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工艺
设计 主任设计
校对
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图样标记 件数 比例
标准化
批准
处数 更改文件号 签字 日期
图纸未经书面许可，不得复制、泄露给第三方或用于其它目的。
日期
苏大明 北京卓立汉光仪器有限公司
S
2025/4/15
共1页 第1页 阮景龄
李海涛
杜勉珂
2:1
28
23 4xM2.5 2.5
16.5
4.5
5
32
1.5
15
22 -
00.033
10
5 -
00.012
9.5
东方五相0.36度步进电机 PKP523MN07A
材质 <未指定>
电气规格
电气规格整体说明：
型号 MSTD-XY7550
电机类型 五相42步进电机
电机型号 PKP523MN07A
驱动电流（A） 0.75
步距角（°） 0.36
滑台接头 动力：2个DB9(针) 信号：2个DB15(针)
限位传感器 2个GP1S09xHCPI（ 日本SHARP）
传感器电压（V）） DC5～24V±10％
消耗电流（mA） 合计15mA以下
控制输出 NPN开路集电极输出； DC5~24V 8mA以下； 残留电压0.3V以下（ 负载电流2mA时）
输出逻辑 检测（ 遮光） 时； 输出晶体管ON（ 导通）
消耗电流（mA） 合计60mA以下
控制输出 NPN开路集电极输出 ；DC5～24V 8mA以下；残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）
输出逻辑 检测（遮光）时：输出晶体管ON（导通）
电机资料
MSTD-XY7550电机参数：
通用技术参数 电气技术参数
型号 PKP523MN07A 电压 DC24V
相数 5 电流 0.75A/相（PHASE）
步距角 0.36° 电阻 1.06Ω/相（PHASE）
绝缘电阻 100MΩ以上/Min 电感 3.6mH/相（PHASE）
使用温度范围 0～+50℃ 励磁静止力矩 42mN·m
绝缘强度 500V 50Hz 1分钟无异常 转子惯量 9g·cm²
重量 0.11Kg 电机工作时允许温度上升范围 80℃ Max
MSTD-XY7550电机尺寸图：
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XYR 200-230 (S) (-CH) (-ST528) (-Nx)
XYR 系列代码：
XY：整体三维对位平台
200 台面尺寸：
150：150mm * 150mm
200 ：200mm * 200mm
300 ：300mm * 300mm
230 底面尺寸：
210：210mm * 210mm
230：230mm * 230mm
400：400mm * 400mm
S 主体材料：
无（默认） ：铝合金 ，黑色阳极氧化
S ：不锈钢
CH 中心孔：
无 ( 默认 ) ：无中心孔
CH ：有中心孔
ST528 电机类型：
无（默认） ：标配步进电机
ST528：5 相 28 步进电机
NM：步进电机接口 （不含电机）
EN： 步进伺服电机（含编码器）
IE ：集成驱动的步进伺服电机（485 接口）
Nx 出线类型：
无（默认）：DB9（30cm）
Nx：散线（x：1、3、5、10 单位：m）
注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。
XYR系列对位平台
说明：
XYR 系列对位平台是卓立汉光为解决工业生产线上，对工件进行
高精度、高重复使用频率对位、邦定、贴合等使用要求而开发的三
轴并联式对位机构。每台 XYR 对位平台，由上台面、下底面及中间
的 4 套模组构成，每套模组均采用交叉滚柱导轨和交叉滚子轴承导
向，带驱动模组（3 套）采用小导程滚珠丝杠驱动，标配步进电机，
也可换装五相步进电机或伺服电机。对位平台可根据实际需要，在
中心设计通光孔或无通孔，分别可实现透射、反射式的对位需求。
特点：
•滚珠丝杠传动，符合高精度、高重复频率的使用要求
•交叉滚柱导轨和交叉滚子轴承导向，提供更好的运动精度
•模组标准化设计，成套加工，产品一致性好、交货期短
•可根据实际需要，在中心设计通光孔或无通孔，分别可实现
透射、反射式的对位需求
•标配二相步进电机，也可根据实际使用要求换装五相步进电
机或伺服电机
命名规则：
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选型表：（XYR150210为设计规格，技术指标以最终发布内容为准）
型号 XYR150210 XYR200230 XYR300400-CH
机械规格
XY轴行程（mm） ±4.5 ±10 ±15
θz轴中心处角度范围（°） ±5
台面尺寸（mm） 150×150 200×200 300×300
底板尺寸（mm） 210×210 230×230 400×400
整体高度（mm） 62.5 76 98
传动机构 精密滚珠丝杠，φ8×2
导轨 交叉滚柱导轨
主体材料及表面处理 铝合金，黑色阳极氧化处理
自重（Kg） 6 8 15
精度规格
XY轴分辨率（整步/半步，µm） 10/5
20细分下的XY轴分辨率（µm） 0.5
重复定位精度（µm） ≤±3
静态平行度（mm） ≤0.03 ≤0.04 ≤0.05
运动平行度（µm） ≤20 ≤30
最大速度（mm/s）* 20
电气规格
电机及步距角(°) 2相28步进电机，1.8 2相42步进电机，1.8
工作电流（A） 1.3 1.7
电机保持转矩（N·m） 0.0785 0.456
滑台接头 DB9（针）
滑台接头线缆类型 高柔性线缆（德国和柔）
滑台接头线缆长度（m） 0.2
限位传感器（内置），每轴 2个GP1S09xHCPI（日本SHARP） 2个PM-L25（日本SUNX）
原点传感器（内置），每轴 1个GP1S09xHCPI（日本SHARP） 1个PM-L25（日本SUNX）
传感器电源电压（V） DC5～24V±10%
控制输出
NPN开路集电极输出
DC5～24V 8mA以下
残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）
NPN开路集电极输出
DC5～24V 50mA以下
输出逻辑 检测（遮光）时：输出晶体管ON（导通）
运动算法公式 可提供（免费）
整体控制及对位软件 可提供（需另外付费）
负载 水平负载（Kg） 20 30 50
*注：最大速度是在空载情况下，按照步进电机600转/分钟的理论计算速度和实际测试值。
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注：出厂时，台面与底板之间连接有一个直角固定板，使用前请拆除。 注：出厂时，台面与底板之间连接有一个直角固定板，使用前请拆除。
注：出厂时，台面与底板之间连接有一个直角固定板，使用前请拆除。
尺寸图：
XYR150210 XYR200230
XYR300400-CH
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电机资料：
XYR150210二相28步进电机参数：
通用技术参数 电气技术参数
相数 2 电压 1.9V
电流 1.3A/相（PHASE）
步距角 1.8° 电阻 1.45±10%Ω/相
（PHASE）
绝缘电阻 100MΩ以上/Min 电感 1.25 mH/相（PHASE）
绝缘等级 UL B级 保持力矩 78.5mN·m以上/Min
使用温度范围 0～+50℃ 制动力矩 2.94mN·m参考值
绝缘强度 500V AC 1分钟无异常 转子惯量 8 g·cm2
重量 0.11Kg 电机工作时允许
温度上升范围 80℃ Max
XYR200230、XYR300400-CH二相42步进电机参数：
通用技术参数 电气技术参数
相数 2 电压 2.8V
电流 1.7A/相（PHASE）
步距角 1.8° 电阻 1.65±10%Ω/相
（PHASE）
绝缘电阻 100MΩ以上/Min 电感 3.6 mH/相
（PHASE）
绝缘等级 UL B级 保持力矩 456 mN·m以上/Min
使用温度范围 0～+50℃ 制动力矩 5mN·m参考值
绝缘强度 500V AC 1分钟无异常 转子惯量 56 g·cm2
重量 0.29Kg 电机工作时允许
温度上升范围 80℃ Max
XYR150210电机尺寸图：
XYR200230、XYR300400-CH电机尺寸图：
XYR150210电机接线图：
XYR200230、XYR300400-CH电机接线图：
电气规格：
电气规格整体说明：
型号 XYR150210 XYR200230 XYR300400-CH
电机类型 二相28步进电机 二相42步进电机
驱动电流（A） 1.3 1.7
步距角（°） 1.8
滑台接头 DB9(针)
限位传感器，每轴 2个GP1S09xHCPI（日本SHARP） 2个日本SUNX PM-L25
原点传感器，每轴 1个GP1S09xHCPI（日本SHARP） 1个日本SUNX PM-L25
传感器电压（V） DC5～24V±10% DC5～24V±10%
消耗电流（mA） 合计60mA以下
控制输出 NPN开路集电极输出；DC5～24V 8mA以下；
残留电压0.3V以下（负载电流2mA时）
NPN开路集电极输出
DC5～24V 50mA以下
输出逻辑 检测（遮光）时：输出晶体管ON（导通）
线缆类型 高柔性线缆(德国和柔)
线缆长度(m) 0.2
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XYR三维对位平台应用简介
卓立汉光作为专业厂商，可提供多种解决方案：
•单独提供各种对位平台，如：XYR三维对位平台，在一定行程范围内实现X、Y、θz三个方向的运动，可以完成大部分工业对位要求。
•配合卓立汉光生产的其他手动、电动产品，搭建更加复杂的各类系统，或者提供对位平台和运动控制器的机械运动解决方案，在用户
解决运动控制方面，节省大量人力和时间。
•提供对位平台+运动控制+机器视觉的整套系统，为用户提供全面的解决方案，方案可包含：图像采集、分析、反馈、多维运动控制
等，最终实现机器视觉对位系统的需求。
基于XYR三维对位平台的机器视觉对位系统应用举例：
普通组维式的四轴对位系统
（四轴串联控制）
XYR三维对位系统组成的四轴对位系统
（XYR三维为并联控制）
控制及算法 ：配套使用卓立汉光自主研
发的 TMC-XYR 专用运动控制器（含软件，
内嵌运动控制算法），操作简单，省去复杂
的换算过程。
组成 ：使用卓立汉光 XYR 三维对位平
台与 TBZF 系列升降台，组成四维对位结构，
能完成 X、Y、Z、θz 方向的四维运动。相比
于使用普通平移台、旋转台和升降台组成的
四维串联系统，结构更加紧凑，能减少误差
传动链，提高传动效率和传动速度，提高最
终目标点的定位精度。
基于 XYR 三维对位平台的机器视
觉对位系统是当前市场上的热点产品，
XYR 三维对位平台广泛用于丝印机、
半导体晶元切割、PCB 焊接、精密自
动化装配等场合。它集成了图像处理、
精密机械、运动控制等技术。与传统
机械自动化设备相比，使用动态图像
作为位置参照。具有精度高、响应快、
多自由度误差位置补偿的特点，智能
化程度高，可以大量减少人工的使用，
提高生产效率。
常见的机器视觉对位系统由 ：运
动控制器、对位平台、摄像和照明系统、
图像处理及运动控制软件组成。
XYR系列对位平台和TBZF系列升降台
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•标定功能：该系统具有视觉自标定功能，可
以通过标准定标板来自动消除由于光学系统
造成的图像畸变误差。还可以对图像进行对
比度、滤波等处理，能够适应不同的应用场
合，完成复杂高精度的对位要求。
•位置修正：自动查找图像中参照点，计算坐
标信息，同时能对运动中的参照点的位移偏
移量、角度偏移量等进行测量，以此为依据
进行位置误差修正。
•效率及可靠性：在运动过程中使用机器视觉
采集对位平台的运动轨迹，自动测量并计算
对位平台的重复性、回程误差。在下一次运
动中自动进行运动补偿。无人工干预，提高
了对位运动的效率。当发生对位平台严重磨
损、工件装夹不牢、来料安装误差过大等情
况，软件自动报错，停止生产过程。具有检
验功能，使系统有更高的可靠性。
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HXP-824 A
HXP 系列代码：
HXP:Hexapod, 六轴并联机器人
824 产品代码
A 编码器类型 :
A: 绝对型编码器
( 空缺 ): 无编码器
HXP系列六轴并联机器人
说明：
HXP 系列六轴并联机器人系统主要用于高精度的六自由度调整，尤其适合于空间精密对位、微小器件加工和装配、光通信器件调芯、
晶片检验等场合。
机械主体采用六个推杆 + 双虎克铰结构，具有刚性强、重复定位精度高、可任意位置安装等特点。推杆可以选择有绝对编码器的推
杆或者增量编码器的推杆，其中带有绝对编码器的推杆电机有失电后保持位置信息的能力，重启后无需归零。电机驱动系统采用标准工
业总线 EtherCAT 进行通信，可靠性高、通信效率高，兼容市场上主流运动控制系统。
控制系统与软件支持各种欧拉角空间变换制式、支持机器人运行空间坐标系管理（包括世界坐标系、工件坐标系（64 组）、机器人
安装坐标系、机器人驱动坐标系、机器人工具坐标系（64 组）的设置和转换）、支持载荷模拟、具有机器人空间校准功能、支持 3D 姿
态仿真模拟、示教方案等功能。提供二次开发包，可以根据实际应用，整合成系统设备。
命名规则：
HXP系列六轴并联机器人
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技术规格：（本系列产品为设计规格，技术指标以最终发布内容为准）
*注：空间最大行程
**注：实测典型值
控制器参数
控制器型号 TMC-NET-HXP TMC-NET-HXP-ZZ
额定电压（V） AC 220
额定电流(A) 1.5
额定功率（W） 350
工作温度范围（℃） 0 ～ +55
基本轴类型 EtherCAT/RTEX/6 差分脉冲轴
(另输出口可配置 6 个单端脉冲轴)
内部 IO 数 24 进 12 出(带过流保护，内置拓展)
内部 ADDA 数 2 路 AD，2 路 DA（0-10V，内置拓展）
最多扩展 AD/DA 256 路 AD，128 路 DA
脉冲位数 64
编码器位数 64
速度加速度位数 64
脉冲最高速率 10Mhz
每轴运动缓冲数 4096
数组空间 640000
程序空间 8000Kbyte
Flash 空间
256MByte 256MByte
通讯接口 外置：以太网 内置拓展：RS232,RS485,以太
网,U 盘,CAN, RTEX,EtherCAT
机器人型号 HXP-824A HXP-200A
行程X、Y（mm）* ±34 ±50
行程Z（mm）* ±15 ±21
行程θX、θY（°）* ±11 ±10
行程θZ（°）* ±25 ±24
推杆分辨率（µm） 0.25 0.25
最小位移X、Y、Z（µm）** 1 1
最小位移Z（µm） - 0.5
最小位移θX、θY、θZ（°）** 0.001 0.001
回程X、Y（µm）** 3 3
回程Z（µm）** 1 1
回程θX、θY（”）** 10 15
回程θZ（”）** 15 30
单向重复精度X、Y（µm）** ±0.5 ±0.5
单向重复精度Z（µm）** ±0.3 ±0.3
单向重复精度θX、θY（”）** ±2 ±2
单向重复精度θZ（”）** ±2.5 ±2.5
推杆最大速度（mm/s ） 80 100
推杆额定速度（mm/s ） 40 50
水平负载（Kg） 20 200
任意方向负载（Kg） 2.5 50
电机类型 步进伺服电机 带绝对编码器的步进伺服
工作温度范围（℃） +10 ～ +40 0～+40
材料 不锈钢/铝合金 不锈钢/铝合金
质量（Kg） 7 27
电缆长度（m） 2 2
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尺寸图：
HXP-824A
HXP-200A
控制器尺寸图
控制器尺寸图
最高尺寸高度 186
最低尺寸高度 153
归零时中心高度 169.7±0.1
最高尺寸高度 349
最低尺寸高度 307
归零时中心高度 328.4±0.1
工艺
设计 主任设计
校对
审核
标记
图样标记 件数 比例
标准化
批准
处数 更改文件号 签字 日期
图纸未经书面许可，不得复制、泄露给第三方或用于其它目的。
日期
苏大明 北京卓立汉光仪器有限公司
S
2025/3/14
共1页 第1页 刘松
苗强
杜勉珂
1:5
307.04-349.38
385
275 11- 7
11counterbore 200
250
24 x M6
100 50
100
50
技术要求(通用部分)：
1. 按照图纸要求装配；
2. 外型尺寸满足图纸标注，关键尺寸；
3. 紧固件锁紧，不能有自由活动零部件；
4. 平移、旋转等动作件运行顺滑平稳，不能卡滞、爬行现象；
5. 无明显磕碰划伤，擦拭外表不能有油，液，或其他影响美观现象；
6. 如需包装，必须做到包装整齐；
7. 总体重量约： ；
HXP-200A 重载六轴
工艺
设计 主任设计
校对
审核
标记
图样标记 件数 比例
标准化
批准
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苏大明 北京卓立汉光仪器有限公司
S
2025/3/14
共1页 第1页 刘松
苗强
杜勉珂
1:5
307.04-349.38
385
275 11- 7
11counterbore 200
250
24 x M6
100 50
100
50
技术要求(通用部分)：
1. 按照图纸要求装配；
2. 外型尺寸满足图纸标注，关键尺寸；
3. 紧固件锁紧，不能有自由活动零部件；
4. 平移、旋转等动作件运行顺滑平稳，不能卡滞、爬行现象；
5. 无明显磕碰划伤，擦拭外表不能有油，液，或其他影响美观现象；
6. 如需包装，必须做到包装整齐；
7. 总体重量约： ；
HXP-200A 重载六轴
工艺
设计 主任设计
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图样标记 件数 比例
标准化
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苏大明 北京卓立汉光仪器有限公司
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2025/3/14
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TMC-NET-HXP-ZZ 控制器
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B174
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功能简介：
坐标系体系建立
机器人控制系统具有空间仿真功能，可以模拟机器人在真实环
境下的使用情况，并将最终用户从繁重的坐标系换算中解放出来。
位置表述
•笛卡尔坐标系来表述位置坐标，欧拉角表述指向
•支持12种欧拉角顺序
•内、外旋转两种制式
运动控制：
运动范围
机器人的运动范围与当前机器人姿态、工具坐标系位置相关，
不是一个定值。用户操作单维运动的时候可以直接生成并预览运动
范围。也可以生成运动范围曲线，投射到预览模型上，方便操作。
定点运动
定点运动有绝对运动和相对运动两种方式，方便用户选择。
运行方案
控制系统支持将指定位置坐标存储到位置变量中。位置坐
标可以来源于人工输入、手动示教、定点运动。通过指定上述
位置坐标的顺序和速度，就可以完成一个指令方案的编订。
载荷模拟
软件可以根据用户设置的受力点的位置和大小，计算出六
根推杆具体载荷。随着机器人的运行姿态变化，随时更新数据。
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B175
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应用方向：
光学检测
在非球面镜面形检测的场合（如 ：半导体硅片或光学反射镜平
面度的测量）对样品进行六个自由度的调整。
主动对位设备（Active Alignment）的应用
摄像头是由一组镜片组成的复杂光学系统。每个组件的安装都
需要多个维度的精度需求。
六轴并联机器人加持着镜头组件，以很高的定位精度在六个维
度上分别进行对位扫描，寻找成像清晰度最高的安装位置。
光通信器件调芯
六轴并联机器人加持光通信器件进行多维度调整，通过
光功率反馈寻找最高效率的耦合位置。
微加工
六轴并联机器人拖动工件在机器视觉引导下进行微加工。
光路调整
六轴并联机器人拖动激光干涉仪，自动进行空间位置测量。
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QF 25-300 S-B N A
QF 系列代码：
QF：单轴空气轴承类滑台
QFD：XY 组合空气轴承类滑台
QFH：龙门组合空气轴承类滑台
25 台面宽度：
25：250mm
30：300mm
300 有效行程：
100：100mm
200：200mm
300：300mm
S 基座材质：
A：铝合金
S：大理石
C：碳化硅
B 分辨率：
1 ：0.1 μm
S ：50nm
B ：20nm
N 电机类型：
N ：无铁芯
M ：有铁芯
A 台面材质：
A：铝合金
T ：其它
QF系列气浮导轨滑台
命名规则：
说明：
QF 系列是采用的静压气浮导轨作为保持机构，直线电机驱动的直线滑台。该系列滑台具有
高稳定度、高分辨率，精密位移，大负载的功能。采用气浮导轨为保持机构，工作过程没有摩擦，
无灰尘产生，没有爬行现象。直线电机作为驱动机构，齿槽小，分辨率高，轻松实现亚微米级定
位需求。产品尺寸较多，可以根据需要灵活选择，QF 系列产品适合用于半导体行业或其他对于
精密位移亚微米级调整有需求的客户。台面多种标准孔位的安装孔适合不同需要，下方标准固定
孔方便将其与其他滑台连接，组成多维移动台。
特点：
•采用气浮静压导轨，运动无爬
行，直线度好，负载可控制，
稳定性好；
•采用直线电机，微步能力好，驱
动力可控，速度稳定；
Linear Slide Guide
以上命名规则除技术规格列表内标准产品，其余配置请联系销售进行定制。
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选型表：
特点和选型指导
说明：
1.以上测试数据在使用TMC-NET-2L控制系统下，采用GB/T17421.2双轴线拟合下，采用等级为VC-C环境下隔振系统所测试；
2.测试用气体0.5MPa压缩空气，做过滤和除水工艺；
3.测试环境介于万级~十万级洁净空间内；
4.测试温度20±1℃，湿度40~60%。
型号 QF25-100A-BNA QF25-200A-BNA QF25-300A-BNA QF25-400A-BNA
台面尺寸（mm） 245x200（运动方向）
厚度（mm） 120
移动量（mm） 100 200 300 400
光栅尺分辨率（nm） 20
驱动方式 无铁芯直线电机
导轨 一体式静压导轨
双向重复精度（µm） 0.4
无修正定位精度（µm） 1.2
直线度（µm） 2 2.5 3 3
俯仰（arcsec） 4.5
偏摆（arcsec） 2.1
主体材料及表面处理 铝合金，黑色硬质阳极氧化处理
中心负载（Kg） 10/µm
型号 QF25-400S-BNA QF25-500S-BNA QF25-600S-BNA QF25-800S-BNA
台面尺寸（mm） 290x200（运动方向）
厚度（mm） 189
移动量（mm） 400 500 600 800
光栅尺分辨率（nm） 20
驱动方式 无铁芯直线电机
导轨 气浮脚式静压导轨
双向重复精度（µm） 0.3
无修正定位精度（µm） 1.2
直线度（µm） 2 3 5 5
俯仰（arcsec） 2
偏摆（arcsec） 2
主体材料及表面处理 大理石，铝合金
中心负载（Kg） 15/µm
项目 xxxA xxxS xxxC
材质 铝合金 大理石 碳化硅陶瓷
导轨长度（mm） 200~800 400~3000 400~2000
外形尺寸（mm） 超小~中 中~超大 小、中、大
制作方式 机加工 磨削 烧制
重复精度（µm） 0.3 0.3 0.25
直线度（µm） 1~3 2~5 2~3
组合形式 X，XY（小） X、XY、龙门 X、XY、龙门
造价（元） 1~10 5~100 50~1000
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B178
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尺寸图：
QF25-xxxA-BNA QF25-xxxA-BNA
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B179
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Gx系列万向关节系统
多轴系统
说明：
万向关节系统是指通过多个旋转关节，使得固定在顶层台面上的样品可
以实现分别绕 X 轴，Y 轴和 Z 轴做旋转运动。如下图所表示 ：Roll 是围绕 X
轴旋转，也叫翻滚角度。Pitch 是围绕 Y 轴旋转，也叫做俯仰角度。Yaw 是
围绕 Z 轴旋转，也叫偏航角即偏摆角度。
Gx 系列万向关节系统是卓立汉光为适应空间方位调节的高精度、高重
复性和长寿命等情况专门设计的精密型电控关节系统。该系列产品主体材料
采用硬质铝合金，表面黑色阳极氧化处理，外型美观。所有转台标配二相步
进电机，也可根据用户要求进行定制。
特点：
•转台中心有中心孔可穿过电缆，可选配导电滑
环完成无限制旋转运动
•可增加外置传感器，实现任意区间限位
•精加工回转轴
•模块化组装，便于维护更新
•接受定制
命名规则：
注：G万向关节系统标准产品（根据需求可做部分调整）
G T - 1 1 （6）
旋转（Roll）轴台面代码：
6:φ60mm
1:φ100mm
2:φ200mm
系统代码：
G：万向关节系统
偏摆（Yaw）轴台面代码：
1:φ100mm
2:φ200mm
3:φ350mm
俯仰（Pitch）轴台面代码：
6:φ60mm
1:φ100mm
2:φ200mm
3:φ350mm
旋转轴数代码：
D：2轴
T：3轴
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B180
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尺寸图：
单轴特性
详见TBR60L
组合特性
最大速度（°/s） 20
水平负载（Kg） 1.5
*注：最大速度是在空载情况下，按照步进电
机600转/分钟的理论计算速度。
*注：最大速度是在空载情况下，按照步进电机
600转/分钟的理论计算速度。
GD-66 GT-111
单轴特性
详见TBR100
组合特性
最大速度（°/s） 20
负载（Kg） 3
GD-22
单轴特性
详见TBR200
组合特性
最大速度（°/s） 20
负载（Kg） 10
*注：最大速度是在空载情况下，按照步进电
机600转/分钟的理论计算速度。
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B181
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GD两轴万向关节系统非标型号命名
型号含义：
型号含义：
GT三轴万向关节系统非标型号命名
三轴万向关节系统
GD-（序号1）（序号2）-（特殊要求标识）
GT-（序号1）（序号2）（序号3）-（特殊要求标识）
注：1. 非标型号选取转台时，需满足（序号1）≥（序号2）≥（序号3）；
2. 特殊要求（如增加导电滑环、传感器等）请咨询我司销售人员；
序号1 底层型号 型号标识
1 TBR60L 6
2 TBR100 1
3 TBR200 2
4 RAK350 3
序号2 顶层型号 型号标识
1 TBR60L 6
2 TBR100 1
3 TBR200 2
4 RAK350 3
序号1 底层型号 型号标识
1 / /
2 TBR100 1
3 TBR200 2
4 RAK350 3
序号2 中层型号 型号标识
1 TBR60L 6
2 TBR100 1
3 TBR200 2
4 RAK350 3
序号3 顶层型号 型号标识
1 TBR60L 6
2 TBR100 1
3 TBR200 2
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B182
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Txx系列桁架（龙门）系统
说明：
桁架系统主要是采用双X轴或者双Z轴的单一或组合驱动。
这种驱动形式解决了由于单侧驱动和辅助支撑导致行走不协调
的问题。在驱动一致性的问题上，保证精度不丢失，运动稳定
可靠。因此桁架系统可以理解为 XYZ 组合系统。
特点：
•驱动形式多样，包括伺服电机、直线电机等
•默认增加拖链，走线美观
•模块化组装，便于维护更新
•接受定制品
命名规则：
注释表：
行程（mm） 50 100 150 200 300 400 500 600 800 1000 1200
代号 A 1 B 2 3 4 5 6 8 E F
*系统命名中不存在仅有Y轴和Z轴的组合情况。
T HZ–x x x
Z轴行程标识：
x：详见注释表
系统代码：
T：桁架（龙门）系统
Y轴行程标识：
x：详见注释表
X轴行程标识：
x：详见注释表
结构标识：
I：单独一个水平轴
X：两轴XY
Z：单独一个Z轴
U：双Z轴
XZ：三轴XYZ
H：双X轴+Y轴
HZ：双X轴+Y轴+Z轴
HU：双X轴+Y轴+双Z轴
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B183
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尺寸图：
项目 参数
扫描范围（XYZ） 150×150×50
单轴重复定位精度（µm） ≤±3
水平负载（Kg） 20
竖直负载（Kg） 20
驱动电机 步进电机或伺服电机
项目 参数
扫描范围（XY） 1200×600
单轴重复定位精度（µm） ≤±10
水平负载（Kg） 15
驱动电机 步进电机或伺服电机
备注 配置拖链
TXZ-BBA TH-F6
THZ-666
项目 参数
扫描范围（XYZ） 600×600×600
单轴重复定位精度（µm） ≤±5
垂直负载（Kg） 12
驱动电机 步进电机或伺服电机
TIU-65
项目 参数
扫描范围（XZ） 600×500
单轴重复定位精度（µm） ≤±5
垂直负载（Kg） 20
驱动电机 步进电机或伺服电机
备注 最大承重60Kg
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B184
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Mx系列多轴位置调试系统
说明：
Mx 系列多轴位置调试系统是卓立汉光通过组合、优化等
方法完成空间位置定位的解决方案。此系统由四轴及以上轴数
组合而成。它可以在有限空间里提供最大维度的调整。多轴位
置调试系统常应用于光路调整，人体位置模拟等，也可应用于
测试，测量等领域。
特点：
•高集成度
•允许超6轴设计
•模块化设计，便于维护更新
•接受定制
命名规则：
M x - xxx R 15
系统代码：
M：多轴位置调试系统
旋转轴标识：
无（默认）：无旋转轴
R：有旋转轴
有效轴数标识：
x:轴数
线性轴标识：
无：无线性轴xxx：
最大行程,单位mm
摆动轴标识：
无：无摆动轴
10：摆动角度±10°
15：摆动角度±15°
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B185
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尺寸图：
M8-400R 座舱模拟系统 M7-600R15 六轴重载调整系统
系统配置
序号 行程
1 400mm
2 400mm
3 360°
4 400mm
5 15°
6 200mm
7 360°x2
系统配置
序号 行程
1 600mm
2 40mm
3 100×100mm
4 15°
5 15°
6 360°
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B186
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半导体晶圆微操作、检验设备
定制自动化设备
说明：
此系统是卓立汉光推出的针对半导体晶圆进行微操作、
检验的通用开发平台。系统中包括 ：半导体晶圆装夹单元、
半导体晶圆对位单元、机器视觉单元和微操作机械手单元，
配套有完整的运动控制系统和机器视觉软件。可以根据客户
不同的需求，实现对半导体晶圆进行装夹、对位、转印、清洁、
检验等功能。
特点：
•系统包含完整的装夹和对位结构，可以根据客户实际需求定制
•控制系统和机器视觉系统留有二次开发接口
•兼容客户不同的晶圆结构，不同的Mark点图形、进行不同的操作
动作
•可对半导体晶圆进行多维度微步调整
•多工位配置，提高工作效率
系统参数：（本系列产品为设计规格，技术指标以最终发布内容为准）
指标 参数
机器视觉分辨率(µm) 0.1
显微镜倍率 0.5~4.5
摄像头分辨率 2048×1536
最高帧率（fps） 15
摄像头类型 单色
光源 单色同轴光源
Mark点识别重复性(µm) 0.1
Mark点识别对位精度(µm) <0.5
大行程X轴滑台行程（mm） 400
大行程Y轴滑台行程（mm） 200
大行程重复定位精度（µm） 1
大行程运动分辨率（µm） ±1
精密对位X轴滑台行程（mm） 10
精密对位Y轴滑台行程（mm） 10
精密对位Z轴滑台行程（mm） 20
精密对位线性维度单向重复定位精度（µm） ±1
精密对位线性运动分辨率（µm） 0.1
精密对位θZ轴滑台行程（°） 5
晶圆工位（个） 2
晶圆真空吸附通道（路） 4
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B187
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控制器
选型表
MC-Newton.Pro.xO 室温压电位移台控制器
特点：
•支持1路/2路闭环运动控制输出
•兼容室温压电直线台、升降台、旋转台、摆动台
•控制模式：快速运动&精准运动
•液晶触控屏幕
•支持关键参数定制
•提供 Labview 子vi 控制程序，支持用户自主使用
•支持USB电脑远程控制
MC-Newton.Pro.1O
尺寸图： www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Piezoelectric Motion - RT
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Piezoelectric Motion - LT
MultiFields
&Group
Newton.Pro.xO/ xR, 压电运动控制器 — 技术参数
可选版本 ⇨ MC-Newton.Pro.1O/1R MC-Newton.Pro.2O/2R
通⽤
1 控制器类型 压电位移台（闭环）控制器
2 连接器（运动控制） D-Sub (9-Pin)， 微型航插（2 Pin），微型航插（3 Pin）
3 尺⼨⼤⼩（L*W*H） 380 mm * 255 mm * 115 mm
4 质量 5100 g
5 操作环境 0-50 ℃，<70% RH
6 兼容控制位移台 线性、旋转、摇摆全系列室温压电位移台
7 控制模式 快速运动模式 & 精准运动模式
8 控制通道 1路 2路
9 单通道⼯作功率 20 W Max
10 传感探测类型 光学位置传感，电阻型位置传感
11 传感探测精度 1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm（光学型位置传感），100 nm（电阻型位置传感）
12 外部通讯接⼝ USB
电⽓特性
13 外部电源 220 V AC, 50 Hz, 2 AMP MAX
14 最⼤输⼊功率 60 W
15 连接器（电源输⼊） IEC inlet
输出信号
16 电压范围 0 ~ 120 V
17 频率范围 20 kHz
18 输出分辨率 12 bit, DA
Triggger 信号
19 触发⽔平定义 LVTTL，3.3 V & 5 V
20 输⼊ / 输出通道 1 2
21 接⼝ 微型航空插头
2D·尺⼨图
MC-Newton.Pro.1O / 1R
MC-Newton.Pro.2O / 2R
室温·压电运动控制器 — Newton系列·专业版
压电运动 · 室温- 压电运动控制器
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Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
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Piezoelectric Motion - RT
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Piezoelectric Motion - LT
MultiFields
&Group
Newton.Pro.xO/ xR, 压电运动控制器 — 技术参数
可选版本 ⇨ MC-Newton.Pro.1O/1R MC-Newton.Pro.2O/2R
通⽤
1 控制器类型 压电位移台（闭环）控制器
2 连接器（运动控制） D-Sub (9-Pin)， 微型航插（2 Pin），微型航插（3 Pin）
3 尺⼨⼤⼩（L*W*H） 380 mm * 255 mm * 115 mm
4 质量 5100 g
5 操作环境 0-50 ℃，<70% RH
6 兼容控制位移台 线性、旋转、摇摆全系列室温压电位移台
7 控制模式 快速运动模式 & 精准运动模式
8 控制通道 1路 2路
9 单通道⼯作功率 20 W Max
10 传感探测类型 光学位置传感，电阻型位置传感
11 传感探测精度 1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm（光学型位置传感），100 nm（电阻型位置传感）
12 外部通讯接⼝ USB
电⽓特性
13 外部电源 220 V AC, 50 Hz, 2 AMP MAX
14 最⼤输⼊功率 60 W
15 连接器（电源输⼊） IEC inlet
输出信号
16 电压范围 0 ~ 120 V
17 频率范围 20 kHz
18 输出分辨率 12 bit, DA
Triggger 信号
19 触发⽔平定义 LVTTL，3.3 V & 5 V
20 输⼊ / 输出通道 1 2
21 接⼝ 微型航空插头
2D·尺⼨图
MC-Newton.Pro.1O / 1R
MC-Newton.Pro.2O / 2R
室温·压电运动控制器 — Newton系列·专业版压电运动 · 室温- 压电运动控制器
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Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
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Piezoelectric Motion - RT
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Piezoelectric Motion - LT
MultiFields
&Group
Newton.Pro.xO/ xR, 压电运动控制器 — 技术参数
可选版本 ⇨ MC-Newton.Pro.1O/1R MC-Newton.Pro.2O/2R
通⽤
1 控制器类型 压电位移台（闭环）控制器
2 连接器（运动控制） D-Sub (9-Pin)， 微型航插（2 Pin），微型航插（3 Pin）
3 尺⼨⼤⼩（L*W*H） 380 mm * 255 mm * 115 mm
4 质量 5100 g
5 操作环境 0-50 ℃，<70% RH
6 兼容控制位移台 线性、旋转、摇摆全系列室温压电位移台
7 控制模式 快速运动模式 & 精准运动模式
8 控制通道 1路 2路
9 单通道⼯作功率 20 W Max
10 传感探测类型 光学位置传感，电阻型位置传感
11 传感探测精度 1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm（光学型位置传感），100 nm（电阻型位置传感）
12 外部通讯接⼝ USB
电⽓特性
13 外部电源 220 V AC, 50 Hz, 2 AMP MAX
14 最⼤输⼊功率 60 W
15 连接器（电源输⼊） IEC inlet
输出信号
16 电压范围 0 ~ 120 V
17 频率范围 20 kHz
18 输出分辨率 12 bit, DA
Triggger 信号
19 触发⽔平定义 LVTTL，3.3 V & 5 V
20 输⼊ / 输出通道 1 2
21 接⼝ 微型航空插头
2D·尺⼨图
MC-Newton.Pro.1O / 1R
MC-Newton.Pro.2O / 2R
室温·压电运动控制器 — Newton系列·专业版
压电运动 · 室温- 压电运动控制器
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Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
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Piezoelectric Motion - RT
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Piezoelectric Motion - LT
MultiFields
&Group
Newton.Pro.xO/ xR, 压电运动控制器 — 技术参数
可选版本 ⇨ MC-Newton.Pro.1O/1R MC-Newton.Pro.2O/2R
通⽤
1 控制器类型 压电位移台（闭环）控制器
2 连接器（运动控制） D-Sub (9-Pin)， 微型航插（2 Pin），微型航插（3 Pin）
3 尺⼨⼤⼩（L*W*H） 380 mm * 255 mm * 115 mm
4 质量 5100 g
5 操作环境 0-50 ℃，<70% RH
6 兼容控制位移台 线性、旋转、摇摆全系列室温压电位移台
7 控制模式 快速运动模式 & 精准运动模式
8 控制通道 1路 2路
9 单通道⼯作功率 20 W Max
10 传感探测类型 光学位置传感，电阻型位置传感
11 传感探测精度 1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm（光学型位置传感），100 nm（电阻型位置传感）
12 外部通讯接⼝ USB
电⽓特性
13 外部电源 220 V AC, 50 Hz, 2 AMP MAX
14 最⼤输⼊功率 60 W
15 连接器（电源输⼊） IEC inlet
输出信号
16 电压范围 0 ~ 120 V
17 频率范围 20 kHz
18 输出分辨率 12 bit, DA
Triggger 信号
19 触发⽔平定义 LVTTL，3.3 V & 5 V
20 输⼊ / 输出通道 1 2
21 接⼝ 微型航空插头
2D·尺⼨图
MC-Newton.Pro.1O / 1R
MC-Newton.Pro.2O / 2R
室温·压电运动控制器 — Newton系列·专业版
压电运动 · 室温- 压电运动控制器
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Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
型号 MC-Newton.Pro.1O MC-Newton.Pro.2O
说明 1轴室温压电位移台控制器 2轴室温压电位移台控制器
连接器（运动控制） D-Sub (9-Pin)， 微型航插（2 Pin），微型航插（3 Pin）
尺寸大小（L*W*H）（mm） 380 ×255 ×115
质量 5100 g
操作环境 0-50 ℃，<70% RH
兼容控制位移台 直线、升降、旋转、摆动全系列室温压电位移台
控制通道 1路 2路
单通道工作功率 20 W Max
传感探测类型 光学位置传感
传感探测精度 0.5nm/2nm/2.44nm/10nm/50nm
外部通讯接口 USB
电气特性
外部电源 220 V AC, 50 Hz, 2 AMP MAX
最大输入功率 60 W
连接器（电源输入） IEC inlet
输出信号
电压范围 0 ~ 120 V
频率范围 20 kHz
输出分辨率 12 bit, DA
Triggger 信号
触发水平定义 LVTTL，3.3 V & 5 V
输入/ 输出通道 1 2
接口 微型航空插头
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台
B188
返回目录
选型表
MC-Newton.NxO系列 室温压电位移台控制器
特点：
•支持1路/2路闭环运动控制输出
•兼容室温压电直线台、升降台、旋转台、摆动台
•控制模式：快速运动&精准运动
•支持关键参数定制
•提供 Labview 子vi 控制程序，支持用户自主使用
•支持USB电脑远程控制
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Piezoelectric Motion - RT
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Piezoelectric Motion - LT
MultiFields
&Group
MC-Newton.NxO, 压电运动控制器 — 技术参数
可选版本 ⇨ MC-Newton.N1O MC-Newton.N2O
通⽤
1 控制器类型
2 连接器（运动控制） D-Sub (15-Pin)
3 尺⼨⼤⼩（L*W*H, Weight） 146mm * 152 mm * 70 mm
4 质量 930 g
5 操作环境 0-50 ℃，<70% RH
6 兼容控制位移台 线性、旋转、摇摆全系列室温压电位移台
7 控制模式 快速运动模式 & 精准运动模式
8 同步控制通道 1 2
9 单通道⼯作功率 10 W Max
10 传感探测类型 光学位置传感
11 传感探测精度 1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm（光学型位置传感）
12 外部通讯接⼝ USB
电⽓特性
13 外部电源 220 V AC, 50 Hz, 2 AMP MAX
14 最⼤输⼊功率 20 W
15 连接器（电源输⼊） IEC inlet
输出信号
16 电压范围 0 ~ 50 V
17 频率范围 20 kHz
2D·尺⼨图
MC-Newton.N1O /.N2O
室温·压电运动控制器 — Newton系列·普通版
压电运动 · 室温- 压电运动控制器
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Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
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Piezoelectric Motion - RT
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Piezoelectric Motion - LT
MultiFields
&Group
MC-Newton.NxR, 压电运动控制器 — 技术参数
可选版本 ⇨ MC-Newton.N1R MC-Newton.N2R
通⽤
1 控制器类型
2 连接器（运动控制） D-Sub (15-Pin)
3 尺⼨⼤⼩（L*W*H） 146 mm * 152 mm * 70 mm
4 质量 930 g
5 操作环境 0-50 ℃，<70% RH
控制特性
6 兼容控制位移台 线性、旋转、摇摆
7 控制模式 快速运动模式 & 精准运动模式
8 同步控制通道 1 2
9 单通道⼯作功率 10 W Max
10 传感探测类型 电阻型位置传感
11 传感探测精度 100 nm（电阻型位置传感）
12 外部通讯接⼝ USB
电⽓特性
13 外部电源 220 V AC, 50 Hz, 2 A MAX
14 最⼤输⼊功率 20 W
15 连接器（电源输⼊） IEC inlet
输出信号
16 电压范围 0 ~ 54 V
17 频率范围 20 kHz
2D·尺⼨图
MC-Newton.N1R /.N2R
室温·压电运动控制器 — Newton系列·普通版
压电运动 · 室温- 压电运动控制器
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Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
型号 MC-Newton.N1O MC-Newton.N2O
说明 1轴室温压电位移台控制器 2轴室温压电位移台控制器
连接器（运动控制） D-Sub (15-Pin)
尺寸大小（L*W*H, Weight）（mm） 146×152 ×70
质量 930 g
操作环境 0-50 ℃，<70% RH
兼容控制位移台 直线、升降、旋转、摆动全系列室温压电位移台
同步控制通道 1 2
单通道工作功率 10 W Max
传感探测类型 光学位置传感
传感探测精度 0.5nm/2nm/2.44nm/10nm/50nm
外部通讯接口 USB
电气特性
外部电源 220 V AC, 50 Hz, 2 AMP MAX
最大输入功率 20 W
连接器（电源输入） IEC inlet
输出信号
电压范围 0 ~ 50 V
频率范围 20 kHz
MC-Newton.N1O /.N2O
尺寸图：
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Piezoelectric Motion - RT
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Piezoelectric Motion - LT
MultiFields
&Group
MC-Newton.NxO, 压电运动控制器 — 技术参数
可选版本 ⇨ MC-Newton.N1O MC-Newton.N2O
通⽤
1 控制器类型
2 连接器（运动控制） D-Sub (15-Pin)
3 尺⼨⼤⼩（L*W*H, Weight） 146mm * 152 mm * 70 mm
4 质量 930 g
5 操作环境 0-50 ℃，<70% RH
6 兼容控制位移台 线性、旋转、摇摆全系列室温压电位移台
7 控制模式 快速运动模式 & 精准运动模式
8 同步控制通道 1 2
9 单通道⼯作功率 10 W Max
10 传感探测类型 光学位置传感
11 传感探测精度 1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm（光学型位置传感）
12 外部通讯接⼝ USB
电⽓特性
13 外部电源 220 V AC, 50 Hz, 2 AMP MAX
14 最⼤输⼊功率 20 W
15 连接器（电源输⼊） IEC inlet
输出信号
16 电压范围 0 ~ 50 V
17 频率范围 20 kHz
2D·尺⼨图
MC-Newton.N1O /.N2O
室温·压电运动控制器 — Newton系列·普通版
压电运动 · 室温- 压电运动控制器
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Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
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Piezoelectric Motion - RT
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Piezoelectric Motion - LT
MultiFields
&Group
MC-Newton.NxO, 压电运动控制器 — 技术参数
可选版本 ⇨ MC-Newton.N1O MC-Newton.N2O
通⽤
1 控制器类型
2 连接器（运动控制） D-Sub (15-Pin)
3 尺⼨⼤⼩（L*W*H, Weight） 146mm * 152 mm * 70 mm
4 质量 930 g
5 操作环境 0-50 ℃，<70% RH
6 兼容控制位移台 线性、旋转、摇摆全系列室温压电位移台
7 控制模式 快速运动模式 & 精准运动模式
8 同步控制通道 1 2
9 单通道⼯作功率 10 W Max
10 传感探测类型 光学位置传感
11 传感探测精度 1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm（光学型位置传感）
12 外部通讯接⼝ USB
电⽓特性
13 外部电源 220 V AC, 50 Hz, 2 AMP MAX
14 最⼤输⼊功率 20 W
15 连接器（电源输⼊） IEC inlet
输出信号
16 电压范围 0 ~ 50 V
17 频率范围 20 kHz
2D·尺⼨图
MC-Newton.N1O /.N2O
室温·压电运动控制器 — Newton系列·普通版
压电运动 · 室温- 压电运动控制器
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Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
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Piezoelectric Motion - RT
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Piezoelectric Motion - LT
MultiFields
&Group
MC-Newton.NxO, 压电运动控制器 — 技术参数
可选版本 ⇨ MC-Newton.N1O MC-Newton.N2O
通⽤
1 控制器类型
2 连接器（运动控制） D-Sub (15-Pin)
3 尺⼨⼤⼩（L*W*H, Weight） 146mm * 152 mm * 70 mm
4 质量 930 g
5 操作环境 0-50 ℃，<70% RH
6 兼容控制位移台 线性、旋转、摇摆全系列室温压电位移台
7 控制模式 快速运动模式 & 精准运动模式
8 同步控制通道 1 2
9 单通道⼯作功率 10 W Max
10 传感探测类型 光学位置传感
11 传感探测精度 1 nm /2.44 nm /4.88 nm / 10 nm（光学型位置传感）
12 外部通讯接⼝ USB
电⽓特性
13 外部电源 220 V AC, 50 Hz, 2 AMP MAX
14 最⼤输⼊功率 20 W
15 连接器（电源输⼊） IEC inlet
输出信号
16 电压范围 0 ~ 50 V
17 频率范围 20 kHz
2D·尺⼨图
MC-Newton.N1O /.N2O
室温·压电运动控制器 — Newton系列·普通版
压电运动 · 室温- 压电运动控制器
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Piezoelectric Motion - RT Piezoelectric Motion - RT
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台
B189
返回目录
• MC-Newton.M为级联主机
• MC-Newton.S(.E)为级联控制器(从机)
• 结构紧凑，可多通道级联，单台主机最高支持10通道
• 从机可单独使用，需分别连接上位机；也可搭配主机
级联使用，上位机只需连接主机
• 如需多通道进行高精度同步运动，请使用级联模式
• 兼容室温压电直线台、升降台、旋转台、摆动台
• 支持关键参数定制
• 支持user I/O扩展
• 提供 Labview 子vi 控制程序，支持用户自主使用
• 支持USB & TCP/IP电脑远程控制
选型表：
型号 MC-Newton.S MC - Newton.MSx
尺寸大小（L*W*H） 136*131*32mm 136*131*(32*(x+1))mm
控制特性
控制模式 开环控制 & 闭环控制
控制通道 单通道 x通道 (x≤10)
传感探测类型 光栅位置传感器
通讯接口 USB，EtherNet，RS485 USB，EtherNet，RS485, Ethercat
电机接口 D-SUB 15
电气特性
电学接头 24V DC 24V DC & 120W
输出功率 30 W 单通道输出30 W，同时输出100W
连接器（电源输入） IEC inlet
输出信号 /控制信号
输出电压范围 0～75 V
模拟信号控制模式 0~10 V（单端）
手动控制运动模式 面板按键
Trigger SMA接口，支持TTL (3.3V)
Triggger 信号
远程升级 支持
扩展功能 user I/O
软件 上位机程序、控制指令集、LabVIEW
MC-Newton.S.E
版本：
NA：标准版
E：经济版
级联类别：
S：从机
M：主机
MSx：x通道级联
命名规则：
特点：
MC-Newton.S/MSx系列 室温压电级联控制器
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压
电
运
动·室
温
压
电
运
动·室
温
MultiFields
&Group 室温·压电运动控制器 — MC-Newton.S·室温压电运动 · 室温- 压电运动控制器
MC-Newton.S -技术参数
可选版本 ⇨ MC-Newton.S
通⽤
1 控制模式 开环控制 & 闭环控制
2 尺⼨⼤⼩（L*W*H, Weight） 136*131*32mm
3 规格简介
控制特性
4 控制模式 开环控制 & 闭环控制
5 控制通道 单通道
6 传感探测类型 光栅位置传感器
7 通讯接⼝ USB，EtherNet，RS485
8 电机接⼝ D-SUB 15
电⽓特性
9 电学接头 24V DC
10 输出功率 30 W
11 连接器（电源输⼊） IEC inlet
输出信号 /控制信号
12 输出电压范围 0～75 V
13 模拟信号控制模式 0~10 V（单端）
14 ⼿动控制运动模式 ⾯板按键
15 Trigger SMA接⼝，⽀持TTL (3.3V)
Triggger 信号
16 远程升级 ⽀持
17 扩展功能 user I/O
18 软件 上位机程序、控制指令集、LabVIEW
2D·尺⼨图
136.0
30.0
136.0
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5
4
4
3
3
2
2
1
1
绘制
检查
批准
制造
验检
除非另外指定:尺寸使用毫米
表面粗糙度:公差:
线性:
角度:
表面粗糙度: 将锐边清除
毛刺并折断
名称 签名 日期
材料:
不调整工程图比例 修订
标题:
工程图号
比例:2:1 图纸 1 (共1)
A0
重量: 205.88
02-220×95×30（MC-Newton.S）主机
MC - Newton.S
23
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压
电
运
动·室
温
压
电
运
动·室
温
MultiFields
&Group 室温·压电运动控制器 —MC - Newton.MSx·室温压电运动 · 室温- 压电运动控制器
MC - Newton.MSx-技术参数
可选版本 ⇨ MC - Newton.MSx
通⽤
1 控制模式 开环控制 & 闭环控制
2 尺⼨⼤⼩（L*W*H, Weight） 136*131*(32*(x+1))mm
3 规格简介
控制特性
4 控制模式 开环控制 & 闭环控制
5 控制通道 x通道 (x≤10)
6 传感探测类型 光栅位置传感器
7 通讯接⼝ USB，EtherNet，RS485, Ethercat
8 电机接⼝ D-SUB 15
电⽓特性
9 电学接头 24V DC & 120W
10 输出功率 单通道输出30 W，同时输出100W
11 连接器（电源输⼊） IEC inlet
输出信号 /控制信号
12 输出电压范围 0～75 V
13 模拟信号控制模式 0~10 V（单端）
14 ⼿动控制运动模式 ⾯板按键
15 Trigger SMA接⼝，⽀持TTL (3.3V)
Triggger 信号
16 远程升级 ⽀持
17 扩展功能 user I/O
18 软件 上位机程序、控制指令集、LabVIEW
2D·尺⼨图 136.0 30.0
136.0
126.0
A A
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绘制
检查
批准
制造
验检
除非另外指定:尺寸使用毫米
表面粗糙度:公差:
线性:
角度:
表面粗糙度: 将锐边清除
毛刺并折断
名称 签名 日期
材料:
不调整工程图比例 修订
标题:
工程图号
比例:2:1 图纸 1 (共1)
A0
重量: 205.88
02-220×95×30（MC-Newton.S）主机
MC - Newton.MS6
24
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台
B190
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尺寸图：
MC-Newton.S/M(.E)
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压
电
运
动·室
温
压
电
运
动·室
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MultiFields
&Group 室温·压电运动控制器 — MC-Newton.S·室温压电运动 · 室温- 压电运动控制器
MC-Newton.S -技术参数
可选版本 ⇨ MC-Newton.S
通⽤
1 控制模式 开环控制 & 闭环控制
2 尺⼨⼤⼩（L*W*H, Weight） 136*131*32mm
3 规格简介
控制特性
4 控制模式 开环控制 & 闭环控制
5 控制通道 单通道
6 传感探测类型 光栅位置传感器
7 通讯接⼝ USB，EtherNet，RS485
8 电机接⼝ D-SUB 15
电⽓特性
9 电学接头 24V DC
10 输出功率 30 W
11 连接器（电源输⼊） IEC inlet
输出信号 /控制信号
12 输出电压范围 0～75 V
13 模拟信号控制模式 0~10 V（单端）
14 ⼿动控制运动模式 ⾯板按键
15 Trigger SMA接⼝，⽀持TTL (3.3V)
Triggger 信号
16 远程升级 ⽀持
17 扩展功能 user I/O
18 软件 上位机程序、控制指令集、LabVIEW
2D·尺⼨图
136.0
30.0
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A A
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绘制
检查
批准
制造
验检
除非另外指定:尺寸使用毫米
表面粗糙度:公差:
线性:
角度:
表面粗糙度: 将锐边清除
毛刺并折断
名称 签名 日期
材料:
不调整工程图比例 修订
标题:
工程图号
比例:2:1 图纸 1 (共1)
A0
重量: 205.88
02-220×95×30（MC-Newton.S）主机
MC - Newton.S
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压
电
运
动·室
温
压
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MultiFields
&Group 室温·压电运动控制器 — MC-Newton.S·室温
压电运动 · 室温- 压电运动控制器
MC-Newton.S -技术参数
可选版本 ⇨ MC-Newton.S
通⽤
1 控制模式 开环控制 & 闭环控制
2 尺⼨⼤⼩（L*W*H, Weight） 136*131*32mm
3 规格简介
控制特性
4 控制模式 开环控制 & 闭环控制
5 控制通道 单通道
6 传感探测类型 光栅位置传感器
7 通讯接⼝ USB，EtherNet，RS485
8 电机接⼝ D-SUB 15
电⽓特性
9 电学接头 24V DC
10 输出功率 30 W
11 连接器（电源输⼊） IEC inlet
输出信号 /控制信号
12 输出电压范围 0～75 V
13 模拟信号控制模式 0~10 V（单端）
14 ⼿动控制运动模式 ⾯板按键
15 Trigger SMA接⼝，⽀持TTL (3.3V)
Triggger 信号
16 远程升级 ⽀持
17 扩展功能 user I/O
18 软件 上位机程序、控制指令集、LabVIEW
2D·尺⼨图
136.0
30.0
136.0
126.0
A A
B B
C C
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绘制
检查
批准
制造
验检
除非另外指定:
尺寸使用毫米
表面粗糙度:
公差:
线性:
角度:
表面粗糙度: 将锐边清除
毛刺并折断
名称 签名 日期
材料:
不调整工程图比例 修订
标题:
工程图号
比例:2:1 图纸 1 (共1)
A0
重量: 205.88
02-220×95×30（MC-Newton.S）主机
MC - Newton.S
23
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台
B191
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Motion Controller — MC - NewtonLT.01/06
Low Temperature · Piezoelectric Motion Controller
Piezoelectric Motion - LT
6-channels closed-loop controller designed for low temperature
piezoelectric motion units
Piezoelectric Motion - LT
36
MultiFields
多场科技
Features
• Support FINE TUNE function
Piezoelectric Motion - LT
MC - NewtonLT.01/06, SpeciÞcation
*All data below is measured with 50 ohm wires. Though there is no requirement on wires’ conductance, we recommend
resistance below 50 ohm.
Optional Versions ⇨ MC - NewtonLT.01 MC - NewtonLT.06
1 Compatible positioner Linear, Rotator, Goniometer & LS-Linear Series
2 Control mode All channels closed-loop control
3 Size 19” / 3U
4 Work voltage & power 220 VAC & 60 W
5 Remote USB & TCP/IP
6 Output channels 1 channels 6 channels
7 Max output voltage -200 V ~ +200 V
8 Drive frequency range 1 ~ 10 kHz
9 Power for 1 channel Max. 40 W
10 Slew rate 2 kV/us
11 GND in drive output 1 channels independent GND 6 channels independent GND
12 Encoder Resistive encoder
13 Sensor output voltage DC 2.5 V
14 Resolution of read voltage 50 uF (18-bit)
15 Connectors 1 channels 6 channels
16 Input resistance 10 kOhm
17 GND in sensor readout 1 channels independent GND 6 channels independent GND
18 Electrical connector D-sub 15 for each channel
Dimension drawing
MC - NewtonLT.06
MC - NewtonLT.01
430.0
90 358.0
358.0
型号 MC-NewtonLT.01 MC-NewtonLT.06
适配位移器 线性台｜旋转台｜摆动台
控制模式 所有通道闭环控制
尺寸 19\"/3U机箱柜
工作电压&功率 220VAC&60W
电脑通讯接口 USB&TCP/IP
驱动电压输出通道 1通道 6通道
最大输出电压 -200V~+200V
驱动频率 1~10kHz
单通道工作功率 Max 40W
压降速率 2kV/us
驱动电压低压端 1驱动通道独立接地 6驱动通道独立接地
位置传感种类 电阻型位置传感
传感输出电压 DC2.5V
传感探测精度 50uF（18-bit）
位置传感输入通道 6 channels
电阻阻值 10 kOhm
位置传感接地端 1传感通道独立接地 6传感通道独立接地
电学接头 USB & TCP/IP
命名规则
MC-NewtonLT.0x 系列低温压电位移台控制器
特点：
•支持1路/6路闭环运动控制输出
•兼容低温线性台、旋转台和摆动台
•最高驱动电压 200 V & 最高频率 10 kHz
•支持关键参数定制
•提供 Labview 子vi 控制程序，支持用户自主使用
•USB & TCP/IP电脑远程控制
尺寸图：
MC-NewtonLT.01/06
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Motion Controller — MC - NewtonLT.01/06
Low Temperature · Piezoelectric Motion Controller
Piezoelectric Motion - LT
6-channels closed-loop controller designed for low temperature
piezoelectric motion units
Piezoelectric Motion - LT
36
MultiFields
多场科技
Features
• Support FINE TUNE function
Piezoelectric Motion - LT
MC - NewtonLT.01/06, SpeciÞcation
*All data below is measured with 50 ohm wires. Though there is no requirement on wires’ conductance, we recommend
resistance below 50 ohm.
Optional Versions ⇨ MC - NewtonLT.01 MC - NewtonLT.06
1 Compatible positioner Linear, Rotator, Goniometer & LS-Linear Series
2 Control mode All channels closed-loop control
3 Size 19” / 3U
4 Work voltage & power 220 VAC & 60 W
5 Remote USB & TCP/IP
6 Output channels 1 channels 6 channels
7 Max output voltage -200 V ~ +200 V
8 Drive frequency range 1 ~ 10 kHz
9 Power for 1 channel Max. 40 W
10 Slew rate 2 kV/us
11 GND in drive output 1 channels independent GND 6 channels independent GND
12 Encoder Resistive encoder
13 Sensor output voltage DC 2.5 V
14 Resolution of read voltage 50 uF (18-bit)
15 Connectors 1 channels 6 channels
16 Input resistance 10 kOhm
17 GND in sensor readout 1 channels independent GND 6 channels independent GND
18 Electrical connector D-sub 15 for each channel
Dimension drawing
MC - NewtonLT.06
MC - NewtonLT.01
430.0
90 358.0
358.0
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Motion Controller — MC - NewtonLT.01/06
Low Temperature · Piezoelectric Motion Controller
Piezoelectric Motion - LT
6-channels closed-loop controller designed for low temperature
piezoelectric motion units
Piezoelectric Motion - LT
36
MultiFields
多场科技
Features
• Support FINE TUNE function
Piezoelectric Motion - LT
MC - NewtonLT.01/06, SpeciÞcation
*All data below is measured with 50 ohm wires. Though there is no requirement on wires’ conductance, we recommend
resistance below 50 ohm.
Optional Versions ⇨ MC - NewtonLT.01 MC - NewtonLT.06
1 Compatible positioner Linear, Rotator, Goniometer & LS-Linear Series
2 Control mode All channels closed-loop control
3 Size 19” / 3U
4 Work voltage & power 220 VAC & 60 W
5 Remote USB & TCP/IP
6 Output channels 1 channels 6 channels
7 Max output voltage -200 V ~ +200 V
8 Drive frequency range 1 ~ 10 kHz
9 Power for 1 channel Max. 40 W
10 Slew rate 2 kV/us
11 GND in drive output 1 channels independent GND 6 channels independent GND
12 Encoder Resistive encoder
13 Sensor output voltage DC 2.5 V
14 Resolution of read voltage 50 uF (18-bit)
15 Connectors 1 channels 6 channels
16 Input resistance 10 kOhm
17 GND in sensor readout 1 channels independent GND 6 channels independent GND
18 Electrical connector D-sub 15 for each channel
Dimension drawing
MC - NewtonLT.06
MC - NewtonLT.01
430.0
90 358.0
358.0
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Motion Controller — MC - NewtonLT.01/06
Low Temperature · Piezoelectric Motion Controller
Piezoelectric Motion - LT
6-channels closed-loop controller designed for low temperature
piezoelectric motion units
Piezoelectric Motion - LT 36
MultiFields
多场科技
Features
• Support FINE TUNE function
Piezoelectric Motion - LT
MC - NewtonLT.01/06, SpeciÞcation
*All data below is measured with 50 ohm wires. Though there is no requirement on wires’ conductance, we recommend
resistance below 50 ohm.
Optional Versions ⇨ MC - NewtonLT.01 MC - NewtonLT.06
1 Compatible positioner Linear, Rotator, Goniometer & LS-Linear Series
2 Control mode All channels closed-loop control
3 Size 19” / 3U
4 Work voltage & power 220 VAC & 60 W
5 Remote USB & TCP/IP
6 Output channels 1 channels 6 channels
7 Max output voltage -200 V ~ +200 V
8 Drive frequency range 1 ~ 10 kHz
9 Power for 1 channel Max. 40 W
10 Slew rate 2 kV/us
11 GND in drive output 1 channels independent GND 6 channels independent GND
12 Encoder Resistive encoder
13 Sensor output voltage DC 2.5 V
14 Resolution of read voltage 50 uF (18-bit)
15 Connectors 1 channels 6 channels
16 Input resistance 10 kOhm
17 GND in sensor readout 1 channels independent GND 6 channels independent GND
18 Electrical connector D-sub 15 for each channel
Dimension drawing
MC - NewtonLT.06
MC - NewtonLT.01
430.0
90 358.0
358.0
www.multi-Þeld.com ｜ MultiFields Technologies
Motion Controller — MC - NewtonLT.01/06
Low Temperature · Piezoelectric Motion Controller
Piezoelectric Motion - LT
6-channels closed-loop controller designed for low temperature
piezoelectric motion units
Piezoelectric Motion - LT 36
MultiFields
多场科技
Features
• Support FINE TUNE function
Piezoelectric Motion - LT
MC - NewtonLT.01/06, SpeciÞcation
*All data below is measured with 50 ohm wires. Though there is no requirement on wires’ conductance, we recommend
resistance below 50 ohm.
Optional Versions ⇨ MC - NewtonLT.01 MC - NewtonLT.06
1 Compatible positioner Linear, Rotator, Goniometer & LS-Linear Series
2 Control mode All channels closed-loop control
3 Size 19” / 3U
4 Work voltage & power 220 VAC & 60 W
5 Remote USB & TCP/IP
6 Output channels 1 channels 6 channels
7 Max output voltage -200 V ~ +200 V
8 Drive frequency range 1 ~ 10 kHz
9 Power for 1 channel Max. 40 W
10 Slew rate 2 kV/us
11 GND in drive output 1 channels independent GND 6 channels independent GND
12 Encoder Resistive encoder
13 Sensor output voltage DC 2.5 V
14 Resolution of read voltage 50 uF (18-bit)
15 Connectors 1 channels 6 channels
16 Input resistance 10 kOhm
17 GND in sensor readout 1 channels independent GND 6 channels independent GND
18 Electrical connector D-sub 15 for each channel
Dimension drawing
MC - NewtonLT.06
MC - NewtonLT.01
430.0
90 358.0
358.0
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B192
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电动滑台控制器选型推荐表：
电动滑台
控制器 驱动器 转接线缆 备注
TMC-USB
系列
MC600
系列
ZC300
系列 SR2 SR4 3SR8 CVD512BR-K W-9KxM W-10K-xM
电动直线滑台
uFS系列 ● ● ●
LAK系列 ● ● ●
CXP及CXPF系列 ● ● ● ● ●
uKSA系列 ● ● ● uKSA自带
专用转接线缆
KA系列 ● ● ● ●
PA系列 ● ● ● ● ●
LA系列 ● ● ● ● ●
TSAxx-B系列 ● ● ● ● ●
TSAxx-C系列 ● ● ● ● ●
电动升降滑台
CZF系列 ● ● ● * * ●
TBZF系列 ● ● ● * * ●
PSAV系列 ● ● ● ● ●
KA-Z系列 ● ● ● ●
PA-Z系列 ● ● ● ● ●
电动旋转滑台
TBRK及TBRU系列 ● ● * * ● 自带编码器转接
线缆
TBR及TBRF系列 ● ● ● * * ●
SIN系列 ● ● ● ● ●
电动摆动滑台
GON系列 ● ● ● ● ●
TBG系列 ● ● ● ● ●
PSAG系列 ● ● ● * * ●
电动对位平台 XY系列 ● ● ● ●
XYR系列 ● ● ●
注：
● 适用；
* 根据具体型号适配；
○ 不完全适用；
说明：
1、如无说明，滑台与控制器之间的转接线缆由控制器提供；
2、旧版SC300控制器只支持正负限位，归零方式只可负限位归零，无法与TBR/TBRF系列搭配使用；
3、uFS系列配CVD512BR-K驱动器时需要调整电流。
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B193
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命名规则：
TMC-NET控制器
技术规格：
基本功能
基本轴数 6 路步进电机控制脉冲，光耦隔离
最高输出频率 10MHz
加减速方式 直线
运动中可实时改变速度: 支持
运动中可实时读取的参数 逻辑位置
通讯接口 以太网
各轴位置信号检测 各轴具有独立的左右极限及零点检测信号
传感器输入口
编码器输入 编码器 AB 相脉冲光耦隔离输入
应用环境
电源要求: 220V AC +/- 10% 45-65Hz
功耗: < 1KW
工作温度: 0℃—50℃
存储温度: -20℃—80℃
工作湿度: 20％—95%
存储湿度: 0%—95%
TMC-NET -X -XXX
TMCNET
系列代码：
TMC-NET：NET 版全动能运动控制器
X 总控制轴数：
1：1 轴 2：2 轴
3：3 轴 4：4 轴
5：5 轴 6：6 轴
XXX 可驱动电机种类：
S242：2 相 42（及以下）步进电机
S257：2 相 57 步进电机
S286：2 相 86 步进电机
S357：3 相 57 步进电机
S528：5 相东方马达步进电机
ASP1：交流伺服电机，松下 100W
ASP2：交流伺服电机，松下 200W
DSxx：直流伺服电机，xx 待定
LMP5：标准直线电机驱动器，驱动电流 5A
LMC10：标准直线电机驱动器，驱动电流 10A
注：
TMC-NET-HXP：此型号控制器为定制六轴并联控制器
不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。
特点：
•通讯方式：采用高效稳定的网口通讯方式。
•控制软件：控制软件支持客户二次开发，或与客户原
有系统整合；
•交互界面：交互界面简介，同时显示每轴运动参数，
操作直观，无需频繁切换；
•控制滑台数量：相较于其它控制器，控制滑台数量增
加50％，可同时控制六轴。
•支持个性化定制：可根据需求对控制六轴及以下轴数
进行定制化供货；
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B194
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针脚号 名称 名称
2 RXD RXD
3 TXD TXD
5 GND GND
硬件描述：
1、前面板：
1) EMEGENCY 急停开关：按下急停开关之后,所有控制运动轴紧急停止；
2) POWER 电源开关和指示灯：开启电源开关后, 电源指示灯将会变亮；
2、后面板：
3) NET 通信接口：通过此接口与 PC 机进行连接。
4) 电源插头： AC 220V 电压输入；
5) 电机控制接口：用于接驳电移台。接口定义如下图所示：
1)
2)
3)
4)
5)
6)
8)
7)
二相步进电机接口定义 五相步进电机接口定义
二相步进电机接口定义 五相步进电机接口定义
硬件描述：
前面板：
1) EMEGENCY 急停开关：按下急停开关之后,所有控制运动轴紧急停止；
2) POWER 电源开关和指示灯：开启电源开关后, 电源指示灯将会变亮；
后面板：
3) NET 通信接口：通过此接口与PC机进行连接。
4) 电源插头： AC 220V电压输入；
5) 电机控制接口：用于接驳电移台。接口定义如下图所示：
6) 光栅尺接口：用于接驳光栅尺。接口定义如下图所示：
7) 端子接口：自上至下、从左到右，接口定义如下图所示：
（485 暂未开通）
8)RS232：用于连接运动控器通讯（暂未开通）；
通用输入输出接口：
1)通用输入接口：
硬件描述：
1、前面板：
1) EMEGENCY 急停开关：按下急停开关之后,所有控制运动轴紧急停止；
2) POWER 电源开关和指示灯：开启电源开关后, 电源指示灯将会变亮；
2、后面板：
3) NET 通信接口：通过此接口与 PC 机进行连接。
4) 电源插头： AC 220V 电压输入；
5) 电机控制接口：用于接驳电移台。接口定义如下图所示：
1)
2)
3)
4)
5)
6)
8)
7)
二相步进电机接口定义 五相步进电机接口定义
2)通用输出接口：
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B195
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TMC-NET控制软件简介：
1 、产品概述
TMC-NET 控制软件是一款基于 PC 机和运动控制卡的网络运动控制器软件，专为多维多种类型电动滑台提供整体运动控制解决方案。
特点：
•控制维数多：支持 1~6 轴的标准产品。
•兼容性广：兼容配备两相、三相、五相步进电机和伺服电机等常见电机的电动滑台类型。
•组合灵活：不同类型的电动滑台可以自由混搭。
•定制化：可以根据客户需求定制配备其他类型电机的电动滑台控制软件。
软件特点：
•开发平台：软件是基于LABVIEW开发的，LABVIEW是一种图形化编程语言，广泛应用于自动化测试和仪器控制领域。
•二次开发与整合：软件可根据用户需求进行二次开发，或者将该软件与用户原有的系统进行整合。
•定制化服务：可以根据用户的实际需求进行定制，满足不同客户的特定要求。
•内置数据库：软件内置了公司所有类型的电移台产品数据库，用户可以直接选择型号对电移台参数进行设置，方便快捷。
•交互界面：界面设计直观，可以同时显示每个轴的运行参数，无需频繁切换。用户既可以独立操作某一个轴，也可以实现多个轴的组合
运动。
应用场景：
该软件适用于需要多轴运动控制的工业自动化场景。例如 ：
•精密制造设备（如机床、3D 打印机等）；
•自动化装配线；
•研究机构的实验设备；
由于其支持多种电机类型和组合，能够满足不同设备对运动控制的多样化需求。
下图为控制器未接控制器与连接控制器显示图 ：
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B196
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2 、主要技术规格
基本功能
基本轴数 6 路步进电机控制脉冲，光耦隔离
最高输出频率 10MHz
加减速方式 直线
运动中可实时改变速度 : 支持
运动中可实时读取的参数 逻辑位置
通讯接口 以太网
各轴位置信号检测 各轴具有独立的左右极限及零点检测 信号传感器输入口
编码器输入 编码器 AB 相脉冲光耦隔离输入
应用环境
电源要求 : 220V AC +/- 10% 45-65Hz
功耗 : < 1KW
工作温度 : 0℃—50℃
存储温度 : -20℃—80℃
工作湿度 : 20％—95%
存储湿度 : 0%—95%
3、 软件界面简介
•软件可以接收从局域网中的指令来进行二次开发。
•指令的语法和内容详见附件《ZMotion Basic 编程手册》
总结：
TMC-NET 控制软件是一款功能强大且灵活的运动控制解决方案工具，特别适合对多轴运动控制有较高要求的用户。它的兼容性、
定制化能力和直观的操作界面使其在市场上具有很强的竞争力。
软件界面分为 5 大界面：
•单轴操作：用于单个滑台的控制、设置。
•组合台操作：用于XY 、XYR 等组合型滑台的控制、设置。
•场景：用于3D 模拟仿真场景的控制、设置。
•运行方案：编辑运行方案，使控制器以指定流程运行。
•远程指令：由客户使用二次开发指令进行远程指令控制。
•紧急停止：在控制箱上紧急停止按钮按下后，所以电机轴停止。
将弹出紧急停止对话框， 并变为红色。
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B197
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TMC-NET软件特点
4.1 、控制器设置
功能描述：
•用户可以通过单击“组合运动”按钮，使多个被选中的轴按照预
设的参数（运动距离、方向、相对运动或绝对运动）进行协同
运动。
关键特点：
•同步启动和停止：所有选中的轴会同时启动和停止，确保运动
的协调性。
•速度基准：以第一个轴的速度为基准，其他轴的速度会根据此
基准进行换算，确保各轴运动的同步性。
应用场景：
•适用于需要多个轴协同完成复杂运动任务的场景，例如机械臂
的多关节运动、多轴加工设备的同步运动等。
•TMC-NET系列控制软件在多轴协同控制方面的强大能力，特别
适合以下场景：
•复杂机械运动控制：例如机器人、机械臂、多轴加工中心等需
要多个轴协同运动的设备。
•高精度设备：例如精密测量设备、光学仪器等需要精确控制和
定位的场景。
•安全和可靠性要求高的设备：例如自动化生产线、医疗设备等
需要确保设备在停机或维护时的安全性。
•通过软件组合运动功能，用户可以实现高效、精确且安全的多
轴运动控制，满足不同工业自动化和精密制造场景的需求。
控制器设置功能简介：控制IO输出状态、显示IO输入状态、
设置控制器名称，修改 IP 地址，手动接入控制器，恢复出厂
默认值，保存参数至控制器，调入设置文件，保存参数至文件。
控制器设置界面如下 ：
4.2 、组合运动
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B198
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4.4 组合台3D模拟操作界面
4.3、组合台操作界面
此界面用于操作 XY 、XYR 等组合型滑台，
点击添加滑台用于将电机轴组合成组合滑台。
通过特定设置即可将指定滑台设定为
组合台，组合台的操作与单轴滑台相同。
TMC-NET 系列控制软件在 3D 模拟和可视化
方面的强大能力，特别适合以下场景 ：
•复杂机械系统的调试与设计：通过3D模拟窗口，
用户可以直观地观察和调整滑台的布局和运动关
系，提高调试效率。
•多轴协同运动的可视化：通过组维功能和相对位
置设置，用户可以模拟多轴协同运动，确保实际
运行的准确性。
•用户友好性：通过简单的鼠标操作（如拖动、翻
转、缩放、平移），用户可以灵活地调整3D模型
的显示方式，降低操作难度。
•这些功能不仅提高了系统的可用性和灵活性，还
为用户提供了一个直观、高效的工具，用于设
计、调试和优化多轴运动控制系统。
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B199
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命名规则：
MTMC-NET控制器
技术规格：
基本功能
基本轴数 4 路步进电机控制脉冲，光耦隔离
最高输出频率 10MHz
加减速方式 直线
运动中可实时改变速度: 支持
运动中可实时读取的参数 逻辑位置
通讯接口 以太网
各轴位置信号检测 各轴具有独立的左右极限及零点检测信号
传感器输入口
编码器输入 编码器 AB 相脉冲光耦隔离输入
应用环境
电源要求: 220V AC +/- 10% 45-65Hz
功耗: < 1KW
工作温度: 0℃—50℃
存储温度: -20℃—80℃
工作湿度: 20％—95%
存储湿度: 0%—95%
MTMC-NET -X -XXX
MTMCNET
系列代码：
MTMC-NET：小型 NET 版全动能运动控制器
X 总控制轴数：
1：1 轴 2：2 轴
3：3 轴 4：4 轴
5：5 轴 6：6 轴
XXX 可驱动电机种类：
S242：2 相 42（及以下）步进电机
S257：2 相 57 步进电机
S286：2 相 86 步进电机
S357：3 相 57 步进电机
S528：5 相东方马达步进电机
注：不同选项存在互斥，具体请询问销售人员。
特点：
•保留TMC-NET控制器的优势；
•通讯方式及协议与TMC-NET控制器兼容；
•体积更小巧，适用对安装体积要求的使用环境；
•适用性强：可根据客户需求对四轴及以下轴数进行定
制化供货（适用2相，3相和5相电机控制）；
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B200
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二相步进电机接口定义 五相步进电机接口定义
硬件描述：
前面板：
1) EMEGENCY 急停开关：按下急停开关之后,所有控制运动轴紧急停止；
2) POWER 电源开关和指示灯：开启电源开关后, 电源指示灯将会变亮；
后面板：
3) NET 通信接口：通过此接口与PC机进行连接。
4) 电源插头：DC 24V电压输入；；
5) 电机控制接口：用于接驳电移台。接口定义如下图所示：
6) 光栅尺接口：用于接驳光栅尺。接口定义如下图所示：
7) 端子接口：自上至下、从左到右，接口定义如下图所示：
（485 暂未开通）
8) HANDLE端口：用于摇杆控制接口
通用输入输出接口：
1)通用输入接口： 2)通用输出接口：
硬件描述：
1、前面板：
1) EMEGENCY 急停开关：按下急停开关之后,所有控制运动轴紧急停止；
2) POWER 电源开关和指示灯：开启电源开关后, 电源指示灯将会变亮；
2、后面板：
8) NET 通信接口：通过此接口与 PC 机进行连接。
9) 电源插头： DC 24V 电压输入；
10) 电机控制接口：用于接驳电移台。接口定义如下图所示：
1) 2)
3)
4)
5) 6)
7)
8)
硬件描述：
1、前面板：
1) EMEGENCY 急停开关：按下急停开关之后,所有控制运动轴紧急停止；
2) POWER 电源开关和指示灯：开启电源开关后, 电源指示灯将会变亮；
2、后面板：
8) NET 通信接口：通过此接口与 PC 机进行连接。
9) 电源插头： DC 24V 电压输入；
10) 电机控制接口：用于接驳电移台。接口定义如下图所示：
1) 2)
3)
4)
5) 6)
7)
8)
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B201
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运动控制软件简介：
软件界面分为 5 大界面：
单轴操作 ：用于单个滑台的控制、设置。
组合台操作 ：用于 XY 、XYR 等组合型滑台的控制、设置。 场景 ：用于 3D 模拟仿真场景的控制、设置。
运行方案 ：编辑运行方案，使控制器以指定流程运行。
远程指令 ：由客户使用二次开发指令进行远程指令控制。
紧急停止 ：在控制箱上紧急停止按钮按下后，所以电机轴停止。将弹出紧急停止对话框，并变为红色。
单轴控制区
状态显示区包含：轴使能、轴名称、位置坐标、单位、限位及报警信息等
1)轴使能，单击轴使能按钮，ON 使能，OFF 未使能。默认下，具有使能与抱闸联动 功能。即在电机使能后一段时间自动打开抱闸，电机
去使能前一段时间自动关闭抱闸。
2)轴名称可以自定义：
3)位置坐标：
显示当前坐标，也可以在此窗口写入坐标，将此坐标临时设定为某个值，但不可存储。
原名称： 修改后：
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B202
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4) 设置按钮：
点击设置按钮 ，打开设置界面 ：
设置界面分为 5 个子界面 ：型号设置、运行速度设置、其他设置、位置保存、绝对精度 校准。
型号设置 ：设置滑台的型号。
选择正确的滑台型号后，界面上会显示出此型号滑台的参数和尺寸图。选择后，滑台的 基本参数自动导入。单击保存参数，将参数
写入控制器。
点击高级设置 按钮，将显示高级设定参数。
注意：错误的参数设置有可能会造成滑台和控制箱的永久性损坏，在不了解具体参数 的设置含义之前，不建议进行高级设置！！！
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B203
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命名规则：
说明：
TMC-USB 控制方案是基于 PC 机、运动控制卡的多维多种类型电机的整体解决方案。具有控制维数多，兼容电机广，各维度组合灵
活的特点。目前本公司提供 1~4 轴的标准产品，兼容两相步进电机、三相步进电机、五相步进电机、伺服电机、直线电机、力矩电机等
常见的电机。各种不同类型的电机可以自由混搭。也可以按客户的需求定制其他类型的电机。
控制软件基于 LABVIEW 开发，操作简单，用户也很容易进行二次开发，或与用户原有的系统整合。也可以根据用户的实际需求进
行定制。软件内置我公司所有类型的电移台产品数据库，直接选择对应型号即可对电移台参数进行设置。
交互界面可以同时显示每个轴的运行参数，操作直观，无需频繁的切换。既可以独立的操作某一个轴，也可以多个轴组合运动。可
以运行 4 个独立线程流程方案，支持循环和条件分支指令。在功能上能够直接代换 PLC。可以满足自动生产线和自动实验设备的功能需要。
TMC-USB系列电动滑台运动控制器
TMC-USB -x -xxx
TMC-USB：
USB版全功能运动控制器
总控制轴数：
1：1轴
2：2轴
3：3轴
4：4轴
可驱动电机种类：
S242：2相42（及以下）步进电机
S257：2相57步进电机
S286：2相86步进电机
S528：5相东方马达步进电机
ASP1：交流伺服电机，松下100w
ASP2：交流伺服电机，松下200w
LMC10：标准直线电机驱动器，驱动电流10A
S357：3相57步进电机
原理框图：
工作原点说明
工作原点一般为工作台开始工作的起始点，控制器在刚
开机时默认当前位置为工作原点 ( 绝对坐标为 0)。设定方式
见后面菜单使用方法。由于机械限位精度有限，建议从传感
器原点开始运动。
主要技术规格：
基本功能
单卡输出 2、4路步进电机控制脉冲，光耦隔离
最高输出频率 4MHz
脉冲输出频率误差 < 0.1%
插补 任意2-3轴直线插补，任意两轴圆弧插补
连续插补功能 支持
加减速方式 直线
逻辑位置计数器位数 32
运动中可实时改变速度 支持
运动中可实时读取的参数 逻辑位置、实际位置、驱动速度、加速度
各轴位置信号检测 各轴具有独立的左右极限及零点检测信号
传感器输入口
输入 每轴8路光耦隔离输入
编码器输入 编码器AB相脉冲光耦隔离输入
输出 每轴8路集电极开路光耦隔离输出
应用环境
电源要求 220V AC +/- 10% 45-65Hz
功耗 < 1KW
工作温度 0℃~50℃
存储温度 -20℃~80℃
工作湿度 20％~95%
存储湿度 0%~95%
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B204
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三轴直线插补运动 所有的插补运动都是相对运动，从轴是在主轴的基本时序下运行的，设定好主轴的初始速度和
最高速度，从轴将会根据这个速度调整自己的运行速度。
两轴圆弧插补运动
所有的插补运动都是相对运动，从轴是在主轴的基本时序下运行的，设定好主轴的初始速度和最高
速度，从轴将会根据这个速度调整自己的运行速度。CW表示顺时针运动，CCW表示逆时针运动。
同时要满足若干条件才能实现圆弧插补的功能。见圆弧插补菜单具体说明。
摇杆控制
闭环运动
闭环运动模式下，控制器每发出一个控制脉冲，电移台则运动一段距离（开环
分辨率）。电移台的运动过程中，编码器随同运动。当编码器运动一段距离
（闭环分辨率）的时候，会向控制器反馈一个脉冲。控制器根据反馈的脉冲数
量得知运动的实际位置，从而形成位置反馈环路。只有在开环分辨率小于闭环
分辨率的情况下，反馈环路才是稳定的。当控制器检测到设定目标值和实际位
置之间有偏移误差的时候，会发送补偿脉冲，使电移台进行补偿运动。直到偏
移误差小于闭环分辨率为止。闭环运动的定位精度取决于编码器的精度，不会
受到外力扰动、机械磨损等物理因素的干扰，是提到定位精度和重复性的有效
手段。
加减速过程 设置完初速度、最高速度、加速度之后，将会根据位移量的长短计算出加速和匀速时
间，如果行程很短的话，有可能没有达到最高速度就开始减速。
立即停止和减速停
止
选择停止模式，FAST表示立即停止，SLOW表示减速停止，选择完之后，按STOP，将会
执行所选择的模式。减速度与加速度一致。
基本功能简介：
相对移动 每次移动都是以当前的坐标为起点，相对这个坐标移动的距离。
绝对移动 每次移动都是以用户原点为起点，相对用户原点移动一定的距离。前进表示移动到正坐标值
位置，后退表示移动到负坐标位置。
连续移动 点击前进键会一直朝着电机方向移动，直到用户按停止键或者碰到了正软、硬极限；点击
后退表示一直朝着远离电机端移动，直到按停止键或者碰到了负软、硬极限。
机械归零运动
这是利用安装在远离电机端的负限位进行归零运动的，选择机械运动模式后，点击归零键，台面会往
负极限运动，当碰到负限位开关后，会往电机方向消回程运动，待滑块停止后，坐标会自动清零，变
成用户原点。
光电归零运动
这是利用安装在电移台远离电机端的传感器进行归零的，选择光学归零模式后，按下归零键，滑块将会
往远离电机端移动，直到碰到传感器后，滑块后退一段距离，直到退出传感器，同时消回程，待滑块停
止后，坐标会自动清零，变成用户原点。
用户原点归零运动
选择用户归零模式，按归零键，滑块将会由当前坐标位置运动到用户原点位置。运行到用
户原点位置之后，再按归零键，电机将不会运动，直到重新离开用户原点之后，再按归零
键，电机才会运动。
软限位使能停止
如上图所示的正极限及负极限为装在滑座上的机械式开关，而正向软件极限及负
向软件极限则不是实际装在滑座上的开关，而是由控制器内所设定的软件参数决
定。当运动到设定的软限位值时，滑块将会减速停止。注意：负限位归零和光电
归零不受软限位的影响。
两轴直线插补运动 所有的插补运动都是相对运动，从轴是在主轴的基本时序下运行的，设定好主轴的初始速度和最高
速度，从轴将会根据这个速度调整自己的运行速度。
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台
B205
返回目录
结构说明：
前面板
•急停开关：按下急停开关之后，所有控制轴紧急停止。
•电源指示灯：开启总电源开关后，电源指示灯将会变亮。
•USB接口：通过此接口与PC机进行连接。
后面板
此为TMC-USB-1、2、3、4-S242, TMC-USB-1、2、3、4-S257,
TMC-USB-1、2、3、4-S528，TMC-USB-1、2、3、4-S357控制
箱后面板。
此为TMC-USB-1、2、3、4-S286控制箱后面板。
此为TMC-USB-1、2、3、4-ASP1, TMC-USB-1、2、3、4-ASP2控
制箱后面板。
此为TMC-USB-1、2、3、4-LMP5, TMC-USB-1、2、3、4-LMC10
控制箱后面板。
IO 输入的基本配置是 1、2 位用于光学原点归零信号，3 位用于正限位信号，4 位用于负限位信号，7 位用于伺服到位信号，8 位用
于报警信号。IO输出的基本配置是1、用于电机运动中信号，2位用于驱动器使能信号。其他的接口可以根据客户的实际需要做不同的配置。
•光栅尺接口：用于接驳光栅尺。从上到下分别为1~4轴。接
口定义如下图所示：
•电机控制接口：用于接驳电移台。从上到下分别为1~4轴。接
口定义如下图所示：
电源开关：用于控制电源的开闭。
•电源插头： AC 220V电压输入。
•IO控制接口：用于连接运动控制卡的IO控制输出线。
•IO接口：从上到下分别为1~4轴。接口定义如下图所示：
1
1
2
2
3
3
4
4
D D
C C
B B
A A
V1
控制器光栅尺接口定义
2020.11.03
宋永辉
1
2
3
4
5
6
7
8
9
D Connector 9(K)
光栅尺接口
AA+
GND
5V
BB+
Z+
Z1
1
2
2
3
3
4
4
D D
C C
B B
A A
V1
控制器接口定义
2020.11.03
宋永辉
1
9
2
10
3
11
4
12
5
13
6
14
7
15
8
D Connector 15(K)
LIMIT+
LIMITzero sensor
A
A
B
B
C
D
C
D
E
24V
GND
1
9
2
10
3
11
4
12
5
13
6
14
7
15
8
D Connector 15(K)
LIMIT+
LIMITzero sensor
A+
A+
AAB+
BB+
B24V
GND
5相控制器 2相控制器
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B206
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•86电机接口：用于连接86电机控制线和编码器线。从上到下
分别为1~4轴。接口定义如下图所示：
•伺服电机和编码器接口：用于连接伺服电机控制线和编码器线。从
上到下分别为1~4轴。接口定义如下图所示：
•直线电机控制接口：用于连接直线电机控制线和编码器线。从上到下分别为1~4轴。接口定义如下图所示：
使用说明：
控制方式选项卡用于切换控制方式。基本运动控制用于常规的运动控制操作，如 ：定长运动、连续运动、插补运动等。运行方案控
制是将各种单步运动控制操作和流程指令，组合成运行方案的控制方式。
基本运动控制界面
基本运动控制界面包括板卡选项卡、
状态显示区、运动控制区、参数显示区、
参数设置区组成。板卡选项卡用于选择需
要控制的运动控制卡，选项卡的数量与硬
件配置相同。状态显示区用于显示此运动
控制卡中各个轴的状态。显示的控制轴个
数与该运动控制卡上的总轴数相同。运动
控制区用于运动控制的操作。参数显示区
用于显示控制过程中所需的基本信息。参
数设置区用于设置控制过程中所需要的参
数。以下将详细介绍 ：
运行方案控制界面
运行方案控制界面包含指令操作区和
方案操作区。可通过左侧树状图中选择要
输入的指令，同时也可以通过上面指令输
入区输入要设置的参数，完成功能控制。
设置和运动指令与基本运动控制界面相
同，同时增加了方案流程控制指令，很方
便的完成定制方案功能需求。方案操作区
中可以选中任意行进行修改指令，可以插
入、添加、替换、删除、保存、另存为和
清空方案指令，同时可暂停方案并继续方
案运行，点击继续时，可以将未走完的距
离运行完毕，功能非常的强大。
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B207
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目前MC600系列控制器，分为两个子系列：
•二相步进电机控制器：MC600-2B/4B
•三相步进电机控制器：MC6003P-2B/4B
MC600 系列控制器针对电动直线滑台、旋转台和角位移台设计，可以控制 1 ～ 4 轴点对点位置运动系统。内置驱动性能优良的步
进电机驱动器或交流伺服电机驱动器，简化了安装，提高了可靠性。友好的人机对话界面、丰富的功能参数、灵活的联机通讯指令，使
系统整合更加简便、高效。
特点：
•采用32位DSP处理器，实现了运算要求较高的高精度同动控
制；数字PID闭环控制，确保了加减速的控制和位置控制；步
进电器驱动可实现256 细分，保证了平稳的低速步进精确定位
能力。
•具有点动和增量两种控制模式：
点动模式 ：快速定位到目标位置，加快实验进程。
增量模式 ：适用于那些需要往复在各个目标位置定位的应
用，一次按键操作即可达到目标位置。
•满足多个电动滑台/旋转台进行联合控制要求。
•可根据需要选择脉冲数、角度值、毫米、微米四种不同的度量
单位，并实现内部自动换算，使用更便捷。
脉冲数 ：控制器的基本控制单位。
角度值 ：用于角度位移量的显示。
毫米 / 微米 ：用于直线位移量的显示 ( 电动线性滑台 )。
•四轴均具有闭环位置控制功能(通过外界光栅尺/旋转编码器来
实现)，使位置调整与定位更加准确。系统的定位精度取决于
光栅尺/旋转编码器的精度。
•能够分别对各轴回原点速度、初速度、恒速度、加速度和软件
位置极限，满足不同的控制环境要求：如系统需要较短的响应
时间，可设置较大的初速度或加速度；如系统要求运动平稳、
过冲小，可设置较小的初速度或加速度；如系统要求恒速控
制，可选择恒速运行模式。
•可将任意位置设为用户工作原点：
零位的方便设定可简化用户的操作，组合光电传感器配合
先进的寻位算法大大提高了物理零位的重复定位精度 ；
•运动时可以实时读取控制系统的逻辑位置、实际位置、驱动速
度和加速度等状态参数。
•16路I/O可以设定为外部输入或者对外触发。当I/O被设定为内
部输出时，可以作为运动停止或执行特定程序的中断信号；当
I/O被设定为输入时，这些I/O就成为控制器监控外部设备状态
的接口。
•可以利用ZolixMC600控件编程，方便实现各种运动控制需求，
也可以利用MC600控制软件，进行简单的运动控制方案，可以
方便的设置运动参数和位置参数，与自行开发相比，可大大减少
工作量。
•240×128点阵液晶显示界面,显示内容更丰富,WINDOWS风格的
菜单设计,可方便设定参数:
多级菜单功能，使得参数设置简捷、操作快速 ；
同时显示 X、Y、Z、T 四轴位置参数 ；
可选择不同操作模式 ( 开环 / 闭环工作模式 ) ；
可以显示每个轴的运行度量单位。
•设置参数可存储，掉电不丢失，简化操作过程。
•选配摇柄配件，可以方便进行三个方向的手动扫描运动控制和目
标追踪，使控制更加灵活方便。
MC600 系列电移台控制器，采用 32 位 DSP 处理器控制，可实现三轴直线插
补 ( 对于 4 轴控制器 ) 和两轴圆弧插补 ( 对于 2 或 4 轴控制器 )，每一轴均有闭环
反馈功能，并可采用三轴摇柄控制 ﹙可选部件，是一款高性能的运行控制器。）
MC600系列电动滑台运动控制器
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B208
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前面板指示图：
后面板指示图：
选型表：
型号 MC600-4B MC600-2B MC6003P-4B MC6003P-2B
说明 4轴二相步进电机 2轴二相步进电机 4轴三相步进电机 2轴三相步进电机
电机控制
2相步进电机(24V，3.5Amax) 3相步进电机(24V，5.8Amax)
开环或闭环控制
400kHz脉冲频率
256细分max 51200max.每转脉冲数
运动控制
32位，150MHz DSP 处理器
数字PID伺服控制
梯形速度调节
点到点、同步/非同步运动
点动模式、增量模式
3轴直线插补和2轴圆弧插补
传感器 零位传感器、负限位开关和正限位开关
选配 摇杆手柄
配套软件 ZolixMC600控件
MC600控制软件
通讯接口 RS-232，USB2.0
I/O 16位I/O(8个TTL输入，8个集电极开路输出)
内存 512KB Flash Non-Volatile Firmware
显示面板 LCD显示，240×128点阵，105mm×56mm
电源及功率 115/220v,60/50Hz,400W(max)
外形尺寸 440×395×145mm
重量 7.5Kg max
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I/O
USB RS-232
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B209
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MC600控件
ZolixMC600 控件适用于客户对 Zolix 的 MC600 系列电移台控制器进行二次开发时使用。MC600 控制器可以使用超级终端工具进
行调试，在调试过程中，调用指令需要熟悉我们的控制协议。为了方便客户的基本使用和了解控制器的控制功能，我们为您提供完整
的控制软件，如需进行二次开发，可参考控制软件的说明文档。另外，为了方便客户进行快速的二次开发，我们提供了一个 ActiveX 模
组 -ZolixMC600.ocx，可为客户节约开发时间。
功能描述 ：
ZolixMC600 控件采用 VC6 进行开发，对控制协议进行了封装，用户不需了解控制器的控制协议就可以快速编程。
ZolixMC600 控件已经内置了串口的通讯与控制功能，不需要用户了解串口编程就可以使用。
提供 ZolixMC600 控件的说明文档，方便用户的二次开发，客户自己二次开发时只需使用二次开发文件即可自己设置控件的属性、
调用控件的方法，完成对我们的电移台的控制，方便客户使用我们的产品。同时客户可以灵活自主地布置界面来匹配用户的软件整体风格。
ZolixMC600 控件提供基本测试和简易方案测试界面，可以方便客户进行控制器和电动滑台的基本测试。
单轴运动控制界面 运行方案界面
MC600软件
MC600 控制器除了丰富的面板操作功能外，还配有卓立汉光开发的控制软件，可通过上位机进行安装和控制。软件界面功能齐全，
而且非常清晰，适合于绝大多数客户使用。
特点：
•完整的操作界面，软件支持英文界面显示，包括全部的控件功能
•可实现目标运行和增量运行，方便用户对电移台的定位
•单轴运动控制界面，可根据不同电移台类型设置控制器参数，方便用户更改控制器参数
•运行方案界面，可对单轴或多轴运动，设置运行方案，方便进行连续地自动运行
•DXF图形运动界面，可支持DXF文件的直接调用，但这部分功能不是免费开放，如果你感兴趣，详询卓立汉光销售人员
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B210
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ZC300 系列运动控制器是卓立汉光推出的新一代 1 ～ 3 轴点对点位置定位控制系统，内置驱动性能优良的电机驱动器，友好的人机
对话界面，丰富的功能参数，modbus 通信协议控制指令，使系统整合更加简便、高效。
ZC300系列运动控制器
产品特点（主要技术规格）：
基本功能
控制轴数 1～3轴
输出频率范围 15Hz～65KHz
加减速方式 梯形加减速
显示方式 LCD液晶显示，128×64点阵
通讯方式 USB、RS485(可选)
信号检测 各轴具有独立的左右极限及零点检测信号传感器输入口
I/O输入 3路光耦隔离输入（可选）
I/O输出 3路集电极开路光耦隔离输出（可选）
外型尺寸 344mm×329mm×134mm
重量 ≤6Kg
应用环境
电源要求 180～264VAC
工作温度 0℃～60℃
存储温度 -20℃～80℃
工作湿度 20％～85%
存储湿度 0%～95%
ZC300 -xx -RI
控制器序列代码 总控制轴数：
1：1轴
2：2轴
3：3轴
可驱动电机：
A：2相42步进电机
B：2相57步进电机
RS485
I/O信号
命名规则：
说明：
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B211
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1 2 4 5
3
前面板
1. 显示部分 ：128X64 点阵背光、广角式液晶显示器 , 用来显示控制器所有的信息。
2. 菜单控制键 ：用于对菜单的控制。
上下键一般用于切换菜单 ；
右向键一般用于进入下一级菜单，左向键一般用于返回上一级菜单 ；
回车键用于进入菜单和输入的确认。
3. 运动控制键及数字键 ：
在坐标显示界面时，用于运动的控制 ：BACK 用于使电移台负方向运动，FWD 用于使电移台正方向运动，HOME 用于使电移台归零，
STOP 用于使电移台停止 ；
当进入菜单设置时，运动控制键复用为数字键，数字键用于数字的输入 ；
C 键为退格键，用于输入的改写 ；
M 键用于退出菜单界面。
4. 急停键 ：用于紧急停止。一旦按下，则所有电移台停止运动。
5. 电源开关 ：用于控制电源的开闭。
后面板
1. 输入电源插座 ：支持 180 ～ 264VAC 输入。
2. RS485 及 IO 接口 ：RS485 总线通信，及 3 路输入、3 路输出（根据型号实际配置）。
3. USB 接口 ：用于与电脑通信。定义为标准 USB 接口（USB B 型口）。
4. 轴接口 ：控制器与电移台连接线接口（DB15 孔）。
5. 风扇 ：用于散热，请勿遮蔽。
1 2 3 4 5
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B212
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概述
SR 系列两相步进电机驱动器是基于 PID 电流控制算法设计的高性价比细分型驱动器，具有
优越的性能表现，高速大力矩输出，低噪音，低振动，低发热，特别适合 OEM 客户的大批量应
用场合。SR2 驱动器可通过拨码开关选择运行电流和细分，有 16 种细分，8 种电流供选择，具
有过压，欠压，相电流过流保护，其输入输出控制信号均采用光电隔离。
电气指标
环境指标
端口与接线：
使用 SR2 驱动器，需要准备 ：12-48VDC 合适功率的直流电源 ；控制信号源 ；想匹
配的步进电机。
1、脉冲&方向信号
SR2 驱动器有 2 个高速输入口 STEP 和 DIR，光电隔离，可以接受 5-24VDC 单端
或差分信号，最高电压可达 28V，信号下降沿有效。信号输入口有高速数字滤波器，滤
波频率为 2MHZ。
脉冲信号为下降沿有效。
电机运转方向取决于 DIR 电平信号，当 DIR 悬空或低电平时，电机顺时针运转 ；
DIR 信号为高电平时，电机逆时针运转。
2、使能信号
EN 输入使能或关断驱动器的功率部分，信号输入为光电隔离，可接受 5-24VDC
单端或差分信号，信号最高可达 28V。
EN 信号悬空或低电平时 ( 光耦不导通 )，驱动器为使能状态，电机正常运转 ；EN
信号为高电平时 ( 光耦导通 )，驱动器功率部分关断，电机无励磁。
当电机处于报错状态时，EN 输入可用于重启驱动器，首先从应用系统中排除存在
3、控制信号输入示例 的故障，然后输入一个下降沿信号至 EN 端，驱动器可重新启动功率部分，电机励磁运转。
3 ྟఴ:1.0
8/05/2010
SR2 ၸਖ਼б
1 ኤ̭
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62968682DŽ;˶Ժ̾ፋੇ͂Ԧᤞᥪ͇info@moons.com.cnDŽ
1.1 ഏᤗ
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ᑞᛪဗˈᰳᤳܷҦᅽᣤѢˈͯ٩ᮂˈͯҮˈͯԦབˈྱѾՋOEMࠆਖ਼ᄉܷ᧙ःၸڣՋDŽSR2
Ү٧ԺષᆉधСᤤસᤁᛠႂึ֖ጹѫˈథ16ሗጹѫˈ8ሗႂึΘᤤસˈХథԌˈԌˈᄰ
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Ŷ ጹѫᎵ ષᆉधС߿ˈ16ሗᤤસ: 200, 400, 800, 1600, 3200, 6400, 12800, 25600,
1000, 2000, 4000, 5000, 8000, 10000, 20000, 25000 step/rev
Ŷ ᤳऎᔴډ ᤤᦠՋᄉᤈႂˈణᰳԺ3000rpm
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8/05/2010
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4 ྟఴ:1.0
8/05/2010
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3 বᑞૈಕ
3.1 ႂචૈಕ
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ΘႂႂԌ 12 - 48 VDC
ᣤѢႂึ(ࢎϘ) 0.3 - 2.2 Amps
ଌ҃ζՁ࠭ႂึ 6 10 15 mA
ᤈᑡуᮟည 2 - 2M Hz
ᤈᑡуࠔऎ 250 - - ns
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Ԍγએཁ - 10 - VDC
Ԍγએཁ - 52 - VDC
ᣤЙζՁႂԌ 4.0 - 28 VDC
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3.2 ဖܑૈಕ
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ణᰳဖܑາऎ 90% RH˄ፆ᭚˅
ߚϱຝऎ -10-70°C [14 - 158°F]
Ү 5.9m/s2
max
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REG
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SWITCHING
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6
REG 6OLTAGE
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$ET
MOTOR
12-48VDC Power Supply
LED
STEP
DIR
EN
/PTICAL
)SOLATION
)NPUT
$30
'ATE
$RIVERS
-/3&%4S
3ELF 4EST
3MOOTHING &ILTER
,OAD )NERTIA
3TEP .OISE &ILTER
#URRENT 3ET
#URRENT 3ET
#URRENT 3ET
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3TEP 2ES
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ᤈᑡуࠔऎ 250 - - ns
ழՓζՁࠔऎ 50 - - us
Ԍγએཁ - 10 - VDC
Ԍγએཁ - 52 - VDC
ᣤЙζՁႂԌ 4.0 - 28 VDC
Ү٧ѹݼӐௐᫍ - - 2.5 S
3.2 ဖܑૈಕ
чԁழय ᒬཨчԁु҃чԁ
ၸဖܑ
ၸڣՋ ᥗБዟ࠹ˈෳᭈԢᑻᙌবචͳ
ࢹͺဖܑຝऎ 0-40°C [32 - 104°F]
ణᰳဖܑາऎ 90% RH˄ፆ᭚˅
ߚϱຝऎ -10-70°C [14 - 158°F]
Ү 5.9m/s2
max
\"LOCK $IAGRAM
SR2
6
REG
6
SWITCHING
REG
6
REG 6OLTAGE
$ET
/VER
#URRENT
$ET
MOTOR
12-48VDC Power Supply
LED
STEP
DIR
EN
/PTICAL
)SOLATION
)NPUT
$30
'ATE
$RIVERS
-/3&%4S
3ELF 4EST
3MOOTHING &ILTER
,OAD )NERTIA
3TEP .OISE &ILTER
#URRENT 3ET
#URRENT 3ET
#URRENT 3ET
)DLE #URRENT
3TEP 2ES
3TEP 2ES
3TEP 2ES
3TEP 2ES
5 ྟఴ:1.0
8/05/2010
SR2 ၸਖ਼б
4 ቪԯˀଋጲ
ឯԟཱଋԯСጆڎˈၸSR2Ү٧ˈᭉ᜵ϡ̾ʽ
˖ܫэ
12-48VDCՋҩညᄉᄯึႂຸ
ଌ҃ζՁຸ
ᄰӛᦠᄉᤈႂ(˝Ԩ३ణ·বᑞˈឯԟᏥఴၸ
ਖ਼бኃ11ᮅᕚᄉᤈႂ)
4.1 ႂຸᤋଋ
ݟ౦ᄉႂຸᣤѢቪథγᬖˌʶ̎Ѿᄉᬌ҃ᆀᡸႂึᄉᜈᎵˈԺڙຸ֖ႂҮ٧˧ᫍஉᎵʶ˓
ॆಪᄉঋᤳོறγᬖˌ(ಪʿ३ᡓ3Amps)̾γએҮ٧֖ႂຸˈឯ࠱ឞγᬖˌ˘ᐎ̅ႂຸ
ᄉൣ֖Ү٧ᄉV+˧ᫍDŽ
࠱ຸႂᄉൣᤋଋҁҮ٧ᄉV+ˈ࠱ຸႂᄉ᠆ᤋଋҁҮ٧ᄉV-DŽ
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ᤤસॆᄉႂຸ
ႂԌ
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ݟ౦᜵Վௐγᰳည֖ͯ٩ᮂˈѶҮ٧ΘႂႂԌᒯ࠵5υ̅ႂᮨ߿ᄰႂԌ˄Ԁႂᮨ߿ᄰႂ
ึhᄰႂ˅DŽ
ݟ౦;ᭉ᜵ႂᖌ३ఝݝᄉᰳᤳবᑞˈѶᭉ᜵ଡᰳҮ٧ΘႂႂԌDŽ
ݟ౦ၸሶԌႂຸΘႂˈ᜵යΘႂႂԌʿ३ᡓ48VDŽ
ݟ౦ၸ᭣ሶԌႂຸΘႂˈ᜵යႂԌʿ३ᡓ34VDŽ
ځ˝᭣ሶԌႂຸᄉᮨ߿ึႂ௦໗ᣑႂึ˗ڙ᠆ᣑॡᣏˈΒݟႂʿᣀௐˈࠃᬄႂԌᰳႂຸᮨ߿ႂ
Ԍᄉ1.4υDŽਆ᜵ႂࣰሶ߶᭡ᄉᤁᣀˈᤤસͯႂԌDŽ
ႂึ
ణܷΘႂႂึःឞ˝ˏᄰႂึ˧֖DŽ࣡ৰхʽˈ;ᭉ᜵ᄉႂึԨф̅ႂᄉۋՁǃႂԌǃᣀᤳ֖
᠆ᣑ్͇DŽࠃᬄႂຸႂึϘܷܷͯ̅ᤇ˓ణܷႂึϘˈځ˝Ү٧᧓ၸᄉ௦धСयஉܷ٧ˈ࠱ႂᰳ
Ԍͯႂึᣀ૰ͯႂԌᰳႂึˈႂຸႂԌᡓႂႂԌᡔܲˈᭉ᜵ᄉႂຸႂึᡔ࠵DŽॆႂଋ24V
ႂຸࢹͺௐˈႂຸᣤѢႂึ௦12VႂຸᣤѢႂึᄉʶӦDŽ
⢊ᗕᣛ⼎♃
োֵࠊ
ᢼⷕᓔ݇䆒ᅮ
⬉ᴎ䖲
⬉⑤䖲
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SW1
SW2
SW3
SW4
SW5
SW6
SW7
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BB+
AA+
VV+
ഄ㶎䩝
SW12
SW11
SW10
SW9
ᢼⷕᓔ݇䆒ᅮ
7 ྟఴ:1.0
8/05/2010
SR2 ၸਖ਼б
4.3 ଌ҃ζՁᤋଋ
4.3.1 ᑡу&ழՓζՁ
SR2Ү٧థ2˓ᰳᤳᣤЙԯSTEP֖DIRˈЏႂᬥሎˈԺ̾ଋԩ5-24VDCӬቪࢿѫζՁˈణᰳႂ
ԌԺ28VˈζՁʽᬋథDŽζՁᣤЙԯథᰳᤳஜߙ໙จ٧ˈ໙จᮟည˝2MHzDŽ
ᑡуζՁ˝ʽᬋథDŽ
ႂᤁᣀழՓԨф̅DIRႂࣰζՁˈॆDIR১ቆ˝ͯႂࣰௐˈႂᮊௐ᧪ᤁᣀ; DIRζՁ˝ᰳႂࣰ
ௐˈႂᤣௐ᧪ᤁᣀDŽ
4.3.2 ᑞζՁ
ENᣤЙᑞСறҮ٧ᄉҩညᦉѫˈζՁᣤЙ˝ЏႂᬥሎˈԺଋԩ5-24VDCӬቪࢿѫζՁˈζ
ՁణᰳԺ28VDŽ
ENζՁ১ቆͯႂࣰௐ(Џᏸʿ࠭)ˈҮ٧˝ᑞ࿃খˈႂൣ࣡ᤁᣀ; ENζՁ˝ᰳႂࣰௐ(Џᏸ
࠭)ˈҮ٧ҩညᦉѫСறˈႂҴᇒDŽ
ॆႂܪ̅ઐᩱ࿃খௐˈENᣤЙԺၸ̅᧗ըҮ٧DŽᯪЎ̯ःၸጆፑ˖ଅᬓڙߚᄉᬩˈཨՐᣤЙ
ʶ˓ʽᬋζՁᒯENቪˈҮ٧Ժ᧗ளըҮҩညᦉѫˈႂҴᇒᤁᣀDŽ
4.3.3 ଌ҃ζՁᣤЙᇧΒ ଌ҃٧
43Ү٧
STEP+
ᑡуζՁ
ழՓζՁ
ᑞζՁ
STEPDIR+
DIREN+
ENVCC
Р
STEP+
STEPDIR+
DIREN+
ENVCC
VCC
VCC
GND
Р
ଌ҃٧
SRҮ٧
ᑡуζՁ
ழՓζՁ
ᑞζՁ
7 ྟఴ:1.0
8/05/2010
SR2 ၸਖ਼б
4.3 ଌ҃ζՁᤋଋ
4.3.1 ᑡу&ழՓζՁ
SR2Ү٧థ2˓ᰳᤳᣤЙԯSTEP֖DIRˈЏႂᬥሎˈԺ̾ଋԩ5-24VDCӬቪࢿѫζՁˈణᰳႂ
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ᑡуζՁ˝ʽᬋథDŽ
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4.3.2 ᑞζՁ
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ՁణᰳԺ28VDŽ
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4.3.3 ଌ҃ζՁᣤЙᇧΒ ଌ҃٧
43Ү٧
STEP+
ᑡуζՁ
ழՓζՁ
ᑞζՁ
STEPDIR+
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ENVCC
Р
STEP+
STEPDIR+
DIREN+
ENVCC
VCC
VCC
GND
Р
ଌ҃٧
SRҮ٧
ᑡуζՁ
ழՓζՁ
ᑞζՁ
SR2驱动器
特性
3 ྟఴ:1.0
8/05/2010
SR2 ၸਖ਼б
1 ኤ̭
ਕ៘ᤤસᲝংᤈႂҮ٧DŽ࣎భੇֵ̖͕͂ᡔᄉবᑞǃ͕ऩᄉ᧙֖͕ሑᄉব͈ඊԺ̾ࣞү
ҩᄉ߸ᤁҮଌ҃ᮉᄫDŽ
ݟ౦ࠪੇ͂ᄉֵ̖థ̣˥तᝫᏧᭉ᜵ੇ͂ᄉࣞүˈឯᒰႂ˄86˅21-52634688ˈ͛ᄽ˄86˅21-
62968682DŽ;˶Ժ̾ፋੇ͂Ԧᤞᥪ͇info@moons.com.cnDŽ
1.1 ഏᤗ
SRጆѴˏᄰᤈႂҮ٧௦۲̅PIDႂึଌ҃ኪกᄉᰳব͈ඊጹѫۋҮ٧ˈХథ͕ᡔᄉব
ᑞᛪဗˈᰳᤳܷҦᅽᣤѢˈͯ٩ᮂˈͯҮˈͯԦབˈྱѾՋOEMࠆਖ਼ᄉܷ᧙ःၸڣՋDŽSR2
Ү٧ԺષᆉधСᤤસᤁᛠႂึ֖ጹѫˈథ16ሗጹѫˈ8ሗႂึΘᤤસˈХథԌˈԌˈᄰ
ႂึึγએˈФᣤЙᣤѢଌ҃ζՁڨ᧓ၸЏႂᬥሎDŽ
1.2 ྱব
Ŷ Θႂႂຸ SR2˖12 - 48 VDC
Ŷ ᣤѢႂึ ષᆉधС߿ˈ8ሗᤤસˈణܷ2.2߶۱˄ࢎϘ˅
Ŷ ႂึଌ҃ PIDႂึଌ҃ኪกˈᰳᤳܷҦᅽᣤѢˈͯҮˈͯ٩ᮂˈͯԦབ
Ŷ ጹѫᎵ ષᆉधС߿ˈ16ሗᤤસ: 200, 400, 800, 1600, 3200, 6400, 12800, 25600,
1000, 2000, 4000, 5000, 8000, 10000, 20000, 25000 step/rev
Ŷ ᤳऎᔴډ ᤤᦠՋᄉᤈႂˈణᰳԺ3000rpm
Ŷ Рં҃ ᒬҮኪРཁˈં҃˖ᮟҮ
Ŷ ጆፑᒬ Ү٧ʼႂѹݼӐᒬҮႂԟஜࣲၿ͕Ӑႂႂึኪก֖ઇР
ጆஜࡈߔႂ
Ŷ ଌ҃ழय ᑡу&ழՓഴयˈԤᑡуഴय
Ŷ ᣤЙ໙จ ષᆉधСᤤસˈ2MHZ/150KHzஜߙζՁ໙จ٧
Ŷ ቆ᫋ႂึ ષᆉधСᤤસ
ڙႂϢൢᤁᛠՐ1.0ሙႂึ͗ᒬҮђ˝ᤁᛠႂึᄉ50%90%
Ŷ ֵ̖ᒬ ષᆉधСըϢˈႂ̾1rev/sᤳऎϡൣԥᣀˏړज़ܬᤁҮ
Ŷ ᠆ᣑ᧙ ષᆉधСᤤસᰳͯʿՎᄉ᠆ᣑ᧙ˈጆፑᤁᛠڙణ·࿃খ
Ŷ ጹѫଢᛩ ષᆉधСᤤ߿ˈԺᬋͯႂᤁᣀᄉҮˈଡᰳᤁᛠᄉࣰ໎ব
Tel: 010 56370168 www.zolix.com.cn室温压电位移台电动滑台手动滑台控制器低温压电位移台
B213
返回目录
4、驱动器状态指示灯
驱动器运行参数设定：
1、电流设定 2、细分设定
3、自动减流设定
开启 SW4 设置驱动器自动减流百分比。开关置为 ON 时，
空闲电流将减为运行电流的 50% ；置为 OFF 时，空闲电流减为
运行电流的 90%。
安装尺寸
8 ྟఴ:1.0
8/05/2010
SR2 ၸਖ਼б
4.3.4 Ү٧࿃খૈᇧ༤
Code Error
፮༤̜᫁ Ү٧లᑞ
፮༤᫄ཆ Ү٧ࢹͺൣ࣡
3ጙˈ1፮ Ү٧ຝ
3ጙˈ2፮ ЮᦉႂԌѢᩱ
4ጙˈ1፮ Ү٧ႂຸᣤЙԌ
4ጙˈ2፮ Ү٧ႂຸᣤЙԌ
5ጙˈ1፮ Ү٧ึ
6ጙˈ1፮ ႂፈጷधᡸ
STEP+
STEPDIR+
DIREN+
ENSTEP+
STEPDIR+
DIREN+
ENࢿѫ ଌ҃٧
43Ү٧
ᑡуζՁ
ழՓζՁ
ᑞζՁ
8 ྟఴ:1.0
8/05/2010
SR2 ၸਖ਼б
4.3.4 Ү٧࿃খૈᇧ༤
Code Error
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3ጙˈ1፮ Ү٧ຝ
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43Ү٧
ᑡуζՁ
ழՓζՁ
ᑞζՁ
9 ྟఴ:1.0
8/05/2010
SR2 ၸਖ਼б
5 Ү٧ᤁᛠԟஜ߿
5.1 ႂึ߿
SR2Ү٧SW1ˈSW2ˈSW3ષᆉधС߿ᣤѢႂึࢎϘˈႂึϘԺࠆਖ਼᜵ය߿҃DŽ
࣡ৰхʽˈႂึ߿ႂ˝ᄉᮨ߿ึႂDŽݟ౦ᄉጆፑࠪԦབᄉ᜵යॡᰳˈԺ̾ॆђ࠴̾ึႂ
ᬋͯႂᄉԦབˈͭ௦ႂᄉᣤѢҦᅽ͗ՎௐᬋͯDŽݟ౦ʿ௦᜵යႂᤋ፝ᤁᛠˈԺॆܘܷᤁ
ᛠႂึ̾ᖌ३ఝܷҦᅽˈͭ௦ซణܷʿ᜵ᡓႂᮨ߿ึႂᄉ1.5υDŽ
ᤁᛠႂึ(ࢎϘ) SW1 SW2 SW3
0.3A ON ON ON
0.5A OFF ON ON
0.7A ON OFF ON
1.0A OFF OFF ON
1.3A ON ON OFF
1.6A OFF ON OFF
1.9A ON OFF OFF
2.2A OFF OFF OFF
Ժࠆਖ਼᜵ය߿ึႂ҃߿ˈᔴډ˝0.3̚2.2A
5.2 ᒬҮђึ߿
धСSW4ᎵҮ٧ᒬҮђึᄇѫඊDŽधСᎵ˝ONௐˈቆ᫋ႂึ࠱ђ˝ᤁᛠႂึᄉ50%˗Ꮅ˝
OFFௐˈቆ᫋ႂึђ˝ᤁᛠႂึᄉ90%DŽ
SW1 SW2 SW3 SW4 SW5 SW6 SW7 SW8
੨अࡷઘؕ ॲअࡷઘؕ ৃӤઘؕ
SW9 SW10 SW11 SW12
ਙࠓৃ Ӥݗ੮ତܬ ીૻۜତܬ ބҶࡧࢢ
9 ྟఴ:1.0
8/05/2010
SR2 ၸਖ਼б
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5.2 ᒬҮђึ߿
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SW1 SW2 SW3 SW4 SW5 SW6 SW7 SW8
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SW9 SW10 SW11 SW12
ਙࠓৃ Ӥݗ੮ତܬ ીૻۜତܬ ބҶࡧࢢ
10 ྟఴ:1.0
8/05/2010
SR2 ၸਖ਼б
5.3 ጹѫ߿
SR2Ү٧SW5ˈSW6ˈSW7ˈSW8ષᆉधС߿ጹѫԟஜDŽ
ጹѫ˄step/rev˅ SW5 SW6 SW7 SW8
200 ON ON ON ON
400 OFF ON ON ON
800 ON OFF ON ON
1600 OFF OFF ON ON
3200 ON ON OFF ON
6400 OFF ON OFF ON
12800 ON OFF OFF ON
25600 OFF OFF OFF ON
1000 ON ON ON OFF
2000 OFF ON ON OFF
4000 ON OFF ON OFF
5000 OFF OFF ON OFF
8000 ON ON OFF OFF
10000 OFF ON OFF OFF
20000 ON OFF OFF OFF
25000 OFF OFF OFF OFF
Ժࠆਖ਼᜵ය߿҃ጹѫԟஜˈᔴډ˝200̚51200 Step/RevDŽ
5.4 ᒬ
धըᒬˈႂ̾1rev/sᤳऎϡˏړൣԥᣀᤁҮˈԺ̾Ү٧ҩညᦉѫ௦ՠࢹͺൣ࣡ႂˈᤋ
ଋ௦ՠԺ᭤ኍኍDŽSW9ષᆉधС߿ˈON=ᒬधըˈOFF=ᒬС᫆DŽ
5.5 ጹѫଢᛩ
ጹѫଢᛩSW10ᤤ߿ˈON=ҩᑞᤤၸˈOFF=ҩᑞС᫆DŽ
˝˿ጆፑᖌ३ఝࣰ໎ᄉᤁᛠᛪဗˈђ࠵ႂԢጆፑᄉᤁҮᅮԪˈSR2Ү٧ࠪᤈζՁᤈᛠ
Үখ໙จˈڙxጹѫᑡуᒬҮଢЙॱDŽᤤၸጹѫଢᛩՐ͗ढᤌጆፑࠪଌ҃ζՁᄉࠃௐֽःˈ̾
ः᧪ࠪጆፑᄉࠃᬄःၸᤤၸឞҩᑞDŽ
18 ྟఴ:1.0
8/05/2010
SR2 ၸਖ਼б
7 ߶ᜈ
7.1 ࡆࠩ
7.2 Ү٧߶ᜈ
ၸਖ਼Ժ̾ၸҮ٧བऄएᄉࠔቋᤈᛠ߶ᜈDŽݟ౦ၸࠔ߶ᜈˈၸM3ᛂˌٽڙᝇʼᄉߗ
߶ᜈˈݟ౦ၸቋ߶ᜈˈၸM3ᛂˌˏᄉߗ߶ᜈDŽ˝ҁᓡݝབ౦ˈतᝫ᧓ၸቋ߶ᜈDŽ
Ү٧ᄉҩည٧͇͗Ԧབˈݟ౦ᤋ፝ࢹͺڙᰳᣤЙႂԌܷҩည్͇ʽ,ःੰܷథབ᭦ሤु҃ч
ԁDŽ
ʿ᜵ڙቆචʿึᄉڠழᏧဖܑຝऎᡓ40ćᄉڠழၸ˗ʿ᜵࠱Ү٧߶ᜈڙາథ᧚ࡗ࡚
ᄉڠழDŽ
21 56 2-3.5 5 13
2-4.5
87.5
M3 85.5
92.5
ԦѺ:mm
