 1 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 200 g

14 最⼤推⼒ 2.2 N

15 旋转中⼼与⼯作⾯距离 53.5 mm

传感器 (闭环)

16 位置传感器 电阻传感器

17 传感器⾏程 6 °

18 传感器分辨率 0.2 m°

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

20

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“25mm 系列” — Goniometer25-phi (闭环)

低温 · 压电运动- 摇摆台系列

闭环控制摇摆台

Goniometer25-phi.HV

特点

• 紧凑的设计，外形尺⼨: 25*25*12.5 mm

• 超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场

• ⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 200 g & 53.5 mm

• ⼤⾏程: 6 °

• 闭环控制，位置传感达到分辨率 0.2 m°

尺⼨图

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&Group

Goniometer25-phi—技术参数

*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上⽆要求（建议低于50欧姆）

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV 版本, 默认产品;

.ULT 版本, He3或稀释低温系统中使⽤

.UHV 版本, 兼容2E-11 mbar

1 尺⼨ 25 × 25 mm × 12.5 mm

2 重量 20 g

⼯作环境

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

真空: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材料

6 主体 纯Ti 铍铜 纯Ti 铍铜

7 线缆 磷铜双绞线, 20cm

8 插针材料 Polyster (glass Þber Þlled), BeCu Peek, BeCu

9 插针数⽬ Drive - 2 pins, Sensor - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 ~ 6 °

11 最⼤速度 @300 K ~ 1 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 200 g

14 最⼤推⼒ 2.2 N

15 旋转中⼼与⼯作⾯距离 53.5 mm

传感器 (闭环)

16 位置传感器 电阻传感器

17 传感器⾏程 6 °

18 传感器分辨率 0.2 m°

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

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“25mm 系列” — Goniometer25-phi (闭环)

低温 · 压电运动- 摇摆台系列

闭环控制摇摆台

Goniometer25-phi.HV

特点

• 紧凑的设计，外形尺⼨: 25*25*12.5 mm

• 超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场

• ⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 200 g & 53.5 mm

• ⼤⾏程: 6 °

• 闭环控制，位置传感达到分辨率 0.2 m°

尺⼨图

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MultiFields

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Goniometer25-phi—技术参数

*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上⽆要求（建议低于50欧姆）

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV 版本, 默认产品;

.ULT 版本, He3或稀释低温系统中使⽤

.UHV 版本, 兼容2E-11 mbar

1 尺⼨ 25 × 25 mm × 12.5 mm

2 重量 20 g

⼯作环境

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

真空: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材料

6 主体 纯Ti 铍铜 纯Ti 铍铜

7 线缆 磷铜双绞线, 20cm

8 插针材料 Polyster (glass Þber Þlled), BeCu Peek, BeCu

9 插针数⽬ Drive - 2 pins, Sensor - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 ~ 6 °

11 最⼤速度 @300 K ~ 1 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 200 g

14 最⼤推⼒ 2.2 N

15 旋转中⼼与⼯作⾯距离 53.5 mm

传感器 (闭环)

16 位置传感器 电阻传感器

17 传感器⾏程 6 °

18 传感器分辨率 0.2 m°

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

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“35mm 系列” — Goniometer35-theta (闭环)

低温 · 压电运动- 摇摆台系列

闭环控制摇摆台

Goniometer35-theta.HV

特点

• 紧凑的设计，外形尺⼨: 35*35*16 mm

• 超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场

• ⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 500 g & 50 mm

• ⼤⾏程: 12 °

• 闭环控制，位置传感达到分辨率 0.5 m°

尺⼨图

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MultiFields

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Goniometer35-theta—技术参数

*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上⽆要求（建议低于50欧姆）

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV 版本, 默认产品;

.ULT 版本, He3或稀释低温系统中使⽤

.UHV 版本, 兼容2E-11 mbar

1 尺⼨ 35 × 35 mm × 16mm

2 重量 70 g

⼯作环境

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

真空: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材料

6 主体 纯Ti 铍铜 纯Ti 铍铜

7 线缆 磷铜双绞线, 20cm

8 插针材料 Polyster (glass Þber Þlled), BeCu Peek, BeCu

9 插针数⽬ Drive - 2 pins, Sensor - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 ~ 12 °

11 最⼤速度 @300 K ~ 1 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 500 g

14 最⼤推⼒ 3 N

15 旋转中⼼与⼯作⾯距离 50 mm

传感器 (闭环)

16 位置传感器 电阻传感器

17 传感器⾏程 12 °

18 传感器分辨率 0.5 m°

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

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“35mm 系列” — Goniometer35-theta (闭环)

低温 · 压电运动- 摇摆台系列

闭环控制摇摆台

Goniometer35-theta.HV

特点

• 紧凑的设计，外形尺⼨: 35*35*16 mm

• 超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场

• ⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 500 g & 50 mm

• ⼤⾏程: 12 °

• 闭环控制，位置传感达到分辨率 0.5 m°

尺⼨图

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MultiFields

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Goniometer35-theta—技术参数

*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上⽆要求（建议低于50欧姆）

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV 版本, 默认产品;

.ULT 版本, He3或稀释低温系统中使⽤

.UHV 版本, 兼容2E-11 mbar

1 尺⼨ 35 × 35 mm × 16mm

2 重量 70 g

⼯作环境

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

真空: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材料

6 主体 纯Ti 铍铜 纯Ti 铍铜

7 线缆 磷铜双绞线, 20cm

8 插针材料 Polyster (glass Þber Þlled), BeCu Peek, BeCu

9 插针数⽬ Drive - 2 pins, Sensor - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 ~ 12 °

11 最⼤速度 @300 K ~ 1 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 500 g

14 最⼤推⼒ 3 N

15 旋转中⼼与⼯作⾯距离 50 mm

传感器 (闭环)

16 位置传感器 电阻传感器

17 传感器⾏程 12 °

18 传感器分辨率 0.5 m°

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

21

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“35mm 系列” — Goniometer35-theta (闭环)

低温 · 压电运动- 摇摆台系列

闭环控制摇摆台

Goniometer35-theta.HV

特点

• 紧凑的设计，外形尺⼨: 35*35*16 mm

• 超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场

• ⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 500 g & 50 mm

• ⼤⾏程: 12 °

• 闭环控制，位置传感达到分辨率 0.5 m°

尺⼨图

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MultiFields

&Group

Goniometer35-theta—技术参数

*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上⽆要求（建议低于50欧姆）

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV 版本, 默认产品;

.ULT 版本, He3或稀释低温系统中使⽤

.UHV 版本, 兼容2E-11 mbar

1 尺⼨ 35 × 35 mm × 16mm

2 重量 70 g

⼯作环境

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

真空: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材料

6 主体 纯Ti 铍铜 纯Ti 铍铜

7 线缆 磷铜双绞线, 20cm

8 插针材料 Polyster (glass Þber Þlled), BeCu Peek, BeCu

9 插针数⽬ Drive - 2 pins, Sensor - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 ~ 12 °

11 最⼤速度 @300 K ~ 1 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 500 g

14 最⼤推⼒ 3 N

15 旋转中⼼与⼯作⾯距离 50 mm

传感器 (闭环)

16 位置传感器 电阻传感器

17 传感器⾏程 12 °

18 传感器分辨率 0.5 m°

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

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“35mm 系列” — Goniometer35-phi (闭环)

低温 · 压电运动- 摇摆台系列

闭环控制摇摆台

Goniometer35-phi.HV

特点

• 紧凑的设计，外形尺⼨: 35*35*16 mm

• 超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场

• ⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 500 g & 66 mm

• ⼤⾏程: 10 °

• 闭环控制，位置传感达到分辨率 0.5 m°

尺⼨图

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MultiFields

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Goniometer35-phi—技术参数

*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上⽆要求（建议低于50欧姆）

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV 版本, 默认产品;

.ULT 版本, He3或稀释低温系统中使⽤

.UHV 版本, 兼容2E-11 mbar

1 尺⼨ 35 × 35 mm × 16 mm

2 重量 70 g

⼯作环境

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

真空: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材料

6 主体 纯Ti 铍铜 纯Ti 铍铜

7 线缆 磷铜双绞线, 20cm

8 插针材料 Polyster (glass Þber Þlled), BeCu Peek, BeCu

9 插针数⽬ Drive - 2 pins, Sensor - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 ~ 10 °

11 最⼤速度 @300 K ~ 1 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 500 g

14 最⼤推⼒ 3 N

15 旋转中⼼与⼯作⾯距离 66 mm

传感器 (闭环)

16 位置传感器 电阻传感器

17 传感器⾏程 12 °

18 传感器分辨率 0.5 m°

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

22

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“35mm 系列” — Goniometer35-phi (闭环)

低温 · 压电运动- 摇摆台系列

闭环控制摇摆台

Goniometer35-phi.HV

特点

• 紧凑的设计，外形尺⼨: 35*35*16 mm

• 超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场

• ⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 500 g & 66 mm

• ⼤⾏程: 10 °

• 闭环控制，位置传感达到分辨率 0.5 m°

尺⼨图

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

MultiFields

&Group

Goniometer35-phi—技术参数

*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上⽆要求（建议低于50欧姆）

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV 版本, 默认产品;

.ULT 版本, He3或稀释低温系统中使⽤

.UHV 版本, 兼容2E-11 mbar

1 尺⼨ 35 × 35 mm × 16 mm

2 重量 70 g

⼯作环境

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

真空: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材料

6 主体 纯Ti 铍铜 纯Ti 铍铜

7 线缆 磷铜双绞线, 20cm

8 插针材料 Polyster (glass Þber Þlled), BeCu Peek, BeCu

9 插针数⽬ Drive - 2 pins, Sensor - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 ~ 10 °

11 最⼤速度 @300 K ~ 1 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 500 g

14 最⼤推⼒ 3 N

15 旋转中⼼与⼯作⾯距离 66 mm

传感器 (闭环)

16 位置传感器 电阻传感器

17 传感器⾏程 12 °

18 传感器分辨率 0.5 m°

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

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“35mm 系列” — Goniometer35-phi (闭环)

低温 · 压电运动- 摇摆台系列

闭环控制摇摆台

Goniometer35-phi.HV

特点

• 紧凑的设计，外形尺⼨: 35*35*16 mm

• 超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场

• ⾼负载 & 旋转中⼼与⼯作⾯距离: 500 g & 66 mm

• ⼤⾏程: 10 °

• 闭环控制，位置传感达到分辨率 0.5 m°

尺⼨图

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

MultiFields

&Group

Goniometer35-phi—技术参数

*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上⽆要求（建议低于50欧姆）

可选版本 ⇨ .HV (默认) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV 版本, 默认产品;

.ULT 版本, He3或稀释低温系统中使⽤

.UHV 版本, 兼容2E-11 mbar

1 尺⼨ 35 × 35 mm × 16 mm

2 重量 70 g

⼯作环境

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

真空: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材料

6 主体 纯Ti 铍铜 纯Ti 铍铜

7 线缆 磷铜双绞线, 20cm

8 插针材料 Polyster (glass Þber Þlled), BeCu Peek, BeCu

9 插针数⽬ Drive - 2 pins, Sensor - 3 pins

运动参数

10 ⾏程 ~ 10 °

11 最⼤速度 @300 K ~ 1 °/s

12 驱动电压 Max. 200 V

13 最⼤负载 500 g

14 最⼤推⼒ 3 N

15 旋转中⼼与⼯作⾯距离 66 mm

传感器 (闭环)

16 位置传感器 电阻传感器

17 传感器⾏程 12 °

18 传感器分辨率 0.5 m°

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台

B35

返回目录

型号 Scanner16-xy Scanner16-z Scanner25-xy Scanner25-z Scanner35-xy Scanner35-z

工作环境

默认: 1.4 K ~ 400 K; 2e-7 mbar; 18 Tesla

可选1 - .ULT, 最低工作温度 30 mK;

可选2 - .UHV, 最高真空环境 2e-11 mbar

尺寸（mm） 16×16×7 16×16×6 25×25×10 25×25×8.5 35×35×14.5 35×35×14.5

行程（µm） 30×30 30 55×55 55 100×100 100

最大负载（g） 100 100 200 200 500 500

线性度误差 Typical~0.1%

可重复性 < 10 nm

驱动电压 Max. 75 V @300K；Max. 180 V @4K

分辨率（nm） 0.5 0.5 0.8 0.8 0.5 0.5

电子插针 4 pins 2 pins 4 pins 2 pins 4 pins 2 pins

主体 默认: 纯钛; ULT: 铍铜

重量（g） 8 7 23 20 60 60

选型表

Scannerxx-xy/z低温压电扫描台

特点：

命名规则

注：主体材质- ULT和ULT.UHV 版本为 BeCu，其余纯Ti；线缆材质-磷铜双绞线，长20cm；

针脚材质- UHV版本为Peek，BeCu，其余为玻璃纤维填充；

•台面尺寸最小仅16×16mm

•超高真空 & 极低温兼容: 2e-11 mbar & 30 mK

•无磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场

•高负载: 最高可到500g

•空间扫描达到 0.8nm 分辨率

台面尺寸：

16：台面16*16mm

25：台面25*25mm

35：台面35*35mm

环境版本：

NM：绝对无磁版本 （max 18 tesla）

HV：高真空版本 （2e-7mbar）

UHV：超高真空版本（2e-1mbar）

ULT：超低温版本 （30 mK）

ULT.UHV：超高真空&超低温版本

（2e- 1mbar &30 mK）

维度

xy：xy轴

z：z轴

Scanner25-xy.UHV

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“16 mm 系列” — Scanner16-xy

低温 · 压电运动- 扫描台系列

最⼩尺⼨扫描台

Scanner16-xy.HV

特点

• 紧凑的设计，外形尺⼨: 16*16*7 mm

• 超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场

• ⾼负载: 100 g

• ⾏程@300 K: 30*30 um

• 空间扫描达到 0.8 nm 分辨率

尺⼨图

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MultiFields

&Group

Scanner16-xy—技术参数

*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上⽆要求（建议低于50欧姆）

可选版本 ⇨ .HV (default) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV 版本, 默认产品;

.ULT 版本, He3或稀释低温系统中使⽤

.UHV 版本, 兼容2E-11 mbar

1 尺⼨ 16 × 16 mm × 7 mm

2 重量 8 g

⼯作环境

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

真空: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla

4 可选1 - 30 mK ✓ ✓

5 可选2 - 2e-11 mbar ✓ ✓

材料

6 主体 纯Ti 铍铜 纯Ti 铍铜

7 线缆 磷铜双绞线, 20cm

8 插针材料 Polyster (glass Þber Þlled), BeCu Peek, BeCu

9 插针数⽬ 每个扫描维度 2 pins

运动参数

10 扫描维度 X, Y

11 ⾏程@300 K 30 × 30 um

12 驱动电压 Max. 75 V @300 K

Max. 180 V @4 K

13 最⼤负载 100 g

14 电容@300 K 1 uF

15 分辨率 0.5 nm

16 线性度误差 Typical ~ 0.1 %

17 可重复性 < 10 nm

低

温

・

压

电

运

动

低

温

・

压

电

运

动

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“16 mm 系列” — Scanner16-z

低温 · 压电运动- 扫描台系列

最⼩尺⼨扫描台

Scanner16-z.HV

特点

• 紧凑的设计，外形尺⼨: 16*16*6 mm

• 超⾼真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

• ⽆磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容18 Tesla磁场

• ⾼负载: 100 g

• ⾏程@300 K: 30 um

• 空间扫描达到 0.5 nm 分辨率

尺⼨图

www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies

MultiFields

&Group

Scanner16-z—技术参数

*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上⽆要求（建议低于50欧姆）

可选版本 ⇨ .HV (default) .ULT .UHV .ULT.UHV

.HV 版本, 默认产品;

.ULT 版本, He3或稀释低温系统中使⽤

.UHV 版本, 兼容2E-11 mbar

1 尺⼨ 16 × 16 mm × 6 mm

2 重量 /

⼯作环境

3 基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K

真空: 2e-7 mbar

最⼤磁场: 18 Tesla